JPH09282648A - Magnetic disk and magnetic disk device - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a magnetic disk capable of reading out magnetic signals correctly over whole surface of a disk and a magnetic disk device provided with the magnetic disk. SOLUTION: In a magnetic disk 3 in which data or the like are recorded and reproduced by the magnetic head 3 mounted on a floating type head slider and which is rediately divided into a data recording area and a control signal recording area by recessed and projection parts formed on its surface, a magnetic disk device is contituted so that the flying hight of a head slider at the time of passing over the control signal recording area is not larger than a flying hight and is not smaller than a gliding hight at the time of passing over the data recording area.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、浮上型のヘッド
スライダに搭載されている磁気ヘッドにより、データや
プログラム等が記録再生される磁気ディスク及びその磁
気ディスクを備えた磁気ディスク装置に関するものであ
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic disk on which data, programs and the like are recorded and reproduced by a magnetic head mounted on a flying head slider, and a magnetic disk device equipped with the magnetic disk. .

【０００２】[0002]

【従来の技術】例えばコンピュータシステムにおいて
は、磁気ディスク装置としてハードディスク装置が用い
られている。このハードディスク装置に内蔵されている
磁気ディスクの両表面には磁性膜が成膜されており、磁
気ディスクの表面上を浮上するヘッドスライダに搭載さ
れている磁気ヘッドにより、磁性膜にデータ等がトラッ
ク状に記録され、また磁性膜にトラック状に記録された
データ等が再生されるようになっている。磁気ヘッドが
搭載された浮上型のヘッドスライダを駆動する機構部
と、磁気ディスクを駆動する駆動部とは、筐体の内部に
予め組み込まれているため、データ等を比較的高密度に
記録することが可能であり、また、記録されたデータ等
に対して高速にアクセスすることが可能である。2. Description of the Related Art For example, in a computer system, a hard disk device is used as a magnetic disk device. Magnetic films are formed on both surfaces of the magnetic disk built in the hard disk device, and data and the like are tracked on the magnetic film by a magnetic head mounted on a head slider floating above the surface of the magnetic disk. The data and the like recorded on the magnetic film in a track shape are reproduced. The mechanism for driving the flying head slider on which the magnetic head is mounted and the drive for driving the magnetic disk are pre-installed inside the housing, so that data and the like are recorded at a relatively high density. It is also possible to access recorded data and the like at high speed.

【０００３】しかしながら、従来のハードディスク装置
に内蔵されている磁気ディスクは、その両表面の全面に
わたって磁性膜が形成されており、隣接するトラックか
らのクロストークを抑制するために、データトラックと
データトラックの間のガードバンドを比較的広い幅で設
けなければならなかった。その結果、トラックピッチを
狭くすることができず、小型であって大記録容量のハー
ドディスク装置を実現することが困難であるという問題
があった。However, a magnetic disk built in a conventional hard disk drive has a magnetic film formed on the entire surfaces of both surfaces thereof, and in order to suppress crosstalk from adjacent tracks, data tracks and data tracks are formed. The guard band between them had to be relatively wide. As a result, there is a problem that the track pitch cannot be reduced, and it is difficult to realize a small hard disk device having a large recording capacity.

【０００４】さらに、磁気ディスクに対して例えばエン
コーダを構成するクロック信号等を予め記録した後、磁
気ディスクを筐体に組み込むようにすると、組立時にお
ける偏心等の取り付け誤差が発生し、正確な位置にデー
タ等を記録することが困難になる。そこで、従来は、磁
気ディスクを筐体に組み込んだ後、エンコーダを構成す
るクロック信号等を記録するようにしていた。このた
め、ハードディスク装置の組立時間が掛かり、コスト高
になるという問題があった。Furthermore, if the magnetic disk is incorporated in the housing after recording, for example, a clock signal constituting an encoder on the magnetic disk in advance, an attachment error such as eccentricity at the time of assembly occurs, and an accurate position is obtained. It becomes difficult to record data and so on. Therefore, conventionally, after the magnetic disk has been incorporated into the housing, the clock signal and the like forming the encoder are recorded. For this reason, there is a problem that it takes a long time to assemble the hard disk device and the cost is high.

【０００５】以上のような問題を解消する磁気ディスク
装置として、この出願人により以下のようなハードディ
スク装置が提案されている（特開平６−２５９７０９号
公報参照）。このハードディスク装置に内蔵されている
磁気ディスクには、凹凸部で成るデータ記録領域（以
下、データゾーンという）と制御信号記録領域（以下、
サーボゾーンという）とがそれぞれ放射状に形成されて
いる。即ち、データゾーンには、同心円状であって、デ
ータ等を記録するためのデータトラックが凸部となるよ
うに形成され、隣接するデータトラックを区分するため
のガードバンドが凹部となるように形成されている。ま
た、サーボゾーンには、データトラックを特定するため
のグレイコード、サーボクロックを生成する際の基準と
なるクロックマーク及び磁気ヘッドをトラッキング制御
するためのウォブルドマーク等（以下、サーボパターン
という）が形成されており、このサーボパターンは凸部
で形成しても良いし、凹部で形成しても良い。As a magnetic disk device that solves the above problems, the applicant has proposed the following hard disk device (see Japanese Patent Laid-Open No. 6-259709). In the magnetic disk built in this hard disk device, a data recording area (hereinafter, referred to as a data zone) composed of an uneven portion and a control signal recording area (hereinafter,
Servo zones) and are formed radially. In other words, in the data zone, concentric circles are formed so that data tracks for recording data etc. are formed as convex portions, and guard bands for separating adjacent data tracks are formed as concave portions. Has been done. In the servo zone, a gray code for specifying a data track, a clock mark that serves as a reference when generating a servo clock, and a wobbled mark for tracking control of the magnetic head (hereinafter referred to as a servo pattern) are provided. The servo pattern may be formed as a convex portion or a concave portion.

【０００６】そして、これらのグレイコード、クロック
マーク及びウォブルドマークのうちの少なくとも１つ
は、磁気ヘッドの回動軌跡に沿って形成され、グレイコ
ード、クロックマーク又はウォブルドマークを再生して
得られる信号に対応して、磁気ヘッドによるデータ等の
記録再生の動作が制御される。また、磁気ヘッドは、グ
レイコード、クロックマーク又はウォブルドマークを再
生して得られる信号から、磁気ディスクの偏心に対応す
る変化量を計測し、その計測結果に対応して、磁気ヘッ
ドによるデータ等の記録再生の動作が制御される。At least one of the gray code, the clock mark and the wobbled mark is formed along the rotational trajectory of the magnetic head, and is obtained by reproducing the gray code, the clock mark or the wobbled mark. The operation of recording / reproducing data or the like by the magnetic head is controlled in accordance with the received signal. Also, the magnetic head measures the amount of change corresponding to the eccentricity of the magnetic disk from the signal obtained by reproducing the gray code, clock mark or wobbled mark, and in accordance with the measurement result, data by the magnetic head, etc. The recording / reproducing operation of is controlled.

【０００７】このような構成の磁気ディスクを内蔵した
ハードディスク装置によれば、データトラックに対して
ガードバンドが物理的な凹部として形成されているの
で、ガードバンドからデータ等が再生されるおそれが少
なくなる。従って、クロストークを軽減するために、ガ
ードバンドの幅を広くする必要が無くなるので、トラッ
クピッチを狭くして記録容量を大きくすることが可能と
なる。According to the hard disk device incorporating the magnetic disk having such a structure, since the guard band is formed as a physical concave portion with respect to the data track, there is little possibility that data or the like is reproduced from the guard band. Become. Therefore, it is not necessary to increase the width of the guard band in order to reduce the crosstalk, so that it is possible to narrow the track pitch and increase the recording capacity.

【０００８】さらに、グレイコード、クロックマーク又
はウォブルドマークを磁気ヘッドの回動軌跡に沿って凸
部又は凹部により形成するようにしているため、例えば
光技術等を利用するなどして極めて正確な位置にこれら
のコード等を配置することが可能となり、トラックピッ
チを狭くしてもデータ等を正確に記録再生することが可
能となる。また、磁気ディスクの偏心を計測し、これに
対応してデータ等の記録再生の動作を制御しているの
で、筐体内に磁気ディスクを組み込んだときに取り付け
誤差に起因した偏心が発生したとしても、磁気ヘッドを
データトラックに対して正確にアクセスさせることが可
能となる。Further, since the gray code, the clock mark or the wobbled mark is formed by the convex portion or the concave portion along the rotation locus of the magnetic head, it is extremely accurate, for example, by using the optical technique. It is possible to arrange these codes and the like at positions, and it is possible to accurately record and reproduce data and the like even if the track pitch is narrowed. Also, since the eccentricity of the magnetic disk is measured and the recording / reproducing operation of data etc. is controlled correspondingly, even if the eccentricity due to the mounting error occurs when the magnetic disk is installed in the housing. The magnetic head can be accurately accessed to the data track.

