JPH09244213A

JPH09244213A - Forming device for jog for plotting and formation of job for plotting

Info

Publication number: JPH09244213A
Application number: JP8302096A
Authority: JP
Inventors: Takeshi Tsuchiya; 健土屋
Original assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Current assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority date: 1996-03-13
Filing date: 1996-03-13
Publication date: 1997-09-19
Anticipated expiration: 2016-03-13
Also published as: JP3401609B2

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To eliminate the laboriousness of job formation and to make it possible to automatically judge whether specification data are usable or not by transferring the data from a labeled data base to a corresponding specification data storage section in accordance with a keyboard. SOLUTION: When the keyboard is inputted by an input section 110, an input analysis section 120 sends the data from one group of the specification data base 140 corresponding to the keyboard to the specification data storage section 150. When the specification data are directly inputted by the input section 110, the input analysis section 10 stores the inputted specification data as they are into the specification data storage section 150. A job formation section 160, thereafter, reads out all of the specification data stored in the specification data storage section 150 and forms the job. The specification data group corresponding to the key board is retrieved from the labeled data base 140 in a retrieval section 130 in such a manner and are sect to the specification data storage section 150. The specification data for jog formation are thus prepd. together with the inputted specification data and the job formation is executed.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は，電子線、レーザ光、イ
オンビーム、Ｘ線等の電離放射線による露光により、該
電離放射線に感光性のあるレジストを選択的に所望の形
状に露光するための露光描画装置において、描画をいか
に行うかを指示する命令仕様データからなるジョブの作
成に関する。特に、ＬＳＩ、超ＬＳＩ、超々ＬＳＩ等の
回路製造に用いられるフオトマスク、レチクル等のマス
クパターンの作成に用いられる露光描画装置におけるジ
ョブの作成に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention is intended to selectively expose a resist sensitive to ionizing radiation to a desired shape by exposure to ionizing radiation such as electron beam, laser light, ion beam and X-ray. In the above exposure drawing apparatus, it relates to creation of a job including command specification data for instructing how to draw. In particular, it relates to creation of a job in an exposure drawing apparatus used to create a mask pattern of a photomask, reticle, etc. used for manufacturing a circuit such as an LSI, a VLSI, an ultra-ultra LSI.

【０００２】[0002]

【従来の技術】ＬＳＩの集積度は年々高まってきてお
り、ＬＳＩを作製する際に用いられるパターニング用の
フオトマスク、レチクル等のマスクパターンも益々微細
化が求められてきた。この為、フオトマスクやレチクル
の作製においては、カメラワークを用いた縮小投影によ
るパターンニングに代わり、電子線や紫外線、レーザ光
等を用いた露光描画装置によるパターンニングが主流に
なってきた。中でも、高精度・高品質にレジストをパタ
ーニングするレジストパターンの作製方法として、電子
線を用いた電子線露光描画装置によるパターニング方法
が一般に知られている。この方法は、真空中で電子線を
電磁界により制御し、ＸＹ制御されたステージ上のフオ
トマスク等用の基板上の電子線に感光性のあるレジスト
部へ選択的に露光することにより所定のレジストパター
ン潜像を形成し、これを現像することによりレジストパ
ターンを得るものである。そして、レジストパターンを
耐エッチング性膜として、遮光層をエッチングしてフオ
トマスク等を得る。上記電子線露光描画装置における描
画作業をいかに行うかは、露光描画をどのように実行さ
せるかを指示するための複数の仕様（命令）データから
なるジョブにより決定されている。即ち、上記電子線露
光描画装置においては、マスク材質、マスクサイズ、描
画する電子線の電流値や電流のスポット径、描画するア
ドレス単位、描画するチップデータ、位置合わせパター
ン、配列、座標位置等の仕様データからなるジョブによ
り、露光描画をどのように行うかが指示されている。2. Description of the Related Art The degree of integration of LSIs has been increasing year by year, and there has been a demand for further miniaturization of mask patterns such as photomasks and reticles used for patterning LSIs. Therefore, in the manufacture of photomasks and reticles, patterning by an exposure drawing apparatus using electron beams, ultraviolet rays, laser beams, etc. has become the mainstream, instead of patterning by reduction projection using camera work. Among them, a patterning method using an electron beam exposure drawing apparatus using an electron beam is generally known as a method for producing a resist pattern for patterning a resist with high accuracy and high quality. In this method, an electron beam is controlled by an electromagnetic field in a vacuum, and a resist portion which is sensitive to the electron beam on a substrate for a photomask or the like on an XY-controlled stage is selectively exposed to a predetermined resist. A resist pattern is obtained by forming a pattern latent image and developing it. Then, using the resist pattern as an etching resistant film, the light shielding layer is etched to obtain a photomask or the like. How to perform the drawing operation in the electron beam exposure drawing apparatus is determined by a job including a plurality of specification (command) data for instructing how to execute the exposure drawing. That is, in the electron beam exposure drawing apparatus, the mask material, the mask size, the current value of the electron beam to be drawn, the spot diameter of the current, the address unit to be drawn, the chip data to be drawn, the alignment pattern, the array, the coordinate position, etc. A job consisting of specification data instructs how to perform exposure drawing.

