JPH09278519A - ドーパントが添加されたｐｌｚｔの製造方法 - Google Patents
ドーパントが添加されたｐｌｚｔの製造方法Info
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- JPH09278519A JPH09278519A JP8867496A JP8867496A JPH09278519A JP H09278519 A JPH09278519 A JP H09278519A JP 8867496 A JP8867496 A JP 8867496A JP 8867496 A JP8867496 A JP 8867496A JP H09278519 A JPH09278519 A JP H09278519A
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- plzt
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ドーパントが添加された実用性高いＰＬＺＴ
を低コストで製造する方法を提供すること。 【解決手段】 Ｐｂ、Ｌａ、Ｚｒ、Ｔｉおよびドーパン
トの各原料の混合物を不活性ガス雰囲気中で加熱焼結す
ることを特徴とする製造方法であって、特に加熱焼結前
の原料混合物中におけるＰｂ、Ｌａ、Ｚｒ、Ｔｉおよび
ドーパントの各量が、製造目的物質の理論化学式中にお
ける化学量論比となっていることを特徴とする上記の製
造方法である。
を低コストで製造する方法を提供すること。 【解決手段】 Ｐｂ、Ｌａ、Ｚｒ、Ｔｉおよびドーパン
トの各原料の混合物を不活性ガス雰囲気中で加熱焼結す
ることを特徴とする製造方法であって、特に加熱焼結前
の原料混合物中におけるＰｂ、Ｌａ、Ｚｒ、Ｔｉおよび
ドーパントの各量が、製造目的物質の理論化学式中にお
ける化学量論比となっていることを特徴とする上記の製
造方法である。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光歪材料として好
適に用いることができる、ドーパントが添加されたＰＬ
ＺＴの製造方法に関する。
適に用いることができる、ドーパントが添加されたＰＬ
ＺＴの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＰＬＺＴは、ジルコン酸チタン酸鉛にＬ
ａを加えたセラミックスであって、一般式；Ｐｂ1-x Ｌ
ａx （Ｚｒy Ｔｉz ）1-x/4 Ｏ3 で表される物質であっ
て、圧電効果や、光照射によって自体に機械的な歪みを
生じる効果（光歪効果）等を示すことがよく知られてい
る。またこれらの効果は、ＰＬＺＴにある種のドーパン
トを添加することにより（ドーパントが添加されたＰＬ
ＺＴを、以下、ドープドＰＬＺＴと略称する。）一層増
大することも知られている。
ａを加えたセラミックスであって、一般式；Ｐｂ1-x Ｌ
ａx （Ｚｒy Ｔｉz ）1-x/4 Ｏ3 で表される物質であっ
て、圧電効果や、光照射によって自体に機械的な歪みを
生じる効果（光歪効果）等を示すことがよく知られてい
る。またこれらの効果は、ＰＬＺＴにある種のドーパン
トを添加することにより（ドーパントが添加されたＰＬ
ＺＴを、以下、ドープドＰＬＺＴと略称する。）一層増
大することも知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ドープドＰＬＺＴは、
従来、その各原料の混合物を酸素雰囲気中、例えば空気
中で加熱焼結し、次いで該焼結時の温度より低い温度下
で窒素中で熱処理することにより製造されている。この
熱処理は、焼結のみの製品よりも高性能化する方法とし
て知られている。しかし、この従来方法では、工程が多
いために製品のコストアップになる問題がある。
従来、その各原料の混合物を酸素雰囲気中、例えば空気
中で加熱焼結し、次いで該焼結時の温度より低い温度下
で窒素中で熱処理することにより製造されている。この
熱処理は、焼結のみの製品よりも高性能化する方法とし
て知られている。しかし、この従来方法では、工程が多
