JPH09257467A - 光学式変位測定装置 - Google Patents
光学式変位測定装置Info
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- JPH09257467A JPH09257467A JP8065891A JP6589196A JPH09257467A JP H09257467 A JPH09257467 A JP H09257467A JP 8065891 A JP8065891 A JP 8065891A JP 6589196 A JP6589196 A JP 6589196A JP H09257467 A JPH09257467 A JP H09257467A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 対象面（被検知物体）の傾きや装置の設置角
度の許容量が大きく、検出誤差が小さく、雑音が生じ難
い光学式変位測定装置を提供することである。 【解決手段】 被検知物体９０に対して光ビームを投光
する投光手段１と、投光手段１の側方に所定間隔を置い
て配設され、被検知物体９０による光ビームの反射光を
集光する集光手段２と、集光手段２の集光面に配設さ
れ、集光スポットの移動により一対の検知信号を出力す
るＰＳＤ３とを備え、投光手段１を、ＬＤ１１、コリメ
ータレンズ１２、対物レンズ１３、円形開口１４、光学
フィルタ１５で構成し、円形開口１４をコリメータレン
ズ１２と対物レンズ１３との間の光路上に配置し、円形
開口１４の開口径を対物レンズ１３の入射瞳径よりも小
さくし、被検知物体９０に対する投光スポットの強度分
布がほぼフラットになるようにした。
度の許容量が大きく、検出誤差が小さく、雑音が生じ難
い光学式変位測定装置を提供することである。 【解決手段】 被検知物体９０に対して光ビームを投光
する投光手段１と、投光手段１の側方に所定間隔を置い
て配設され、被検知物体９０による光ビームの反射光を
集光する集光手段２と、集光手段２の集光面に配設さ
れ、集光スポットの移動により一対の検知信号を出力す
るＰＳＤ３とを備え、投光手段１を、ＬＤ１１、コリメ
ータレンズ１２、対物レンズ１３、円形開口１４、光学
フィルタ１５で構成し、円形開口１４をコリメータレン
ズ１２と対物レンズ１３との間の光路上に配置し、円形
開口１４の開口径を対物レンズ１３の入射瞳径よりも小
さくし、被検知物体９０に対する投光スポットの強度分
布がほぼフラットになるようにした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、三角測量方式にて
被検知物体を検出する光学式変位測定装置に関する。
被検知物体を検出する光学式変位測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】この種の光学式変位測定装置の中で、距
離を測定する装置や物体を検知する装置としては、特開
昭５９−１３８９１６号公報や特公平６−５１６５号公
報に記載されたものがある。前者の公報に記載された
「距離測定装置」は、対象面からの反射ビームを、シャ
インプルーフ条件を満たすように配した撮像レンズを介
して一次元光検出器に結像し、電気的処理により距離を
検出するものにおいて、撮像レンズの面を観察軸に対し
て観察側に鋭角に傾けて配したものである。つまり、シ
ャインプルーフ条件を満たす検出光学系において、撮像
レンズ（受光レンズ）の受光面を傾けることによって、
半導***置検知素子（ＰＳＤ）に対する入射角を小さく
し、表面反射による受光量劣化を防ぎ、Ｓ／Ｎ比を改善
しようとするものである。
離を測定する装置や物体を検知する装置としては、特開
昭５９−１３８９１６号公報や特公平６−５１６５号公
報に記載されたものがある。前者の公報に記載された
「距離測定装置」は、対象面からの反射ビームを、シャ
インプルーフ条件を満たすように配した撮像レンズを介
して一次元光検出器に結像し、電気的処理により距離を
検出するものにおいて、撮像レンズの面を観察軸に対し
て観察側に鋭角に傾けて配したものである。つまり、シ
ャインプルーフ条件を満たす検出光学系において、撮像
レンズ（受光レンズ）の受光面を傾けることによって、
半導***置検知素子（ＰＳＤ）に対する入射角を小さく
し、表面反射による受光量劣化を防ぎ、Ｓ／Ｎ比を改善
しようとするものである。
【０００３】又、後者の公報に記載された「光電式物体
検知装置」は、投光手段の側方に所定間隔を置いて配設
され、被検知物体による光ビームの反射光を集光する集
光手段を、凸レンズよりなる受光レンズと、受光レンズ
の前面側に設けたスリット板とで構成し、スリット板の
スリットを縦長とし、集光スポットの移動方向の収差が
小さくなるようにしたものである。
検知装置」は、投光手段の側方に所定間隔を置いて配設
され、被検知物体による光ビームの反射光を集光する集
光手段を、凸レンズよりなる受光レンズと、受光レンズ
の前面側に設けたスリット板とで構成し、スリット板の
スリットを縦長とし、集光スポットの移動方向の収差が
小さくなるようにしたものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前者の
公報に記載されたものでは、同一受光レンズ径であって
も、対象面からみた立体角が小さくなるので、対象面の
傾き角或いは装置の対象面との設置角度の許容量が小さ
いという問題点がある。後者の公報に記載されたもので
も、同一受光レンズ径であっても、対象面からみた立体
角が小さくなるので、対象面の傾き角或いは装置の対象
面との設置角度の許容量が小さい。又、スリット板によ
り受光量を遮断しているので、反射率の小さい被検知物
体では、Ｓ／Ｎ比の低下が生じる。この結果、被検知物
体に色むらがある場合や、被検知物体のエッジにおい
て、検出誤差が生じるという問題点がある。
公報に記載されたものでは、同一受光レンズ径であって
も、対象面からみた立体角が小さくなるので、対象面の
傾き角或いは装置の対象面との設置角度の許容量が小さ
いという問題点がある。後者の公報に記載されたもので
も、同一受光レンズ径であっても、対象面からみた立体
角が小さくなるので、対象面の傾き角或いは装置の対象
面との設置角度の許容量が小さい。又、スリット板によ
り受光量を遮断しているので、反射率の小さい被検知物
体では、Ｓ／Ｎ比の低下が生じる。この結果、被検知物
体に色むらがある場合や、被検知物体のエッジにおい
て、検出誤差が生じるという問題点がある。
【０００５】更に、前者のものでは、シャインプルーフ
条件を満たす検出光学系において、対象面に平行ビーム
光を投光しているが、平行ビーム光の一部が投光素子と
しての半導体レーザに戻ることがある。このような場
合、雑音が発生し、発光パワーが変動してしまうという
問題点がある。このことは、例えば「半導体レーザの自
己結合効果とその応用に関する研究」、三橋氏、電総研
報告書、No.866, May, 1986 、「半導体レーザの戻り光
誘起雑音」、藤田他、NATIONAL TECHNICALREPORT, VOL.
