JPH0924612A

JPH0924612A - インクジェットヘッド

Info

Publication number: JPH0924612A
Application number: JP19801895A
Authority: JP
Inventors: Takumi Suzuki; 工鈴木
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1995-07-11
Filing date: 1995-07-11
Publication date: 1997-01-28

Abstract

(57)【要約】【目的】複数の吐出口へのインク供給をスムーズにする
とともに、インク吐出時の各吐出口相互間の悪影響を防
ぐことにより、インク吐出量を一定にしてムラのない画
像記録を可能にし、しかも、吐出回復装置の省略も可能
にする。【構成】各吐出エネルギー発生体(3、17) を挟んで、該
エネルギー発生体の駆動回路への接続部と相対する反対
側の各位置にインク供給口(8) を形成し、各吐出エネル
ギー発生体ごとにインク供給口及び吐出口(7) を有する
個別の液路を兼ねた第２液室(15)を形成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は吐出口から被記録材へイ
ンクを吐出して記録を行うインクジェットヘッドに関す
る。

【０００２】

【従来の技術】プリンタ、複写機、ファクシミリ等の機
能を有する記録装置、あるいはコンピューターやワード
プロセッサ等を含む複合型電子機器やワークステーショ
ンなどの出力機器として用いられる記録装置は、画像情
報（文字情報等も含む）に基づいて用紙やプラスチック
薄板等の被記録材（記録媒体）に画像（文字等を含む）
を記録していくように構成されている。前記記録装置
は、記録方式により、インクジェット式、ワイヤドット
式、サーマル式、レーザービーム式等に分けることがで
きる。

【０００３】被記録材の搬送方向（副走査方向）と交叉
する方向に主走査しながら記録するシリアル型の記録装
置においては、被記録材を所定の記録位置にセットした
後、被記録材に沿って移動する記録手段による記録動作
と記録手段の移動方向と交叉する方向に被記録材を紙送
りする搬送動作とを組合せることにより、被記録材全体
の記録が行われる。

【０００４】一方、被記録材を搬送方向に送る副走査の
みで記録するライン型の記録装置においては、被記録材
を所定の記録位置にセットし、一括して１行分の記録を
連続的に行ないながら所定量の紙送り（ピッチ送り）を
行ない、被記録材の全体に画像が記録される。

【０００５】上記記録装置のうち、インクジェット式の
記録装置（インクジェット記録装置）は、インクジェッ
トヘッド（記録手段）から被記録材にインクを吐出して
記録を行うものであり、記録手段のコンパクト化が容易
であり、高精細な画像を高速で記録することができ、普
通紙に特別の処理を必要とせずに記録することができ、
ランニングコストが安く、ノンインパクト方式であるた
め騒音が少なく、しかも、多色のインクを使用してカラ
ー画像を記録するのが容易であるなどの利点を有してい
る。中でも、紙幅方向に多数の吐出口を配列したフルマ
ルチタイプの記録手段を用いるライン型のものは、記録
の一層の高速化が可能である。

【０００６】特に、熱エネルギーを利用してインクを吐
出するインクジェットヘッドは、エ１チング、蒸着、ス
パッタリング等の半導体製造プロセスを経て、基板上に
製膜された電気熱変換体、電極、液路壁、天板などを形
成することにより、高密度の液路配置（吐出口配置）を
有するものを容易に製造することができ、一層のコンパ
クト化を図ることができる。一方、被記録材の材質に対
する要求も様々なものがあり、近年では、通常の被記録
材である紙や樹脂薄板（ＯＨＰ等）などの他に、薄紙や
加工紙（ファイリング用のバンチ孔付き紙やミシン目付
き紙、任意な形状の紙など）などを使用することが要求
されるようになってきた。

【０００７】熱エネルギーを利用して飛翔液滴を形成す
る液体噴射記録法を用いるインクジェットヘッドは、一
般に、インクを吐出する複数の吐出口と、各吐出口に連
通する液路と、各液路内にインク吐出用エネルギーをイ
ンクに作用させる部分を有する電気−エネルギー変換体
と、各電気−エネルギー変換体に接続された電極と、を
備えている。

