JPH0939233A - Ink jet head - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an ink jet head which is excellent in printing quality. SOLUTION: An actuator 300 composed of a piezoelectric ceramics plate 302 and a cover plate 320 on which one set of two escape grooves 32 is formed is bonded to an actuator 400 composed of a piezoelectric ceramics plate 402 and a cover plate 420 on the cover plate side. Since an air layer taken onto a bonded surface in bonding flees in an escape groove 321, adhesion of both actuators 300, 400 is promoted. Further, since the air layer is entirely not generated on a wall composed of the escape groove 321, the actuators 300, 400 are surely sealed, ink is not leaked from a manifold side to a nozzle side, and excellent printing quality is obtained.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、インクを噴射するイン
ク噴射手段が２つ以上接着されたインクジェットヘッド
に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ink jet head having two or more ink ejecting means for ejecting ink.

【０００２】[0002]

【従来の技術】近年、これまでのインパクト方式の記録
装置にとってかわり、その市場を大きく拡大しつつある
ノンインパクト方式の記録装置の中で、原理が最も単純
で、かつ多階調化やカラー化が容易であるものとして、
インクジェット方式の記録装置が挙げられる。インクジ
ェットプリンタは高速印字、低騒音、高印字品質であ
り、且つ比較的簡易な構成で製造コストが低くできるな
どの利点があることから注目されている。2. Description of the Related Art In recent years, among the non-impact type recording apparatuses, which have replaced the existing impact type recording apparatuses and are greatly expanding the market, the principle is the simplest, and multi-gradation and colorization are realized. As easy as
An inkjet type recording apparatus can be used. Inkjet printers are attracting attention because they have advantages such as high-speed printing, low noise, high printing quality, and a relatively simple structure and low manufacturing cost.

【０００３】従来、インクジェットヘッドとして、例え
ば、圧電セラミックスの変形によってインク流路の容積
を変化させ、その容積減少時にインク流路内のインクを
ノズルから液滴として噴射し、容積増大時にインク導入
口からインク流路内にインクを導入するようにしたもの
がある。そして、所要の印字データに従って所要の位置
のノズルからインク滴を噴射させることにより、インク
ジェットヘッドと対向する紙面上等に所望する文字や画
像を形成するドロップ・オン・デマンド型のものが主流
である。Conventionally, as an ink jet head, for example, the volume of an ink flow path is changed by deformation of piezoelectric ceramics, the ink in the ink flow path is ejected as droplets from the nozzle when the volume is decreased, and the ink introduction port is increased when the volume is increased. In some cases, the ink is introduced into the ink flow path. The drop-on-demand type, which forms desired characters and images on a paper surface facing the inkjet head by ejecting ink droplets from nozzles at required positions according to required print data, is the mainstream. .

【０００４】この種のインクジェットヘッドとしては、
例えば特開昭６３−２４７０５１号公報に記載されてい
るものがある。このインクジェットヘッドは、圧電セラ
ミックスの隔壁によって隔てられた複数の平行なインク
流路を形成し、前記インク流路の一端をノズルプレート
の前記ノズルに連通し、他の一端にインクを供給するイ
ンク供給手段を接続し、前記隔壁の変形によってインク
流路の容積を変化させて前記ノズルからインクを噴射す
るものである。As this type of ink jet head,
For example, there is one described in JP-A-63-247051. This ink jet head forms a plurality of parallel ink flow paths separated by piezoelectric ceramic partitions, one end of the ink flow path communicates with the nozzle of the nozzle plate, and ink is supplied to the other end. By connecting the means, the volume of the ink flow path is changed by the deformation of the partition wall, and the ink is ejected from the nozzle.

【０００５】このようなインクジェットヘッドにおい
て、最近、高品質印字の要望が高く、この要望に応えて
記録密度を高める様々な試みがなされている。しかし、
一平面上に集積化出来るノズル数には加工技術や寸法的
制約により限界がある。そこで、更に記録密度を高める
手法として、一列に複数個のインク流路が形成された噴
射機構を２つ以上用意し、ドットピッチを少しずつずら
して並列に配置させて接着一体化させたものがある。Recently, there has been a great demand for high quality printing in such an ink jet head, and various attempts have been made to increase the recording density in response to this demand. But,
There is a limit to the number of nozzles that can be integrated on one plane due to processing technology and dimensional constraints. Therefore, as a method for further increasing the recording density, there is a method in which two or more jetting mechanisms in which a plurality of ink flow paths are formed in one row are prepared, and the dot pitches are gradually shifted to be arranged in parallel and bonded and integrated. is there.

【０００６】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記複
数の噴射機構を接着する際、接着面に空気を巻き込むと
接着不良が起こり、インクジェットヘッドの耐久性が悪
くなる。また、後方に接合されたマニホールドから供給
されるインクが、接合面にその空気層を通して浸透し、
ノズルが形成された表面にまで漏れ出てくる虞がある。
すると、その漏出インクが垂れ落ちて記録用紙を汚損す
る虞が出てくる。However, when the plurality of ejection mechanisms are adhered, if air is entrained in the adhering surface, adhesion failure occurs and the durability of the ink jet head deteriorates. In addition, the ink supplied from the manifold bonded to the rear penetrates the bonding surface through the air layer,
There is a risk of leaking to the surface where the nozzle is formed.
Then, the leaked ink may drop and stain the recording paper.

【０００７】また、直接漏出インクが紙面を汚損しなく
ても、ノズル表面が前記漏出インクで濡れるとインクの
吐出特性に悪影響を及ぼし、吐出曲がりや不吐出が発生
して、インクジェットヘッドの印字品質が劣化するとい
う問題があった。更には、漏出インクがエネルギー発生
素子よりの電極やドライバよりの配線に付着すると、そ
れら電極や配線を電気的に導通或は短絡させてしまう。
これにより、インクジェットヘッドが正常に機能しなく
なったり、悪くはインクジェットヘッドが破損してしま
う虞があった。Even if the leaked ink does not stain the paper surface directly, if the nozzle surface gets wet with the leaked ink, the discharge characteristics of the ink are adversely affected, and discharge bending or non-discharge occurs, and the print quality of the ink jet head. There was a problem of deterioration. Further, if the leaked ink adheres to the electrodes from the energy generating element and the wiring from the driver, these electrodes and wiring are electrically conducted or short-circuited.
As a result, the inkjet head may not function normally, or worse, the inkjet head may be damaged.

