JPH09283395A - Display and controller of semiconductor manufacture device - Google Patents
Display and controller of semiconductor manufacture deviceInfo
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- JPH09283395A JPH09283395A JP11693896A JP11693896A JPH09283395A JP H09283395 A JPH09283395 A JP H09283395A JP 11693896 A JP11693896 A JP 11693896A JP 11693896 A JP11693896 A JP 11693896A JP H09283395 A JPH09283395 A JP H09283395A
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造装置の
管理装置に係わり、特に、ディスプレイ上の左側に形成
された第１の表示部と、ディスプレイ上の右側に形成さ
れた第２の表示部と、これらの間に形成された第３の表
示部とを設け、第１又は第２の何れかの表示部のデータ
等を選択すると、該当するデータ等に関する情報が他の
表示部に表示され、第３の表示部には、その対応関係が
表示される半導体製造装置の管理装置に関するものであ
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor manufacturing apparatus management apparatus, and more particularly to a first display section formed on the left side of a display and a second display section formed on the right side of a display. And a third display section formed between them, and when data or the like of the first or second display section is selected, information regarding the corresponding data or the like is displayed on the other display section. , The third display section relates to a management apparatus of a semiconductor manufacturing apparatus whose correspondence is displayed.
【０００２】[0002]
【従来の技術】近年の情報処理技術の飛躍的進歩から、
多種多量の半導体チップが生産されている。これらの半
導体は、インゴットからウェハーを切り出し、このウェ
ハーに対してマスキング等を行い、更に、スパッタリン
グ等を行っている。2. Description of the Related Art Due to recent breakthroughs in information processing technology,
Various types of semiconductor chips are produced. For these semiconductors, a wafer is cut out from an ingot, the wafer is masked and the like, and further sputtering is performed.
【０００３】この半導体チップの製造は、実際には６０
０〜８００程度の複雑な工程を経ており、特に、ＡＳＩ
Ｃ等の半導体チップは、多種類のチップを同一工場で量
産する必要があり、その生産性の向上が強く望まれてい
る。The manufacture of this semiconductor chip is actually 60
It has undergone a complicated process of about 0 to 800, especially ASI
It is necessary to mass-produce many kinds of semiconductor chips such as C in the same factory, and it is strongly desired to improve their productivity.
【０００４】半導体チップの工場では、処理が施される
ウェハーをカセットに挿入し、このカセットを各工程を
移動させることにより、各工程に配置されたマシンで各
種処理が施される様に工夫されている。In a semiconductor chip factory, a wafer to be processed is inserted into a cassette, and each cassette is moved so that various processes are performed by a machine arranged in each process. ing.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の処理方法では、各工程のマシンの作動状態を作業員が
充分把握することができず、半導体チップ工場の作業効
率が向上しているとは言い難かった。However, in the above-mentioned conventional processing method, it is said that the worker cannot sufficiently grasp the operating state of the machine in each process, and the working efficiency of the semiconductor chip factory is improved. It was difficult.
【０００６】そこで作業員が、各工程のマシンを容易に
把握することができ、半導体チップ工場の作業効率を向
上させることができる半導体チップ工場の生産管理シス
テムの実現が強く望まれていた。Therefore, it has been strongly desired to realize a production management system for a semiconductor chip factory, in which a worker can easily grasp the machine in each process and improve the work efficiency of the semiconductor chip factory.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題に鑑み
案出されたもので、ディスプレイ上の左側に形成された
第１の表示部と、該ディスプレイ上の右側に形成された
第２の表示部と、前記第１の表示部と該第２の表示部と
の間に形成された第３の表示部とからなり、前記第１の
表示部に表示された事項の内、少なくとも１つの事項を
選択すると、該選択された事項に対応するデータが前記
第２の表示部に表示されるか、或いは、前記第２の表示
部に表示された事項の内、少なくとも１つの事項を選択
すると、該選択された事項に対応するデータが前記第１
の表示部に表示される様に構成され、前記第３の表示部
には、前記第１の表示部と前記第２の表示部との関連を
指示が表示される構成となっている。The present invention has been devised in view of the above problems, and includes a first display portion formed on the left side of a display and a second display portion formed on the right side of the display. A display unit and a third display unit formed between the first display unit and the second display unit, and at least one of the items displayed on the first display unit When an item is selected, data corresponding to the selected item is displayed on the second display unit, or when at least one item is selected from the items displayed on the second display unit. , The data corresponding to the selected item is the first
Is configured to be displayed on the display unit, and the third display unit is configured to display an instruction regarding the relationship between the first display unit and the second display unit.
【０００８】また本発明の情報処理装置は、情報を表示
させるためのディスプレイ装置と、このディスプレイ装
置を駆動させると共に、情報の処理を行うための演算処
理手段とからなり、前記ディスプレイ装置の左側に形成
された第１の表示部と、該ディスプレイ装置の右側に形
成された第２の表示部と、前記第１の表示部と該第２の
表示部との間に形成された第３の表示部とからなり、前
記第１の表示部に表示された事項の内、少なくとも１つ
の事項を選択すると、該選択された事項に対応するデー
タが前記第２の表示部に表示されるか、或いは、前記第
２の表示部に表示された事項の内、少なくとも１つの事
項を選択すると、該選択された事項に対応するデータが
前記第１の表示部に表示される様に構成され、前記第３
の表示部には、前記第１の表示部と前記第２の表示部と
の関連を指示が表示される構成となっている。The information processing apparatus of the present invention comprises a display device for displaying information and an arithmetic processing means for driving the display device and processing the information, and is provided on the left side of the display device. A formed first display portion, a second display portion formed on the right side of the display device, and a third display formed between the first display portion and the second display portion And at least one item is selected from the items displayed on the first display unit, data corresponding to the selected item is displayed on the second display unit, or When at least one item is selected from the items displayed on the second display unit, the data corresponding to the selected item is displayed on the first display unit. Three
The display section is configured to display an instruction regarding the relationship between the first display section and the second display section.
【０００９】更に本発明の半導体製造装置の管理装置
は、情報を表示させるためのディスプレイ装置と、この
ディスプレイ装置を駆動させると共に、情報の処理を行
うための演算処理手段とからなり、このディスプレイ装
置には、前記ディスプレイ装置の左側に形成された第１
の表示部と、該ディスプレイ装置の右側に形成された第
２の表示部と、前記第１の表示部と該第２の表示部との
間に形成された第３の表示部とが形成されており、第１
の表示部には「マシン群別予約状況」を表示し、第２の
表示部には「クリーンルーム別予約状況」を表示する様
になっており、第２の表示部に表示された複数のクリー
ンルームの中から、使用者が入力手段より特定のクリー
ンルームを選択すると、第１の表示部には、選択された
クリーンルームのマシン群の詳細な予約状況が拡大され
て表示される様に構成され、前記第３の表示部には、前
記第２の表示部の中から選択されたクリーンルームと、
前記第１の表示部に表示されたマシン群の詳細な予約状
況との対応を示すための表示がなされる構成となってい
る。Further, the semiconductor manufacturing apparatus management apparatus of the present invention comprises a display device for displaying information and an arithmetic processing means for driving the display device and processing the information. The first device formed on the left side of the display device.
A display section, a second display section formed on the right side of the display device, and a third display section formed between the first display section and the second display section. And first
The "reservation status by machine group" is displayed on the display section of "," and the "reservation status by clean room" is displayed on the second display section, and the plurality of clean rooms displayed on the second display section are displayed. When a user selects a specific clean room from the input means from among the above, the detailed reservation status of the machine group of the selected clean room is enlarged and displayed on the first display unit. On the third display unit, a clean room selected from the second display unit,
The display for indicating the correspondence with the detailed reservation status of the machine group displayed on the first display unit is provided.
