JPH09300199A - Wire saw system - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent the wire cut at a rotary pulley by providing a servo motor connected to the machining roller so that the wire linear velocity at the rotating pulley and the standard wire linear velocity can be equlized. SOLUTION: Pulleys adapted to guide wire 2 are designated as rotating pulleys 3, 4, 5, 6, and a servo motor 17 is connected rotationally to these pulleys. Wire linear velocity at these rotating pulleys are equalized with the wire standard linear velocity by rotating the servo motot forcedly. So far pulleys 3, 4, 5, 6 are forcedly driven in synchronized condition with the machining roller 11, 12, when the wire 2 reciprocates, the fluctuations of the wire tention can be evaded by rotational friction generated between the wire 2 and the pulleys, and resultantly the wire cut can be prevented.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、極細ワイヤーを用
い、高速で往復走行して加工を行うワイヤーソー装置に
関し、特にワイヤーの断線が少なく耐久性に優れるワイ
ヤーソー装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a wire saw device that uses an ultrafine wire to perform reciprocating traveling at high speed, and more particularly to a wire saw device that has few wire breakages and is excellent in durability.

【０００２】[0002]

【従来の技術】従来のワイヤーソー装置は、特開平１−
１７７９５８号報に開示されている。図５は従来技術に
おけるワイヤーソー装置の模式概略図である。図６は、
従来技術におけるモータ制御回路の結線図である。以下
図５と図６を用いて従来技術のワイヤーソー装置につい
て説明する。2. Description of the Related Art A conventional wire saw device is disclosed in
No. 177958. FIG. 5 is a schematic diagram of a wire saw device in the related art. FIG.
It is a wiring diagram of a motor control circuit in the prior art. A conventional wire saw device will be described below with reference to FIGS. 5 and 6.

【０００３】図５に示すように従来技術におけるワイヤ
ーソー装置４０は、供給リール５４から供給する１本の
切削用ワイヤー２を加工部ロール５３，５３ａ，５３ｂ
に設ける等間隔の溝に巻き付け、加工部ロール５３，５
３ａ，５３ｂの間にワイヤー列を形成し、次いで収納リ
ール５５に巻き取るようにしたもので、前記加工部ロー
ラ５３に往復回転運動を与えて前記ワイヤー列に往復直
進運動をさせ、ワイヤー列に被加工部材１３を押しあて
砥粒を含む加工液を供給しながら被加工部材１３を切削
する。As shown in FIG. 5, in the wire saw device 40 of the prior art, one cutting wire 2 supplied from the supply reel 54 is processed into rolls 53, 53a, 53b.
Wrap around grooves at even intervals provided in
A wire row is formed between 3a and 53b, and then wound around a storage reel 55, and reciprocating rotary motion is given to the processing section roller 53 to cause the wire row to perform a reciprocating rectilinear motion to form a wire row. The member 13 to be processed is cut while pressing the member 13 to be processed and supplying a processing liquid containing abrasive grains.

【０００４】この時、ワイヤーの往復の移動量に差を与
えることにより、ワイヤー２を供給リール５４から収納
リール５５の方向に移動させる。また、前記加工部ロー
ラ５３の往復回転運動をメインモーター４３によって与
え、供給リール５４、及び収納リール５５をそれぞれの
供給リール用モーター４１，収納リール用モータ４２に
よって独立に駆動するようになっている。At this time, the wire 2 is moved from the supply reel 54 to the storage reel 55 by giving a difference in the amount of reciprocal movement of the wire. Further, the reciprocating rotary motion of the processing part roller 53 is given by the main motor 43, and the supply reel 54 and the storage reel 55 are independently driven by the supply reel motor 41 and the storage reel motor 42, respectively. .

【０００５】更に、切削加工精度を確保するために前記
ワイヤー２に一定の張力を与える必要があり、このため
供給リール５４からプーリ５６に至る間、及びプーリ５
７から収納ロール５５に至る間に張力付与手段４８，４
９を有するダンサローラ４６，４７を変位自在に設けて
ある。又、従来技術のワイヤーソー装置４０において
は、切削加工時に加工部ロール５３の外周におけるワイ
ヤーの線速度に対して、供給リール５４および収納リー
ル５５におけるワイヤーの線速度に過不足が生じ、ワイ
ヤーの張力が変動する。このワイヤー張力の変動を吸収
するために、それぞれのダンサローラ４６，４７の位置
が上下に変位するようになっている。Further, it is necessary to apply a constant tension to the wire 2 in order to secure the cutting accuracy, and therefore, the distance from the supply reel 54 to the pulley 56 and the pulley 5 are increased.
7 to the storage roll 55, tension applying means 48, 4
Dancer rollers 46 and 47 having 9 are provided so as to be displaceable. In addition, in the wire saw device 40 of the conventional technique, the wire linear velocities of the supply reel 54 and the storage reel 55 become excessive and deficient with respect to the wire linear velocities on the outer periphery of the processing portion roll 53 during cutting. Tension fluctuates. In order to absorb this fluctuation of the wire tension, the positions of the dancer rollers 46 and 47 are vertically displaced.

【０００６】さらに、前記ダンサローラ４６，４７の位
置を変位センサー４４，４５で検出し、この変位量をモ
ータ制御回路５０，５１にフィードバック量として与
え、変位センサー４４，４５の変位量に応じて供給リー
ル用のモータ４１および収納リール用モーター４２の回
転速度を加減するようになっている。Further, the positions of the dancer rollers 46 and 47 are detected by displacement sensors 44 and 45, and the displacement amount is given to the motor control circuits 50 and 51 as a feedback amount, and is supplied according to the displacement amount of the displacement sensors 44 and 45. The rotation speeds of the reel motor 41 and the storage reel motor 42 are adjusted.

【０００７】[0007]

【発明が解決しようとする課題】しかし、従来例におい
ては、ワイヤー２が高速で往復運動する時、ワイヤー２
を案内するプーリ５６，５７とワイヤー２との間に回転
摩擦力が生じる。このために、ワイヤー張力が変動し、
ワイヤーの断線の原因となる。However, in the conventional example, when the wire 2 reciprocates at a high speed, the wire 2
A rotational friction force is generated between the pulleys 56 and 57 for guiding the wire and the wire 2. Because of this, the wire tension fluctuates,
It may cause wire breakage.

【０００８】また、加工部ロール５３の外周におけるワ
イヤーの線速度に対して、供給リール５４および収納リ
ール５５におけるワイヤーの線速度の過不足をすべてダ
ンサローラの位置を変位させることにより吸収し、さら
に、ダンサローラ４６，４７の位置の変位量に応じて供
給リール用のモータ４１および収納リール用モーター４
２の回転速度を加減する従来のワイヤーソー装置では、
切削加工中にワイヤー２が高速で往復走行する時、ダン
サローラの上下運動に伴い発生するダンサローラ自体の
慣性力が大きく作用し、ワイヤー張力が大きく変動する
ことになる。Further, the excess or deficiency of the linear velocity of the wire on the supply reel 54 and the storage reel 55 with respect to the linear velocity of the wire on the outer periphery of the processing section roll 53 is absorbed by displacing the position of the dancer roller. The supply reel motor 41 and the storage reel motor 4 according to the amount of displacement of the dancer rollers 46 and 47.
In the conventional wire saw device that adjusts the rotation speed of 2,
When the wire 2 reciprocates at a high speed during cutting, the inertial force of the dancer roller itself, which is generated as the dancer roller moves up and down, largely affects the wire tension.

【０００９】また、ダンサローラ４６，４７の位置の変
位量に応じて供給リール用のモータ４１および収納リー
ル用モーター４２の回転速度を加減する従来例において
は、ダンサローラ４６，４７の位置の変位量が大きい
と、ダンサローラ４６，４７の位置を正常な位置に回復
するために、供給リール用のモータ４１および収納リー
ル用モーター４２に加減される回転速度も大きくなり、
発生する加速度変動も大きくなる。したがつて、ワイヤ
ー張力が大きく変動することになる。Further, in the conventional example in which the rotational speeds of the supply reel motor 41 and the storage reel motor 42 are adjusted according to the displacement amounts of the dancer rollers 46 and 47, the displacement amounts of the dancer rollers 46 and 47 are changed. If it is large, in order to restore the positions of the dancer rollers 46 and 47 to the normal positions, the rotational speeds that are adjusted by the supply reel motor 41 and the storage reel motor 42 also increase,
The acceleration fluctuations that occur also increase. Therefore, the wire tension fluctuates greatly.

【００１０】以上のように従来のワイヤーソー装置にお
いては、ワイヤー張力が大きく変動するため、ワイヤー
が断線し易くなる。特にワイヤーの線径が０．１ｍｍ以
下の極細ワイヤーを用いて高速加工する場合は対応が困
難である。As described above, in the conventional wire saw device, the wire tension is greatly changed, so that the wire is easily broken. In particular, it is difficult to handle high-speed processing using an ultrafine wire having a wire diameter of 0.1 mm or less.

【００１１】本発明の目的は、上記課題を解決して、極
細ワイヤーを用いる切削加工において、ワイヤー張力の
変動を小さくすることによりワイヤーの断線を防止でき
るワイヤーソー装置を提供することにある。An object of the present invention is to solve the above problems and to provide a wire saw device capable of preventing wire breakage by reducing fluctuations in the wire tension during cutting using an ultrafine wire.