【０００３】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかし、使用するレジ
ストにも多種あり、電子線に対する感度がそれぞれ異な
り、各電子線露光描画装置にもそれぞれ描画範囲や精度
が異なる場合があり、描画する内容に合わせ、適宜、所
定の描画露光装置を用いて露光描画作業を行っているの
が実際であった。そして、各露光描画に際し、その都
度、描画する内容に合わせ仕様データを入力してジョブ
を作成していた。この為、ジョブ作成の作業自体が煩雑
となり、且つ、人手入力が多く、間違いの発生があり、
その対応が求められていた。また、感度の低いレジスト
を塗布した基板を高感度レジスト用の露光描画装置に入
れて描画してしまったり、広い描画領域を必要とするの
に、狭い描画領域範囲しかない露光描画装置にて描画し
てしまうというトラブルがあり、仕様データが正しいジ
ョブにおいても、露光描画装置に合った仕様データとの
組合せの確認が必要となってきた。本発明は、このよう
な状況のもと、ジョブ作成の煩雑さを解消し、且つ、仕
様データの使用の可否を自動的に判断できるジョブ作成
装置およびジョブ作成方法を提供しようとするものであ
る。However, there are various kinds of resists to be used, the sensitivities to electron beams are different, and the drawing range and accuracy may be different in each electron beam exposure drawing apparatus. In addition, in actuality, the exposure drawing operation was actually performed using a predetermined drawing exposure apparatus. Then, at each exposure drawing, the specification data was input according to the drawn contents to create a job each time. For this reason, the job creation work itself becomes complicated, and there are many manual inputs, which may cause errors.
The response was required. In addition, a substrate coated with a low-sensitivity resist is put into an exposure drawing device for high-sensitivity resist to draw, or a large drawing area is required, but an exposure drawing device with a narrow drawing area range is used for drawing. Therefore, even in a job in which the specification data is correct, it is necessary to confirm the combination with the specification data suitable for the exposure drawing apparatus. Under such circumstances, the present invention is intended to provide a job creating apparatus and a job creating method that can eliminate the complexity of creating a job and can automatically determine whether or not to use the specification data. .

【０００４】[0004]

【課題を解決するための手段】本発明の描画用ジョブ作
成装置は、電離放射線を用いた露光描画装置の露光描画
をどのように実行させるかを指示するための複数の仕様
データからなるジョブを仕様データ入力により作成する
装置であって、少なくとも、所定の仕様データ群を指定
するキーワードないし所定のフオーマットからなる仕様
データを入力する入力部と、入力部にて入力されたデー
タを解析する入力解析部と、入力されたキーワードに対
応する仕様データ群と入力された仕様データとを併せて
蓄積する仕様データ蓄積部と、仕様データ蓄積部に蓄積
された仕様データにもとづき描画用ジョブを生成するジ
ョブ作成部と、仕様データの１群毎にラベルを付け、各
ラベルに対応する描画ジョブ生成用の仕様データ群を格
納するラベル付きデータベースと、入力されたキーワー
ドにもとづき、ラベル付きデータベースから、対応する
仕様データの１群を検索し、前記仕様データ蓄積部へ該
仕様データの１群を引き渡す検索部とを有し、入力解析
部は、入力がキーワード入力か所定のフオーマットから
なる仕様データ入力かを解析し、キーワード入力の場合
にはキーワードを検索部へ送り、仕様データ入力の場合
には、仕様データを仕様データ蓄積部へ送るもので、キ
ーワードと仕様データの入力が終了した後に、仕様デー
タ蓄積部の全仕様データに基づき、ジョブを作成するこ
とを特徴とするものである。そして、上記において、所
定のキーワードと仕様データの組合せを禁止する組合せ
禁止データを蓄積した禁則情報データベースと、入力さ
れたキーワードと入力された仕様データの組合せについ
て、前記禁則情報データベースの組合せ禁止データと比
較して組合せの可否を判断する禁則情報比較判定部とを
備えていることを特徴とするものである。そしてまた、
上記において、所定の仕様データの組合せを禁止する情
報を蓄積した禁則情報データベースと、入力されたキー
ワードに対応する仕様データ群と入力された仕様データ
の組合せについて、前記禁則情報データベースの組合せ
禁止データと比較して組合せの可否を判断する禁則情報
比較判定部とを備えていることを特徴とするものであ
る。A drawing job creating apparatus of the present invention creates a job consisting of a plurality of specification data for instructing how to perform exposure drawing of an exposure drawing apparatus using ionizing radiation. An apparatus created by inputting specification data, at least an input section for inputting specification data consisting of a keyword or a predetermined format for designating a predetermined specification data group, and an input analysis for analyzing the data input by the input section Part, a specification data storage unit that stores the specification data group corresponding to the input keyword and the input specification data together, and a job that creates a drawing job based on the specification data stored in the specification data storage unit With a creation unit and a label that labels each group of specification data and stores the specification data group for drawing job generation corresponding to each label A database, and a search unit for searching a group of corresponding specification data from a labeled database based on the input keyword and delivering the group of specification data to the specification data storage unit. Analyzes whether the input is a keyword input or specification data input consisting of a predetermined format, sends the keyword to the search unit when the keyword is input, and sends the specification data to the specification data storage unit when the specification data is input. The feature is that a job is created based on all specification data in the specification data storage unit after the input of the keyword and the specification data is completed. Then, in the above, the prohibition information database that stores the combination prohibition data that prohibits the combination of the predetermined keyword and the specification data, and the combination of the input keyword and the input specification data, the combination prohibition data of the prohibition information database, It is characterized in that it is provided with a prohibition information comparison / determination unit for comparing and judging whether or not a combination is possible. and again,
In the above, forbidden information database accumulating information that prohibits the combination of the predetermined specification data, and the combination of the specification data group and the input specification data corresponding to the input keyword, the combination prohibition data of the prohibition information database It is characterized in that it is provided with a prohibition information comparison / determination unit for comparing and judging whether or not a combination is possible.

