JPH09318315A - 光学式変位測定装置 - Google Patents
光学式変位測定装置Info
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- JPH09318315A JPH09318315A JP13307396A JP13307396A JPH09318315A JP H09318315 A JPH09318315 A JP H09318315A JP 13307396 A JP13307396 A JP 13307396A JP 13307396 A JP13307396 A JP 13307396A JP H09318315 A JPH09318315 A JP H09318315A
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Abstract
要のない光を除去する。 【解決手段】 光ビームを発生する投光源1と、光ビー
ムを測定物体2に照射する投光光学系と、光ビームの測
定物体2での反射光を集光する受光光学系と、受光光学
系の結像面に配置されて受光スポットの位置を検出する
位置検出センサ3とを備えた三角測距原理による光学式
変位測定装置である。測定物体2の所定の位置に照射さ
れた光ビームの拡散光を受光光学系に集光してできる光
は通過させ、それ以外の光が入らないようにするための
遮光体4を設ける。
Description
て測定物体までの距離や変位を測定するための光学式変
位測定装置に関するものである。
測定装置が知られている。図13に示す光学式変位測定
装置は、レーザダイオードなどの発光源1、光を測定物
体2に投光する投光レンズ6などを持つ投光光学系、測
定物体2からの反射、散乱光を受光する受光レンズ11
を備えた受光光学系、受光光学系の結像面に配置されて
受光スポットの位置によって電流出力が変化するように
なったPSDのような位置検出センサ3とで構成してあ
る。
から射出された光(投光ビーム)は投光レンズ6を介し
て測定物体2に照射される。測定物体2からの反射光は
受光レンズ11を介して受光素子である位置検出センサ
3(PSD)に受光される。つまり図13において、S
1 で反射された反射光が位置検出センサ3のS′1 に結
像する。図13においてHは測定物体2の測定範囲を示
している。そして、測定物体2の位置が変化すると、位
置検出センサ3に形成される受光スポットの位置が変化
し(つまり、測定物体2の位置が変化すると、S2 で反
射された反射光がS′2 で結像し、S3 で反射された反
射光がS′3 で結像し)、位置検出センサ3を構成する
PSDはその受光位置に応じて変化する電流I1 、I2
を出力する。この出力をI/V変換器にそれぞれ入力
し、電流電圧変換、適当な増幅を行ったのち、検波回路
にてそれぞれの同期検波を行って信号成分のみを検出
し、平滑化のために積分回路にて積分された後、その出
力を演算部で処理して測距情報を得るようになってい
る。
位測定装置においては、図13に見られるように、測定
物体2に照射される光の拡散反射による光を受光し、そ
の光の結像位置から測距を行うことを目的としている。
例えば、紙のように完全に拡散する物体に光を照射する
と、反射光はランベルトの法則に従って分布する。受光
光学系の光軸は投光ビームの照射方向と異なる方向にあ
るが、測定物体2からの反射光は拡散反射をするため測
定物体2からの光を受光することができる。例えば、受
光レンズ11から測定物体2までの距離が40mm、投
光光学系と受光光学系の光軸のなす角度が20°、投光
ビームのパワー1mWで完全拡散物体に近い白色のセラ
ミックスを測定した場合、位置センサに入射する光量は
約1μWである。一般的には投光ビームの光量の10-3
〜10-4程度の割合で位置検出センサ3に入射すると考
えられる。
合、測距に関係のない光も入射し、測距誤差を引き起こ
すことがある。図14は投光ビームの裾に広がった光が
光沢のある測定物体2に正反射して、受光光学系に入射
した例である。一般にこの種の測定器では、数10μm
〜1mm程度の測定物体2上の特定領域の変位を測定す
るのを目的とするため、投光ビームは投光レンズ6によ
って測定物体2上に集光させる。この集光された光の拡
散光のみが受光レンズ11に入射する必要がある。とこ
ろが、実際には、集光させた光の周辺にも測距には不必
要な光が存在している。図12に投光側の光ビームの実