32, NO.2, 1986に記載されている周知事項である。
条件を満たす検出光学系において、対象面に平行ビーム
光を投光しているが、平行ビーム光の一部が投光素子と
しての半導体レーザに戻ることがある。このような場
合、雑音が発生し、発光パワーが変動してしまうという
問題点がある。このことは、例えば「半導体レーザの自
己結合効果とその応用に関する研究」、三橋氏、電総研
報告書、No.866, May, 1986 、「半導体レーザの戻り光
誘起雑音」、藤田他、NATIONAL TECHNICALREPORT, VOL.
32, NO.2, 1986に記載されている周知事項である。
【０００６】一方、平行ビーム光でなくて集光ビーム光
にしても、距離測定の場合は、一旦平行光にした後、集
光レンズにて集光ビーム光にしたり、或いは戻り光雑音
を抑圧するための対策に高周波重畳によるレーザの多モ
ード化を用いたりするが、いずれもコストが上昇するだ
けでなく、完全に雑音を抑圧できないという問題点があ
る。
にしても、距離測定の場合は、一旦平行光にした後、集
光レンズにて集光ビーム光にしたり、或いは戻り光雑音
を抑圧するための対策に高周波重畳によるレーザの多モ
ード化を用いたりするが、いずれもコストが上昇するだ
けでなく、完全に雑音を抑圧できないという問題点があ
る。
【０００７】従って、本発明は、そのような問題点に着
目してなされたもので、対象面（被検知物体）の傾きや
装置の設置角度の許容量が大きく、検出誤差が小さく、
雑音が生じ難い光学式変位測定装置を提供することを目
的とする。
目してなされたもので、対象面（被検知物体）の傾きや
装置の設置角度の許容量が大きく、検出誤差が小さく、
雑音が生じ難い光学式変位測定装置を提供することを目
的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明の請求項１記載の光学式変位測定装置は、被
検知物体に対して光ビームを投光する投光手段と、この
投光手段の側方に所定間隔を置いて配設され、被検知物
体による光ビームの反射光を集光する集光手段と、この
集光手段の集光面に配設され、集光スポットの移動によ
り一対の検知信号を出力する光点位置検出素子と、この
光点位置検出素子の一対の検知信号に基づいて被検知物
体を判別する判別手段とを備えるものにおいて、前記投
光手段が、投光素子と、投光素子からの光ビームを平行
光にするコリメータレンズと、コリメータレンズを通過
した光を被検知物体に投光する対物レンズと、コリメー
タレンズと対物レンズとの間の光路上に配置された円形
開口とで構成され、前記円形開口の開口径を対物レンズ
の入射瞳径よりも小さくし、被検知物体に対する投光ス
ポットの強度分布がほぼフラットになるようにしたこと
を特徴とする。
に、本発明の請求項１記載の光学式変位測定装置は、被
検知物体に対して光ビームを投光する投光手段と、この
投光手段の側方に所定間隔を置いて配設され、被検知物
体による光ビームの反射光を集光する集光手段と、この
集光手段の集光面に配設され、集光スポットの移動によ
り一対の検知信号を出力する光点位置検出素子と、この
光点位置検出素子の一対の検知信号に基づいて被検知物
体を判別する判別手段とを備えるものにおいて、前記投
光手段が、投光素子と、投光素子からの光ビームを平行
光にするコリメータレンズと、コリメータレンズを通過
した光を被検知物体に投光する対物レンズと、コリメー
タレンズと対物レンズとの間の光路上に配置された円形
開口とで構成され、前記円形開口の開口径を対物レンズ
の入射瞳径よりも小さくし、被検知物体に対する投光ス
ポットの強度分布がほぼフラットになるようにしたこと
を特徴とする。
【０００９】又、請求項２記載の光学式変位測定装置
は、被検知物体に対して光ビームを投光する投光手段
と、この投光手段の側方に所定間隔を置いて配設され、
被検知物体による光ビームの反射光を集光する集光手段
と、この集光手段の集光面に配設され、集光スポットの
移動により一対の検知信号を出力する光点位置検出素子
と、この光点位置検出素子の一対の検知信号に基づいて
被検知物体を判別する判別手段とを備えるものにおい
て、前記投光手段が、投光素子と、投光素子からの光ビ
ームを平行光にするコリメータレンズと、コリメータレ
ンズを通過した光を被検知物体に投光する対物レンズ
と、投光素子とコリメータレンズとの間の光路上に配置
された円形開口とで構成され、前記円形開口の開口径を
コリメータレンズの入射瞳径よりも小さくし、コリメー
タレンズを通過する光の強度分布がほぼフラットになる
ようにしたことを特徴とする。
は、被検知物体に対して光ビームを投光する投光手段
と、この投光手段の側方に所定間隔を置いて配設され、
被検知物体による光ビームの反射光を集光する集光手段
と、この集光手段の集光面に配設され、集光スポットの
移動により一対の検知信号を出力する光点位置検出素子
と、この光点位置検出素子の一対の検知信号に基づいて
被検知物体を判別する判別手段とを備えるものにおい
て、前記投光手段が、投光素子と、投光素子からの光ビ
ームを平行光にするコリメータレンズと、コリメータレ
ンズを通過した光を被検知物体に投光する対物レンズ
と、投光素子とコリメータレンズとの間の光路上に配置
された円形開口とで構成され、前記円形開口の開口径を
コリメータレンズの入射瞳径よりも小さくし、コリメー
タレンズを通過する光の強度分布がほぼフラットになる
ようにしたことを特徴とする。
【００１０】この請求項１及び請求項２記載の装置で
は、いずれも投光手段が投光素子、コリメータレンズ、
対物レンズ及び円形開口で構成され、そのうちの円形開
口が請求項１ではコリメータレンズと対物レンズとの間
の光路上に、請求項２では投光素子とコリメータレンズ
との間の光路上に、それぞれ配置されている。そして、
それぞれ円形開口の開口径を対物レンズ（請求項１）や
コリメータレンズ（請求項２）の入射瞳径よりも小さく
し、被検知物体に対する投光スポットの強度分布（請求
