JPH0963826A - Magnetic ceramics and layered electronic component - Google Patents
Magnetic ceramics and layered electronic componentInfo
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- JPH0963826A JPH0963826A JP8040103A JP4010396A JPH0963826A JP H0963826 A JPH0963826 A JP H0963826A JP 8040103 A JP8040103 A JP 8040103A JP 4010396 A JP4010396 A JP 4010396A JP H0963826 A JPH0963826 A JP H0963826A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、無線機器等に使用
される積層型の電子部品に関するものであり、特に低損
失の磁性セラミクスとそれを用いたコイルやトランス等
の積層型インダクタンス部品、およびそれらを含んで構
成される積層型複合電子部品に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a laminated-type electronic component used in a wireless device or the like, and particularly to a low-loss magnetic ceramics and a laminated-type inductance component such as a coil or a transformer using the same. The present invention relates to a laminated composite electronic component configured to include them.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来から無線機器等の高周波回路に用い
られているコイルやトランスなどのインダクタンス部品
は、図２に例示のようにコアに巻線した構造である。数
百ＭＨｚ以上の高い周波数で使用されるインダクタンス
部品は、空心構造でも所要のインダクタンス値が容易に
得られるため比較的小型に構成することができる。しか
し、中間周波数部など数〜数十ＭＨｚの比較的低い周波
数で使用されるインダクタンス部品では、空心で大きな
インダクタンス値を得ようとすると巻数を多くしなけれ
ばならず、部品が大型化したり導体損失が大きくなった
りするため、フェライトなどの高い比透磁率を有する磁
性材料をコア材として用いて巻数が少なくなるように構
成するのが通常である。2. Description of the Related Art Inductance components such as coils and transformers that have been conventionally used in high-frequency circuits of radio equipment have a structure in which a core is wound as shown in FIG. An inductance component used at a high frequency of several hundreds of MHz or more can easily obtain a required inductance value even in an air-core structure, and thus can be configured in a relatively small size. However, in the case of an inductance component used at a relatively low frequency of several to several tens of MHz such as the intermediate frequency part, it is necessary to increase the number of turns in order to obtain a large inductance value in the air core. Therefore, it is usual to use a magnetic material having a high relative magnetic permeability such as ferrite as the core material so as to reduce the number of turns.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】しかし、コアへの巻線
は手作業によっているため量産性が低く、コストの低減
や品質管理が難しいばかりでなく、部品の小型化も困難
であり、特に、複数のコイルを相互に結合させて構成す
るトランスは他の電子部品に比べて小型化が著しく遅れ
ている。本発明者らは、このような状況をふまえ、磁性
材料コアに巻線して構成される従来のインダクタンス部
品にかわる表面実装に適する小型の積層型インダクタン
ス部品、特に積層型トランスを提供しようとするもので
ある。一般に、積層型電子部品を構成するためには、ま
ず、ドクターブレード法などにより絶縁性セラミクスの
グリーンシートを形成し、そのグリーンシートに特定の
形状の導体パターンをスクリーン印刷技術等で形成し、
それらを積層圧着し、焼結により一体化して形成する。
積層された各シートの導体パターンどうしは、必要に応
じてスルーホール電極を介して電気的に接続されたり、
電磁気的結合を生じるように積層配置する。また、電気
的に接続されている各導体パターンの両端は外部接続用
の電極に接続される。このような構成において、導体パ
ターンおよび外部電極は、電気伝導性が高く比較的安価
なＡｇを主とするペーストを用いて形成するのが適当で
ある。ＣｕペーストやＡｕ，Ｐｔなどの貴金属ペースト
を用いることもできるが、前者は酸化されやすいために
非酸化性雰囲気中で焼結する必要があり、後者は高価で
焼結温度も高いため、いずれも製造工程が複雑になった
りコストが上昇して好ましくない。一方、Ａｇペースト
を用いる場合、その融点が９６２℃と比較的低く、積層
後のセラミクス焼結工程において融点を越えて劣化し、
電子部品の導体として機能しなくなってしまう恐れがあ
るため、実際には９５０℃以下でセラミクスを焼結しな
ければならないという制約が生じる。Ａｇペーストとな
らんでよく使用されるＰｄを最大２％程度含むＡｇペー
ストについても同様である。しかし、従来の磁性セラミ
クスは１０００〜１２００℃で焼結されるのが通常であ
り、９５０℃以下で焼結した場合、インダクタンス部品
用の磁性材料として必要な比透磁率μ’や磁気損失μ”
などの磁気特性を得ることができないばかりか、密度が
低下して回路基板上に実装して使用するに耐える機械的
強度が得られず、電子部品用材料としての信頼性を確保
することが困難であった。このため、磁性セラミクスを
用いた実用的な積層型電子部品を提供するためには、９
５０℃以下での低温焼結に適する絶縁性の磁性セラミク
スの開発が必要であった。However, since the winding on the core is manually performed, mass productivity is low, cost reduction and quality control are difficult, and miniaturization of parts is also difficult. The miniaturization of a transformer configured by coupling a plurality of coils to each other is significantly delayed as compared with other electronic components. In view of such a situation, the present inventors intend to provide a small-sized laminated inductance component suitable for surface mounting, which is suitable for surface mounting, which replaces the conventional inductance component formed by winding around a magnetic material core, and particularly to provide a laminated transformer. It is a thing. Generally, in order to configure a laminated electronic component, first, a green sheet of insulating ceramics is formed by a doctor blade method or the like, and a conductor pattern of a specific shape is formed on the green sheet by a screen printing technique or the like,
They are laminated and pressure-bonded, and are integrally formed by sintering.
The conductor patterns of the laminated sheets are electrically connected to each other via through-hole electrodes, if necessary,
The layers are arranged so as to generate electromagnetic coupling. Both ends of each electrically connected conductor pattern are connected to electrodes for external connection. In such a structure, it is suitable to form the conductor pattern and the external electrode by using a paste mainly containing Ag, which has a high electric conductivity and is relatively inexpensive. A Cu paste or a noble metal paste such as Au or Pt can be used, but the former needs to be sintered in a non-oxidizing atmosphere because it is easily oxidized, and the latter is expensive and has a high sintering temperature. This is not preferable because the manufacturing process becomes complicated and the cost increases. On the other hand, when Ag paste is used, its melting point is relatively low at 962 ° C., and it deteriorates beyond the melting point in the ceramics sintering step after lamination,
Since it may not function as a conductor of an electronic component, there is a restriction that the ceramics must be sintered at 950 ° C. or less. The same applies to an Ag paste containing Pd at a maximum of about 2%, which is often used in addition to the Ag paste. However, conventional magnetic ceramics are usually sintered at 1000 to 1200 ° C., and when sintered at 950 ° C. or less, the relative magnetic permeability μ ′ and the magnetic loss μ ″ required as a magnetic material for an inductance component are required.
