JPH09257895A - 磁力計 - Google Patents
磁力計Info
- Publication number
- JPH09257895A JPH09257895A JP7207996A JP7207996A JPH09257895A JP H09257895 A JPH09257895 A JP H09257895A JP 7207996 A JP7207996 A JP 7207996A JP 7207996 A JP7207996 A JP 7207996A JP H09257895 A JPH09257895 A JP H09257895A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- output
- circuit
- magnetic field
- calibration
- reference signal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Measuring Magnetic Variables (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 プリアンプ出力の位相変動、振幅変動等によ
る磁力計の出力変動を防止し、計測誤差の少ない磁力計
を得ることを目的とする。 【解決手段】 校正用磁界を発生させる基準信号発生回
路、電流源及び磁界発生コイルと、駆動回路の出力から
校正用の校正信号を取り出し基準信号と比較するバンド
パスフィルタ及び比較回路と、上記駆動回路の出力から
校正信号を除去するフィルタと、このフィルタの出力と
上記比較回路の出力を基に磁力計の出力変動を補正する
補正回路を追加することにより、磁力計の出力変動が生
じないようにし、計測誤差の少ない磁力計を得るように
した。
る磁力計の出力変動を防止し、計測誤差の少ない磁力計
を得ることを目的とする。 【解決手段】 校正用磁界を発生させる基準信号発生回
路、電流源及び磁界発生コイルと、駆動回路の出力から
校正用の校正信号を取り出し基準信号と比較するバンド
パスフィルタ及び比較回路と、上記駆動回路の出力から
校正信号を除去するフィルタと、このフィルタの出力と
上記比較回路の出力を基に磁力計の出力変動を補正する
補正回路を追加することにより、磁力計の出力変動が生
じないようにし、計測誤差の少ない磁力計を得るように
した。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は超伝導量子干渉素
子（Ｓｕｐｅｒｃｏｎｄｕｃｔｉｎｇ Ｑｕａｎｔｕｍ
Ｉｎｔｅｒｆｅｒｅｎｃｅ Ｄｅｖｉｃｅ：以後略し
てＳＱＵＩＤと呼ぶ）を用いた磁力計に関するものであ
る。
子（Ｓｕｐｅｒｃｏｎｄｕｃｔｉｎｇ Ｑｕａｎｔｕｍ
Ｉｎｔｅｒｆｅｒｅｎｃｅ Ｄｅｖｉｃｅ：以後略し
てＳＱＵＩＤと呼ぶ）を用いた磁力計に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】図８は従来の磁力計の一実施例を示すブ
ロック図である。図において１はＳＱＵＩＤ、２は上記
ＳＱＵＩＤ１を固定するセンサブロック、３は超伝導リ
ング、４Ａ、４Ｂは超伝導リング３中に設けられたジョ
セフソン接合、５は超伝導リング４と磁気的に結合した
変調帰還コイルであり、ＳＱＵＩＤ１は上記超伝導リン
グ３、ジョセフソン接合４Ａ、４Ｂ及び変調帰還コイル
５から構成される。６は駆動回路、７はバイアス回路、
８はプリアンプ、９は乗算器、１０は位相器、１１は発
振器、１３は帰還抵抗器、１４は積分器スイッチ、１５
は積分コンデンサ、１６Ａは増幅器、１２は上記積分器
スイッチ１４、積分コンデンサ１５及び増幅器１６Ａか
ら構成される積分器であり、駆動回路６は上記バイアス
回路７、プリアンプ８、乗算器９、位相器１０、発振器
１１、積分器１２及び帰還抵抗器１３から構成され、上
記ＳＱＵＩＤ１を駆動し所望の出力を取り出す役目をす
る。ＯS は上記発振器１１から出力される変調信号、Ｖ
H は上記積分器１２から磁界計測信号として出力される
電圧である。
ロック図である。図において１はＳＱＵＩＤ、２は上記
ＳＱＵＩＤ１を固定するセンサブロック、３は超伝導リ
ング、４Ａ、４Ｂは超伝導リング３中に設けられたジョ
セフソン接合、５は超伝導リング４と磁気的に結合した
変調帰還コイルであり、ＳＱＵＩＤ１は上記超伝導リン
グ３、ジョセフソン接合４Ａ、４Ｂ及び変調帰還コイル
５から構成される。６は駆動回路、７はバイアス回路、
８はプリアンプ、９は乗算器、１０は位相器、１１は発
振器、１３は帰還抵抗器、１４は積分器スイッチ、１５
は積分コンデンサ、１６Ａは増幅器、１２は上記積分器
スイッチ１４、積分コンデンサ１５及び増幅器１６Ａか
ら構成される積分器であり、駆動回路６は上記バイアス
回路７、プリアンプ８、乗算器９、位相器１０、発振器
１１、積分器１２及び帰還抵抗器１３から構成され、上
記ＳＱＵＩＤ１を駆動し所望の出力を取り出す役目をす
る。ＯS は上記発振器１１から出力される変調信号、Ｖ
H は上記積分器１２から磁界計測信号として出力される
電圧である。
【０００３】上記駆動回路６は一般にＦＬＬ（Ｆｌｕｘ
Ｌｏｃｋｅｄ Ｌｏｏｐ）回路と呼ばれる公知のもの
であり、その動作は、例えば、Ｒｅｖｉｅｗ Ｏｆ Ｓ
ｃｉｅｎｔｉｆｉｃ Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔ、１９８４
年、第５５巻、第９５２〜９５７ページに記載されてい
る。
Ｌｏｃｋｅｄ Ｌｏｏｐ）回路と呼ばれる公知のもの
であり、その動作は、例えば、Ｒｅｖｉｅｗ Ｏｆ Ｓ
ｃｉｅｎｔｉｆｉｃ Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔ、１９８４
年、第５５巻、第９５２〜９５７ページに記載されてい
る。
【０００４】次に動作について説明する。図９はＳＱＵ
ＩＤの磁束−電圧特性を基にＳＱＵＩＤの外部磁界を計
測する原理を示す図であり、図中、ａは外部磁界に対す
るＳＱＵＩＤ１の出力波形、ｂ、ｃ、ｄは正弦波変調磁