【００１２】[0012]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明のうち請求項１記載の発明におけるワイヤーソ
ー装置は、１本の切削用ワイヤーと、前記ワイヤーを供
給する供給リールと、前記ワイヤーを案内する複数のプ
ーリと、前記ワイヤーを巻き取る収納リールと、前記ワ
イヤーを巻き付けるための複数の加工部ロールとを備
え、前記加工部ロールに前記ワイヤーを巻き付けて、切
削加工用のワイヤー列を形成し、所定の張力を付与した
前記ワイヤー列を被加工部材に押しあて、前記ワイヤー
を往復走行させながら供給リールから収納リールの方向
に移動させ、砥粒を含む加工液を供給しながら被加工部
材を切削するワイヤーソー装置において、前記供給リー
ル、前記収納リールおよび前記加工部ロールのそれぞれ
に回転結合されたサーボモータと、前記それぞれのサー
ボモータの回転を制御するモータ制御回路と、前記供給
リールおよび前記収納リールでのそれぞれのワイヤーの
線速度を検出するワイヤーの線速度検出手段とを備え、
前記加工部ロールの外周におけるワイヤーの線速度をワ
イヤーの基準線速度とし、前記ワイヤーの基準線速度に
対する前記ワイヤーの線速度検出手段から得られる前記
供給リールおよび前記収納リールでのそれぞれのワイヤ
ーの線速度の過不足に応じて、所定の加速信号或いは減
速信号を前記モータ制御回路に入力することによって、
前記モータ制御回路により前記供給リールおよび収納リ
ールのそれぞれに回転結合されたサーボモータの回転
に、所定の回転速度の増減を行うとともに、前記複数の
プーリのうちの少なくとも１個を動プーリとし、前記動
プーリが前記加工部ロールに回転結合されたサーボモー
タに回転結合され、かつ、前記動プーリでのワイヤーの
線速度と前記ワイヤーの基準線速度とが等しくなるよう
に、前記加工部ロールに回転結合されたサーボモータに
よって強制駆動されていることを特徴とする。In order to achieve the above object, the wire saw device according to the invention of claim 1 of the present invention comprises one cutting wire, a supply reel for supplying the wire, and A plurality of pulleys that guide the wire, a storage reel that winds the wire, and a plurality of processing unit rolls for winding the wire, the processing unit roll is wound with the wire, and a wire row for cutting. And pressing the wire row to which a predetermined tension is applied to the member to be processed, moving the wire from the supply reel toward the storage reel while reciprocating the wire, and while supplying the processing liquid containing abrasive grains. In a wire saw device for cutting a processing member, a supporting member rotationally coupled to each of the supply reel, the storage reel, and the processing unit roll. Comprising a Bomota, a motor control circuit for controlling the rotation of the respective servo motors, and a linear velocity detecting means of the wire for detecting the linear velocity of each wire in the supply reel and the receiving reel,
The linear velocity of the wire on the outer periphery of the processing section roll is set as the reference linear velocity of the wire, and the line of each wire on the supply reel and the storage reel obtained from the linear velocity detection means of the wire with respect to the reference linear velocity of the wire. By inputting a predetermined acceleration signal or deceleration signal to the motor control circuit according to the speed excess or deficiency,
A predetermined rotation speed is increased / decreased with respect to the rotation of the servo motor rotationally coupled to each of the supply reel and the storage reel by the motor control circuit, and at least one of the plurality of pulleys is a moving pulley, A moving pulley is rotatably coupled to a servomotor rotatably coupled to the working roll, and is rotated to the working roll so that the linear velocity of the wire at the dynamic pulley and the reference linear velocity of the wire become equal. It is characterized in that it is forcibly driven by a coupled servo motor.

【００１３】請求項２記載の発明におけるワイヤーソー
装置は、１本の切削用ワイヤーと、前記ワイヤーを供給
する供給リールと、前記ワイヤーを案内する複数のプー
リと、前記ワイヤーを巻き取る収納リールと、前記ワイ
ヤーを巻き付けるための複数の加工部ロールと、前記供
給リールから前記加工部ロールに至る間及び前記加工部
ロールから収納リールに至る間にそれぞれ設ける上下に
移動し前記ワイヤーの張力変動を吸収するためのダンサ
ローラと、前記ダンサローラに設ける張力付与手段とを
備え、前記加工部ロールに前記ワイヤーを巻き付けて、
切削加工用のワイヤー列を形成し、所定の張力を付与し
た前記ワイヤー列を被加工部材に押しあて、前記ワイヤ
ーを往復走行させながら供給リールから収納リールの方
向に移動させ、砥粒を含む加工液を供給しながら被加工
部材を切削するワイヤーソー装置において、前記供給リ
ール、前記収納リールおよび前記加工部ロールのそれぞ
れに回転結合されたそれぞれのサーボモータと、前記サ
ーボモータの回転を制御するモータ制御回路と、前記そ
れぞれのダンサローラの基準位置を挟んで所定の範囲に
上下一対の検出部を有する位置検出器とを備え、前記ダ
ンサローラの基準位置が前記位置検出器における一方の
検出部を超えて他方の検出部を超えるまでの間、所定の
加速信号或いは減速信号を前記モータ制御回路に入力す
ることによって、前記モータ制御回路により前記供給リ
ールおよび収納リールのそれぞれに回転結合されたサー
ボモータの回転に、所定の回転速度の増減を行うととも
に、前記複数のプーリのうちの少なくとも１個を動プー
リとし、前記動プーリが前記加工部ロールに回転結合さ
れたサーボモータに回転結合され、かつ、前記動プーリ
でのワイヤーの線速度と前記加工部ロールの外周部での
ワイヤーの線速度とが等しくなるように、前記加工部ロ
ールに回転結合されたサーボモータによって強制駆動さ
れていることを特徴とする。A wire saw device according to a second aspect of the present invention includes one cutting wire, a supply reel for supplying the wire, a plurality of pulleys for guiding the wire, and a storage reel for winding the wire. , A plurality of processing unit rolls for winding the wire, and provided between the supply reel and the processing unit roll and between the processing unit roll and the storage reel, move vertically and absorb the tension fluctuation of the wire A dancer roller for doing, and a tension applying means provided on the dancer roller, winding the wire around the processing section roll,
Forming a wire row for cutting, pressing the wire row to which a predetermined tension is applied to a member to be processed, moving the wire from the supply reel toward the storage reel while reciprocating the wire, and processing including abrasive grains In a wire saw device that cuts a member to be processed while supplying a liquid, each servo motor rotationally coupled to each of the supply reel, the storage reel, and the processing unit roll, and a motor that controls rotation of the servo motor A control circuit and a position detector having a pair of upper and lower detectors in a predetermined range sandwiching the reference position of each of the dancer rollers, and the reference position of the dancer roller exceeds one detector in the position detector. By inputting a predetermined acceleration signal or deceleration signal to the motor control circuit until the other detection unit is exceeded, The rotation speed of the servo motor rotationally coupled to each of the supply reel and the storage reel by the motor control circuit is increased or decreased by a predetermined rotation speed, and at least one of the plurality of pulleys is a moving pulley. A moving pulley is rotatably coupled to a servomotor that is rotatably coupled to the working roll, and the linear velocity of the wire on the moving pulley and the linear velocity of the wire on the outer circumference of the working roll are equal. , Is forcibly driven by a servo motor rotationally coupled to the processing section roll.