いために製品のコストアップになる問題がある。
【０００４】ところで本発明者等は、前記原料混合物を
空気中でではなく不活性ガス中で加熱焼結すると、従来
行われてきた焼結後の熱処理を省略しても予想外の高性
能品が製造できるとの新知見を得た。しかして本発明の
目的は、実用性のあるドープドＰＬＺＴを低コストで製
造する方法を提供することである。
空気中でではなく不活性ガス中で加熱焼結すると、従来
行われてきた焼結後の熱処理を省略しても予想外の高性
能品が製造できるとの新知見を得た。しかして本発明の
目的は、実用性のあるドープドＰＬＺＴを低コストで製
造する方法を提供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段並びに作用】本発明のドー
プドＰＬＺＴの製造方法は、Ｐｂ、Ｌａ、Ｚｒ、Ｔｉお
よびドーパントの各原料の混合物を不活性ガス雰囲気中
で加熱焼結することを特徴とするものである。加熱焼結
時の雰囲気として不活性ガスを採用することにより、従
来行われてきた焼結後の熱処理を省略することが可能で
あって、しかも実用性のあるドープドＰＬＺＴが得られ
る。上記作用が生じる理由は、目下のところ定かでない
が、本発明者等は不活性ガス雰囲気中での加熱焼結によ
ってＰＬＺＴ結晶中での酸素欠陥が増大し、活性化が進
むためと考えている。
プドＰＬＺＴの製造方法は、Ｐｂ、Ｌａ、Ｚｒ、Ｔｉお
よびドーパントの各原料の混合物を不活性ガス雰囲気中
で加熱焼結することを特徴とするものである。加熱焼結
時の雰囲気として不活性ガスを採用することにより、従
来行われてきた焼結後の熱処理を省略することが可能で
あって、しかも実用性のあるドープドＰＬＺＴが得られ
る。上記作用が生じる理由は、目下のところ定かでない
が、本発明者等は不活性ガス雰囲気中での加熱焼結によ
ってＰＬＺＴ結晶中での酸素欠陥が増大し、活性化が進
むためと考えている。
【０００６】本発明において、加熱焼結時の雰囲気とし
ては、ヘリウム、ネオン、アルゴン、クリプトン、キセ
ノン等の希ガス類、窒素、などの不活性ガスが用いられ
る。それらは、単独で用いてもあるいは２種以上の混合
物として用いてもよい。好ましくは、アルゴンおよび窒
素、からなる群の１種あるいは２種以上の混合物であ
り、就中窒素単独である。焼結中は、不活性ガスは必ず
しも新しい不活性ガスと置換する必要はないが、不活性
ガスを適当流量で絶えず供給排気する気流中で焼結を行
ってもよい。焼結条件は従来通りでよく、たとえば焼結
温度は１０００〜１３００℃、焼結時間は０．１〜２０
時間である。また焼結に先立って、通常の仮焼も必要に
応じて行ってよい。
ては、ヘリウム、ネオン、アルゴン、クリプトン、キセ
ノン等の希ガス類、窒素、などの不活性ガスが用いられ
る。それらは、単独で用いてもあるいは２種以上の混合
物として用いてもよい。好ましくは、アルゴンおよび窒
素、からなる群の１種あるいは２種以上の混合物であ
り、就中窒素単独である。焼結中は、不活性ガスは必ず
しも新しい不活性ガスと置換する必要はないが、不活性
ガスを適当流量で絶えず供給排気する気流中で焼結を行
ってもよい。焼結条件は従来通りでよく、たとえば焼結
温度は１０００〜１３００℃、焼結時間は０．１〜２０
時間である。また焼結に先立って、通常の仮焼も必要に
応じて行ってよい。
【０００７】次に、加熱焼結されるべきＰｂ、Ｌａ、Ｚ
ｒ、Ｔｉおよびドーパントの各原料の焼結前における混
合比について説明する。混合比を決定するための第１の
方法は、所望化学式の、且つドーパントを含まないＰＬ
ＺＴにおけるＰｂ、Ｌａ、Ｚｒ、およびＴｉの化学量論
量に対応する各原料量を用意し、次いでそのＰＬＺＴに
ドープすべきドーパントの所望量に対応する原料量をそ
の上に加え、全原料を均一に混合して加熱焼結に付す方
法である。例えば、特定原子数比のＰＬＺＴに、ある比
率でドーパントをドープしたい場合、混合される原料中
のＰｂ、Ｌａ、Ｚｒ、Ｔｉの原子数の比は、前記特定原
子数比のＰＬＺＴ中での原子数比に対応する量比とす
る。そして、その上に所望量のドーパント用原料を加え
て均一混合物とし、これを焼結に供する。
