JPH0948132A - Manufacture of ink jet printer head - Google Patents
Manufacture of ink jet printer headInfo
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- JPH0948132A JPH0948132A JP20256295A JP20256295A JPH0948132A JP H0948132 A JPH0948132 A JP H0948132A JP 20256295 A JP20256295 A JP 20256295A JP 20256295 A JP20256295 A JP 20256295A JP H0948132 A JPH0948132 A JP H0948132A
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- piezoelectric
- printer head
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- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、オンデマンド方式
のインクジェットプリンタヘッドの製造方法に関する。The present invention relates to a method for manufacturing an on-demand type ink jet printer head.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、インク供給部に接続して並設した
多数の圧力室の先端にインク吐出口を有するノズル板を
固定し、印字指令に応じて圧力室内のインク圧を選択的
に高めてインク吐出口からインク滴として吐出させるよ
うにしたオンデマンド方式のインクジェットプリンタヘ
ッドが知られている。2. Description of the Related Art Conventionally, a nozzle plate having an ink discharge port is fixed to the tips of a large number of pressure chambers connected in parallel to an ink supply unit, and the ink pressure in the pressure chambers is selectively increased according to a print command. An on-demand inkjet printer head is known in which an ink droplet is ejected from an ink ejection port.
【０００３】このようなインクジェットプリンタヘッド
における圧力室内のインク圧を高めてインク滴を吐出さ
せる方法としては、圧力室の両側に配列した側壁の少な
くとも一部を圧電部材により形成し、その側壁の側面に
電極を設け、この電極に電圧を印加して側壁をシェアモ
ード変形させる方法が特開昭６３−２４７０５１号公報
に開示されている。As a method of increasing the ink pressure in the pressure chamber of such an ink jet printer head to eject ink droplets, at least a part of the side walls arranged on both sides of the pressure chamber is formed by a piezoelectric member, and the side surface of the side wall is formed. Japanese Patent Laid-Open No. 63-247051 discloses a method in which an electrode is provided on the substrate and a voltage is applied to the electrode to deform the side wall in the shear mode.
【０００４】ここで、現在製造されている圧電部材のう
ち最大サイズのものは約１４０ｍｍ×５０ｍｍであり、
製造装置等の問題からこれより大きいサイズの圧電部材
を製造することは困難である。従って、印字幅が１４０
ｍｍ以上となるラインタイプのインクジェットプリンタ
ヘッドを圧電部材を用いて製造する場合には、図６に示
すように、２枚の圧電部材１ａ，１ｂの側面同士を接着
することにより幅方向長さ“Ｌ”を大きくした大型の圧
電部材１を形成し、この圧電部材１に多数の溝２と側壁
３とを形成している。Here, the maximum size of the currently manufactured piezoelectric members is about 140 mm × 50 mm,
It is difficult to manufacture a piezoelectric member having a size larger than this due to the problem of the manufacturing apparatus. Therefore, the print width is 140
When a line-type inkjet printer head having a size of not less than mm is manufactured by using a piezoelectric member, as shown in FIG. 6, the side surfaces of two piezoelectric members 1a and 1b are adhered to each other so that the width direction length “ A large piezoelectric member 1 having a large L ″ is formed, and a large number of grooves 2 and side walls 3 are formed in the piezoelectric member 1.
【０００５】２枚の圧電部材１ａ，１ｂを接着した大型
の圧電部材１を用いてインクジェットプリンタヘッドを
製造する場合には、圧電部材１ａ，１ｂ同士の接着層部
４の上に溝２が位置するように溝２と側壁３と形成し、
接着層部４が側壁３の中に含まれないようにする必要が
ある。これは、接着層部４はシェアモード変形しないた
め、この接着層部４が側壁３の中に含まれると共にその
側壁３の大部分を占めるようになると、接着層部４を含
む側壁３のシェアモード変形量が他の側壁３のシェアモ
ード変形量より大幅に低下し、インク滴の吐出性能が著
しく低下するためである。When an ink jet printer head is manufactured by using the large piezoelectric member 1 in which the two piezoelectric members 1a and 1b are bonded, the groove 2 is located on the adhesive layer portion 4 between the piezoelectric members 1a and 1b. To form the groove 2 and the side wall 3,
It is necessary that the adhesive layer portion 4 is not included in the side wall 3. This is because the adhesive layer portion 4 does not deform in the shear mode, so that when the adhesive layer portion 4 is included in the side wall 3 and occupies most of the side wall 3, the shear force of the side wall 3 including the adhesive layer portion 4 is increased. This is because the mode deformation amount is significantly lower than the shear mode deformation amount of the other side wall 3, and the ink droplet ejection performance is significantly reduced.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】圧電部材１に１５０ｄ
ｐｉの密度で溝２を形成すると、その溝２の幅寸法
“ａ”は約８５μｍとなる。また、圧電部材１ａ，１ｂ
間の接着層部４の幅寸法“ｂ”は、接着強度や接着方法
を考慮すると約１０〜２０μｍとなる。従って、このよ
うな微細な寸法精度のもとで、数ｍｍ〜数十ｍｍの長さ
を有する溝２を接着層部４の上に確実に形成することは
困難である。The piezoelectric member 1 has 150d.
When the groove 2 is formed with a density of pi, the width dimension “a” of the groove 2 is about 85 μm. In addition, the piezoelectric members 1a and 1b
The width dimension “b” of the adhesive layer portion 4 between them is about 10 to 20 μm in consideration of the adhesive strength and the adhesive method. Therefore, it is difficult to reliably form the groove 2 having a length of several mm to several tens of mm on the adhesive layer portion 4 under such fine dimensional accuracy.
【０００７】そして、圧電部材１ａ，１ｂ同士を接着す
る面の加工精度のバラツキや、溝２と側壁３とを形成す
る際の加工精度のバラツキにより、溝２が接着層部４の
上から外れて側壁３の中に含まれると共に接着層部４が
側壁３の大部分を占めるようになる場合がある。する
と、その側壁３のシェアモード変形量が他の側壁３のシ
ェアモード変形量より大幅に低下し、その側壁３により
仕切られている圧力室からのインク滴の吐出性能が著し
く低下する。The groove 2 is dislocated from the top of the adhesive layer portion 4 due to variations in the processing accuracy of the surfaces where the piezoelectric members 1a and 1b are adhered to each other and in the processing accuracy when the groove 2 and the side wall 3 are formed. The adhesive layer portion 4 may occupy most of the side wall 3 while being included in the side wall 3. Then, the shear mode deformation amount of the side wall 3 is significantly lower than the share mode deformation amount of the other side wall 3, and the ejection performance of the ink droplet from the pressure chamber partitioned by the side wall 3 is significantly reduced.
【０００８】特に、解像度を上げるために溝２を３００
ｄｐｉの密度に形成した場合には、溝２の幅寸法“ａ”
が約４２μｍとなるため、溝２を接着層部４の上に確実
に形成するということがさらに困難になる。Particularly, in order to improve the resolution, the groove 2 is set to 300.
When formed to have a density of dpi, the width dimension of the groove 2 is “a”.
Of about 42 μm, it becomes more difficult to surely form the groove 2 on the adhesive layer portion 4.
【０００９】そこで請求項１、２、３又は４記載の発明
は、圧電部材同士を接着した接着層部を複数の側壁中に
分散させ、接着層部を含む側壁と接着層部を含まない側
壁とのシェアモード変形量の誤差を少なくして全ての圧
力室からのインク滴の吐出性能が良好となるインクジェ
ットプリンタヘッドの製造方法を提供する。Therefore, the invention according to claim 1, 2, 3 or 4 disperses the adhesive layer portion in which the piezoelectric members are adhered to each other in a plurality of side walls, and the side wall including the adhesive layer portion and the side wall not including the adhesive layer portion. A method for manufacturing an ink jet printer head, in which the error in the amount of deformation in the share mode between the pressure chamber and the pressure chamber is reduced, and the ink droplet ejection performance from all the pressure chambers is improved.
