JPH0970731A - 搬送ステージ - Google Patents
搬送ステージInfo
- Publication number
- JPH0970731A JPH0970731A JP25445995A JP25445995A JPH0970731A JP H0970731 A JPH0970731 A JP H0970731A JP 25445995 A JP25445995 A JP 25445995A JP 25445995 A JP25445995 A JP 25445995A JP H0970731 A JPH0970731 A JP H0970731A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- strip
- meandering
- roller
- suction table
- shaped work
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Feeding Of Workpieces (AREA)
- Rollers For Roller Conveyors For Transfer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】帯状ワークにパーコレーションホールを形成す
る必要がなく、また大きなテンションをかけずに簡単な
構造で精度良く位置決めすることが可能な搬送ステージ
を提供する。 【解決手段】帯状ワークWの両端縁を挟圧し、回転量検
出器22が取り付けられたドライブローラ2、およびブ
レーキローラ3とからなる搬送装置と、帯状ワークの正
規の搬送路の縁端部に配置され、受光素子の受光の有無
もしくは受光素子の受光量から帯状ワークの正規の搬送
路からの偏位を検出する蛇行検出部5と、帯状ワークの
搬送路と直角方向に移動可能に配置され、蛇行検出部の
信号に基づいて、帯状ワークの縁端部を把持して、帯状
ワークを正規の搬送路に移動させる蛇行修正ユニット4
とで構成する。
る必要がなく、また大きなテンションをかけずに簡単な
構造で精度良く位置決めすることが可能な搬送ステージ
を提供する。 【解決手段】帯状ワークWの両端縁を挟圧し、回転量検
出器22が取り付けられたドライブローラ2、およびブ
レーキローラ3とからなる搬送装置と、帯状ワークの正
規の搬送路の縁端部に配置され、受光素子の受光の有無
もしくは受光素子の受光量から帯状ワークの正規の搬送
路からの偏位を検出する蛇行検出部5と、帯状ワークの
搬送路と直角方向に移動可能に配置され、蛇行検出部の
信号に基づいて、帯状ワークの縁端部を把持して、帯状
ワークを正規の搬送路に移動させる蛇行修正ユニット4
とで構成する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、搬送された薄い帯状ワ
ークを位置決めして吸着テーブルに吸着し、露光などの
処理を行なうための搬送ステージに関するものである。
ークを位置決めして吸着テーブルに吸着し、露光などの
処理を行なうための搬送ステージに関するものである。
【0002】
【従来の技術】薄い帯状ワーク、例えばロール状に巻か
れた厚さが20μm程度のステンレス板などを露光する
露光装置においては、前記ワークをリールなどから引き
出して搬送し、位置決めして吸着テーブルに吸着し、紫
外線を含む光をレジストが塗布された帯状ワーク上に照
射してパターンを形成する処理が行なわれる。つまり、
帯状ワークを所定の露光区域ごとに露光する露光装置に
使用される搬送ステージは、帯状ワークの搬送装置と位
置決め機構および吸着テーブルからなる。
れた厚さが20μm程度のステンレス板などを露光する
露光装置においては、前記ワークをリールなどから引き
出して搬送し、位置決めして吸着テーブルに吸着し、紫
外線を含む光をレジストが塗布された帯状ワーク上に照
射してパターンを形成する処理が行なわれる。つまり、
帯状ワークを所定の露光区域ごとに露光する露光装置に
使用される搬送ステージは、帯状ワークの搬送装置と位
置決め機構および吸着テーブルからなる。
【0003】かかる搬送ステージにおいて、帯状ワーク
をテンションをかけずに搬送する場合は、一般的にはス
プロケットを使用して搬送と位置決めを行なうことが多
い。つまり、映写フイルムのように、帯状ワークの両端
縁にパーコレーションホールを形成し、このホールに係
合したスプロケットを所定数回転させて帯状ワークを搬
送し、位置決めを行なう。
をテンションをかけずに搬送する場合は、一般的にはス
プロケットを使用して搬送と位置決めを行なうことが多
い。つまり、映写フイルムのように、帯状ワークの両端
縁にパーコレーションホールを形成し、このホールに係
合したスプロケットを所定数回転させて帯状ワークを搬
送し、位置決めを行なう。
【0004】または、吸着テーブルにパーコレーション
ホールに係合する複数本のピンを立設し、吸着テーブル
上に搬送された帯状ワークを少し下降させてピンをパー
コレーションホールに係合させて位置決めする。