際の強度分布を示す。光源は半導体レーザで、投光レン
ズ6の焦点距離は4mmである。このグラフでは中心の
強度を1と正規化している。理想的には測距したい部分
以外の光の光量はゼロであって欲しいが、実際には投光
ビームの中心から数mmの光量が中心の光量の10-4〜
10-5程度残る。この原因としては、レーザの強度分布
が原理的にガウス分布に従うため周辺部の光が若干残る
ことや、それ以外に、半導体レーザのパッケージ内での
乱反射光や投光レンズ6の汚れによる散乱光などによる
ことが挙げられる。また、測定物体2が金属や研磨面な
どの光沢のある面の場合、投光ビームから数mmも離れ
た光が、図14の破線で示すように測定物体2の正反射
により光がほとんど減衰せずに受光光学系に入射する。
このため本来測距に必要な光(図14において実線で示
す)と正反射光(図14において破線で示す)の両方が
位置検出センサ3上に形成されたことになり、測距誤差
の原因となっている。また、測定物体2が光沢面ではな
い場合でも、測定物体2上に油などが付着し、その部分
の正反射光が位置検出センサ3に入射することもある。
線で示すように測定物体2に照射された投光ビームの正
反射光が測定装置や装置周辺の取付け金具などに当たっ
て、正反射して再度測定物体2に戻り、その光の一部が
測定物体2上で正反射して位置検出センサ3に入射する
場合である。また、測定装置や装置周辺の取付け金具な
どに当たった光が拡散して測定物体2で正反射する場合
もある。いずれの場合も、正反射するため、光があまり
減衰しないため、これらの光が位置検出センサ3に入射
すると、前述の場合と同様に測距誤差の原因となる。ま
た、測定物体2が平面もしくは平面に近い物体で、2次
反射光が測定物体2で正反射する位置が投光ビームと受
光光学系の間で起こる場合、図15のように本来測距に
必要な結像点より投光光学系に近い側に入射する。
ては、図15とほぼ同じであるが、2次反射光が測定物
体2で正反射する位置に投光ビームに対して受光光学系
と反対側で起こる場合で、この時は測距に必要な結像点
より投光光学系に遠い側に入射するものである。図14
乃至図16において、実線は測距に必要な光、破線は不
要光を示している。
明したものであって、簡単な構成で位置検出センサに入
る測距に必要のない光を除去できる光学式変位測定装置
を提供することを課題とするものである。
め、本発明の光学式変位測定装置は、光ビームを発生す
る投光源1と、光ビームを測定物体2に照射する投光光
学系と、光ビームの測定物体2での反射光を集光する受
光光学系と、受光光学系の結像面に配置されて受光スポ
ットの位置を検出する位置検出センサ3とを備えた三角
測距原理による光学式変位測定装置において、測定物体
2の所定の位置に照射された光ビームの拡散光を受光光
学系に集光してできる光は通過させ、それ以外の光が入
らないようにするための遮光体4を設けて成ることを特
徴とするものである。このような構成とすることで、遮
光体4で不要な光を除去でき、光沢のある面の測定を正
確に行うことができることになる。
に平行に移動自在に設けることも好ましい。このような
構成とすることで、簡単に、不要光を遮光する位置に遮
光体4を移動して正確に不要光を遮光することができ
る。また、位置検出センサ3が受光スポットの位置によ
って電流出力が変化するものであることが好ましい。こ
のような構成とすることで、簡単な構成で位置検出セン
サ3を構成することができる。
とが好ましい。このような構成とすることで、遮光体4
を簡単な構成とし且つ簡単に遮光体4を受光スポットの
移動方向平行に移動自在にすることができる。また、位
置検出センサ3を遮光体4で隠す範囲を、投光側に近い
部分のみに限定することが好ましい。このような構成と
することで、簡単な構造で不要光を除去することができ
る。
範囲を、投光側に遠い部分のみに限定することが好まし
い。このような構成とすることで、簡単な構造で不要光
を除去することができる。
形態に基づいて詳述する。図乃至図4に本発明の一実施
形態を示す。光学式変位測定装置は、レーザダイオード
などの発光源1、光を測定物体2に集光する投光レンズ
6などをもつ投光光学系、測定物体2からの反射、散乱
光を受光する受光レンズ11を備えた受光光学系、受光
光学系の結像面に配置されたPSDなどの位置検出セン
サ3を備えており、更に、位置検出センサ3の位置を調
節することができる位置検出センサ3の保持部材7、位
置検出センサ3の前に置かれた板状の遮光体4、投光光