【００１０】[0010]
【課題を解決するための手段】請求項１又は２記載の発
明では、少なくとも２枚以上の圧電部材の側面同士を接
着して圧力室の配列方向に沿った幅方向長さを大きくし
た大型の圧電部材を形成し、この大型の圧電部材に側壁
を形成する際に、接着した圧電部材間の接着層部に対し
て複数個の側壁を斜めに交差させることにより接着層部
を複数の側壁中に分散させ、接着層部を含む側壁と接着
層部を含まない側壁とのシェアモード変形量の誤差を少
なくする。According to the invention of claim 1 or 2, a large-sized one in which side surfaces of at least two piezoelectric members are adhered to each other to increase the length in the width direction along the arrangement direction of the pressure chambers. When forming a piezoelectric member and forming a side wall on this large piezoelectric member, the plurality of side walls are obliquely crossed with respect to the adhesive layer part between the adhered piezoelectric members so that the adhesive layer part is formed in the plurality of side wall parts. Error in the shear mode deformation between the side wall including the adhesive layer portion and the side wall not including the adhesive layer portion is reduced.
【００１１】請求項３記載の発明では、矩形の圧電部材
の側面同士を水平方向へ位置をずらして接着し、接着し
た圧電部材の周辺部分を切断して幅方向長さを大きくし
た矩形の大型の圧電部材を形成することにより、この圧
電部材の幅方向に沿って側壁を形成すると、圧電部材間
の接着層部に対して複数の側壁が斜めに交差し、接着層
部が複数の側壁中に分散した状態となる。According to the third aspect of the present invention, the rectangular piezoelectric member is formed by adhering the side surfaces of the rectangular piezoelectric member while shifting the positions in the horizontal direction and cutting the peripheral portion of the adhered piezoelectric member to increase the length in the width direction. When the side wall is formed along the width direction of the piezoelectric member by forming the piezoelectric member, the plurality of side walls obliquely intersect the adhesive layer portion between the piezoelectric members, and the adhesive layer portion has a plurality of side walls. It will be in a dispersed state.
【００１２】請求項４記載の発明では、矩形の圧電部材
の長手方向の一端側をこの圧電部材が台形となるように
切断し、台形に形成した一対の圧電部材の切断面同士を
接着させて幅方向長さを大きくした矩形の大型の圧電部
材を形成することにより、この圧電部材の幅方向に沿っ
て側壁を形成すると、圧電部材間の接着層部に対して複
数の側壁が斜めに交差し、接着層部が複数の側壁中に分
散した状態となる。According to a fourth aspect of the present invention, one end of the rectangular piezoelectric member in the longitudinal direction is cut so that the piezoelectric member has a trapezoidal shape, and the cut surfaces of a pair of trapezoidal piezoelectric members are adhered to each other. If a side wall is formed along the width direction of this piezoelectric member by forming a rectangular large piezoelectric member having an increased length in the width direction, a plurality of side walls intersect diagonally with the adhesive layer portion between the piezoelectric members. Then, the adhesive layer portion is dispersed in the plurality of side walls.
【００１３】[0013]
【発明の実施の形態】本発明の第一の実施の形態を図１
及び図２に基づいて説明する。インクジェットプリンタ
ヘッド５は図１に示すように、基板６に対して天板７と
ノズル板８とを接着することにより形成している。FIG. 1 shows a first embodiment of the present invention.
A description will be given based on FIG. As shown in FIG. 1, the inkjet printer head 5 is formed by bonding a top plate 7 and a nozzle plate 8 to a substrate 6.
【００１４】前記基板６は、底板９の上に幅方向長さを
大きくした二層の圧電部材１０，１１を接着することに
より三層構造に形成する。前記底板９は、剛性が高く熱
変形の少ないセラミックスやガラスを材料として形成
し、その板厚寸法を０．５〜５ｍｍ程度としている。ま
た、前記圧電部材１０，１１は、板厚方向に分極したも
のをその分極方向が逆向きとなるように接着する。The substrate 6 is formed in a three-layer structure by bonding two layers of piezoelectric members 10 and 11 each having an increased width in the width direction onto the bottom plate 9. The bottom plate 9 is made of ceramics or glass having high rigidity and less thermal deformation, and has a plate thickness of about 0.5 to 5 mm. Further, the piezoelectric members 10 and 11 are bonded in such a manner that they are polarized in the plate thickness direction so that the polarization directions are opposite.
【００１５】また、前記基板６に対して溝加工を施すこ
とにより、圧電部材１１の上面から圧電部材１０の内部
に達すると共に互いに平行な多数の溝１２とこれらの溝
１２を隔てる多数の側壁１３とを交互に形成する。な
お、この溝加工は、ＩＣウエハの切断等に用いるダイシ
ングソーのダイヤモンドホイール等を用いて行なう。ま
た、これらの溝１２は、基板６の前面側において開口
し、奥側を閉塞した形状に形成する。さらに、溝１２の
寸法はインクジェットプリンタヘッドの仕様により決定
するが、例えば、深さ寸法を０．２〜１ｍｍ、幅寸法を
２０〜２００μｍ、長さ寸法を５〜５００ｍｍに形成す
る。本実施の形態のインクジェットプリンタヘッド５で
は、溝１２の長さ寸法を１３．０ｍｍ、溝１２の密度、
即ち、解像度を２００ｄｐｉとすると共に溝１２と側壁
１３との幅寸法を共に０．０６３５ｍｍとしている。Further, by performing groove processing on the substrate 6, a large number of parallel grooves 12 reaching the inside of the piezoelectric member 10 from the upper surface of the piezoelectric member 11 and a plurality of side walls 13 separating these grooves 12 from each other. And are formed alternately. The groove processing is performed by using a diamond wheel of a dicing saw used for cutting the IC wafer or the like. Further, these grooves 12 are formed so as to open on the front side of the substrate 6 and close the back side. Further, although the dimensions of the groove 12 are determined by the specifications of the inkjet printer head, for example, the depth dimension is 0.2 to 1 mm, the width dimension is 20 to 200 μm, and the length dimension is 5 to 500 mm. In the inkjet printer head 5 of the present embodiment, the length dimension of the grooves 12 is 13.0 mm, the density of the grooves 12 is
That is, the resolution is set to 200 dpi and the width dimensions of the groove 12 and the side wall 13 are both set to 0.0635 mm.
【００１６】ついで、溝１２と側壁１３とを形成した前
記基板６に対して無電解メッキ処理を施すことにより、
側壁１３の側面に電極１４を形成し、及び、前記圧電部
材１１上面にこれらの電極１４と連続する配線パターン
１５を形成する。さらに、この基板６を用いて前記イン
クジェットプリンタヘッド５を完成させたときに、前記
電極１４がインクと接触することを防止するために、電
極１４の上に絶縁膜１６を被覆する。Then, the substrate 6 having the groove 12 and the side wall 13 is subjected to an electroless plating treatment,
Electrodes 14 are formed on the side surfaces of the side walls 13, and a wiring pattern 15 continuous with these electrodes 14 is formed on the upper surface of the piezoelectric member 11. Further, when the inkjet printer head 5 is completed using the substrate 6, an insulating film 16 is coated on the electrode 14 in order to prevent the electrode 14 from coming into contact with ink.
