JPH09237818A - ワーク搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】搬送機構によるワークの搬送速度を高速に維持
したまま、ワークに与える衝撃を最小限に抑えて受取部
に載置させることができるワーク搬送装置を提供するこ
と。 【解決手段】ウエハＷを受渡部からステージ１２３まで
搬送するロボットアーム１１２と、ロボットアーム１１
２により搬送されているウエハＷの速度を検出する制御
部１１４と、ロボットアーム１１２により搬送されたウ
エハＷをステージ１２３が受取る際に、制御部１１４に
よって得られたウエハＷの速度に基づいてウエハＷとス
テージ１２３との相対速度が所定値以下となるようにス
テージ１２３を移動させるステージ支持部１２２とを備
えている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ウエハ等のワーク
を所定の場所まで搬送するワーク搬送装置に関し、特に
ワークが所定位置に到達する際にワークに衝撃を与える
ことなく搬送できるものに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来からワーク搬送装置の一つとしてウ
エハを搬送するためのウエハ搬送装置が用いられてい
る。例えば、図１１に示すウエハ搬送装置１では、高速
度で駆動可能なロボットアーム２が設けられており、ロ
ボットアーム２の先端にはウエハＷをチャックするチャ
ック部３が設けられている。このようなウエハ搬送装置
１では、ロボットアーム２により、ウエハ受渡部（不図
示）から所定位置に配置された受取部４まで高速度で搬
送するようにしていた。

【０００３】なお、ウエハＷがシリコンウエハ等の衝撃
に弱いものの場合には、ウエハが受取部４に当接する際
の衝撃で破損する場合があるため、受取部３４到達する
直前に超低速度まで速度を落とし受取部４上の所定の位
置に正確に載置するようにしていた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上記した従来のウエハ
搬送装置１では次のような問題があった。すなわち、ウ
エハＷを受取部４上に置く際の衝撃を弱めるために、ロ
ボットアーム２による搬送速度をウエハＷが受取部４に
到達する直前に速度を減じている。このため、搬送効率
が低下するという問題があった。また、高速度搬送機能
と低速度精密搬送機能という相反する機能を合せ持つロ
ボットアーム２等の搬送機構を製造するのは困難であっ
た。

【０００５】そこで本発明は、搬送機構によるワークの
搬送速度を高速に維持したまま、ワークに与える衝撃を
最小限に抑えて受取部に載置させることができるワーク
搬送装置を提供することを目的としている。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決し目的を
達成するために、請求項１に記載された発明は、ワーク
を受渡部から受取部まで搬送するワーク搬送手段と、こ
のワーク搬送手段により搬送されている上記ワークの速
度を検出する速度検出手段と、上記ワーク搬送手段によ
り搬送された上記ワークを上記受取部が受取る際に、上
記速度検出手段によって得られた上記ワークの速度に基
づいて上記ワークと上記受取部との相対速度が所定値以
下となるように上記受取部を移動させる受取部移動手段
とを備えるようにした。

【０００７】請求項２に記載された発明は、請求項１に
記載された発明において、上記速度検出手段は、上記受
取部に設けられていることが好ましい。請求項３に記載
された発明は、請求項１に記載された発明において、上
記ワーク搬送手段により搬送されている上記ワークの姿
勢を検出する姿勢検出手段と、この姿勢検出手段によっ
て得られた上記ワークの姿勢に基づいて上記受取部の姿
勢を調節する受取部姿勢調節手段とを備えていることが
好ましい。

【０００８】請求項４に記載された発明は、請求項３に
記載された発明において、上記姿勢検出手段は、上記受
取部に設けられていることが好ましい。請求項５に記載
された発明は、請求項１に記載された発明において、上
記ワーク搬送手段により搬送されている上記ワークの向
きを検出する向き検出手段と、この向き検出手段によっ
て得られた上記ワークの向きに基づいて上記受取部の向
きを調節する受取部向き調節手段とを備えていることが
好ましい。