【０００５】本発明の描画用ジョブの作成方法は、電離
放射線を用いた露光描画装置の露光描画をどのように実
行させるかを指示するための複数の仕様データからなる
ジョブを作成する方法であって、ジョブの仕様データう
ち、異なるジョブにおいて、使用頻度の高い、共通の仕
様データを１群として群毎にラベルを付けて分類し、各
ラベルに対応する描画ジョブ生成用の仕様データの群を
格納したラベル対応データベースを作成し、キーワード
指定により検索して得られる、ラベル対応データベース
からの固定的な仕様データ群と、該固定的な仕様データ
群とは異なる、個々に指定するフオトマスク描画用ジョ
ブ作成の為の仕様データから、フオトマスク描画用ジョ
ブを生成することを特徴とするものである。そして、上
記において、キーワードと個々に指定する必要があるフ
オトマスク描画用ジョブ作成の為の仕様データとの組合
せを禁止する禁止データを蓄積した禁則情報データベー
スを予め用意しておき、前記固定的な仕様データ群を指
定するキーワードと、個々に指定するフオトマスク描画
用ジョブ作成の為の仕様データの組合せについて前記禁
則情報データベースの組合せ禁止データに該当する組合
せがある場合に、ジョブを不可とすることを特徴とする
ものである。そしてまた、上記において、ラベル対応デ
ータベースからの固定的な仕様データ群と、個々に指定
する必要があるフオトマスク描画用ジョブ作成の為の仕
様データとからなる仕様データの組合せを禁止する組合
せ禁止データを蓄積した禁則情報データベースを予め用
意しておき、キーワードに対応する仕様データと個々に
指定するフオトマスク描画用ジョブ作成の為の仕様デー
タとの組合せについて、前記禁則情報データベースの組
合せ禁止データに該当する組合せがある場合に、ジョブ
を不可とすることを特徴とするものである。The drawing job creation method of the present invention is a method of creating a job consisting of a plurality of specification data for instructing how to perform the exposure drawing of the exposure drawing apparatus using ionizing radiation. In the specification data of the job, common specification data that is frequently used in different jobs is classified as a group and labeled, and a group of specification data for drawing job generation corresponding to each label is classified. A fixed specification data group from the label corresponding database, which is obtained by creating a stored label corresponding database and searching by keyword specification, and a photomask drawing job which is different from the fixed specification data group and which is specified individually A feature is that a photomask drawing job is generated from specification data for creation. Then, in the above, a prohibition information database accumulating prohibition data for prohibiting the combination of the keyword and the specification data for creating the photomask drawing job that needs to be individually specified is prepared in advance, and the fixed specifications are fixed. Regarding the combination of the keyword specifying the data group and the specification data for individually specifying the photomask drawing job, if there is a combination corresponding to the combination prohibition data of the prohibition information database, the job is disabled. It is what Further, in the above, combination prohibition data for prohibiting a combination of specification data consisting of a fixed specification data group from the label correspondence database and specification data for creating a photomask drawing job which needs to be individually specified is prohibited. The accumulated prohibition information database is prepared in advance, and the combination of the specification data corresponding to the keyword and the specification data for individually specifying the photomask drawing job is a combination corresponding to the combination prohibition data of the prohibition information database. If there is a job, the job is disabled.

【０００６】尚、ここでは、電離放射線とは、赤外線、
可視光、紫外線、遠紫外線、レーザ光、Ｘ線、イオンビ
ーム等を言い、電離放射線を用いた露光描画装置とは、
これらの電離線を描画用に用いた装置を総称して言って
いる。一般には、電子線露光描画装置、レーザ光露光描
画装置、イオンビーム露光装置、Ｘ線露光装置等があ
る。また、仕様データとは、上記電離放射線により露光
描画を行う露光描画装置において、露光描画をどのよう
に実行させるかを指示するための仕様データで、その仕
様で実行させる命令データとも言える。通常、フオトマ
スクを電子線露光描画装置において、露光描画を行う場
合には、マスクサイズ、描画アドレス、パターンデータ
名、描画座標、描画電流スポッド径、電流値、マスク材
質（温度補正データ）等の仕様を仕様データとして用い
る。Incidentally, here, the ionizing radiation means infrared rays,
Visible light, ultraviolet rays, far ultraviolet rays, laser light, X-rays, ion beams, etc., and an exposure drawing device using ionizing radiation is
The devices using these ionizing rays for drawing are collectively referred to. Generally, there are an electron beam exposure drawing apparatus, a laser beam exposure drawing apparatus, an ion beam exposure apparatus, an X-ray exposure apparatus, and the like. Further, the specification data is specification data for instructing how to perform exposure drawing in the exposure drawing apparatus that performs exposure drawing with the above-mentioned ionizing radiation, and can also be called command data to be executed with the specifications. Normally, when performing exposure drawing on a photomask in an electron beam exposure drawing apparatus, specifications such as mask size, drawing address, pattern data name, drawing coordinates, drawing current spod diameter, current value, mask material (temperature correction data), etc. Is used as the specification data.

【０００７】[0007]