【００１７】このようにして溝１２と側壁１３、及び、
電極１４と絶縁膜１６とを形成した基板６に対し、溝１
２の頂部側開口面を覆うように前記天板７を接着し、及
び、溝１２の先端側開口面を覆うように前記ノズル板８
を接着し、各溝１２をこれらの天板７とノズル板８とで
囲むことにより多数の圧力室１７を形成する。なお、前
記ノズル板８には、各圧力室１７に連通する多数のイン
ク吐出口１８を形成し、前記天板７の下面には、各圧力
室１７に連通すると共にこれらの圧力室１７にインクを
供給するためのインク供給管（図示せず）を接続するイ
ンク供給路１９を形成している。Thus, the groove 12 and the side wall 13, and
The groove 1 is formed in the substrate 6 on which the electrode 14 and the insulating film 16 are formed.
The top plate 7 is bonded so as to cover the top opening surface of the nozzle plate 2, and the nozzle plate 8 is provided so as to cover the tip opening surface of the groove 12.
Are bonded and each groove 12 is surrounded by the top plate 7 and the nozzle plate 8 to form a large number of pressure chambers 17. The nozzle plate 8 has a large number of ink ejection openings 18 communicating with the pressure chambers 17, and the lower surface of the top plate 7 communicates with the pressure chambers 17 and inks. An ink supply path 19 for connecting an ink supply pipe (not shown) for supplying the ink is formed.
【００１８】ついで、前記大型の圧電部材１０，１１の
形成手順を図２に基づいて説明する。前記インクジェッ
トプリンタヘッド５はラインタイプのもので、これらの
圧電部材１０，１１は図２（ｄ）に示すように、２枚の
圧電部材１０ａ，１０ｂ（１１ａ，１１ｂ）の側面同士
を接着することにより溝１２と側壁１３との配列方向に
沿った幅方向長さを大きく形成している。なお、これら
の圧電部材１０，１１は同じ手順で形成するものであ
り、一方の圧電部材１０の形成手順についてのみ説明す
る。Next, the procedure for forming the large piezoelectric members 10 and 11 will be described with reference to FIG. The inkjet printer head 5 is of a line type, and the piezoelectric members 10 and 11 are formed by adhering the side surfaces of two piezoelectric members 10a and 10b (11a and 11b) to each other as shown in FIG. 2 (d). Thus, the widthwise length along the arrangement direction of the groove 12 and the side wall 13 is formed to be large. The piezoelectric members 10 and 11 are formed by the same procedure, and only the forming procedure of one piezoelectric member 10 will be described.
【００１９】まず、長辺の長さ“ｘ1 ”が１４０ｍｍ、
短辺の長さ“ｙ1 ”が５０ｍｍの矩形の２枚の圧電部材
Ａ1 ，Ａ2 を準備し、これらの圧電部材Ａ1 ，Ａ2 の側
面同士を図２（ａ）に示すように水平方向へ所定のずれ
量“ｙ4 ”位置をずらして接着する。ついで、接着した
圧電部材Ａ1 ，Ａ2 の周辺部分を図２（ｂ）に示す破線
に沿って切断し、溝１２と側壁１３とを配列する方向に
沿った幅方向長さが“ｘ2 ”、溝１２を形成する方向で
ある溝方向長さが“ｙ2 ”となる圧電部材Ａ3を形成す
る。そして、この圧電部材Ａ3 を図２（ｃ）に示す破線
に沿って２枚に切断することにより、図２（ｄ）に示す
大型の圧電部材１０を形成する。First, the long side length "x 1 " is 140 mm,
Two rectangular piezoelectric members A 1 and A 2 each having a short side length “y 1 ” of 50 mm are prepared, and side surfaces of these piezoelectric members A 1 and A 2 are arranged as shown in FIG. Adhere by shifting the position "y 4 " by a predetermined amount in the horizontal direction. Then, the peripheral portions of the bonded piezoelectric members A 1 and A 2 are cut along the broken line shown in FIG. 2B, and the length in the width direction along the direction in which the grooves 12 and the side walls 13 are arranged is “x 2 A piezoelectric member A 3 having a groove length “y 2 ”, which is the direction in which the groove 12 is formed, is formed. Then, the piezoelectric member A 3 is cut into two along the broken line shown in FIG. 2C to form the large piezoelectric member 10 shown in FIG. 2D.
【００２０】ここで、圧電部材１０を上述のようにして
形成し、この圧電部材１０に多数の溝１２と側壁１３と
を形成した場合、圧電部材１０ａ，１０ｂ間の接着層部
２０に対して複数の側壁１３と溝１２とが斜めに交差
し、接着層部２０が複数の側壁１３中に分散した状態に
なる。なお、接着層部２０に対して何個の側壁１３及び
溝１２が交差するかは、圧電部材１０の長辺（幅方向の
辺）に対する接着層部２０の傾斜角“θ1 ”や、溝１２
の形成密度、溝１２及び側壁１３の長さ“ｙ3 ”によっ
て変動する。Here, when the piezoelectric member 10 is formed as described above and a large number of grooves 12 and side walls 13 are formed in the piezoelectric member 10, the adhesive layer portion 20 between the piezoelectric members 10a and 10b is formed. The plurality of side walls 13 and the groove 12 intersect obliquely, and the adhesive layer portion 20 is dispersed in the plurality of side walls 13. The number of side walls 13 and grooves 12 that intersect the adhesive layer portion 20 depends on the inclination angle “θ 1 ” of the adhesive layer portion 20 relative to the long side (side in the width direction) of the piezoelectric member 10 and the groove. 12
And the length "y 3 " of the groove 12 and the side wall 13 vary.
【００２１】このような構成において、このインクジェ
ットプリンタヘッド５では、圧力室１７内にインクを供
給した状態で配線パターン１５を介して電極１４へ電圧
を印加する。すると、圧電部材１０，１１により形成し
た側壁１３が圧力室１７の容積を大きくする方向へシェ
アモード変形し、やがて、その側壁１３が急激に初期位
置へ復帰する。そして、側壁１３が急激に初期位置へ復
帰した際に、圧力室１７内のインクを加圧することによ
りそのインクの一部がインク吐出口１８からインク滴と
して吐出し、そのインク滴を記録用紙等に付着させるこ
とによって画像形成を行なう。なお、このインク滴の吐
出時には、クロストークを防止するため、偶数番目の圧
力室１７と奇数番目の圧力室１７とを交互に加圧する。
また、インク吐出口１８を先端側に向かうにつれて次第
に縮径するテーパ状に形成することにより、インク滴を
インク吐出口１８からスムーズに吐出させることができ
る。In the ink jet printer head 5 having such a structure, a voltage is applied to the electrode 14 via the wiring pattern 15 while the ink is supplied into the pressure chamber 17. Then, the side wall 13 formed by the piezoelectric members 10 and 11 deforms in the shear mode in the direction of increasing the volume of the pressure chamber 17, and eventually the side wall 13 rapidly returns to the initial position. Then, when the side wall 13 is rapidly returned to the initial position, the ink in the pressure chamber 17 is pressurized so that a part of the ink is ejected from the ink ejection port 18 as an ink droplet, and the ink droplet is ejected. The image is formed by adhering to. When the ink droplets are ejected, the even-numbered pressure chambers 17 and the odd-numbered pressure chambers 17 are alternately pressurized to prevent crosstalk.
Further, by forming the ink ejection port 18 in a tapered shape in which the diameter gradually decreases toward the front end side, it is possible to eject ink droplets smoothly from the ink ejection port 18.
