JPH0944845A - 磁気記録媒体の製造方法及びこれに使用される蒸着装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 蒸着型の磁気記録媒体の製造において、磁性
材料の蒸着効率の向上を図る。 【解決手段】 非磁性支持体に蒸着源２３から蒸発した
磁性材料を蒸着させる磁気記録媒体の製造方法におい
て、蒸着源２３のるつぼ２２の一方の相対向する両側壁
２２Ａ，２２Ｂを同じ高さに立上げ、両側壁２２Ａ，２
２Ｂが対向する方向と交差する方向から電子ビーム１３
Ａ，１３Ｂを照射して蒸着源２３の磁性材料６を蒸発さ
せるようにする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、磁気記録媒体の製
造方法及びこれに使用される蒸着装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】磁気記録媒体の製造方法においては、一
般的に主流であるＣｏ−Ｎｉ等の合金からなる磁性材料
を真空薄膜形成技術を用いて、直接ポリエステルフィル
ム等の非磁性支持体上に金属磁性薄膜を形成するように
した所謂蒸着型磁気記録媒体の製造方法が知られてい
る。

【０００３】図５は、磁気記録媒体を製造する際に適用
される蒸着装置の概略的構成を示す。この蒸着装置１
は、高真空とされる蒸着室２内に、非磁性支持体４を冷
却しながら案内移送する蒸着キャン３が配され、この蒸
着キャン３に対向してるつぼ５内に磁性材料（いわゆる
金属磁性材料）６を収容してなる蒸着源７が配されると
共に、非磁性支持体４の蒸着部に近接するように酸素ガ
ス供給ノズル９が配されて成る。１０は酸素ガス供給ノ
ズル９に接続された酸素ガス導入管、１１はシャッタ、
１２は電子銃を示す。

【０００４】この蒸着装置１では、非磁性支持体４が供
給ロール１６から供給され、蒸着キャン３に沿って冷却
されながら案内移送され、巻き取りロール１７に巻き取
られる。蒸着室２内が真空排気された状態で、電子銃１
２からの電子ビーム１３で蒸着源７の磁性材料６が加熱
溶解して蒸発し、之がシャッタ１１の開口部を通して非
磁性支持体４上に蒸着される。蒸着時、酸素ガス供給ノ
ズル９から酸素ガスが供給され、磁性材料蒸気の一部を
酸化しながら斜め蒸着される。

【０００５】ところで、電子ビーム１３を照射して磁性
材料６を蒸発させるとき、電子ビーム１３は磁石により
偏向されてるつぼ５内へ向けられ、磁性材料６上を走査
する。電子ビーム１３により磁性材料６は全方向に蒸発
するため、蒸発された磁性材料１５の一部は実際の蒸着
に使用されず、装置内のシャッタ１１などに付着してし
まい、非常に蒸着効率が悪くなる。

【０００６】そこで、従来は、図６Ａ，Ｂに示すよう
に、蒸着源７に対して電子ビーム１３を電子銃１２の向
きと垂直の左右方向（矢印ａ参照）に走査させ、図６に
おいてるつぼ６の電子ビーム入射側と対向する側の側壁
６Ａを高く立上げて飛散した磁性材料の蒸気１５をこの
側壁６Ａで反射させてるつぼ６内に戻すような構造で対
応していた。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかし、るつぼ６の側
壁６Ａと対向する電子ビーム入射側の側壁６Ｂの立上げ
高さは、電子ビーム１３の妨げになることからある程度
までしか立上げることができない。このため、一方の側
壁６Ａほど磁性材料蒸気１５を反射させてるつぼ６内に
戻すことができず、無駄に蒸発する磁性材料蒸気を制御
しきれていなかった。

【０００８】本発明は、上述の点に鑑み、蒸着時の磁性
材料の無駄を低減し、磁性材料の蒸着効率を上げるよう
にした磁気記録媒体の製造方法、及びこれに使用する蒸
着装置を提供するものである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明に係る磁気記録媒
体の製造方法は、蒸着源の磁性材料を収容したるつぼの
一方の相対向する両側壁を同じ高さに立上げ、この両側
壁が対向する方向と交差する方向から電子ビームを照射
して磁性材料を蒸発させ、この磁性材料を非磁性支持体
上に蒸着させるようにする。

【００１０】本発明に係る蒸着装置は、非磁性支持体を
案内移送する蒸着キャンと、蒸着源の磁性材料を蒸発さ
せるための電子銃を有し、蒸着源のるつぼの一方の相対
向する両側壁を同じ高さに立上げ、電子銃をその電子ビ
ームがるつぼの上記両側壁が対向する第１の方向と交差
する第２の方向から照射されると共に第２方向に走査さ
せるように配置した構成とする。

