JPH0972858A - 鋼帯のエッジ疵検出装置 - Google Patents
鋼帯のエッジ疵検出装置Info
- Publication number
- JPH0972858A JPH0972858A JP22925395A JP22925395A JPH0972858A JP H0972858 A JPH0972858 A JP H0972858A JP 22925395 A JP22925395 A JP 22925395A JP 22925395 A JP22925395 A JP 22925395A JP H0972858 A JPH0972858 A JP H0972858A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 エッジ部に波打ち模様のある鋼帯のエッジ疵
を誤検出することなく確実に検出する鋼帯のエッジ疵検
出装置を提供することにある。 【解決手段】 レーザ照射部２からレーザ光を通板され
る鋼帯に照射し、反射された拡散反射光を受光部３によ
り検出して鋼帯のエッジ疵を検知する拡散反射式レーザ
センサ１のレーザ照射角を鋼帯の水平方向に対して若干
傾斜させる。
を誤検出することなく確実に検出する鋼帯のエッジ疵検
出装置を提供することにある。 【解決手段】 レーザ照射部２からレーザ光を通板され
る鋼帯に照射し、反射された拡散反射光を受光部３によ
り検出して鋼帯のエッジ疵を検知する拡散反射式レーザ
センサ１のレーザ照射角を鋼帯の水平方向に対して若干
傾斜させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、鋼帯の熱延や搬送等の
工程で発生するカキ疵やヘゲ疵と称せられる鋼帯のエッ
ジ疵を検出する鋼帯のエッジ疵検出装置に関するもので
ある。
工程で発生するカキ疵やヘゲ疵と称せられる鋼帯のエッ
ジ疵を検出する鋼帯のエッジ疵検出装置に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】従来、鋼帯の熱延や搬送等の工程で生じ
るカキ疵やヘゲ疵等のエッジ疵は冷間圧延処理により１
０倍以上に拡大されることとなり、このエッジ疵のある
鋼帯を焼鈍ラインに送り込むと鋼帯が焼鈍炉内で破断し
たり、エッジ疵によりロールが傷つくという問題があっ
た。そこで冷間圧延処理後、拡散反射式レーザセンサに
よりエッジ疵を検出して事故原因となるエッジ疵のある
鋼帯を排除していた。ところが、拡散反射式レーザセン
サのレーザ照射角は鋼帯の水平方向と一致させていたた
め、鋼帯エッジに耳波という波打ち模様が生じると、拡
散反射成分を検出する拡散反射式レーザセンサの受光部
に正反射成分が入射して光量オーバとなり、鋼帯にエッ
ジ疵がないにも拘らずエッジ疵ありの信号を出力する誤
検出を起こすという問題があった。
るカキ疵やヘゲ疵等のエッジ疵は冷間圧延処理により１
０倍以上に拡大されることとなり、このエッジ疵のある
鋼帯を焼鈍ラインに送り込むと鋼帯が焼鈍炉内で破断し
たり、エッジ疵によりロールが傷つくという問題があっ
た。そこで冷間圧延処理後、拡散反射式レーザセンサに
よりエッジ疵を検出して事故原因となるエッジ疵のある
鋼帯を排除していた。ところが、拡散反射式レーザセン
サのレーザ照射角は鋼帯の水平方向と一致させていたた
め、鋼帯エッジに耳波という波打ち模様が生じると、拡
散反射成分を検出する拡散反射式レーザセンサの受光部
に正反射成分が入射して光量オーバとなり、鋼帯にエッ
ジ疵がないにも拘らずエッジ疵ありの信号を出力する誤
検出を起こすという問題があった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は前記の
ような問題を解決し、エッジ部に波打ち模様のある鋼帯
のエッジ疵を誤検出することなく確実に検出する鋼帯の
エッジ疵検出装置を提供することにある。
ような問題を解決し、エッジ部に波打ち模様のある鋼帯
のエッジ疵を誤検出することなく確実に検出する鋼帯の
