JPH09313840A - Filter and its production - Google Patents
Filter and its productionInfo
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- JPH09313840A JPH09313840A JP16234596A JP16234596A JPH09313840A JP H09313840 A JPH09313840 A JP H09313840A JP 16234596 A JP16234596 A JP 16234596A JP 16234596 A JP16234596 A JP 16234596A JP H09313840 A JPH09313840 A JP H09313840A
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、ゴミ焼却炉の出口
排ガスやボイラ出口排ガス、製鉄用高炉の炉頂圧タービ
ン流入ガス又は高炉排ガスなどの高温ガス中のダスト除
去に利用するのに好適であるとともに、特に石炭利用複
合発電システムの集塵に用いるのに好適な除塵用フィル
タに関する。TECHNICAL FIELD The present invention is suitable for use in removing dust in high temperature gas such as exhaust gas from a refuse incinerator, exhaust gas from a boiler outlet, furnace top pressure turbine inflow gas of a blast furnace for steelmaking or blast furnace exhaust gas. In addition, the present invention relates to a dust removal filter suitable for use in dust collection of a coal-based combined cycle power generation system.
【０００２】[0002]
【従来の技術】ゴミ焼却炉出口排ガス等の除塵処理にお
いて、該排ガスを冷却することなく高温のまま除塵を行
なえるならば、排ガスを除塵後、熱交換を行なってボイ
ラで高温、高圧の蒸気を得、これを発電に用いることに
より熱エネルギーを電気エネルギーとして有効に回収す
ることができる。また、化石燃料の燃焼においてエネル
ギーの有効利用を促進させるために加圧流動層複合発電
や石炭ガス化複合発電などの複合発電システムの開発が
行われているが、この場合も、燃焼排ガスや還元性ガス
によりガスタービンを駆動させる際に、摩耗、腐食防止
のためにタービン入口までに石炭ガス中の硫黄化合物や
粒子状物質などを除去する必要があり、高温集塵が極め
て重要となっている。2. Description of the Related Art In dust removal processing of exhaust gas from a dust incinerator outlet, if the exhaust gas can be removed at a high temperature without being cooled, the exhaust gas is removed and then heat exchange is performed in a boiler to obtain high temperature and high pressure steam. And by using this for power generation, thermal energy can be effectively recovered as electrical energy. In addition, in order to promote the effective use of energy in the combustion of fossil fuels, combined power generation systems such as pressurized fluidized bed combined cycle power generation and coal gasification combined cycle power generation are being developed. When a gas turbine is driven by a natural gas, it is necessary to remove sulfur compounds and particulate matter in the coal gas up to the turbine inlet to prevent wear and corrosion, and high temperature dust collection is extremely important. .
【０００３】従って、排熱回収・有効利用の観点から
は、排ガスを冷却することなく除塵する必要があり、こ
のため除塵用フィルタとしては、耐熱温度が高く、１０
００℃以上での使用が可能であることが望まれる。ま
た、ゴミ焼却炉の排ガス中には腐食性のＨＣｌやＣｌ2
が含まれており、また、石炭利用複合発電システムにお
いてもダストによる摩耗や、腐食性ガスによるタービン
腐食の問題を生じるため、除塵用フィルタとしては、耐
熱温度が高いことに加えて、高温での耐食性に優れるこ
とが望まれる。更に、処理効率の向上、除塵器の小型化
のためには、圧力損失が小さいこと及びフィルタの厚さ
が薄いことなどが望まれる。即ち、圧力損失が大きい場
合には、圧力損失を小さくして除塵効率を高めるため
に、排ガスの通過流速を低くする必要があるが、通過流
速を小さくするためには、除塵器を大型化せざるを得な
い。また、肉厚のフィルタは、それ自体が嵩高くなるた
め、除塵器の大型化につながる。Therefore, from the viewpoint of exhaust heat recovery and effective use, it is necessary to remove the dust without cooling the exhaust gas. Therefore, the dust-removing filter has a high heat-resistant temperature.
It is desired that it can be used at 00 ° C or higher. In addition, corrosive HCl and Cl 2 are contained in the exhaust gas of the refuse incinerator.
In addition, since it also causes problems of abrasion due to dust and turbine corrosion due to corrosive gas in a combined cycle power generation system using coal, as a dust filter, in addition to high heat resistance temperature, It is desired to have excellent corrosion resistance. Further, in order to improve the processing efficiency and reduce the size of the dust remover, it is desired that the pressure loss be small and the filter be thin. That is, when the pressure loss is large, it is necessary to reduce the passage velocity of the exhaust gas in order to reduce the pressure loss and improve the dust removal efficiency, but in order to reduce the passage velocity, the dust remover must be enlarged. I have no choice. Further, the thick filter itself becomes bulky, which leads to an increase in size of the dust remover.
【０００４】従来、各種排ガスのダスト除去用フィルタ
としては、ガラス繊維製バッグフィルタ、金属製バッグ
フィルタ、ハニカム構造セラミックフィルタ、セラミッ
クチューブフィルタなどが提供されている。また、化学
蒸着法（ＣＶＤ法）によるセラミック製フィルタも開発
されつつある。Conventionally, glass fiber bag filters, metal bag filters, honeycomb structure ceramic filters, ceramic tube filters and the like have been provided as filters for removing dust from various exhaust gases. Further, a ceramic filter by a chemical vapor deposition method (CVD method) is also being developed.
【０００５】しかし、従来のフィルタのうち、ガラス繊
維製バッグフィルタは、最高使用温度が２５０〜３００
℃程度であり、このバッグフィルタを高温排ガスの除塵
に用いるためには、高温排ガスを冷却する必要があるこ
とから、排熱回収・有効利用の面で不利である。However, among the conventional filters, the glass fiber bag filter has a maximum operating temperature of 250 to 300.
The temperature is about 0 ° C., and in order to use this bag filter for dust removal of high-temperature exhaust gas, it is necessary to cool the high-temperature exhaust gas, which is disadvantageous in terms of exhaust heat recovery and effective use.
【０００６】金属（インコネル）製バッグフィルタで
は、最高使用温度が８７０℃と、ガラス繊維製バッグフ
ィルタよりも高いものの、耐食性の面で問題があり、腐
食性ガスの除塵には使用し得ないという欠点がある。The metal (Inconel) bag filter has a maximum operating temperature of 870 ° C., which is higher than that of the glass fiber bag filter, but has a problem in terms of corrosion resistance and cannot be used for dust removal of corrosive gas. There are drawbacks.
【０００７】ハニカム構造セラミックフィルタでは、最
高使用温度は６００℃とさほど高くない上に、焼結セラ
ミック製であるために、肉厚で、しかも、気孔率が小さ
いために圧力損失が大きいという欠点がある。In the honeycomb structure ceramic filter, the maximum operating temperature is not so high as 600 ° C., and since it is made of sintered ceramic, it has a wall thickness and a large porosity, so that the pressure loss is large. is there.
【０００８】セラミックチューブフィルタは、最高使用
温度が９００〜１０００℃と高いが、焼結セラミック製
であるため、上記と同様に、肉厚で圧力損失が大きいと
いう欠点がある。Although the maximum operating temperature of the ceramic tube filter is as high as 900 to 1000 ° C., since it is made of sintered ceramic, it has a drawback that it is thick and has a large pressure loss as described above.
【０００９】しかも、既存のセラミックフィルタはＳｉ
Ｏ2やＡｌ2Ｏ3製とされており、高温で腐食の激しい排
ガスの除塵には対応できず、熱衝撃により割れやすいと
いう欠点がある。Moreover, the existing ceramic filter is made of Si.
Since it is made of O 2 or Al 2 O 3 , it cannot cope with dust removal of exhaust gas that is highly corroded at high temperatures, and has the drawback that it is easily cracked by thermal shock.
【００１０】また、現在開発中のＣＶＤ法によるセラミ
ック製フィルタでは、肉厚で、圧力損失が大きく、しか
も高コストであるという欠点がある。Further, the ceramic filter by the CVD method currently under development has the drawbacks that it is thick, has a large pressure loss, and is high in cost.
【００１１】このような観点から、出願人は、ｌ０００
℃以上の高温でも使用でき、Ｃｌ2やＨＣｌを含有する
腐食性雰囲気において、かつ、高温において使用でき、
かつ薄肉で、圧力損失が小さく、除塵器の小型化が可能
であるといった条件を満たし、ゴミ焼却排ガスの除塵用
フィルタとして用いることのできるフィルタを提供した
（特開平７−１１６４３５号公報）。From such a point of view, the applicant has proposed that
It can be used at high temperature of ℃ or more, in corrosive atmosphere containing Cl 2 and HCl, and at high temperature,
Further, there is provided a filter that is thin, has a small pressure loss, and can be downsized in size, and can be used as a dust removing filter for waste incineration exhaust gas (Japanese Patent Laid-Open No. 7-116435).
【００１２】[0012]
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記フィルタ
でも、最大除塵効率は上述した石炭利用複合発電システ
ムで要求されるダスト濃度以下にはできない欠点があっ
た。However, even the above filter has a drawback that the maximum dust removal efficiency cannot be set to be equal to or lower than the dust concentration required in the coal-utilizing combined cycle power generation system described above.