【作用】本発明の描画用ジョブ作成装置は、このような
構成にすることにより、ジョブ作成の煩雑さを解消し、
且つ、仕様データの使用の可否を自動的に判断できるジ
ョブ作成装置の提供を可能にしている。具体的には、少
なくとも、所定の仕様データ群を指定するキーワードな
いし所定のフオーマットからなる仕様データを入力する
入力部と、入力部にて入力されたデータを解析する入力
解析部と、入力されたキーワードに対応する仕様データ
群と入力された仕様データとを併せて蓄積する仕様デー
タ蓄積部と、仕様データ蓄積部に蓄積された仕様データ
にもとづき描画用ジョブを生成するジョブ作成部と、仕
様データの１群毎にラベルを付け、各ラベルに対応する
描画ジョブ生成用の仕様データ群を格納するラベル付き
データベースと、入力されたキーワードにもとづき、ラ
ベル付きデータベースから、対応する仕様データの１群
を検索し、前記仕様データ蓄積部へ該仕様データの１群
を引き渡す検索部とを有し、入力解析部は、入力がキー
ワード入力か所定のフオーマットからなる仕様データ入
力かを解析し、キーワード入力の場合にはキーワードを
検索部へ送り、仕様データ入力の場合には、仕様データ
を仕様データ蓄積部へ送るもので、キーワードと仕様デ
ータの入力が終了した後に、仕様データ蓄積部の全仕様
データに基づき、ジョブを自動的に作成することにより
ジョブ作成の煩雑さを解消し、人手による仕様データの
入力ミスを少なくしている。また、所定のキーワードと
仕様データの組合せを禁止する組合せ禁止データを蓄積
した禁則情報データベースと、入力されたキーワードと
入力された仕様データの組合せについて、前記禁則情報
データベースの組合せ禁止データと比較して組合せの可
否を判断する禁則情報比較判定部とを備えていることに
より、およびまたは、所定の仕様データの組合せを禁止
する情報を蓄積した禁則情報データベースと、入力され
たキーワードに対応する仕様データ群と入力された仕様
データの組合せについて、前記禁則情報データベースの
組合せ禁止データと比較して組合せの可否を判断する禁
則情報比較判定部とを備えていることにより、仕様デー
タの使用の可否を自動的に判断できるものとしている。
即ち、入力部によりキーワードを入力することにより、
該キーワードに対応する仕様データ群を検索部にてラベ
ル付きデータベースから検索し、これを仕様データ蓄積
部へ送り、入力部より入力された仕様データとともに、
ジョブ作成の仕様データが仕様データ蓄積部にて用意さ
れる。この為、人手による仕様データの入力数を少なく
することができ、ジョブ作成の煩雑さを少なくするとと
もに、誤りの発生を少なくできるものとしている。そし
て、予め、目的に合わない、所定のキーワードと入力さ
れる仕様データの組合せ、ないし所定の仕様データ同志
の組合せを決めておき、これに相当する入力がなされた
場合には、ジョブを不可と自動的に判断でき、自動的に
入力データのチエックを可能としており、人為的なミス
が発生しずらいものなる。With the above construction, the drawing job creating apparatus of the present invention eliminates the complexity of job creation,
In addition, it is possible to provide a job creation device that can automatically determine whether to use the specification data. Specifically, at least an input section for inputting specification data consisting of a keyword or a predetermined format for designating a predetermined specification data group, and an input analysis section for analyzing the data input by the input section are input. A specification data storage unit that stores the specification data group corresponding to the keyword and the input specification data together, a job creation unit that creates a drawing job based on the specification data stored in the specification data storage unit, and the specification data A labeled database that attaches a label to each of the groups and stores a specification data group for drawing job generation corresponding to each label, and a group of the corresponding specification data from the labeled database based on the input keyword. The input analysis unit includes a search unit that searches and delivers a group of the specification data to the specification data storage unit. It analyzes whether it is a standard input or a specification data input consisting of a predetermined format, and when a keyword is input, the keyword is sent to the search unit, and when the specification data is input, the specification data is sent to the specification data storage unit. After completing the input of the specification data and the specification data, the job is automatically created based on all the specification data in the specification data storage section, eliminating the complexity of job creation and reducing manual input of specification data. There is. Further, the prohibition information database that stores the combination prohibition data that prohibits the combination of the predetermined keyword and the specification data, and the combination of the input keyword and the input specification data is compared with the combination prohibition data of the prohibition information database. By providing a prohibition information comparison / determination unit that determines whether or not a combination is possible, and / or a prohibition information database that stores information that prohibits the combination of predetermined specification data, and a specification data group corresponding to the input keyword For the combination of the specification data entered with, the prohibition information comparison / judgment unit for judging whether the combination is possible by comparing with the combination prohibition data in the prohibition information database is automatically provided. It can be judged.
That is, by inputting a keyword in the input section,
The specification data group corresponding to the keyword is searched from the labeled database by the search unit and is sent to the specification data storage unit, together with the specification data input from the input unit,
Specification data for job creation is prepared in the specification data storage unit. Therefore, the number of manually input specification data can be reduced, the complexity of job creation can be reduced, and the occurrence of errors can be reduced. Then, in advance, a combination of a predetermined keyword and input specification data or a combination of predetermined specification data that does not fit the purpose is determined in advance, and if an input corresponding to this is made, the job is disabled. It is possible to judge automatically, and it is possible to check the input data automatically, which makes it difficult for human error to occur.

【０００８】本発明の描画用ジョブ作成方法は、上記本
発明の描画用ジョブ作成装置等により実行できるもの
で、このような構成にすることにより、ジョブ作成の煩
雑さを解消し、且つ、仕様データの使用の可否を自動的
に判断できるジョブ作成装置の提供を可能にしている。The drawing job creating method of the present invention can be executed by the drawing job creating apparatus of the present invention. With such a configuration, the complexity of job creation can be eliminated and the specifications can be improved. It is possible to provide a job creation device that can automatically determine whether data can be used.

【０００９】[0009]

【実施例】本発明の描画用ジョブ作成装置の実施例を図
にもとづいて説明する。先ず、本発明の描画用ジョブ作
成装置の実施例１を挙げる。図１は、実施例１の描画用
ジョブ作成装置の図である。図１中、１００は描画用ジ
ョブ作成装置、１１０は入力部、１２０は入力解析部、
１３０は検索部、１４０はラベル付きデータベース、１
５０は仕様データ蓄積部、１６０はジョブ作成部であ
る。本実施例の描画用ジョブ作成装置は、電子線を用い
たフオトマスク、レチクル等をパターンニングするため
の露光描画装置の露光描画をどのように実行させるかを
指示するための複数の仕様（命令）データからなるジョ
ブを作成するための装置であり、図１に示すように、所
定の仕様データ群を指定するキーワードないし所定のフ
オーマットからなる仕様データを入力する入力部１１０
と、入力部１１０にて入力されたデータを解析する入力
解析部１２０と、入力されたキーワードに対応する仕様
データ群と入力された仕様データとを併せて蓄積する仕
様データ蓄積部１５０と、仕様データ蓄積部１５０に蓄
積された仕様データにもとづき描画用ジョブを生成する
ジョブ作成部１６０と、仕様データの１群毎にラベルを
付け、各ラベルに対応する描画ジョブ生成用の仕様デー
タ群を格納するラベル付きデータベース１４０と、入力
されたキーワードにもとづき、ラベル付きデータベース
から、対応する仕様データの１群を検索し、前記仕様デ
ータ蓄積部へ該仕様データの１群を引き渡す検索部１３
０とを有しているもので、入力解析部１２０は、入力が
キーワード入力か所定のフオーマットからなる仕様デー
タ入力かを解析し、キーワード入力の場合にはキーワー
ドを検索部１３０へ送り、仕様データ入力の場合には、
仕様データを仕様データ蓄積部１５０へ送る。そして、
キーワードと仕様データの入力が終了した後に、仕様デ
ータ蓄積部の全仕様データに基づき、ジョブを作成す
る。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of a drawing job creating apparatus of the present invention will be described with reference to the drawings. First, a first embodiment of the drawing job creating apparatus of the present invention will be described. FIG. 1 is a diagram of a drawing job creating apparatus according to the first embodiment. In FIG. 1, 100 is a drawing job creation apparatus, 110 is an input unit, 120 is an input analysis unit,
130 is a search unit, 140 is a labeled database, 1
Reference numeral 50 is a specification data storage unit, and 160 is a job creation unit. The drawing job creating apparatus of the present embodiment has a plurality of specifications (commands) for instructing how to execute exposure drawing of an exposure drawing apparatus for patterning a photomask, reticle, etc. using an electron beam. 1 is an apparatus for creating a job consisting of data, and as shown in FIG. 1, an input unit 110 for inputting a keyword designating a predetermined specification data group or specification data consisting of a predetermined format.
An input analysis unit 120 that analyzes the data input by the input unit 110; a specification data storage unit 150 that stores the specification data group corresponding to the input keyword and the input specification data together; A job creation unit 160 that creates a drawing job based on the specification data stored in the data storage unit 150, labels each group of specification data, and stores a specification data group for drawing job generation corresponding to each label. Based on the labeled database 140 and the input keyword, the retrieval unit 13 that retrieves a group of corresponding specification data from the labeled database and delivers the group of the specification data to the specification data storage unit.
0, the input analysis unit 120 analyzes whether the input is a keyword input or specification data input having a predetermined format, and in the case of a keyword input, sends the keyword to the search unit 130 to specify the specification data. In case of input,
The specification data is sent to the specification data storage unit 150. And
After the keyword and specification data are input, a job is created based on all specification data in the specification data storage unit.

