JPH09283407A

JPH09283407A - 露光装置

Info

Publication number: JPH09283407A
Application number: JP8090660A
Authority: JP
Inventors: Kei Nara; 圭奈良; Toshio Matsuura; 敏男松浦
Original assignee: Nikon Corp
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 1996-04-12
Filing date: 1996-04-12
Publication date: 1997-10-31
Also published as: KR970072022A; KR100472929B1; US5985496A

Abstract

(57)【要約】【課題】小型軽量かつ簡単安価に構成でき、迅速に投
影光学系の照度測定および照度制御を正確かつ確実に行
なえる露光装置を提供する。【解決手段】マスク２上に形成された露光パターンを
複数の投影光学系５〜９を用いて感光基板上に同時に露
光走査する露光装置において、投影光学系５〜９の露光
照度を各光学系の出射側においてほぼ同時に測定すべく
複数の照度センサＳ1〜Ｓ6をキャリブレーションユニッ
ト１０上に配置し、キャリッジの移動走査により照度セ
ンサＳ1〜Ｓ6で隣接する投影光学系５〜９のオーバーラ
ップ部の露光照度を測定し、隣接するオーバーラップ部
の露光照度が一致するように投影光学系５〜９にそれぞ
れ照明光を入射する照明ユニット３ａ〜３ｅの照度を制
御する。その場合、投影光学系５〜９の入射側に設けた
照度センサＳ11〜Ｓ15を用いて閉ループ制御により照度
制御を行なう。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は露光装置、特に照度
制御を行なう露光装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、ワードプロセッサ、パーソナルコ
ンピュータ、テレビジョンなどの表示素子として、液晶
表示器が広く用いられている。

【０００３】液晶表示器は、ガラス基板上に透明薄膜電
極をフォトリソグラフィの手法でパターンニングして形
成される。このための装置として、マスク上に形成され
た原画パターンを投影光学系を介してガラス基板上に形
成したフォトレジスト層に投影する露光装置が知られて
いる。

【０００４】近年では、液晶表示器の大型化が進んでお
り、そのガラス基板サイズ（製造効率の観点から複数の
表示器分を一度に露光する場合が多い）の大面積化が要
求されており、これに伴なって、上記露光装置の露光領
域の拡大が要求されている。

【０００５】この露光領域の拡大のために、図１に示す
ような複数の投影光学系を備えた走査型露光装置が考え
られている。

【０００６】図１において、符号２は露光パターンが形
成されたマスク、符号４は上面がフォトレジスト面とな
ったプレート（ガラス基板）であり、不図示のキャリッ
ジに装着される。マスク２およびプレート４の中間部に
は、マスク２上のパターンの正立像を各々分割してプレ
ート４上の結像面に形成する投影光学系５〜９が配置さ
れる。

【０００７】図示のように、投影光学系５、６、７及び
８、９は一定間隔離れ、かつ各々の露光領域が互いにわ
ずかずつオーバーラップするように千鳥状に配置されて
いる。

【０００８】露光のための照明系３は、各々投影光学系
５〜９に光軸を整合させた照明ユニット３ａ〜３ｅから
構成される。照明ユニット３ａ〜３ｅは照度調節機構を
内蔵するが、これらは図１では省略されている。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】上記構成において、マ
スク２及びプレート４のアライメントを行なった後、マ
スク２及びプレート４の相対的な位置と間隔を保持した
まま、キャリッジ駆動機構により照明系３及び投影光学
系５〜９に対して走査方向Ａに移動し、マスク２上の連
続した露光パターンが投影光学系５〜９により分割さ
れ、プレート４上に露光される。

【００１０】このようにして、マスク２全面のパターン
がプレート４上に転写されるがこのとき、各投影光学系
の露光照度にバラツキがあると、再合成したパターンに
投影光学系の配置に依存した線幅変化が生じてしまう。

【００１１】露光照度のバラツキは、投影光学系５〜９
の透過率のバラツキ、照度ユニット３ａ〜３ｅの照度の
バラツキなどに起因して生じる。このような不具合を防
ぐため、照度計測用センサＳ0を設け、この照度計測用
センサＳ0の出力を用いて照明照度を制御する構成が考
えられている。

【００１２】照度計測用センサＳ0は、マスク２及びプ
レート４を保持するキャリッジ（不図示）に取り付けら
れており、キャリッジ上でＢ方向に移動できるよう構成
される。