【００１４】請求項３記載の発明におけるワイヤーソー
装置は、１本の切削用ワイヤーと、前記ワイヤーを供給
する供給リールと、前記ワイヤーを案内する複数のプー
リと、前記ワイヤーを巻き取る収納リールと、前記ワイ
ヤーを巻き付けるための複数の加工部ロールと、前記供
給リールから前記加工部ロールに至る間及び前記加工部
ロールから収納リールに至る間にそれぞれ設ける上下に
移動し前記ワイヤーの張力変動を吸収するためのダンサ
ローラと、前記ダンサローラに設ける張力付与手段とを
備え、前記加工部ロールに前記ワイヤーを巻き付けて、
切削加工用のワイヤー列を形成し、所定の張力を付与し
た前記ワイヤー列を被加工部材に押しあて、前記ワイヤ
ーを往復走行させながら供給リールから収納リールの方
向に移動させ、砥粒を含む加工液を供給しながら被加工
部材を切削するワイヤーソー装置において、前記供給リ
ール、前記収納リールおよび前記加工部ロールのそれぞ
れに回転結合されたサーボモータと、前記それぞれのサ
ーボモータの回転を制御するモータ制御回路と、前記供
給リールおよび前記収納リールでのそれぞれのワイヤー
の線速度を検出するワイヤーの線速度検出手段と、前記
それぞれのダンサローラの基準位置を挟んで所定の範囲
に上下一対の検出部を有する位置検出器とを備え、前記
加工部ロールの外周におけるワイヤーの線速度をワイヤ
ーの基準線速度とし、前記ワイヤーの基準線速度に対す
る前記ワイヤーの線速度検出手段から得られる前記供給
リールおよび前記収納リールでのそれぞれのワイヤーの
線速度の過不足に応じて、所定の加速信号或いは減速信
号を前記モータ制御回路に入力することによって、前記
モータ制御回路により前記供給リールおよび収納リール
のそれぞれに回転結合されたサーボモータの回転に、所
定の回転速度の増減を行うとともに、前記ダンサローラ
の基準位置が前記位置検出器における一方の検出部を超
えて他方の検出部を超えるまでの間、所定の加速信号或
いは減速信号を前記モータ制御回路に入力することによ
って、前記モータ制御回路により前記供給リールおよび
収納リールのそれそれに回転結合されたサーボモータに
所定の回転速度の増減を行い、前記複数のプーリのうち
の少なくとも１個を動プーリとし、前記動プーリが前記
加工部ロールに回転結合されたサーボモータに回転結合
され、あわせて前記動プーリでのワイヤーの線速度と前
記ワイヤーの基準線速度とが等しくなるように、前記加
工部ロールに回転結合されたサーボモータによって強制
駆動されているいることを特徴とする。A wire saw device according to a third aspect of the present invention includes one cutting wire, a supply reel for supplying the wire, a plurality of pulleys for guiding the wire, and a storage reel for winding the wire. , A plurality of processing unit rolls for winding the wire, and provided between the supply reel and the processing unit roll and between the processing unit roll and the storage reel, move vertically and absorb the tension fluctuation of the wire A dancer roller for doing, and a tension applying means provided on the dancer roller, winding the wire around the processing section roll,
Forming a wire row for cutting, pressing the wire row to which a predetermined tension is applied to a member to be processed, moving the wire from the supply reel toward the storage reel while reciprocating the wire, and processing including abrasive grains In a wire saw device for cutting a member to be processed while supplying a liquid, a servo motor rotationally coupled to each of the supply reel, the storage reel, and the processing unit roll, and a motor for controlling the rotation of each servo motor. A control circuit, wire linear velocity detecting means for detecting the linear velocity of each wire on the supply reel and the storage reel, and a pair of upper and lower detectors in a predetermined range with the reference position of each dancer roller interposed therebetween. With a position detector having, the linear velocity of the wire in the outer periphery of the processing portion roll and the reference linear velocity of the wire A predetermined acceleration signal or a deceleration signal according to the excess or deficiency of the linear velocities of the respective wires on the supply reel and the storage reel obtained from the linear velocity detection means of the wire with respect to the reference linear velocity of the wire, By inputting to the control circuit, the rotation speed of the servo motor rotationally coupled to each of the supply reel and the storage reel by the motor control circuit is increased or decreased by a predetermined rotation speed, and the reference position of the dancer roller is set to the position. By inputting a predetermined acceleration signal or deceleration signal to the motor control circuit until it exceeds one detection unit and the other detection unit in the detector, the motor control circuit controls the supply reel and the storage reel. The servo motor rotationally coupled to it increases or decreases the predetermined rotation speed, Of at least one of the number of pulleys is a dynamic pulley, the dynamic pulley is rotationally coupled to a servomotor that is rotationally coupled to the processing section roll, and the linear velocity of the wire on the dynamic pulley and the reference of the wire are also combined. It is characterized in that it is forcibly driven by a servomotor rotationally coupled to the processing section roll so that the linear velocity becomes equal.

【００１５】請求項４記載の発明におけるワイヤー装置
は、請求項１、または請求項３記載の構成のうち、前記
供給リールおよび前記収納リールでのそれぞれのワイヤ
ーの線速度を検出するワイヤーの線速度検出手段とし
て、前記供給リールおよび前記収納リールでのそれぞれ
のワイヤーに押し当てられ、かつワイヤーの線速度に追
従して回転するワイヤーの線速度検出用ローラと、前記
ワイヤーの線速度検出用ローラに回転結合されているエ
ンコーダとを設けることを特徴とする。According to a fourth aspect of the invention, in the wire device of the first or third aspect, the linear velocity of the wire for detecting the linear velocity of each wire on the supply reel and the storage reel is detected. As the detection means, a linear velocity detection roller for the wire that is pressed against the respective wires of the supply reel and the storage reel and rotates following the linear velocity of the wire, and a linear velocity detection roller for the wire. A rotary encoder is provided.

【００１６】[0016]

【作用】次に本発明の作用について説明する。図４に示
すように本発明のワイヤーソー装置１は、装置全体を制
御する主制御装置２８を備えており前記主制御装置２８
から、それぞれのモーター制御回路１９，２０，２１に
指令を与え、供給リール１４、加工部ロール１１，１
２、および収納リール１５のそれぞれに回転結合された
サーボモータ１６，１７，１８に回転速度および回転方
向を指示する。Next, the operation of the present invention will be described. As shown in FIG. 4, the wire saw device 1 of the present invention includes a main controller 28 that controls the entire device.
Command the respective motor control circuits 19, 20, 21 from the supply reel 14 and the processing unit rolls 11, 1.
The rotation speed and the rotation direction are instructed to the servo motors 16, 17, and 18 which are rotatably coupled to each of the storage reel 15 and the storage reel 15.

【００１７】この時の加工部ロール１１，１２の外周部
におけるワイヤーの線速度をワイヤーの基準線速度とす
る。また、供給リール１４、収納リール１５でのそれぞ
れのワイヤーの線速度がワイヤーの基準線速度と等しく
なるように供給リール１４、収納リール１５でのワイヤ
ーの巻き径に応じて回転速度を設定する。At this time, the linear velocity of the wire on the outer peripheral portions of the processing portion rolls 11 and 12 is used as the reference linear velocity of the wire. Further, the rotation speed is set according to the winding diameter of the wire on the supply reel 14 and the storage reel 15 so that the linear speed of each wire on the supply reel 14 and the storage reel 15 becomes equal to the reference linear speed of the wire.

【００１８】さらに図２に示すようにワイヤー２を案内
するためのプーリの一部を動プーリ３，４，５，６と
し、サーボモーター１７と回転結合する。また前記動プ
ーリ３，４，５，６でのワイヤーの線速度を、ワイヤー
の基準線速度と等しくなるようにして、サーボモータ１
７によって強制駆動する。これによって、前記加工部ロ
ーラ１１，１２と前記動プーリ３，４，５，６とは同一
駆動源であるサーボモータ１７によって同期状態で回転
駆動される。Further, as shown in FIG. 2, a part of a pulley for guiding the wire 2 is made into moving pulleys 3, 4, 5 and 6, which is rotationally coupled to the servo motor 17. Further, the linear velocity of the wire on the moving pulleys 3, 4, 5 and 6 is made equal to the reference linear velocity of the wire so that the servo motor 1
7 forcibly drives. As a result, the processing section rollers 11 and 12 and the moving pulleys 3, 4, 5 and 6 are rotationally driven in synchronization by the servo motor 17 which is the same drive source.

【００１９】したがって、本発明のワイヤー装置１にお
ける運転初期の各部ワイヤーの線速度は等しく保たれ
る。さらに前述したように前記動プーリ３，４，５，６
を前記加工部ロール１１，１２と同期状態で強制駆動す
ることでワイヤー２が往復運動するときに発生するワイ
ヤー２とプーリの回転摩擦による張力変動を回避し、ワ
イヤーの断線を防止する事ができる。Therefore, in the wire device 1 of the present invention, the linear velocities of the respective parts of the wire at the initial stage of operation are kept equal. Further, as described above, the moving pulleys 3, 4, 5, 6
It is possible to prevent the wire breakage by avoiding the tension fluctuation caused by the rotational friction between the wire 2 and the pulley, which occurs when the wire 2 reciprocates, by forcibly driving the wire in synchronization with the processing rolls 11 and 12. .

【００２０】また、切削加工中、ワイヤーの線速度検出
手段３７，３８は、前記供給リール１４および前記収納
リール１５でのそれぞれのワイヤーの線速度を検出し、
前記ワイヤーの基準線速度と比較する。そして、両者の
ワイヤーの線速度に過不足があれば、ワイヤーの線速度
検出手段３７，３８は、モーター制御回路１９，２１に
対して、所定の加速信号あるいは減速信号をフィードバ
ックし、前記供給リール１４、および収納リール１５の
それぞれに回転結合されたサーボモータ１６，１８の回
転に、所定の回転速度の増減を行う。During the cutting process, the wire linear velocity detecting means 37, 38 detect the linear velocity of each wire on the supply reel 14 and the storage reel 15,
Compare with the reference linear velocity of the wire. If there is an excess or deficiency in the linear velocities of the two wires, the linear velocity detecting means 37, 38 of the wires feed back a predetermined acceleration signal or deceleration signal to the motor control circuits 19, 21 to supply the supply reel. A predetermined rotation speed is increased / decreased for the rotations of the servomotors 16 and 18 which are rotationally coupled to 14 and the storage reel 15, respectively.

【００２１】この結果、前記ワイヤーの基準線速度に対
する、前記供給リール１４および前記収納リール１５で
のそれぞれのワイヤーの線速度の過不足が調整される。
この時、ワイヤーの線速度の過不足の大きさに関係せず
に、サーボモータ１６，１８の回転に対して、所定の回
転速度が増減されるため、ワイヤー２に発生する張力の
変動は所定の範囲に押さえられ、ワイヤーの断線を防止
する事ができる。As a result, the excess or deficiency of the linear velocities of the wires on the supply reel 14 and the storage reel 15 with respect to the reference linear velocity of the wire is adjusted.
At this time, the predetermined rotation speed is increased or decreased with respect to the rotations of the servomotors 16 and 18 regardless of whether the linear speed of the wire is excessive or insufficient. It is possible to prevent wire breakage by being held within the range.