【００１３】本発明は上記フィルタを更に進めて、高温
の腐食性雰囲気においても使用可能な高い耐熱性と耐食
性を有し、しかも、圧力損失が小さく薄肉の除塵用フィ
ルタとしつつ、特に石炭利用複合発電システム等におい
て要求される細かいダストの捕集効率を向上させ、集塵
出口ダスト濃度を１０ｍｇ／ｍ3Ｎ以下にまで低下でき
るフィルタとしつつ、より安価なフィルタを提供するこ
とを目的とするものである。The present invention further advances the above filter to provide a thin dust filter having high heat resistance and corrosion resistance that can be used even in a corrosive atmosphere at high temperature, and having a small pressure loss, and particularly a composite material using coal. An object of the present invention is to provide a cheaper filter while improving the collection efficiency of fine dust required in a power generation system and the like, while making it a filter capable of reducing the dust concentration at the dust collection outlet to 10 mg / m 3 N or less. Is.
【００１４】[0014]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明に係るフィルタ及びその製造方法を次のよう
に構成した。In order to achieve the above object, a filter and a method for manufacturing the same according to the present invention are constructed as follows.
【００１５】すなわち、本発明に係るフィルタは、炭化
珪素（ＳｉＣ）、窒化珪素（Ｓｉ3Ｎ4）、アルミナ（Ａ
ｌ2Ｏ3）、アルミナ・シリカ（Ａｌ2Ｏ3・ＳｉＯ2）及
び炭素（Ｃ）よりなる群から選ばれる１種又は２種以上
の繊維の織布層又はチョップドヤーンの集合層として構
成される繊維成形体の除塵表面空孔内に、炭化珪素（Ｓ
ｉＣ）、窒化珪素（Ｓｉ3Ｎ4）、アルミナ（Ａｌ
2Ｏ3）、アルミナ・シリカ（Ａｌ2Ｏ3・ＳｉＯ2）、炭
素（Ｃ）及び黒鉛よりなる群から選ばれる１種又は２種
以上のチョップド単繊維から構成される単繊維凝集層を
形成し、この単繊維凝集層が形成された繊維形成体の繊
維表面に炭化珪素（ＳｉＣ）、窒化珪素（Ｓｉ 3Ｎ4）、
及びアルミナ（Ａｌ2Ｏ3）よりなる群から選ばれる１種
又は２種以上の気相蒸着コーティング層を形成するとと
もに、除塵表層部に起毛層を形成したことを特徴として
いる。That is, the filter according to the present invention is carbonized.
Silicon (SiC), silicon nitride (SiThreeNFour), Alumina (A
lTwoOThree), Alumina / silica (AlTwoOThree・ SiOTwo)
And one or more selected from the group consisting of carbon and carbon (C)
As a woven layer of fibers or a gathered layer of chopped yarn
Silicon carbide (S
iC), silicon nitride (SiThreeNFour), Alumina (Al
TwoOThree), Alumina / silica (AlTwoOThree・ SiOTwo), Charcoal
One or two selected from the group consisting of element (C) and graphite
A monofilament cohesive layer composed of the above chopped monofilaments
The fibers of the fibrous body formed by forming the monofilament aggregation layer.
Silicon carbide (SiC), silicon nitride (Si 3NFour),
And alumina (AlTwoOThree) Selected from the group consisting of
Or, when two or more kinds of vapor deposition coating layers are formed,
Mostly, it is characterized by forming a raised layer on the dust removal surface layer
I have.
【００１６】これは、炭化珪素（ＳｉＣ）、窒化珪素
（Ｓｉ3Ｎ4）、アルミナ（Ａｌ2Ｏ3）、アルミナ・シリ
カ（Ａｌ2Ｏ3・ＳｉＯ2）及び炭素（Ｃ）よりなる群か
ら選ばれる１種又は２種以上の繊維の織布の層又はチョ
ップドヤーンの集合層に対して樹脂類の含浸により繊維
成形体を形成しておき、前記繊維成形体の除塵表面空孔
内に、炭化珪素（ＳｉＣ）、窒化珪素（Ｓｉ3Ｎ4）、ア
ルミナ（Ａｌ2Ｏ3）、アルミナ・シリカ（Ａｌ2Ｏ3・Ｓ
ｉＯ2）、炭素（Ｃ）及び黒鉛よりなる群から選ばれる
１種又は２種以上のチョップド単繊維を分散剤によりス
ラリ状にして含浸させ、前記スラリの乾燥後に樹脂類の
炭化処理をなし、前記チョップド単繊維凝集層を設け、
前記チョップド単繊維を含浸した繊維成形体の除塵表層
面に起毛処理を施し、前記単繊維凝集層が形成されてい
る繊維成形体の繊維表面に炭化珪素（ＳｉＣ）、窒化珪
素（Ｓｉ3Ｎ4）、及びアルミナ（Ａｌ2Ｏ3）よりなる群
から選ばれる１種又は２種以上のコーティング層を気相
蒸着させて製造することができる。This is selected from the group consisting of silicon carbide (SiC), silicon nitride (Si 3 N 4 ), alumina (Al 2 O 3 ), alumina / silica (Al 2 O 3 .SiO 2 ), and carbon (C). A fiber molded body is formed by impregnating a layer of a woven fabric of one or more selected fibers or an aggregated layer of chopped yarns with a resin, and the inside of the dust-removed surface pores of the fiber molded body, Silicon Carbide (SiC), Silicon Nitride (Si 3 N 4 ), Alumina (Al 2 O 3 ), Alumina / Silica (Al 2 O 3 · S)
iO 2 ), carbon (C), and one or more chopped monofilaments selected from the group consisting of graphite are made into a slurry with a dispersant and impregnated, and after the slurry is dried, the resins are carbonized. Providing the chopped single fiber aggregation layer,
The dust-removing surface layer surface of the fiber molded body impregnated with the chopped single fibers is subjected to a nap treatment, and the fiber surface of the fiber molded body on which the single fiber aggregated layer is formed has silicon carbide (SiC) or silicon nitride (Si 3 N 4) ), And one or more coating layers selected from the group consisting of alumina (Al 2 O 3 ) can be produced by vapor deposition.
【００１７】また、他の方法として、炭化珪素（Ｓｉ
Ｃ）、窒化珪素（Ｓｉ3Ｎ4）、アルミナ（Ａｌ2Ｏ3）、
アルミナ・シリカ（Ａｌ2Ｏ3・ＳｉＯ2）及び炭素
（Ｃ）よりなる群から選ばれる１種又は２種以上の繊維
の織布の層又はチョップドヤーンの集合層として構成さ
れる繊維成形体を形成しておき、この繊維成形体の除塵
表面部を予め起毛処理しておき、その後、前記繊維成形
体の樹脂類の炭化処理をなし、この繊維成形体の繊維表
面に炭化珪素（ＳｉＣ）、窒化珪素（Ｓｉ3Ｎ4）、及び
アルミナ（Ａｌ2Ｏ3）よりなる群から選ばれる１種又は
２種以上のコーティング層を気相蒸着させ、前記繊維成
形体の除塵表面空孔内に、炭化珪素（ＳｉＣ）、窒化珪
素（Ｓｉ3Ｎ4）、アルミナ（Ａｌ2Ｏ3）、アルミナ・シ
リカ（Ａｌ2Ｏ3・ＳｉＯ2）、炭素（Ｃ）及び黒鉛より
なる群から選ばれる１種又は２種以上のチョップド単繊
維を分散剤によりスラリ状にして含浸させ、前記単繊維
凝集層の樹脂類の炭化処理をなし、この単繊維凝集層の
繊維表面に炭化珪素（ＳｉＣ）、窒化珪素（Ｓｉ
3Ｎ4）、及びアルミナ（Ａｌ2Ｏ3）よりなる群から選ば
れる１種又は２種以上のコーティング層を気相蒸着させ
ることにより製造することも可能である。As another method, silicon carbide (Si
C), silicon nitride (Si 3 N 4 ), alumina (Al 2 O 3 ),
A fiber molded body configured as a woven fabric layer of one or more fibers selected from the group consisting of alumina / silica (Al 2 O 3 · SiO 2 ) and carbon (C) or an aggregate layer of chopped yarns. After being formed, the dust-removed surface portion of the fiber molded body is napped in advance, and then the resin of the fiber molded body is carbonized, and silicon carbide (SiC) is added to the fiber surface of the fiber molded body. One or more coating layers selected from the group consisting of silicon nitride (Si 3 N 4 ) and alumina (Al 2 O 3 ) are vapor-deposited, and the inside of the dust-removing surface pores of the fiber molding is One selected from the group consisting of silicon carbide (SiC), silicon nitride (Si 3 N 4 ), alumina (Al 2 O 3 ), alumina / silica (Al 2 O 3 .SiO 2 ), carbon (C) and graphite. Or two or more kinds of chopped monofilament as a dispersant To impregnate the monofilament agglomerate layer with a resin to carbonize the monofilament agglomerate layer, and the silicon carbide (SiC) or silicon nitride (Si)
It is also possible to produce it by vapor deposition of one or more coating layers selected from the group consisting of 3 N 4 ) and alumina (Al 2 O 3 ).