【００１０】そして本発明は、使用者が入力手段より入
力した命令に基づき、第２の表示部に表示された「クリ
ーンルーム別予約状況」に代えて、「クリーンルーム別
処理残時間状況」を表示させる構成にすることもでき
る。According to the present invention, based on an instruction input by the user from the input means, the "remaining processing status by clean room" is displayed instead of the "reservation status by clean room" displayed on the second display section. It can also be configured.
【００１１】また本発明は、情報を表示させるためのデ
ィスプレイ装置と、このディスプレイ装置を駆動させる
と共に、情報の処理を行うための演算処理手段とからな
り、このディスプレイ装置には、前記ディスプレイ装置
の左側に形成された第１の表示部と、該ディスプレイ装
置の右側に形成された第２の表示部と、前記第１の表示
部と該第２の表示部との間に形成された第３の表示部と
が形成されており、前記第１の表示部には「マシン群別
予約状況」を表示し、前記第２の表示部には「クリーン
ルーム別予約状況」を表示する様になっており、前記第
１の表示部に表示された「マシン群別予約状況」に表示
されたマシンの中から、使用者が入力手段より特定のマ
シンを選択すると、前記第２の表示部には、選択された
マシンの中の詳細な情報が表示され、前記第３の表示部
には、前記第１の表示部の中から選択されたマシンと、
前記第２の表示部に表示されたマシンの詳細な情報との
対応を示すための表示がなされる構成となっている。Further, the present invention comprises a display device for displaying information, and an arithmetic processing means for driving the display device and processing the information. A first display section formed on the left side, a second display section formed on the right side of the display device, and a third display section formed between the first display section and the second display section. Is displayed, and the first display section displays "reservation status by machine group", and the second display section displays "reservation status by clean room". When the user selects a specific machine from the input means from the machines displayed in the "reservation status by machine group" displayed on the first display unit, the second display unit displays Details in the selected machine Information is displayed, and wherein the third display unit, the first display unit is selected machine from among,
A display is provided to show the correspondence with the detailed information of the machine displayed on the second display unit.
【００１２】更に本発明は、情報を表示させるためのデ
ィスプレイ装置と、このディスプレイ装置を駆動させる
と共に、情報の処理を行うための演算処理手段とからな
り、このディスプレイ装置には、前記ディスプレイ装置
の左側に形成された第１の表示部と、該ディスプレイ装
置の右側に形成された第２の表示部と、前記第１の表示
部と該第２の表示部との間に形成された第３の表示部と
が形成されており、前記第１の表示部には「マシン群別
予約状況」を表示し、第２の表示部には「クリーンルー
ム別予約状況」を表示する様になっており、使用者が入
力手段より「未予約情報」の命令を入力すると、前記第
１の表示部には、「未予約ロット情報」が表示され、前
記第２の表示部には「マシンの予約状況の詳細」が表示
され、前記第３の表示部には、前記第１の表示部に表示
された「未予約ロット情報」と、前記第２の表示部に表
示された「マシンの予約状況の詳細」との対応を示す表
示がなされる構成となっている。Further, the present invention comprises a display device for displaying information, and an arithmetic processing means for driving the display device and processing the information, the display device comprising: A first display section formed on the left side, a second display section formed on the right side of the display device, and a third display section formed between the first display section and the second display section. Is formed, and the first display section displays the "reservation status by machine group" and the second display section displays the "reservation status by clean room". When the user inputs a command of "unreserved information" from the input means, "unreserved lot information" is displayed on the first display and "machine reservation status" is displayed on the second display. Details of the In the display section, a display showing the correspondence between the “unreserved lot information” displayed on the first display section and the “details of the reservation status of the machine” displayed on the second display section is displayed. It is composed.
【００１３】そして本発明は、第１の表示部に「未予約
ロット情報」が表示された後、使用者が入力手段より入
力した命令に基づき、第２の表示部に表示された「予約
ロット情報」を表示させる構成にすることもできる。According to the present invention, after the "unreserved lot information" is displayed on the first display unit, the "reserved lot information" displayed on the second display unit is displayed on the basis of an instruction input by the user from the input means. The information can be displayed.
【００１４】また本発明は、第１の表示部に「未予約ロ
ット情報」が表示された後、使用者が入力手段より入力
した命令に基づき、第２の表示部に表示された「予約ロ
ット情報」を表示させ、前記入力手段より、予約データ
を入力する構成にすることもできる。Further, according to the present invention, after the "unreserved lot information" is displayed on the first display portion, the "reserved lot information" displayed on the second display portion is displayed on the basis of an instruction input by the user from the input means. It is also possible to display "information" and input reservation data from the input means.
【００１５】更に本発明は、第１の表示部に「未予約ロ
ット情報」が表示された後、使用者が入力手段より入力
した命令に基づき、第１の表示部に表示された「未予約
ロット情報」を、第２の表示部に移動させ、編集作業を
行う構成にすることもできる。Further, according to the present invention, after the "unreserved lot information" is displayed on the first display unit, the "unreserved lot information" displayed on the first display unit is displayed based on a command input by the user from the input means. It is also possible to move the “lot information” to the second display unit and perform the editing work.
【００１６】[0016]
【発明の実施の形態】以上の様に構成された本発明は、
第１の表示部をディスプレイ上の左側に形成し、第２の
表示部をディスプレイ上の右側に形成し、第３の表示部
を、第１の表示部と第２の表示部との間に形成し、第１
の表示部に表示された事項の内、少なくとも１つの事項
を選択すると、選択された事項に対応するデータが第２
の表示部に表示されるか、或いは、第２の表示部に表示
された事項の内、少なくとも１つの事項を選択すると、
選択された事項に対応するデータが第１の表示部に表示
される様になっており、第３の表示部には、第１の表示
部と第２の表示部との関連を指示が表示される様になっ
ている。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention constructed as described above
The first display unit is formed on the left side of the display, the second display unit is formed on the right side of the display, and the third display unit is provided between the first display unit and the second display unit. Forming and first
When at least one item is selected from the items displayed on the display section, the data corresponding to the selected item becomes the second item.
, Or at least one of the items displayed on the second display is selected,
The data corresponding to the selected item is displayed on the first display unit, and the third display unit displays an instruction regarding the relationship between the first display unit and the second display unit. It is supposed to be done.
【００１７】また本発明の情報処理装置は、ディスプレ
イ装置が情報を表示し、演算処理手段が、ディスプレイ
装置を駆動させると共に、情報の処理を行い、第１の表
示部をディスプレイ上の左側に形成し、第２の表示部を
ディスプレイ上の右側に形成し、第３の表示部を、第１
の表示部と第２の表示部との間に形成し、第１の表示部
に表示された事項の内、少なくとも１つの事項を選択す
ると、選択された事項に対応するデータが第２の表示部
に表示されるか、或いは、第２の表示部に表示された事
項の内、少なくとも１つの事項を選択すると、選択され
た事項に対応するデータが第１の表示部に表示される様
になっており、第３の表示部には、第１の表示部と第２
の表示部との関連を指示が表示される様になっている。In the information processing apparatus of the present invention, the display device displays information, the arithmetic processing means drives the display device, processes the information, and forms the first display portion on the left side of the display. Then, the second display portion is formed on the right side of the display, and the third display portion is
Is formed between the display part and the second display part, and when at least one item is selected from the items displayed on the first display part, data corresponding to the selected item is displayed on the second display. Section, or when at least one item is selected from the items displayed on the second display unit, the data corresponding to the selected item is displayed on the first display unit. And the third display section has a first display section and a second display section.
