JPH09326338A - 製造管理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 製造処理の所要時間に関する情報をユーザに
提供でき、製造工程の管理を容易にすることができる製
造管理装置を提供する。 【解決手段】 製造装置の各部を制御する比較的単機能
な下位の実行ユニットである位置合わせ制御ユニット２
１、ステージ制御ユニット２２、基板搬送ユニット２３
などの各ユニットをマスターコンピュータ１が統合的に
制御することにより、所定製品の自動製造工程を制御す
る。各ユニット２１、２２…の単数または複数の機能に
より実行され、自動製造工程の一部を成すプロセスにつ
いて、その実行に要した所要時間を内蔵クロック１２に
より計時し、所定の記録形式に基づき、記憶装置１５に
記録する。記録された所要時間は、生産性分析プログラ
ム１３により分析され、その結果が表示装置１４に表示
される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は製造管理装置に関
し、特に製造装置の各部を制御する比較的単機能な下位
の実行ユニットを主制御部が統合的に制御することによ
り、所定製品の自動製造工程が制御される製造管理装置
に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来より、半導体や液晶の製造のための
露光装置などにおいて、コンピュータを用いて製造工程
の一部ないし全てを制御する自動製造装置が知られてい
る。この種の装置では、製造装置の各部のモータなどを
制御する比較的単機能を実現する下位の実行ユニットを
主たる制御部である上位のマスタコンピュータが統合的
に制御することにより自動製造工程の全体が制御され
る。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】従来のこの種の装置で
は製品製造に要する時間を記録する機能が無く、従っ
て、製品生産の所要時間を知るためにはストツプウオツ
チなどで実測する他はなかった。また、新製品での製品
生産の所要時間を知るためには製品を実際に生産させて
時間測定を行う煩雑な作業が必要であった。

【０００４】特に装置の生産性は、製品生産工程におい
て重要な要素であり、ユーザにとって、今行われている
生産プロセスがどれだけの時間を要するのかは重要な関
心事である。

【０００５】また、従来装置では、過去の製造の所要時
間、あるいはこれに関する統計情報なども入手すること
ができなかったため、製造に関する種々の精度の管理が
不可能であり、また、製造工程を組み直す必要が生じた
場合などにおいては新たなプロセスがどれだけの時間を
要するか、などについては全く情報を得ることができな
かった。

【０００６】すなわち、従来構成においては、製造工程
の管理に必要な製造時間に関する充分な情報を取得でき
なかったために管理作業が煩雑である、という問題があ
った。

【０００７】そこで本発明の課題は、この種の製造管理
装置において、製造処理の所要時間に関する情報をユー
ザに提供でき、製造工程の管理を容易にすることができ
る製造管理装置を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、本発明によれば、製造装置の各部を制御する比較的
単機能な下位の実行ユニットを主制御部が統合的に制御
することにより、所定製品の自動製造工程が制御される
製造管理装置において、前記実行ユニットの単数または
複数の機能により実行され、前記自動製造工程の一部を
成すプロセスについて、その実行に要した所要時間を計
時する計時手段と、所定の記録形式に基づき、前記計時
手段により計時された所要時間を記録する記録手段を有
する構成を採用した。

【０００９】

【発明の実施の形態】以下、図を参照して本発明の実施
の形態を説明する。以下では、半導体や液晶の製造のた
めの露光装置を例示する。

【００１０】図１に本発明の具体的な実施による装置の
構成図を示す。

【００１１】一般に露光装置では、パーソナルコンピュ
ータや、ミニコンピュータなどから構成されたマスター
コンピュータがシステム全体の動作を制御、監視する。

【００１２】図１では、ミニコンピュータから構成され
たマスターコンピュータ１が下位のスレーブプロセッサ
としての各ユニット２１、２２…を介して露光装置２６
の各部のモータやソレノイド、光源その他の駆動部を制
御する。