【００１０】入力部１１０によりキーワードが入力され
ると、入力解析部１２０は、入力データがキーワードで
あると解析し、このキーワードに対応する１群の仕様デ
ータをラベル付きデータベース１４０から検索し、１群
の仕様データを仕様データ蓄積部１４０へ送る。入力部
１１０により仕様データが直接入力されると、入力解析
部１２０は、入力データが仕様データであることを解析
し、入力された仕様データをそのまま、仕様データ蓄積
部１５０へ蓄積する。このようにして、順次、キーワー
ド入力、仕様データ入力がなされ、これらの入力が終了
した後、ジョブ作成部１６０は、仕様データ蓄積部１５
０に蓄積されている全ての仕様データを読み出し、ジョ
ブを作成する。このように、キーワードに対応する仕様
データ群を検索部１３０にてラベル付きデータベース１
４０から検索し、これを仕様データ蓄積部１５０へ送
り、入力部より入力された仕様データとともに、ジョブ
作成のための仕様データが仕様データ蓄積部１５０にて
用意され、これを基にジョブ作成が行われる為、人手に
よる仕様データの入力数を少なくすることができ、ジョ
ブ作成の煩雑さを少なくするとともに、入力ミスの発生
を少なくできる。When a keyword is input by the input unit 110, the input analysis unit 120 analyzes the input data as a keyword, retrieves a group of specification data corresponding to this keyword from the labeled database 140, and The specification data of the group is sent to the specification data storage unit 140. When the specification data is directly input by the input unit 110, the input analysis unit 120 analyzes that the input data is the specification data, and stores the input specification data as it is in the specification data storage unit 150. In this way, the keyword input and the specification data input are sequentially performed, and after these inputs are completed, the job creation unit 160 causes the specification data storage unit 15 to
A job is created by reading all specification data stored in 0. In this way, the search unit 130 searches the specification data group corresponding to the keyword in the labeled database 1
The specification data storage unit 150 prepares the specification data for job creation together with the specification data input from the input unit, and the job creation is performed based on this. Since this is performed, the number of manually input specification data can be reduced, the complexity of job creation can be reduced, and the occurrence of input errors can be reduced.

【００１１】次に、本発明の描画用ジョブ作成装置の実
施例２を挙げる。図２は、実施例２の描画用ジョブ作成
装置の図である。図２中、１００は描画用ジョブ作成装
置、１１０は入力部、１２０は入力解析部、１３０は検
索部、１４０はラベル付きデータベース、１５０は仕様
データ蓄積部、１６０はジョブ作成部、１７０は入力デ
ータ蓄積部、１８０は禁則情報データベース、１９０は
禁則情報比較判定部である。本実施例描画用ジョブ作成
装置の場合は、図２に示すように、実施例１のものに、
入力データ蓄積部１７０、禁則情報データベース１８
０、禁則情報比較判定部１９０を備えたものである。入
力されたキーワードと仕様データは全て入力データ蓄積
部へいったん蓄積される。そして、入力終了後、所定の
キーワードと仕様データの組合せを禁止する組合せ禁止
データを蓄積した禁則情報データベース１８０と、入力
されたキーワードと入力された仕様データとを蓄積する
入力データ蓄積部とから、入力されたキーワードと入力
された仕様データの組合せについて、前記禁則情報デー
タベースの組合せ禁止データと比較して組合せの可否を
禁則情報比較判定部１９０にて判断される。組合せと可
と判断された場合には、検索部１３０により、順次キー
ワードによる仕様データ群の検索をラベル付きデータベ
ース１４０から行い、対応する仕様データ群を仕様デー
タ蓄積部１５０へと送る。また、入力された仕様データ
については全て仕様データ蓄積部１５０へと送る。組合
せと不可と判断された場合には、この時点でメッセージ
を出し、ジッブ作成の作業を中止する。このように、キ
ーワードに対応する仕様データ群と入力される仕様デー
タの組合せ不可をジョブ作成の段階でチエックし、入力
データの組合せの不適のものの描画が行われないように
自動的に管理できる。Next, a second embodiment of the drawing job creating apparatus of the present invention will be described. FIG. 2 is a diagram of a drawing job creating apparatus according to the second embodiment. In FIG. 2, 100 is a drawing job creation device, 110 is an input unit, 120 is an input analysis unit, 130 is a search unit, 140 is a labeled database, 150 is a specification data storage unit, 160 is a job creation unit, and 170 is an input. A data storage unit, 180 is a prohibited information database, and 190 is a prohibited information comparison and determination unit. In the case of the drawing job creating apparatus of the present embodiment, as shown in FIG.
Input data storage 170, prohibition information database 18
0, the prohibition information comparison / determination unit 190 is provided. All input keywords and specification data are temporarily stored in the input data storage unit. After the input is completed, the prohibition information database 180 that stores the combination prohibition data that prohibits the combination of the predetermined keyword and the specification data, and the input data storage unit that stores the input keyword and the input specification data, For the combination of the input keyword and the input specification data, the prohibition information comparison / determination unit 190 determines whether or not the combination is possible by comparing the combination prohibition data of the prohibition information database. When it is determined that the combination is possible, the search unit 130 sequentially searches the specification data group by the keyword from the labeled database 140, and sends the corresponding specification data group to the specification data storage unit 150. Further, all the input specification data are sent to the specification data storage unit 150. If it is determined that the combination is not possible, a message is issued at this point and the work of creating the jib is stopped. In this way, it is possible to check at the stage of job creation that the combination of the specification data group corresponding to the keyword and the input specification data cannot be combined, and it is possible to automatically manage the drawing so that an inappropriate combination of the input data is not drawn.