【０００９】請求項６に記載された発明は、上記向き検
出手段は、上記受取部に設けられていることが好まし
い。上記手段を講じた結果、次のような作用が生じる。
すなわち、請求項１に記載された発明では、ワーク搬送
手段により搬送されているワークの速度を検出し、ワー
クを受取部が受取る際に、ワークの速度に基づいてワー
クと受取部との相対速度が所定値以下となるように受取
部を移動させることにより、ワーク搬送手段による搬送
速度を遅くすることなく受取部がワークを受取る際の衝
撃を弱めることができる。このため、ワークを傷付ける
ことなく搬送効率を向上させることができる。

【００１０】請求項２に記載された発明では、速度検出
手段を受取部に設けることにより、搬送されているワー
クと速度検出手段との相対速度を小さくすることがで
き、高精度な速度検出を行うことができる。

【００１１】請求項３に記載された発明では、ワーク搬
送手段により搬送されているワークの姿勢を検出し、こ
のワークの姿勢に基づいて受取部の姿勢を調節すること
により、受取部とワークとの姿勢のずれを修正すること
ができ、受取部がワークを受取る際の衝撃を最小限に抑
えることができる。

【００１２】請求項４に記載された発明では、姿勢検出
手段を受取部に設けることにより、搬送されているワー
クと姿勢検出手段との相対速度を小さくすることがで
き、高精度な姿勢検出を行うことができる。

【００１３】請求項５に記載された発明では、ワーク搬
送手段により搬送されているワークの向きを検出し、こ
のワークの向きに基づいて受取部の向きを調節すること
により、受取部とワークとの向きのずれを修正すること
ができ、ワークが受取部に到達する際の衝撃を最小限に
抑えることができる。

【００１４】請求項６に記載された発明では、向き検出
手段を受取部に設けることにより、搬送されているワー
クと向き検出手段との相対速度を小さくすることがで
き、高精度な姿勢検出を行うことができる。

【００１５】

【発明の実施の形態】図１は本発明の第１の実施の形態
に係るワーク搬送装置の一つであるウエハ搬送装置１０
０を示す斜視図である。また、Ｗはウエハ（ワーク）を
示している。なお、図１中矢印ＸＹＺ方向は互いに垂直
な三方向を示しており、特に矢印Ｚ方向は鉛直方向を示
している。

【００１６】ウエハ搬送装置１００は、搬送機構１１０
及び受取機構１２０とを備えている。搬送機構１１０
は、ベース１１１と、このベース１１１に取り付けられ
たロボットアーム１１２（ワーク搬送手段）と、このロ
ボットアーム１１２の先端に取り付けられウエハＷを保
持する機械式のチャック１１３と、ロボットアーム１１
２の駆動を制御するとともにチャック１１３の位置及び
速度を検出する制御部１１４（速度検出手段）とを備え
ている。

【００１７】なお、ウエハＷの位置及び速度は、ウエハ
Ｗが機械式のチャック１１３に保持されているため、チ
ャック１１３の位置及び速度から求められ、制御部１１
４ではウエハＷの位置及び速度の情報を後述するステー
ジ支持部１２２へ入力している。

【００１８】受取機構１２０は、ベース１２１と、この
ベース１２１上に設けられ後述するステージ１２３を支
持するステージ支持部１２２（受取部移動手段）と、こ
のステージ支持部１２２に支持されウエハＷを載置する
ステージ１２３（受取部）とを備えている。また、ステ
ージ支持部１２２は図１中矢印Ｚ方向に沿ってステージ
１２３を駆動可能に構成されている。また、ステージ支
持部１２２は上述した制御部１１４に接続されており、
制御部１１４からの信号に基づいて後述するような降下
開始タイミング及び降下速度でステージ１２３を降下さ
せるように構成されている。

【００１９】このように構成されたウエハ搬送装置１０
０では次のようにしてウエハＷを搬送する。すなわち、
搬送機構１１０のチャック１１３に図示しないウエハ供
給部においてウエハＷを保持させる。次にロボットアー
ム１１２を駆動し、ステージ１２３の上方まで高速度で
搬送する。なお、制御部１１４ではチャック１１３の位
置に基づいてウエハＷの位置と速度をステージ支持部１
２２に出力しつづける。