束を印加した時のそれぞれ動作点が、Ａ、Ｂ、Ｃの時の
ＳＱＵＩＤ１の出力波形である。但し、Ф0 は磁束量子
であり、その値は２．０７×１０-15 Ｗｂである。ＳＱ
ＵＩＤ１を液体ヘリウムに浸すなどして冷却し超伝導状
態に転移させると、ＳＱＵＩＤは自分自身を鎖交する磁
束に対してФ0 を周期として変化する。今、ＳＱＵＩＤ
１の動作点が図中のＡ点のように設定されているものと
し、発振器１１から出力される数１００ＫＨｚの変調信
号ＯS を基に変調帰還コイル５を介して、例えば、数１
００ＫＨｚの正弦波変調磁束を印加すると、ＳＱＵＩＤ
１の出力は上記変調信号ＯS の２倍の周波数の全波整流
された波形になる。
ＩＤの磁束−電圧特性を基にＳＱＵＩＤの外部磁界を計
測する原理を示す図であり、図中、ａは外部磁界に対す
るＳＱＵＩＤ１の出力波形、ｂ、ｃ、ｄは正弦波変調磁
束を印加した時のそれぞれ動作点が、Ａ、Ｂ、Ｃの時の
ＳＱＵＩＤ１の出力波形である。但し、Ф0 は磁束量子
であり、その値は２．０７×１０-15 Ｗｂである。ＳＱ
ＵＩＤ１を液体ヘリウムに浸すなどして冷却し超伝導状
態に転移させると、ＳＱＵＩＤは自分自身を鎖交する磁
束に対してФ0 を周期として変化する。今、ＳＱＵＩＤ
１の動作点が図中のＡ点のように設定されているものと
し、発振器１１から出力される数１００ＫＨｚの変調信
号ＯS を基に変調帰還コイル５を介して、例えば、数１
００ＫＨｚの正弦波変調磁束を印加すると、ＳＱＵＩＤ
１の出力は上記変調信号ＯS の２倍の周波数の全波整流
された波形になる。
【０００５】ここで外部磁界が増大して動作点が図中の
Ｂ点にずれた場合にはＳＱＵＩＤ１からは変調信号ＯS
と同相の信号が出力され、逆に外部磁界が減少して動作
点がＣ点にずれた場合には変調信号ＯS と逆相の出力が
出力される。これら外部磁界の増減に対応して位相及び
周波数が変化する正弦波状の信号をプリアンプ８で所望
の大きさに増幅した後、乗算器９、位相器１０、発振器
１１により位相検波して、さらに、積分器１２で積分す
ることによって磁界変化量をＤＣ電圧に変換し、この変
化量を帰還抵抗器１３を経由して変調帰還コイル５によ
って超伝導リング３に帰還させると、この帰還電流が帰
還抵抗器１３を流れることによって発生する電圧は外部
磁界の変化量を示すので、この電圧を取り出すことによ
り磁界変化量を計測することができる。
Ｂ点にずれた場合にはＳＱＵＩＤ１からは変調信号ＯS
と同相の信号が出力され、逆に外部磁界が減少して動作
点がＣ点にずれた場合には変調信号ＯS と逆相の出力が
出力される。これら外部磁界の増減に対応して位相及び
周波数が変化する正弦波状の信号をプリアンプ８で所望
の大きさに増幅した後、乗算器９、位相器１０、発振器
１１により位相検波して、さらに、積分器１２で積分す
ることによって磁界変化量をＤＣ電圧に変換し、この変
化量を帰還抵抗器１３を経由して変調帰還コイル５によ
って超伝導リング３に帰還させると、この帰還電流が帰
還抵抗器１３を流れることによって発生する電圧は外部
磁界の変化量を示すので、この電圧を取り出すことによ
り磁界変化量を計測することができる。
【０００６】すなわち、最初閉じている積分器スイッチ
１４を開くことにより、積分コンデンサ１５及び増幅器
１６Ａが積分器として動作し、積分器スイッチ１４を開
く時点で最も近い、例えばＡ点、Ｄ点のような極小、極
大の位置に動作点をロックし、この状態から、外部磁界
の増減に対応して超伝導リング３内の磁束Фが増減しよ
うとすると上記ＳＱＵＩＤ１の出力信号を基に上記乗算
器９、位相器１０、発振器１１及び積分器１２によって
外部磁界の増減に対応するＤＣ電圧が生成され、このＤ
Ｃ電圧が帰還抵抗器１３、変調帰還コイル５を介して上
記超伝導リング３内の磁束を打ち消して常に同じ位置に
固定するように制御する。
１４を開くことにより、積分コンデンサ１５及び増幅器
１６Ａが積分器として動作し、積分器スイッチ１４を開
く時点で最も近い、例えばＡ点、Ｄ点のような極小、極
大の位置に動作点をロックし、この状態から、外部磁界
の増減に対応して超伝導リング３内の磁束Фが増減しよ
うとすると上記ＳＱＵＩＤ１の出力信号を基に上記乗算
器９、位相器１０、発振器１１及び積分器１２によって
外部磁界の増減に対応するＤＣ電圧が生成され、このＤ
Ｃ電圧が帰還抵抗器１３、変調帰還コイル５を介して上
記超伝導リング３内の磁束を打ち消して常に同じ位置に
固定するように制御する。
【０００７】このような制御・計測行う回路系を一般に
ＦＬＬ（Ｆｌｕｘ ＬｏｃｋｅｄＬｏｏｐ）回路と呼
び、磁束ロックした状態からの外部磁界の変化量を上記
帰還電流が帰還抵抗器１３を流れることによって発生す
る電圧ＶH を磁界計測値として取り出すことができる。
ＦＬＬ（Ｆｌｕｘ ＬｏｃｋｅｄＬｏｏｐ）回路と呼
び、磁束ロックした状態からの外部磁界の変化量を上記
帰還電流が帰還抵抗器１３を流れることによって発生す
る電圧ＶH を磁界計測値として取り出すことができる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】従来の磁力計は、温
度、電源変動等によって上記プリアンプ８出力の位相変
動、振幅変動が生じると、これら変動分に比例して位相
検波の出力が変動し最終的に上記積分器１２の出力信号
が変動するため磁界計測誤差になるなどの問題点があっ
た。
度、電源変動等によって上記プリアンプ８出力の位相変
動、振幅変動が生じると、これら変動分に比例して位相
検波の出力が変動し最終的に上記積分器１２の出力信号
が変動するため磁界計測誤差になるなどの問題点があっ
た。
【０００９】この発明は上記問題点を解決するためにな
されたものであり、プリアンプ８出力の位相変動、振幅
変動等による磁力計の出力変動を防止して計測誤差の少
ない磁力計を得ることを目的としている。
されたものであり、プリアンプ８出力の位相変動、振幅
変動等による磁力計の出力変動を防止して計測誤差の少
ない磁力計を得ることを目的としている。
【００１０】
【課題を解決するための手段】この発明による磁力計に
おいては、ＳＱＵＩＤと、上記ＳＱＵＩＤを駆動する駆