【００１２】次に、本発明の描画用ジョブ作成装置の実
施例３を挙げる。図３は、実施例３の描画用ジョブ作成
装置の図である。図３中、１００は描画用ジョブ作成装
置、１１０は入力部、１２０は入力解析部、１３０は検
索部、１４０はラベル付きデータベース、１５０は仕様
データ蓄積部、１６０はジョブ作成部、１８０Ａは禁則
情報データベース、１９０Ａは禁則情報比較判定部であ
る。本実施例描画用ジョブ作成装置の場合は、図３に示
すように、実施例１のものに、禁則情報データベース１
８０Ａ、禁則情報比較判定部１９０Ａを備えたものであ
り、実施例１の装置と同様にして、仕様データ蓄積部１
５０にジョブ作成のための全ての仕様データが入力され
るが、この全ての仕様データの組合せについて、禁則情
報比較判定部１９０Ａは、禁則情報データベース１８０
Ａと比較することにより、組合せの可否を判定する。組
合せと可と判断された場合には、仕様データ蓄積部１５
０に蓄積された全ての仕様データに基づきジョブを作成
する。組合せと不可と判断された場合には、この時点で
メッセージを出し、ジッブ作成の作業を中止する。この
ように、全仕様データにたいして、仕様データの組合せ
不可をジョブ作成の段階でチエックし、組合せの不適の
ものの描画が行われないように自動的に管理できる。Next, a third embodiment of the drawing job creating apparatus of the present invention will be described. FIG. 3 is a diagram of a drawing job creating apparatus according to the third embodiment. In FIG. 3, 100 is a drawing job creation device, 110 is an input unit, 120 is an input analysis unit, 130 is a search unit, 140 is a labeled database, 150 is a specification data storage unit, 160 is a job creation unit, and 180A is prohibited. The information database 190A is a prohibition information comparison / determination unit. In the case of the drawing job creating apparatus of this embodiment, as shown in FIG. 3, the prohibition information database 1 is added to that of the first embodiment.
80A and a prohibition information comparison / determination unit 190A are provided, and the specification data storage unit 1 is provided in the same manner as the device of the first embodiment.
All specification data for creating a job is input to 50. For all combinations of the specification data, the prohibition information comparison / determination unit 190A causes the prohibition information database 180
By comparing with A, it is determined whether or not the combination is possible. If it is determined that the combination is possible, the specification data storage unit 15
A job is created based on all specification data stored in 0. If it is determined that the combination is not possible, a message is issued at this point and the work of creating the jib is stopped. In this way, for all specification data, it is possible to check whether or not specification data cannot be combined at the stage of job creation, and automatically manage the drawing so that an inappropriate combination is not drawn.

