JPH0954134A - Method and apparatus for measurement of characteristic for electronic component - Google Patents
Method and apparatus for measurement of characteristic for electronic componentInfo
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- JPH0954134A JPH0954134A JP7227408A JP22740895A JPH0954134A JP H0954134 A JPH0954134 A JP H0954134A JP 7227408 A JP7227408 A JP 7227408A JP 22740895 A JP22740895 A JP 22740895A JP H0954134 A JPH0954134 A JP H0954134A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、チップコンデン
サ、チップインダクタ等のチップ状電子部品の電気的特
性を高速で測定するための電子部品の特性測定方法及び
装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electronic component characteristic measuring method and apparatus for measuring the electrical characteristic of a chip-shaped electronic component such as a chip capacitor and a chip inductor at high speed.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、この種の電子部品の特性測定装置
としては、本出願人提案の特公平５−６６００９号及び
特公平６−８７０７２号に開示されたものがある。これ
らの特公平５−６６００９号及び特公平６−８７０７２
号の装置は、チップコンデンサ、チップインダクタ等の
チップ状電子部品（以下、チップ部品と言う）を保持し
搬送する間欠移動搬送テーブルと、該間欠移動搬送テー
ブル上のチップ部品に対し一対の測定用接触子を当接さ
せて電気的特性を測定する測定ユニットとを持ち、前記
間欠移動搬送テーブルの間欠送り動作を基準とし、これ
と機械的に連動させて前記測定ユニットの測定用接触子
を開閉して間欠搬送されたチップ部品を順次測定する構
成となっている。2. Description of the Related Art Heretofore, as a characteristic measuring apparatus for electronic components of this type, there are those disclosed in Japanese Patent Publication No. 5-66009 and Japanese Patent Publication No. 6-87072 proposed by the present applicant. Japanese Patent Publication No. 5-66009 and Japanese Patent Publication No. 6-87072
The device of No. 1 is an intermittent transfer table for holding and transferring chip-shaped electronic parts (hereinafter referred to as chip parts) such as chip capacitors and chip inductors, and a pair of measuring parts for the chip parts on the intermittent transfer table. It has a measuring unit for contacting the contactor to measure the electrical characteristics, and based on the intermittent feed operation of the intermittent transfer table, mechanically interlocks with it to open and close the measuring contact of the measuring unit. Then, the chip components that are intermittently conveyed are sequentially measured.
【０００３】また、別の従来装置として、サーボモータ
を用いて間欠移動搬送テーブルを駆動するとともに、測
定ユニットの駆動にソレノイドを用いたものがあり、こ
の場合、間欠移動搬送テーブルの移動完了信号により測
定ユニットのソレノイドを駆動させて該間欠移動搬送テ
ーブル上の電子部品の測定を行っていた。As another conventional apparatus, there is one in which a servo motor is used to drive an intermittently moving and carrying table and a solenoid is used to drive a measuring unit. In this case, a moving completion signal from the intermittently moving and carrying table is used. The solenoid of the measuring unit is driven to measure the electronic components on the intermittently moving and transporting table.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記した特
公平５−６６００９号及び特公平６−８７０７２号の装
置では、間欠移動搬送テーブルの間欠送り動作を基準と
し、これと機械的に連動させて測定ユニットの測定用接
触子を開閉するものであるため、現状以上の高速化は困
難であり、給油等の定期的なメンテナンスを必要とす
る。また、電子部品の供給、排出での停止要因等に起因
する停止命令に対し、現状位置での瞬時停止が困難であ
った。In the devices of Japanese Patent Publication No. 5-66009 and Japanese Patent Publication No. 6-87072 described above, the intermittent feeding operation of the intermittent transfer / conveyance table is used as a reference and mechanically interlocked therewith. Since the measuring contact of the measuring unit is opened and closed, it is difficult to achieve higher speed than the current one, and regular maintenance such as refueling is required. In addition, it is difficult to instantaneously stop at the current position in response to a stop command caused by a stop factor in supplying and discharging electronic components.
【０００５】また、サーボモータを用いて間欠移動搬送
テーブルを駆動するとともに、測定ユニットの駆動にソ
レノイドを用いた従来装置では、ソレノイドの寿命が短
いため、測定ユニットのソレノイドの寿命を考慮して定
期的な交換が必要でメンテナンスが面倒な欠点がある。Further, in the conventional apparatus which uses the servomotor to drive the intermittent transfer table and uses the solenoid to drive the measuring unit, the life of the solenoid is short. There is a drawback that it requires complicated replacement and maintenance is troublesome.
【０００６】本発明は、上記の点に鑑み、電子部品測定
の高速化、保守性及び動作の信頼性の向上を図ることの
できる電子部品の特性測定方法及び装置を提供すること
を目的とする。In view of the above points, an object of the present invention is to provide a method and apparatus for measuring characteristics of an electronic component, which can speed up measurement of the electronic component, improve maintainability and reliability of operation. .
【０００７】本発明のその他の目的や新規な特徴は後述
の実施の形態において明らかにする。[0007] Other objects and novel features of the present invention will be clarified in embodiments described later.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の電子部品の特性測定方法は、被測定物であ
る電子部品の端子電極に接触する接触子で電子部品の特
性測定を行う測定ユニットを駆動するために第１のサー
ボモータを用いるとともに、前記測定ユニットの測定位
置へ電子部品を間欠搬送する間欠移動搬送テーブルを駆
動するために第２のサーボモータを用い、前記第１のサ
ーボモータの回転角度から前記測定ユニットの接触子が
電子部品の端子電極から離間している期間を検知し、当
該期間内に前記第２のサーボモータで前記間欠移動搬送
テーブルを一定量移動することを特徴としている。In order to achieve the above object, the method for measuring the characteristics of an electronic component according to the present invention is a method for measuring the characteristics of an electronic component with a contactor that comes into contact with a terminal electrode of the electronic component which is the object to be measured. The first servomotor is used to drive the measurement unit to be performed, and the second servomotor is used to drive the intermittent movement transport table that intermittently transports the electronic component to the measurement position of the measurement unit. The period during which the contact of the measuring unit is separated from the terminal electrode of the electronic component is detected from the rotation angle of the servo motor, and the intermittent movement conveyance table is moved by a predetermined amount by the second servo motor within the period. It is characterized by that.
【０００９】また、上記電子部品の特性測定方法におい
て、通常時は前記第１のサーボモータを連続回転させ、
前記期間内に前記第２のサーボモータによる前記間欠移
動搬送テーブルの前記一定量の移動を完了できないとき
は前記第１及び第２のサーボモータの回転を停止する構
成とすることができる。Further, in the above-mentioned method for measuring the characteristics of electronic parts, normally, the first servomotor is continuously rotated,
The rotation of the first and second servo motors may be stopped when the predetermined amount of movement of the intermittent movement conveyance table by the second servo motor cannot be completed within the period.