It is difficult to secure reliability as a material for electronic parts because not only the magnetic properties such as the above cannot be obtained, but also the density decreases and the mechanical strength that can be mounted and used on the circuit board cannot be obtained. Met. Therefore, in order to provide a practical laminated electronic component using magnetic ceramics,
It was necessary to develop an insulating magnetic ceramic suitable for low temperature sintering at 50 ° C or lower.
【０００４】[0004]
【課題を解決するための手段】そこで本発明者らは、Ｆ
ｅ2Ｏ3,ＮｉＯ，ＣｕＯ，ＺｎＯ，ＣｏＯおよびＢｉ2O3
からなる９５０℃以下での低温焼結に適した絶縁性の磁
性セラミクスの組成検討を行った。主相をなすＦｅ2Ｏ3
は、４０．０モル％より少ないと化学量論的にスピネル
構造の単相にならず、４９．８モル％を越えるとα相ヘ
マタイトが異相として発生し、いずれの場合も比透磁率
μ’が低下し磁気損失μ”が急激に増加する。また、４
９．８モル％を越えると電気抵抗率が低下して渦電流損
失が増加するため、磁気損失μ”の増加につながる。Ｎ
ｉＯが２０．０モル％より少ないと置換されるＺｎＯが
相対的に多くなってキュリー温度Ｔcが１００℃以下と
なるため実用的でなく、３９．５モル％を越えると比透
磁率μ’が低くなりインダクタンス部品として実用的な
電磁気特性が得られない。ＣｕＯが１０．０モル％より
少ない場合には９５０℃以下で焼結したときの密度が
５．０×１０3kｇ／ｍ3未満となり、回路基板に実装し
て使用する電子部品に十分な機械的強度が得られない。
また、２０．０モル％を越えると結晶粒界に異相として
析出し、磁気損失μ”が急激に増加してしまう。ＺｎＯ
の添加により比透磁率μ’を制御することが期待できる
が、２．０モル％より少ないとインダクタンス部品とし
て必要な電磁気特性を得るのに十分な比透磁率μ’が得
られない。また、２０．０モル％を越える場合には、キ
ュリー温度Ｔcが１００℃以下となり実用的でない。Ｃ
ｏＯの添加により、磁気損失μ”の低減が期待される
が、０．３モル％より少ないと十分な効果が得られず、
６．５モル％より多いと比透磁率μ’が低下していずれ
も実用的でない。Ｂｉ2Ｏ3は焼結時に液相になり低温焼
結性を向上させるが、添加量が４．０重量％を越えると
磁性セラミクスの結晶粒径が過大になったり、結晶粒界
に異相として析出し、磁気損失μ”が急激に増加する。
なお、この目的のためにＶ2Ｏ5を添加することが例えば
特開平６−１１２０３２に記載されているが、Ｖ2Ｏ5を
添加すると焼結時にＡｇ導体と反応して導体パターンが
消失してしまうため不適当である。Therefore, the present inventors have proposed that F
e 2 O 3 , NiO, CuO, ZnO, CoO and Bi 2 O 3
The composition of an insulating magnetic ceramic suitable for low temperature sintering at 950 ° C. or lower was investigated. Fe 2 O 3 forming the main phase
Is less than 40.0 mol%, the single phase of the spinel structure is not stoichiometrically, and if it exceeds 49.8 mol%, α-phase hematite is generated as a different phase. In either case, the relative permeability μ ' Decreases and the magnetic loss μ ″ increases sharply. In addition, 4
When it exceeds 9.8 mol%, the electrical resistivity decreases and the eddy current loss increases, which leads to an increase in the magnetic loss μ ″.
When iO is less than 20.0 mol%, ZnO that is substituted is relatively increased and the Curie temperature Tc becomes 100 ° C. or less, which is not practical, and when it exceeds 39.5 mol%, the relative permeability μ ′ is increased. It becomes too low to obtain practical electromagnetic characteristics as an inductance component. When CuO is less than 10.0 mol%, the density when sintered at 950 ° C. or lower becomes less than 5.0 × 10 3 kg / m 3, which is a machine sufficient for electronic components mounted on a circuit board. Strength cannot be obtained.
On the other hand, if it exceeds 20.0 mol%, a different phase is precipitated at the crystal grain boundary, and the magnetic loss μ ″ is rapidly increased.
Although it is expected that the relative magnetic permeability μ ′ can be controlled by the addition of, the amount of less than 2.0 mol% cannot obtain a sufficient relative magnetic permeability μ ′ to obtain the electromagnetic characteristics required for the inductance component. On the other hand, if it exceeds 20.0 mol%, the Curie temperature Tc becomes 100 ° C. or less, which is not practical. C
Addition of oO is expected to reduce the magnetic loss μ ″, but if it is less than 0.3 mol%, a sufficient effect cannot be obtained.
If it is more than 6.5 mol%, the relative magnetic permeability μ ′ is lowered and neither is practical. Bi 2 O 3 becomes a liquid phase at the time of sintering to improve low temperature sinterability, but if the addition amount exceeds 4.0% by weight, the crystal grain size of the magnetic ceramics becomes excessively large, or as a different phase at the crystal grain boundary. It precipitates and the magnetic loss μ ″ increases rapidly.
For example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-112032 describes adding V 2 O 5 for this purpose. However, when V 2 O 5 is added, it reacts with the Ag conductor during sintering and the conductor pattern disappears. It is unsuitable because it will happen.
【０００５】以上の事柄をふまえて、本発明の磁性セラ
ミクスの組成をＦｅ2Ｏ3 ４０．０〜４９．８ モル
％，ＮｉＯ ２０．０〜３９．５ モル％，ＣｕＯ
１０．０〜２０．０ モル％，ＺｎＯ ２．０〜
２０．０ モル％，ＣｏＯ ０．３〜 ６．５ モ
ル％，Ｂｉ2Ｏ3 ４．０ 重量％未満と決定した。こ
の組成範囲であれば９５０℃以下の低温で焼結した場合
でも積層型電子部品に必要とされる磁気特性と、回路基
板に実装して使用するに十分な機械的強度とを得ること
ができる。なお、上記目的のために特に好ましい組成範
囲はＦｅ2Ｏ3 ４５．０〜４９．０ モル％，ＮｉＯ
３３．０〜３９．０ モル％，ＣｕＯ １０．０〜
１５．０ モル％，ＺｎＯ ３．０〜１０．０ モ
ル％，ＣｏＯ ０．３〜 ６．４ モル％，Ｂｉ2
Ｏ3 ２．０ 重量％未満である。所望のインダクタ
ンス値を少ないコイル巻数で得るためには、コアをなす
部材の比透磁率μ’を大きくすればよいが、比透磁率
μ’と磁気損失μ”の間にはクラマース・クローニッヒ
の関係と呼ばれる従属関係があり、前者をむやみに大き
くすると後者が急激な増加を始める周波数が低下してし
まいインダクタンス部品として実用特性が得られない。
この関係は経験的に「スネークの限界」として一般に知
られている。上記の本発明磁性セラミクスの組成範囲
は、もちろんこの関係をふまえて決定されたものであ
り、例えば無線機器の中間周波数のような数〜数１０Ｍ
Ｈｚの比較的低い周波数範囲を含んで使用されるインダ
クタンス部品を構成するために最適なμ’が１５以上，
μ”が５未満の複素透磁率を得るものである。なお、イ
ンダクタンス部品を低損失に構成するために特に好まし
いμ”の値は１以下である。On the basis of the above matters, the composition of the magnetic ceramics of the present invention is Fe 2 O 3 40.0-49.8 mol%, NiO 20.0-39.5 mol%, CuO.