【００２２】ついで、圧電部材１０，１１を形成する前
に、圧電部材Ａ1 ，Ａ2 を接着する際のずれ量“ｙ4 ”
を何ｍｍにすればよいか、即ち、圧電部材１０，１１の
長辺に対する接着層部２０の傾斜角“θ1 ”を何度にす
れば最適の圧電部材１０，１１が得られるかを判断する
ため、図２に基づいて式（１）〜式（６）の各式をた
て、表１に示すデータを得る。Next, before forming the piezoelectric members 10 and 11, the displacement amount "y 4 " when bonding the piezoelectric members A 1 and A 2 together
Is determined, that is, how many times the inclination angle “θ 1 ” of the adhesive layer portion 20 with respect to the long sides of the piezoelectric members 10 and 11 is obtained to obtain the optimum piezoelectric members 10 and 11. Therefore, based on FIG. 2, formulas (1) to (6) are set to obtain the data shown in Table 1.
【００２３】[0023]
【数１】 [Equation 1]
【００２４】なお、上記の式（１）〜式（６）におい
て、 ｘ1 ：圧電部材Ａ1 ,Ａ2 の長辺の長さ；１４０ｍｍ ｙ1 ：圧電部材Ａ1 ,Ａ2 の短辺の長さ；５０ｍｍ ｘ2 ：圧電部材Ａ3 （即ち、圧電部材１０，１１）の幅
方向長さ ｙ2 ：圧電部材Ａ3 の溝方向長さ ｙ3 ：圧電部材１０，１１に形成する溝１２及び側壁１
３の長さ；１０ｍｍ ｙ3 ′：損失長さ；側壁１３の長さ方向に沿った接着層
部２０の長さ γ ：損失率（％）；側壁１３の長さに対する損失長さ
の割合 ｙ4 ：圧電部材Ａ1 ,Ａ2 を接着する際のずれ量 θ1 ，θ2 ：圧電部材Ａ3 ，１０，１１の長辺に対する
接着層部２０の傾斜角（但し、θ1 ＋θ2 ＝９０゜） Ｘ：溝１２の形成密度；２００ｄｐｉ 但し、溝１２の幅と側壁１３の幅とを同じにする。In the above formulas (1) to (6), x 1 is the length of the long side of the piezoelectric members A 1 and A 2 ; 140 mm y 1 is the length of the short side of the piezoelectric members A 1 and A 2 . Length: 50 mm x 2 : Length in the width direction of the piezoelectric member A 3 (that is, the piezoelectric members 10 and 11) y 2 : Length in the groove direction of the piezoelectric member A 3 y 3 : Groove 12 formed in the piezoelectric members 10 and 11. And side wall 1
3 length; 10 mm y 3 ′: loss length; length of the adhesive layer portion 20 along the length direction of the side wall 13 γ: loss rate (%); ratio of loss length to side wall 13 length y 4 : Deviation amounts when bonding the piezoelectric members A 1 and A 2 θ 1 , θ 2 : Inclination angle of the adhesive layer portion 20 with respect to the long sides of the piezoelectric members A 3 , 10, 11 (where θ 1 + θ 2 = 90 ) X: Formation density of grooves 12; 200 dpi However, the width of the grooves 12 and the width of the side wall 13 are made the same.
【００２５】 ｎ ：接着層部２０と交差する側壁１３の数 α ：破棄率 ＳＡ ：圧電部材Ａ1 ,Ａ2 の合計面積（ｃｍ2 ) ＳＡ′：圧電部材Ａ3 を形成する際に破棄した圧電部材
の合計面積（ｃｍ2 )具体的には、図２（ｂ）において
ハッチングで示した部分の合計面積N: number of side walls 13 intersecting the adhesive layer portion α: discard rate SA: total area (cm 2 ) of the piezoelectric members A 1 and A 2 SA ′: discarded when forming the piezoelectric member A 3 . Total area of the piezoelectric member (cm 2 ) Specifically, the total area of the hatched portion in FIG.
【００２６】[0026]
【表１】 [Table 1]
【００２７】このような大型の圧電部材１０，１１を形
成する際の条件としては、接着層部２０と交差する側壁
１３の数は２以上であること、損失率“γ”はできるだ
け小さく、好ましくは１０％以下であること、圧電部材
１０，１１の幅方向長さ“ｘ2 ”がＡ４幅（２２０ｍ
ｍ）以上であること、圧電部材の破棄率“α”が小さい
こと等が挙げられる。そこで、これらの諸条件を考慮
し、傾斜角“θ1 ”が８６゜となるように圧電部材Ａ
3 、及び、圧電部材１０，１１の形成を行なった。な
お、傾斜角“θ1 ”を８６゜とすることにより、接着層
部２０に対して１２個の側壁１３が交差することとな
り、損失率“γ”が９．０８％となる。The conditions for forming such large piezoelectric members 10 and 11 are that the number of side walls 13 intersecting the adhesive layer portion 20 is two or more, and the loss rate "γ" is as small as possible, which is preferable. Is 10% or less, and the length "x 2 " in the width direction of the piezoelectric members 10 and 11 is A4 width (220 m).
m) or more, the discard rate “α” of the piezoelectric member is small, and the like. Therefore, in consideration of these various conditions, the piezoelectric member A is adjusted so that the inclination angle “θ 1 ” is 86 °.
3 and the piezoelectric members 10 and 11 were formed. By setting the inclination angle “θ 1 ” to be 86 °, twelve side walls 13 intersect with the adhesive layer portion 20, and the loss rate “γ” becomes 9.08%.
【００２８】圧電部材１０，１１を形成する具体的な形
成手順としては、ガラス板上にＰＥＴフィルムを張り、
エポキシ系接着剤を数グラム滴下後、このガラス板を保
持したスピンコータを所定の回転数で回転させ、接着剤
の膜をＰＥＴフィルム上に形成する。ついで、このＰＥ
Ｔフィルムをシート状の弾性部材の上に置き、圧電部材
Ａ1 ，Ａ2 の側面をＰＥＴフィルムに押し付け、接着剤
を転写させる。そして、接着剤を転写させた圧電部材Ａ
1 ，Ａ2 の側面同士を水平方向へ所定のずれ量“ｙ4 ”
位置をずらし、図２（ａ）に示すように接着し、さら
に、図２（ｂ）、図２（ｃ）において破線で示す位置か
ら切断することにより圧電部材１０，１１を形成する。As a concrete forming procedure for forming the piezoelectric members 10 and 11, a PET film is put on a glass plate,
After dropping several grams of the epoxy adhesive, the spin coater holding the glass plate is rotated at a predetermined rotation speed to form a film of the adhesive on the PET film. Then, this PE
The T film is placed on a sheet-shaped elastic member, the side surfaces of the piezoelectric members A 1 and A 2 are pressed against the PET film, and the adhesive is transferred. Then, the piezoelectric member A to which the adhesive is transferred
A certain amount of horizontal displacement between the side surfaces of 1 and A 2 "y 4 "
The piezoelectric members 10 and 11 are formed by shifting the positions, adhering as shown in FIG. 2A, and further cutting from the positions shown by broken lines in FIGS. 2B and 2C.
【００２９】ついで、これらの圧電部材１０，１１を底
板９の上に積層して接着し、さらに、圧電部材１０，１
１に溝１２と側壁１３とを形成すると共に天板７とノズ
ル板８とを接着することによりインクジェットプリンタ
ヘッド５を完成させる。なお、圧電部材１０，１１同士
を接着する際には、圧電部材１０の接着層部２０と圧電
部材１１の接着層部２０とが上下で重ならないようにす
ることが好ましい。Next, these piezoelectric members 10 and 11 are laminated on the bottom plate 9 and adhered to each other.
The ink jet printer head 5 is completed by forming the groove 12 and the side wall 13 in 1 and bonding the top plate 7 and the nozzle plate 8 together. When the piezoelectric members 10 and 11 are bonded to each other, it is preferable that the adhesive layer portion 20 of the piezoelectric member 10 and the adhesive layer portion 20 of the piezoelectric member 11 do not vertically overlap.
