JPH09243618A - センサ及びその製造方法 - Google Patents
センサ及びその製造方法Info
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- JPH09243618A JPH09243618A JP8056258A JP5625896A JPH09243618A JP H09243618 A JPH09243618 A JP H09243618A JP 8056258 A JP8056258 A JP 8056258A JP 5625896 A JP5625896 A JP 5625896A JP H09243618 A JPH09243618 A JP H09243618A
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- surface acoustic
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- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
る種々のパラメータを利用した検出精度の高いセンサを
提供する。 【解決手段】 IDT電極1(Al)と反射器2と圧電
基板(水晶STカット板)とを備えた共振器形の表面弾
性波フィルターのIDT電極1と反射器2を含めた表面
全体をスピンコート法を用いてTiO2 でコーティング
する(膜厚は約1μm)。この表面弾性波フィルター
を、真空引き、ガス置換のできる容器にセットする。表
面弾性波フィルターの入った容器を真空引きしておいて
から容器内を試料を含んだ空気雰囲気にセットして、そ
の後すぐに紫外線を照射したときの、表面弾性波フィル
ターの中心周波数と挿入損失とインピーダンス(レジス
タンス+リアクタンス)の変化を測定する。測定結果か
ら試料の化学種を同定する。さらに、インピーダンスの
測定により、TiO2 のもつ光触媒反応のモニタリング
する。
Description
射器とを備えた共振器形表面弾性波デバイスの特性変化
を測定して、上記共振器形表面弾性波デバイスの環境の
検出対象を検出するセンサ及びその製造方法に関する。
Acoustic Wave)は、弾性体の表面に沿っ
て伝搬する波であり、1885年にレイリー(Rayl
eigh)によって理論的にその存在が見出された。
/secであり、電磁波の速度に比して5桁も遅い。ま
た、表面弾性波の弾性波エネルギーは表面に集中してい
る(表面から1波長の深さの内に〜90%の弾性波エネ
ルギーが存在する)。このような性質を利用して、表面
弾性波はフィルターや遅延線等の種々の表面弾性波デバ
イスとして用いられている。
にも用いられている。表面弾性波デバイスでは、周波数
が電極の厚みと相関があり、さらに周波数変化が発振周
波数の2乗に比例する。このため、高周波発振可能な表
面弾性波デバイスが、化学センサとして応用され始め
た。
のタイプがあり、1つはトランスバーサル形で、もう一
つが共振器形である。図15に表面弾性波フィルターの
構造と特性の相違を示す。図15(a)は、横モード共
振子形表面弾性波フィルターであり、基板の上に2つの
IDT電極(すだれ状電極)と4つの反射器が取り付け
られている。図15(b)は、縦モード共振子形表面弾
性波フィルターであり、基板の上に2つのIDT電極と
2つの反射器が取り付けられている。また、図15
(c)は、トランスバーサル形表面弾性波フィルターで
あり、基板の上に2つのIDT電極が取り付けられてい
る。
形表面弾性波デバイスが使用されてきた(『塩川、泉
森、“弾性波デバイスを用いた化学センサ”、電学論
c、111巻、9号、平成3年』、『H.Wohltj
an,R.Dessy,Surface Acoust
ic Wave Probe for Chemica
lAnalysis.I Introduction
and Instrument Descriptio
n,Anal.Chem vol.51,No.9,1
458,(1979)』、『R.C.Hughes,
A.J.Ricco,M.A.Butter,S.J.