ホールに係合する複数本のピンを立設し、吸着テーブル
上に搬送された帯状ワークを少し下降させてピンをパー
コレーションホールに係合させて位置決めする。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかし、これらの方法
では、帯状ワークにパーコレーションホールを形成する
必要がある上に、スプロケット方式では、構造が簡単で
はあるが、パーコレーションホールとスプロケットの係
合にガタツキがあるために位置決め精度は±50μm程
度であり、あまり良くない。また、ピン方式は、位置決
め精度はスプロケット方式よりも優れ、±5μm程度の
位置決め精度が得られるが、構造が複雑であり、ピンが
パーコレーションホールに係合するときにパーコレーシ
ョンホールを傷つける不具合がある。
では、帯状ワークにパーコレーションホールを形成する
必要がある上に、スプロケット方式では、構造が簡単で
はあるが、パーコレーションホールとスプロケットの係
合にガタツキがあるために位置決め精度は±50μm程
度であり、あまり良くない。また、ピン方式は、位置決
め精度はスプロケット方式よりも優れ、±5μm程度の
位置決め精度が得られるが、構造が複雑であり、ピンが
パーコレーションホールに係合するときにパーコレーシ
ョンホールを傷つける不具合がある。
【0006】更には、帯状ワークにパーコレーションホ
ールを形成することなく、帯状ワークにテンションをか
けて搬送することも行なわれるが、テンションによって
帯状ワークが変形し易く、また、搬送用のローラが帯状
ワークの表面全体に触れるので、パターン形成に悪影響
を及ぼすことがある。
ールを形成することなく、帯状ワークにテンションをか
けて搬送することも行なわれるが、テンションによって
帯状ワークが変形し易く、また、搬送用のローラが帯状
ワークの表面全体に触れるので、パターン形成に悪影響
を及ぼすことがある。
【0007】そこで本発明は、テンションをかけないに
もかかわらず帯状ワークにパーコレーションホールを形
成する必要がなく、簡単な構造で精度良く位置決めする
ことが可能な搬送ステージを提供することを目的とす
る。
もかかわらず帯状ワークにパーコレーションホールを形
成する必要がなく、簡単な構造で精度良く位置決めする
ことが可能な搬送ステージを提供することを目的とす
る。
【0008】
【課題を解決するための手段】かかる目的を達成するた
めに、請求項1の発明は、搬送された薄い帯状ワークを
位置決めし、吸着テーブルに吸着して露光などの処理を
行なうための搬送ステージを、吸着テーブルの下流側に
配置されて帯状ワークの両端縁を挟圧し、回転量検出器
が取り付けられた帯状ワーク駆動用のドライブローラと
その押えローラ、および上流側に配置されて帯状ワーク
の両端縁を挟圧する波打ち防止用のブレーキローラとそ
の押えローラとからなる搬送装置と、発光素子と受光素
子からなり、吸着テーブルの上流側および下流側におい
て帯状ワークの正規の搬送路の縁端部に配置され、受光
素子の受光量から帯状ワークの正規の搬送路からの偏位
量を検出する蛇行検出部と、吸着テーブルの上流側およ
び下流側において帯状ワークの搬送路と直角方向に移動
可能に配置され、蛇行検出部の信号に基づいて、帯状ワ
ークの縁端部を把持して、帯状ワークを正規の搬送路に
移動させる蛇行修正ユニットとで構成する。
めに、請求項1の発明は、搬送された薄い帯状ワークを
位置決めし、吸着テーブルに吸着して露光などの処理を
行なうための搬送ステージを、吸着テーブルの下流側に
配置されて帯状ワークの両端縁を挟圧し、回転量検出器
が取り付けられた帯状ワーク駆動用のドライブローラと
その押えローラ、および上流側に配置されて帯状ワーク
の両端縁を挟圧する波打ち防止用のブレーキローラとそ
の押えローラとからなる搬送装置と、発光素子と受光素
子からなり、吸着テーブルの上流側および下流側におい
て帯状ワークの正規の搬送路の縁端部に配置され、受光
素子の受光量から帯状ワークの正規の搬送路からの偏位
量を検出する蛇行検出部と、吸着テーブルの上流側およ
び下流側において帯状ワークの搬送路と直角方向に移動
可能に配置され、蛇行検出部の信号に基づいて、帯状ワ
ークの縁端部を把持して、帯状ワークを正規の搬送路に
移動させる蛇行修正ユニットとで構成する。
【0009】請求項2の発明は、蛇行検出部として、一
対の発光素子と受光素子からなる2個の蛇行検出センサ
ーを、それぞれ吸着テーブルの上流側および下流側にお
いて、帯状ワークの正規の搬送路の一方の縁端部の内側
と外側に蛇行許容量だけ離間して配置し、合計4個の受
光素子の受光と遮光の状態から帯状ワークの蛇行を検出
し、蛇行が検出されると蛇行修正ユニットが帯状ワーク
の縁端部を把持して、帯状ワークを正規の搬送路に移動
させるようにする。
対の発光素子と受光素子からなる2個の蛇行検出センサ
ーを、それぞれ吸着テーブルの上流側および下流側にお
いて、帯状ワークの正規の搬送路の一方の縁端部の内側
と外側に蛇行許容量だけ離間して配置し、合計4個の受