10.0-20.0 mol%, ZnO 2.0-
It was determined to be less than 20.0 mol%, CoO 0.3 to 6.5 mol% and Bi 2 O 3 4.0 wt%. With this composition range, it is possible to obtain the magnetic characteristics required for the laminated electronic component and the mechanical strength sufficient for mounting and using on a circuit board even when sintered at a low temperature of 950 ° C. or less. . For the above purpose, a particularly preferable composition range is Fe 2 O 3 45.0 to 49.0 mol%, NiO.
33.0-39.0 mol%, CuO 10.0-
15.0 mol%, ZnO 3.0 to 10.0 mol%, CoO 0.3 to 6.4 mol%, Bi 2
O is less than 3 2.0% by weight. In order to obtain the desired inductance value with a small number of coil turns, it is sufficient to increase the relative permeability μ'of the member forming the core, but between the relative permeability μ'and the magnetic loss μ ", there is the Kramers-Kronig relationship. There is a subordination relationship called as, and when the former is unnecessarily increased, the frequency at which the latter starts to increase sharply decreases and practical characteristics cannot be obtained as an inductance component.
This relationship is empirically known as the "snake limit". The above-mentioned composition range of the magnetic ceramics of the present invention is, of course, determined in consideration of this relationship.
The optimum μ'for constructing an inductance component used in the relatively low frequency range of Hz is 15 or more,
It is intended to obtain a complex magnetic permeability of μ ″ less than 5. The value of μ ″ which is particularly preferable for forming the inductance component with low loss is 1 or less.
【０００６】本発明の磁気セラミクスは、いずれもＦｅ
イオンの寄与による電気伝導を抑制するためにＦｅ2Ｏ3
が５０％より少ない組成からなる。高周波用の磁性セラ
ミクスは、渦電流損失を抑制することが必須であるが、
本発明の磁性セラミクスの組成範囲であれば、１．０×
１０7Ωｍ以上の電気抵抗率を得ることができ、実用性
に優れる。しかし、このために全ての酸化物が同時に化
学量論組成を満足することができず、焼結時の雰囲気や
温度によってはＮｉＯ，ＣｕＯ，ＺｎＯの一部が主相の
スピネル相に固溶し切れずに多量に析出してしまう恐れ
がある。磁性セラミクス中にこれらの酸化物が多量に析
出すると電子部品に要求される磁気特性や機械的特性を
満足することができなくなってしまう。これを抑制する
ために、ＮｉＯ，ＣｕＯおよびＺｎＯの含有比がいずれ
もモル比で１．０≦ＮｉＯ／ＣｕＯ≦３．９５，０．５
≦ＣｕＯ／ＺｎＯ≦１０．０，１．０≦ＮｉＯ／ＺｎＯ
≦１９．８であることが必要であり、特に望ましくは
２．２≦ＮｉＯ／ＣｕＯ≦３．９０，１．０≦ＣｕＯ／
ＺｎＯ≦５．０，３．３≦ＮｉＯ／ＺｎＯ≦１３．０で
ある。The magnetic ceramics of the present invention are all made of Fe.
Fe 2 O 3 is used to suppress electric conduction due to ion contribution.
Is less than 50%. In high frequency magnetic ceramics, it is essential to suppress eddy current loss.
In the composition range of the magnetic ceramics of the present invention, 1.0 ×
It is possible to obtain an electrical resistivity of 10 7 Ωm or more, which is excellent in practicality. However, because of this, not all oxides can satisfy the stoichiometric composition at the same time, and part of NiO, CuO, ZnO may form a solid solution in the main spinel phase depending on the atmosphere and temperature during sintering. There is a risk that a large amount will be deposited without breaking. If a large amount of these oxides are deposited in the magnetic ceramics, the magnetic properties and mechanical properties required for electronic parts cannot be satisfied. In order to suppress this, the content ratio of NiO, CuO, and ZnO is 1.0 ≦ NiO / CuO ≦ 3.95, 0.5 in terms of molar ratio.
≤ CuO / ZnO ≤ 10.0, 1.0 ≤ NiO / ZnO
It is necessary that ≦ 19.8, particularly preferably 2.2 ≦ NiO / CuO ≦ 3.90, 1.0 ≦ CuO /
ZnO ≦ 5.0 and 3.3 ≦ NiO / ZnO ≦ 13.0.
【０００７】上記の磁性材料セラミクスをグリーンシー
トに用いて積層型インダクタを構成するためには、シー
トに形成する導体パターンをコイル状とし、それらを必
要なターン数を構成するように積層配置すればよい。こ
のとき、積層される各シートに形成されたコイル状の導
体パターンどうしは、スルーホール電極を介して電気的
に接続され、さらにその両端はそれぞれ部品の外部接続
用電極と電気的に接続されるよう構成する。積層型トラ
ンスを構成する場合には、積層型インダクタを構成する
場合と同様の方法で複数のコイルを構成し、それらが磁
束を介して相互に結合するように各シートを積層配置す
ればよい。コイル間の電磁気的な結合を密にしてトラン
スとしての変換効率など要求される特性を満足するため
には、例えば一枚のシートに形成する導体パターンを１
ターン未満のコイルとし、それらを互いに他のコイルを
なす導体パターンを形成したシートを挟むように積層配
置することが効果的である。また、各コイルどうしが必
要以上の密結合となるのを避けるため、積層間隔を４０
〜１６０μｍとすることが適当である。所要のインダク
タンス部品を構成するのに必要な導体パターンを形成し
たシートを積層し、圧着した後、９５０℃以下で脱脂焼
結し一体化する。その後、外部回路との接続のための外
部電極を同様の技術で形成し、必要に応じてＮｉ，はん
だ，すずめっき等を施して、積層型インダクタンス部品
を得る。もちろん、上記の技術はインダクタやトランス
を得る場合のみに有効なばかりでなく、これらとキャパ
シタや抵抗として機能する素子などが同一部品内に構成
された複合型の積層型電子部品を得る場合にも有効なも
のである。In order to form a laminated inductor by using the above-mentioned magnetic material ceramics for a green sheet, the conductor pattern formed on the sheet is formed into a coil, and these are laminated and arranged to form a required number of turns. Good. At this time, the coil-shaped conductor patterns formed on the stacked sheets are electrically connected to each other through the through-hole electrodes, and both ends thereof are electrically connected to the external connection electrodes of the component. Configure as follows. When forming a laminated transformer, a plurality of coils may be formed in the same manner as in the case of forming a laminated inductor, and the sheets may be laminated and arranged so that they are coupled to each other via magnetic flux. In order to satisfy the required characteristics such as the conversion efficiency as a transformer by making the electromagnetic coupling between the coils denser, for example, one conductor pattern formed on one sheet is used.
