JPH0949790A - レーザ気化分析装置 - Google Patents
レーザ気化分析装置Info
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- JPH0949790A JPH0949790A JP7222568A JP22256895A JPH0949790A JP H0949790 A JPH0949790 A JP H0949790A JP 7222568 A JP7222568 A JP 7222568A JP 22256895 A JP22256895 A JP 22256895A JP H0949790 A JPH0949790 A JP H0949790A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 レーザ光を利用した金属材成分の分析装置で
あって、金属材の成分組成を、試料を調製することな
く、小型の経済的且つ効率的な装置によって適確且つ迅
速に分析することができる。 【解決手段】 半導体レーザ発振器１を励起光源とし、
固体レーザ媒質によるＱスイッチレーザ光を連続的に発
振するレーザ発振部と、レーザ発振部からのレーザ光を
試料面に集光するための集光機構８と、試料に密着させ
てレーザ光の照射により発生した微粒子を分析器に搬送
する機構を有するセル15とが設けられており、集光機構
８は、その軸線が直角となるように交差させた２組のス
キャンミラー11、12と、スキャンミラーの各々を一定角
度で往復回動させるための超音波モータ10とからなって
おり、超音波モータ10によるスキャンミラー11、12の往
復回動によって、レーザ光の光軸を、その照射方向と直
交する上下方向及び左右方向に一定の振幅で振動させ
る。
あって、金属材の成分組成を、試料を調製することな
く、小型の経済的且つ効率的な装置によって適確且つ迅
速に分析することができる。 【解決手段】 半導体レーザ発振器１を励起光源とし、
固体レーザ媒質によるＱスイッチレーザ光を連続的に発
振するレーザ発振部と、レーザ発振部からのレーザ光を
試料面に集光するための集光機構８と、試料に密着させ
てレーザ光の照射により発生した微粒子を分析器に搬送
する機構を有するセル15とが設けられており、集光機構
８は、その軸線が直角となるように交差させた２組のス
キャンミラー11、12と、スキャンミラーの各々を一定角
度で往復回動させるための超音波モータ10とからなって
おり、超音波モータ10によるスキャンミラー11、12の往
復回動によって、レーザ光の光軸を、その照射方向と直
交する上下方向及び左右方向に一定の振幅で振動させ
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、例えば鋼塊、鋼
片、各種鋼材等のような金属材の化学成分組成を、試料
を調製することなく直接分析することができる、レーザ
気化分析装置に関するものである。
片、各種鋼材等のような金属材の化学成分組成を、試料
を調製することなく直接分析することができる、レーザ
気化分析装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】例えば、鋼塊、鋼片、鋼材等のような金
属材の化学成分組成は、金属材の性質に大きな影響を及
ぼすので、その成分分析は、品質管理上不可欠である。
従来の成分分析は、対象となる金属材からその一部を切
り出し、所定形状に加工して試料を調製し、得られた試
料を分析装置にセットし、その成分を分析することによ
り行っていた。従って、試料の調製に多大の労力および
時間を必要とし、迅速な分析を行うことができなかっ
た。
属材の化学成分組成は、金属材の性質に大きな影響を及
ぼすので、その成分分析は、品質管理上不可欠である。
従来の成分分析は、対象となる金属材からその一部を切
り出し、所定形状に加工して試料を調製し、得られた試
料を分析装置にセットし、その成分を分析することによ
り行っていた。従って、試料の調製に多大の労力および
時間を必要とし、迅速な分析を行うことができなかっ
た。
【０００３】そのために、試料の調製を要せず、迅速に
分析し得る方法の開発が望まれており、例えば、特公昭
62-14773号公報には、プラズマアークを使用して鋼片等
の一部を加熱蒸発させ、発生した微粒子を分析装置に搬