【０００８】このような構成を有するインクジェットヘ
ッドの中で、例えば特開昭５５−１２８４６７号公報及
び特開昭５９−１９４８６６号公報等に開示されたイン
クジェットヘッドは、基板表面に、吐出用熱エネルギー
を発生する発熱抵抗体と該発熱抵抗体に電気信号を供給
する電極と該発熱抵抗体及び該電極をインクから保護す
る保護層とを薄膜形成技術等により積層状に形成し、こ
の基板上に各発熱抵抗体と対応する液路及び吐出口を形
成する構成となっている。

【０００９】このような構成のインクジェットヘッドに
は、選択的にセグメントを吐出させる配線と電流分配の
ための共通電極部が設けられている。また、上記インク
ジェットヘッドでは、基板を形成するＳｉウェハーに貫
通孔を開け、該貫通孔を通して吐出口へ向かうインクを
供給する構造が採用されている。この基板の貫通孔の両
側には配線や抵抗が配設されている。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】図８は従来のインクジ
ェットヘッドの構造例を示す模式的縦断面図であり、図
９は従来のインクジェットヘッドの他の構造例を示す模
式的縦断面図である。図８及び図９において、１は基
板、３は基板１上に形成された電気−エネルギー変換
体、４は配線、７は吐出口、８は基板１又は天板１９を
貫通して形成される孔（インク供給口）、１０は電気−
エネルギー変換体３を駆動するための駆動回路に電気的
に接続するためのボンディングである。

【００１１】図８及び図９において、１１は吐出口７か
ら吐出されたインクの飛翔液滴、１２は記録紙等の被記
録材、１３は吐出口７内のインクに吐出エネルギーを付
与するために発生させたバブル、１７は前記バブル１３
を発生させるために前記電気−エネルギー変換体３の一
部に形成された発熱抵抗体のヒーターである。

【００１２】図８及び図９のヘッド構造においては、イ
ンク吐出方向が配線を形成している面と垂直の関係にあ
るので、吐出口の数を増やしてもヘッドの機械的強度は
低下しないし、配線ルールを変える必要もないが、イン
クを各セグメントに供給するインク供給口と吐出口との
間の距離が長くなると、不吐出期間が長くなるに従い吐
出口付近のインクの溶媒が蒸発して粘度が高くなるた
め、次回の記録を行う場合に吐出不良（不吐出を含む）
が発生して正常な記録ができなくなるという不都合があ
る。

【００１３】そのため、記録と記録の間の時間が長くな
る場合には吐出口を覆うキャップ等の密閉手段を必要と
したり、更に長期間の場合には吐出口付近のインクを強
制的に吸い出す回復操作を行う必要がある。したがっ
て、これら付加装置を必要とするインクジェット記録装
置では、その分製造コストが嵩むことになり、また、強
制的に吸い出すインクは直接記録に関係がないので、必
然的にインクの使用効率が低くなってランニングコスト
も嵩むことになる。

【００１４】図１０はインク吐出の時間間隔が短い場合
の前の吐出による圧力波の影響を例示する模式図であ
る。すなわち、１ドットを吐出した後に次のドットを吐
出する際、その時間間隔が短い場合には、図１０に示す
ように、バブル１３の急激な膨張による前の吐出で発生
する圧力波１４が矢印で示すように他の吐出口７へ伝播
され、これら他の吐出口７に前方へ突出するインクの盛
り上がり部１８が生じ、そのために、次の吐出時の他の
吐出口７からのインク吐出量が多くなって記録画像に濃
度ムラが生じることがある。図１０中、１１は吐出口７
からの飛翔液滴を、Ｌ₃は吐出口７のインクの最大盛り
上がり量を、それぞれ示す。