ｒ、Ｔｉおよびドーパントの各原料の焼結前における混
合比について説明する。混合比を決定するための第１の
方法は、所望化学式の、且つドーパントを含まないＰＬ
ＺＴにおけるＰｂ、Ｌａ、Ｚｒ、およびＴｉの化学量論
量に対応する各原料量を用意し、次いでそのＰＬＺＴに
ドープすべきドーパントの所望量に対応する原料量をそ
の上に加え、全原料を均一に混合して加熱焼結に付す方
法である。例えば、特定原子数比のＰＬＺＴに、ある比
率でドーパントをドープしたい場合、混合される原料中
のＰｂ、Ｌａ、Ｚｒ、Ｔｉの原子数の比は、前記特定原
子数比のＰＬＺＴ中での原子数比に対応する量比とす
る。そして、その上に所望量のドーパント用原料を加え
て均一混合物とし、これを焼結に供する。
【０００８】混合比を決定するための第２の方法は、加
熱焼結前の原料混合物中におけるＰｂ、Ｌａ、Ｚｒ、Ｔ
ｉおよびドーパントの各量が、製造目的物質たる所望の
ドープドＰＬＺＴの理論化学式中における化学量論比と
なるように各元素の原料を混合する方法である。製造目
的物質として下式（３）で示される理論化学式を有す
る、ＴａをＢサイト内に原子数比にして０．０１ドープ
されたドープドＰＬＺＴを例にとると、式（３）での化
学量比通りとなるように、各元素の原料を計量混合す
る。たとえば、各原料としてそれぞれＰｂＯ、Ｌａ2 Ｏ
3 、ＺｒＯ2 、ＴｉＯ2 、およびＴａ2 Ｏ5 を採用した
場合のそれぞれの量は、９８．２５ｇ、２．２３ｇ、２
８．７２ｇ、１７．１９ｇ、および１ｇである。 Ｐｂ0.965 Ｌａ0.03（Ｚｒ0.5148Ｔｉ0.4752Ｔａ0.01）1-0.03/4Ｏ3 （３） なお、式（３）において、１−０．０３／４は、１−
（０．０３／４）の意味である（以下、同様）。
熱焼結前の原料混合物中におけるＰｂ、Ｌａ、Ｚｒ、Ｔ
ｉおよびドーパントの各量が、製造目的物質たる所望の
ドープドＰＬＺＴの理論化学式中における化学量論比と
なるように各元素の原料を混合する方法である。製造目
的物質として下式（３）で示される理論化学式を有す
る、ＴａをＢサイト内に原子数比にして０．０１ドープ
されたドープドＰＬＺＴを例にとると、式（３）での化
学量比通りとなるように、各元素の原料を計量混合す
る。たとえば、各原料としてそれぞれＰｂＯ、Ｌａ2 Ｏ
3 、ＺｒＯ2 、ＴｉＯ2 、およびＴａ2 Ｏ5 を採用した
場合のそれぞれの量は、９８．２５ｇ、２．２３ｇ、２
８．７２ｇ、１７．１９ｇ、および１ｇである。 Ｐｂ0.965 Ｌａ0.03（Ｚｒ0.5148Ｔｉ0.4752Ｔａ0.01）1-0.03/4Ｏ3 （３） なお、式（３）において、１−０．０３／４は、１−
（０．０３／４）の意味である（以下、同様）。
【０００９】本発明においては、加熱焼結されるべきＰ
ｂ、Ｌａ、Ｚｒ、Ｔｉおよびドーパントの各原料の焼結
前における混合比は、上記のいずれの方法で決定しても
よいが、一層高性能のドープドＰＬＺＴを製造する観点
から、第２の方法が特に好ましい。
ｂ、Ｌａ、Ｚｒ、Ｔｉおよびドーパントの各原料の焼結
前における混合比は、上記のいずれの方法で決定しても
よいが、一層高性能のドープドＰＬＺＴを製造する観点
から、第２の方法が特に好ましい。
【００１０】各元素の原料としては、酸化物、水酸化
物、硝酸塩、などが例示されるが、酸化物が一般に好ま
しい。原料の形態は、公知のＰＬＺＴの製造の場合と同
様の粉末状が好ましい。またその粒径も特性に影響を与
えることが既に知られており、最良の光歪効果が得られ
るような粒径を選択することが好ましい。
物、硝酸塩、などが例示されるが、酸化物が一般に好ま
しい。原料の形態は、公知のＰＬＺＴの製造の場合と同
様の粉末状が好ましい。またその粒径も特性に影響を与
えることが既に知られており、最良の光歪効果が得られ
るような粒径を選択することが好ましい。
【００１１】ドーパントとしては、Ｔａ、Ｗ、Ｎｂ、Ｎ
ａ、Ｋ、Ｍｇ、Ｂａ、Ｙ、Ａｌ、Ｓｎ、Ｓｉ、Ｂｉなど
が挙げられる。このうちＴａ、Ｗ、Ｎｂ、およびＢｉは
光起電力および光起電流を大きくするので特に有効であ
り、またＹおよびＳｉは、応答速度を大きくする点で特