動回路とを備えた従来の磁力計に校正用の磁界を発生さ
せる基準信号発生回路、電流源及び磁界発生コイルと、
上記駆動回路の出力から校正信号を取り出し基準信号と
比較するバンドパスフィルタ及び比較回路と、上記駆動
回路の出力から校正信号を除去するフィルタと、このフ
ィルタの出力と上記比較回路の出力を基に磁力計の出力
変動を補正する補正回路を追加したものである。
おいては、ＳＱＵＩＤと、上記ＳＱＵＩＤを駆動する駆
動回路とを備えた従来の磁力計に校正用の磁界を発生さ
せる基準信号発生回路、電流源及び磁界発生コイルと、
上記駆動回路の出力から校正信号を取り出し基準信号と
比較するバンドパスフィルタ及び比較回路と、上記駆動
回路の出力から校正信号を除去するフィルタと、このフ
ィルタの出力と上記比較回路の出力を基に磁力計の出力
変動を補正する補正回路を追加したものである。
【００１１】また、この発明による磁力計においては、
ＳＱＵＩＤと、上記ＳＱＵＩＤを駆動する駆動回路とを
備えた従来の磁力計に校正用の磁界を発生させる基準信
号発生回路、電流源及び磁界発生コイルと、上記駆動回
路の出力から校正信号を取り出し基準信号と比較するバ
ンドパスフィルタ及び比較回路と、上記駆動回路の出力
から校正信号を除去する校正信号除去回路と、この校正
信号除去回路の出力と上記比較回路の出力を基に磁力計
の出力変動を補正する補正回路を追加したものである。
ＳＱＵＩＤと、上記ＳＱＵＩＤを駆動する駆動回路とを
備えた従来の磁力計に校正用の磁界を発生させる基準信
号発生回路、電流源及び磁界発生コイルと、上記駆動回
路の出力から校正信号を取り出し基準信号と比較するバ
ンドパスフィルタ及び比較回路と、上記駆動回路の出力
から校正信号を除去する校正信号除去回路と、この校正
信号除去回路の出力と上記比較回路の出力を基に磁力計
の出力変動を補正する補正回路を追加したものである。
【００１２】この発明による磁力計においては、ＳＱＵ
ＩＤと、上記ＳＱＵＩＤを駆動する駆動回路とを備えた
従来の磁力計に校正用の磁界を発生させる基準信号発生
回路、電流源及び磁界発生コイルと、上記駆動回路の出
力から校正信号を取り出し基準信号と比較するバンドパ
スフィルタ及び比較回路と、上記駆動回路の出力から校
正信号を除去するフィルタと、このフィルタの出力と上
記比較回路の出力を基に磁力計の出力変動を補正する補
正回路を追加し、さらに、上記比較回路の出力がある一
定の範囲を越えた場合に異常を知らせる良否判別回路を
追加したものである。
ＩＤと、上記ＳＱＵＩＤを駆動する駆動回路とを備えた
従来の磁力計に校正用の磁界を発生させる基準信号発生
回路、電流源及び磁界発生コイルと、上記駆動回路の出
力から校正信号を取り出し基準信号と比較するバンドパ
スフィルタ及び比較回路と、上記駆動回路の出力から校
正信号を除去するフィルタと、このフィルタの出力と上
記比較回路の出力を基に磁力計の出力変動を補正する補
正回路を追加し、さらに、上記比較回路の出力がある一
定の範囲を越えた場合に異常を知らせる良否判別回路を
追加したものである。
【００１３】
実施の形態１．図１はこの発明の実施の形態１を示す構
成図である。図中、１、２、６は従来と同一のもの、１
７は校正用の使用周波数帯域外の正弦波の基準信号を発
生する基準信号発生回路、１８は上記基準信号発生回路
１７の出力である基準信号を基に校正磁界用の電流を発
生する電流源、１９は上記ＳＱＵＩＤ１の周囲に配置し
電流源１８の出力を用いて校正用の磁界を発生する磁界
発生コイル、２０は上記駆動回路６の出力から校正信号
を除去するフィルタ、２１は上記駆動回路６の出力から
校正信号を取り出すバンドパスフィルタ、２２は上記バ
ンドパスフィルタ２１の出力と上記基準信号発生回路１
７の基準信号の大小を比較する比較回路、２３は上記比
較回路２２の出力を基に出力変動を補正する補正回路、
ＳK は上記基準信号発生回路１７から出力される基準信
号、ＶF は上記フィルタ２０から出力される磁界計測信
号、ＳB は上記バンドパスフィルタ２１から出力される
校正信号である。
成図である。図中、１、２、６は従来と同一のもの、１
７は校正用の使用周波数帯域外の正弦波の基準信号を発
生する基準信号発生回路、１８は上記基準信号発生回路
１７の出力である基準信号を基に校正磁界用の電流を発
生する電流源、１９は上記ＳＱＵＩＤ１の周囲に配置し
電流源１８の出力を用いて校正用の磁界を発生する磁界
発生コイル、２０は上記駆動回路６の出力から校正信号
を除去するフィルタ、２１は上記駆動回路６の出力から
校正信号を取り出すバンドパスフィルタ、２２は上記バ
ンドパスフィルタ２１の出力と上記基準信号発生回路１
７の基準信号の大小を比較する比較回路、２３は上記比
較回路２２の出力を基に出力変動を補正する補正回路、
ＳK は上記基準信号発生回路１７から出力される基準信
号、ＶF は上記フィルタ２０から出力される磁界計測信
号、ＳB は上記バンドパスフィルタ２１から出力される
校正信号である。
【００１４】図２は上記比較回路２２の構成の一例を示
すブロック図である。図中、２４Ａ、２４Ｂは全波整流
用のブリッジ整流回路、２５Ａ、２５Ｂは平滑用抵抗
器、２６Ａ、２６Ｂ、２６Ｃ、２６Ｄは平滑用コンデン
サ、２７Ａ、２７Ｂはノッチフィルタ、２８Ａは差動増
幅器、ＳB は校正信号、ＳK は基準信号、ＳO は上記差
動増幅器２８Ａから出力される変動信号である。
すブロック図である。図中、２４Ａ、２４Ｂは全波整流
用のブリッジ整流回路、２５Ａ、２５Ｂは平滑用抵抗
器、２６Ａ、２６Ｂ、２６Ｃ、２６Ｄは平滑用コンデン
サ、２７Ａ、２７Ｂはノッチフィルタ、２８Ａは差動増
幅器、ＳB は校正信号、ＳK は基準信号、ＳO は上記差
動増幅器２８Ａから出力される変動信号である。
【００１５】図３は上記補正回路２３の構成の一例を示
すブロック図である。図中２９は電圧分圧用抵抗器、３
０はＦＥＴ（Ｆｉｅｌｄ Ｅｆｅｃｔ Ｔｒａｎｓｉｓ
ｔｅｒ）、Ｄ、Ｇ、Ｓはそれぞれ上記ＦＥＴ３０のドレ
イン、ゲート、ソース、１６Ｂは１６Ａと同一の増幅器
ＶF は磁界計測信号、ＳO は変動信号である。
すブロック図である。図中２９は電圧分圧用抵抗器、３