【００１３】ここでは、下位のスレーブプロセッサとし
て位置合わせ制御ユニット２１、ステージ制御ユニット
２２、基板搬送ユニット２３などが示されている。各ユ
ニット２１、２２…は露光装置２６の各部のモータやソ
レノイド、光源その他の駆動部を制御する駆動回路と、
それらの動作をモニターしたり閉ループ制御するための
センサなどから構成される。

【００１４】マスターコンピュータ１は各ユニット２
１、２２…と GP-IB、SCSI, RS232C,イーサネットなど
の所定のインターフェース手段を介して接続され、マス
ターコンピュータ１の装置制御プログラム１１の制御に
より各ユニット２１、２２…に対してコマンドを送信
し、また、このコマンドに対する応答を受信することに
よって製造工程全体が制御される。

【００１５】各プロセス（工程）は、各ユニット２１、
２２…のうち単一のユニット、またはこれらのうちの複
数のユニットの動作の組合せによって実行される。

【００１６】製造工程を構成する各プロセス（工程）の
起動、および終了タイミング制御はマスターコンピュー
タ１内に設けられた内蔵クロック１２が計時する絶対時
間を用いて制御される。

【００１７】さらに、本実施形態では、各プロセスにお
ける製造処理に要した時間に関する情報をプロセスごと
に記憶するために、記憶装置１５を設けてある。記憶装
置１５は、後述のようにして得た製造処理の所要時間に
関する情報がファイルとして記憶される。記憶装置１５
はコンピュータのメモリ、ディスクなどにより実装され
る。

【００１８】各ユニット２１、２２…による制御される
各々の製造処理の開始時刻、および終了時間時刻は、た
とえば、各ユニット２１、２２…へのコマンド送信タイ
ミング、および各ユニット２１、２２…からの処理終了
を示す応答を受信したタイミングにおいて、内蔵クロッ
ク１２より絶対時間を読み出すことにより検出すること
ができる。

【００１９】また、コマンドを各ユニット２１、２２…
で実行するのに要した時間、すなわち、コマンド実行所
要時間を知るにはコマンドを送付した時刻から終了の情
報を受け取った時間までの時間を減算すればよい。

【００２０】また、このような絶対時刻での計時を行な
う機構を有していないマスターコンピュータ１の場合に
は、計時装置をユニットの一つとして設けておき、他の
ユニットと同様のコマンド送受信制御によりこの計時ユ
ニットから絶対時刻を得て、記憶装置１５に記憶させる
ようにしてもよい。

【００２１】所要時間は、各装置の制御の種類とそれに
要した要素時間を対にして後述の方法で記録していく。
記憶装置１５にデータベース化されて記録された時間デ
ータは、マスターコンピュータ１の生産性分析プログラ
ム１３により分析し、ＣＲＴなどから成る表示装置１４
によりその結果を表示させる。

【００２２】図２に代表的な露光時の動作を示す。

【００２３】図２の例では、１つのプロセスが前準備・
露光処理・後処理の３つの要素から構成されており、ま
た、露光処理は同一プロセスで処理すべき基板の露光枚
数分繰り返されている。

【００２４】「動作」の欄は、プロセスの「要素」をさ
らに細分化したもので、単一のユニット、またはこれら
のうちの複数のユニットの動作の組合せによって実行さ
れる。

【００２５】ここでは、プロセス１およびプロセス２が
例示されており、プロセス２の所要時間もプロセス１と
同様に上記の前準備・露光処理・後処理の３つの要素の
所要時間の合計となる。

【００２６】また、図２のプロセス１とプロセス２は、
構成要素こそ同様に前準備・露光処理・後処理の３つで
定義されるが、それぞれの実際の所要時間はプロセスに
依存してもちろん変化する。