Instructions are displayed so as to relate to the display section of.
【００１８】更に本発明の半導体製造装置の管理装置
は、第１の表示部には「マシン群別予約状況」を表示
し、第２の表示部には「クリーンルーム別予約状況」を
表示する様になっており、第２の表示部に表示された複
数のクリーンルームの中から、使用者が入力手段より特
定のクリーンルームを選択すると、第１の表示部には、
選択されたクリーンルームのマシン群の詳細な予約状況
が拡大されて表示される様になっており、第３の表示部
には、第２の表示部の中から選択されたクリーンルーム
と、第１の表示部に表示されたマシン群の詳細な予約状
況との対応を示すための表示がなされる様になってい
る。Further, the semiconductor manufacturing apparatus management apparatus of the present invention displays "reservation status by machine group" on the first display section and "reservation status by clean room" on the second display section. When the user selects a specific clean room from the plurality of clean rooms displayed on the second display unit through the input means, the first display unit displays
The detailed reservation status of the machine group of the selected clean room is enlarged and displayed, and the clean room selected from the second display part and the first clean room are displayed on the third display part. A display is made to show the correspondence with the detailed reservation status of the machine group displayed on the display unit.
【００１９】そして本発明は、使用者が入力手段より入
力した命令に基づき、第２の表示部に表示された「クリ
ーンルーム別予約状況」に代えて、「クリーンルーム別
処理残時間状況」を表示させることもできる。According to the present invention, based on a command input by the user through the input means, the "remaining processing status by clean room" is displayed instead of the "reservation status by clean room" displayed on the second display section. You can also
【００２０】また本発明は、第１の表示部には「マシン
群別予約状況」を表示し、第２の表示部には「クリーン
ルーム別予約状況」を表示する様になっており、第１の
表示部に表示された「マシン群別予約状況」に表示され
たマシンの中から、使用者が入力手段より特定のマシン
を選択すると、第２の表示部には、選択されたマシンの
中から詳細な情報が表示され、第３の表示部には、第１
の表示部の中から選択されたマシンと、第２の表示部に
表示されたマシンの詳細な情報との対応を示すための表
示がなされる様になっている。Further, according to the present invention, the "reservation status by machine group" is displayed on the first display section, and the "reservation status by clean room" is displayed on the second display section. When the user selects a particular machine from the input means from the machines displayed in the "reservation status by machine group" displayed on the display section of the, the second display section displays the selected machine. Detailed information is displayed from the first display on the third display.
A display is made to show the correspondence between the machine selected from the display section of the above and the detailed information of the machine displayed on the second display section.
【００２１】更に本発明は、第１の表示部には「マシン
群別予約状況」を表示し、第２の表示部には「クリーン
ルーム別予約状況」を表示する様になっており、使用者
が入力手段より「未予約情報」の命令を入力すると、第
１の表示部には、「未予約ロット情報」が表示され、第
２の表示部には「マシンの予約状況の詳細」が表示さ
れ、第３の表示部には、第１の表示部に表示された「未
予約ロット情報」と、第２の表示部に表示された「マシ
ンの予約状況の詳細」との対応を示す表示がなされる様
になっているFurther, according to the present invention, the "reservation status by machine group" is displayed on the first display section, and the "reservation status by clean room" is displayed on the second display section. When a command of "unreserved information" is input from the input means, "unreserved lot information" is displayed on the first display and "details of machine reservation status" is displayed on the second display. The third display section displays a correspondence between the "unreserved lot information" displayed on the first display section and the "detailed reservation status of the machine" displayed on the second display section. Is being done
【００２２】そして本発明は、第１の表示部に「未予約
ロット情報」が表示された後、使用者が入力手段より入
力した命令に基づき、第２の表示部に表示された「予約
ロット情報」を表示させることもできる。According to the present invention, after the "unreserved lot information" is displayed on the first display portion, the "reserved lot information" displayed on the second display portion is displayed on the basis of an instruction input by the user from the input means. Information can be displayed.
【００２３】また本発明は、第１の表示部に「未予約ロ
ット情報」が表示された後、使用者が入力手段より入力
した命令に基づき、第２の表示部に表示された「予約ロ
ット情報」を表示させ、入力手段より、予約データを入
力することもできる。Further, according to the present invention, after the "unreserved lot information" is displayed on the first display portion, the "reserved lot information" displayed on the second display portion is displayed on the basis of an instruction input by the user from the input means. Information can be displayed and reservation data can be input through the input means.
【００２４】更に本発明は、第１の表示部に「未予約ロ
ット情報」が表示された後、使用者が入力手段より入力
した命令に基づき、第１の表示部に表示された「未予約
ロット情報」を、第２の表示部に移動させ、編集作業を
行うこともできる。Further, according to the present invention, after the "unreserved lot information" is displayed on the first display unit, the "unreserved lot information" displayed on the first display unit is displayed based on a command input by the user from the input means. It is also possible to move the "lot information" to the second display unit and perform editing work.
【００２５】「原理」[Principle]
【００２６】図１に示す様に本発明は、ディスプレイ上
の左側に第１の表示部１００を形成し、ディスプレイ上
の右側に第２の表示部２００を形成させる。そして、第
１の表示部１００と、第２の表示部２００との間に形成
された第３の表示部３００とから形成されている。As shown in FIG. 1, according to the present invention, the first display section 100 is formed on the left side of the display and the second display section 200 is formed on the right side of the display. The third display unit 300 is formed between the first display unit 100 and the second display unit 200.
【００２７】本原理では、半導体製造装置の管理システ
ムで説明する。In the present principle, a management system for semiconductor manufacturing equipment will be described.
【００２８】第１の表示部１００には、複数のマシン情
報が表示されており、使用者が第１の表示部１００に表
示されたマシンの中から特定のマシンを適宜の入力手段
を使用して特定すると、対応する第２の表示部２００に
は、該当するマシンが既に予約されている「ロット情
報」が表示される様になっている。この際、第３の表示
部３００には、第１の表示部１００で選択されたマシン
と、第２の表示部２００に表示された「ロット情報」と
を関係付けるため、「矢印」の表示がなされる。A plurality of pieces of machine information are displayed on the first display section 100, and the user can select a specific machine from the machines displayed on the first display section 100 by using an appropriate input means. When specified, the corresponding second display unit 200 displays "lot information" in which the corresponding machine is already reserved. At this time, since the machine selected on the first display unit 100 and the “lot information” displayed on the second display unit 200 are associated with each other on the third display unit 300, an “arrow” is displayed. Is done.
【００２９】この入力手段は、タッチパネルやキーボー
ド、マウス等、適宜のデータ入力手段を採用することが
できる。また第３の表示部３００は、「矢印」の記号に
限ることなく、第１の表示部１００で選択されたマシン
と、第２の表示部２００の「ロット情報」とを関係付け
るためのものであれば、何れの表示であってもよい。As the input means, an appropriate data input means such as a touch panel, a keyboard, a mouse or the like can be adopted. The third display unit 300 is not limited to the symbol “arrow”, and is used to associate the machine selected on the first display unit 100 with the “lot information” on the second display unit 200. So long as it is any display.
【００３０】第３の表示部３００は、第１の表示部１０
０と第２の表示部２００との「インタラクション情報エ
リア」の機能を備えている。The third display unit 300 is the first display unit 10.
