JPH09295355A - 微小光学素子の端面レンズおよび微小光学素子の端面レンズ形成方法 - Google Patents
微小光学素子の端面レンズおよび微小光学素子の端面レンズ形成方法Info
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- JPH09295355A JPH09295355A JP8110882A JP11088296A JPH09295355A JP H09295355 A JPH09295355 A JP H09295355A JP 8110882 A JP8110882 A JP 8110882A JP 11088296 A JP11088296 A JP 11088296A JP H09295355 A JPH09295355 A JP H09295355A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 微小光学素子端部からの出射光を他の光学部
品と結合させる結合部における結合効率を向上させて出
射光を有効に結合できると共に、結合効率の差異をなく
してトレランスを大きくできる端面レンズおよびその形
成方法を提供する。 【解決手段】 光学素子１のレーザ光の出射側端面１ａ
には、滴下あるいは付着された流動性物質７により中央
部の盛り上がった流動性物質薄膜５ａを固化した光学レ
ンズ構造体５を形成したものである。
品と結合させる結合部における結合効率を向上させて出
射光を有効に結合できると共に、結合効率の差異をなく
してトレランスを大きくできる端面レンズおよびその形
成方法を提供する。 【解決手段】 光学素子１のレーザ光の出射側端面１ａ
には、滴下あるいは付着された流動性物質７により中央
部の盛り上がった流動性物質薄膜５ａを固化した光学レ
ンズ構造体５を形成したものである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体レーザ素子、
光スイッチ、平面光回路素子などのように導波路を伝搬
する光を有効に他の光学素子と結合させる必要のある微
小光学素子に適用するのに好適な微小光学素子の端面レ
ンズおよびその形成方法に関する。
光スイッチ、平面光回路素子などのように導波路を伝搬
する光を有効に他の光学素子と結合させる必要のある微
小光学素子に適用するのに好適な微小光学素子の端面レ
ンズおよびその形成方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】光学素子の端面は、通常、光学素子から
出射したあるいは該素子へ入射する光は、レンズなどに
より集光されて、光ファイバなどの他の光学部品と結合
される。この際には、光学素子の端面を経て光の一部が
導波路に結合する。
出射したあるいは該素子へ入射する光は、レンズなどに
より集光されて、光ファイバなどの他の光学部品と結合
される。この際には、光学素子の端面を経て光の一部が
導波路に結合する。
【０００３】例えば図９、図１０に示すように、光学素
子の一例である半導体レーザ素子ａの活性層ａ１端面か
ら出射する光ｂ１を、異形レンズｃ（図９の素子単体の
場合）、または、球状レンズｄおよびセルフォックレン
ズｅ（図１０のアレイ状素子）などで集光ｂ２して他の
光学部品である光ファイバｆからなる導波路に入射させ
ている。
子の一例である半導体レーザ素子ａの活性層ａ１端面か
ら出射する光ｂ１を、異形レンズｃ（図９の素子単体の
場合）、または、球状レンズｄおよびセルフォックレン
ズｅ（図１０のアレイ状素子）などで集光ｂ２して他の
光学部品である光ファイバｆからなる導波路に入射させ
ている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記光
学素子ａから出射される光の強度分布はガウス分布を示
し、出射された光は前記符号ｂ１で示すように拡がるた
め、ガウス分布の中央部（強度が強い部分）のみが結合
することができる。逆に言えば、ガウス分布の両端部の
光は充分に結合できない。したがって、この結合できな
い光があることから、従来は、結合効率に限界があると
いう問題点があった。また、結合する際にレンズをかな
り接近させなければ、レンズの位置による結合効率の差
異はかなり大きい（トレランスが小さい）。したがっ
て、従来は、結合部の位置に制約されて自由な設計がで
