JPH0948132A - Manufacture of ink jet printer head - Google Patents
Manufacture of ink jet printer headInfo
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- JPH0948132A JPH0948132A JP20256295A JP20256295A JPH0948132A JP H0948132 A JPH0948132 A JP H0948132A JP 20256295 A JP20256295 A JP 20256295A JP 20256295 A JP20256295 A JP 20256295A JP H0948132 A JPH0948132 A JP H0948132A
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- piezoelectric member
- piezoelectric
- printer head
- piezoelectric members
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- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、オンデマンド方式
のインクジェットプリンタヘッドの製造方法に関する。The present invention relates to a method for manufacturing an on-demand type ink jet printer head.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来、インク供給部に接続して並設した
多数の圧力室の先端にインク吐出口を有するノズル板を
固定し、印字指令に応じて圧力室内のインク圧を選択的
に高めてインク吐出口からインク滴として吐出させるよ
うにしたオンデマンド方式のインクジェットプリンタヘ
ッドが知られている。2. Description of the Related Art Conventionally, a nozzle plate having an ink discharge port is fixed to the tips of a large number of pressure chambers connected in parallel to an ink supply unit, and the ink pressure in the pressure chambers is selectively increased according to a print command. An on-demand inkjet printer head is known in which an ink droplet is ejected from an ink ejection port.
【0003】このようなインクジェットプリンタヘッド
における圧力室内のインク圧を高めてインク滴を吐出さ
せる方法としては、圧力室の両側に配列した側壁の少な
くとも一部を圧電部材により形成し、その側壁の側面に
電極を設け、この電極に電圧を印加して側壁をシェアモ
ード変形させる方法が特開昭63−247051号公報
に開示されている。As a method of increasing the ink pressure in the pressure chamber of such an ink jet printer head to eject ink droplets, at least a part of the side walls arranged on both sides of the pressure chamber is formed by a piezoelectric member, and the side surface of the side wall is formed. Japanese Patent Laid-Open No. 63-247051 discloses a method in which an electrode is provided on the substrate and a voltage is applied to the electrode to deform the side wall in the shear mode.
【0004】ここで、現在製造されている圧電部材のう
ち最大サイズのものは約140mm×50mmであり、
製造装置等の問題からこれより大きいサイズの圧電部材
を製造することは困難である。従って、印字幅が140
mm以上となるラインタイプのインクジェットプリンタ
ヘッドを圧電部材を用いて製造する場合には、図6に示
すように、2枚の圧電部材1a,1bの側面同士を接着
することにより幅方向長さ“L”を大きくした大型の圧
電部材1を形成し、この圧電部材1に多数の溝2と側壁
3とを形成している。Here, the maximum size of the currently manufactured piezoelectric members is about 140 mm × 50 mm,
It is difficult to manufacture a piezoelectric member having a size larger than this due to the problem of the manufacturing apparatus. Therefore, the print width is 140
When a line-type inkjet printer head having a size of not less than mm is manufactured by using a piezoelectric member, as shown in FIG. 6, the side surfaces of two piezoelectric members 1a and 1b are adhered to each other so that the width direction length “ A large piezoelectric member 1 having a large L ″ is formed, and a large number of grooves 2 and side walls 3 are formed in the piezoelectric member 1.
【0005】2枚の圧電部材1a,1bを接着した大型
の圧電部材1を用いてインクジェットプリンタヘッドを
製造する場合には、圧電部材1a,1b同士の接着層部
4の上に溝2が位置するように溝2と側壁3と形成し、
接着層部4が側壁3の中に含まれないようにする必要が
ある。これは、接着層部4はシェアモード変形しないた
め、この接着層部4が側壁3の中に含まれると共にその
側壁3の大部分を占めるようになると、接着層部4を含
む側壁3のシェアモード変形量が他の側壁3のシェアモ
ード変形量より大幅に低下し、インク滴の吐出性能が著
しく低下するためである。When an ink jet printer head is manufactured by using the large piezoelectric member 1 in which the two piezoelectric members 1a and 1b are bonded, the groove 2 is located on the adhesive layer portion 4 between the piezoelectric members 1a and 1b. To form the groove 2 and the side wall 3,
It is necessary that the adhesive layer portion 4 is not included in the side wall 3. This is because the adhesive layer portion 4 does not deform in the shear mode, so that when the adhesive layer portion 4 is included in the side wall 3 and occupies most of the side wall 3, the shear force of the side wall 3 including the adhesive layer portion 4 is increased. This is because the mode deformation amount is significantly lower than the shear mode deformation amount of the other side wall 3, and the ink droplet ejection performance is significantly reduced.
【0006】[0006]
【発明が解決しようとする課題】圧電部材1に150d
piの密度で溝2を形成すると、その溝2の幅寸法
“a”は約85μmとなる。また、圧電部材1a,1b
間の接着層部4の幅寸法“b”は、接着強度や接着方法
を考慮すると約10〜20μmとなる。従って、このよ
うな微細な寸法精度のもとで、数mm〜数十mmの長さ
を有する溝2を接着層部4の上に確実に形成することは
困難である。The piezoelectric member 1 has 150d.
When the groove 2 is formed with a density of pi, the width dimension “a” of the groove 2 is about 85 μm. In addition, the piezoelectric members 1a and 1b
The width dimension “b” of the adhesive layer portion 4 between them is about 10 to 20 μm in consideration of the adhesive strength and the adhesive method. Therefore, it is difficult to reliably form the groove 2 having a length of several mm to several tens of mm on the adhesive layer portion 4 under such fine dimensional accuracy.
【0007】そして、圧電部材1a,1b同士を接着す
る面の加工精度のバラツキや、溝2と側壁3とを形成す
る際の加工精度のバラツキにより、溝2が接着層部4の
上から外れて側壁3の中に含まれると共に接着層部4が
側壁3の大部分を占めるようになる場合がある。する
と、その側壁3のシェアモード変形量が他の側壁3のシ
ェアモード変形量より大幅に低下し、その側壁3により
仕切られている圧力室からのインク滴の吐出性能が著し
く低下する。The groove 2 is dislocated from the top of the adhesive layer portion 4 due to variations in the processing accuracy of the surfaces where the piezoelectric members 1a and 1b are adhered to each other and in the processing accuracy when the groove 2 and the side wall 3 are formed. The adhesive layer portion 4 may occupy most of the side wall 3 while being included in the side wall 3. Then, the shear mode deformation amount of the side wall 3 is significantly lower than the share mode deformation amount of the other side wall 3, and the ejection performance of the ink droplet from the pressure chamber partitioned by the side wall 3 is significantly reduced.
【0008】特に、解像度を上げるために溝2を300
dpiの密度に形成した場合には、溝2の幅寸法“a”
が約42μmとなるため、溝2を接着層部4の上に確実
に形成するということがさらに困難になる。Particularly, in order to improve the resolution, the groove 2 is set to 300.
When formed to have a density of dpi, the width dimension of the groove 2 is “a”.
Of about 42 μm, it becomes more difficult to surely form the groove 2 on the adhesive layer portion 4.