It is effective to use coils having less than turns and stack them so as to sandwich sheets having conductor patterns forming the other coils. Also, in order to prevent the coils from being tightly coupled with each other more than necessary, the stacking interval is set to 40
It is suitable to be set to 160 μm. Sheets on which conductor patterns required to form a required inductance component are formed are laminated, pressure-bonded, and then degreased and sintered at 950 ° C. or less to be integrated. After that, an external electrode for connection with an external circuit is formed by the same technique, and Ni, solder, tin plating or the like is applied as necessary to obtain a laminated inductance component. Of course, the above technique is not only effective when obtaining an inductor or a transformer, but also when obtaining a composite multilayer electronic component in which these and elements that function as a capacitor or a resistor are configured in the same component. It is valid.
【０００８】[0008]
【発明の実施の形態】本発明の磁性セラミクスは、９５
０℃以下の低温で焼結した場合でも、従来材料と同等の
５．０×１０3kｇ／ｍ3以上の焼結密度と機械的強度が
得られるため、電気抵抗の小さいＡｇを導体パターン材
料に用いてプリント基板表面に実装される電子部品とし
て必要な機械的強度を有する積層型電子部品を得ること
ができる。また、数〜数十ＭＨｚの比較的低い周波数範
囲を含んで使用されるインダクタンス部品を構成するの
に適当な比透磁率μ’が１５以上，磁気損失μ”が５未
満の複素透磁率を得るように磁性セラミクスの組成が決
定されていることにより、数ターンの少ないコイル巻数
で実用的なインダクタンス値と低損失特性の積層インダ
クタンス部品を得ることができる。特に、従来小型化が
遅れていた高周波トランスを構成する場合、複数のコイ
ルを交互に積層配置してコイル間の結合を密にする等の
構成上の工夫とあいまって、回路基板表面への高密度実
装に適する小型低背化を図ることが可能になった。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The magnetic ceramics of the present invention is 95
Even when sintered at a low temperature of 0 ° C. or lower, the same sintered density and mechanical strength of 5.0 × 10 3 kg / m 3 or higher as those of conventional materials can be obtained. It is possible to obtain a laminated electronic component having mechanical strength required as an electronic component mounted on the surface of a printed board by using the above. Also, a complex magnetic permeability having a relative magnetic permeability μ ′ of 15 or more and a magnetic loss μ ″ of less than 5 is suitable for forming an inductance component used in a relatively low frequency range of several to several tens MHz. Since the composition of the magnetic ceramics is determined as described above, it is possible to obtain a laminated inductance component with a practical inductance value and low loss characteristics with a small number of coil turns of a few turns. When constructing a transformer, we aim to achieve a compact and low profile suitable for high-density mounting on the surface of a circuit board, in combination with structural ingenuity, such as arranging multiple coils alternately to make the coupling between coils dense. It has become possible.
【０００９】（実施例１）表１に示すように、本発明に
係る積層型電子部品用の磁性セラミクス４種類を試作し
て、積層型トランスを作成した。また、従来から巻線型
高周波トランスのコア材として使用している１２種類の
磁性セラミクスを比較材料として試作した。これらの材
料の密度はいずれも５．０×１０3kｇ／ｍ3以上、電気
抵抗率はいずれも１．０×１０7Ωｍ以上である。原料
粉末は高純度のＦｅ2Ｏ3,ＮｉＯ，ＣｕＯ，ＺｎＯ，Ｃ
ｏ3Ｏ4およびＢｉ2Ｏ3を用いた。各原料粉末の平均直径
は、Ｆｅ2Ｏ3が ０．８μｍ，Ｎｉ０ が ０．６μ
ｍ，ＣｕＯ が ０．７μｍ，ＺｎＯ が １．０μ
ｍ，Ｃｏ3Ｏ4が １．２μｍ，Ｂｉ2Ｏ3が ２．０μｍ
である。なお、Ｃｏ3Ｏ4は（Ｃｏ2Ｏ3)０．７５(Ｃｏ
Ｏ）０．２５の混合物であるので全量をＣｏＯに換算し
た場合の値をかっこ内に併記した。これらの原料粉末を
所定量秤量し、乾式振動ミルで１時間混合した後、電気
炉を用いて最高温度８００℃で１．５時間仮焼し、炉冷
した後、４０メッシュのふるいで解砕した。これをボー
ルミルで湿式混合し、しかる後、所定量の水および分散
剤を添加したものをさらに微粉砕し、粒径０．２〜１．
０μｍの原料粉末を得た。これにバインダとしてポリビ
ニルブチラール（ＰＶＢ）および溶剤（エタノール，ブ
タノール）を加えてスラリを得た。本発明に係る磁性セ
ラミクスの密度は、上記のスラリを造粒し、２０００ｋ
ｇｆ／ｃｍ2の圧力で直径１４ｍｍ，厚さ５ｍｍの円盤
状にプレス成形し、焼結した試料を用いて水中置換法に
より測定した。また、複素透磁率は、外形８ｍｍ，内径
１ｍｍ，厚さ３ｍｍの円筒試料を同様に作成して、イン
ピーダンスアナライザを用いて短絡同軸法により測定し
た。いずれも焼結は、本発明に係る積層型部品と同一条
件とし、大気雰囲気の電気炉で昇温１５０℃／ｈ，９０
０℃で１ｈ保持後，降温３００度℃／ｈで行った。比較
材料の密度および複素透磁率の測定方法は本発明材料の
場合と同様であるが、表１に示した比較材料１〜４は最
高温度１０５０℃で焼結し、比較材料５〜７は最高温度
９５０℃で焼結した。また、表３に示した比較材料８〜
１２は最高温度９００度で焼結した。表１に示した磁性
セラミクスの代表的な特性を表２に示す。この表から、
本発明に係る磁性セラミクスは、比較材料と同等の５．
０×１０3kｇ／ｍ3以上の密度と、１２０ＭＨｚにおい
て１．０以下の低い磁気損失項μ”を有することが分か
る。(Example 1) As shown in Table 1, four types of magnetic ceramics for laminated electronic parts according to the present invention were prototyped to prepare a laminated transformer. In addition, 12 types of magnetic ceramics that have been conventionally used as core materials for wire-wound high-frequency transformers were prototyped as comparative materials. The density of each of these materials is 5.0 × 10 3 kg / m 3 or more, and the electrical resistivity is 1.0 × 10 7 Ωm or more. The raw material powder is high-purity Fe 2 O 3 , NiO, CuO, ZnO, C.