【００３０】ここで、側壁１３をシェアモード変形させ
てインク滴の吐出を行なわせる際に、接着層部２０はシ
ェアモード変形しないため、この接着層部２０を含む側
壁１３のシェアモード変形量は接着層部２０を含まない
側壁１３のシェアモード変形量より小さくなり、吐出さ
せるインク滴の量も少なくなる。しかし、接着層部２０
は複数の側壁１３と交差しており、接着層部２０を含む
ことになる各側壁１３の損失率“γ”が小さくなる。こ
のため、接着層部２０を含む側壁１３と接着層部２０を
含まない側壁１３とのシェアモード変形量の誤差が少な
くなり、各圧力室１７からのインク滴の吐出量が略等し
くなる。Here, when the side wall 13 is deformed in the shear mode to eject ink droplets, the adhesive layer portion 20 does not deform in the shear mode. Therefore, the shear mode deformation amount of the side wall 13 including the adhesive layer portion 20 is It becomes smaller than the shear mode deformation amount of the side wall 13 not including the adhesive layer portion 20, and the amount of ink droplets to be discharged also becomes small. However, the adhesive layer portion 20
Intersects with the plurality of side walls 13, and the loss rate “γ” of each side wall 13 including the adhesive layer portion 20 becomes small. Therefore, the error in the shear mode deformation amount between the side wall 13 including the adhesive layer portion 20 and the side wall 13 not including the adhesive layer portion 20 is reduced, and the ejection amount of the ink droplet from each pressure chamber 17 is substantially equal.
【００３１】傾斜角“θ1 ”を８６゜とした圧電部材１
０，１１を用いて製造したインクジェットプリンタヘッ
ド５で画像形成を行なったところ、少なくとも一側が接
着層部２０を含む側壁１３で囲まれている圧力室１７か
らも接着層部２０の影響を受けない他の圧力室１７と同
等にインク滴が吐出し、良好な画像サンプルを得ること
ができた。Piezoelectric member 1 having an inclination angle "θ 1 " of 86 °
When an image is formed by the ink jet printer head 5 manufactured using 0, 11, the adhesive layer portion 20 is not affected by the pressure chamber 17 at least one side of which is surrounded by the side wall 13 including the adhesive layer portion 20. Ink droplets were ejected similarly to the other pressure chambers 17, and a good image sample could be obtained.
【００３２】なお、本実施の形態の圧電部材１０，１１
を形成するに際しては、サイズの大きい圧電部材Ａ1 ，
Ａ2 を接着し、ついで、切断することにより圧電部材１
０，１１を形成するため、切断時には慎重を要するが、
突き合わせて接着する接着面積が広いため、接着作業を
容易に行なえる。The piezoelectric members 10 and 11 of this embodiment are
In forming the piezoelectric member, a large-sized piezoelectric member A 1 ,
Piezoelectric member 1 by adhering A 2 and then cutting
Since 0 and 11 are formed, it is necessary to be careful when cutting,
Since the bonding area for butting and bonding is large, the bonding work can be performed easily.
【００３３】また、圧電部材１０，１１に対して溝１２
と側壁１３とを形成する際においては、溝１２を形成す
る位置と接着層部２０の位置との関係を考慮する必要が
なく、溝１２と側壁１３とを形成する際の加工精度を大
幅に軽減することができる。Further, the groove 12 is formed on the piezoelectric members 10 and 11.
When forming the groove 12 and the side wall 13, it is not necessary to consider the relationship between the position where the groove 12 is formed and the position of the adhesive layer portion 20, and it is possible to significantly improve the processing accuracy when forming the groove 12 and the side wall 13. Can be reduced.
【００３４】ついで、本発明の第二の実施の形態を図３
に基づいて説明する。なお、図１及び図２において説明
した部分と同一部分は同一符号で示し、説明も省略する
（以下、同様）。本実施の形態のインクジェットプリン
タヘッド５の製造方法では、１枚の圧電部材Ａ1 を図３
（ａ）に示した破線に沿って切断することにより“Ｎ”
枚の短冊状の圧電部材２１に分割し、ついで、これらの
圧電部材２１がそれぞれ台形となるように圧電部材２１
の長手方向の一端側を図３（ａ）のハッチングで示すよ
うに切り取る。Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
It will be described based on. The same parts as those described in FIGS. 1 and 2 are designated by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted (the same applies hereinafter). In the method of manufacturing the inkjet printer head 5 according to the present embodiment, one piezoelectric member A 1 is used as shown in FIG.
"N" is obtained by cutting along the broken line shown in (a).
The piezoelectric member 21 is divided into a plurality of strip-shaped piezoelectric members 21, and then the piezoelectric members 21 are trapezoidal.
One end side in the longitudinal direction is cut out as shown by hatching in FIG.
【００３５】そして、台形に形成した一対の圧電部材２
１の切断面同士を接着させることにより、図３（ｂ）に
示すように幅方向長さが“ｘ3 ”となる大型の圧電部材
１０，１１を形成し、これらの圧電部材１０，１１同士
を積層状態に接着した後に図３（ｃ）に示すように溝１
２と側壁１３とを形成する。なお、この圧電部材１０，
１１に対して溝１２と側壁１３とを形成したとき、圧電
部材２１間の接着層部２０に対して複数の側壁１３が斜
めに交差し、接着層部２０が複数の側壁１３中に分散し
た状態となる。Then, the pair of piezoelectric members 2 formed in a trapezoidal shape.
By bonding the cut surfaces of No. 1 to each other, large piezoelectric members 10 and 11 having a widthwise length of “x 3 ” as shown in FIG. 3B are formed, and these piezoelectric members 10 and 11 are connected to each other. After adhering them in a laminated state, as shown in FIG.
2 and the side wall 13 are formed. The piezoelectric member 10,
When the groove 12 and the side wall 13 were formed on the adhesive layer 11, the plurality of side walls 13 obliquely intersected the adhesive layer portion 20 between the piezoelectric members 21, and the adhesive layer portion 20 was dispersed in the plurality of side wall 13. It becomes a state.
【００３６】ここで、本実施の形態の圧電部材１０，１
１を形成する前に、圧電部材２１を台形に形成する際の
切取り部の角度を何度にすればよいか、即ち、圧電部材
１０，１１の長辺に対する接着層部２０の傾斜角“θ
1 ”を何度にすれば最適の圧電部材１０，１１が得られ
るかを判断するため、上述した式（３），（５），
（６）及び次式（７），（８）に基づいて表２に示すデ
ータを得る。Here, the piezoelectric members 10 and 1 of the present embodiment
Before forming 1, the angle of the cut-off portion when forming the piezoelectric member 21 in a trapezoidal shape should be set, that is, the inclination angle “θ” of the adhesive layer portion 20 with respect to the long sides of the piezoelectric members 10 and 11.
In order to determine how many times " 1 " should be used to obtain the optimum piezoelectric members 10 and 11, the above equations (3), (5),
The data shown in Table 2 is obtained based on (6) and the following equations (7) and (8).
【００３７】 ｘ3 ＝２｛ｘ1 −（ｙ5 ／ｔａｎθ1 ）｝＋（ｙ5 ／ｔａｎθ1 ）……（７） ｙ5 ＝ｙ1 ／Ｎ （但し、Ｎは圧電部材Ａ1 の分割枚数） ……（８） なお、ｙ5 は圧電部材１０，１１の溝方向長さである。X 3 = 2 {x 1 − (y 5 / tan θ 1 )} + (y 5 / tan θ 1 ) ... (7) y 5 = y 1 / N (where N is the division of the piezoelectric member A 1 ) (Number of sheets) (8) Note that y 5 is the groove direction length of the piezoelectric members 10 and 11.