【００２０】続いて図２の（ａ），（ｂ）に示すように
ロボットアーム１１２によりウエハＷを速度Ｖｚで降下
させる。制御部１１４の出力に基づいて図２の（ｃ）に
示すようにウエハＷとステージ１２３とが所定距離にな
った時点で、ステージ支持部１２２の降下を開始する。
このときの降下速度は速度Ｖｚよりも僅かに小さいＶ
ｚ′とする。ここで、ウエハＷとステージ１２３との相
対速度をＶｋとすると、相対速度Ｖｋは、 Ｖｋ＝Ｖｚ−Ｖｚ′ となる。そして、速度Ｖｚ′は速度Ｖｚよりも小さいた
め、図２の（ｄ）に示すようにウエハＷとステージ１２
３との距離は相対速度Ｖｋで縮まってゆき、図２の
（ｅ）に示すように最終的にはウエハＷはステージ１２
３に相対速度Ｖｋで到達し、搬送を終了する。ここで、
相対速度Ｖｋは低速度であるためウエハＷにかかる衝撃
は最小限に抑えられる。

【００２１】上述したように本実施の形態に係るウエハ
搬送装置１００では、ウエハＷを保持したロボットアー
ム１１２の搬送速度を下げることなく、ウエハＷをステ
ージ１２３上に所定の速度以下で載置することができ
る。したがって、ウエハＷの破損を防止することができ
るとともに、ロボットアーム１１２による搬送効率を維
持することができる。また、ロボットアーム１１２は超
低速度搬送機能を要求されないので、従来からの搬送装
置をそのまま用いることができ、装置の製造コストを低
く抑えることができる。

【００２２】図３の（ａ）は本実施の形態の第１変形例
に係るウエハ搬送装置１３０を示す図である。本変形例
が上述したウエハ搬送装置１００と異なる点は、ベース
１２１上に視覚センサ（速度検出手段）１２４が設けら
れ、ステージ支持部１２２は視覚センサ１２４により検
出されたウエハＷの位置及び速度に基づいて制御される
点である。

【００２３】このように構成されたウエハ搬送装置１３
０では次のようにしてウエハＷを搬送する。すなわち、
上述したウエハ搬送装置１００と同様にロボットアーム
１１２によりウエハＷを高速度で搬送する。同時に視覚
センサ１２４によりウエハＷの位置及び速度を検出し、
この情報をステージ支持部１２２に入力する。ステージ
支持部１２２では、この情報に基づいて降下開始タイミ
ング及び降下速度を算出する。

【００２４】ウエハＷがステージ１２３上方の所定高さ
位置に到達した時点で、ウエハＷを速度Ｖｚで降下さ
せ、視覚センサ１２４からの位置及び速度情報に基づい
てステージ支持部１２２を速度Ｖｚ′で降下させる。な
お、降下させている間においても視覚センサ１２４から
のウエハＷの位置及び速度情報は逐次ステージ支持部１
２２に入力され、適宜降下速度を修正する。最終的には
ウエハＷがステージ１２３上に相対速度Ｖｋ＝Ｖｚ−Ｖ
ｚ′で到達した時点で搬送が終了する。

【００２５】したがって、本第１変形例でも、ウエハＷ
はステージ１２３上に所定の速度以下で到達することに
なり、上述した実施の形態と同様の効果が得られる。図
３の（ｂ）は本実施の形態の第２変形例に係るウエハ搬
送装置１４０を示す図である。本変形例が上述したウエ
ハ搬送装置１３０と異なる点は、視覚センサ１２４がベ
ース１２１上に設けられる代わりに、視覚センサ１２５
がステージ支持部１２２上に設けられている点である。
すなわち、視覚センサ１２５ではウエハＷの位置及び速
度を検出し、この情報をステージ支持部１２２に入力す
る。ステージ支持部１２２ではこの情報に基づいて降下
開始タイミングと降下速度を算出し、駆動を行う。