きないという問題点もあった。
学素子ａから出射される光の強度分布はガウス分布を示
し、出射された光は前記符号ｂ１で示すように拡がるた
め、ガウス分布の中央部（強度が強い部分）のみが結合
することができる。逆に言えば、ガウス分布の両端部の
光は充分に結合できない。したがって、この結合できな
い光があることから、従来は、結合効率に限界があると
いう問題点があった。また、結合する際にレンズをかな
り接近させなければ、レンズの位置による結合効率の差
異はかなり大きい（トレランスが小さい）。したがっ
て、従来は、結合部の位置に制約されて自由な設計がで
きないという問題点もあった。
【０００５】本発明は、前記従来の問題点を解消するべ
くなされたものであって、微小光学素子端部からの出射
光を他の光学部品と結合させる結合部における結合効率
を向上させて出射光を有効に結合できると共に、結合効
率の差異をなくしてトレランスを大きくできる微小光学
素子の端面レンズおよびその形成方法を提供することを
課題とする。
くなされたものであって、微小光学素子端部からの出射
光を他の光学部品と結合させる結合部における結合効率
を向上させて出射光を有効に結合できると共に、結合効
率の差異をなくしてトレランスを大きくできる微小光学
素子の端面レンズおよびその形成方法を提供することを
課題とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記課題を解
決するため次の構成を有する。請求項１の発明は、導波
路中に光を伝搬する微小光学素子の端面からの出射光が
他の光学部品と結合される光結合部において、前記光学
素子の端面には、滴下あるいは付着された流動性物質に
より中央部の盛り上がった流動性物質薄膜を固化した光
学レンズ構造を形成したことを特徴とする微小光学素子
の端面レンズである。
決するため次の構成を有する。請求項１の発明は、導波
路中に光を伝搬する微小光学素子の端面からの出射光が
他の光学部品と結合される光結合部において、前記光学
素子の端面には、滴下あるいは付着された流動性物質に
より中央部の盛り上がった流動性物質薄膜を固化した光
学レンズ構造を形成したことを特徴とする微小光学素子
の端面レンズである。
【０００７】請求項２の発明は、導波路中に光を伝搬す
る微小光学素子の端面からの出射光が他の光学部品と結
合される光結合部において、光学素子材料がアレイ状に
配列されたものであって、各素子の出射光側端面が並べ
られている面には隣合う素子出射部の間に流動性物質の
流れを規制する溝を形成し、前記光学素子の端面に流動
性物質を滴下しあるいは付着させてその表面張力により
中央部の盛り上がった流動性物質薄膜を形成し、前記薄
膜を固化して前記端面に光学レンズ構造を形成すること
を特徴とする微小光学素子の端面レンズ形成方法であ
る。
る微小光学素子の端面からの出射光が他の光学部品と結
合される光結合部において、光学素子材料がアレイ状に
配列されたものであって、各素子の出射光側端面が並べ
られている面には隣合う素子出射部の間に流動性物質の
流れを規制する溝を形成し、前記光学素子の端面に流動
性物質を滴下しあるいは付着させてその表面張力により
中央部の盛り上がった流動性物質薄膜を形成し、前記薄
膜を固化して前記端面に光学レンズ構造を形成すること
を特徴とする微小光学素子の端面レンズ形成方法であ
る。
【０００８】発明者は、微小光学素子と他の光学部品と
の光結合部における光結合効率および設計の自由度を向
上させるべく、種々の研究・開発を行った。その結果、
半導体レーザ等の微小光学素子の端面にゾル等の流動性
物質を滴下あるいは付着させて流動性物質自体の表面張
力により中央部が盛り上がった状態になり、かつ端面の
外殻部では薄くなり、ちょうどレンズ形状になる。そし
て、このレンズ形状の流動性物質を固化することにより
光学レンズ構造を形成できることに着目して、本発明を
なしたものである。
の光結合部における光結合効率および設計の自由度を向
上させるべく、種々の研究・開発を行った。その結果、
半導体レーザ等の微小光学素子の端面にゾル等の流動性
物質を滴下あるいは付着させて流動性物質自体の表面張
力により中央部が盛り上がった状態になり、かつ端面の
外殻部では薄くなり、ちょうどレンズ形状になる。そし
て、このレンズ形状の流動性物質を固化することにより