【００２７】所要時間の記録には種々の態様が考えられ
るが、まず、図３に示すようにプロセスごとに時間デー
タをファイルに記録することが考えられる。

【００２８】図３は、記憶装置１５に記録される所要時
間ファイルの内容を示している。

【００２９】図３において、所要時間ファイルには、プ
ロセス番号ａ、ロット処理開始時刻ｂ、要素種別ｃ、所
要時間ｄが記録されている。

【００３０】すなわち、１プロセス（製品の「１ロッ
ト」などの製造単位に相当）の開始とともにこれらのデ
ータの記録が開始され、図２に示されたプロセスの要素
の各々の所要時間ｄが要素種別ｃとともに順次記録され
ていく。プロセスが変れば、プロセス番号ａが順にイン
クリメントされて、同様の形式で別のファイルが割り当
てられる。

【００３１】図３のフォーマットでデータを記録する場
合、プロセスの個々の要素について１レコード（図３の
表の１行に相当）が生成される。

【００３２】したがって、この記録形式ではデータの生
成量が多く、システムが稼働を続ければファイルサイズ
が膨張しつづけることになる。この問題を回避するに
は、このファイル名を循環的に割り当てたり、所定期間
ごとに適宜生成されたファイルを消去して新たに記録し
直す、などの方法も考えられるが、この点に鑑みて図４
のようなファイル形式も考えられる。

【００３３】すなわち前準備・露光処理・後処理の３つ
のプロセスに関して、これらを構成する要素（たとえば
図２の「露光種類設定」、「基板交換」、「露光動作」
などの各々）の所要時間をtとし、

【００３４】

【数１】

【００３５】を、前準備・露光処理・後処理の３つのプ
ロセスについて求め、ファイルに記録する。

【００３６】図４において、ファイルはプロセス番号
ａ、処理回数ｂ、要素分類ｃ、各要素の所要時間の和
ｄ、各要素の所要時間の自乗和ｅ、各要素の所要時間
（「動作」）の記録回数ｆから成る。

【００３７】なお、図４の例では、処理回数ｂは１つの
プロセス全体が実行された回数を示しており、前準備、
および後処理１プロセスに１回づつ行なわれるため、前
準備、および後処理の回数ｆはこの処理回数ｂに一致し
ているが、露光処理は１回の前準備、および後処理に狭
まれて１０回行なわれており、処理回数ｂの１０倍の値
になっている。

【００３８】このような記録を行なうことにより、１プ
ロセスを構成する前準備・露光処理・後処理の３つの要
素について、

【００３９】

【数２】

【００４０】を求めることが可能となる。この標準偏差
は、これは一般的な統計計算を行う場合の常套的に用い
られる統計要素である。

【００４１】図４の記録方式では、図３におけるように
プロセスの要素の実行ごとにレコードが生成されないの
で、記憶装置１５の容量を圧迫することがない。

【００４２】たとえば、もし該当するプロセスのレコー
ドがファイル中に存在するならばそのレコードにデータ
を加算するだけでよい。言い換えるならば、プロセスご
とのデータは存在するプロセスの数だけレコードが存在
すれば良く、システムが稼働を続けても、それ以上ファ
イルのレコードの数が増加することはない、という利点
がある。

【００４３】上記の図３、図４の例では、あるプロセス
要素においてどのような処理が行なわれたかについては
考慮されていない。

【００４４】そこで、さらに、上述のプロセスの要素の
所要時間をにさらに細分化し、そのそれぞれを処理内容
を示すデータとともにファイルに記録することも可能で
ある。

【００４５】たとえば、「基板交換」や「露光」という
プロセスの要素は、さらに細分化すれば図５のような詳
細要素に分けることができる。

【００４６】図５において、たとえば、「基板交換」要
素は「基板交換実行動作」要素と「基板位置合わせ動
作」要素に分けることができる。このうち「基板位置合
わせ」要素にかかる所要時間は基板位置合わせに使用す
る基板上のマーク数に依存する。

【００４７】同様に、図５の場合、「露光動作」要素は
「ステージ移動」要素と「シヤツタ開閉」要素の連続動
作である。「ステージ動作」要素はステージの移動距離
に依存し、「シヤツタ開閉」要素は露光エネルギーに依
存している。