【００１５】また、図８及び図９のインクジェットヘッ
ドでは、基板を貫通する孔を形成する必要があるが、配
線を形成した後で基板に孔を形成することから、該基板
の裏面（下面）から孔開けを行っている。ところが、孔
を開けた後では基板を構成するＳｉウェハーの欠けが大
きくなるため、前記貫通孔を形成することによる様々な
制約が生じる。

【００１６】例えば、前記孔の位置を電気−エネルギー
変換体にぎりぎりまで接近させるという理想構造に近づ
けることができないという不都合、あるいは、前記孔の
両側に配線を設ける必要があることから、ドット密度を
高くするためには基板面積を大きくする必要があり、そ
のために製造コストが高くなり過ぎるという不都合が生
じる。なお、千鳥配置等の処置を施せば基板面積の増大
を抑えながらドット密度を高くすることが可能である
が、これでは、製造上新たな制約や問題が生じてくる。

【００１７】この問題を解決するために、特開昭６２−
２５９８６４号公報に開示されるようなカンチレバー梁
上に発熱抵抗体を設ける方法が提案されている。しか
し、この方法では、発熱抵抗体に発生する泡のエネルギ
ーが梁によって形成される孔から逃げてしまうので、イ
ンク吐出効率が低下するという不都合がある。そこで、
孔の開いた基板上に通常の基板のようなパターニング形
成を可能にする着想が望まれている。

【００１８】本発明はこのような従来技術に鑑みてなさ
れたものであり、本発明の目的は、吐出口へのインク供
給をスムーズにして安定したインク吐出を維持すること
ができ、また、インクを吐出した時に他の吐出口のイン
ク吐出に対する影響を軽減することができ、インク吐出
量を一定にしてムラのない画像を記録することができ、
さらに、複雑な構成の吐出回復装置を必要とせず、安価
で高性能の記録装置を実現し得るインクジェットヘッド
を提供することである。

【００１９】

【課題解決のための手段】本発明は、各電気−エネルギ
ー変換体を挟んで、該電気−エネルギー変換体を駆動す
るための駆動回路への接続部と相対する反対側の各位置
に基板を貫通するインク供給口を形成し、該インク供給
口を第１液室からのインク供給路とし、さらに、各電気
−エネルギー変換体ごとに、前記インク供給口がある面
のみ開放され且つ他の面に吐出口を有する構造の液路を
兼ねた第２液室を形成することを特徴とするものであ
る。

【００２０】すなわち、請求項１の発明は、インクを吐
出する複数の吐出口と、各吐出口に連通する液路と、各
液路内にインク吐出用エネルギーをインクに作用させる
部分を有する電気−エネルギー変換体と、各電気−エネ
ルギー変換体に接続された電極と、を有するインクジェ
ットヘッドにおいて、各電気−エネルギー変換体を挟ん
で、該電気−エネルギー変換体を駆動するための駆動回
路への接続部と相対する反対側の各位置に基板を貫通す
るインク供給口を形成し、各電気−エネルギー変換体ご
とに該電気−エネルギー変換体及びインク供給口を囲む
複数の第２液室を形成し、各第２液室のそれぞれはイン
ク供給口を通して共通の第１液室へ連通されている構成
とすることにより、上記目的を達成するものである。

【００２１】請求項２の発明は、請求項１の構成に加え
て、電気−エネルギー変換体を形成する基板は金属で作
られており、電気−エネルギー変換体が形成される面に
は、マスクされた状態で前記金属の電気−エネルギー変
換体形成面と反対側の面からエッチングすることによっ
て、前記インク供給口が形成される構成とすることによ
り、一層効率よく上記目的を達成するものである。

【００２２】請求項３の発明は、電気−エネルギー変換
体が形成される前記基板はＳｉウェハーで作られてお
り、電気−エネルギー変換体が形成される面には、マス
クされた状態で当該Ｓｉウェハーの電気−エネルギー変
換体形成面と反対側の面からエッチングすることによっ
て、前記インク供給口が形成される構成とすることによ
り、一層効率よく上記目的を達成するものである。