【００１１】本発明に係る磁気記録媒体の製造方法によ
れば、蒸着源におけるるつぼの一方の相対向する両側壁
を同じ高さに立上げ、電子ビームをこの両側壁の対向す
る方向と交差する方向から照射するようにして非磁性支
持体上に磁性材料を蒸着することにより、るつぼから蒸
発した磁性材料の一部はるつぼの立上げられた両側壁で
反射してるつぼ内に戻ることになり、磁性材料の無駄が
減り、蒸着効率が向上する。

【００１２】本発明に係る蒸着装置によれば、蒸着源の
るつぼの一方の相対向する両側壁が同じ高さに立上げら
れているので、蒸発した磁性材料の一部は両側壁で反射
しるつぼ内に戻るため、装置内の他部への付着が減り、
磁性材料の無駄を低減することができる。また、電子ビ
ームはるつぼの立上げられた両側壁の対向する第１の方
向と交差する第２の方向から照射するので立上げられた
側壁に邪魔されずに第２の方向に走査させることができ
る。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施例について説明する。

【００１４】図１は本実施例に係る磁気記録媒体の製造
方法に使用される蒸着装置の概略的構成を示す。この蒸
着装置２１は、高真空とされる蒸着室２内に、非磁性支
持体４を冷却しながら案内移送する蒸着キャン３が配さ
れ、この蒸着キャン３に対向してるつぼ２２内に磁性材
料（いわゆる金属磁性材料）６を収容した蒸着源２３が
配されると共に、非磁性支持体４の蒸着部に近接するよ
うに酸素ガス供給ノズル９が配されて成る。１０は酸素
ガス供給ノズル９に接続された酸素ガス導入管、１１は
シャッタ、１２は電子銃を示す。

【００１５】本例においては、特に蒸着源２３として、
図２Ａ及びＢに示すように、るつぼ２２の一方の相対向
する両側壁２２Ａ及び２２Ｂを同じ高さまで立上げて形
成する。即ち、るつぼ２２は、立上げ高さを抑えていた
従来の電子ビーム入射側の側壁２２Ｂを、この側壁２２
Ｂと対向する側の側壁２２Ａの立上げ高さまで延ばすよ
うにして形成される。

【００１６】そして、このるつぼ２２に対して、両側壁
２２Ａ及び２２Ｂの対向する第１の方向と交差する第２
の方向、本例は第１の方向と直交する第２の方向、即ち
るつぼ２２を挟んでるつぼ２２の他方の相対向する高さ
の低い両側に、１対の電子銃１２〔１２Ａ，１２Ｂ〕が
配される。これら２つの電子銃１２Ａ，１２Ｂからの電
子ビーム１３Ａ，１３Ｂは電子銃１２Ａ，１２Ｂの向き
と平行に走査しながら、つまり上記第２の方向（矢印ａ
方向）に前後させながら照射される。

【００１７】本実施例では、この蒸着装置２１を用いて
磁気記録媒体を製造する。即ち、例えばポリエステルフ
ィルム等の非磁性支持体４が供給ロール１６から供給さ
れ、蒸着キャン３に沿って冷却されながら案内移送さ
れ、巻き取りロール１７に巻き取られる。蒸着室２内が
真空排気された状態で、電子銃１２Ａ及び１２Ｂからの
電子ビーム１３Ａ及び１３Ｂが矢印ａ方向に走査されな
がら蒸着源２３に照射され磁性材料６が加熱溶解して蒸
発し、之がシャッタ１１の開口部を通じて非磁性支持体
４上に蒸着される。蒸着時、酸素ガス供給ノズル９から
酸素ガスが供給され、磁性材料蒸気１５の一部を酸化し
ながら斜め蒸着される。このようにして蒸着型の磁気記
録媒体が製造される。

【００１８】本実施例によれば、蒸着源２３のるつぼ２
２が、従来の電子ビーム入射側の側壁２２Ｂを之と対向
する側壁２２Ａと同じような高さにまで立上げて構成さ
れるので、従来の蒸着に使用されず装置内のシャッタ１
１などに付着してしまっている側の磁性材料蒸気１５
も、側壁２２Ａと同じように高く立上げられた側壁２２
Ｂで反射してるつぼ２２内に戻るようになる。従って、
磁性材料の無駄を従来に比して少なくすることができ
る。

【００１９】一方、電子ビーム１３Ａ，１３Ｂは、るつ
ぼ２２の高さの低い相対向する両側から照射されるの
で、電子ビーム１３Ａ，１３Ｂが邪魔されずに磁性材料
６を加熱蒸発させることができる。そして、両側の電子
銃１２Ａ，１２Ｂから電子ビーム１３Ａ，１３Ｂを出射
させ走査させることにより、磁性材料を均一に加熱蒸発
させることができる。

【００２０】図４は、蒸着装置１を用いた従来の方法で
の蒸着時の磁性材料の付着状態を示し、図３は、蒸着装
置２１を用いた本実施例の方法での蒸着時の磁性材料の
付着状況を示す。図３及び図４共に、蒸着源からの磁性
材料蒸気の角度と蒸気流分布で示す。