【００４８】すなわち、ある詳細要素の実行に要する所
要時間は、その実行を制御する条件としての詳細要素決
定条件に依存する。

【００４９】たとえば、「ステージ移動」要素に関して
言えば、その詳細要素決定条件である移動距離が違え
ば、その「ステージ移動」要素の所要時間は当然異なる
はずで、後ほど記録した所要時間を評価する際にこの詳
細要素決定条件として移動距離を考慮しなければ意味の
ある評価は不可能である。

【００５０】そこで、図６に示すように、これら詳細要
素の所要時間と詳細要素決定条件を前述方法同様記録し
ていくことも極めて有用である。

【００５１】図６では、詳細要素の動作ごとに、それに
要した所要時間ａとパラメータを記録している。この
「パラメータ」は、前述の所要時間決定要素の具体的な
表現であり、実際には、図６の右側に示すように詳細要
素の種類に応じた異なる数値で表現される。

【００５２】たとえば、「ステージ移動」要素について
は、移動距離（mm）が記録される。図６の場合には、図
３の場合と同様に詳細要素の動作ごとに、ファイルにレ
コードが追加されるため、ファイルサイズが増大する。

【００５３】したがって、図３の時間データを図４のよ
うに集計した形式で記録するように変形したのと同様
に、図６のデータは、図７のように詳細要素ごとに集計
した上で記録することもできる。

【００５４】図７では、詳細要素として、「前準備」、
「基板交換実行」、「基板位置合わせ」、「ステージ移
動」、「ステージ開閉」、「後処理」の各要素に着目し
て集計したファイルの例が示してある。

【００５５】ここでは、各詳細要素の所要時間の和ａ、
自乗和ｂ、回数ｃが記録されている。

【００５６】ただし、この場合、時間データは各詳細要
素ごとにパラメータにより標準化された形で記録しなけ
ればならない。

【００５７】これは、たとえば「基板の位置合わせ」要
素を行う場合、基板上の位置合わせすべきマークの個数
が多ければより所要時間も比例して大きくなるからであ
り、詳細要素としての「基板の位置合わせ」要素につい
ては、位置合わせすべきマーク１個あたりの所要時間の
和ａ、自乗和ｂを記録しなければならない。

【００５８】例えば、ある「基板の位置合わせ」要素の
実行に際して、マーク２個で２０秒かかったならば、標
準化データは２０／２＝１０（秒）であり、所要時間の
和ａにはこの１０（秒）を加算し、所要時間の自乗和ｂ
には、１０の自乗である１００（秒）を加算する。

【００５９】同様に、例えば「ステージ移動」要素はス
テージ移動２００ mm あたりの時間、「シヤツタ開閉」
は露光エネルギ４０［ｍＪ］の照射に要した時間を単位
として、和ａ、自乗和ｂへの加算を行なう。

【００６０】なお、図６と図７の記録形式の関係につい
ていえば、前述の図３のデータと、図４のデータの関係
と同様、記憶容量が充分でない場合には図７の記録形式
のほうが望ましいのはいうまでもない。

【００６１】さて以上のように、データを記録すれば、
装置の生産性に関する有用な情報を算出することが可能
となる。たとえば、上述のようなデータ記録を行なうこ
とにより、マスターコンピュータ１内に製造処理の所要
時間に関するデータベースを構築することができ、たと
えば、 1.プロセス別の生産時間（図８） 2.プロセス別の生産時間推移（図９） 3.詳細要素別所要時間（図１０） 4.詳細要素別所要時間推移（図１１） 5.新プロセスの生産時間予想値 などを求め、表示することにより、ユーザの生産管理に
役立てることができる。

【００６２】これらの分析は、マスターコンピュータ１
内の生産性分析プログラム１３で前述の各データ記録を
処理することにより行ない、その結果は、表示装置１４
に表示される。