０はＦＥＴ（Ｆｉｅｌｄ Ｅｆｅｃｔ Ｔｒａｎｓｉｓ
ｔｅｒ）、Ｄ、Ｇ、Ｓはそれぞれ上記ＦＥＴ３０のドレ
イン、ゲート、ソース、１６Ｂは１６Ａと同一の増幅器
ＶF は磁界計測信号、ＳO は変動信号である。
【００１６】次にこの発明の実施の形態１による磁力計
の動作について説明する。先ず、ＳＱＵＩＤ１を液体ヘ
リウムに浸す等して冷却し超伝導状態に転移させ、被測
定磁界中で積分器スイッチ１４を開いた時刻に於けるＳ
ＱＵＩＤ鎖交磁束を出力零の原点とし、そこからの鎖交
磁束の変化量を磁界変化量に相当する電圧ＶH として出
力する。
の動作について説明する。先ず、ＳＱＵＩＤ１を液体ヘ
リウムに浸す等して冷却し超伝導状態に転移させ、被測
定磁界中で積分器スイッチ１４を開いた時刻に於けるＳ
ＱＵＩＤ鎖交磁束を出力零の原点とし、そこからの鎖交
磁束の変化量を磁界変化量に相当する電圧ＶH として出
力する。
【００１７】つまり、ＳＱＵＩＤ１の動作点は通常図９
のＡ点の位置にあり全波整流状の信号を出力するが、被
測定磁界が増減して例えば図９のＢ、Ｃの位置に移動す
ると、変調信号ＯS と正相、逆相の正弦波状の信号を出
力し、次にバイアス回路７、プリアンプ８、乗算器９、
位相器１０、発振器１１、積分器１２及び帰還抵抗器１
３で構成される駆動回路６によって磁界変化量に相当す
る電圧ＶH を出力すると共にこの電圧ＶH を帰還抵抗器
１３、変調帰還コイル５を介して超伝導リング３に帰還
させ瞬時にＡ点の位置に戻す。
のＡ点の位置にあり全波整流状の信号を出力するが、被
測定磁界が増減して例えば図９のＢ、Ｃの位置に移動す
ると、変調信号ＯS と正相、逆相の正弦波状の信号を出
力し、次にバイアス回路７、プリアンプ８、乗算器９、
位相器１０、発振器１１、積分器１２及び帰還抵抗器１
３で構成される駆動回路６によって磁界変化量に相当す
る電圧ＶH を出力すると共にこの電圧ＶH を帰還抵抗器
１３、変調帰還コイル５を介して超伝導リング３に帰還
させ瞬時にＡ点の位置に戻す。
【００１８】この時、温度、電源変動等によって上記プ
リアンプ出力の位相変動、振幅変動が生じると、これら
変動分に比例して位相検波の出力が変動し最終的に上記
積分器の出力信号が変動して計測誤差を生じようとする
が、上記基準信号発生回路１７、電流源１８、磁界発生
コイル１９、フィルタ２０、バンドパスフィルタ２１、
比較回路２２及び補正回路２３が磁力計の出力変動を防
いで、計測誤差を防止する。
リアンプ出力の位相変動、振幅変動が生じると、これら
変動分に比例して位相検波の出力が変動し最終的に上記
積分器の出力信号が変動して計測誤差を生じようとする
が、上記基準信号発生回路１７、電流源１８、磁界発生
コイル１９、フィルタ２０、バンドパスフィルタ２１、
比較回路２２及び補正回路２３が磁力計の出力変動を防
いで、計測誤差を防止する。
【００１９】具体的には上記基準信号発生回路１７は磁
力計の使用周波数帯域のＤＣ〜１０数ＫＨｚ以外、例え
ば、数１０ＫＨｚ一定振幅の正弦波基準信号ＳK を発生
し、上記電流源１８はこの基準信号ＳK を基に数１０Ｋ
Ｈｚの正弦波電流を発生させ、上記磁界発生コイル１９
はこの電流を基に校正用の数１０ＫＨｚ一定振幅の正弦
波磁界を常時ＳＱＵＩＤ１に印加する。
力計の使用周波数帯域のＤＣ〜１０数ＫＨｚ以外、例え
ば、数１０ＫＨｚ一定振幅の正弦波基準信号ＳK を発生
し、上記電流源１８はこの基準信号ＳK を基に数１０Ｋ
Ｈｚの正弦波電流を発生させ、上記磁界発生コイル１９
はこの電流を基に校正用の数１０ＫＨｚ一定振幅の正弦
波磁界を常時ＳＱＵＩＤ１に印加する。
【００２０】次にＳＱＵＩＤ１と駆動回路６により外部
磁界の大きさ及び上記校正用の数１０ＫＨｚ一定振幅の
正弦波磁界をそれぞれ磁界計測信号、校正信号として両
者が加算された状態で電圧に変換するが、高域遮断周波
数が１０数ＫＨｚに設定されているフィルタ２０によっ
て、この電圧信号のうち、磁界計測信号ＶF のみを取り
出し、上記バンドパスフィルタ２１は校正信号ＳB のみ
を取り出す。
磁界の大きさ及び上記校正用の数１０ＫＨｚ一定振幅の
正弦波磁界をそれぞれ磁界計測信号、校正信号として両
者が加算された状態で電圧に変換するが、高域遮断周波
数が１０数ＫＨｚに設定されているフィルタ２０によっ
て、この電圧信号のうち、磁界計測信号ＶF のみを取り
出し、上記バンドパスフィルタ２１は校正信号ＳB のみ
を取り出す。
【００２１】上記基準信号ＳK とバンドパスフィルタ２
１で取り出された校正信号ＳB は、それぞれ、比較回路
２２のブリッジ整流回路２４Ａ、平滑用抵抗器２５Ａ及
び平滑用コンデンサ２６Ａ、２６Ｂで構成される平滑回
路、ブリッジ整流回路２４Ｂ、平滑用抵抗器２５Ｂ及び
平滑用コンデンサ２６Ｃ、２６Ｄで構成される平滑回路
で正弦波の振幅に対応したＤＣ電圧に変換され、さら
に、ＤＣ電圧に変換された基準信号、校正信号は、数１
０ＫＨｚの周波数のみを遮断するように設定されている
ノッチフィルタ２７Ａ、２７Ｂによって、それぞれ、正
弦波成分を完全に除去された後、上記差動増幅器２８Ａ
によって後者から前者が減算されて両者の大小が比較さ
れ、磁力計の変動分すなわち変動信号ＳO として出力さ
れる。
１で取り出された校正信号ＳB は、それぞれ、比較回路
２２のブリッジ整流回路２４Ａ、平滑用抵抗器２５Ａ及
び平滑用コンデンサ２６Ａ、２６Ｂで構成される平滑回
路、ブリッジ整流回路２４Ｂ、平滑用抵抗器２５Ｂ及び
平滑用コンデンサ２６Ｃ、２６Ｄで構成される平滑回路
で正弦波の振幅に対応したＤＣ電圧に変換され、さら
に、ＤＣ電圧に変換された基準信号、校正信号は、数１
０ＫＨｚの周波数のみを遮断するように設定されている
ノッチフィルタ２７Ａ、２７Ｂによって、それぞれ、正
弦波成分を完全に除去された後、上記差動増幅器２８Ａ
によって後者から前者が減算されて両者の大小が比較さ
れ、磁力計の変動分すなわち変動信号ＳO として出力さ
れる。
【００２２】次に上記磁界計測信号ＶF 、変動信号ＳO
は上記補正回路２３のそれぞれ電圧分圧用抵抗器２９、
ＦＥＴ３０のゲートＧに入力されて、変動信号ＳO の電
圧に逆比例して上記ＦＥＴ３０のドレインＤ−ソースＳ