【0009】そこで請求項1、2、3又は4記載の発明
は、圧電部材同士を接着した接着層部を複数の側壁中に
分散させ、接着層部を含む側壁と接着層部を含まない側
壁とのシェアモード変形量の誤差を少なくして全ての圧
力室からのインク滴の吐出性能が良好となるインクジェ
ットプリンタヘッドの製造方法を提供する。Therefore, the invention according to claim 1, 2, 3 or 4 disperses the adhesive layer portion in which the piezoelectric members are adhered to each other in a plurality of side walls, and the side wall including the adhesive layer portion and the side wall not including the adhesive layer portion. A method for manufacturing an ink jet printer head, in which the error in the amount of deformation in the share mode between the pressure chamber and the pressure chamber is reduced, and the ink droplet ejection performance from all the pressure chambers is improved.
【0010】[0010]
【課題を解決するための手段】請求項1又は2記載の発
明では、少なくとも2枚以上の圧電部材の側面同士を接
着して圧力室の配列方向に沿った幅方向長さを大きくし
た大型の圧電部材を形成し、この大型の圧電部材に側壁
を形成する際に、接着した圧電部材間の接着層部に対し
て複数個の側壁を斜めに交差させることにより接着層部
を複数の側壁中に分散させ、接着層部を含む側壁と接着
層部を含まない側壁とのシェアモード変形量の誤差を少
なくする。According to the invention of claim 1 or 2, a large-sized one in which side surfaces of at least two piezoelectric members are adhered to each other to increase the length in the width direction along the arrangement direction of the pressure chambers. When forming a piezoelectric member and forming a side wall on this large piezoelectric member, the plurality of side walls are obliquely crossed with respect to the adhesive layer part between the adhered piezoelectric members so that the adhesive layer part is formed in the plurality of side wall parts. Error in the shear mode deformation between the side wall including the adhesive layer portion and the side wall not including the adhesive layer portion is reduced.
【0011】請求項3記載の発明では、矩形の圧電部材
の側面同士を水平方向へ位置をずらして接着し、接着し
た圧電部材の周辺部分を切断して幅方向長さを大きくし
た矩形の大型の圧電部材を形成することにより、この圧
電部材の幅方向に沿って側壁を形成すると、圧電部材間
の接着層部に対して複数の側壁が斜めに交差し、接着層
部が複数の側壁中に分散した状態となる。According to the third aspect of the present invention, the rectangular piezoelectric member is formed by adhering the side surfaces of the rectangular piezoelectric member while shifting the positions in the horizontal direction and cutting the peripheral portion of the adhered piezoelectric member to increase the length in the width direction. When the side wall is formed along the width direction of the piezoelectric member by forming the piezoelectric member, the plurality of side walls obliquely intersect the adhesive layer portion between the piezoelectric members, and the adhesive layer portion has a plurality of side walls. It will be in a dispersed state.
【0012】請求項4記載の発明では、矩形の圧電部材
の長手方向の一端側をこの圧電部材が台形となるように
切断し、台形に形成した一対の圧電部材の切断面同士を
接着させて幅方向長さを大きくした矩形の大型の圧電部
材を形成することにより、この圧電部材の幅方向に沿っ
て側壁を形成すると、圧電部材間の接着層部に対して複
数の側壁が斜めに交差し、接着層部が複数の側壁中に分
散した状態となる。According to a fourth aspect of the present invention, one end of the rectangular piezoelectric member in the longitudinal direction is cut so that the piezoelectric member has a trapezoidal shape, and the cut surfaces of a pair of trapezoidal piezoelectric members are adhered to each other. If a side wall is formed along the width direction of this piezoelectric member by forming a rectangular large piezoelectric member having an increased length in the width direction, a plurality of side walls intersect diagonally with the adhesive layer portion between the piezoelectric members. Then, the adhesive layer portion is dispersed in the plurality of side walls.
【0013】[0013]
【発明の実施の形態】本発明の第一の実施の形態を図1
及び図2に基づいて説明する。インクジェットプリンタ
ヘッド5は図1に示すように、基板6に対して天板7と
ノズル板8とを接着することにより形成している。FIG. 1 shows a first embodiment of the present invention.
A description will be given based on FIG. As shown in FIG. 1, the inkjet printer head 5 is formed by bonding a top plate 7 and a nozzle plate 8 to a substrate 6.
【0014】前記基板6は、底板9の上に幅方向長さを
大きくした二層の圧電部材10,11を接着することに
より三層構造に形成する。前記底板9は、剛性が高く熱
変形の少ないセラミックスやガラスを材料として形成
し、その板厚寸法を0.5〜5mm程度としている。ま
た、前記圧電部材10,11は、板厚方向に分極したも
のをその分極方向が逆向きとなるように接着する。The substrate 6 is formed in a three-layer structure by bonding two layers of piezoelectric members 10 and 11 each having an increased width in the width direction onto the bottom plate 9. The bottom plate 9 is made of ceramics or glass having high rigidity and less thermal deformation, and has a plate thickness of about 0.5 to 5 mm. Further, the piezoelectric members 10 and 11 are bonded in such a manner that they are polarized in the plate thickness direction so that the polarization directions are opposite.
【0015】また、前記基板6に対して溝加工を施すこ
とにより、圧電部材11の上面から圧電部材10の内部
に達すると共に互いに平行な多数の溝12とこれらの溝
12を隔てる多数の側壁13とを交互に形成する。な
お、この溝加工は、ICウエハの切断等に用いるダイシ
ングソーのダイヤモンドホイール等を用いて行なう。ま
た、これらの溝12は、基板6の前面側において開口
し、奥側を閉塞した形状に形成する。さらに、溝12の
寸法はインクジェットプリンタヘッドの仕様により決定
するが、例えば、深さ寸法を0.2〜1mm、幅寸法を
20〜200μm、長さ寸法を5〜500mmに形成す
る。本実施の形態のインクジェットプリンタヘッド5で
は、溝12の長さ寸法を13.0mm、溝12の密度、
即ち、解像度を200dpiとすると共に溝12と側壁
13との幅寸法を共に0.0635mmとしている。Further, by performing groove processing on the substrate 6, a large number of parallel grooves 12 reaching the inside of the piezoelectric member 10 from the upper surface of the piezoelectric member 11 and a plurality of side walls 13 separating these grooves 12 from each other. And are formed alternately. The groove processing is performed by using a diamond wheel of a dicing saw used for cutting the IC wafer or the like. Further, these grooves 12 are formed so as to open on the front side of the substrate 6 and close the back side. Further, although the dimensions of the groove 12 are determined by the specifications of the inkjet printer head, for example, the depth dimension is 0.2 to 1 mm, the width dimension is 20 to 200 μm, and the length dimension is 5 to 500 mm. In the inkjet printer head 5 of the present embodiment, the length dimension of the grooves 12 is 13.0 mm, the density of the grooves 12 is
That is, the resolution is set to 200 dpi and the width dimensions of the groove 12 and the side wall 13 are both set to 0.0635 mm.
【0016】ついで、溝12と側壁13とを形成した前
記基板6に対して無電解メッキ処理を施すことにより、
側壁13の側面に電極14を形成し、及び、前記圧電部
材11上面にこれらの電極14と連続する配線パターン
15を形成する。さらに、この基板6を用いて前記イン
クジェットプリンタヘッド5を完成させたときに、前記
電極14がインクと接触することを防止するために、電
極14の上に絶縁膜16を被覆する。Then, the substrate 6 having the groove 12 and the side wall 13 is subjected to an electroless plating treatment,
Electrodes 14 are formed on the side surfaces of the side walls 13, and a wiring pattern 15 continuous with these electrodes 14 is formed on the upper surface of the piezoelectric member 11. Further, when the inkjet printer head 5 is completed using the substrate 6, an insulating film 16 is coated on the electrode 14 in order to prevent the electrode 14 from coming into contact with ink.
