JPH09292468A - Ionization chamber - Google Patents
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- JPH09292468A JPH09292468A JP10662696A JP10662696A JPH09292468A JP H09292468 A JPH09292468 A JP H09292468A JP 10662696 A JP10662696 A JP 10662696A JP 10662696 A JP10662696 A JP 10662696A JP H09292468 A JPH09292468 A JP H09292468A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、容器内部に充填さ
れたガスが入射したＸ線と衝突することでイオンと電子
に電離し、電離したイオンと電子が電位差を有する電極
に流れ込むことで入射したＸ線に相当する電離電流を出
力する電離箱に関する。TECHNICAL FIELD The present invention relates to ionization of ions and electrons by collision of a gas filled in a container with incident X-rays, and injection of the ionized ions and electrons into an electrode having a potential difference. The present invention relates to an ionization chamber that outputs an ionization current corresponding to the X-rays.
【０００２】[0002]
【従来の技術】Ｘ線が被測定物を透過する際の吸収、減
弱量を検出して非接触で厚さを測定するＸ線厚さ計で
は、Ｘ線検出量の変動が測定結果に直接影響するため、
このＸ線厚さ計を構成する電離箱では、検出したＸ線量
に相当する電離電流をいかに高速応答で効率良く安定し
て出力できるかが、高精度な測定を行なう上で非常に重
要な性能となる。2. Description of the Related Art In an X-ray thickness meter that detects the amount of absorption and attenuation when X-rays pass through an object to be measured and measures the thickness in a non-contact manner, fluctuations in the amount of X-ray detection directly affect the measurement results. To affect,
In the ionization chamber that constitutes this X-ray thickness gauge, how to efficiently and stably output the ionization current corresponding to the detected X-ray dose with high-speed response is a very important performance for highly accurate measurement. Becomes
【０００３】更に、Ｘ線厚さ計は常時振動のある環境下
で使用されるため、振動に影響を受けず安定した出力を
得られるだけの耐震性（強度）も要求される。一般に、
電離電流を高速応答で効率良く出力するには、電極間隔
を狭くすれば良く、耐震性を強化するには、構造を緻密
にして材質を強固なものとすれば良いことが理論上知ら
れており、これらを具備するために、狭い電極間隔と電
極を支える堅牢な構造、材質が必要となる。Further, since the X-ray thickness gauge is used in an environment where there is always vibration, it is required to have earthquake resistance (strength) so that stable output can be obtained without being affected by vibration. In general,
It is theoretically known that in order to efficiently output the ionization current with high-speed response, the electrode interval should be narrowed, and to strengthen the earthquake resistance, the structure should be fine and the material should be strong. However, in order to provide these, a narrow electrode space and a robust structure and material that supports the electrodes are required.
【０００４】一方、電離箱の出力は、内部ガスが入射し
たＸ線と衝突することでイオンと電子に電離し、電位差
を有する電極に電離電流として流れ込んで得られるた
め、ガス以外の電極やそれを保持する構造物に吸収され
たＸ線は出力に寄与できない。On the other hand, the output of the ionization chamber is obtained by ionizing the ions and electrons by colliding with the incident X-rays of the internal gas, and flowing into the electrode having a potential difference as an ionizing current. The X-rays absorbed by the structure holding X cannot contribute to the output.
【０００５】このため、Ｘ線の各入射位置で電離箱のガ
スの分布、即ち、内部構造がＸ線の入射方向に対して一
様でないと、検出するＸ線のエネルギーによっては内部
構造が無視できず、電離箱の入射窓面に沿って感度分布
にばらつきを生じることになる。Therefore, if the gas distribution in the ionization chamber at each X-ray incident position, that is, the internal structure is not uniform in the X-ray incident direction, the internal structure is ignored depending on the energy of the detected X-rays. However, the sensitivity distribution varies along the entrance window surface of the ionization chamber.
【０００６】即ち、Ｘ線厚さ計で使用する電離箱では、
要求性能を満足し、使用環境に耐え得るため必要となる
内部構造が、Ｘ線の各入射位置でガスの分布（感度分
布）にばらつきを生じる原因になっていた。That is, in the ionization chamber used in the X-ray thickness gauge,
The internal structure required to satisfy the required performance and to withstand the use environment has been a cause of variations in the gas distribution (sensitivity distribution) at each X-ray incident position.