【００１０】本発明の電子部品の特性測定装置は、被測
定物である電子部品を間欠搬送する間欠移動搬送テーブ
ルと、該間欠移動搬送テーブルで間欠搬送された電子部
品の端子電極に接触する接触子を有していて電子部品の
特性測定を行う測定ユニットと、前記接触子の開閉を行
うための第１のサーボモータと、前記間欠移動搬送テー
ブルを駆動するための第２のサーボモータと、該第１の
サーボモータの回転角度を検出する回転角度検出手段と
を備え、前記回転角度検出手段の検出出力が電子部品の
端子電極から前記接触子が離間していることを示してい
る期間内に前記第２のサーボモータで前記間欠移動搬送
テーブルを駆動する構成となっている。The characteristic measuring device for electronic parts according to the present invention comprises an intermittent moving transfer table for intermittently transferring an electronic part, which is an object to be measured, and a contact for contacting the terminal electrodes of the electronic parts intermittently transferred by the intermittent moving transfer table. A measuring unit having a child for measuring the characteristics of the electronic component, a first servo motor for opening and closing the contact, and a second servo motor for driving the intermittent transfer table. A rotation angle detecting means for detecting a rotation angle of the first servo motor, and a detection output of the rotation angle detecting means indicates that the contact is separated from the terminal electrode of the electronic component. In addition, the second servo motor drives the intermittent transfer table.
【００１１】また、上記電子部品の特性測定装置におい
て、前記間欠移動搬送テーブルの間欠搬送毎の一定量の
移動を検出する確認センサを設け、通常時は前記第１の
サーボモータを連続回転させるが、前記期間内に前記間
欠移動搬送テーブルの前記一定量の移動が完了していな
いことを前記確認センサが検出したときは前記第１及び
第２のサーボモータの回転を停止する構成としてもよ
い。Further, in the above-mentioned characteristic measuring device for electronic parts, a confirmation sensor for detecting a fixed amount of movement of each intermittent conveyance of the intermittent movement conveyance table is provided, and normally the first servomotor is continuously rotated. The rotation of the first and second servo motors may be stopped when the confirmation sensor detects that the constant amount of movement of the intermittent movement conveyance table is not completed within the period.
【００１２】[0012]
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る電子部品の特
性測定方法及び装置の実施の形態を図面に従って説明す
る。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of a method and apparatus for measuring characteristics of electronic parts according to the present invention will be described below with reference to the drawings.
【００１３】図１は本発明の実施の形態であって間欠移
動搬送テーブルとしてのロータリーインデックステーブ
ル及びその周辺の機構部分を示す正断面図、図２は測定
ユニットの接触子を開閉駆動する機構部分の正断面図、
図３は実施の形態の平面図、図４は測定ユニット部分を
示す拡大断面図、図５は実施の形態における電気制御系
統を示すブロック図、図６は実施の形態の動作説明のた
めのタイムチャートである。FIG. 1 is a front sectional view showing a rotary index table as an intermittent moving / conveying table and a mechanical portion around the rotary index table according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a mechanical portion for opening / closing driving a contact of a measuring unit. Front sectional view of
3 is a plan view of the embodiment, FIG. 4 is an enlarged cross-sectional view showing a measurement unit portion, FIG. 5 is a block diagram showing an electric control system in the embodiment, and FIG. 6 is a time for explaining the operation of the embodiment. It is a chart.
【００１４】図１乃至図４において、間欠移動搬送テー
ブルとしてのロータリーインデックステーブル１は、装
置基台１１上に立設固定されたテーブル支持フレーム２
で水平面内で回転自在に軸支されている。すなわち、ロ
ータリーインデックステーブル１の中心に中心軸３が垂
直に固定されており、該中心軸３はテーブル支持フレー
ム２に固定の軸受４で回転自在に支持されている。図４
に示すように、被測定物としてのチップコンデンサ、チ
ップインダクタ等のチップ状電子部品１０は、ロータリ
ーインデックステーブル１の上面周縁部のキャリア部１
ａ上に等間隔で載置されている。なお、図示は省略した
が、各チップ状電子部品１０を位置ずれを起こさないよ
うに吸着保持するために、真空吸引路がキャリア部１ａ
のチップ状電子部品の載置位置に対応して形成されてい
る。1 to 4, a rotary index table 1 serving as an intermittently moving and carrying table is provided with a table support frame 2 which is vertically fixed on an apparatus base 11.
Is rotatably supported in the horizontal plane. That is, the central shaft 3 is vertically fixed to the center of the rotary index table 1, and the central shaft 3 is rotatably supported by the table support frame 2 by a fixed bearing 4. FIG.
As shown in FIG. 1, a chip-shaped electronic component 10 such as a chip capacitor or a chip inductor as a DUT has a carrier portion 1 at a peripheral portion of an upper surface of a rotary index table 1.
It is mounted on a at equal intervals. Although illustration is omitted, in order to hold each chip-shaped electronic component 10 by suction so as not to cause positional displacement, the vacuum suction path has a carrier portion 1a.
It is formed corresponding to the mounting position of the chip-shaped electronic component.
【００１５】前記装置基台１１に対し所定高さに固定支
持されていて、前記ロータリーインデックステーブル１
の周囲に位置する固定台板１２上には、図３の如く円環
を部分的に切欠いた平面形状の測定ユニット取付台座１
３が固定されており、該測定ユニット取付台座１３上に
測定ユニット２０が固定されている。ここでは図３のよ
うにロータリーインデックステーブル１の停止位置に対
応したステーションのうちの１４箇所の測定ステーショ
ンに測定ユニット２０がそれぞれ固定配置されている。The rotary index table 1 is fixedly supported at a predetermined height with respect to the apparatus base 11.
On the fixed base plate 12 located around the circumference of the measurement unit mounting base 1 having a planar shape in which a ring is partially cut out as shown in FIG.
3 is fixed, and the measuring unit 20 is fixed on the measuring unit mounting base 13. Here, as shown in FIG. 3, the measuring units 20 are fixedly arranged at 14 measuring stations among the stations corresponding to the stop positions of the rotary index table 1.
【００１６】各々の測定ユニット２０の構成は図４に示
される。この図において、測定ユニット２０は、測定ユ
ニット取付台座１３に固定されたユニット本体２１と、
該ユニット本体２１に対しナイフエッジ支点Ｐを中心と
して回動（揺動）するように取り付けられた一対の開閉
レバー２２と、一対の開閉レバー２２の下端にそれぞれ
取り付けられた相互に対向する一対のＬ型金属薄板の接
触子２３と、一対の接触子２３が閉じる向きに前記一対
の開閉レバー２２を付勢する圧縮ばね２４と、前記一対
の接触子２３の閉じたときの対向間隔を規定するストッ
パ用調整螺子２５と、各開閉レバー２２の上端に枢着さ
れたカムローラ２６とを有している。The structure of each measuring unit 20 is shown in FIG. In this figure, the measurement unit 20 includes a unit main body 21 fixed to the measurement unit mounting base 13,
A pair of open / close levers 22 attached to the unit main body 21 so as to rotate (swing) about the knife edge fulcrum P, and a pair of opposite open / close levers 22 attached to the lower ends of the pair of open / close levers 22, respectively. The contact 23 of an L-shaped thin metal plate, the compression spring 24 for urging the pair of opening / closing levers 22 in the direction in which the pair of contacts 23 are closed, and the facing distance when the pair of contacts 23 are closed are defined. It has a stopper adjusting screw 25 and a cam roller 26 pivotally attached to the upper end of each opening / closing lever 22.