【００１８】[0018]
【作用】本発明のフィルタは、ＳｉＣ繊維、Ｓｉ3Ｎ4繊
維、Ａｌ2Ｏ3繊維、Ａｌ2Ｏ3・ＳｉＯ2繊維又はＣ繊維
から構成される織布、ヤーンの集合体の不織布を成形し
て、所定のフィルタ形状としておき、この成形体の除塵
表面部にチョップド単繊維スラリを含浸して単繊維凝集
層を形成し、樹脂の炭化処理を行い、この単繊維凝集層
を表面層に備えた繊維成形体の繊維表面にＳｉＣ、Ｓｉ
3Ｎ4、又はＡｌ2Ｏ3のＣＶＤコーティング層を形成した
フィルタ構造としてなるものであり、特にフィルタ表面
層のチョップド単繊維凝集体における微細な孔による初
期捕集をなす構成としつつ、最上表面部に起毛層を設け
た構成であるため、圧損の低下を図りつつ細かいダスト
の集塵機能に優れている。The filter of the present invention forms a woven fabric composed of SiC fibers, Si 3 N 4 fibers, Al 2 O 3 fibers, Al 2 O 3 .SiO 2 fibers or C fibers, and a nonwoven fabric of an aggregate of yarns. Then, a predetermined filter shape is set, the dust removal surface portion of this molded body is impregnated with chopped monofilament slurry to form a monofilament coagulation layer, and the resin is carbonized, and the monofilament coagulation layer is used as the surface layer. SiC, Si on the fiber surface of the fiber molding provided
3 N 4 or Al 2 O 3 is used as a filter structure having a CVD coating layer formed thereon. Particularly, the uppermost surface is formed while the initial surface is collected by the fine pores in the chopped single fiber aggregate of the filter surface layer. Since the brushed layer is provided on the portion, it is excellent in the function of collecting fine dust while reducing the pressure loss.
【００１９】すなわち、フィルタ本体は高耐熱性材料の
みで構成されることから、１０００℃以上の高温でも使
用可能な優れた耐熱性を備えるとともに、ヤーンを束ね
た織布あるいは不織布繊維成形体を基体とするため、薄
肉でも十分な機械的強度を備え、空孔率が大きく、圧力
損失の小さいフィルタ機能があり、更に、繊維成形体の
繊維表面および表層部チョップド単繊維凝集層の繊維に
ＣＶＤ法による高純度で高耐食性、高耐熱性のコーティ
ング層が形成されているため、高温におけるＨＣｌ等の
腐食性雰囲気においても十分に使用可能である。That is, since the filter main body is composed of only a high heat resistant material, it has excellent heat resistance that can be used even at a high temperature of 1000 ° C. or more, and a woven or non-woven fiber molded body obtained by bundling yarns as a substrate. Therefore, it has a sufficient mechanical strength even with a thin wall, has a large porosity, has a small pressure loss filter function, and further uses the CVD method for the fibers of the fiber molded body and the fibers of the chopped monofilament layer of the surface layer. Since a coating layer having high purity, high corrosion resistance, and high heat resistance is formed by the above method, it can be sufficiently used even in a corrosive atmosphere such as HCl at a high temperature.
【００２０】本発明は、上記繊維成形体からなる基体に
ＣＶＤコーティング層を形成した上に、更に除塵表面に
チョップド単繊維凝集層を形成し、かつダスト捕集面に
起毛処理を施しつつ、単繊維表面にセラミックスコーテ
ィング層を形成しているため、表層面での一次ダスト捕
集が行われ、次いで内層側での二次ダスト捕集が行われ
る。したがってチョップド単繊維凝集層では微細な孔に
よる捕集機能により細かいダストが効率的に捕集され、
初期の集塵効率が高くなり、チョップド単繊維凝集層を
設けないフィルタでの捕集効率が９９．５％であったの
に対し、チョップド単繊維凝集層を表層部に設けた本発
明では初期の集塵効率が９９．９５％にも達した。ま
た、圧損に関しては、上記フィルタ本体のみよりはチョ
ップド単繊維凝集層の存在により圧損が大きいものの、
除塵表層面に起毛層を設けているため、集塵運転に伴う
圧損の上昇は少ないものとなる。これは起毛層により圧
損を低くでき、またチョップド単繊維凝集層によりフィ
ルタ基体の内部にダストが入り込むことが極力阻止さ
れ、基本的に表面捕集作用をなすからである。また、チ
ョップド単繊維凝集層では微細な孔による捕集であるた
め、ダスト粒が除塵表面にて堆積されるだけであり、目
詰まりし難いものとなっており、これによりパルスジェ
ットによるダスト払い落としを繰り返した後も、圧損上
昇を低く抑えることができ、経時的圧損上昇が小さいも
のとなっている。このため、特に石炭利用複合発電シス
テム等のように、排気ガスをタービンに導くような経路
に上記フィルタを配置することにより、従来のセラミッ
クフィルタで最大効率と称されている限度以上の捕集効
率を実現できるようになった。According to the present invention, a CVD coating layer is formed on a substrate made of the above fiber molding, a chopped monofilament agglomerate layer is further formed on the dust-removing surface, and a dust-collecting surface is subjected to a raising treatment, Since the ceramic coating layer is formed on the fiber surface, the primary dust is collected on the surface layer surface, and then the secondary dust is collected on the inner layer side. Therefore, in the chopped monofilament coagulation layer, fine dust is efficiently collected due to the collection function of fine holes,
The initial dust collection efficiency was high, and the collection efficiency of the filter without the chopped single fiber agglomeration layer was 99.5%, whereas in the present invention in which the chopped single fiber agglomeration layer is provided in the surface layer, Dust collection efficiency of 99.95%. Regarding the pressure loss, although the pressure loss is larger than that of the filter body only due to the presence of the chopped single fiber aggregated layer,
Since the raised layer is provided on the surface of the dust removing surface, the increase in pressure loss due to the dust collecting operation is small. This is because the napped layer can reduce the pressure loss, and the chopped monofilament agglomerating layer can prevent dust from entering the inside of the filter substrate as much as possible and basically perform a surface collecting action. In the chopped monofilament coagulation layer, dust particles are only accumulated on the dust-removing surface because they are collected by minute holes, and it is difficult for the dust particles to be clogged. Even after repeating the above, the increase in pressure loss can be suppressed to a low level, and the increase in pressure loss over time is small. Therefore, by arranging the filter in a path that guides the exhaust gas to the turbine, particularly in a combined cycle power generation system using coal, etc., the collection efficiency exceeding the limit called maximum efficiency in the conventional ceramic filter is achieved. Can be realized.
【００２１】[0021]
【発明の実施の形態】以下に本発明の具体的実施の形態
を、本発明のフィルタの製造方法に従って詳細に説明す
る。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, specific embodiments of the present invention will be described in detail according to the method for producing a filter of the present invention.
【００２２】本発明のフィルタを製造するには次のよう
にして行う。The filter of the present invention is manufactured as follows.
【００２３】（第１工程／繊維成形工程）ＳｉＣ繊維、
Ｓｉ3Ｎ4繊維、Ａｌ2Ｏ3繊維、Ａｌ2Ｏ3・ＳｉＯ2繊維
又はＣ繊維を用いて繊維成形体を製造する。すなわち、 （ａ）上記繊維の織布を１枚あるいは複数枚積層した層 又は （ｂ）長さ１ｍｍ以上、好ましくは５〜２５ｍｍのチョ
ップドヤーンの集合層(First step / fiber forming step) SiC fiber,
A fiber molded body is manufactured using Si 3 N 4 fibers, Al 2 O 3 fibers, Al 2 O 3 .SiO 2 fibers or C fibers. That is, (a) a layer in which one or more woven fabrics of the above fibers are laminated, or (b) an aggregate layer of chopped yarns having a length of 1 mm or more, preferably 5 to 25 mm.
【００２４】なお、これらの（ａ）、（ｂ）の単繊維径
は５〜２０μｍ程度であることが好ましい。長さ１ｍｍ
以下では、繊維と繊維の交差により形成される空隙率が
小さくなり、フィルタの圧力損失が増大してしまう。ま
た、繊維径が５μｍより小さいと繊維と繊維の交差によ
り形成される空隙率が小さくなり、フィルタの圧力損失
が増大してしまう。２０μｍより大きいと繊維と繊維の
交差により形成される空隙が大きくなり、ウィスカ凝集
層の形成が困難となる。これは空孔が大であるとウィス
カ凝集層が乾燥や蒸着処理工程で脱落し易くなり、脱落
により大きな空孔が残存するフィルタとなって、この孔
からダストが通過しフィルタ機能を果たさなくなるから
である。また、（ｂ）において、チョップドヤーンはこ
のような単繊維を５００〜２０００本程度収束したもの
が好ましい。The single fiber diameter of these (a) and (b) is preferably about 5 to 20 μm. Length 1 mm
In the following, the porosity formed by the fibers intersecting with each other becomes small and the pressure loss of the filter increases. Further, if the fiber diameter is smaller than 5 μm, the porosity formed by the intersection of the fibers becomes small and the pressure loss of the filter increases. If it is larger than 20 μm, the voids formed by the intersection of the fibers become large, and it becomes difficult to form the whisker aggregate layer. This is because if the pores are large, the whisker agglomerate layer will easily fall off during the drying or vapor deposition process, and the large pores will remain due to the dropout, and dust will pass through this hole and the filter function will not be fulfilled. Is. Further, in (b), the chopped yarn is preferably a bundle of about 500 to 2000 such single fibers.
【００２５】このような繊維成形体は、例えば、繊維の
織布を積層して樹脂を含浸させ、これを型に入れて真空
成形することによって所望の形状に成形する。Such a fiber molded body is formed into a desired shape by, for example, laminating fiber woven fabrics, impregnating them with a resin, and placing this in a mold and vacuum forming.