に有効である。以下にドープドＰＬＺＴの若干例を示
す。
ａ、Ｋ、Ｍｇ、Ｂａ、Ｙ、Ａｌ、Ｓｎ、Ｓｉ、Ｂｉなど
が挙げられる。このうちＴａ、Ｗ、Ｎｂ、およびＢｉは
光起電力および光起電流を大きくするので特に有効であ
り、またＹおよびＳｉは、応答速度を大きくする点で特
に有効である。以下にドープドＰＬＺＴの若干例を示
す。
【００１２】下式（４) に示す化学式を有するＰＬＺＴ
に対し、Ｗ6+をドーパントとして１ｍｏｌ％含有させた
場合のドープドＰＬＺＴは、下式（４) で示される理論
化学式を有する。 Ｐｂ0.97Ｌａ0.03（Ｚｒ0.52Ｔｉ0.48）1-0.03/4Ｏ3 (４） Ｐｂ0.960 Ｌａ0.03（Ｚｒ0.5148Ｔｉ0.4752Ｗ0.01）1-0.03/4Ｏ3 （５） 同様に、式（４) に示す化学式を有するＰＬＺＴに対
し、Ｎｂ5+をドーパントとして１ｍｏｌ％含有させた場
合のドープドＰＬＺＴは、下式（６) で示される理論化
学式を有する。 Ｐｂ0.965 Ｌａ0.03（Ｚｒ0.5148Ｔｉ0.4752Ｎｂ0.01）1-0.03/4Ｏ3 （６）
に対し、Ｗ6+をドーパントとして１ｍｏｌ％含有させた
場合のドープドＰＬＺＴは、下式（４) で示される理論
化学式を有する。 Ｐｂ0.97Ｌａ0.03（Ｚｒ0.52Ｔｉ0.48）1-0.03/4Ｏ3 (４） Ｐｂ0.960 Ｌａ0.03（Ｚｒ0.5148Ｔｉ0.4752Ｗ0.01）1-0.03/4Ｏ3 （５） 同様に、式（４) に示す化学式を有するＰＬＺＴに対
し、Ｎｂ5+をドーパントとして１ｍｏｌ％含有させた場
合のドープドＰＬＺＴは、下式（６) で示される理論化
学式を有する。 Ｐｂ0.965 Ｌａ0.03（Ｚｒ0.5148Ｔｉ0.4752Ｎｂ0.01）1-0.03/4Ｏ3 （６）
【００１３】
【実施例】以下、実施例により本発明を一層詳細に説明
する。 実施例１ ドーパントとしてＮｂを２ｍｏｌ％含有し、下記 (７）
式に示す理論化学式を有するＮｂドープドＰＬＺＴの製
造に際し、１３３．３３ｇのＰｂＯ、３．０４ｇのＬａ
2 Ｏ3 、３８．７８ｇのＺｒＯ2 、２３．２１ｇのＴｉ
Ｏ2 、および１．６４ｇのＮｂ2 Ｏ5 をボールミルにて
４８時間混合し、均一な原料混合物を得た。 Ｐｂ0.96Ｌａ0.03（Ｚｒ0.5096Ｔｉ0.4704Ｎｂ0.02）1-0.03/4Ｏ3 (７） 次いで、得られた原料混合物を９００℃で１０時間大気
中で仮焼し、最後に１リットル／分の流量の窒素ガスを
絶えず供給排出している焼結炉において１２００℃で２
時間焼結し、目的物を得た。得られたＮｂドープドＰＬ
ＺＴから４×２×０．５ｍｍの小片を切り出し、その４
×２ｍｍ面を鏡面研磨して供試サンプルを得た。
する。 実施例１ ドーパントとしてＮｂを２ｍｏｌ％含有し、下記 (７）
式に示す理論化学式を有するＮｂドープドＰＬＺＴの製
造に際し、１３３．３３ｇのＰｂＯ、３．０４ｇのＬａ
2 Ｏ3 、３８．７８ｇのＺｒＯ2 、２３．２１ｇのＴｉ
Ｏ2 、および１．６４ｇのＮｂ2 Ｏ5 をボールミルにて
４８時間混合し、均一な原料混合物を得た。 Ｐｂ0.96Ｌａ0.03（Ｚｒ0.5096Ｔｉ0.4704Ｎｂ0.02）1-0.03/4Ｏ3 (７） 次いで、得られた原料混合物を９００℃で１０時間大気
中で仮焼し、最後に１リットル／分の流量の窒素ガスを
絶えず供給排出している焼結炉において１２００℃で２
時間焼結し、目的物を得た。得られたＮｂドープドＰＬ
ＺＴから４×２×０．５ｍｍの小片を切り出し、その４
×２ｍｍ面を鏡面研磨して供試サンプルを得た。
【００１４】比較例１ 焼結時における窒素ガスに代えて酸素ガスとしたことだ
けが実施例１と異なるＮｂドープドＰＬＺＴの製造を行
った。
けが実施例１と異なるＮｂドープドＰＬＺＴの製造を行
った。
【００１５】比較例２ 焼結の後、窒素ガス雰囲気下、９００℃で１時間熱処理
したことのみ比較例１と異なるＮｂドープドＰＬＺＴの
製造を行った。
したことのみ比較例１と異なるＮｂドープドＰＬＺＴの
製造を行った。
【００１６】実施例２ ドーパントとしてＴａを２ｍｏｌ％含有し、下記 (８）