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】エリアモニタ等に使用
される電離箱の場合、感度分布のばらつきが出力に影響
を及ぼすことはないと思われるが、Ｘ線厚さ計では、固
定のビームアライメントを有し、±０．１％オーダの微
少なＸ線量の変化をも被測定物の厚さ変化としてとら
え、大幅に拡大して出力するため、被測定物の厚さ変化
以外の変動、例えば、Ｘ線ビームアライメントのずれに
より、感度分布が一様でない電離箱への入射位置が、図
７に示すように、ＡからＢに変動すると、これから生じ
る測定誤差は無視できないものとなる。In the case of an ionization chamber used for an area monitor or the like, it seems that variations in sensitivity distribution do not affect the output, but in the X-ray thickness gauge, the fixed beam alignment is used. Since a small change in X-ray dose of the order of ± 0.1% is recognized as a change in the thickness of the object to be measured and is output in a greatly enlarged manner, fluctuations other than the change in the thickness of the object to be measured, for example, , When the incident position on the ionization chamber where the sensitivity distribution is not uniform varies from A to B due to the deviation of the X-ray beam alignment, the measurement error caused by this cannot be ignored.
【０００８】この対策として、従来は、Ｘ線ビームアラ
イメントを維持するＣ型フレームにＸ線の入射位置がず
れないよう十分な強度を持たせていたが、この方法で
は、Ｃ型フレームが高価になる上、Ｘ線厚さ計が設置さ
れる環境では温度変動などの外乱が激しいため、熱変形
してしまい十分な効果は期待できなかった。As a countermeasure against this, conventionally, the C-shaped frame for maintaining the X-ray beam alignment is provided with sufficient strength so as not to shift the incident position of the X-ray, but this method makes the C-shaped frame expensive. Moreover, in the environment in which the X-ray thickness gauge is installed, disturbances such as temperature fluctuations are severe, so thermal deformation occurs, and a sufficient effect cannot be expected.
【０００９】また、電離箱の感度分布が一様な部分のみ
を使用し、入射するＸ線のビームサイズをその大きさよ
りある程度マージンをもって小さくすることで、Ｘ線ビ
ームアライメントが多少ずれたとしても、ビームサイズ
のマージンで感度分布が一様な部分から外れることのな
いようカバーする方法も併用していたが、この場合、ビ
ームサイズを小さくすることで検出できるＸ線量が減る
ので、ＳＮ比が悪化するというデメリットがあった。Further, even if the X-ray beam alignment is slightly deviated by using only the portion of the ionization chamber where the sensitivity distribution is uniform and making the beam size of the incident X-rays smaller than the size with a certain margin. We also used a method of covering with a margin of beam size so that the sensitivity distribution does not deviate from a uniform part, but in this case, the X-ray dose that can be detected is reduced by decreasing the beam size, so the SN ratio deteriorates. There was a disadvantage of doing.
【００１０】ところで、Ｘ線の各入射位置で電離箱のガ
スの分布を一様にする場合、非常に細い棒状の電極１本
を入射窓の中心にＸ線の入射方向と平行にして設けるこ
とが考えられるが、この場合、電極間隔が広くなるた
め、Ｘ線厚さ計の重要な性能である応答性を悪化させて
しまう。電極間の電位差を増やしてこれをカバーしよう
とすると、電離箱に印加する電源電圧が非常に高圧とな
って感電など安全上の対策が必要になる他、安定動作に
も支障をきたす恐れがある。By the way, in order to make the gas distribution in the ionization chamber uniform at each X-ray incident position, one very thin rod-shaped electrode should be provided in the center of the incident window parallel to the X-ray incident direction. However, in this case, since the electrode interval becomes wide, the responsiveness, which is an important performance of the X-ray thickness gauge, is deteriorated. If you try to cover this by increasing the potential difference between the electrodes, the power supply voltage applied to the ionization chamber will become extremely high, and safety measures such as electric shock will be required and stable operation may be hindered. .