【０００８】本発明は、上述した問題点を解決するため
になされたものであり、高密度記録を行なうと共に耐久
性や印字品質に優れたインクジェットヘッドを提供する
ことを目的とするものである。The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and an object of the present invention is to provide an ink jet head which performs high density recording and is excellent in durability and printing quality.

【０００９】[0009]

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明のインクジェットヘッドは、一端がインクノズ
ルと連通し且つ他端が開放されたインクを噴射する噴射
チャンネル及び前記噴射チャンネル内のインクにインク
液滴を噴射するためのエネルギーを付与するエネルギー
発生素子を備えた複数のインク噴射手段が互いに接着さ
れた構成を有し、前記噴射チャンネルの開放端に接合さ
れたマニホールド部材により各噴射チャンネルにインク
が供給されるものであり、更に、前記インク噴射手段の
各接着面の少なくとも一方の面に、前記噴射チャンネル
の長手方向と交差する溝が２本以上形成されている。In order to achieve this object, an ink jet head of the present invention includes an ejection channel for ejecting ink, one end of which communicates with an ink nozzle and the other end of which is open, and an ink in the ejection channel. A plurality of ink ejecting means provided with an energy generating element for applying energy for ejecting ink droplets to each other, and each ejecting channel is formed by a manifold member joined to the open end of the ejecting channel. The ink is supplied to the ink jetting means, and further, two or more grooves intersecting with the longitudinal direction of the jetting channel are formed on at least one of the bonding surfaces of the ink jetting means.

【００１０】尚、前記溝と溝の間に形成される壁の幅
は、略０．０４ｍｍ乃至略０．５ｍｍであってもよい。The width of the wall formed between the grooves may be about 0.04 mm to about 0.5 mm.

【００１１】尚、前記インク噴射手段を接着する接着剤
は、エポキシ接着剤であってもよい。The adhesive for adhering the ink ejecting means may be an epoxy adhesive.

【００１２】[0012]

【作用】上記の構成を有する本発明の請求項１に係るイ
ンクジェットヘッドにおいては、複数のインク噴射手段
の接着の際には、接着面に形成された溝が空気の逃げ路
となるため、接着面上に空気層が形成され難くなる。よ
って、接着強度が増し、堅固なインクジェットヘッドを
提供できる。更に、接着面において、複数の溝により分
断構成された壁部分の領域には殆ど空気層が存在しなく
なるため、その壁部の領域では密閉性が確保される。ま
た、この壁部の領域は噴射チャンネルと交差するように
形成されている。よって、マニホールド部材より供給さ
れるインクが、接着面に浸透しても、その壁部の領域に
て浸透を抑制するので、ノズル形成面にインクが漏れ出
ることが防止される。結果、接着面より漏れ出たインク
による印字不良等が起こることが無く、質の高い印字を
行なうことが可能となる。In the ink jet head according to claim 1 of the present invention having the above-mentioned structure, when the plurality of ink ejecting means are adhered, the groove formed on the adhering surface serves as an escape path for the air, so that the adhering It becomes difficult to form an air layer on the surface. Therefore, the adhesive strength is increased, and a solid inkjet head can be provided. Further, since almost no air layer is present in the region of the wall portion divided by the plurality of grooves on the adhesive surface, the hermeticity is secured in the region of the wall portion. Further, the region of this wall portion is formed so as to intersect with the injection channel. Therefore, even if the ink supplied from the manifold member permeates the adhesive surface, the permeation of the ink is suppressed in the region of the wall portion, so that the ink is prevented from leaking to the nozzle forming surface. As a result, it is possible to perform high-quality printing without causing printing defects or the like due to the ink leaking from the adhesive surface.

【００１３】請求項２に係わるインクジェットヘッドに
おいては、溝と溝の間に形成される壁の幅が略０．０４
ｍｍ乃至略０．５ｍｍとなるように形成されている。よ
って、接着面の前記壁部の領域には一切の空気層が形成
されず、完全なる密着が確保される。また、その壁部は
充分な強度を有し、外力を受けても壁面が崩壊してイン
クの漏出を許すことが無い。In the ink jet head according to the second aspect, the width of the wall formed between the grooves is approximately 0.04.
It is formed so as to be from mm to approximately 0.5 mm. Therefore, no air layer is formed in the area of the wall portion of the adhesion surface, and perfect adhesion is secured. Further, the wall portion has sufficient strength so that even if an external force is applied, the wall surface will not collapse and ink leakage will not be allowed.

【００１４】請求項３に係わるインクジェットヘッドに
おいては、エポキシ接着剤により複数のインク噴射手段
が互いに接着されている。よって、接着対象の材質によ
らない優れた接着力で堅固なヘッドを作製できる。In the ink jet head according to the third aspect, a plurality of ink ejecting means are adhered to each other with an epoxy adhesive. Therefore, a firm head can be manufactured with an excellent adhesive force regardless of the material to be adhered.

【００１５】[0015]

【実施例】以下、本発明の一実施例を図面を参照して説
明する。An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【００１６】図３及び図４に示すように、インクジェッ
トヘッド５００は、二枚の圧電セラミックスプレート３
０２，４０２と二枚のカバープレート３２０，４２０と
ノズルプレート１とマニホールド部材３０１とから構成
されている。そして、圧電セラミックスプレート３０２
とカバープレート３２０とにより、アクチュエータ３０
０が形成される。圧電セラミックスプレート４０２とカ
バープレート４２０とにより、アクチュエータ４００が
形成される。このアクチュエータ３００，４００は基本
的には同様の構成である。以下においては、アクチュエ
ータ３００において説明する。As shown in FIGS. 3 and 4, the ink jet head 500 includes two piezoelectric ceramic plates 3.
02, 402, two cover plates 320, 420, the nozzle plate 1, and the manifold member 301. Then, the piezoelectric ceramic plate 302
And the cover plate 320 allows the actuator 30
0 is formed. The actuator 400 is formed by the piezoelectric ceramic plate 402 and the cover plate 420. The actuators 300 and 400 have basically the same configuration. The actuator 300 will be described below.