項１）やコリメータレンズを通過する光の強度分布（請
求項２）がほぼフラットになるようにしてある。つま
り、投光手段をコリメータ系とし、開口径の小さい円形
開口（ピンホール）を設け、ビーム光の強度分布の中心
部分のみを投光し、周辺部の光をカットすることによっ
て、対象面（被検知物体）に投光されるビームの強度分
布を矩形状としてある。この結果、対象面の傾きや装置
の設置角度の許容量が大きくなり、検出誤差が小さくな
る。
は、いずれも投光手段が投光素子、コリメータレンズ、
対物レンズ及び円形開口で構成され、そのうちの円形開
口が請求項１ではコリメータレンズと対物レンズとの間
の光路上に、請求項２では投光素子とコリメータレンズ
との間の光路上に、それぞれ配置されている。そして、
それぞれ円形開口の開口径を対物レンズ（請求項１）や
コリメータレンズ（請求項２）の入射瞳径よりも小さく
し、被検知物体に対する投光スポットの強度分布（請求
項１）やコリメータレンズを通過する光の強度分布（請
求項２）がほぼフラットになるようにしてある。つま
り、投光手段をコリメータ系とし、開口径の小さい円形
開口（ピンホール）を設け、ビーム光の強度分布の中心
部分のみを投光し、周辺部の光をカットすることによっ
て、対象面（被検知物体）に投光されるビームの強度分
布を矩形状としてある。この結果、対象面の傾きや装置
の設置角度の許容量が大きくなり、検出誤差が小さくな
る。
【００１１】請求項３記載の装置では、投光手段、コリ
メータレンズ及び円形開口を結ぶ光軸に対して、対物レ
ンズの光軸を、対物レンズの主点を中心に傾けて配置し
てあるので、雑音が生じ難く、発光パワーの変動が安定
する。請求項４記載の装置では、対物レンズの光出射側
に光学フィルタを配置し、対物レンズと光学フィルタを
一体化してあるので、組立調整が容易で、装置が安価に
なる。
メータレンズ及び円形開口を結ぶ光軸に対して、対物レ
ンズの光軸を、対物レンズの主点を中心に傾けて配置し
てあるので、雑音が生じ難く、発光パワーの変動が安定
する。請求項４記載の装置では、対物レンズの光出射側
に光学フィルタを配置し、対物レンズと光学フィルタを
一体化してあるので、組立調整が容易で、装置が安価に
なる。
【００１２】一方、請求項７記載の光学式変位測定装置
は、被検知物体に対して光ビームを投光する投光手段
と、この投光手段の側方に所定間隔を置いて配設され、
被検知物体による光ビームの反射光を集光する集光手段
と、この集光手段の集光面に配設され、集光スポットの
移動により一対の検知信号を出力する光点位置検出素子
と、この光点位置検出素子の一対の検知信号に基づいて
被検知物体を判別する判別手段とを備えるものにおい
て、前記光点位置検出素子を集光手段の光軸に平行にス
ライドさせる凹凸のレール構造を備え、光点位置検出素
子をスライドさせることにより、集光手段と光点位置検
出素子とがシャインプルーフ条件を満たすように配置さ
れていることを特徴とする。
は、被検知物体に対して光ビームを投光する投光手段
と、この投光手段の側方に所定間隔を置いて配設され、
被検知物体による光ビームの反射光を集光する集光手段
と、この集光手段の集光面に配設され、集光スポットの
移動により一対の検知信号を出力する光点位置検出素子
と、この光点位置検出素子の一対の検知信号に基づいて
被検知物体を判別する判別手段とを備えるものにおい
て、前記光点位置検出素子を集光手段の光軸に平行にス
ライドさせる凹凸のレール構造を備え、光点位置検出素
子をスライドさせることにより、集光手段と光点位置検
出素子とがシャインプルーフ条件を満たすように配置さ
れていることを特徴とする。
【００１３】この請求項７記載の装置では、凹凸のレー
ル構造により光点位置検出素子が集光手段の光軸に平行
に移動できるので、集光手段と光点位置検出素子との位
置関係をシャインプルーフ条件に合うように容易に調整
することができる。
ル構造により光点位置検出素子が集光手段の光軸に平行
に移動できるので、集光手段と光点位置検出素子との位
置関係をシャインプルーフ条件に合うように容易に調整
することができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、本発明を実施の形態に基づ
いて説明する。その一実施形態に係る光学式変位測定装
置の外観斜視図を図１に、その模式的上面図を図２に示
す。この測定装置は、被検知物体９０に対して光ビーム
を投光する投光手段１と、この投光手段１の側方に所定
間隔を置いて配設され、被検知物体９０による光ビーム
の反射光を集光する集光手段２と、この集光手段２の集
光面に配設され、集光スポットの移動により一対の検知
信号を出力する光点位置検出素子３と、この光点位置検
出素子３の一対の検知信号に基づいて被検知物体９０を
判別する判別手段（図示せず）とを備える。
いて説明する。その一実施形態に係る光学式変位測定装
置の外観斜視図を図１に、その模式的上面図を図２に示
す。この測定装置は、被検知物体９０に対して光ビーム
を投光する投光手段１と、この投光手段１の側方に所定
間隔を置いて配設され、被検知物体９０による光ビーム
の反射光を集光する集光手段２と、この集光手段２の集
光面に配設され、集光スポットの移動により一対の検知
信号を出力する光点位置検出素子３と、この光点位置検
出素子３の一対の検知信号に基づいて被検知物体９０を
判別する判別手段（図示せず）とを備える。
【００１５】投光手段１と受光手段２は、図示のような
形状のベース７に取付けられ、各々の投光軸Ｌ1 と受光
軸Ｌ2 が交差するように、互いに内向きに配置されてい
る。投光手段１は、投光素子として例えば半導体レーザ
（ＬＤ）１１と、ＬＤ１１からの光ビームを平行光にす
るコリメータレンズ１２と、コリメータレンズ１２を通
過した光を被検知物体９０に投光する対物レンズ１３
と、コリメータレンズ１２と対物レンズ１３との間の光
路上に配置された円形開口１４と、更に対物レンズ１３
の光出射側に配置された光学フィルタ１５とで構成され