エッジ疵検出装置を提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、レーザ照射部
からレーザ光を通板される鋼帯に照射し、反射された拡
散反射光を受光部により検出して鋼帯のエッジ疵を検知
する拡散反射式レーザセンサのレーザ照射角を鋼帯の水
平方向に対して若干傾斜させたことを特徴とするもので
ある。
からレーザ光を通板される鋼帯に照射し、反射された拡
散反射光を受光部により検出して鋼帯のエッジ疵を検知
する拡散反射式レーザセンサのレーザ照射角を鋼帯の水
平方向に対して若干傾斜させたことを特徴とするもので
ある。
【０００５】
【作用】本発明の鋼帯のエッジ疵検出装置は、拡散反射
式レーザセンサのレーザ照射部からレーザ光を通板され
る鋼帯に照射し、鋼帯から反射された拡散反射光を拡散
反射式レーザセンサの受光部により検出して鋼帯のエッ
ジ疵を検知するものであるが、鋼帯のエッジ部に耳波と
称せられる波打ち模様が生じている場合、レーザ照射部
から照射されたレーザ光の正反射成分が直接受光部に入
射して誤検出を生じる恐れがあるため、拡散反射式レー
ザセンサのレーザ照射角は鋼帯の水平方向に対して若干
傾斜させているので、鋼帯の波打ち模様の傾斜角によっ
てレーザ照射部から照射されたレーザ光が受光部へ直接
正反射成分が入射されることはなく、エッジ疵を誤検出
を低減できることとなる。
式レーザセンサのレーザ照射部からレーザ光を通板され
る鋼帯に照射し、鋼帯から反射された拡散反射光を拡散
反射式レーザセンサの受光部により検出して鋼帯のエッ
ジ疵を検知するものであるが、鋼帯のエッジ部に耳波と
称せられる波打ち模様が生じている場合、レーザ照射部
から照射されたレーザ光の正反射成分が直接受光部に入
射して誤検出を生じる恐れがあるため、拡散反射式レー
ザセンサのレーザ照射角は鋼帯の水平方向に対して若干
傾斜させているので、鋼帯の波打ち模様の傾斜角によっ
てレーザ照射部から照射されたレーザ光が受光部へ直接
正反射成分が入射されることはなく、エッジ疵を誤検出
を低減できることとなる。
【０００６】
【実施例】次に、本発明を図１に示される実施例に基づ
いて詳細に説明する。１は鋼帯のエッジ疵を検出する拡
散反射式レーザセンサであり、該拡散反射式レーザセン
サ１はレーザ照射部２と拡散反射光を受光する受光部３
とが設けられており、レーザ照射部２のレーザ照射角は
鋼帯の水平方向に対して約１０°傾斜されている。これ
は鋼帯のエッジ部に耳波と称せられる波打ち模様が生じ
ると、レーザ照射部２から照射されたレーザ光の正反射
成分が直接受光部３に入射して起こす誤検出を防止する
ためであり、５〜２０°傾斜させることにより、一般的
に鋼帯に生じる波打ち模様による傾斜角に対して正反射
成分の入射を抑えることができる。４は拡散反射式レー
ザセンサ１と隣接して設けられた鋼帯の水切り用エアブ
ロー装置、５は拡散反射式レーザセンサ１からの疵信号
に基づいてエッジ疵を撮影するＣＣＤカメラ等のエッジ
疵撮影機、６はエッジ疵撮影機５の撮影用光源である。
いて詳細に説明する。１は鋼帯のエッジ疵を検出する拡
散反射式レーザセンサであり、該拡散反射式レーザセン
サ１はレーザ照射部２と拡散反射光を受光する受光部３
とが設けられており、レーザ照射部２のレーザ照射角は
鋼帯の水平方向に対して約１０°傾斜されている。これ
は鋼帯のエッジ部に耳波と称せられる波打ち模様が生じ
ると、レーザ照射部２から照射されたレーザ光の正反射
成分が直接受光部３に入射して起こす誤検出を防止する
ためであり、５〜２０°傾斜させることにより、一般的
に鋼帯に生じる波打ち模様による傾斜角に対して正反射
成分の入射を抑えることができる。４は拡散反射式レー
ザセンサ１と隣接して設けられた鋼帯の水切り用エアブ
ロー装置、５は拡散反射式レーザセンサ１からの疵信号
に基づいてエッジ疵を撮影するＣＣＤカメラ等のエッジ
疵撮影機、６はエッジ疵撮影機５の撮影用光源である。
【０００７】７は拡散反射式レーザセンサ１を鋼帯のエ
ッジ部に沿ってトレースさせる鋼帯エッジ追従装置であ