Martin,Chemical Microsens
ers,Science vol254,74,(19
91)』)。
面弾性波デバイスを用いた化学センサは、解析が容易で
あり、センサの大きさが大きく(数センチ角)、センサ
としての機能を持たせるための細工(加工)が比較的易
しかった。
性波デバイスを用いた化学センサは、検出精度を挙げる
ためには中心周波数の鋭さ(Q値)を上げるなければい
けないが、Q値を上げるには限界がある(中心周波数に
対して3%以上の広がりをもつ)。
デバイスを用いた化学センサは、表面弾性波の伝送路上
に機能を持たせた薄膜をコーティングする必要があり、
この薄膜をつけるためにフォト・リソグラフィー行程が
必要であった(IDT電極上にはコーティングしなかっ
た)。
心周波数シフト検出のみを利用したガスセンサやにおい
センサが主流であり、表面弾性波デバイスが有する種々
のパラメータ(挿入損失やインピーダンス等)を利用し
ているものは少なかった。
れたものであり、容易に製造でき、表面弾性波デバイス
が有する種々のパラメータを利用した検出精度の高いセ
ンサを提供することを目的とする。
れ状電極と反射器とを備えた共振器形表面弾性波デバイ
スの特性変化を測定して、共振器形表面弾性波デバイス
の環境の検出対象を検出するセンサであって、共振器形
表面弾性波デバイスの表面をTiO2 でコーティングし
たことを特徴とする。
サにおいて、すだれ状電極及び又は反射器をTiO2 で
コーティングしたことを特徴とする。
サにおいて、共振器形表面弾性波デバイスの表面全体を
TiO2 でコーティングしたことを特徴とする。
に記載のセンサにおいて、共振器形表面弾性波デバイス
が表面弾性波を利用した共振器であることを特徴とす
る。
に記載のセンサにおいて、共振器形表面弾性波デバイス
が共振器形の表面弾性波フィルターであることを特徴と
する。
記載のセンサにおいて、検出対象の雰囲気の変化及び又
は共振器形表面弾性波デバイスの表面にコーティングし
たTiO2 の表面への検出対象の吸着に係る共振器形表
面弾性波デバイスの特性変化を測定して、検出対象を検
出することを特徴とする。
に記載のセンサにおいて、共振器形表面弾性波デバイス
の表面にコーティングしたTiO2 の表面へ吸着した検
出対象に紫外線を照射して、TiO2 の光触媒反応に係
る共振器形表面弾性波デバイスの特性変化を測定して、
検出対象を検出することを特徴とする。
に記載のセンサにおいて、共振器形表面弾性波デバイス
の中心周波数を測定する中心周波数測定手段を備え、中
心周波数測定手段が測定した中心周波数に係る情報を用
いて検出対象を検出することを特徴とする。
に記載のセンサにおいて、共振器形表面弾性波デバイス
の挿入損失を測定する挿入損失測定手段を備え、挿入損
失測定手段が測定した挿入損失に係る情報を用いて検出
対象を検出することを特徴とする。
かに記載のセンサにおいて、共振器形表面弾性波デバイ
スのレジスタンスを測定するレジスタンス測定手段を備
え、レジスタンス測定手段が測定したレジスタンスに係
る情報を用いて検出対象を検出することを特徴とする。
れかに記載のセンサにおいて、共振器形表面弾性波デバ
イスのリアクタンスを測定するリアクタンス測定手段を
備え、リアクタンス測定手段が測定したリアクタンスに
係る情報を用いて検出対象を検出することを特徴とす
る。
れかに記載のセンサにおいて、上記共振器形表面弾性波
デバイスの表面にコーティングしたTiO2 の表面に吸
着した吸着物質があらかじめ検出対象として定めた検出
対象化学種であるか否かを判断する化学種同定手段を備
えたことを特徴とする。
センサにおいて、検出対象化学種が所定のアルコール種
及び又はアルデヒド種であることを特徴とする。
れかに記載のセンサにおいて、共振器形表面弾性波デバ
イスの表面にコーティングしたTiO2 の表面への吸着
した吸着物質の化学プロセスをモニタリングする化学プ