【０００９】[0009]

【発明が解決しようとする課題】上述した後者の磁気デ
ィスクによれば、データトラックに対してサーボトラッ
クを正確に配置することができる。従って、サーボ信号
ライト方式の前者の磁気ディスクに比べて容易に高密度
記録、特に高トラックピッチ密度の実現が可能である。
ところで、このような磁気ディスクにおいては、図１３
に示すように、凹部と逆向きに磁化された凸部との間の
磁化反転領域、即ちサーボゾーンのサーボパターンから
得られる磁気信号の振幅（同図（Ｂ））は、凸部の通常
の磁化領域、即ちデータゾーンのデータトラックから得
られる磁気信号の振幅（同図（Ａ））の約７０％にな
る。これは、サーボパターンではある段差を持って同極
の磁化同士が向き合っているので、サーボパターンから
漏れる磁束密度が、データトラックから漏れる磁束密度
に比べて小さいためである。従って、この磁気ディスク
においては磁気信号の振幅の変動は本質的なことであ
り、サーボパターンから漏れる磁束密度と、データトラ
ックから漏れる磁束密度とを同等にして磁気信号の振幅
の変動を抑制することは困難である。According to the latter magnetic disk described above, the servo tracks can be accurately arranged with respect to the data tracks. Therefore, it is possible to easily realize high-density recording, particularly high track pitch density, as compared with the former magnetic disk of the servo signal write system.
By the way, in such a magnetic disk, as shown in FIG.
As shown in FIG. 5, the amplitude of the magnetic signal (FIG. 6B) obtained from the magnetization reversal region between the concave portion and the convex portion magnetized in the opposite direction, that is, the servo pattern in the servo zone is This is about 70% of the amplitude of the magnetic signal obtained from the magnetized area, that is, the data track of the data zone ((A) in the figure). This is because the magnetizations of the same polarity face each other with a certain level difference in the servo pattern, so the magnetic flux density leaking from the servo pattern is smaller than the magnetic flux density leaking from the data track. Therefore, the fluctuation of the amplitude of the magnetic signal is essential in this magnetic disk, and the fluctuation of the amplitude of the magnetic signal is suppressed by making the magnetic flux density leaking from the servo pattern equal to the magnetic flux density leaking from the data track. It is difficult.

【００１０】ところが、上述したようにサーボパターン
から得られる磁気信号は、磁気ヘッドをデータトラック
上に位置決めするためのサーボ信号として用いられてい
るため、サーボパターンから得られる磁気信号の振幅が
データトラックから得られる磁気信号の振幅の約７０％
であると、サーボパターンから得られる磁気信号を読み
誤るおそれがあった。特に、グレイコードによるトラッ
クアドレス信号は、クロックマークによるサーボクロッ
クにしたがって磁化反転の位置によって判断される。そ
して、その磁化反転の位置は、磁気信号の振幅が定めら
れた出力以上になる位置で決められる。従って、磁気信
号の振幅が設計値よりも小さい場合には、磁気信号が存
在しないと誤判断して磁気ヘッドを正確に位置決めする
ことができないおそれがあるという問題があった。However, since the magnetic signal obtained from the servo pattern is used as a servo signal for positioning the magnetic head on the data track as described above, the amplitude of the magnetic signal obtained from the servo pattern is the data track. About 70% of the amplitude of the magnetic signal obtained from
If so, there is a possibility that the magnetic signal obtained from the servo pattern may be erroneously read. Particularly, the track address signal based on the gray code is determined by the position of the magnetization reversal according to the servo clock based on the clock mark. Then, the position of the magnetization reversal is determined at a position where the amplitude of the magnetic signal becomes equal to or higher than the determined output. Therefore, when the amplitude of the magnetic signal is smaller than the design value, there is a problem that the magnetic head may not be accurately positioned by erroneously determining that the magnetic signal does not exist.

【００１１】この発明は、以上の点に鑑み、磁気信号を
全面にわたって正確に読み取ることができる磁気ディス
ク及びその磁気ディスクを備えた磁気ディスク装置を提
供することを目的としている。In view of the above points, an object of the present invention is to provide a magnetic disk capable of accurately reading a magnetic signal over the entire surface and a magnetic disk device equipped with the magnetic disk.

【００１２】[0012]

【課題を解決するための手段】上記目的は、この発明に
よれば、浮上型のヘッドスライダに搭載されている磁気
ヘッドによりデータ等が記録再生される磁気ディスクで
あって、表面に形成された凹凸部によりデータ記録領域
と制御信号記録領域に放射状に区分されている磁気ディ
スクにおいて、前記ヘッドスライダの制御信号記録領域
通過時の浮上量が、データ記録領域通過時の浮上量以下
であってグライドハイト以上であるようにすることによ
り達成される。According to the present invention, the above object is a magnetic disk on which data and the like are recorded and reproduced by a magnetic head mounted on a flying type head slider, and the magnetic disk is formed on the surface. In a magnetic disk radially divided into a data recording area and a control signal recording area by an uneven portion, the flying height of the head slider when passing through the control signal recording area is less than the flying height when passing through the data recording area and the glide Achieved by being above height.

【００１３】上記構成によれば、ヘッドスライダの制御
信号記録領域通過時の浮上量を、データ記録領域通過時
の浮上量より低下させているので、制御信号記録領域か
ら得られる磁気信号の振幅が、データ記録領域から得ら
れる磁気信号の振幅より小さくても、制御信号記録領域
から得られる磁気信号を正確に読み取ることができる。According to the above arrangement, the flying height of the head slider when passing the control signal recording area is made lower than the flying height when passing the data recording area. Therefore, the amplitude of the magnetic signal obtained from the control signal recording area is reduced. Even if the amplitude of the magnetic signal obtained from the data recording area is smaller, the magnetic signal obtained from the control signal recording area can be accurately read.

【００１４】[0014]

【発明の実施の形態】以下、この発明の好適な実施形態
を添付図を参照しながら詳細に説明する。尚、以下に述
べる実施の形態は、この発明の好適な具体例であるか
ら、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、こ
の発明の範囲は、以下の説明において特にこの発明を限
定する旨の記載がない限り、これらの形態に限られるも
のではない。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Preferred embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings. The embodiments described below are preferred specific examples of the present invention, and therefore, various technically preferable limitations are added. However, the scope of the present invention is not limited to the following description. It is not limited to these forms unless otherwise stated.

【００１５】図１は、この発明の磁気ディスク装置の実
施形態であるハードディスク装置の構成例を示す斜視図
である。このハードディスク装置１は、アルミニウム合
金等により形成された筐体２の平面部の裏側にスピンド
ルモータ９が配設されていると共に、このスピンドルモ
ータ９によって角速度一定で回転駆動される磁気ディス
ク３が備えられている。さらに、この筐体２には、アー
ム４が垂直軸４ａの周りに揺動可能に取り付けられてい
る。このアーム４の一端には、ボイスコイル５が取り付
けられ、またこのアーム４の他端には、ヘッドスライダ
６が取り付けられている。筐体２上には、ボイスコイル
５を挟持するように、マグネット７ａ、７ｂが取り付け
られている。ボイスコイル５及びマグネット７ａ、７ｂ
により、ボイスコイルモータ７が形成されている。FIG. 1 is a perspective view showing a configuration example of a hard disk drive which is an embodiment of the magnetic disk drive of the present invention. The hard disk drive 1 is provided with a spindle motor 9 disposed behind a plane portion of a housing 2 formed of an aluminum alloy or the like, and a magnetic disk 3 driven to rotate at a constant angular velocity by the spindle motor 9. Have been. Further, an arm 4 is attached to the housing 2 so as to be swingable around a vertical axis 4a. A voice coil 5 is attached to one end of the arm 4, and a head slider 6 is attached to the other end of the arm 4. Magnets 7a and 7b are mounted on the housing 2 so as to sandwich the voice coil 5. Voice coil 5 and magnets 7a and 7b
Thus, a voice coil motor 7 is formed.