り、該鋼帯エッジ追従装置７は拡散反射式レーザセンサ
１を装着した摺動体８をエッジ部の動きに合わせて摺動
させる駆動機構９と、前記摺動体８に装着された鋼帯エ
ッジ検出機構１０とよりなるもので、該鋼帯エッジ検出
装置１０はエッジ部を撮影するＣＣＤカメラ１０ａの撮
像を２値化し、その２値化データから鋼帯のエッジ端縁
とＣＣＤカメラ１０ａの撮像中心とのずれ量を検出し、
そのずれ量に基づいて駆動機構９を作動させることによ
りＣＣＤカメラ１０ａの撮像中心とエッジ端縁とが一致
するように調整するものである。また、前記摺動体８に
は前記エッジ疵撮影機５と水切り用エアブロー装置４が
取り付けられている。１１はエッジ疵撮影機５の映像の
モニタ用ディスプレイである。
ッジ部に沿ってトレースさせる鋼帯エッジ追従装置であ
り、該鋼帯エッジ追従装置７は拡散反射式レーザセンサ
１を装着した摺動体８をエッジ部の動きに合わせて摺動
させる駆動機構９と、前記摺動体８に装着された鋼帯エ
ッジ検出機構１０とよりなるもので、該鋼帯エッジ検出
装置１０はエッジ部を撮影するＣＣＤカメラ１０ａの撮
像を２値化し、その２値化データから鋼帯のエッジ端縁
とＣＣＤカメラ１０ａの撮像中心とのずれ量を検出し、
そのずれ量に基づいて駆動機構９を作動させることによ
りＣＣＤカメラ１０ａの撮像中心とエッジ端縁とが一致
するように調整するものである。また、前記摺動体８に
は前記エッジ疵撮影機５と水切り用エアブロー装置４が
取り付けられている。１１はエッジ疵撮影機５の映像の
モニタ用ディスプレイである。
【０００８】このように構成されたものにおいては、冷
間圧延された鋼帯のエッジ部は鋼帯エッジ追従装置７の
摺動体８に装着された鋼帯エッジ検出機構１０のＣＣＤ
カメラ１０ａにより撮影される。ＣＣＤカメラ１０ａの
撮影は２値化され、その２値化データから鋼帯のエッジ
端縁とＣＣＤカメラ１０ａの中心からのずれ量を鋼帯エ
ッジ検出機構１０は検出する。そして、ＣＣＤカメラ１
０ａの中心がエッジ端縁と一致していなければ、鋼帯エ
ッジ検出機構１０の検出ずれ量に基づいて鋼帯エッジ追
従装置７の駆動機構９は作動して、摺動体８の位置修正
を行いＣＣＤカメラ１０ａの中心をエッジ端縁と一致さ
せる。このように鋼帯エッジ検出機構１０のずれ量検出
に基づいて鋼帯エッジ追従装置７は左右に揺れている鋼
帯のエッジ部をトレースし、拡散反射式レーザセンサ１
が常に鋼帯のエッジ部に位置するようにしている。そし
て、鋼帯エッジ部をトレースする拡散反射式レーザセン
サ１のレーザ照射部２は水切り用エアブロー装置４によ
り水切りされた鋼帯のエッジ部にレーザ光を照射するこ
ととなる。水切り効果を高めるには、エアブローは鋼帯
の端部付近で鋼帯の巾方向外向きにするのが好ましい。
間圧延された鋼帯のエッジ部は鋼帯エッジ追従装置７の
摺動体８に装着された鋼帯エッジ検出機構１０のＣＣＤ
カメラ１０ａにより撮影される。ＣＣＤカメラ１０ａの
撮影は２値化され、その２値化データから鋼帯のエッジ
端縁とＣＣＤカメラ１０ａの中心からのずれ量を鋼帯エ
ッジ検出機構１０は検出する。そして、ＣＣＤカメラ１
０ａの中心がエッジ端縁と一致していなければ、鋼帯エ
ッジ検出機構１０の検出ずれ量に基づいて鋼帯エッジ追
従装置７の駆動機構９は作動して、摺動体８の位置修正
を行いＣＣＤカメラ１０ａの中心をエッジ端縁と一致さ
せる。このように鋼帯エッジ検出機構１０のずれ量検出
に基づいて鋼帯エッジ追従装置７は左右に揺れている鋼
帯のエッジ部をトレースし、拡散反射式レーザセンサ１
が常に鋼帯のエッジ部に位置するようにしている。そし
て、鋼帯エッジ部をトレースする拡散反射式レーザセン
サ１のレーザ照射部２は水切り用エアブロー装置４によ
り水切りされた鋼帯のエッジ部にレーザ光を照射するこ
ととなる。水切り効果を高めるには、エアブローは鋼帯
の端部付近で鋼帯の巾方向外向きにするのが好ましい。
【０００９】このレーザ照射光は鋼帯表面で拡散反射し
て拡散反射式レーザセンサ１の受光部３に入射し、入射