学系、受光光学系を保持するための光学筒8、9を備え
ている。ここで、光学筒8と光学筒9とは連結部材10
により連結してあり、投光光学系側の光学筒8にはレー
ザダイオードなどの発光源1、投光レンズ6が装着して
ある。受光光学系側の光学筒9には受光レンズ11が装
着してあり、更に、受光光学系側の光学筒9の後端開口
部12の後面部には位置検出センサ3であるPSD(以
下PSDとして説明する)が当接してあって、保持部材
7によりPSDを受光光学系側の光学筒9の後端開口部
12の後面部に押し当てて取付けてある。このようにし
て本発明の装置の光学ブロックが構成してある。
持横片14を連出した略コ字状をしており、中央縦片1
3に弾性を有する板ばね片15を切り起こしにより形成
してある。支持横片14には長孔16が設けてあり、受
光光学系側の光学筒9の後端部の上下面には複数(実施
形態では2個)の突起31が突設してあり、更にタッピ
ング用の孔17が設けてある。そして、保持部材7をP
SDに被せて長孔14を突起31にはめ込むことで、板
ばね片15がPSDを受光光学系側の光学筒9の後端開
口部12の後面部に押し当てるものであり、突起31に
はめ込んだ状態で長孔16に沿って保持部材7を移動す
ることで、PSDを横方向に移動調整することができる
ようになっており、調整後、長孔16に固定ねじ32を
挿入してタッピング用の孔17に螺合することで、保持
部材7を受光光学系側の光学筒9を固定し、PSDを固
定するようになっている。ここで、タッピング用の孔1
7に代えてあらかじめ雌ねじが刻設されたねじ孔であっ
てもよい。
の開口縁には上下に対向して溝が設けてあり、この溝に
板状をした遮光体4がスライド自在にはめ込んであっ
て、該遮光体4をPSDの前面側に配設してある。遮光
体4は上記のように溝に対してスライド自在にすること
で受光光学系によって結像される光の移動方向と平行な
方向にスライド自在となっている。また、板状をした遮
光体4には両側に遮光部4aを設けると共に中央部に透
光窓部4bが設けてある。
方式の測定距離原理につき図5に示す原理図に基づいて
説明する。レーザダイオードのような発光源1から射出
した光は投光レンズ6を通り、測定物体2に照射され
る。ここで拡散した光は受光レンズ11により位置検出
センサ3であるPSDの受光面上に集光される。測定物
体2がΔγ変位した時のPSDの受光スポットの移動量
をΔxとすると、位置検出センサ3であるPSD上にで
きる像の位置は下記の数1で示す(1)式のように決定
される。
移動量、φはPSDの傾き、Δγは測定物体2の変位
量、f′は受光レンズ11とPSDとの間の距離、θは
投受光角度、Rcは基準距離である。一方、長さLのP
SD表面に受光スポットが照射されると両電極に下記の
数2で示す(2)式、(3)式で表されるI1 、I2 の
信号が現れる。
る。(2)式、(3)式より、Δxが下記の数3で示す
(4)式で求められる。
されるI1 、I2 の信号から測距情報を得るためのブロ
ック図が示してある。すなわち、PSD表面に受光スポ
ットが照射されると、I1 、I2 の信号が現れるので、
I1 、I2 の出力をI/V変換器25にそれぞれ入力
し、電流電圧変換、適当な増幅を行った後、検波回路2
6にてそれぞれの同期検波を行って信号成分のみを検出
し、平滑化のために積分回路27にて積分された後、そ
の出力を演算部28で処理をして測距情報を得るように
なっている。
物体2の変位量ΔγとPSD上の受光スポットの移動量
Δxとは非線型な関係なので、(1)式〜(4)式よ
り、Δxを直接I1 、I2 から計算することは現実的で
ない。そこで、ΔγとI1 、I 2 とが次の数4で示す
(5)式のような簡単な関係式で求められるようにリニ
アライズ方法を用いて演算を簡単にしている。
5とコントローラ36とを接続したシステム毎に異なる
固有の補正係数で、調整時に実測データから計算で求め
ることができる。また、図6に示す測距を求める制御ブ
ロック図においては、式(4)又は式(5)においてI
1 +I2 を一定に保つように光量をフィードバック制御
している。これは、I1 +I2 を一定に保つことで、I
1 −I2 からΔxを簡単に求めることができるようにす
るためである。
結像すると、上記した(2)式、(3)式で示されるI
1 、I2 の値の比が非常に大きくなってしまうため、一
般にはPSDに結像する光の移動範囲ぎりぎりにPSD
の長さLとすることはなく、PSDに結像する光の移動