【００１７】前記圧縮ばね２４はユニット本体２１に固
定のブラケット２７に取り付けられて、前記ナイフエッ
ジ支点Ｐより下の開閉レバー２２部分を押圧するもので
あり、前記ストッパ用調整螺子２５は前記ブラケット２
７に螺着されて、先端が前記ナイフエッジ支点Ｐより上
の開閉レバー２２部分に当接するものである。前記一対
の接触子２３にはリード端子２８を介しリード線が接続
され、チップ状電子部品１０の電気的特性を測定するた
めの測定機器に接続されるようになっている。The compression spring 24 is attached to a bracket 27 fixed to the unit main body 21 and presses the opening / closing lever 22 portion below the knife edge fulcrum P, and the stopper adjusting screw 25 is used for the bracket 2
7 is screwed to the tip of the opening / closing lever 22 above the knife edge fulcrum P. Lead wires are connected to the pair of contacts 23 via lead terminals 28, and are connected to a measuring device for measuring the electrical characteristics of the chip-shaped electronic component 10.
【００１８】前記測定ユニット２０の一対の接触子２３
の開閉動作は、下降時にカムローラ２６の間隔を狭くす
るカム面３０ａを形成した昇降カム部材３０で行うよう
になっており、昇降カム部材３０がカムローラ２６に当
接していない場合、一対の接触子２３は閉じた状態であ
って、ロータリーインデックステーブル１側のキャリア
部１ａ上にチップ状電子部品１０が載置されているとき
に、チップ状電子部品１０の両端面を挟み、当該チップ
状電子部品１０の両端部の外部端子電極に接触子２３が
それぞれ接触するようになっている。A pair of contacts 23 of the measuring unit 20.
The opening / closing operation is performed by the elevating cam member 30 having the cam surface 30a that narrows the interval between the cam rollers 26 when descending. When the elevating cam member 30 is not in contact with the cam roller 26, a pair of contactors is used. When the chip-shaped electronic component 10 is placed on the carrier portion 1a on the rotary index table 1 side in a closed state, both end surfaces of the chip-shaped electronic component 10 are sandwiched between the chip-shaped electronic component 10 and the chip-shaped electronic component 10. The contacts 23 come into contact with the external terminal electrodes at both ends of the contact 10.
【００１９】前記昇降カム部材３０が下降すると、その
カム面３０ａによりカムローラ２６が押されて一対のカ
ムローラ２６の間隔が狭くなる向きに一対の開閉レバー
２２が回動して各開閉レバー２２下端の接触子２３は開
き、前記キャリア部１ａ上のチップ状電子部品１０から
十分離れた位置に後退する。When the elevating cam member 30 descends, the cam roller 26 is pushed by the cam surface 30a thereof, and the pair of open / close levers 22 rotate in the direction in which the interval between the pair of cam rollers 26 becomes narrower. The contactor 23 is opened and retracted to a position on the carrier portion 1a that is sufficiently distant from the chip-shaped electronic component 10.
【００２０】なお、ロータリーインデックステーブル１
の間欠回転によるチップ状電子部品１０の間欠搬送の際
には、測定ユニット２０の一対の接触子２３は開いた状
態で、キャリア部１ａ上のチップ状電子部品１０の移動
を妨げないようになっていることが必要である。The rotary index table 1
When the chip-shaped electronic component 10 is intermittently conveyed by the intermittent rotation, the pair of contacts 23 of the measurement unit 20 are in an open state so as not to hinder the movement of the chip-shaped electronic component 10 on the carrier portion 1a. It is necessary to have
【００２１】各測定ユニット２０の一対の接触子２３を
開閉するための昇降カム部材３０は、それぞれカム取付
昇降板３１に固定され、該カム取付昇降板３１は前記固
定台板１２に対し垂直方向（上下方向）に摺動自在に支
持された昇降スライダ３２に固定されている。カム取付
昇降板３１は、図３の２点鎖線に示すように、ロータリ
ーインデックステーブル１の外縁外側に沿った円弧形状
で、固定台板１２上に４箇所取り付けられたリニアスラ
イドガイド３３で垂直方向（上下方向）に摺動自在に支
えられている。前記昇降スライダ３２の下端部にはカム
フォロアとしてのローラ３４，３５が枢着されている。Lifting cam members 30 for opening and closing the pair of contacts 23 of each measuring unit 20 are fixed to cam mounting lift plates 31, and the cam mounting lift plates 31 are perpendicular to the fixed base plate 12. It is fixed to a lift slider 32 which is slidably supported (up and down). As shown by the chain double-dashed line in FIG. 3, the cam attachment lift plate 31 has an arc shape along the outer edge of the rotary index table 1, and is vertically aligned by the linear slide guides 33 attached at four locations on the fixed base plate 12. It is slidably supported (up and down). Rollers 34 and 35 as cam followers are pivotally attached to the lower end of the elevating slider 32.
【００２２】図２において、４０は測定ユニット駆動用
サーボモータ（第１のサーボモータ）であり、該測定ユ
ニット駆動用サーボモータ４０は装置基台１１上に固定
のモータ取付台４１に設置、固定されている。この測定
ユニット駆動用サーボモータ４０の回転駆動軸４０ａ
は、モータ取付台４１上に固定の軸受４２で回転自在に
支持された水平回転軸４３にジョイント４４を介して連
結されている。前記水平回転軸４３の先端部には測定ユ
ニット駆動用カム部材４５が連結固定されている。該カ
ム部材４５には周回する凹溝４６が形成されており、カ
ム部材４５の外周面のカム面４５ａに前記カムフォロア
としてのローラ３４が接し、凹溝４６の内面のカム面４
５ｂにローラ３５が接するようになっている。すなわ
ち、ローラ３４，３５でカム部材４５のカム面４５ａ，
４５ｂ間の肉厚を挟持しており、カム部材４５の回転に
伴って昇降スライダ３２は上下し、ひいては昇降カム部
材３０を昇降させて測定ユニット２０の接触子２３の開
閉を実行させることができる。In FIG. 2, reference numeral 40 denotes a measuring unit driving servomotor (first servomotor), and the measuring unit driving servomotor 40 is installed and fixed on a motor mounting base 41 fixed on the apparatus base 11. Has been done. The rotary drive shaft 40a of the servomotor 40 for driving this measuring unit
Is connected via a joint 44 to a horizontal rotary shaft 43 that is rotatably supported by a fixed bearing 42 on the motor mount 41. A measuring unit driving cam member 45 is connected and fixed to the tip of the horizontal rotary shaft 43. A circumferential groove 46 is formed on the cam member 45. The cam surface 45a on the outer peripheral surface of the cam member 45 is in contact with the roller 34 as the cam follower, and the cam surface 4a on the inner surface of the groove 46 is formed.
The roller 35 is in contact with 5b. That is, the cam surfaces 45a of the cam member 45 by the rollers 34, 35,
The thickness between 45b is sandwiched, and the elevating slider 32 moves up and down with the rotation of the cam member 45, and thus the elevating cam member 30 can be moved up and down to open and close the contact 23 of the measurement unit 20. .