【００２３】上記本発明の構成によれば、前記基板の表
裏を貫通する孔は、フォトリソ法により正確な位置に形
成されるので、前記電気−エネルギー変換体へのインク
供給の流れ抵抗を一定にすることができ、安定したイン
ク吐出を維持し得るインクジェットヘッドが得られる。

【００２４】

【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を説明
する。各図面を通して同一符号は同一または対応部分を
示す。図１〜図３は本発明を適用したインクジェットヘ
ッドの第１〜第３実施例を示す模式的縦断面図である。
この第１実施例〜第３実施例は、基本構成の点では共通
しているが、形状及び配置の面で相違している。図４
は、図１〜図３の各インクジェットヘッドのインク吐出
部屋の内部構造を模式的に示す一部破断斜視図である。

【００２５】図１〜図４において、１は基板、２は熱遮
断のための蓄熱層、３は電気−エネルギー変換体（この
場合は薄膜抵抗体）、４は各電気−エネルギー変換体を
選択的に駆動するための配線、５は各電気−エネルギー
変換体ごとの吐出口及びインク供給口を含む液室を形成
するインク吐出部屋、６は共通電極、７は吐出口、８は
インク供給口である。

【００２６】図１〜図４において、前記吐出口７は所定
ピッチで複数形成されており、各吐出口７ごとに前記電
気−エネルギー変換体３が配設されており、各電気−エ
ネルギー変換体３の一部には、これに隣接するインクを
膜沸騰させて発泡させるためのヒーター（発熱素子）が
設けられている。そして、前記インク吐出部屋５の内部
は、各吐出口７の間に形成された仕切り壁２０により、
各吐出口（２個の吐出口）７ごとの第２液室１５が形成
されている。

【００２７】また、各吐出口７のそれぞれには１個ずつ
の電気−エネルギー変換体３及びヒーター１７が対応し
ており、したがって、前記第２液室１５のそれぞれに対
応して、前記ヒーター１７を有する電気−エネルギー変
換体３が配設されている。各ヒーター１７は、第２液室
１５内のインクに吐出エネルギーを付与するのに好適な
バブルを発生させ得る位置に配置されている。

【００２８】図１〜図４において、前記各第２液室１５
は基板１の表面（上面）に形成されており、該基板１の
裏面（下面）には各吐出口７に共通の第１液室１６が形
成されている。図示の各実施例では、前記第１液室１６
は、インクタンク兼基板支持部材９の内部に形成されて
いる。そして、前記インク供給口８は、各第２液室ごと
に、基板１の表裏を貫通して前記第１液室１６と各第２
液室１５とを連通するように形成されている。

【００２９】また、前記インク供給口８は前記電気−エ
ネルギー変換体３の前側（図示左側）に形成されてい
る。さらに、各電気−エネルギー変換体３の後側（図示
右側）端部には、該電気−エネルギー変換体３を駆動す
るための駆動回路（不図示）が図８中のボンディング１
０等の固着手段により接続されている。

【００３０】こうして、インクを吐出する複数の吐出口
７と、各吐出口７に連通する液路（第２液室）１５と、
各液路１５内にインク吐出用エネルギーをインクに作用
させる部分を有する電気−エネルギー変換体３と、各電
気−エネルギー変換体３に接続された電極６と、を有す
るインクジェットヘッドにおいて、各電気−エネルギ
ー変換体３を挟んで、該電気−エネルギー変換体を駆動
するための駆動回路への接続部と相対する反対側の各位
置に基板１を貫通するインク供給口８を形成し、各電気
−エネルギー変換体３ごとに該電気−エネルギー変換体
及びインク供給口８を囲む複数の第２液室１５を形成
し、各第２液室１５のそれぞれはインク供給口８を通し
て共通の第１液室１６へ連通されているインクジェット
ヘッドが構成されている。