【００１３】キャリッジはＡ方向にマスク２及びプレー
ト４を露光走査するよう動作可能であるが、その場合、
投影光学系５〜９がマスク２及びプレート４の図中右側
の端部を越える位置まで相対移動可能となっていれば、
その位置で照度計測用センサＳ0をＢ方向に走査するこ
とにより、照度計測用センサＳ0により各投影光学系の
任意の位置の照明強度を測定することができる。

【００１４】この照明強度測定の様子を図２〜図５に示
す。

【００１５】図２は、投影光学系８、９の照明強度を計
測する場合のキャリッジおよび光学系の位置関係を示す
もので、センサＳ0をＢ方向に移動することで投影光学
系８、９の照明強度を計測することができる。

【００１６】図３は投影光学系５〜９の結像面における
露光領域の形状および配置を示したもので、投影光学系
５〜９は、内蔵する視野絞りにより図示のように各々台
形形状の露光領域を有し、投影光学系５〜７と、投影光
学系８、９の露光領域の台形の短辺が互いに向いあうよ
うに配置されている。そして、走査方向Ａから明かなよ
うに、互いに向いあう投影光学系５〜７と、投影光学系
８、９の露光領域の台形の斜辺部分がオーバーラップす
るように考慮されている。

【００１７】従来では、照明照度を制御するために、投
影光学系５〜７と、投影光学系８、９の露光領域のオー
バーラップ部分の照度を測定する手法が提案されてい
る。

【００１８】すなわち、図３に示す、オーバーラップ部
ａ1〜ａ4の照度Ｉ1、Ｉ1’、Ｉ3、Ｉ3’を計測する。

【００１９】同様に、図４に示すようにキャリッジを移
動して、投影光学系５、６、７のオーバーラップ部ｂ1
〜ｂ6（図５）の照度Ｉ0、Ｉ0’、Ｉ2、Ｉ2’、Ｉ4、Ｉ
4’を計測する。

【００２０】このようにして得られた照度計測結果の例
を図６に示す。隣接する投影光学系間の照度差（Ｉ0’-
Ｉ1、Ｉ1’-Ｉ2、Ｉ2’-Ｉ3、Ｉ3’-Ｉ4’）が存在する
と、露光パターンの急激な線幅変化を生ずるため、これ
ら照度差を０もしくは最小にするよう照明系内の照度調
整機構３ａ〜３ｅを調整する。

【００２１】図７は、調整の一例を示したもので、投影
光学系５の照度Ｉ0を固定したまま、投影光学系６、
７、８、９の照度をオーバーラップ部での差が０になる
よう調整した結果を示している。即ち、投影光学系５の
照度を基準として、これに合せて投影光学系８、６、
９、７の順にオーバーラップ部での照度Ｉ0’とＩ1、Ｉ
1’とＩ2、Ｉ2’とＩ3、Ｉ3’とＩ4、が一致するように
照明系３の各照明系ユニット３ａ〜３ｅを制御し、各投
影光学系５の急激な照度差を無くすようにする。図７に
おいて、Ｊ0〜Ｊ5は、各投影光学系５のオーバーラップ
部での最終的な照度を示している。

【００２２】上述の従来方式では、照度計測用センサの
走査機構が必要であり、構成が複雑化しやすく、コスト
の点でも問題があり、また、照度計測用センサの走査の
ために測定時間が長くなりがちな問題がある。

【００２３】また、露光走査領域外で照度計測用センサ
の走査を行なうので、露光シーケンスの途中で照度差の
チェックができない、という問題がある。

【００２４】また、露光制御に関しても、端部のセンサ
の測定値を基準とする方法では、端部の投影光学系が異
常な値となっているとこのセンサの測定値に合せて他の
投影光学系の照度が決まってしまうために、場合によっ
ては正常な露光が不可能となる事態も予想される。

【００２５】そこで本発明の課題は、小型軽量かつ簡単
安価に構成でき、迅速に投影光学系の照度測定および照
度制御を正確かつ確実に行なえ、露光シーケンス途中で
も照度のキャリブレーションが可能な露光装置を提供す
ることにある。

【００２６】

【発明の実施の形態】以下、図を参照して本発明の実施
の形態を説明する。＜実施形態１＞図８は、本発明を採用した露光装置の実
施形態を示している。以下では、従来例と同一または同
様の部材には同一符号を用い、その詳細な説明は省略す
るものとする。