る。円形開口１４の開口径は対物レンズ１３の入射瞳径
よりも小さく、被検知物体９０に対する投光スポットの
強度分布がほぼフラットになるようにしてある。
形状のベース７に取付けられ、各々の投光軸Ｌ1 と受光
軸Ｌ2 が交差するように、互いに内向きに配置されてい
る。投光手段１は、投光素子として例えば半導体レーザ
（ＬＤ）１１と、ＬＤ１１からの光ビームを平行光にす
るコリメータレンズ１２と、コリメータレンズ１２を通
過した光を被検知物体９０に投光する対物レンズ１３
と、コリメータレンズ１２と対物レンズ１３との間の光
路上に配置された円形開口１４と、更に対物レンズ１３
の光出射側に配置された光学フィルタ１５とで構成され
る。円形開口１４の開口径は対物レンズ１３の入射瞳径
よりも小さく、被検知物体９０に対する投光スポットの
強度分布がほぼフラットになるようにしてある。
【００１６】ＬＤ１１はＬＤ基板４１に実装され、ＬＤ
基板４１はネジ４２によりＬＤホルダ４３に固定され、
更にＬＤホルダ４３は、これをベース７から絶縁して電
気的ノイズからＬＤ１１を保護するための部材４５を介
してネジ４４によりベース７に固定されている。ＬＤホ
ルダ４３は、ＬＤ１１に対面して配置されたコリメータ
レンズ１２を有し、コリメータレンズ１２は、ＬＤホル
ダ４３にネジ４７によって固定された金具４６により所
定位置に押圧固定されている。
基板４１はネジ４２によりＬＤホルダ４３に固定され、
更にＬＤホルダ４３は、これをベース７から絶縁して電
気的ノイズからＬＤ１１を保護するための部材４５を介
してネジ４４によりベース７に固定されている。ＬＤホ
ルダ４３は、ＬＤ１１に対面して配置されたコリメータ
レンズ１２を有し、コリメータレンズ１２は、ＬＤホル
ダ４３にネジ４７によって固定された金具４６により所
定位置に押圧固定されている。
【００１７】コリメータレンズ１２に円形開口１４を介
して対面する対物レンズ１３は、対物レンズホルダ４８
に接着固定され、この対物レンズホルダ４８に光学フィ
ルタ１５が接着固定されている。又、対物レンズホルダ
４８の平行光入射側に円形開口１４が配されている。こ
の円形開口１４、対物レンズ１３及び光学フィルタ１５
が一体構造となった対物レンズホルダ４８は、ベース７
の前部７１に嵌挿され、例えば植込ボルトによって前部
７１に固定されている。
して対面する対物レンズ１３は、対物レンズホルダ４８
に接着固定され、この対物レンズホルダ４８に光学フィ
ルタ１５が接着固定されている。又、対物レンズホルダ
４８の平行光入射側に円形開口１４が配されている。こ
の円形開口１４、対物レンズ１３及び光学フィルタ１５
が一体構造となった対物レンズホルダ４８は、ベース７
の前部７１に嵌挿され、例えば植込ボルトによって前部
７１に固定されている。
【００１８】この実施形態では、図５に示すように対物
レンズホルダ４８は、対物レンズ１３の光軸Ｌ３が投光
軸Ｌ1 に対して対物レンズ１３の主点を中心に４度下向
きに傾くように配置してある。こうすることで、ＬＤ１
１への戻り光（被検知物体９０からの反射光の一部がＬ
Ｄ１１に戻る光）を完全になくすことができるので、雑
音が生じ難く、発光パワーの変動が安定する。又、ＬＤ
基板４１は、図に矢印で示す方向、即ち投光軸Ｌ1 に平
行な位置と垂直な位置を微調整することができる。これ
は、例えばＬＤ基板４１のネジ４２用の孔をやや大きめ
に形成することで実現できる。
レンズホルダ４８は、対物レンズ１３の光軸Ｌ３が投光
軸Ｌ1 に対して対物レンズ１３の主点を中心に４度下向
きに傾くように配置してある。こうすることで、ＬＤ１
１への戻り光（被検知物体９０からの反射光の一部がＬ
Ｄ１１に戻る光）を完全になくすことができるので、雑
音が生じ難く、発光パワーの変動が安定する。又、ＬＤ
基板４１は、図に矢印で示す方向、即ち投光軸Ｌ1 に平
行な位置と垂直な位置を微調整することができる。これ
は、例えばＬＤ基板４１のネジ４２用の孔をやや大きめ
に形成することで実現できる。
【００１９】受光手段２は、受光レンズ２１と、受光レ
ンズ２１の光入射側に配置された光学フィルタ２２とで
構成され、受光レンズ２１は受光レンズホルダ５１に接
着固定されると共に、光学フィルタ２２も受光レンズホ
ルダ５１の反射光入射側に接着固定されている。この受
光レンズ２１と光学フィルタ２２が一体構造となった受
光レンズホルダ５１は、ベース７の前部７１に嵌挿さ
れ、例えば植込ボルトによって前部７１に固定されてい
る。受光レンズ２１の光軸は、受光軸Ｌ2 と合致し且つ
平行に設定されている。
ンズ２１の光入射側に配置された光学フィルタ２２とで
構成され、受光レンズ２１は受光レンズホルダ５１に接
着固定されると共に、光学フィルタ２２も受光レンズホ
ルダ５１の反射光入射側に接着固定されている。この受
光レンズ２１と光学フィルタ２２が一体構造となった受
光レンズホルダ５１は、ベース７の前部７１に嵌挿さ
れ、例えば植込ボルトによって前部７１に固定されてい
る。受光レンズ２１の光軸は、受光軸Ｌ2 と合致し且つ
平行に設定されている。
【００２０】受光レンズ２１を通過した光を受光する光
点位置検出素子３は、例えばＰＩＮ型ホトダイオードに
属する半導***置検知素子（ＰＳＤ）であり、このＰＳ
Ｄ３はＰＳＤ基板５２に実装されている。ＰＳＤ基板５
２はＰＳＤホルダ５３にネジ５４により固定される。Ｐ
ＳＤホルダ５３には、ＰＳＤ基板５２が受光軸Ｌ2 に対
して角度α（図３参照）だけ傾いた方向に平行にスライ
ドできるように、ＰＳＤ基板５２との接触面に直線状の
溝５５が形成されている。なお、ＰＳＤ基板５２の背面
側には、ＰＳＤ３のプリアンプ回路をシールドするため
のフィルムシールド５６が固着されている。
点位置検出素子３は、例えばＰＩＮ型ホトダイオードに
属する半導***置検知素子（ＰＳＤ）であり、このＰＳ
Ｄ３はＰＳＤ基板５２に実装されている。ＰＳＤ基板５
２はＰＳＤホルダ５３にネジ５４により固定される。Ｐ
ＳＤホルダ５３には、ＰＳＤ基板５２が受光軸Ｌ2 に対
して角度α（図３参照）だけ傾いた方向に平行にスライ