ロセスモニタリング手段を備えたことを特徴とする。
センサにおいて、化学プロセスが、検出対象のTiO2
表面への吸着及び又はTiO2 の光触媒反応であること
を特徴とする。
れかに記載のセンサにおいて、共振器形表面弾性波デバ
イスの表面にコーティングしたTiO2 表面の吸着水の
量を制御することにより感度を設定したことを特徴とす
る。
センサにおいて、紫外線を照射して吸着水の量を制御す
ることを特徴とする。
れかに記載のセンサにおいて、共振器形表面弾性波デバ
イスの表面にコーティングしたTiO2 の一部又は全体
がアナターゼ構造であることを特徴とする。
器とを備えた共振器形表面弾性波デバイスの特性変化を
測定して、共振器形表面弾性波デバイスの環境の検出対
象を検出するセンサの製造方法であって、共振器形表面
弾性波デバイスの表面をTiO2 でコーティングするこ
とを特徴とする。
センサの製造方法において、すだれ状電極及び又は共振
器をTiO2 でコーティングすることを特徴とする。
センサの製造方法において、共振器形表面弾性波デバイ
スの表面全体をTiO2 でコーティングすることを特徴
とする。
何れかに記載のセンサの製造方法において、TiO2 の
一部又は全体がアナターゼ構造になるように、TiO2
を共振器形表面弾性波デバイスの表面にコーティングす
ることを特徴とする。
何れかに記載のセンサの製造方法において、スピンコー
ト法又はディップ法を用いて共振器形表面弾性波デバイ
スの表面をTiO2 でコーティングすることを特徴とす
る。
の形態を図面を参照しながら詳細に説明する。
いた表面弾性波フィルターの概略構成を示したものであ
る。表面弾性波フィルターは、IDT電極1(Inte
rdigital electrode)と反射器2
(Grating Reflector)と図示しない
圧電基板とからなる。
ターは、横モード共振子形の一種であり、携帯電話やポ
ケットベルの中のIFフィルターとして用いられるもの
であり、中心周波数は150MHzである。なお、本実
施の形態で使用した表面弾性波フィルターは、共振子を
近接して併設してその導波路モードを弾性的に結合した
多重モードフィルタ(弾性結合タイプの2重フィルタ)
である。
した表面弾性波フィルターのIDT電極1と反射器2を
含めた表面全体をTiO2 (二酸化チタン)でコーティ
ングしている。TiO2 のコーティングにはスピンコー
ト法を用いた。TiO2 薄膜の膜厚は約1μmとした。
これは、膜厚が薄すぎると光触媒として有効に機能しな
くなり、膜厚があつすぎると表面弾性波の発振特性が悪
くなることを考慮して、適した膜厚に定めたものであ
る。
ウム)を用いた。また、表面弾性波フィルターの圧電基
板には温度係数0の水晶STカット板を用いた。
を示したものである。図2に示したように、表面弾性波
フィルターの基本特性は、伝送特性と反射特性に分かれ
る。本実施の形態では、伝送特性から中心周波数(共振
周波数)fと挿入損失(IL:Insertion L
oss)、反射特性からインピーダンス(=レジスタン
ス+リアクタンス)のパラメータを用いた。
数fとIDT電極との関係を示したものである。表面弾
性波フィルターの中心周波数fは、f=v/2d(v:
表面波速度,d:電極間距離)で示され、表面吸着等で
vが変化するとfが変化する。
(ET /EG )で示されて、系のインピーダンスバラン
スのずれがILの変化となって表れる。ここで、Eg は
信号源電力であり、Et は供給電力である。図4に示す
ように、インピーダンス特性はスミスチャート(Smi
th chart)上でレジスタンスR,電気容量C,
インダクタンスLの変化として捉えられる。
フィルターを利用したセンサによって、TiO2 のもつ
光触媒反応のモニタリングを試みた。TiO2 でコーテ
ィングした表面弾性波フィルターは、真空引き、ガス置
換のできる容器にセットして、計測にはマッチング回路