間の動作抵抗ＲDSが変化するように制御し、この動作抵
抗ＲDSと上記電圧分圧用抵抗器２９の抵抗値ＲB により
次式に示す分圧比Ｋに分圧して、上記磁力計の変動分を
打ち消す。
は上記補正回路２３のそれぞれ電圧分圧用抵抗器２９、
ＦＥＴ３０のゲートＧに入力されて、変動信号ＳO の電
圧に逆比例して上記ＦＥＴ３０のドレインＤ−ソースＳ
間の動作抵抗ＲDSが変化するように制御し、この動作抵
抗ＲDSと上記電圧分圧用抵抗器２９の抵抗値ＲB により
次式に示す分圧比Ｋに分圧して、上記磁力計の変動分を
打ち消す。
【００２３】
【数１】
【００２４】実施の形態２．図４はこの発明の実施の形
態２を示すブロック図である。図中、１、２、６、１７
〜１９、２１〜２３は実施形態１と同一のもの、３１は
上記駆動回路６の出力に含まれる校正信号を除去する校
正信号除去回路である。
態２を示すブロック図である。図中、１、２、６、１７
〜１９、２１〜２３は実施形態１と同一のもの、３１は
上記駆動回路６の出力に含まれる校正信号を除去する校
正信号除去回路である。
【００２５】図５は上記校正信号除去回路３１の構成の
一例を示すブロック図である。図中、１６Ｃは１６Ａと
同一の増幅器、２８Ｂは２８Ａと同一の差動増幅器、Ｓ
B 、ＶH は、それぞれ、校正信号、駆動回路６の出力で
ある。
一例を示すブロック図である。図中、１６Ｃは１６Ａと
同一の増幅器、２８Ｂは２８Ａと同一の差動増幅器、Ｓ
B 、ＶH は、それぞれ、校正信号、駆動回路６の出力で
ある。
【００２６】次にこの発明の実施の形態２による磁力計
の動作について説明する。先ず、ＳＱＵＩＤ１を液体ヘ
リウムに浸す等して冷却し超伝導状態に転移させ、被測
定磁界中で積分器スイッチ１４を開いた時刻に於けるＳ
ＱＵＩＤ鎖交磁束を出力零の原点とし、そこからの鎖交
磁束の変化量を磁界変化量に相当する電圧ＶH として出
力する。
の動作について説明する。先ず、ＳＱＵＩＤ１を液体ヘ
リウムに浸す等して冷却し超伝導状態に転移させ、被測
定磁界中で積分器スイッチ１４を開いた時刻に於けるＳ
ＱＵＩＤ鎖交磁束を出力零の原点とし、そこからの鎖交
磁束の変化量を磁界変化量に相当する電圧ＶH として出
力する。
【００２７】つまり、ＳＱＵＩＤ１の動作点は通常図９
のＡ点の位置にあり全波整流状の信号を出力するが、被
測定磁界が増減して例えば図９のＢ、Ｃの位置に移動す
ると、変調信号ＯS と正相、逆相の正弦波状の信号を出
力し、次に駆動回路６によって磁界変化量に相当する電
圧ＶH を出力すると共にこの電圧ＶH を超伝導リング３
に帰還させ瞬時にＡ点の位置に戻す。
のＡ点の位置にあり全波整流状の信号を出力するが、被
測定磁界が増減して例えば図９のＢ、Ｃの位置に移動す
ると、変調信号ＯS と正相、逆相の正弦波状の信号を出
力し、次に駆動回路６によって磁界変化量に相当する電
圧ＶH を出力すると共にこの電圧ＶH を超伝導リング３
に帰還させ瞬時にＡ点の位置に戻す。
【００２８】この時、電源変動等によって上記プリアン
プ８出力の位相変動、振幅変動が生じると、これら変動
分に比例して位相検波の出力が変動し最終的に上記積分
器の出力信号が変動して計測誤差を生じようとするが、
上記基準信号発生回路１７、電流源１８、磁界発生コイ
ル１９及びバンドパスフィルタ２１により、実施形態１
と全く同様に校正用の基準信号ＳK ／校正信号ＳB を発
生／算出し、さらに、上記比較回路２２で磁力計の変動
分を変動信号ＳO として出力する一方、上記校正信号Ｓ
B 、駆動回路６の出力ＶH は、それぞれ、校正信号除去
回路３１の増幅器１６Ｃ、差動増幅器２８Ｂに入力され
て、先ず校正信号ＳB の振幅が駆動回路６の出力ＶH に
含まれている校正信号の振幅に合わされて、次に、上記
差動増幅器２８Ｂにより駆動回路６の出力ＶH から上記
振幅の合わせた校正信号を減算して上記駆動回路６の出
力ＶH に含まれている校正信号を除去し磁界計測信号Ｖ
Fのみを取り出す。
プ８出力の位相変動、振幅変動が生じると、これら変動
分に比例して位相検波の出力が変動し最終的に上記積分
器の出力信号が変動して計測誤差を生じようとするが、
上記基準信号発生回路１７、電流源１８、磁界発生コイ
ル１９及びバンドパスフィルタ２１により、実施形態１
と全く同様に校正用の基準信号ＳK ／校正信号ＳB を発
生／算出し、さらに、上記比較回路２２で磁力計の変動
分を変動信号ＳO として出力する一方、上記校正信号Ｓ
B 、駆動回路６の出力ＶH は、それぞれ、校正信号除去
回路３１の増幅器１６Ｃ、差動増幅器２８Ｂに入力され
て、先ず校正信号ＳB の振幅が駆動回路６の出力ＶH に
含まれている校正信号の振幅に合わされて、次に、上記
差動増幅器２８Ｂにより駆動回路６の出力ＶH から上記
振幅の合わせた校正信号を減算して上記駆動回路６の出
力ＶH に含まれている校正信号を除去し磁界計測信号Ｖ
Fのみを取り出す。
【００２９】次に上記磁界計測信号ＶF 、変動信号ＳO
を上記補正回路２３に送り込み、実施形態１と全く同様
の方法で磁力計の変動分を打ち消す。
を上記補正回路２３に送り込み、実施形態１と全く同様
の方法で磁力計の変動分を打ち消す。
【００３０】実施の形態３．図６はこの発明の実施の形
態３を示すブロック図である。図中、１、２、６、１７
〜２３は実施形態１と同一のもの、３２は上記比較回路
２２の出力を基にＳＱＵＩＤ及び回路の良否を判別する
良否判別回路である。
態３を示すブロック図である。図中、１、２、６、１７
〜２３は実施形態１と同一のもの、３２は上記比較回路
２２の出力を基にＳＱＵＩＤ及び回路の良否を判別する
良否判別回路である。
【００３１】図７は上記良否判別回路３２の構成の一例
を示すブロック図である。図中、３３Ａ、３３Ｂはコン
パレータ、３４Ａ、３４Ｂは基準電圧源、ＳO は変動信
号である。
を示すブロック図である。図中、３３Ａ、３３Ｂはコン
パレータ、３４Ａ、３４Ｂは基準電圧源、ＳO は変動信
号である。
【００３２】次にこの発明の実施の形態３による磁力計
の動作について説明する。先ず、ＳＱＵＩＤ１を液体ヘ
リウムに浸す等して冷却し超伝導状態に転移させ、被測