【0017】このようにして溝12と側壁13、及び、
電極14と絶縁膜16とを形成した基板6に対し、溝1
2の頂部側開口面を覆うように前記天板7を接着し、及
び、溝12の先端側開口面を覆うように前記ノズル板8
を接着し、各溝12をこれらの天板7とノズル板8とで
囲むことにより多数の圧力室17を形成する。なお、前
記ノズル板8には、各圧力室17に連通する多数のイン
ク吐出口18を形成し、前記天板7の下面には、各圧力
室17に連通すると共にこれらの圧力室17にインクを
供給するためのインク供給管(図示せず)を接続するイ
ンク供給路19を形成している。Thus, the groove 12 and the side wall 13, and
The groove 1 is formed in the substrate 6 on which the electrode 14 and the insulating film 16 are formed.
The top plate 7 is bonded so as to cover the top opening surface of the nozzle plate 2, and the nozzle plate 8 is provided so as to cover the tip opening surface of the groove 12.
Are bonded and each groove 12 is surrounded by the top plate 7 and the nozzle plate 8 to form a large number of pressure chambers 17. The nozzle plate 8 has a large number of ink ejection openings 18 communicating with the pressure chambers 17, and the lower surface of the top plate 7 communicates with the pressure chambers 17 and inks. An ink supply path 19 for connecting an ink supply pipe (not shown) for supplying the ink is formed.
【0018】ついで、前記大型の圧電部材10,11の
形成手順を図2に基づいて説明する。前記インクジェッ
トプリンタヘッド5はラインタイプのもので、これらの
圧電部材10,11は図2(d)に示すように、2枚の
圧電部材10a,10b(11a,11b)の側面同士
を接着することにより溝12と側壁13との配列方向に
沿った幅方向長さを大きく形成している。なお、これら
の圧電部材10,11は同じ手順で形成するものであ
り、一方の圧電部材10の形成手順についてのみ説明す
る。Next, the procedure for forming the large piezoelectric members 10 and 11 will be described with reference to FIG. The inkjet printer head 5 is of a line type, and the piezoelectric members 10 and 11 are formed by adhering the side surfaces of two piezoelectric members 10a and 10b (11a and 11b) to each other as shown in FIG. 2 (d). Thus, the widthwise length along the arrangement direction of the groove 12 and the side wall 13 is formed to be large. The piezoelectric members 10 and 11 are formed by the same procedure, and only the forming procedure of one piezoelectric member 10 will be described.
【0019】まず、長辺の長さ“x1 ”が140mm、
短辺の長さ“y1 ”が50mmの矩形の2枚の圧電部材
A1 ,A2 を準備し、これらの圧電部材A1 ,A2 の側
面同士を図2(a)に示すように水平方向へ所定のずれ
量“y4 ”位置をずらして接着する。ついで、接着した
圧電部材A1 ,A2 の周辺部分を図2(b)に示す破線
に沿って切断し、溝12と側壁13とを配列する方向に
沿った幅方向長さが“x2 ”、溝12を形成する方向で
ある溝方向長さが“y2 ”となる圧電部材A3を形成す
る。そして、この圧電部材A3 を図2(c)に示す破線
に沿って2枚に切断することにより、図2(d)に示す
大型の圧電部材10を形成する。First, the long side length "x 1 " is 140 mm,
Two rectangular piezoelectric members A 1 and A 2 each having a short side length “y 1 ” of 50 mm are prepared, and side surfaces of these piezoelectric members A 1 and A 2 are arranged as shown in FIG. Adhere by shifting the position "y 4 " by a predetermined amount in the horizontal direction. Then, the peripheral portions of the bonded piezoelectric members A 1 and A 2 are cut along the broken line shown in FIG. 2B, and the length in the width direction along the direction in which the grooves 12 and the side walls 13 are arranged is “x 2 A piezoelectric member A 3 having a groove length “y 2 ”, which is the direction in which the groove 12 is formed, is formed. Then, the piezoelectric member A 3 is cut into two along the broken line shown in FIG. 2C to form the large piezoelectric member 10 shown in FIG. 2D.
【0020】ここで、圧電部材10を上述のようにして
形成し、この圧電部材10に多数の溝12と側壁13と
を形成した場合、圧電部材10a,10b間の接着層部
20に対して複数の側壁13と溝12とが斜めに交差
し、接着層部20が複数の側壁13中に分散した状態に
なる。なお、接着層部20に対して何個の側壁13及び
溝12が交差するかは、圧電部材10の長辺(幅方向の
辺)に対する接着層部20の傾斜角“θ1 ”や、溝12
の形成密度、溝12及び側壁13の長さ“y3 ”によっ
て変動する。Here, when the piezoelectric member 10 is formed as described above and a large number of grooves 12 and side walls 13 are formed in the piezoelectric member 10, the adhesive layer portion 20 between the piezoelectric members 10a and 10b is formed. The plurality of side walls 13 and the groove 12 intersect obliquely, and the adhesive layer portion 20 is dispersed in the plurality of side walls 13. The number of side walls 13 and grooves 12 that intersect the adhesive layer portion 20 depends on the inclination angle “θ 1 ” of the adhesive layer portion 20 relative to the long side (side in the width direction) of the piezoelectric member 10 and the groove. 12
And the length "y 3 " of the groove 12 and the side wall 13 vary.
【0021】このような構成において、このインクジェ
ットプリンタヘッド5では、圧力室17内にインクを供
給した状態で配線パターン15を介して電極14へ電圧
を印加する。すると、圧電部材10,11により形成し
た側壁13が圧力室17の容積を大きくする方向へシェ
アモード変形し、やがて、その側壁13が急激に初期位
置へ復帰する。そして、側壁13が急激に初期位置へ復
帰した際に、圧力室17内のインクを加圧することによ
りそのインクの一部がインク吐出口18からインク滴と
して吐出し、そのインク滴を記録用紙等に付着させるこ
とによって画像形成を行なう。なお、このインク滴の吐
出時には、クロストークを防止するため、偶数番目の圧
力室17と奇数番目の圧力室17とを交互に加圧する。
また、インク吐出口18を先端側に向かうにつれて次第
に縮径するテーパ状に形成することにより、インク滴を
インク吐出口18からスムーズに吐出させることができ
る。In the ink jet printer head 5 having such a structure, a voltage is applied to the electrode 14 via the wiring pattern 15 while the ink is supplied into the pressure chamber 17. Then, the side wall 13 formed by the piezoelectric members 10 and 11 deforms in the shear mode in the direction of increasing the volume of the pressure chamber 17, and eventually the side wall 13 rapidly returns to the initial position. Then, when the side wall 13 is rapidly returned to the initial position, the ink in the pressure chamber 17 is pressurized so that a part of the ink is ejected from the ink ejection port 18 as an ink droplet, and the ink droplet is ejected. The image is formed by adhering to. When the ink droplets are ejected, the even-numbered pressure chambers 17 and the odd-numbered pressure chambers 17 are alternately pressurized to prevent crosstalk.
Further, by forming the ink ejection port 18 in a tapered shape in which the diameter gradually decreases toward the front end side, it is possible to eject ink droplets smoothly from the ink ejection port 18.