を介してネットワーク・アナライザを用いた。
ル(EtOH)のTiO2 表面への吸着と波長が360
nm近傍である紫外線(UV光)の照射により分解,脱
着する過程をモニタリングしたしたときの中心周波数f
と挿入損失ILの測定結果を示す。
器を真空引きしておいてから容器内をメタノールを含ん
だ空気雰囲気にセットして、その後すぐに紫外線を照射
したときの、中心周波数fの時間変化と挿入損失ILの
時間変化をプロットしたものである。
示したものであり、横軸が時間(×103 sec)で、
縦軸が中心周波数f(kHz)を示している。時間0近
辺で中心周波数fが小さくなっているのはメタノールの
吸着と紫外線照射による変化である。時間が20を過ぎ
てから中心周波数fが大きくなっているのは紫外線照射
を止めたときの変化を示している。
示したものであり、横軸が時間(×103 sec)で、
縦軸が挿入損失IL(dB)を示している。時間0近辺
で挿入損失ILが小さくなっているのはメタノールの吸
着と紫外線照射による変化である。時間が20を過ぎて
から挿入損失ILが大きくなっているのは紫外線照射を
止めたときの変化を示している。
を周波数f(kHz),縦軸を挿入損失IL(dB)に
してプロットし直したものである。
入った容器を真空引きしておいてから容器内をエタノー
ルを含んだ空気雰囲気にセットして、その後すぐに紫外
線を照射したときの、中心周波数fの時間変化と挿入損
失ILの時間変化をプロットしたものである。
示したものであり、横軸が時間(×103 sec)で、
縦軸が中心周波数f(kHz)を示している。時間0近
辺で中心周波数fが小さくなっているのはエタノールの
吸着と紫外線照射による変化である。時間が20を過ぎ
てから中心周波数fが大きくなっているのは紫外線照射
を止めたときの変化を示している。
示したものであり、横軸が時間(×103 sec)で、
縦軸が挿入損失IL(dB)を示している。時間0近辺
で挿入損失ILが小さくなっているのはメタノールの吸
着と紫外線照射による変化である。時間が20を過ぎて
から挿入損失ILが大きくなっているのは紫外線照射を
止めたときの変化を示している。
を周波数f(kHz),縦軸を挿入損失IL(dB)に
してプロットし直したものである。
表面弾性波フィルターを利用したセンサは、アルコール
種を認識するセンサとして使用できることがわかる。
ングしたTiO2 の表面の構造を示したものである。
を補償するように水(−OH基:水酸基)が結合子、そ
の上に水の層が何層にも積層した形になっている(図9
(b))。
中で紫外線を照射すると表面に積層された水はある程度
分解されて、簡単に吸着した水の層は除去できる(図9
(a))。
さらに水を吸着させると容易に判断できる。すなわち、
(イ)の状態(Homo stacking)と(ロ)
の状態(Hetero stacking)では、吸着
時の特性変化に違いがある。
ィルターの入った容器を真空引きしておいてから容器内
をエタノール,メタノール,イソプロピルアルコール
(IPA)の雰囲気にセットして表面弾性波フィルター
を20秒間さらしたときの、表面弾性波フィルターの中
心周波数変化に対する挿入損失変化をプロットしたもの
であり、横軸は中心周波数f(Hz)を示していて、縦
軸は挿入損失IL(dB)を示している。
性波フィルターの入った容器を真空引きしておいてから
容器内を水の雰囲気にセットして表面弾性波フィルター
を20秒間さらしたときの、表面弾性波フィルターの中
心周波数変化に対する挿入損失変化をプロットしたもの
である。同様に、図11(b)は、(ロ)の状態で、表
面弾性波フィルターの入った容器を真空引きしておいて
から容器内を水の雰囲気にセットして表面弾性波フィル
ターを20秒間さらしたときの、表面弾性波フィルター
の中心周波数変化に対する挿入損失変化をプロットした
ものである。図11(a)(b)の横軸は中心周波数f