【００２７】図８の構造では、各投影光学系の出射側で
の照度及び照度差を計測するために、センサＳ1〜Ｓ6を
複数設けている。これらのセンサＳ1〜Ｓ6は、キャリブ
レーションユニット１０に固定されている。キャリブレ
ーションユニット１０はキャリッジとリジッドに装着さ
れている。図８では、キャリッジの走査方向はＣであ
る。

【００２８】センサＳ1〜Ｓ6は、図９に示すように、投
影光学系の露光フィールドのうち、少なくとも互いにオ
ーバーラップする部分の照度が計測できるように配置さ
れる。たとえば、センサＳ2は、投影光学系５と投影光
学系８の両方の照度をオーバーラップ部ａ1、ｂ2におい
て測定できる位置に配置されている。投影光学系５と投
影光学系８のいずれを測定するかは、キャリッジ移動に
より選択する。センサＳ3〜Ｓ5は、各投影光学系に合わ
せて配置される。

【００２９】図８では、照明系３の構成も詳細に示して
ある。すなわち、照明ユニット３ａ〜３ｅには照度調節
のためにフィルタｆ1〜ｆ5を挿入できるようになってい
る。これらフィルタｆ1〜ｆ5は、たとえばグラデーショ
ンフィルタであり、モータ（またはソレノイドなど）Ｍ
1〜Ｍ5により矢印方向に駆動可能であり、照明ユニット
３ａ〜３ｅ内の光学系の透過率を調節することで投影光
学系５〜８に入射される照明光の照度を制御する。

【００３０】さらに、露光シーケンス中においても照度
調節を行なうために、本実施形態では、照明ユニット３
ａ〜３ｅと、投影光学系５〜８の間の光路にハーフミラ
ー１１〜１５、およびセンサＳ11〜Ｓ15が配置されてい
る。照明系３、投影光学系５〜８の位置関係はリジッド
であり、共にキャリブレーションユニット１０、マスク
２、プレート４に対して移動走査される。

【００３１】図８において符号１００はマイクロプロセ
ッサ、ＲＯＭ、ＲＡＭなどのメモリを用いて構成された
制御部で、この制御部１００は、センサＳ1〜Ｓ6および
センサＳ11〜Ｓ15の出力を用いてフィルタｆ1〜ｆ5を駆
動するモータ（またはソレノイドなど）Ｍ1〜Ｍ5を制御
することにより、投影光学系５〜８の照度制御を行な
う。制御部１００の制御プログラムについては後述す
る。

【００３２】図１０は、センサＳ1〜Ｓ6により投影光学
系５、６、７の照度を、図１１は、投影光学系８、９の
照度を測定しているときの様子を示している。図示のよ
うに、図１０では、投影光学系５、６、７がセンサＳ1
〜Ｓ6の位置に、図１１では、投影光学系８、９がセン
サＳ1〜Ｓ6の位置に移動されている。

【００３３】計測結果はたとえば、図１２のように得ら
れる。図中のａ1〜ａ4、ｂ1〜ｂ6は、図８のセンサＳ1
〜Ｓ6による測定位置に相当する。すなわち、ｂ1はセン
サＳ1の、ａ1およびｂ2はセンサＳ2の、ａ2およびｂ3は
センサＳ3の、ａ3およびｂ4はセンサＳ4の、ａ4および
ｂ5はセンサＳ5の、そしてｂ6はセンサＳ6の測定値であ
る。

【００３４】以下では、制御部１００による照度制御に
ついて説明する。

【００３５】まず、投影光学系のうちのどれかの照度を
固定し、オーバーラップ部で照度差が０になるように隣
接する投影光学系の照度を調整する方法を説明する。

【００３６】ここでは図１３を参照して、投影光学系５
の照度を固定した場合について具体的な演算方法を説明
する。図１３は、調整後の各点での照度を示しており、
図中のＪ0〜Ｊ5は調整後の照度で、次式により求められ
る。

【００３７】

【数１】

【００３８】すなわち、一般式で書けば、

【００３９】

【数２】

【００４０】となる。投影光学系５、６、７、８、９の
照度を制御するために、各投影光学系の照明ユニット３
a、３b、３c、３d、３eにそれぞれ与えられる照度オフ
セットＦ0、Ｆ2、Ｆ4、Ｆ1、Ｆ3は、照度の実際値と目
標値の差であり、次式により求められる（ここでＦ0は
照明ユニット３aの、Ｆ1は照明ユニット３dの、Ｆ2は照
明ユニット３bの、Ｆ3は照明ユニット３eの、そしてＦ4
は照明ユニット３cの照度オフセットである）。