【００６３】まず、プロセス別生産時間とはプロセスご
とに処理時間が現実にどれだけかかっているかを出力す
るもので、表示装置１４による表示出力例を図８に示
す。

【００６４】これはプロセス１、２…ごとに前準備・露
光処理・後処理の３つの要素においてどれだけの所要時
間がかかっているかを表示するものであり、ここでは、
プロセス１、２…ごとに棒グラフの形式で前準備・露光
処理・後処理の３つの要素の時間データを表示してい
る。この時間データは、前述の平均値、標準偏差などの
数値のいずれでも良いが、ここでは各プロセス別にプロ
セスの平均所要時間を出力している。

【００６５】図８の表示の基になるファイルは、図３、
図４いずれのファイルでもよい。もちろん、図４のファ
イルは、ファイル内のデータそのものが所要時間の和、
および回数のデータを含んでいるから、出力処理のみに
限っていえば、図３のファイルを用いるよりも高速な処
理が可能であるのはいうまでもない。

【００６６】このように複数プロセスを同時に出力すれ
ばプロセス別の生産所要時間を一目瞭然に理解すること
ができる。そして、この出力例を見れば容易に各プロセ
スにどれだけの生産時間を要するかを把握でき、ユーザ
は生産計画上重要な情報を容易に得ることができ、従来
のようなストツプウオツチなどによる実測を行なう必要
がなくなり、さらに、たとえば製造工程を組み直す必要
が生じた場合などにおいては新たなプロセスがどれだけ
の時間を要するか、などについて容易に試算を行なうこ
とができる。

【００６７】また、プロセス別生産時間推移の出力例と
しては、例えば図９のような例が考えられる。図９では
あるプロセス中における複数回の「露光処理」要素の所
要時間の変化を表示出力したものである。この場合は、
あるプロセス中における複数回の「露光処理」要素の所
要時間を記録しておく必要があるので、図３や図６のフ
ァイル形式が必要なのはいうまでもない。

【００６８】図９ではｘの箇所で所要時間が局地的に大
きくなっているが、これは該当する露光処理において問
題が発生したことを伺わせるものであり、トラブルシユ
ートにも役立つ可能性がある。

【００６９】また、要素別所要時間に関しての出力例を
図１０に示す。図１０の例では図６や図７の詳細要素別
のファイル形式を用いて記録したデータから作成でき
る。図１０では、各詳細要素の所要平均時間を出力して
いる。ここでは、もちろん、図６や図７の場合のように
各詳細要素の所要時間決定要素に応じて定められた単位
に基づき測定した値が用いられる。

【００７０】この情報は主に装置の保全のために役立て
ることができる。たとえば、予め定められた時間的な性
能と、これら要素時間別のデータすなわち実測値を比較
すれば装置の生産性性能が把握できることになる。

【００７１】また、図６や図７のファイル形式を用いれ
ば、ある詳細要素の所要時間推移を図１１のように出力
することができる。

【００７２】図１１では、「シヤツタ開閉」要素の所要
時間推移を表示しているが、図６や図７のファイル形式
の場合には、所定の露光光エネルギーを単位として標準
化された時間データを記録しているために、同じ露光条
件における「シヤツタ開閉」の所要時間の経時変化を見
てとれる。

【００７３】図１１では「シヤツタ開閉」の時間、すな
わち露光光を照射する時間が次第に長くなっていること
が分かる。

【００７４】通常、露光光の光量は所定の光センサなど
により測定されており、この光量に応じて「シヤツタ開
閉」が制御されるのが普通であるから、同じ光量を得る
ための「シヤツタ開閉」時間が増大している、というこ
とは、露光照明用の水銀ランプなどの光源が劣化してい
るなどの装置要因が考えられることになり、これは装置
の管理上極めて有効な情報である。

【００７５】また、新たなプロセスの生産時間予想値を
算出することも可能となる。たとえば、未実施の新規プ
ロセスがある場合、そのプロセス内容を入力すれば、現
在の装置のデータからプロセスの所要時間を予測できる
機能である。