光素子の受光と遮光の状態から帯状ワークの蛇行を検出
し、蛇行が検出されると蛇行修正ユニットが帯状ワーク
の縁端部を把持して、帯状ワークを正規の搬送路に移動
させるようにする。
【0010】請求項3の発明は、請求項1または請求項
2の発明において、ブレーキローラにも回転量検出器を
取り付け、ドライブローラが所定量回転して搬送が終了
した時に、ブレーキローラの回転量がドライブローラの
回転量より小さいときは、その差だけドライブローラを
更に回転させる。
2の発明において、ブレーキローラにも回転量検出器を
取り付け、ドライブローラが所定量回転して搬送が終了
した時に、ブレーキローラの回転量がドライブローラの
回転量より小さいときは、その差だけドライブローラを
更に回転させる。
【0011】
【作用】請求項1と請求項2の発明は、帯状ワークの搬
送装置が、吸着テーブルの下流側に配置されて帯状ワー
クの両端縁を挟圧する帯状ワーク駆動用のドライブロー
ラとその押えローラ、および上流側に配置されて帯状ワ
ークの両端縁を挟圧する波打ち防止用のブレーキローラ
とその押えローラとからなるので、帯状ワークにテンシ
ョンをかけることなく、またパーコレーションホールを
形成することなく搬送することができる。そして、ドラ
イブローラに回転量検出器が取り付けられているので、
その回転量で帯状ワークの進行方向の位置決めを行な
い、蛇行検出部の信号に基づいて作動する蛇行修正ユニ
ットによって帯状ワークの進行方向と直角方向の位置決
めを行うので、正確に位置決めすることができる。
送装置が、吸着テーブルの下流側に配置されて帯状ワー
クの両端縁を挟圧する帯状ワーク駆動用のドライブロー
ラとその押えローラ、および上流側に配置されて帯状ワ
ークの両端縁を挟圧する波打ち防止用のブレーキローラ
とその押えローラとからなるので、帯状ワークにテンシ
ョンをかけることなく、またパーコレーションホールを
形成することなく搬送することができる。そして、ドラ
イブローラに回転量検出器が取り付けられているので、
その回転量で帯状ワークの進行方向の位置決めを行な
い、蛇行検出部の信号に基づいて作動する蛇行修正ユニ
ットによって帯状ワークの進行方向と直角方向の位置決
めを行うので、正確に位置決めすることができる。
【0012】更には、請求項3の発明は、帯状ワークと
ドライブローラの間にスリップか生じて帯状ワークの進
行が遅れても、ブレーキローラの回転量とドライブロー
ラの所定の回転量の差だけドライブローラが更に回転す
るので、この遅れを補償することができ、より正確に位
置決めすることができる。
ドライブローラの間にスリップか生じて帯状ワークの進
行が遅れても、ブレーキローラの回転量とドライブロー
ラの所定の回転量の差だけドライブローラが更に回転す
るので、この遅れを補償することができ、より正確に位
置決めすることができる。
【0013】
【実施例】以下に図面に基づいて第1実施例を具体的に
説明する。図1は、帯状ワークを所定の露光区域ごとに
露光する露光装置に置ける搬送ステージを示すが、図1
において、基板11の中央に吸着テーブル1が配置され
ている。吸着テーブル1は、その表面に多数の吸着孔が
形成されており、矢印の方向に搬送された帯状ワークW
が正確に位置決めされると吸着孔で吸着し、吸着テーブ
ル1上に配置された図示略の光源ランプから紫外線を含
む光をパターンが形成されている図示略のマスクなどを
介してレジストが塗布された帯状ワークW上に照射して
パターンを形成する処理が行なわれるようになってい
る。
説明する。図1は、帯状ワークを所定の露光区域ごとに
露光する露光装置に置ける搬送ステージを示すが、図1
において、基板11の中央に吸着テーブル1が配置され
ている。吸着テーブル1は、その表面に多数の吸着孔が
形成されており、矢印の方向に搬送された帯状ワークW
が正確に位置決めされると吸着孔で吸着し、吸着テーブ
ル1上に配置された図示略の光源ランプから紫外線を含
む光をパターンが形成されている図示略のマスクなどを
介してレジストが塗布された帯状ワークW上に照射して
パターンを形成する処理が行なわれるようになってい
る。
【0014】吸着テーブル1の下流側には、帯状ワーク
Wを駆動するドライブローラ2が配置され、上流側には
駆動される帯状ワークWにブレーキをかけて波打ちを防
止するブレーキローラ3が配置されており、ドライブロ
ーラ2とブレーキローラ3およびその付属装置で搬送装
置を構成している。ドライブローラ2およびブレーキロ
ーラ3のレベルは吸着テーブル1のレベルよりもやや低
くなっている。帯状ワークWを搬送する際は、吸着テー
ブル1に形成された吸着孔よりエアーを吹き出し、搬送
中に帯状ワークWの裏面が吸着テーブル1と擦れて傷が
つくことのないようにする。このように、ドライブロー
ラ2の駆動力によって搬送するので、帯状ワークWの両
端縁にパーコレーションホールを形成する必要がなく、
しかも帯状ワークWに大きなテンションをかけることな
く搬送することができる。
Wを駆動するドライブローラ2が配置され、上流側には