【００２３】図３及び図５に示す如く、前記測定ユニッ
ト駆動用サーボモータ４０の回転駆動軸４０ａ（水平回
転軸４３）の回転角度を検出する回転角度検出手段とし
てロータリーエンコーダ５０及びカムポジショナー５４
が設けられている。すなわち、エンコーダ５０は測定ユ
ニット駆動用サーボモータ４０に並行してモータ取付台
４１上に設置、固定されており、エンコーダ５０の入力
軸５０ａと水平回転軸４３とにそれぞれベルト車（プー
リー）５１，５２が固着され、両ベルト車５１，５２間
にタイミングベルト５３が巻掛けられている。ここで、
エンコーダ５０は測定ユニット駆動用サーボモータ４０
が一定角度回転する毎に１個のパルスを図５の電気制御
系統のカムポジショナー５４に出力する。例えば、１度
毎に１個のパルスを出力するように設定すれば、測定ユ
ニット駆動用サーボモータ４０が１回転（３６０度回
転）する毎にエンコーダ５０は３６０個のパルスを出す
ことができる。カムポジショナー５４はエンコーダ５０
の基準位置（回転角零の位置で、例えば昇降カム部材３
０が下降限に到達したときの水平回転軸４３の位置）か
らのパルスを計数することで回転駆動軸４０ａの回転角
度、ひいてはこれに取り付けられたカム部材４５の回転
位置を検出することができる（従って、昇降カム部材３
０の昇降状態も知ることができる）。As shown in FIGS. 3 and 5, a rotary encoder 50 and a cam positioner 54 are provided as rotation angle detecting means for detecting the rotation angle of the rotary drive shaft 40a (horizontal rotary shaft 43) of the measuring unit driving servomotor 40.
Is provided. That is, the encoder 50 is installed and fixed on the motor mount 41 in parallel with the servo motor 40 for driving the measuring unit, and the input shaft 50a and the horizontal rotation shaft 43 of the encoder 50 are respectively provided with a belt wheel (pulley) 51, 52 is fixed, and a timing belt 53 is wound around both belt wheels 51 and 52. here,
The encoder 50 is the servomotor 40 for driving the measurement unit.
One pulse is output to the cam positioner 54 of the electric control system of FIG. 5 every time is rotated by a certain angle. For example, if the setting is such that one pulse is output each time, the encoder 50 can output 360 pulses each time the measuring unit driving servomotor 40 makes one rotation (360 degrees rotation). The cam positioner 54 is the encoder 50.
Reference position (at the position where the rotation angle is zero, for example, the lifting cam member 3
By counting the pulses from the position of the horizontal rotation shaft 43 when 0 reaches the lower limit), the rotation angle of the rotation drive shaft 40a, and thus the rotation position of the cam member 45 attached thereto can be detected. (Thus, the lifting cam member 3
You can also know the ascending / descending state of 0).
【００２４】なお、測定ユニット駆動用サーボモータ４
０は通常一定回転数で連続運転しており、この結果、各
測定ユニット２０の接触子２３を開閉する昇降カム部材
３０は周期的に昇降を繰り返している（接触子２３は周
期的に開閉を繰り返している）。The servomotor 4 for driving the measuring unit
0 is normally continuously operated at a constant rotation speed, and as a result, the elevating cam member 30 that opens and closes the contactor 23 of each measurement unit 20 is periodically moved up and down (the contactor 23 is opened and closed periodically. Repeated).
【００２５】前記ロータリーインデックステーブル１を
間欠回転させるために前記テーブル支持フレーム２に搬
送駆動用サーボモータ（第２のサーボモータ）６０及び
減速機６１が設置、固定されている。すなわち、搬送駆
動用サーボモータ６０の回転駆動軸６０ａと減速機６１
の入力軸６１ａとはジョイント６２を介して連結され、
減速機６１の出力軸６１ｂとロータリーインデックステ
ーブル１側の中心軸３とはジョイント６３を介して連結
されている。水平軸３及び出力軸６１ｂは水平面に対し
垂直な向きの回転軸である。ロータリーインデックステ
ーブル１が所望の１回の間欠回転動作（いわゆる割出し
動作であって、この場合ステーション１個分の前進動
作）を完了したことを検出するために、前記減速機６１
の出力軸６１ｂに固定の穴あき又は溝付き回転検出板６
４とテーブル支持フレーム２に固定のフォトセンサ６５
とからなる分割確認センサＳ１が設けられている。この
分割確認センサＳ１はインデックステーブル１の間欠回
転完了時に回転検出板６４の穴又は溝をフォトセンサ６
５の光が通過する構造を例えば具備するものである。A transport drive servomotor (second servomotor) 60 and a speed reducer 61 are installed and fixed to the table support frame 2 for intermittently rotating the rotary index table 1. That is, the rotary drive shaft 60a of the servomotor 60 for conveying drive and the speed reducer 61
Input shaft 61a is connected through a joint 62,
The output shaft 61b of the speed reducer 61 and the central shaft 3 on the rotary index table 1 side are connected via a joint 63. The horizontal shaft 3 and the output shaft 61b are rotary shafts oriented in a direction perpendicular to the horizontal plane. In order to detect that the rotary index table 1 has completed one desired intermittent rotation operation (so-called indexing operation, in this case, forward operation for one station), the speed reducer 61 is used.
Rotation detection plate 6 with a hole or groove fixed to the output shaft 61b of the
4 and the photo sensor 65 fixed to the table support frame 2.
A division confirmation sensor S1 is provided. The split confirmation sensor S1 is configured such that when the intermittent rotation of the index table 1 is completed, the photo sensor 6 is provided with a hole or groove in the rotation detection plate 64.
For example, the structure of 5 through which light passes is provided.
【００２６】なお、搬送駆動用サーボモータ６０は間欠
運転であり、その間欠運転のタイミングは連続運転して
いる測定ユニット駆動用サーボモータ４０の回転駆動軸
４０ａの回転角度を基準として測定ユニット２０の接触
子２３の開いている期間を検出して行うようにする。こ
のような測定ユニット駆動用サーボモータ４０と搬送駆
動用サーボモータ６０の同期運転の詳細については後述
する。The transport driving servomotor 60 is in intermittent operation, and the timing of the intermittent operation of the measuring unit 20 is based on the rotation angle of the rotary drive shaft 40a of the continuously operating measuring unit driving servomotor 40. The period in which the contactor 23 is open is detected and performed. Details of the synchronous operation of the measuring unit driving servomotor 40 and the conveyance driving servomotor 60 will be described later.
【００２７】図３に示すように、ロータリーインデック
ステーブル１の外縁に沿って当該ロータリーインデック
ステーブル１の停止位置に対応させて設けたステーショ
ンのうち、被測定物であるチップ状電子部品１０を図４
に示すロータリーインデックステーブル１上のキャリア
部１ａ上に供給する所が供給ステーションであり、ここ
に供給ユニット７０が配置されている。該供給ユニット
７０は、いわゆるチップフィーダと呼ばれるもので、チ
ップ状電子部品１０を１列に整列し、１個毎分離してキ
ャリア部１ａ上に供給する機能を具備している。As shown in FIG. 3, among the stations provided along the outer edge of the rotary index table 1 so as to correspond to the stop position of the rotary index table 1, the chip-shaped electronic component 10 as the object to be measured is shown in FIG.
A place for supplying onto the carrier portion 1a on the rotary index table 1 shown in is a supplying station, and the supplying unit 70 is arranged therein. The supply unit 70 is a so-called chip feeder, and has a function of arranging the chip-shaped electronic components 10 in one row, separating each of the electronic components 10 one by one, and supplying them onto the carrier portion 1a.