【００２６】また、チョップドヤーンの集合体に樹脂を
含浸させたものを成形型に巻き付けた後、硬化成形させ
てもよい。Alternatively, the aggregate of chopped yarns impregnated with a resin may be wound around a mold and then cured and molded.
【００２７】この場合、樹脂としてはフェノール樹脂、
エポキシ樹脂、ポリビニルアルコール等を用いることが
でき、なお、樹脂の使用に当っては必要に応じて更に有
機溶媒又は水を用いる。In this case, the resin is phenol resin,
Epoxy resin, polyvinyl alcohol, or the like can be used, and in using the resin, an organic solvent or water is further used if necessary.
【００２８】なお、成形体としての基層の厚さは１〜１
０ｍｍとすることが望ましい。基層の厚さが１ｍｍ以下
では、製作工程でのハンドリングにより破損しやすくな
り、歩留りが悪化して製品価格が高くなってしまい、基
層の厚さが１０ｍｍを越えると、圧力損失が大きくな
り、石炭利用複合発電システムに利用できない除塵フィ
ルタとなってしまうのである。The thickness of the base layer as the molded body is 1 to 1
It is desirable to set it to 0 mm. When the thickness of the base layer is 1 mm or less, it is easily damaged by the handling in the manufacturing process, the yield is deteriorated and the product price is increased, and when the thickness of the base layer is more than 10 mm, the pressure loss becomes large and the coal The dust filter cannot be used in the combined power generation system.
【００２９】（第２工程／チョップド単繊維含浸工程）
上記繊維成形体の除塵表面となる面にセラミックスのチ
ョップド単繊維を含浸し、上記繊維成形体表面の余分な
樹脂を拭き取って除去する。このチョップド単繊維はＳ
ｉＣ繊維、Ｓｉ3Ｎ4繊維、Ａｌ2Ｏ3繊維、Ａｌ2Ｏ3・Ｓ
ｉＯ2繊維、Ｃ繊維又は黒鉛繊維とし、これらの繊維直
径が０．５〜２０μｍの繊維を０．１〜５ｍｍの長さに
切断処理した単繊維を用いるのが好ましい。繊維径＜
０．５μｍでは、繊維と繊維の交差により形成される除
塵表面層の空隙率が小さくなり、フィルタの圧力損失が
増大し、逆に繊維径＞２０μｍでは、第１工程で形成さ
れた繊維成形体の空孔内へチョップド単繊維が含浸しに
くくなる。また、繊維長さ＜０．１ｍｍでは、繊維と繊
維の交差により形成される除塵表面層の空隙率が小さく
なり、フィルタの圧力損失が増大し、逆に繊維長さ＞５
ｍｍでは、第１工程で形成された繊維成形体の空孔内へ
チョップド単繊維が含浸しにくくなるからである。(Second step / chopped single fiber impregnation step)
The surface of the fiber molded body that is to be the dust-removing surface is impregnated with ceramic chopped single fibers, and excess resin on the surface of the fiber molded body is wiped off and removed. This chopped monofilament is S
iC fiber, Si 3 N 4 fiber, Al 2 O 3 fiber, Al 2 O 3 · S
It is preferable to use io 2 fibers, C fibers or graphite fibers, and to use single fibers obtained by cutting fibers having a fiber diameter of 0.5 to 20 μm into a length of 0.1 to 5 mm. Fiber diameter <
When it is 0.5 μm, the porosity of the dust-removing surface layer formed by the intersection of the fibers is small, and the pressure loss of the filter is increased. On the contrary, when the fiber diameter is> 20 μm, the fiber molded body formed in the first step It becomes difficult for the chopped monofilaments to be impregnated into the pores of. When the fiber length is <0.1 mm, the porosity of the dust-removing surface layer formed by the fibers intersecting with each other becomes small, and the pressure loss of the filter increases, and conversely, the fiber length> 5.
This is because, in mm, it becomes difficult for the chopped monofilaments to be impregnated into the pores of the fiber molded body formed in the first step.
【００３０】このようなチョップド単繊維を繊維成形体
に含浸させるが、これは次のような方法を採ることがで
きる。 （ａ）分散剤等でチョップド単繊維をスラリ状にし、繊
維成形体表面に刷毛等で塗布、乾燥する。 （ｂ）分散剤等でチョップド単繊維をスラリ状にし、こ
のスラリ中に繊維成形体を漬け、空孔に浸透させた後に
乾燥する。この場合は、除塵表面以外の部分に廻り込ま
ないように、例えば成形体が円筒形の場合には開口部に
蓋をする等の処置をして漬け込むようにすればよい。The chopped monofilament as described above is impregnated into a fiber molded body, which can be prepared by the following method. (A) A chopped single fiber is made into a slurry with a dispersant or the like, applied to the surface of the fiber molded body with a brush or the like, and dried. (B) Chopped single fibers are made into a slurry with a dispersant or the like, and the fiber molded body is dipped in this slurry, allowed to penetrate into the pores, and then dried. In this case, for example, when the molded body has a cylindrical shape, the opening may be covered with a lid or the like so as not to wrap around the portion other than the dust removal surface.
【００３１】スラリ原料並びに配合割合は次のようにし
ている。 （１）ＳｉＣ、Ｓｉ3Ｎ4繊維 繊維 ＝４０重量％、 水 ＝５９．７重量％、 ジエチルアミン＝０．３％ を混合し、ボールミルにより１時間混練する。 （２）Ａｌ2Ｏ3繊維 繊維 ＝７０重量％、 水 ＝２９．５重量％、 解膠剤（アクリル系オリゴマー酸型）＝０．５％ を混合し、ボールミルにより１時間混練する。 （３）Ｃ、黒鉛繊維 繊維 ＝６０重量％、 エタノール ＝４０重量％、 を混合し、ボールミルにより１時間混練する。The slurry raw materials and the blending ratio are as follows. (1) SiC, Si 3 N 4 fibers Fiber = 40% by weight, water = 59.7% by weight, diethylamine = 0.3% are mixed and kneaded for 1 hour by a ball mill. (2) Al 2 O 3 fiber Fiber = 70% by weight, water = 29.5% by weight, peptizer (acrylic oligomer acid type) = 0.5% are mixed and kneaded by a ball mill for 1 hour. (3) C, graphite fiber, fiber = 60% by weight, ethanol = 40% by weight, and kneaded by a ball mill for 1 hour.
【００３２】スラリの乾燥によって含浸されたチョップ
ド単繊維が飛散しないように、適当なバインダーを使用
することができる。あるいは、乾燥後に適当なバインダ
ーを塗布し、硬化させるようにしてもよい。このバイン
ダーとしては、例えば、エポキシ樹脂、ポリビニールア
ルコール樹脂のようなものを用いればよい。A suitable binder can be used so that the impregnated chopped monofilaments do not scatter upon drying the slurry. Alternatively, after drying, a suitable binder may be applied and cured. As the binder, for example, an epoxy resin or a polyvinyl alcohol resin may be used.
【００３３】上記チョップド単繊維の含浸深さは次のよ
うに設定する。 （チョップド単繊維平均径×１０）＜チョップド単繊維
含浸深さ＜１ｍｍ チョップド単繊維平均径の１０倍以下では大きな気孔が
残存し、除塵効率を低下させてしまい、１ｍｍ以上に含
浸させるとセラミックコーティングしたチョップド単繊
維層中に微細気孔が有って１ｍｍ以上では圧力損失が大
きくなり、石炭利用複合発電システムの除塵装置に適さ
なくなるからである。The impregnation depth of the chopped monofilament is set as follows. (Chopped monofilament average diameter x 10) <Chopped monofilament impregnation depth <1 mm Large pores remain when the chopped monofilament average diameter is 10 times or less, and the dust removal efficiency decreases, and when impregnated to 1 mm or more, ceramic coating This is because if the chopped monofilament layer has fine pores and the pore diameter is 1 mm or more, the pressure loss becomes large, and the chopped monofilament layer becomes unsuitable for a dust removing device of a coal-utilizing combined cycle power generation system.
【００３４】（第３工程／除塵表面の起毛処理工程）次
いで、上述のようにして得られたチョップド単繊維凝集
層が表面部分に形成された繊維成形体の単繊維凝集層の
最上表面部を起毛状態にする。この起毛処理の方法には
特に制限はないが、前述の繊維分散樹脂液を硬化して繊
維成形体を製造するに当り、硬化後の硬化体表面をサン
ドペーパー、ワイヤブラシ等でこすって擦過させればよ
い。(Third Step / Dust Removal Surface Raising Treatment Step) Next, the chopped monofilament agglomerate layer obtained as described above is formed on the surface portion of the uppermost surface portion of the monofilament agglomerate layer of the fiber molding. Raise the hair. The method of this raising treatment is not particularly limited, but when the fiber-dispersed resin liquid described above is cured to produce a fiber molded body, the surface of the cured body after curing is rubbed by rubbing with sandpaper, a wire brush or the like. Just do it.
【００３５】なお、起毛処理はフィルタとして除塵処理
に用いる際に除塵処理面となる側、即ち、被処理ガスの
流入側の表面に対して行なう。The raising process is performed on the surface which becomes the dust removing surface when used as a filter for dust removing processing, that is, the surface on the inflow side of the gas to be treated.