(kHz)を示していて、縦軸は挿入損失IL(dB)
を示している。
ィルターの入った容器を真空引きしておいてから容器内
をメタノール,エタノール,イソプロピルアルコールの
雰囲気にセットしてアルコールを吸着させて、吸着によ
る挿入損失ILの変化が定常状態になったのを確認後、
紫外線照射による挿入損失ILの時間変化をプロットし
たものである。ただし、図12において、吸着による挿
入損失IL量を原点に移動させてプロットした。メタノ
ール,エタノール,イソプロピルアルコールについて
は、それぞれ濃度の違う2種類のデータを示した。ま
た、参考までにAIR(空気)中でのデータも示した。
ILの時間変化からアルコール種が同定できることがわ
かる(同じアルコールの場合は濃度の違いが識別でき
る)。つまり、たとえ吸着による挿入損失ILの変化が
同じでも、紫外線照射による分解過程が違うので、紫外
線照射後の挿入損失ILの変化からアルコール種が同定
できる。
射では同じようなIL変化を示すことがわかる。図13
はエタノールの吸着と紫外線照射を行ったときのインピ
ーダンス特性(反射特性)を測定して、横軸をレジスタ
ンス(Ω),縦軸をリアクタンス(Ω)にしてプロット
したものである。図13のインピーダンス特性を見る
と、吸着過程と紫外線照射によるものの違いが明らかに
なる。このように、インピーダンス測定により、化学プ
ロセス(TiO2 の光触媒反応等)のモニタリングを行
える。
横モード共振子形表面弾性波フィルターのIDT電極と
反射器を含めた表面全体をTiO2 でコーティングし
て、この表面弾性波フィルターを、真空引き、ガス置換
のできる容器にセットして、マッチング回路を介してネ
ットワーク・アナライザを用いて、種々のアルコールの
中心周波数や挿入損失を測定するようにした表面弾性波
フィルターを用いたセンサが、アルコール種を同定でき
る化学センサとして有効に機能することがわかる。さら
に、表面弾性波フィルターのインピーダンス測定を行う
ことにより、化学プロセスをモニタリングするセンサと
して使用できる。
の表面全体にTiO2 をコーティングしているので、表
面弾性波を発生させるIDT電極に直接TiO2 の変化
(吸着や紫外線照射によるキャリアの発生)が表れ感度
が増している。
されるものでなく、種々の変形を許容するものである。
コート法によりコーティングしたものを示したが、Ti
O2 の結晶構造がアナターゼリッチの構造になるならば
ディップコート法等の他の方法を用いてもよい。
0nm近傍の紫外線を用いたが、TiO2 の持つ吸収端
より波長の短い紫外線であれば同様に適用できる。
ル、エタノール、イソプロピルアルコールの測定結果を
示したが、本発明は他のアルコールやアルコール以外の
物質(アセトアルデヒド等のアルデヒド種等)にも同様
に適用できる。
形表面弾性波フィルターをガスセンサとして用いたもの
を示したが、本発明は、イオンセンサ等の他の化学セン
サにも同様に適用でき、圧力センサ等の化学センサ以外
の他のセンサにも同様に適用できる。
構成を示したものである。上記実施の形態では、共振器
形表面弾性波フィルターを用いたものを示したが、図1
4のような単一の共振器のような他の共振器形表面弾性
波デバイスを用いてもよく、単一の共振器の方が共振器
形表面弾性波フィルターよりも周波数検出精度が向上し
て解析も容易になる。
振器形表面弾性波デバイスの表面をTiO2 でコーティ
ングするようにしたので、TiO2 の表面への吸着や紫
外線照射によるTiO2 の光触媒反応に係る種々の特性
を測定することにより、検出対象を検出することができ
る。
でコーティングすることにより、表面弾性波を発生させ
るすだれ状電極や反射器に直接TiO2 の変化が表れ感
度が増している。
全体をTiO2 でコーティングすることにより、従来に
比べて薄膜のコーティングが容易に行える。TiO2 の