【００２８】また、図３の如く、測定ユニット２０が配
置された測定ステーションの間、もしくは測定ステーシ
ョンの後段に位置する不良品排出ステーションに不良品
排出ノズル８１がそれぞれ設置されている。該不良品排
出ノズル８１は空気流を吹き出すもので、当該不良品排
出ノズル８１より前段の測定ユニット２０による電気的
特性の測定結果が不良と判定されたチップ状電子部品１
０をロータリーインデックステーブル１のキャリア部上
から空気流で吹き飛ばして図示しない不良品排出パイプ
に送り込むためのものである。Further, as shown in FIG. 3, defective product discharge nozzles 81 are installed between the measuring stations in which the measuring unit 20 is arranged, or at defective product discharging stations located at the subsequent stage of the measuring station. The defective product discharge nozzle 81 blows out an air flow, and the chip-shaped electronic component 1 in which the measurement result of the electrical characteristics by the measurement unit 20 in the preceding stage of the defective product discharge nozzle 81 is determined to be defective.
0 is blown off from the carrier portion of the rotary index table 1 by an air flow and sent to a defective product discharge pipe (not shown).
【００２９】全ての測定ステーションを通過し、各測定
ユニット２０による電気的特性の測定結果が良好と判断
されたチップ状電子部品１０を排出するための第１及び
第２良品排出ステーションに第１及び第２良品排出ノズ
ル８２，８３がそれぞれ設置されている。第１及び第２
良品排出ノズル８２，８３は、第１及び第２良品排出ス
テーションに良品が到来したときのみロータリーインデ
ックステーブル１上のチップ状電子部品１０を空気流で
吹き飛ばして図示しない良品排出パイプに送り込む。The first and second non-defective product discharging stations for discharging the chip-shaped electronic component 10 that has passed all the measuring stations and is judged to have a good electric characteristic measurement result by each measuring unit 20 are first and second. Second non-defective product discharge nozzles 82 and 83 are installed, respectively. First and second
The non-defective product discharge nozzles 82, 83 blow off the chip-shaped electronic component 10 on the rotary index table 1 by an air flow and send it to a non-defective product discharge pipe only when a non-defective product arrives at the first and second non-defective product discharge stations.
【００３０】前記第２良品排出ノズル８３の後段の強制
排出ステーションには、強制排出ノズル８４が設置され
ており、ロータリーインデックステーブル１上に残った
チップ状電子部品１０を空気流で強制的に排除する。正
常な動作では不良品排出ステーション又は良品排出ステ
ーションでチップ状電子部品１０は排出され強制排出ス
テーションにはチップ状電子部品１０が残らない筈であ
るが、何らかの原因でチップ状電子部品１０が残る場合
がある。ロータリーインデックステーブル１上にチップ
状電子部品１０が残った状態で新たに供給ユニット７０
からチップ状電子部品１０の供給動作を実行すると不都
合なので、当該強制排出ステーションの強制排出ノズル
８４でチップ状電子部品１０を除いておく。A forced discharge nozzle 84 is installed at the forced discharge station subsequent to the second non-defective product discharge nozzle 83, and the chip-shaped electronic component 10 remaining on the rotary index table 1 is forcibly removed by an air flow. To do. In normal operation, the chip-shaped electronic component 10 should be discharged at the defective product discharge station or the non-defective product discharge station, and the chip-shaped electronic component 10 should not remain at the forced discharge station. However, if the chip-shaped electronic component 10 remains for some reason There is. A new supply unit 70 is provided with the chip-shaped electronic component 10 remaining on the rotary index table 1.
Since it is inconvenient to execute the supply operation of the chip-shaped electronic component 10 from above, the chip-shaped electronic component 10 is removed by the forced discharge nozzle 84 of the forced discharge station.
【００３１】図５の電気制御系統を示すブロック図にお
いて、測定ユニット駆動用サーボモータ４０及び搬送駆
動用サーボモータ６０の運転、停止の制御のためにサー
ボモータ制御部９０が設けられており、測定ユニット２
０の接触子２３の開閉状態を示すカムポジショナー５４
の出力信号、例えば、測定ユニット２０の接触子２３が
開放状態又は閉成状態となったことを示すタイミング信
号がカムポジショナー５４からサーボモータ制御部９０
に加えられようになっている。また、搬送駆動用サーボ
モータ６０によるロータリーインデックステーブル１の
１回の間欠回転動作、すなわち割り出し動作が完了した
ことを検出するための分割確認センサＳ１の検出信号
と、昇降カム部材３０が下降位置となったことを検出
（すなわち接触子２３の開放状態を検出）するための開
放確認センサＳ２の検出信号とがそれぞれサーボモータ
制御部９０に加えられている。In the block diagram showing the electric control system of FIG. 5, a servo motor control section 90 is provided for controlling the operation and stop of the measuring unit driving servo motor 40 and the conveyance driving servo motor 60, and the measurement is performed. Unit 2
Cam positioner 54 showing the open / closed state of the contact 23 of 0
Output signal of the servo motor controller 90 from the cam positioner 54, for example, a timing signal indicating that the contact 23 of the measuring unit 20 is in the open state or the closed state.
Is being added to. Further, the detection signal of the division confirmation sensor S1 for detecting the completion of one intermittent rotation operation of the rotary index table 1 by the conveyance driving servomotor 60, that is, the indexing operation, and the elevating cam member 30 indicating the descending position. The detection signal of the open confirmation sensor S2 for detecting that the contact state has been reached (that is, the open state of the contact 23) is added to the servo motor control unit 90.
【００３２】前記測定ユニット駆動用サーボモータ４０
の回転角度を基準とした搬送駆動用サーボモータ６０の
同期運転について図６のタイムチャートを用いて以下に
説明する。Servo motor 40 for driving the measuring unit
The synchronous operation of the conveyance drive servomotor 60 based on the rotation angle of is described below with reference to the time chart of FIG.
【００３３】図６（Ａ）に示すように、測定ユニット駆
動用サーボモータ４０が一定速度で回転することにより
各測定ユニット２０の一対の接触子２３を開閉するため
の昇降カム部材３０は、期間Ｔ１で下降状態（接触子２
３開放）、期間Ｔ２で下降位置からの上昇動作、期間Ｔ
３で上昇状態（接触子２３閉成）、期間Ｔ４で上昇位置
からの下降動作を行い、以後期間Ｔ１〜Ｔ４を繰り返
す。期間Ｔ３では一対の接触子２３が閉じて図４のよう
にキャリア部１ａ上のチップ状電子部品１０の両端部の
外部端子電極に接触しており、図６（Ａ）の斜線部で示
す測定期間Ｔ５で対を成した接触子２３間に接続された
測定機器で所要の電気的特性測定（静電容量、インダク
タンス、電気抵抗、絶縁耐圧測定等）を実行する。As shown in FIG. 6A, the elevating cam member 30 for opening and closing the pair of contacts 23 of each measuring unit 20 when the measuring unit driving servomotor 40 rotates at a constant speed is used for a period of time. Descent state at T1 (contact 2
3 open), rising operation from the lowered position in period T2, period T
3, the ascending state (contact 23 closed), the descending operation from the ascending position is performed in the period T4, and then the periods T1 to T4 are repeated. In the period T3, the pair of contacts 23 are closed and are in contact with the external terminal electrodes at both ends of the chip-shaped electronic component 10 on the carrier portion 1a as shown in FIG. 4, and the measurement shown by the hatched portion in FIG. In the period T5, required electrical characteristics measurement (capacitance, inductance, electric resistance, withstand voltage measurement, etc.) is executed by a measuring device connected between the pair of contacts 23.
