JPH09251938A - Substrate treating apparatus, substrate treating system and report sound controler - Google Patents
Substrate treating apparatus, substrate treating system and report sound controlerInfo
- Publication number
- JPH09251938A JPH09251938A JP6082896A JP6082896A JPH09251938A JP H09251938 A JPH09251938 A JP H09251938A JP 6082896 A JP6082896 A JP 6082896A JP 6082896 A JP6082896 A JP 6082896A JP H09251938 A JPH09251938 A JP H09251938A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- notification sound
- substrate processing
- attribute information
- state
- processing apparatus
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、基板に対して所定
の処理を行う基板処理装置および基板処理装置が多数接
続された基板処理システムにおいて、基板処理装置の処
理状態に応じて報知音を発する機能を備えた基板処理装
置、基板処理システムおよび報知音制御装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention, in a substrate processing apparatus for performing a predetermined processing on a substrate and a substrate processing system in which a large number of substrate processing apparatuses are connected, emits an alarm sound according to the processing state of the substrate processing apparatus. The present invention relates to a substrate processing apparatus having a function, a substrate processing system, and a notification sound control device.
【０００２】[0002]
【従来の技術】半導体デバイスや液晶デバイス等の製造
ラインでは、ウエハや液晶基板等の基板に対して所定の
処理を行うための基板処理装置が多数設置されている。
基板は、各基板処理装置間を受け渡しされながらそれぞ
れの基板処理装置によって所定の処理が施され、基板上
にデバイスが製造される。2. Description of the Related Art In a manufacturing line for semiconductor devices, liquid crystal devices and the like, a large number of substrate processing apparatuses for performing predetermined processing on substrates such as wafers and liquid crystal substrates are installed.
The substrate is subjected to a predetermined process by each substrate processing device while being transferred between the substrate processing devices, and a device is manufactured on the substrate.
【０００３】各基板処理装置は、装置の動作状態や処理
状態の異常などをオペレータに知らせるために警報ブザ
ーを鳴らす機能を備えている。例えば、被処理物である
基板の投入要求や処理終了を知らせる場合、あるいは基
板処理装置に異常が生じて緊急に装置を停止しなければ
ならない場合等に、それぞれ警報ブザーが鳴るように構
成されている。Each substrate processing apparatus has a function of sounding an alarm buzzer in order to notify an operator of an operating state of the apparatus or an abnormality in the processing state. For example, an alarm buzzer is configured to sound when a request for loading a substrate to be processed or a completion of processing is notified, or when an abnormality occurs in the substrate processing apparatus and the apparatus must be stopped urgently. There is.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
基板処理装置の警報ブザーの音は似通っている。このた
め、半導体デバイス等の製造ラインに多数配置された基
板処理装置のいずれかが警報音を発した場合、オペレー
タは、どの基板処理装置が警報音を発しているかを瞬時
に判断することが困難であった。特に、同一種類の基板
処理装置が複数台設置されているような場合では、警報
音は共通している。したがって、警報音を発している基
板処理装置を見つけ出すことがさらに困難である。その
ために、オペレータの対応が遅れ、処理効率が低下する
という問題があった。However, the sound of the alarm buzzer of the conventional substrate processing apparatus is similar. Therefore, when any one of the substrate processing apparatuses arranged in the manufacturing line for semiconductor devices or the like emits an alarm sound, it is difficult for the operator to instantly determine which substrate processing apparatus emits the alarm sound. Met. Especially, when a plurality of substrate processing apparatuses of the same type are installed, the alarm sound is common. Therefore, it is more difficult to find out the substrate processing apparatus that emits the alarm sound. Therefore, there is a problem that the operator's response is delayed and the processing efficiency is lowered.
【０００５】本発明の目的は、報知音の属性を容易に変
更および追加することができる基板処理装置を提供する
ことである。さらに本発明の目的は、多数の基板処理装
置が設置された場合でも、報知音を発している基板処理
装置を容易に判別することができる報知音を発生するこ
とができる基板処理システムおよび報知音制御装置を提
供することである。An object of the present invention is to provide a substrate processing apparatus capable of easily changing and adding an attribute of a notification sound. Further, an object of the present invention is to provide a substrate processing system and a notification sound capable of generating a notification sound capable of easily discriminating the substrate processing apparatus which is generating the notification sound even when a large number of substrate processing apparatuses are installed. It is to provide a control device.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段および発明の効果】第１の
発明に係る基板処理装置は、基板に所定の処理を行う基
板処理装置であって、当該基板処理装置の予め定められ
た処理状態を検出する状態検出手段と、予め定められた
処理状態に対応する報知音の属性を報知音属性情報とし
て設定する設定手段と、設定手段により設定された報知
音属性情報を記憶する記憶手段と、状態検出手段により
予め定められた処理状態が検出されたときに、記憶手段
から対応する報知音属性情報を抽出する抽出手段と、抽
出手段により抽出された報知音属性情報に基づいて報知
音を発生する報知音発生手段とを備えたものである。A substrate processing apparatus according to a first aspect of the present invention is a substrate processing apparatus for performing a predetermined processing on a substrate, and a predetermined processing state of the substrate processing apparatus is set. State detecting means for detecting, setting means for setting the attribute of the notification sound corresponding to a predetermined processing state as notification sound attribute information, storage means for storing the notification sound attribute information set by the setting means, and status When a predetermined processing state is detected by the detection means, an extraction means for extracting the corresponding notification sound attribute information from the storage means, and a notification sound is generated based on the notification sound attribute information extracted by the extraction means. And a notification sound generating means.