光学レンズ構造を形成できることに着目して、本発明を
なしたものである。
【０００９】本発明によれば、流動性薄膜を固化したレ
ンズにより光学素子端面から出射される光は収束されて
拡がり角が少なくなる。したがって、従来の流動性物質
薄膜によるレンズを形成しないものに比較して、出射光
がガウス分布よりも収束されるので、他の光学部品との
結合効率が向上する。また、レンズをかなり接近させな
くても良くなるので、レンズの位置による結合効率の差
異が小さくなる（トレランスが大きくなる）。
ンズにより光学素子端面から出射される光は収束されて
拡がり角が少なくなる。したがって、従来の流動性物質
薄膜によるレンズを形成しないものに比較して、出射光
がガウス分布よりも収束されるので、他の光学部品との
結合効率が向上する。また、レンズをかなり接近させな
くても良くなるので、レンズの位置による結合効率の差
異が小さくなる（トレランスが大きくなる）。
【００１０】さらに、請求項２のように、アレイ状光学
素子あるいは単体に分ける前の光学素子材料がアレイ状
に配列されたものであって、各素子の出射光側端面が並
べられている面には隣合う素子出射部の間に流動性物質
材料の流れを規制する溝を形成することにより、滴下あ
るいは付着された流動性物質はこの溝で各素子毎に仕切
られるので、該流動性物質からなる前記流動性物質薄膜
は、隣り合う端面で一体になることがなくなり、各素子
端面毎にその表面張力により中央部の盛り上がったもの
に確実に形成できる。
素子あるいは単体に分ける前の光学素子材料がアレイ状
に配列されたものであって、各素子の出射光側端面が並
べられている面には隣合う素子出射部の間に流動性物質
材料の流れを規制する溝を形成することにより、滴下あ
るいは付着された流動性物質はこの溝で各素子毎に仕切
られるので、該流動性物質からなる前記流動性物質薄膜
は、隣り合う端面で一体になることがなくなり、各素子
端面毎にその表面張力により中央部の盛り上がったもの
に確実に形成できる。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を詳細に説明する。図１〜図２は実施形態に係
る半導体レーザ素子（微小光学素子１の一例）のレンズ
構造体５による端面レンズの説明図であって、図１は単
体の半導体レーザ素子を示し、図２はチップ化前または
アレイ状の半導体レーザ素子の説明図を示す。
施の形態を詳細に説明する。図１〜図２は実施形態に係
る半導体レーザ素子（微小光学素子１の一例）のレンズ
構造体５による端面レンズの説明図であって、図１は単
体の半導体レーザ素子を示し、図２はチップ化前または
アレイ状の半導体レーザ素子の説明図を示す。
【００１２】前記光学素子１である半導体レーザ素子
は、クラッド層で挟まれた活性層（導波路に相当）３中
でレーザ光を発生しかつ伝搬するものであって、該素子
１の端面１ａからの出射光が後記する光ファイバ（他の
光学部品の一例）４と結合されるものである。なお、図
では、半導体レーザ素子の活性層３の両側のクラッド層
およびその外層の基板などは周知のため図示は省略して
いる。
は、クラッド層で挟まれた活性層（導波路に相当）３中
でレーザ光を発生しかつ伝搬するものであって、該素子
１の端面１ａからの出射光が後記する光ファイバ（他の
光学部品の一例）４と結合されるものである。なお、図
では、半導体レーザ素子の活性層３の両側のクラッド層
およびその外層の基板などは周知のため図示は省略して
いる。
【００１３】前記光学素子１のレーザ光の出射側端面１
ａには、流動性物質材料を滴下あるいは付着して、中央
部の盛り上がった状態の該流動性物質薄膜を固化した光
学レンズ構造体５を形成したものである。
ａには、流動性物質材料を滴下あるいは付着して、中央
部の盛り上がった状態の該流動性物質薄膜を固化した光
学レンズ構造体５を形成したものである。
【００１４】光学レンズ構造体５を形成する流動性物質
材料としては、滴下または付着するまでは流動性を有
し、かつそれ以後一定条件で固化する光透過性材であれ
ば、種々の物質・材料を選択使用できる。好適には、ゾ
ルゲル法によるＳｉＯ2、Ａｌ2Ｏ3，ＴｉＯ2等セラミッ
ク、あるいは、熱硬化性または光（紫外線）硬化性樹脂
（有機化合物）ポリイミド、ＰＭＭＡ（ポリメチルメタ
アクレート）等、さらにはシリコーン（ＲＴＶ：室温硬
化型等）を用いることができる。