式に示す理論化学式を有するＴａドープドＰＬＺＴの製
造に際し、１３２．６１ｇのＰｂＯ、３．０２ｇのＬａ
2 Ｏ3 、３８．５７ｇのＺｒＯ2 、２３．０８ｇのＴｉ
Ｏ2 、および１．６４ｇのＴａ2 Ｏ5 をボールミルにて
４８時間混合し、均一な原料混合物を得た。 Ｐｂ0.96Ｌａ0.03（Ｚｒ0.5096Ｔｉ0.4704Ｔａ0.02）1-0.03/4Ｏ3 (８） 次いで、得られた原料混合物を９００℃で１０時間大気
中で仮焼し、最後に１リットル／分の流量の窒素ガスを
絶えず供給排出している焼結炉において１２００℃で２
時間焼結し、目的物を得た。得られたＴａドープドＰＬ
ＺＴから４×２×０．５ｍｍの小片を切り出し、その４
×２ｍｍ面を鏡面研磨して供試サンプルを得た。
式に示す理論化学式を有するＴａドープドＰＬＺＴの製
造に際し、１３２．６１ｇのＰｂＯ、３．０２ｇのＬａ
2 Ｏ3 、３８．５７ｇのＺｒＯ2 、２３．０８ｇのＴｉ
Ｏ2 、および１．６４ｇのＴａ2 Ｏ5 をボールミルにて
４８時間混合し、均一な原料混合物を得た。 Ｐｂ0.96Ｌａ0.03（Ｚｒ0.5096Ｔｉ0.4704Ｔａ0.02）1-0.03/4Ｏ3 (８） 次いで、得られた原料混合物を９００℃で１０時間大気
中で仮焼し、最後に１リットル／分の流量の窒素ガスを
絶えず供給排出している焼結炉において１２００℃で２
時間焼結し、目的物を得た。得られたＴａドープドＰＬ
ＺＴから４×２×０．５ｍｍの小片を切り出し、その４
×２ｍｍ面を鏡面研磨して供試サンプルを得た。
【００１７】比較例３ 焼結時における窒素ガスに代えて酸素ガスとしたことだ
けが実施例２と異なるＴａドープドＰＬＺＴの製造を行
った。
けが実施例２と異なるＴａドープドＰＬＺＴの製造を行
った。
【００１８】比較例４ 焼結の後、窒素ガス雰囲気下、９００℃で１時間熱処理
したことのみ比較例３と異なるＴａドープドＰＬＺＴの
製造を行った。
したことのみ比較例３と異なるＴａドープドＰＬＺＴの
製造を行った。
【００１９】各実施例および比較例から得た各ドープド
ＰＬＺＴにつき、ＵＶ強度１００ｍＷ／ｃｍ2 の条件下
で光起電流と光起電力とを測定し、その結果を下表１に
示した。
ＰＬＺＴにつき、ＵＶ強度１００ｍＷ／ｃｍ2 の条件下
で光起電流と光起電力とを測定し、その結果を下表１に
示した。
【００２０】
【表１】
【００２１】表１から明らかな通り、本発明の方法によ
って得られたドープドＰＬＺＴは、比較例２、４の従来
法から得られた物と比較してやや劣るものの、実用的に
は十分な性能を有している。比較例１、３の酸素中焼結
の場合と比較から、窒素ガスでの焼結の効果は明らかで
ある。
って得られたドープドＰＬＺＴは、比較例２、４の従来
法から得られた物と比較してやや劣るものの、実用的に
は十分な性能を有している。比較例１、３の酸素中焼結
の場合と比較から、窒素ガスでの焼結の効果は明らかで
ある。
【００２２】
【発明の効果】以上のように、本発明の製造方法によっ
て、ドープドＰＬＺＴが安価に製造することができるよ
うになるので、その用途の拡大や大量使用が実現する。
て、ドープドＰＬＺＴが安価に製造することができるよ
うになるので、その用途の拡大や大量使用が実現する。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 秋山 守人 佐賀県鳥栖市宿町字野々下807番地１ 工 業技術院 九州工業技術研究所内 (72)発明者 高瀬 晃 佐賀県鳥栖市宿町字野々下807番地１ 工 業技術院 九州工業技術研究所内 (72)発明者 馬場 俊之 兵庫県尼崎市東向島西之町８番地 三菱電 線工業株式会社内 (72)発明者 平岡 誠 兵庫県尼崎市東向島西之町８番地 三菱電 線工業株式会社内
Claims (5)
- 【請求項１】 Ｐｂ、Ｌａ、Ｚｒ、Ｔｉおよびドーパン
トの各原料の混合物を不活性ガス雰囲気中で加熱焼結す
ることを特徴とするドーパントが添加されたＰＬＺＴの
製造方法。 - 【請求項２】 不活性ガスが、窒素、アルゴンからなる
群から選ばれた少なくとも１種である請求項１記載のド