【０００７】この第１の発明に係る基板処理装置におい
ては、設定手段を用いて基板処理装置の処理状態に対応
付けて報知音の属性を設定でき、また設定した報知音の
属性を変更したり追加することもできる。したがって、
この発明に係る基板処理装置を多数隣接して配置した場
合において、各基板処理装置ごとに報知音の属性が異な
るように設定したり変更することが容易に行える。それ
ゆえ、各基板処理装置ごとに異なる報知音を発生するよ
うに設定することによって、オペレータが報知音を聞き
分けて報知音を発している基板処理装置を容易に見つけ
出すことができる。In the substrate processing apparatus according to the first aspect of the invention, the attribute of the notification sound can be set in association with the processing state of the substrate processing apparatus by using the setting means, and the attribute of the set notification sound can be changed. You can add more. Therefore,
When a number of substrate processing apparatuses according to the present invention are arranged adjacent to each other, it is possible to easily set or change the attribute of the notification sound so that it differs for each substrate processing apparatus. Therefore, by setting so that a different notification sound is generated for each substrate processing apparatus, the operator can easily recognize the notification sound and easily find the substrate processing apparatus that is emitting the notification sound.
【０００８】第２の発明に係る基板処理装置は、基板に
所定の処理を行う基板処理装置であって、当該基板処理
装置の予め定められた処理状態を検出する状態検出手段
と、予め定められた処理状態毎に対応する報知音の属性
を報知音属性情報として設定する設定手段と、設定手段
により設定された報知音属性情報を記憶する記憶手段
と、状態検出手段により予め定められた処理状態のいず
れかが検出されたときに、記憶手段からその処理状態に
対応する報知音属性情報を抽出する抽出手段と、抽出手
段により抽出された報知音属性情報に基づいて報知音を
発生する報知音発生手段とを備えたものである。A substrate processing apparatus according to a second aspect of the present invention is a substrate processing apparatus for performing a predetermined processing on a substrate, and a state detecting means for detecting a predetermined processing state of the substrate processing apparatus, and a predetermined processing apparatus. Setting means for setting the attribute of the notification sound corresponding to each processing state as notification sound attribute information, storage means for storing the notification sound attribute information set by the setting means, and processing state predetermined by the state detection means When any one of the above is detected, extraction means for extracting the notification sound attribute information corresponding to the processing state from the storage means, and the notification sound for generating the notification sound based on the notification sound attribute information extracted by the extraction means. And a generating means.
【０００９】この第２の発明に係る基板処理装置におい
ては、報知音を各基板処理装置間で異ならせるのみなら
ず、各基板処理装置における様々な処理状態に対しても
報知音を異ならせることができる。このため、報知音を
聞きつけたオペレータは、報知音が発せられた基板処理
装置を瞬時に識別できるとともにその基板処理装置の処
理状態も同時に識別することができる。そして、報知音
を識別した後の修復動作をより迅速にかつ的確に行うこ
とができる。In the substrate processing apparatus according to the second aspect of the present invention, not only the notification sound is made different among the substrate processing apparatuses, but also the notification sound is made different for various processing states in each substrate processing apparatus. You can For this reason, the operator who hears the notification sound can instantly identify the substrate processing apparatus that has issued the notification sound, and at the same time identify the processing state of the substrate processing apparatus. Then, the repair operation after identifying the notification sound can be performed more quickly and accurately.
【００１０】第３の発明に係る基板処理システムは、複
数の基板処理装置と報知音制御手段とを備え、複数の基
板処理装置の各々は、基板に所定の処理を行う基板処理
手段と、基板処理手段の予め定められた処理状態を検出
する状態検出手段と、与えられた報知音属性情報に基づ
いて報知音を発する報知音発生手段とを含み、報知音制
御手段は、基板処理手段ごとに予め定められた処理状態
に対応する報知音の属性を報知音属性情報として設定す
る設定手段と、設定手段により設定された報知音属性情
報を記憶する記憶手段と、各基板処理装置の状態検出手
段により予め定められた処理状態が検出されたときに、
記憶手段から対応する報知音属性情報を抽出する抽出手
段と、抽出手段により抽出された報知音属性情報を対応
する基板処理装置の報知音発生手段に与える出力手段と
を含むものである。A substrate processing system according to a third aspect of the present invention comprises a plurality of substrate processing devices and a notification sound control means, each of the plurality of substrate processing devices performing a predetermined processing on the substrate, and the substrate processing means. State detecting means for detecting a predetermined processing state of the processing means, and a notification sound generating means for generating a notification sound based on the given notification sound attribute information, the notification sound control means, for each substrate processing means. Setting means for setting the attribute of the notification sound corresponding to a predetermined processing state as notification sound attribute information, storage means for storing the notification sound attribute information set by the setting means, and state detection means for each substrate processing apparatus When a predetermined processing state is detected by
The present invention includes: an extraction unit that extracts the corresponding notification sound attribute information from the storage unit; and an output unit that gives the notification sound attribute information extracted by the extraction unit to the notification sound generation unit of the corresponding substrate processing apparatus.