【００１７】図１及び図４において、その圧電セラミッ
クスプレート３０２は、チタン酸ジルコン酸鉛系（ＰＺ
Ｔ）等のセラミックス材料で形成され、圧電セラミック
スプレート３０２には、ダイヤモンドブレード等により
所定のピッチで切削加工された複数の横溝３０３が形成
されている。尚、その横溝３０３の側面となる隔壁３０
６は図中矢印３０５の方向に分極されている。それらの
横溝３０３は、同じ深さで且つ平行に加工されており、
圧電セラミックスプレート３０２において互いに対向す
る端面３０２ａ，３０２ｂを開口端とする横溝３０３ｂ
と、端面３０２ａを開口端とすると共に、端面３０２ｂ
近傍にて深さが徐々に浅くなって端面３０２ｂにて封鎖
された横溝３０２ａとが交互に形成されている。In FIGS. 1 and 4, the piezoelectric ceramic plate 302 is made of lead zirconate titanate (PZ).
The piezoelectric ceramic plate 302 is formed of a ceramic material such as T) and has a plurality of lateral grooves 303 formed by cutting with a diamond blade or the like at a predetermined pitch. In addition, the partition wall 30 which becomes the side surface of the lateral groove 303.
6 is polarized in the direction of arrow 305 in the figure. The lateral grooves 303 have the same depth and are processed in parallel,
A lateral groove 303b having end faces 302a and 302b facing each other in the piezoelectric ceramic plate 302 as open ends
And the end face 302a is an open end, and the end face 302b is
In the vicinity, the depth gradually decreases and the lateral grooves 302a closed by the end surface 302b are alternately formed.

【００１８】また、圧電セラミックスプレート３０２の
一端面３０２ａには、縦溝３１１ａが横溝３０３ａに連
通するように形成されている。また、圧電セラミックス
プレート３０２の他端面３０２ｂには、縦溝３１１ｂが
横溝３０３ｂに連通するように形成されている。尚、縦
溝３１１ａが形成された横溝３０３ａが後述する非噴射
領域としての空気室３２７（図８参照）に対応し、縦溝
３１１ｂが形成された横溝３０３ｂが後述するインク室
３０４（図８参照）に対応する。また、本実施例では、
配列の両端部に位置する横溝３０３が空気室３２７にな
るようにしている。A vertical groove 311a is formed on one end surface 302a of the piezoelectric ceramic plate 302 so as to communicate with the horizontal groove 303a. A vertical groove 311b is formed on the other end surface 302b of the piezoelectric ceramic plate 302 so as to communicate with the horizontal groove 303b. The lateral groove 303a in which the vertical groove 311a is formed corresponds to an air chamber 327 (see FIG. 8) as a non-jet area described later, and the lateral groove 303b in which the vertical groove 311b is formed corresponds to an ink chamber 304 (see FIG. 8). ) Corresponds to. In this embodiment,
The lateral grooves 303 located at both ends of the array serve as air chambers 327.

【００１９】また、図２に示すように圧電セラミックプ
レート３０２の前記横溝３０３の加工がなされた側の面
に対して反対側の面３０２ｃには、導電材料によるパタ
ーン３２４，３２５が形成される。Further, as shown in FIG. 2, patterns 324 and 325 made of a conductive material are formed on the surface 302c of the piezoelectric ceramic plate 302 opposite to the surface on which the lateral groove 303 is processed.

【００２０】そして、図１において、圧電セラミックス
プレート３０２の横溝加工面及び端面３０２ａの各々に
対して斜め上方の位置に配置されたスパッタリング等の
蒸着源（図示せず）により、図中矢印３３０ａ，３３０
ｂの２方向から蒸着を行い、Ａｇ−Ｐｄ系の金属材料か
らなる導電層が形成される。尚、その際、圧電セラミッ
クスプレート３０２の端面３０２ａ及び隔壁３０６の天
頂部には金属電極が形成されないように予めマスクして
おく。すると、前記導電層は、図１に示すように、各横
溝３０３の両側面の上半分の領域に形成された金属電極
３０８と、横溝３０３ｂの端面３０２ａ近傍に位置する
隔壁３０６の一部及び底面の一部に形成された金属電極
３０９と、縦溝３１１ａの側面のうち端面３０２ａ側に
形成された金属電極３１０とになる。尚、インク室３０
４となる横溝３０３ａ内に形成された金属電極３０８と
金属電極３０９とは電気的に接続され、空気室３２７と
なる横溝３０３ｂ内に形成された金属電極３０８と金属
電極３１０とは電気的に接続されている。In FIG. 1, an evaporation source (not shown) such as sputtering is arranged obliquely above each of the lateral groove processing surface and the end surface 302a of the piezoelectric ceramic plate 302, and the arrows 330a, 330
By performing vapor deposition from two directions of b, a conductive layer made of an Ag-Pd-based metal material is formed. At this time, the end face 302a of the piezoelectric ceramic plate 302 and the zenith of the partition wall 306 are masked in advance so that no metal electrode is formed. Then, as shown in FIG. 1, the conductive layer includes a metal electrode 308 formed in upper half regions of both side surfaces of each lateral groove 303, and a part and a bottom surface of a partition wall 306 located near an end surface 302a of the lateral groove 303b. And a metal electrode 309 formed on a part of the vertical groove 311a and a metal electrode 310 formed on the end face 302a side of the side surfaces of the vertical groove 311a. The ink chamber 30
The metal electrode 308 and the metal electrode 309 formed in the lateral groove 303a to be 4 are electrically connected, and the metal electrode 308 and the metal electrode 310 formed in the lateral groove 303b to be the air chamber 327 are electrically connected. Has been done.

【００２１】次に、図２に示すように、圧電セラミック
スプレート３０２の表面３０２ｃ及び端面３０２ｂの各
々に対して斜め上方の位置に配置されたスパッタリング
等の蒸着源（図示せず）により、図中矢印３３１ａ，３
３１ｂの方向から蒸着を行い、金属電極３１６，３１７
が形成される。尚、その際、表面３０２ｃのパターン３
２４，３２５が形成された領域及び端面３０２ｂに金属
電極が形成されないように予めマスクしておく。Next, as shown in FIG. 2, a vapor deposition source (not shown) such as sputtering is disposed obliquely above each of the surface 302c and the end surface 302b of the piezoelectric ceramic plate 302. Arrows 331a, 3
Evaporation is performed from the direction of 31b to form metal electrodes 316, 317.
Is formed. At this time, the pattern 3 on the surface 302c
Masking is performed in advance so that the metal electrodes are not formed on the regions where 24 and 325 are formed and the end face 302b.