【００２２】一方、ワイヤーの基準線速度と、前記供給
リール１４でのワイヤーの線速度とに過不足が生じる
と、その過不足量に対応して前記ダンサローラ２４が上
下に移動する。この時、図４に示すように前記ダンサロ
ーラ２４の基準位置２４ａが、位置検出器２６における
一方の検出部２６ａを超えると、所定の加速信号、或い
は減速信号を前記モータ制御回路１９に入力することに
よって、前記供給リール１４に回転結合されたサーボモ
ータ１６の回転に、所定の回転速度の増減を行う。これ
によってダンサローラ２４は他方の検出部２６ｂの方向
に移動する。On the other hand, if the reference linear velocity of the wire and the linear velocity of the wire on the supply reel 14 become excessive or deficient, the dancer roller 24 moves up and down in correspondence with the excess or deficiency. At this time, as shown in FIG. 4, when the reference position 24a of the dancer roller 24 exceeds one detection portion 26a of the position detector 26, a predetermined acceleration signal or deceleration signal is input to the motor control circuit 19. The rotation speed of the servo motor 16 rotationally coupled to the supply reel 14 is increased or decreased by a predetermined rotation speed. As a result, the dancer roller 24 moves toward the other detecting portion 26b.

【００２３】更に前記ダンサローラ２４の基準位置２４
ａが、位置検出器２６における他方の検出部２６ｂを超
えると、所定の加速信号或いは減速信号を前記モータ制
御回路１９に入力することによって、前記供給リール１
４に回転結合されたサーボモータ１６の回転に、所定の
回転速度の増減を行う。この結果ダンサローラ２４は再
び一方の検出部２６ａの方向に移動する。Further, the reference position 24 of the dancer roller 24
When a exceeds the other detecting portion 26b of the position detector 26, a predetermined acceleration signal or deceleration signal is input to the motor control circuit 19, whereby the supply reel 1
The rotation speed of the servo motor 16 rotationally coupled to 4 is increased or decreased by a predetermined rotation speed. As a result, the dancer roller 24 moves again toward the one detection portion 26a.

【００２４】同様に、ワイヤーの基準線速度と、前記収
納リール１５でのワイヤーの線速度とに過不足が生じる
と、その過不足量に対応して前記ダンサローラ２５が上
下に移動する。この時、前記ダンサローラ２５の基準位
置２５ａが、位置検出器２７における一方の検出部２７
ａを超えると所定の加速信号或いは減速信号を前記モー
タ制御回路２１に入力することによって、前記収納リー
ル１５に回転結合されたサーボモータ１８の回転に、所
定の回転速度の増減を行う。この結果ダンサローラ２５
は他方の検出部２７ｂの方向に移動する。Similarly, when the reference linear velocity of the wire and the linear velocity of the wire on the storage reel 15 become excessive or insufficient, the dancer roller 25 moves up and down in correspondence with the excess or insufficient amount. At this time, the reference position 25a of the dancer roller 25 is set to the one detection portion 27 of the position detector 27.
When a is exceeded, a predetermined acceleration signal or deceleration signal is input to the motor control circuit 21 to increase or decrease a predetermined rotation speed in the rotation of the servo motor 18 rotationally coupled to the storage reel 15. As a result, dancer roller 25
Moves in the direction of the other detector 27b.

【００２５】更に前記ダンサローラ２５の基準位置２５
ａが、位置検出器２７における他方の検出部２７ｂを超
えると、所定の加速信号或いは減速信号を前記モータ制
御回路２１に入力することによって、前記収納リール１
５に回転結合されたサーボモータ１８の回転に、所定の
回転速度の増減を行う。この結果ダンサローラ２５は再
び一方の検出部２７ａの方向に移動する。Further, the reference position 25 of the dancer roller 25
When a exceeds the other detection portion 27b of the position detector 27, a predetermined acceleration signal or deceleration signal is input to the motor control circuit 21, whereby the storage reel 1
A predetermined rotation speed is increased / decreased with respect to the rotation of the servo motor 18 rotationally coupled to 5. As a result, the dancer roller 25 moves again toward the one detection portion 27a.

【００２６】このように、ダンサローラ２４，２５は所
定の範囲で上下運動を繰り返すことにより、ワイヤーの
基準線速度に対する前記供給リール１４、あるいは収納
リール１５でのワイヤーの線速度の過不足を一時的に吸
収する。さらに、位置検出器２６，２７からの信号によ
って、サーボモータ１６，１８の回転に対して増減され
る回転速度が所定の値であるため、ワイヤー２に発生す
る張力の変動は、所定の範囲に押さえられ、ワイヤーの
断線を防止する事ができる。As described above, the dancer rollers 24 and 25 repeat the vertical movement within a predetermined range, so that the excess or deficiency of the linear velocity of the wire on the supply reel 14 or the storage reel 15 with respect to the reference linear velocity of the wire is temporarily. Absorb into. Furthermore, since the rotation speed that is increased or decreased with respect to the rotation of the servo motors 16 and 18 is a predetermined value by the signals from the position detectors 26 and 27, the fluctuation of the tension generated in the wire 2 is within a predetermined range. It can be pressed down to prevent wire breakage.

【００２７】更にダンサローラ２４，２５に設けるワイ
ヤーの張力付与手段２９，３０として慣性の小さいトル
クモータを採用することにより、ダンサローラ２４，２
５が移動する間、ワイヤー張力を一定に保つことができ
る。又、ダンサローラ２４，２５が移動方向を変えると
きに発生するワイヤー張力の変動を小さくすることがで
きる。以上によりワイヤーの断線を防止することができ
る。Further, by adopting a torque motor having a small inertia as the wire tension imparting means 29, 30 provided on the dancer rollers 24, 25, the dancer rollers 24, 2 are provided.
The wire tension can be kept constant during the movement of 5. Further, it is possible to reduce the fluctuation of the wire tension that occurs when the dancer rollers 24, 25 change the moving direction. As described above, the wire breakage can be prevented.

【００２８】[0028]

【発明の実施の形態】以下に本発明を実施するための最
良な形態におけるワイヤーソー装置を図面を用いて説明
する。図１は本発明の実施形態におけるワイヤーソー装
置を説明するための模式斜視図である。図２は、本発明
の実施形態におけるワイヤーソー装置の一部を示す模式
斜視図である。図３は本発明の実施形態におけるワイヤ
ーの往復送り運動を説明するための模式図である。図４
は本発明の実施形態におけるワイヤーソー装置を説明す
るための模式図である。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION A wire saw device in the best mode for carrying out the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic perspective view for explaining a wire saw device according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a schematic perspective view showing a part of the wire saw device according to the embodiment of the present invention. FIG. 3 is a schematic diagram for explaining the reciprocating movement of the wire in the embodiment of the present invention. FIG.
FIG. 3 is a schematic diagram for explaining a wire saw device according to an embodiment of the present invention.

【００２９】図１に示すように、本発明におけるワイヤ
ーソー装置１は、供給リール１４から供給する１本の切
削用ワイヤー２を加工部ロール１１，１２に設ける複数
の溝に巻き付け、加工部ロール１１，１２の間にワイヤ
ー列を形成し、次いで収納リール１５に巻き取るように
したもので、前記加工部ローラ１１，１２に往復回転運
動を与えて前記ワイヤー列に往復直進運動をさせ、ワイ
ヤー列に被加工部材１３を押しあて砥粒を含む加工液を
供給しながら被加工部材１３を切削する。As shown in FIG. 1, in the wire saw device 1 according to the present invention, one cutting wire 2 supplied from the supply reel 14 is wound around a plurality of grooves provided in the processing section rolls 11 and 12, and the processing section roll is provided. A wire row is formed between 11, 12 and then wound around a storage reel 15. The processing section rollers 11, 12 are reciprocally rotated to cause the wire row to make a reciprocating rectilinear motion. The member 13 to be processed is cut while the member 13 to be processed is pressed against the row to supply a processing liquid containing abrasive grains.

【００３０】図２に示すように、前記加工部ロール１
１、１２は、それぞれ歯車７、９に回転結合し、歯車８
を介してサーボモータ１７と回転結合する。前記加工部
ロール１１，１２の外周部におけるワイヤーの線速度を
ワイヤーの基準線速度とする。As shown in FIG. 2, the processing section roll 1
1 and 12 are rotationally coupled to gears 7 and 9, respectively, and gear 8
It is rotationally coupled to the servomotor 17 via. The linear velocity of the wire in the outer peripheral portions of the processing unit rolls 11 and 12 is set as a reference linear velocity of the wire.

【００３１】さらに、ワイヤー２を案内するためのプー
リの一部を動プーリ３，４，５，６とし、前記動プーリ
３，４，５，６を、前記歯車８とサーボモーター１７の
間で回転結合されているプーリと、前記動プーリ３，
４，５，６に回転結合されているプーリとを介してタイ
ミングベルト１０によりサーボモータ１７に回転結合さ
れている。また動プーリ３，４，５，６の外径および前
記プーリの外径は、前記動プーリ３，４，５，６でのワ
イヤーの線速度と、ワイヤーの基準線速度とが等しくな
るように設定されている。Further, a part of the pulley for guiding the wire 2 is a moving pulley 3, 4, 5, 6 and the moving pulley 3, 4, 5, 6 is provided between the gear 8 and the servomotor 17. The pulley that is rotationally coupled to the moving pulley 3,
The timing belt 10 is rotationally coupled to the servo motor 17 via pulleys rotationally coupled to 4, 5, and 6. Further, the outer diameters of the moving pulleys 3, 4, 5, 6 and the outer diameter of the pulley are such that the linear velocity of the wire in the dynamic pulleys 3, 4, 5, 6 becomes equal to the reference linear velocity of the wire. It is set.