【００１１】第４の発明に係る報知音制御装置は、予め
定められた処理状態を検出する状態検出手段と、報知音
を発生する報知音発生手段とを有する複数の基板処理装
置に接続される報知音制御装置であって、基板処理装置
ごとに予め定められた処理状態に対応する報知音の属性
を報知音属性情報として設定する設定手段と、設定手段
により設定された報知音属性情報を記憶する記憶手段
と、各基板処理装置の状態検出手段により予め定められ
た処理状態が検出されたときに、記憶手段から対応する
報知音属性情報を抽出する抽出手段と、抽出手段により
抽出された報知音属性情報に基づいて対応する基板処理
装置の報知音発生手段を駆動する駆動手段とを備えたも
のである。The notification sound control device according to the fourth aspect of the invention is connected to a plurality of substrate processing apparatuses having state detection means for detecting a predetermined processing state and notification sound generation means for generating a notification sound. A notification sound control device, setting means for setting an attribute of a notification sound corresponding to a predetermined processing state for each substrate processing apparatus as notification sound attribute information, and storing the notification sound attribute information set by the setting means Storage means for extracting the notification sound attribute information corresponding to the notification sound attribute information from the storage means when the predetermined processing state is detected by the state detection means of each substrate processing apparatus, and the notification extracted by the extraction means. Drive means for driving the notification sound generating means of the corresponding substrate processing apparatus based on the sound attribute information.
【００１２】第３の発明に係る基板処理システムおよび
第４の発明に係る報知音制御装置においては、基板処理
システムを構成する基板処理装置ごとにそれぞれ異なる
報知音が発せられるように構成されている。このため、
オペレータは、その報知音の音色等を聞き分けることに
よって報知音を発している基板処理装置を容易に識別す
ることができる。したがって、基板処理装置の異常状態
を素早く解除し、正常な状態に修復することにより、効
率的に基板の処理を行わせることができる。In the substrate processing system according to the third aspect of the invention and the notification sound control device according to the fourth aspect of the invention, different notification sounds are emitted for each of the substrate processing devices constituting the substrate processing system. . For this reason,
The operator can easily identify the substrate processing apparatus emitting the notification sound by distinguishing the tone color of the notification sound. Therefore, the substrate processing apparatus can be efficiently processed by quickly canceling the abnormal state of the substrate processing apparatus and restoring the normal state.
【００１３】また、報知音を各基板処理装置間で異なら
せるのみならず、各基板処理装置における様々な処理状
態に対して報知音を異ならせることもできる。このた
め、報知音を聞きつけたオペレータは、報知音が発せら
れた基板処理装置を瞬時に識別できるとともにその基板
処理装置の処理状態も同時に識別することができる。そ
して、報知音を識別した後の修復動作をより迅速にかつ
的確に行うことができる。Further, not only the notification sound may be made different among the substrate processing apparatuses, but also the notification sound may be made different for various processing states in each substrate processing apparatus. For this reason, the operator who hears the notification sound can instantly identify the substrate processing apparatus that has issued the notification sound, and at the same time identify the processing state of the substrate processing apparatus. Then, the repair operation after identifying the notification sound can be performed more quickly and accurately.
【００１４】[0014]
【発明の実施の形態】図１は、本発明の第１の実施例に
おける基板処理装置の配置図である。図１において、複
数の基板処理装置１ａ〜１ｄが整列配置されて所定の製
造ラインが構成されている。1 is a layout view of a substrate processing apparatus according to a first embodiment of the present invention. In FIG. 1, a plurality of substrate processing apparatuses 1a to 1d are aligned and arranged to form a predetermined manufacturing line.
【００１５】各基板処理装置１ａ〜１ｄは、基板に対し
て所定の処理を行う基板処理部と、異常検知装置２と、
警報制御装置１０とを備えている。異常検知装置２は、
各基板処理装置１ａ〜１ｄの内部に設けられた多数のセ
ンサからの検知信号を受け取り、基板処理装置の処理状
態を判別して判別情報を出力する。Each of the substrate processing apparatuses 1a to 1d includes a substrate processing section for performing a predetermined process on a substrate, an abnormality detecting device 2,
The alarm control device 10 is provided. The abnormality detection device 2 is
It receives detection signals from a large number of sensors provided inside each of the substrate processing apparatuses 1a to 1d, determines the processing state of the substrate processing apparatus, and outputs the determination information.
【００１６】警報制御装置１０は、異常検知装置２から
の判別情報を受け取り、その処理状態に応じた報知音を
発生する。図２は、警報制御装置１０の構成を示すブロ
ック図である。警報制御装置１０は、キーボード等から
なる入力装置１１と、ハードディスクや磁気記録装置等
からなる記憶装置１２と、液晶ディスプレイやＣＲＴデ
ィスプレイ等からなる表示装置１３と、報知音を発生す
る音源１４および各部を制御する制御装置１５とから構
成されている。The alarm control device 10 receives the discrimination information from the abnormality detection device 2 and generates an alarm sound according to the processing state. FIG. 2 is a block diagram showing the configuration of the alarm control device 10. The alarm control device 10 includes an input device 11 including a keyboard and the like, a storage device 12 including a hard disk and a magnetic recording device, a display device 13 including a liquid crystal display and a CRT display, a sound source 14 for generating an alarm sound, and each unit. And a control device 15 for controlling the.
【００１７】記憶装置１２には、報知音の属性を規定す
る報知音属性テーブルが記憶されている。報知音属性テ
ーブルの一例を表１に示す。The storage device 12 stores a notification sound attribute table that defines the attributes of the notification sound. Table 1 shows an example of the notification sound attribute table.