【0022】ついで、圧電部材10,11を形成する前
に、圧電部材A1 ,A2 を接着する際のずれ量“y4 ”
を何mmにすればよいか、即ち、圧電部材10,11の
長辺に対する接着層部20の傾斜角“θ1 ”を何度にす
れば最適の圧電部材10,11が得られるかを判断する
ため、図2に基づいて式(1)〜式(6)の各式をた
て、表1に示すデータを得る。Next, before forming the piezoelectric members 10 and 11, the displacement amount "y 4 " when bonding the piezoelectric members A 1 and A 2 together
Is determined, that is, how many times the inclination angle “θ 1 ” of the adhesive layer portion 20 with respect to the long sides of the piezoelectric members 10 and 11 is obtained to obtain the optimum piezoelectric members 10 and 11. Therefore, based on FIG. 2, formulas (1) to (6) are set to obtain the data shown in Table 1.
【0023】[0023]
【数1】 [Equation 1]
【0024】なお、上記の式(1)〜式(6)におい
て、 x1 :圧電部材A1 ,A2 の長辺の長さ;140mm y1 :圧電部材A1 ,A2 の短辺の長さ;50mm x2 :圧電部材A3 (即ち、圧電部材10,11)の幅
方向長さ y2 :圧電部材A3 の溝方向長さ y3 :圧電部材10,11に形成する溝12及び側壁1
3の長さ;10mm y3 ′:損失長さ;側壁13の長さ方向に沿った接着層
部20の長さ γ :損失率(%);側壁13の長さに対する損失長さ
の割合 y4 :圧電部材A1 ,A2 を接着する際のずれ量 θ1 ,θ2 :圧電部材A3 ,10,11の長辺に対する
接着層部20の傾斜角(但し、θ1 +θ2 =90゜) X:溝12の形成密度;200dpi 但し、溝12の幅と側壁13の幅とを同じにする。In the above formulas (1) to (6), x 1 is the length of the long side of the piezoelectric members A 1 and A 2 ; 140 mm y 1 is the length of the short side of the piezoelectric members A 1 and A 2 . Length: 50 mm x 2 : Length in the width direction of the piezoelectric member A 3 (that is, the piezoelectric members 10 and 11) y 2 : Length in the groove direction of the piezoelectric member A 3 y 3 : Groove 12 formed in the piezoelectric members 10 and 11. And side wall 1
3 length; 10 mm y 3 ′: loss length; length of the adhesive layer portion 20 along the length direction of the side wall 13 γ: loss rate (%); ratio of loss length to side wall 13 length y 4 : Deviation amounts when bonding the piezoelectric members A 1 and A 2 θ 1 , θ 2 : Inclination angle of the adhesive layer portion 20 with respect to the long sides of the piezoelectric members A 3 , 10, 11 (where θ 1 + θ 2 = 90 ) X: Formation density of grooves 12; 200 dpi However, the width of the grooves 12 and the width of the side wall 13 are made the same.
【0025】 n :接着層部20と交差する側壁13の数 α :破棄率 SA :圧電部材A1 ,A2 の合計面積(cm2 ) SA′:圧電部材A3 を形成する際に破棄した圧電部材
の合計面積(cm2 )具体的には、図2(b)において
ハッチングで示した部分の合計面積N: number of side walls 13 intersecting the adhesive layer portion α: discard rate SA: total area (cm 2 ) of the piezoelectric members A 1 and A 2 SA ′: discarded when forming the piezoelectric member A 3 . Total area of the piezoelectric member (cm 2 ) Specifically, the total area of the hatched portion in FIG.
【0026】[0026]
【表1】 [Table 1]
【0027】このような大型の圧電部材10,11を形
成する際の条件としては、接着層部20と交差する側壁
13の数は2以上であること、損失率“γ”はできるだ
け小さく、好ましくは10%以下であること、圧電部材
10,11の幅方向長さ“x2 ”がA4幅(220m
m)以上であること、圧電部材の破棄率“α”が小さい
こと等が挙げられる。そこで、これらの諸条件を考慮
し、傾斜角“θ1 ”が86゜となるように圧電部材A
3 、及び、圧電部材10,11の形成を行なった。な
お、傾斜角“θ1 ”を86゜とすることにより、接着層
部20に対して12個の側壁13が交差することとな
り、損失率“γ”が9.08%となる。The conditions for forming such large piezoelectric members 10 and 11 are that the number of side walls 13 intersecting the adhesive layer portion 20 is two or more, and the loss rate "γ" is as small as possible, which is preferable. Is 10% or less, and the length "x 2 " in the width direction of the piezoelectric members 10 and 11 is A4 width (220 m).
m) or more, the discard rate “α” of the piezoelectric member is small, and the like. Therefore, in consideration of these various conditions, the piezoelectric member A is adjusted so that the inclination angle “θ 1 ” is 86 °.
3 and the piezoelectric members 10 and 11 were formed. By setting the inclination angle “θ 1 ” to be 86 °, twelve side walls 13 intersect with the adhesive layer portion 20, and the loss rate “γ” becomes 9.08%.
【0028】圧電部材10,11を形成する具体的な形
成手順としては、ガラス板上にPETフィルムを張り、
エポキシ系接着剤を数グラム滴下後、このガラス板を保
持したスピンコータを所定の回転数で回転させ、接着剤
の膜をPETフィルム上に形成する。ついで、このPE
Tフィルムをシート状の弾性部材の上に置き、圧電部材
A1 ,A2 の側面をPETフィルムに押し付け、接着剤
を転写させる。そして、接着剤を転写させた圧電部材A
1 ,A2 の側面同士を水平方向へ所定のずれ量“y4 ”
位置をずらし、図2(a)に示すように接着し、さら
に、図2(b)、図2(c)において破線で示す位置か
ら切断することにより圧電部材10,11を形成する。As a concrete forming procedure for forming the piezoelectric members 10 and 11, a PET film is put on a glass plate,
After dropping several grams of the epoxy adhesive, the spin coater holding the glass plate is rotated at a predetermined rotation speed to form a film of the adhesive on the PET film. Then, this PE
The T film is placed on a sheet-shaped elastic member, the side surfaces of the piezoelectric members A 1 and A 2 are pressed against the PET film, and the adhesive is transferred. Then, the piezoelectric member A to which the adhesive is transferred
A certain amount of horizontal displacement between the side surfaces of 1 and A 2 "y 4 "
The piezoelectric members 10 and 11 are formed by shifting the positions, adhering as shown in FIG. 2A, and further cutting from the positions shown by broken lines in FIGS. 2B and 2C.
【0029】ついで、これらの圧電部材10,11を底
板9の上に積層して接着し、さらに、圧電部材10,1
1に溝12と側壁13とを形成すると共に天板7とノズ
ル板8とを接着することによりインクジェットプリンタ
ヘッド5を完成させる。なお、圧電部材10,11同士
を接着する際には、圧電部材10の接着層部20と圧電
部材11の接着層部20とが上下で重ならないようにす
ることが好ましい。Next, these piezoelectric members 10 and 11 are laminated on the bottom plate 9 and adhered to each other.
The ink jet printer head 5 is completed by forming the groove 12 and the side wall 13 in 1 and bonding the top plate 7 and the nozzle plate 8 together. When the piezoelectric members 10 and 11 are bonded to each other, it is preferable that the adhesive layer portion 20 of the piezoelectric member 10 and the adhesive layer portion 20 of the piezoelectric member 11 do not vertically overlap.