光量が検出されることなる。この光量レベルに応じてエ
ッジ疵の有無が判定される。すなわち、入射光量が基準
値レベルであればエッジ疵はないと判定され、検出光量
が基準値レベルを越えていれば、カキ疵やヘゲ疵等のエ
ッジ疵が生じていることが検知できることとなる。ま
た、このレーザ光の照射角は鋼帯の水平方向に対して約
１０°傾斜しているので、一般的に鋼帯に生じる波打ち
模様の傾斜角によって受光部３にレーザ光の正反射成分
が入射されることはなく、正反射成分による光量オーバ
によってエッジ疵がないにも拘らずエッジ疵ありの誤検
出を行うことがないものである。このようにしてエッジ
疵のみが確実に検出されると、拡散反射式レーザセンサ
１からの検出信号によりエッジ疵撮影機５の撮像がメモ
リに取り込まれ、モニタのディスプレイ１１に表示され
るので作業員は、この映像に基づいて鋼帯の疵レベルの
判定を行い排除するか否かの判断を下すこととなる。な
お、実施例ではレーザ照射角を約１０°としているが、
鋼帯の波打ち模様の度合いによってレーザ照射角を５〜
２０°の範囲内で変えてもよいことは言うまでもない。
て拡散反射式レーザセンサ１の受光部３に入射し、入射
光量が検出されることなる。この光量レベルに応じてエ
ッジ疵の有無が判定される。すなわち、入射光量が基準
値レベルであればエッジ疵はないと判定され、検出光量
が基準値レベルを越えていれば、カキ疵やヘゲ疵等のエ
ッジ疵が生じていることが検知できることとなる。ま
た、このレーザ光の照射角は鋼帯の水平方向に対して約
１０°傾斜しているので、一般的に鋼帯に生じる波打ち
模様の傾斜角によって受光部３にレーザ光の正反射成分
が入射されることはなく、正反射成分による光量オーバ
によってエッジ疵がないにも拘らずエッジ疵ありの誤検
出を行うことがないものである。このようにしてエッジ
疵のみが確実に検出されると、拡散反射式レーザセンサ
１からの検出信号によりエッジ疵撮影機５の撮像がメモ
リに取り込まれ、モニタのディスプレイ１１に表示され
るので作業員は、この映像に基づいて鋼帯の疵レベルの
判定を行い排除するか否かの判断を下すこととなる。な
お、実施例ではレーザ照射角を約１０°としているが、
鋼帯の波打ち模様の度合いによってレーザ照射角を５〜
２０°の範囲内で変えてもよいことは言うまでもない。
【００１０】
【発明の効果】本発明は前記説明によって明らかなよう
に、拡散反射式レーザセンサのレーザ照射角を鋼帯の水
平方向に対して若干傾斜させることにより、鋼帯のエッ
ジ部に発生する波打ち模様によってレーザ光の正反射成
分が拡散反射式レーザセンサの受光部に入射されること
を的確に防止しているので、正反射成分による光量オー
バによって発生するエッジ疵の誤検出を確実に防止でき
ることとなり、誤検出による鋼帯の排除や、格落ちラン
クの誤判断及び誤検出を防ぐための作業員のモニタリン
グ作業が軽減される等の多くの利点を有するものであ
る。従って、本発明は従来の問題点を解決した鋼帯のエ
ッジ疵検出装置として業界の発展に寄与するところ極め
て大なものである。
に、拡散反射式レーザセンサのレーザ照射角を鋼帯の水
平方向に対して若干傾斜させることにより、鋼帯のエッ
ジ部に発生する波打ち模様によってレーザ光の正反射成
分が拡散反射式レーザセンサの受光部に入射されること
を的確に防止しているので、正反射成分による光量オー
バによって発生するエッジ疵の誤検出を確実に防止でき
ることとなり、誤検出による鋼帯の排除や、格落ちラン
クの誤判断及び誤検出を防ぐための作業員のモニタリン
グ作業が軽減される等の多くの利点を有するものであ
る。従って、本発明は従来の問題点を解決した鋼帯のエ
ッジ疵検出装置として業界の発展に寄与するところ極め
て大なものである。
【図１】本発明の実施例を示す斜視図である。
１ 拡散反射式レーザセンサ ２ レーザ照射部 ３ 受光部 ７ 鋼帯エッジ追従装置 ９ 駆動機構 10 鋼帯エッジ検出機構
Claims (6)
- 【請求項１】 レーザ照射部からレーザ光を通板される
鋼帯に照射し、反射された拡散反射光を受光部により検