材料としては、滴下または付着するまでは流動性を有
し、かつそれ以後一定条件で固化する光透過性材であれ
ば、種々の物質・材料を選択使用できる。好適には、ゾ
ルゲル法によるＳｉＯ2、Ａｌ2Ｏ3，ＴｉＯ2等セラミッ
ク、あるいは、熱硬化性または光（紫外線）硬化性樹脂
（有機化合物）ポリイミド、ＰＭＭＡ（ポリメチルメタ
アクレート）等、さらにはシリコーン（ＲＴＶ：室温硬
化型等）を用いることができる。
【００１５】前記光学素子１は、半導体レーザ素子の一
例では縦×横×高さが３００(μm)×１００(μm)×２０
０〜１０００(μm)の寸法の非常に微小なものにでき
る。
例では縦×横×高さが３００(μm)×１００(μm)×２０
０〜１０００(μm)の寸法の非常に微小なものにでき
る。
【００１６】次に、レンズ構造体５の製造方法を図１〜
図５に基づき説明する。前記流動性物質材料７により半
導体レーザ素子などの光学素子１の出射側端面１ａに流
動性物質薄膜５ａを形成する方法の一つとして、該流動
性物質材料７を滴下する方法の例を説明する。この例で
は、図３に示すように、前記流動性物質材料７を周知の
マイクロディスペンサ６に注入し、そのマイクロディス
ペンサ６の滴下側端部から単体（図３（ａ）に示す）ま
たはチップ化前あるいはアレイ状（図３（ｂ）に示す）
の光学素子１の端面１ａに流動性材料７を滴下して塗布
する。このとき滴下した流動性物質材料７が図３に二点
鎖線で示す薄膜５ａ形状を呈するように、表面張力によ
り液滴面が盛り上がるように滴下量を制御する。
図５に基づき説明する。前記流動性物質材料７により半
導体レーザ素子などの光学素子１の出射側端面１ａに流
動性物質薄膜５ａを形成する方法の一つとして、該流動
性物質材料７を滴下する方法の例を説明する。この例で
は、図３に示すように、前記流動性物質材料７を周知の
マイクロディスペンサ６に注入し、そのマイクロディス
ペンサ６の滴下側端部から単体（図３（ａ）に示す）ま
たはチップ化前あるいはアレイ状（図３（ｂ）に示す）
の光学素子１の端面１ａに流動性材料７を滴下して塗布
する。このとき滴下した流動性物質材料７が図３に二点
鎖線で示す薄膜５ａ形状を呈するように、表面張力によ
り液滴面が盛り上がるように滴下量を制御する。
【００１７】また、流動性物質薄膜５ａを形成する場合
に流動性物質材料を塗布（付着）させる方法の例とし
て、図４に示すように、光学素子１を適当量平板８上に
固定し、この平板８を少なくとも垂直方向移動可能なス
テージ（ステップモータまたはエンコーダモータを用い
たＺテーブル）９に固定する。そして、漕１０内の流動
性物質材料７の液面７ａに光学素子端面１ａがちょうど
接触するように光学素子１を固定した平板８を降下させ
る。これにより、該端面１ａに流動性物質材料７が付着
塗布され、しかも、該材料７からなる薄膜５ａはその表
面張力により中央部の厚いレンズ形状になる。このよう
にして塗布した流動性物質材料７からなる前記薄膜５ａ
を硬化させて、レンズ構造体５の機能を持たせる。
に流動性物質材料を塗布（付着）させる方法の例とし
て、図４に示すように、光学素子１を適当量平板８上に
固定し、この平板８を少なくとも垂直方向移動可能なス
テージ（ステップモータまたはエンコーダモータを用い
たＺテーブル）９に固定する。そして、漕１０内の流動
性物質材料７の液面７ａに光学素子端面１ａがちょうど
接触するように光学素子１を固定した平板８を降下させ
る。これにより、該端面１ａに流動性物質材料７が付着
塗布され、しかも、該材料７からなる薄膜５ａはその表
面張力により中央部の厚いレンズ形状になる。このよう
にして塗布した流動性物質材料７からなる前記薄膜５ａ
を硬化させて、レンズ構造体５の機能を持たせる。
【００１８】ここで、上記のように光学素子１自体ある
いは分ける前にアレイ状に並んでいるものでは、各導波
路毎にレンズ構造体５を形成しなければならないので、
図５に示すように、各導波路（活性層）３，３間（中
間）に出射側端面１ａよりも引っ込んだ溝１０を形成し
ておく。したがって、滴下あるいは付着された流動性物
質材料７はこの溝１０で各素子１，１毎に仕切られるの
で、該材料７からなる前記薄膜５ａは、隣り合う端面で
一体になることがなく、各素子端面１ａ，１ａ毎にその
表面張力により中央部の盛り上がったものに確実に形成
できる。
いは分ける前にアレイ状に並んでいるものでは、各導波