【００２６】このように構成されたウエハ搬送装置１４
０では次のようにしてウエハＷを搬送する。すなわち、
上述したウエハ搬送装置１３０と同様にウエハＷがステ
ージ支持部１２２上方の所定高さ位置に達した時点で、
ウエハＷを速度Ｖｚで降下させる。次に算出された降下
開始タイミングでステージ支持部１２２が速度Ｖｚ′で
降下を開始すると、ステージ１２３の降下とともに視覚
センサ１２５も速度Ｖｚ′で降下する。このため、視覚
センサ１２５とウエハＷとの相対速度はＶｋとなる。

【００２７】一方、上述した第１変形例では、視覚セン
サ１２４とウエハＷとの相対速度はウエハＷの速度Ｖで
ある。視覚センサは一般的に被検出物との相対速度が小
さいほど高精度の検出を行うことができるため、本第２
変形例においては第１変形例に比べ、ウエハＷの位置及
び速度の検出を高精度に行うことができ、ウエハＷに与
える衝撃を最小限に抑えることができる。

【００２８】図４は本発明の第２の実施の形態に係るウ
エハ搬送装置２００を示す図である。ウエハ搬送装置２
００は、搬送機構２１０及び受取機構２２０とを備えて
いる。搬送機構２１０は、ベース２１１と、このベース
２１１に取り付けられたロボットアーム２１２と、この
ロボットアーム２１２の先端に取り付けられウエハＷを
保持するベルヌーイチャック２１３と、ロボットアーム
２１２の駆動を制御するロボットアーム制御部２１４と
を備えている。

【００２９】ベルヌーイチャック２１３は、図５の
（ａ）〜（ｃ）に示すように形成されている。なお、図
５の（ａ）はベルヌーイチャック２１３の下面、図５の
（ｂ）は図５の（ａ）におけるＰ−Ｐ線で切断し、矢印
方向に見た断面図、（ｃ）は支持パッドの縦断面図であ
る。

【００３０】ベルヌーイチャック２１３は、円板状のベ
ース２１３ａと、このベース２１３ａに取り付けられた
３個の支持パッド２１５〜２１７と、ウエハＷを外周を
案内するガイド２１８とを備えている。

【００３１】支持パッド２１５〜２１７は同様の構造を
有している。図５の（ｃ）に示すように支持パッド２１
５は、円筒状のパッド本体２１５ａと、このパッド本体
２１５ａの中央部に設けられた気体供給部２１５ｂと、
この気体供給部２１５ｂ周囲に設けられた気体吸引部２
１５ｃとを備えている。なお、気体供給部２１５ｂには
所定圧力の気体が供給され、気体吸引部２１５ｃは所定
の負圧で吸引されており、それぞれの圧力を調節するこ
とでウエハＷとパッド本体２１５ａとの間隙Ｓを大気圧
以下とすることでウエハＷを非接触で保持している。

【００３２】なお、ベルヌーイチャック２１３ではウエ
ハＷを保持する際にウエハＷとは接触しないで保持する
ため、ウエハＷを傷付ける虞はないが、ベルヌーイチャ
ック２１３に対するウエハＷの相対的な位置関係は一定
ではない。

【００３３】受取機構２２０は、ベース２２１と、この
ベース２２１上に設けられ後述するステージ支持部２２
３の図中矢印ＸＹ方向の位置決めを行うＸＹ軸移動機構
２２２と、このＸＹ軸移動機構２２２に支持され後述す
るステージ２２４を支持するステージ支持部２２３と、
このステージ支持部２２３に支持されウエハＷを載置す
るステージ２２４と、ステージ支持部２２３に取り付け
られウエハＷの位置及び速度を検出し、ステージ支持部
２２３へ出力するレーザセンサ２２５（速度検出手段）
とを備えている。

【００３４】ステージ支持部２２３は図４中矢印Ｚ方向
に沿ってステージ２２４を駆動可能に構成されており、
レーザセンサ２２５からの信号に基づいて後述するよう
な降下開始タイミング及び降下速度でステージ２２４を
降下させる機能を有している。