【0030】ここで、側壁13をシェアモード変形させ
てインク滴の吐出を行なわせる際に、接着層部20はシ
ェアモード変形しないため、この接着層部20を含む側
壁13のシェアモード変形量は接着層部20を含まない
側壁13のシェアモード変形量より小さくなり、吐出さ
せるインク滴の量も少なくなる。しかし、接着層部20
は複数の側壁13と交差しており、接着層部20を含む
ことになる各側壁13の損失率“γ”が小さくなる。こ
のため、接着層部20を含む側壁13と接着層部20を
含まない側壁13とのシェアモード変形量の誤差が少な
くなり、各圧力室17からのインク滴の吐出量が略等し
くなる。Here, when the side wall 13 is deformed in the shear mode to eject ink droplets, the adhesive layer portion 20 does not deform in the shear mode. Therefore, the shear mode deformation amount of the side wall 13 including the adhesive layer portion 20 is It becomes smaller than the shear mode deformation amount of the side wall 13 not including the adhesive layer portion 20, and the amount of ink droplets to be discharged also becomes small. However, the adhesive layer portion 20
Intersects with the plurality of side walls 13, and the loss rate “γ” of each side wall 13 including the adhesive layer portion 20 becomes small. Therefore, the error in the shear mode deformation amount between the side wall 13 including the adhesive layer portion 20 and the side wall 13 not including the adhesive layer portion 20 is reduced, and the ejection amount of the ink droplet from each pressure chamber 17 is substantially equal.
【0031】傾斜角“θ1 ”を86゜とした圧電部材1
0,11を用いて製造したインクジェットプリンタヘッ
ド5で画像形成を行なったところ、少なくとも一側が接
着層部20を含む側壁13で囲まれている圧力室17か
らも接着層部20の影響を受けない他の圧力室17と同
等にインク滴が吐出し、良好な画像サンプルを得ること
ができた。Piezoelectric member 1 having an inclination angle "θ 1 " of 86 °
When an image is formed by the ink jet printer head 5 manufactured using 0, 11, the adhesive layer portion 20 is not affected by the pressure chamber 17 at least one side of which is surrounded by the side wall 13 including the adhesive layer portion 20. Ink droplets were ejected similarly to the other pressure chambers 17, and a good image sample could be obtained.
【0032】なお、本実施の形態の圧電部材10,11
を形成するに際しては、サイズの大きい圧電部材A1 ,
A2 を接着し、ついで、切断することにより圧電部材1
0,11を形成するため、切断時には慎重を要するが、
突き合わせて接着する接着面積が広いため、接着作業を
容易に行なえる。The piezoelectric members 10 and 11 of this embodiment are
In forming the piezoelectric member, a large-sized piezoelectric member A 1 ,
Piezoelectric member 1 by adhering A 2 and then cutting
Since 0 and 11 are formed, it is necessary to be careful when cutting,
Since the bonding area for butting and bonding is large, the bonding work can be performed easily.
【0033】また、圧電部材10,11に対して溝12
と側壁13とを形成する際においては、溝12を形成す
る位置と接着層部20の位置との関係を考慮する必要が
なく、溝12と側壁13とを形成する際の加工精度を大
幅に軽減することができる。Further, the groove 12 is formed on the piezoelectric members 10 and 11.
When forming the groove 12 and the side wall 13, it is not necessary to consider the relationship between the position where the groove 12 is formed and the position of the adhesive layer portion 20, and it is possible to significantly improve the processing accuracy when forming the groove 12 and the side wall 13. Can be reduced.
【0034】ついで、本発明の第二の実施の形態を図3
に基づいて説明する。なお、図1及び図2において説明
した部分と同一部分は同一符号で示し、説明も省略する
(以下、同様)。本実施の形態のインクジェットプリン
タヘッド5の製造方法では、1枚の圧電部材A1 を図3
(a)に示した破線に沿って切断することにより“N”
枚の短冊状の圧電部材21に分割し、ついで、これらの
圧電部材21がそれぞれ台形となるように圧電部材21
の長手方向の一端側を図3(a)のハッチングで示すよ
うに切り取る。Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
It will be described based on. The same parts as those described in FIGS. 1 and 2 are designated by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted (the same applies hereinafter). In the method of manufacturing the inkjet printer head 5 according to the present embodiment, one piezoelectric member A 1 is used as shown in FIG.
"N" is obtained by cutting along the broken line shown in (a).
The piezoelectric member 21 is divided into a plurality of strip-shaped piezoelectric members 21, and then the piezoelectric members 21 are trapezoidal.
One end side in the longitudinal direction is cut out as shown by hatching in FIG.
【0035】そして、台形に形成した一対の圧電部材2
1の切断面同士を接着させることにより、図3(b)に
示すように幅方向長さが“x3 ”となる大型の圧電部材
10,11を形成し、これらの圧電部材10,11同士
を積層状態に接着した後に図3(c)に示すように溝1
2と側壁13とを形成する。なお、この圧電部材10,
11に対して溝12と側壁13とを形成したとき、圧電
部材21間の接着層部20に対して複数の側壁13が斜
めに交差し、接着層部20が複数の側壁13中に分散し
た状態となる。Then, the pair of piezoelectric members 2 formed in a trapezoidal shape.
By bonding the cut surfaces of No. 1 to each other, large piezoelectric members 10 and 11 having a widthwise length of “x 3 ” as shown in FIG. 3B are formed, and these piezoelectric members 10 and 11 are connected to each other. After adhering them in a laminated state, as shown in FIG.
2 and the side wall 13 are formed. The piezoelectric member 10,
When the groove 12 and the side wall 13 were formed on the adhesive layer 11, the plurality of side walls 13 obliquely intersected the adhesive layer portion 20 between the piezoelectric members 21, and the adhesive layer portion 20 was dispersed in the plurality of side wall 13. It becomes a state.
【0036】ここで、本実施の形態の圧電部材10,1
1を形成する前に、圧電部材21を台形に形成する際の
切取り部の角度を何度にすればよいか、即ち、圧電部材
10,11の長辺に対する接着層部20の傾斜角“θ
1 ”を何度にすれば最適の圧電部材10,11が得られ
るかを判断するため、上述した式(3),(5),
(6)及び次式(7),(8)に基づいて表2に示すデ
ータを得る。Here, the piezoelectric members 10 and 1 of the present embodiment
Before forming 1, the angle of the cut-off portion when forming the piezoelectric member 21 in a trapezoidal shape should be set, that is, the inclination angle “θ” of the adhesive layer portion 20 with respect to the long sides of the piezoelectric members 10 and 11.
In order to determine how many times " 1 " should be used to obtain the optimum piezoelectric members 10 and 11, the above equations (3), (5),
The data shown in Table 2 is obtained based on (6) and the following equations (7) and (8).
【0037】 x3 =2{x1 −(y5 /tanθ1 )}+(y5 /tanθ1 )……(7) y5 =y1 /N (但し、Nは圧電部材A1 の分割枚数) ……(8) なお、y5 は圧電部材10,11の溝方向長さである。X 3 = 2 {x 1 − (y 5 / tan θ 1 )} + (y 5 / tan θ 1 ) ... (7) y 5 = y 1 / N (where N is the division of the piezoelectric member A 1 ) (Number of sheets) (8) Note that y 5 is the groove direction length of the piezoelectric members 10 and 11.