送して分析する方法が開示されている。しかしながら、
このようなプラズマアークを使用した分析方法は、対象
物が熱鋼片の場合に、その表層に生じた酸化膜等のため
に、正確な分析を行うことができず、また、対象物の表
面に凹凸があるときには、分析値の信頼性が薄い等の問
題を有している。
分析し得る方法の開発が望まれており、例えば、特公昭
62-14773号公報には、プラズマアークを使用して鋼片等
の一部を加熱蒸発させ、発生した微粒子を分析装置に搬
送して分析する方法が開示されている。しかしながら、
このようなプラズマアークを使用した分析方法は、対象
物が熱鋼片の場合に、その表層に生じた酸化膜等のため
に、正確な分析を行うことができず、また、対象物の表
面に凹凸があるときには、分析値の信頼性が薄い等の問
題を有している。
【０００４】上述した問題を解決する手段として、近
時、パルスレーザー光を利用した迅速分析方法が開発さ
れており、例えば、特開平６-323969 号公報には、鋼片
等の表面にパルスレーザー光を照射し、発生した微粒子
試料を不活性ガスによってＩＣＰ分析装置に送り、これ
を分析する装置（以下、従来装置という）が開示されて
いる。
時、パルスレーザー光を利用した迅速分析方法が開発さ
れており、例えば、特開平６-323969 号公報には、鋼片
等の表面にパルスレーザー光を照射し、発生した微粒子
試料を不活性ガスによってＩＣＰ分析装置に送り、これ
を分析する装置（以下、従来装置という）が開示されて
いる。
【０００５】図３は、従来装置の概略説明図である。図
３に示すように、従来装置は、励起源としてのＫｒアー
クランプからなるレーザ発振器21と、反射ミラー22と、
集光レンズ23と、微粒子発生セル24とからなり、反射ミ
ラー22、集光レンズ23および微粒子発生セル24は、セル
積載ステージ25に配置されている。微粒子発生セル24に
は、ガス流入口28およびガス流出口29が設けられてお
り、ガス流入口28には、搬送ガス発生装置26からの導管
27が接続され、ガス流出口29には、ICP 発光分光分析装
置30に至る導管27が接続されている。
３に示すように、従来装置は、励起源としてのＫｒアー
クランプからなるレーザ発振器21と、反射ミラー22と、
集光レンズ23と、微粒子発生セル24とからなり、反射ミ
ラー22、集光レンズ23および微粒子発生セル24は、セル
積載ステージ25に配置されている。微粒子発生セル24に
は、ガス流入口28およびガス流出口29が設けられてお
り、ガス流入口28には、搬送ガス発生装置26からの導管
27が接続され、ガス流出口29には、ICP 発光分光分析装
置30に至る導管27が接続されている。
【０００６】上述した従来装置によれば、レーザ発振器
21から発振されたレーザ光は、反射ミラー22で進行方向
を調整され、集光レンズ23で集光された上、セル24を通
して分析すべき金属材Ａの表面に照射される。このよう
なレーザ光の照射により金属材Ａの表面から発生した微
粒子試料は、セル24内にガス流入口28を通して吹き込ま
れた不活性ガスにより分析装置30に送られて分析され
る。従って、金属材の化学成分組成を、試料を調製する
ことなく、しかも、その温度や形状に影響されず迅速に
分析することができる。
21から発振されたレーザ光は、反射ミラー22で進行方向
を調整され、集光レンズ23で集光された上、セル24を通
して分析すべき金属材Ａの表面に照射される。このよう
なレーザ光の照射により金属材Ａの表面から発生した微
粒子試料は、セル24内にガス流入口28を通して吹き込ま
れた不活性ガスにより分析装置30に送られて分析され
る。従って、金属材の化学成分組成を、試料を調製する
ことなく、しかも、その温度や形状に影響されず迅速に
分析することができる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来装置は、励起源として、Ｋｒアークランプからな
るレーザ発振器21が使用されているために、発振器自体
を水冷しなければならず、そのために大量の冷却水を必
要とし、装置が大型化し且つ大重量となる上、多量の電
力を必要とし、しかも、レーザ励起効率が悪く、分析す
べき金属材へのセットも容易ではない等の問題を有して
いた。
た従来装置は、励起源として、Ｋｒアークランプからな
るレーザ発振器21が使用されているために、発振器自体
を水冷しなければならず、そのために大量の冷却水を必