【００３８】[0038]
【表２】 [Table 2]
【００３９】表２に示すデータによれば、傾斜角“θ
1 ”を８０゜にすると共に、分割枚数をＮ＝４として圧
電部材１０，１１を形成することにより、接着層部２０
に対して２８個の側壁１３が交差し、損失率“γ”が
３．６０％となる。そして、この圧電部材１０，１１を
用いて製造したインクジェットプリンタヘッド５で画像
形成を行なったところ、全ての圧力室１７からインク滴
が同等に吐出し、極めて良好な画像サンプルを得ること
ができた。According to the data shown in Table 2, the inclination angle "θ"
By setting the 1 ″ to 80 ° and forming the piezoelectric members 10 and 11 with the number of divisions N = 4, the adhesive layer portion 20 is formed.
28 side walls 13 intersect with each other, and the loss rate “γ” is 3.60%. When an image was formed with the inkjet printer head 5 manufactured using the piezoelectric members 10 and 11, ink droplets were equally discharged from all the pressure chambers 17, and an extremely good image sample could be obtained. .
【００４０】しかも、本実施の形態のインクジェットプ
リンタヘッド５の製造方法によれば、圧電部材の破棄率
“α”が非常に小さくなり、圧電部材の無駄が少なくな
る。さらに、圧電部材Ａ1 を切断して台形の圧電部材２
１に分割した後、これらの圧電部材２１を接着して圧電
部材１０，１１を形成するため、これらの圧電部材１
０，１１の形成作業を容易に行なえるようになる。Moreover, according to the method of manufacturing the ink jet printer head 5 of the present embodiment, the discard rate "α" of the piezoelectric member becomes very small, and the waste of the piezoelectric member is reduced. Further, the piezoelectric member A 1 is cut to form a trapezoidal piezoelectric member 2
After being divided into 1, the piezoelectric members 21 are bonded to form the piezoelectric members 10 and 11.
The forming work of 0 and 11 can be easily performed.
【００４１】ついで、本発明の第三の実施の形態を図４
に基づいて説明する。なお、本実施の形態のインクジェ
ットプリンタヘッド５の製造方法では、１枚の圧電部材
Ａ1の長手方向の一端側を図４（ａ）のハッチングで示
すように切り取って台形とし、台形に切断した２枚の圧
電部材Ａ1 の切断面同士を接着することにより図４
（ｂ）に示す矩形の圧電部材を形成する。そして、この
圧電部材を図４（ｃ）に示す破線に沿って切断すること
により、幅方向長さが“ｘ4 ”となるＮ枚の大型の圧電
部材１０，１１に分割する。そして、これらの圧電部材
１０，１１を積層状態に接着した後に図４（ｄ）に示す
ように溝１２と側壁１３とを形成する。なお、この圧電
部材１０，１１に対して溝１２と側壁１３とを形成した
とき、台形の圧電部材Ａ1 同士の接着層部２０に対して
複数の側壁１３が斜めに交差し、接着層部２０が複数の
側壁１３中に分散した状態になる。Next, a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
It will be described based on. In the method for manufacturing the inkjet printer head 5 according to the present embodiment, one piezoelectric member A 1 in the longitudinal direction is cut into a trapezoidal shape as shown by hatching in FIG. By bonding the cut surfaces of the two piezoelectric members A 1 to each other, as shown in FIG.
The rectangular piezoelectric member shown in (b) is formed. Then, by cutting this piezoelectric member along the broken line shown in FIG. 4C, it is divided into N large piezoelectric members 10 and 11 having a widthwise length of “x 4 ”. Then, after bonding the piezoelectric members 10 and 11 in a laminated state, a groove 12 and a side wall 13 are formed as shown in FIG. When the groove 12 and the side wall 13 are formed in the piezoelectric members 10 and 11, the plurality of side walls 13 obliquely intersect the adhesive layer portion 20 of the trapezoidal piezoelectric members A 1 to form an adhesive layer portion. 20 is dispersed in the plurality of side walls 13.
【００４２】ここで、本実施の形態の圧電部材１０，１
１を形成する前に、圧電部材Ａ1 を台形に形成する際の
切取り部の角度を何度にすればよいか、即ち、圧電部材
１０，１１の長辺に対する接着層部２０の傾斜角“θ
1 ”を何度にすれば最適の圧電部材１０，１１が得られ
るかを判断するため、上述した式（３），（５），
（６），（８）及び次式（９）に基づいて表３に示すデ
ータを得る。Here, the piezoelectric members 10 and 1 of the present embodiment
Before forming 1, the angle of the cut-out portion when forming the piezoelectric member A 1 into a trapezoidal shape should be set to the desired value, that is, the inclination angle of the adhesive layer portion 20 with respect to the long sides of the piezoelectric members 10 and 11. θ
In order to determine how many times " 1 " should be used to obtain the optimum piezoelectric members 10 and 11, the above equations (3), (5),
The data shown in Table 3 is obtained based on (6), (8) and the following equation (9).
【００４３】 ｘ4 ＝２｛ｘ1 −（ｙ1 ／ｔａｎθ1 ）｝＋（ｙ1 ／ｔａｎθ1 ）……（９）X 4 = 2 {x 1 − (y 1 / tan θ 1 )} + (y 1 / tan θ 1 ) ... (9)
【００４４】[0044]
【表３】 [Table 3]
【００４５】ここで、表３に示すデータによれば、傾斜
角“θ1 ”を８０゜にすると共に、分割枚数をＮ＝４と
して圧電部材１０，１１を形成することにより、接着層
部２０に対して２８個の側壁１３が斜めに交差し、損失
率“γ”が３．６０％となる。そして、この圧電部材１
０，１１を用いて形成したインクジェットプリンタヘッ
ド５で画像形成を行なったところ、全ての圧力室１７か
らインク滴が同等に吐出し、極めて良好な画像サンプル
を得ることができた。Here, according to the data shown in Table 3, the inclination angle “θ 1 ” is set to 80 ° and the piezoelectric members 10 and 11 are formed by setting the number of divisions to N = 4. The 28 side walls 13 obliquely intersect with each other, and the loss rate “γ” is 3.60%. And this piezoelectric member 1
When an image was formed by the inkjet printer head 5 formed by using Nos. 0 and 11, ink droplets were equally ejected from all the pressure chambers 17, and an extremely good image sample could be obtained.
【００４６】しかも、本実施の形態のインクジェットプ
リンタヘッド５の製造方法によれば、大きいサイズの圧
電部材Ａ1 同士を接着した後に切断して圧電部材１０，
１１を形成するため、切断作業には慎重を要するが、圧
電部材Ａ1 同士を接着する際の接着面積が大きいため、
接着作業が行ない易くなって良好な接着状態を得ること
ができる。Moreover, according to the method of manufacturing the ink jet printer head 5 of the present embodiment, the piezoelectric members A 1 having a large size are adhered to each other and then cut to form the piezoelectric members 10.
Since 11 is formed, it is necessary to be careful in cutting work, but since the bonding area when bonding the piezoelectric members A 1 is large,
The bonding work is facilitated and a good bonded state can be obtained.