【００３４】前記昇降カム部材３０の下降、上昇状態
（すなわち接触子２３の開閉状態）は、測定ユニット駆
動用サーボモータ４０の回転駆動軸４０ａに連動するロ
ータリーエンコーダ５０のパルス出力を受けるカムポジ
ショナー５４で検出することができ、接触子２３が開放
状態となったことを示すカムポジショナー５４のタイミ
ング信号と開放確認センサＳ２の昇降カム部材３０が実
際に下降位置にあることを示す検出信号との両方をサー
ボモータ制御部９０が受けたとき、搬送駆動用サーボモ
ータ６０の回転を開始させ、図６（Ｂ）の期間Ｔ６のロ
ータリーインデックステーブル１の割出し動作を実行さ
せる。ロータリーインデックステーブル１が所定角度の
回転動作（ステーション１個分の前進動作）を完了して
昇降カム部材３０の期間Ｔ１の下降状態継続中に分割確
認センサＳ１から割り出し完了を示す検出信号がサーボ
モータ制御部９０に出されたら、サーボモータ制御部９
０は搬送駆動用サーボモータ６０を停止し、図６（Ｂ）
の休止期間Ｔ７だけ搬送駆動用サーボモータ６０の停止
を継続する。そして、ロータリーインデックステーブル
１が停止している間の図６（Ａ）の斜線部で示す測定期
間Ｔ５に所要の電気的特性測定を実行した後、再びカム
ポジショナー５４の接触子開放を示すタイミング信号と
開放確認センサＳ２の昇降カム部材３０が下降位置にあ
ることを示す検出信号との両方がサーボモータ制御部９
０に印加されたとき、搬送駆動用サーボモータ６０の回
転が開始される。The cam positioner 54 receives the pulse output of the rotary encoder 50 which is interlocked with the rotary drive shaft 40a of the servomotor 40 for driving the measuring unit when the elevating cam member 30 is in the descending or ascending state (that is, the opening / closing state of the contact 23). Both the timing signal of the cam positioner 54 that indicates that the contactor 23 is in the open state and the detection signal that indicates that the lift cam member 30 of the opening confirmation sensor S2 is actually in the lowered position. When the servo motor control unit 90 receives this, the rotation of the conveyance driving servo motor 60 is started, and the indexing operation of the rotary index table 1 in the period T6 of FIG. 6B is executed. When the rotary index table 1 completes a rotation operation of a predetermined angle (advance operation for one station) and the elevating cam member 30 continues to descend during the period T1, the division confirmation sensor S1 outputs a detection signal indicating completion of indexing. When issued to the control unit 90, the servo motor control unit 9
0 stops the servomotor 60 for carrying drive, and FIG.
The conveyance drive servomotor 60 continues to be stopped for the rest period T7. Then, after the required electrical characteristic measurement is performed during the measurement period T5 indicated by the shaded area in FIG. 6A while the rotary index table 1 is stopped, the timing signal indicating the contact release of the cam positioner 54 is again provided. And the detection signal indicating that the lifting cam member 30 of the opening confirmation sensor S2 is in the lowered position are both the servo motor control unit 9
When applied to 0, the conveyance driving servomotor 60 starts to rotate.
【００３５】この図６に示すように、正常時は測定ユニ
ット駆動用サーボモータ４０を連続運転し、その回転駆
動軸４０ａの回転角度を検出して測定ユニット２０の接
触子２３が開いている一定のタイミングに同期させて搬
送駆動用サーボモータ６０を間欠運転することができ
る。As shown in FIG. 6, in a normal condition, the servomotor 40 for driving the measuring unit is continuously operated, and the rotation angle of the rotary drive shaft 40a is detected to open the contact 23 of the measuring unit 20 at a constant level. It is possible to intermittently operate the conveyance drive servomotor 60 in synchronization with the timing of.
【００３６】なお、図６（Ａ）の昇降カム部材３０の下
降状態（接触子２３開放）を示す期間Ｔ１内にロータリ
ーインデックステーブル１の割り出し動作が完了できな
かった場合、すなわち期間Ｔ１内に分割確認センサＳ１
の分割確認の検出信号が得られない場合（割り出しを完
了していないことを検出した場合）、サーボモータ制御
部９０は直ちに測定ユニット駆動用サーボモータ４０及
び搬送駆動用サーボモータ６０の両方を停止する。ま
た、開放確認センサＳ２で昇降カム部材３０の下降が検
出できない場合も、サーボモータ制御部９０は直ちに測
定ユニット駆動用サーボモータ４０及び搬送駆動用サー
ボモータ６０の両方を瞬時に停止する。これらにより、
装置の損傷（例えば、測定ユニット２０の接触子２３、
ロータリーインデックステーブル１のキャリア部１ａ
等）やチップ状電子部品１０の損傷を未然に防止する。Incidentally, when the indexing operation of the rotary index table 1 cannot be completed within the period T1 showing the lowered state (contact 23 opened) of the elevating cam member 30 of FIG. 6A, that is, within the period T1. Confirmation sensor S1
If the detection signal for the division confirmation is not obtained (when it is detected that the indexing is not completed), the servo motor control unit 90 immediately stops both the measurement unit driving servo motor 40 and the conveyance driving servo motor 60. To do. Further, even when the lowering of the lift cam member 30 cannot be detected by the opening confirmation sensor S2, the servo motor control unit 90 immediately stops both the measurement unit driving servo motor 40 and the conveyance driving servo motor 60. By these,
Damage to the device (eg contacts 23 of the measuring unit 20,
Carrier part 1a of rotary index table 1
Etc.) and damage to the chip-shaped electronic component 10 are prevented in advance.
【００３７】次に、この実施の形態の全体的な動作説明
を行う。Next, the overall operation of this embodiment will be described.
【００３８】ロータリーインデックステーブル１の外縁
に沿って設置されたステーションのうち、供給ステーシ
ョンでは供給ユニット７０からロータリーインデックス
テーブル１のキャリア部１ａ上に被測定物としてのチッ
プ状電子部品１０が移載され、ロータリーインデックス
テーブル１の間欠回転にともないステーション１個分毎
に順次前進していく。測定ステーションに到達したチッ
プ状電子部品１０は、測定ユニット２０の一対の接触子
２３が閉じたときに当該一対の接触子２３で挟まれ、チ
ップ状電子部品１０の両端部の外部端子電極に接触子２
３がそれぞれ接触することで所要の電気的特性の測定が
行われる。異なる測定ステーションの測定ユニット２０
では互いに異なる電気的特性についての測定が実施され
る。そして、いずれかの電気的特性が不良と判定された
チップ状電子部品１０は第１及び第２の良品排出ステー
ションに到達する前に、複数箇所の不良品排出ステーシ
ョンの不良品排出ノズル８１でロータリーインデックス
テーブル１上から排除される。排除されないで残ったチ
ップ状電子部品１０であって良品と判定されたものは第
１及び第２の良品排出ステーションの第１及び第２良品
排出ノズル８２，８３でロータリーインデックステーブ
ル１から良品排出パイプに送り込む。Of the stations installed along the outer edge of the rotary index table 1, in the supply station, the chip-shaped electronic component 10 as the object to be measured is transferred from the supply unit 70 onto the carrier portion 1a of the rotary index table 1. With the intermittent rotation of the rotary index table 1, the station sequentially advances every station. The chip-shaped electronic component 10 that has reached the measurement station is sandwiched by the pair of contactors 23 when the pair of contactors 23 of the measurement unit 20 is closed, and contacts the external terminal electrodes at both ends of the chip-shaped electronic component 10. Child 2
The required electrical characteristics are measured by contacting each of the three. Measuring units 20 of different measuring stations
Then, measurement is performed on different electrical characteristics. Then, the chip-shaped electronic component 10 determined to have any of the electrical characteristics is defective is rotated by the defective product discharge nozzles 81 of the defective product discharge stations at a plurality of locations before reaching the first and second non-defective product discharge stations. It is excluded from the index table 1. The remaining chip-shaped electronic components 10 that are not rejected and are determined to be non-defective products are the non-defective product discharge pipes from the rotary index table 1 by the first and second non-defective product discharge nozzles 82 and 83 of the first and second non-defective product discharge stations. Send to.