0 and the function of the “interaction information area” between the second display unit 200.
【００３１】なお上記原理は、「半導体製造装置の管理
システム」の例で説明したが、「半導体製造装置の管理
システム」に限定されるものではなく、何れの表示に応
用することができる。The above principle has been described with reference to the example of the "semiconductor manufacturing apparatus management system", but the present invention is not limited to the "semiconductor manufacturing apparatus management system" and can be applied to any display.
【００３２】[0032]
【００３３】本発明の実施例を図面に基づいて説明す
る。An embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
【００３４】半導体工場では、処理が施されるウェハー
をカセットに挿入し、このカセットを各工程を移動させ
ることにより、各工程に配置されたマシンで各種処理が
施している。In a semiconductor factory, a wafer to be processed is inserted into a cassette, and the cassette is moved through each process, so that the machines arranged in each process perform various processes.
【００３５】本実施例の半導体工場では、２４枚のウェ
ハーをカセットに挿入し、このカセットをクリーンルー
ム内のマシンを移動させて、定められた工程を実施する
様に構成されている。クリーンルーム内には、複数のマ
シンから構成されたマシン群が形成されており、作業員
が、ウェハーが挿入されたカセットをストッカに装備す
ることにより、指定されたマシンにカセットを装着させ
ることができる。In the semiconductor factory of this embodiment, 24 wafers are inserted into a cassette, and the cassette is moved by a machine in a clean room to carry out a predetermined process. A machine group consisting of multiple machines is formed in the clean room, and an operator can load the cassette into the designated machine by equipping the stocker with the cassette in which the wafer is inserted. .
【００３６】図８は、本実施例の半導体製造装置の管理
システムの構成を示す図である。FIG. 8 is a diagram showing the configuration of the management system of the semiconductor manufacturing apparatus of this embodiment.
【００３７】本実施例の半導体製造装置の管理システム
は、端末手段１０００、１０００・・・・と、機器制御
手段２０００と、ストッカ制御手段３０００と、演算処
理手段１００００とから構成されている。The semiconductor manufacturing apparatus management system of this embodiment comprises terminal means 1000, 1000 ..., Equipment control means 2000, stocker control means 3000, and arithmetic processing means 10000.
【００３８】端末手段１０００は、入力手段１１００
と、ディスプレイ手段１２００とが接続されている。The terminal means 1000 has an input means 1100.
And the display means 1200 are connected.
【００３９】入力手段１１００は、使用者が、端末手段
１０００に対して命令等を入力するためのもので、本実
施例では、ディスプレイ手段１２００上に形成されたタ
ッチセンサが採用されている。タッチセンサに限ること
なく、マウスやキーボード等の入力装置等を採用するこ
ともできる。入力手段１１００は、使用者の命令等が入
力可能であれば、何れの入力素子を採用することができ
る。The input means 1100 is used by the user to input a command or the like to the terminal means 1000. In this embodiment, a touch sensor formed on the display means 1200 is used. Not limited to the touch sensor, an input device such as a mouse or a keyboard may be adopted. The input unit 1100 may employ any input element as long as a user's command or the like can be input.
【００４０】ディスプレイ手段１２００は、ディスプレ
イ上の左側に第１の表示部１００を形成し、ディスプレ
イ上の右側に第２の表示部２００を形成しており、第１
の表示部１００と、第２の表示部２００との間に第３の
表示部３００を形成している。The display means 1200 has a first display section 100 formed on the left side of the display and a second display section 200 formed on the right side of the display.
The third display unit 300 is formed between the display unit 100 and the second display unit 200.
【００４１】更にディスプレイ上にはタッチセンサが形
成されており、使用者が、ディスプレイ上の情報を読み
取りながら、命令等を入力することができる。Further, since a touch sensor is formed on the display, the user can input a command or the like while reading the information on the display.
【００４２】なお端末手段１０００は、複数用意するこ
とができ、それぞれが演算処理手段１００００に接続さ
れる。端末手段１０００は、クリーンルームの外や、ク
リーンルーム内、更に、演算処理手段１００００が設置
されている機器室等に配備することができる。A plurality of terminal means 1000 can be prepared and each is connected to the arithmetic processing means 10000. The terminal means 1000 can be arranged outside the clean room, inside the clean room, and further in the equipment room in which the arithmetic processing means 10000 is installed.
【００４３】機器制御手段２０００は、演算処理手段１
００００の制御信号に基づき、半導体製造装置に装備さ
れている各マシンを制御駆動する様になっている。The device control means 2000 is the arithmetic processing means 1
Based on the control signal of 0000, each machine equipped in the semiconductor manufacturing apparatus is controlled and driven.
【００４４】ストッカ制御手段３０００は、演算処理手
段１００００の制御信号に基づき、各クリーンルームに
配置されているストッカを制御駆動するためのものであ
る。The stocker control means 3000 is for controlling and driving the stocker arranged in each clean room based on the control signal of the arithmetic processing means 10000.
【００４５】演算処理手段１００００は、ホストコンピ
ュータであり、ＣＰＵを備え、各種演算処理を行うと共
に、半導体製造装置の管理システム全体の制御を司るも
のである。また比較的大きな記憶装置を備えており、デ
ータベースを構築する機能も備えている。The arithmetic processing unit 10000 is a host computer, has a CPU, performs various arithmetic processing, and controls the entire management system of the semiconductor manufacturing apparatus. It also has a relatively large storage device and the function of building a database.
【００４６】以上の様に構成された半導体製造装置の管
理システムにより、半導体チップに対して各処理を行う
ためのマシンを総合的に管理することができる。By the management system of the semiconductor manufacturing apparatus configured as described above, it is possible to comprehensively manage the machine for performing each processing on the semiconductor chip.
【００４７】なお本明細書における演算処理手段には、
演算処理手段１００００と端末手段１０００の中に装備
されている演算処理機構の両者を示すものとする。The arithmetic processing means in this specification includes:
Both the arithmetic processing means 10000 and the arithmetic processing mechanism provided in the terminal means 1000 are shown.
【００４８】「第１実施例」"First embodiment"
【００４９】第１実施例では図２に示す様に、ディスプ
レイ上の左側に形成された第１の表示部１００には、
「マシン群別予約状況」を表示し、ディスプレイ上の右
側に形成された第２の表示部２００には、「クリーンル
ーム別予約状況」を表示する。In the first embodiment, as shown in FIG. 2, the first display portion 100 formed on the left side of the display is
The "reservation status by machine group" is displayed, and the "reservation status by clean room" is displayed on the second display unit 200 formed on the right side of the display.
【００５０】第１の表示部１００の「マシン群別予約状
況」には、個々のマシンの予約状況が表示されている。
即ち、そのマシンが今後、どの程度作業の予約が入って
いるかを示す様になっている。In the "Reservation status by machine group" on the first display section 100, the reservation status of each machine is displayed.
That is, the machine indicates how much work is reserved in the future.
【００５１】第２の表示部２００の「クリーンルーム別
予約状況」には、各クリーンルーム毎の予約状況が表示
されている。本実施例では、６つのクリーンルームを同
時に表示している。但し、第２の表示部２００の「クリ
ーンルーム別予約状況」は、６つのクリーンルームの情
報を同時に表示しているので、一覧性を向上させるため
に各マシンの最小限の情報のみを表示している。In the "reservation status by clean room" of the second display section 200, the reservation status for each clean room is displayed. In this embodiment, six clean rooms are displayed at the same time. However, since the "reservation status by clean room" of the second display unit 200 simultaneously displays information of six clean rooms, only the minimum information of each machine is displayed in order to improve the list. .