駆動される帯状ワークWにブレーキをかけて波打ちを防
止するブレーキローラ3が配置されており、ドライブロ
ーラ2とブレーキローラ3およびその付属装置で搬送装
置を構成している。ドライブローラ2およびブレーキロ
ーラ3のレベルは吸着テーブル1のレベルよりもやや低
くなっている。帯状ワークWを搬送する際は、吸着テー
ブル1に形成された吸着孔よりエアーを吹き出し、搬送
中に帯状ワークWの裏面が吸着テーブル1と擦れて傷が
つくことのないようにする。このように、ドライブロー
ラ2の駆動力によって搬送するので、帯状ワークWの両
端縁にパーコレーションホールを形成する必要がなく、
しかも帯状ワークWに大きなテンションをかけることな
く搬送することができる。
【0015】ドライブローラ2はドライブ軸24の両端
に取り付けられ、ドライブ軸24はドライブローラ2の
回転量を制御して帯状ワークWの進行方向の位置を定め
る回転量検出器であるエンコーダ22が接続されたモー
タ21で駆動される。そして、ドライブローラ2,2上
には押えローラ23,23が上下動可能に配置されてお
り、押えローラ23,23が下降して回転するドライブ
ローラ2に帯状ワークW両端の露光されない部分を押し
付けて駆動する。
に取り付けられ、ドライブ軸24はドライブローラ2の
回転量を制御して帯状ワークWの進行方向の位置を定め
る回転量検出器であるエンコーダ22が接続されたモー
タ21で駆動される。そして、ドライブローラ2,2上
には押えローラ23,23が上下動可能に配置されてお
り、押えローラ23,23が下降して回転するドライブ
ローラ2に帯状ワークW両端の露光されない部分を押し
付けて駆動する。
【0016】ブレーキローラ3はブレーキ軸34の両端
に取り付けられ、ブレーキ軸34は、ベアリングに圧縮
スプリングによって適度の予圧をかけてベアリングの回
転を抑制することによってブレーキ効果を持たせた回転
抑制機31に接続されている。また、回転抑制機31に
は、回転量検出器であるエンコーダ32が接続されてい
る。このエンコーダ32は必ずしも必要ではないが、エ
ンコーダ32を取り付けることにより、後に説明するよ
うに、帯状ワークWの進行方向の位置精度を上げること
ができる。そして、ブレーキローラ3,3上には押えロ
ーラ33,33が上下動可能に配置されており、押えロ
ーラ33,33が下降してブレーキローラ3に帯状ワー
クW両端の露光されない部分を押し付けて駆動される帯
状ワークWにブレーキをかけ、波打ちを防止する。
に取り付けられ、ブレーキ軸34は、ベアリングに圧縮
スプリングによって適度の予圧をかけてベアリングの回
転を抑制することによってブレーキ効果を持たせた回転
抑制機31に接続されている。また、回転抑制機31に
は、回転量検出器であるエンコーダ32が接続されてい
る。このエンコーダ32は必ずしも必要ではないが、エ
ンコーダ32を取り付けることにより、後に説明するよ
うに、帯状ワークWの進行方向の位置精度を上げること
ができる。そして、ブレーキローラ3,3上には押えロ
ーラ33,33が上下動可能に配置されており、押えロ
ーラ33,33が下降してブレーキローラ3に帯状ワー
クW両端の露光されない部分を押し付けて駆動される帯
状ワークWにブレーキをかけ、波打ちを防止する。
【0017】帯状ワークWが正規の搬送路の進行方向と
直角方向に偏位していると、つまり帯状ワークWが蛇行
していると、帯状ワークWの縁端部を把持して正規の搬
送路に移動させる蛇行修正ユニット4が、吸着テーブル
1の上流側と下流側に配置されている。蛇行修正ユニッ
ト4の移動盤42は、回転量検出器であるエンコーダ4
4が接続されたモータ43によって帯状ワークWの搬送
路の進行方向と直角方向に駆動される。そして、移動盤
42には把持部41が立設されており、この把持部41
が帯状ワークWの縁端部をポイントで把持し、次に説明
する蛇行検出部5の信号によって正規の搬送路に移動さ
せる。
直角方向に偏位していると、つまり帯状ワークWが蛇行
していると、帯状ワークWの縁端部を把持して正規の搬
送路に移動させる蛇行修正ユニット4が、吸着テーブル
1の上流側と下流側に配置されている。蛇行修正ユニッ
ト4の移動盤42は、回転量検出器であるエンコーダ4
4が接続されたモータ43によって帯状ワークWの搬送
路の進行方向と直角方向に駆動される。そして、移動盤
42には把持部41が立設されており、この把持部41
が帯状ワークWの縁端部をポイントで把持し、次に説明
する蛇行検出部5の信号によって正規の搬送路に移動さ
せる。
【0018】蛇行検出部5は吸着テーブル1の上流側と
下流側であって帯状ワークWの正規の搬送路の一方の端
縁部に配置されている。この蛇行検出部5は、第1実施
例では、吸着テーブル1の上流側に配置された一対の発
光素子51と受光素子52、下流側に配置された一対の
発光素子53と受光素子54で構成されている。つま
り、発光素子と受光素子からなる蛇行検出センサーが吸
着テーブル1の上流側と下流側に1個づつ配置されてい
る。
下流側であって帯状ワークWの正規の搬送路の一方の端