【００１６】このような構成において、ボイスコイル５
に外部から電流が供給されると、アーム４は、マグネッ
ト７ａ、７ｂの磁界と、このボイスコイル５に流れる電
流とによって生ずる力に基づいて、垂直軸４ａの周りを
回動する。これにより、アーム４の他端に取り付けられ
たヘッドスライダ６は、図２にて矢印Ｘで示すように、
磁気ディスク３の実質的に半径方向に移動する。従っ
て、このヘッドスライダ６に搭載された磁気ヘッド８
（図３参照）は、磁気ディスク３に対してシーク動作
し、磁気ディスク３の所定のデータトラック等に対して
データ等の記録再生を行なう。In such a configuration, the voice coil 5
When an electric current is supplied from the outside to the arm 4, the arm 4 rotates around the vertical axis 4a based on the force generated by the magnetic fields of the magnets 7a and 7b and the electric current flowing through the voice coil 5. Thereby, the head slider 6 attached to the other end of the arm 4 moves as shown by an arrow X in FIG.
The magnetic disk 3 moves substantially in the radial direction. Therefore, the magnetic head 8 mounted on the head slider 6
(See FIG. 3) performs a seek operation on the magnetic disk 3 to record and reproduce data and the like on predetermined data tracks and the like of the magnetic disk 3.

【００１７】ここで、ヘッドスライダ６は、図３に示す
ように、その下面の両側にエアベアリングサーフェイス
として作用するレール６ａ、６ｂが形成されていると共
に、このレール６ａ、６ｂの空気流入端側にはテーパ部
６ｃ、６ｄが形成されている。これにより、ヘッドスラ
イダ６が、回転する磁気ディスク３の表面に接近したと
き、磁気ディスク３の回転に伴ってレール６ａ、６ｂと
磁気ディスク３の表面との間に流入する空気流により浮
揚力を受ける。この浮揚力によって、ヘッドスライダ６
及び磁気ヘッド８は、図４に示すように、磁気ディスク
３の表面から微小間隔（浮上量）Ｄをもって浮上走行す
るようになっている。Here, as shown in FIG. 3, the head slider 6 has rails 6a and 6b acting as air bearing surfaces on both sides of its lower surface, and the rails 6a and 6b have air inflow end sides. Tapered portions 6c and 6d are formed in the. Thus, when the head slider 6 approaches the surface of the rotating magnetic disk 3, the levitation force is increased by the airflow flowing between the rails 6 a and 6 b and the surface of the magnetic disk 3 with the rotation of the magnetic disk 3. receive. The head slider 6
As shown in FIG. 4, the magnetic head 8 floats from the surface of the magnetic disk 3 with a minute distance (flying height) D.

【００１８】図５は、図１に示すハードディスク装置の
制御部の構成例を示すブロック図である。この制御部１
０のクロック信号生成部１１は、磁気ヘッド８の再生ヘ
ッド８ｂにより再生された信号からクロック信号を生成
し、トラッキングサーボ部１２と再生部１３に出力す
る。トラッキングサーボ部１２は、クロック信号生成部
１１からのクロック信号を参照して、再生ヘッド８ｂか
らの信号によりトラッキングエラー信号を生成し、これ
に対応してアーム４を駆動する。これにより、記録ヘッ
ド８ａと再生ヘッド８ｂが、磁気ディスク３の所定の半
径位置にトラッキング制御される。記録部１４は、図示
しない回路から供給される記録信号を変調し、記録ヘッ
ド８ａを介して磁気ディスク３に記録する。再生部１３
は、再生ヘッド８ｂからの記録信号を復調し、上記回路
に出力する。トラッキングサーボ部１２は、トラッキン
グエラー信号をモニタし、磁気ディスク装置に大きなシ
ョック等が加わり、記録ヘッド８ａがデータトラックか
ら離脱したような場合において、記録部１４を制御して
記録動作を停止させる。FIG. 5 is a block diagram showing a configuration example of the control unit of the hard disk device shown in FIG. This control unit 1
The 0 clock signal generation unit 11 generates a clock signal from the signal reproduced by the reproduction head 8b of the magnetic head 8, and outputs the clock signal to the tracking servo unit 12 and the reproduction unit 13. The tracking servo unit 12 refers to the clock signal from the clock signal generation unit 11 to generate a tracking error signal by a signal from the reproducing head 8b, and drives the arm 4 in response to the tracking error signal. As a result, the recording head 8a and the reproducing head 8b are tracking-controlled to a predetermined radial position on the magnetic disk 3. The recording unit 14 modulates a recording signal supplied from a circuit (not shown) and records the modulated signal on the magnetic disk 3 via the recording head 8a. Playback unit 13
, Demodulates the recording signal from the reproducing head 8b and outputs it to the above circuit. The tracking servo unit 12 monitors the tracking error signal and controls the recording unit 14 to stop the recording operation when a large shock or the like is applied to the magnetic disk device and the recording head 8a is separated from the data track.

【００１９】図６は、この発明の磁気ディスクの実施形
態を示す平面図、図７（Ａ）は半径方向の断面構造図、
同図（Ｂ）は円周方向の断面構造図である。この磁気デ
ィスク３の合成樹脂、ガラス、アルミニウム等より成る
基板３１には、凹凸部で成るデータ記録領域（データゾ
ーン）と制御信号記録領域（サーボゾーン）とがそれぞ
れ放射状に形成され、その表面に磁性膜３２が形成され
ている。即ち、データゾーンには、同心円状であって、
データ等を記録するためのデータトラックＤＴが凸部と
なるように形成され、隣接するデータトラックＤＴを区
分するためのガードバンドＧＢが凹部となるように形成
されている。また、サーボゾーンには、データトラック
ＤＴを特定するためのグレイコード、サーボクロックを
生成する際の基準となるクロックマーク及び磁気ヘッド
８をトラッキング制御するためのウォブルドマーク等の
サーボパターンＳＰが形成されており、このサーボパタ
ーンＳＰは凸部で形成しても良いし、凹部で形成しても
良い。FIG. 6 is a plan view showing an embodiment of the magnetic disk of the present invention, and FIG. 7A is a sectional view in the radial direction.
FIG. 2B is a sectional structural view in the circumferential direction. A data recording area (data zone) and a control signal recording area (servo zone) each having an uneven portion are formed radially on a substrate 31 of the magnetic disk 3 made of synthetic resin, glass, aluminum, or the like. A magnetic film 32 is formed. That is, the data zone is concentric,
The data track DT for recording data and the like is formed to be a convex portion, and the guard band GB for partitioning the adjacent data tracks DT is formed to be a concave portion. Further, in the servo zone, a servo pattern SP such as a gray code for specifying the data track DT, a clock mark serving as a reference when generating a servo clock, and a wobbled mark for tracking control of the magnetic head 8 is formed. The servo pattern SP may be formed by a convex portion or a concave portion.

【００２０】このような磁気ディスク３によれば、磁気
ヘッド８が内周側方向又は外周側方向に移動する場合の
移動軌跡に沿ってサーボゾーンとデータゾーンを形成す
るようにしているので、シーク動作時における等時間間
隔性を保持することができ、クロック生成のためのＰＬ
Ｌ回路のロック外れを抑制することができる。また、ア
ジマス損失を抑制することができる。According to such a magnetic disk 3, since the servo zone and the data zone are formed along the movement trajectory when the magnetic head 8 moves in the inner peripheral side direction or the outer peripheral side direction, the seek operation is performed. It is possible to maintain the isochronous property during operation, and to generate a PL for clock generation.
The lock release of the L circuit can be suppressed. In addition, azimuth loss can be suppressed.

【００２１】図８は、図６に示す磁気ディスクのさらに
詳細を示す断面構造図である。基板３１の両面には、例
えば２００ｎｍの段差が形成されており、この基板３１
がガラスで構成されるとき、その厚さは０．６５ｍｍと
され、合成樹脂で構成されるとき、その厚さは１．２ｍ
ｍとされる。さらに、基板３１の両面には、磁性膜３２
が成膜されており、基板３１を合成樹脂で構成したとき
は、最初に基板３１上に例えばＳｉＯ２より成る粒子
（球状シリカ）を１μｍ当たり０．５個以上１００個以
下、好ましくは１０個程度の粒子密度とした粒子層３２
１が形成される。これは、基板３１をガラス、アルミニ
ウムで構成したときは剛性や耐久性をある程度確保する
ことが可能であるが、基板３１を合成樹脂で構成したと
きは必ずしも十分な剛性や耐久性を確保することができ
ないからである。また、基板３１を合成樹脂で構成した
ときは基板３１表面の凹凸が粗いため、磁気ヘッド８を
磁性膜３２に接触しない範囲で近接配置することが困難
となるからである。FIG. 8 is a sectional structural view showing further details of the magnetic disk shown in FIG. A step of 200 nm, for example, is formed on both surfaces of the substrate 31.
When is made of glass, its thickness is 0.65 mm, and when it is made of synthetic resin, its thickness is 1.2 m.
m. Further, the magnetic film 32 is formed on both surfaces of the substrate 31.
When the substrate 31 is formed of a synthetic resin and the substrate 31 is made of synthetic resin, first, particles of SiO2 (spherical silica), for example, of 0.5 to 100 per μm, preferably about 10 are formed on the substrate 31. Particle layer 32 with particle density of
1 is formed. It is possible to secure rigidity and durability to some extent when the substrate 31 is made of glass or aluminum, but it is necessary to ensure sufficient rigidity and durability when the substrate 31 is made of synthetic resin. Because you can't. Further, when the substrate 31 is made of synthetic resin, the surface of the substrate 31 is rough, so that it is difficult to dispose the magnetic head 8 close to the magnetic film 32 without coming into contact with the magnetic film 32.