範囲よりもPSDの受光面の長さLを大きくとるように
することが普通である。ところが、受光面積が大きくな
った分、図14、図15、図16に示したような光路で
PSDに入射する不要光を受光してしまうことになる。
これを防ぐために、本発明においては、図4に示すよう
に遮光体4により受光面の一部を塞ぐのである。図4に
おいてMはPSDの表面の受光面における光の測距に必
要な光の結像点33の移動範囲を示す。
出センサ3であるPSDの受光面の一部を遮蔽する例が
示してある。ここで、S1 で反射された反射光が位置検
出センサ3のS′1 に結像するのであるが、測定範囲を
Hとした場合、測定物体2の位置が変化すると、位置検
出センサ3に形成される受光スポットの位置が変化する
(つまり、図1において、測定物体2の位置が変化する
と、S2 で反射された反射光がS′2 で結像し、S3 で
反射された反射光がS′3 で結像する)ものであり、こ
の結果、S′1 からS′3 までの範囲がPSDに結像す
る光の移動範囲であるから、このPSDに結像する光の
移動範囲以外のPSDの表面を遮光体4により塞ぐよう
にしている。
て決められる。一つは所定の位置に置かれた測定物体2
からの拡散光によるPSDの結像光の移動範囲以外の受
光面すべてを遮光体4により塞ぐ。この場合、遮光体4
によって遮光される部分であれば、図14乃至図16ま
でに示される以外の光路で入射する不要光も遮光できる
可能性が高い。また、PSD上の結像位置は、PSDの
配置と測定物体2の位置によりあらかじめ決定されるた
め、無調整で遮光体4を設置することもできる。
面を設置し、測距誤差の発生しにくい拡散反射率の大き
な物体での測距値とを比較し、その差が所定値になるよ
うに遮光体4を移動させて調整する方法を採用してもよ
い。遮光体4はすでに述べているように溝にスライド自
在に取付けてあるので、遮光体4を溝に沿って結像点の
移動方向に平行に移動させることで、遮光体4の遮光部
4aを不要光を遮光する位置に移動させることができ
る。ここで、遮光体4をスライドさせるに当たっては、
上記のように受光光学系側の光学筒9の後端開口部12
に設けた溝18に遮光体4をスライド自在にはめ込むも
ののみに限定されず、遮光体4が結像点の移動方向に平
行に自由に動くことができる構造になっていれば、PS
D側に溝を設けて、これに遮光体4をスライド自在に挿
入する構造や、あるいは溝でなく遮光体4を挿入する孔
を設ける構造にしてもよいものである。
態が示してある。この実施形態においては、PSDの投
光光学系に近い側の受光面のみを板状をした遮光体4で
隠す構造となっている。本実施形態に用いる遮光体4は
コ字状をしていて、遮光部4aを遮光体4の投光光学系
に近い側の端部に設けた例である。このことにより図1
4、図15に示す不要光を除去することができるもので
ある。
の実施形態が示してある。この実施形態においては、P
SDの投光光学系に遠い側の受光面のみを板状をした遮
光体4で隠す構造となっている。本実施形態に用いる遮
光体4はコ字状をしていて、遮光部4aを遮光体4の投
光光学系に遠い側の端部に設けた例である。このことに
より図16に示す不要光を除去することができるもので
ある。
は、上記のように、光ビームを発生する投光源と、光ビ
ームを測定物体に照射する投光光学系と、光ビームの測
定物体での反射光を集光する受光光学系と、受光光学系
の結像面に配置されて受光スポットの位置を検出する位
置検出センサとを備えた三角測距原理による光学式変位
測定装置において、測定物体の所定の位置に照射された
光ビームの拡散光を受光光学系に集光してできる光は通
過させ、それ以外の光が入らないようにするための遮光
体を設けてあるので、不要光を遮光体で除去して光沢面
に対して誤差の少ない測距が可能となるものである。
記請求項1記載の発明の効果に加えて、遮光体を受光ス
ポットの移動方向に平行に移動自在に設けてあるので、
不要光を遮光する位置に遮光体を移動して正確に不要光
を遮光することができるものである。また、請求項3記
載の発明にあっては、上記請求項1記載の発明の効果に
加えて、位置検出センサが受光スポットの位置によって
電流出力が変化するものであるから、簡単な構成で位置
検出センサを構成することができるものである。
記請求項1記載の発明の効果に加えて、遮光体が板によ
り構成してあるので、遮光体の構成を簡略化でき、組み
込み等が簡単にでき、スライドも簡単にできるものであ