要とし、装置が大型化し且つ大重量となる上、多量の電
力を必要とし、しかも、レーザ励起効率が悪く、分析す
べき金属材へのセットも容易ではない等の問題を有して
いた。
【０００８】従って、この発明の目的は、上述した問題
を解決し、装置全体を小型且つ軽量化することができ、
発振器の水冷を要せず、しかも、レーザ励起効率に優
れ、金属材の化学成分組成を、試料を調製することな
く、直接効率的に分析することができるレーザ気化分析
装置を提供することにある。
を解決し、装置全体を小型且つ軽量化することができ、
発振器の水冷を要せず、しかも、レーザ励起効率に優
れ、金属材の化学成分組成を、試料を調製することな
く、直接効率的に分析することができるレーザ気化分析
装置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】この発明の装置は、分析
対象試料に押し当てられるレーザ照射ヘッドと、前記ヘ
ッドに内蔵されているレーザ発振部と、前記レーザ発振
部から照射されたレーザ光により、前記試料から発生し
た微粒子を分析するための分析器とからなるレーザ気化
分析装置において、前記レーザ照射ヘッドには、半導体
レーザ光を励起光源とし、固体レーザ媒質によるＱスイ
ッチレーザ光を連続的に発振するレーザ発振部と、前記
レーザ発振部からのレーザ光を前記試料面に集光するた
めの集光機構と、前記試料に密着させて、前記レーザ光
の照射により発生した微粒子を前記分析器に搬送する機
構を有するセルとが設けられており、前記集光機構は、
その軸線が直角となるように交差させた２組のスキャン
ミラーと、前記スキャンミラーの各々を一定角度で往復
回動させるための超音波モータと、集光レンズとからな
っており、前記超音波モータによる前記スキャンミラー
の往復回動によって、レーザ光の光軸をその照射方向と
直交する上下方向および左右方向に一定の振幅で振動さ
せることによって、前記試料面へのレーザ集光点を、一
定の振幅で振動させるようにしたことに特徴を有するも
のである。
対象試料に押し当てられるレーザ照射ヘッドと、前記ヘ
ッドに内蔵されているレーザ発振部と、前記レーザ発振
部から照射されたレーザ光により、前記試料から発生し
た微粒子を分析するための分析器とからなるレーザ気化
分析装置において、前記レーザ照射ヘッドには、半導体
レーザ光を励起光源とし、固体レーザ媒質によるＱスイ
ッチレーザ光を連続的に発振するレーザ発振部と、前記
レーザ発振部からのレーザ光を前記試料面に集光するた
めの集光機構と、前記試料に密着させて、前記レーザ光
の照射により発生した微粒子を前記分析器に搬送する機
構を有するセルとが設けられており、前記集光機構は、
その軸線が直角となるように交差させた２組のスキャン
ミラーと、前記スキャンミラーの各々を一定角度で往復
回動させるための超音波モータと、集光レンズとからな
っており、前記超音波モータによる前記スキャンミラー
の往復回動によって、レーザ光の光軸をその照射方向と
直交する上下方向および左右方向に一定の振幅で振動さ
せることによって、前記試料面へのレーザ集光点を、一
定の振幅で振動させるようにしたことに特徴を有するも
のである。
【００１０】
【発明の実施の形態】次に、この発明の装置を図面を参
照しながら説明する。図１は、この発明の装置の第１実
施態様を示す概略説明図である。図１において、１は半
導体レーザ発振器、８はレーザ集光機構、15はレーザ光
照射用セルであって、２は、レーザ集光機構８およびレ
ーザ光照射用セル15を含む、半導体レーザ発振器１が取
り付けられたレーザ照射ヘッドである。レーザ照射ヘッ
ド２には、発振器１からの半導体レーザ光を励起光源と
し、Ｑスイッチレーザ光を連続的に発振するためのレー
ザ発振部として、固体レーザ媒質であるＹＡＧロッド４
およびＱスイッチ素子５が設けられている。６は集光レ
ンズ、７は出力鏡である。
照しながら説明する。図１は、この発明の装置の第１実
施態様を示す概略説明図である。図１において、１は半
導体レーザ発振器、８はレーザ集光機構、15はレーザ光
照射用セルであって、２は、レーザ集光機構８およびレ
ーザ光照射用セル15を含む、半導体レーザ発振器１が取
り付けられたレーザ照射ヘッドである。レーザ照射ヘッ
ド２には、発振器１からの半導体レーザ光を励起光源と
し、Ｑスイッチレーザ光を連続的に発振するためのレー