ドできるように、ＰＳＤ基板５２との接触面に直線状の
溝５５が形成されている。なお、ＰＳＤ基板５２の背面
側には、ＰＳＤ３のプリアンプ回路をシールドするため
のフィルムシールド５６が固着されている。
【００２１】更に、図６〔斜視図（ａ）、及び要部拡大
断面図（ｂ）〕に示すように、ＰＳＤホルダ５３の底面
には、ＰＳＤホルダ５３が受光軸Ｌ2 と平行にスライド
できるように、長方形状の凸部５７が設けられ、この凸
部５７に対応して、ベース７には凹溝５８が形成されて
いる。凹溝５８は、その長手方向の長さが凸部５７の長
さより長く設定されており、凸部５７を凹溝５８に嵌め
込むことで、ＰＳＤホルダ５３を受光軸Ｌ2 に平行にス
ライドさせることができる。但し、凹溝５８は、ベース
７を貫通していてもよい。ＰＳＤホルダ５３のネジ６０
用の孔５９は２箇所に形成され、ネジ孔５９はそれぞれ
受光軸Ｌ2 から等距離に位置する。このため、ＰＳＤホ
ルダ５３をベース７上でスライドさせる力がネジ孔５９
に加わっても、ＰＳＤホルダ５３はヨーイングすること
なく受光軸Ｌ2 と平行にスライドする。更に、ＰＳＤホ
ルダ５３の位置を調整した後、ネジ６０による締結力で
ＰＳＤホルダ５３の位置がずれないように、ネジ孔５９
はスライド調整する力点も兼ねている。
断面図（ｂ）〕に示すように、ＰＳＤホルダ５３の底面
には、ＰＳＤホルダ５３が受光軸Ｌ2 と平行にスライド
できるように、長方形状の凸部５７が設けられ、この凸
部５７に対応して、ベース７には凹溝５８が形成されて
いる。凹溝５８は、その長手方向の長さが凸部５７の長
さより長く設定されており、凸部５７を凹溝５８に嵌め
込むことで、ＰＳＤホルダ５３を受光軸Ｌ2 に平行にス
ライドさせることができる。但し、凹溝５８は、ベース
７を貫通していてもよい。ＰＳＤホルダ５３のネジ６０
用の孔５９は２箇所に形成され、ネジ孔５９はそれぞれ
受光軸Ｌ2 から等距離に位置する。このため、ＰＳＤホ
ルダ５３をベース７上でスライドさせる力がネジ孔５９
に加わっても、ＰＳＤホルダ５３はヨーイングすること
なく受光軸Ｌ2 と平行にスライドする。更に、ＰＳＤホ
ルダ５３の位置を調整した後、ネジ６０による締結力で
ＰＳＤホルダ５３の位置がずれないように、ネジ孔５９
はスライド調整する力点も兼ねている。
【００２２】この凹凸のレール構造により、ＰＳＤホル
ダ５３（即ちＰＳＤ３）の位置を調整することで、後記
のように集光手段２とＰＳＤ３とがシャインプルーフ条
件を満たすように配置できる。このように構成した光学
式変位測定装置において、ＬＤ１１からの発散光はコリ
メータレンズ１２で最外縁部が除去されて平行光にな
る。この平行光の光強度分布は、図４に示すようなガウ
ス分布になる。ここで、平行光の光強度がピーク値の１
３．５％になるビーム径をＷとし、円形開口１４の開口
径をＤとし、円形開口１４の開口径を対物レンズ１３の
入射瞳径よりも小さくする。具体的には円形開口１４の
開口径Ｄがビーム径Ｗの１０〜４０％の範囲の場合、即
ち０．１＜Ｄ／Ｗ＜０．４の場合、対物レンズ１３に
は、図４に示されたような光強度の立ち上がりの急峻な
ビーム径Ｄの平行光（白抜き部分）が入射する。その結
果、入射してきた光強度分布が円形開口１４で削除され
ない場合に比べて、ビーム径がより一様な分布に近くな
るため、対物レンズ１３は、エアリアパターンと呼ばれ
る光強度分布に近いスポットに光学フィルタ１５を通し
て被検知物体９０に集光する。従って、被検知物体９０
上には、円形開口１４でビームの周辺部がカットされた
急峻で且つフラットに近い光強度分布を持つスポットが
形成される。因みに、Ｄ／Ｗを０．１よりも小さくした
り、或いは０．４よりも大きくすると、エアリアパター
ンの光強度分布が得られ難い。
ダ５３（即ちＰＳＤ３）の位置を調整することで、後記
のように集光手段２とＰＳＤ３とがシャインプルーフ条
件を満たすように配置できる。このように構成した光学
式変位測定装置において、ＬＤ１１からの発散光はコリ
メータレンズ１２で最外縁部が除去されて平行光にな
る。この平行光の光強度分布は、図４に示すようなガウ
ス分布になる。ここで、平行光の光強度がピーク値の１
３．５％になるビーム径をＷとし、円形開口１４の開口
径をＤとし、円形開口１４の開口径を対物レンズ１３の
入射瞳径よりも小さくする。具体的には円形開口１４の
開口径Ｄがビーム径Ｗの１０〜４０％の範囲の場合、即
ち０．１＜Ｄ／Ｗ＜０．４の場合、対物レンズ１３に
は、図４に示されたような光強度の立ち上がりの急峻な
ビーム径Ｄの平行光（白抜き部分）が入射する。その結
果、入射してきた光強度分布が円形開口１４で削除され
ない場合に比べて、ビーム径がより一様な分布に近くな
るため、対物レンズ１３は、エアリアパターンと呼ばれ
る光強度分布に近いスポットに光学フィルタ１５を通し
て被検知物体９０に集光する。従って、被検知物体９０
上には、円形開口１４でビームの周辺部がカットされた
急峻で且つフラットに近い光強度分布を持つスポットが
形成される。因みに、Ｄ／Ｗを０．１よりも小さくした
り、或いは０．４よりも大きくすると、エアリアパター
ンの光強度分布が得られ難い。
【００２３】又、ＰＳＤホルダ５３（即ちＰＳＤ３）の
位置、投光軸Ｌ1 、受光軸Ｌ2 、シャインプルーフ条件
の相関関係を図３に示す。この図３において、被検知物
体９０からの反射光は、光学フィルタ２２によって外乱
光が除去されて、受光レンズ２１で一次元位置検出素子
のＰＳＤ３上に結像する。ここで、対物レンズ１３から
スポットまでの距離を例えば３９．０ｍｍ、中心のｘ軸
と受光軸Ｌ2 がなす角度をθ、ＰＳＤ３の位置検出方向
と受光軸Ｌ2 がなす角度をα、スポットから受光レンズ
２１の受光面までの距離をａ、ＰＳＤ３の検出面から受
光レンズ２１までの距離をｂとすると、シャインプルー
フ条件（共役結像条件）は、次のような関係式で表され
る。但し、シャインプルーフ条件は、図３に示す構成で
は、受光レンズ２１の受光面方向とＰＳＤ３の位置検出