る。また、請求項5記載の発明にあっては、上記請求項
1記載の発明の効果に加えて、位置検出センサを遮光体
で隠す範囲を、投光側に近い部分のみに限定してあるの
で、更に構造が簡単となり、低コスト化が図れるもので
ある。
記請求項1記載の発明の効果に加えて、位置検出センサ
を遮光体で隠す範囲を、投光側に遠い部分のみに限定し
てあるので、更に構造が簡単となり、低コスト化が図れ
るものである。
である。
で遮光する例を示す説明図である。
い側の受光面のみを遮光体で遮光する場合における不要
光の一例を示す概略説明図である。
体で遮光する場合における不要光の他例を示す概略説明
図である。
系に遠い側の受光面のみを遮光体で遮光する場合におけ
る概略説明図である。
ラフである。
Claims (6)
- 【請求項1】 光ビームを発生する投光源と、光ビーム
を測定物体に照射する投光光学系と、光ビームの測定物
体での反射光を集光する受光光学系と、受光光学系の結
像面に配置されて受光スポットの位置を検出する位置検
出センサとを備えた三角測距原理による光学式変位測定
装置において、測定物体の所定の位置に照射された光ビ
ームの拡散光を受光光学系に集光してできる光は通過さ
せ、それ以外の光が入らないようにするための遮光体を
設けて成ることを特徴とする光学式変位測定装置。 - 【請求項2】 遮光体を受光スポットの移動方向に平行
に移動自在に設けて成ることを特徴とする請求項1記載
の光学式変位測定装置。 - 【請求項3】 位置検出センサをが光スポットの位置に
よって電流出力が変化するものであることを特徴とする
請求項1記載の光学式変位測定装置。 - 【請求項4】 遮光体が板により構成してあることを特
徴とする請求項1記載の光学式変位測定装置。 - 【請求項5】 位置検出センサを遮光体で隠す範囲を、
投光側に近い部分のみに限定して成ることを特徴とする
請求項1記載の光学式変位測定装置。 - 【請求項6】 位置検出センサを遮光体で隠す範囲を、
投光側に遠い部分のみに限定して成ることを特徴とする
請求項1記載の光学式変位測定装置。
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JP13307396A JP3677868B2 (ja) | 1996-05-28 | 1996-05-28 | 光学式変位測定装置 |
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Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2811761A1 (fr) * | 2000-07-17 | 2002-01-18 | Production Rech S Appliquees | Ellipsometre a haute resolution spatiale fonctionnant dans l'infrarouge |
JP2010019714A (ja) * | 2008-07-11 | 2010-01-28 | Anritsu Corp | 変位測定装置、それを用いたシール部材形状測定装置及びそれらに用いられる変位検出装置 |
US7760332B2 (en) | 2007-10-12 | 2010-07-20 | Sharp Kabushiki Kaisha | Optical range-finding sensor, object detection device, self-cleaning toilet seat, and method for manufacturing optical range-finding sensor |
JP2011117940A (ja) * | 2009-11-09 | 2011-06-16 | Sharp Corp | 光学式測距装置および電子機器および光学式測距装置の校正方法 |
US7995189B2 (en) | 2008-08-20 | 2011-08-09 | Sharp Kabushiki Kaisha | Optical distance measuring sensor and electronic device |
US8373128B2 (en) | 2009-03-16 | 2013-02-12 | Sharp Kabushiki Kaisha | Optical ranging sensor and electronic device |