【００２２】球状シリカの粒子層３２１の形成方法とし
ては、ディッピング法が用いられる。このときの粒子の
平均径は５０ｎｍ以下、好ましくは８ｎｍ〜１０ｎｍと
する。平均径を８ｎｍとすると、粒子径分布は標準偏差
で４．３ｎｍとなる。粒子密度は濃度と引き上げ速度で
決定されるため、これを管理することにより凹凸の制御
が可能となる。例えば、球状シリカをイソプロピルアル
コールに濃度０．０１重量％となるように分散し、これ
を引き上げ速度１２５ｍｍ／分で基板の表面に塗布す
る。この粒子層３２１の上には、約８０ｎｍの厚さのク
ロム層３２２が形成される。このクロム層３２２は、交
換結合膜として機能し、磁気特性を改善する効果があ
り、特に保磁力を高めることができる。さらに、このク
ロム層３２２の上には、約４０ｎｍの厚さのコバルトク
ロム白金層３２３が形成される。このコバルトクロム白
金層３２３の上には、約１０ｎｍの厚さの炭素層又はＳ
ｉＯ２から成る保護膜３２４がスピンコートあるいは塗
布により形成される。そして、この保護膜３２４の上に
は、潤滑剤３２５が塗布される。As a method of forming the spherical silica particle layer 321, a dipping method is used. The average diameter of the particles at this time is 50 nm or less, preferably 8 nm to 10 nm. When the average diameter is 8 nm, the standard deviation of the particle diameter distribution is 4.3 nm. Since the particle density is determined by the concentration and the pulling rate, it is possible to control the unevenness by controlling this. For example, spherical silica is dispersed in isopropyl alcohol to a concentration of 0.01% by weight, and this is applied to the surface of the substrate at a pulling rate of 125 mm / min. A chrome layer 322 having a thickness of about 80 nm is formed on the particle layer 321. The chromium layer 322 functions as an exchange coupling film, has an effect of improving magnetic characteristics, and can particularly increase coercive force. Further, a cobalt chromium platinum layer 323 having a thickness of about 40 nm is formed on the chromium layer 322. A carbon layer or S having a thickness of about 10 nm is formed on the cobalt chromium platinum layer 323.
A protective film 324 made of iO2 is formed by spin coating or coating. Then, a lubricant 325 is applied on the protective film 324.

【００２３】このような磁気ディスク３は、その１周が
６０セクタに区分され、各セクタは１４セグメントによ
り構成されている。従って、１周は８４０セグメントと
なる。各セグメントはサーボゾーンとデータゾーンとに
区分される。サーボゾーンには、図９に示すように、グ
レイコードＧＣ、クロックマークＣＭ及びウォブルドマ
ークＷＭが形成される。また、各セクタの先頭セグメン
トには、さらにユニークパターンＵＰが付加されてい
る。但し、６０セクタのうちの１つのセクタにおいて
は、ユニークパターンＵＰに代えてＰＧとしての機能を
有するホームインデックスが記録される。One round of the magnetic disk 3 is divided into 60 sectors, and each sector is composed of 14 segments. Therefore, one round is 840 segments. Each segment is divided into a servo zone and a data zone. In the servo zone, as shown in FIG. 9, a gray code GC, a clock mark CM and a wobbled mark WM are formed. A unique pattern UP is further added to the head segment of each sector. However, in one of the 60 sectors, a home index having a function as a PG is recorded instead of the unique pattern UP.

【００２４】クロックマークＣＭのトラック方向の幅を
１とするとき、グレーコードＧＣの幅は２０、ユニーク
パターンＵＰの幅は１６とされる。グレーコードＧＣ
は、データトラックＤＴを特定する絶対アドレス（デー
タトラック番号）を表すコードである。クロックマーク
ＣＭは、記録再生の基準となるクロックを生成するため
のマークであり、再生ヘッド８ｂは、このクロックマー
クＣＭを再生したとき、そのエッジに対応してタイミン
グ信号を出力する。クロックマークＣＭは、図９に示す
ように、磁気ディスク３の半径方向に放射状に連続して
形成されている。When the width of the clock mark CM in the track direction is 1, the width of the gray code GC is 20, and the width of the unique pattern UP is 16. Gray code GC
Is a code representing an absolute address (data track number) that identifies the data track DT. The clock mark CM is a mark for generating a clock serving as a recording / reproducing reference, and when the reproducing head 8b reproduces the clock mark CM, it outputs a timing signal corresponding to the edge thereof. As shown in FIG. 9, the clock marks CM are radially and continuously formed in the radial direction of the magnetic disk 3.

【００２５】ウォブルドマークＷＭは、データトラック
ＤＴの中心線Ｌ１を挟んで内周側と外周側にずれるよう
に配置されると共に、トラック方向にも所定の距離だけ
離間して形成されている。再生ヘッド８ｂが、ウォブル
ドマークＷＭを再生するとき、そのエッジに対応して位
置パルスを出力する。この位置パルスのレベルが等しく
なるようにトラッキングサーボを掛けることにより、再
生ヘッド８ｂをデータトラックＤＴの中心線Ｌ１上に配
置することができる。The wobbled marks WM are arranged so as to deviate between the inner peripheral side and the outer peripheral side with the center line L1 of the data track DT sandwiched therebetween, and are also formed so as to be separated from each other by a predetermined distance in the track direction. When the reproducing head 8b reproduces the wobbled mark WM, it outputs a position pulse corresponding to the edge thereof. By applying the tracking servo so that the level of the position pulse becomes equal, the reproducing head 8b can be arranged on the center line L1 of the data track DT.

【００２６】データゾーンの先頭には、ＩＤ記録領域Ｉ
Ｚが形成され、本来記録再生されるデータは、このＩＤ
記録領域ＩＺに続くデータ記録領域ＤＺに記録される。
ＩＤ記録領域ＩＺは、セクタ番号記録領域ＳＺとトラッ
ク番号記録領域ＴＺとに区分されている。このうち、少
なくともセクタ番号記録領域ＳＺは、クロックマークＣ
Ｍと同様に、磁気ディスク３の半径方向に放射状に連続
して形成されている。セクタ番号記録領域ＳＺには、セ
クタを特定する８ビットのセクタ番号が記録され、トラ
ック番号記録領域ＴＺには、データトラックＤＴを特定
する１６ビットのトラック番号が２個記録される。この
４０ビットのＩＤデータは、ＰＲ（パーシャルレスポン
ス）（−１、０、１）変調されてＩＤ記録領域ＩＺに記
録される。再生ヘッド８ｂは、このＩＤ記録領域ＩＺに
記録されているＩＤデータを再生することによりパルス
列を出力する。At the beginning of the data zone, an ID recording area I
This Z is formed, and the data originally recorded and reproduced is the ID
The data is recorded in the data recording area DZ following the recording area IZ.
The ID recording area IZ is divided into a sector number recording area SZ and a track number recording area TZ. Of these, at least the sector number recording area SZ has a clock mark C
Similar to M, the magnetic disk 3 is continuously formed radially in the radial direction. In the sector number recording area SZ, an 8-bit sector number that specifies a sector is recorded, and in the track number recording area TZ, two 16-bit track numbers that specify the data track DT are recorded. The 40-bit ID data is PR (partial response) (-1, 0, 1) modulated and recorded in the ID recording area IZ. The reproducing head 8b outputs a pulse train by reproducing the ID data recorded in the ID recording area IZ.

【００２７】また、トラック番号記録領域ＴＺは、再生
動作用トラック番号記録領域ＴＺａと記録動作用トラッ
ク番号記録領域ＴＺｂとに区分されている。再生動作用
トラック番号記録領域ＴＺａは、その幅方向の中心がデ
ータトラックＤＴの中心線Ｌ１上に位置するように形成
されるが、記録動作用トラック番号記録領域ＴＺｂは、
その中心線Ｌ２がデータトラックＤＴの中心線Ｌ１と距
離ｄだけデータトラックＤＴと垂直な方向（磁気ディス
ク３の半径方向）に離れた位置になるように形成され
る。この距離ｄは、内周側にいくほど小さい値とされ、
外周側にいくほど大きい値とされる。そして、この再生
動作用トラック番号記録領域ＴＺａと記録動作用トラッ
ク番号記録領域ＴＺｂには、同一のトラック番号が記録
される。The track number recording area TZ is divided into a reproducing operation track number recording area TZa and a recording operation track number recording area TZb. The reproduction operation track number recording area TZa is formed so that the center in the width direction is located on the center line L1 of the data track DT, but the recording operation track number recording area TZb is
The center line L2 is formed so as to be separated from the center line L1 of the data track DT by a distance d in the direction perpendicular to the data track DT (radial direction of the magnetic disk 3). This distance d is set to a smaller value toward the inner circumference side,
The larger the value toward the outer circumference, the larger the value. The same track number is recorded in the reproduction operation track number recording area TZa and the recording operation track number recording area TZb.