縁部に配置されている。この蛇行検出部5は、第1実施
例では、吸着テーブル1の上流側に配置された一対の発
光素子51と受光素子52、下流側に配置された一対の
発光素子53と受光素子54で構成されている。つま
り、発光素子と受光素子からなる蛇行検出センサーが吸
着テーブル1の上流側と下流側に1個づつ配置されてい
る。
【0019】受光素子52、54の受光面積は比較的大
なものであり、帯状ワークWが正規の搬送路に位置して
いるときは、図2(A)に示すように、帯状ワークWの
端縁が受光素子52、54の中央に位置するようになっ
ている。従って、帯状ワークWが蛇行していると、図2
(B)に示すように、帯状ワークWの端縁が受光素子5
2、54の中央から偏位し、受光素子52、54の受光
量が変化するようになっている。
なものであり、帯状ワークWが正規の搬送路に位置して
いるときは、図2(A)に示すように、帯状ワークWの
端縁が受光素子52、54の中央に位置するようになっ
ている。従って、帯状ワークWが蛇行していると、図2
(B)に示すように、帯状ワークWの端縁が受光素子5
2、54の中央から偏位し、受光素子52、54の受光
量が変化するようになっている。
【0020】かかる構成の搬送ステージの動作を説明す
ると、先ず、帯状ワークWが押えローラ23、33でド
ライブローラ2およびブレーキローラ3に押し付けら
れ、ドライブローラ2が回転して吸着テーブル1上に搬
送されるが、ドライブローラ2の回転量はエンコーダ2
2で規制され、帯状ワークWの進行方向の位置が定めら
れる。
ると、先ず、帯状ワークWが押えローラ23、33でド
ライブローラ2およびブレーキローラ3に押し付けら
れ、ドライブローラ2が回転して吸着テーブル1上に搬
送されるが、ドライブローラ2の回転量はエンコーダ2
2で規制され、帯状ワークWの進行方向の位置が定めら
れる。
【0021】このとき、ブレーキローラ3にもエンコー
ダ32を取り付けておくと、帯状ワークWとドライブロ
ーラ2の間にスリップか生じて帯状ワークWの進行が遅
れても、ブレーキローラ3の回転量とドライブローラ2
の回転量の差を検出できる。従って、その差だけドライ
ブローラ2を更に回転させることによって、この遅れを
補償することができ、帯状ワークWの進行方向の位置を
より正確に定めることができる。なお、例えばブレーキ
ローラ3の回転量とドライブローラ2の回転量の差が著
しく大きいときは、搬送・露光を停止し、異常信号を発
信させたり、表示灯を点灯させたりすることも可能であ
る。
ダ32を取り付けておくと、帯状ワークWとドライブロ
ーラ2の間にスリップか生じて帯状ワークWの進行が遅
れても、ブレーキローラ3の回転量とドライブローラ2
の回転量の差を検出できる。従って、その差だけドライ
ブローラ2を更に回転させることによって、この遅れを
補償することができ、帯状ワークWの進行方向の位置を
より正確に定めることができる。なお、例えばブレーキ
ローラ3の回転量とドライブローラ2の回転量の差が著
しく大きいときは、搬送・露光を停止し、異常信号を発
信させたり、表示灯を点灯させたりすることも可能であ
る。
【0022】次に、蛇行検出部5によって帯状ワークW
の蛇行を検出するが、帯状ワークWが正規の位置にあ
り、図2(A)に示す状態であれば、つまり、受光素子
52、54の受光量が蛇行許容範囲として設定された受
光量の範囲内であれば、蛇行なしと判断する。従って、
蛇行修正ユニット4は移動せず、そのまま帯状ワークW
は吸着テーブル1に吸着される。そして、紫外線を含む
光をパターンが形成されているマスクなどを介してレジ
ストが塗布された帯状ワークW上に露光してパターンを
形成する処理が行なわれる。露光が終了すると、押えロ
ーラ23、33が再び下降して帯状ワークWをドライブ
ローラ2およびブレーキローラ3に押し付け、吸着テー
ブル1の吸着を解除してから搬送する。
の蛇行を検出するが、帯状ワークWが正規の位置にあ
り、図2(A)に示す状態であれば、つまり、受光素子
52、54の受光量が蛇行許容範囲として設定された受
光量の範囲内であれば、蛇行なしと判断する。従って、
蛇行修正ユニット4は移動せず、そのまま帯状ワークW
は吸着テーブル1に吸着される。そして、紫外線を含む
光をパターンが形成されているマスクなどを介してレジ
ストが塗布された帯状ワークW上に露光してパターンを
形成する処理が行なわれる。露光が終了すると、押えロ
ーラ23、33が再び下降して帯状ワークWをドライブ
ローラ2およびブレーキローラ3に押し付け、吸着テー
ブル1の吸着を解除してから搬送する。
【0023】しかし、帯状ワークWが蛇行して図2
(B)に示す状態にあり、受光素子52、54の受光量
が蛇行許容範囲として設定された受光量の範囲外であれ
ば、受光素子52、54の実際の受光量と蛇行許容範囲
として設定された受光量の差の信号がエンコーダ44に
入力され、この受光量の差に応じた距離だけ吸着テーブ
ル1の上流側と下流側の蛇行修正ユニット4がそれぞれ
原位置から移動し、把持部41が帯状ワークWの端縁を