ザ発振部として、固体レーザ媒質であるＹＡＧロッド４
およびＱスイッチ素子５が設けられている。６は集光レ
ンズ、７は出力鏡である。
【００１１】レーザ集光機構８は、不動の反射ミラー９
と、超音波モータ10により一定角度で往復回動する第１
スキャンミラー11と、同じく超音波モータ10’により一
定角度で往復回動する第２スキャンミラー12と、集光レ
ンズ13とからなっており、第１スキャンミラー11と第２
スキャンミラー12とは、その軸線が直角となるように交
差させて配置されている。レーザ照射ヘッド２とレーザ
集光機構８との間には、凹凸レンズの組み合わせによっ
てビーム径を大にし集光性を高めるためのビームエキス
パンダ14が設けられている。
と、超音波モータ10により一定角度で往復回動する第１
スキャンミラー11と、同じく超音波モータ10’により一
定角度で往復回動する第２スキャンミラー12と、集光レ
ンズ13とからなっており、第１スキャンミラー11と第２
スキャンミラー12とは、その軸線が直角となるように交
差させて配置されている。レーザ照射ヘッド２とレーザ
集光機構８との間には、凹凸レンズの組み合わせによっ
てビーム径を大にし集光性を高めるためのビームエキス
パンダ14が設けられている。
【００１２】半導体レーザ発振器１により励起されＹＡ
Ｇロッド４から発振されたレーザ光は、Ｑスイッチ素子
５によってエネルギー密度が高められハイパワーにされ
た後、ビームエキスパンダ14によってビーム径を大にし
集光性が高められる。次いで、反射ミラー９によって４
５度偏向された後、レーザ集光機構８に送られる。
Ｇロッド４から発振されたレーザ光は、Ｑスイッチ素子
５によってエネルギー密度が高められハイパワーにされ
た後、ビームエキスパンダ14によってビーム径を大にし
集光性が高められる。次いで、反射ミラー９によって４
５度偏向された後、レーザ集光機構８に送られる。
【００１３】レーザ集光機構８に送られたレーザ光は、
先ず超音波モータ10により回動する第１スキャンミラー
11によって、その照射方向と直交する水平方向に一定の
振幅で振動する。このようにして水平方向に一定の振幅
で振動するレーザ光は、次いで、超音波モータ10’によ
って回動する第２スキャンミラー12によって、その照射
方向と直交する上下方向に一定の振幅で振動する。
先ず超音波モータ10により回動する第１スキャンミラー
11によって、その照射方向と直交する水平方向に一定の
振幅で振動する。このようにして水平方向に一定の振幅
で振動するレーザ光は、次いで、超音波モータ10’によ
って回動する第２スキャンミラー12によって、その照射
方向と直交する上下方向に一定の振幅で振動する。
【００１４】このようにして水平方向および上下方向に
一定の振幅で振動するレーザ光は、集光レンズ13によっ
て集光された上、レーザ光照射用セル15を通って分析す
べき金属材の表面に照射される。その結果、金属材の表
面に照射されたレーザ光の集光点は、面を描くように移
動し、従って、金属材表面から金属材微粒子が面状に蒸
発する。
一定の振幅で振動するレーザ光は、集光レンズ13によっ
て集光された上、レーザ光照射用セル15を通って分析す
べき金属材の表面に照射される。その結果、金属材の表
面に照射されたレーザ光の集光点は、面を描くように移
動し、従って、金属材表面から金属材微粒子が面状に蒸
発する。
【００１５】レーザ光照射用セル15には、その中に、図
示しない不活性ガス発生器からの例えばアルゴンガスの
ような不活性ガスを吹込むための不活性ガス吹込み口16
と、レーザ光の照射によって金属材から発生した微粒子
を上記不活性ガスによって搬出するための搬出口17とが
設けられており、搬出口17から不活性ガスと共に搬出さ
れた金属材の微粒子は、その成分組成を分析するための
図示しないＩＣＰ（高周波誘導結合プラズマ）分析器
に、導管によって搬送される。従って、上記により蒸発
した金属材微粒子は、セル15内に吹き込まれた不活性ガ
スによってＩＣＰ分析器に搬送され、その成分組成が分
析される。
示しない不活性ガス発生器からの例えばアルゴンガスの
ような不活性ガスを吹込むための不活性ガス吹込み口16
と、レーザ光の照射によって金属材から発生した微粒子
を上記不活性ガスによって搬出するための搬出口17とが
設けられており、搬出口17から不活性ガスと共に搬出さ