o 3 O 4 and Bi 2 O 3 were used. The average diameter of each raw material powder was 0.8 μm for Fe 2 O 3 and 0.6 μ for Ni 0.
m, CuO 2 is 0.7 μm, ZnO is 1.0 μm
m, Co 3 O 4 is 1.2 μm, Bi 2 O 3 is 2.0 μm
It is. Co 3 O 4 is (Co 2 O 3 ) 0.75 (Co
O) is a mixture of 0.25, so the value when the total amount is converted to CoO is also shown in parentheses. A predetermined amount of these raw material powders were weighed and mixed in a dry vibration mill for 1 hour, then calcined in an electric furnace at a maximum temperature of 800 ° C for 1.5 hours, cooled in the furnace, and then crushed with a 40 mesh sieve. did. This is wet-mixed with a ball mill, and then a mixture of a predetermined amount of water and a dispersant is further finely pulverized to have a particle size of 0.2 to 1.
A raw material powder of 0 μm was obtained. Polyvinyl butyral (PVB) and a solvent (ethanol, butanol) were added to this as a binder to obtain a slurry. The density of the magnetic ceramics according to the present invention is 2000k obtained by granulating the above slurry.
The sample was press-molded into a disk shape having a diameter of 14 mm and a thickness of 5 mm at a pressure of gf / cm 2 , and the sintered sample was used for measurement by an underwater displacement method. Further, the complex magnetic permeability was measured by the short-circuit coaxial method using an impedance analyzer by similarly preparing a cylindrical sample having an outer diameter of 8 mm, an inner diameter of 1 mm and a thickness of 3 mm. In both cases, the sintering was carried out under the same conditions as the laminated component according to the present invention, and the temperature was raised to 150 ° C./h, 90 ° C. in an electric furnace in the atmosphere.
After holding at 0 ° C for 1 hour, the temperature was lowered at 300 ° C / h. The methods for measuring the density and the complex magnetic permeability of the comparative material are the same as those for the material of the present invention, but the comparative materials 1 to 4 shown in Table 1 are sintered at the maximum temperature of 1050 ° C., and the comparative materials 5 to 7 are the highest. Sintered at a temperature of 950 ° C. In addition, comparative materials 8 to 8 shown in Table 3
No. 12 was sintered at a maximum temperature of 900 degrees. Table 2 shows typical characteristics of the magnetic ceramics shown in Table 1. From this table,
The magnetic ceramics according to the present invention have the same properties as those of the comparative materials.
It can be seen that it has a density of 0 × 10 3 kg / m 3 or more and a low magnetic loss term μ ″ of 1.0 or less at 120 MHz.
【００１０】[0010]
【表１】 [Table 1]
【００１１】[0011]
【表２】 [Table 2]
【００１２】[0012]
【表３】 [Table 3]
【００１３】以下に、表１および表２に示した本発明材
料２を用いて積層型トランスを作成した手順を示す。前
述の磁性材料セラミクスのスラリをドクターブレード法
で厚さ９０μｍのグリーンシートに形成した。このシー
トにスクリーン印刷で０．２ｍｍ幅のコイル導体を形成
した。印刷ペーストにはＡｇ１００％のものを使用し
た。各シートに所定の導体パターンを形成した後に、積
層圧着し、チップ部品の形状に切断する。焼結は大気雰
囲気の電気炉中で脱脂に引き続いて行う。昇温は１５０
℃／ｈとし、９００℃で１時間保持した後、約３００℃
／ｈで降温した。なお、積層厚着したグリーンシートを
脱脂焼結した後にダイシングしてチップ部品を得てもよ
い。トランスの外観は図１に示す通りの３２１６形状で
ある。等価回路は図３に示すバルーントランスを構成し
ている。構成の具体的な手順は図４に示すように、グリ
ーンシート１に導体をスクリーン印刷により形成して、
コイルを形成する導体１１ａが形成されている。このコ
イル用導体１１ａは、その一端が側面まで引き出されて
外部端子接続用電極１５ａを形成し、他端はスルーホー
ル電極に対応する円形電極１６ａが形成されている。そ
の上に、グリーンシート２が積層される。このシート２
には、コイル用導体１２と１つの独立したスルーホール
電極１７ａが形成されている。このコイル用導体１２
は、両端が側面まで引き出されて外部端子接続用電極１
５ｂ，１５ｃを形成し、約１ターンのコイルを構成して
いる。その上に、グリーンシート３が積層される。この
シート３には、コイル用導体１１ｂが形成されている。
このコイル用導体１１ｂの一端にはスルーホール電極１
７ｂが、他端は側面まで引き出されて外部端子接続用電
極１５ｄが形成されている。そして、コイル用導体１１
ａとコイル用導体１１ｂとは、スルーホール電極１７
ｂ，１７ａおよび円形電極１６ａを介して導通し、１つ
のコイルを構成している。このコイルとコイル用導体１
２によるコイルとからトランスを構成している。その上
に、導体が形成されていなく、ダミー層となるシート４
が積層される。このダミー層は、複数枚のグリーンシー
トで構成した。その上に、グリーンシート５が積層され
る。このシート５には、コイル用導体１３ａが形成され
ている。このコイル用導体１３ａは、一端が側面まで引
き出されて、外部端子接続用電極１５ｅを形成し、他端
はスルーホールに対応する円形電極１６ｂが形成されて
いる。その上に、グリーンシート６が積層される。この
シート６には、コイル用導体１４と１つの独立したスル
ーホール電極１７ｃが形成されている。このコイル用導
体１４は、両端が側面まで引き出されて外部端子接続用
電極１５ｆ，１５ｇを形成し、約１ターンのコイルを構
成している。その上に、グリーンシート７が積層され
る。このシート７には、コイル用導体１３ｂが形成され
ている。このコイル用導体１３ｂの一端にはスルーホー
ル電極１７ｄが、他端は側面まで引き出されて外部端子
接続用電極１５ｈが形成されている。そして、コイル用
導体１３ａとコイル用導体１３ｂとは、スルーホール電
極１７ｄ，１７ｃ及び円形電極１６ｂを介して導通し、
一つのコイルを構成している。このコイルとコイル用導
体１４によるコイルとからトランスを構成している。そ
の上に、グリーンシート８が積層される。このシート８
には、外部端子電極用の導体１８ａ，１８ｂ，１８ｃ，
１８ｄ，１８ｅ，１８ｆが形成されている。この積層体
を一体焼結し、外部端子電極１９を側面に形成して、一
対のコイルからなるトランスが２個上下に配置された積
層型高周波トランスを構成した。図１で９ａ，９ｃがそ
れぞれ一対のコイルからなるトランス部であり、９ｂが
ダミー層である。このトランスの電気特性を図５および
図６に示す。電気特性の測定はネットワークアナライザ
を用いて行った。図５は挿入損失特性を示す。本発明の
実施例によれば、５０ＭＨｚ〜３００ＭＨｚの広い周波
数範囲にわたって実用的な特性が得られることが分か
る。図６はこの実施例の２出力間の位相特性を示す。本
発明の実施例によれば、１０ＭＨｚ〜５００ＭＨｚの広
い周波数帯で位相差がほぼ１８０度となり、高周波トラ
ンスとして優れた特性であることが分かる。焼結後にお
けるシートの厚さを約８０μｍとし、ダミー層をはさん
だ導体１１ｂと１３ａとの間の焼結後における間隔を約
２４０μｍとした。これにより、それぞれのトランスを
構成する一対のコイル間の結合が良好で、かつ上下２個
のトランス間の不要な結合の少ない高周波トランスを得
ることができた。本実施例の構成においては実用的なト
ランス特性を得るために、トランスを構成する一対のコ
イル間の間隔は３０〜２００μｍの範囲が適当であり、
ダミー層をはさんで積層配置されるトランス間の間隔
は、１６０〜４００μｍが適当であった。また、積層す
るグリーンシートの厚さは３０〜２００μｍの範囲であ
ることが望ましく、特に好ましくは５０〜１５０μｍで
ある。なお、本実施例では、表１に示した本発明材料４
とともに、表３に示した比較材料８〜12も用いて上記積
層トランスを作成し、焼結助剤として添加したＢｉ2Ｏ3
およびＶ2Ｏ5とＡｇ導体との反応性を確認した。この結
果から、Ｂｉ2Ｏ3の添加量の上限は４．０重量％であ