把持する。そして、押えローラ23、33が上昇すると
ともに、帯状ワークWの端縁を把持した蛇行修正ユニッ
ト4が原位置に復帰する。これによって蛇行が解消さ
れ、帯状ワークWの進行方向と直角の方向の位置も正確
に定められる。しかる後に、前記のとおり吸着テーブル
1に吸着して露光を行なう。
(B)に示す状態にあり、受光素子52、54の受光量
が蛇行許容範囲として設定された受光量の範囲外であれ
ば、受光素子52、54の実際の受光量と蛇行許容範囲
として設定された受光量の差の信号がエンコーダ44に
入力され、この受光量の差に応じた距離だけ吸着テーブ
ル1の上流側と下流側の蛇行修正ユニット4がそれぞれ
原位置から移動し、把持部41が帯状ワークWの端縁を
把持する。そして、押えローラ23、33が上昇すると
ともに、帯状ワークWの端縁を把持した蛇行修正ユニッ
ト4が原位置に復帰する。これによって蛇行が解消さ
れ、帯状ワークWの進行方向と直角の方向の位置も正確
に定められる。しかる後に、前記のとおり吸着テーブル
1に吸着して露光を行なう。
【0024】次に、第2実施例を説明する。前記の第1
実施例では、発光素子と受光素子からなる蛇行検出セン
サーを吸着テーブル1の上流側と下流側に1個づつ配置
したが、第2実施例では、発光素子と受光素子からなる
蛇行検出センサーを吸着テーブル1の上流側と下流側に
2個づつ配置する。つまり、4個の蛇行検出センサーを
使用するが、受光素子は、受光面積の小さなファィバー
センサーであり、図3に示すように、帯状ワークの正規
の搬送路の一方の縁端線Lを挾んで第1内側受光素子6
1と第1外側受光素子62、第2内側受光素子63と第
2外側受光素子64がそれぞれ蛇行許容量である距離a
および距離bの間隔で配置されている。因に、距離aお
よび距離bは、200〜300μm程度である。
実施例では、発光素子と受光素子からなる蛇行検出セン
サーを吸着テーブル1の上流側と下流側に1個づつ配置
したが、第2実施例では、発光素子と受光素子からなる
蛇行検出センサーを吸着テーブル1の上流側と下流側に
2個づつ配置する。つまり、4個の蛇行検出センサーを
使用するが、受光素子は、受光面積の小さなファィバー
センサーであり、図3に示すように、帯状ワークの正規
の搬送路の一方の縁端線Lを挾んで第1内側受光素子6
1と第1外側受光素子62、第2内側受光素子63と第
2外側受光素子64がそれぞれ蛇行許容量である距離a
および距離bの間隔で配置されている。因に、距離aお
よび距離bは、200〜300μm程度である。
【0025】そして、搬送された帯状ワークWによって
第1内側受光素子61と第2内側受光素子63が遮光さ
れ、第1外側受光素子62と第2外側受光素子64が受
光した状態を「蛇行なし」と判断し、これ以外の状態を
「蛇行あり」と判断する。「蛇行なし」と判断すると、
蛇行修正ユニット4は移動せず、そのまま帯状ワークW
を吸着テーブル1に吸着して露光する。
第1内側受光素子61と第2内側受光素子63が遮光さ
れ、第1外側受光素子62と第2外側受光素子64が受
光した状態を「蛇行なし」と判断し、これ以外の状態を
「蛇行あり」と判断する。「蛇行なし」と判断すると、
蛇行修正ユニット4は移動せず、そのまま帯状ワークW
を吸着テーブル1に吸着して露光する。
【0026】「蛇行あり」と判断すると、蛇行修正ユニ
ット4が帯状ワークWの端縁部を把持して「蛇行なし」
と判断されるまで移動する。すなわち、第1内側受光素
子61および/または第2内側受光素子63が受光して
いるときは、帯状ワークWが内側に寄り過ぎているの
で、第1内側受光素子61と第2内側受光素子63が遮
光するまで外側に移動し、第1外側受光素子62および
/または第2外側受光素子64が遮光しているときは外
側に寄り過ぎているので、第1外側受光素子62と第2
外側受光素子64が受光するまで内側に移動して「蛇行
なし」の状態にする。しかる後に、帯状ワークWを吸着
テーブル1に吸着して露光する。
ット4が帯状ワークWの端縁部を把持して「蛇行なし」
と判断されるまで移動する。すなわち、第1内側受光素
子61および/または第2内側受光素子63が受光して
いるときは、帯状ワークWが内側に寄り過ぎているの
で、第1内側受光素子61と第2内側受光素子63が遮
光するまで外側に移動し、第1外側受光素子62および
/または第2外側受光素子64が遮光しているときは外
側に寄り過ぎているので、第1外側受光素子62と第2
外側受光素子64が受光するまで内側に移動して「蛇行
なし」の状態にする。しかる後に、帯状ワークWを吸着
テーブル1に吸着して露光する。
【0027】このように、発光素子と受光素子からなる
蛇行検出センサーを吸着テーブル1の上流側と下流側に
2個づつ配置する第2実施例では、蛇行検出センサーの
信号をON/OFFで制御するのでデジタル処理とな
り、蛇行検出センサーの信号の差分をアナログで処理す
る第1実施例よりも処理が簡単であり、更には、蛇行修
正後に正しく修正できたか否かを容易に確認できる利点
がある。