【0038】[0038]
【表2】 [Table 2]
【0039】表2に示すデータによれば、傾斜角“θ
1 ”を80゜にすると共に、分割枚数をN=4として圧
電部材10,11を形成することにより、接着層部20
に対して28個の側壁13が交差し、損失率“γ”が
3.60%となる。そして、この圧電部材10,11を
用いて製造したインクジェットプリンタヘッド5で画像
形成を行なったところ、全ての圧力室17からインク滴
が同等に吐出し、極めて良好な画像サンプルを得ること
ができた。According to the data shown in Table 2, the inclination angle "θ"
By setting the 1 ″ to 80 ° and forming the piezoelectric members 10 and 11 with the number of divisions N = 4, the adhesive layer portion 20 is formed.
28 side walls 13 intersect with each other, and the loss rate “γ” is 3.60%. When an image was formed with the inkjet printer head 5 manufactured using the piezoelectric members 10 and 11, ink droplets were equally discharged from all the pressure chambers 17, and an extremely good image sample could be obtained. .
【0040】しかも、本実施の形態のインクジェットプ
リンタヘッド5の製造方法によれば、圧電部材の破棄率
“α”が非常に小さくなり、圧電部材の無駄が少なくな
る。さらに、圧電部材A1 を切断して台形の圧電部材2
1に分割した後、これらの圧電部材21を接着して圧電
部材10,11を形成するため、これらの圧電部材1
0,11の形成作業を容易に行なえるようになる。Moreover, according to the method of manufacturing the ink jet printer head 5 of the present embodiment, the discard rate "α" of the piezoelectric member becomes very small, and the waste of the piezoelectric member is reduced. Further, the piezoelectric member A 1 is cut to form a trapezoidal piezoelectric member 2
After being divided into 1, the piezoelectric members 21 are bonded to form the piezoelectric members 10 and 11.
The forming work of 0 and 11 can be easily performed.
【0041】ついで、本発明の第三の実施の形態を図4
に基づいて説明する。なお、本実施の形態のインクジェ
ットプリンタヘッド5の製造方法では、1枚の圧電部材
A1の長手方向の一端側を図4(a)のハッチングで示
すように切り取って台形とし、台形に切断した2枚の圧
電部材A1 の切断面同士を接着することにより図4
(b)に示す矩形の圧電部材を形成する。そして、この
圧電部材を図4(c)に示す破線に沿って切断すること
により、幅方向長さが“x4 ”となるN枚の大型の圧電
部材10,11に分割する。そして、これらの圧電部材
10,11を積層状態に接着した後に図4(d)に示す
ように溝12と側壁13とを形成する。なお、この圧電
部材10,11に対して溝12と側壁13とを形成した
とき、台形の圧電部材A1 同士の接着層部20に対して
複数の側壁13が斜めに交差し、接着層部20が複数の
側壁13中に分散した状態になる。Next, a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
It will be described based on. In the method for manufacturing the inkjet printer head 5 according to the present embodiment, one piezoelectric member A 1 in the longitudinal direction is cut into a trapezoidal shape as shown by hatching in FIG. By bonding the cut surfaces of the two piezoelectric members A 1 to each other, as shown in FIG.
The rectangular piezoelectric member shown in (b) is formed. Then, by cutting this piezoelectric member along the broken line shown in FIG. 4C, it is divided into N large piezoelectric members 10 and 11 having a widthwise length of “x 4 ”. Then, after bonding the piezoelectric members 10 and 11 in a laminated state, a groove 12 and a side wall 13 are formed as shown in FIG. When the groove 12 and the side wall 13 are formed in the piezoelectric members 10 and 11, the plurality of side walls 13 obliquely intersect the adhesive layer portion 20 of the trapezoidal piezoelectric members A 1 to form an adhesive layer portion. 20 is dispersed in the plurality of side walls 13.
【0042】ここで、本実施の形態の圧電部材10,1
1を形成する前に、圧電部材A1 を台形に形成する際の
切取り部の角度を何度にすればよいか、即ち、圧電部材
10,11の長辺に対する接着層部20の傾斜角“θ
1 ”を何度にすれば最適の圧電部材10,11が得られ
るかを判断するため、上述した式(3),(5),
(6),(8)及び次式(9)に基づいて表3に示すデ
ータを得る。Here, the piezoelectric members 10 and 1 of the present embodiment
Before forming 1, the angle of the cut-out portion when forming the piezoelectric member A 1 into a trapezoidal shape should be set to the desired value, that is, the inclination angle of the adhesive layer portion 20 with respect to the long sides of the piezoelectric members 10 and 11. θ
In order to determine how many times " 1 " should be used to obtain the optimum piezoelectric members 10 and 11, the above equations (3), (5),
The data shown in Table 3 is obtained based on (6), (8) and the following equation (9).
【0043】 x4 =2{x1 −(y1 /tanθ1 )}+(y1 /tanθ1 )……(9)X 4 = 2 {x 1 − (y 1 / tan θ 1 )} + (y 1 / tan θ 1 ) ... (9)
【0044】[0044]
【表3】 [Table 3]
【0045】ここで、表3に示すデータによれば、傾斜
角“θ1 ”を80゜にすると共に、分割枚数をN=4と
して圧電部材10,11を形成することにより、接着層
部20に対して28個の側壁13が斜めに交差し、損失
率“γ”が3.60%となる。そして、この圧電部材1
0,11を用いて形成したインクジェットプリンタヘッ
ド5で画像形成を行なったところ、全ての圧力室17か
らインク滴が同等に吐出し、極めて良好な画像サンプル
を得ることができた。Here, according to the data shown in Table 3, the inclination angle “θ 1 ” is set to 80 ° and the piezoelectric members 10 and 11 are formed by setting the number of divisions to N = 4. The 28 side walls 13 obliquely intersect with each other, and the loss rate “γ” is 3.60%. And this piezoelectric member 1
When an image was formed by the inkjet printer head 5 formed by using Nos. 0 and 11, ink droplets were equally ejected from all the pressure chambers 17, and an extremely good image sample could be obtained.
【0046】しかも、本実施の形態のインクジェットプ
リンタヘッド5の製造方法によれば、大きいサイズの圧
電部材A1 同士を接着した後に切断して圧電部材10,
11を形成するため、切断作業には慎重を要するが、圧
電部材A1 同士を接着する際の接着面積が大きいため、
接着作業が行ない易くなって良好な接着状態を得ること
ができる。Moreover, according to the method of manufacturing the ink jet printer head 5 of the present embodiment, the piezoelectric members A 1 having a large size are adhered to each other and then cut to form the piezoelectric members 10.
Since 11 is formed, it is necessary to be careful in cutting work, but since the bonding area when bonding the piezoelectric members A 1 is large,
The bonding work is facilitated and a good bonded state can be obtained.
【0047】ついで、本発明の第四の実施の形態を図5
に基づいて説明する。本実施の形態のインクジェットプ
リンタヘッド5の製造方法では、1枚の圧電部材A1 を
図5(a)に示した破線に沿って切断することにより、
多数の平行四辺形及び三角形の圧電部材に分割する。そ
して、これらの平行四辺形及び三角形の圧電部材を接着
することにより、図5(b)に示すように幅方向長さ
“x5 ”を大きくした大型の圧電部材10,11を形成
し、これらの圧電部材10,11同士を積層して接着し
た後に、図5(c)に示すように溝12と側壁13とを
形成し、全ての側壁13中に、平行四辺形や三角形の圧
電部材同士を接着した接着層部20が含まれるようにす
る。なお、溝12と側壁13とは圧電部材10,11の
溝方向長さ(y5 =12.5mm)の全体にわたって形
成し、インクジェットプリンタヘッド5を形成する際に
は通電用の配線パターンを施してある基板(図示せず)
を圧電部材10,11に突き合わせて接着する。Next, a fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
It will be described based on. In the method of manufacturing the inkjet printer head 5 of the present embodiment, by cutting one piezoelectric member A 1 along the broken line shown in FIG.