【００３６】（第４工程／炭化処理工程）繊維成形体の
除塵表面にチョップド単繊維を含浸させたフィルタ素材
の樹脂類を炭化（あるいは黒鉛化）して繊維結合処理を
行う。これは成形体を不活性ガス中において加熱処理
し、結合樹脂を炭化させることで行えばよい。このよう
にして得られる繊維成形体は、樹脂の炭化又は黒鉛化に
より生成した炭素又は黒鉛が繊維同志の接点を接合して
なる繊維成形体となる。(Fourth Step / Carbonizing Step) The resin of the filter material in which the chopped monofilament is impregnated on the dust-removed surface of the fiber molded body is carbonized (or graphitized) to perform the fiber bonding treatment. This may be performed by heating the molded body in an inert gas to carbonize the binding resin. The fiber molded body thus obtained is a fiber molded body in which carbon or graphite generated by carbonizing or graphitizing a resin joins the contacts of the fibers.
【００３７】また、前記繊維成形体は表面にＣＶＤ法に
より炭素を析出させることにより、析出させた炭素で繊
維同志の接点を接合して製造することもできる。次工程
のＣＶＤコーティングに到るまでのハンドリングに十分
に耐え、しかも空孔率の大きい多孔質繊維成形体を容易
に製造することができる。The fiber molded body can also be manufactured by depositing carbon on the surface by a CVD method and joining the contacts of the fibers with each other by the deposited carbon. It is possible to easily manufacture a porous fiber molded body having a high porosity, which can sufficiently withstand the handling up to the CVD coating in the next step.
【００３８】（第５工程／ＣＶＤコーティング工程）上
述のチョップド単繊維凝集層が形成された繊維成形体に
対し、当該繊維成形体を構成している繊維表面に、所定
割合の空孔が残存するようにＳｉＣ、Ｓｉ3Ｎ4、又はＡ
ｌ2Ｏ3ＣＶＤコーティング層を形成することにより、繊
維表面の耐熱強度が向上されるとともに繊維同志の結合
性が増したフィルタが製造される。(Fifth step / CVD coating step) With respect to the fiber molded body on which the chopped single fiber agglomerate layer is formed, a predetermined proportion of pores remain on the surface of the fibers forming the fiber molded body. Like SiC, Si 3 N 4 , or A
By forming the l 2 O 3 CVD coating layer, a filter having improved heat resistance strength of the fiber surface and increased bondability between fibers can be manufactured.
【００３９】チョップド単繊維の表面コーティング層の
膜厚は ０．５μｍ＜ｔm＜５μｍ の範囲で蒸着させるのである。０．５μｍ以下では強
度、耐熱性、耐食性が弱く、５μｍ以上では空孔率が小
さくなり圧損が増大するからである。The film thickness of the surface coating layer of chopped monofilament is vapor-deposited within the range of 0.5 μm <t m <5 μm. This is because if the thickness is 0.5 μm or less, the strength, heat resistance and corrosion resistance are weak, and if the thickness is 5 μm or more, the porosity decreases and the pressure loss increases.
【００４０】このようなフィルタでは、繊維成形体を構
成する繊維、この繊維の接合のための炭素又は黒鉛、上
記ＣＶＤコーティング層及び空孔の体積合有率は、その
除塵効率、圧力損失、耐熱性、機械的特性、耐久性等の
面から、下記の範囲であることが好ましい。 繊維：１〜１５％ 炭素又は黒鉛：２〜２０％ ＣＶＤコーティング層：２〜１５％ 空孔：５０〜９５％ すなわち、繊維＜１％では、フィルタの強度が低くなり
すぎ、逆洗時のガスの風圧により損傷しやすくなる。ま
た、繊維＞１５％では、圧力損失の小さなフィルタとす
るためにＣＶＤコーティング層を少なくする必要が生
じ、これによって繊維と繊維の結合力が低下し、逆洗の
圧力に耐えられなくなる。更に、炭素又は黒鉛＜２％で
はＣＶＤコーティング前のハンドリングに耐えられる結
合強度が得られず、炭素又は黒鉛＞２０％では、圧力損
失の小さなフィルタとするためにＣＶＤコーティング層
を少なくする必要が生じ、これによって繊維と繊維の結
合力が低下し、逆洗の圧力に耐えられなくなる。ＣＶＤ
コーティング層＜２％では繊維と繊維の結合力が弱く、
逆洗時の風圧に耐えられない。また、ＣＶＤコーティン
グ層＞２０％では脆くなって熱衝撃に耐えられなくな
る。加えて、空孔＜５０％では圧力損失が大となり、空
孔＞９５％では強度が低下し、逆洗に耐えられず、ウィ
スカ凝集層の形成が困難となり、凝集層が脱落し、大き
な空孔が残存するフィルタになりやすいからである。In such a filter, the fibers constituting the fiber molded body, carbon or graphite for joining the fibers, the volume ratio of the CVD coating layer and the pores, dust removal efficiency, pressure loss, heat resistance From the viewpoints of properties, mechanical properties, durability, etc., the following range is preferable. Fiber: 1 to 15% Carbon or graphite: 2 to 20% CVD coating layer: 2 to 15% Porosity: 50 to 95% That is, if the fiber <1%, the strength of the filter becomes too low and the gas during backwashing It is easily damaged by wind pressure. Further, when the fiber is> 15%, it is necessary to reduce the CVD coating layer in order to obtain a filter having a small pressure loss, which reduces the binding force between the fibers and makes it impossible to withstand the backwash pressure. Furthermore, if carbon or graphite <2%, a bond strength that can withstand handling before CVD coating cannot be obtained, and if carbon or graphite> 20%, it is necessary to reduce the number of CVD coating layers in order to obtain a filter with small pressure loss. As a result, the binding force between the fibers is reduced and the backwash pressure cannot be endured. CVD
When the coating layer is less than 2%, the binding force between fibers is weak,
Can not stand the wind pressure during backwash. Further, if the CVD coating layer is> 20%, it becomes brittle and cannot withstand thermal shock. In addition, the pressure loss becomes large when the pores <50%, the strength decreases when the pores> 95%, the backwash cannot be endured, the formation of the whisker coagulation layer becomes difficult, and the cohesion layer falls off, resulting in large voids. This is because the filter tends to have holes.
【００４１】このようなフィルタ本体の形状としては特
に制限はないが、圧力損失を小さくし、かつ、フィルタ
の逆洗（堆積ダストの除去）時の圧力に対する耐久性を
高めるために、次の（Ａ）〜（Ｃ）の形状とするのが好
ましい。 （Ａ） 有底又は無底円筒形状 （Ｂ） 有底又は無底角筒形状 （Ｃ） 上記（Ａ）又は（Ｂ）で長さ方向にテーパがつ
いたもの（一端側と他端側で横断面の大ささが異なるも
の）The shape of such a filter body is not particularly limited, but in order to reduce the pressure loss and to enhance the durability against pressure during backwashing of the filter (removal of accumulated dust), the following ( The shapes of A) to (C) are preferable. (A) Bottomed or bottomless cylindrical shape (B) Bottomed or bottomless rectangular tube shape (C) Tapered in the length direction in (A) or (B) above (on one end side and the other end side) (The size of the cross section is different)
【００４２】なお、フィルタの肉厚ｔは、圧力損失、耐
逆洗圧力の面から、フィルタの半径Ｒに対して、√（Ｒ
／３０）＜ｔ＜１５ｍｍであることが好ましい。ｔ＜√
（Ｒ／３０）では圧力損失は小さいものの逆洗圧力によ
り破損し易く、ｔ＞１５ｍｍでは耐逆洗圧力性は良好で
あるものの、圧力損失が大きくなるからである。From the viewpoint of pressure loss and backwash pressure resistance, the filter wall thickness t is √ (R
It is preferable that / 30) <t <15 mm. t <√
This is because at (R / 30), the pressure loss is small, but it is easily damaged by the backwash pressure, and at t> 15 mm, the backwash pressure resistance is good but the pressure loss becomes large.
【００４３】ここで、フィルタの半径Ｒとは、円筒形フ
ィルタ（Ａ）ではその内半径（真円でない場合には平均
内半径）、角筒形フィルタ（Ｂ）では内壁の外接円半
径、テーパ付フィルタ（Ｃ）では上記（Ａ）、（Ｂ）に
おける半径において、大きい方の半径をさす。Here, the radius R of the filter is the inner radius of the cylindrical filter (A) (the average inner radius if it is not a perfect circle), and the radius of the circumscribed circle of the inner wall and the taper of the rectangular tubular filter (B). In the attached filter (C), the larger radius is used in the radii in (A) and (B).
【００４４】上記フィルタにおいて、繊維成形体を構成
する繊維材質（織布繊維、チョップド単繊維）と、ＣＶ
Ｄコーティング層の材質とは同一であっても異なってい
ても良いが、両者を同一材質とした場合には、熱膨張差
による応力の発生が防止され、より高温での使用に有利
である。In the above filter, the fiber material (woven fabric fiber, chopped monofilament) constituting the fiber molding and CV
The material of the D coating layer may be the same as or different from that of the D coating layer, but when both are made of the same material, generation of stress due to the difference in thermal expansion is prevented, which is advantageous for use at higher temperatures.
