JPH09259401A - Method for testing magnetic disk and device therefor - Google Patents
Method for testing magnetic disk and device thereforInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ディスクテス
ト方法及び装置に係り、特にハードディスクの磁気ディ
スクテスト方法及び装置に関する。The present invention relates to a method and apparatus for testing a magnetic disk, and more particularly, to a method and apparatus for testing a magnetic disk of a hard disk.
【０００２】[0002]
【従来の技術】磁気ディスク装置（ＨＤＤ）は、磁気デ
ィスク（ハードディスク）をスピンドルに固定するとと
もに、磁気ヘッドを備えたヘッドスライダをキャリッジ
に支持し、スピンドルの駆動による磁気ディスクの回転
と、キャリッジの駆動による磁気ヘッドの移動によっ
て、磁気ヘッドを磁気ディスクの表面に対して相対移動
させる。そして、磁気ディスクに設けてある複数の一様
な幅の磁気トラックのうちの指定されたトラックに、磁
気ヘッドによって電気的にデータを書込み、また、指定
されたトラックから磁気ヘッドによって電気的にデータ
を読取る。2. Description of the Related Art In a magnetic disk drive (HDD), a magnetic disk (hard disk) is fixed to a spindle, a head slider having a magnetic head is supported on a carriage, and rotation of the magnetic disk by driving the spindle and rotation of the carriage are performed. The magnetic head is moved relative to the surface of the magnetic disk by moving the magnetic head by driving. Then, data is electrically written by a magnetic head to a specified track among a plurality of magnetic tracks of uniform width provided on the magnetic disk, and data is electrically written by the magnetic head from the specified track. Is read.
【０００３】このとき、磁気ディスク装置では、磁気デ
ィスクとヘッドスライダの隙間がくさび型になるように
して、動作時にディスク回転に誘起される空気流をヘッ
ドスライダの浮上面に設けた凹状の空気流通溝に導いて
該ヘッドスライダをディスク上方に一定の浮上量で浮上
させ、磁気ヘッドとディスクとが接触しないようにして
いる。従って、ヘッドスライダは、ディスクに対し、
(a) 動作時にはディスクの回転開始に伴って静止、滑
走、浮上し、(b) 非動作時にはディスクの回転停止に伴
って浮上、滑走、静止する如くに変化する。このように
動作時にヘッドスライダが浮上することは、高ディスク
回転下でもヘッドスライダとディスクの摩耗を極小と
し、記録速度（読書速度）を高速化しながらヘッドスラ
イダとディスクの寿命を向上せしめる。At this time, in the magnetic disk device, the gap between the magnetic disk and the head slider is formed in a wedge shape so that the air flow induced by the disk rotation during operation is provided in the concave air flow provided on the air bearing surface of the head slider. The head slider is guided to the groove so that the head slider flies above the disk with a constant flying height so that the magnetic head and the disk do not come into contact with each other. Therefore, the head slider moves
(a) During operation, the disk stops, slides, and rises with the start of rotation of the disk. (b) When not operating, the disk changes to float, slide, and stop with the rotation stop of the disk. The floating of the head slider during operation as described above minimizes the wear of the head slider and the disk even under high disk rotation, and improves the life of the head slider and the disk while increasing the recording speed (reading speed).
【０００４】ところで、最近における磁気ディスクの高
記録密度化の要請は、ディスク上での単位記録要素であ
るビット寸法の小型化と、これに応ずる磁気ヘッドの小
型化に起因して、磁気ヘッドとディスク間での出力信号
の低下を招く。そして、磁気ヘッドとディスク間での上
記出力信号の低下を補うため、磁気ヘッドとディスクの
間隙はできるだけ近付ける必要があり、前述のヘッドス
ライダの浮上量を小として記録エネルギのロスを減少さ
せる必要がある。[0004] Recently, the demand for higher recording density of a magnetic disk has been reduced due to a reduction in the bit size, which is a unit recording element on the disk, and a corresponding reduction in the size of the magnetic head. This causes a reduction in output signal between disks. In order to compensate for the decrease in the output signal between the magnetic head and the disk, the gap between the magnetic head and the disk needs to be as close as possible, and the flying height of the head slider needs to be reduced to reduce the loss of recording energy. is there.
【０００５】然るに、磁気ディスク装置では、ヘッドス
ライダの浮上量を上述の如くに小としながら、ヘッドス
ライダがディスクの表面突起に尚接触しないようにする
ことが必須である。ヘッドスライダの浮上量を小さくで
きるようにディスク表面を鏡面仕上すると、ヘッドスラ
イダがディスクに対して前述の静止状態にあるときに、
両者が強固に吸着する事故を生ずる。そこで実際には、
小さな浮上量が実現できるように平面ではあるが、吸着
しないように適度の表面粗さをディスク表面に設ける必
要があり、ディスク表面にはテクスチャーと呼ばれる微
小凹凸面を設けている。ヘッド浮上量が例えば0.05μm
であるとき、ディスクの標準的な許容突起量は例えば0.
025 μm である。However, in the magnetic disk device, it is essential that the head slider is kept in contact with the surface protrusions of the disk while keeping the flying height of the head slider small as described above. When the disk surface is mirror-finished so that the flying height of the head slider can be reduced, when the head slider is in the above-mentioned stationary state with respect to the disk,
An accident occurs in which both are strongly adsorbed. So in fact,
Although it is a flat surface so that a small flying height can be realized, it is necessary to provide an appropriate surface roughness on the disk surface so as not to adsorb it, and the disk surface is provided with a minute uneven surface called a texture. Head flying height is, for example, 0.05 μm
, The standard allowable protrusion amount of the disc is, for example, 0.
It is 025 μm.
【０００６】以上のように、磁気ディスクは、高記録密
度を実現するために、超精密な表面性状を具備する必要
があり、その表面性状をチェックするため、グライドハ
イトテストとディスクの記録膜の欠損等の信号品質をチ
ェックするサーティファイテストとが実施されている。As described above, the magnetic disk must have an ultra-precise surface texture in order to achieve a high recording density. To check the surface texture, the glide height test and the recording film of the disk are used. A certify test for checking signal quality such as loss is performed.
【０００７】(A) グライドハイトテスト グライドハイトテストは磁気ディスクの表面の異常突起
のチェックテストである。従来技術では、ピエゾ素子
（ＰＺ）或いはアコースティックエミッション（ＡＥ）
等のグライドハイトテスト用センサをヘッドスライダに
設けたテストヘッドを用いて、磁気ディスク装置のヘッ
ドとディスクの関係を再現させる。そして、ディスクの
表面上でヘッドスライダの浮上面の幅に対応する多数の
トラックを含む一定範囲の記録エリア毎に、一定高さ以
上の異常突起がテストヘッドのヘッドスライダに衝突し
たとき、これによって生ずる過大振動エネルギをグライ
ドハイトテスト用センサにより検出し、異常突起の存在
を検出するものである。例えば１枚のディスクにおい
て、１個の異常突起が存在すれば、不良ディスクとす
る。(A) Glide height test The glide height test is a check test for abnormal protrusions on the surface of a magnetic disk. In the prior art, a piezo element (PZ) or acoustic emission (AE)
The relationship between the head and the disk of the magnetic disk device is reproduced by using a test head in which a sensor for glide height test such as is provided on the head slider. Then, when an abnormal projection of a certain height or more collides with the head slider of the test head for each recording area of a certain range including a number of tracks corresponding to the width of the air bearing surface of the head slider on the surface of the disk, The excessive vibration energy generated is detected by a glide height test sensor to detect the presence of abnormal protrusions. For example, if one abnormal protrusion exists on one disk, it is determined as a defective disk.