れた金属材の微粒子は、その成分組成を分析するための
図示しないＩＣＰ（高周波誘導結合プラズマ）分析器
に、導管によって搬送される。従って、上記により蒸発
した金属材微粒子は、セル15内に吹き込まれた不活性ガ
スによってＩＣＰ分析器に搬送され、その成分組成が分
析される。
【００１６】この発明の装置によれば、レーザ光の励起
光源として、半導体レーザ発振器１が使用されているの
で、従来の励起源であるＫｒアークランプのように、発
振器自体を水冷する必要がなく、従って、装置を小型化
し且つ軽量とすることができる上、電力消費量も少なく
てすみ、しかも、半導体が出す光は特定の吸収率の高い
波長であるために、レーザ励起効率に優れている。
光源として、半導体レーザ発振器１が使用されているの
で、従来の励起源であるＫｒアークランプのように、発
振器自体を水冷する必要がなく、従って、装置を小型化
し且つ軽量とすることができる上、電力消費量も少なく
てすみ、しかも、半導体が出す光は特定の吸収率の高い
波長であるために、レーザ励起効率に優れている。
【００１７】レーザ集光機構８の第１スキャンミラー11
および第２スキャンミラー12は、超音波モータ10、10'
によって往復回動するようになっているので、その作動
が円滑に行われ、従って、レーザ光の光軸を適確に振動
させることができ、これらによって、どのような形状ま
たは温度の金属材でも、試料の調製を要せず、迅速適確
にその分析を行うことができる。
および第２スキャンミラー12は、超音波モータ10、10'
によって往復回動するようになっているので、その作動
が円滑に行われ、従って、レーザ光の光軸を適確に振動
させることができ、これらによって、どのような形状ま
たは温度の金属材でも、試料の調製を要せず、迅速適確
にその分析を行うことができる。
【００１８】金属材の表面に照射されたレーザ光集光点
の振動領域は、少なくとも１mm2 以上であることが望ま
しい。レーザ光集光点の振動領域が１mm2 未満では、偏
析等のために、分析の信頼性が低下するおそれが生ず
る。なお、レーザ光集光点の移動速度は、レーザ光焦点
のスポット径、パルス周波数、１パルスのエネルギ量等
により、必要最低速度が決められる。
の振動領域は、少なくとも１mm2 以上であることが望ま
しい。レーザ光集光点の振動領域が１mm2 未満では、偏
析等のために、分析の信頼性が低下するおそれが生ず
る。なお、レーザ光集光点の移動速度は、レーザ光焦点
のスポット径、パルス周波数、１パルスのエネルギ量等
により、必要最低速度が決められる。
【００１９】図２は、この発明の装置の第２実施態様を
示す概略説明図である。第２実施態様の装置において
は、照射ヘッド２とは別個に半導体レーザ発振器１が設
けられており、半導体レーザ発振器１と照射ヘッド２と
は、光ファイバーブルのようなレーザ光搬送ケーブル３
によって接続されている点のみが、第１実施態様の装置
と相違する。
示す概略説明図である。第２実施態様の装置において
は、照射ヘッド２とは別個に半導体レーザ発振器１が設
けられており、半導体レーザ発振器１と照射ヘッド２と
は、光ファイバーブルのようなレーザ光搬送ケーブル３
によって接続されている点のみが、第１実施態様の装置
と相違する。
【００２０】第２実施態様の装置によれば、半導体レー
ザ発振器１と照射ヘッド２とが別体になっており、両者
がレーザ光搬送ケーブル３によって接続されているの
で、レーザ照射ヘッド２を一段と小型化することがで
き、分析すべき金属材へのセットも極めて容易になる。
ザ発振器１と照射ヘッド２とが別体になっており、両者
がレーザ光搬送ケーブル３によって接続されているの
で、レーザ照射ヘッド２を一段と小型化することがで
き、分析すべき金属材へのセットも極めて容易になる。
【００２１】
【実施例】図１に示した下記仕様の本発明装置を使用
し、高温鋼片の成分組成を分析した。 励起光源：半導体レーザ発振器（波長 817 nm) レーザー：超音波Ｑスイッチ付のＮｄ−ＹＡＧレーザー
（波長1.06μm) 搬送ガス：アルゴンガス 分析器 ：ＩＣＰ発光分析装置
し、高温鋼片の成分組成を分析した。 励起光源：半導体レーザ発振器（波長 817 nm) レーザー：超音波Ｑスイッチ付のＮｄ−ＹＡＧレーザー
（波長1.06μm) 搬送ガス：アルゴンガス 分析器 ：ＩＣＰ発光分析装置
【００２２】鋼片の分析面を研削した後、レーザー光照