【００２２】すると、図２に示すように、前記金属電極
３１６は、表面３０２ｃにおいて縦溝３１１ａに分断さ
れた端面３０２ａ近傍の領域及び縦溝３１１ａ内の側面
の一部に形成される。このとき、パターン３２４と縦溝
３１１ａに形成された金属電極３１０と金属電極３１６
とが導通して、結果、各パターン３２４が金属電極３１
６，３１０を介して金属電極３０８と電気的に接続され
る。このため、インク室３０４となる横溝３０３ｂを構
成する一対の隔壁３０６において、前記横溝３０３ｂと
隣接する２つの横溝３０３ａの内壁側に形成された金属
電極３０８が前記横溝３０３ｂを跨ぐ形で電気的に接続
される。Then, as shown in FIG. 2, the metal electrode 316 is formed in the region near the end face 302a divided into the vertical grooves 311a on the surface 302c and a part of the side surface in the vertical grooves 311a. At this time, the metal electrode 310 and the metal electrode 316 formed in the pattern 324 and the vertical groove 311a.
As a result, each pattern 324 is connected to the metal electrode 31.
It is electrically connected to the metal electrode 308 via 6, 310. Therefore, in the pair of partition walls 306 forming the lateral groove 303b to be the ink chamber 304, the metal electrode 308 formed on the inner wall side of the two lateral grooves 303a adjacent to the lateral groove 303b is electrically connected to the lateral groove 303b. Connected.

【００２３】また、金属電極３１７は、表面３０２ｃに
おいて端面３０２ｂ近傍の領域と、縦溝３１１ｂ内の側
面の全部及び端面３０２ｂとに形成される。このとき、
パターン３２５と縦溝３１１ｂと連通する横溝３０３ｂ
の金属電極３０８と金属電極３１７が導通する。このた
め、パターン３２５は、縦溝３１１ｂが形成された全て
の横溝３０３ｂの内壁に形成された金属電極３０８が金
属電極３１７を介して電気的に接続される。The metal electrode 317 is formed on the surface 302c in the region near the end face 302b, and on all the side faces in the vertical groove 311b and on the end face 302b. At this time,
A lateral groove 303b communicating with the pattern 325 and the vertical groove 311b.
The metal electrode 308 and the metal electrode 317 are electrically connected. Therefore, in the pattern 325, the metal electrodes 308 formed on the inner walls of all the lateral grooves 303b in which the vertical grooves 311b are formed are electrically connected via the metal electrodes 317.

【００２４】次に、前記圧電セラミックスプレート３０
２の少なくとも金属電極３０８，３０９，３１７をスピ
ンコート法によりエポキシ樹脂の保護膜７７（図８）で
被覆する。さらに、この保護膜７７は絶縁膜としての機
能も有する。尚、スピンコート法によるエポキシ樹脂膜
の他、ディッピング法、ＣＶＤ法などによりアクリル樹
脂などの他の有機材質或はＳｉＯ₂などの無機材質の保
護膜７７で、金属電極３０８，３０９，３１７を被覆し
てもよい。Next, the piezoelectric ceramic plate 30
At least the second metal electrodes 308, 309, and 317 are coated with an epoxy resin protective film 77 (FIG. 8) by spin coating. Further, the protective film 77 also has a function as an insulating film. The metal electrodes 308, 309, and 317 are covered with a protective film 77 made of an organic resin such as acrylic resin or an inorganic material such as SiO ₂ by a dipping method, a CVD method, or the like, in addition to an epoxy resin film formed by spin coating. You may.

【００２５】尚、金属電極３１０及び後述する空気室３
２７を構成する横溝３０３ａに形成されている金属電極
３０８はインクに接しないので、保護膜７７により必ず
しも被覆する必要はない。Incidentally, the metal electrode 310 and the air chamber 3 described later.
Since the metal electrode 308 formed in the lateral groove 303a that constitutes 27 is not in contact with the ink, it is not always necessary to cover it with the protective film 77.

【００２６】以上、アクチュエータ３００の構造につい
て詳しく述べたが、図５に示すようにアクチュエータ４
００においてもその構造は同様である。アクチュエータ
４００は、空気室となる横溝４０３ａ及びインク室とな
る横溝４０３ｂ及び縦溝４１１ａ，４１１ｂを有する圧
電セラミックスプレート４０２に、パターン４２４，４
２５と導通する金属電極４０８が形成されている。各部
構成も同じであるため、詳細な説明は繰り返さない。The structure of the actuator 300 has been described above in detail. As shown in FIG.
The structure is the same also in 00. The actuator 400 includes patterns 424, 4 on a piezoelectric ceramic plate 402 having lateral grooves 403a serving as air chambers, lateral grooves 403b serving as ink chambers, and vertical grooves 411a, 411b.
A metal electrode 408 that is electrically connected to 25 is formed. Since each unit configuration is the same, detailed description will not be repeated.

【００２７】次に、カバープレート３２０は、セラミッ
クス材料等から形成されており、圧電セラミックスプレ
ート３０２の横溝３０３加工側の面と、カバープレート
３２０とをエポキシ系接着剤１２０（図８参照）によっ
て接着する。従って、アクチュエータ３００には、横溝
３０３の上面が覆われて、縦溝３１１ｂと連通するイン
ク室３０４及び縦溝３１１ａと連通する非噴射領域とし
ての空気室３２７が構成される。尚、インク室３０４は
横溝３０３ｂに対応しており、空気室３２７は横溝３０
３ａに対応している。インク室３０４及び空気室３２７
は長方形断面の細長い形状であり、全てのインク室３０
４はインクが充填され、空気室３２７は空気が充填され
る領域である。アクチュエータ４００も同様の構成であ
る。Next, the cover plate 320 is made of a ceramic material or the like, and the surface of the piezoelectric ceramic plate 302 on the side where the lateral groove 303 is processed is bonded to the cover plate 320 with an epoxy adhesive 120 (see FIG. 8). To do. Therefore, in the actuator 300, the upper surface of the lateral groove 303 is covered, and the ink chamber 304 communicating with the vertical groove 311b and the air chamber 327 as a non-ejection region communicating with the vertical groove 311a are formed. The ink chamber 304 corresponds to the lateral groove 303b, and the air chamber 327 corresponds to the lateral groove 30b.
It corresponds to 3a. Ink chamber 304 and air chamber 327
Has an elongated shape with a rectangular cross section, and all the ink chambers 30
4 is an area filled with ink, and the air chamber 327 is an area filled with air. The actuator 400 has the same configuration.