【００１１】このように、これまでのＸ線厚さ計に用い
られる電離箱では、内部電極構造、間隔、材質に必然的
に堅牢なものが要求されるため、Ｘ線の各入射位置で電
離箱のガスの分布（内部構造）を一様にするのは困難
で、Ｘ線ビームアライメントがずれた場合の誤差要因に
なるという相反する特性があり、双方を両立させること
ができなかった。As described above, in the ionization chamber used in the conventional X-ray thickness gauge, since the internal electrode structure, the interval, and the material must be robust inevitably, the ionization chamber is ionized at each X-ray incident position. It is difficult to make the gas distribution (internal structure) uniform in the box, and there are contradictory characteristics that cause an error when the X-ray beam alignment is deviated.
【００１２】そこで、本発明は、上記問題点を鑑み、入
射位置による感度分布のばらつきをなくし、Ｘ線のビー
ムアライメントがずれた場合でも、被測定物を透過した
ことによる減衰量のみを高速で効率良く安定して検出す
る電離箱を提供することを目的とする。In view of the above problems, the present invention eliminates the variation in the sensitivity distribution depending on the incident position, and even if the X-ray beam alignment is deviated, only the amount of attenuation due to transmission through the object to be measured can be achieved at high speed. It is an object of the present invention to provide an ionization chamber that can detect efficiently and stably.
【００１３】[0013]
【課題を解決するための手段】第１の発明においては、
所定のエネルギー成分を有するＸ線のみを透過するフィ
ルタ機能を有するＸ線入射口が設けられ、内部にガスが
充填された容器と、この容器と電気的に絶縁された状態
で前記容器に設けられた端子と、この端子に導通された
第１の電極と、上記容器に導通された第２の電極とを有
する。これにより、実効エネルギーが高く（Ｘ線の硬
化）なる性質を利用し、入射するＸ線が容器に設けられ
たＸ線入射口のフィルタ機能をＸ線が透過する際に、Ｘ
線の低エネルギー成分が吸収され、高エネルギー成分の
みを透過することで、感度分布をばらつかせる原因とな
る電離箱の内部構造に影響を受けないＸ線としてから検
出することができる。Means for Solving the Problems In the first invention,
An X-ray entrance having a filter function for transmitting only X-rays having a predetermined energy component is provided, and a container filled with gas is provided in the container in a state of being electrically insulated from the container. A terminal, a first electrode conducted to the terminal, and a second electrode conducted to the container. This makes use of the property that the effective energy is high (curing of X-rays), and when X-rays pass through the filter function of the X-ray entrance port provided in the container, the X-rays can be
Since the low energy component of the ray is absorbed and only the high energy component is transmitted, it can be detected as an X-ray that is not affected by the internal structure of the ionization chamber that causes the sensitivity distribution to vary.
【００１４】第２の発明においては、内部にガスが充填
され、Ｘ線を入射する窓が設けられた容器と、この容器
と電気的に絶縁された状態で前記容器に設けられた端子
と、この端子に導通された第１の電極と、上記容器に導
通された第２の電極と、上記容器に設けられた窓を介し
て入射されたＸ線のうち所定のエネルギー成分を有する
Ｘ線のみを透過するフィルタとを有する。In the second aspect of the invention, a container filled with gas and provided with a window through which X-rays enter, and a terminal provided in the container in an electrically insulated state from the container, Of the X-rays incident through the first electrode conducted to the terminal, the second electrode conducted to the container and the window provided in the container, only X-rays having a predetermined energy component And a filter that transmits light.
【００１５】第３の発明においては、フィルタは板状に
形成され、第１の電極の端部に設けられたことを特徴と
する。第４の発明においては、Ｘ線のうち所定のエネル
ギー成分を有するＸ線のみを透過するフィルタと、内部
にガスが充填され、上記フィルタを透過したＸ線を入射
する窓が設けられた容器と、この容器と電気的に絶縁さ
れた状態で上記容器に設けられた端子と、この端子に導
通された第１の電極と、上記容器に導通された第２の電
極とを有する。In a third aspect of the invention, the filter is formed in a plate shape and is provided at the end of the first electrode. In the fourth invention, a filter that allows only X-rays having a predetermined energy component among X-rays to pass through, and a container that is filled with gas inside and provided with a window through which the X-rays that have passed through the filter are incident. A terminal provided on the container in an electrically insulated state from the container, a first electrode electrically connected to the terminal, and a second electrode electrically connected to the container.