【００２８】また、データトラックＤＴの中心線Ｌ１に
対して、再生ヘッド８ｂを位置決めするためのウォブル
ドマークＷＭと、記録動作用トラック番号記録領域ＴＺ
ｂの中心線Ｌ２を再生ヘッド８ｂでトレースする場合の
位置決めのためのウォブルドマークＷＭがサーボゾーン
に形成されている。従って、再生モード時においては、
ウォブルドマークＷＭを基準にして再生ヘッド８ｂをト
ラッキング制御することにより、再生ヘッド８ｂをデー
タトラックＤＴの中心線Ｌ１に沿って走査させることが
できる。これに対して、記録モード時においては、ウォ
ブルドマークＷＭを再生ヘッド８ｂで再生して得られる
トラッキングエラー信号に対応してトラッキング制御す
ることにより、再生ヘッド８ｂを記録動作用トラック番
号記録領域ＴＺｂの中心線Ｌ２に沿って走査させること
ができる。このとき、記録ヘッド８ａはデータトラック
ＤＴの中心線Ｌ１に沿って走行する。このように、セク
タ番号又はトラック番号を記録する領域を予め形成し、
そこにセクタ番号又はトラック番号を記録するようにし
たので、再生ヘッド８ｂの位置決め状態にかかわらず、
セクタ番号又はトラック番号を確実に再生することがで
きる。A wobbled mark WM for positioning the reproducing head 8b with respect to the center line L1 of the data track DT and a track number recording area TZ for recording operation.
A wobbled mark WM for positioning when the center line L2 of b is traced by the reproducing head 8b is formed in the servo zone. Therefore, in the playback mode,
By tracking-controlling the reproducing head 8b based on the wobbled mark WM, the reproducing head 8b can be scanned along the center line L1 of the data track DT. On the other hand, in the recording mode, the reproducing head 8b is subjected to tracking control in accordance with the tracking error signal obtained by reproducing the wobbled mark WM by the reproducing head 8b, so that the reproducing head 8b is subjected to the recording operation track number recording area TZb. Can be scanned along the center line L2. At this time, the recording head 8a runs along the center line L1 of the data track DT. In this way, the area for recording the sector number or track number is formed in advance,
Since the sector number or track number is recorded there, regardless of the positioning state of the reproducing head 8b,
It is possible to reliably reproduce the sector number or track number.

【００２９】上述した磁気ディスク３は、光技術を利用
して製造することができ、その製造方法を図１０及び図
１１で説明する。先ず、ガラス原盤４１の表面に例えば
フォトレジスト４２をコーティングする。このフォトレ
ジスト４２がコーティングされたガラス原盤４１をター
ンテーブル４３上に載置して回転させ、例えば凹部を形
成するフォトレジスト４２の部分にのみレーザ光４４を
照射してパターンカッティングする。レーザ光４４を照
射した後、フォトレジスト４２を現像してフォトレジス
ト４２の露光部分を除去する。フォトレジスト４２の露
光部分が除去されたガラス原盤４１の表面にニッケル４
５をメッキする。そして、このニッケル４５をガラス原
盤４１から剥がしてスタンパ４６とする。The above-mentioned magnetic disk 3 can be manufactured by utilizing the optical technique, and a manufacturing method thereof will be described with reference to FIGS. 10 and 11. First, the surface of the glass master 41 is coated with, for example, a photoresist 42. The glass master 41 coated with the photoresist 42 is mounted on a turntable 43 and rotated. For example, only a portion of the photoresist 42 which forms a concave portion is irradiated with a laser beam 44 to perform pattern cutting. After irradiating the laser beam 44, the photoresist 42 is developed to remove the exposed portion of the photoresist 42. Nickel 4 is applied to the surface of the glass master 41 from which the exposed portions of the photoresist 42 have been removed.
5 is plated. The nickel 45 is peeled off from the glass master 41 to form a stamper 46.

【００３０】次に、スタンパ４６を用いて基板３１を成
形する。そして、基板３１の表面に磁性膜３２をスパッ
タリング等により成膜して磁気ディスク３とする。そし
て、この磁気ディスク３を以下の方法により着磁する。
磁気ディスク３を着磁装置４７にセットし、図１２の矢
印ａで示す方向に回転走行させる。そして、図１２
（Ａ）に示すように、着磁用磁気ヘッド４８に第１の直
流電流を印加しながら、着磁用磁気ヘッド４８を磁気デ
ィスク３上の半径方向にトラックピッチで移動させ、磁
気ディスク３の凸部と凹部の磁性膜３２を全て同一方向
に一旦磁化する。その後、図１２（Ｂ）に示すように、
第１の直流電流とは逆極性で、電流値が第１の直流電流
に比べ小さい第２の直流電流を着磁用磁気ヘッド４８に
印加しながら、着磁用磁気ヘッド４８を磁気ディスク３
上の半径方向にトラックピッチで移動させ、磁気ディス
ク３の凸部の磁性膜３２のみを逆向きに磁化し、位置決
め信号（ウォブルドマーク、クロックマーク等）の書き
込みを行う。このように、１つの着磁用磁気ヘッド４８
によって位置決め信号を書き込むことができることか
ら、着磁用磁気ヘッド４８の交換作業を省略することが
でき、磁気ディスク３の生産性の向上を図ることができ
る。Next, the substrate 31 is molded using the stamper 46. Then, a magnetic film 32 is formed on the surface of the substrate 31 by sputtering or the like to form the magnetic disk 3. Then, the magnetic disk 3 is magnetized by the following method.
The magnetic disk 3 is set on the magnetizing device 47, and is rotated and run in the direction indicated by the arrow a in FIG. And FIG.
As shown in (A), while applying the first DC current to the magnetizing magnetic head 48, the magnetizing magnetic head 48 is moved at a track pitch in the radial direction on the magnetic disk 3 so that the magnetic disk 3 The magnetic films 32 in the convex and concave portions are once magnetized in the same direction. Then, as shown in FIG.
While applying a second DC current having a polarity opposite to that of the first DC current and a current value smaller than that of the first DC current to the magnetization magnetic head 48, the magnetization magnetic head 48 is
Only the magnetic film 32 on the convex portion of the magnetic disk 3 is magnetized in the opposite direction by moving it in the upper radial direction at a track pitch, and a positioning signal (wobbled mark, clock mark, etc.) is written. In this way, one magnetizing magnetic head 48
Since the positioning signal can be written by, the exchange work of the magnetizing magnetic head 48 can be omitted, and the productivity of the magnetic disk 3 can be improved.

【００３１】以上説明したような構成の磁気ディスク３
を備えた磁気ディスク装置１において、従来問題であっ
たサーボパターンＳＰから得られる磁気信号の誤読を回
避するためには、サーボパターンＳＰから得られる磁気
信号の振幅とデータトラックＤＴから得られる磁気信号
の振幅を同等にすれば良い。このためには、サーボパタ
ーンＳＰ上におけるヘッドスライダ６の浮上量ＤＳを、
データトラックＤＴ上におけるヘッドスライダ６の浮上
量ＤＤより小さくすれば良い。ヘッドスライダ６の浮上
量Ｄは、スペイシング損失の効果を利用することにより
変動させることができる。このスペイシング損失ＳＬと
ヘッドスライダ６の浮上量Ｄの関係は数１で表される。The magnetic disk 3 having the structure described above.
In order to avoid the erroneous reading of the magnetic signal obtained from the servo pattern SP, which is a conventional problem, in the magnetic disk device 1 including the above, the amplitude of the magnetic signal obtained from the servo pattern SP and the magnetic signal obtained from the data track DT are It is sufficient to make the amplitudes of the same. To this end, the flying height DS of the head slider 6 on the servo pattern SP is
It may be smaller than the flying height DD of the head slider 6 on the data track DT. The flying height D of the head slider 6 can be changed by utilizing the effect of spacing loss. The relationship between the spacing loss SL and the flying height D of the head slider 6 is expressed by Equation 1.