方向との交点が投光軸Ｌ1 上に位置することである（点
線参照）。
位置、投光軸Ｌ1 、受光軸Ｌ2 、シャインプルーフ条件
の相関関係を図３に示す。この図３において、被検知物
体９０からの反射光は、光学フィルタ２２によって外乱
光が除去されて、受光レンズ２１で一次元位置検出素子
のＰＳＤ３上に結像する。ここで、対物レンズ１３から
スポットまでの距離を例えば３９．０ｍｍ、中心のｘ軸
と受光軸Ｌ2 がなす角度をθ、ＰＳＤ３の位置検出方向
と受光軸Ｌ2 がなす角度をα、スポットから受光レンズ
２１の受光面までの距離をａ、ＰＳＤ３の検出面から受
光レンズ２１までの距離をｂとすると、シャインプルー
フ条件（共役結像条件）は、次のような関係式で表され
る。但し、シャインプルーフ条件は、図３に示す構成で
は、受光レンズ２１の受光面方向とＰＳＤ３の位置検出
方向との交点が投光軸Ｌ1 上に位置することである（点
線参照）。
【００２４】 ｔａｎα＝（ｔａｎ２θ）／Ｍ ・・・・・・・（１） Ｍ＝ｂ／ａ ・・・・・・・・・・・・・・・・（２） （１／ａ）＋（１／ｂ）＝１／ｆ ・・・・・・（３） （ｆ：受光レンズ２１の焦点距離） （Ｍ：受光レンズ２１による基準倍率） これらの関係式（１）〜（３）を満たすａ，ｂ，α，θ
を一義的に決定するのであるが、受光レンズ２１をスポ
ットから距離ａの位置に固定すると、結像面のＰＳＤ３
の位置は上記式で表されるｂとαで決定される。
を一義的に決定するのであるが、受光レンズ２１をスポ
ットから距離ａの位置に固定すると、結像面のＰＳＤ３
の位置は上記式で表されるｂとαで決定される。
【００２５】受光レンズ２１の焦点距離ｆは一義的に与
えられるので、受光レンズ２１のベース７に対する距離
ａも一義的に決まる。これにより、式（３）から受光レ
ンズ２１とＰＳＤ３との間隔ｂも一義的に決まり、更に
式（２）より受光レンズ２１による基準倍率Ｍが一義的
に決まる。従って、式（１）よりＰＳＤ３の位置検出方
向と受光軸Ｌ2 とのなす角度αが一義的に決まる。以上
から、式（１）〜（３）を同時に満足する距離ａ，ｂ及
び角度α，θは、一義的にしか決まらない。つまり、こ
の一義的に決まる値からのずれが検出誤差になる。
えられるので、受光レンズ２１のベース７に対する距離
ａも一義的に決まる。これにより、式（３）から受光レ
ンズ２１とＰＳＤ３との間隔ｂも一義的に決まり、更に
式（２）より受光レンズ２１による基準倍率Ｍが一義的
に決まる。従って、式（１）よりＰＳＤ３の位置検出方
向と受光軸Ｌ2 とのなす角度αが一義的に決まる。以上
から、式（１）〜（３）を同時に満足する距離ａ，ｂ及
び角度α，θは、一義的にしか決まらない。つまり、こ
の一義的に決まる値からのずれが検出誤差になる。
【００２６】よって、上記実施形態では、角度αとθ及
び距離ａを固定値とし、前記した凹凸のレール構造によ
りＰＳＤホルダ５３を移動可能とし、距離ｂのみを調整
することで、他の全てのファクターのばらつきを吸収す
る構成にしてある。より具体的には、ａ，ｂ，α，θは
光学組立をするときに調整するのであるが、ＰＳＤ３を
ｙ軸に沿ってスライドさせ、変位中心３０ｍｍのときに
受光軸Ｌ2がＰＳＤ３の位置検出面の中心（半分の位
置）に調整する。従って、調整のステップは、まずａ，
ｂ，αを機械的に固定する。即ち、受光レンズ２１を距
離ａの位置に、ＰＳＤ３を受光軸Ｌ2 上に配置する。次
に、受光軸Ｌ2 がＰＳＤ３の位置検出面の中心に位置す
るように、ＰＳＤ３をｙ軸方向にスライドさせ、その位
置を調整する。続いて、ＰＳＤ３をｚ軸方向にスライド
させ、距離ｂの位置に調整する。
び距離ａを固定値とし、前記した凹凸のレール構造によ
りＰＳＤホルダ５３を移動可能とし、距離ｂのみを調整
することで、他の全てのファクターのばらつきを吸収す
る構成にしてある。より具体的には、ａ，ｂ，α，θは
光学組立をするときに調整するのであるが、ＰＳＤ３を
ｙ軸に沿ってスライドさせ、変位中心３０ｍｍのときに
受光軸Ｌ2がＰＳＤ３の位置検出面の中心（半分の位
置）に調整する。従って、調整のステップは、まずａ，
ｂ，αを機械的に固定する。即ち、受光レンズ２１を距
離ａの位置に、ＰＳＤ３を受光軸Ｌ2 上に配置する。次
に、受光軸Ｌ2 がＰＳＤ３の位置検出面の中心に位置す
るように、ＰＳＤ３をｙ軸方向にスライドさせ、その位
置を調整する。続いて、ＰＳＤ３をｚ軸方向にスライド
させ、距離ｂの位置に調整する。
【００２７】なお、上記実施形態では、円形開口１４
は、コリメータレンズ１２と対物レンズ１３との間の光
路上に配置してあるが、ＬＤ１１とコリメータレンズ１
２との間の光路上に配置してもよい。この場合は、円形
開口１４の開口径をコリメータレンズ１２の入射瞳径よ
りも小さくし、コリメータレンズ１２を通過する光の強
度分布がほぼフラットになるようにすれば、つまり円形
開口１４の開口径をＤ、コリメータレンズ１２の入射瞳
面に入射する発散光の強度分布をガウス分布と仮定した
ときのビーム径をＷとすると、同様に ０．１＜Ｄ／Ｗ＜０．４ の関係を満足させることで、前記した通り対物レンズ１
３にはビーム径Ｄの平行光が入射する。
は、コリメータレンズ１２と対物レンズ１３との間の光
路上に配置してあるが、ＬＤ１１とコリメータレンズ１
２との間の光路上に配置してもよい。この場合は、円形
開口１４の開口径をコリメータレンズ１２の入射瞳径よ
りも小さくし、コリメータレンズ１２を通過する光の強
度分布がほぼフラットになるようにすれば、つまり円形
開口１４の開口径をＤ、コリメータレンズ１２の入射瞳
面に入射する発散光の強度分布をガウス分布と仮定した
ときのビーム径をＷとすると、同様に ０．１＜Ｄ／Ｗ＜０．４ の関係を満足させることで、前記した通り対物レンズ１
３にはビーム径Ｄの平行光が入射する。
【００２８】
（１）以上説明したように、本発明の請求項１及び請求
項２記載の光学式変位測定装置によれば、いずれも投光
手段をコリメータ系とし、開口径の小さい円形開口（ピ
ンホール）を設け、ビーム光の強度分布の中心部分のみ
を投光し、周辺部の光をカットする構成であるので、下