【００５２】そこで、６つのクリーンルームの中から、
使用者が一つのクリーンルームを選択する。この選択
は、ディスプレイ上に形成されたタッチセンサから行っ
てもよく、別体に設けられたキーボードから入力しても
よい。Therefore, from the six clean rooms,
The user selects one clean room. This selection may be performed from a touch sensor formed on the display or may be input from a keyboard provided separately.
【００５３】使用者が第２の表示部２００に表示されて
いるクリーンルームの中から、データを必要とするクリ
ーンルームを選択すると、図３に示される様に、第１の
表示部１００には、選択されたクリーンルームのマシン
群の詳細な予約状況が拡大されて表示される。そして、
第３の表示部３００には、第２の表示部２００の選択さ
れたクリーンルームを認識可能とするため、この選択さ
れたクリーンルームから第１の表示部１００に向けて
「矢印」表示がなされる。この第３の表示部３００の
「矢印」が、「インタラクション情報エリア」に該当す
る。When the user selects a clean room that requires data from the clean rooms displayed on the second display unit 200, the selection is made on the first display unit 100 as shown in FIG. The detailed reservation status of the machines in the clean room is displayed enlarged. And
On the third display unit 300, in order to make the selected clean room of the second display unit 200 recognizable, “arrow” is displayed from the selected clean room toward the first display unit 100. The “arrow” on the third display unit 300 corresponds to the “interaction information area”.
【００５４】次に使用者が、第１の表示部１００に表示
されている選択されたクリーンルームのマシン群の中か
ら、特定のマシンを選択する。この選択は、ディスプレ
イ上に形成されたタッチセンサから行ってもよく、別体
に設けられたキーボードから入力してもよい。Next, the user selects a specific machine from the group of machines in the selected clean room displayed on the first display section 100. This selection may be performed from a touch sensor formed on the display or may be input from a keyboard provided separately.
【００５５】特定のマシンが選択されると、図４に示さ
れる様に、第２の表示部２００には、その選択された特
定のマシンの処理中のロット情報及び予約ロット情報の
詳細が表示される。そして、第３の表示部３００には、
第１の表示部１００の選択された特定のマシンを認識可
能とするため、この選択された特定のマシンから第２の
表示部２００に向けて「矢印」表示がなされる。When a specific machine is selected, as shown in FIG. 4, the second display section 200 displays the details of the lot information in process and the reserved lot information of the selected specific machine. To be done. Then, in the third display unit 300,
In order to make the selected specific machine on the first display unit 100 recognizable, an “arrow” is displayed from the selected specific machine to the second display unit 200.
【００５６】更に使用者が、第１の表示部１００に表示
されているマシン群の中から、他の特定のマシンを選択
すると、第２の表示部２００には、該当するマシンの処
理中のロット情報及び予約ロット情報の詳細が表示され
る。更に、第３の表示部３００には、新たに選択された
特定のマシンを認識可能とするため、この選択された特
定のマシンから第２の表示部２００に向けて「矢印」が
移動して表示される。Further, when the user selects another specific machine from the group of machines displayed on the first display section 100, the second display section 200 indicates that the machine is being processed. Details of lot information and reserved lot information are displayed. Furthermore, in order to make the newly selected specific machine recognizable on the third display unit 300, an “arrow” moves from the selected specific machine toward the second display unit 200. Is displayed.
【００５７】以上の様に構成された第１実施例は、ディ
スプレイ上の左側に形成された第１の表示部１００とデ
ィスプレイ上の右側に形成された第２の表示部２００と
を関連付けて表示し、使用者の選択に合わせて切り替え
ることができるので、１つのディスプレイで、多くの情
報を確認処理することができる。In the first embodiment configured as described above, the first display section 100 formed on the left side of the display and the second display section 200 formed on the right side of the display are displayed in association with each other. However, since it can be switched according to the user's selection, a lot of information can be confirmed and processed on one display.
【００５８】なお、上記第１実施例では図２に示す様
に、ディスプレイ上の右側に形成された第２の表示部２
００には、「クリーンルーム別予約状況」を表示してい
るが、使用者の入力により、「クリーンルーム別予約状
況」から「クリーンルーム別処理残時間状況」に切り替
えることもできる。「クリーンルーム別処理残時間状
況」は、クリーンルーム毎にマシンの処理残時間を表示
したものである。In the first embodiment, as shown in FIG. 2, the second display portion 2 formed on the right side of the display.
Although the "reservation status by clean room" is displayed in 00, the "reservation status by clean room" can be switched to the "remaining processing time status by clean room" by the user's input. "Status of remaining processing time by clean room" displays the remaining processing time of the machine for each clean room.
【００５９】使用者は、ディスプレイ上に形成されたタ
ッチセンサや、別体に設けられたキーボード等から入力
して、「クリーンルーム別予約状況」から「クリーンル
ーム別処理残時間状況」に切り替えることもできる。更
に、図３に示される様に、第１の表示部１００には、選
択されたクリーンルームのマシン群の詳細な予約状況を
拡大して表示することもできる。The user can switch from "reservation status by clean room" to "remaining processing time status by clean room" by inputting from a touch sensor formed on the display or a keyboard provided separately. . Further, as shown in FIG. 3, the first display unit 100 can also enlarge and display the detailed reservation status of the machine group in the selected clean room.
【００６０】また、図２に示す様に、ディスプレイ上の
左側に形成された第１の表示部１００には、「マシン群
別予約状況」を表示させることができるが、使用者は、
第１の表示部１００に表示された「マシン群別予約状
況」の中から、特定のマシンを選択し、詳細な情報をデ
ィスプレイ上の右側に形成された第２の表示部２００に
表示することができる。特定のマシンの選択は、ディス
プレイ上に形成されたタッチセンサから行ってもよく、
別体に設けられたキーボードから入力してもよい。第３
の表示部３００には、第１の表示部１００の中から選択
されたマシンを認識可能とするため、この選択されたマ
シンから第２の表示部２００に向けて「矢印」表示がな
される。そして、第１の表示部１００の中から、新たに
別のマシンを選択すると、第３の表示部３００の「矢
印」も移動する様になっている。Further, as shown in FIG. 2, the first display portion 100 formed on the left side of the display can display the "reservation status by machine group".
Selecting a specific machine from the "reservation status by machine group" displayed on the first display unit 100 and displaying detailed information on the second display unit 200 formed on the right side of the display. You can Selection of a particular machine may be made from a touch sensor formed on the display,
You may input from the keyboard provided separately. Third
In order to enable the machine selected from the first display unit 100 to be recognized on the display unit 300, the “arrow” is displayed from the selected machine to the second display unit 200. Then, when another machine is newly selected from the first display unit 100, the “arrow” on the third display unit 300 is also moved.