【００３２】また、図１に示すように、供給リール１
４、収納リール１５は、それぞれのサーボモータ１６，
１８に回転結合されていて、それぞれのワイヤーの線速
度もワイヤーの基準線速度と等しくなるように供給リー
ル１４、収納リール１５でのワイヤーの巻き径に応じて
回転速度を設定し、それぞれのサーボモータ１６，１８
によって回転駆動される。Further, as shown in FIG. 1, the supply reel 1
4, the storage reel 15, the servo motor 16,
The rotary speed is set in accordance with the winding diameter of the wire on the supply reel 14 and the storage reel 15 so that the linear velocity of each wire is also equal to the reference linear velocity of the wire. Motor 16, 18
Is driven to rotate.

【００３３】さらに、供給リール１４、収納リール１５
には、それぞれワイヤーの線速度検出手段３７，３８が
設けられている。前記ワイヤーの線速度検出手段３７
は、ワイヤーの線速度検出用ローラ３３とバネ３５を有
し、同じように，前記ワイヤーの線速度検出手段３８
は、ワイヤーの線速度検出用ローラ３４とバネ３６を有
する。前記ワイヤーの線速度検出用ローラ３３は、前記
供給リール１４におけるワイヤーの巻き径部に前記バネ
３５により押しつけられ、接触することによって、前記
供給リール１４と同期回転する。さらにワイヤーの線速
度検出用ローラ３３に回転結合されているエンコーダ２
２によって、回転速度を検出し、これをワイヤーの線速
度に換算し、前記供給リール１４でのワイヤーの線速度
を検出する。Further, the supply reel 14 and the storage reel 15
Are provided with wire linear velocity detecting means 37 and 38, respectively. Linear velocity detecting means 37 for the wire
Has a wire linear velocity detecting roller 33 and a spring 35, and similarly, the wire linear velocity detecting means 38
Has a roller 34 for detecting the linear velocity of the wire and a spring 36. The linear velocity detecting roller 33 of the wire is rotated in synchronization with the supply reel 14 by being pressed against and brought into contact with the winding diameter portion of the wire of the supply reel 14 by the spring 35. Further, the encoder 2 rotatably coupled to the linear velocity detecting roller 33 of the wire
2, the rotational speed is detected, converted into the linear speed of the wire, and the linear speed of the wire on the supply reel 14 is detected.

【００３４】同様に、前記ワイヤーの線速度検出用ロー
ラ３４は、前記収納リール１５におけるワイヤーの巻き
径部に前記バネ３６により押しつけられ、接触すること
によって、前記収納リール１５と同期回転する。さらに
ワイヤーの線速度検出用ローラ３４に回転結合されてい
るエンコーダ２３によって、回転速度を検出し、これを
ワイヤーの線速度に換算し、前記収納リール１５でのワ
イヤーの線速度を検出する。Similarly, the linear velocity detecting roller 34 of the wire is rotated in synchronization with the storage reel 15 by being pressed against and brought into contact with the wire winding diameter portion of the storage reel 15 by the spring 36. Further, the encoder 23 rotationally coupled to the wire linear velocity detection roller 34 detects the rotational velocity, converts the rotational velocity into the linear velocity of the wire, and detects the linear velocity of the wire on the storage reel 15.

【００３５】また、ワイヤー２は、プーリ３１と動プー
リ６との間、およびプーリ３２と動プーリ４との間で、
ダンサローラ２４，２５を上下方向に変位自在に支持し
ている。前記ダンサローラ２４，２５は、張力付与手段
２９，３０に連結されている。前記張力付与手段２９，
３０としては、重り、定加重のバネ、トルクモーター等
が使用されるが、トルクモータが最も好ましく本実施形
態においては、慣性の小さいトルクモータを採用するこ
とによって、ワイヤー２に常に一定の張力を与えてい
る。The wire 2 is connected between the pulley 31 and the moving pulley 6 and between the pulley 32 and the moving pulley 4.
The dancer rollers 24, 25 are supported so as to be vertically displaceable. The dancer rollers 24, 25 are connected to tension applying means 29, 30. The tension applying means 29,
A weight, a constant weighted spring, a torque motor, or the like is used as 30, and a torque motor is most preferable. In the present embodiment, a torque motor having a small inertia is used to constantly apply a constant tension to the wire 2. I'm giving.

【００３６】さらに、前記ダンサローラ２４，２５の近
傍に、前記ダンサローラ２４，２５のそれぞれの位置を
検出するための位置検出器２６，２７を設ける。また図
４に示すように前記位置検出器２６は上下一対の検出部
２６ａ、２６ｂを有し、前記位置検出器２７は上下一対
の検出部２７ａ、２７ｂを有する。Further, position detectors 26 and 27 for detecting the respective positions of the dancer rollers 24 and 25 are provided near the dancer rollers 24 and 25. Further, as shown in FIG. 4, the position detector 26 has a pair of upper and lower detectors 26a and 26b, and the position detector 27 has a pair of upper and lower detectors 27a and 27b.

【００３７】本実施形態においては、位置検出器２６，
２７は、非接触方式とし、前記位置検出部２６ａ、２６
ｂ、２７ａ、２７ｂにホトセンサーを設け、前記ダンサ
ローラ２４，２５の位置を検出している。前記位置検出
器２６，２７は、接触方式と非接触方式があり、いずれ
も使用できるが、ワイヤー張力に変動を与えないように
するためには、非接触方式が好ましい。In this embodiment, the position detector 26,
27 is a non-contact type, and the position detection units 26a, 26
Photosensors are provided at b, 27a, and 27b to detect the positions of the dancer rollers 24 and 25. The position detectors 26 and 27 include a contact type and a non-contact type, both of which can be used, but the non-contact type is preferable in order to prevent fluctuations in the wire tension.

【００３８】なお、前記検出部２６ａから前記検出部２
６ｂまでの距離、および前記検出部２７ａから前記検出
部２７ｂまでの距離は、特に制限されるものではない
が、本実施形態においては、それぞれ６０ｍｍとした。The detecting section 26a to the detecting section 2
The distance to 6b and the distance from the detection unit 27a to the detection unit 27b are not particularly limited, but in the present embodiment, they are 60 mm.

【００３９】また、図４に示すように、本発明のワイヤ
ーソー装置１は、装置全体を制御する主制御装置２８を
備えており、モーター制御回路１９，２０，２１は、前
記それぞれのサーボモーター１６，１７，１８にそれぞ
れ接続されており、かつ前記主制御装置２８の制御下に
置かれている。また前記モーター制御回路１９は、フィ
ードバック制御のために、前記位置検出器２６およびワ
イヤーの線速度検出手段を構成するエンコーダ２２と接
続されている。同じく前記モーター制御回路２１は、フ
ィードバック制御のために、前記位置検出器２７および
ワイヤーの線速度検出手段を構成するエンコーダ２３と
接続されている。Further, as shown in FIG. 4, the wire saw device 1 of the present invention is provided with a main controller 28 for controlling the entire device, and the motor control circuits 19, 20, 21 are provided with the respective servo motors. 16, 17 and 18, respectively, and are under the control of the main controller 28. Further, the motor control circuit 19 is connected to the position detector 26 and the encoder 22 constituting a linear velocity detecting means of the wire for feedback control. Similarly, the motor control circuit 21 is connected to the position detector 27 and the encoder 23 constituting the linear velocity detecting means of the wire for feedback control.

【００４０】次に本実施形態におけるワイヤーソー装置
１を運転する場合について説明する。まず主制御装置２
８からそれぞれのモーター制御回路１９，２０，２１に
指令を与え、供給リール１４、加工部ロール１１，１
２、および収納リール１５のそれぞれに回転結合された
前記サーボモータ１６，１７，１８に回転速度および回
転方向を指示する。この時、一定の周期でかつ同期状態
のもとでの回転方向指令にもとずき、サーボモータ１
６，１７，１８の回転方向を反転させていくことによっ
て、ワイヤー２に往復送り運動を与える。Next, the case of operating the wire saw device 1 in this embodiment will be described. First, main controller 2
8 gives commands to the respective motor control circuits 19, 20, 21 to supply reel 14, processing unit rolls 11, 1
The rotation speed and the rotation direction are instructed to the servomotors 16, 17 and 18 which are rotatably coupled to 2 and the storage reel 15, respectively. At this time, based on the rotation direction command at a constant cycle and under the synchronous condition, the servo motor 1
By reversing the rotation directions of 6, 17, and 18, the wire 2 is given a reciprocating movement.

【００４１】すなわち前記サーボモータ１６，１７，１
８の回転方向は、図３に示すように、一定の時間の間、
正転方向に回転し、それに続く短い一定の時間で反転
し、逆転方向に回転することによって１サイクルを完了
し、これを繰り返していく。この結果ワイヤー２は往復
送り運動を繰り返しながら供給リール１４から収納リー
ル１５の方向に移動していく。そして、前記加工部ロー
ラ１１，１２の間で前記ワイヤー列に往復直進運動をさ
せ、ワイヤー列に被加工部材１３を押しあて砥粒を含む
加工液を供給しながら被加工部材１３を切削する。That is, the servomotors 16, 17, 1
As shown in FIG. 3, the rotation direction of 8 is as follows:
One cycle is completed by rotating in the forward rotation direction, then reversing in a short fixed time thereafter, and rotating in the reverse rotation direction, and this is repeated. As a result, the wire 2 moves from the supply reel 14 to the storage reel 15 while repeating the reciprocating movement. Then, the wire array is reciprocally moved linearly between the processing unit rollers 11 and 12, and the member to be processed 13 is pressed against the wire array to supply the processing liquid containing abrasive grains to cut the member to be processed 13.