Divide into a number of parallelogram and triangular piezoelectric members. Then, by bonding these parallelogram and triangular piezoelectric members, large piezoelectric members 10 and 11 having a large widthwise length “x 5 ” as shown in FIG. 5B are formed. After the piezoelectric members 10 and 11 are laminated and adhered to each other, a groove 12 and a side wall 13 are formed as shown in FIG. 5C, and parallelogram or triangular piezoelectric members are formed in all the side walls 13. So that the adhesive layer portion 20 to which is adhered is included. The groove 12 and the side wall 13 are formed over the entire length (y 5 = 12.5 mm) in the groove direction of the piezoelectric members 10 and 11, and a wiring pattern for energization is applied when forming the inkjet printer head 5. Substrate (not shown)
Are abutted and bonded to the piezoelectric members 10 and 11.
【0048】ここで、本実施の形態の圧電部材10,1
1を形成する前に、圧電部材A1 を平行四辺形や三角形
に切断する際の角度を何度にすればよいか、即ち、圧電
部材10,11の長辺に対する接着層部20の傾斜角
“θ1 ”を何度にすれば最適の圧電部材10,11が得
られるかを判断するため、上述した式(3),(5),
(6),(8)、及び、次式(10),(11)に基づ
いて表4に示すデータを得る。Here, the piezoelectric members 10 and 1 of the present embodiment
Before forming No. 1, how many angles should be cut when the piezoelectric member A 1 is cut into parallelograms or triangles, that is, the inclination angle of the adhesive layer portion 20 with respect to the long sides of the piezoelectric members 10 and 11? In order to judge how many times "θ 1 " is to obtain the optimum piezoelectric members 10 and 11, the above equations (3), (5),
The data shown in Table 4 is obtained based on (6) and (8) and the following equations (10) and (11).
【0049】[0049]
【数2】 [Equation 2]
【0050】なお、N1 は圧電部材10,11を形成す
るために接着する平行四辺形又は三角形の圧電部材の枚
数である。また、この式(11)における220は、A
4幅の用紙サイズに対応する値である。Note that N 1 is the number of parallelogram or triangular piezoelectric members to be bonded to form the piezoelectric members 10 and 11. Further, 220 in this formula (11) is A
It is a value corresponding to a paper size of 4 widths.
【0051】[0051]
【表4】 [Table 4]
【0052】表4に示すデータによれば、傾斜角“θ
1 ”が24゜となるように圧電部材10,11を形成す
ることにより、損失率“γ”が0.23%と低くなると
共に全ての側壁13において同じように損失が発生す
る。従って、この圧電部材10,11を用いて製造した
インクジェットプリンタヘッド5で画像形成を行なった
ところ、全ての圧力室17からのインク滴の吐出状態が
より一層均一になり、極めて良好な画像サンプルを得る
ことができた。According to the data shown in Table 4, the inclination angle "θ"
By forming the piezoelectric members 10 and 11 so that 1 ″ is 24 °, the loss rate “γ” is lowered to 0.23% and the same loss is generated in all the side walls 13. When an image is formed with the inkjet printer head 5 manufactured by using the piezoelectric members 10 and 11, the ejection state of ink droplets from all the pressure chambers 17 becomes more uniform, and an extremely good image sample can be obtained. did it.
【0053】[0053]
【発明の効果】請求項1,2,3又は4記載の発明で
は、圧電部材同士を接着した接着層部を複数の側壁中に
分散させることができ、これにより、接着層部を含む側
壁と接着層部を含まない側壁とのシェアモード変形量の
誤差を少なくして全ての圧力室からのインク滴の吐出性
能を良好にすることができる。According to the invention as set forth in claims 1, 2, 3 or 4, the adhesive layer portion which adheres the piezoelectric members to each other can be dispersed in the plurality of side walls, whereby the side wall including the adhesive layer portion can be formed. It is possible to reduce the error of the shear mode deformation amount with respect to the side wall not including the adhesive layer portion and improve the ejection performance of ink droplets from all the pressure chambers.
【図1】本発明の第一の実施の形態のインクジェットプ
リンタヘッドを一部を破断して示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing an inkjet printer head according to a first embodiment of the present invention with a part thereof cut away.
【図2】大型の圧電部材の形成手順を示すもので、
(a)は2枚の圧電部材を水平方向へ位置をずらして接
着した状態を示す平面図、(b)は接着した圧電部材の
周辺部を破線に沿って切断して矩形の圧電部材を形成す
る状態を示す平面図、(c)は矩形に形成した圧電部材
を破線に沿って切断することにより目的とする大型の圧
電部材を形成する状態を示す平面図、(d)は形成した
大型の圧電部材に対して側壁と溝とを形成した状態を示
す平面図、(e)は圧電部材間の接着層部が複数の側壁
と交差した状態を拡大して示す平面図である。FIG. 2 shows a procedure for forming a large piezoelectric member,
(A) is a plan view showing a state in which two piezoelectric members are bonded by shifting their positions in the horizontal direction, and (b) is a peripheral portion of the bonded piezoelectric members cut along a broken line to form a rectangular piezoelectric member. FIG. 6C is a plan view showing a state in which a desired large piezoelectric member is formed by cutting a rectangular piezoelectric member along a broken line. FIG. FIG. 3E is a plan view showing a state in which side walls and grooves are formed on the piezoelectric member, and FIG. 6E is an enlarged plan view showing a state in which the adhesive layer portion between the piezoelectric members intersects with the plurality of side walls.
【図3】本発明の第二の実施の形態における大型の圧電
部材の形成手順を示すもので、(a)は1枚の圧電部材
を破線に沿って短冊状に切断すると共に共に長手方向の
一端側を破線に沿って切断することにより台形の圧電部
材を形成する状態を示す平面図、(b)は台形の圧電部
材同士を接着して大型の圧電部材を形成した状態を示す
平面図、(c)はこの大型の圧電部材に対して側壁と溝
とを形成した状態を示す平面図である。FIG. 3 shows a procedure for forming a large-sized piezoelectric member according to a second embodiment of the present invention, in which (a) cuts one piezoelectric member into strips along a broken line, and the piezoelectric member is cut in the longitudinal direction. A plan view showing a state in which a trapezoidal piezoelectric member is formed by cutting one end side along a broken line, (b) is a plan view showing a state in which a trapezoidal piezoelectric member is adhered to form a large piezoelectric member, (C) is a plan view showing a state in which a side wall and a groove are formed on this large-sized piezoelectric member.