【００１６】第５の発明においては、内部にガスが充填
され、Ｘ線を入射する窓が設けられた容器と、この容器
と電気的に絶縁された状態で上記容器に設けられた端子
と、この端子に導通され、上記Ｘ線のうち所定のエネル
ギー成分を有するＸ線のみを透過するフィルタ機能を有
する第１の電極と、上記容器に導通され、上記Ｘ線のう
ち所定のエネルギー成分を有するＸ線のみを透過するフ
ィルタ機能を有する第２の電極とを有する。In a fifth aspect of the invention, a container filled with gas and provided with a window through which X-rays are incident, and a terminal provided on the container in an electrically insulated state from the container, A first electrode having a filter function which is electrically connected to this terminal and transmits only X-rays having a predetermined energy component of the X-rays, and a first electrode which is electrically connected to the container and has a predetermined energy component of the X-rays. And a second electrode having a filter function of transmitting only X-rays.
【００１７】[0017]
（第１の実施の形態）以下、本発明の第１の実施の形態
について、図面を用いて説明する。図１に示すように、
本発明の第１の実施の形態による電離箱は、全体が容器
１０で囲まれ、内部にキセノンガス（以下ガスという）
１１が充填されている。(First Embodiment) A first embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. As shown in FIG.
The ionization chamber according to the first embodiment of the present invention is entirely surrounded by a container 10 and has xenon gas (hereinafter referred to as gas) inside.
11 is filled.
【００１８】容器１０の上端部には、電離電流Ｉを出力
する端子１２が容器１０と電気的に絶縁された状態で保
持され、容器１０に導通している電源電極１３と、端子
１２に導通している信号電極１４がガス１１を隔てて交
互に取り巻くように内部に配設されている。At the upper end of the container 10, a terminal 12 for outputting an ionizing current I is held in a state of being electrically insulated from the container 10, and a power supply electrode 13 conducting to the container 10 and a terminal 12 conducting. The signal electrodes 14 are arranged inside so as to surround the gas 11 alternately.
【００１９】また、容器１０の下端部には、Ｘ線１５が
入射する窓１６があり、この窓１６から入射したＸ線１
５がガス１１に衝突することで、ガス１１はイオン１７
と電子１８に電離される。At the lower end of the container 10, there is a window 16 through which the X-rays 15 enter, and the X-rays 1 that enter through the windows 16
When 5 collides with gas 11, gas 11 becomes ions 17
And are ionized by the electron 18.
【００２０】電離したイオン１７と電子１８は、電源電
極１３と信号電極１４との間に印加された電圧により決
定される電位差に従って、電源電極１３または信号電極
１４に引き寄せられ、それぞれ電離電流Ｉとして流れ込
む。これにより、電離箱に入射したＸ線１５の検出が可
能となる。The ionized ions 17 and electrons 18 are attracted to the power supply electrode 13 or the signal electrode 14 in accordance with the potential difference determined by the voltage applied between the power supply electrode 13 and the signal electrode 14, and are respectively converted into ionization currents I. Pour in. As a result, the X-rays 15 that have entered the ionization chamber can be detected.
【００２１】また、窓１６には、板状に形成されたアル
ミニウムを材料としたＸ線フィルタ２０が設けられてい
る。以上のように構成された電離箱においては、図２に
示すように、窓１６から入射したＸ線１５は、Ｘ線フィ
ルタ２０を透過することにより、例えば５０ｋＶ未満の
低エネルギー成分２１を吸収し、上部の電源電極１３及
び信号電極１４による吸収、減弱を受けない例えば５０
ｋＶ以上の高エネルギー成分２２のＸ線のみが、ガス１
１へ照射されることになるため、電源電極１３や信号電
極１４の構造に影響されない入射位置で感度分布が一様
なＸ線の検出が可能となる。In addition, the window 16 is provided with an X-ray filter 20 made of plate-shaped aluminum as a material. In the ionization chamber configured as described above, as shown in FIG. 2, the X-rays 15 incident from the window 16 pass through the X-ray filter 20 to absorb the low energy component 21 of less than 50 kV, for example. , Which is not absorbed or attenuated by the upper power electrode 13 and the signal electrode 14, for example, 50
Only the X-rays of the high energy component 22 of kV or more are gas 1
Therefore, it is possible to detect X-rays having a uniform sensitivity distribution at the incident position that is not affected by the structures of the power supply electrode 13 and the signal electrode 14.