定磁界中で積分器スイッチ１４を開いた時刻に於けるＳ
ＱＵＩＤ鎖交磁束を出力零の原点とし、そこからの鎖交
磁束の変化量を磁界変化量に相当する電圧ＶH として出
力する。
の動作について説明する。先ず、ＳＱＵＩＤ１を液体ヘ
リウムに浸す等して冷却し超伝導状態に転移させ、被測
定磁界中で積分器スイッチ１４を開いた時刻に於けるＳ
ＱＵＩＤ鎖交磁束を出力零の原点とし、そこからの鎖交
磁束の変化量を磁界変化量に相当する電圧ＶH として出
力する。
【００３３】つまり、ＳＱＵＩＤ１の動作点は通常図９
のＡ点の位置にあり全波整流状の信号を出力するが、被
測定磁界が増減して例えば図９のＢ、Ｃの位置に移動す
ると、変調信号ＯS と正相、逆相の正弦波状の信号を出
力し、次に駆動回路６によって磁界変化量に相当する電
圧ＶH を出力すると共にこの電圧ＶH を超伝導リング３
に帰還させ瞬時にＡ点の位置に戻す。
のＡ点の位置にあり全波整流状の信号を出力するが、被
測定磁界が増減して例えば図９のＢ、Ｃの位置に移動す
ると、変調信号ＯS と正相、逆相の正弦波状の信号を出
力し、次に駆動回路６によって磁界変化量に相当する電
圧ＶH を出力すると共にこの電圧ＶH を超伝導リング３
に帰還させ瞬時にＡ点の位置に戻す。
【００３４】この時、温度、電源変動等によって上記プ
リアンプ８出力の位相変動、振幅変動が生じると、これ
ら変動分に比例して位相検波の出力が変動し最終的に上
記積分器の出力信号が変動して計測誤差を生じようとす
るが、上記基準信号発生回路１７、電流源１８、磁界発
生コイル１９及びバンドパスフィルタ２１により、実施
形態１と全く同様に校正用の基準信号ＳK ／校正信号Ｓ
B を発生／算出して、上記比較回路２２で磁力計の変動
分を変動信号ＳO として出力し、また、上記フィルタ２
０により上記駆動回路６の出力ＶH に含まれている校正
信号を除去して磁界計測信号ＶF のみを取り出す。
リアンプ８出力の位相変動、振幅変動が生じると、これ
ら変動分に比例して位相検波の出力が変動し最終的に上
記積分器の出力信号が変動して計測誤差を生じようとす
るが、上記基準信号発生回路１７、電流源１８、磁界発
生コイル１９及びバンドパスフィルタ２１により、実施
形態１と全く同様に校正用の基準信号ＳK ／校正信号Ｓ
B を発生／算出して、上記比較回路２２で磁力計の変動
分を変動信号ＳO として出力し、また、上記フィルタ２
０により上記駆動回路６の出力ＶH に含まれている校正
信号を除去して磁界計測信号ＶF のみを取り出す。
【００３５】次に上記磁界計測信号ＶF 、変動信号ＳO
を上記補正回路２３に送り込み、実施形態１と全く同様
の方法で磁力計の変動分を打ち消すと共に上記変動信号
ＳOを良否判別回路３２のコンパレータ、３３Ａ、３３
Ｂ及び基準電圧源３４Ａ、３４Ｂで構成されたウィンド
ウコンパレータに送り込み、基準電圧源３３Ａ、３３Ｂ
で、例えば、ＤＣ電圧に変換された基準信号の１／２、
２倍にそれぞれ設定されている下限値、上限値の範囲内
に入っているか否か判別し、範囲外の時には良否判別信
号ＶF をＬｏｗレベルにしてＳＱＵＩＤ１及び駆動回路
６に異常があることを報知する。
を上記補正回路２３に送り込み、実施形態１と全く同様
の方法で磁力計の変動分を打ち消すと共に上記変動信号
ＳOを良否判別回路３２のコンパレータ、３３Ａ、３３
Ｂ及び基準電圧源３４Ａ、３４Ｂで構成されたウィンド
ウコンパレータに送り込み、基準電圧源３３Ａ、３３Ｂ
で、例えば、ＤＣ電圧に変換された基準信号の１／２、
２倍にそれぞれ設定されている下限値、上限値の範囲内
に入っているか否か判別し、範囲外の時には良否判別信
号ＶF をＬｏｗレベルにしてＳＱＵＩＤ１及び駆動回路
６に異常があることを報知する。
【００３６】尚、実施形態１〜３では、ＳＱＵＩＤ１は
超伝導リング中に２つのジョセフソン素子を含み直流バ
イアス電流を流して駆動するＤＣ−ＳＱＵＩＤを例とし
て説明を行ったが、超伝導リング中に１つのジョセフソ
ン素子を含み交流バイアス電流で駆動するＲＦ−ＳＱＵ
ＩＤを用いることもできる。
超伝導リング中に２つのジョセフソン素子を含み直流バ
イアス電流を流して駆動するＤＣ−ＳＱＵＩＤを例とし
て説明を行ったが、超伝導リング中に１つのジョセフソ
ン素子を含み交流バイアス電流で駆動するＲＦ−ＳＱＵ
ＩＤを用いることもできる。
【００３７】
【発明の効果】この発明は、ＳＱＵＩＤと、上記ＳＱＵ
ＩＤを駆動する駆動回路とを備えた従来の磁力計に校正
用の磁界を発生させる基準信号発生回路、電流源及び磁
界発生コイルと、上記駆動回路の出力から校正信号を取
り出し基準信号と比較するバンドパスフィルタ及び比較
回路と、上記駆動回路の出力から校正信号を除去するフ
ィルタと、このフィルタの出力と上記比較回路の出力を
基に磁力計の出力変動を補正する補正回路を追加するこ
とにより、プリアンプ出力の位相変動、振幅変動等によ
る磁力計の出力変動が生じないようにしたので計測誤差
の少ない磁力計を得ることができる。
ＩＤを駆動する駆動回路とを備えた従来の磁力計に校正
用の磁界を発生させる基準信号発生回路、電流源及び磁
界発生コイルと、上記駆動回路の出力から校正信号を取
り出し基準信号と比較するバンドパスフィルタ及び比較
回路と、上記駆動回路の出力から校正信号を除去するフ
ィルタと、このフィルタの出力と上記比較回路の出力を
基に磁力計の出力変動を補正する補正回路を追加するこ
とにより、プリアンプ出力の位相変動、振幅変動等によ
る磁力計の出力変動が生じないようにしたので計測誤差
の少ない磁力計を得ることができる。
【００３８】また、この発明は、ＳＱＵＩＤと、上記Ｓ
ＱＵＩＤを駆動する駆動回路とを備えた従来の磁力計に
校正用の磁界を発生させる基準信号発生回路、電流源及
び磁界発生コイルと、上記駆動回路の出力から校正信号
を取り出し基準信号と比較するバンドパスフィルタ及び
比較回路と、上記駆動回路の出力から校正信号を除去す
る校正信号除去回路と、この校正信号除去回路の出力と
上記比較回路の出力を基に磁力計の出力変動を補正する
補正回路を追加することにより、プリアンプ出力の位相
変動、振幅変動等による磁力計の出力変動が生じないよ