路毎にレンズ構造体５を形成しなければならないので、
図５に示すように、各導波路（活性層）３，３間（中
間）に出射側端面１ａよりも引っ込んだ溝１０を形成し
ておく。したがって、滴下あるいは付着された流動性物
質材料７はこの溝１０で各素子１，１毎に仕切られるの
で、該材料７からなる前記薄膜５ａは、隣り合う端面で
一体になることがなく、各素子端面１ａ，１ａ毎にその
表面張力により中央部の盛り上がったものに確実に形成
できる。
【００１９】なお、光学素子１の出射側端面１ａに形成
するレンズ形状については、導波路の出射端が光学素子
１の端面中央よりずれていたならば、出射端に適合させ
てレンズ形状を形成することが好ましい。このような、
光学素子１の一例としての半導体レーザ素子をウェハか
ら分割する場合について説明する。つまり、図６（ａ）
に平面視するように、活性層３がウェハ１１の表面側の
近くに形成されているときには、ウェハ１１の活性層３
の両側に前記の溝１０をエッチングにより形成して、ア
レイ状に並んだ素子１を分割線１２から劈開（分割）す
る。すると、図６（ｂ）に劈開面から見るように、活性
層３が表面側に偏った状態に出射側端面１ａに現れる。
そして、その端面に流動性物質材料７を滴下あるいは付
着させると、この活性層３の部分に多くなるように付着
する。例えば図６（ｃ）に示すように、盛り上がった部
分が活性層３側に寄った状態にすることができる。
するレンズ形状については、導波路の出射端が光学素子
１の端面中央よりずれていたならば、出射端に適合させ
てレンズ形状を形成することが好ましい。このような、
光学素子１の一例としての半導体レーザ素子をウェハか
ら分割する場合について説明する。つまり、図６（ａ）
に平面視するように、活性層３がウェハ１１の表面側の
近くに形成されているときには、ウェハ１１の活性層３
の両側に前記の溝１０をエッチングにより形成して、ア
レイ状に並んだ素子１を分割線１２から劈開（分割）す
る。すると、図６（ｂ）に劈開面から見るように、活性
層３が表面側に偏った状態に出射側端面１ａに現れる。
そして、その端面に流動性物質材料７を滴下あるいは付
着させると、この活性層３の部分に多くなるように付着
する。例えば図６（ｃ）に示すように、盛り上がった部
分が活性層３側に寄った状態にすることができる。
【００２０】以上のように形成した前記流動性物質材料
薄膜５ａを固化（ゲル化）する。これにより、光学素子
１の出射側端面１ａに光学レンズ構造体５を隙間なく形
成することができる。このように流動性物質薄膜５ａを
固化してできたレンズ構造体５により光学素子１端面１
ａから出射される光は収束されて拡がり角が少なくな
る。
薄膜５ａを固化（ゲル化）する。これにより、光学素子
１の出射側端面１ａに光学レンズ構造体５を隙間なく形
成することができる。このように流動性物質薄膜５ａを
固化してできたレンズ構造体５により光学素子１端面１
ａから出射される光は収束されて拡がり角が少なくな
る。
【００２１】したがって、図７に示すように、流動性物
質薄膜によるレンズを形成しない従来品に比較して、出
射光がガウス分布θよりも収束されるので、他の光学部
品との結合効率が向上する。また、レンズをかなり接近
させなくても良くなるので、レンズの位置による結合効
率の差異が小さくなる（トレランスが大きくなる）。
質薄膜によるレンズを形成しない従来品に比較して、出
射光がガウス分布θよりも収束されるので、他の光学部
品との結合効率が向上する。また、レンズをかなり接近
させなくても良くなるので、レンズの位置による結合効
率の差異が小さくなる（トレランスが大きくなる）。
【００２２】図８には、前記従来の図１０に示した半導
体レーザアレイに比較した光結合部を示す。図８に示す
ように、レーザアレイ１からの出射光１３はレンズ構造
体５で収束されて球状レンズ１４（およびセルフックレ
ンズ１５）に漏れなく入射して光ファイバ４に全体的に
確実に結合できる。
体レーザアレイに比較した光結合部を示す。図８に示す
ように、レーザアレイ１からの出射光１３はレンズ構造
体５で収束されて球状レンズ１４（およびセルフックレ
ンズ１５）に漏れなく入射して光ファイバ４に全体的に
確実に結合できる。
【００２３】さらに、前記流動性薄膜は光学素子１の出
射側の端面１ａに滴下あるは付着させそれを固化させる
のみの工程で形成できるため、別体の光学レンズを別途