【数１】 [Equation 1]

【００３２】ここで、記録波長λはサーボ信号のクロッ
ク周波数と関係する。通常、磁気ディスク３の回転数は
一定でサーボ信号のクロック周波数も一定であるため、
サーボクロックの記録波長は磁気ディスク３の半径によ
って異なる。この実施形態では、記録波長λとして最短
波長となる最内周でのサーボクロックの記録波長λｍｉ
ｎを数１に用いる。また、サーボパターンＳＰから得ら
れる磁気信号の振幅とデータトラックＤＴから得られる
磁気信号の振幅の比率である約７０％は、−３ｄＢに相
当するので、スペイシング損失ＳＬにはこの−３ｄＢを
用いる。以上より数１を書き直すと、データトラックＤ
Ｔ上におけるヘッドスライダ６の浮上量ＤＤとサーボパ
ターンＳＰ上におけるヘッドスライダ６の浮上量ＤＳと
の浮上量差ｄは数２となる。Here, the recording wavelength λ is related to the clock frequency of the servo signal. Normally, the rotation speed of the magnetic disk 3 is constant and the clock frequency of the servo signal is also constant,
The recording wavelength of the servo clock differs depending on the radius of the magnetic disk 3. In this embodiment, the recording wavelength λmi of the servo clock at the innermost circumference that is the shortest wavelength as the recording wavelength λ.
n is used in Equation 1. Further, since about 70%, which is the ratio of the amplitude of the magnetic signal obtained from the servo pattern SP and the amplitude of the magnetic signal obtained from the data track DT, corresponds to -3 dB, this -3 dB is used for the spacing loss SL. From the above, if Equation 1 is rewritten, data track D
The flying height difference d between the flying height DD of the head slider 6 on T and the flying height DS of the head slider 6 on the servo pattern SP is given by

【数２】 [Equation 2]

【００３３】また、ヘッドスライダ６のデータトラック
ＤＴ通過時に対するサーボパターンＳＰ通過時の浮上低
下量Δｄの最大値は、データトラックＤＴ上におけるヘ
ッドスライダ６の浮上量ＤＤからヘッドスライダ６に搭
載されている磁気ヘッド８が磁気ディスク３の表面（表
面に生じている突起の先端部）と接触する直前まで、即
ち浮上量ＤＤ−グライドハイトＧＨとなる。即ち、浮上
低下量Δｄの範囲は数３を満たせば良いことになる。Further, the maximum value of the flying height lowering amount Δd when the head slider 6 passes the servo pattern SP with respect to when the head slider 6 passes the data track DT depends on the flying amount DD of the head slider 6 on the data track DT. Just before the magnetic head 8 in contact with the surface of the magnetic disk 3 (tips of protrusions formed on the surface), that is, the flying height DD-glide height GH. That is, the range of the flying height decrease amount Δd should satisfy Formula 3.

【数３】 (Equation 3)

【００３４】先ず、ヘッドスライダ６の浮上変動量と、
データゾーンの凸部と凹部の比率とサーボゾーンの凸部
と凹部の比率との関係について調べた。ここで、測定用
のディスクは、ガラス製であって、実際の磁気ディスク
３と同様にデータゾーンとサーボゾーンが設けられてい
る。このガラスディスクに対するデータゾーンとサーボ
ゾーンのパターンは、実際の磁気ディスク３と同様の方
法でガラスディスクの半径１５．５ｍｍから３５．０ｍ
ｍの間に形成した。先ず、ガラスディスク表面にレジス
トを塗布し、このレジスト上にカッティングデータを基
にデータゾーンとサーボゾーンのパターンを露光する。
そして、この露光後、例えばＲＩＥ（反応性イオンエッ
チング）により現像をしてデータゾーンとサーボゾーン
のパターンを形成する。First, the floating fluctuation amount of the head slider 6 and
The relationship between the ratio of the convex portion to the concave portion of the data zone and the ratio of the convex portion to the concave portion of the servo zone was examined. Here, the measurement disk is made of glass, and is provided with a data zone and a servo zone like the actual magnetic disk 3. The pattern of the data zone and the servo zone for this glass disk is the same as the actual magnetic disk 3, and the radius of the glass disk is 15.5 mm to 35.0 m.
formed during m. First, a resist is applied to the surface of the glass disk, and the data zone and servo zone patterns are exposed on the resist based on the cutting data.
After this exposure, development is performed by, for example, RIE (reactive ion etching) to form a pattern of data zones and servo zones.

【００３５】データゾーンはガラスディスクの円周方向
に７つの領域にサーボゾーンを挟んで分割されており、
各領域ではデータトラックＤＴとガードバンドＧＢの比
率、即ち凸部と凹部の比率が以下のように異なってい
る。データゾーンのガードバンドＧＢの深さ、即ち凹部
の深さは２００ｎｍである。 領域Ｎｏ． 凸部と凹部の比率 １ ０．５ ２ ２．０ ３ ３．０ ４ ４．０ ５ ５．０ ６ ８．０ ７ １０．０The data zone is divided into seven areas in the circumferential direction of the glass disk with the servo zone interposed therebetween.
In each area, the ratio of the data track DT to the guard band GB, that is, the ratio of the convex portion to the concave portion is different as follows. The depth of the guard band GB in the data zone, that is, the depth of the recess is 200 nm. Area No. Ratio of convex portions to concave portions 1 0.5 2 2.0 3 3 3.0 4 4.0 5 5.0 6 6 8.0 7 10.0

【００３６】サーボゾーンは、実際のサーボゾーンのよ
うに内周から外周に向かって直線状に形成されているの
ではなく、ヘッドスライダ６のシーク軌跡に沿った曲線
状に形成されている。そして、サーボゾーンのサーボパ
ターンＳＰの深さ、即ち凹部の深さは２００ｎｍであ
り、凸部と凹部の比率は２．０である。また、ヘッドス
ライダ６は一般的な２本レールのテーパフラットの５０
％ナノスライダであり、スライダ長は２．０ｍｍ、スラ
イダ幅は１．６ｍｍ、レール幅は２００μｍ、荷重は
３．５ｇｆである。このようなヘッドスライダ６をガラ
スディスクの半径３０．２ｍｍに位置させ、ガラスディ
スクを４０００ｒｐｍで回転させたときのヘッドスライ
ダ６とガラスディスクの相対速度は７ｍ／ｓとなり、ヘ
ッドスライダ６の浮上量は約５０ｎｍ程度となる。The servo zone is not formed linearly from the inner circumference to the outer circumference like the actual servo zone, but is formed in a curved shape along the seek locus of the head slider 6. The depth of the servo pattern SP in the servo zone, that is, the depth of the concave portion is 200 nm, and the ratio of the convex portion to the concave portion is 2.0. Further, the head slider 6 is a general two-rail tapered flat 50
% Nanoslider, the slider length is 2.0 mm, the slider width is 1.6 mm, the rail width is 200 μm, and the load is 3.5 gf. When the head slider 6 is positioned at a radius of 30.2 mm of the glass disk and the glass disk is rotated at 4000 rpm, the relative speed between the head slider 6 and the glass disk is 7 m / s, and the flying height of the head slider 6 is It is about 50 nm.

【００３７】図１４は、ヘッドスライダ６の浮上変動量
と、データゾーンのデータトラックＤＴとガードバンド
ＧＢの比率、即ちヘッドスライダ６のレール幅における
凸部の面積とヘッドスライダ６のレール幅における凹部
の面積との比率を、サーボゾーンのサーボパターンＳＰ
の比率、即ちヘッドスライダ６のレール幅における凸部
の面積とヘッドスライダ６のレール幅における凹部の面
積との比率で除算した値との関係を示す図である。レー
ザバイブロメータを用いて測定しており、同図からも明
らかなように、上記除算値が０〜２．６の間ではデータ
ゾーン、即ちデータトラックＤＴ上におけるヘッドスラ
イダ６の浮上量ＤＤよりも、サーボゾーン、即ちサーボ
パターンＳＰ上におけるヘッドスライダ６の浮上量ＤＳ
の方が小さくなり、除算値が２．６以上ではデータトラ
ックＤＴ上におけるヘッドスライダ６の浮上量ＤＤより
も、サーボパターンＳＰ上におけるヘッドスライダ６の
浮上量ＤＳの方が大きくなる。FIG. 14 is a diagram showing the floating variation of the head slider 6, the ratio of the data track DT and the guard band GB in the data zone, that is, the area of the convex portion in the rail width of the head slider 6 and the concave portion in the rail width of the head slider 6. Of the servo area SP of the servo zone
6 is a diagram showing the relationship between the ratio of the above, that is, the value divided by the ratio of the area of the protrusion in the rail width of the head slider 6 and the area of the recess in the rail width of the head slider 6. It is measured by using a laser vibrometer, and as is clear from the figure, when the division value is 0 to 2.6, the flying height DD of the head slider 6 on the data zone, that is, on the data track DT is larger than that. , The servo zone, that is, the flying height DS of the head slider 6 on the servo pattern SP.
When the division value is 2.6 or more, the flying height DS of the head slider 6 on the servo pattern SP is larger than the flying height DD of the head slider 6 on the data track DT.