【００２８】そして、カバープレート３２０の、圧電セ
ラミックスプレート３０２と接着する面と反対側の面に
はインク室３０４と略直交する方向にダイヤモンドブレ
ードなどにより切削加工されて、逃がし溝３２１が形成
されている。この逃がし溝３２１は２本が一組となって
おり、それら２本の逃がし溝の間に形成される幅Ｘが略
０．０４〜０．５ｍｍである壁３２２を構成している。
また、この逃がし溝３２１の深さは略０．３ｍｍであ
る。Then, the surface of the cover plate 320 opposite to the surface bonded to the piezoelectric ceramic plate 302 is cut by a diamond blade or the like in a direction substantially orthogonal to the ink chamber 304 to form an escape groove 321. There is. This escape groove 321 is a set of two and forms a wall 322 having a width X of approximately 0.04 to 0.5 mm formed between the two escape grooves.
The depth of the escape groove 321 is about 0.3 mm.

【００２９】そして、アクチュエータ３００とアクチュ
エータ４００とがカバープレート３２０，４２０を介し
てエポキシ接着剤により接着される。このとき、アクチ
ュエータ３００に形成されるインク室３０４とアクチュ
エータ４００に形成されるインク室４０４は列び方向に
互い違いに形成される。Then, the actuator 300 and the actuator 400 are adhered by an epoxy adhesive agent via the cover plates 320 and 420. At this time, the ink chambers 304 formed in the actuator 300 and the ink chambers 404 formed in the actuator 400 are formed alternately in the row direction.

【００３０】また、接着の際にカバープレート３２０，
４２０との間に挟まれた空気は逃がし溝３２１に逃げ、
少なくとも壁３２２の領域には空気層は形成されない。
よって、アクチュエータ３００，４００は互いに充分に
密着されるので、機械的強度の高いインクジェットヘッ
ドが形成できる。In addition, the cover plate 320,
The air sandwiched between 420 escapes to the escape groove 321.
No air layer is formed at least in the region of the wall 322.
Therefore, since the actuators 300 and 400 are sufficiently brought into close contact with each other, an inkjet head having high mechanical strength can be formed.

【００３１】次に、各インク室の位置に対応した位置
に、ノズル４が設けら、ポリイミドから成るノズルプレ
ート１を接着する。ノズルプレート１の材質としては、
ポリイミドのほか、アラミド、ポリサルホン、液晶ポリ
マー、ポリアセタール、ポリフェニルサルホン、ポリフ
タルアミド、ポリフェニレンオキサイド、ポリエーテル
イミド、ポリエーテルサルホン、ポリカーボネートなど
の樹脂材料を用いることができる。Next, nozzles 4 are provided at positions corresponding to the positions of the ink chambers, and the nozzle plate 1 made of polyimide is bonded. As the material of the nozzle plate 1,
In addition to polyimide, resin materials such as aramid, polysulfone, liquid crystal polymer, polyacetal, polyphenylsulfone, polyphthalamide, polyphenylene oxide, polyetherimide, polyethersulfone, and polycarbonate can be used.

【００３２】また、セラミックス粉末、或いは金属粉末
の射出成形技術を用いてノズルプレート１を作製するこ
ともできる。すなわち、セラミックス粉末、或いは金属
粉末を樹脂材料などのバインダーと混合混練し、金型に
射出成形し、射出成形体を得た後、脱脂処理し樹脂材料
を射出成形体より除去し、脱脂体を得る。そして、脱脂
体を焼結炉に挿入して焼結処理を行う。この焼結処理に
より脱脂体は収縮し、金型寸法よりも約１０〜３０％程
度小さくなる。このため、金型側のノズル寸法及びピッ
チは製品よりも収縮分を見込んで大きくしておく必要が
ある。セラミックス粉末及び金属粉末としては、例え
ば、アルミナ、ジルコニア、窒化珪素、炭化珪素、ステ
ンレスなどを用いることができる。The nozzle plate 1 can also be manufactured by using an injection molding technique of ceramic powder or metal powder. That is, ceramic powder or metal powder is mixed and kneaded with a binder such as a resin material, injection-molded in a mold to obtain an injection-molded body, and then degreasing treatment is performed to remove the resin material from the injection-molded body and remove the degreased body. obtain. Then, the degreased body is inserted into a sintering furnace to perform a sintering process. By this sintering treatment, the degreased body shrinks and becomes smaller than the mold size by about 10 to 30%. For this reason, it is necessary to make the nozzle size and pitch on the die side larger in consideration of shrinkage than the product. As the ceramic powder and the metal powder, for example, alumina, zirconia, silicon nitride, silicon carbide, stainless steel or the like can be used.

【００３３】次に、図４に示すように、マニホールド部
材３０１が、圧電セラミックスプレート３０２，４０２
の端面３０２ｂ，４０２ｂ側に接着される。マニホール
ド部材３０１にはマニホールド３２３が形成されてお
り、そのマニホールド３２３は縦溝３１１ｂ，４１１ｂ
を包囲している。そして、インクはマニホールド３２３
からインク室３０４，４０４に供給される。Next, as shown in FIG. 4, the manifold member 301 is replaced by the piezoelectric ceramic plates 302, 402.
Is bonded to the end surfaces 302b and 402b side of the. A manifold 323 is formed on the manifold member 301, and the manifold 323 has vertical grooves 311b and 411b.
Siege. Then, the ink is the manifold 323.
Is supplied to the ink chambers 304 and 404.

【００３４】従来は、このマニホールド３２３からのイ
ンクがアクチュエータ３００，４００の接着面の隙間
（空気層）に滲み入り、そこからノズル面に漏れ出でく
るといった不都合があった。しかし、本実施例のインク
ジェットヘッド５００では、接着面に、インク室３０
４，４０４の長手方向と略直交する複数の逃がし溝３２
１と、該逃がし溝３２１によって形成され、且つその幅
が０．０４〜０．５ｍｍである壁３２２が形成されてい
る。Conventionally, there is a disadvantage that the ink from the manifold 323 permeates into the gap (air layer) between the adhesive surfaces of the actuators 300 and 400 and leaks out from there to the nozzle surface. However, in the ink jet head 500 of this embodiment, the ink chamber 30 is formed on the adhesive surface.
A plurality of escape grooves 32 substantially orthogonal to the longitudinal direction of 4,404.
1 and a wall 322 formed by the escape groove 321 and having a width of 0.04 to 0.5 mm.