【００４２】これによって本発明のワイヤー装置１にお
ける運転初期の各部ワイヤーの線速度はワイヤーの基準
線速度に維持されている。しかし切削加工が進むにした
がって、供給リール１４でのワイヤーの巻き径が減少
し、ワイヤーの基準線速度に対して供給リール１４での
ワイヤー線速度が小さくなる。この時、ワイヤーの線速
度検出用ローラ３３とエンコーダ２２からなるワイヤー
の線速度検出手段３７が、前記供給リール１４でのワイ
ヤーの線速度を検出し、前記ワイヤーの基準線速度と比
較する。As a result, the linear velocity of each part wire in the initial stage of operation in the wire device 1 of the present invention is maintained at the reference linear velocity of the wire. However, as the cutting process progresses, the winding diameter of the wire on the supply reel 14 decreases, and the wire linear velocity on the supply reel 14 becomes smaller than the reference linear velocity of the wire. At this time, the wire linear velocity detecting means 37 including the wire linear velocity detecting roller 33 and the encoder 22 detects the linear velocity of the wire on the supply reel 14 and compares it with the reference linear velocity of the wire.

【００４３】前記供給リール１４でのワイヤーの線速度
は、前記ワイヤーの基準線速度より小さいから、ワイヤ
ーの線速度検出手段３７から所定の加速信号を前記モー
タ制御回路１９に入力する。前記モータ制御回路１９
は、前記供給リール１４に回転結合されたサーボモータ
１６の回転に対して、前記サーボモータ１６の、その時
の回転速度の３％を増加をした回転速度を指令する。Since the linear velocity of the wire on the supply reel 14 is smaller than the reference linear velocity of the wire, a predetermined acceleration signal is inputted from the linear velocity detecting means 37 of the wire to the motor control circuit 19. The motor control circuit 19
For the rotation of the servo motor 16 rotationally coupled to the supply reel 14, the rotation speed of the servo motor 16 is increased by 3% of the current rotation speed.

【００４４】同じように収納リール１５でのワイヤーの
巻き径が増大し、ワイヤーの基準線速度に対して収納リ
ール１５でのワイヤー線速度が大きくなる。この時、ワ
イヤーの線速度検出用ローラ３４とエンコーダ２３から
なるワイヤーの線速度検出手段３８が、前記収納リール
１５でのワイヤーの線速度を検出し、前記ワイヤーの基
準線速度と比較する。Similarly, the winding diameter of the wire in the storage reel 15 increases, and the wire linear velocity in the storage reel 15 becomes larger than the reference linear velocity of the wire. At this time, the wire linear velocity detecting means 38 including the wire linear velocity detecting roller 34 and the encoder 23 detects the linear velocity of the wire on the storage reel 15 and compares it with the reference linear velocity of the wire.

【００４５】前記収納リール１５でのワイヤーの線速度
は、前記ワイヤーの基準線速度より大きいから、ワイヤ
ーの線速度検出手段３８から所定の減速信号を前記モー
タ制御回路２１に入力する。前記モータ制御回路２１
は、前記収納リール１５に回転結合されたサーボモータ
１８の回転に対して、前記サーボモータ１８の、その時
の回転速度の３％を減少した回転速度を指令する。Since the linear velocity of the wire in the storage reel 15 is higher than the reference linear velocity of the wire, a predetermined deceleration signal is input from the linear velocity detecting means 38 of the wire to the motor control circuit 21. The motor control circuit 21
For the rotation of the servo motor 18 rotationally coupled to the storage reel 15, the rotation speed of the servo motor 18 reduced by 3% of the current rotation speed is commanded.

【００４６】一方、ワイヤーの基準線速度と、前記供給
リール１４でのワイヤーの線速度とに過不足が生じる
と、その過不足量に対応して前記ダンサローラ２４の位
置が上下に移動する。この時、図４に示すように前記ダ
ンサローラ２４の基準位置２４ａが、位置検出器２６に
おける一方の検出部２６ａを超えると、所定の加速信号
或いは減速信号を前記モータ制御回路１９に入力するこ
とによって、前記供給リール１４に回転結合されたサー
ボモータ１６の回転にに対して、前記サーボモータ１６
の、その時の回転速度の３％を増減した回転速度を指令
する。この結果ダンサローラ２４は他方の検出部２６ｂ
の方向に移動する。On the other hand, when the reference linear velocity of the wire and the linear velocity of the wire on the supply reel 14 become excessive or deficient, the position of the dancer roller 24 moves up and down corresponding to the excess or deficiency. At this time, as shown in FIG. 4, when the reference position 24a of the dancer roller 24 exceeds one detection unit 26a of the position detector 26, a predetermined acceleration signal or deceleration signal is input to the motor control circuit 19. In response to the rotation of the servo motor 16 rotationally coupled to the supply reel 14, the servo motor 16
, The rotational speed increased or decreased by 3% of the rotational speed at that time is commanded. As a result, the dancer roller 24 detects the other detector 26b.
Move in the direction of.

【００４７】更に前記ダンサローラ２４の基準位置２４
ａが、位置検出器２６における他方の検出部２６ｂを超
えると、所定の加速信号或いは減速信号を前記モータ制
御回路１９に入力することによって、前記供給リール１
４に回転結合されたサーボモータ１６の回転に対して、
前記サーボモータ１６の、その時の回転速度の３％を増
減した回転速度を指令する。この結果ダンサローラ２４
は再び一方の検出部２６ａの方向に移動する。Further, the reference position 24 of the dancer roller 24
When a exceeds the other detecting portion 26b of the position detector 26, a predetermined acceleration signal or deceleration signal is input to the motor control circuit 19, whereby the supply reel 1
For rotation of the servo motor 16 rotationally coupled to 4,
The rotation speed of the servo motor 16 is increased or decreased by 3% of the rotation speed at that time. As a result, dancer roller 24
Moves again to the one detector 26a.

【００４８】同様に、ワイヤーの基準線速度と、前記収
納リール１５でのワイヤーの線速度とに過不足が生じる
と、その過不足量に対応して前記ダンサローラ２５の位
置が上下に移動する。この時図４に示すように前記ダン
サローラ２５の基準位置２５ａが、位置検出器２７にお
ける一方の検出部２７ａを超えると所定の加速信号或い
は減速信号を前記モータ制御回路２１に入力することに
よって、前記収納リール１５に回転結合されたサーボモ
ータ１８の回転に対して前記サーボモータ１８の、その
時の回転速度の３％を増減した回転速度を指令する。こ
の結果ダンサローラ２５は他方の検出部２７ｂの方向に
移動する。Similarly, when the reference linear velocity of the wire and the linear velocity of the wire on the storage reel 15 become excessive or insufficient, the position of the dancer roller 25 moves up and down in correspondence with the excess or insufficient amount. At this time, as shown in FIG. 4, when the reference position 25a of the dancer roller 25 exceeds one detection unit 27a of the position detector 27, a predetermined acceleration signal or deceleration signal is input to the motor control circuit 21, thereby For the rotation of the servo motor 18 rotationally coupled to the storage reel 15, the rotation speed of the servo motor 18 is increased or decreased by 3% of the rotation speed at that time. As a result, the dancer roller 25 moves toward the other detector 27b.

【００４９】更に前記ダンサローラ２５の基準位置２５
ａが、前記位置検出器２７における他方の検出部２７ｂ
を超えると、所定の加速信号或いは減速信号を前記モー
タ制御回路２１に入力することによって前記収納リール
１５に回転結合されたサーボモータ１８の回転に対し
て、前記サーボモータ１８の、その時の回転速度の３％
を増減した回転速度を指令する。この結果ダンサローラ
２５は再び一方の検出部２７ａの方向に移動する。Further, the reference position 25 of the dancer roller 25
a is the other detector 27b in the position detector 27.
When the value exceeds the predetermined value, a predetermined acceleration signal or deceleration signal is input to the motor control circuit 21 to rotate the servo motor 18 rotationally coupled to the storage reel 15, and the rotation speed of the servo motor 18 at that time is increased. 3% of
Command the rotational speed with increased or decreased. As a result, the dancer roller 25 moves again toward the one detection portion 27a.

【００５０】この結果、ダンサローラ２４，２５が所定
の範囲で上下運動を繰り返すことになる。一方、ワイヤ
ー２の張力は、ダンサローラ２４，２５にそれぞれ設け
る張力付与手段２９，３０としてのトルクモータによっ
て与えられている。したがって、ワイヤー２の張力は、
前記ダンサローラ２４，２５が上下運動を繰り返して
も、前記ダンサローラ２４，２５には、常に一定の力が
与えることになる。この結果ワイヤー２の張力を安定し
て維持することができる。As a result, the dancer rollers 24, 25 are repeatedly moved up and down within a predetermined range. On the other hand, the tension of the wire 2 is given by the torque motors as the tension imparting means 29 and 30 provided on the dancer rollers 24 and 25, respectively. Therefore, the tension of the wire 2 is
Even if the dancer rollers 24 and 25 repeatedly move up and down, a constant force is always applied to the dancer rollers 24 and 25. As a result, the tension of the wire 2 can be stably maintained.