り、Ｖ2Ｏ5は実質的に使用できないことが確認された。The procedure for producing a laminated transformer using the material 2 of the present invention shown in Tables 1 and 2 will be described below. The slurry of the magnetic material ceramics described above was formed into a green sheet having a thickness of 90 μm by the doctor blade method. A coil conductor having a width of 0.2 mm was formed on this sheet by screen printing. The printing paste used was Ag 100%. After forming a predetermined conductor pattern on each sheet, they are laminated and pressure-bonded and cut into the shape of a chip component. Sintering is performed following degreasing in an electric furnace in the air. The temperature rise is 150
℃ / h, hold at 900 ℃ for 1 hour, then about 300 ℃
The temperature was lowered at / h. Note that the green sheets that are stacked and thickly adhered may be subjected to degreasing and sintering and then dicing to obtain a chip component. The appearance of the transformer is a 3216 shape as shown in FIG. The equivalent circuit constitutes the balloon transformer shown in FIG. As shown in FIG. 4, the concrete procedure of the constitution is to form a conductor on the green sheet 1 by screen printing,
A conductor 11a forming a coil is formed. The coil conductor 11a has one end extended to the side surface to form an external terminal connection electrode 15a, and the other end formed with a circular electrode 16a corresponding to a through-hole electrode. The green sheet 2 is laminated thereon. This sheet 2
Is formed with a coil conductor 12 and one independent through-hole electrode 17a. This coil conductor 12
Is the electrode for connecting external terminals 1
5b and 15c are formed to form a coil of about 1 turn. The green sheet 3 is laminated thereon. The sheet 3 is provided with a coil conductor 11b.
The through-hole electrode 1 is provided at one end of the coil conductor 11b.
7b is drawn out to the side surface at the other end to form an external terminal connecting electrode 15d. Then, the coil conductor 11
a and the coil conductor 11b are the through-hole electrodes 17
Electrical continuity is established through b, 17a and the circular electrode 16a to form one coil. This coil and coil conductor 1
A transformer is composed of the two coils. A sheet 4 on which a conductor is not formed and serves as a dummy layer
Are laminated. This dummy layer was composed of a plurality of green sheets. The green sheet 5 is laminated thereon. The sheet 5 is provided with a coil conductor 13a. One end of the coil conductor 13a is drawn out to the side surface to form an external terminal connecting electrode 15e, and the other end is formed with a circular electrode 16b corresponding to a through hole. The green sheet 6 is laminated thereon. The sheet 6 is provided with the coil conductor 14 and one independent through-hole electrode 17c. Both ends of the coil conductor 14 are drawn out to the side surfaces to form external terminal connecting electrodes 15f and 15g, and form a coil of about 1 turn. The green sheet 7 is laminated thereon. The sheet 7 is provided with a coil conductor 13b. A through-hole electrode 17d is formed at one end of the coil conductor 13b and an external terminal connecting electrode 15h is formed at the other end of the coil conductor 13b. The coil conductor 13a and the coil conductor 13b are electrically connected via the through-hole electrodes 17d and 17c and the circular electrode 16b,
It constitutes one coil. A transformer is composed of this coil and the coil formed by the coil conductor 14. The green sheet 8 is laminated thereon. This sheet 8
Includes conductors 18a, 18b, 18c for external terminal electrodes,
18d, 18e, and 18f are formed. This laminated body was integrally sintered and the external terminal electrodes 19 were formed on the side surfaces to form a laminated high frequency transformer in which two transformers each composed of a pair of coils were arranged one above the other. In FIG. 1, 9a and 9c are transformer parts each consisting of a pair of coils, and 9b is a dummy layer. The electrical characteristics of this transformer are shown in FIGS. The electrical characteristics were measured using a network analyzer. FIG. 5 shows insertion loss characteristics. According to the embodiments of the present invention, it can be seen that practical characteristics can be obtained over a wide frequency range of 50 MHz to 300 MHz. FIG. 6 shows the phase characteristic between the two outputs of this embodiment. According to the embodiment of the present invention, the phase difference is approximately 180 degrees in a wide frequency band of 10 MHz to 500 MHz, which shows that the characteristics are excellent as a high frequency transformer. The thickness of the sheet after sintering was about 80 μm, and the distance between the conductors 11b and 13a sandwiching the dummy layer after sintering was about 240 μm. As a result, it was possible to obtain a high-frequency transformer in which the coupling between the pair of coils forming each transformer was excellent and the unnecessary coupling between the two upper and lower transformers was small. In the configuration of the present embodiment, in order to obtain practical transformer characteristics, the interval between the pair of coils forming the transformer is preferably in the range of 30 to 200 μm,
The suitable distance between the transformers stacked with the dummy layer in between was 160 to 400 μm. The thickness of the green sheet to be laminated is preferably in the range of 30 to 200 μm, particularly preferably 50 to 150 μm. In addition, in the present example, the material 4 of the present invention shown in Table 1 was used.