出して鋼帯のエッジ疵を検知する拡散反射式レーザセン
サのレーザ照射角を鋼帯の水平方向に対して若干傾斜さ
せたことを特徴とする鋼帯のエッジ疵検出装置。 - 【請求項２】 レーザ照射角が鋼帯の水平方向に対して
５〜２０°傾斜している請求項１に記載の鋼帯のエッジ
疵検出装置。 - 【請求項３】 鋼帯エッジ追従装置により拡散反射式レ
ーザセンサを鋼帯エッジに追従させる請求項１または２
に記載の鋼帯のエッジ疵検出装置。 - 【請求項４】 鋼帯エッジ追従装置が鋼帯エッジ検出機
構と該鋼帯エッジ検出機構の検出信号に基づいて拡散反
射式レーザセンサを移動させる駆動機構とよりなる請求
項３に記載の鋼帯のエッジ疵検出装置。 - 【請求項５】 拡散反射式レーザセンサからの疵信号に
基づいてエッジ疵を撮影するエッジ疵撮影機を有する請
求項１ないし４のいずれかに記載の鋼帯のエッジ疵検出
装置。 - 【請求項６】 エッジ疵撮影機がエッジ疵像のメモリー
機能を有する請求項５に記載の鋼帯のエッジ疵検出装置
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22925395A JPH0972858A (ja) | 1995-09-06 | 1995-09-06 | 鋼帯のエッジ疵検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22925395A JPH0972858A (ja) | 1995-09-06 | 1995-09-06 | 鋼帯のエッジ疵検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0972858A true JPH0972858A (ja) | 1997-03-18 |
Family
ID=16889219
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22925395A Withdrawn JPH0972858A (ja) | 1995-09-06 | 1995-09-06 | 鋼帯のエッジ疵検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0972858A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009011417A1 (ja) * | 2007-07-18 | 2009-01-22 | Nikon Corporation | 検査装置および検査方法 |
| JP2011209041A (ja) * | 2010-03-29 | 2011-10-20 | Nippon Steel Corp | 表面検査装置および表面検査方法 |
| JP2020003469A (ja) * | 2018-06-29 | 2020-01-09 | キヤノントッキ株式会社 | 基板検査システム、電子デバイスの製造装置、基板検査方法、及び電子デバイスの製造方法 |
-
1995
- 1995-09-06 JP JP22925395A patent/JPH0972858A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009011417A1 (ja) * | 2007-07-18 | 2009-01-22 | Nikon Corporation | 検査装置および検査方法 |
| JP2011209041A (ja) * | 2010-03-29 | 2011-10-20 | Nippon Steel Corp | 表面検査装置および表面検査方法 |
| JP2020003469A (ja) * | 2018-06-29 | 2020-01-09 | キヤノントッキ株式会社 | 基板検査システム、電子デバイスの製造装置、基板検査方法、及び電子デバイスの製造方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20021203 |