US20190376768A1 (en) * | 2018-06-08 | 2019-12-12 | Axon Enterprise, Inc. | Systems and methods for detecting a distance between a conducted electrical weapon and a target |
-
1996
- 1996-05-28 JP JP13307396A patent/JP3677868B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2811761A1 (fr) * | 2000-07-17 | 2002-01-18 | Production Rech S Appliquees | Ellipsometre a haute resolution spatiale fonctionnant dans l'infrarouge |
WO2002006780A1 (fr) * | 2000-07-17 | 2002-01-24 | Societe De Production Et De Recherches Appliquees | Ellipsometre a haute resolution spatiale fonctionnant dans l'infrarouge |
US6819423B2 (en) | 2000-07-17 | 2004-11-16 | Societe De Production Et De Recherches Appliquees | High spatial resolution infrared ellipsometer |
US7760332B2 (en) | 2007-10-12 | 2010-07-20 | Sharp Kabushiki Kaisha | Optical range-finding sensor, object detection device, self-cleaning toilet seat, and method for manufacturing optical range-finding sensor |
JP2010019714A (ja) * | 2008-07-11 | 2010-01-28 | Anritsu Corp | 変位測定装置、それを用いたシール部材形状測定装置及びそれらに用いられる変位検出装置 |
US7995189B2 (en) | 2008-08-20 | 2011-08-09 | Sharp Kabushiki Kaisha | Optical distance measuring sensor and electronic device |
US8373128B2 (en) | 2009-03-16 | 2013-02-12 | Sharp Kabushiki Kaisha | Optical ranging sensor and electronic device |
JP2011117940A (ja) * | 2009-11-09 | 2011-06-16 | Sharp Corp | 光学式測距装置および電子機器および光学式測距装置の校正方法 |
US20190376768A1 (en) * | 2018-06-08 | 2019-12-12 | Axon Enterprise, Inc. | Systems and methods for detecting a distance between a conducted electrical weapon and a target |
WO2019236114A1 (en) * | 2018-06-08 | 2019-12-12 | Axon Enterprise, Inc. | Systems and methods for detecting a distance between a conducted electrical weapon and a target |
US10866070B2 (en) | 2018-06-08 | 2020-12-15 | Axon Enterprise, Inc. | Systems and methods for detecting a distance between a conducted electrical weapon and a target |
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