【００１８】[0018]
【表１】 [Table 1]
【００１９】表１に示す報知音属性テーブルでは、報知
音を発する必要がある処理状態（アラーム対象）を予め
想定し、この処理状態に対応して報知音の属性情報をそ
れぞれ設定している。例えば、報知音を発すべき処理状
態として、基板収納カセットを基板処理装置に装着する
必要がある場合（カセット投入可）、処理済の基板収納
カセットを排出する必要がある場合（カセット終了）、
基板処理装置に故障が生じた緊急状態の場合（緊急警
報）、あるいは処理液の補給等オペレータの支援を要求
するような場合（オペレータアシスト要求）等が設定さ
れている。In the notification sound attribute table shown in Table 1, a processing state (alarm target) in which the notification sound needs to be emitted is assumed in advance, and the attribute information of the notification sound is set corresponding to this processing state. For example, when it is necessary to mount the substrate storage cassette in the substrate processing apparatus (the cassette can be inserted) as the processing state in which the notification sound should be emitted, and when the processed substrate storage cassette needs to be discharged (the cassette is finished),
The case is set such that the substrate processing apparatus is in an emergency state where a failure has occurred (emergency alarm), or a case where a request for operator assistance such as replenishment of a processing liquid is requested (operator assist request).
【００２０】さらに、その処理状態の緊急度に応じてア
ラームレベルが設定され、このアラームレベルに対応付
けて報知音属性情報として音色、インターバル、ビープ
時間および音量が規定されている。例えば、緊急度が高
いアラームレベル「１」の場合には、音色「２」（例え
ばピー）、インターバル「０．１秒」、ビープ時間「１
０秒」、音量「１０」（大きい）の報知音属性情報が定
められている。なお、インターバルとは報知音の間欠時
間を表し、ビープ時間とは報知音の発生継続時間を表し
ている。Further, an alarm level is set according to the urgency of the processing state, and a tone color, an interval, a beep time and a sound volume are defined as the notification sound attribute information in association with the alarm level. For example, in the case of an alarm level "1" having a high degree of urgency, a tone "2" (for example, bee), an interval "0.1 second", and a beep time "1".
The notification sound attribute information of "0 seconds" and the volume of "10" (high) is defined. In addition, the interval represents the intermittent time of the notification sound, and the beep time represents the duration of the generation of the notification sound.
【００２１】表１の報知音属性テーブルは、入力装置１
１から入力され記憶装置１２に保存されている。さら
に、この報知音属性テーブルの内容は、入力装置１１か
ら任意に変更および追加することができる。The notification sound attribute table shown in Table 1 is the input device 1
It is input from 1 and stored in the storage device 12. Further, the contents of the notification sound attribute table can be arbitrarily changed and added from the input device 11.
【００２２】なお、本実施例においては、異常検知装置
２が状態検出手段を構成し、入力装置１１が設定手段を
構成し、記憶装置１２が記憶手段を構成している。さら
に、制御装置１５が抽出手段を構成し、音源１４が報知
音発生手段を構成している。In the present embodiment, the abnormality detecting device 2 constitutes the state detecting means, the input device 11 constitutes the setting means, and the storage device 12 constitutes the storage means. Further, the control device 15 constitutes an extracting means, and the sound source 14 constitutes an alarm sound generating means.
【００２３】次に、警報制御装置１０の動作について説
明する。例えば、図１において、隣接して配置された２
つの基板処理装置１ａ，１ｂが同一の基板処理を行う基
板処理装置であったとする。Next, the operation of the alarm control device 10 will be described. For example, in FIG.
It is assumed that the two substrate processing apparatuses 1a and 1b are substrate processing apparatuses that perform the same substrate processing.
【００２４】この場合、基板処理装置１ａ，１ｂの各々
の警報制御装置１０の記憶装置１２には、表１に例示し
たような報知音属性テーブルが格納されている。ただ
し、一方の基板処理装置１ａと他方の基板処理装置１ｂ
では、表１に示す報知音の音色、インターバル、ビープ
時間、音量等のいずれかが異なるように報知音属性情報
が設定されている。例えば、一方の基板処理装置１ａで
は音色が「１」〜「３」に設定され、他方の基板処理装
置１ｂでは音色が「４」〜「６」に設定されている。こ
れにより、両方の基板処理装置１ａ，１ｂで報知音を発
すべき同じ処理状態が発生した場合でも、基板処理装置
１ａと基板処理装置１ｂとでは異なる報知音が発せられ
る。In this case, the alarm sound attribute table as illustrated in Table 1 is stored in the storage device 12 of the alarm control device 10 of each of the substrate processing apparatuses 1a and 1b. However, one substrate processing apparatus 1a and the other substrate processing apparatus 1b
Then, the notification sound attribute information is set so that any one of the timbre, interval, beep time, volume, etc. of the notification sound shown in Table 1 is different. For example, the tone color is set to "1" to "3" in one substrate processing apparatus 1a, and the tone color is set to "4" to "6" in the other substrate processing apparatus 1b. As a result, even when the same processing state in which both of the substrate processing apparatuses 1a and 1b should generate the notification sound occurs, different notification sounds are generated between the substrate processing apparatus 1a and the substrate processing apparatus 1b.
【００２５】まず、基板処理装置１ａにおいて、何らか
の故障が生じると、異常検知装置２が異常状態を判別
し、「緊急警報」を示す判別情報を制御装置１５に出力
する。制御装置１５は、「緊急警報」を示す判別情報に
基づいて記憶装置１２に記憶された報知音属性テーブル
を探索する。そして、アラーム対象の項目から「緊急警
報」に合致する項目を検索し、その項目に対応付けられ
た報知音属性情報を抽出する。さらに、制御装置１５は
抽出した報知音属性情報を音源１４に出力する。First, when some failure occurs in the substrate processing apparatus 1a, the abnormality detecting device 2 determines the abnormal state and outputs the determination information indicating "emergency warning" to the control device 15. The control device 15 searches the notification sound attribute table stored in the storage device 12 based on the determination information indicating the “emergency alert”. Then, the alarm target item is searched for an item that matches the "emergency alert", and the notification sound attribute information associated with the item is extracted. Further, the control device 15 outputs the extracted notification sound attribute information to the sound source 14.