【００４５】このように構成された本発明のフィルタ
は、ゴミ焼却炉の出口排ガスやボイラ出口排ガスのダス
ト除去、製鉄用高炉の炉頂圧タービン流入ガスのダスト
除去、高炉排ガスのダスト除去等に有効であるが、特に
高温、腐食性ガスの除塵とともに、ダスト濃度を大幅に
低減させる必要のある加圧流動層複合発電や石炭ガス化
複合発電などの石炭利用複合発電システムにおける高温
集塵に極めて有効に使用することができる。The filter of the present invention thus constructed is used for removing dust from the exhaust gas from the waste incinerator and from the boiler outlet, removing dust from the gas flowing into the furnace top pressure turbine of the ironmaking blast furnace, and removing dust from the blast furnace exhaust gas. Although effective, it is extremely useful for high temperature dust collection in coal-based combined cycle power generation systems such as pressurized fluidized bed combined cycle power generation and coal gasification combined cycle power generation, which require dust reduction of high temperature and corrosive gas as well as drastically reducing dust concentration. It can be used effectively.
【００４６】特に本発明では、フィルタの除塵表層面に
起毛層が形成されているので、ダスト堆積による圧力損
失の増加が抑制でき、起毛層の下位のチョップド単繊維
凝集層によりセラミックス繊維織布等のフィルタ基体へ
のダスト侵入が抑制され、経時的な圧力損失の上昇が有
効に防止される。特に、フィルタ基体が織布や不織布等
の繊維基体であり、この表面部に直接安価なチョップド
単繊維からなる凝集層を形成して表面捕集効率を上げ、
かつ起毛処理により圧損の上昇を抑制しているだけであ
り、高性能フィルタを低コストにて製造することができ
る。In particular, in the present invention, since the raised layer is formed on the dust-removing surface layer of the filter, it is possible to suppress an increase in pressure loss due to dust accumulation, and the chopped monofilament agglomerate layer below the raised layer causes a ceramic fiber woven cloth or the like. The invasion of dust into the filter substrate is suppressed, and an increase in pressure loss with time is effectively prevented. In particular, the filter substrate is a fiber substrate such as a woven fabric or a non-woven fabric, and the surface collection efficiency is improved by directly forming an agglomerated layer made of inexpensive chopped monofilaments on the surface portion,
Moreover, the raising of the pressure loss is only suppressed by the raising process, and the high-performance filter can be manufactured at low cost.
【００４７】なお、本発明のフィルタ製造工程は、
（１）第１工程／繊維成形工程→第３工程／除塵表面の
起毛処理工程→第４工程／炭化処理工程→第５工程／Ｃ
ＶＤコーティング工程→第２工程／チョップド単繊維含
浸工程→第４工程／炭化処理工程→第５工程／ＣＶＤコ
ーティング工程の順位で、（２）第１工程／繊維成形工
程→第３工程／除塵表面の起毛処理工程→第２工程／チ
ョップド単繊維含浸工程→第４工程／炭化処理工程→第
５工程／ＣＶＤコーティング工程の順位で、（３）第１
工程／繊維成形工程→第２工程／チョップド単繊維含浸
工程→第４工程／炭化処理工程→第３工程／除塵表面の
起毛処理工程→第５工程／ＣＶＤコーティング工程の順
位で、（４）第１工程／繊維成形工程→第３工程／除塵
表面の起毛処理工程→第４工程／炭化処理工程→第２工
程／チョップド単繊維含浸工程→第４工程／炭化処理工
程→第５工程／ＣＶＤコーティング工程の順位で、
（５）第１工程／繊維成形工程→第４工程／炭化処理工
程→第３工程／除塵表面の起毛処理工程→第５工程／Ｃ
ＶＤコーティング工程→第２工程／チョップド単繊維含
浸工程→第４工程／炭化処理工程→第５工程／ＣＶＤコ
ーティング工程の順位で、（６）第１工程／繊維成形工
程→第４工程／炭化処理工程→第２工程／チョップド単
繊維含浸工程→第３工程／除塵表面の起毛処理工程→第
４工程／炭化処理工程→第５工程／ＣＶＤコーティング
工程の順位で、それぞれ行うことも可能である。The filter manufacturing process of the present invention is as follows.
(1) First step / fiber forming step → third step / dust raising surface raising treatment step → fourth step / carbonizing treatment step → fifth step / C
VD coating step → second step / chopped single fiber impregnation step → fourth step / carbonization step → fifth step / CVD coating step, in order of (2) first step / fiber forming step → third step / dust removal surface Hair raising treatment step → second step / chopped monofilament impregnation step → fourth step / carbonization treatment step → fifth step / CVD coating step, in order of (3) first
Process / fiber molding process → 2nd process / chopped monofilament impregnation process → 4th process / carbonization process → 3rd process / dust raising surface raising process → 5th process / CVD coating process in order of (4) 1 step / fiber molding step → 3 step / dust raising surface raising step → 4 step / carbonizing step → 2 step / chopped single fiber impregnating step → 4 step / carbonizing step → 5 step / CVD coating In order of process,
(5) First step / fiber molding step → fourth step / carbonization step → third step / dust raising surface raising step → fifth step / C
VD coating process → 2nd process / chopped single fiber impregnation process → 4th process / carbonization process → 5th process / CVD coating process in order of (6) 1st process / fiber molding process → 4th process / carbonization process It is also possible to perform each step in the order of step → second step / chopped single fiber impregnation step → third step / dust raising surface raising treatment step → fourth step / carbonization treatment step → fifth step / CVD coating step.
【００４８】このようにすることで、織布等により形成
されている繊維成形体の繊維炭化処理とＣＶＤコーティ
ングにより基体強度が予め確保され、得られた繊維成形
体は、樹脂の炭化又は黒鉛化により生成した炭素又は黒
鉛が繊維同志の接点を接合した繊維成形体となる。この
結合強度が高い繊維成形体に対してチョップド単繊維が
含浸され、除塵表面に単繊維集合体の凝集層が形成さ
れ、更に最終的に行われるセラミックスの繊維表面蒸着
により単繊維同志の結合性を強化安定させ、かつ除塵表
面層には起毛処理が加えられてダスト捕集効果を高めて
いる。By doing so, the strength of the substrate is secured in advance by the fiber carbonization treatment and the CVD coating of the fiber molded body formed of a woven cloth or the like, and the obtained fiber molded body is carbonized or graphitized by the resin. The carbon or graphite generated by means of the above becomes a fiber molded body in which the contacts of fibers are joined together. Chopped monofilaments are impregnated into the fiber molded body with high bond strength, a cohesive layer of monofilament aggregates is formed on the dust-removed surface, and finally the fiber surface deposition of ceramics is performed to bond the monofilaments together. Is strengthened and stabilized, and a brushing treatment is added to the dust removal surface layer to enhance the dust collection effect.
【００４９】[0049]
（実施例１）長さ２ｍｍ、直径１５μｍのＳｉＣ繊維を
アセトン：フェノール樹脂：２：１（重量比）の混合液
中に分散させ、これを型に流し込んでオートクレーブ処
理により硬化させ、その後、窒素ガス雰囲気中にて９０
０℃で加熱して樹脂を炭化させた。この繊維成型体の表
面を＃１２０のサンドペーパで擦過して表面を起毛し
た。このようにして得られたＳｉＣ繊維成型体の繊維表
面にＣＶＤ法によりＳｉＣコーティング層を形成して、
図１に示す断面形状及び寸法の、フランジ部１Ａ、円筒
部１Ｂ、底面部１Ｃよりなる円筒形フィルタ本体１を製
造した。得られたフィルタ本体の各構成要素の体積含有
率は次の通りである。 ＳｉＣ繊維：７％ 炭素：２％ ＳｉＣコーティング層：１０％ 空孔：８１％Example 1 A SiC fiber having a length of 2 mm and a diameter of 15 μm was dispersed in a mixed solution of acetone: phenol resin: 2: 1 (weight ratio), poured into a mold and cured by an autoclave treatment, and then nitrogen. 90 in gas atmosphere
The resin was carbonized by heating at 0 ° C. The surface of this fiber molding was rubbed with # 120 sandpaper to raise the surface. An SiC coating layer is formed on the fiber surface of the thus obtained SiC fiber molded body by the CVD method,
A cylindrical filter body 1 having a flange portion 1A, a cylindrical portion 1B, and a bottom surface portion 1C having the cross-sectional shape and dimensions shown in FIG. 1 was manufactured. The volume content of each component of the obtained filter body is as follows. SiC fiber: 7% Carbon: 2% SiC coating layer: 10% Porosity: 81%
【００５０】次いで、上記フィルタ本体１に対して、除
塵表面となる円筒１Ｂ及び底面部１Ｃの外表面に、長さ
０．５ｍｍ、直径８．５μｍのＳｉＣ単繊維をつぎの組
成のスラリにして刷毛で塗布し、余分のスラリを拭き取
り除去するとともに、起毛を折損しないように起毛間の
スラリを柔らかい刷毛で除去し、起毛状態を再発現さ
せ、これを加熱乾燥させた。含浸深さは０．９ｍｍであ
った。 繊維：水：ジエチルアミン＝４０：５９．７：０．３
（重量比）Then, on the outer surface of the cylinder 1B and the bottom surface 1C, which are the dust-removing surface, with respect to the filter body 1, a SiC single fiber having a length of 0.5 mm and a diameter of 8.5 μm is formed into a slurry having the following composition. Applying with a brush, the excess slurry was wiped off and removed, and the slurry between the naps was removed with a soft brush so as not to break the nap, the nap state was re-expressed, and this was dried by heating. The impregnation depth was 0.9 mm. Fiber: Water: Diethylamine = 40: 59.7: 0.3
(Weight ratio)
【００５１】乾燥後に、ＣＶＤ法によりチョップド単繊
維表面に対してＳｉＣコーティング層を形成して、セラ
ミックスコーティングしたチョップド単繊維凝集層を形
成した。このとき、含浸したチョップド単繊維表面に被
覆されたセラミックスの平均膜厚は３．４μｍであっ
た。After drying, a SiC coating layer was formed on the surface of the chopped single fibers by the CVD method to form a ceramic-coated chopped single fiber aggregate layer. At this time, the average thickness of the ceramics coated on the surface of the impregnated chopped monofilaments was 3.4 μm.