【００３５】このように構成されたウエハ搬送装置２０
０では次のようにしてウエハＷを搬送する。すなわち、
搬送機構２１０のベルヌーイチャック２１３に図示しな
いウエハ供給部においてウエハＷを保持させる。次にロ
ボットアーム２１２を駆動し、ステージ２２４の上方ま
で高速度で搬送する。

【００３６】続いてロボットアーム２１２によりウエハ
Ｗを速度Ｖｚで降下させる。レーザセンサ２２５によっ
て検出されたウエハＷの位置及び情報に基づいてウエハ
Ｗとステージ２２４とが所定距離になった時点で、ステ
ージ支持部２２３の降下を開始する。このときの降下速
度は速度Ｖｚよりも僅かに小さいＶｚ′とする。したが
って、相対速度Ｖｋで到達させることができる。

【００３７】一方、上述したようにウエハＷはベルヌー
イチャック２１３に非接触で保持されているため、ロボ
ットアーム２１２を図６中矢印Ｚ方向に沿って降下させ
ても必ずウエハＷがステージ２２４上の所定位置に載置
されるとは限らない。このため、レーザセンサ２２５に
よって検出されたウエハＷの位置情報に基づいてウエハ
ＷのＸＹ方向の位置ずれを補正し、ウエハＷをステージ
２２４上の所定位置に載置する。

【００３８】このように本第２の実施の形態のウエハ搬
送装置２００では、前述したウエハ搬送装置１３０と同
様に精度の高いウエハＷの位置及び速度検出を行うこと
ができるとともに、衝撃を最小限に抑えることができ
る。一方、ウエハＷに傷が付かないようにベルヌーイチ
ャック２１３を用いた場合であっても、目的の位置まで
高精度に搬送することができる。また、ロボットアーム
２１２は高精度の搬送機能を要求されないので、従来の
装置を用いることができ、装置の製造コストを低く抑え
ることができる。

【００３９】図６は本発明の第３の実施の形態に係るウ
エハ搬送装置３００を示す図である。なお、ウエハ搬送
装置３００は減圧された圧力容器（不図示）内に配置さ
れている。ウエハ搬送装置３００は、搬送機構３１０及
び受取機構３２０を備えている。

【００４０】搬送機構３１０は、ベース３１１と、この
ベース３１１に載置された搬送機３１２（ワーク搬送手
段）とを備えている。搬送機３１２は、図７の（ａ），
（ｂ）に示すようにベース３１１上に傾きをもって載置
された矩形板状のベース板３１３と、このベース板３１
３に対して所定間隔をもって配置された天板３１４と、
ベース板３１３と天板３１４との間隙Ｄに配置されウエ
ハＷを矢印α方向に推進させるカタパルト３１５とを備
えている。なお、図７中３１５ａはガイド、３１５ｂは
ウエハ支持部を示している。

【００４１】受取機構３２０は、ベース３２１と、この
ベース３２１上に設けられ後述する第１ベース３２３を
Ｘ軸回り及びＹ軸回りに回動自在に支持する球面支持機
構３２２と、この球面支持機構３２２に支持された半球
状の第１ベース３２３と、この第１ベース３２３上に設
けられ、第１ベース３２３に対し図中矢印Ｚ軸回りに回
転自在に設けられた第２ベース３２４と、この第２ベー
ス３２４上に設けられ後述するステージ支持部３２６の
図中矢印ＸＹ方向の位置決めを行うＸＹ軸移動機構３２
５と、このＸＹ軸移動機構３２５に支持され後述するス
テージ３２７を支持するステージ支持部３２６と、この
ステージ支持部３２６に支持されウエハＷを載置するス
テージ３２７（受取部）と、ベース３２１に取り付けら
れウエハＷの位置，速度，姿勢及び向きを検出し、球面
支持機構３２２，第１ベース３２３，ＸＹ軸移動機構３
２５及びステージ支持部３２６へ出力する視覚センサ３
２８（速度検出手段）とを備えている。なお、ＸＹ移動
機構３２５とステージ支持部３２６とで受取部移動手段
を形成している。