【００２２】従って、第１の実施の形態によれば、窓１
６に板状のＸ線フィルタ２０を設け、Ｘ線の各入射位置
での感度分布を一様としているので、Ｘ線ビームアライ
メントがずれて、入射範囲が変動（例えば、図３中のＡ
からＢへ変動）した場合でも、窓１６の範囲内にあれ
ば、誤差を生じることなく、被測定物の厚さ変化による
Ｘ線の減弱量のみを安定して検出することができる。Therefore, according to the first embodiment, the window 1
6 is provided with a plate-shaped X-ray filter 20 to make the sensitivity distribution uniform at each incident position of X-rays, the X-ray beam alignment is deviated and the incident range is changed (for example, A in FIG. 3).
Even if it changes from B to B), if it is within the range of the window 16, it is possible to stably detect only the X-ray attenuation amount due to the change in the thickness of the measured object without causing an error.
【００２３】（第２の実施の形態）次に、図４を用い
て、本発明の第２の実施の形態の電離箱を説明するが、
上述した本発明の第１の実施の形態と相違する部分につ
いてのみ説明する。(Second Embodiment) Next, an ionization chamber according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
Only parts different from the above-described first embodiment of the present invention will be described.
【００２４】図４に示すように、本発明の第２の実施の
形態による電離箱は、容器１０に設けられた窓１６を介
して入射されたＸ線１５のうち所定のエネルギー成分を
有するＸ線のみを透過するように、窓１６の後段にＸ線
フィルタ３０が設けられている。As shown in FIG. 4, the ionization chamber according to the second embodiment of the present invention has an X-ray having a predetermined energy component of X-rays 15 incident through a window 16 provided in the container 10. An X-ray filter 30 is provided after the window 16 so as to transmit only the rays.
【００２５】以上のように構成された電離箱において
は、上述した第１の実施の形態と同様に、窓１６から入
射したＸ線１５は、Ｘ線フィルタ３０を透過することに
より、低エネルギー成分２１を吸収し、上部の電源電極
１３及び信号電極１４による吸収、減弱を受けない高エ
ネルギー成分２２のＸ線のみが、ガス１１へ照射される
ことになるため、電源電極１３や信号電極１４の構造に
影響されない入射位置で感度分布が一様なＸ線の検出が
可能となる。In the ionization chamber configured as described above, the X-rays 15 incident from the window 16 are transmitted through the X-ray filter 30 and the low energy components are transmitted, as in the first embodiment described above. Since the gas 11 is irradiated with only the X-rays of the high energy component 22 that absorbs 21 and is not absorbed or attenuated by the power electrode 13 and the signal electrode 14 on the upper side, It is possible to detect X-rays having a uniform sensitivity distribution at the incident position that is not affected by the structure.
【００２６】従って、第２の実施の形態によれば、窓１
６の後段に板状のＸ線フィルタ３０を設け、Ｘ線の各入
射位置での感度分布を一様としているので、Ｘ線ビーム
アライメントがずれて、入射範囲が変動した場合でも、
窓１６の範囲内にあれば、誤差を生じることなく、被測
定物の厚さ変化によるＸ線の減弱量のみを安定して検出
することができる。Therefore, according to the second embodiment, the window 1
Since the plate-shaped X-ray filter 30 is provided in the subsequent stage of 6 to make the sensitivity distribution uniform at each X-ray incident position, even if the X-ray beam alignment is deviated and the incident range is changed,
Within the range of the window 16, it is possible to stably detect only the amount of X-ray attenuation due to the change in the thickness of the object to be measured, without causing an error.