に構成して取り付けることに比較して極めて簡単に形成
できる。
射側の端面１ａに滴下あるは付着させそれを固化させる
のみの工程で形成できるため、別体の光学レンズを別途
に構成して取り付けることに比較して極めて簡単に形成
できる。
【００２４】なお、光学素子は、前記半導体レーザ素子
に限定されず、光スイッチ、平面光回路などのような導
波路の端面から光を出射する微小な光学素子に適用可能
である。
に限定されず、光スイッチ、平面光回路などのような導
波路の端面から光を出射する微小な光学素子に適用可能
である。
【００２５】
【発明の効果】以上説明した通り本発明によれば、微小
光学素子端部からの出射光を他の光学部品と結合させる
結合部における結合効率を向上させて出射光を有効に結
合できると共に、結合効率の差異をなくしてトレランス
を大きくできる。
光学素子端部からの出射光を他の光学部品と結合させる
結合部における結合効率を向上させて出射光を有効に結
合できると共に、結合効率の差異をなくしてトレランス
を大きくできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施形態に係る半導体レーザ素子（微小光学素
子の一例）のレンズ構造体による端面レンズの説明図で
あって、単体の半導体レーザ素子の例を示し（ａ）は斜
視図、（ｂ）は正面図である。
子の一例）のレンズ構造体による端面レンズの説明図で
あって、単体の半導体レーザ素子の例を示し（ａ）は斜
視図、（ｂ）は正面図である。
【図２】チップ化前またはアレイ状の光学素子の説明図
を示す。
を示す。
【図３】レンズ構造体の製造方法を説明図であって、
（ａ）は単体の光学素子の例、（ｂ）はアレイ状の光学
素子の例である。
（ａ）は単体の光学素子の例、（ｂ）はアレイ状の光学
素子の例である。
【図４】レンズ構造体の製造方法の他の例の説明図であ
る。
る。
【図５】アレイ状のレンズ構造体の溝の形成の説明図で
ある。
ある。
【図６】図５における流動性物質材料の滴下あるいは塗
布の説明図であって、（ａ）は平面視図、（ｂ）は劈開
面視図、（ｃ）は滴下あるいは塗布を示す図である。
布の説明図であって、（ａ）は平面視図、（ｂ）は劈開
面視図、（ｃ）は滴下あるいは塗布を示す図である。
【図７】本実施形態の端面レンズの効果を説明する図で
ある。
ある。
【図８】半導体レーザアレイの光結合部の例を示す。
【図９】従来の半導体レーザの光結合部の一例を示す説
明図である。
明図である。
【図１０】光結合部の他の例を示す説明図である。
１ 光学素子 ３ 活性層 ５ レンズ構造体 ５ａ 流動性物質薄膜 ７ 流動性物質材料
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｂ２９Ｋ 101:10
Claims (2)
- 【請求項１】 導波路中に光を伝搬する微小光学素子の
端面からの出射光が他の光学部品と結合される光結合部
において、 前記光学素子の端面には、滴下あるいは付着された流動
性物質により中央部の盛り上がった流動性物質薄膜を固
化した光学レンズ構造を形成したことを特徴とする微小
光学素子の端面レンズ。 - 【請求項２】 導波路中に光を伝搬する微小光学素子の
端面からの出射光が他の光学部品と結合される光結合部
において、 光学素子材料がアレイ状に配列されたものであって、各
素子の出射光側端面が並べられている面には隣合う素子
出射部の間に流動性物質の流れを規制する溝を形成し、 前記光学素子の端面に流動性物質を滴下しあるいは付着
させてその表面張力により中央部の盛り上がった流動性
物質薄膜を形成し、 前記薄膜を固化して前記端面に光学レンズ構造を形成す
ることを特徴とする微小光学素子の端面レンズ形成方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8110882A JPH09295355A (ja) | 1996-05-01 | 1996-05-01 | 微小光学素子の端面レンズおよび微小光学素子の端面レンズ形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8110882A JPH09295355A (ja) | 1996-05-01 | 1996-05-01 | 微小光学素子の端面レンズおよび微小光学素子の端面レンズ形成方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09295355A true JPH09295355A (ja) | 1997-11-18 |