【００４２】球面支持機構３２２は、第１ベース３２３
を視覚センサ３２８により検出されたウエハＷの姿勢に
基づいて後述するようなタイミングでＸ軸回りの図中矢
印Ｒｘ方向及びＹ軸回りの図中矢印Ｒｙ方向に回転駆動
する機能を有している。また、第１ベース３２３は、第
２ベース３２４を視覚センサ３２８により検出されたウ
エハＷの向きに基づいて後述するようなタイミングで図
中矢印θ方向回転駆動する機能を有している。

【００４３】ＸＹ軸移動機構３２５は、視覚センサ３２
８により検出されたウエハＷの位置及び速度に基づいて
後述するような移動開始タイミング及び移動速度でステ
ージ支持部３２６を駆動する機能を有している。

【００４４】ステージ支持部３２６は図６中矢印Ｚ方向
に沿ってステージ３２７を駆動可能に構成されており、
視覚センサ３２８からの信号に基づいて後述するような
降下開始タイミング及び降下速度でステージ３２７を降
下させる機能を有している。

【００４５】このように構成されたウエハ搬送装置３０
０では次のようにしてウエハＷを搬送する。すなわち、
搬送機構３１０の間隙ＤにウエハＷを図示しないウエハ
供給機構により挿入する。次にウエハ支持部３１５ｂを
ガイド３１５ａに沿って図７に示す位置まで後退させ
る。続いて、ウエハ支持部３１５ｂを高速でガイド３１
５ａに沿って移動し、ウエハＷを推進し、間隙Ｄから図
６中二点鎖線αで示すように放出する。

【００４６】放出されたウエハＷが受取機構３２０に近
付くと、視覚センサ３２８によりウエハＷの位置、速
度、姿勢及び向きが検出され、球面支持機構３２２、第
１ベース３２３、ＸＹ軸移動機構３２５、ステージ支持
部３２６に各情報を入力する。

【００４７】続いてウエハＷとステージ３２７との距離
が所定距離になった時点でのウエハＷのＸＹＺ方向の速
度成分が例えば、図８に示すようにＶｘ，Ｖｙ，Ｖｚの
場合には、ＸＹ軸移動機構３２５のＸ軸方向の速度成分
を速度Ｖｘより僅かに小さい速度Ｖｘ′とし、Ｙ軸方向
の速度成分を速度Ｖｙより僅かに小さい速度Ｖｙ′とす
る。一方、ステージ支持部３２６の降下速度は速度Ｖｚ
よりも僅かに小さいＶｚ′とする。このため、ウエハＷ
とステージ３２７との相対速度は、次のような相対速度
Ｖｇとなる。すなわち、

【００４８】

【数１】

【００４９】この相対速度ＶｇでウエハＷはステージ３
２７に到達し、このときの相対速度Ｖｇは低速度である
ためウエハＷにかかる衝撃を最小限に抑えることができ
る。一方、ウエハＷは姿勢及び向きがステージ３２７の
姿勢及び向きと異なる場合には、視覚センサ３２８から
のウエハＷの姿勢及び向きの情報に基づいて球面支持機
構３２２をＲｘ方向又はＲｙ方向に沿って駆動し、また
第１ベース３２３をθ方向に沿って駆動することによっ
て、ウエハＷとステージ３２７との姿勢及び向きを一致
させ、ウエハＷをステージ３２７の所定位置に載置す
る。

【００５０】このように本第３の実施の形態のウエハ搬
送装置３００では、前述したウエハ搬送装置１３０と同
様に精度の高いウエハＷの位置及び速度検出を行うこと
ができるとともに、衝撃を最小限に抑えることができ
る。一方、高速搬送を実現するためにカタパルト式の搬
送機３１２を用いた場合であっても、ステージ３２７と
の相対速度を小さくでき、衝撃を最小限に抑えることが
できる。