【００４１】

【数３】

【００４２】すなわち、一般式で書けば、

【００４３】

【数４】

【００４４】となる。制御部１００は、得られた照度オ
フセットに基づきフィルタ駆動用のモータ（またはソレ
ノイドなど）Ｍ1〜Ｍ5を駆動し、各投影光学系の照度が
目標値に達するように制御する。その際、後述のように
してセンサＳ11〜Ｓ15の測定値が利用される。

【００４５】このようにして、所定の投影光学系（以上
の例では投影光学系５）の照度を基準として投影光学系
５〜８のうちそれぞれ隣りあう投影光学系のオーバーラ
ップ部の照度差を０にすることができる。

【００４６】図１３および上記の数式１〜４に示した調
節方法は、制御部１００により図１４のフローチャート
に示した制御を行なうことにより実現できる。図１４で
は、センサＳ11〜Ｓ15を用いた制御についても記述して
ある。

【００４７】図１４のステップＳ１１では、投影光学系
５、６、７とセンサＳ1〜Ｓ6が整合する位置（図１０の
位置）に移動する。

【００４８】そして、ステップＳ１２では、センサＳ1
〜Ｓ6により照度Ｉ0、Ｉ0’、Ｉ2、Ｉ2’、Ｉ4、Ｉ4’
を測定する。また、同時に後述の閉ループ制御のため
に、センサＳ11、Ｓ12、Ｓ13により、光学系の照明光入
射側での照度Ｋ0、Ｋ1、Ｋ2を測定しておく。

【００４９】続いて、ステップＳ１３において投影光学
系８、９とセンサＳ1〜Ｓ6（Ｓ2〜Ｓ5）が整合する位置
（図１１の位置）に移動する。そして、ステップＳ１４
で、センサＳ2〜Ｓ5により照度Ｉ1、Ｉ1’、Ｉ3、Ｉ3’
を測定する。また、同時に後述の閉ループ制御のため
に、センサＳ14、Ｓ15により、光学系の照明光入射側で
の照度Ｋ3、Ｋ4を測定しておく。

【００５０】ステップＳ１５では、上記の数式１、２の
演算を行ない、各投影光学系のオーバーラップ部におけ
る目標照度Ｊ0〜Ｊ5を算出する。そして、ステップＳ１
６では目標照度Ｊ0〜Ｊ5と実際値の差をとることにより
各投影光学系の照明ユニット３a〜３dに与えるべきオフ
セットＦ0〜Ｆ4を求める（数式３、４と等価）。

【００５１】その後、照度オフセットＦ0〜Ｆ4と、セン
サＳ11〜Ｓ15の出力を用いて各照明ユニット３a〜３dの
照度を閉ループ制御する。

【００５２】この閉ループ制御については図１４では、
照明ユニット３aおよび３dの制御のみが具体的に図示し
てある（ステップＳ１７〜Ｓ１９、Ｓ２１〜Ｓ２３）。

【００５３】たとえば照明ユニット３aの場合、ステッ
プＳ１７において照度制御系Ｍ1（モータ、ソレノイド
など）によりフィルタｆ1の位置を制御するが、その場
合ステップＳ１８でセンサＳ11により光学系５の入射側
における実際の照度値Ｋ0’を測定し、ステップＳ１９
において実際の照度値Ｋ0’が初期の照度値Ｋ0と照度オ
フセットＦ0を加算した値に到達しているか否かが判断
され、この判断結果に応じてステップＳ１７におけるフ
ィルタ駆動パラメータが決定される。

【００５４】以上の実施形態によれば、複数の投影光学
系の照明光の入射側において、露光照度をほぼ同時に測
定すべく複数のセンサＳ1〜Ｓ5を配置しているために、
極めて迅速な照度測定および照度制御が可能であり、ま
た、従来の単一センサを用いた構成におけるようなセン
サ走査系を必要とせず、装置を簡単安価かつ小型軽量に
構成することができる。

【００５５】なお、図１４の制御のうち、ステップＳ１
１〜Ｓ１６（処理Ａ）は露光シーケンス以外のタイミン
グで実行する必要があり、たとえば露光シーケンス開始
前の所定タイミングなどにおいて実行すればよい。