【００３８】ここで、ヘッドスライダ６の浮上量Ｄを設
計する場合には、ヘッドスライダ６を磁気ディスク装置
１に組み込む際の種々の機械精度によるヘッドスライダ
６の浮上量Ｄのばらつきを考慮する必要がある。例え
ば、ヘッドスライダ６の浮上量Ｄを５０ｎｍとする場
合、以下に示すような、各項目に対するヘッドスライダ
６の浮上変動量の許容値が一般的に規定されている。即
ち、ヘッドスライダ６の加工精度のばらつきに対しては
±１０％、ヘッドスライダ６の荷重のばらつきに対して
は±２０％、Ｚ−ｈｅｉｇｈｔのばらつきに対しては±
１０％、基板３１のうねりに対しては±１０％、基板３
１のそりに対しては±１０％、シーク時の変動に対して
は±１０％、気圧変動に対しては±１０％、サーボゾー
ンに対しては±１０％、マージンに対しては−５％、グ
ライドハイトＧＨに対しては３５ｎｍである。Here, when designing the flying height D of the head slider 6, it is necessary to consider variations in the flying height D of the head slider 6 due to various mechanical precision when the head slider 6 is incorporated into the magnetic disk device 1. There is. For example, when the flying height D of the head slider 6 is set to 50 nm, the permissible value of the flying fluctuation amount of the head slider 6 for each item is generally specified as follows. That is, ± 10% for variations in the processing accuracy of the head slider 6, ± 20% for variations in the load of the head slider 6, and ± 20% for variations in Z-height.
10%, ± 10% for waviness of substrate 31, substrate 3
1 warp ± 10%, seek variation ± 10%, atmospheric pressure variation ± 10%, servo zone ± 10%, margin -5 %, 35 nm for glide height GH.

【００３９】以上より、グライドハイトＧＨは浮上量Ｄ
の約７０％となる。従って、この実施形態の場合、ヘッ
ドスライダ６の浮上量Ｄは５０ｎｍであるから、その７
０％は３５ｎｍになる。また、一般的なサーボ信号の最
短波長は１．６μｍである。これらの条件を考慮に入れ
ると、上記除算値を１．２以下とすれば、サーボパター
ンＳＰから得られる磁気信号の振幅とデータトラックＤ
Ｔから得られる磁気信号の振幅を同等にすることがで
き、従来問題であったサーボパターンＳＰから得られる
磁気信号の誤読を回避することができる。From the above, the glide height GH is the flying height D
Of about 70%. Therefore, in the case of this embodiment, the flying height D of the head slider 6 is 50 nm.
0% becomes 35 nm. The shortest wavelength of a general servo signal is 1.6 μm. Taking these conditions into consideration, if the division value is 1.2 or less, the amplitude of the magnetic signal obtained from the servo pattern SP and the data track D
It is possible to make the amplitudes of the magnetic signals obtained from T equal, and it is possible to avoid erroneous reading of the magnetic signals obtained from the servo pattern SP, which has been a problem in the past.

【００４０】次に、上記ガラスディスクに磁性層をスパ
ッタリングにより形成し、サーボパターンＳＰから得ら
れる磁気信号の振幅とデータトラックＤＴから得られる
磁気信号の振幅との比較を行った。スパッタリングは、
クロム層を１００ｎｍ、コバルトクロム白金層を２０ｎ
ｍ、炭素層を１０ｎｍの順で行った。磁気ヘッド８とし
ては、ナノスライダに搭載された再生ＭＲヘッド及び記
録インダクティブヘッドの複合ヘッドを用いた。Next, a magnetic layer was formed on the glass disk by sputtering, and the amplitude of the magnetic signal obtained from the servo pattern SP and the amplitude of the magnetic signal obtained from the data track DT were compared. Sputtering is
Chromium layer 100nm, cobalt chrome platinum layer 20n
m and the carbon layer were performed in the order of 10 nm. As the magnetic head 8, a composite head of a reproducing MR head and a recording inductive head mounted on a nanoslider was used.

【００４１】図１５は、サーボパターンＳＰから得られ
る磁気信号と、データゾーンのデータトラックＤＴとガ
ードバンドＧＢの比率、即ちヘッドスライダ６のレール
幅における凸部の面積とヘッドスライダ６のレール幅に
おける凹部の面積との比率を、サーボゾーンのサーボパ
ターンＳＰの比率、即ちヘッドスライダ６のレール幅に
おける凸部の面積とヘッドスライダ６のレール幅におけ
る凹部の面積との比率で除算した値との関係を示す図で
ある。図１４と比較して分かるように、ヘッドスライダ
６の浮上変動量が小さくなると、サーボパターンＳＰか
ら得られる磁気信号が小さくなる。また、サーボ信号の
最短波長は１．６μｍであるから、ヘッドスライダ６の
サーボゾーン通過時の浮上変動量が約１０ｎｍのとき、
サーボパターンＳＰから得られる磁気信号の振幅とデー
タトラックＤＴから得られる磁気信号の振幅１．６μｍ
は略等しくなる。FIG. 15 shows the ratio between the magnetic signal obtained from the servo pattern SP and the data track DT and the guard band GB in the data zone, that is, the area of the protrusion in the rail width of the head slider 6 and the rail width of the head slider 6. A relationship between the ratio of the area of the concave portion and the ratio of the servo pattern SP in the servo zone, that is, a value obtained by dividing the ratio of the area of the convex portion in the rail width of the head slider 6 and the area of the concave portion in the rail width of the head slider 6. FIG. As can be seen by comparing with FIG. 14, when the flying fluctuation amount of the head slider 6 becomes small, the magnetic signal obtained from the servo pattern SP becomes small. Further, since the shortest wavelength of the servo signal is 1.6 μm, when the flying variation of the head slider 6 when passing through the servo zone is about 10 nm,
Amplitude of magnetic signal obtained from servo pattern SP and amplitude of magnetic signal obtained from data track DT 1.6 μm
Are approximately equal.

【００４２】以上より、データトラックＤＴ上における
ヘッドスライダ６の浮上量ＤＤとサーボパターンＳＰ上
におけるヘッドスライダ６の浮上量ＤＳとの浮上量差ｄ
を数２で示す範囲にすることにより、サーボパターンＳ
Ｐから得られる磁気信号の振幅とデータトラックＤＴか
ら得られる磁気信号の振幅を同等にすることができ、従
来問題であったサーボパターンＳＰから得られる磁気信
号の誤読を回避することができる。From the above, the flying height difference d between the flying height DD of the head slider 6 on the data track DT and the flying height DS of the head slider 6 on the servo pattern SP.
Is set to the range shown in Equation 2, the servo pattern S
The amplitude of the magnetic signal obtained from P and the amplitude of the magnetic signal obtained from the data track DT can be made equal, and erroneous reading of the magnetic signal obtained from the servo pattern SP, which has been a problem in the related art, can be avoided.

【００４３】[0043]

【発明の効果】以上述べたように、この発明によれば、
制御信号記録領域から得られる磁気信号を正確に読み取
ることができるので、磁気ヘッドのトラッキング制御を
安定に行ってデータ等の記録再生を精度良く行うことが
できる。As described above, according to the present invention,
Since the magnetic signal obtained from the control signal recording area can be accurately read, the tracking control of the magnetic head can be stably performed and the recording / reproducing of data and the like can be performed with high accuracy.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】この発明の磁気ディスク装置の実施形態である
ハードディスク装置の構成例を示す斜視図。FIG. 1 is a perspective view showing a configuration example of a hard disk drive which is an embodiment of a magnetic disk drive of the present invention.

【図２】図１に示すハードディスク装置のヘッドスライ
ダの動作例を示す斜視図。FIG. 2 is an exemplary perspective view showing an operation example of a head slider of the hard disk device shown in FIG. 1;

【図３】図１に示すハードディスク装置のヘッドスライ
ダの詳細例を示す斜視図。FIG. 3 is an exemplary perspective view showing a detailed example of a head slider of the hard disk device shown in FIG. 1;

【図４】図１に示すハードディスク装置のヘッドスライ
ダの動作例を示す側面図。FIG. 4 is a side view showing an operation example of a head slider of the hard disk device shown in FIG.

【図５】図１に示すハードディスク装置の制御部の構成
例を示すブロック図。5 is a block diagram showing a configuration example of a control unit of the hard disk device shown in FIG.

【図６】この発明の磁気ディスクの実施形態を示す平面
図。FIG. 6 is a plan view showing an embodiment of a magnetic disk of the present invention.