射用セル15の照射口15a を鋼片の研削された分析面に密
着させた。半導体レーザー発振器１により、鋼片の分析
面に向けてレーザー光をパルス頻度５０KHZ 、平均出力
１０Ｗで照射すると共に、金属材の表面に照射されたレ
ーザ光集光点の振動領域が３mm2 になるように、レーザ
集光機構８の第１スキャンミラー11を超音波モータ10に
より２０Hzで、そして、第２スキャンミラー12を超音波
モータ10’により２Hzでそれぞれ往復回動させた。
射用セル15の照射口15a を鋼片の研削された分析面に密
着させた。半導体レーザー発振器１により、鋼片の分析
面に向けてレーザー光をパルス頻度５０KHZ 、平均出力
１０Ｗで照射すると共に、金属材の表面に照射されたレ
ーザ光集光点の振動領域が３mm2 になるように、レーザ
集光機構８の第１スキャンミラー11を超音波モータ10に
より２０Hzで、そして、第２スキャンミラー12を超音波
モータ10’により２Hzでそれぞれ往復回動させた。
【００２３】このようなレーザー光の照射によって分析
面から蒸発した微粒子を、セル15内に吹き込まれたガス
発生器からのアルゴンガスによって、ＩＣＰ分析器に搬
送し、ＩＣＰ分析器において、周波数：２７MHZ 、出
力：１．３KW、プラズマガス流量：１５ｌ/ 分、補助ガ
ス流量：１l/分、搬送ガス流量：１l/分の条件で、鋼片
から蒸発した微粒子を直接励起発光させ、分光器により
その各成分組成を分析した。その結果、鋼片の成分組成
を、約３０秒の極めて短時間で迅速且つ適確に安定して
分析することができた。
面から蒸発した微粒子を、セル15内に吹き込まれたガス
発生器からのアルゴンガスによって、ＩＣＰ分析器に搬
送し、ＩＣＰ分析器において、周波数：２７MHZ 、出
力：１．３KW、プラズマガス流量：１５ｌ/ 分、補助ガ
ス流量：１l/分、搬送ガス流量：１l/分の条件で、鋼片
から蒸発した微粒子を直接励起発光させ、分光器により
その各成分組成を分析した。その結果、鋼片の成分組成
を、約３０秒の極めて短時間で迅速且つ適確に安定して
分析することができた。
【００２４】
【発明の効果】以上述べたように、この発明の装置によ
れば、鋼塊、鋼片等のような金属材の化学成分組成を、
試料を調製することなく直接適確に且つ迅速に分析する
ことができ、しかも、装置全体は小型で且つ軽量であ
り、発振器は水冷を必要とせず、レーザ励起効率に優れ
ている等、多くの工業上有用な効果がもたらされる。
れば、鋼塊、鋼片等のような金属材の化学成分組成を、
試料を調製することなく直接適確に且つ迅速に分析する
ことができ、しかも、装置全体は小型で且つ軽量であ
り、発振器は水冷を必要とせず、レーザ励起効率に優れ
ている等、多くの工業上有用な効果がもたらされる。
【図１】この発明装置の第１実施態様を示す概略説明図
である。
である。
【図２】この発明装置の第２実施態様を示す概略説明図
である。
である。
【図３】従来装置の概略説明図である。
１ 半導体レーザ発振器 ２ レーザ光照射ヘッド ３ レーザ光搬送用ケーブル ４ ＹＡＧレーザロッド ５ Ｑスイッチ素子 ６ 集光レンズ ７ 出力鏡 ８ レーザ集光機構 ９ 反射ミラー 10 超音波モータ 11 第１スキャンミラー 12 第２スキャンミラー 13 集光レンズ 14 ビームエキスパンダ 15 レーザ光照射用セル 16 不活性ガス吹込み口 17 搬出口 21 Krアークランプレーザ発振器 22 反射ミラー 23 集光レンズ 24 セル 25 セル積載ステージ 26 搬送ガス発生装置 27 導管 28 ガス流入口 29 ガス流出口 30 分析装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 // Ｇ０１Ｎ 33/20 Ｇ０１Ｎ 33/20 Ｌ (72)発明者 坂下 明子 東京都千代田区丸の内一丁目１番２号 日 本鋼管株式会社内
Claims (2)
- 【請求項１】 分析対象試料に押し当てられるレーザ照
射ヘッドと、前記ヘッドに内蔵されているレーザ発振部
と、前記レーザ発振部から照射されたレーザ光により、
前記試料から発生した微粒子を分析するための分析器と
からなるレーザ気化分析装置において、 前記レーザ照射ヘッドには、半導体レーザ光を励起光源
とし、固体レーザ媒質によるＱスイッチレーザ光を連続
的に発振するレーザ発振部と、前記レーザ発振部からの