【００５２】（比較例１）上記フィルタ本体、すなわ
ち、ＣＶＤコーティングの単繊維凝集層を形成しないフ
ィルタと以下の除塵条件のもとで、除塵効果の比較を行
った。除塵条件 排ガス量：１２００ｍ3Ｎ／ｈｒ 排ガス温度：１０００〜１０５０℃ ダスト種類：カーボン粒子（平均粒子径１μｍ） ダスト濃度：４ｇ／ｍ3Ｎ 濾過速度：３．９ｍ／ｍｉｎ（１０２５℃において） フィルタ本数：２８本（濾過面積約５．１ｍ2） 再生方法：パルスエア（タイマ制御：約３分間隔）(Comparative Example 1) The dust removal effect was compared under the following dust removal conditions with the above filter body, that is, a filter in which a single fiber aggregate layer of CVD coating is not formed. Dust removal conditions Exhaust gas amount: 1200 m 3 N / hr Exhaust gas temperature: 1000 to 1050 ° C. Dust type: Carbon particles (average particle diameter 1 μm) Dust concentration: 4 g / m 3 N Filtration speed: 3.9 m / min (at 1025 ° C.) Filter Number: 28 (filtration area about 5.1 m 2 ) Regeneration method: pulsed air (timer control: about 3 minutes interval)
【００５３】図２及び図３より、本発明のフィルタによ
れば、長期にわたり、小さい圧力損失にて、また、高い
補集効率にて安定に除塵処理できることが明らかであ
る。補集効率は、比較例１が９７．８％以下であったの
に対し、実施例１のフィルタでは９９．９２％であっ
た。From FIGS. 2 and 3, it is clear that the filter of the present invention can stably perform dust removal processing with a small pressure loss and a high collection efficiency for a long period of time. The collection efficiency was 97.8% or less in Comparative Example 1, whereas it was 99.92% in the filter of Example 1.
【００５４】（実施例２）直径１１μｍのＳｉＣ連続繊
維よりなる不織布を固形分６重量％のポリビニールアル
コール水溶液中に分散させ、これを型に流し込んで硬化
させ、この成型体の除塵表面部に、長さ１ｍｍ、直径
８．５μｍのＳｉＣ単繊維をつぎの組成のスラリにして
刷毛で塗布し、フィルタ本体表面に付着した余分のスラ
リを拭き取ったのち、９０℃の大気中で乾燥させた。含
浸深さは０．７ｍｍであった。 繊維：水：ジエチルアミン＝４０：５９．７＝０．３
（重量比）Example 2 A nonwoven fabric made of SiC continuous fibers having a diameter of 11 μm was dispersed in a polyvinyl alcohol aqueous solution having a solid content of 6% by weight, and this was poured into a mold to be cured, and the dust-removed surface portion of this molded body was cured. A SiC single fiber having a length of 1 mm and a diameter of 8.5 μm was made into a slurry having the following composition and applied with a brush, and the excess slurry adhering to the surface of the filter body was wiped off, and then dried in the atmosphere at 90 ° C. The impregnation depth was 0.7 mm. Fiber: Water: Diethylamine = 40: 59.7 = 0.3
(Weight ratio)
【００５５】このようにして得られた繊維成型体の繊維
表面にＣＶＤ法によりＳｉＣコーティング層を形成し
て、図１に示す断面形状及び寸法の、フランジ部１Ａ、
円筒部１Ｂ、底面部１Ｃよりなる円筒形フィルタ本体１
を製造した。得られたフィルタ本体の各構成要素の体積
含有率は次の通りである。 ＳｉＣ繊維：６％ 炭素：１．５％ ＳｉＣコーティング層：４．５％ 空孔＝８８％A SiC coating layer is formed on the fiber surface of the fiber molded body thus obtained by the CVD method, and the flange portion 1A having the cross-sectional shape and dimensions shown in FIG.
Cylindrical filter body 1 including a cylindrical portion 1B and a bottom portion 1C
Was manufactured. The volume content of each component of the obtained filter body is as follows. SiC fiber: 6% Carbon: 1.5% SiC coating layer: 4.5% Porosity = 88%
【００５６】このとき、含浸した単繊維表面に被覆され
たセラミックスの平均膜厚ｔmは３．５μｍであった。At this time, the average film thickness t m of the ceramics coated on the surface of the impregnated single fibers was 3.5 μm.
【００５７】（比較例２）上記フィルタ本体、すなわ
ち、ＣＶＤコーティングの単繊維凝集層を形成しないフ
ィルタと以下の除塵条件のもとで、除塵効果の比較を行
った。除塵条件 排ガス量：１２００ｍ3Ｎ／ｈｒ 排ガス温度：１０００〜１０５０℃ ダスト種類：カーボン粒子（平均粒子径１μｍ） ダスト濃度：４ｇ／ｍ3Ｎ 濾過速度：３．９ｍ／ｍｉｎ（１０２５℃において） フィルタ本数：２８本（濾過面積約５．１ｍ2） 再生方法：パルスエア（タイマ制御：約３分間隔）(Comparative Example 2) The dust removal effect was compared under the following dust removal conditions with the above filter body, that is, the filter in which the CVD-coated single fiber agglomerated layer is not formed. Dust removal conditions Exhaust gas amount: 1200 m 3 N / hr Exhaust gas temperature: 1000 to 1050 ° C. Dust type: Carbon particles (average particle diameter 1 μm) Dust concentration: 4 g / m 3 N Filtration speed: 3.9 m / min (at 1025 ° C.) Filter Number: 28 (filtration area about 5.1 m 2 ) Regeneration method: pulsed air (timer control: about 3 minutes interval)
【００５８】図４及び図５より、本発明のフィルタによ
れば、長期にわたり、小さい圧力損失にて、また、高い
補集効率にて安定に除塵処理できることが明らかであ
る。補集効率は、比較例２が９７．３％以下であったの
に対し、実施例２のフィルタでは９９．９％であった。From FIGS. 4 and 5, it is clear that the filter of the present invention can stably remove dust with a small pressure loss and a high collection efficiency for a long period of time. The collection efficiency was 97.3% or less in Comparative Example 2, whereas it was 99.9% in the filter of Example 2.
【００５９】（実施例３）実施例１と同様の方法により
製造した有底角筒形フィルタを使用して、外形寸法２．
２ｍ×１．５ｍ×１．０ｍ高さで総濾過面積が１７．４
ｍ2の除塵器を製造し、一般都市ゴミを焼却して発生し
た排ガスを下記除塵条件にて処理した。(Embodiment 3) Using a bottomed rectangular tubular filter manufactured by the same method as in Embodiment 1, the external dimensions 2.
2m x 1.5m x 1.0m high with a total filtration area of 17.4
An m 2 dust remover was manufactured, and exhaust gas generated by incinerating general municipal waste was treated under the following dust removing conditions.
【００６０】（比較例３）上記フィルタ本体、すなわ
ち、ＣＶＤコーティングの単繊維凝集層を形成しないフ
ィルタと下記の除塵条件のもとで、除塵効果の比較を行
った。除塵条件 排ガス量：９７０ｍ3Ｎ／ｈｒ 排ガス温度：９００℃ 除塵器入口ダスト濃度：７ｇ／ｍ3Ｎ(Comparative Example 3) The dust removal effect was compared under the following dust removal conditions with the above filter body, that is, a filter in which a single fiber aggregate layer of CVD coating is not formed. Dust removal conditions Exhaust gas amount: 970 m 3 N / hr Exhaust gas temperature: 900 ° C. Dust collector inlet dust concentration: 7 g / m 3 N
【００６１】本発明のフィルタによれば、比較例３と比
較して圧力損失はわずかに増大するが、１０００時間稼
働後の補集効率は９９．９５％で、比較例３の１０００
時間稼働後の除塵効率９９．５％と比較して、長期にわ
たり高効率で安定して除塵処理できることが明らかであ
る。According to the filter of the present invention, the pressure loss slightly increases as compared with Comparative Example 3, but the collection efficiency after operating for 1000 hours is 99.95%, which is 1000 of Comparative Example 3.
It is clear that dust removal can be performed with high efficiency and stability over a long period of time as compared with the dust removal efficiency after operating for 99.5%.