【００１３】次に、本発明の描画用ジョブ作成方法を実
施例を挙げ、具体的に説明する。本実施例は、図１に示
す実施例１のジッブ作成装置１００を用い、図４に示す
配列のフオトマスクを描画するためのジョブを作成する
場合である。図４は描画するマスクのパターン配列を示
したものであり、図５はキーワードと対応する仕様デー
タ群を表した一覧である。尚、図４において、Ａ、Ｂは
それそれパターンＡ、パターンＢが配置される領域を示
しており、Ｃは位置合わせ用のパターンを示している。
また、ここでは、図５に示すラベル（識別子）Ｓ１、Ｓ
２、Ｓ３に対応するキーワードはそれぞれＳ１、Ｓ２、
Ｓ３とする。図４に示す７インチサイズのフオトマスク
を描画露光する場合、必要な情報はマスクのサイズ、描
画アドレス、パターンＡ、Ｂ、Ｃにそれぞれ対応するデ
ータ名および描画座標、描画電流スポット径、電流値、
マスク材質（温度補正データ）等である。本実施例にお
いては、図４に示すラベル（識別子）に対応するキーワ
ード入力と、パターンＡ、Ｂ、Ｃにそれぞれ対応するデ
ータ名および描画座標等を入力データとする。尚、予
め、図５に示すラベル（識別子）に対応するデータ群
を、それぞれ図１に示すラベル付きデータベース１４０
に入れておく。そして、先ず、入力部１１０にラベル
（識別子）Ｓ１に対応するキーワードＳ１を入力する
と、入力解析部１２０により、入力データはキーワード
Ｓ１と判断され、キーワードＳ１は検索部１３０へ渡さ
れ、検索部１３０はラベル付きデータベース１４０から
キーワードＳ１対応する仕様データ群を抽出し、抽出さ
れた仕様データ群を仕様データ蓄積部１５０へと送る。
この場合、キーワードＳ１に対応する仕様データ群は、
図５より分かるように、マスクサイズ７インチ、位置合
わせパターンのデータ名ＡＲ１、描画座標（Ｘ１、Ｙ
１）、描画アドレス０．５μｍ、スポット径０．６μ
ｍ、電流値１００ｎＡ等の一群の仕様データである。抽
出された仕様データは仕様データ蓄積部１５０に蓄積さ
れる。次いで、入力部１１０より、キーワードＳ１に対
応した１群の仕様データ以外に必要なデータである、パ
ターンＡ、パターンＢにそれぞれ対応するデータ名およ
び描画座標等を入力データとして入れる。これらの入力
されたデータはそのまま仕様データ蓄積部１５０へ蓄積
される。入力終了後、仕様データ蓄積部１５０に蓄積さ
れた全仕様データから、ジッブ作成部１６０によりジョ
ブの作成を行う。このようにして、キーワードＳ１に対
応する１群の仕様を予めラベル付きデータベース１４０
に蓄積しておき、キーワードＳ１入力により、自動的に
引出し、且つ、他の必要な入力による仕様データと併せ
て、全仕様データを得ている為、必要な全仕様データを
手入力してジッブの作成を行う場合に比べ、手入力が少
なくなり、作業を軽量化するとともに、人手によるミス
をすくなくできる。Next, the method for creating a drawing job of the present invention will be specifically described with reference to examples. The present embodiment is a case where a job for drawing a photomask having the array shown in FIG. 4 is created using the jib creating apparatus 100 of the first embodiment shown in FIG. FIG. 4 shows a pattern array of a mask to be drawn, and FIG. 5 is a list showing a specification data group corresponding to keywords. Incidentally, in FIG. 4, A and B indicate regions in which the pattern A and the pattern B are arranged, respectively, and C indicates a pattern for alignment.
Further, here, the labels (identifiers) S1 and S shown in FIG.
Keywords corresponding to 2, S3 are S1, S2,
S3. When drawing and exposing the 7-inch size photomask shown in FIG. 4, necessary information is the mask size, drawing address, data name and drawing coordinate corresponding to patterns A, B, and C, drawing current spot diameter, current value,
The mask material (temperature correction data) and the like. In this embodiment, the keyword input corresponding to the label (identifier) shown in FIG. 4 and the data names and drawing coordinates corresponding to the patterns A, B and C are used as the input data. Data groups corresponding to the labels (identifiers) shown in FIG. 5 are stored in advance in the labeled database 140 shown in FIG. 1, respectively.
Put it in. Then, first, when the keyword S1 corresponding to the label (identifier) S1 is input to the input unit 110, the input analysis unit 120 determines that the input data is the keyword S1, the keyword S1 is passed to the search unit 130, and the search unit 130. Extracts the specification data group corresponding to the keyword S1 from the labeled database 140 and sends the extracted specification data group to the specification data storage unit 150.
In this case, the specification data group corresponding to the keyword S1 is
As can be seen from FIG. 5, the mask size is 7 inches, the data name AR1 of the alignment pattern, the drawing coordinates (X1, Y
1), drawing address 0.5μm, spot diameter 0.6μ
m is a set of specification data such as a current value of 100 nA. The extracted specification data is stored in the specification data storage unit 150. Next, the input unit 110 inputs, as input data, data names and drawing coordinates and the like corresponding to the patterns A and B, which are necessary data in addition to the group of specification data corresponding to the keyword S1. These input data are stored in the specification data storage unit 150 as they are. After the input is completed, the jib creation unit 160 creates a job from all the specification data stored in the specification data storage unit 150. In this way, the group of specifications corresponding to the keyword S1 is previously stored in the labeled database 140.
All the specification data are stored manually, and all the specification data are obtained by automatically extracting the keyword data by inputting the keyword S1 and the specification data obtained by other necessary inputs. Compared to the case of creating a file, manual input is reduced, work is lightened, and human errors can be eliminated.

【００１４】[0014]

【発明の効果】本発明は、上記のように、ジョブ作成の
煩雑さを解消し、作業を軽量化するとともに、人手によ
るミスを少なくできる、描画用ジョブ作成装置および描
画用ジョブ作成方法の提供を可能とするものである。同
時に、仕様データの使用の可否を自動的に判断できるジ
ョブ作成装置およびジョブ作成方法の提供を可能とする
ものである。As described above, the present invention provides a drawing job creating apparatus and a drawing job creating method which can eliminate the complexity of creating a job, reduce the work weight, and reduce human errors. Is possible. At the same time, it is possible to provide a job creation device and a job creation method that can automatically determine whether or not to use the specification data.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】実施例１の描画用ジョブ作成装置の構成図FIG. 1 is a configuration diagram of a drawing job creating apparatus according to a first embodiment.

【図２】実施例２の描画用ジョブ作成装置の構成図FIG. 2 is a configuration diagram of a drawing job creating apparatus according to a second embodiment.

【図３】実施例３の描画用ジョブ作成装置の構成図FIG. 3 is a configuration diagram of a drawing job creation device according to a third embodiment.

【図４】マスクのパターン配列を示した図FIG. 4 is a diagram showing a mask pattern array.

【図５】キーワードと対応する仕様データ群を表した一
覧の図FIG. 5 is a list view showing a specification data group corresponding to keywords.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１００描画用ジョブ作成装置１１０入力部１２０入力解析部１３０検索部１４０ラベル付きデータベース１５０仕様データ蓄積部１６０ジョブ作成部１７０入力データ蓄積部１８０、１８０Ａ禁則情報データベース１９０、１９０Ａ禁則情報比較判定部 100 drawing job creation device 110 input unit 120 input analysis unit 130 search unit 140 labeled database 150 specification data storage unit 160 job creation unit 170 input data storage unit 180, 180A prohibition information database 190, 190A prohibition information comparison and determination unit

Claims

【特許請求の範囲】[Claims]