蛇行検出センサーを吸着テーブル1の上流側と下流側に
2個づつ配置する第2実施例では、蛇行検出センサーの
信号をON/OFFで制御するのでデジタル処理とな
り、蛇行検出センサーの信号の差分をアナログで処理す
る第1実施例よりも処理が簡単であり、更には、蛇行修
正後に正しく修正できたか否かを容易に確認できる利点
がある。
【0028】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の搬送ステ
ージは、帯状ワークの両端縁にパーコレーションホール
を形成する必要がなく、また帯状ワークに大きなテンシ
ョンをかけることなく、従って帯状ワークにダメージを
与えることなく搬送することが可能であり、しかも正確
に位置決めすることかできる。また、蛇行の修正は、蛇
行修正ユニットが帯状ワークの2ヵ所をポイントで把持
するので帯状ワークにストレスをかけることなく蛇行修
正を行なうことができる。
ージは、帯状ワークの両端縁にパーコレーションホール
を形成する必要がなく、また帯状ワークに大きなテンシ
ョンをかけることなく、従って帯状ワークにダメージを
与えることなく搬送することが可能であり、しかも正確
に位置決めすることかできる。また、蛇行の修正は、蛇
行修正ユニットが帯状ワークの2ヵ所をポイントで把持
するので帯状ワークにストレスをかけることなく蛇行修
正を行なうことができる。
【図1】本発明の第1実施例の斜視図である。
【図2】第1実施例における受光素子と帯状ワークの関
係説明図である。
係説明図である。
【図3】第2実施例における受光素子の配置説明図であ
る。
る。
1 吸着テーブル 2 ドライブローラ 22 ドライブローラ用エンコーダ(回転量検出器) 23 押えローラ 3 ブレーキローラ 32 ブレーキローラ用エンコーダ(回転量検出器) 33 押えローラ 4 蛇行修正ユニット 5 蛇行検出部 51,53 発光素子 52,54 受光素子 61 第1内側受光素子 62 第1外側受光素子 63 第2内側受光素子 64 第2外側受光素子 W 帯状ワーク
Claims (3)
- 【請求項1】 搬送された薄い帯状ワークを位置決め
し、吸着テーブルに吸着して露光などの処理を行なうた
めの搬送ステージであって、 吸着テーブルの下流側に配置されて帯状ワークの両端縁
を挟圧し、回転量検出器が取り付けられた帯状ワーク駆
動用のドライブローラとその押えローラ、および吸着テ
ーブルの上流側に配置されて帯状ワークの両端縁を挟圧
する波打ち防止用のブレーキローラとその押えローラと
からなる搬送装置と、 一対の発光素子と受光素子からなる蛇行検出センサー
が、吸着テーブルの上流側および下流側において帯状ワ
ークの正規の搬送路の一方の縁端部に配置され、受光素
子の受光量から帯状ワークの正規の搬送路からの偏位量
を検出する蛇行検出部と、 吸着テーブルの上流側および下流側において帯状ワーク
の搬送路と直角方向に移動可能に配置され、蛇行検出部
の信号に基づいて、帯状ワークの縁端部を把持して、帯
状ワークを正規の搬送路に移動させる蛇行修正ユニット
からなることを特徴とする搬送ステージ。 - 【請求項2】 前記蛇行検出部は、一対の発光素子と受
光素子からなる2個の蛇行検出センサーが、それぞれ吸
着テーブルの上流側および下流側において、帯状ワーク
の正規の搬送路の一方の縁端部の内側と外側に蛇行許容
量だけ離間して配置されてなり、合計4個の受光素子の
受光と遮光の状態から帯状ワークの蛇行を検出し、蛇行
が検出されると前記蛇行修正ユニットが帯状ワークの縁
端部を把持して、帯状ワークを正規の搬送路に移動させ
ることを特徴とする請求項1記載の搬送ステージ。 - 【請求項3】 前記ブレーキローラにも回転量検出器が
取り付けられ、ドライブローラが所定量回転して搬送が
終了した時に、ブレーキローラの回転量がドライブロー
ラの回転量より小さいときは、その差だけドライブロー
ラが更に回転することを特徴とする請求項1又は請求項
2記載の搬送ステージ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25445995A JPH0970731A (ja) | 1995-09-07 | 1995-09-07 | 搬送ステージ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25445995A JPH0970731A (ja) | 1995-09-07 | 1995-09-07 | 搬送ステージ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0970731A true JPH0970731A (ja) | 1997-03-18 |
Family
ID=17265323