【００５６】これに対して、複数の投影光学系の照明光
の入射側において、露光照度をほぼ同時に測定すべく複
数のセンサＳ11〜Ｓ15を配置しているために、ステップ
Ｓ１７以降の照明制御（処理Ｂ）は、いったん照度オフ
セットＦ0〜Ｆ4を算出した後であれば、露光シーケンス
中であっても任意のタイミングで実行することができ、
ステップＳ１７以降の照明制御を度々行なうことで正確
な露光照度制御が可能となる。

【００５７】すなわち、上記実施形態によれば、露光シ
ーケンス途中でも照度のキャリブレーションが可能であ
り、正確かつ確実な露光制御が行なえる、という優れた
利点がある。＜実施形態２＞先の実施形態では１つの投影光学系の露
光照度を固定し、その照度に他の照度を合わせる例を説
明したが、任意のオフセットを照度オフセットＦ0〜Ｆ4
に均一に加算することでオーバーラップ部の照度差を０
にしたまま、任意の照度を得ることができる。

【００５８】たとえば、図１５は、調整後の平均照度が
目標照度Ｐと等しくなるように制御するため、オフセッ
トΔＰ’を照度オフセットＦ0〜Ｆ4に均一に加算する例
を示しており、図１５では次のようにして照度オフセッ
トＦ0〜Ｆ5を決定する。ここでオフセットΔＰ’は照度
オフセットＦ0〜Ｆ5に共通に加算するオフセットであ
る。

【００５９】

【数５】

【００６０】この場合の処理は、図１６のようになる。
処理全体の流れは図１４の場合と同様であり、異なるの
は図１４のステップＳ１６が、ステップＳ１６ａ、Ｓ１
６ａ’に置換されている点である。

【００６１】ステップＳ１６ａにおいては、照度オフセ
ットＦ0〜Ｆ4に加算すべきオフセットΔＰ’を上記の数
式５に基づき算出し、Ｓ１６ａ’では目標値Ｊi、実際
値Ii、およびオフセットΔＰ’から照度オフセットＦ0
〜Ｆ4を算出している。

【００６２】このようにしてオフセットΔＰ’を照度オ
フセットＦ0〜Ｆ4に均一に加算することで、オーバーラ
ップ部の照度差を０にしたまま、調整後の平均照度が目
標照度Ｐと等しくなるように制御することができる。な
お、図１６では、処理Ｂについては図１４と同様である
ので図示を省略している。＜実施形態３＞照度オフセットＦ0〜Ｆ4を補正するため
のオフセットは、上記実施形態２に限定されるものでは
なく、たとえば、調整後の照度の最大値と目標値Ｐとの
ズレ量、および調整後の照度の最小値と目標値Ｐとのズ
レ量がともに最小になるようにあるオフセットを照度オ
フセットＦ0〜Ｆ4に共通に加算することも考えられる。

【００６３】すなわち、図１７は、調整後の照度の最大
値と目標値Ｐとのズレ量、および調整後の照度の最小値
と目標値Ｐとのズレ量がともに最小になるように制御す
る例を示しており、図１７では次のようにして照度オフ
セットＦ0〜Ｆ5を決定する。ここでオフセットΔＰ”は
照度オフセットＦ0〜Ｆ5に共通に加算するオフセットで
ある（max（Ｊ0…Ｊ5）はＪ0〜Ｊ5の中の最大値、min
（Ｊ0…Ｊ5）はＪ0〜Ｊ5の中の最小値を示す）。

【００６４】

【数６】

【００６５】この場合の処理は、図１８のようになる。
ここでも処理全体の流れは図１４の場合と同様であり、
異なるのは図１４のステップＳ１６が、ステップＳ１６
ｂ、Ｓ１６ｂ’に置換されている点である。

【００６６】ステップＳ１６ｂにおいては、照度オフセ
ットＦ0〜Ｆ4に加算すべきオフセットΔＰ”を上記の数
式６に基づき算出し、Ｓ１６ｂ’では目標値Ｊi、実際
値Ii、およびオフセットΔＰ”から照度オフセットＦ0
〜Ｆ4を算出している。

【００６７】このようにしてオフセットΔＰ”を照度オ
フセットＦ0〜Ｆ4に均一に加算することで、オーバーラ
ップ部の照度差を０にしたまま、調整後の照度の最大値
と目標値Ｐとのズレ量、および調整後の照度の最小値と
目標値Ｐとのズレ量がともに最小になる（すなわち、調
整後の照度の最大値および最小値の中間値が目標値Ｐに
合致する）ように制御することができる。なお、図１８
でも、処理Ｂについては図１４と同様であり、この部分
の図示を省略している。