【００３５】図６に壁幅と壁上の気泡残存状態及び壁の
強度との関係を示す。一般に、壁幅が小さければ壁上の
気泡は残留しなくなるが、壁の強度は低下する。逆に、
壁幅を大きくすると壁の強度は向上するが、壁上の気泡
の抜けが悪くなる。図６に示すように、壁３２２の幅Ｘ
が略０．０４ｍｍよりも狭いと強度的に弱くなってしま
う為、接着時に壁が破壊して空気層が形成されることが
ある。また、壁３２２の幅Ｘが略０．５ｍｍよりも広い
と空気が逃げきらず、壁３２２の領域に空気層が形成さ
れることがある。しかし、本実施例のインクジェットヘ
ッド５００がとる壁幅０．０４〜０．５ｍｍの範囲で
は、逃がし溝３２１により接着面に空気層が混入するこ
とが少なくなると共に、逃がし溝３２１によって形成さ
れる壁３２２の領域では空気層を全く含まない確実な接
着がなされる。よって、本実施例のインクジェットヘッ
ド５００ではマニホールド３２３からのインクが接着面
に侵入しにくくなっており、例え、一部侵入したとして
も、完全にシールされた前記壁３２２の領域でせき止め
られるのでノズル４方向へのインク漏れが無い。FIG. 6 shows the relationship between the wall width, the state of bubbles remaining on the wall, and the strength of the wall. In general, when the wall width is small, bubbles do not remain on the wall, but the wall strength decreases. vice versa,
If the wall width is increased, the strength of the wall is improved, but the escape of bubbles on the wall is deteriorated. As shown in FIG. 6, the width X of the wall 322
Is less than about 0.04 mm, the strength is weakened, so that the wall may be broken during the bonding to form an air layer. Further, if the width X of the wall 322 is wider than about 0.5 mm, the air may not escape and an air layer may be formed in the region of the wall 322. However, in the range of the wall width of 0.04 to 0.5 mm taken by the ink jet head 500 of the present embodiment, the escape groove 321 reduces mixing of the air layer on the adhesive surface and the wall formed by the escape groove 321. In the area of 322, a reliable bond is made without any air layer. Therefore, in the ink jet head 500 of the present embodiment, the ink from the manifold 323 does not easily enter the adhesive surface, and even if a part of the ink enters, the ink is blocked in the area of the wall 322 that is completely sealed, and thus the nozzle There is no ink leakage in 4 directions.

【００３６】また、圧電セラミックスプレート３０２の
面３０２ｃに形成されたパターン（不図示）及び圧電セ
ラミックスプレート４０２の面４０２ｃに形成されたパ
ターン４２４，４２５は、図示しないフレキシブルプリ
ント基板の配線パターンと接続される。そのフレキシブ
ルプリント基板の配線パターンは、後述する制御部に接
続された図示しないリジット基板に接続されている。The pattern (not shown) formed on the surface 302c of the piezoelectric ceramic plate 302 and the patterns 424 and 425 formed on the surface 402c of the piezoelectric ceramic plate 402 are connected to a wiring pattern of a flexible printed board (not shown). It The wiring pattern of the flexible printed board is connected to a rigid board (not shown) connected to a control unit described later.

【００３７】次に、制御部のブロック図を示す図７によ
って、制御部の構成を説明する。圧電セラミックスプレ
ート３０２の面３０２ｃに形成されたパターン３２４，
３２５は、前記フレキシブルプリント基板、前記リジッ
ト基板を介して各々個々にＬＳＩチップ１５１に接続さ
れ、クロックライン１５２、データライン１５３、電圧
ライン１５４及びアースライン１５５もＬＳＩチップ１
５１に接続されている。ＬＳＩチップ１５１は、クロッ
クライン１５２から供給された連続するクロックパルス
に基づいて、データライン１５３上に現れるデータか
ら、どのノズル４からインク滴の噴射を行うべきかを判
断し、噴射するインク室３０４の両側の空気室３２７の
金属電極３０８に導通するパターン３２４に、電圧ライ
ン１５４の電圧Ｖを印加する。また、他のパターン３２
４及びインク室３０４の金属電極３０８に導通するパタ
ーン３２５をアースライン１５５に接続する。アクチュ
エータ４００側についても同様の構成である。Next, the configuration of the control unit will be described with reference to FIG. 7, which is a block diagram of the control unit. The pattern 324 formed on the surface 302c of the piezoelectric ceramic plate 302
325 is individually connected to the LSI chip 151 via the flexible printed board and the rigid board, and the clock line 152, the data line 153, the voltage line 154, and the ground line 155 are also connected to the LSI chip 1.
It is connected to 51. The LSI chip 151 determines which nozzle 4 should eject an ink drop from the data appearing on the data line 153, based on the continuous clock pulse supplied from the clock line 152, and ejects the ink chamber 304. The voltage V of the voltage line 154 is applied to the patterns 324 that are electrically connected to the metal electrodes 308 of the air chambers 327 on both sides of. In addition, another pattern 32
4 and the pattern 325 electrically connected to the metal electrode 308 of the ink chamber 304 is connected to the earth line 155. The actuator 400 side has the same configuration.

【００３８】次に、本実施例のアクチュエータ３００の
動作を説明する。図８（ｂ）のインク室３０４ｂからイ
ンク滴を噴射するために、当該インク室３０４ｂの両側
の空気室３２７ｂ、３２７ｃのインク室３０４ｂ側の金
属電極３０８ｃ、３０８ｆに対し電圧パルスをパターン
３２４を介して与え、他の金属電極３０８には、他のパ
ターン３２４、パターン３２５を介して接地する。する
と、隔壁３０６ｂには矢印１１３ｂ方向の電界が発生
し、隔壁３０６ｃには矢印１１３ｃ方向の電界が発生し
て、隔壁３０６ｂと３０６ｃとが互いに離れるように動
く。インク室３０４ｂの容積が増えて、ノズル２付近を
含むインク室３０４ｂ内の圧力が減少する。この状態を
Ｌ／ａで示される時間だけ維持する。すると、その間縦
溝３１１ｂを介してマニホールド３２２からインクがイ
ンク室３０４ｂに供給される。なお、上記Ｌ／ａは、イ
ンク室３０４内の圧力波が、インク室３０４の長手方向
（縦溝３１１ｂからノズルプレート１４まで、またはそ
の逆）に対して、片道伝播するに必要な時間であり、イ
ンク室３０４の長さＬとインク中での音速ａによって決
まる。アクチュエータ４００についても同様である。Next, the operation of the actuator 300 of this embodiment will be described. In order to eject ink droplets from the ink chamber 304b of FIG. 8B, voltage pulses are applied to the metal electrodes 308c and 308f of the air chambers 327b and 327c on both sides of the ink chamber 304b via the pattern 324. The other metal electrode 308 is grounded through the other patterns 324 and 325. Then, an electric field in the direction of arrow 113b is generated in the partition wall 306b, an electric field in the direction of arrow 113c is generated in the partition wall 306c, and the partition walls 306b and 306c move away from each other. The volume of the ink chamber 304b increases, and the pressure in the ink chamber 304b including the vicinity of the nozzle 2 decreases. This state is maintained for the time indicated by L / a. Then, during that time, ink is supplied from the manifold 322 to the ink chamber 304b through the vertical groove 311b. The above L / a is the time required for the pressure wave in the ink chamber 304 to propagate one way in the longitudinal direction of the ink chamber 304 (from the vertical groove 311b to the nozzle plate 14 or vice versa). , The length L of the ink chamber 304 and the speed of sound a in the ink. The same applies to the actuator 400.