【００５１】さらに前記供給リール１４、前記収納リー
ル１５にそれぞれの回転結合されたサーボモータ１６，
１８の回転に対しては所定の回転速度が増減されるため
発生するダンサローラ２４，２５自体の慣性の大きさは
所定の範囲に保たれる。これによってダンサローラ２
４，２５の上下運動は極めて滑らかに繰り返される。Further, the supply reel 14 and the storage reel 15 are respectively rotatably coupled to servomotors 16,
Since the predetermined rotation speed is increased or decreased with respect to the rotation of 18, the amount of inertia of the dancer rollers 24 and 25 themselves is maintained within a predetermined range. This allows the dancer roller 2
The vertical movements of 4, 25 are extremely smoothly repeated.

【００５２】更にダンサローラ２４，２５に設けるワイ
ヤーの張力付与手段２９，３０として慣性の小さいトル
クモータを採用することにより、ダンサローラ２４，２
５が上下運動によって方向を反転する時に生じるワイヤ
ー張力の変動を小さくすることができ、ワイヤーの断線
を防止することができる。Further, by adopting a torque motor having a small inertia as the wire tension imparting means 29, 30 provided on the dancer rollers 24, 25, the dancer rollers 24, 2 are provided.
It is possible to reduce the fluctuation of the wire tension that occurs when the direction of the wire 5 is reversed by the vertical movement, and it is possible to prevent the wire from breaking.

【００５３】なお、本実施形態においては、ワイヤー２
の線径が、０．０５ｍｍのものを使用した例で説明した
が、ワイヤー２の線径が、０．０３ｍｍでも断線するこ
となく使用できることを確認している。In the present embodiment, the wire 2
The wire diameter of the wire 2 is 0.05 mm, but it has been confirmed that the wire 2 can be used without breaking even if the wire diameter is 0.03 mm.

【００５４】また、本実施形態において、ワイヤーの基
準線速度に対する、供給リール１４および収納リール１
５でのワイヤーの線速度の過不足を調整するために、サ
ーボモータ１６，１８の回転に対して、増減する回転速
度をサーボモータ１６，１８のその時のそれぞれの回転
速度の３％とする例で説明したが、この増減する回転速
度の割合は、０．５％から１０％の範囲で同様の効果が
得られることを実験によって確認している。Further, in the present embodiment, the supply reel 14 and the storage reel 1 with respect to the reference linear velocity of the wire.
In order to adjust the excess or deficiency of the linear velocity of the wire in No. 5, an example in which the rotation speed that increases or decreases with respect to the rotation of the servo motors 16 and 18 is 3% of the respective rotation speeds of the servo motors 16 and 18 at that time. As described above, it has been confirmed by experiments that the same effect can be obtained in the range of the increasing / decreasing rotational speed in the range of 0.5% to 10%.

【００５５】[0055]

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
のワイヤーソー装置によればワイヤー張力の変動が小さ
くなり、極細ワイヤーで高速切削を行ってもワイヤーの
断線がほとんど発生しない。また、安定したワイヤー張
力の付加が可能となり切削加工精度が向上する。更にワ
イヤーの送りを早くすることも可能となり、加工効率も
向上する。As is apparent from the above description, according to the wire saw device of the present invention, the fluctuation of the wire tension is small, and even if high speed cutting is performed with an ultrafine wire, the wire breakage hardly occurs. In addition, stable wire tension can be applied, and the cutting accuracy is improved. In addition, it is possible to speed up the wire feeding and improve processing efficiency.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】本発明の実施形態におけるワイヤーソー装置を
示す模式斜視図である。FIG. 1 is a schematic perspective view showing a wire saw device according to an embodiment of the present invention.

【図２】本発明の実施形態におけるワイヤーソー装置の
一部を示す模式斜視図である。FIG. 2 is a schematic perspective view showing a part of the wire saw device according to the embodiment of the present invention.

【図３】本発明の実施形態におけるワイヤーの往復送り
運動を説明するための模式図である。FIG. 3 is a schematic diagram for explaining the reciprocating movement of the wire in the embodiment of the present invention.

【図４】本発明の実施形態におけるワイヤーソー装置を
示す模式図である。FIG. 4 is a schematic diagram showing a wire saw device according to an embodiment of the present invention.

【図５】従来技術におけるワイヤーソー装置を示す模式
図である。FIG. 5 is a schematic view showing a wire saw device in a conventional technique.

【図６】従来技術におけるワイヤーソー装置を示す模式
図である。FIG. 6 is a schematic view showing a wire saw device in a conventional technique.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１ ワイヤーソー装置 ２ ワイヤー ３、４、５、６ 動プーリ ７、８、９ 歯車 １０ タイミングベルト １１、１２ 加工部ロール １３ 被加工部材 １４ 供給リール １５ 収納リール １６、１７、１８ サーボモータ １９、２０、２１ モーター制御回路 ２２、２３ エンコーダ ２４、２５ ダンサローラ ２４ａ、２５ａ 基準位置 ２６ 位置検出器 ２６ａ、２６ｂ 検出部 ２７ 位置検出器 ２７ａ、２７ｂ 検出部 ２８ 主制御装置 ２９、３０ 張力付与手段 ３１、３２ 案内プーリ ３３、３４ ワイヤーの線速度検出用ローラ ３５、３６ バネ ３７、３８ ワイヤーの線速度検出手段 1 Wire Saw Device 2 Wires 3, 4, 5, 6 Dynamic Pulleys 7, 8, 9 Gears 10 Timing Belts 11, 12 Processing Part Rolls 13 Worked Materials 14 Supply Reels 15 Storage Reels 16, 17, 18 Servo Motors 19, 20 , 21 Motor control circuit 22, 23 Encoder 24, 25 Dancer roller 24a, 25a Reference position 26 Position detector 26a, 26b Detecting unit 27 Position detector 27a, 27b Detecting unit 28 Main controller 29, 30 Tension imparting means 31, 32 Guide Pulleys 33, 34 Wire linear velocity detecting rollers 35, 36 Springs 37, 38 Wire linear velocity detecting means