【００６８】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、複数の投影光学系の照明光の入射側におい
て、露光照度をほぼ同時に測定すべく複数のセンサを設
けているために、極めて迅速な照度測定および照度制御
が可能であり、また、従来の単一センサを用いた構成に
おけるようなセンサ走査系を必要とせず、装置を簡単安
価かつ小型軽量に構成することができる、という優れた
効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】従来の露光装置の構成を示した説明図である。

【図２】従来の露光装置による照度計測の様子を示した
説明図である。

【図３】従来の露光装置による照度計測の様子を示した
説明図である。

【図４】従来の露光装置による照度計測の様子を示した
説明図である。

【図５】従来の露光装置による照度計測の様子を示した
説明図である。

【図６】従来の露光装置による照度計測結果を示した線
図である。

【図７】従来装置による照度調整の例を示した線図であ
る。

【図８】本発明による露光装置の構成を示した説明図で
ある。

【図９】本発明の露光装置における投影光学系出射側の
光センサと露光フィールドの関係を示した説明図であ
る。

【図１０】本発明の露光装置による照度計測の様子を示
した説明図である。

【図１１】本発明の露光装置による照度計測の様子を示
した説明図である。

【図１２】本発明の露光装置による照度計測結果を示し
た線図である。

【図１３】本発明の実施形態１における照度調整結果
で、１つの投影光学系の照度を基準として、全ての隣接
する投影光学系のオーバーラップ部の照度を合致させる
べく照度調整を行なった結果を示した線図である。

【図１４】図１３の照度調整のための制御手順を示した
フローチャート図である。

【図１５】本発明の実施形態２における照度調整結果
で、複数の投影光学系の照度の平均値が目標値Ｐとなる
ように照度調整を行なった結果を示した線図である。

【図１６】図１５の照度調整のための制御手順を示した
フローチャート図である。

【図１７】本発明の実施形態３における照度調整結果
で、照度の最大値と目標値Ｐ、および最小値と目標値Ｐ
のそれぞれのズレ量を小さくするように示した線図であ
る。

【図１８】図１７の照度調整のための制御手順を示した
フローチャート図である。

【符号の説明】

２マスク３照明系３ａ〜３ｅ照明ユニット４プレート５〜９投影光学系１０キャリブレーションユニット１００制御部Ｓ0〜Ｓ6 照度センサＳ11〜Ｓ15 照度センサＭ1〜Ｍ5 モータｆ1〜ｆ5 フィルタ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】マスク上に形成された露光パターンを複
数の光学系を用いて感光基板上に同時に露光走査する露
光装置において、前記複数の光学系の露光照度を光学系の出射側において
ほぼ同時に測定すべく複数の照度測定手段を露光走査機
構の所定位置に配置したことを特徴とする露光装置。
【請求項２】前記照度測定手段の１つは、前記複数の
光学系のうち、少なくとも隣接する２つの光学系の露光
照度を計測するよう配置されるとともに、前記照度測定手段の出力に基づき前記複数の光学系の照
度を制御する制御手段を有することを特徴とする請求項
１に記載の露光装置。
【請求項３】前記制御手段は、互いに隣接する光学系
の照度差が小さくなるように前記複数の光学系の照度を
制御することを特徴とする請求項２に記載の露光装置。
【請求項４】前記制御手段は、互いに隣接する光学系
の照度差が小さくなるように前記複数の光学系の照度を
制御するとともに、かつ、目標の照度に対する全体の照
度の平均値が一致するよう前記複数の光学系の照度を制
御することを特徴とする請求項２に記載の露光装置。
【請求項５】前記制御手段は、照度差を小さくしなが
ら目標の照度に対する全体の照度の最大値及び最小値の
差が最小となるよう前記複数の光学系の照度を制御する
ことを特徴とする請求項２に記載の露光装置。
【請求項６】前記複数の光学系の照明光の入射側にお
いて個々の光学系に入射される照明光の照度を測定する
照明光照度測定手段が設けられ、前記制御手段は、前記照度測定手段の出力に基づき各光
学系において目的の照度を得るための制御量を求め、こ
の制御量および前記照明光照度測定手段の出力に基づき
前記複数の光学系の照明手段をそれぞれ駆動制御するこ
とを特徴とする請求項２に記載の露光装置。