【００３９】圧力波の伝播理論によると、前記の立ち上
げからちょうどＬ／ａの時間経つとインク室３０４ｂ内
の圧力が逆転し、正の圧力に転じるが、このタイミング
に合わせて電極３０８ｃ、３０８ｆに印加されている電
圧を０Ｖに戻す。すると、隔壁３０６ｂと３０６ｃは変
形前の状態（図８（ａ））に戻り、インクに圧力が加え
られる。その時、前記正に転じた圧力と隔壁３０６ｂ、
３０６ｃが変形前の状態に戻って、発生した圧力とが足
し合わされ、比較的高い圧力がインク室３０４ｂ内のイ
ンクに与えられて、インク滴がノズル２から噴出され
る。According to the propagation theory of the pressure wave, the pressure in the ink chamber 304b reverses and changes to a positive pressure just after a time of L / a from the start-up, but the electrodes 308c and 308f match with this timing. The voltage applied to is returned to 0V. Then, the partitions 306b and 306c return to the state before deformation (FIG. 8A), and pressure is applied to the ink. At that time, the positive pressure and the partition wall 306b,
306c returns to the state before the deformation, the generated pressure is added, a relatively high pressure is applied to the ink in the ink chamber 304b, and an ink droplet is ejected from the nozzle 2.

【００４０】以上説明したように本実施例のインクジェ
ットヘッド５００では、アクチュエータ３００とアクチ
ュエータ４００との接着部に２本一組となった逃がし溝
３２１が形成され、それらが形成する壁３２２の領域で
は確実に接着剤によりシールされ、接着が強固となる。
それとともに、マニホールド側からノズルプレート側へ
のインクのリークが生じなくなるので、ノズル面より不
慮にインクが垂れて紙面や装置内部を汚損することや、
ノズル面をインクで濡らして液滴の吐出特性を損なわせ
たり、電極や配線を導通・短絡させたりすることがなく
なる。よって、印字品質に優れたインクジェットヘッド
を提供できる。As described above, in the ink jet head 500 of this embodiment, a pair of escape grooves 321 are formed in the bonding portion between the actuator 300 and the actuator 400, and in the region of the wall 322 formed by them. It is surely sealed by the adhesive and the adhesion becomes strong.
At the same time, ink will not leak from the manifold side to the nozzle plate side, so that ink accidentally drips from the nozzle surface and stains the paper surface or the inside of the device.
It is possible to prevent the nozzle surface from being wetted with ink and impairing the ejection characteristics of the liquid droplets, and to prevent electrical continuity and short circuit between electrodes and wiring. Therefore, it is possible to provide an inkjet head having excellent print quality.

【００４１】尚、本発明は上記実施例に限定されるもの
ではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において数々の変
形を加えることもできる。例えば、本実施例では逃がし
溝３２１は２本が一組となっているが、２本以上であれ
ばよい。また、本実施例では２本が一組となった逃がし
溝が二組形成されているが、一組以上形成されていれば
よい。The present invention is not limited to the above embodiments, and various modifications can be made without departing from the spirit of the invention. For example, in the present embodiment, two escape grooves 321 form one set, but two or more escape grooves 321 may be provided. Further, in the present embodiment, two sets of escape grooves each including two sets are formed, but one set or more may be formed.

【００４２】さらに、カバープレート３２０のみでな
く、カバープレート４２０の圧電セラミックスプレート
４０２と接着する面の反対側の面にも溝が形成されてい
てもよい。Further, not only the cover plate 320 but also the surface of the cover plate 420 on the opposite side of the surface bonded to the piezoelectric ceramics plate 402 may be formed with a groove.

【００４３】なお、前記実施例においては、まず駆動電
圧をインク室３０４ｂの容積が増加する方向に印加し、
次に駆動電圧の印加を停止しインク室３０４ｂの容積を
自然状態に減少してインク室３０４ｂからインク滴を噴
射していたが、まず駆動電圧をインク室３０４ｂの容積
が減少するように印加してインク室３０４ｂからインク
滴を噴射し、次に駆動電圧の印加を停止してインク室３
０４ｂの容積を前記減少状態から自然状態へと増加させ
てインク室３０４ｂ内にインクを供給してもよい。In the above embodiment, the drive voltage is first applied in the direction in which the volume of the ink chamber 304b increases.
Next, the application of the drive voltage was stopped, the volume of the ink chamber 304b was reduced to a natural state, and the ink droplets were ejected from the ink chamber 304b. First, the drive voltage was applied so that the volume of the ink chamber 304b decreased. To eject ink droplets from the ink chamber 304b, and then stop applying the drive voltage to the ink chamber 3b.
Ink may be supplied into the ink chamber 304b by increasing the volume of 04b from the reduced state to the natural state.

【００４４】また、本実施例では、アクチュエータ３０
０，４００において、隔壁３０６，４０６は圧電セラミ
ックスで形成されていたが、隔壁の上半分の領域を圧電
セラミックスで形成し、下半分をアルミナ等の圧電セラ
ミックスでない材料で形成してもよい。Further, in the present embodiment, the actuator 30
In 0 and 400, the partition walls 306 and 406 were formed of piezoelectric ceramics, but the upper half region of the partition walls may be formed of piezoelectric ceramics, and the lower half may be formed of a material other than piezoelectric ceramics such as alumina.