【００４７】ついで、本発明の第四の実施の形態を図５
に基づいて説明する。本実施の形態のインクジェットプ
リンタヘッド５の製造方法では、１枚の圧電部材Ａ1 を
図５（ａ）に示した破線に沿って切断することにより、
多数の平行四辺形及び三角形の圧電部材に分割する。そ
して、これらの平行四辺形及び三角形の圧電部材を接着
することにより、図５（ｂ）に示すように幅方向長さ
“ｘ5 ”を大きくした大型の圧電部材１０，１１を形成
し、これらの圧電部材１０，１１同士を積層して接着し
た後に、図５（ｃ）に示すように溝１２と側壁１３とを
形成し、全ての側壁１３中に、平行四辺形や三角形の圧
電部材同士を接着した接着層部２０が含まれるようにす
る。なお、溝１２と側壁１３とは圧電部材１０，１１の
溝方向長さ（ｙ5 ＝１２．５ｍｍ）の全体にわたって形
成し、インクジェットプリンタヘッド５を形成する際に
は通電用の配線パターンを施してある基板（図示せず）
を圧電部材１０，１１に突き合わせて接着する。Next, a fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
It will be described based on. In the method of manufacturing the inkjet printer head 5 of the present embodiment, by cutting one piezoelectric member A 1 along the broken line shown in FIG.
Divide into a number of parallelogram and triangular piezoelectric members. Then, by bonding these parallelogram and triangular piezoelectric members, large piezoelectric members 10 and 11 having a large widthwise length “x 5 ” as shown in FIG. 5B are formed. After the piezoelectric members 10 and 11 are laminated and adhered to each other, a groove 12 and a side wall 13 are formed as shown in FIG. 5C, and parallelogram or triangular piezoelectric members are formed in all the side walls 13. So that the adhesive layer portion 20 to which is adhered is included. The groove 12 and the side wall 13 are formed over the entire length (y 5 = 12.5 mm) in the groove direction of the piezoelectric members 10 and 11, and a wiring pattern for energization is applied when forming the inkjet printer head 5. Substrate (not shown)
Are abutted and bonded to the piezoelectric members 10 and 11.
【００４８】ここで、本実施の形態の圧電部材１０，１
１を形成する前に、圧電部材Ａ1 を平行四辺形や三角形
に切断する際の角度を何度にすればよいか、即ち、圧電
部材１０，１１の長辺に対する接着層部２０の傾斜角
“θ1 ”を何度にすれば最適の圧電部材１０，１１が得
られるかを判断するため、上述した式（３），（５），
（６），（８）、及び、次式（１０），（１１）に基づ
いて表４に示すデータを得る。Here, the piezoelectric members 10 and 1 of the present embodiment
Before forming No. 1, how many angles should be cut when the piezoelectric member A 1 is cut into parallelograms or triangles, that is, the inclination angle of the adhesive layer portion 20 with respect to the long sides of the piezoelectric members 10 and 11? In order to judge how many times "θ 1 " is to obtain the optimum piezoelectric members 10 and 11, the above equations (3), (5),
The data shown in Table 4 is obtained based on (6) and (8) and the following equations (10) and (11).
【００４９】[0049]
【数２】 [Equation 2]
【００５０】なお、Ｎ1 は圧電部材１０，１１を形成す
るために接着する平行四辺形又は三角形の圧電部材の枚
数である。また、この式（１１）における２２０は、Ａ
４幅の用紙サイズに対応する値である。Note that N 1 is the number of parallelogram or triangular piezoelectric members to be bonded to form the piezoelectric members 10 and 11. Further, 220 in this formula (11) is A
It is a value corresponding to a paper size of 4 widths.
【００５１】[0051]
【表４】 [Table 4]
【００５２】表４に示すデータによれば、傾斜角“θ
1 ”が２４゜となるように圧電部材１０，１１を形成す
ることにより、損失率“γ”が０．２３％と低くなると
共に全ての側壁１３において同じように損失が発生す
る。従って、この圧電部材１０，１１を用いて製造した
インクジェットプリンタヘッド５で画像形成を行なった
ところ、全ての圧力室１７からのインク滴の吐出状態が
より一層均一になり、極めて良好な画像サンプルを得る
ことができた。According to the data shown in Table 4, the inclination angle "θ"
By forming the piezoelectric members 10 and 11 so that 1 ″ is 24 °, the loss rate “γ” is lowered to 0.23% and the same loss is generated in all the side walls 13. When an image is formed with the inkjet printer head 5 manufactured by using the piezoelectric members 10 and 11, the ejection state of ink droplets from all the pressure chambers 17 becomes more uniform, and an extremely good image sample can be obtained. did it.
【００５３】[0053]
【発明の効果】請求項１，２，３又は４記載の発明で
は、圧電部材同士を接着した接着層部を複数の側壁中に
分散させることができ、これにより、接着層部を含む側
壁と接着層部を含まない側壁とのシェアモード変形量の
誤差を少なくして全ての圧力室からのインク滴の吐出性
能を良好にすることができる。According to the invention as set forth in claims 1, 2, 3 or 4, the adhesive layer portion which adheres the piezoelectric members to each other can be dispersed in the plurality of side walls, whereby the side wall including the adhesive layer portion can be formed. It is possible to reduce the error of the shear mode deformation amount with respect to the side wall not including the adhesive layer portion and improve the ejection performance of ink droplets from all the pressure chambers.
【図１】本発明の第一の実施の形態のインクジェットプ
リンタヘッドを一部を破断して示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing an inkjet printer head according to a first embodiment of the present invention with a part thereof cut away.
【図２】大型の圧電部材の形成手順を示すもので、
（ａ）は２枚の圧電部材を水平方向へ位置をずらして接
着した状態を示す平面図、（ｂ）は接着した圧電部材の
周辺部を破線に沿って切断して矩形の圧電部材を形成す
る状態を示す平面図、（ｃ）は矩形に形成した圧電部材
を破線に沿って切断することにより目的とする大型の圧
電部材を形成する状態を示す平面図、（ｄ）は形成した
大型の圧電部材に対して側壁と溝とを形成した状態を示
す平面図、（ｅ）は圧電部材間の接着層部が複数の側壁
と交差した状態を拡大して示す平面図である。FIG. 2 shows a procedure for forming a large piezoelectric member,
(A) is a plan view showing a state in which two piezoelectric members are bonded by shifting their positions in the horizontal direction, and (b) is a peripheral portion of the bonded piezoelectric members cut along a broken line to form a rectangular piezoelectric member. FIG. 6C is a plan view showing a state in which a desired large piezoelectric member is formed by cutting a rectangular piezoelectric member along a broken line. FIG. FIG. 3E is a plan view showing a state in which side walls and grooves are formed on the piezoelectric member, and FIG. 6E is an enlarged plan view showing a state in which the adhesive layer portion between the piezoelectric members intersects with the plurality of side walls.
【図３】本発明の第二の実施の形態における大型の圧電
部材の形成手順を示すもので、（ａ）は１枚の圧電部材
を破線に沿って短冊状に切断すると共に共に長手方向の
一端側を破線に沿って切断することにより台形の圧電部
材を形成する状態を示す平面図、（ｂ）は台形の圧電部
材同士を接着して大型の圧電部材を形成した状態を示す
平面図、（ｃ）はこの大型の圧電部材に対して側壁と溝
とを形成した状態を示す平面図である。FIG. 3 shows a procedure for forming a large-sized piezoelectric member according to a second embodiment of the present invention, in which (a) cuts one piezoelectric member into strips along a broken line, and the piezoelectric member is cut in the longitudinal direction. A plan view showing a state in which a trapezoidal piezoelectric member is formed by cutting one end side along a broken line, (b) is a plan view showing a state in which a trapezoidal piezoelectric member is adhered to form a large piezoelectric member, (C) is a plan view showing a state in which a side wall and a groove are formed on this large-sized piezoelectric member.