At the same time, the above-mentioned laminated transformer was prepared using the comparative materials 8 to 12 shown in Table 3 and Bi 2 O 3 added as a sintering aid was added.
And the reactivity between V 2 O 5 and the Ag conductor was confirmed. From this result, it was confirmed that the upper limit of the amount of Bi 2 O 3 added was 4.0% by weight, and V 2 O 5 was substantially unusable.
【００１４】（実施例２）実施例１で用いた本発明材料
２のグリーンシートを用い、同様の方法により別の積層
型トランスを構成した手順を示す。外観および寸法は図
１に示した実施例１と同一であり、等価回路図は図７の
通りである。図８はこの実施例における積層される各シ
ートの様子を示す平面図である。この実施例の第１次コ
イルは、グリーンシート１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃに形成
されたコイル用導体２３Ａ，２３Ｂ，２３Ｃを接続し、
構成される。このコイル用導体２３Ａ，２３Ｃの一端は
側面まで引き出されて、それぞれ外部引き出し電極４３
Ａ，４３Ｂが形成され、積層後、外部端子接続用電極５
１Ａ，５１Ｂ（図示せず）に接続される。第２次コイル
は、グリーンシート１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃ，１２Ｄに
形成されたコイル用導体２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃ，２２
Ｄを接続し、構成される。同様に第３次コイルは、グリ
ーンシート１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃ，１１Ｄに形成され
たコイル用導体２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃ，２１Ｄを接続
し、構成される。このとき、コイル用導体２１Ａの一端
は側面まで引き出されて、外部引き出し電極４１Ａが形
成され、他端には円形電極３１ａが形成される。その上
に配置されるグリーンシート１２Ａには、円形電極３１
ａに対応したスルーホール電極３１ｂが形成され、その
上に配置されるグリーンシート１３Ａにはスルーホール
電極３１ｂに対応したスルーホール電極３１ｃが形成さ
れ、さらにその上に配置されるグリーンシート１１Ｂに
は、スルーホール電極３１ｃに対応したスルーホール電
極３１ｄが形成されて、第３次コイル用のコイル用導体
２１Ａと２１Ｂが接続される。またそのコイル用導体２
１Ｂの他端には円形電極３１ｅが形成され、その上に配
置されるグリーンシート１２Ｂ，１３Ｂ，１１Ｃに形成
されたスルーホール電極３１ｆ，３１ｇ，３１ｈを通し
てコイル用導体２１Ｂと２１Ｃが接続される。さらにそ
のコイル用導体２１Ｃの他端には円形電極３１ｉが形成
され、その上に配置されるグリーンシート１２Ｃ，１３
Ｃ，１１Ｄに形成されたスルーホール電極３１ｊ，３１
ｋ，３１ｌを通してコイル用導体２１Ｃと２１Ｄが接続
される。このグリーンシート１１Ｄのコイル用導体２１
Ｄの他端には外部引き出し電極４１Ｂが形成され、積層
後、外部端子接続用電極５１Ｅ（図示せず）に接続され
る。このようにして、３つのコイルが交互に形成され
る。また、この積層体の上下には、保護用グリーンシー
ト１９が配置される。このトランスの挿入損失特性を図
９に示す。測定はネットワークアナライザを用いて行っ
た。本発明の実施例によれば、２００ＭＨｚ〜６００Ｍ
Ｈｚの広い周波数範囲にわたって約３ｄＢの平坦な周波
数特性が得られ実用的な特性を有することが分かる。Example 2 A procedure for constructing another laminated transformer by the same method using the green sheet of the material 2 of the present invention used in Example 1 will be described. The appearance and dimensions are the same as those of the first embodiment shown in FIG. 1, and the equivalent circuit diagram is as shown in FIG. FIG. 8 is a plan view showing a state of each laminated sheet in this embodiment. The primary coil of this embodiment connects the coil conductors 23A, 23B and 23C formed on the green sheets 13A, 13B and 13C,
Be composed. One end of each of the coil conductors 23A and 23C is drawn to the side surface, and the external lead electrode 43 is formed.
A and 43B are formed, and after lamination, the electrode 5 for external terminal connection
1A, 51B (not shown). The secondary coils are coil conductors 22A, 22B, 22C, 22 formed on the green sheets 12A, 12B, 12C, 12D.
D is connected and configured. Similarly, the tertiary coil is configured by connecting the coil conductors 21A, 21B, 21C and 21D formed on the green sheets 11A, 11B, 11C and 11D. At this time, one end of the coil conductor 21A is drawn to the side surface to form an external lead electrode 41A, and the other end is formed with a circular electrode 31a. The circular electrode 31 is provided on the green sheet 12A arranged thereon.
The through-hole electrode 31b corresponding to a is formed, the through-hole electrode 31c corresponding to the through-hole electrode 31b is formed on the green sheet 13A arranged thereon, and the green sheet 11B arranged thereon is further formed. The through-hole electrode 31d corresponding to the through-hole electrode 31c is formed, and the coil conductors 21A and 21B for the tertiary coil are connected. Also, the coil conductor 2
A circular electrode 31e is formed at the other end of 1B, and coil conductors 21B and 21C are connected through through-hole electrodes 31f, 31g and 31h formed on the green sheets 12B, 13B and 11C arranged thereon. Further, a circular electrode 31i is formed on the other end of the coil conductor 21C, and the green sheets 12C, 13 arranged on the circular electrode 31i are formed.
Through-hole electrodes 31j and 31 formed on C and 11D
The coil conductors 21C and 21D are connected through k and 31l. The coil conductor 21 of this green sheet 11D
An external lead electrode 41B is formed at the other end of D, and after being laminated, connected to an external terminal connecting electrode 51E (not shown). In this way, three coils are formed alternately. In addition, protective green sheets 19 are arranged above and below the laminated body. The insertion loss characteristic of this transformer is shown in FIG. The measurement was performed using a network analyzer. According to an embodiment of the present invention, 200MHz ~ 600M.
It can be seen that a flat frequency characteristic of about 3 dB is obtained over a wide frequency range of Hz and has practical characteristics.
【００１５】[0015]
【発明の効果】本発明によれば、高透磁率のコアに巻線
した構成によっていた中間周波数回路のように数〜数十
ＭＨｚの比較的低周波数で使用するインダクタンス部
品、特に高周波トランスを表面実装に適した小型低背の
積層型部品として構成することができる。また、従来の
巻線型インダクタンス部品に比べて量産性が格段に向上
し、特性の揃った製品を安価に提供することができる。According to the present invention, an inductance component used at a relatively low frequency of several to several tens of MHz, such as an intermediate frequency circuit having a structure in which a core having a high magnetic permeability is wound, particularly a high frequency transformer is provided on the surface. It can be configured as a small-sized and low-profile laminated type component suitable for mounting. In addition, mass productivity is significantly improved as compared with the conventional wire-wound inductance component, and a product with uniform characteristics can be provided at low cost.