コーティングにはスピンコート法やディップ法が有効で
ある。
周波数、挿入損失、レジスタンス、リアクタンスを測定
することにより、化学種の同定だけでなく、化学プロセ
スをモニタリングするセンサとしても使用できる。
フィルターの概略構成を示す図である。
本特性を示す図である。
心周波数fとIDT電極との関係を示す図である。
ンスR,電気容量C,インダクタンスLとの関係を示す
図である。
までの表面弾性波フィルターの中心周波数の時間変化と
挿入損失の時間変化を示すグラフである。
までの表面弾性波フィルターの中心周波数変化に対する
挿入損失変化を示すグラフである。
までの表面弾性波フィルターの中心周波数の時間変化と
挿入損失の時間変化を示すグラフである。
までの表面弾性波フィルターの中心周波数変化に対する
挿入損失変化を示すグラフである。
ーティングしたTiO2 の表面の構造を示す図である。
TiO2 の表面に物理吸着水がある状態でエタノール,
メタノール,イソプロピルアルコール(IPA)の雰囲
気に表面弾性波フィルターを20秒間さらしたときの、
表面弾性波フィルターの中心周波数変化に対する挿入損
失変化を示すグラフである。
TiO2 の表面に物理吸着水がある状態と無い状態で、
水の雰囲気に表面弾性波フィルターを20秒間さらした
ときの、表面弾性波フィルターの中心周波数変化に対す
る挿入損失変化を示すグラフである。
で、メタノール,エタノール,イソプロピルアルコール
を吸着させて吸着による挿入損失ILの変化が定常状態
になったのを確認後、紫外線照射による挿入損失ILの
時間変化を吸着による挿入損失IL量を原点に移動させ
てプロットしたグラフである。
線照射にる分解までのインピーダンス特性示すグラフで
ある。
振器の構成を示した図である。
相違を示す図である。
Claims (23)
- 【請求項1】 すだれ状電極と反射器とを備えた共振器
形表面弾性波デバイスの特性変化を測定して、上記共振
器形表面弾性波デバイスの環境の検出対象を検出するセ
ンサであって、 上記共振器形表面弾性波デバイスの表面をTiO2 でコ
ーティングしたことを特徴とするセンサ。 - 【請求項2】 上記すだれ状電極及び又は上記反射器を
TiO2 でコーティングしたことを特徴とする請求項1
に記載のセンサ。 - 【請求項3】 上記共振器形表面弾性波デバイスの表面
全体をTiO2 でコーティングしたことを特徴とする請
求項1に記載のセンサ。 - 【請求項4】 上記共振器形表面弾性波デバイスは、表
面弾性波を利用した共振器であることを特徴とする請求
項1〜3の何れかに記載のセンサ。 - 【請求項5】 上記共振器形表面弾性波デバイスは、共
振器形の表面弾性波フィルターであることを特徴とする
請求項1〜3の何れかに記載のセンサ。 - 【請求項6】 検出対象の雰囲気の変化及び又は上記共
振器形表面弾性波デバイスの表面にコーティングしたT
iO2 の表面への検出対象の吸着に係る上記共振器形表
面弾性波デバイスの特性変化を測定して、検出対象を検
出することを特徴とする請求項1〜5の何れかに記載の
センサ。 - 【請求項7】 上記共振器形表面弾性波デバイスの表面
にコーティングしたTiO2 の表面へ吸着した検出対象
に紫外線を照射して、TiO2 の光触媒反応に係る上記
共振器形表面弾性波デバイスの特性変化を測定して、検
出対象を検出することを特徴とする請求項1〜6の何れ
かに記載のセンサ。 - 【請求項8】 上記共振器形表面弾性波デバイスの中心
周波数を測定する中心周波数測定手段を備え、 上記中心周波数測定手段が測定した中心周波数に係る情
報を用いて検出対象を検出することを特徴とする請求項
1〜7の何れかに記載のセンサ。 - 【請求項9】 上記共振器形表面弾性波デバイスの挿入
損失を測定する挿入損失測定手段を備え、 上記挿入損失測定手段が測定した挿入損失に係る情報を
用いて検出対象を検出することを特徴とする請求項1〜