【００２７】（第３の実施の形態）次に、図５を用い
て、本発明の第３の実施の形態の電離箱を説明するが、
上述した本発明の第１及び第２の実施の形態と相違する
部分についてのみ説明する。(Third Embodiment) Next, an ionization chamber according to a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
Only parts different from the above-described first and second embodiments of the present invention will be described.
【００２８】図５に示すように、本発明の第３の実施の
形態による電離箱は、容器１０に設けられた窓１６の前
段にＸ線フィルタ４０が設けられ、まずＸ線１５のうち
所定のエネルギー成分を有するＸ線のみを透過し、この
透過された所定のエネルギー成分のみを有するＸ線を窓
１６に入射するように構成されている。As shown in FIG. 5, in the ionization chamber according to the third embodiment of the present invention, an X-ray filter 40 is provided in front of the window 16 provided in the container 10, and first, a predetermined portion of the X-rays 15 is selected. Is transmitted so that only the X-rays having the energy component of the above are transmitted, and the transmitted X-rays having only the predetermined energy component are incident on the window 16.
【００２９】以上のように構成された電離箱において
は、上述した第１及び第２の実施の形態と同様に、窓１
６から入射したＸ線１５は、Ｘ線フィルタ４０を透過す
ることにより、低エネルギー成分２１を吸収し、上部の
電源電極１３及び信号電極１４による吸収、減弱を受け
ない高エネルギー成分２２のＸ線のみが、ガス１１へ照
射されることになるため、電源電極１３や信号電極１４
の構造に影響されない入射位置で感度分布が一様なＸ線
の検出が可能となる。In the ionization chamber constructed as described above, the window 1 is used as in the first and second embodiments described above.
The X-ray 15 incident from 6 absorbs the low energy component 21 by passing through the X-ray filter 40, and the X-ray of the high energy component 22 which is not absorbed or attenuated by the upper power electrode 13 and the signal electrode 14. Since only the gas 11 is irradiated with the gas, the power electrode 13 and the signal electrode 14
X-rays having a uniform sensitivity distribution can be detected at the incident position that is not affected by the structure.
【００３０】従って、第３の実施の形態によれば、窓１
６の前段に板状のＸ線フィルタ４０を設け、Ｘ線の各入
射位置での感度分布を一様としているので、Ｘ線ビーム
アライメントがずれて、入射範囲が変動した場合でも、
窓１６の範囲内にあれば、誤差を生じることなく、被測
定物の厚さ変化によるＸ線の減弱量のみを安定して検出
することができる。Therefore, according to the third embodiment, the window 1
Since the plate-shaped X-ray filter 40 is provided in the preceding stage of 6 to make the sensitivity distribution uniform at each X-ray incident position, even if the X-ray beam alignment is deviated and the incident range is changed,
Within the range of the window 16, it is possible to stably detect only the amount of X-ray attenuation due to the change in the thickness of the object to be measured, without causing an error.
【００３１】（第４の実施の形態）次に、図６を用い
て、本発明の第４の実施の形態の電離箱を説明するが、
上述した本発明の第１乃至第３の実施の形態と相違する
部分についてのみ説明する。(Fourth Embodiment) Next, an ionization chamber according to a fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
Only parts different from the above-described first to third embodiments of the present invention will be described.
【００３２】図６に示すように、本発明の第４の実施の
形態による電離箱は、容器と電気的に絶縁された状態で
上記容器に設けられた端子に導通され、Ｘ線のうち所定
のエネルギー成分を有するＸ線のみを透過するフィルタ
機能を有する第１の電極５０と、容器１０に導通され、
Ｘ線のうち所定のエネルギー成分を有するＸ線のみを透
過するフィルタ機能を有する第２の電極５１とを有して
いる。As shown in FIG. 6, the ionization chamber according to the fourth embodiment of the present invention is electrically insulated from the container and is electrically connected to a terminal provided on the container to determine a predetermined X-ray. The first electrode 50 having a filter function of transmitting only X-rays having the energy component of
It has the 2nd electrode 51 which has a filter function which permeate | transmits only the X-ray which has a predetermined energy component among X-rays.