記の効果〜が得られる。 受光レンズによる光点位置検出素子上への結像スポッ
トの実効的なスポット径を小さくすることができるの
で、被検知物体の色むらによる検出誤差やエッジでの検
出誤差を小さくすることができる。 受光レンズを正対して配置できるので、対象面（被検
知物体）の傾きや装置の設置角度の許容値を広く取れ
る。 受光レンズの口径を大きくすることができるので、反
射率の小さい被検知物体であっても確実に検出できる。 投光ビームの強度分布の変化が小さいので、即ち焦点
深度を深く取れるので、測定範囲を長く設定できる。 投光ビームの焦点深度とビーム径を円形開口の開口径
だけでコントロールできるので、装置の設計自由度が高
く、製品のばらつき管理が容易になり、コストを低減で
きる。 （２）請求項３記載の装置によれば、投光手段、コリメ
ータレンズ及び円形開口を結ぶ光軸に対して、対物レン
ズの光軸を、対物レンズの主点を中心に傾けて配置して
あるので、下記の効果〜が得られる。 投光素子への戻り光を完全になくすことができるの
で、投光素子の発光パワーの変動が安定する。 投光スポットの位置がずれない。 無反射膜が不要となるので、装置を安価にできる。 （３）請求項４記載の装置によれば、対物レンズの光出
射側に光学フィルタを配置し、対物レンズと光学フィル
タを一体化してあるので、組立調整が容易で、装置が安
価になる。 （４）請求項７記載の装置によれば、光点位置検出素子
を集光手段の光軸に平行にスライドさせる凹凸のレール
構造を備え、光点位置検出素子をスライドさせることに
より、集光手段と光点位置検出素子とがシャインプルー
フ条件を満たすように配置されているので、集光手段と
光点位置検出素子との位置関係をシャインプルーフ条件
に合うように容易に調整することができる。
項２記載の光学式変位測定装置によれば、いずれも投光
手段をコリメータ系とし、開口径の小さい円形開口（ピ
ンホール）を設け、ビーム光の強度分布の中心部分のみ
を投光し、周辺部の光をカットする構成であるので、下
記の効果〜が得られる。 受光レンズによる光点位置検出素子上への結像スポッ
トの実効的なスポット径を小さくすることができるの
で、被検知物体の色むらによる検出誤差やエッジでの検
出誤差を小さくすることができる。 受光レンズを正対して配置できるので、対象面（被検
知物体）の傾きや装置の設置角度の許容値を広く取れ
る。 受光レンズの口径を大きくすることができるので、反
射率の小さい被検知物体であっても確実に検出できる。 投光ビームの強度分布の変化が小さいので、即ち焦点
深度を深く取れるので、測定範囲を長く設定できる。 投光ビームの焦点深度とビーム径を円形開口の開口径
だけでコントロールできるので、装置の設計自由度が高
く、製品のばらつき管理が容易になり、コストを低減で
きる。 （２）請求項３記載の装置によれば、投光手段、コリメ
ータレンズ及び円形開口を結ぶ光軸に対して、対物レン
ズの光軸を、対物レンズの主点を中心に傾けて配置して
あるので、下記の効果〜が得られる。 投光素子への戻り光を完全になくすことができるの
で、投光素子の発光パワーの変動が安定する。 投光スポットの位置がずれない。 無反射膜が不要となるので、装置を安価にできる。 （３）請求項４記載の装置によれば、対物レンズの光出
射側に光学フィルタを配置し、対物レンズと光学フィル
タを一体化してあるので、組立調整が容易で、装置が安
価になる。 （４）請求項７記載の装置によれば、光点位置検出素子
を集光手段の光軸に平行にスライドさせる凹凸のレール
構造を備え、光点位置検出素子をスライドさせることに
より、集光手段と光点位置検出素子とがシャインプルー
フ条件を満たすように配置されているので、集光手段と
光点位置検出素子との位置関係をシャインプルーフ条件
に合うように容易に調整することができる。
【図１】一実施形態に係る光学式変位測定装置の外観斜
視図である。
視図である。
【図２】図１の装置の模式的上面図である。
【図３】図１の装置における各要素、投光軸、受光軸、
シャインプルーフ条件の相関関係を示す図である。
シャインプルーフ条件の相関関係を示す図である。
【図４】投光素子からのビーム径と光強度分布（ガウス
分布）との関係を示す図である。
分布）との関係を示す図である。
【図５】図１の装置における対物レンズホルダの投光軸
に対する傾き具合を示す要部拡大断面図である。
に対する傾き具合を示す要部拡大断面図である。
【図６】図１の装置におけるＰＳＤホルダとベースを示
す斜視図（ａ）、及びＰＳＤホルダの凸部とベースの凹
部を示す要部拡大断面図（ｂ）である。
す斜視図（ａ）、及びＰＳＤホルダの凸部とベースの凹
部を示す要部拡大断面図（ｂ）である。
１ 投光手段 ２ 受光手段 ３ 光点位置検出素子（ＰＳＤ） １１ 半導体レーザ（投光素子） １２ コリメータレンズ １３ 対物レンズ １４ 円形開口 １５，２２ 光学フィルタ ２１ 受光レンズ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 樽川 啓 京都府京都市右京区花園土堂町10番地 オ ムロン株式会社内
Claims (7)
- 【請求項１】被検知物体に対して光ビームを投光する投
光手段と、この投光手段の側方に所定間隔を置いて配設
され、被検知物体による光ビームの反射光を集光する集
光手段と、この集光手段の集光面に配設され、集光スポ
ットの移動により一対の検知信号を出力する光点位置検
出素子と、この光点位置検出素子の一対の検知信号に基
づいて被検知物体を判別する判別手段とを備える光学式
変位測定装置において、 前記投光手段は、投光素子と、投光素子からの光ビーム
を平行光にするコリメータレンズと、コリメータレンズ
を通過した光を被検知物体に投光する対物レンズと、コ
リメータレンズと対物レンズとの間の光路上に配置され
た円形開口とで構成され、前記円形開口の開口径を対物
レンズの入射瞳径よりも小さくし、被検知物体に対する
投光スポットの強度分布がほぼフラットになるようにし