【００３９】この実施の形態によれば、次の通りの効果
を得ることができる。According to this embodiment, the following effects can be obtained.
【００４０】(1) 測定ユニット駆動用サーボモータ４
０は一定速度の連続回転であり、この回転駆動軸４０ａ
の回転角度を基準として測定ユニット２０の接触子２３
が開いているタイミングで搬送駆動用サーボモータ６０
を同期させて間欠回転させており、通常の動作状態では
測定ユニット駆動用サーボモータ４０が停止している時
間が皆無で時間の無駄が発生せず、測定処理の高速化に
対応できる。(1) Servo motor 4 for driving the measuring unit
0 indicates continuous rotation at a constant speed, and this rotary drive shaft 40a
23 of the measuring unit 20 based on the rotation angle of the
Servo motor 60 for transport drive at the timing when the
Are synchronized with each other and intermittently rotated, and in a normal operating state, there is no time during which the measuring unit driving servomotor 40 is stopped, no time is wasted, and the measurement processing can be speeded up.
【００４１】(2) ロータリーインデックステーブル１
の駆動及び測定ユニット２０の駆動に用いたサーボモー
タは一般的に故障が少なく、ソレノイド等に比較して長
寿命であり、保守が容易である。(2) Rotary index table 1
The servo motor used for driving the measuring unit 20 and the measuring unit 20 generally has few failures, has a longer life than solenoids, and is easy to maintain.
【００４２】(3) ロータリーインデックステーブル１
や昇降カム部材３０等の動作に支障が生じた時は、測定
ユニット駆動用サーボモータ４０及び搬送駆動用サーボ
モータ６０の両方を瞬時に停止させることが可能であ
り、測定ユニット２０の接触子２３、ロータリーインデ
ックステーブル１のキャリア部１ａ、チップ状電子部品
１０等の破損を防止することができる。(3) Rotary index table 1
When the operation of the lifting and lowering cam member 30 or the like is hindered, both the measuring unit driving servomotor 40 and the conveyance driving servomotor 60 can be instantaneously stopped, and the contact 23 of the measuring unit 20 can be stopped. It is possible to prevent the carrier portion 1a of the rotary index table 1, the chip-shaped electronic component 10 and the like from being damaged.
【００４３】(4) 測定ユニット駆動用サーボモータ４
０と搬送駆動用サーボモータ６０の２つの独立したサー
ボモータを用いるため、フレキシブルな時間割り付けが
可能であり、かつ小型サーボモータの採用により装置全
体の小型化を図ることもできる。(4) Servo motor 4 for driving the measuring unit
Since two independent servo motors of 0 and the conveyance driving servo motor 60 are used, flexible time allocation is possible and the miniaturization of the entire apparatus can be achieved by adopting a small servo motor.
【００４４】なお、上記実施の形態において、供給ユニ
ット７０に割り当てられた供給期間内にチップ状電子部
品１０の供給が完了できないときも測定ユニット駆動用
サーボモータ４０及び搬送駆動用サーボモータ６０の瞬
時停止を実行する構成とすることができる。In the above embodiment, even when the supply of the chip-shaped electronic component 10 cannot be completed within the supply period assigned to the supply unit 70, the measurement unit driving servomotor 40 and the conveyance driving servomotor 60 are instantaneously operated. It can be configured to execute the stop.
【００４５】また、測定ユニット２０の構成は適宜変更
可能であり、接触子の一方が固定で片側のみ可動となっ
ている構成、複数対の接触子を開閉する構成等が採用可
能である。Further, the structure of the measuring unit 20 can be appropriately changed, and a structure in which one of the contacts is fixed and only one side is movable, a structure in which a plurality of pairs of contacts are opened and closed, and the like can be adopted.
【００４６】さらに、測定ユニット駆動用サーボモータ
４０の回転駆動軸４０ａの回転角度検出を、エンコーダ
５０と該エンコーダ５０の出力パルスを計数するカムポ
ジショナー５４との組み合わせからなる回転角度検出手
段で検出したが、その他の角度検出手段を採用すること
も可能である。Further, the rotation angle detection of the rotation drive shaft 40a of the servomotor 40 for driving the measuring unit is detected by the rotation angle detection means comprising a combination of the encoder 50 and the cam positioner 54 for counting the output pulses of the encoder 50. However, it is also possible to adopt other angle detection means.
【００４７】以上本発明の実施の形態について説明して
きたが、本発明はこれに限定されることなく請求項の記
載の範囲内において各種の変形、変更が可能なことは当
業者には自明であろう。Although the embodiment of the present invention has been described above, it is obvious to those skilled in the art that the present invention is not limited to this and various modifications and changes can be made within the scope of the claims. Ah
【００４８】[0048]
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
被測定物である電子部品の端子電極に接触する接触子で
電子部品の特性測定を行う測定ユニットを駆動するため
に第１のサーボモータを用いるとともに、前記測定ユニ
ットの測定位置へ電子部品を間欠搬送する間欠移動搬送
テーブルを駆動するために第２のサーボモータを用い、
前記第１のサーボモータの回転角度から前記測定ユニッ
トの接触子が電子部品の端子電極から離間している期間
を検知し、当該期間内に前記第２のサーボモータで前記
間欠移動搬送テーブルを一定量移動する構成としたの
で、電子部品測定の高速化、保守性及び動作の信頼性の
向上を図った電子部品の特性測定方法及び装置を実現で
きる。As described above, according to the present invention,
The first servomotor is used to drive the measurement unit that measures the characteristics of the electronic component with the contactor that contacts the terminal electrode of the electronic component that is the object to be measured, and the electronic component is intermittently placed at the measurement position of the measurement unit. A second servomotor is used to drive the intermittent transfer table for carrying,
The period in which the contact of the measuring unit is separated from the terminal electrode of the electronic component is detected from the rotation angle of the first servo motor, and the intermittent movement conveyance table is fixed by the second servo motor within the period. Since it is configured to move by a large amount, it is possible to realize a method and apparatus for measuring characteristics of an electronic component, in which measurement of the electronic component is speeded up, maintainability and operation reliability are improved.
【図１】本発明に係る電子部品の特性測定方法及び装置
の実施の形態であってロータリーインデックステーブル
及びその周辺の機構部分を示す正断面図である。FIG. 1 is a front sectional view showing a rotary index table and a mechanical portion around the rotary index table, which is an embodiment of a method and apparatus for measuring characteristics of an electronic component according to the present invention.
【図２】測定ユニットの接触子を開閉駆動するための機
構部分を示す正断面図である。FIG. 2 is a front cross-sectional view showing a mechanical portion for opening / closing driving a contact of the measurement unit.
【図３】実施の形態の平面図である。FIG. 3 is a plan view of the embodiment.
【図４】実施の形態における測定ユニット部分の拡大断
面図である。FIG. 4 is an enlarged cross-sectional view of a measurement unit portion in the embodiment.