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 １本の切削用ワイヤーと、前記ワイヤー
を供給する供給リールと、前記ワイヤーを案内する複数
のプーリと、前記ワイヤーを巻き取る収納リールと、前
記ワイヤーを巻き付けるための複数の加工部ロールとを
備え、前記加工部ロールに前記ワイヤーを巻き付けて、
切削加工用のワイヤー列を形成し、所定の張力を付与し
た前記ワイヤー列を被加工部材に押しあて、前記ワイヤ
ーを往復走行させながら供給リールから収納リールの方
向に移動させ、砥粒を含む加工液を供給しながら被加工
部材を切削するワイヤーソー装置において、 前記供給リール、前記収納リールおよび前記加工部ロー
ルのそれぞれに回転結合されたサーボモータと、前記そ
れぞれのサーボモータの回転を制御するモータ制御回路
と、前記供給リールおよび前記収納リールでのそれぞれ
のワイヤーの線速度を検出するワイヤーの線速度検出手
段とを備え、前記加工部ロールの外周におけるワイヤー
の線速度をワイヤーの基準線速度とし、前記ワイヤーの
基準線速度に対する前記ワイヤーの線速度検出手段から
得られる前記供給リールおよび前記収納リールでのそれ
ぞれのワイヤーの線速度の過不足に応じて、所定の加速
信号或いは減速信号を前記モータ制御回路に入力するこ
とによって、前記モータ制御回路により前記供給リール
および収納リールのそれぞれに回転結合されたサーボモ
ータの回転に、所定の回転速度の増減を行うとともに、
前記複数のプーリのうちの少なくとも１個を動プーリと
し、前記動プーリが前記加工部ロールに回転結合された
サーボモータに回転結合され、かつ、前記動プーリでの
ワイヤーの線速度と前記ワイヤーの基準線速度とが等し
くなるように、前記加工部ロールに回転結合されたサー
ボモータによって強制駆動されていることを特徴とする
ワイヤーソー装置。1. A cutting wire, a supply reel for supplying the wire, a plurality of pulleys for guiding the wire, a storage reel for winding the wire, and a plurality of processes for winding the wire. Part roll, and winding the wire around the processing part roll,
Forming a wire row for cutting, pressing the wire row to which a predetermined tension is applied to a member to be processed, moving the wire from the supply reel toward the storage reel while reciprocating the wire, and processing including abrasive grains A wire saw device for cutting a member to be processed while supplying a liquid, comprising: a servo motor rotationally coupled to each of the supply reel, the storage reel, and the processing unit roll; and a motor for controlling rotation of each servo motor. A control circuit and a wire linear velocity detecting means for detecting the linear velocity of each wire in the supply reel and the storage reel are provided, and the linear velocity of the wire on the outer periphery of the processing unit roll is set as a reference linear velocity of the wire. The supply reel obtained from the linear velocity detecting means for the wire with respect to the reference linear velocity of the wire, And inputting a predetermined acceleration signal or deceleration signal to the motor control circuit according to the excess or deficiency of the linear velocity of each wire on the storage reel and the storage reel, respectively. In addition to increasing or decreasing the specified rotation speed for the rotation of the servomotor rotationally coupled to,
At least one of the plurality of pulleys is a dynamic pulley, the dynamic pulley is rotationally coupled to a servomotor rotationally coupled to the processing section roll, and the linear velocity of the wire at the dynamic pulley and the wire A wire saw device, wherein the wire saw device is forcibly driven by a servomotor rotatably coupled to the processing section roll so that the reference linear velocity becomes equal. 【請求項２】 １本の切削用ワイヤーと、前記ワイヤー
を供給する供給リールと、前記ワイヤーを案内する複数
のプーリと、前記ワイヤーを巻き取る収納リールと、前
記ワイヤーを巻き付けるための複数の加工部ロールと、
前記供給リールから前記加工部ロールに至る間及び前記
加工部ロールから収納リールに至る間にそれぞれ設ける
上下に移動し前記ワイヤーの張力変動を吸収するための
ダンサローラと、前記ダンサローラに設ける張力付与手
段とを備え、前記加工部ロールに前記ワイヤーを巻き付
けて、切削加工用のワイヤー列を形成し、所定の張力を
付与した前記ワイヤー列を被加工部材に押しあて、前記
ワイヤーを往復走行させながら供給リールから収納リー
ルの方向に移動させ、砥粒を含む加工液を供給しながら
被加工部材を切削するワイヤーソー装置において、 前記供給リール、前記収納リールおよび前記加工部ロー
ルのそれぞれに回転結合されたそれぞれのサーボモータ
と、前記サーボモータの回転を制御するモータ制御回路
と、前記それぞれのダンサローラの基準位置を挟んで所
定の範囲に上下一対の検出部を有する位置検出器とを備
え、前記ダンサローラの基準位置が前記位置検出器にお
ける一方の検出部を超えて他方の検出部を超えるまでの
間、所定の加速信号或いは減速信号を前記モータ制御回
路に入力することによって、前記モータ制御回路により
前記供給リールおよび収納リールのそれぞれに回転結合
されたサーボモータの回転に、所定の回転速度の増減を
行うとともに、前記複数のプーリのうちの少なくとも１
個を動プーリとし、前記動プーリが前記加工部ロールに
回転結合されたサーボモータに回転結合され、かつ、前
記動プーリでのワイヤーの線速度と前記加工部ロールの
外周部でのワイヤーの線速度とが等しくなるように、前
記加工部ロールに回転結合されたサーボモータによって
強制駆動されていることを特徴とするワイヤーソー装
置。2. A cutting wire, a supply reel for supplying the wire, a plurality of pulleys for guiding the wire, a storage reel for winding the wire, and a plurality of processes for winding the wire. Part of the roll,
A dancer roller that is provided between the supply reel and the processing unit roll and between the processing unit roll and the storage reel to move up and down to absorb tension fluctuation of the wire, and a tension applying unit provided on the dancer roller. And winding the wire around the processing section roll to form a wire row for cutting, pressing the wire row to which a predetermined tension is applied to the workpiece, and supplying the reel while reciprocating the wire. In the wire saw device for moving the workpiece from the storage reel to the storage reel and cutting the workpiece while supplying the processing liquid containing abrasive grains, each of which is rotationally coupled to each of the supply reel, the storage reel, and the processing unit roll. Servo motor, a motor control circuit for controlling the rotation of the servo motor, and the respective A position detector having a pair of upper and lower detectors in a predetermined range with the reference position of the sensor roller sandwiched, and until the reference position of the dancer roller exceeds one detector of the position detector and exceeds the other detector. During this period, by inputting a predetermined acceleration signal or deceleration signal to the motor control circuit, the motor control circuit rotates the servomotors rotatably coupled to the supply reel and the storage reel, respectively. Increase or decrease and at least one of the plurality of pulleys
Each of them is a moving pulley, and the moving pulley is rotationally coupled to a servomotor which is rotationally coupled to the working roll, and the linear velocity of the wire at the moving pulley and the wire line at the outer circumference of the working roll. A wire saw device, wherein the wire saw device is forcibly driven by a servomotor rotationally coupled to the processing section roll so that the speed becomes equal. 【請求項３】 １本の切削用ワイヤーと、前記ワイヤー
を供給する供給リールと、前記ワイヤーを案内する複数
のプーリと、前記ワイヤーを巻き取る収納リールと、前
記ワイヤーを巻き付けるための複数の加工部ロールと、
前記供給リールから前記加工部ロールに至る間及び前記
加工部ロールから収納リールに至る間にそれぞれ設ける
上下に移動し前記ワイヤーの張力変動を吸収するための
ダンサローラと、前記ダンサローラに設ける張力付与手
段とを備え、前記加工部ロールに前記ワイヤーを巻き付
けて、切削加工用のワイヤー列を形成し、所定の張力を
付与した前記ワイヤー列を被加工部材に押しあて、前記
ワイヤーを往復走行させながら供給リールから収納リー
ルの方向に移動させ、砥粒を含む加工液を供給しながら
被加工部材を切削するワイヤーソー装置において、 前記供給リール、前記収納リールおよび前記加工部ロー
ルのそれぞれに回転結合されたサーボモータと、前記そ
れぞれのサーボモータの回転を制御するモータ制御回路
と、前記供給リールおよび前記収納リールでのそれぞれ
のワイヤーの線速度を検出するワイヤーの線速度検出手
段と、前記それぞれのダンサローラの基準位置を挟んで
所定の範囲に上下一対の検出部を有する位置検出器とを
備え、前記加工部ロールの外周におけるワイヤーの線速
度をワイヤーの基準線速度とし、前記ワイヤーの基準線
速度に対する前記ワイヤーの線速度検出手段から得られ
る前記供給リールおよび前記収納リールでのそれぞれの
ワイヤーの線速度の過不足に応じて、所定の加速信号或
いは減速信号を前記モータ制御回路に入力することによ
って、前記モータ制御回路により前記供給リールおよび
収納リールのそれぞれに回転結合されたサーボモータの
回転に、所定の回転速度の増減を行うとともに、前記ダ
ンサローラの基準位置が前記位置検出器における一方の
検出部を超えて他方の検出部を超えるまでの間、所定の
加速信号或いは減速信号を前記モータ制御回路に入力す
ることによって、前記モータ制御回路により前記供給リ
ールおよび収納リールのそれそれに回転結合されたサー
ボモータに所定の回転速度の増減を行い、前記複数のプ
ーリのうちの少なくとも１個を動プーリとし、前記動プ
ーリが前記加工部ロールに回転結合されたサーボモータ
に回転結合され、あわせて前記動プーリでのワイヤーの
線速度と前記ワイヤーの基準線速度とが等しくなるよう
に、前記加工部ロールに回転結合されたサーボモータに
よって強制駆動されているいることを特徴とするワイヤ
ーソー装置。3. A cutting wire, a supply reel that supplies the wire, a plurality of pulleys that guide the wire, a storage reel that winds the wire, and a plurality of processes for winding the wire. Part of the roll,
A dancer roller that is provided between the supply reel and the processing unit roll and between the processing unit roll and the storage reel to move up and down to absorb tension fluctuation of the wire, and a tension applying unit provided on the dancer roller. And winding the wire around the processing section roll to form a wire row for cutting, pressing the wire row to which a predetermined tension is applied to the workpiece, and supplying the reel while reciprocating the wire. In the wire saw device for moving the workpiece from the storage reel to the storage reel and cutting the workpiece while supplying the processing liquid containing abrasive grains, a servo that is rotationally coupled to each of the supply reel, the storage reel, and the processing unit roll. A motor, a motor control circuit that controls the rotation of each of the servo motors, and the supply reel and And a linear velocity detecting means for detecting the linear velocity of each wire on the storage reel, and a position detector having a pair of upper and lower detectors in a predetermined range with the reference position of each dancer roller interposed therebetween. , The linear velocity of the wire in the outer periphery of the processing section roll as the reference linear velocity of the wire, of the respective wires in the supply reel and the storage reel obtained from the linear velocity detection means of the wire with respect to the reference linear velocity of the wire By inputting a predetermined acceleration signal or deceleration signal to the motor control circuit according to the excess or deficiency of the linear velocity, the rotation of the servo motor rotationally coupled to each of the supply reel and the storage reel by the motor control circuit can be performed. , The predetermined rotational speed is increased / decreased, and the reference position of the dancer roller is set to the position detector. By inputting a predetermined acceleration signal or deceleration signal to the motor control circuit until one detection unit is exceeded and the other detection unit is exceeded, each of the supply reel and the storage reel is input to the motor control circuit by the motor control circuit. A predetermined rotation speed is increased / decreased in the rotationally coupled servo motor, and at least one of the plurality of pulleys is used as a dynamic pulley, and the dynamic pulley is rotationally coupled to the servo motor rotationally coupled to the processing section roll. In addition, the wire is forcibly driven by a servomotor rotationally coupled to the processing section roll so that the linear velocity of the wire at the moving pulley and the reference linear velocity of the wire are equal. Saw device. 【請求項４】 前記供給リールおよび前記収納リールで
のそれぞれのワイヤーの線速度を検出するワイヤーの線
速度検出手段として、前記供給リールおよび前記収納リ
ールでのそれぞれのワイヤーに押し当てられ、かつワイ
ヤーの線速度に追従して回転するワイヤーの線速度検出
用ローラと、前記ワイヤーの線速度検出用ローラに回転
結合されているエンコーダとを設けることを特徴とする
請求項１、または請求項３記載のワイヤーソー装置。4. A wire linear velocity detecting means for detecting a linear velocity of each wire on the supply reel and the storage reel, the wire being pressed against each wire on the supply reel and the storage reel, and being a wire. 4. A linear velocity detecting roller for a wire that rotates following the linear velocity of the wire and an encoder rotatably coupled to the linear velocity detecting roller for the wire are provided. Wire saw device.