【００２６】音源１４は、制御装置１５から出力された
報知音属性情報に基づいて、音色「２」、インターバル
「０．１秒」、ビープ時間「１０秒」、音量「１０」に
該当する報知音を生成して発生する。On the basis of the notification sound attribute information output from the control device 15, the sound source 14 is a notification corresponding to the tone color "2", the interval "0.1 seconds", the beep time "10 seconds", and the volume "10". Generates and produces sound.
【００２７】一方、基板処理装置１ｂでは、全ての基板
の処理が終了したとする。この場合、基板処理装置１ｂ
の異常検知装置２は、基板収納カセット内の全ての基板
の処理が終了したことを検知し、「カセット終了」を示
す判別情報を基板処理装置１ｂの制御装置１５に出力す
る。On the other hand, in the substrate processing apparatus 1b, it is assumed that all the substrates have been processed. In this case, the substrate processing apparatus 1b
The abnormality detection device 2 of 1 detects that the processing of all the substrates in the substrate storage cassette has been completed, and outputs the determination information indicating "end of cassette" to the control device 15 of the substrate processing device 1b.
【００２８】この後、制御装置１５は、上記の場合と同
様の動作を行い、アラーム対象項目の「カセット終了」
に対応する報知音属性情報を音源１４に出力し、報知音
属性情報に応じた報知音を発生させる。After that, the controller 15 performs the same operation as in the above case, and the "cassette end" of the alarm target item.
The notification sound attribute information corresponding to is output to the sound source 14, and the notification sound corresponding to the notification sound attribute information is generated.
【００２９】したがって、オペレータは、２つの基板処
理装置１ａ，１ｂが同時に報知音を発した場合でも、そ
の音を聞き分けることによって基板処理装置１ａと基板
処理装置１ｂとを容易に識別することができる。さら
に、識別した基板処理装置１ａ，１ｂがそれぞれどのよ
うな処理状態にあるかをも識別することもできる。Therefore, even when the two substrate processing apparatuses 1a and 1b simultaneously emit the notification sound, the operator can easily distinguish the substrate processing apparatus 1a and the substrate processing apparatus 1b by distinguishing the sounds. . Further, it is possible to identify the processing state of each of the identified substrate processing apparatuses 1a and 1b.
【００３０】図３は、本発明の第２の実施例による基板
処理システムの構成図である。この基板処理システムに
おいては、１つの警報制御装置２０と、複数の基板処理
装置３ａ〜３ｆとがデータ伝送路６を介して接続された
集中処理型の報知音発生システムが構成されている。FIG. 3 is a block diagram of a substrate processing system according to a second embodiment of the present invention. In this substrate processing system, one alarm control device 20 and a plurality of substrate processing devices 3a to 3f are connected via a data transmission path 6 to form a central processing type alarm sound generating system.
【００３１】基板処理装置３ａ〜３ｆの各々は、報知音
を発生する音源４と異常検知装置５とを備えている。異
常検知装置５は、基板処理装置３ａ〜３ｆの内部に設け
られた種々のセンサからの検知信号を受け取り、基板処
理装置の処理状態を判別して警報制御装置２０に判別情
報を出力する。Each of the substrate processing apparatuses 3a to 3f includes a sound source 4 for generating a notification sound and an abnormality detecting device 5. The abnormality detection device 5 receives detection signals from various sensors provided inside the substrate processing devices 3a to 3f, determines the processing state of the substrate processing device, and outputs the determination information to the alarm control device 20.
【００３２】警報制御装置２０は、データ伝送ライン６
を介して接続された全ての基板処理装置３ａ〜３ｆの報
知音の発生動作を集中して制御する。図４は、警報制御
装置２０の構成を示すブロック図である。警報制御装置
２０は、キーボード等からなる入力装置２１と、ハード
ディスクや磁気記録装置等からなる記憶装置２２と、Ｃ
ＲＴディスプレイや液晶ディスプレイ等からなる表示装
置２３と、報知音を発生する音源４および各部を制御す
る制御装置２４とから構成されている。The alarm control device 20 includes the data transmission line 6
The generation operation of the notification sound of all the substrate processing apparatuses 3a to 3f connected via the is centrally controlled. FIG. 4 is a block diagram showing the configuration of the alarm control device 20. The alarm control device 20 includes an input device 21 such as a keyboard, a storage device 22 such as a hard disk or a magnetic recording device, and a C
The display device 23 includes an RT display, a liquid crystal display, and the like, and a control device 24 that controls the sound source 4 that generates a notification sound and each unit.
【００３３】記憶装置２２は、表１に示すような報知音
属性テーブルが各基板処理装置３ａ〜３ｆごとに設定さ
れ、各報知音属性テーブルに基板処理装置を特定するた
めの識別情報が付されて記憶されている。しかも、各基
板処理装置３ａ〜３ｆごとに設定された報知音属性情報
は、それぞれの基板処理装置３ａ〜３ｆで異なってい
る。In the storage device 22, a notification sound attribute table as shown in Table 1 is set for each of the substrate processing devices 3a to 3f, and identification information for specifying the substrate processing device is attached to each notification sound attribute table. Is remembered. Moreover, the notification sound attribute information set for each of the substrate processing apparatuses 3a to 3f is different for each of the substrate processing apparatuses 3a to 3f.