レーザ光を前記試料面に集光するための集光機構と、前
記試料に密着させて、前記レーザ光の照射により発生し
た微粒子を前記分析器に搬送する機構を有するセルとが
設けられており、 前記集光機構は、その軸線が直角となるように交差させ
た２組のスキャンミラーと、前記スキャンミラーの各々
を一定角度で往復回動させるための超音波モータと、集
光レンズとからなっており、 前記超音波モータによる前記スキャンミラーの往復回動
によって、レーザ光の光軸をその照射方向と直交する上
下方向および左右方向に一定の振幅で振動させることに
よって、前記試料面へのレーザ集光点を、一定の振幅で
振動させるようにしたことを特徴とする、レーザ気化分
析装置。 - 【請求項２】 前記励起光源である半導体レーザ発振器
と、前記レーザ照射ヘッドとは別体に設けられており、
前記半導体レーザ発振器と前記レーザ照射ヘッドとは、
レーザ光搬送用ケーブルによって接続されている、請求
項１記載の装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7222568A JPH0949790A (ja) | 1995-08-07 | 1995-08-07 | レーザ気化分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7222568A JPH0949790A (ja) | 1995-08-07 | 1995-08-07 | レーザ気化分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0949790A true JPH0949790A (ja) | 1997-02-18 |
Family
ID=16784507
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7222568A Pending JPH0949790A (ja) | 1995-08-07 | 1995-08-07 | レーザ気化分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0949790A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0887679A2 (en) * | 1997-06-23 | 1998-12-30 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Inclination adjusting device for light controlling element used in optical scanner |
| JP2007279016A (ja) * | 2006-03-16 | 2007-10-25 | Jfe Steel Kk | 物質の励起および／またはイオン化方法、ならびにそれを用いた分析方法および分析装置 |
-
1995
- 1995-08-07 JP JP7222568A patent/JPH0949790A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0887679A2 (en) * | 1997-06-23 | 1998-12-30 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Inclination adjusting device for light controlling element used in optical scanner |
| EP0887679A3 (en) * | 1997-06-23 | 2000-05-10 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Inclination adjusting device for light controlling element used in optical scanner |
| JP2007279016A (ja) * | 2006-03-16 | 2007-10-25 | Jfe Steel Kk | 物質の励起および／またはイオン化方法、ならびにそれを用いた分析方法および分析装置 |
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