【図4】本発明の第三の実施の形態における大型の圧電
部材の形成手順を示すもので、(a)は1枚の圧電部材
の長手方向の一端側を破線に沿って切断することにより
台形の圧電部材を形成する状態を示す平面図、(b)は
台形の圧電部材同士を接着した状態を示す平面図、
(c)は接着した圧電部材を破線に沿って切断すること
により目的とする大型の圧電部材を形成する状態を示す
平面図、(d)はこの大型の圧電部材に対して側壁と溝
とを形成した状態を示す平面図である。FIG. 4 shows a procedure for forming a large-sized piezoelectric member according to a third embodiment of the present invention, in which (a) is obtained by cutting one longitudinal end of one piezoelectric member along a broken line. A plan view showing a state in which a trapezoidal piezoelectric member is formed, (b) a plan view showing a state in which trapezoidal piezoelectric members are bonded to each other,
(C) is a plan view showing a state in which a desired large piezoelectric member is formed by cutting the bonded piezoelectric member along a broken line, and (d) shows a side wall and a groove for the large piezoelectric member. It is a top view showing the formed state.
【図5】本発明の第四の実施の形態における大型の圧電
部材の形成手順を示すもので、(a)は一枚の圧電部材
を破線に沿って切断することにより多数の平行四辺形及
び三角形の圧電部材に分割する状態を示す平面図、
(b)は分割した平行四辺形及び三角形の圧電部材を接
着して大型の圧電部材を形成した状態を示す平面図、
(c)はこの大型の圧電部材に対して側壁と溝とを形成
した状態を示す平面図である。FIG. 5 shows a procedure for forming a large-sized piezoelectric member according to the fourth embodiment of the present invention, in which (a) shows a plurality of parallelograms formed by cutting one piezoelectric member along a broken line. A plan view showing a state of being divided into triangular piezoelectric members,
FIG. 3B is a plan view showing a state where a large piezoelectric member is formed by bonding the divided parallelogram and triangular piezoelectric members.
(C) is a plan view showing a state in which a side wall and a groove are formed on this large-sized piezoelectric member.
【図6】2枚の圧電部材を接着することにより形成して
いた従来例の大型の圧電部材を示すもので、(a)は平
面図、(b)は正面図、(c)は一部を拡大して示す正
面図である。6A and 6B show a large-scale piezoelectric member of a conventional example formed by bonding two piezoelectric members, in which FIG. 6A is a plan view, FIG. 6B is a front view, and FIG. It is a front view which expands and shows.
5 インクジェットプリンタヘッド 6 基板 7 天板 8 ノズル板 10,11 大型の圧電部材 12 溝 13 側壁 14 電極 17 圧力室 18 インク吐出口 20 接着層部 5 Inkjet printer head 6 Substrate 7 Top plate 8 Nozzle plate 10, 11 Large piezoelectric member 12 Groove 13 Side wall 14 Electrode 17 Pressure chamber 18 Ink ejection port 20 Adhesive layer part
Claims (4)
た側壁で仕切った多数の圧力室を一列に配列し、前記圧
電部材に電圧を印加してこの圧電部材をシェアモード変
形させることにより前記圧力室からインク滴を吐出させ
るようにしたインクジェットプリンタヘッドにおいて、
前記圧力室の配列方向に沿った幅方向長さを大きくする
向きに少なくとも2枚以上の圧電部材を接着して大型の
圧電部材を形成し、接着した前記圧電部材間の接着層部
に対して複数個の前記側壁を斜めに交差させて前記側壁
を形成することを特徴とするインクジェットプリンタヘ
ッドの製造方法。1. A plurality of pressure chambers, at least a part of which is partitioned by a side wall formed of a piezoelectric member, are arranged in a line, and a voltage is applied to the piezoelectric member to deform the piezoelectric member in a shear mode, whereby the pressure chamber is formed. In an inkjet printer head that is designed to eject ink droplets from
At least two or more piezoelectric members are bonded in a direction in which the length in the width direction along the arrangement direction of the pressure chambers is increased to form a large-sized piezoelectric member, and with respect to the bonding layer portion between the bonded piezoelectric members. A method of manufacturing an inkjet printer head, wherein the plurality of side walls are obliquely intersected to form the side walls.
に少なくとも前記側壁の一部を圧電部材により形成した
基板と、前記側壁に設けた電極と、前記溝の頂部側開口
面を覆うように前記基板に固定した天板と、前記溝に対
応する多数のインク吐出口を形成してこれらの溝の先端
側開口面を覆うように前記基板に固定したノズル板と、
前記溝を前記天板と前記ノズル板とで囲むことにより形
成した圧力室とを有するインクジェットプリンタヘッド
において、前記圧力室を配列する方向に沿った幅方向長
さを大きくする向きに少なくとも2枚以上の圧電部材を
接着して大型の圧電部材を形成し、接着した前記圧電部
材間の接着層部に対して複数個の前記側壁を斜めに交差
させて前記側壁を形成することを特徴とするインクジェ
ットプリンタヘッドの製造方法。2. A substrate in which a large number of side walls and grooves are alternately formed and at least a part of the side walls is formed of a piezoelectric member, an electrode provided on the side walls, and a top opening surface of the groove are covered. A top plate fixed to the substrate, and a nozzle plate fixed to the substrate so as to form a large number of ink ejection openings corresponding to the grooves and cover the front end side opening surfaces of these grooves,
In an inkjet printer head having a pressure chamber formed by surrounding the groove with the top plate and the nozzle plate, at least two or more sheets in a direction in which a length in a width direction along a direction in which the pressure chambers are arranged is increased. Inkjet, wherein the piezoelectric member is adhered to form a large piezoelectric member, and the plurality of side walls are obliquely intersected with the adhesive layer portion between the adhered piezoelectric members to form the side wall. Printer head manufacturing method.
位置をずらして接着し、接着した前記圧電部材の周辺部
分を切断して幅方向長さを大きくした矩形の大型の圧電
部材を形成することを特徴とする請求項1又は2記載の
インクジェットプリンタヘッドの製造方法。3. A rectangular large piezoelectric member in which side surfaces of a rectangular piezoelectric member are horizontally displaced from each other and bonded, and a peripheral portion of the bonded piezoelectric member is cut to increase a width direction length. The method for manufacturing an ink jet printer head according to claim 1 or 2, wherein:
の圧電部材が台形となるように切断し、台形に形成した
一対の圧電部材の切断面同士を接着させて幅方向長さを
大きくした矩形の大型の圧電部材を形成することを特徴
とする請求項1又は2記載のインクジェットプリンタヘ
ッドの製造方法。4. A rectangular piezoelectric member is cut at one end in the longitudinal direction so that the piezoelectric member has a trapezoidal shape, and the cut surfaces of a pair of piezoelectric members formed in a trapezoidal shape are adhered to each other to increase the widthwise length. 3. The method for manufacturing an inkjet printer head according to claim 1, wherein the rectangular large piezoelectric member is formed.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20256295A JPH0948132A (en) | 1995-08-08 | 1995-08-08 | Manufacture of ink jet printer head |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20256295A JPH0948132A (en) | 1995-08-08 | 1995-08-08 | Manufacture of ink jet printer head |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0948132A true JPH0948132A (en) | 1997-02-18 |
Family
ID=16459555
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP20256295A Pending JPH0948132A (en) | 1995-08-08 | 1995-08-08 | Manufacture of ink jet printer head |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0948132A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2508345A1 (en) | 2011-04-04 | 2012-10-10 | SII Printek Inc | Method of manufacturing a liquid jet head |
-
1995
- 1995-08-08 JP JP20256295A patent/JPH0948132A/en active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2508345A1 (en) | 2011-04-04 | 2012-10-10 | SII Printek Inc | Method of manufacturing a liquid jet head |
US9340024B2 (en) | 2011-04-04 | 2016-05-17 | Sii Printek Inc. | Method of manufacturing a liquid jet head |
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