【００６２】[0062]
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
炭化珪素、窒化珪素、アルミナ、アルミナ・シリカ及び
炭素よりなる群から選ばれる１種又は２種以上の繊維の
織布の層又はチョップドヤーンの集合層により形成され
る繊維成形体の表層部に炭化珪素、窒化珪素、アルミ
ナ、アルミナ・シリカ、炭素及び黒鉛よりなる群から選
ばれる１種又は２種以上のチョップド単繊維を含浸させ
て形成される単繊維凝集層を設けるとともに、除塵表層
面に起毛層を設けてなり、繊維表面には炭化珪素、窒化
珪素、及びアルミナよりなる群から選ばれる１種又は２
種以上のコーティング層を気相蒸着させたＣＶＤコーテ
ィング層を形成するようにしてあるので、耐熱性、高温
での耐腐食性、耐久性に優れるとともに、圧力損失の上
昇を抑制しつつ、除塵表面部における起毛層によるダス
ト捕集作用と、チョップド単繊維凝集層の微細な孔によ
り、細かいダストまでの一次捕集と、これに続く内部の
ＣＶＤ処理された繊維成形体による二次捕集作用によっ
て捕集効率が大幅に向上され、かつ小型薄肉化が可能
で、石炭利用複合発電システム等で要求される高効率ダ
スト捕集処理に有効なフィルタが提供される。また、基
体をセラミックス繊維による織布あるいは不織布により
形成しつつ、表層部にチョップド単繊維凝集層を直接形
成するために、コスト的に安価にしつつ、高精度フィル
タとすることができる。As described above, according to the present invention,
Carbonization is carried out on the surface layer portion of the fiber molded body formed by a woven fabric layer of one or more fibers selected from the group consisting of silicon carbide, silicon nitride, alumina, alumina-silica and carbon or an aggregate layer of chopped yarns. A single fiber aggregation layer formed by impregnating one or more chopped single fibers selected from the group consisting of silicon, silicon nitride, alumina, alumina / silica, carbon and graphite is provided, and the dust-raised surface layer is raised. 1 or 2 selected from the group consisting of silicon carbide, silicon nitride, and alumina on the surface of the fiber.
Since it is designed to form a CVD coating layer by vapor-depositing one or more coating layers, it has excellent heat resistance, corrosion resistance at high temperatures, and durability, while suppressing an increase in pressure loss, and removing dust surface. The dust collecting action by the raised layer in the part and the primary collection up to fine dust by the fine pores of the chopped single fiber aggregation layer, and the subsequent secondary collection action by the internal CVD-treated fiber molded body Provided is a filter which has a significantly improved collection efficiency, can be made small and thin, and is effective for highly efficient dust collection processing required in a coal-based combined cycle power generation system and the like. Further, since the chopped monofilament agglomerate layer is directly formed on the surface layer portion while forming the substrate with a woven or non-woven fabric of ceramic fibers, the cost can be reduced and a high precision filter can be obtained.
【図１】実施例のフィルタ断面図及び部分拡大図であ
る。FIG. 1 is a sectional view and a partially enlarged view of a filter according to an embodiment.
【図２】実施例１と比較例１の圧力損失の経時的変化を
求めた除塵試験結果を示すグラフである。FIG. 2 is a graph showing the results of a dust removal test in which changes in pressure loss over time of Example 1 and Comparative Example 1 were obtained.
【図３】実施例１と比較例１の粉塵捕集効率の経時的変
化を求めた除塵試験結果を示すグラフである。FIG. 3 is a graph showing the results of a dust removal test in which changes in the dust collection efficiency of Example 1 and Comparative Example 1 were obtained over time.
【図４】実施例２と比較例２の圧力損失の経時的変化を
求めた除塵試験結果を示すグラフである。FIG. 4 is a graph showing the results of a dust removal test in which changes in pressure loss over time of Example 2 and Comparative Example 2 were obtained.
【図５】実施例２と比較例２の粉塵捕集効率の経時的変
化を求めた除塵試験結果を示すグラフである。FIG. 5 is a graph showing the results of a dust removal test in which changes in the dust collection efficiency of Example 2 and Comparative Example 2 were obtained over time.
１ 円筒形フィルタ本体 １Ａ フランジ部 １Ｂ 円筒部 １Ｃ 底面部 1 Cylindrical filter body 1A Flange part 1B Cylindrical part 1C Bottom part
Claims (3)
ナ・シリカ及び炭素よりなる群から選ばれる１種又は２
種以上の繊維の織布層又はチョップドヤーンの集合層と
して構成される繊維成形体の除塵表面空孔内に、炭化珪
素、窒化珪素、アルミナ、アルミナ・シリカ、炭素及び
黒鉛よりなる群から選ばれる１種又は２種以上のチョッ
プド単繊維から構成される単繊維凝集層を形成し、 この単繊維凝集層が形成された繊維成形体の繊維表面に
炭化珪素、窒化珪素、アルミナ及び炭素よりなる群から
選ばれる１種又は２種以上の気相蒸着コーティング層を
形成するとともに、 除塵表層部に起毛層を形成したことを特徴とするフィル
タ。1. One or two selected from the group consisting of silicon carbide, silicon nitride, alumina, alumina-silica and carbon.
Selected from the group consisting of silicon carbide, silicon nitride, alumina, alumina-silica, carbon and graphite in the dust-removing surface pores of a fiber molding formed as a woven layer of one or more fibers or an aggregate layer of chopped yarns A group consisting of silicon carbide, silicon nitride, alumina and carbon is formed on a fiber surface of a fiber molded body in which a single fiber agglomerated layer composed of one kind or two or more kinds of chopped single fibers is formed. A filter, characterized in that one or more kinds of vapor-phase vapor deposition coating layers selected from the above are formed, and a raised layer is formed on the dust-removing surface layer portion.
ナ・シリカ及び炭素よりなる群から選ばれる１種又は２
種以上の繊維の織布の層又はチョップドヤーンの集合層
に対して樹脂類の含浸により繊維成形体を形成してお
き、 前記繊維成形体の除塵表面空孔内に、炭化珪素、窒化珪
素、アルミナ、アルミナ・シリカ、炭素及び黒鉛よりな
る群から選ばれる１種又は２種以上のチョップド単繊維
を分散剤によりスラリ状にして含浸させ、 前記スラリの乾燥後に樹脂類の炭化処理をなして前記チ
ョップド単繊維凝集層を形成し、 前記チョップド単繊維を含浸した繊維成形体の除塵表層
面を起毛処理し、 前記単繊維凝集層が形成された繊維成形体の繊維表面に
炭化珪素、窒化珪素、及びアルミナよりなる群から選ば
れる１種又は２種以上のコーティング層を気相蒸着させ
ることを特徴とするフィルタの製造方法。2. One or two selected from the group consisting of silicon carbide, silicon nitride, alumina, alumina-silica and carbon.
A fiber molded body is formed by impregnating a resin with respect to a woven fabric layer of at least one kind of fibers or an aggregate layer of chopped yarns, and silicon carbide, silicon nitride, in the dust removal surface pores of the fiber molded body, One or more chopped monofilaments selected from the group consisting of alumina, alumina / silica, carbon and graphite are made into a slurry with a dispersant and impregnated, and after the slurry is dried, the resins are carbonized and Forming a chopped single fiber agglomerated layer, fluffing the dust removal surface layer surface of the fiber molded body impregnated with the chopped single fibers, silicon carbide on the fiber surface of the fiber molded body in which the single fiber agglomerated layer is formed, silicon nitride, And a method of producing a filter, characterized in that one or more coating layers selected from the group consisting of alumina and alumina are vapor-deposited.
ナ・シリカ及び炭素よりなる群から選ばれる１種又は２
種以上の繊維の織布の層又はチョップドヤーンの集合層
として構成される繊維成形体を形成しておき、 当該繊維成形体の除塵表面部を起毛処理し、 前記繊維成形体の樹脂類の炭化処理をなし、 この繊維成形体の繊維表面に炭化珪素、窒化珪素、アル
ミナよりなる群から選ばれる１種又は２種以上のコーテ
ィング層を気相蒸着させ、 前記繊維成形体の除塵表面空孔内に、炭化珪素、窒化珪
素、アルミナ、アルミナ・シリカ、炭素及び黒鉛よりな
る群から選ばれる１種又は２種以上のチョップド単繊維
を分散剤によりスラリ状にして含浸させ、 前記単繊維凝集層の樹脂類の炭化処理をなし、 この単繊維凝集層の繊維表面に炭化珪素、窒化珪素、及
びアルミナよりなる群から選ばれる１種又は２種以上の
コーティング層を気相蒸着させることを特徴とするフィ
ルタの製造方法。3. One or two selected from the group consisting of silicon carbide, silicon nitride, alumina, alumina-silica and carbon.
A fiber molded body configured as a woven fabric layer of at least one kind of fibers or an aggregate layer of chopped yarns is formed, and the dust-removing surface portion of the fiber molded body is napped to carbonize the resin of the fiber molded body. A treatment is carried out, and one or more coating layers selected from the group consisting of silicon carbide, silicon nitride and alumina are vapor-deposited on the fiber surface of this fiber molded body, Of one or more chopped monofilaments selected from the group consisting of silicon carbide, silicon nitride, alumina, alumina-silica, carbon and graphite in the form of slurry with a dispersant, The resin is carbonized, and one or more coating layers selected from the group consisting of silicon carbide, silicon nitride, and alumina are vapor-deposited on the fiber surface of the single fiber aggregate layer. Method of manufacturing a filter having a butterfly.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16234596A JPH09313840A (en) | 1996-06-03 | 1996-06-03 | Filter and its production |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16234596A JPH09313840A (en) | 1996-06-03 | 1996-06-03 | Filter and its production |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09313840A true JPH09313840A (en) | 1997-12-09 |
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ID=15752798
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| JP16234596A Withdrawn JPH09313840A (en) | 1996-06-03 | 1996-06-03 | Filter and its production |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09313840A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007239701A (en) * | 2006-03-10 | 2007-09-20 | San Road:Kk | Duct collecting filter for electric fan |
-
1996
- 1996-06-03 JP JP16234596A patent/JPH09313840A/en not_active Withdrawn
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