【００３３】以上のように構成された電離箱において
は、上述した第１乃至第３の実施の形態と同様に、窓１
６から入射したＸ線１５は、第１の電極５０及び第２の
電極５１の各フィルタ機能を透過することにより、低エ
ネルギー成分２１を吸収し、上部の電源電極１３及び信
号電極１４による吸収、減弱を受けない高エネルギー成
分２２のＸ線のみが、ガス１１へ照射されることになる
ため、電源電極１３や信号電極１４の構造に影響されな
い入射位置で感度分布が一様なＸ線の検出が可能とな
る。In the ionization chamber constructed as described above, the window 1 is used as in the first to third embodiments described above.
The X-ray 15 incident from 6 absorbs the low energy component 21 by passing through each filter function of the first electrode 50 and the second electrode 51, and is absorbed by the power supply electrode 13 and the signal electrode 14 on the upper side. Since only the X-rays of the high-energy component 22 that are not attenuated are irradiated to the gas 11, the detection of X-rays with a uniform sensitivity distribution at the incident position that is not affected by the structure of the power supply electrode 13 or the signal electrode 14 is detected. Is possible.
【００３４】従って、第４の実施の形態によれば、第１
及び第２の電極５０、５１に所定のエネルギー成分を有
するＸ線のみを透過するフィルタ機能を有し、Ｘ線の各
入射位置での感度分布を一様としているので、Ｘ線ビー
ムアライメントがずれて、入射範囲が変動した場合で
も、窓１６の範囲内にあれば、誤差を生じることなく、
被測定物の厚さ変化によるＸ線の減弱量のみを安定して
検出することができる。Therefore, according to the fourth embodiment, the first
Since the second electrodes 50 and 51 have a filter function of transmitting only X-rays having a predetermined energy component and the sensitivity distribution at each incident position of X-rays is uniform, the X-ray beam alignment is deviated. Even if the incident range changes, if it is within the range of the window 16, no error occurs,
Only the amount of X-ray attenuation due to the change in the thickness of the object to be measured can be stably detected.
【００３５】[0035]
【発明の効果】以上述べたように、本発明の電離箱によ
れば、入射されたＸ線のうち所定のエネルギー成分を有
するＸ線のみを透過するフィルタを有し、Ｘ線の各入射
位置での感度分布を一様としているので、入射位置によ
る感度分布のばらつきをなくし、Ｘ線のビームアライメ
ントがずれた場合でも、被測定物を透過したことによる
減衰量のみを高速で効率良く安定して検出することがで
きる。As described above, according to the ionization chamber of the present invention, the ionization chamber has a filter that transmits only X-rays having a predetermined energy component among the incident X-rays, and each X-ray incidence position. Since the sensitivity distribution is uniform, the sensitivity distribution does not fluctuate depending on the incident position, and even if the X-ray beam alignment is deviated, only the attenuation amount due to transmission through the DUT can be stabilized at high speed and efficiently. Can be detected.
【図１】本発明の第１の実施の形態の電離箱を示す概要
構成図FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing an ionization chamber according to a first embodiment of the present invention.
【図２】本発明の第１の実施の形態の電離箱の感度分布
を示すグラフFIG. 2 is a graph showing a sensitivity distribution of the ionization chamber according to the first embodiment of the present invention.
【図３】本発明の第１の実施の形態の電離箱が検出する
Ｘ線の特性を示すグラフFIG. 3 is a graph showing characteristics of X-rays detected by the ionization chamber according to the first embodiment of the present invention.
【図４】本発明の第２の実施の形態の電離箱を示す概要
構成図FIG. 4 is a schematic configuration diagram showing an ionization chamber according to a second embodiment of the present invention.
【図５】本発明の第３の実施の形態の電離箱を示す概要
構成図FIG. 5 is a schematic configuration diagram showing an ionization chamber according to a third embodiment of the present invention.
【図６】本発明の第４の実施の形態の電離箱を示す概要
構成図FIG. 6 is a schematic configuration diagram showing an ionization chamber according to a fourth embodiment of the present invention.
【図７】従来の電離箱の感度分布を示すグラフFIG. 7 is a graph showing the sensitivity distribution of a conventional ionization chamber.