うにしたので計測誤差の少ない磁力計を得ることができ
る。
ＱＵＩＤを駆動する駆動回路とを備えた従来の磁力計に
校正用の磁界を発生させる基準信号発生回路、電流源及
び磁界発生コイルと、上記駆動回路の出力から校正信号
を取り出し基準信号と比較するバンドパスフィルタ及び
比較回路と、上記駆動回路の出力から校正信号を除去す
る校正信号除去回路と、この校正信号除去回路の出力と
上記比較回路の出力を基に磁力計の出力変動を補正する
補正回路を追加することにより、プリアンプ出力の位相
変動、振幅変動等による磁力計の出力変動が生じないよ
うにしたので計測誤差の少ない磁力計を得ることができ
る。
【００３９】この発明は、ＳＱＵＩＤと、上記ＳＱＵＩ
Ｄを駆動する駆動回路とを備えた従来の磁力計に校正用
の磁界を発生させる基準信号発生回路、電流源及び磁界
発生コイルと、上記駆動回路の出力から校正信号を取り
出し基準信号と比較するバンドパスフィルタ及び比較回
路と、上記駆動回路の出力から校正信号を除去するフィ
ルタと、このフィルタの出力と上記比較回路の出力を基
に磁力計の出力変動を補正する補正回路を追加し、さら
に、上記比較回路の出力がある一定の範囲を越えた場合
に異常を知らせる良否判別回路を追加することにより、
プリアンプ出力の位相変動、振幅変動等による磁力計の
出力変動が生じないようにし、かつ、上記比較回路の出
力がある一定の範囲を越えた場合に異常を知らせるよう
にしたので計測誤差の少ない磁力計を得るとともにＳＱ
ＵＩＤや電子回路の良否判別が自動的にできる。
Ｄを駆動する駆動回路とを備えた従来の磁力計に校正用
の磁界を発生させる基準信号発生回路、電流源及び磁界
発生コイルと、上記駆動回路の出力から校正信号を取り
出し基準信号と比較するバンドパスフィルタ及び比較回
路と、上記駆動回路の出力から校正信号を除去するフィ
ルタと、このフィルタの出力と上記比較回路の出力を基
に磁力計の出力変動を補正する補正回路を追加し、さら
に、上記比較回路の出力がある一定の範囲を越えた場合
に異常を知らせる良否判別回路を追加することにより、
プリアンプ出力の位相変動、振幅変動等による磁力計の
出力変動が生じないようにし、かつ、上記比較回路の出
力がある一定の範囲を越えた場合に異常を知らせるよう
にしたので計測誤差の少ない磁力計を得るとともにＳＱ
ＵＩＤや電子回路の良否判別が自動的にできる。
【図１】 この発明の実施の形態１を示すブロック図で
ある。
ある。
【図２】 比較回路２２の構成の一例を示すブロック図
である。
である。
【図３】 補正回路２３の構成の一例を示すブロック図
である。
である。
【図４】 この発明の実施の形態２を示すブロック図で
ある。
ある。
【図５】 校正信号除去回路３１の構成の一例を示すブ
ロック図である。
ロック図である。
【図６】 この発明の実施の形態３を示すブロック図で
ある。
ある。
【図７】 良否判別回路３２の構成の一例を示すブロッ
ク図である。
ク図である。
【図８】 従来の磁力計の一実施例を示すブロック図で
ある。
ある。
【図９】 ＤＣ−ＳＱＵＩＤが外部磁界を計測する原理
を示す図である。
を示す図である。
１ ＳＱＵＩＤ、２ センサブロック、３ 超伝導リン
グ、４Ａ、４Ｂ ジョセフソン接合、５ 変調帰還コイ
ル、６ 駆動回路、７ バイアス回路、８ プリアン
プ、９ 乗算器、１０ 位相器、１１ 発振器、１２
積分器、１３ 帰還抵抗器、１４ 積分器スイッチ、１
５ 積分コンデンサ、１６Ａ、１６Ｂ、１６Ｃ 増幅
器、１７ 基準信号発生回路、１８ 電流源、１９ 磁
界発生コイル、２０ フィルタ、２１ バンドパスフィ
ルタ、２２ 比較回路、２３ 補正回路、２４Ａ、２４
Ｂ ブリッジ整流回路、２５Ａ、２５Ｂ 平滑用抵抗
器、２６Ａ、２６Ｂ、２６Ｃ、２６Ｄ 平滑用コンデン
サ、２７Ａ、２７Ｂ ノッチフィルタ、２８Ａ、２８Ｂ
差動増幅器、２９ 電圧分圧用抵抗器、３０ ＦＥ
Ｔ、３１ 校正信号除去回路、３２ 良否判別回路、３
３Ａ、３３Ｂ コンパレータ、３４Ａ、３４Ｂ 基準電
圧源。
グ、４Ａ、４Ｂ ジョセフソン接合、５ 変調帰還コイ
ル、６ 駆動回路、７ バイアス回路、８ プリアン
プ、９ 乗算器、１０ 位相器、１１ 発振器、１２
積分器、１３ 帰還抵抗器、１４ 積分器スイッチ、１
５ 積分コンデンサ、１６Ａ、１６Ｂ、１６Ｃ 増幅
器、１７ 基準信号発生回路、１８ 電流源、１９ 磁
界発生コイル、２０ フィルタ、２１ バンドパスフィ
ルタ、２２ 比較回路、２３ 補正回路、２４Ａ、２４
Ｂ ブリッジ整流回路、２５Ａ、２５Ｂ 平滑用抵抗
器、２６Ａ、２６Ｂ、２６Ｃ、２６Ｄ 平滑用コンデン
サ、２７Ａ、２７Ｂ ノッチフィルタ、２８Ａ、２８Ｂ
差動増幅器、２９ 電圧分圧用抵抗器、３０ ＦＥ
Ｔ、３１ 校正信号除去回路、３２ 良否判別回路、３
３Ａ、３３Ｂ コンパレータ、３４Ａ、３４Ｂ 基準電
圧源。
Claims (3)
- 【請求項１】 超伝導量子干渉素子と、上記超伝導量子
干渉素子を駆動し所望の出力を得る駆動回路と、使用周
波数帯域外の正弦波の基準信号を発生する基準信号発生
回路と、上記基準信号発生回路の出力を基に校正磁界用
の電流を発生する電流源と、上記超伝導量子干渉素子の
周囲に配置し上記電流源の電流を用いて校正用磁界を発
生する磁界発生コイルと、上記駆動回路の出力から校正
信号を除去するフィルタと、上記駆動回路の出力から校
正信号を取り出すバンドパスフィルタと、上記バンドパ
スフィルタの出力と上記基準信号発生回路の基準信号の
大小を比較する比較回路と、上記比較回路の出力を基に
上記駆動回路の出力変動を補正する補正回路とを備えた
ことを特徴とする磁力計。 - 【請求項２】 超伝導量子干渉素子と、上記超伝導量子
干渉素子を駆動し所望の出力を得る駆動回路と、使用周
波数帯域外の正弦波の基準信号を発生する基準信号発生
回路と、上記基準信号発生回路の出力を基に校正磁界用
の電流を発生する電流源と、上記超伝導量子干渉素子の
周囲に配置し上記電流源の電流を用いて校正用磁界を発
生する磁界発生コイルと、上記駆動回路の出力から校正
信号を取り出すバンドパスフィルタと、上記バンドパス