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP25445995A Pending JPH0970731A (ja) | 1995-09-07 | 1995-09-07 | 搬送ステージ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0970731A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1293836A2 (en) * | 2001-09-17 | 2003-03-19 | Ushiodenki Kabushiki Kaisha | Device for exposure of a strip-shaped workpiece with a meander correction device |
WO2011007901A1 (en) * | 2009-07-17 | 2011-01-20 | Nikon Corporation | Pattern forming device, pattern forming method, and device manufacturing method |
-
1995
- 1995-09-07 JP JP25445995A patent/JPH0970731A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1293836A2 (en) * | 2001-09-17 | 2003-03-19 | Ushiodenki Kabushiki Kaisha | Device for exposure of a strip-shaped workpiece with a meander correction device |
US7020348B2 (en) | 2001-09-17 | 2006-03-28 | Ushiodenki Kabushiki Kaisha | Device for exposure of a strip-shaped workpiece with a meander correction device |
EP1293836A3 (en) * | 2001-09-17 | 2007-02-28 | Ushiodenki Kabushiki Kaisha | Device for exposure of a strip-shaped workpiece with a meander correction device |
WO2011007901A1 (en) * | 2009-07-17 | 2011-01-20 | Nikon Corporation | Pattern forming device, pattern forming method, and device manufacturing method |
KR20120045023A (ko) * | 2009-07-17 | 2012-05-08 | 가부시키가이샤 니콘 | 패턴형성장치, 패턴형성방법 및 디바이스 제조방법 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100505086B1 (ko) | 띠형상 워크의 노광장치 | |
JP7263466B2 (ja) | 基板取り扱い装置及び基板取り扱い方法 | |
JP3741013B2 (ja) | 蛇行修正機構を備えた帯状ワークの露光装置 | |
JPH0970731A (ja) | 搬送ステージ | |
JP2001264999A (ja) | 帯状ワークの露光装置 | |
JP3678144B2 (ja) | フィルム回路基板の周辺露光装置 | |
JPH05323621A (ja) | フィルム露光装置におけるフィルムとレチクルの位置合わせ方法 | |
JPH05124758A (ja) | ウエブの蛇行修正装置 | |
CN1036027C (zh) | 相片冲印设备 | |
JP2007131424A (ja) | フィルム剥離装置 | |
JP2789539B2 (ja) | フィルム搬送機構およびこのフィルム搬送機構を具えたフィルム露光装置 | |
JPH11334953A (ja) | 帯状ワークの搬送・加工装置 | |
TWI839598B (zh) | 曝光裝置 | |
JP2880317B2 (ja) | フィルム露光方法 | |
JP2004352435A (ja) | 帯状ワークの搬送装置 | |
JPH06263219A (ja) | 搬送装置 | |
JPH02100036A (ja) | フィルム露光装置及びその装置を用いたフィルム露光方法 | |
JP2005091903A (ja) | 露光装置 | |
JP3928166B2 (ja) | 画像処理検査用テープ搬送装置 | |
JPH08104443A (ja) | シート状部材の搬送装置 | |
JP2610481B2 (ja) | 露光装置及び処理装置及び処理方法 | |
JPH01197250A (ja) | 感光フィルムの搬送装置 | |
JP2572277B2 (ja) | シート材重ね合わせ装置 | |
JPH0497255A (ja) | フィルム露光装置 | |
JPH08286351A (ja) | シート体搬送装置 |