【図４】本発明の第三の実施の形態における大型の圧電
部材の形成手順を示すもので、（ａ）は１枚の圧電部材
の長手方向の一端側を破線に沿って切断することにより
台形の圧電部材を形成する状態を示す平面図、（ｂ）は
台形の圧電部材同士を接着した状態を示す平面図、
（ｃ）は接着した圧電部材を破線に沿って切断すること
により目的とする大型の圧電部材を形成する状態を示す
平面図、（ｄ）はこの大型の圧電部材に対して側壁と溝
とを形成した状態を示す平面図である。FIG. 4 shows a procedure for forming a large-sized piezoelectric member according to a third embodiment of the present invention, in which (a) is obtained by cutting one longitudinal end of one piezoelectric member along a broken line. A plan view showing a state in which a trapezoidal piezoelectric member is formed, (b) a plan view showing a state in which trapezoidal piezoelectric members are bonded to each other,
(C) is a plan view showing a state in which a desired large piezoelectric member is formed by cutting the bonded piezoelectric member along a broken line, and (d) shows a side wall and a groove for the large piezoelectric member. It is a top view showing the formed state.
【図５】本発明の第四の実施の形態における大型の圧電
部材の形成手順を示すもので、（ａ）は一枚の圧電部材
を破線に沿って切断することにより多数の平行四辺形及
び三角形の圧電部材に分割する状態を示す平面図、
（ｂ）は分割した平行四辺形及び三角形の圧電部材を接
着して大型の圧電部材を形成した状態を示す平面図、
（ｃ）はこの大型の圧電部材に対して側壁と溝とを形成
した状態を示す平面図である。FIG. 5 shows a procedure for forming a large-sized piezoelectric member according to the fourth embodiment of the present invention, in which (a) shows a plurality of parallelograms formed by cutting one piezoelectric member along a broken line. A plan view showing a state of being divided into triangular piezoelectric members,
FIG. 3B is a plan view showing a state where a large piezoelectric member is formed by bonding the divided parallelogram and triangular piezoelectric members.
(C) is a plan view showing a state in which a side wall and a groove are formed on this large-sized piezoelectric member.
【図６】２枚の圧電部材を接着することにより形成して
いた従来例の大型の圧電部材を示すもので、（ａ）は平
面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）は一部を拡大して示す正
面図である。6A and 6B show a large-scale piezoelectric member of a conventional example formed by bonding two piezoelectric members, in which FIG. 6A is a plan view, FIG. 6B is a front view, and FIG. It is a front view which expands and shows.
５ インクジェットプリンタヘッド ６ 基板 ７ 天板 ８ ノズル板 １０，１１ 大型の圧電部材 １２ 溝 １３ 側壁 １４ 電極 １７ 圧力室 １８ インク吐出口 ２０ 接着層部 5 Inkjet printer head 6 Substrate 7 Top plate 8 Nozzle plate 10, 11 Large piezoelectric member 12 Groove 13 Side wall 14 Electrode 17 Pressure chamber 18 Ink ejection port 20 Adhesive layer part
Claims (4)
た側壁で仕切った多数の圧力室を一列に配列し、前記圧
電部材に電圧を印加してこの圧電部材をシェアモード変
形させることにより前記圧力室からインク滴を吐出させ
るようにしたインクジェットプリンタヘッドにおいて、
前記圧力室の配列方向に沿った幅方向長さを大きくする
向きに少なくとも２枚以上の圧電部材を接着して大型の
圧電部材を形成し、接着した前記圧電部材間の接着層部
に対して複数個の前記側壁を斜めに交差させて前記側壁
を形成することを特徴とするインクジェットプリンタヘ
ッドの製造方法。1. A plurality of pressure chambers, at least a part of which is partitioned by a side wall formed of a piezoelectric member, are arranged in a line, and a voltage is applied to the piezoelectric member to deform the piezoelectric member in a shear mode, whereby the pressure chamber is formed. In an inkjet printer head that is designed to eject ink droplets from
At least two or more piezoelectric members are bonded in a direction in which the length in the width direction along the arrangement direction of the pressure chambers is increased to form a large-sized piezoelectric member, and with respect to the bonding layer portion between the bonded piezoelectric members. A method of manufacturing an inkjet printer head, wherein the plurality of side walls are obliquely intersected to form the side walls.
に少なくとも前記側壁の一部を圧電部材により形成した
基板と、前記側壁に設けた電極と、前記溝の頂部側開口
面を覆うように前記基板に固定した天板と、前記溝に対
応する多数のインク吐出口を形成してこれらの溝の先端
側開口面を覆うように前記基板に固定したノズル板と、
前記溝を前記天板と前記ノズル板とで囲むことにより形
成した圧力室とを有するインクジェットプリンタヘッド
において、前記圧力室を配列する方向に沿った幅方向長
さを大きくする向きに少なくとも２枚以上の圧電部材を
接着して大型の圧電部材を形成し、接着した前記圧電部
材間の接着層部に対して複数個の前記側壁を斜めに交差
させて前記側壁を形成することを特徴とするインクジェ
ットプリンタヘッドの製造方法。2. A substrate in which a large number of side walls and grooves are alternately formed and at least a part of the side walls is formed of a piezoelectric member, an electrode provided on the side walls, and a top opening surface of the groove are covered. A top plate fixed to the substrate, and a nozzle plate fixed to the substrate so as to form a large number of ink ejection openings corresponding to the grooves and cover the front end side opening surfaces of these grooves,
In an inkjet printer head having a pressure chamber formed by surrounding the groove with the top plate and the nozzle plate, at least two or more sheets in a direction in which a length in a width direction along a direction in which the pressure chambers are arranged is increased. Inkjet, wherein the piezoelectric member is adhered to form a large piezoelectric member, and the plurality of side walls are obliquely intersected with the adhesive layer portion between the adhered piezoelectric members to form the side wall. Printer head manufacturing method.
位置をずらして接着し、接着した前記圧電部材の周辺部
分を切断して幅方向長さを大きくした矩形の大型の圧電
部材を形成することを特徴とする請求項１又は２記載の
インクジェットプリンタヘッドの製造方法。3. A rectangular large piezoelectric member in which side surfaces of a rectangular piezoelectric member are horizontally displaced from each other and bonded, and a peripheral portion of the bonded piezoelectric member is cut to increase a width direction length. The method for manufacturing an ink jet printer head according to claim 1 or 2, wherein:
の圧電部材が台形となるように切断し、台形に形成した
一対の圧電部材の切断面同士を接着させて幅方向長さを
大きくした矩形の大型の圧電部材を形成することを特徴
とする請求項１又は２記載のインクジェットプリンタヘ
ッドの製造方法。4. A rectangular piezoelectric member is cut at one end in the longitudinal direction so that the piezoelectric member has a trapezoidal shape, and the cut surfaces of a pair of piezoelectric members formed in a trapezoidal shape are adhered to each other to increase the widthwise length. 3. The method for manufacturing an inkjet printer head according to claim 1, wherein the rectangular large piezoelectric member is formed.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20256295A JPH0948132A (en) | 1995-08-08 | 1995-08-08 | Manufacture of ink jet printer head |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20256295A JPH0948132A (en) | 1995-08-08 | 1995-08-08 | Manufacture of ink jet printer head |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0948132A true JPH0948132A (en) | 1997-02-18 |
Family
ID=16459555
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20256295A Pending JPH0948132A (en) | 1995-08-08 | 1995-08-08 | Manufacture of ink jet printer head |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0948132A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2508345A1 (en) | 2011-04-04 | 2012-10-10 | SII Printek Inc | Method of manufacturing a liquid jet head |
-
1995
- 1995-08-08 JP JP20256295A patent/JPH0948132A/en active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2508345A1 (en) | 2011-04-04 | 2012-10-10 | SII Printek Inc | Method of manufacturing a liquid jet head |
| US9340024B2 (en) | 2011-04-04 | 2016-05-17 | Sii Printek Inc. | Method of manufacturing a liquid jet head |
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