フィルタの出力を基に上記駆動回路の出力に含まれてい
る校正信号を除去する校正信号除去回路と、上記バンド
パスフィルタの出力と上記基準信号発生回路の基準信号
の大小を比較する比較回路と、上記比較回路の出力を基
に上記駆動回路の出力変動を補正する補正回路とを備え
たことを特徴とする磁力計。 - 【請求項３】 上記比較回路の出力がある一定の範囲を
越えた場合に異常を知らせる良否判別回路を備えたこと
を特徴とする請求項１又は２記載の磁力計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7207996A JPH09257895A (ja) | 1996-03-27 | 1996-03-27 | 磁力計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7207996A JPH09257895A (ja) | 1996-03-27 | 1996-03-27 | 磁力計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09257895A true JPH09257895A (ja) | 1997-10-03 |
Family
ID=13479054
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7207996A Pending JPH09257895A (ja) | 1996-03-27 | 1996-03-27 | 磁力計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09257895A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6949926B2 (en) | 2002-06-14 | 2005-09-27 | Hitachi High-Technologies Corporation | Biomagnetic measurement apparatus |
| CN104569884A (zh) * | 2013-10-18 | 2015-04-29 | 中国科学院上海微***与信息技术研究所 | 一种超导量子干涉器件三轴磁强计的标定装置及方法 |
-
1996
- 1996-03-27 JP JP7207996A patent/JPH09257895A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6949926B2 (en) | 2002-06-14 | 2005-09-27 | Hitachi High-Technologies Corporation | Biomagnetic measurement apparatus |
| CN104569884A (zh) * | 2013-10-18 | 2015-04-29 | 中国科学院上海微***与信息技术研究所 | 一种超导量子干涉器件三轴磁强计的标定装置及方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS5821171A (ja) | センサ−のインピ−ダンスを測定する方法と回路装置 | |
| US4004217A (en) | Flux locked loop | |
| JP2007033286A (ja) | インピーダンス測定方法およびインピーダンス測定器 | |
| US4851776A (en) | Weak field measuring magnetometer with flux modulated current conducting Josephson junction | |
| JPH0395475A (ja) | 超電導量子干渉デバイス内の電流分布雑音を抑制する方法 | |
| EP0499968A2 (en) | Highly sensitive magnetic field detecting device | |
| US7561451B2 (en) | Power converter apparatus and methods using a phase reference derived from a DC bus voltage | |
| JPH09257895A (ja) | 磁力計 | |
| JPS5839355B2 (ja) | 不つりあい測定あるいは振動分析に用いる電気信号の掛算方法とその装置 | |
| EP0119711B1 (en) | Lock-in amplifiers | |
| JPH07280903A (ja) | 超伝導磁力計 | |
| US5027069A (en) | Circuit arrangement for a gradiometer having superconducting quantum interferometer (SQUID) for measuring low-intensity biomagnetic fields | |
| JP3545886B2 (ja) | 絶縁抵抗測定装置 | |
| JPH03131781A (ja) | Ｓｑｕｉｄ磁束計計測システム | |
| RU2380718C1 (ru) | Цифровой феррозондовый магнитометр | |
| JPH0499980A (ja) | 超伝導磁力計 | |
| US4628257A (en) | Wattmeter | |
| JP4269445B2 (ja) | Ｓｑｕｉｄ磁場検出装置 | |
| JP3208429B2 (ja) | 復調器およびそれを用いた変位測定器 | |
| JPH09257896A (ja) | 磁力計 | |
| JPH05264698A (ja) | Ｓｑｕｉｄ測定装置 | |
| JPH11118894A (ja) | Ｓｑｕｉｄ磁束計 | |
| JP2503390B2 (ja) | スキッド磁力計 | |
| JPH01217981A (ja) | 超電導量子干渉素子 | |
| JP3062506B1 (ja) | インピ―ダンス測定装置 |