【００５１】なお、図９は本第３の実施の形態におい
て、ステージ３２７の代わりにステージ３２９を用い、
ウエハＷの代わりにウエハＷ′を用いた場合を示す図で
ある。図９に示すようにウエハＷ′にはオリフラ部ωが
形成され、ステージ３２９にはウエハＷ′の外形と同一
形状の凹部３２９ａが形成されている。このような場合
であってもウエハＷ′の向きを一致させることができる
ので、ステージ３２９にウエハＷ′を載置することがで
きる。

【００５２】図１０は本第３実施の形態の変形例に係る
ウエハ搬送装置３３０の要部を示す図である。すなわ
ち、本変形例に係るウエハ搬送装置３３０が上述したウ
エハ搬送装置３００と異なる点は、視覚センサ３２８が
ベース３２１上に設けられる代わりに、視覚センサ３３
１がステージ支持部３２６上に設けられている点であ
る。すなわち、視覚センサ３３１ではウエハＷの位置，
速度，姿勢及び向きを検出し、球面支持機構３２２，第
１ベース３２３，ＸＹ軸移動機構３２５及びステージ支
持部３２６へ入力する。

【００５３】このように構成されたウエハ搬送装置３３
０では次のようにしてウエハＷを搬送する。すなわち、
上述したウエハ搬送装置３００と同様にウエハＷがステ
ージ支持部３２６に所定の距離に近付いた時点で、ウエ
ハＷの位置、速度、姿勢及び向きに基づいて、球面支持
機構３２２，第１ベース３２３，ＸＹ軸移動機構３２５
及びステージ支持部３２６を動作させる。したがって、
ステージ３２７とウエハＷとの相対速度はＶｇとなる。

【００５４】一方、視覚センサ３３１とウエハＷとの相
対速度もＶｇとなる。したがって、本変形例においては
第３実施の形態に比べ、ウエハＷの位置及び速度の検出
を高精度に行うことができ、ウエハＷに与える衝撃を最
小限に抑えることができる。

【００５５】なお、本発明は上述した各実施の形態に限
定されるものではない。すなわち上記実施の形態では、
速度検出手段として視覚センサやレーザセンサを用いて
いるが、超音波センサ等のセンサを用いてもよい。ま
た、ワークとしてウエハを搬送する場合について説明し
たが、液晶基板を搬送する場合にも適用できる。第３の
実施の形態においてカタパルト式の搬送機について説明
したが、通常のロボットアーム式の搬送機に適用しても
よい。このほか本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変
形実施可能であるのは勿論である。

【００５６】

【発明の効果】請求項１に記載された発明では、ワーク
搬送手段により搬送されているワークの速度を検出し、
ワークを受取部が受取る際に、ワークの速度に基づいて
ワークと受取部との相対速度が所定値以下となるように
受取部を移動させることにより、ワーク搬送手段による
搬送速度を遅くすることなく受取部がワークを受取る際
の衝撃を弱めることができる。このため、ワークを傷付
けることなく搬送効率を向上させることができる。

【００５７】請求項２に記載された発明では、速度検出
手段を受取部に設けることにより、搬送されているワー
クと速度検出手段との相対速度を小さくすることがで
き、高精度な速度検出を行うことができる。

【００５８】請求項３に記載された発明では、ワーク搬
送手段により搬送されているワークの姿勢を検出し、こ
のワークの姿勢に基づいて受取部の姿勢を調節すること
により、受取部とワークとの姿勢のずれを修正すること
ができ、受取部がワークを受取る際の衝撃を最小限に抑
えることができる。

【００５９】請求項４に記載された発明では、姿勢検出
手段を受取部に設けることにより、搬送されているワー
クと姿勢検出手段との相対速度を小さくすることがで
き、高精度な姿勢検出を行うことができる。

【００６０】請求項５に記載された発明では、ワーク搬
送手段により搬送されているワークの向きを検出し、こ
のワークの向きに基づいて受取部の向きを調節すること
により、受取部とワークとの向きのずれを修正すること
ができ、受取部がワークを受取る際の衝撃を最小限に抑
えることができる。