【００６１】「第２実施例」[Second Embodiment]
【００６２】次に本発明の第２実施例を説明する。本第
２実施例は、上述の第１実施例で記載した様に、第１の
表示部１００に表示された「マシン群別予約状況」の中
から、特定のマシンを選択し、詳細な情報をディスプレ
イ上の右側に形成された第２の表示部２００に表示させ
た後、入力手段から「未予約状況」の命令を入力すれ
ば、第１の表示部１００には、未予約ロット情報が表示
される。従って図５に示す様に、ディスプレイ上の左側
に形成された第１の表示部１００には「未予約状況」を
表示させ、ディスプレイ上の右側に形成された第２の表
示部２００には「マシンの予約状況の詳細」を表示させ
ることにより、予約と未予約とを左右対比させて表示す
ることができる。Next, a second embodiment of the present invention will be described. In the second embodiment, as described in the first embodiment, a specific machine is selected from the "reservation status by machine group" displayed on the first display unit 100, and detailed information is displayed. Is displayed on the second display section 200 formed on the right side of the display, and if a command of “unreserved status” is input from the input means, unreserved lot information is displayed on the first display section 100. Is displayed. Therefore, as shown in FIG. 5, "unreserved status" is displayed on the first display unit 100 formed on the left side of the display, and "unreserved status" is displayed on the second display unit 200 formed on the right side of the display. By displaying "Details of reservation status of machine", reserved and unreserved can be displayed in left-right contrast.
【００６３】なお、「未予約状況」の表示の命令は、デ
ィスプレイ上に形成されたタッチセンサから行ってもよ
く、別体に設けられたキーボードから入力してもよい。The command for displaying the "unreserved status" may be issued from a touch sensor formed on the display or may be input from a keyboard provided separately.
【００６４】また第３の表示部３００には、第２の表示
部２００の中から選択された「マシンの予約状況の詳
細」を認識可能とするため、この選択されたマシンから
第１の表示部１００の「未予約状況」に向けて「矢印」
表示がなされる。そして、第２の表示部２００の中か
ら、新たに別のマシンを選択すると、第３の表示部３０
０の「矢印」も移動する様になっている。In order to make it possible to recognize the "details of the reservation status of the machine" selected from the second display section 200, the third display section 300 displays the first display from the selected machine. "Arrow" toward "unreserved status" in department 100
The display is made. Then, when another machine is newly selected from the second display unit 200, the third display unit 30
The "arrow" of 0 also moves.
【００６５】そして使用者がマシンの「予約」を行う場
合には、例えば図５に示す様に、ディスプレイ上の左側
に形成された第１の表示部１００には「未予約状況」を
表示させ、更に、第２の表示部２００に表示されている
「マシンの予約状況の詳細」の中から特定のマシンを選
択した後、入力手段から「予約状況」を命令すれば、デ
ィスプレイ上の右側に形成された第２の表示部２００に
は、「予約ロット情報」が表示される。When the user "reserves" the machine, as shown in FIG. 5, for example, the "unreserved status" is displayed on the first display section 100 formed on the left side of the display. Further, if a specific machine is selected from the "details of the reservation status of the machine" displayed on the second display unit 200 and then the "reservation status" is instructed from the input means, it is displayed on the right side of the display. “Reserved lot information” is displayed on the formed second display unit 200.
【００６６】この予約作業は、ディスプレイ上に形成さ
れたタッチセンサから行ってもよく、別体に設けられた
キーボードから入力してもよい。そして、第３の表示部
３００には、情報の流れに応じて、「矢印」等が表示さ
れる。更に、新たな「予約」を第２の表示部２００で行
えば、自動的に、第１の表示部１００の「未予約状況」
も更新されて表示される。This reservation work may be performed from a touch sensor formed on the display or may be input from a keyboard provided separately. Then, on the third display unit 300, “arrows” and the like are displayed according to the flow of information. Furthermore, if a new "reservation" is made on the second display unit 200, the "unreserved status" on the first display unit 100 is automatically
Will also be updated and displayed.
【００６７】また、使用者が図７に示す様に、「編集エ
ディタ」の命令を入力すれば、ディスプレイ上の右側に
形成された第２の表示部２００の「予約ロット情報」
は、ディスプレイ上の左側に形成された第１の表示部１
００に一時的に移動し、ここで、複雑な編集作業を行う
こともできる。As shown in FIG. 7, if the user inputs a command of "edit editor", "reserved lot information" on the second display section 200 formed on the right side of the display.
Is the first display unit 1 formed on the left side of the display.
It is also possible to temporarily move to 00 and perform complicated editing work here.
【００６８】この様に、ディスプレイ上の右側に形成さ
れた第２の表示部２００の内容を、ディスプレイ上の左
側に形成された第１の表示部１００に一時的に移動させ
ることにより、拡大された画面で簡便かつ確実に編集作
業を行うことができる。In this way, the contents of the second display section 200 formed on the right side of the display are temporarily moved to the first display section 100 formed on the left side of the display to be enlarged. Editing can be done easily and reliably on the screen.
【００６９】なお、「編集エディタ」の命令は、ディス
プレイ上に形成されたタッチセンサから行ってもよく、
別体に設けられたキーボードから入力してもよい。特
に、第３の表示部３００に該当する部分にタッチセンサ
を形成し、エディト作業の入力操作を行わせる構成にす
ることもできる。The instruction of the "edit editor" may be issued from the touch sensor formed on the display,
You may input from the keyboard provided separately. In particular, a touch sensor may be formed in a portion corresponding to the third display unit 300 so that an input operation for edit work can be performed.
【００７０】「第３実施例」[Third Embodiment]
【００７１】本発明の第３実施例として、追加されるそ
の他の機能を若干説明する。半導体製造装置では、その
処理の条件を適切に設定することが重要である。従って
図７に示す様に、ディスプレイ上の左側に形成された第
１の表示部１００又はディスプレイ上の右側に形成され
た第２の表示部２００に、処理条件等の「ロット情報」
を表示させることができる。Other functions added as the third embodiment of the present invention will be described briefly. In semiconductor manufacturing equipment, it is important to set the processing conditions appropriately. Therefore, as shown in FIG. 7, “lot information” such as processing conditions is displayed on the first display unit 100 formed on the left side of the display or the second display unit 200 formed on the right side of the display.
Can be displayed.
【００７２】この「ロット情報」は、使用者の命令によ
り分割させたり、更に、第１の表示部１００から第２の
表示部２００へ移動させたり、逆に、第２の表示部２０
０から第１の表示部１００へと移動させることができ
る。This "lot information" is divided according to a user's command, further moved from the first display section 100 to the second display section 200, or conversely, the second display section 20.
It can be moved from 0 to the first display unit 100.
【００７３】更に、ディスプレイ上の左側に形成された
第１の表示部１００又はディスプレイ上の右側に形成さ
れた第２の表示部２００には、クリーンルーム内の残ロ
ットを一覧させたり、ウェハーが挿入されたカセットを
移動させるためのストッカ残ロットの一覧を行うことも
できる。Further, on the first display section 100 formed on the left side of the display or the second display section 200 formed on the right side of the display, the remaining lots in the clean room are listed and wafers are inserted. It is also possible to perform a list of stocker remaining lots for moving the created cassettes.
【００７４】そして、出庫の確認や、保守、「ロット情
報」の印刷等を行うことができる。Then, it is possible to confirm delivery, perform maintenance, print "lot information", and the like.
【００７５】以上の様に、本発明を半導体の製造装置の
管理装置として説明したが、半導体の製造装置の管理装
置に限らず、何れの表示装置として応用することができ
る。As described above, the present invention has been described as the management apparatus of the semiconductor manufacturing apparatus, but the present invention is not limited to the management apparatus of the semiconductor manufacturing apparatus and can be applied to any display apparatus.