【図５】実施の形態における電気系統を示すブロック図
である。FIG. 5 is a block diagram showing an electric system in the embodiment.
【図６】実施の形態の動作説明のためのタイムチャート
である。FIG. 6 is a time chart for explaining the operation of the embodiment.
１ ロータリーインデックステーブル １ａ キャリア部 ２ テーブル支持フレーム ３ 中心軸 ４，４２ 軸受 １０ チップ状電子部品 １１ 装置基台 １２ 固定台板 １３ 測定ユニット取付台座 ２０ 測定ユニット ２１ ユニット本体 ２２ 開閉レバー ２３ 接触子 ２４ 圧縮ばね ２５ ストッパ用調整螺子 ２６ カムローラ ２７ ブラケット ２８ リード端子 ３０ 昇降カム部材 ３０ａ，４５ａ，４５ｂ カム面 ３１ カム取付昇降板 ３２ 昇降スライダ ３３ リニアスライドガイド ３４，３５ ローラ ４０ 測定ユニット駆動用サーボモータ ４０ａ 回転駆動軸 ４１ モータ取付台 ４３ 水平回転軸 ４４，６２，６３ ジョイント ４５ カム部材 ４６ 凹溝 ５０ エンコーダ ５１，５２ ベルト車 ５３ タイミングベルト ５４ カムポジショナー ６０ 搬送駆動用サーボモータ ６０ａ 回転駆動軸 ６１ 減速機 ７０ 供給ユニット ８１ 不良品排出ノズル ８２，８３ 良品排出ノズル ８４ 強制排出ノズル ９０ サーボモータ制御部 Ｓ１ 分割確認センサ Ｓ２ 開放確認センサ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 rotary index table 1a carrier part 2 table support frame 3 center axis 4,42 bearing 10 chip-shaped electronic parts 11 device base 12 fixed base plate 13 measurement unit mounting base 20 measurement unit 21 unit body 22 opening / closing lever 23 contactor 24 compression Spring 25 Adjusting screw for stopper 26 Cam roller 27 Bracket 28 Lead terminal 30 Elevating cam member 30a, 45a, 45b Cam surface 31 Cam mounting elevating plate 32 Elevating slider 33 Linear slide guide 34, 35 Roller 40 Measuring unit driving servo motor 40a Rotational drive Shaft 41 Motor mount 43 Horizontal rotation shaft 44, 62, 63 Joint 45 Cam member 46 Recessed groove 50 Encoder 51, 52 Belt wheel 53 Timing belt 54 Cam positioner 60 Transport drive Bomota 60a rotary drive shaft 61 reduction gear 70 supply unit 81 defective discharge nozzle 82, 83 non-defective discharge nozzle 84 forcibly discharge nozzle 90 servo motor control portion S1 partition confirmation sensor S2 opens confirmation sensor
Claims (4)
触する接触子で電子部品の特性測定を行う測定ユニット
を駆動するために第１のサーボモータを用いるととも
に、前記測定ユニットの測定位置へ電子部品を間欠搬送
する間欠移動搬送テーブルを駆動するために第２のサー
ボモータを用い、前記第１のサーボモータの回転角度か
ら前記測定ユニットの接触子が電子部品の端子電極から
離間している期間を検知し、当該期間内に前記第２のサ
ーボモータで前記間欠移動搬送テーブルを一定量移動す
ることを特徴とする電子部品の特性測定方法。1. A first servomotor is used to drive a measuring unit for measuring characteristics of an electronic component by a contactor which contacts a terminal electrode of the electronic component as a DUT, and a measuring position of the measuring unit. A second servomotor is used to drive the intermittently moving and transporting table for intermittently transporting the electronic component, and the contact of the measuring unit is separated from the terminal electrode of the electronic component from the rotation angle of the first servomotor. A method for measuring characteristics of an electronic component, characterized in that a period during which the table is present is detected, and the intermittently moving and transporting table is moved by a predetermined amount by the second servo motor within the period.
回転させ、前記期間内に前記第２のサーボモータによる
前記間欠移動搬送テーブルの前記一定量の移動を完了で
きないときは前記第１及び第２のサーボモータの回転を
停止する請求項１記載の電子部品の特性測定方法。2. The first servomotor is continuously rotated at normal times, and when the movement of the constant amount of the intermittent movement conveyance table by the second servomotor cannot be completed within the period, the first and The method for measuring characteristics of an electronic component according to claim 1, wherein the rotation of the second servomotor is stopped.
間欠移動搬送テーブルと、該間欠移動搬送テーブルで間
欠搬送された電子部品の端子電極に接触する接触子を有
していて電子部品の特性測定を行う測定ユニットと、前
記接触子の開閉を行うための第１のサーボモータと、前
記間欠移動搬送テーブルを駆動するための第２のサーボ
モータと、該第１のサーボモータの回転角度を検出する
回転角度検出手段とを備え、前記回転角度検出手段の検
出出力が電子部品の端子電極から前記接触子が離間して
いることを示している期間内に前記第２のサーボモータ
で前記間欠移動搬送テーブルを駆動することを特徴とす
る電子部品の特性測定装置。3. An electronic component having an intermittent movement conveyance table for intermittently conveying an electronic component, which is an object to be measured, and a contactor for contacting a terminal electrode of the electronic component intermittently conveyed by the intermittent movement conveyance table. A measuring unit for performing characteristic measurement, a first servo motor for opening and closing the contact, a second servo motor for driving the intermittent transfer table, and a rotation angle of the first servo motor. Rotation angle detection means for detecting the rotation angle detection means, and the detection output of the rotation angle detection means indicates that the contact is separated from the terminal electrode of the electronic component, and the second servomotor causes the An apparatus for measuring characteristics of electronic parts, characterized by driving an intermittently moving and carrying table.
の一定量の移動を検出する確認センサを設け、通常時は
前記第１のサーボモータを連続回転させるが、前記期間
内に前記間欠移動搬送テーブルの前記一定量の移動が完
了していないことを前記確認センサが検出したときは前
記第１及び第２のサーボモータの回転を停止する請求項
３記載の電子部品の特性測定装置。4. A confirmation sensor for detecting a fixed amount of movement for each intermittent conveyance of the intermittent movement conveyance table is provided, and the first servomotor is continuously rotated during normal operation, but the intermittent movement conveyance is performed within the period. 4. The electronic component characteristic measuring device according to claim 3, wherein the rotation of the first and second servomotors is stopped when the confirmation sensor detects that the movement of the table by the predetermined amount is not completed.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22740895A JP3287744B2 (en) | 1995-08-12 | 1995-08-12 | Method and apparatus for measuring characteristics of electronic components |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22740895A JP3287744B2 (en) | 1995-08-12 | 1995-08-12 | Method and apparatus for measuring characteristics of electronic components |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0954134A true JPH0954134A (en) | 1997-02-25 |
| JP3287744B2 JP3287744B2 (en) | 2002-06-04 |
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22740895A Expired - Fee Related JP3287744B2 (en) | 1995-08-12 | 1995-08-12 | Method and apparatus for measuring characteristics of electronic components |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3287744B2 (en) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
1995
- 1995-08-12 JP JP22740895A patent/JP3287744B2/en not_active Expired - Fee Related
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| CN112748314B (en) * | 2020-12-25 | 2024-02-06 | Tcl王牌电器(惠州)有限公司 | Withstand voltage testing device |
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