【図７】図６に示す磁気ディスクの半径方向の断面構造
図及び円周方向の断面構造図。7A and 7B are a radial sectional view and a circumferential sectional view of the magnetic disk shown in FIG.

【図８】図６に示す磁気ディスクのさらに詳細を示す断
面構造図。FIG. 8 is a sectional structural view showing further details of the magnetic disk shown in FIG.

【図９】図６に示す磁気ディスクの表面の詳細を示す平
面図。9 is a plan view showing details of the surface of the magnetic disk shown in FIG.

【図１０】図６に示す磁気ディスクの製造方法を説明す
るための第１の図。FIG. 10 is a first diagram for explaining a method of manufacturing the magnetic disk shown in FIG.

【図１１】図６に示す磁気ディスクの製造方法を説明す
るための第２の図。FIG. 11 is a second diagram for explaining the method of manufacturing the magnetic disk shown in FIG.

【図１２】図６に示す磁気ディスクの製造方法を説明す
るための第３の図。FIG. 12 is a third view for explaining the method of manufacturing the magnetic disk shown in FIG.

【図１３】図６に示す磁気ディスクのデータゾーンのデ
ータトラックから得られる磁気信号の振幅と、サーボゾ
ーンのサーボパターンから得られる磁気信号の振幅を示
す図。13 is a diagram showing the amplitude of a magnetic signal obtained from a data track of a data zone of the magnetic disk shown in FIG. 6 and the amplitude of a magnetic signal obtained from a servo pattern of a servo zone.

【図１４】図１に示すハードディスク装置のヘッドスラ
イダの浮上変動量と、図６に示す磁気ディスクのデータ
ゾーンの凹凸部の比率を、サーボゾーンの凹凸部の比率
で除算した値との関係を示す図。14 is a diagram showing the relationship between the floating variation of the head slider of the hard disk drive shown in FIG. 1 and the value obtained by dividing the ratio of the uneven portions of the data zone of the magnetic disk shown in FIG. 6 by the ratio of the uneven portions of the servo zone. FIG.

【図１５】図６に示す磁気ディスクのサーボパターンか
ら得られる磁気信号と、データゾーンの凹凸部の比率
を、サーボゾーンの凹凸部の比率で除算した値との関係
を示す図。15 is a diagram showing a relationship between a magnetic signal obtained from the servo pattern of the magnetic disk shown in FIG. 6 and a value obtained by dividing the ratio of the uneven portion of the data zone by the ratio of the uneven portion of the servo zone.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１・・・ハードディスク装置、２・・・筐体、３・・・
磁気ディスク、４・・・アーム、４ａ・・・垂直軸、５
・・・ボイスコイル、６・・・ヘッドスライダ、６ａ・
・・レール、６ｂ・・・レール、６ｃ・・・テーパ部、
６ｄ・・・テーパ部、７・・・ボイスコイルモータ、７
ａ・・・マグネット、７ｂ・・・マグネット、８・・・
磁気ヘッド、９・・・モータ、１０・・・制御部、１１
・・・クロック信号生成部、１２・・・トラッキングサ
ーボ部、１３・・・再生部、１４・・・記録部、３１・
・・基板、３２・・・磁性膜、４１・・・ガラス原盤、
４２・・・フォトレジスト、４３・・・ターンテーブ
ル、４４・・・レーザ光、４５・・・ニッケル、４６・
・・スタンパ、４７・・・着磁装置、４８・・・着磁用
磁気ヘッドDESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Hard disk device, 2 ... Housing, 3 ...
Magnetic disk, 4 ... arm, 4a ... vertical axis, 5
... voice coil, 6 ... head slider, 6a
..Rail, 6b ... rail, 6c ... tapered part,
6d ... tapered portion, 7 ... voice coil motor, 7
a ... magnet, 7b ... magnet, 8 ...
Magnetic head, 9 ... motor, 10 ... control unit, 11
... Clock signal generation section, 12 ... Tracking servo section, 13 ... Playback section, 14 ... Recording section, 31 ...
..Substrate, 32 ... magnetic film, 41 ... glass master,
42 ... Photoresist, 43 ... Turntable, 44 ... Laser light, 45 ... Nickel, 46.
..Stampers, 47 ... Magnetizing device, 48 ... Magnetic heads for magnetizing

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 浮上型のヘッドスライダに搭載されてい
る磁気ヘッドによりデータ等が記録再生される磁気ディ
スクであって、表面に形成された凹凸部によりデータ記
録領域と制御信号記録領域に放射状に区分されている磁
気ディスクにおいて、 前記ヘッドスライダの制御信号記録領域通過時の浮上量
が、データ記録領域通過時の浮上量以下であってグライ
ドハイト以上であるようにしたことを特徴とする磁気デ
ィスク。1. A magnetic disk in which data and the like are recorded and reproduced by a magnetic head mounted on a flying type head slider, and a data recording area and a control signal recording area are radially formed by an uneven portion formed on the surface. In the divided magnetic disk, the flying height of the head slider when passing the control signal recording area is equal to or less than the flying height when passing the data recording area and is equal to or more than the glide height. . 【請求項２】 前記ヘッドスライダのデータ記録領域通
過時に対する制御信号記録領域通過時の浮上低下量が、
スペイシング損失を変数とした関数で表される請求項１
に記載の磁気ディスク。2. The flying fall amount of the head slider when passing through the control signal recording area with respect to when passing through the data recording area is
Claim 1 expressed by a function with a spacing loss as a variable.
The magnetic disk described in. 【請求項３】 前記スペイシング損失が、−３ｄＢであ
る請求項２に記載の磁気ディスク。3. The magnetic disk according to claim 2, wherein the spacing loss is −3 dB. 【請求項４】 表面に形成された凹凸部によりデータ記
録領域と制御信号記録領域に放射状に区分されている磁
気ディスクと、 前記磁気ディスクの表面上で浮上して前記磁気ディスク
の半径方向へ移動するヘッドスライダと、 前記ヘッドスライダに搭載され、前記磁気ディスクに対
してデータ等を記録再生する磁気ヘッドとを備えた磁気
ディスク装置において、 前記ヘッドスライダの制御信号記録領域通過時の浮上量
が、データ記録領域通過時の浮上量以下であってグライ
ドハイト以上であるようにしたことを特徴とする磁気デ
ィスク装置。4. A magnetic disk radially divided into a data recording area and a control signal recording area by an uneven portion formed on the surface, and floating on the surface of the magnetic disk and moving in the radial direction of the magnetic disk. In a magnetic disk device comprising: a head slider, and a magnetic head mounted on the head slider for recording and reproducing data and the like on the magnetic disk, the flying height of the head slider when passing a control signal recording area is: A magnetic disk device characterized in that the flying height is equal to or less than the flying height when passing through the data recording area and is equal to or greater than the glide height. 【請求項５】 浮上型のヘッドスライダに搭載されてい
る磁気ヘッドによりデータ等が記録再生される磁気ディ
スクであって、表面に形成された凹凸部によりデータ記
録領域と制御信号記録領域に放射状に区分されている磁
気ディスクにおいて、 前記データ記録領域の凹凸部の比率と前記制御信号記録
領域の凹凸部の比率との除算値を、１．２以下としたこ
とを特徴とする磁気ディスク。5. A magnetic disk in which data and the like are recorded and reproduced by a magnetic head mounted on a flying type head slider, and the data recording area and the control signal recording area are radially formed by an uneven portion formed on the surface. In the divided magnetic disk, the division value of the ratio of the uneven portion of the data recording area and the ratio of the uneven portion of the control signal recording area is 1.2 or less. 【請求項６】 表面に形成された凹凸部によりデータ記
録領域と制御信号記録領域に放射状に区分されている磁
気ディスクと、 前記磁気ディスクの表面上で浮上して前記磁気ディスク
の半径方向へ移動するヘッドスライダと、 前記ヘッドスライダに搭載され、前記磁気ディスクに対
してデータ等を記録再生する磁気ヘッドとを備えた磁気
ディスク装置において、 前記データ記録領域の凹凸部の比率と前記制御信号記録
領域の凹凸部の比率との除算値を、１．２以下としたこ
とを特徴とする磁気ディスク装置。6. A magnetic disk which is radially divided into a data recording area and a control signal recording area by an uneven portion formed on the surface, and floats on the surface of the magnetic disk and moves in the radial direction of the magnetic disk. In a magnetic disk device comprising: a head slider which is mounted on the head slider, and a magnetic head which records and reproduces data and the like on the magnetic disk, the ratio of the uneven portion of the data recording area and the control signal recording area. A magnetic disk device characterized in that the division value with the ratio of the uneven portion is set to 1.2 or less.