Family
ID=14547092
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8110882A Pending JPH09295355A (ja) | 1996-05-01 | 1996-05-01 | 微小光学素子の端面レンズおよび微小光学素子の端面レンズ形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09295355A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100310859B1 (ko) * | 1998-07-15 | 2001-12-17 | 이계철 | 자외선경화가가능한액상물질을이용한마이크로렌즈제조방법 |
| US6822190B2 (en) | 2002-12-12 | 2004-11-23 | 3M Innovative Properties Company | Optical fiber or waveguide lens |
| JP2005321751A (ja) * | 2004-05-07 | 2005-11-17 | Kwangju Inst Of Science & Technology | 照明用光ファイバーおよびその製造方法 |
| JP2006221159A (ja) * | 2005-01-17 | 2006-08-24 | Murata Mfg Co Ltd | 光送信モジュールおよびその製造方法 |
| JP2009290066A (ja) * | 2008-05-30 | 2009-12-10 | Toshiba Corp | 半導体発光装置 |
| US7830945B2 (en) | 2002-07-10 | 2010-11-09 | Fujifilm Corporation | Laser apparatus in which laser diodes and corresponding collimator lenses are fixed to block, and fiber module in which laser apparatus is coupled to optical fiber |
-
1996
- 1996-05-01 JP JP8110882A patent/JPH09295355A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100310859B1 (ko) * | 1998-07-15 | 2001-12-17 | 이계철 | 자외선경화가가능한액상물질을이용한마이크로렌즈제조방법 |
| US7830945B2 (en) | 2002-07-10 | 2010-11-09 | Fujifilm Corporation | Laser apparatus in which laser diodes and corresponding collimator lenses are fixed to block, and fiber module in which laser apparatus is coupled to optical fiber |
| US6822190B2 (en) | 2002-12-12 | 2004-11-23 | 3M Innovative Properties Company | Optical fiber or waveguide lens |
| JP2005321751A (ja) * | 2004-05-07 | 2005-11-17 | Kwangju Inst Of Science & Technology | 照明用光ファイバーおよびその製造方法 |
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| JP2009290066A (ja) * | 2008-05-30 | 2009-12-10 | Toshiba Corp | 半導体発光装置 |
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