【０００８】(B) サーティファイテスト サーティファイテストは磁気ディスクの磁気記録膜等の
欠陥（信号品質）のチェックテストである。従来技術で
は、サーティファイテスト用磁気ヘッドをヘッドスライ
ダに設けたテストヘッドを用いて、磁気ディスク装置の
ヘッドとディスクの関係を再現させ、ディスクの各１本
のトラック毎に、書込信号（ＨＦ信号）の書込み、読出
し、消去、再読出し等を行ない、ＭＰ（Missing Pulse
）エラー、ＥＰ（Extra Pulse ）エラーの発生数を検
出することにて、欠陥の存在を検出するものである。例
えば１トラックのビット数（例えば20万個）に対し、上
記ＭＰエラーの数、ＥＰエラーの数がそれぞれ一定比率
を越えるディスクを不良ディスクとする。(B) Certification Test The certification test is a check test for defects (signal quality) in the magnetic recording film of the magnetic disk. In the prior art, a test head in which a magnetic head for certifying test is provided on a head slider is used to reproduce the relationship between the head of the magnetic disk device and the disk, and a write signal (HF signal) is generated for each track of the disk. ) Writing, reading, erasing, re-reading, etc., and MP (Missing Pulse)
) The existence of defects is detected by detecting the number of errors and EP (Extra Pulse) errors. For example, a disk in which the number of MP errors and the number of EP errors exceed a certain ratio with respect to the number of bits of one track (for example, 200,000) is regarded as a defective disk.
【０００９】[0009]
【発明が解決しようとする課題】然しながら、従来技術
には、下記〜の問題点がある。 グライドハイトテスト装置とサーティファイテスト装
置とを別装置としている。このため、１つのディスクを
グライドハイトテスト装置でグライドハイトテストし、
次に、当該ディスクをサーティファイテスト装置に持込
んでサーティファイテストする必要がある。従って、２
台のテスト装置を必要とし、テスト時間も長時間にな
る。However, the prior art has the following problems. The glide height test device and the certification test device are separate devices. For this reason, one disc is glide height tested with a glide height tester,
Next, it is necessary to bring the disc into a certification test device and perform a certification test. Therefore, 2
It requires a lot of test equipment and the test time is long.
【００１０】１台のテスト装置のキャリッジにグライ
ドハイトテストヘッドとサーティファイテストヘッドの
２個のテストヘッドを並列設置することも考えられる
が、この場合にも、１つのディスクをグライドハイトテ
ストヘッドでグライドハイトテストし、そのグライドハ
イトテスト完了後に当該ディスクをサーティファイテス
トヘッドでサーティファイテストする必要がある。従っ
て、２個のテストヘッドを必要とする他、１つのディス
クの全記録エリアについて、グライドハイトテストヘッ
ドを１往復し、更にサーティファイテストヘッドも１往
復させる必要があり、テスト時間が長時間になる。It is conceivable that two test heads, a glide height test head and a certify test head, are installed in parallel on the carriage of one test apparatus, but in this case also, one disk is glide height test head and glide height test head. It is necessary to carry out a height test and, after completion of the glide height test, subject the disk to a certify test with a certify test head. Therefore, in addition to requiring two test heads, it is necessary to make one reciprocation of the glide height test head and one reciprocation of the certify test head for the entire recording area of one disk, resulting in a long test time. .
【００１１】特開平5-250643号公報では、サーティフ
ァイテストヘッドにグライドハイトテスト用のピエゾ素
子を搭載する等して、グライドハイトテストとサーティ
ファイテストを同時に行なうものを提案している。然し
ながら、この場合には、ヘッドスライダにピエゾ素子等
が固定されるものとなる結果、ヘッドスライダの重心が
実際の磁気ディスク装置で用いられるヘッドスライダの
ものと異なってしまい、実際の磁気ディスク装置におけ
るヘッドスライダの浮上姿勢／高さが異なった状況での
テストとなり、正確なテストが行なえない。Japanese Unexamined Patent Publication (Kokai) No. 5-250643 proposes that a glide height test and a certify test are simultaneously performed by mounting a piezo element for a glide height test on a certify test head. However, in this case, the piezoelectric element or the like is fixed to the head slider, and as a result, the center of gravity of the head slider is different from that of the head slider used in the actual magnetic disk device, and in the actual magnetic disk device. This is a test in which the flying posture / height of the head slider is different, and an accurate test cannot be performed.
【００１２】本発明の課題は、簡易なテスト装置によ
り、グライドハイトテストとサーティファイテストを短
時間で、且つ正確に行なうことにある。An object of the present invention is to accurately perform a glide height test and a certification test in a short time with a simple test apparatus.
【００１３】[0013]
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の本発明
は、磁気ディスクのサーティファイテストとグライドハ
イトテストとを行なう磁気ディスクテスト方法におい
て、電磁誘導型磁気ヘッドを備えたテストヘッドを用
い、テストヘッドを磁気ディスクの表面に対して相対移
動し、テストヘッドが磁気ディスクに相対しているテス
ト位置を求め、サーティファイテストは、磁気ディスク
の各１本のトラック毎に書込んだ書込信号のテストヘッ
ドによる読出し信号出力から上記テスト位置でのサーテ
ィファイテストデータを求めることにより行ない、グラ
イドハイトテストは、磁気ディスクの表面の突起にテス
トヘッドが衝突した際に、テストヘッドの電磁誘導型磁
気ヘッドの磁歪効果により該磁気ヘッドに励起される発
振信号出力から上記テスト位置でのグライドハイトテス
トデータを求めることにより行なうようにしたものであ
る。According to a first aspect of the present invention, in a magnetic disk test method for performing a certification test and a glide height test of a magnetic disk, a test head having an electromagnetic induction type magnetic head is used. The test head is moved relative to the surface of the magnetic disk to find the test position where the test head is facing the magnetic disk, and the certify test is performed on the write signal written for each track of the magnetic disk. The glide height test is performed by obtaining the certify test data at the above test position from the read signal output from the test head, and the glide height test is performed when the test head collides with the protrusion on the surface of the magnetic disk. From the oscillation signal output excited in the magnetic head by the magnetostrictive effect, the above-mentioned Is obtained by the performed by determining the glide height test data at bets position.
【００１４】請求項２に記載の本発明は、請求項１に記
載の本発明において更に、前記グライドハイトテストを
磁気ディスクにおける書込信号の消去後に行なうように
したものである。According to a second aspect of the present invention, in addition to the first aspect of the present invention, the glide height test is performed after the write signal on the magnetic disk is erased.
【００１５】請求項３に記載の本発明は、請求項２に記
載の本発明において更に、前記グライドハイトテスト
が、前記サーティファイテストにて磁気ディスクにおけ
る書込信号を消去した後の再読出し信号出力について行
なうエキストラパルステスト時に行なうようにしたもの
である。According to a third aspect of the present invention, in addition to the second aspect of the present invention, the re-read signal output after the glide height test erases the write signal in the magnetic disk in the certify test. This is done during the extra pulse test.
【００１６】請求項４に記載の本発明は、磁気ディスク
のグライドハイトテストとサーティファイテストとを行
なう磁気ディスクテスト装置において、磁気ディスクを
回転させるスピンドルと、スピンドルを駆動制御するス
ピンドルコントローラと、電磁誘導型磁気ヘッドを備え
たテストヘッドと、テストヘッドを支持し、該テストヘ
ッドを磁気ディスクの表面に沿って該磁気ディスクの磁
気トラックに交差する方向に移動させるキャリッジと、
キャリッジを駆動制御するキャリッジコントローラと、
テストヘッドが磁気ディスクに相対しているテスト位置
をスピンドルコントローラとキャリッジコントローラの
制御信号から求めるとともに、磁気ディスクの各１本の
トラック毎に書込んだ書込信号のテストヘッドによる読
出し信号出力から上記テスト位置でのサーティファイテ
ストデータを求めるサーティファイテスト回路と、テス
トヘッドが磁気ディスクに相対しているテスト位置をス
ピンドルコントローラとキャリッジコントローラの制御
信号から求めるとともに、磁気ディスクの表面の突起に
テストヘッドが衝突した際に、テストヘッドの電磁誘導
型磁気ヘッドの磁歪効果により該磁気ヘッドに励起され
る発振信号出力から上記テスト位置でのグライドハイト
テストデータを求めるグライドハイトテスト回路と、ス
ピンドルコントローラとキャリッジコントローラを制御
するとともに、グライドハイトテスト回路とサーティフ
ァイテスト回路を制御する制御部とを有してなるように
したものである。According to a fourth aspect of the present invention, in a magnetic disk test device for performing a glide height test and a certify test of a magnetic disk, a spindle for rotating the magnetic disk, a spindle controller for driving and controlling the spindle, and an electromagnetic induction. Type test head having a magnetic head, and a carriage that supports the test head and moves the test head along a surface of the magnetic disk in a direction intersecting a magnetic track of the magnetic disk.