【００３１】次に、本発明によるインクジェットヘッド
の第１の製造方法を工程順に説明する。先ず、厚さ０．
１ｍｍのＡｌ板（基板）１に蓄熱層２とレジストを兼ね
たポリイミドをスピンコートで厚さ０．５μｍのキュア
後の膜厚となるように塗布する。フォトリソ法によっ
て、共通電極６となる部分とインク供給口８を取り除
き、２００℃と４５０℃で順次キュアする。

【００３２】その上に、電気−エネルギー変換体３を形
成する薄膜抵抗体のＨｆＢ₂と配線４の導体を形成する
Ａｌをスパッタして、フォトリソ法によりパターニング
する。保護膜のスパッタ及びパターニング（図示せず）
を行う基板１の裏面に、インク供給口８のための孔を開
けたレジストを塗布し、その後で、各電気−エネルギー
変換体３の部屋５（第２液室１５）となる部分に注型剤
を塗布パターニングする。

【００３３】インク吐出部屋５の壁となるレジストを塗
布し、吐出口７部のレジストを除去する。基板１の裏面
に塗布されたレジストの孔を開けた部分をエッチングで
取り除くと、基板１には図６に示すようなすり鉢状の貫
通孔（インク供給口）８が形成される。この場合の多少
の位置ずれは、上部の蓄熱層２に形成される孔１８によ
って修正することができる。

【００３４】前記インク供給口８とインク吐出口７を入
出口として、各電気−エネルギー変換体３の部屋（第２
液室１５）の内部の注型剤を除去する。その後は、前記
吐出口７のある部屋５の反対側の外部接続端子にＩＣを
ボンディングする。インク流路側にインク濾過フィルタ
ー及びインク供給ユニットを装着する。基板１の裏面に
はインク冷却ユニットを装着する。こうして、本発明を
適用したインクジェットヘッドが完成する。

【００３５】以上説明した、本発明によるインクジェッ
トヘッドの第１の製造方法によれば、電気−エネルギー
変換体３を形成する基板１は金属（本実施例ではＡｌ）
で作られており、電気−エネルギー変換体３が形成され
る面には、マスクされた状態で前記金属の電気−エネル
ギー変換体形成面（上面＝表面）と反対側の面（下面＝
裏面）からエッチングすることによって、前記インク供
給口８が形成されることを特徴とするインクジェットヘ
ッドが得られる。

【００３６】次に、本発明によるインクジェットヘッド
の第２の製造方法を工程順に説明する。先ず、厚さ０．
１ｍｍのＳｉ板（基板）１に蓄熱層２とレジストを兼ね
たポリイミドをスピンコートで厚さ０．５μｍのキュア
後の膜厚となるように塗布する。フォトリソ法によっ
て、インク供給口８を取り除き、２００℃と４５０℃で
順次キュアする。

【００３７】その上に、電気−エネルギー変換体３を形
成する薄膜抵抗体のＨｆＢ₂と配線４の導体を形成する
Ａｌをスパッタして、フォトリソ法によりパターニング
する。保護膜のスパッタ及びパターニング（図示せず）
を行う基板１の裏面に、インク供給口８のための孔を開
けたレジストを塗布し、その後で、各電気−エネルギー
変換体３の部屋５（第２液室１５）となる部分に注型剤
を塗布パターニングする。

【００３８】インク吐出部屋５の壁となるレジストを塗
布し、吐出口７部のレジストを除去する。基板１の裏面
に塗布されたレジストの孔を開けた部分をエッチングで
取り除くと、基板１には図６に示すようなすり鉢状の貫
通孔（インク供給口）８が形成される。この場合の多少
の位置ずれは、上部の蓄熱層２に形成される孔１８によ
って修正することができる。あるいは、Ｓｉの異方性エ
ッチングを用いて垂直な孔を開けてもよく、傾斜のつい
たすり鉢状の孔を開けてもよい。

【００３９】前記インク供給口８とインク吐出口７を入
出口として、各電気−エネルギー変換体３の部屋（第２
液室１５）の内部の注型剤を除去する。その後は、前記
吐出口７のある部屋５の反対側の外部接続端子にＩＣを
ボンディングする。インク流路側にインク濾過フィルタ
ー及びインク供給ユニットを装着する。基板１の裏面に
はインク冷却ユニットを装着する。こうして、本発明を
適用したインクジェットヘッドが完成する。