【００７６】[0076]
【効果】以上の様に構成された本発明は、情報を表示さ
せるためのディスプレイ装置と、このディスプレイ装置
を駆動させると共に、情報の処理を行うための演算処理
手段とからなり、前記ディスプレイ装置の左側に形成さ
れた第１の表示部と、該ディスプレイ装置の右側に形成
された第２の表示部と、前記第１の表示部と該第２の表
示部との間に形成された第３の表示部とからなり、前記
第１の表示部に表示された事項の内、少なくとも１つの
事項を選択すると、該選択された事項に対応するデータ
が前記第２の表示部に表示されるか、或いは、前記第２
の表示部に表示された事項の内、少なくとも１つの事項
を選択すると、該選択された事項に対応するデータが前
記第１の表示部に表示される様に構成され、前記第３の
表示部には、前記第１の表示部と前記第２の表示部との
関連を指示が表示される構成となっているので、１画面
を２つの表示部に分離し、その間を関係付ける表示部も
備えているので、効率的で見易い表示装置を提供するこ
とができる。According to the present invention constructed as described above, the display device for displaying information and the arithmetic processing means for driving the display device and processing the information are provided. A first display section formed on the left side, a second display section formed on the right side of the display device, and a third display section formed between the first display section and the second display section. When at least one item is selected from the items displayed on the first display unit, data corresponding to the selected item is displayed on the second display unit. Alternatively, the second
When at least one item is selected from the items displayed on the display unit, the data corresponding to the selected item is displayed on the first display unit, and the data is displayed on the third display unit. Has a configuration in which an instruction is displayed regarding the relation between the first display unit and the second display unit, so that one screen is divided into two display units, and a display unit that correlates them is also provided. Since it is provided, an efficient and easy-to-see display device can be provided.
【００７７】特に、半導体の製造装置の管理装置に応用
すれば、多くの工程を有する処理においても、簡便かつ
確実に工程管理等を行うことができるという卓越した効
果がある。In particular, when applied to a control apparatus for a semiconductor manufacturing apparatus, there is an outstanding effect that process control and the like can be performed easily and surely even in a process having many steps.
【００７８】[0078]
【図１】本発明の原理を説明する図である。FIG. 1 is a diagram illustrating the principle of the present invention.
【図２】本発明の第１実施例を説明する図である。FIG. 2 is a diagram illustrating a first embodiment of the present invention.
【図３】本発明の第１実施例を説明する図である。FIG. 3 is a diagram illustrating a first embodiment of the present invention.
【図４】本発明の第１実施例を説明する図である。FIG. 4 is a diagram illustrating a first embodiment of the present invention.
【図５】本発明の第２実施例を説明する図である。FIG. 5 is a diagram illustrating a second embodiment of the present invention.
【図６】本発明の第２実施例を説明する図である。FIG. 6 is a diagram illustrating a second embodiment of the present invention.
【図７】本発明の第２実施例を説明する図である。FIG. 7 is a diagram illustrating a second embodiment of the present invention.
【図８】本実施例の第３実施例を説明する図である。FIG. 8 is a diagram illustrating a third embodiment of the present embodiment.
【図９】本実施例の構成を説明する図である。FIG. 9 is a diagram illustrating the configuration of the present embodiment.
【符号の説明】 １００ 第１の表示部 ２００ 第２の表示部 ３００ 第３の表示部 １０００ 端末手段 １１００ 入力手段 １２００ ディスプレイ手段 ２０００ 機器制御手段 ３０００ ストッカ制御手段 １００００ 演算処理手段[Explanation of Codes] 100 First Display Unit 200 Second Display Unit 300 Third Display Unit 1000 Terminal Means 1100 Input Means 1200 Display Means 2000 Equipment Control Means 3000 Stocker Control Means 10000 Arithmetic Processing Means
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 // Ｇ０５Ｂ 15/02 0360−3Ｈ Ｇ０５Ｂ 15/02 Ｚ (72)発明者 福田 悦生 神奈川県川崎市幸区小向東芝町１番地 株 式会社東芝多摩川工場内 (72)発明者 奥谷 英浩 神奈川県川崎市幸区小向東芝町１番地 株 式会社東芝多摩川工場内 (72)発明者 名波 博司 神奈川県川崎市幸区小向東芝町１番地 株 式会社東芝多摩川工場内─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 6 Identification number Reference number within the agency FI technical display location // G05B 15/02 0360-3H G05B 15/02 Z (72) Inventor Etsuo Fukuda Kawasaki City, Kanagawa Prefecture Komukai-Toshiba-cho, No. 1 inside the Toshiba Tamagawa Plant, a stock company (72) Inventor Hidehiro Okutani, Komukai-Toshiba-cho, Saiwai-ku, Kawasaki City, Kanagawa Prefecture, inside the Toshiba Tamagawa Plant (72) Inventor Hiroshi Nanami Kanagawa Komukai Toshiba-cho, Saiwai-ku, Kawasaki-shi Inside the Tamagawa factory of Toshiba Corporation
Claims (9)
の表示部と、該ディスプレイ上の右側に形成された第２
の表示部と、前記第１の表示部と該第２の表示部との間
に形成された第３の表示部とからなり、前記第１の表示
部に表示された事項の内、少なくとも１つの事項を選択
すると、該選択された事項に対応するデータが前記第２
の表示部に表示されるか、或いは、前記第２の表示部に
表示された事項の内、少なくとも１つの事項を選択する
と、該選択された事項に対応するデータが前記第１の表
示部に表示される様に構成され、前記第３の表示部に
は、前記第１の表示部と前記第２の表示部との関連を指
示が表示される表示装置。1. A first formed on the left side of a display
And the second part formed on the right side of the display.
And a third display portion formed between the first display portion and the second display portion, and at least one of the items displayed on the first display portion. When one item is selected, the data corresponding to the selected item is the second
Or at least one item is selected from the items displayed on the second display unit, data corresponding to the selected item is displayed on the first display unit. A display device configured to be displayed, and an instruction to display a relationship between the first display unit and the second display unit is displayed on the third display unit.
置と、このディスプレイ装置を駆動させると共に、情報
の処理を行うための演算処理手段とからなり、前記ディ
スプレイ装置の左側に形成された第１の表示部と、該デ
ィスプレイ装置の右側に形成された第２の表示部と、前
記第１の表示部と該第２の表示部との間に形成された第
３の表示部とからなり、前記第１の表示部に表示された
事項の内、少なくとも１つの事項を選択すると、該選択
された事項に対応するデータが前記第２の表示部に表示
されるか、或いは、前記第２の表示部に表示された事項
の内、少なくとも１つの事項を選択すると、該選択され
た事項に対応するデータが前記第１の表示部に表示され
る様に構成され、前記第３の表示部には、前記第１の表
示部と前記第２の表示部との関連を指示が表示される情
報処理装置。2. A first display formed on the left side of the display device, which comprises a display device for displaying information and arithmetic processing means for driving the display device and processing the information. A second display section formed on the right side of the display device, and a third display section formed between the first display section and the second display section. When at least one item is selected from the items displayed on the first display unit, the data corresponding to the selected item is displayed on the second display unit, or the data is displayed on the second display unit. When at least one item is selected from the items displayed in, the data corresponding to the selected item is displayed on the first display unit, and the third display unit displays The first display section and the second table An information processing device in which an instruction is displayed regarding the relationship with the display unit.