１０…容器、１１…ガス、１２…端子、１３…電源電
極、１４…信号電極、１５…Ｘ線、１６…窓、２０、３
０、４０…Ｘ線フィルタ、５０…第１の電極、５１…第
２の電極10 ... Container, 11 ... Gas, 12 ... Terminal, 13 ... Power electrode, 14 ... Signal electrode, 15 ... X-ray, 16 ... Window, 20, 3
0, 40 ... X-ray filter, 50 ... First electrode, 51 ... Second electrode
Claims (5)
みを透過するフィルタ機能を有するＸ線入射口が設けら
れ、内部にガスが充填された容器と、この容器と電気的
に絶縁された状態で前記容器に設けられた端子と、この
端子に導通された第１の電極と、前記容器に導通された
第２の電極とを具備したことを特徴とする電離箱。1. A container having an X-ray entrance having a filter function for transmitting only X-rays having a predetermined energy component, the inside of which is filled with gas, and the container being electrically insulated from the container. An ionization chamber comprising: a terminal provided on the container, a first electrode electrically connected to the terminal, and a second electrode electrically connected to the container.
る窓が設けられた容器と、この容器と電気的に絶縁され
た状態で前記容器に設けられた端子と、この端子に導通
された第１の電極と、前記容器に導通された第２の電極
と、前記容器に設けられた窓を介して入射されたＸ線の
うち所定のエネルギー成分を有するＸ線のみを透過する
フィルタとを具備したことを特徴とする電離箱。2. A container having a window filled with gas and provided with an X-ray entrance window, a terminal provided on the container in an electrically insulated state from the container, and electrically connected to the terminal. A first electrode, a second electrode conducted to the container, and a filter transmitting only X-rays having a predetermined energy component among X-rays incident through a window provided in the container. An ionization chamber comprising:
フィルタは板状に形成され、前記第１の電極の端部に設
けられたことを特徴とする電離箱。3. The ionization chamber according to claim 2, wherein the filter is formed in a plate shape and is provided at an end portion of the first electrode.
するＸ線のみを透過するフィルタと、内部にガスが充填
され、前記フィルタを透過したＸ線を入射する窓が設け
られた容器と、この容器と電気的に絶縁された状態で前
記容器に設けられた端子と、この端子に導通された第１
の電極と、前記容器に導通された第２の電極とを具備し
たことを特徴とする電離箱。4. A filter that transmits only X-rays having a predetermined energy component among X-rays, a container that is filled with a gas, and is provided with a window that receives the X-rays that have passed through the filter, A terminal provided on the container in a state of being electrically insulated from the container, and a first terminal connected to the terminal.
An ionization chamber, characterized in that it comprises an electrode of 1) and a second electrode conducted to the container.
る窓が設けられた容器と、この容器と電気的に絶縁され
た状態で前記容器に設けられた端子と、この端子に導通
され、前記Ｘ線のうち所定のエネルギー成分を有するＸ
線のみを透過するフィルタ機能を有する第１の電極と、
前記容器に導通され、前記Ｘ線のうち所定のエネルギー
成分を有するＸ線のみを透過するフィルタ機能を有する
第２の電極とを具備したことを特徴とする電離箱。5. A container having a window filled with gas and provided with an X-ray entrance window, a terminal provided on the container in an electrically insulated state from the container, and a terminal electrically connected to the terminal. , X having a predetermined energy component of the X-rays
A first electrode having a filter function of transmitting only the line;
An ionization chamber, comprising: a second electrode having a filter function that is conducted to the container and transmits only X-rays having a predetermined energy component among the X-rays.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10662696A JPH09292468A (en) | 1996-04-26 | 1996-04-26 | Ionization chamber |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10662696A JPH09292468A (en) | 1996-04-26 | 1996-04-26 | Ionization chamber |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09292468A true JPH09292468A (en) | 1997-11-11 |
Family
ID=14438327
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10662696A Pending JPH09292468A (en) | 1996-04-26 | 1996-04-26 | Ionization chamber |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09292468A (en) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
1996
- 1996-04-26 JP JP10662696A patent/JPH09292468A/en active Pending
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