【００４０】以上説明した、本発明によるインクジェッ
トヘッドの第２の製造方法によれば、電気−エネルギー
変換体３が形成される基板１はＳｉウェハーで作られて
おり、電気−エネルギー変換体３が形成される面には、
マスクされた状態で当該Ｓｉウェハーの電気−エネルギ
ー変換体形成面（上面＝表面）と反対側の面（下面＝裏
面）からエッチングすることによって、前記インク供給
口８が形成されることを特徴インクジェットヘッドが得
られる。

【００４１】以上の製造工程により、本発明のインクジ
ェットヘッド、すなわち、インクを吐出する複数の吐出
口と、各吐出口に連通する液路と、各液路内にインク吐
出用エネルギーをインクに作用させる部分を有する電気
−エネルギー変換体と、各電気−エネルギー変換体に接
続された電極と、を有するインクジェットヘッドにおい
て、各電気−エネルギー変換体３を挟んで、該電気−エ
ネルギー変換体を駆動するための駆動回路への接続部と
相対する反対側の各位置に基板１を貫通するインク供給
口８を形成し、各電気−エネルギー変換体３ごとに該電
気−エネルギー変換体及びインク供給口を囲む複数の第
２液室１５を形成し、各第２液室１５のそれぞれはイン
ク供給口８を通して共通の第１液室１６へ連通されてい
る構成のインクジェットヘッドが得られる。

【００４２】図６及び図７は本発明によるインクジェッ
トヘッドの効果を説明するための図面であり、図６は模
式的縦断面図であり、図７は図６中の線７−７に沿った
模式的横断面図である。図１〜図５で説明した本発明に
よるインクジェットヘッドによれば、各電気−エネルギ
ー変換体３のヒーター１７を駆動してインクを吐出した
際、対応する第２液室１５内で発生した圧力波１４は、
図６中の矢印で示すように該第２液室１５内で反射を繰
り返し、当該圧力波１４が共通の第１液室１６へ到達す
る成分は非常に少ないものとなる。

【００４３】そのため、第１液室１６から他の第２液室
１５内へ伝達される圧力波も殆ど無くすことができる。
したがって、１つの吐出口７の内部で発生した圧力波が
他の吐出口のインクに影響を与えることを実質上防止す
ることができ、他の吐出口のインク吐出機能（画像記録
性能）に対する影響を無くすことができる。これに加え
て、第２液室１５に充分なインクが供給されているの
で、長時間の放置による吐出口７のインク成分蒸発（イ
ンク増粘）による吐出不良も防止することが可能にな
る。

【００４４】

【発明の効果】以上の説明から明らかなごとく、請求項
１の発明によれば、各電気−エネルギー変換体を挟ん
で、該電気−エネルギー変換体を駆動するための駆動回
路への接続部と相対する反対側の各位置に基板を貫通す
るインク供給口を形成し、該インク供給口を第１液室か
らのインク供給路とし、さらに、各電気−エネルギー変
換体ごとに、前記インク供給口がある面のみ開放され且
つ他の面に吐出口を有する構造の液路を兼ねた第２液室
を形成する構成としたので、インクを吐出した時に他の
吐出口のインク吐出に対する影響を軽減することがで
き、インク吐出量を一定にしてムラのない画像を記録す
ることができ、さらに、複雑な構成の吐出回復装置を必
要とせず、安価で高性能の記録装置を実現し得るインク
ジェットヘッドが提供される。

【００４５】請求項２の発明によれば、請求項１の構成
に加えて、電気−エネルギー変換体を形成する基板は金
属で作られており、電気−エネルギー変換体が形成され
る面には、マスクされた状態で前記金属の電気−エネル
ギー変換体形成面と反対側の面からエッチングすること
によって、前記インク供給口が形成される構成としたの
で、上記請求項１の効果に加えて、インク供給口と電気
−エネルギー変換体の距離をフォトマスクの位置合わせ
程度まで高精度で制御できることから、吐出口へのイン
ク供給をスムーズにして安定したインク吐出を維持する
ことができるインクジェットヘッドが提供される。