【図１】本発明に係る一実施例の斜視図である。FIG. 1 is a perspective view of an embodiment according to the present invention.
【図２】従来の巻線型トランスの斜視図である。FIG. 2 is a perspective view of a conventional wire-wound transformer.
【図３】本発明に係る一実施例のトランスの等価回路図
である。FIG. 3 is an equivalent circuit diagram of a transformer according to an embodiment of the present invention.
【図４】本発明に係る一実施例の各グリーンシートの様
子を示す平面図である。FIG. 4 is a plan view showing a state of each green sheet according to one embodiment of the present invention.
【図５】本発明に係る一実施例の挿入損失特性である。FIG. 5 is an insertion loss characteristic of an example according to the present invention.
【図６】本発明に係る一実施例の２出力間の位相特性で
ある。FIG. 6 is a phase characteristic between two outputs according to an embodiment of the present invention.
【図７】本発明に係る別の実施例のトランスの等価回路
図である。FIG. 7 is an equivalent circuit diagram of a transformer according to another embodiment of the present invention.
【図８】本発明に係る別の実施例の各グリーンシートの
様子を示す平面図である。FIG. 8 is a plan view showing a state of each green sheet according to another embodiment of the present invention.
【図９】本発明に係る別の実施例のトランスの挿入損失
特性である。FIG. 9 is an insertion loss characteristic of a transformer according to another embodiment of the present invention.
フロントページの続き (72)発明者 松井 直樹 鳥取県鳥取市南栄町33番地12号日立金属株 式会社鳥取工場内 (72)発明者 石田 徹 鳥取県鳥取市南栄町33番地12号日立金属株 式会社鳥取工場内 (72)発明者 栗原 光一郎 鳥取県鳥取市南栄町33番地12号日立金属株 式会社磁性材料研究所鳥取分室内 (72)発明者 青柳 淳 鳥取県鳥取市南栄町33番地12号日立金属株 式会社磁性材料研究所鳥取分室内Front page continued (72) Inventor Naoki Matsui 33-12 Minamieicho, Tottori-shi, Tottori Hitachi Metals Co., Ltd.Tottori factory (72) Inventor Toru Ishida 33-12 Minamieicho, Tottori-shi, Tottori Hitachi Metals Co., Ltd. Company Tottori Factory (72) Inventor Koichiro Kurihara 33-12 Minamieicho, Tottori-shi, Tottori Hitachi Metals Co., Ltd. Magnetic Materials Research Laboratory Tottori Branch Office (72) Inventor Jun Aoyagi 33-12 Minamieicho, Tottori-shi, Tottori Prefecture Hitachi Metals Co., Ltd. Magnetic Materials Research Laboratory Tottori Branch Office
Claims (3)
％，ＮｉＯ を ２０．０〜３９．５ モル％，ＣｕＯ
を １０．０〜２０．０ モル％，ＺｎＯ を
２．０〜２０．０ モル％，ＣｏＯ を ０．３〜
６．５ モル％，Ｂｉ2Ｏ3を ４．０ 重量％未満含
有し、これらのうちＮｉＯ，ＣｕＯ，ＺｎＯの含有比が
いずれもモル比で１．０≦ＮｉＯ／ＣｕＯ≦３．９５，
０．５≦ＣｕＯ／ＺｎＯ≦１０．０，１．０≦ＮｉＯ／
ＺｎＯ≦１９．８であることを特徴とする磁性セラミク
ス。1. Fe 2 O 3 is 40.0 to 49.8 mol%, NiO is 20.0 to 39.5 mol%, and CuO.
10.0 to 20.0 mol%, ZnO
2.0-20.0 mol%, CoO 0.3-
6.5 mol% and Bi 2 O 3 of less than 4.0 wt%, and the content ratio of NiO, CuO, ZnO is 1.0 ≦ NiO / CuO ≦ 3.95 in terms of molar ratio.
0.5 ≦ CuO / ZnO ≦ 10.0, 1.0 ≦ NiO /
Magnetic ceramics, characterized in that ZnO ≦ 19.8.
おける複素透磁率の実数項が１５以上，虚数項が５未満
で、焼結後の密度が５．０×１０3kｇ／ｍ3以上である
ことを特徴とする請求項１に記載の磁性セラミクス。2. The complex magnetic permeability in the frequency range of 1 MHz to 200 MHz has a real number term of 15 or more, an imaginary number term of less than 5, and a density after sintering of 5.0 × 10 3 kg / m 3 or more. The magnetic ceramics according to claim 1, which is characterized.
を積層してなる電子部品であって、積層されるシートの
うちの一部または全部が、Ｆｅ2Ｏ3を ４０．０〜４
９．８ モル％，ＮｉＯ を ２０．０〜３９．５ モ
ル％，ＣｕＯ を １０．０〜２０．０ モル％，Ｚｎ
Ｏ を ２．０〜２０．０ モル％，ＣｏＯ を
０．３〜 ６．５ モル％，Ｂｉ2Ｏ3を ４．０ 重
量％未満含有し、これらのうちＮｉＯ，ＣｕＯ，ＺｎＯ
の含有比がいずれもモル比で１．０≦ＮｉＯ／ＣｕＯ≦
３．９５，０．５≦ＣｕＯ／ＺｎＯ≦１０．０，１．０
≦ＮｉＯ／ＺｎＯ≦１９．８である磁性セラミクスであ
り、該磁性セラミクスのシートに形成される導体パター
ンがＡｇまたはＡｇ−Ｐｄ合金であり、それらが部品の
一部または全部を構成するように積層した後、最高温度
９５０℃以下で焼結することにより一体化して得る積層
型電子部品。3. An electronic component formed by laminating insulating sheets having a conductor pattern formed thereon, wherein some or all of the laminated sheets contain Fe 2 O 3 in an amount of 40.0-4.
9.8 mol%, NiO 20.0-39.5 mol%, CuO 10.0-20.0 mol%, Zn
O 2 is 2.0 to 20.0 mol%, CoO 2 is
0.3 to 6.5 mol% and Bi 2 O 3 less than 4.0% by weight, and among these, NiO, CuO, ZnO
The content ratio of each is 1.0 ≦ NiO / CuO ≦
3.95, 0.5 ≤ CuO / ZnO ≤ 10.0, 1.0
Magnetic ceramics satisfying ≦ NiO / ZnO ≦ 19.8, a conductor pattern formed on a sheet of the magnetic ceramics is Ag or Ag-Pd alloy, and they are laminated so as to form a part or all of a component. After that, a laminated electronic component integrally obtained by sintering at a maximum temperature of 950 ° C. or lower.
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|---|---|---|---|
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| JP7-148888 | 1995-06-15 | ||
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Publications (2)
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