【００６１】請求項６に記載された発明では、向き検出
手段を受取部に設けることにより、搬送されているワー
クと向き検出手段との相対速度を小さくすることがで
き、高精度な姿勢検出を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態に係るウエハ搬送装
置を示す斜視図。

【図２】本装置におけるウエハとステージとの速度関係
を示す説明図であって、

【図３】同装置の変形例を示す斜視図であって、（ａ）
は第１変形例、（ｂ）は第２変形例。

【図４】本発明の第２の実施の形態に係るウエハ搬送装
置を示す斜視図。

【図５】同装置のロボットアーム先端に組み込まれたベ
ルヌーイチャックを示す図であって、（ａ）は下面図、
（ｂ）は（ａ）におけるＰ−Ｐ線で切断し矢印方向に見
た断面図、（ｃ）は支持パッドの縦断面図。

【図６】本発明の第３の実施の形態に係るウエハ搬送装
置を示す斜視図。

【図７】同装置に組み込まれた搬送機構を示す図であっ
て、（ａ）は（ｂ）におけるＴ−Ｔ線で切断し矢印方向
に見た断面図、（ｂ）は（ａ）におけるＰ−Ｐ線で切断
し矢印方向に見た断面図。

【図８】同装置によるウエハとステージとの速度関係を
示す説明図。

【図９】同装置の第１変形例の要部を示す斜視図。

【図１０】同装置の第２変形例の要部を示す斜視図。

【図１１】従来のウエハ搬送装置を示す斜視図。

【符号の説明】

１００，１３０，１４０，２００，３００，３３０…ウ
エハ搬送装置 １１０，２１０，３１０…搬送機構 １２０，２２０，３２０…受取機構 １１２，２１２…ロボットアーム（ワーク搬送手段） １１４…制御部 １２２，２２３，３２６…ステージ支持部（受取部移動
手段） １２３，２２４，３２７…ステージ（受取部） １２４，１２５，３２８，３３１…視覚センサ ２２２…ＸＹ軸移動機構 ２２５…レーザセンサ ３１２…搬送機（ワーク搬送手段） ３１５…カタパルト ３２２…球面支持機構 Ｗ，Ｗ′…ウエハ ω…オリフラ部

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ワークを受渡部から受取部まで搬送するワ
   ーク搬送手段と、 このワーク搬送手段により搬送されている上記ワークの
   速度を検出する速度検出手段と、 上記ワーク搬送手段により搬送された上記ワークを上記
   受取部が受取る際に、上記速度検出手段によって得られ
   た上記ワークの速度に基づいて上記ワークと上記受取部
   との相対速度が所定値以下となるように上記受取部を移
   動させる受取部移動手段とを備えていることを特徴とす
   るワーク搬送装置。
2. 【請求項２】上記速度検出手段は、上記受取部に設けら
   れていることを特徴とする請求項１に記載のワーク搬送
   装置。
3. 【請求項３】上記ワーク搬送手段により搬送されている
   上記ワークの姿勢を検出する姿勢検出手段と、 この姿勢検出手段によって得られた上記ワークの姿勢に
   基づいて上記受取部の姿勢を調節する受取部姿勢調節手
   段とを備えていることを特徴とする請求項１に記載のワ
   ーク搬送装置。
4. 【請求項４】上記姿勢検出手段は、上記受取部に設けら
   れていることを特徴とする請求項３に記載のワーク搬送
   装置。
5. 【請求項５】上記ワーク搬送手段により搬送されている
   上記ワークの向きを検出する向き検出手段と、 この向き検出手段によって得られた上記ワークの向きに
   基づいて上記受取部の向きを調節する受取部向き調節手
   段とを備えていることを特徴とする請求項１に記載のワ
   ーク搬送装置。
6. 【請求項６】上記向き検出手段は、上記受取部に設けら
   れていることを特徴とする請求項５に記載のワーク搬送
   装置。