【００７６】一般にプロセス内容はファイル形式でマス
ターコンピュータに保持することができるため、プロセ
スがどのようなシーケンスをもつかは容易に分析可能で
ある。用いられるシーケンスが分かれば、後は各個のシ
ーケンスにどれだけの所要時間がかかるかを過去の統計
情報から求めて加算すればプロセス全体に要する生産時
間の予想値を容易に算出することができる。

【００７７】例えば、装置のステージの移動と所要時間
の関係は図６や図７のファイル形式で記録した時間デー
タから得ることができる。すなわち、未実施プロセスが
とる移動距離はプロセス内容から容易に算出することが
できる。

【００７８】このときのステージの移動距離を入力すれ
ば「詳細要素時間データ」のデータをもとに所要時間を
得ることができ、同様に他の要素に関しても同様に算出
すれば、プロセスを実際に実施することなく、充分な実
績に基づいた所要時間を予測することができる。

【００７９】ここで、図２に基づきこれまで述べた内容
を算出する具体的な算出方法を以下に示す。算出目標の
例として、 1.プロセスの総所要時間 2.基板1枚あたりの露光所要時間 3.装置の平均マスクアライメント時間 の３つを説明する。

【００８０】図２中のΔｔは、各要素時間の所要時間、
ｔ以下１桁目はプロセス番号、２桁目は要素時間種類
(動作の種別)、３桁目は同一プロセス内基板番号を示し
ている。したがって、図１内の所要時間分析プログラム
により、これらデータから、例えばプロセス１の総所要
時間Ｔ、基板１枚あたりの露光所要時間Ｔ＊、およびこ
の装置の平均マスクアライメント時間Ｔｍは、

【００８１】

【数３】

【００８２】と求めることができる（Ｎは露光枚数、Ｍ
はマスクアライメント回数を示す）。

【００８３】なお、これまで述べたデータの記録および
分析を装置制御用のマスターコンピュータではなく別の
コンピュータで行ってもよい。例えば図１２の様にマス
ターコンピュータ１に外部のホストコンピュータ４０を
ネットワークなどを介して接続し、このホストコンピュ
ータ４０によりデータを一括記録、処理可能にするよう
にすることが考えられる。

【００８４】図１２の場合、ホストコンピュータ４０は
複数のマスターコンピュータ１と接続され、これらの統
計情報を取得し、記憶装置１５に記録するようになって
いる。マスターコンピュータ１は図１と同じ構成とし、
ホストコンピュータ４０と通信を行なって個々の統計情
報をホストコンピュータ４０に送信する。あるいは、少
なくとも内蔵クロック１２を有し個々のプロセスの要
素、あるいは詳細要素の時間情報を測定し、ホストコン
ピュータ４０側で前述と同様の処理を行なう。

【００８５】ホストコンピュータ４０には、前述と同様
の処理を行なうための生産性分析プログラム１３および
表示装置１４を設けておく。このように、複数のマスタ
ーコンピュータ１を統轄するホストコンピュータ４０を
用いることにより、生産管理業務上はむしろこのような
レイアウトが装置全体を展望でき、生産管理上好都合で
ある。

【００８６】以上から明らかなように、上記の実施形態
によれば、自動的に生産所要時間を記録するため人的工
数が削減でき、かつ正確な記録ができる。

【００８７】また、同じプロセスの所要時間を時系列的
に分析することにより、装置が正常な生産時間の性能を
維持しているかが判別できる。

【００８８】さらに所要時間をより細分化された要素時
間に分けて記録するため、たとえば所要時間が劣化した
場合、具体的に何が劣化したのかを判断でき、装置の保
全業務に貢献できる。

【００８９】また、生産所要時間が未知のプロセスに対
しても記録された要素時間を組み立てることで実績に裏
付けられた所要時間を予知できるため、新たなプロセス
の展開が容易になる。