置と、このディスプレイ装置を駆動させると共に、情報
の処理を行うための演算処理手段とからなり、このディ
スプレイ装置には、前記ディスプレイ装置の左側に形成
された第１の表示部と、該ディスプレイ装置の右側に形
成された第２の表示部と、前記第１の表示部と該第２の
表示部との間に形成された第３の表示部とが形成されて
おり、前記第１の表示部には「マシン群別予約状況」を
表示し、前記第２の表示部には「クリーンルーム別予約
状況」を表示する様になっており、前記第２の表示部に
表示された複数のクリーンルームの中から、使用者が入
力手段より特定のクリーンルームを選択すると、前記第
１の表示部には、選択されたクリーンルームのマシン群
の詳細な予約状況が拡大されて表示される様に構成さ
れ、前記第３の表示部には、前記第２の表示部の中から
選択されたクリーンルームと、前記第１の表示部に表示
されたマシン群の詳細な予約状況との対応を示すための
表示がなされる半導体製造装置の管理装置。3. A display device for displaying information and arithmetic processing means for driving the display device and processing the information, the display device being formed on the left side of the display device. First display section, a second display section formed on the right side of the display device, and a third display section formed between the first display section and the second display section Is formed, and the "reservation status by machine group" is displayed on the first display section, and the "reservation status by clean room" is displayed on the second display section. When the user selects a specific clean room from the plurality of clean rooms displayed on the second display unit through the input means, the first display unit displays on the first display unit the detailed reservation status of the machine group of the selected clean room. But The third display unit is configured to be enlarged and displayed, and the detailed display of the clean room selected from the second display unit and the machine group displayed on the first display unit. A semiconductor manufacturing device management device that displays a display to show the correspondence with the reservation status.
づき、第２の表示部に表示された「クリーンルーム別予
約状況」に代えて、「クリーンルーム別処理残時間状
況」を表示させる請求項３記載の半導体製造装置の管理
装置。4. The "clean room-specific remaining processing time status" is displayed in place of the "clean room-specific reservation status" displayed on the second display unit based on a command input by the user from the input means. The management apparatus for the semiconductor manufacturing apparatus described.
置と、このディスプレイ装置を駆動させると共に、情報
の処理を行うための演算処理手段とからなり、このディ
スプレイ装置には、前記ディスプレイ装置の左側に形成
された第１の表示部と、該ディスプレイ装置の右側に形
成された第２の表示部と、前記第１の表示部と該第２の
表示部との間に形成された第３の表示部とが形成されて
おり、前記第１の表示部には「マシン群別予約状況」を
表示し、前記第２の表示部には「クリーンルーム別予約
状況」を表示する様になっており、前記第１の表示部に
表示された「マシン群別予約状況」に表示されたマシン
の中から、使用者が入力手段より特定のマシンを選択す
ると、前記第２の表示部には、選択されたマシンの中の
詳細な情報が表示され、前記第３の表示部には、前記第
１の表示部の中から選択されたマシンと、前記第２の表
示部に表示されたマシンの詳細な情報との対応を示すた
めの表示がなされる半導体製造装置の管理装置。5. A display device for displaying information and arithmetic processing means for driving the display device and processing the information, the display device being formed on the left side of the display device. First display section, a second display section formed on the right side of the display device, and a third display section formed between the first display section and the second display section Is formed, and the "reservation status by machine group" is displayed on the first display section, and the "reservation status by clean room" is displayed on the second display section. When the user selects a specific machine from the input means by selecting from the machines displayed in the "reservation status by machine group" displayed on the first display, the selected display is displayed on the second display. Detailed information in the machine is displayed A display for showing the correspondence between the machine selected from the first display and the detailed information of the machine displayed on the second display is displayed on the third display. Management equipment for semiconductor manufacturing equipment.
置と、このディスプレイ装置を駆動させると共に、情報
の処理を行うための演算処理手段とからなり、このディ
スプレイ装置には、前記ディスプレイ装置の左側に形成
された第１の表示部と、該ディスプレイ装置の右側に形
成された第２の表示部と、前記第１の表示部と該第２の
表示部との間に形成された第３の表示部とが形成されて
おり、前記第１の表示部には「マシン群別予約状況」を
表示し、前記第２の表示部には「クリーンルーム別予約
状況」を表示する様になっており、使用者が入力手段よ
り「未予約状況」の命令を入力すると、前記第１の表示
部には、「未予約ロット情報」が表示され、前記第２の
表示部には「マシンの予約状況の詳細」が表示され、前
記第３の表示部には、前記第１の表示部に表示された
「未予約ロット情報」と、前記第２の表示部に表示され
た「マシンの予約状況の詳細」との対応を示す表示がな
される半導体製造装置の管理装置。6. A display device for displaying information and arithmetic processing means for driving the display device and processing the information, the display device being formed on the left side of the display device. First display section, a second display section formed on the right side of the display device, and a third display section formed between the first display section and the second display section Is formed, the first display section displays “reservation status by machine group”, and the second display section displays “reservation status by clean room”. When a person inputs an instruction of "unreserved status" from the input means, "unreserved lot information" is displayed on the first display section and "details of machine reservation status" on the second display section. Is displayed on the third display section. Of the semiconductor manufacturing apparatus on which a display showing the correspondence between the “unreserved lot information” displayed on the first display section and the “details of machine reservation status” displayed on the second display section is displayed. Management device.
示された後、使用者が入力手段より入力した命令に基づ
き、第２の表示部に表示された「予約ロット情報」を表
示させる請求項６記載の半導体製造装置の管理装置。7. The "reserved lot information" displayed on the second display unit based on the instruction input by the user through the input means after the "unreserved lot information" is displayed on the first display unit. The management apparatus for a semiconductor manufacturing apparatus according to claim 6, which is displayed.
示された後、使用者が入力手段より入力した命令に基づ
き、第１の表示部に表示された「予約ロット情報」を表
示させ、前記入力手段より、予約データを入力する請求
項７〜８記載の半導体製造装置の管理装置。8. After the "unreserved lot information" is displayed on the first display unit, the "reserved lot information" displayed on the first display unit is displayed based on an instruction input by the user through the input means. 9. The semiconductor manufacturing apparatus management apparatus according to claim 7, wherein the management data is displayed and reservation data is input from the input unit.
示された後、使用者が入力手段より入力した命令に基づ
き、第１の表示部に表示された「未予約ロット情報」
を、第２の表示部に移動させ、編集作業を行う請求項７
〜８記載の半導体製造装置の管理装置。9. The "unreserved lot information" displayed on the first display unit based on the instruction input by the user from the input means after the "unreserved lot information" is displayed on the first display unit.
Is moved to the second display unit for editing work.
8 is a management apparatus for a semiconductor manufacturing apparatus.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11693896A JP3702436B2 (en) | 1996-04-15 | 1996-04-15 | Management equipment for semiconductor manufacturing equipment |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11693896A JP3702436B2 (en) | 1996-04-15 | 1996-04-15 | Management equipment for semiconductor manufacturing equipment |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09283395A true JPH09283395A (en) | 1997-10-31 |
| JP3702436B2 JP3702436B2 (en) | 2005-10-05 |
Family
ID=14699432
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11693896A Expired - Fee Related JP3702436B2 (en) | 1996-04-15 | 1996-04-15 | Management equipment for semiconductor manufacturing equipment |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3702436B2 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20190015124A (en) | 2017-08-04 | 2019-02-13 | 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 | Non-transitory computer-readable storage medium storing a program of screen control and semiconductor manufacturing apparatus |
-
1996
- 1996-04-15 JP JP11693896A patent/JP3702436B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20190015124A (en) | 2017-08-04 | 2019-02-13 | 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 | Non-transitory computer-readable storage medium storing a program of screen control and semiconductor manufacturing apparatus |
| US10559277B2 (en) | 2017-08-04 | 2020-02-11 | Ebara Corporation | Non-transitory computer-readable storage medium storing a program of screen control and semiconductor manufacturing apparatus |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3702436B2 (en) | 2005-10-05 |
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