【００４６】請求項３の発明によれば、請求項１の構成
に加えて、電気−エネルギー変換体が形成される前記基
板はＳｉウェハーで作られており、電気−エネルギー変
換体が形成される面には、マスクされた状態で当該Ｓｉ
ウェハーの電気−エネルギー変換体形成面と反対側の面
からエッチングすることによって、前記インク供給口が
形成される構成としたので、上記請求項１の効果に加え
て、インク供給口と電気−エネルギー変換体の距離をフ
ォトマスクの位置合わせ程度まで高精度で制御できるこ
とから、吐出口へのインク供給をスムーズにして安定し
たインク吐出を維持することができるインクジェットヘ
ッドが提供される。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を適用してインクジェットヘッドの第１
実施例の模式的縦断面図である。

【図２】本発明を適用してインクジェットヘッドの第２
実施例の模式的縦断面図である。

【図３】本発明を適用してインクジェットヘッドの第３
実施例の模式的縦断面図である。

【図４】図１〜図３の各インクジェットヘッドの第２液
室の構造を模式的に示す一部破断斜視図である。

【図５】本発明を適用したインクジェットヘッドの基板
に形成されるインク供給口を示す模式的縦断面図であ
る。

【図６】本発明によるインクジェットヘッドにおけるイ
ンク吐出時の圧力波の伝播状況を模式的に示す縦断面図
である。

【図７】図６中の線７−７に沿った横断面図である。

【図８】従来のインクジェットヘッドの構造例を模式的
に示す縦断面図である。

【図９】従来のインクジェットヘッドの別の構造例を模
式的に示す縦断面図である。

【図１０】インク吐出に伴う圧力波の伝播により他の吐
出口に生じるインクの盛り上がりを例示する模式図であ
る。

【符号の説明】

１基板２蓄熱層（ＰＩ）３電気−エネルギー変換体４電線５インク吐出部屋６共通電極７吐出口８インク供給口９インクタンク兼基板支持部材１０ボンディング（外部駆動回路との接続部）１１飛翔液滴（吐出したインク）１２被記録材（記録紙）１３バブル１４インク中の圧力波１５第２液室１６第１液室１７ヒーター１８盛り上がりインク２０仕切り壁（第２液室）

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】インクを吐出する複数の吐出口と、各
吐出口に連通する液路と、各液路内にインク吐出用エネ
ルギーをインクに作用させる部分を有する電気−エネル
ギー変換体と、各電気−エネルギー変換体に接続された
電極と、を有するインクジェットヘッドにおいて、各電
気−エネルギー変換体を挟んで、該電気−エネルギー変
換体を駆動するための駆動回路への接続部と相対する反
対側の各位置に基板を貫通するインク供給口を形成し、
各電気−エネルギー変換体ごとに該電気−エネルギー変
換体及びインク供給口を囲む複数の第２液室を形成し、
各第２液室のそれぞれはインク供給口を通して共通の第
１液室へ連通されていることを特徴とするインクジェッ
トヘッド。
【請求項２】電気−エネルギー変換体を形成する基
板は金属で作られており、電気−エネルギー変換体が形
成される面には、マスクされた状態で前記金属の電気−
エネルギー変換体形成面と反対側の面からエッチングす
ることによって、前記インク供給口が形成されることを
特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。
【請求項３】電気−エネルギー変換体が形成される
前記基板はＳｉウェハーで作られており、電気−エネル
ギー変換体が形成される面には、マスクされた状態で当
該Ｓｉウェハーの電気−エネルギー変換体形成面と反対
側の面からエッチングすることによって、前記インク供
給口が形成されることを特徴とする請求項１に記載のイ
ンクジェットヘッド。