【００９０】なお、必要なプロセスのみ、たとえば、あ
る決った製品の製造工程を構成するプロセスのみについ
て、あるいは、所定期間中に実行されるプロセスのみに
ついて、所要時間に関するデータを測定し、記録するよ
うにしてもよい。さらに、以上では分析結果の出力手段
として表示手段を例示したが、出力方式はこれに限定さ
れるものではなく、プリンタへの出力は、他のデータ処
理装置への出力処理も、本発明の分析結果出力処理に含
まれるものであるのはいうまでもない。

【００９１】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、実行ユニットの単数または複数の機能により
実行され、自動製造工程の一部を成すプロセスについ
て、その実行に要した所要時間を計時する計時手段と、
所定の記録形式に基づき、計時手段により計時された所
要時間を記録する記録手段を有する構成を採用している
ので、自動的に生産の所要時間を正確に記録し、生産の
所要時間に関する情報をユーザに提供でき、製造工程の
管理を容易にすることができる優れた製造管理装置を提
供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を採用した製造管理装置の構成を示した
ブロック図である。

【図２】図１の装置におけるプロセスの要素、所要時間
を示した説明図である。

【図３】プロセスの要素ごとに所要時間を記録するファ
イル形式を示した説明図である。

【図４】プロセスの要素ごとに所要時間を集計して記録
するファイル形式を示した説明図である。

【図５】図１の装置におけるプロセスの詳細要素、所要
時間を示した説明図である。

【図６】プロセスの詳細要素ごとに所要時間を記録する
ファイル形式を示した説明図である。

【図７】プロセスの詳細要素ごとに所要時間を集計して
記録するファイル形式を示した説明図である。

【図８】プロセスごとの所要（生産）時間の出力例を示
した説明図である。

【図９】プロセスごとの所要（生産）時間推移の出力例
を示した説明図である。

【図１０】プロセスの詳細要素ごとの所要（生産）時間
の出力例を示した説明図である。

【図１１】プロセスの詳細要素ごとの所要（生産）時間
推移の出力例を示した説明図である。

【図１２】異なる装置構成を示したブロック図である。

【符号の説明】

１ マスターコンピュータ １２ 内蔵クロック １３ 生産性分析プログラム １４ 表示装置 １５ 記憶装置 ２１ 位置合わせ制御ユニット ２２ ステージ制御ユニット ２３ 基板搬送ユニット ２６ 露光装置 ４０ ホストコンピュータ

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 製造装置の各部を制御する比較的単機能
   な下位の実行ユニットを主制御部が統合的に制御するこ
   とにより、所定製品の自動製造工程が制御される製造管
   理装置において、 前記実行ユニットの単数または複数の機能により実行さ
   れ、前記自動製造工程の一部を成すプロセスについて、
   その実行に要した所要時間を計時する計時手段と、 所定の記録形式に基づき、前記計時手段により計時され
   た所要時間を記録する記録手段を有することを特徴とす
   る製造管理装置。
2. 【請求項２】 前記所要時間が、前記プロセスを構成す
   るさらに細分化された各種動作ごとに測定され、記録さ
   れることを特徴とする請求項１に記載の製造管理装置。
3. 【請求項３】 前記記録手段に記録された所要時間を、
   所定の基準に基づいて分析する手段と、この分析手段に
   よる分析結果を出力する出力手段を有することを特徴と
   する請求項１に記載の製造管理装置。
4. 【請求項４】 記録された実績に基づいた生産所要時間
   データよりただちに新たに作成されるプロセスに対し生
   産所要時間が予測できることを特徴とする請求項１に記
   載の製造管理装置。
5. 【請求項５】 前記所要時間が、前記プロセスを構成す
   るさらに細分化された各種動作ごとに測定され、この測
   定結果、ないし測定結果に対して所定の統計演算により
   得られたデータが前記記録手段の対応する記録位置に加
   算的に記録されることを特徴とする請求項２に記載の製
   造管理装置。
6. 【請求項６】 前記所要時間が、前記プロセスを構成す
   るさらに細分化された各種動作ごとに該動作の実行条件
   に基づいて標準化された単位で測定されることを特徴と
   する請求項２に記載の製造管理装置。