【００３４】この報知音属性テーブルは、入力装置２１
から入力され、記憶装置２２に保存されている。さら
に、この報知音属性テーブルの内容は、入力装置２１か
ら任意に変更および追加することができる。This notification sound attribute table is stored in the input device 21.
Is stored in the storage device 22. Further, the contents of the notification sound attribute table can be arbitrarily changed and added from the input device 21.
【００３５】なお、本実施例においては、警報制御装置
２０が報知音制御装置を構成し、基板処理装置の基板処
理部、基板の搬入搬出部、基板搬送部等が基板処理手段
を構成し、異常検知装置５が状態検出手段を構成し、音
源４が報知音発生手段を構成している。さらに入力装置
２１が設定手段を構成し、記憶装置２２が記憶手段を構
成し、制御装置２４が抽出手段、出力手段および駆動手
段を構成している。In this embodiment, the alarm control device 20 constitutes an alarm sound control device, and the substrate processing section of the substrate processing apparatus, the substrate loading / unloading section, the substrate transfer section, etc. constitute the substrate processing means. The abnormality detection device 5 constitutes state detection means, and the sound source 4 constitutes notification sound generation means. Further, the input device 21 constitutes setting means, the storage device 22 constitutes storage means, and the control device 24 constitutes extraction means, output means and drive means.
【００３６】次に、第２の実施例による警報制御装置２
０について説明する。例えば、基板処理装置３ａにおい
て、報知音を発すべき処理状態が生じたとする。この場
合、異常検知装置５がセンサからの検知信号を受けて異
常状態を判別し、判別情報をデータ伝送ライン６を通し
て警報制御装置２０の制御装置２４に出力する。Next, the alarm controller 2 according to the second embodiment.
0 will be described. For example, in the substrate processing apparatus 3a, it is assumed that a processing state in which a notification sound should be emitted occurs. In this case, the abnormality detection device 5 receives the detection signal from the sensor, determines the abnormal state, and outputs the determination information to the control device 24 of the alarm control device 20 through the data transmission line 6.
【００３７】制御装置２４は、基板処理装置３ａから与
えられた判別情報とその基板処理装置３ａに対応する識
別情報とに基づいて記憶装置２２内の報知音属性テーブ
ルを探索し、該当する報知音属性テーブルから該当する
報知音属性情報を抽出する。The control device 24 searches the information sound attribute table in the storage device 22 based on the discrimination information given from the substrate processing device 3a and the identification information corresponding to the substrate processing device 3a, and the corresponding information sound is generated. The relevant notification sound attribute information is extracted from the attribute table.
【００３８】さらに、抽出した報知音属性情報を、報知
音を発すべき基板処理装置３ａに出力する。基板処理装
置３ａの音源４は、制御装置２４からの報知音属性情報
を受け取り、この報知音属性情報に基づいて報知音を発
する。Further, the extracted notification sound attribute information is output to the substrate processing apparatus 3a which should generate the notification sound. The sound source 4 of the substrate processing apparatus 3a receives the notification sound attribute information from the control device 24 and emits a notification sound based on the notification sound attribute information.
【００３９】オペレータは、報知音を聞き分けることに
よって、報知音を発した基板処理装置３ａを特定するこ
とができるとともに、その処理状態をも識別することが
できる。By distinguishing the notification sound, the operator can identify the substrate processing apparatus 3a that has issued the notification sound, and can also identify the processing state.
【００４０】さらに、表示装置２３には、報知音を発し
ている基板処理装置の名称や処理状態の情報が表示され
る。したがって、オペレータは、表示装置２３に表示さ
れた情報に基づき、報知音を発している基板処理装置の
処理状態を確認することができる。Further, the display device 23 displays the name and processing state information of the substrate processing apparatus which is emitting the notification sound. Therefore, the operator can confirm the processing state of the substrate processing apparatus emitting the notification sound based on the information displayed on the display device 23.
【００４１】なお、上記第２の実施例の動作説明では、
一つの基板処理装置３ａの報知音発生動作について説明
したが、複数の基板処理装置の報知音発生動作を同時に
行わせることもできる。この場合には、各基板処理装置
間で異なる報知音を発することができる。In the explanation of the operation of the second embodiment,
Although the notification sound generating operation of one substrate processing apparatus 3a has been described, the notification sound generating operation of a plurality of substrate processing apparatuses can be performed simultaneously. In this case, different notification sounds can be emitted between the substrate processing apparatuses.
【００４２】また、第１および第２の実施例では、基板
処理装置を識別させるために報知音の属性として音色を
変化させる例を示したが、音色、音量、インターバル、
ビープ時間などの条件を種々組み合わせて聞き分けやす
い報知音を設定することもできる。In the first and second embodiments, an example is shown in which the tone color is changed as the attribute of the notification sound in order to identify the substrate processing apparatus. However, the tone color, the volume, the interval,
It is also possible to set various kinds of conditions such as beep time to set the notification sound that is easy to distinguish.