【００２１】角度αは蒸着源から真上を０°とし、側壁
６Ａ，２２Ａ側を正方向、側壁６Ｂ，２２Ｂ側を負方向
とした。なお、従来のるつぼ６の側壁６Ａと、本実施例
のるつぼ２２の両側壁２２Ａ，２２Ｂの立上げ高さを同
じにした。磁性材料の蒸気流分布は、角度αにおける蒸
気流密度をΦ（α）、α＝０における蒸気流密度をΦ ₀
とおくと、ランバートの法則により数１で近似される。

【００２２】

【数１】

【００２３】図３及び図４は指数ｎ＝２の蒸気流分布を
示す。なお、図３及び図４において、（Ｉ）はテープ蒸
着分，（II）はその他の無駄分，（III ）はるつぼに戻
る分である。

【００２４】図４から、従来はるつぼ６の側壁６Ｂ側で
反射してるつぼ６に戻る磁性材料が少なく、蒸着装置内
の各所に付着した量が非常に多いことがわかる。実際に
蒸着に使用された量は、るつぼ６内に戻らず蒸発した磁
性材料の１７．９％であった。

【００２５】一方、本実施例の方法で蒸着を行ったとこ
ろ、図３に示すように、るつぼ２２の側壁２２Ｂ側で反
射してるつぼ２２内に戻る磁性材料が激増したことがわ
かる。実際に蒸着に使用された量は、るつぼ２２内に戻
らず蒸発した磁性材料の２６．４％となり、従来に比べ
て約５０％の蒸着効率の向上を図ることができた。実際
には、従来では磁性材料５０ｋｇを投入して蒸着テープ
１００００ｍを作製していたのが、本実施例では同じ量
の磁性材料で蒸着テープ１５０００ｍの作製が可能とな
る。

【００２６】

【発明の効果】本発明に係る磁気記録媒体の製造方法に
よれば、磁性材料の非磁性支持体上への蒸着時に、磁性
材料の他部への無駄を抑えることができ、蒸着効率を向
上することができる。この結果、１回の蒸着で作製され
る磁気記録媒体、即ち蒸着テープ長を大幅に引上げるこ
とができる。

【００２７】本発明に係る蒸着装置によれば、磁性材料
の非磁性支持体上への蒸着時に、磁性材料が蒸着装置の
他部へ付着するのを抑制することができ、磁性材料２１
の蒸着効率を向上させることができる。同時に、電子ビ
ームの蒸着源への照射を邪魔することなく、均一に加熱
蒸発させることができる。従って、磁気記録媒体の生産
性を向上することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本実施例に係る蒸着装置の一例を示す構成図で
ある。

【図２】Ａ 本実施例に係る蒸着装置のるつぼの形状と
電子ビームを示す要部の拡大斜視図である。 Ｂ 本実施例に係る蒸着装置のるつぼの形状と電子ビー
ムを示す要部の拡大平面図である。

【図３】本実施例の方法での磁性材料の付着状況を示す
分布図である。

【図４】従来の方法での磁性材料の付着状況を示す分布
図である。

【図５】従来例の蒸着装置を示す構成図である。

【図６】Ａ 従来例に係る蒸着装置のるつぼの形状と電
子ビームを示す要部の拡大斜視図である。 Ｂ 従来例に係る蒸着装置のるつぼの形状と電子ビーム
を示す要部の拡大断面図である。

【符号の説明】

１，２３ 蒸着装置 ２ 蒸着室 ３ 蒸着キャン ４ 非磁性支持体 ５，２２ るつぼ ６ 磁性材料 ７，２３ 蒸着源 ９ 酸素ガス供給ノズル １１ シャッタ １２，１２Ａ，１２Ｂ 電子銃 １３，１３Ａ，１３Ｂ 電子ビーム １５ 磁性材料蒸気

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 非磁性支持体に蒸着源から蒸発した磁性
   材料を蒸着させる磁気記録媒体の製造方法において、 上記蒸着源のるつぼの一方の相対向する両側壁を同じ高
   さに立上げ、該両側壁が対向する方向と交差する方向か
   ら電子ビームを照射して、上記蒸着源の磁性材料を蒸発
   させることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
2. 【請求項２】 非磁性支持体を案内移送する蒸着キャン
   と、 蒸着源と、 上記蒸着源の磁性材料を蒸発させるための電子銃とを有
   し、 上記蒸着源はるつぼの一方の相対向する両側壁が同じ高
   さに立上げられ、 上記電子銃は電子ビームが上記るつぼの上記両側壁が対
   向する第１の方向と交差する第２の方向から照射される
   と共に該第２方向に走査されるように配置されて成るこ
   とを特徴とする蒸着装置。