【００４５】更に、本実施例では、隔壁３０６，４０６
の上半分の領域による圧電変形によって、インク室３０
４，４０４からインクを噴射していたが、隔壁の上半分
の領域の圧電セラミックスの分極方向と反対方向の分極
方向である圧電セラミックスで隔壁の下半分の領域を形
成し、隔壁の側面全面に金属電極を形成して、隔壁全体
の圧電変形によって、インク室からインクを噴射させて
もよい。Further, in this embodiment, the partition walls 306 and 406 are used.
By the piezoelectric deformation by the upper half region, the ink chamber 30
Although the ink was ejected from 4,404, the lower half region of the partition wall was formed by piezoelectric ceramics having a polarization direction opposite to the polarization direction of the piezoelectric ceramics in the upper half region of the partition wall, and the entire side surface of the partition wall was formed. Ink may be ejected from the ink chamber by forming a metal electrode and piezoelectrically deforming the entire partition wall.

【００４６】また、本実施例では、圧電セラミックスを
用いたインクジェットヘッドであったが、周知のバブル
ジェット式やコンティニュアスジェット式等の様々な印
字方式のインクジェットヘッドに適応可能である。Further, although the ink jet head using piezoelectric ceramics is used in the present embodiment, it can be applied to ink jet heads of various known printing methods such as a bubble jet type and a continuous jet type.

【００４７】[0047]

【発明の効果】以上説明したことから明かなように本発
明のインクジェットヘッドによれば、インクを噴射する
ためのエネルギーを付与するアクチュエータが２つ以上
接着されたインクジェットヘッドにおいて、前記アクチ
ュエータの接着面の少なくとも一方に溝を２本以上形成
されるので、接着が確実に行われ、耐久性に優れる。As is apparent from the above description, according to the ink jet head of the present invention, in the ink jet head in which two or more actuators for applying energy for ejecting ink are adhered, the adhering surface of the actuators Since two or more grooves are formed in at least one of the above, the adhesion is ensured and the durability is excellent.

【００４８】更に、前記２本以上の溝と溝の間に形成さ
れる壁の幅が略０．０４ｍｍ乃至略０．５ｍｍにすれ
ば、前記壁の強度は確保され、前記壁が破壊することな
く接着される。また、その壁には空気層が残ることがな
いので、マニホールドから供給されるインクが接着面よ
り滲み込んで外部にリークする事がなく、紙面や装置内
部の汚損、液滴の吐出特性の悪化、駆動系の不良等を引
き起こすことがなく、印字品質に優れたインクジェット
ヘッドとなり得る。Further, when the width of the wall formed between the two or more grooves is approximately 0.04 mm to approximately 0.5 mm, the strength of the wall is secured and the wall is destroyed. Glued without. In addition, since no air layer remains on the wall, the ink supplied from the manifold does not seep out from the adhesive surface and leak to the outside, resulting in stains on the paper surface and inside the device, and deterioration of droplet ejection characteristics. In addition, the inkjet head can be excellent in print quality without causing defects in the drive system.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】本発明の一実施例のインクジェットヘッドを構
成するアクチュエータを示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing an actuator that constitutes an inkjet head according to an embodiment of the present invention.

【図２】同アクチュエータを示す斜視図である。FIG. 2 is a perspective view showing the actuator.

【図３】本実施例のインクジェットヘッドの構成を示す
説明図である。FIG. 3 is an explanatory diagram showing the configuration of the inkjet head of the present embodiment.

【図４】本実施例のインクジェットヘッドを示す断面図
である。FIG. 4 is a cross-sectional view showing an inkjet head of this embodiment.

【図５】本実施例のもう１つのアクチュエータを示す斜
視図である。FIG. 5 is a perspective view showing another actuator of the present embodiment.

【図６】本実施例のインクジェットヘッドの接着面に形
成された壁の特性を示す図である。FIG. 6 is a diagram showing characteristics of a wall formed on an adhesive surface of the inkjet head of the present embodiment.

【図７】本実施例のインクジェットヘッドの制御部を示
すブロック図である。FIG. 7 is a block diagram showing a control unit of the inkjet head of the present embodiment.

【図８】本実施例のインクジェットヘッドの作動状態を
示す説明図である。FIG. 8 is an explanatory diagram showing an operating state of the inkjet head of the present embodiment.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

４ インクノズル ３００ アクチュエータ ３０１ マニホールド部材 ３０２ 圧電セラミックスプレート ３２０ カバープレート ３２１ 逃がし溝 ３２２ 壁 ４００ アクチュエータ ４０２ 圧電セラミックスプレート ４２０ カバープレート ５００ インクジェットヘッド 4 Ink Nozzle 300 Actuator 301 Manifold Member 302 Piezoelectric Ceramics Plate 320 Cover Plate 321 Escape Groove 322 Wall 400 Actuator 402 Piezoelectric Ceramics Plate 420 Cover Plate 500 Inkjet Head

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 一端がインクノズルと連通し且つ他端が
開放されたインクを噴射する噴射チャンネル及び前記噴
射チャンネル内のインクにインク液滴を噴射するための
エネルギーを付与するエネルギー発生素子を備えた複数
のインク噴射手段が互いに接着された構成を有し、前記
噴射チャンネルの開放端に接合されたマニホールド部材
により各噴射チャンネルにインクが供給されるインクジ
ェットヘッドにおいて、 前記インク噴射手段の各接着面の少なくとも一方の面
に、前記噴射チャンネルの長手方向と交差する溝が２本
以上形成されていることを特徴とするインクジェットヘ
ッド。1. An ejection channel for ejecting ink, one end of which is in communication with an ink nozzle and the other end of which is open, and an energy generating element for applying energy for ejecting ink droplets to the ink in the ejection channel. An ink jet head having a structure in which a plurality of ink ejecting means are adhered to each other, and ink is supplied to each ejecting channel by a manifold member joined to an open end of the ejecting channel, each adhering surface of the ink ejecting means 2. At least one surface of the ink jet head is formed with two or more grooves intersecting the longitudinal direction of the ejection channel. 【請求項２】 前記溝と溝の間に形成される壁の幅は、
略０．０４ｍｍ乃至略０．５ｍｍであることを特徴とす
る請求項１に記載のインクジェットヘッド。2. The width of the wall formed between the grooves is
The inkjet head according to claim 1, wherein the inkjet head has a thickness of about 0.04 mm to about 0.5 mm. 【請求項３】 前記インク噴射手段を接着する接着剤
は、エポキシ接着剤であることを特徴とする請求項１に
記載のインクジェットヘッド。3. The ink jet head according to claim 1, wherein the adhesive for adhering the ink ejecting means is an epoxy adhesive.