8の何れかに記載のセンサ。 - 【請求項10】 上記共振器形表面弾性波デバイスのレ
ジスタンスを測定するレジスタンス測定手段を備え、 上記レジスタンス測定手段が測定したレジスタンスに係
る情報を用いて検出対象を検出することを特徴とする請
求項1〜9の何れかに記載のセンサ。 - 【請求項11】 上記共振器形表面弾性波デバイスのリ
アクタンスを測定するリアクタンス測定手段を備え、 上記リアクタンス測定手段が測定したリアクタンスに係
る情報を用いて検出対象を検出することを特徴とする請
求項1〜10の何れかに記載のセンサ。 - 【請求項12】 上記共振器形表面弾性波デバイスの表
面にコーティングしたTiO2 の表面に吸着した吸着物
質があらかじめ検出対象として定めた検出対象化学種で
あるか否かを判断する化学種同定手段を備えたことを特
徴とする請求項1〜11の何れかに記載のセンサ。 - 【請求項13】 上記検出対象化学種が所定のアルコー
ル種及び又はアルデヒド種であることを特徴とする請求
項12に記載のセンサ。 - 【請求項14】 上記共振器形表面弾性波デバイスの表
面にコーティングしたTiO2 の表面への吸着した吸着
物質の化学プロセスをモニタリングする化学プロセスモ
ニタリング手段を備えたことを特徴とする請求項1〜1
3の何れかに記載のセンサ。 - 【請求項15】 上記化学プロセスが、検出対象のTi
O2 表面への吸着及び又はTiO2 の光触媒反応である
ことを特徴とする請求項14に記載のセンサ。 - 【請求項16】 上記共振器形表面弾性波デバイスの表
面にコーティングしたTiO2 表面の吸着水の量を制御
することにより感度を設定したことを特徴とする請求項
1〜15の何れかに記載のセンサ。 - 【請求項17】 紫外線を照射して吸着水の量を制御す
ることを特徴とする請求項16に記載のセンサ。 - 【請求項18】 上記共振器形表面弾性波デバイスの表
面にコーティングしたTiO2 の一部又は全体がアナタ
ーゼ構造であることを特徴とする請求項1〜17の何れ
かに記載のセンサ。 - 【請求項19】 すだれ状電極と反射器とを備えた共振
器形表面弾性波デバイスの特性変化を測定して、上記共
振器形表面弾性波デバイスの環境の検出対象を検出する
センサの製造方法であって、 上記共振器形表面弾性波デバイスの表面をTiO2 でコ
ーティングすることを特徴とするセンサの製造方法。 - 【請求項20】 上記すだれ状電極及び又は上記共振器
をTiO2 でコーティングすることを特徴とする請求項
19に記載のセンサの製造方法。 - 【請求項21】 共振器形表面弾性波デバイスの表面全
体をTiO2 でコーティングすることを特徴とする請求
項19に記載のセンサの製造方法。 - 【請求項22】 TiO2 の一部又は全体がアナターゼ
構造になるように、TiO2 を上記共振器形表面弾性波
デバイスの表面にコーティングすることを特徴とする請
求項19〜21の何れかに記載のセンサの製造方法。 - 【請求項23】 スピンコート法又はディップ法を用い
て上記共振器形表面弾性波デバイスの表面をTiO2 で
コーティングすることを特徴とする請求項19〜22の
何れかに記載のセンサの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8056258A JP3066393B2 (ja) | 1996-03-13 | 1996-03-13 | センサ及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8056258A JP3066393B2 (ja) | 1996-03-13 | 1996-03-13 | センサ及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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