【請求項１】電離放射線を用いた露光描画装置の露光
描画をどのように実行させるかを指示するための複数の
仕様（命令）データからなるジョブを仕様データ入力に
より作成する装置であって、少なくとも、所定の仕様デ
ータ群を指定するキーワードないし所定のフオーマット
からなる仕様データを入力する入力部と、入力部にて入
力されたデータを解析する入力解析部と、入力されたキ
ーワードに対応する仕様データ群と入力された仕様デー
タとを併せて蓄積する仕様データ蓄積部と、仕様データ
蓄積部に蓄積された仕様データにもとづき描画用ジョブ
を生成するジョブ作成部と、仕様データの１群毎にラベ
ルを付け、各ラベルに対応する描画ジョブ生成用の仕様
データ群を格納するラベル付きデータベースと、入力さ
れたキーワードにもとづき、ラベル付きデータベースか
ら、対応する仕様データの１群を検索し、前記仕様デー
タ蓄積部へ該仕様データの１群を引き渡す検索部とを有
し、入力解析部は、入力がキーワード入力か所定のフオ
ーマットからなる仕様データ入力かを解析し、キーワー
ド入力の場合にはキーワードを検索部へ送り、仕様デー
タ入力の場合には、仕様データを仕様データ蓄積部へ送
るもので、キーワードと仕様データの入力が終了した後
に、仕様データ蓄積部の全仕様データに基づき、ジョブ
を作成することを特徴とする描画用ジョブ作成装置。1. An apparatus for creating a job including a plurality of specification (command) data for instructing how to perform exposure drawing of an exposure drawing apparatus using ionizing radiation by inputting specification data, At least an input section for inputting a keyword designating a predetermined specification data group or specification data consisting of a predetermined format, an input analysis section for analyzing the data input by the input section, and a specification corresponding to the input keyword For each group of specification data, a specification data storage unit that stores a data group and input specification data together, a job creation unit that creates a drawing job based on the specification data stored in the specification data storage unit Labeled databases that store specification data groups for creating drawing jobs corresponding to each label, and input keywords Accordingly, the input analysis unit has a search unit that searches the labeled database for a group of corresponding specification data and delivers the group of the specification data to the specification data storage unit. It analyzes the specification data input consisting of a predetermined format, sends the keyword to the search unit when the keyword is input, and sends the specification data to the specification data storage unit when the specification data is input. A drawing job creating apparatus, which creates a job based on all the specification data in the specification data storage unit after the input of.

【請求項２】所定のキーワードと仕様データの組合せ
を禁止する組合せ禁止データを蓄積した禁則情報データ
ベースと、入力されたキーワードと入力された仕様デー
タの組合せについて、前記禁則情報データベースの組合
せ禁止データと比較して組合せの可否を判断する禁則情
報比較判定部とを備えていることを特徴とする請求項１
記載の描画用ジョブ作成装置。2. A prohibition information database accumulating combination prohibition data for prohibiting a combination of a predetermined keyword and specification data, and combination prohibition data of the prohibition information database for a combination of an input keyword and input specification data. The prohibition information comparison / determination unit that determines whether or not the combination is possible by comparing the combinations is provided.
The drawing job creation device described.

【請求項３】所定の仕様データの組合せを禁止する情
報を蓄積した禁則情報データベースと、入力されたキー
ワードに対応する仕様データ群と入力された仕様データ
の組合せについて、前記禁則情報データベースの組合せ
禁止データと比較して組合せの可否を判断する禁則情報
比較判定部とを備えていることを特徴とする請求項１な
いし２記載の描画用ジョブ作成装置。3. A prohibition of combination of the prohibition information database for a prohibition information database that stores information prohibiting a combination of predetermined specification data and a combination of the specification data group corresponding to the input keyword and the input specification data. 3. The drawing job creating apparatus according to claim 1, further comprising a prohibition information comparison / determination unit that determines whether or not the combination is possible by comparing with the data.

【請求項４】電離放射線を用いた露光描画装置の露光
描画をどのように実行させるかを指示するための複数の
仕様データからなるジョブを作成する方法であって、ジ
ョブの仕様データうち、異なるジョブにおいて、使用頻
度の高い、共通の仕様データを１群として群毎にラベル
を付けて分類し、各ラベルに対応する描画ジョブ生成用
の仕様データの群を格納したラベル対応データベースを
作成し、キーワード指定により検索して得られる、ラベ
ル対応データベースからの固定的な仕様データ群と、該
固定的な仕様データ群とは異なる、個々に指定するフオ
トマスク描画用ジョブ作成の為の仕様データから、フオ
トマスク描画用ジョブを生成することを特徴とする描画
用ジョブの作成方法。4. A method of creating a job consisting of a plurality of specification data for instructing how to perform exposure drawing of an exposure drawing apparatus using ionizing radiation, wherein the job specification data is different. In a job, common specification data that is frequently used is classified as a group by labeling each group, and a label-corresponding database storing a group of specification data for drawing job generation corresponding to each label is created, A set of fixed specification data from the label-compatible database obtained by searching by keyword specification, and a set of specification data for creating individually specified photomask drawing jobs that are different from the fixed specification data group A method for creating a drawing job, which comprises creating a drawing job.

【請求項５】キーワードと個々に指定する必要がある
フオトマスク描画用ジョブ作成の為の仕様データとの組
合せを禁止する禁止データを蓄積した禁則情報データベ
ースを予め用意しておき、前記固定的な仕様データ群を
指定するキーワードと、個々に指定するフオトマスク描
画用ジョブ作成の為の仕様データの組合せについて前記
禁則情報データベースの組合せ禁止データに該当する組
合せがある場合に、ジョブを不可とすることを特徴とす
る請求項４記載の描画用ジョブの作成方法。5. A prohibition information database accumulating prohibition data for prohibiting a combination of a keyword and specification data for creating a photomask drawing job that must be individually specified is prepared in advance, and the fixed specifications are provided. Regarding the combination of the keyword specifying the data group and the specification data for individually specifying the photomask drawing job, if there is a combination corresponding to the combination prohibition data of the prohibition information database, the job is disabled. The method for creating a drawing job according to claim 4.

【請求項６】ラベル対応データベースからの固定的な
仕様データ群と、個々に指定する必要があるフオトマス
ク描画用ジョブ作成の為の仕様データとからなる仕様デ
ータの組合せを禁止する組合せ禁止データを蓄積した禁
則情報データベースを予め用意しておき、キーワードに
対応する仕様データと個々に指定するフオトマスク描画
用ジョブ作成の為の仕様データとの組合せについて、前
記禁則情報データベースの組合せ禁止データに該当する
組合せがある場合に、ジョブを不可とすることを特徴と
する請求項４ないし５記載の描画用ジョブの作成方法。6. A combination prohibition data for prohibiting a combination of specification data consisting of a fixed specification data group from a label corresponding database and specification data for creating a photomask drawing job which needs to be individually specified is stored. The prohibited information database prepared in advance is prepared in advance, and regarding the combination of the specification data corresponding to the keyword and the specification data for creating the photomask drawing job individually specified, the combination corresponding to the combination prohibited data of the prohibited information database is The method for creating a drawing job according to claim 4, wherein the job is disabled in a certain case.