A carriage controller for driving and controlling the carriage,
The test position where the test head is facing the magnetic disk is obtained from the control signals of the spindle controller and the carriage controller, and the above-mentioned is obtained from the read signal output by the test head of the write signal written for each track of the magnetic disk. The certify test circuit that obtains the certify test data at the test position and the test position where the test head is facing the magnetic disk are obtained from the control signals of the spindle controller and carriage controller, and the test head collides with the protrusion on the surface of the magnetic disk. At this time, the glide height test circuit for determining the glide height test data at the test position from the oscillation signal output excited in the magnetic head by the magnetostriction effect of the electromagnetic induction type magnetic head of the test head, and the spindle controller. Controls the La and the carriage controller, in which was set to a control unit for controlling the glide height test circuit and certifying test circuit.
【００１７】請求項５に記載の本発明は、請求項４に記
載の本発明において更に、前記制御部が、グライドハイ
トテストデータの取込み時期をグライドハイトテスト回
路に命令するとともに、サーティファイテストデータの
取込み時期をサーティファイテスト回路に命令する、テ
スト時期設定機能を具備してなるようにしたものであ
る。According to a fifth aspect of the present invention, in addition to the fourth aspect of the present invention, the control section instructs the glide height test circuit to take in the glide height test data, and at the same time, the certify test data is stored. It is provided with a test time setting function for instructing the certification test circuit of the acquisition time.
【００１８】請求項６に記載の本発明は、請求項４又は
５に記載の本発明において更に、前記制御部が、グライ
ドハイトテストデータの取込み時期には該グライドハイ
トテストに適合するスピンドル回転数となるように、サ
ーティファイテストデータの取込み時期には該サーティ
ファイテストに適合するスピンドル回転数となるよう
に、スピンドルコントローラを制御するようにしたもの
である。According to a sixth aspect of the present invention, in addition to the fourth or fifth aspect of the present invention, the control unit controls the spindle rotation speed adapted to the glide height test at the time of taking in the glide height test data. Thus, the spindle controller is controlled so that the spindle rotation speed suitable for the certification test is obtained at the time of importing the certification test data.
【００１９】請求項１、４に記載の本発明によれば下記
〜の作用がある。 単一のテスト装置に唯一のテストヘッドを設けるもの
でありながら、テストヘッドによる書込信号の読出し信
号出力によりサーティファイテストデータを求めるとと
もに、テストヘッドの電磁誘導型磁気ヘッドが磁気ディ
スクの表面突起に衝突した際の磁歪効果による発振信号
出力からグライドハイトテストデータを求めることがで
き、装置構成が簡易である。According to the present invention described in claims 1 and 4, the following actions (1) to (4) are provided. Even though a single test device is provided with a single test head, the test head obtains certify test data from the read signal output of the write signal, and the electromagnetic induction type magnetic head of the test head is used as the surface protrusion of the magnetic disk. Glide height test data can be obtained from the oscillation signal output due to the magnetostrictive effect at the time of collision, and the device configuration is simple.
【００２０】尚、磁気ヘッドの出力のうち、サーティフ
ァイテストデータとなる出力と、衝突により生じた発振
信号出力との識別は、サーティファイテストデータの出
力が低周波出力、衝突により生じた発振信号出力が高周
波出力であることに基づいてなされる。Of the outputs of the magnetic head, the output which is the certification test data and the oscillation signal output generated by the collision are distinguished from each other by the low frequency output of the certification test data and the oscillation signal output generated by the collision. This is done based on the high frequency output.
【００２１】単一のテスト装置にサーティファイテス
トとグライドハイトテストのための唯一のテストヘッド
を備えるものであるから、ディスクの全記録エリアにつ
いて、テストヘッドを１往復する間に、グライドハイド
テストとサーティファイテストを同時もしくは交互に行
なうことができ、テスト時間を短時間にできる。Since the single test device is equipped with the only test head for the certify test and the glide height test, the glide hide test and the certify test are performed during one round trip of the test head for the entire recording area of the disk. The test can be performed simultaneously or alternately, and the test time can be shortened.
【００２２】単一のテスト装置に備える唯一のテスト
ヘッドを構成する電磁誘導型磁気ヘッドにより、サーテ
ィファイテストデータとグライドハイトテストデータと
を求めるものであり、テストヘッドにグライドハイトテ
スト用のピエゾ素子の如くを搭載しない。即ち、ヘッド
スライダの重心は、実際の磁気ディスク装置で用いられ
るヘッドスライダのものと同じであり、ヘッドスライダ
の浮上姿勢／高さを実際の磁気ディスク装置におけると
同じ状況にしてテストを行なうものとなり、正確なテス
トを行なうことができる。The certification test data and the glide height test data are obtained by the electromagnetic induction type magnetic head which constitutes the only test head provided in a single test apparatus. The test head is provided with a piezo element for the glide height test. Not installed. That is, the center of gravity of the head slider is the same as that of the head slider used in the actual magnetic disk device, and the test is performed with the flying posture / height of the head slider being the same as in the actual magnetic disk device. , Can perform accurate tests.
【００２３】請求項２、３に記載の本発明によれば下記
の作用がある。 サーティファイテストのエキストラパルステスト時に
は、磁気ディスクにおける書込信号が消去されているた
め、電磁誘導型磁気ヘッドの出力パルスは極めて少な
く、該電磁誘導型磁気ヘッドが磁気ディスクの表面突起
に衝突した際の磁歪効果により励起される発振信号出力
を他のものと弁別し易いものとなる。従って、電磁誘導
型磁気ヘッドの磁歪効果に起因の発振信号出力に基づく
グライドハイトテストの検査精度を向上できる。従っ
て、グライドハイトテストは、サーティファイテストの
一テスト項目であるエキストラパルステスト中に同時、
もしくはサーティファイテスト後に再度エキストラパル
ステストモードとして行なうことができる。The present invention according to claims 2 and 3 has the following effects. During the extra pulse test of the certify test, since the write signal in the magnetic disk is erased, the output pulse of the electromagnetic induction type magnetic head is extremely small, and when the electromagnetic induction type magnetic head collides with the surface protrusion of the magnetic disk. The oscillation signal output excited by the magnetostrictive effect can be easily discriminated from others. Therefore, the inspection accuracy of the glide height test based on the oscillation signal output due to the magnetostrictive effect of the electromagnetic induction type magnetic head can be improved. Therefore, the glide height test is performed at the same time during the extra pulse test, which is one test item of the certification test.
Alternatively, the extra pulse test mode can be performed again after the certification test.
【００２４】請求項５に記載の本発明によれば下記の
作用がある。 制御部が、グライドハイトテストデータの取込み時期
をグライドハイトテスト回路に命令するとともに、サー
ティファイテストデータの取込み時期をサーティファイ
テスト回路に命令する、テスト時期設定機能を具備する
から、グライドハイトテストとサーティファイテストを
相互に独立に、それぞれ指定時期に行なうことができ、
テストの確実と合理化を図ることができる。According to the fifth aspect of the present invention, the following operations are provided. The control unit has a test time setting function that instructs the glide height test circuit when to take in the glide height test data and commands the certification test circuit when to take the certification test data. Can be performed independently of each other at each designated time,
The test can be surely and rationalized.
【００２５】請求項６に記載の本発明によれば下記の
作用がある。 制御部が、グライドハイトテストデータの取込み時期
には該グライドハイトテストに適合するスピンドル回転
数となるように、サーティファイテストデータの取込み
時期には該サーティファイテストに適合するスピンドル
回転数となるように、スピンドルコントローラを制御す
るから、グライドハイトテストとサーティファイテスト
をそれぞれ最適なスピンドル回転数（ディスク回転速
度）で行なうことができ、テストの確実と合理化を図る
ことができる。According to the sixth aspect of the present invention, the following operations are provided. The control unit has a spindle rotation speed suitable for the glide height test when the glide height test data is acquired, and a spindle rotation speed suitable for the certify test when the certification test data is acquired. Since the spindle controller is controlled, the glide height test and the certify test can be performed at the optimum spindle speed (disk rotation speed), and the test can be performed reliably and rationalized.