たことを特徴とする光学式変位測定装置。 - 【請求項２】被検知物体に対して光ビームを投光する投
光手段と、この投光手段の側方に所定間隔を置いて配設
され、被検知物体による光ビームの反射光を集光する集
光手段と、この集光手段の集光面に配設され、集光スポ
ットの移動により一対の検知信号を出力する光点位置検
出素子と、この光点位置検出素子の一対の検知信号に基
づいて被検知物体を判別する判別手段とを備える光学式
変位測定装置において、 前記投光手段は、投光素子と、投光素子からの光ビーム
を平行光にするコリメータレンズと、コリメータレンズ
を通過した光を被検知物体に投光する対物レンズと、投
光素子とコリメータレンズとの間の光路上に配置された
円形開口とで構成され、前記円形開口の開口径をコリメ
ータレンズの入射瞳径よりも小さくし、コリメータレン
ズを通過する光の強度分布がほぼフラットになるように
したことを特徴とする光学式変位測定装置。 - 【請求項３】前記投光手段、コリメータレンズ及び円形
開口を結ぶ光軸に対して、前記対物レンズの光軸を、対
物レンズの主点を中心に傾けて配置したことを特徴とす
る請求項１又は請求項２記載の光学式変位測定装置。 - 【請求項４】前記対物レンズの光出射側に光学フィルタ
を配置し、対物レンズと光学フィルタを一体化したこと
を特徴とする請求項１又は請求項２記載の光学式変位測
定装置。 - 【請求項５】前記円形開口の開口径をＤ、対物レンズの
入射瞳面に入射する平行光の強度分布をガウス分布と仮
定したときのビーム径をＷとすると、 ０．１＜Ｄ／Ｗ＜０．４ なる関係を満たすことを特徴とする請求項１記載の光学
式変位測定装置。 - 【請求項６】前記円形開口の開口径をＤ、コリメータレ
ンズの入射瞳面に入射する発散光の強度分布をガウス分
布と仮定したときのビーム径をＷとすると、 ０．１＜Ｄ／Ｗ＜０．４ なる関係を満たすことを特徴とする請求項２記載の光学
式変位測定装置。 - 【請求項７】被検知物体に対して光ビームを投光する投
光手段と、この投光手段の側方に所定間隔を置いて配設
され、被検知物体による光ビームの反射光を集光する集
光手段と、この集光手段の集光面に配設され、集光スポ
ットの移動により一対の検知信号を出力する光点位置検
出素子と、この光点位置検出素子の一対の検知信号に基
づいて被検知物体を判別する判別手段とを備える光学式
変位測定装置において、 前記光点位置検出素子を集光手段の光軸に平行にスライ
ドさせる凹凸のレール構造を備え、光点位置検出素子を
スライドさせることにより、集光手段と光点位置検出素
子とがシャインプルーフ条件を満たすように配置されて
いることを特徴とする光学式変位測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8065891A JPH09257467A (ja) | 1996-03-22 | 1996-03-22 | 光学式変位測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8065891A JPH09257467A (ja) | 1996-03-22 | 1996-03-22 | 光学式変位測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09257467A true JPH09257467A (ja) | 1997-10-03 |
Family
ID=13300049
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8065891A Pending JPH09257467A (ja) | 1996-03-22 | 1996-03-22 | 光学式変位測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09257467A (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008145160A (ja) * | 2006-12-07 | 2008-06-26 | Keyence Corp | 光学式変位センサ及びその調整方法 |
| JP2008175604A (ja) * | 2007-01-17 | 2008-07-31 | Anritsu Corp | 光変位センサー及びそれを用いた変位測定装置 |
| JP2010019714A (ja) * | 2008-07-11 | 2010-01-28 | Anritsu Corp | 変位測定装置、それを用いたシール部材形状測定装置及びそれらに用いられる変位検出装置 |
| JP2010071926A (ja) * | 2008-09-22 | 2010-04-02 | Yamatake Corp | 反射型光電センサおよび物体検出方法 |
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| WO2012042944A1 (ja) * | 2010-09-30 | 2012-04-05 | オムロン株式会社 | 光学式変位センサの調整方法、および光学式変位センサの製造方法 |
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| KR20210117763A (ko) * | 2020-03-20 | 2021-09-29 | 김진형 | 지그에 의해 초점 정렬된 원거리 계측기용 광학센서, 이를 포함하는 원거리 계측기 및 이의 제조방법 |
| CN116202425A (zh) * | 2022-06-15 | 2023-06-02 | 武汉鑫岳光电科技有限公司 | 一种激光测距装置 |
-
1996
- 1996-03-22 JP JP8065891A patent/JPH09257467A/ja active Pending
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