【００４３】また、第１および第２の実施例では、報知
音を発生する必要がある処理状態（アラーム対象）毎に
報知音の属性情報を違える例を示したが、それに限られ
ず、例えば基板処理装置内の各処理状態毎には報知音を
違えずに、基板処理装置毎に報知音の属性を変更したり
追加したりすることで基板処理装置毎の報知音を違える
ように構成することもできる。Further, in the first and second embodiments, the example in which the attribute information of the notification sound is different for each processing state (alarm target) for which the notification sound needs to be generated is shown, but the present invention is not limited to this, and, for example, the substrate The notification sound should not be different for each processing state in the processing apparatus, and the notification sound should be different for each substrate processing apparatus by changing or adding the attribute of the notification sound for each substrate processing apparatus. You can also
【図１】本発明の第１の実施例における基板処理装置の
配置図である。FIG. 1 is a layout view of a substrate processing apparatus according to a first embodiment of the present invention.
【図２】基板処理装置に設置された警報制御装置の構成
を示すブロック図である。FIG. 2 is a block diagram showing a configuration of an alarm control device installed in the substrate processing apparatus.
【図３】第２の実施例における基板処理システムの構成
図である。FIG. 3 is a configuration diagram of a substrate processing system in a second embodiment.
【図４】図３に示す警報制御装置の構成を示すブロック
図である。FIG. 4 is a block diagram showing a configuration of an alarm control device shown in FIG.
１ａ〜１ｄ，３ａ〜３ｆ 基板処理装置 ２，５ 異常検知装置 ４，１４ 音源 １０，２０ 警報制御装置 １１，２１ 入力装置 １２，２２ 記憶装置 １５，２４ 制御装置 1a-1d, 3a-3f Substrate processing device 2,5 Abnormality detection device 4,14 Sound source 10,20 Alarm control device 11,21 Input device 12,22 Storage device 15,24 Control device
Claims (4)
あって、 当該基板処理装置の予め定められた処理状態を検出する
状態検出手段と、 前記予め定められた処理状態に対応する報知音の属性を
報知音属性情報として設定する設定手段と、 前記設定手段により設定された前記報知音属性情報を記
憶する記憶手段と、 前記状態検出手段により前記予め定められた処理状態が
検出されたときに、前記記憶手段から対応する報知音属
性情報を抽出する抽出手段と、 前記抽出手段により抽出された報知音属性情報に基づい
て報知音を発生する報知音発生手段とを備えたことを特
徴とする基板処理装置。1. A substrate processing apparatus for performing a predetermined process on a substrate, comprising state detection means for detecting a predetermined processing state of the substrate processing apparatus, and a notification sound corresponding to the predetermined processing state. Setting means for setting the attribute of the notification sound attribute information, storage means for storing the notification sound attribute information set by the setting means, when the predetermined processing state is detected by the state detection means In addition, it is characterized by comprising: an extracting unit that extracts the corresponding alarm sound attribute information from the storage unit; and an alarm sound generating unit that generates an alarm sound based on the alarm sound attribute information extracted by the extracting unit. Substrate processing equipment.
あって、 当該基板処理装置の予め定められた処理状態を検出する
状態検出手段と、 前記予め定められた処理状態毎に対応する報知音の属性
を報知音属性情報として設定する設定手段と、 前記設定手段により設定された前記報知音属性情報を記
憶する記憶手段と、 前記状態検出手段により前記予め定められた処理状態の
いずれかが検出されたときに、前記記憶手段からその処
理状態に対応する報知音属性情報を抽出する抽出手段
と、 前記抽出手段により抽出された報知音属性情報に基づい
て報知音を発生する報知音発生手段とを備えたことを特
徴とする基板処理装置。2. A substrate processing apparatus for performing a predetermined processing on a substrate, a state detecting means for detecting a predetermined processing state of the substrate processing apparatus, and a notification corresponding to each of the predetermined processing states. Any one of the setting means for setting the sound attribute as the notification sound attribute information, the storage means for storing the notification sound attribute information set by the setting means, and the predetermined processing state by the state detection means When it is detected, the extraction unit that extracts the notification sound attribute information corresponding to the processing state from the storage unit, and the notification sound generation unit that generates the notification sound based on the notification sound attribute information extracted by the extraction unit. And a substrate processing apparatus.
を備え、 前記複数の基板処理装置の各々は、 基板に所定の処理を行う基板処理手段と、 前記基板処理手段の予め定められた処理状態を検出する
状態検出手段と、 与えられた報知音属性情報に基づいて報知音を発する報
知音発生手段とを含み、 前記報知音制御手段は、 前記基板処理手段ごとに予め定められた処理状態に対応
する報知音の属性を報知音属性情報として設定する設定
手段と、 前記設定手段により設定された報知音属性情報を記憶す
る記憶手段と、 前記各基板処理装置の前記状態検出手段により前記予め
定められた処理状態が検出されたときに、前記記憶手段
から対応する報知音属性情報を抽出する抽出手段と、 前記抽出手段により抽出された前記報知音属性情報を対
応する基板処理装置の前記報知音発生手段に与える出力
手段とを含むことを特徴とする基板処理システム。3. A substrate processing device comprising a plurality of substrate processing devices and an alarm sound control means, wherein each of the plurality of substrate processing devices performs predetermined processing on a substrate, and the substrate processing device is predetermined. A state detection unit that detects a processing state, and a notification sound generation unit that emits a notification sound based on the given notification sound attribute information, wherein the notification sound control unit is a predetermined process for each substrate processing unit. Setting means for setting the attribute of the notification sound corresponding to the state as notification sound attribute information, storage means for storing the notification sound attribute information set by the setting means, by the state detection means of each substrate processing apparatus, When the predetermined processing state is detected, the extraction unit that extracts the corresponding notification sound attribute information from the storage unit is associated with the notification sound attribute information extracted by the extraction unit. And a means for outputting the notification sound generating means of the substrate processing apparatus.