【００２６】[0026]
【発明の実施の形態】図１は第１実施形態を示す制御回
路図、図２は第２実施形態を示す制御回路図、図３は磁
気ディスクテスト装置を示す模式図、図４はテストヘッ
ドの一例を示す模式図、図５はテストヘッドの浮上原理
を示す模式図、図６は電磁誘導型磁気ヘッドが出力する
エキストラパルスと磁歪効果による発振信号とを示す模
式図である。1 is a control circuit diagram showing a first embodiment, FIG. 2 is a control circuit diagram showing a second embodiment, FIG. 3 is a schematic diagram showing a magnetic disk test apparatus, and FIG. 4 is a test head. 5 is a schematic diagram showing the floating principle of the test head, and FIG. 6 is a schematic diagram showing the extra pulse output by the electromagnetic induction type magnetic head and the oscillation signal due to the magnetostriction effect.
【００２７】（第１実施形態）（図１、図３〜図６） 磁気ディスクテスト装置１０は、磁気ディスク（ハード
ディスク）１のグライドハイトテストとサーティファイ
テストとを行なう。(First Embodiment) (FIGS. 1 and 3 to 6) A magnetic disk test apparatus 10 performs a glide height test and a certify test on a magnetic disk (hard disk) 1.
【００２８】磁気ディスクテスト装置１０は、図３に示
す如く、定盤１０Ａの上に設けたサーボモータ１１の出
力軸にスピンドル１２を連結し、サーボモータ１１をス
ピンドルコントローラ１３により駆動制御している。制
御部３０は、スピンドル１２が所定の回転数となるよう
にスピンドルコントローラ１３を制御する。In the magnetic disk test apparatus 10, as shown in FIG. 3, a spindle 12 is connected to an output shaft of a servo motor 11 provided on a surface plate 10A, and the servo motor 11 is drive-controlled by a spindle controller 13. . The control unit 30 controls the spindle controller 13 so that the spindle 12 has a predetermined rotation speed.
【００２９】磁気ディスクテスト装置１０は、定盤１０
Ａの上に設けたキャリッジガイド１４にキャリッジ１５
をスライド可能に支持するともに、パルスモータ１６の
出力軸に連結した送りねじ１７によりキャリッジ１５を
移動可能としている。キャリッジ１５はキャリッジコン
トローラ１８により駆動制御される。キャリッジ１５は
上下のヘッドブロック２１、２１を支持し、上下の各ヘ
ッドブロック２１のそれぞれにはサスペンション（ば
ね）２２の基端部が結合され、サスペンション２２の先
端部にはテストヘッド２３が設けられている。制御部３
０は、テストヘッド２３が磁気ディスク１の表面に沿っ
て磁気ディスク１の磁気トラックに交差する方向（本実
施例では磁気ディスク１の直径方向）の所定位置に移動
するようにキャリッジコントローラ１８を制御する。The magnetic disk test apparatus 10 comprises a surface plate 10
A carriage 15 on a carriage guide 14 provided on
Are slidably supported, and the carriage 15 is movable by a feed screw 17 connected to an output shaft of a pulse motor 16. The carriage 15 is driven and controlled by a carriage controller 18. The carriage 15 supports the upper and lower head blocks 21, 21, the base ends of suspensions (springs) 22 are coupled to the upper and lower head blocks 21, respectively, and the test head 23 is provided at the tip of the suspension 22. ing. Control unit 3
0 controls the carriage controller 18 so that the test head 23 moves to a predetermined position along the surface of the magnetic disk 1 in the direction intersecting the magnetic tracks of the magnetic disk 1 (diameter direction of the magnetic disk 1 in this embodiment). To do.
【００３０】テストヘッド２３は、図４、５に示す如
く、そのヘッドスライダ２５に、電磁誘導型磁気ヘッド
２７を設けている。As shown in FIGS. 4 and 5, the test head 23 is provided with an electromagnetic induction type magnetic head 27 on its head slider 25.
【００３１】ヘッドスライダ２５は、図５に示す如く、
磁気ディスク１の表面に相対する左右の浮上面２５Ａの
中間に空気流通溝２５Ｂを設けるとともに、ヘッドスラ
イダ２５の先端側の浮上面２５Ａをくさび面２５Ｃとし
ている。これにより、磁気ディスクテスト装置１０の動
作時に磁気ディスク１の回転に誘起される空気流をくさ
び面２５Ｃの側から空気流通溝２５Ｂに導いてヘッドス
ライダ２５を磁気ディスク１の上方に一定の浮上量で浮
上させるようにしている。The head slider 25, as shown in FIG.
An air circulation groove 25B is provided in the middle of the left and right air bearing surfaces 25A facing the surface of the magnetic disk 1, and the air bearing surface 25A on the tip side of the head slider 25 is used as a wedge surface 25C. As a result, the air flow induced by the rotation of the magnetic disk 1 during the operation of the magnetic disk test apparatus 10 is guided from the side of the wedge surface 25C to the air circulation groove 25B, and the head slider 25 is lifted above the magnetic disk 1 by a constant flying height. I am trying to surface it.
【００３２】電磁誘導型磁気ヘッド２７は、ヘッドスラ
イダ２５の基端側の端面に接合されている。磁気ヘッド
２７は、例えば薄膜磁気ヘッドであり、薄膜素子（磁気
コア、コイル）からなる。The electromagnetic induction type magnetic head 27 is joined to the end face of the head slider 25 on the base end side. The magnetic head 27 is, for example, a thin film magnetic head, and includes thin film elements (magnetic core, coil).
【００３３】磁気ディスクテスト装置１０は、図１に示
す如く、制御部３０、サーティファイテスト回路３１、
グライドハイトテスト回路３２、表示部３３を有してい
る。As shown in FIG. 1, the magnetic disk test apparatus 10 includes a controller 30, a certify test circuit 31,
It has a glide height test circuit 32 and a display section 33.
【００３４】サーティファイテスト回路３１は、テスト
ヘッド２３が磁気ディスク１に相対しているテスト位置
を、スピンドルコントローラ１３の制御信号（周方向位
置信号）とキャリッジコントローラ１８の制御信号（直
径方向位置信号）から求めるとともに、磁気ヘッド２７
の出力をアンプ３５から得て、磁気ディスク１の各１本
のトラック毎に書込んだ書込信号の磁気ヘッド２７によ
る読出し信号出力から上記テスト位置でのサーティファ
イテストデータを求める。The certify test circuit 31 determines the test position at which the test head 23 faces the magnetic disk 1 by controlling the spindle controller 13 (circumferential position signal) and the carriage controller 18 (diameter direction position signal). Magnetic head 27
Is obtained from the amplifier 35, and the certification test data at the test position is obtained from the read signal output from the magnetic head 27 of the write signal written for each track of the magnetic disk 1.
【００３５】グライドハイトテスト回路３２は、テスト
ヘッド２３が磁気ディスク１に相対しているテスト位置
を、スピンドルコントローラ１３の制御信号（周方向位
置信号）とキャリッジコントローラ１８の制御信号（直
径方向位置信号）から求めるとともに、磁気ヘッド２７
の出力をアンプ３５から得て、磁気ヘッド１の表面の突
起にテストヘッド２３が衝突した際に、磁気ヘッド２７
の磁歪効果により該磁気ヘッド２７に励起される発振信
号出力から上記テスト位置でのグライドハイトテストデ
ータを求める。The glide height test circuit 32 determines the test position where the test head 23 is facing the magnetic disk 1 by controlling the spindle controller 13 (circumferential position signal) and the carriage controller 18 (diameter direction position signal). ) And the magnetic head 27
Output from the amplifier 35, and when the test head 23 collides with the protrusion on the surface of the magnetic head 1, the magnetic head 27
The glide height test data at the test position is obtained from the output of the oscillation signal excited by the magnetic head 27 due to the magnetostriction effect.
【００３６】制御部３０は、スピンドルコントローラ１
３とキャリッジコントローラ１８を前述した如くに制御
するとともに、サーティファイテスト回路３１とグライ
ドハイドテスト回路３２を制御する。The control unit 30 is the spindle controller 1
3 and the carriage controller 18 are controlled as described above, and the certify test circuit 31 and the glide hide test circuit 32 are controlled.
【００３７】制御部３０は、グライトハイトテストデー
タの取込み時期をグライドハイトテスト回路３２に命令
するとともに、サーティファイテストデータの取込み時
期をサーティファイテスト回路３１に命令する、テスト
時期設定機能を備える。即ち、グライドハイトテストは
前述した如く、ディスク１の表面上でヘッドスライダ２
５の浮上面２５Ａの幅Ｗ（図５）に対応する多数のトラ
ックを含む一定範囲の記録エリア毎にディスク１周分行
なえば足りる。これに対し、サーティファイテストは前
述した如くディスクの各１本のトラック毎に行なう。従
って、例えば、磁気ディスク１のビット寸法がディスク
周方向長さ 0.4μ、ディスク直径方向長さ 4μであり、
ヘッドスライダ２５の浮上面２５Ａの幅Ｗが 400μであ
るとき、磁気ヘッド２７は１本のトラックの１周毎にデ
ィスク直径方向に 4μピッチで送られてサーティファイ
テストを繰り返す。これに対し、磁気ヘッド２７は磁気
ディスク１の１周分で400 本のトラックについてのグラ
イドハイトテストを一挙に行なうことができる。よっ
て、磁気ヘッド２７によるサーティファイテストを100
トラックのそれぞれについて各１回、全100 回繰り返す
毎に、磁気ヘッド２７によるグライドハイトテストを１
回行なえば足りるものとなる。即ち、この場合、制御部
３０は、100 トラックについてサーティファイテストを
100 回（ディスク100 周分）繰り返す間はサーティファ
イテスト回路３１からのデータの取込み時期とし、この
サーティファイテスト回路３１からのデータの取込み時
期中もしくはその取込み時期終了直後のディスク１周分
だけをグライドハイトテスト回路３２からのデータの取
り込み時期として定めることができる（サーティファイ
テストとグライドハイトテストのテスト期間比率は100
対１となる）。The control section 30 has a test time setting function for instructing the glide height test circuit 32 when to take in the glite height test data, and for instructing the certification test circuit 31 to take in the certification test data. That is, the glide height test is performed on the surface of the disk 1 by the head slider 2 as described above.
It is sufficient to perform one round of the disk for each recording area in a certain range including a large number of tracks corresponding to the width W (FIG. 5) of the air bearing surface 25A of FIG. On the other hand, the certify test is performed for each one track of the disc as described above. Therefore, for example, the bit size of the magnetic disk 1 is 0.4 μm in the disk circumferential direction and 4 μm in the disk diameter direction.
When the width W of the air bearing surface 25A of the head slider 25 is 400 .mu., The magnetic head 27 is sent at a pitch of 4 .mu. In the disk diameter direction for each track of one track and repeats the certification test. On the other hand, the magnetic head 27 can perform the glide height test on 400 tracks in one round of the magnetic disk 1 at once. Therefore, the certification test with the magnetic head 27 is 100
A glide height test with the magnetic head 27 is performed once every 100 times for each track.
If it goes around, it will be enough. That is, in this case, the control unit 30 performs the certify test on 100 tracks.
During the period of repeating 100 times (for 100 discs), the timing for fetching data from the certification test circuit 31 is set, and only one round of the disc during the period for fetching data from the certification test circuit 31 or immediately after the end of the timing for glide height It can be set as the timing of fetching data from the test circuit 32 (the test period ratio between the certification test and the glide height test is 100).
It will be 1).
【００３８】制御部３０は、グライドハイトテストデー
タの取込み時期には該グライドハイトテストに適合する
スピンドル回転数となるように、サーティファイテスト
データの取込み時期には該サーティファイテストに適合
するスピンドル回転数となるように、スピンドルコント
ローラ１３を制御する。一般的には、グライドハイトテ
ストはディスク表面の異常突起を見つけるものである
が、ヘッドスライダ２５の浮上量は使用者が決める。ま
た、スピンドル回転数は特定の低回転数に設定される。
また、例えばサーティファイテストはテスト時間短縮の
ために、スピンドル回転数は特定の高回転数に設定され
ても良い。従って、制御部３０が前述したテスト時期設
定機能により、グライドハイトテスト回路３２からのグ
ライドハイトテストデータの取込み時期と、サーティフ
ァイテスト回路３１からのサーティファイテストデータ
の取込み時期を異ならせている（同一時期に重ねない）
場合には、各テストのそれぞれに適合するスピンドル回
転数を実施できる。尚、グライドハイトテスト時のスピ
ンドル回転数とサーティファイテスト時のスピンドル回
転数を同一とすることもできることは勿論である。The control unit 30 sets the spindle rotation speed suitable for the glide height test data to the spindle rotation speed suitable for the glide height test data, and the control section 30 makes the spindle rotation speed suitable for the certification test at the acquisition time for the certification test data. The spindle controller 13 is controlled so that Generally, the glide height test is for finding abnormal protrusions on the disk surface, but the flying height of the head slider 25 is determined by the user. Further, the spindle rotation speed is set to a specific low rotation speed.
Further, for example, in the certify test, the spindle speed may be set to a specific high speed in order to reduce the test time. Therefore, the control unit 30 uses the above-described test time setting function to make the time of taking in the glide height test data from the glide height test circuit 32 different from the time of taking the certification test data from the certification test circuit 31 (the same time period). Do not stack)
In some cases, spindle speeds suitable for each test can be implemented. Needless to say, the spindle speed during the glide height test and the spindle speed during the certify test can be the same.
【００３９】制御部３０は、グライドハイトテスト回路
３２とサーティファイテスト回路３１から取り込んだデ
ータ、グライドハイトテスト結果、サーティファイテス
ト結果等を表示部３３に表示する。The control section 30 displays on the display section 33 the data taken in from the glide height test circuit 32 and the certify test circuit 31, the glide height test result, the certify test result and the like.
【００４０】尚、磁気ディスクテスト装置１０は、ワッ
フル又はバーニッシュヘッド３６を有している。制御部
３０は、ワッフル又はバーニッシュヘッド３６を以下の
(a)、(b) の如くに作動せしめる。(a) グライドハイト
テストとサーティファイテストに先立ち、磁気ディスク
１の表面を平滑化する仕上げ作業、(b) グライドハイト
テストで不良とされたビットに対し再研磨を行なう作
業。上記(b) の再研磨を行なわれたビットについては、
その後再度グライドハイトテストが実施される。The magnetic disk test apparatus 10 has a waffle or burnish head 36. The control unit 30 controls the waffle or burnish head 36 as follows.
Operate as shown in (a) and (b). (a) Finishing work for smoothing the surface of the magnetic disk 1 prior to the glide height test and certify test, and (b) work for re-polishing the defective bits in the glide height test. For the bit that was re-polished in (b) above,
After that, the glide height test is performed again.
【００４１】以下、磁気ディスクテスト装置１０による
テスト手順の一例について説明する。 (1) 磁気ディスク１をスピンドル１２に取付ける。そし
て、スピンドルコントローラ１３により所定のスピンド
ル回転数でスピンドル１２を駆動する。An example of the test procedure by the magnetic disk test apparatus 10 will be described below. (1) Attach the magnetic disk 1 to the spindle 12. Then, the spindle controller 13 drives the spindle 12 at a predetermined spindle rotation speed.
【００４２】(2) キャリッジコントローラ１８によりテ
ストヘッド２３を磁気ディスク１上のロード位置（テス
ト開始位置）（例えば最外周トラック位置）に位置付
け、不図示のヘッドロード／アンロード機構によりテス
トヘッド２３を磁気ディスク１上で浮上させ、サーティ
ファイテストとグライドハイトテストを行なう。サーテ
ィファイテストとグライドハイトテストは、例えば下記
(a) 、(b) により、磁気ディスク１の全記録エリアの全
トラック（例えば1.8 インチφディスクで3000TPI （ト
ラック密度））について行なう。但し、テスト中にサー
ティファイテスト不良が出力された場合にはその時点で
テスト終了とする。また、テスト中にグライドハイトテ
スト不良が出力された場合には、前述のワッフル又はバ
ーニッシュヘッド３６による再研磨を行なわない限り、
その時点でテスト終了とする。(2) The carriage controller 18 positions the test head 23 at the load position (test start position) (for example, the outermost track position) on the magnetic disk 1, and the test head 23 is moved by a head loading / unloading mechanism (not shown). It is levitated on the magnetic disk 1 and a certification test and a glide height test are performed. The certification test and glide height test are for example
The steps (a) and (b) are performed for all tracks in all recording areas of the magnetic disk 1 (for example, 3000 TPI (track density) for a 1.8 inch φ disk). However, if a certification test failure is output during the test, the test ends at that point. If a glide height test failure is output during the test, unless re-polishing is performed by the waffle or burnish head 36 described above,
The test ends at that point.
【００４３】(a) サーティファイテスト 磁気ディスク１の各１本のトラック毎に、下記〜の
テストシーケンスによってなされる。 指定されたトラックに書込信号（ＨＦ信号）を書込
む。(A) Certify Test For each track of the magnetic disk 1, the following test sequences are performed. A write signal (HF signal) is written in the designated track.
【００４４】上記の書込信号を磁気ヘッド２７によ
り読出し、トラック平均読出電圧（ＴＡＡ）を算出す
る。The write signal is read by the magnetic head 27 to calculate the track average read voltage (TAA).
【００４５】上記の読出信号について、上記のＴ
ＡＡに対するスライスレベル（ 1〜99％、例えば70％）
を下回るパルス信号をＭＰ（Missing Pulse)エラーとす
る。そして、例えばディスクの１トラックのビット数
（例えば20万ビット）に対し上記ＭＰエラーの数が一定
比率を越えるディスクを不良ディスクとする。Regarding the above read signal, the above T
Slice level for AA (1-99%, eg 70%)
A pulse signal that falls below is regarded as an MP (Missing Pulse) error. Then, for example, a disk in which the number of MP errors exceeds a certain ratio with respect to the number of bits of one track of the disk (for example, 200,000 bits) is set as a defective disk.
【００４６】上記の書込信号をイレーズ（消去）す
る。 上記のイレーズ後に磁気ヘッド２７により再読出し
を行なう。そして、上記のＴＡＡに対するスライスレ
ベル（ 1〜99％、例えば25％）を越える消残りパルス信
号をＥＰ（Extra Pulse ）エラーとする。そして、例え
ばディスクの１トラックのビット数（例えば20万ビッ
ト）に対し上記ＥＰエラーの数が一定比率を越えるディ
スクを不良ディスクとする。The above write signal is erased. After the above erasing, the magnetic head 27 reads again. Then, the residual pulse signal exceeding the slice level (1 to 99%, for example, 25%) for the above TAA is regarded as an EP (Extra Pulse) error. Then, for example, a disk in which the number of EP errors exceeds a certain ratio with respect to the number of bits of one track of the disk (for example, 200,000 bits) is set as a defective disk.
【００４７】磁気ディスク１が上記、で不良ディス
クと判定されたときその時点でテスト終了とする。When the magnetic disk 1 is determined to be a defective disk in the above, the test is finished at that point.
【００４８】(b) グライドハイトテスト 磁気ディスク１の表面上でヘッドスライダ２５の浮上面
２５Ａの幅Ｗに対応する多数のトラックを含む一定範囲
の記録エリア毎に行なう。磁気ディスク１の表面の一定
高さ以上の異常突起がヘッドスライダ２５に衝突したと
き、これによる磁気ヘッド２７の磁歪効果により該磁気
ヘッド２７に励起される発振信号出力（一定のスライス
レベルを越える高周波パルス）を検出し、異常突起の存
在を検出する。(B) Glide height test The glide height test is performed on a recording area within a certain range including a number of tracks corresponding to the width W of the air bearing surface 25A of the head slider 25 on the surface of the magnetic disk 1. When an abnormal protrusion having a certain height or more on the surface of the magnetic disk 1 collides with the head slider 25, an oscillation signal output excited by the magnetostrictive effect of the magnetic head 27 (high frequency exceeding a certain slice level). Pulse) to detect the presence of abnormal protrusions.
【００４９】異常突起の存在が検出されたとき、ワッフ
ル又はバーニッシュヘッド３６による再研磨を行なわな
い場合には、その時点でテスト終了とし、当該ディスク
１を不良ディスクとする。ワッフル又はバーニッシュヘ
ッド３６による再研磨は、当該異常突起が存在するトラ
ックについて、当該テスト時点で行なっても良く、テス
ト終了後に行なっても良い。When the presence of the abnormal protrusion is detected and the re-polishing by the waffle or the burnish head 36 is not performed, the test is terminated at that point and the disc 1 is regarded as a defective disc. The re-polishing by the waffle or the burnish head 36 may be performed on the track having the abnormal protrusion at the time of the test or after the test.
【００５０】尚、制御部３０によるグライドハイトテス
ト回路３２からのデータ取込み時期と、サーティファイ
テスト回路３１からのデータ取込み時期は、前述の制御
部３０のテスト時期設定機能によりなされ、上記(a) 又
は（b)は同時、もしくは一定の時期差（テスト期間比
率）で交互になされる。The timing for fetching data from the glide height test circuit 32 and the timing to fetch data from the certify test circuit 31 by the control unit 30 are determined by the test timing setting function of the control unit 30 described above. (B) is performed simultaneously or alternately with a certain time difference (test period ratio).
【００５１】そして、上述した制御部３０によるグライ
ドハイトテストデータの取込み時期は、磁気ディスク１
における書込信号の消去後、例えばサーティファイテス
トにて磁気ディスク１における書込信号を消去した後の
再読出し出力について行なう前述エキストラパルステス
ト時に行なうことができる。図６のＡはエキストラパル
ステスト時の消残りパルス信号（低周波信号）であり、
Ｂはテストヘッド２３が磁気ディスク１の表面に衝突し
た際に磁気ヘッド２７の磁歪効果により該磁気ヘッド２
７に励起された発振信号（高周波信号）である。即ち、
グライドハイトテストは、サーティファイテストの１テ
スト項目であるエキストラパルステスト中に同時、もし
くはサーティファイテスト後に再度エキストラパルステ
ストモードとして行なうことができる。 また、制御部
３０によるスピンドルコントローラ１３の制御は、前述
の如く、上記(a) もしくは(b) のそれぞれに適合するス
ピンドル回転数となるように制御され得る。The timing of taking in the glide height test data by the control unit 30 is determined by the magnetic disk 1
After the erasing of the write signal in (1), it can be performed in the above-mentioned extra pulse test performed for re-reading output after erasing the write signal in the magnetic disk 1 by, for example, a certify test. A of FIG. 6 is a residual pulse signal (low frequency signal) at the time of the extra pulse test,
B is the magnetic head 2 due to the magnetostrictive effect of the magnetic head 27 when the test head 23 collides with the surface of the magnetic disk 1.
7 is an oscillation signal (high frequency signal) excited. That is,
The glide height test can be performed in the extra pulse test mode, which is one test item of the certify test, simultaneously with the extra pulse test or after the certify test again in the extra pulse test mode. Further, the control of the spindle controller 13 by the control unit 30 can be controlled so that the spindle rotational speed is adapted to the above (a) or (b), respectively, as described above.
【００５２】(3) テストヘッド２３が磁気ディスク１上
のアンロード位置（テスト終了位置）（例えば最内周ト
ラック位置）に到達して、その位置での上記(a) 、(b)
を終了したら、不図示のヘッドロード／アンロード機構
によりテストヘッド２３を磁気ディスク１から強制的に
離し、テスト終了とする。(3) The test head 23 reaches the unload position (test end position) (for example, the innermost track position) on the magnetic disk 1, and the above (a) and (b) at that position are reached.
When the test is completed, the test head 23 is forcibly separated from the magnetic disk 1 by a head loading / unloading mechanism (not shown), and the test ends.
【００５３】以下、本実施の形態の作用について説明す
る。 単一のテスト装置１０に唯一のテストヘッド２３を設
けるものでありながら、テストヘッド２３による書込信
号の読出し信号出力によりサーティファイテストデータ
を求めるとともに、テストヘッド２３の電磁誘導型磁気
ヘッドが磁気ディスクの表面突起に衝突した際の磁歪効
果による発振信号出力からグライドハイトテストデータ
を求めることができ、装置構成が簡易である。The operation of this embodiment will be described below. Although only the test head 23 is provided in the single test apparatus 10, the certification test data is obtained by the read signal output of the write signal by the test head 23, and the electromagnetic induction type magnetic head of the test head 23 is used for the magnetic disk. The glide height test data can be obtained from the output of the oscillation signal due to the magnetostrictive effect when it collides with the surface protrusion of, and the device configuration is simple.
【００５４】単一のテスト装置１０にサーティファイ
テストとグライドハイトテストのための唯一のテストヘ
ッド２３を備えるものであるから、ディスク１の全記録
エリアについて、テストヘッド２３を１往復する間に、
グライドハイドテストとサーティファイテストを同時も
しくは交互に行なうことができ、テスト時間を短時間に
できる。Since the single test apparatus 10 is equipped with the only test head 23 for the certify test and the glide height test, the test head 23 is reciprocated once for the entire recording area of the disk 1.
Glidehide test and certify test can be performed simultaneously or alternately, and the test time can be shortened.
【００５５】単一のテスト装置１０に備える唯一のテ
ストヘッド２３を構成する電磁誘導型磁気ヘッド２７に
より、サーティファイテストデータとグライドハイトテ
ストデータとを求めるものであり、テストヘッド２３に
グライドハイトテスト用のピエゾ素子の如くを搭載しな
い。即ち、ヘッドスライダ２５の重心は、実際の磁気デ
ィスク装置２で用いられるヘッドスライダ２５のものと
同じであり、ヘッドスライダ２５の浮上姿勢／高さを実
際の磁気ディスク装置２におけると同じ状況にしてテス
トを行なうものとなり、正確なテストを行なうことがで
きる。An electromagnetic induction type magnetic head 27, which constitutes the only test head 23 provided in the single test apparatus 10, obtains the certify test data and the glide height test data. The test head 23 is used for the glide height test. It doesn't have a piezo element like. That is, the center of gravity of the head slider 25 is the same as that of the head slider 25 used in the actual magnetic disk device 2, and the flying posture / height of the head slider 25 is set to the same situation as in the actual magnetic disk device 2. It becomes a test, and an accurate test can be performed.
【００５６】サーティファイテストのエキストラパル
ステスト時には、磁気ディスク１における書込信号が消
去されているため、電磁誘導型磁気ヘッドの出力パルス
は極めて少なく、該電磁誘導型磁気ヘッドが磁気ディス
ク１の表面突起に衝突した際の磁歪効果により励起され
る発振信号出力を他のものと弁別し易いものとなる。従
って、電磁誘導型磁気ヘッドの磁歪効果に起因の発振信
号出力に基づくグライドハイトテストの検査精度を向上
できる。従って、グライドハイトテストは、サーティフ
ァイテストの一テスト項目であるエキストラパルステス
ト中に同時、もしくはサーティファイテスト後に再度エ
キストラパルステストモードとして行なうことができ
る。During the extra pulse test of the certify test, since the write signal in the magnetic disk 1 is erased, the output pulse of the electromagnetic induction type magnetic head is extremely small, and the electromagnetic induction type magnetic head causes the surface protrusion of the magnetic disk 1. It becomes easy to discriminate the oscillation signal output excited by the magnetostrictive effect upon collision with the other. Therefore, the inspection accuracy of the glide height test based on the oscillation signal output due to the magnetostrictive effect of the electromagnetic induction type magnetic head can be improved. Therefore, the glide height test can be performed at the same time during the extra pulse test, which is one test item of the certify test, or in the extra pulse test mode again after the certify test.
【００５７】制御部３０が、グライドハイトテストデ
ータの取込み時期をグライドハイトテスト回路３２に命
令するとともに、サーティファイテストデータの取込み
時期をサーティファイテスト回路３１に命令する、テス
ト時期設定機能を具備するから、グライドハイトテスト
とサーティファイテストを相互に独立に、それぞれ指定
時期に行なうことができ、テストの確実と合理化を図る
ことができる。Since the control unit 30 has a test timing setting function for instructing the glide height test circuit 32 when to take in the glide height test data and also instructing the certification test circuit 31 to take in the certification test data, The glide height test and the certify test can be carried out independently of each other at specified times, and the test can be surely and rationalized.
【００５８】制御部３０が、グライドハイトテストデ
ータの取込み時期には該グライドハイトテストに適合す
るスピンドル回転数となるように、サーティファイテス
トデータの取込み時期には該サーティファイテストに適
合するスピンドル回転数となるように、スピンドルコン
トローラ１３を制御するから、グライドハイトテストと
サーティファイテストをそれぞれ最適なスピンドル回転
数（ディスク回転速度）で行なうことができ、テストの
確実と合理化を図ることができる。The control unit 30 makes the spindle rotation speed suitable for the glide height test data so that the spindle rotation speed is suitable for the glide height test data, and the control section 30 makes the spindle rotation speed for the certification test at the acquisition time of the certification test data. As described above, since the spindle controller 13 is controlled, the glide height test and the certify test can be performed at the optimum spindle rotation speed (disk rotation speed), and the test can be performed reliably and rationalized.
【００５９】（第２実施形態）（図２） 第２実施形態が第１実施形態と異なる点は、図２に示す
如く、サーティファイテスト回路３１とグライドハイト
テスト回路３２とを直列接続するとともに、サーティフ
ァイテスト回路３１の出側にハイパスフィルタを設け、
磁気ヘッド２７の出力のうちの一定のスライスレベルを
越える高周波パルス（テストヘッド２３が磁気ディスク
１の表面に衝突した際に磁気ヘッド２７が出力する発振
信号）のみをグライドハイトテスト回路３２に印加する
ようにしたことにある。(Second Embodiment) (FIG. 2) The second embodiment differs from the first embodiment in that, as shown in FIG. 2, a certify test circuit 31 and a glide height test circuit 32 are connected in series, and Provide a high-pass filter on the output side of the certification test circuit 31,
Of the output of the magnetic head 27, only high frequency pulses exceeding a certain slice level (oscillation signal output by the magnetic head 27 when the test head 23 collides with the surface of the magnetic disk 1) are applied to the glide height test circuit 32. I have done so.
【００６０】以上、本発明の実施形態を図面により詳述
したが、本発明の具体的な構成はこの実施形態に限られ
るものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計
の変更等があっても本発明に含まれる。例えば、磁気デ
ィスクテスト装置の形態は、上記実施形態のものに限ら
ない。従って、キャリッジは、テストヘッドをディスク
のトラックに交差する方向に移動させるものであれば良
く、ディスクの直径上を直線動するものに限らず、スイ
ングするものであっても良い。The embodiment of the present invention has been described in detail above with reference to the drawings. However, the specific configuration of the present invention is not limited to this embodiment, and changes in design within the scope not departing from the gist of the present invention can be made. Even if it exists, it is included in the present invention. For example, the form of the magnetic disk test apparatus is not limited to that of the above embodiment. Therefore, the carriage need only move the test head in a direction intersecting the track of the disk, and may be not only a linearly moving disk but also a swinging one.
【００６１】また、グライドハイトテスト回路によるテ
スト内容、サーティファイテスト回路によるテスト内容
は、上記実施形態のものに限らず、如何なるものであっ
ても良い。Further, the test contents by the glide height test circuit and the test contents by the certify test circuit are not limited to those in the above-mentioned embodiment, and may be any contents.
【００６２】また、テストヘッドは、電磁誘導型磁気ヘ
ッドに加え、読出し専用ヘッドであるＭＲヘッドを備え
るものであっても良い。Further, the test head may include an MR head which is a read-only head in addition to the electromagnetic induction type magnetic head.
【００６３】[0063]
【発明の効果】以上のように本発明によれば、簡易なテ
スト装置により、グライドハイトテストとサーティファ
イテストを短時間で、且つ正確に行なうことができる。As described above, according to the present invention, the glide height test and the certify test can be accurately performed in a short time with a simple test apparatus.
【図１】図１は第１実施形態を示す制御回路図である。FIG. 1 is a control circuit diagram showing a first embodiment.
【図２】図２は第２実施形態を示す制御回路図である。FIG. 2 is a control circuit diagram showing a second embodiment.
【図３】図３は磁気ディスクテスト装置を示す模式図で
ある。FIG. 3 is a schematic diagram showing a magnetic disk test apparatus.
【図４】図４はテストヘッドの一例を示す模式図であ
る。FIG. 4 is a schematic diagram showing an example of a test head.
【図５】図５はテストヘッドの浮上原理を示す模式図で
ある。FIG. 5 is a schematic diagram showing a floating principle of a test head.
【図６】図６は電磁誘導型磁気ヘッドが出力するエキス
トラパルスと磁歪効果による発振信号とを示す模式図で
ある。FIG. 6 is a schematic diagram showing an extra pulse output from an electromagnetic induction type magnetic head and an oscillation signal due to a magnetostrictive effect.
１ 磁気ディスク １０ 磁気ディスクテスト装置 １２ スピンドル １３ スピンドルコントローラ １５ キャリッジ １８ キャリッジコントローラ ２３ テストヘッド ２７ 磁気ヘッド ３０ 制御部 ３１ サーティファイテスト回路 ３２ グライドハイトテスト回路 1 Magnetic Disk 10 Magnetic Disk Tester 12 Spindle 13 Spindle Controller 15 Carriage 18 Carriage Controller 23 Test Head 27 Magnetic Head 30 Controller 31 Certification Test Circuit 32 Glide Height Test Circuit
Claims (6)
グライドハイトテストとを行なう磁気ディスクテスト方
法において、 電磁誘導型磁気ヘッドを備えたテストヘッドを用い、 テストヘッドを磁気ディスクの表面に対して相対移動
し、 テストヘッドが磁気ディスクに相対しているテスト位置
を求め、 サーティファイテストは、磁気ディスクの各１本のトラ
ック毎に書込んだ書込信号のテストヘッドによる読出し
信号出力から上記テスト位置でのサーティファイテスト
データを求めることにより行ない、 グライドハイトテストは、磁気ディスクの表面の突起に
テストヘッドが衝突した際に、テストヘッドの電磁誘導
型磁気ヘッドの磁歪効果により該磁気ヘッドに励起され
る発振信号出力から上記テスト位置でのグライドハイト
テストデータを求めることにより行なうことを特徴とす
る磁気ディスクテスト方法。1. A magnetic disk test method for performing a certify test and a glide height test of a magnetic disk, wherein a test head having an electromagnetic induction type magnetic head is used, and the test head is moved relative to a surface of the magnetic disk. The test position where the test head is opposed to the magnetic disk is obtained, and the certify test is the certify test at the test position based on the read signal output by the test head of the write signal written for each track of the magnetic disk. The glide height test is carried out by obtaining data.When the test head collides with a protrusion on the surface of the magnetic disk, the glide height test is performed from the oscillation signal output excited by the magnetostrictive effect of the electromagnetic head of the test head. Glide height test data at the above test position Magnetic disk testing method, wherein a carried out by obtaining.
クにおける書込信号の消去後に行なう請求項１記載の磁
気ディスクテスト方法。2. The magnetic disk test method according to claim 1, wherein the glide height test is performed after erasing a write signal in the magnetic disk.
ティファイテストにて磁気ディスクにおける書込信号を
消去した後の再読出し信号出力について行なうエキスト
ラパルステスト時に行なう請求項２記載の磁気ディスク
のテスト方法。3. The method for testing a magnetic disk according to claim 2, wherein the glide height test is performed during an extra pulse test performed for re-reading signal output after the write signal on the magnetic disk is erased in the certify test.
サーティファイテストとを行なう磁気ディスクテスト装
置において、 磁気ディスクを回転させるスピンドルと、 スピンドルを駆動制御するスピンドルコントローラと、 電磁誘導型磁気ヘッドを備えたテストヘッドと、 テストヘッドを支持し、該テストヘッドを磁気ディスク
の表面に沿って該磁気ディスクの磁気トラックに交差す
る方向に移動させるキャリッジと、 キャリッジを駆動制御するキャリッジコントローラと、 テストヘッドが磁気ディスクに相対しているテスト位置
をスピンドルコントローラとキャリッジコントローラの
制御信号から求めるとともに、磁気ディスクの各１本の
トラック毎に書込んだ書込信号のテストヘッドによる読
出し信号出力から上記テスト位置でのサーティファイテ
ストデータを求めるサーティファイテスト回路と、 テストヘッドが磁気ディスクに相対しているテスト位置
をスピンドルコントローラとキャリッジコントローラの
制御信号から求めるとともに、磁気ディスクの表面の突
起にテストヘッドが衝突した際に、テストヘッドの電磁
誘導型磁気ヘッドの磁歪効果により該磁気ヘッドに励起
される発振信号出力から上記テスト位置でのグライドハ
イトテストデータを求めるグライドハイトテスト回路
と、 スピンドルコントローラとキャリッジコントローラを制
御するとともに、グライドハイトテスト回路とサーティ
ファイテスト回路を制御する制御部とを有してなること
を特徴とする磁気ディスクテスト装置。4. A magnetic disk test apparatus for performing a glide height test and a certify test of a magnetic disk, a spindle for rotating the magnetic disk, a spindle controller for driving and controlling the spindle, and a test head including an electromagnetic induction type magnetic head. A carriage that supports the test head and moves the test head along the surface of the magnetic disk in a direction intersecting a magnetic track of the magnetic disk; a carriage controller that drives and controls the carriage; The relative test position is obtained from the control signals of the spindle controller and the carriage controller, and the read signal output from the test head of the write signal written for each track of the magnetic disk is used to determine the test position at the test position. The certify test circuit that obtains the qualify test data and the test position where the test head is facing the magnetic disk are obtained from the control signals of the spindle controller and carriage controller, and when the test head collides with the protrusion on the surface of the magnetic disk. , A glide height test circuit that obtains glide height test data at the test position from the oscillation signal output excited by the magnetostriction effect of the electromagnetic induction type magnetic head of the test head, and controls the spindle controller and the carriage controller. A magnetic disk test apparatus comprising a glide height test circuit and a control unit for controlling the certify test circuit.
ータの取込み時期をグライドハイトテスト回路に命令す
るとともに、サーティファイテストデータの取込み時期
をサーティファイテスト回路に命令する、テスト時期設
定機能を具備してなる請求項４記載の磁気ディスクテス
ト装置。5. The control section has a test time setting function for instructing the glide height test circuit when to take in the glide height test data and for instructing the certify test circuit when to take the certification test data. The magnetic disk test apparatus according to claim 4.
ータの取込み時期には該グライドハイトテストに適合す
るスピンドル回転数となるように、サーティファイテス
トデータの取込み時期には該サーティファイテストに適
合するスピンドル回転数となるように、スピンドルコン
トローラを制御する請求項４又は５に記載の磁気ディス
クテスト装置。6. The spindle rotation adapted to the certify test at the acquisition time of the certify test data so that the control unit has a spindle rotation speed adapted to the glide height test at the acquisition time of the glide height test data. 6. The magnetic disk test device according to claim 4, wherein the spindle controller is controlled so as to be a number.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9175196A JPH09259401A (en) | 1996-03-22 | 1996-03-22 | Method for testing magnetic disk and device therefor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9175196A JPH09259401A (en) | 1996-03-22 | 1996-03-22 | Method for testing magnetic disk and device therefor |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09259401A true JPH09259401A (en) | 1997-10-03 |
Family
ID=14035249
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9175196A Withdrawn JPH09259401A (en) | 1996-03-22 | 1996-03-22 | Method for testing magnetic disk and device therefor |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09259401A (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7770438B2 (en) | 2006-07-07 | 2010-08-10 | Tdk Corporation | Head slider, glide height checking apparatus, and glide height checking method |
| US8144412B2 (en) | 2009-11-24 | 2012-03-27 | Tdk Corporation | Magnetic disk device having mechanism for detecting projections on recording medium |
| US20120176877A1 (en) * | 2011-01-12 | 2012-07-12 | Hitachi High-Technologies Corporation | Inspection method and inspection apparatus of magnetic disk |
| US8705190B2 (en) | 2012-06-15 | 2014-04-22 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Method for determining whether defect on disk is recess or protrusion and magnetic disk drive |
-
1996
- 1996-03-22 JP JP9175196A patent/JPH09259401A/en not_active Withdrawn
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US7770438B2 (en) | 2006-07-07 | 2010-08-10 | Tdk Corporation | Head slider, glide height checking apparatus, and glide height checking method |
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| US8542453B2 (en) * | 2011-01-12 | 2013-09-24 | Hitachi High-Technologies Corporation | Inspection method and inspection apparatus of magnetic disk |
| US8705190B2 (en) | 2012-06-15 | 2014-04-22 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Method for determining whether defect on disk is recess or protrusion and magnetic disk drive |
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