ーパントが添加されたＰＬＺＴの製造方法。 - 【請求項３】 加熱焼結前の原料混合物中におけるＰ
ｂ、Ｌａ、Ｚｒ、Ｔｉおよびドーパントの各量が、製造
目的物質の理論化学式中での化学量論比となっている請
求項１または２記載のドーパントが添加されたＰＬＺＴ
の製造方法。 - 【請求項４】 ドーパントが、Ｔａ、Ｗ、Ｎｂである請
求項１または２記載のドーパントが添加されたＰＬＺＴ
の製造方法。 - 【請求項５】 下式（１）で示される理論化学式を有す
る物質の製造にあたり、原料の混合比が下式（２）に示
される重量比とする請求項３記載のドーパントが添加さ
れたＰＬＺＴの製造方法。 Ｐｂ0.965 Ｌａ0.03（Ｚｒ0.5148Ｔｉ0.4752Ｔａ0.01）1-0.03/4Ｏ3 （１） ＰｂＯ：Ｌａ2 Ｏ3 ：ＺｒＯ2 ：ＴｉＯ2 ：Ｔａ2 Ｏ5 ＝９８．２５：２．２ ３：２８．７２：１７．１９：１ （２）
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8867496A JPH09278519A (ja) | 1996-04-11 | 1996-04-11 | ドーパントが添加されたｐｌｚｔの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8867496A JPH09278519A (ja) | 1996-04-11 | 1996-04-11 | ドーパントが添加されたｐｌｚｔの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09278519A true JPH09278519A (ja) | 1997-10-28 |
Family
ID=13949380
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8867496A Pending JPH09278519A (ja) | 1996-04-11 | 1996-04-11 | ドーパントが添加されたｐｌｚｔの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09278519A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1354861A1 (en) * | 2000-12-28 | 2003-10-22 | Bosch Automotive Systems Corporation | Ceramic material and piezoelectric element using the same |
| JP2012148494A (ja) * | 2011-01-19 | 2012-08-09 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置、並びに圧電素子 |
-
1996
- 1996-04-11 JP JP8867496A patent/JPH09278519A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1354861A1 (en) * | 2000-12-28 | 2003-10-22 | Bosch Automotive Systems Corporation | Ceramic material and piezoelectric element using the same |
| EP1354861A4 (en) * | 2000-12-28 | 2007-02-28 | Bosch Automotive Systems Corp | MAT RIC C RAMIQUE AND PI ZO- LECTRIQUE PI SO CONSTITU |
| JP2012148494A (ja) * | 2011-01-19 | 2012-08-09 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置、並びに圧電素子 |
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