検出手段と、報知音を発生する報知音発生手段とを有す
る複数の基板処理装置に接続される報知音制御装置であ
って、 前記基板処理装置ごとに予め定められた処理状態に対応
する報知音の属性を報知音属性情報として設定する設定
手段と、 前記設定手段により設定された報知音属性情報を記憶す
る記憶手段と、 前記各基板処理装置の前記状態検出手段により前記予め
定められた処理状態が検出されたときに、前記記憶手段
から対応する報知音属性情報を抽出する抽出手段と、 前記抽出手段により抽出された前記報知音属性情報に基
づいて対応する基板処理装置の前記報知音発生手段を駆
動する駆動手段とを備えたことを特徴とする報知音制御
装置。4. A notification sound control device connected to a plurality of substrate processing apparatuses, comprising: a status detection means for detecting a predetermined processing status; and a notification sound generation means for generating a notification sound. Setting means for setting the attribute of the notification sound corresponding to a predetermined processing state for each processing device as notification sound attribute information, storage means for storing the notification sound attribute information set by the setting means, each of the boards Extraction means for extracting corresponding notification sound attribute information from the storage means when the predetermined processing status is detected by the status detection means of the processing device; and the notification sound attribute extracted by the extraction means. An information sound control device comprising: drive means for driving the information sound generation means of the corresponding substrate processing apparatus based on information.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06082896A JP3489931B2 (en) | 1996-03-18 | 1996-03-18 | Substrate processing device, substrate processing system, and notification sound control device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06082896A JP3489931B2 (en) | 1996-03-18 | 1996-03-18 | Substrate processing device, substrate processing system, and notification sound control device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09251938A true JPH09251938A (en) | 1997-09-22 |
| JP3489931B2 JP3489931B2 (en) | 2004-01-26 |
Family
ID=13153616
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP06082896A Expired - Fee Related JP3489931B2 (en) | 1996-03-18 | 1996-03-18 | Substrate processing device, substrate processing system, and notification sound control device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3489931B2 (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007034957A1 (en) * | 2005-09-26 | 2007-03-29 | Hitachi Kokusai Electric Inc. | Substrate processing device |
| JP2021131726A (en) * | 2020-02-19 | 2021-09-09 | 株式会社ディスコ | Processing management system |
-
1996
- 1996-03-18 JP JP06082896A patent/JP3489931B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007034957A1 (en) * | 2005-09-26 | 2007-03-29 | Hitachi Kokusai Electric Inc. | Substrate processing device |
| US7808396B2 (en) | 2005-09-26 | 2010-10-05 | Hitachi Kokusai Electric, Inc. | Substrate processing apparatus |
| JP2012089853A (en) * | 2005-09-26 | 2012-05-10 | Hitachi Kokusai Electric Inc | Substrate processing apparatus |
| JP4951516B2 (en) * | 2005-09-26 | 2012-06-13 | 株式会社日立国際電気 | Substrate processing equipment |
| JP2012134518A (en) * | 2005-09-26 | 2012-07-12 | Hitachi Kokusai Electric Inc | Substrate processing apparatus, substrate processing system, display method of substrate processing apparatus, and control method of substrate processing apparatus |
| US8482426B2 (en) | 2005-09-26 | 2013-07-09 | Hitachi Kokusai Electric Inc. | Substrate processing apparatus |
| JP2021131726A (en) * | 2020-02-19 | 2021-09-09 | 株式会社ディスコ | Processing management system |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3489931B2 (en) | 2004-01-26 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5315502A (en) | Plant operation support apparatus and method using expert systems | |
| US9076316B2 (en) | System and method for verifying associations between intiating devices and notifications applicances in alarm systems | |
| EP2973480B1 (en) | Method for testing notification appliances in alarm systems | |
| JP2000079262A (en) | Game machine | |
| JP3489931B2 (en) | Substrate processing device, substrate processing system, and notification sound control device | |
| JP2001057379A (en) | Stacker monitoring device, stacker monitoring semiconductor factory automation system, and its automation method | |
| JP3151240B2 (en) | Alarm processing method and device | |
| JPS5818645B2 (en) | Power supply error display method | |
| JP2009045373A (en) | Pachinko game machine | |
| JP7456326B2 (en) | Notification control device and notification system | |
| JP2006318007A (en) | Equipment alarm apparatus, equipment alarm system, and equipment alarm method | |
| JP2003122428A (en) | Controller | |
| JPS6086693A (en) | Information announcing apparatus | |
| JP2004145464A (en) | Fire receiver | |
| JPH09128670A (en) | Plant alarm device | |
| JPH11194819A (en) | Abnormality display device | |
| KR100272703B1 (en) | Alarm apparatus for warning in the system of ground-based stations | |
| JPH06176285A (en) | Monitoring system | |
| JPH0916859A (en) | State display device | |
| JPH10162265A (en) | Monitor and alarm system | |
| KR200350029Y1 (en) | The device of diagnosis using vehicle | |
| JPH08279085A (en) | Fire alarm facility | |
| JPH10254411A (en) | Led display system | |
| JP2000105716A (en) | Cluster system and operation state monitoring method for basic processor in cluster system | |
| JPH04131998A (en) | Annunciator |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071107 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081107 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091107 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091107 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091107 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101107 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101107 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111107 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111107 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121107 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121107 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121107 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131107 Year of fee payment: 10 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |