JPH09231626A - Producing method of sticking information recording disk medium, device therefor and sticking type information recording disk medium - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To remove bubbles, etc., from the adhesive layer of a sticking part, in an optical disk formed with two substrates stuck together, and to suppress the uneven thickness of the adhesive layer below an allowable value. SOLUTION: A spacer 60 with a prescribed thickness (50μm) is arranged concentrically with a substrate 30 ; an adhesive 220 is applied on the surface of the substrate 30 on the side where the spacer 60 is arranged; another substrate 40 is placed on the surface of the substrate 30 coated with the adhesive 220 ; and, with the substrates 30 and 40 rotated at high speed around the spacer 60, using a centrifugal force generated from this rotation, an excess of the adhesive 220 between the two substrates 30, 40 is spun off outside together with bubbles. Thus, the adhesive layer is left between the two substrates 30, 40 with the thickness decided by that (50μm) of the spacer 60.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、２枚のディスク
基板を貼り合わせた構造を持つ情報記録媒体の製造方
法、この媒体の製造装置、およびこの製造方法によって
得られる貼合せ情報記録媒体に関する。とくに、光ディ
スクの一面から２つの情報記録層の情報が読み取られる
ことを想定した２枚貼２層光ディスクにおける、接着方
法および接着構成の改良に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing an information recording medium having a structure in which two disc substrates are bonded together, a manufacturing apparatus for this medium, and a bonded information recording medium obtained by this manufacturing method. In particular, the present invention relates to an improvement in a bonding method and a bonding structure in a two-layered two-layer optical disc which is supposed to read information on two information recording layers from one surface of the optical disc.

【０００２】[0002]

【従来の技術】近年、多種多様な映像や音声等の大容量
データをデジタル記録できる小径光ディスク（直径５イ
ンチ／１２０ｍｍ〜３.５インチ／８０ｍｍ程度）が開
発されている。この種の光ディスクでは、大きな情報記
憶量を確保するために、２枚のディスク基板の少なくと
も一方に１以上の情報記録層が形成され、これらが正確
に貼り合わされて、所定厚（１.２ｍｍ）の大容量ディ
スクとされる。2. Description of the Related Art In recent years, small-diameter optical discs (diameter: 5 inches / 120 mm to 3.5 inches / 80 mm) capable of digitally recording large-capacity data such as various kinds of images and sounds have been developed. In this type of optical disc, in order to secure a large amount of information storage, one or more information recording layers are formed on at least one of two disc substrates, and these are accurately bonded to each other to have a predetermined thickness (1.2 mm). It is a large-capacity disc.

【０００３】[0003]

【発明が解決しようとする課題】いま、それぞれに情報
記録層が形成された２枚のディスク基板を接着剤により
正確に貼り合わして大容量光ディスクを得た場合を想定
してみる。この場合、２枚のディスク基板のいずれか一
方の面側から内部情報記録層の情報を読み取ろうとする
と、読取レーザ光は、必ず両基板間の接着剤層を往復す
ることになる。このとき、両基板間の接着剤層中にごみ
または気泡が混入していると、ごみまたは気泡混入位置
に存在する情報の読取時にエラーが発生する。Now, assume a case where a large-capacity optical disk is obtained by accurately bonding two disk substrates, each having an information recording layer formed thereon, with an adhesive. In this case, when trying to read the information of the internal information recording layer from one surface side of the two disk substrates, the read laser beam always reciprocates the adhesive layer between the two substrates. At this time, if dust or bubbles are mixed in the adhesive layer between the two substrates, an error occurs when reading information existing at the dust or bubble mixed position.

【０００４】また、両基板間の接着剤層が不均一であり
その厚さにムラがあると、接着剤層厚さ変化部分でレー
ザ光走行経路長が変動するため、厚さムラの発生位置に
ある情報の読取時にエラーが発生しやすくなる。Further, if the adhesive layer between both substrates is non-uniform and the thickness thereof is uneven, the laser light traveling path length fluctuates at the portion where the thickness of the adhesive layer changes. An error is likely to occur when reading the information in.

【０００５】また、両基板間の接着剤層中に気泡が混入
していると、この接着層の強度が低下するので、落下な
どで起きる衝撃により貼合せディスク基板が剥がれてし
まう恐れも生じる。Further, if air bubbles are mixed in the adhesive layer between the two substrates, the strength of the adhesive layer is lowered, and therefore the bonded disc substrate may be peeled off by the impact caused by dropping or the like.

【０００６】また、２枚のディスク基板の一方にしか情
報記録層がなく他方に同様な情報記録層（あるいはこれ
に相当するダミー層）が無い場合、環境変化により貼合
せ面に劣化が生じ、貼り合わせた２枚のディスク基板が
剥がれたり変形したりする恐れがある。Further, when only one of the two disk substrates has an information recording layer and the other has no similar information recording layer (or a dummy layer corresponding thereto), deterioration of the bonding surface occurs due to environmental changes, There is a risk that the two bonded disc substrates may be peeled off or deformed.

【０００７】上記ごみまたは気泡の混入は完全に除去し
なければならず、また上記両基板間の接着剤層の厚さム
ラは極力小さく抑えなければならない（たとえば接着剤
層厚５０μｍに対して厚さムラは±５μｍ以内）。しか
し、ごみ・気泡なし／厚さムラなしの接着剤層を大量生
産される２枚貼光ディスクに対して高い歩留まりで実現
することは困難である。The dust or air bubbles should be completely removed, and the unevenness of the thickness of the adhesive layer between the two substrates should be kept as small as possible (for example, when the thickness of the adhesive layer is 50 μm, the thickness of the adhesive layer should be reduced). The unevenness is within ± 5 μm). However, it is difficult to realize a high-yield adhesive layer without dust / air bubbles / thickness variation for a mass-produced double-layered optical disc.

【０００８】この発明の第１の目的は、接着剤層にごみ
・気泡の混入がなく接着剤層の厚さムラを許容値以下に
収めることができる貼合せ情報記録媒体の製造方法を提
供することである。A first object of the present invention is to provide a method for producing a laminated information recording medium which can keep the thickness unevenness of the adhesive layer within a permissible value without mixing dust and bubbles in the adhesive layer. That is.

【０００９】この発明の第２の目的は、接着剤層にごみ
・気泡の混入がなく接着剤層の厚さムラを許容値以下に
収めることができる貼合せ情報記録媒体の製造装置を提
供することである。A second object of the present invention is to provide an apparatus for manufacturing a laminated information recording medium capable of keeping the thickness unevenness of the adhesive layer within a permissible value without dust or bubbles being mixed in the adhesive layer. That is.

【００１０】この発明の第３の目的は、第１の目的の製
造方法により製造される貼合せ情報記録媒体を提供する
ことである。A third object of the present invention is to provide a laminated information recording medium manufactured by the manufacturing method of the first object.

【００１１】[0011]

【課題を解決するための手段】上記第１の目的を達成す
るために、この発明の製造方法では、 イ＞情報記録層（１０）が形成された第１基板（３０）
と同心状に所定厚（４０〜７０μｍ）のスペーサ（６
０）を配置し（図６ａ；図８ステップＳＴ５０）； ロ＞前記スペーサ（６０）が配置された側の前記第１基
板（３０）の面上に接着剤（２２０）を所定量供給し
（図６ａ；図８ステップＳＴ５０〜ステップＳＴ５２イ
エス）； ハ＞前記接着剤（２２０）が供給された前記第１基板
（３０）の面に第２の基板（４０）を接触させ（図６
ｂ；図８ステップＳＴ５４）； ニ＞前記スペーサ（６０）の配置位置を中心にして前記
第１基板（３０）および第２基板（４０）を回転させ
（図６ｃ；図８ステップＳＴ５８）、この回転により前
記第１基板（３０）と前記第２基板（４０）との間に挟
まれた前記接着剤（２２０）を外部にはじき飛ばすこと
により、前記第１基板（３０）と前記第２基板（４０）
との間に、前記スペーサ（６０）の厚さ（４０〜７０μ
ｍ）で規制される厚みの接着剤層（５０）を残すように
している。In order to achieve the above first object, in the manufacturing method of the present invention, a> first substrate (30) on which an information recording layer (10) is formed
And a spacer (6 of a predetermined thickness (40 to 70 μm)) concentric with
0) is disposed (FIG. 6a; step ST50 in FIG. 8); (b) A predetermined amount of adhesive (220) is supplied onto the surface of the first substrate (30) on the side where the spacer (60) is disposed ( FIG. 6a; FIG. 8 Step ST50 to Step ST52 Yes); C> The second substrate (40) is brought into contact with the surface of the first substrate (30) to which the adhesive (220) is supplied (FIG. 6).
b; FIG. 8 step ST54); D> The first substrate (30) and the second substrate (40) are rotated about the arrangement position of the spacer (60) (FIG. 6c; FIG. 8 step ST58). By rotating the adhesive (220) sandwiched between the first substrate (30) and the second substrate (40) to the outside, the first substrate (30) and the second substrate are ejected. (40)
And the thickness of the spacer (60) (40 to 70 μm).
The adhesive layer (50) having a thickness regulated by m) is left.

【００１２】上記回転工程＜ニ＞において、２枚の基板
（３０、４０）は、スペーサ（６０）の厚み（たとえば
５０μｍ）で規制される間隔を保ちつつ、基板間のごみ
および気泡が完全に外部へ吹き飛ばされるように、高速
回転できる。In the rotating step <d>, the two substrates (30, 40) are completely separated from each other while maintaining the space regulated by the thickness (eg, 50 μm) of the spacer (60). It can rotate at high speed so that it can be blown outside.

【００１３】この高速回転時において、両基板間から接
着剤（２２０）が外部に吹き飛ばされると両基板間の圧
力が下がり、両基板は周囲の気圧（通常は大気圧）によ
り押しつぶされる方向の力を全面均一に受ける。このと
き、両基板の間隔はスペーサ（６０）の厚さ（５０μ
ｍ）以下には狭まらず、結局は両基板間の接着剤（２２
０）が作る接着剤層（５０）の厚さをスペーサ（６０）
の厚さで規制される所定範囲（たとえば５０±５μｍ）
に管理できるようになる。During this high speed rotation, when the adhesive (220) is blown out from between the two substrates, the pressure between the two substrates decreases, and the two substrates are crushed by the ambient pressure (usually atmospheric pressure). Receive evenly over the entire surface. At this time, the distance between the two substrates is the thickness of the spacer (60) (50 μm).
m) or less, and eventually the adhesive (22
0) makes the thickness of the adhesive layer (50) the spacer (60)
Predetermined range (eg 50 ± 5μm) regulated by the thickness of
Will be able to manage.

【００１４】なお、上記第１基板と第２基板の関係は、
両基板とも情報記録層を有するときは、逆転しても良
い。すなわち、第１基板（３０）にスペーサ（６０）を
および接着剤（２２０）を介して第２基板（４０）を接
触させる代わりに、第２基板（４０）にスペーサ（６
０）をおよび接着剤（２２０）を介して第１基板（３
０）を接触させるようにしても良い。The relationship between the first substrate and the second substrate is as follows.
When both substrates have the information recording layer, they may be reversed. That is, instead of bringing the spacer (60) into contact with the first substrate (30) and the second substrate (40) via the adhesive (220), the spacer (6) does not contact the second substrate (40).
0) and the first substrate (3) via the adhesive (220).
0) may be contacted.

【００１５】また上記第２の目的を達成するために、こ
の発明の貼合せ情報記録媒体製造装置は、所定内形（１
５ｍｍ）を持つ第１基板（３０）と、この所定内形（１
５ｍｍ）と同じかそれより大きな内形（１５〜１６ｍｍ
程度）を持つ所定厚（４０〜７０μｍ）のスペーサ（６
０）と、前記所定内形（１５ｍｍ）を持つ第２基板（４
０）とを、前記第１基板（３０）と前記第２基板（４
０）との間に接着剤（２２０）を挟んで、同心状に位置
決め保持する位置決め保持手段（位置合わせピン２０２
＋スピンテーブル２００）と；前記位置決め保持手段
（２００、２０２）により同心状に位置決め保持された
前記第１基板（３０）、スペーサ（６０）および第２基
板（４０）を、所定時間、前記接着剤（２２０）が外部
に放出されるような速度で回転させる回転手段（２１
０）と；前記回転手段（２１０）の回転により前記接着
剤（２２０）の一部が外部に放出された後に、前記第１
基板（３０）および第２基板（４０）の間に前記スペー
サ（６０）で規制される一定の厚さに残った前記接着剤
（２２０）の層（５０）を硬化させる接着剤硬化手段
（２３０）とを備えている。In order to achieve the above second object, the laminated information recording medium manufacturing apparatus of the present invention has a predetermined internal shape (1
A first substrate (30) having a size of 5 mm and a predetermined internal shape (1
5mm) or larger (15-16mm)
A spacer (6) having a predetermined thickness (40 to 70 μm)
0) and the second substrate (4) having the predetermined internal shape (15 mm).
0) to the first substrate (30) and the second substrate (4)
No. 0) and an adhesive (220) sandwiched between them and a positioning holding means (positioning pin 202) for positioning and holding in a concentric manner.
+ Spin table 200); and the first substrate (30), the spacer (60) and the second substrate (40), which are positioned and held concentrically by the positioning holding means (200, 202), are bonded for a predetermined time. Rotating means (21) for rotating the agent (220) at a speed such that it is released to the outside.
0); and after the part of the adhesive (220) is released to the outside by the rotation of the rotating means (210),
Adhesive curing means (230) for curing the layer (50) of the adhesive (220) remaining between the substrate (30) and the second substrate (40) in a certain thickness regulated by the spacer (60). ) And.

【００１６】上記回転手段（２１０）において、２枚の
基板（３０、４０）は、スペーサ（６０）の厚み（たと
えば５０μｍ）で規制される間隔を保ちつつ、基板間の
ごみおよび気泡が完全に外部へ吹き飛ばされるように、
高速回転できる。In the rotating means (210), the two substrates (30, 40) maintain a space regulated by the thickness of the spacer (60) (for example, 50 μm), and dust and air bubbles between the substrates are completely removed. To be blown outside
Can rotate at high speed.

【００１７】この高速回転時において、両基板間から接
着剤（２２０）が外部に吹き飛ばされると両基板間の圧
力が下がり、両基板は周囲の気圧により押しつぶされる
方向の力を全面均一に受ける。このとき、両基板の間隔
はスペーサ（６０）の厚さ（５０μｍ）以下には狭まら
ず、結局は両基板間の接着剤（２２０）が作る接着剤層
（５０）の厚さがスペーサ（６０）の厚さで規制される
所定範囲（たとえば５０±５μｍ）に収まるようにな
る。During this high speed rotation, when the adhesive (220) is blown out from between the two substrates, the pressure between the two substrates decreases, and the two substrates receive a uniform force in the direction of being crushed by the ambient pressure. At this time, the distance between both substrates does not become smaller than the thickness (50 μm) of the spacer (60), and the thickness of the adhesive layer (50) formed by the adhesive (220) between both substrates is eventually equal to the spacer. It falls within a predetermined range (for example, 50 ± 5 μm) regulated by the thickness of (60).

【００１８】この発明の製造方法または製造装置におい
て、スペーサ（６０）が無いと、以下のような不都合が
生じる。In the manufacturing method or the manufacturing apparatus of the present invention, if the spacer (60) is not provided, the following problems will occur.

【００１９】すなわち、スペーサ（６０）が無いと、貼
合せ両基板（３０、４０）間の接着剤層（５０）の厚さ
は、硬化前の接着剤（２２０）の粘度および貼合せ両基
板（３０、４０）の回転速度（単位時間あたりの回転
数）に依存するようになる。この場合、貼合せ後の接着
剤層厚を所定値（たとえば５０μｍ前後）に設定しよう
とすると、回転速度を所望の接着剤層厚に対応した速度
に抑えなければならない（回転速度が速すぎると接着剤
層厚が薄くなりすぎるから）。このように回転速度が制
限されると貼合せ両基板（３０、４０）間の接着剤層
（５０）内部に残留する気泡を完全に外部へはじき飛ば
すに足る高速回転を行うことができなくなる可能性が高
まり、気泡の無い貼合せディスクの製造歩留まりが悪化
することになる。この発明のようにスペーサ（６０）を
用いれば、貼合せ両基板（３０、４０）を十分高速に回
転させても両基板間の接着剤層厚が薄くなりすぎること
がないので、回転速度の上限の制限がなくなるから、十
分な高速回転により、貼合せ両基板（３０、４０）間の
接着剤層（５０）内部に残留する気泡やごみ等を完全に
外部へ吹き飛ばすことが可能になる。That is, without the spacers (60), the thickness of the adhesive layer (50) between the bonded substrates (30, 40) depends on the viscosity of the adhesive (220) before curing and the bonded substrates. It depends on the rotation speed of (30, 40) (the number of rotations per unit time). In this case, if the adhesive layer thickness after lamination is set to a predetermined value (for example, around 50 μm), the rotation speed must be suppressed to a speed corresponding to the desired adhesive layer thickness (if the rotation speed is too high, The thickness of the adhesive layer becomes too thin). When the rotation speed is limited in this way, it is possible that the air bubbles remaining inside the adhesive layer (50) between the bonded substrates (30, 40) cannot be rotated at a sufficiently high speed to be completely repelled to the outside. As a result, the production yield of the laminated disk having no bubbles is deteriorated. If the spacer (60) is used as in the present invention, the adhesive layer thickness between the both substrates (30, 40) does not become too thin even if the both substrates (30, 40) are rotated at a sufficiently high speed. Since there is no upper limit, it is possible to completely blow away bubbles, dust, etc. remaining inside the adhesive layer (50) between the bonded substrates (30, 40) to the outside by rotating at a sufficiently high speed.

【００２０】また上記第３の目的を達成するために、こ
の発明の貼合せ情報記録媒体は、第１の情報記録層（１
０）が形成され、所定の外形（１２０ｍｍまたは８０ｍ
ｍ）と所定内形（１５ｍｍ）と所定の厚み（０.６ｍ
ｍ）を持つ孔開き円盤状第１基板（３０）と；第２の情
報記録層（２０）が形成され、前記所定の外形（１２０
ｍｍまたは８０ｍｍ）と前記所定内形（１５ｍｍ）と所
定の厚み（０.６ｍｍ）を持つ孔開き円盤状第２基板
（４０）と；特定の外形（２１ｍｍ）と特定の内形（１
５〜１６ｍｍ程度）と所定の厚み（４０〜７０μｍ）を
持ち、前記第１基板（３０）および前記第２基板（４
０）の間に同心状に挟まれるスペーサ（６０）と；前記
スペーサ（６０）の位置を避けて前記第１基板（３０）
および前記第２基板（４０）の間に存在し、前記スペー
サ（６０）によって規制される一定の厚さを持つ接着剤
層（５０）とを備えている。In order to achieve the third object, the bonded information recording medium of the present invention has a first information recording layer (1
0) is formed and has a predetermined outer shape (120 mm or 80 m).
m) and predetermined internal shape (15 mm) and predetermined thickness (0.6 m)
m), a perforated disc-shaped first substrate (30); and a second information recording layer (20) are formed, and the predetermined outer shape (120)
mm or 80 mm), the predetermined inner shape (15 mm) and the perforated disc-shaped second substrate (40) having a predetermined thickness (0.6 mm); a specific outer shape (21 mm) and a specific inner shape (1
5 to 16 mm) and a predetermined thickness (40 to 70 μm), and the first substrate (30) and the second substrate (4)
Spacers (60) sandwiched concentrically between 0); and the first substrate (30) avoiding the position of the spacers (60).
And an adhesive layer (50) existing between the second substrate (40) and having a constant thickness regulated by the spacer (60).

【００２１】２枚の基板（３０、４０）のいずれか一方
の面側から内部情報記録層（１０、２０）の情報を読み
取ろうとすると、読取レーザ光は両基板間の接着剤層
（５０）を往復通過することになる。このとき、両基板
間の接着剤層（５０）の厚さにムラや気泡などがある
と、接着剤層厚変化部分でレーザ光走行経路長が変動す
るため、厚さムラや気泡などの発生位置にある情報の読
取時にエラーが発生しやすくなる。When the information of the internal information recording layer (10, 20) is read from one surface side of the two substrates (30, 40), the read laser beam is the adhesive layer (50) between the two substrates. It will pass back and forth. At this time, if there is unevenness or bubbles in the thickness of the adhesive layer (50) between the two substrates, the laser light traveling path length fluctuates in the portion where the thickness of the adhesive layer changes, resulting in uneven thickness or bubbles. An error is likely to occur when reading the information at the position.

【００２２】ところが、この発明の貼合せ情報記録媒体
では、上記スペーサ（６０）があるために、上記気泡を
完全に外部にはじき出すに十分な速度で貼合せ基板を高
速回転させても第１基板（３０）および第２基板（４
０）の間に存在する接着剤層（５０）の厚さがスペーサ
（６０）で規制される厚さにほぼ均一（５０±５μｍ程
度）に収まるから、接着剤層（５０）の厚さムラや気泡
などに起因する読取エラーの発生率は実用上問題ないレ
ベルまで抑え込むことができる。However, in the bonded information recording medium of the present invention, since the spacer (60) is provided, the first substrate is rotated even if the bonded substrate is rotated at a high speed at a speed sufficient to completely eject the bubbles to the outside. (30) and the second substrate (4
The thickness of the adhesive layer (50) existing between 0) is substantially uniform (about 50 ± 5 μm) within the thickness regulated by the spacer (60), so that the thickness of the adhesive layer (50) is uneven. The occurrence rate of read errors due to air bubbles and the like can be suppressed to a level where there is no practical problem.

【００２３】さらに、上記スペーサ（６０）があるため
に、接着層（５０）の厚みを所定範囲に管理しつつそこ
から気泡を完全に除去する高速回転処理が可能となった
ことから、接着層内残留気泡に起因する接着層の強度低
下なくなるので、落下衝撃などにより貼合せディスク基
板が剥がれてしまうことを防止できる。Further, since the spacer (60) is provided, it is possible to perform a high-speed rotation process for completely removing bubbles from the spacer while controlling the thickness of the adhesive layer (50) within a predetermined range. Since the strength of the adhesive layer does not decrease due to the residual air bubbles inside, it is possible to prevent the bonded disc substrate from peeling off due to a drop impact or the like.

【００２４】また上記第３の目的に係る発明の貼合せ情
報記録媒体（たとえば図１１の貼合せ１層ディスクでス
ペーサ６０あり）は、第１の情報記録層（１０）が形成
され、所定の外形（１２０ｍｍまたは８０ｍｍ）と所定
内形（１５ｍｍ）と所定の厚み（０.６ｍｍ）を持つ孔
開き円盤状第１基板（３０）と；ダミー層（２０ｄ）が
形成され、前記所定の外形（１２０ｍｍまたは８０ｍ
ｍ）と前記所定内形（１５ｍｍ）と所定の厚み（０.６
ｍｍ）を持つ孔開き円盤状第２基板（４０）と；特定の
外形（２１ｍｍ）と特定の内形（１５〜１６ｍｍ程度）
と所定の厚み（４０〜７０μｍ）を持ち、前記第１基板
（３０）および前記第２基板（４０）の間に同心状に挟
まれるスペーサ（６０）と；前記スペーサ（６０）の位
置を避けて前記第１基板（３０）および前記第２基板
（４０）の間に存在し、前記スペーサ（６０）によって
規制される一定の厚さを持つ接着剤層（５０）とを備え
ている。The laminated information recording medium of the invention according to the third object (for example, the laminated single-layer disc shown in FIG. 11 and having the spacer 60) has the first information recording layer (10) formed thereon and has a predetermined shape. A perforated disk-shaped first substrate (30) having an outer shape (120 mm or 80 mm), a predetermined inner shape (15 mm) and a predetermined thickness (0.6 mm); a dummy layer (20 d) is formed, and the predetermined outer shape ( 120mm or 80m
m) and the predetermined internal shape (15 mm) and the predetermined thickness (0.6
mm) with a perforated disc-shaped second substrate (40); a specific outer shape (21 mm) and a specific inner shape (about 15 to 16 mm)
And a spacer (60) having a predetermined thickness (40 to 70 μm) and concentrically sandwiched between the first substrate (30) and the second substrate (40); avoiding the position of the spacer (60) And an adhesive layer (50) having a certain thickness which is present between the first substrate (30) and the second substrate (40) and is regulated by the spacer (60).

【００２５】上記貼合せ情報記録媒体は、２枚の円盤状
基板（３０、４０）の一方（３０）にしか情報記録層
（１０）が無い場合を主に想定しており、貼合せ基板の
他方（４０）に情報記録層（１０）に対応する無記録の
ダミー層（２０ｄ）が設けられている。このように一方
基板（３０）および他方基板（４０）の双方に同様な層
（１０、２０ｄ）が形成されており、これらが向き合わ
せに貼り合わされると、次のような効果が得られる。す
なわち、環境変化あるいは経時変化に伴う両基板の物理
的な変形は対称的に同程度の量で生じるため、その変形
が貼合せにより打ち消される。このことから、貼合せ基
板の「剥がれ」あるいは「そり」が起きにくく、環境変
化あるいは経時変化に対して物理的に安定な貼合せ情報
記録媒体が得られる。The above-mentioned laminated information recording medium is mainly assumed to have the information recording layer (10) only on one (30) of the two disc-shaped substrates (30, 40). On the other side (40), a non-recording dummy layer (20d) corresponding to the information recording layer (10) is provided. In this way, the similar layers (10, 20d) are formed on both the one substrate (30) and the other substrate (40), and when these are laminated facing each other, the following effects are obtained. That is, since the physical deformations of both substrates due to environmental changes or changes over time occur symmetrically in the same amount, the deformations are canceled by the bonding. As a result, a bonded information recording medium is obtained which is unlikely to cause "peeling" or "warping" of the bonded substrate and which is physically stable against environmental changes or changes over time.

【００２６】[0026]

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、この発明
の一実施の形態に係る貼合せ情報記録媒体の製造方法、
貼合せ情報記録媒体の製造装置および貼合せ情報記録媒
体を説明する。なお、重複説明を避けるために、複数の
図面に渡り機能上共通する部分には共通の参照符号が用
いられている。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION A method for manufacturing a laminated information recording medium according to an embodiment of the present invention will now be described with reference to the drawings.
A bonding information recording medium manufacturing apparatus and a bonding information recording medium will be described. In order to avoid redundant description, common reference numerals are used for functionally common parts in a plurality of drawings.

【００２７】図１は、この発明の貼合せ情報記録媒体の
一例として用いられる２層光ディスクＯＤを、読取レー
ザ光受光面側から見た平面図である。この光ディスクＯ
Ｄは、外径が１２０ｍｍあり、内径１５ｍｍの中心孔７
０を持ち、０.６ｍｍのポリカーボネート製基板を２枚
貼合せた１.２ｍｍの厚さ寸法を持つ。この貼合せ基板
それぞれにはドーナッツ状の情報記録層が形成されてい
る（図１に図示されているのは一方の基板の層１０の
み）。これらドーナッツ状情報記録層の内径はおよそ４
５ｍｍであり、その外径は最大で約１１７ｍｍとなって
いる。このような構成の光ディスクＯＤの中心孔７０と
同軸状に、２つの基板に挟まれて、たとえば内径１５〜
１６ｍｍ、外径２０〜２１ｍｍで厚さがおよそ５０μｍ
の高分子フィルムスペーサ６０が配置される。FIG. 1 is a plan view of a two-layer optical disk OD used as an example of the bonded information recording medium of the present invention, viewed from the side of the reading laser beam receiving surface. This optical disc O
D has a center hole 7 with an outer diameter of 120 mm and an inner diameter of 15 mm.
It has 0 and has a thickness of 1.2 mm, which is obtained by laminating two 0.6 mm polycarbonate substrates. A donut-shaped information recording layer is formed on each of the bonded substrates (only the layer 10 of one substrate is shown in FIG. 1). The inner diameter of these donut-shaped information recording layers is about 4
The outer diameter is 5 mm and the maximum outer diameter is about 117 mm. The optical disc OD having such a structure is sandwiched between two substrates coaxially with the center hole 70, and has, for example, an inner diameter of 15 to
16 mm, outer diameter 20-21 mm, thickness about 50 μm
The polymer film spacer 60 is placed.

【００２８】このスペーサ６０に用いる高分子フィルム
としては、そこに何も記載しないときは、ポリカーボネ
ートフィルム、ポリエチレンテレフタレートフィルム、
ポリイミドフィルムなどが使用可能である。また、そこ
にラベル情報を印刷するときはポリカーボネートフィル
ムなどが適当である。ただし、印刷を施すときは、印刷
後の実質的な厚みを所望の厚み（たとえば５０μｍ）に
管理することになる。As for the polymer film used for the spacer 60, a polycarbonate film, a polyethylene terephthalate film, if nothing is described there,
A polyimide film or the like can be used. Further, when printing label information thereon, a polycarbonate film or the like is suitable. However, when printing is performed, the substantial thickness after printing is controlled to a desired thickness (for example, 50 μm).

【００２９】図２は、図１の２層光ディスクＯＤの断面
の一部を拡大・デフォルメして示している。図示するよ
うに、このディスクＯＤは、読取レーザ光ＲＬが入射す
る面から見て、第１情報記録層保持用ポリカーボネート
基板３０と、第１の情報が記録される金薄膜（第１情報
記録層；厚さ１１〜１４ｎｍ、たとえば１３ｎｍ程度）
１０と、レーザ光ＲＬに対して透明な接着剤層５０と、
第２の情報が記録されるアルミニウム・モリブデン合金
薄膜（第２情報記録層；厚さ４０ｎｍ以上、たとえば１
００ｎｍ程度）２０と、第２情報記録層保持用ポリカー
ボネート基板４０とで、構成されている。読取レーザ光
ＲＬの受光面３０と反対側の基板面４０上には、必要に
応じて、記録情報（上記第１、第２情報）に関係した情
報（文字、絵、模様などの視覚パターン情報）が印刷さ
れたラベルＬＢが張り付けられるようになっている。FIG. 2 shows an enlarged and deformed part of the cross section of the two-layer optical disk OD of FIG. As shown in the figure, this disc OD has a polycarbonate substrate 30 for holding the first information recording layer and a gold thin film (first information recording layer) on which the first information is recorded when viewed from the surface on which the reading laser beam RL is incident. Thickness 11 to 14 nm, for example, about 13 nm)
10, an adhesive layer 50 transparent to the laser beam RL,
Aluminum-molybdenum alloy thin film (second information recording layer; thickness 40 nm or more, for example, 1
00 nm) 20 and the second information recording layer holding polycarbonate substrate 40. On the substrate surface 40 on the side opposite to the light receiving surface 30 of the reading laser beam RL, visual pattern information such as information (characters, pictures, patterns, etc.) related to the recorded information (first and second information described above), if necessary. The label LB on which () is printed is attached.

【００３０】中心孔７０の位置で基板３０と基板４０に
同心状に挟まれたフィルムスペーサ６０は５０μｍの厚
さを持ち、このスペーサ６０と同じレベルで基板３０お
よび基板４０の間に挟まれた接着剤層５０は、スペーサ
６０のフィルム厚５０μｍと殆ど同じ一定厚（５０±５
μｍ程度）を持つ。接着剤層５０の厚さを増やしたけれ
ば、スペーサ６０のフィルム厚を対応して増やせば良
い。The film spacer 60, which is concentrically sandwiched between the substrate 30 and the substrate 40 at the position of the central hole 70, has a thickness of 50 μm, and is sandwiched between the substrate 30 and the substrate 40 at the same level as the spacer 60. The adhesive layer 50 has a constant thickness (50 ± 5
μm). If it is desired to increase the thickness of the adhesive layer 50, the film thickness of the spacer 60 may be correspondingly increased.

【００３１】第１情報記録層を形成する金薄膜１０の膜
厚を１１ｎｍないし１４ｎｍの間（好ましくは１３ｎｍ
前後）に選ぶことにより、第１情報記録層１０および第
２情報記録層２０双方から同程度の強さの読取レーザ反
射光を得ることができるようになる。The thickness of the gold thin film 10 forming the first information recording layer is between 11 nm and 14 nm (preferably 13 nm).
By selecting (before and after), it becomes possible to obtain read laser reflected light of approximately the same intensity from both the first information recording layer 10 and the second information recording layer 20.

【００３２】なお、第１情報記録層１０は、波長６５０
ｎｍ（または６３５ｎｍ）の読取レーザ光ＲＬに対して
金薄膜と同程度のレーザ光反射率・レーザ光透過率を示
すもの（金合金、銅、銀、黄銅、銅・亜鉛合金、銅・ア
ルミニウム合金など）で構成することもできる。The first information recording layer 10 has a wavelength of 650.
nm (or 635 nm) read laser light RL that shows the same laser light reflectance and laser light transmittance as a gold thin film (gold alloy, copper, silver, brass, copper-zinc alloy, copper-aluminum alloy) Etc.).

【００３３】また、第２情報記録層を形成するアルミニ
ウム・モリブデン合金薄膜２０の膜厚を４０ｎｍ以上に
選ぶことにより、膜２０のレーザ光反射率を実用上十分
（反射率８０％以上）なものにできる。この実施の形態
では、第２情報記録層２０の膜厚設定値を１００ｎｍ程
度に選んでいる。Further, by selecting the film thickness of the aluminum-molybdenum alloy thin film 20 forming the second information recording layer to 40 nm or more, the laser light reflectance of the film 20 is practically sufficient (reflectance of 80% or more). You can In this embodiment, the film thickness setting value of the second information recording layer 20 is selected to be about 100 nm.

【００３４】また、第２情報記録層２０はアルミニウム
だけでも形成可能であるが、モリブデン、タンタル、コ
バルト、クロム、チタン、白金などの高融点金属とアル
ミニウムとを合金化することにより、第２情報記録層用
の薄膜２０の反射率の経時劣化（環境信頼性）を大幅に
改善できる。Although the second information recording layer 20 can be formed of aluminum alone, the second information can be formed by alloying aluminum with a refractory metal such as molybdenum, tantalum, cobalt, chromium, titanium or platinum. The deterioration of the reflectance of the thin film 20 for the recording layer over time (environmental reliability) can be significantly improved.

【００３５】また、モリブデンは第２情報記録層２０の
耐酸化性を改善する機能を持つが、その配合割合には適
正な範囲があり、１〜２０ａｔ％が実用範囲といえる。
アルミニウム・モリブデン合金薄膜２０におけるモリブ
デンの割合は、好ましくは１〜２０ａｔ％である。この
実施の形態では、モリブデンの割合を２０ａｔ％として
いる。これが２０ａｔ％を超えると、薄膜２０の膜厚が
４０ｎｍ以上確保されていても、第２情報記録層２０と
してのレーザ光反射率は低下する。Further, molybdenum has a function of improving the oxidation resistance of the second information recording layer 20, but there is an appropriate range for the compounding ratio, and 1 to 20 at% can be said to be a practical range.
The proportion of molybdenum in the aluminum-molybdenum alloy thin film 20 is preferably 1 to 20 at%. In this embodiment, the molybdenum ratio is 20 at%. When it exceeds 20 at%, the laser light reflectance of the second information recording layer 20 is lowered even if the thickness of the thin film 20 is 40 nm or more.

【００３６】また、読取レーザ光ＲＬの波長は、例示し
た６５０ｎｍの他に、６３５ｎｍでも良いし、より短波
長のレーザでも良い。ただし、波長が異なればスペーサ
６０の最適フィルム厚は変化し得る（接着材層５０の物
性によっても最適フィルム厚は変化し得る）。最適フィ
ルム厚は、実際に使用されるレーザ波長、接着材層５０
の材質、基板３０および４０の材質などが具体的に決定
された後、複数サンプルを用いて実験的に決定するのが
実用的といえる。この決定は、たとえば記録層１０およ
び２０双方からの読取信号のＣ／Ｎ（キャリア対雑音
比）がともに所望値以上となり、かつ基板３０および４
０の貼合せ強度が十分取れるように決定される。The wavelength of the read laser beam RL may be 635 nm or a laser of a shorter wavelength, in addition to the exemplified 650 nm. However, the optimum film thickness of the spacer 60 may change if the wavelength is different (the optimum film thickness may also change depending on the physical properties of the adhesive layer 50). The optimum film thickness depends on the laser wavelength actually used and the adhesive layer 50.
It can be said that it is practical to experimentally determine by using a plurality of samples after the material of the substrate, the materials of the substrates 30 and 40, etc. are specifically determined. This determination is made, for example, when the C / N (carrier-to-noise ratio) of the read signals from both the recording layers 10 and 20 are both above a desired value and the substrates 30 and 4
It is determined so that the bonding strength of 0 can be sufficiently obtained.

【００３７】図１および図２の貼合せ光ディスクＯＤの
物理的なパラメータとしては、たとえば以下のものを採
用できる。As the physical parameters of the bonded optical disc OD shown in FIGS. 1 and 2, for example, the following can be adopted.

【００３８】［外径］ １２センチディスクの場合＞１２０.００±０.３０ｍｍ ８センチディスクの場合＞ ８０.００±０.３０ｍｍ ［中心孔７０］ １２センチ／８センチ共通＞１５.００+０.１５ｍｍ、-
０.００ｍｍ ［貼合せ後の厚さ］ １２センチ／８センチ共通＞１.２０+０.３０ｍｍ、-
０.０６ｍｍ ［ディスククランプエリア内径］ １２センチ／８センチ共通＞最大２２.０ｍｍ ［ディスククランプエリア外径］ １２センチ／８センチ共通＞最小３３.０ｍｍ ［ディスククランプエリアの厚さ］ １２センチ／８センチ共通＞１.２０+０.２０ｍｍ、-
０.１０ｍｍ ［貼合せ後のディスク重量］ １２センチディスクの場合＞１３ｇ〜２０ｇ ８センチディスクの場合＞ ６ｇ〜 ９ｇ ［貼合せ後のディスクの慣性モーメント］ １２センチディスクの場合＞最大０.０４０ｇ・ｍ2 ８センチディスクの場合＞最大０.０１０ｇ・ｍ2 ［貼合せ後のディスクのダイナミックバランス］ １２センチディスクの場合＞最大０.０１０ｇ・ｍ ８センチディスクの場合＞最大０.００４５ｇ・ｍ 図３は、図２に示すような構成を持つ貼合せ２層光ディ
スクＯＤの基板３０または４０に金薄膜（第１情報記録
層）１０またはアルミニウム・モリブデン合金薄膜（第
２情報記録層）２０を形成するスパッタリング装置の概
要を示している。[Outer Diameter] 12 cm Disc> 120.00 ± 0.30 mm 8 cm Disc> 80.00 ± 0.30 mm [Center hole 70] 12 cm / 8 cm common> 15.00 + 0 .15 mm,-
0.00mm [Thickness after bonding] 12cm / 8cm common> 1.20 + 0.30mm,-
0.06mm [Disc Clamp Area Inner Diameter] 12cm / 8cm Common> Maximum 22.0mm [Disc Clamp Area Outer Diameter] 12cm / 8cm Common> Minimum 33.0mm [Disc Clamp Area Thickness] 12cm / 8 Centimeter common> 1.20 + 0.20 mm,-
0.10 mm [Disc weight after laminating] 12 cm disc> 13 g to 20 g 8 cm disc> 6 g to 9 g [Inertia moment of disc after laminating] 12 cm disc> 0.040 g max. m2 8 cm disc> max 0.010 g ・ m2 [Dynamic balance of the disc after laminating] 12 cm disc> max 0.010 g ・ m 8 cm disc> max 0.0045 g ・ m Figure 3 , Sputtering for forming a gold thin film (first information recording layer) 10 or an aluminum-molybdenum alloy thin film (second information recording layer) 20 on a substrate 30 or 40 of a laminated two-layer optical disk OD having a configuration as shown in FIG. The outline of an apparatus is shown.

【００３９】真空容器１００内の天井近傍には、ポリカ
ーボネート基板３０（または４０）支持用の円盤状回転
基台１０２が、回転面が水平になるように配設されてい
る。回転基台１０２の下面に基板３０（４０）が支持さ
れ、モータ１１０により回転されるようになっている
（回転させない実施形態もあり得る）。A disk-shaped rotary base 102 for supporting the polycarbonate substrate 30 (or 40) is disposed in the vicinity of the ceiling in the vacuum container 100 so that the rotation surface is horizontal. The substrate 30 (40) is supported on the lower surface of the rotation base 102 and is rotated by the motor 110 (there may be an embodiment in which it is not rotated).

【００４０】真空容器１００内の底部近傍には、上方の
回転基台１０２と対向するように、スパッタリング源が
配置されたアノード板１０４が配設される。このスパッ
タリング源は、光ディスクＯＤのレーザ光反射層１０を
構成する材料（金）、またはレーザ光反射層２０を構成
する材料（アルミニウム、モリブデンなど）で構成され
る。An anode plate 104 having a sputtering source is arranged near the bottom of the vacuum container 100 so as to face the upper rotary base 102. This sputtering source is composed of a material (gold) forming the laser light reflecting layer 10 of the optical disc OD or a material forming the laser light reflecting layer 20 (aluminum, molybdenum, etc.).

【００４１】回転基台（カソード板）１０２は接地され
る。アノード板１０４には、ＲＦスパッタの場合、高周
波電源装置１１２が接続される。（ＤＣスパッタの場合
なら直流電源装置１１２が接続される。）スパッタリン
グが行われる際は、電源装置１１２の出力電圧が、接地
されたカソード板１０２とアノード板１０４との間に印
加される。The rotating base (cathode plate) 102 is grounded. In the case of RF sputtering, a high frequency power supply device 112 is connected to the anode plate 104. (In the case of DC sputtering, the DC power supply device 112 is connected.) When sputtering is performed, the output voltage of the power supply device 112 is applied between the grounded cathode plate 102 and anode plate 104.

【００４２】真空容器１００は、ガス排気ポート１１３
を介して排気装置１１４に接続される。排気装置１１４
により十分に排気（マイクロトールレベル）された真空
容器１００へは、スパッタリング実行時に、ガス導入ポ
ート１１５および制御バルブ１１８を介して、アルゴン
ガスボンベ１１６から、スパッタリングガスとしてのア
ルゴンガス（不活性ガス）が微量注入（ミリトールレベ
ル）される。アルゴンガスの注入量は、真空容器１００
に取り付けられた内圧センサ（真空計）１０８によりチ
ェックされる。The vacuum container 100 has a gas exhaust port 113.
It is connected to the exhaust device 114 via. Exhaust device 114
The argon gas (inert gas) as the sputtering gas is supplied from the argon gas cylinder 116 to the vacuum container 100 that has been sufficiently evacuated (at a microtorr level) by the gas introduction port 115 and the control valve 118 at the time of performing the sputtering. Microinjection (millitor level). The injection amount of argon gas is 100
It is checked by an internal pressure sensor (vacuum gauge) 108 attached to the.

【００４３】基板回転モータ１１０、スパッタリング用
電源装置１１２、排気装置１１４および制御バルブ１１
８は、スパッタリング制御装置１２０内部のＣＰＵによ
り、コンピュータコントロールされる。The substrate rotation motor 110, the sputtering power supply device 112, the exhaust device 114 and the control valve 11
The computer 8 is controlled by the CPU inside the sputtering controller 120.

【００４４】アノード板１０４に配置されたスパッタリ
ング源（金）の上方には、膜厚計測機能を持つモニタ装
置１０６が設けられている。制御装置１２０のＣＰＵ
は、モニタ装置１０６によって、スパッタリング源から
基板３０（４０）へのスパッタ量をモニタする。すなわ
ち、制御装置１２０のＣＰＵは、基板３０（４０）にス
パッタされた薄膜をモニタしながら、薄膜層１０（２
０）が所定の組成となるように（あるいは所定の膜厚に
なるように）、電源装置１１２からアノード板１０４へ
の高周波電力を調節するようにプログラムされる。A monitor device 106 having a film thickness measuring function is provided above the sputtering source (gold) arranged on the anode plate 104. CPU of control device 120
Monitor the amount of sputtering from the sputtering source to the substrate 30 (40) by the monitor device 106. That is, the CPU of the control device 120 monitors the thin film sputtered on the substrate 30 (40) while monitoring the thin film layer 10 (2
0) is programmed to adjust the high frequency power from the power supply 112 to the anode plate 104 so that (0) has a predetermined composition (or a predetermined film thickness).

【００４５】図４は、図３の装置を用いて貼合せ２層光
ディスクＯＤ用の第１情報記録層１０を形成する手順を
説明するフローチャートである。この手順に対応するプ
ログラムは、図３のスパッタリング制御装置１２０の内
部ＣＰＵにより実行される。FIG. 4 is a flow chart for explaining a procedure for forming the first information recording layer 10 for the laminated two-layer optical disk OD using the apparatus shown in FIG. The program corresponding to this procedure is executed by the internal CPU of the sputtering control device 120 of FIG.

【００４６】すなわち、制御装置１２０は、内圧センサ
１０８を用いて真空容器１００の内圧を監視しながら排
気装置１１４を運転して、真空容器１００をたとえば５
マイクロトール以下まで排気する（ステップＳＴ１０；
ステップＳＴ１２ノー）。その後、制御装置１２０は、
内圧センサ１０８を用いて真空容器１００の内圧を監視
しなが制御バルブ１１８を開閉制御して、真空容器１０
０内に５ミリトール以下のアルゴンガスを導入する（ス
テップＳＴ１４；ステップＳＴ１６ノー）。That is, the control device 120 operates the evacuation device 114 while monitoring the internal pressure of the vacuum container 100 by using the internal pressure sensor 108 to operate the vacuum container 100 by, for example, 5 times.
Exhaust to a micro-torr or less (step ST10;
No in step ST12). After that, the control device 120
The internal pressure sensor 108 is used to monitor the internal pressure of the vacuum container 100, but the control valve 118 is opened and closed to control the vacuum container 10.
An argon gas of 5 mTorr or less is introduced into 0 (step ST14; step ST16, No).

【００４７】こうして導入された低圧アルゴンガスをス
パッタリングガスとして用いて、金のスパッタリングが
開始される。Gold sputtering is started using the low-pressure argon gas thus introduced as a sputtering gas.

【００４８】すなわち、制御装置１２０は、基板３０が
取り付けられたカソード板１０２をモータ１１０により
回転させつつ（ステップＳＴ１８）、スパッタリング源
（ここでは金）に対して、所定時間、所定電力を印加し
て（ステップＳＴ２０）、所定の膜厚のレーザ光反射層
１０を形成する（ステップＳＴ２２イエス）。That is, the controller 120 rotates the cathode plate 102 to which the substrate 30 is attached by the motor 110 (step ST18) and applies a predetermined electric power to the sputtering source (here, gold) for a predetermined time. (Step ST20), the laser light reflection layer 10 having a predetermined film thickness is formed (step ST22 YES).

【００４９】なお、上記実施の形態では、スパッタリン
グ中に基板３０を回転させているが、薄膜１０の膜厚の
ばらつきが所定値以内に収まるときは、スパッタリング
中に基板３０を回転させなくても良い。In the above embodiment, the substrate 30 is rotated during sputtering. However, when the variation in the film thickness of the thin film 10 is within a predetermined value, the substrate 30 may not be rotated during sputtering. good.

【００５０】また、上記実施の形態では、ターゲット材
の上方に基板３０を配設するアップスパッタの場合で説
明を行ったが、ターゲット材の側方に基板３０を配設す
るサイドスパッタ法を採用しても良い。In the above embodiment, the case of up-sputtering in which the substrate 30 is disposed above the target material has been described, but the side sputtering method in which the substrate 30 is disposed on the side of the target material is adopted. You may.

【００５１】［実験例］排気装置１１４により真空容器
１００の内圧を１マイクロトール（μ Torr）台まで下
げ、次いでアルゴンガスを注入してアルゴンガス圧を所
定値に設定した。設定したアルゴンガス圧とスパッタ形
成された金薄膜１０の形成状態と、そのアルゴン含有量
との関係は、以下のようになった。[Experimental Example] The internal pressure of the vacuum container 100 was lowered to the order of 1 microtorr (μ Torr) by the exhaust device 114, and then argon gas was injected to set the argon gas pressure to a predetermined value. The relationship between the set argon gas pressure, the formation state of the gold thin film 10 formed by sputtering, and the argon content is as follows.

【００５２】 アルゴンガス圧（m Torr） 金薄膜の形成状態 含有アルゴン量（at %） ９ 島状 ５ ８ 島状 ５ ７ 島状 ４ ６ ほぼ均一 ３ ５ 均一 ２ ４ 均一 ２ ３ 均一 １ ２ 均一 １ １ 均一 １ アルゴン圧を５ミリトール以下にすると金薄膜１０中の
含有アルゴン量が２ａｔ％以下となって均一な薄膜（膜
厚１１ｎｍ〜１４ｎｍ）が得られる。Argon gas pressure (m Torr) Gold thin film formation state Content of argon (at%) 9 Island 5 8 Island 5 7 Island 4 6 Almost uniform 3 5 Uniform 2 4 Uniform 2 3 Uniform 1 2 Uniform 1 1 Uniform 1 When the argon pressure is 5 mTorr or less, the content of argon in the gold thin film 10 becomes 2 at% or less, and a uniform thin film (film thickness 11 nm to 14 nm) is obtained.

【００５３】図５は、図３の装置を用いて貼合せ２層光
ディスクＯＤ用の第２情報記録層２０を形成する手順を
説明するフローチャートである。この手順に対応するプ
ログラムも、図３のスパッタリング制御装置１２０のＣ
ＰＵにより実行できる。FIG. 5 is a flow chart for explaining a procedure for forming the second information recording layer 20 for the laminated two-layer optical disk OD using the apparatus shown in FIG. The program corresponding to this procedure is also C of the sputtering control device 120 of FIG.
It can be executed by PU.

【００５４】すなわち、制御装置１２０は、内圧センサ
１０８を用いて真空容器１００の内圧を監視しながら排
気装置１１４を運転して、真空容器１００をたとえば５
マイクロトール以下まで排気する（ステップＳＴ３０；
ステップＳＴ３２ノー）。その後、制御装置１２０は、
内圧センサ１０８を用いて真空容器１００の内圧を監視
しなが制御バルブ１１８を開閉制御して、真空容器１０
０内に５ミリトール以下のアルゴンガスを導入する（ス
テップＳＴ３４；ステップＳＴ１６ノー）。That is, the control device 120 operates the exhaust device 114 while monitoring the internal pressure of the vacuum container 100 by using the internal pressure sensor 108 to operate the vacuum container 100 by, for example, 5 times.
Exhaust up to a micro-torr or less (step ST30;
(No in step ST32). After that, the control device 120
The internal pressure sensor 108 is used to monitor the internal pressure of the vacuum container 100, but the control valve 118 is opened and closed to control the vacuum container 10.
An argon gas of 5 mTorr or less is introduced into 0 (step ST34; step ST16, No).

【００５５】こうして導入された低圧アルゴンガスをス
パッタリングガスとして用いて、金のスパッタリングが
開始される。Gold sputtering is started using the low-pressure argon gas thus introduced as a sputtering gas.

【００５６】すなわち、制御装置１２０は、基板４０が
取り付けられたカソード板１０２をモータ１１０により
回転させつつ（ステップＳＴ３８）、各スパッタリング
源（ここではアルミニウムとモリブデン）に対して、層
構成の順番（アルミニウム、次にモリブデン）に、所定
時間、所定電力を印加して（ステップＳＴ４０）、所定
の膜厚のレーザ光反射層２０を形成する（ステップＳＴ
４２イエス）。That is, the control device 120 rotates the cathode plate 102 to which the substrate 40 is attached by the motor 110 (step ST38), and at the same time the layer construction order (for aluminum and molybdenum) for each sputtering source (here aluminum and molybdenum). A predetermined power is applied to aluminum and then molybdenum for a predetermined time (step ST40) to form a laser light reflection layer 20 having a predetermined thickness (step ST).
42 Yes).

【００５７】なお、上記実施の形態では、スパッタリン
グ中に基板４０を回転させているが、薄膜２０の膜厚の
ばらつきが所定値以内に収まるときは、スパッタリング
中に基板４０を回転させなくても良い。In the above embodiment, the substrate 40 is rotated during sputtering. However, when the variation in the film thickness of the thin film 20 is within a predetermined value, the substrate 40 need not be rotated during sputtering. good.

【００５８】また、上記実施の形態では、ターゲット材
の上方に基板４０を配設するアップスパッタの場合で説
明を行ったが、ターゲット材の側方に基板４０を配設す
るサイドスパッタ法を採用しても良い。In the above embodiment, the case of up-sputtering in which the substrate 40 is arranged above the target material has been described, but the side sputtering method in which the substrate 40 is arranged on the side of the target material is adopted. You may.

【００５９】また、図５では図３の装置を利用したスパ
ッタリング法による場合を例にとって説明したが、層２
０は真空蒸着法でも形成できる。In addition, in FIG. 5, the case of the sputtering method using the apparatus of FIG. 3 has been described as an example.
0 can also be formed by a vacuum deposition method.

【００６０】図６は、図４および図５の手順を経て得ら
れた半ディスク状態の基板３０および４０が張り合わさ
れて貼合せ２層光ディスクＯＤが完成するまでの過程
（ａ）〜（ｄ）を説明する図である。FIG. 6 is a process (a) to (d) in which the half-disk substrates 30 and 40 obtained through the procedure of FIGS. 4 and 5 are bonded to each other to complete the bonded two-layer optical disk OD. It is a figure explaining.

【００６１】図７は、貼合せディスクＯＤの製造過程で
出てくる余分な接着剤を回収する装置の構成例である。
（図７ｂは図７ａの７ｂ−７ｂ線に沿った部分断面を示
している。） また、図８は、図６の貼合せディスクの製造過程に対応
した手順を説明するフローチャートである。以下、順を
追って説明する。FIG. 7 shows an example of the construction of an apparatus for collecting the excess adhesive that appears during the process of manufacturing the bonded disc OD.
(FIG. 7b shows a partial cross section taken along line 7b-7b of FIG. 7a.) Further, FIG. 8 is a flowchart illustrating a procedure corresponding to the manufacturing process of the bonded disc of FIG. Hereinafter, description will be made in order.

【００６２】図６（ａ）＞まず、第１情報記録層（金薄
膜）１０が上になるように、ポリカーボネート基板（貼
合せ光ディスクＯＤの片割れ）３０がスピンテーブル２
００の位置合わせピン２０２に挿通される。その後、厚
さ５０μｍのフィルムスペーサ６０が位置合わせピン２
０２に挿通される。FIG. 6 (a)> First, the polycarbonate substrate (one side of the bonded optical disk OD) 30 is placed on the spin table 2 so that the first information recording layer (gold thin film) 10 is on top.
00 alignment pin 202. After that, the film spacer 60 having a thickness of 50 μm is attached to the alignment pin 2
It is inserted in 02.

【００６３】基板３０がスピンテーブル２００に密着
し、スペーサ６０が基板３０に密着したあと、低粘度の
紫外線硬化性接着剤２２０が適量塗布（または点滴）さ
れる（図８のステップＳＴ５０）。After the substrate 30 is brought into close contact with the spin table 200 and the spacer 60 is brought into close contact with the substrate 30, an appropriate amount (or drip) of the low-viscosity ultraviolet curable adhesive 220 is applied (step ST50 in FIG. 8).

【００６４】この接着剤２２０としては、粘度３００〜
８００ｍＰａ・ｓ（ミリパスカル秒）程度の、紫外線
（ＵＶ）硬化型接着剤、熱硬化型接着剤、嫌気性硬化型
接着剤などが適当である。The adhesive 220 has a viscosity of 300-
An ultraviolet (UV) curable adhesive, a thermosetting adhesive, an anaerobic curable adhesive, etc., having a hardness of about 800 mPa · s (millipascal second) are suitable.

【００６５】図６（ｂ）＞接着剤２２０を所定量塗布ま
たは点滴後（ステップＳＴ５２イエス）、直ちに、第２
情報記録層（アルミニウム・モリブデン合金薄膜）２０
が下になるように、ポリカーボネート基板（貼合せ光デ
ィスクＯＤのもう一方の片割れ）４０がスピンテーブル
２００の位置合わせピン２０２に挿通される（ステップ
ＳＴ５４）。基板４０は、基板３０上に塗布された接着
剤２２０を押し広げるように基板３０に密着される。
（この密着後は、格別な力を加えて基板４０を基板３０
側に押しつけることはしない。） 基板３０と基板４０との間で押し広げられた接着剤２２
０の薄い皮膜（後の接着剤層５０）中に気泡（または微
細なごみ・ちり・ほこり）が混入する可能性が一番高い
のは、このときである。このときの基板３０と基板４０
との間隔は、スペーサ６０の厚み（５０μｍ）より大き
くなっており、基板間には余分な接着剤２２０とともに
若干の気泡・ごみ等が挟まっている可能性がある。FIG. 6 (b)> After applying a predetermined amount of adhesive 220 or instilling (Yes in step ST52), immediately after the second
Information recording layer (aluminum-molybdenum alloy thin film) 20
The polycarbonate substrate (the other half of the bonded optical disc OD) 40 is inserted into the alignment pin 202 of the spin table 200 so that the bottom of the spin table 200 becomes lower (step ST54). The substrate 40 is brought into close contact with the substrate 30 so as to spread the adhesive 220 applied on the substrate 30.
(After this adhesion, a special force is applied to the substrate 40 to
Do not push it to the side. ) Adhesive 22 spread between substrate 30 and substrate 40
It is at this time that bubbles (or fine dust, dust, dust) are most likely to be mixed in the thin film of 0 (the adhesive layer 50 later). Substrate 30 and substrate 40 at this time
The distance between and is larger than the thickness (50 μm) of the spacer 60, and there is a possibility that some air bubbles, dust, and the like are trapped between the substrates together with the extra adhesive 220.

【００６６】図６（ｃ）＞基板４０を基板３０に密着さ
せたあと、スピンテーブル２００を所定速度（１００〜
２０００ｒｐｍ程度；必ずしも定速回転である必要はな
く、可変速でも良い）で高速回転させる（ステップＳＴ
５８）。すると基板３０と基板４０の間の余分な接着剤
２２０が気泡・ごみ等とともに高速回転の遠心力により
外部へはじき出される。FIG. 6 (c)> After the substrate 40 is brought into close contact with the substrate 30, the spin table 200 is moved at a predetermined speed (100 to 100).
About 2000 rpm; constant speed rotation is not necessarily required, variable speed may be used) and high speed rotation is performed (step ST
58). Then, the extra adhesive 220 between the substrate 30 and the substrate 40 is repelled to the outside by the centrifugal force of high-speed rotation together with bubbles and dust.

【００６７】図７（ａ）（ｂ）＞外部へはじき出された
気泡・ごみ等を含む余分接着剤２２０は、一部が接着剤
飛散防止フェンス３００でブロックされる（ステップＳ
Ｔ５８の実行中）。この高速回転が所定時間（１０秒程
度；この数値はケースバイケースで変わり得る）継続さ
れたあと（ステップＳＴ６０イエス）、スピンテーブル
２００の回転速度が低速回転（たとえば６ｒｍｐ程度）
に変更される（ステップＳＴ６１）。この時点で、基板
３０および４０の間に、厚さが５０μｍ程度で均一な気
泡の無い接着剤層５０が残留している。このとき、基板
３０と基板４０の合計厚はほぼ１.２ｍｍになってい
る。7 (a) and 7 (b)> A part of the extra adhesive 220 including bubbles, dust, etc. that have been ejected to the outside is blocked by the adhesive scattering prevention fence 300 (step S).
During execution of T58). After this high-speed rotation is continued for a predetermined time (about 10 seconds; this value may change on a case-by-case basis) (YES in step ST60), the rotation speed of the spin table 200 is low-speed rotation (for example, about 6 rpm).
Is changed to (step ST61). At this point, a uniform bubble-free adhesive layer 50 having a thickness of about 50 μm remains between the substrates 30 and 40. At this time, the total thickness of the substrate 30 and the substrate 40 is about 1.2 mm.

【００６８】ところで、高速回転により余分接着剤２２
０が外へはじき出されたあとの貼合せディスクＯＤ（３
０＋４０）の外周端部には、若干の未硬化接着剤２２０
が付着している。この外周端部付着接着剤２２０を取り
除くために、まず吸引ポンプ５００が作動開始する（ス
テップＳＴ６２）。吸引ポンプ５００の作動中にスピン
テーブル２００が低速回転（６ｒｍｐ程度）することに
より、貼合せディスクＯＤの外周に付着した余分な接着
剤２２０がポンプ５００側に回収される。By the way, the extra adhesive 22 is applied by the high speed rotation.
Laminated disk OD (3 after the 0 is ejected to the outside
0 + 40) has some uncured adhesive 220 on the outer peripheral edge.
Is attached. In order to remove the adhesive 220 attached to the outer peripheral edge, first, the suction pump 500 starts operating (step ST62). By rotating the spin table 200 at a low speed (about 6 rpm) during the operation of the suction pump 500, the extra adhesive 220 adhering to the outer periphery of the laminating disk OD is collected on the pump 500 side.

【００６９】貼合せディスクＯＤの外周に付着した余分
な接着剤２２０の回収が済むと、スピンテーブル２００
の回転が停止され、吸引ポンプ５００が停止される（ス
テップＳＴ６３）。When the excess adhesive 220 attached to the outer periphery of the laminated disk OD is collected, the spin table 200
Is stopped and the suction pump 500 is stopped (step ST63).

【００７０】なお、貼合せディスクＯＤの外周に付着し
た余分な接着剤２２０はポンプ５００からのエアチュー
ブ５０２を介して生成される吸引空気流により回収容器
４００に回収される。その際、エアチューブ５０２側へ
流れ込もうとする接着剤２２０は接着剤通過阻止フィル
タ３０２により阻止されるから、接着剤２２０がポンプ
５００に流入することはない。その代わり、フィルタ３
０２は定期的に交換あるいはクリーニングされる。The extra adhesive 220 attached to the outer periphery of the bonded disc OD is recovered in the recovery container 400 by the suction air flow generated from the pump 500 via the air tube 502. At this time, the adhesive 220 that tries to flow into the air tube 502 is blocked by the adhesive passage blocking filter 302, so that the adhesive 220 does not flow into the pump 500. Instead, filter 3
02 is regularly replaced or cleaned.

【００７１】図６（ｄ）＞均一で気泡の無い接着剤層５
０が残留した貼合せ光ディスクＯＤは、紫外線ランプ２
３０により紫外線照射を受ける（ステップＳＴ６４）。
所定時間の紫外線照射が済むと（ステップＳＴ６６イエ
ス）、層５０を構成する接着剤２２０は実用強度まで硬
化する。これにより基板３０と基板４０は完全に一体化
し、２層構造の貼合せ光ディスクＯＤが完成する。FIG. 6 (d)> Uniform and bubble-free adhesive layer 5
The bonded optical disk OD with 0 remaining is the ultraviolet lamp 2
Ultraviolet irradiation is received by 30 (step ST64).
After the irradiation of ultraviolet rays for a predetermined time (YES in step ST66), the adhesive 220 forming the layer 50 is cured to a practical strength. As a result, the substrate 30 and the substrate 40 are completely integrated, and the laminated optical disc OD having a two-layer structure is completed.

【００７２】なお、図８のステップＳＴ５０〜ＳＴ６０
の工程において、高速回転するモータ２１０の回転速度
およびその高速回転持続期間は、複数サンプルを用いた
実験によって、接着剤層５０内に気泡が残留せずかつそ
の厚さが５０±５μｍに収まるような値に選ぶことがで
きる。Incidentally, steps ST50 to ST60 in FIG.
In the process of 1., the rotation speed of the motor 210 that rotates at high speed and the high-speed rotation duration are set such that bubbles do not remain in the adhesive layer 50 and the thickness falls within 50 ± 5 μm by an experiment using a plurality of samples. You can choose any value.

【００７３】また、スピンテーブル２００の直径は、製
造される光ディスクＯＤの外径（通常１２０mmまたは８
０ｍｍ）よりも多少小さくしておく。スピンテーブル２
００の直径を光ディスクＯＤの外径より小さくしておけ
ば、貼合せディスクＯＤの外周から漏れ出た接着剤２２
０がディスクＯＤとスピンテーブル２００のテーブル面
との間に流れ込むことを、防止できる。The diameter of the spin table 200 is the outer diameter of the optical disk OD to be manufactured (usually 120 mm or 8 mm).
0 mm). Spin table 2
If the diameter of 00 is smaller than the outer diameter of the optical disc OD, the adhesive 22 leaked from the outer periphery of the laminated disc OD.
It is possible to prevent 0 from flowing between the disk OD and the table surface of the spin table 200.

【００７４】具体的に例示すると、直径１２０ｍｍ規格
の貼合せ光ディスク（５インチディスク）ＯＤに対して
はスピンテーブル２００の直径を例えば１１５〜１１７
ｍｍ程度とし、直径８０ｍｍ規格の貼合せ光ディスク
（３.５インチディスク）ＯＤに対してはスピンテーブ
ル２００の直径を例えば７５〜７７ｍｍ程度とすれば良
い。同様に、２.５インチディスク（直径６３ｍｍ）も
そのサイズに応じてスピンテーブルの直径が選択され
る。To give a concrete example, the diameter of the spin table 200 is, for example, 115 to 117 for a bonded optical disk (5 inch disk) OD having a diameter of 120 mm.
For a bonded optical disk (3.5 inch disk) OD having a diameter of about 80 mm and a standard of 80 mm, the diameter of the spin table 200 may be, for example, about 75 to 77 mm. Similarly, the diameter of the spin table for the 2.5-inch disk (diameter 63 mm) is also selected according to the size.

【００７５】図９は、図２の片面読取型貼合せ２層ディ
スクの変形例であって、貼合せ光ディスクＯＤの情報記
録層を４層構成とした場合の部分断面をデフォルメして
示している。FIG. 9 shows a modified example of the single-sided read-type laminated two-layer disc shown in FIG. 2, in which a partial cross section of a laminated optical disc OD having a four-layer information recording layer is shown in a deformed form. .

【００７６】ここでは、情報記録層１０ｂが形成された
基板３０上に第１透明層５１を介して情報記録層１０ａ
が形成され（２層構造）、情報記録層２０ｂが形成され
た基板４０上に第２透明層５２を介して情報記録層２０
ａが形成されている（２層構造）。そして、基板３０の
層１０ａ側面と基板４０の層２０ａ側面とが接着剤層５
０（接着剤２２０）を介して接着される。Here, the information recording layer 10a is formed on the substrate 30 on which the information recording layer 10b is formed, with the first transparent layer 51 interposed therebetween.
Is formed (two-layer structure), and the information recording layer 20 is formed on the substrate 40 on which the information recording layer 20b is formed, via the second transparent layer 52.
a is formed (two-layer structure). Then, the side surface of the layer 30 a of the substrate 30 and the side surface of the layer 20 a of the substrate 40 are bonded to each other by the adhesive layer 5.
0 (adhesive 220).

【００７７】層１０ａと層１０ｂとの間のディスク中心
部にはラベルとして利用できる第１スペーサ６１が配置
され、層２０ａと層２０ｂとの間のディスク中心部には
やはりラベルとして利用できる第２スペーサ６２が配置
されている。A first spacer 61 which can be used as a label is arranged in the center of the disc between the layers 10a and 10b, and a second spacer which can also be used as a label is disposed in the center of the disc between the layers 20a and 20b. The spacer 62 is arranged.

【００７８】図９の実施形態では、情報記録層１０ａお
よび１０ｂの読取が下側からの読取レーザ光ＲＬ１によ
り行われ、情報記録層２０ａおよび２０ｂの読取が上側
からの読取レーザ光ＲＬ２により行われる。In the embodiment of FIG. 9, the information recording layers 10a and 10b are read by the reading laser beam RL1 from the lower side, and the information recording layers 20a and 20b are read by the reading laser beam RL2 from the upper side. .

【００７９】図１０は、図２の片面読取型貼合せ２層デ
ィスクの他の変形例であって、貼合せ光ディスクＯＤの
情報記録層を３層構成とした場合の部分断面をデフォル
メして示している。FIG. 10 shows another modified example of the single-sided read-type laminated double-layer disc shown in FIG. 2, in which a partial cross section of a laminated optical disc OD having three information recording layers is shown in a deformed form. ing.

【００８０】こでは、情報記録層１０ｂが形成された基
板３０上に第１透明層５１を介して情報記録層１０ａが
形成され（２層構造）、基板４０上に情報記録層２０ａ
が形成されている（単層構造）。そして、基板３０の層
１０ａ側面と基板４０の層２０ａ側面とが接着剤層５０
（接着剤２２０）を介して接着される。In this case, the information recording layer 10a is formed on the substrate 30 on which the information recording layer 10b is formed via the first transparent layer 51 (two-layer structure), and the information recording layer 20a is formed on the substrate 40.
Are formed (single layer structure). Then, the side surface of the layer 10 a of the substrate 30 and the side surface of the layer 20 a of the substrate 40 are attached to the adhesive layer 50.
It is bonded via (adhesive 220).

【００８１】層１０ａと層１０ｂとの間のディスク中心
部にはラベルとして利用できる第１スペーサ６１が配置
されている。A first spacer 61, which can be used as a label, is arranged in the center of the disc between the layers 10a and 10b.

【００８２】図１０の実施形態では、情報記録層１０ａ
および１０ｂの読取は下側からの読取レーザ光ＲＬ１に
より行なうことができ、情報記録層２０ａおよび１０ａ
の読取は上側からの読取レーザ光ＲＬ２により行なうこ
とができる。In the embodiment of FIG. 10, the information recording layer 10a
And 10b can be read by the reading laser beam RL1 from below, and the information recording layers 20a and 10a can be read.
Can be read by the reading laser beam RL2 from the upper side.

【００８３】なお、図１０の実施形態において、上側読
取レーザ光ＲＬ２で情報記録層１０ａおよび２０ａの双
方から読取を行なうときは、層２０ａを、厚手のアルミ
ニウム系金属薄膜ではなく、厚さ１３ｎｍ前後の金薄膜
で形成すると良い。In the embodiment of FIG. 10, when reading is performed from both the information recording layers 10a and 20a by the upper read laser beam RL2, the layer 20a is not a thick aluminum-based metal thin film, but a thickness of around 13 nm. It is better to use a thin gold film.

【００８４】図１１は、図２の片面読取型貼合せ２層デ
ィスクのさらに他の変形例であって、貼合せ光ディスク
ＯＤの情報記録層を１層構成とした場合の部分断面をデ
フォルメして示している。FIG. 11 shows still another modified example of the single-sided read-type laminated two-layer disc of FIG. 2, in which a partial cross section is deformed when the information recording layer of the laminated optical disc OD has a single-layer structure. Shows.

【００８５】図１１の実施形態では、図２の情報記録層
２０が情報記録されないダミー層２０ｄで置換されてい
る。ディスクＯＤに格納しようとする総データ量が情報
記録層１０に完全に収まるときは、図１１の実施形態を
利用できる（情報記録層１０だけでも約５Ｇバイトの記
憶容量を確保できる。）ダミー層２０ｄは、実質的な内
容を持たない一定の情報パターンで塗りつぶされたアル
ミニウム系金属薄膜で構成できる。（ここで、「実質的
な内容を持たない一定の情報パターンで塗りつぶされ
た」とは、本当に何も記録されていない場合だけでな
く、データ「０」あるいはデータ「１」などの単調なデ
ータで記録面が書き潰されている場合も含む。） 図１２は、図１１の構成を変形して得られるもので、貼
合せ光ディスクＯＤの情報記録層を１層構成とした場合
の部分断面をデフォルメして示している。In the embodiment of FIG. 11, the information recording layer 20 of FIG. 2 is replaced with a dummy layer 20d on which no information is recorded. When the total amount of data to be stored in the disc OD completely fits in the information recording layer 10, the embodiment of FIG. 11 can be used (the information recording layer 10 alone can secure a storage capacity of about 5 GB). 20d can be composed of an aluminum-based metal thin film filled with a certain information pattern having substantially no content. (Here, "filled with a certain information pattern having no substantial content" means not only when nothing is actually recorded, but also when data "0" or data "1" is monotonous data. 12 also includes a case where the recording surface is overwritten.) FIG. 12 is obtained by modifying the configuration of FIG. 11 and shows a partial cross section in the case where the information recording layer of the bonded optical disc OD has a single-layer configuration. Deformed and shown.

【００８６】図１２の実施形態では、図２の情報記録層
２０が、ラベルパターンを持つダミー兼ラベル層２０ｄ
ｂで置換されている。最初に情報記録層１０の一部を読
み取ることでこの光ディスクＯＤが貼合せ１層ディスク
であることが特定されるようになっておれば、このディ
スクＯＤの再生装置は、ダミー兼ラベル層２０ｄｂへ情
報アクセスに行かないように初期設定可能である。この
場合、ダミー兼ラベル層２０ｄｂは読取レーザ光ＲＬを
反射しなくても良いから、ダミー兼ラベル層２０ｄｂの
材料選択の幅が広がる。具体例をあげれば、ラベルパタ
ーンが印刷されたポリカーボネートフィルムをダミー兼
ラベル層２０ｄｂとして利用することができる。In the embodiment of FIG. 12, the information recording layer 20 of FIG. 2 is a dummy / label layer 20d having a label pattern.
replaced by b. If it is specified that the optical disc OD is a laminated single-layer disc by first reading a part of the information recording layer 10, the reproducing device of the disc OD will move to the dummy / label layer 20db. Initial settings can be made to prevent access to information. In this case, since the dummy / label layer 20db does not have to reflect the reading laser beam RL, the material selection range for the dummy / label layer 20db is widened. As a specific example, a polycarbonate film having a label pattern printed thereon can be used as the dummy / label layer 20db.

【００８７】なお、図１１および図１２の実施形態にお
いて、ダミー層２０ｄあるいは２０ｄｂの厚みは特に管
理する必要はないが、このダミー層２０ｄあるいは２０
ｄｂの厚さを含めた基板４０の厚さは、所定値（０.６
ｍｍ）に管理される。In the embodiments of FIGS. 11 and 12, it is not necessary to control the thickness of the dummy layer 20d or 20db, but the dummy layer 20d or 20db is not required to be controlled.
The thickness of the substrate 40 including the thickness of db is a predetermined value (0.6
mm).

【００８８】ところで、図２の片面読取型貼合せ２層デ
ィスクＯＤでは第２基板４０側から読取を行わないの
で、基板４０の面上にラベルＬＢを配置することができ
た。しかし、図９または図１０の構成では基板３０およ
び基板４０の両方から読取を行なうため、図２に示すよ
うな広面積なラベルＬＢをディスクＯＤに設けることが
できない。By the way, in the single-sided reading type laminated two-layer disc OD of FIG. 2, since the reading is not performed from the second substrate 40 side, the label LB can be arranged on the surface of the substrate 40. However, in the configuration of FIG. 9 or FIG. 10, since reading is performed from both the substrate 30 and the substrate 40, the wide area label LB as shown in FIG. 2 cannot be provided on the disc OD.

【００８９】このような場合は、ポリカーボネート基板
３０および４０が透明であることを利用して、基板３０
および４０に挟まれたスペーサ６０に、ディスクの記録
情報に関係した文字・パターン等を印刷しておく。そう
すれば、視覚的な記載情報量に限度はあるが、ディスク
中央のスペーサ６０部分をディスクラベルとして利用す
ることができる。In such a case, since the polycarbonate substrates 30 and 40 are transparent, the substrate 30 is used.
Characters, patterns, and the like related to the recorded information on the disc are printed on the spacer 60 sandwiched between 40 and 40. Then, although there is a limit to the visually described information amount, the spacer 60 portion at the center of the disc can be used as a disc label.

【００９０】図２、図９、および図１０のいずれの実施
形態においても、貼合せ多層光ディスクＯＤの全厚は
１.２ｍｍに管理されている。そのため、透明層５１が
存在する図９または図１０の基板３０自体の厚み（０.
６ｍｍ弱）は、透明層５１が存在しない図２の基板３０
自体の厚み（およそ０.６ｍｍ）よりも、透明層５１の
厚さ（およそ５０μｍ）分少なくなる。同様に、透明層
５２が存在する図９の基板４０自体の厚み（０.６ｍｍ
弱）は、透明層５２が存在しない図２または図１０の基
板４０自体の厚み（およそ０.６ｍｍ）よりも、透明層
５２の厚さ（およそ５０μｍ）分少なくなる。いずれに
せよ、基板３０および４０の厚さは（標準値は０.６ｍ
ｍ）実施形態の内容に応じて適宜修正されて良い。In all of the embodiments shown in FIGS. 2, 9 and 10, the total thickness of the laminated multilayer optical disc OD is controlled to 1.2 mm. Therefore, the thickness of the substrate 30 itself (0.
6 mm) is the substrate 30 of FIG. 2 in which the transparent layer 51 does not exist.
The thickness (about 50 μm) of the transparent layer 51 is smaller than the thickness of itself (about 0.6 mm). Similarly, the thickness of the substrate 40 itself in FIG. 9 in which the transparent layer 52 exists (0.6 mm
2 or 10 in which the transparent layer 52 is not present (about 0.6 mm), the thickness of the transparent layer 52 is reduced by about 50 μm. In any case, the thickness of the substrates 30 and 40 is (standard value is 0.6 m
m) It may be appropriately modified according to the contents of the embodiment.

【００９１】また、一実施の形態では第２情報記録層２
０としてアルミニウム・モリブデン合金薄膜を使用した
が、この発明はこれに限定されない。この発明の実施の
形態によっては、第２情報記録層２０として、純アルミ
ニウム層、金層、モリブデン以外の高融点・高強度であ
って耐酸化性にも優れた高融点金属（タングステン、タ
ンタル、ニッケル、コバルト、白金、クロム、チタンな
ど）とアルミニウムの合金層などが実用的に利用できる
場合があり得る。ただし、第１情報記録層１０の材料と
しては、使用する特定波長のレーザ光に対して、薄膜化
したときに金と同程度のレーザ光反射率・レーザ光透過
率を示すもの（金合金、銅、銀、黄銅、銅・亜鉛合金、
銅・アルミニウム合金など）に限定される。In one embodiment, the second information recording layer 2
Although an aluminum-molybdenum alloy thin film was used as 0, the present invention is not limited to this. Depending on the embodiment of the present invention, as the second information recording layer 20, a refractory metal (tungsten, tantalum, etc.) other than a pure aluminum layer, a gold layer, and molybdenum, which has a high melting point and high strength and is excellent in oxidation resistance. In some cases, an alloy layer of nickel, cobalt, platinum, chromium, titanium, etc.) and aluminum can be practically used. However, as the material of the first information recording layer 10, a material showing a laser light reflectance / a laser light transmittance similar to that of gold (a gold alloy, Copper, silver, brass, copper-zinc alloy,
Copper / aluminum alloy).

【００９２】上記説明では、紫外線硬化性樹脂層（接着
層）５０の厚みとして５０μｍを例示したが、図１の貼
合せディスクＯＤが読出専用ディスク（ＤＶＤ−ＲＯ
Ｍ）の場合は、この厚みを４０μｍ〜７０μｍの範囲か
ら選択すると良い。図１の貼合せディスクＯＤが読み書
き両用ディスク（ＤＶＤ−ＲＡＭ）の場合は、接着層５
０の厚みは読出専用の場合よりも薄い方が良い。その場
合は、接着層５０の厚みを２０μｍ〜４０μｍの範囲か
ら選択すれば良い。In the above description, the thickness of the ultraviolet curable resin layer (adhesive layer) 50 is 50 μm, but the bonded disc OD of FIG. 1 is a read-only disc (DVD-RO).
In the case of M), this thickness may be selected from the range of 40 μm to 70 μm. When the bonded disc OD of FIG. 1 is a read / write disc (DVD-RAM), the adhesive layer 5 is used.
It is better that the thickness of 0 is thinner than that of read only. In that case, the thickness of the adhesive layer 50 may be selected from the range of 20 μm to 40 μm.

【００９３】また、光ディスクＯＤの外形サイズとして
５インチタイプ（直径１２０ｍｍ）と３.５インチタイ
プ（直径８０ｍｍ）を例示したが、２.５インチタイプ
（直径６３ｍｍ）その他のサイズの貼合せ光ディスクに
この発明を利用することも可能である。その場合、ディ
スクサイズ、ディスク材料、ディスク用途（ＲＯＭかＲ
ＡＭか）、接着材の種類、その他の条件に応じて、最適
の接着層厚（つまりはスペーサ６０の厚さ）を決定すれ
ば良い。Further, as the outer size of the optical disk OD, the 5-inch type (120 mm diameter) and the 3.5-inch type (80 mm diameter) are illustrated, but for the 2.5-inch type (63 mm diameter) and other size bonded optical disks. It is also possible to utilize this invention. In that case, disc size, disc material, disc application (ROM or R
The optimum adhesive layer thickness (that is, the thickness of the spacer 60) may be determined according to AM), the type of adhesive, and other conditions.

【００９４】また、上記説明では、スペーサ６０として
ディスクと相似のフィルムリングを例示したが、スペー
サ６０の形はリング形に限定されない。スペーサ６０の
内側孔は図６の位置合わせピン２０２が挿通されたとき
に位置決めさえできればよいのだから、ピン２０２が直
径１５ｍｍの円柱であればスペーサ６０の内側孔を３角
形以上の多角形にしても良い（その内接円の直径が１５
ｍｍより僅かに大きくなるようにする）。同様に、スペ
ーサ６０の外形は、その外接円の直径が図１の情報記録
層の領域に及ばない限り、任意の多角形としても良い。
たとえば、直径３３ｍｍの円に外接する６角形の外形
と、直径１５ｍｍの円に内接する８角形の内形を持つ多
角形フィルム（たとえば厚さ５０μｍ）をスペーサ６０
として用いることができる。スペーサ６０にディスク記
録情報（文字、記号、または絵）を印刷する場合、スペ
ーサ６０を円形リングに限定しない方が（主に意匠上
で）商品価値が上がることがある。Further, in the above description, the film ring similar to the disk is illustrated as the spacer 60, but the shape of the spacer 60 is not limited to the ring shape. The inner hole of the spacer 60 need only be positioned when the alignment pin 202 of FIG. 6 is inserted, so if the pin 202 is a cylinder with a diameter of 15 mm, the inner hole of the spacer 60 should be a polygon with a triangle shape or more. Good (the diameter of the inscribed circle is 15
slightly larger than mm). Similarly, the outer shape of the spacer 60 may be an arbitrary polygon as long as the diameter of the circumscribing circle does not reach the area of the information recording layer of FIG.
For example, a spacer 60 is a polygonal film (for example, a thickness of 50 μm) having a hexagonal outer shape circumscribing a circle having a diameter of 33 mm and an inner octagonal shape inscribing a circle having a diameter of 15 mm.
Can be used as When the disk recording information (characters, symbols, or pictures) is printed on the spacer 60, it may increase the commercial value (mainly in terms of design) if the spacer 60 is not limited to the circular ring.

【００９５】図１３は、波長６５０ｎｍのコヒーレント
光を読取に用い、図２のような１基板／１記録層の基板
対（３０、４０）を用いる場合において、貼合せに用い
る基板（３０または４０）の厚み（縦軸）の許容幅が基
板材料の屈折率（横軸）に応じてどのように変化するか
を例示したグラフである。FIG. 13 shows a substrate (30 or 40) used for bonding when coherent light having a wavelength of 650 nm is used for reading and the substrate pair (30, 40) of 1 substrate / 1 recording layer as shown in FIG. 2 is used. 3] is a graph illustrating how the permissible width of the thickness (vertical axis) changes according to the refractive index (horizontal axis) of the substrate material.

【００９６】このグラフにおいて、基板の屈折率が１.
４５なら、基板厚が上限０.６４３（点Ｐ０１）から下
限０.５８３（点Ｐ０３）の範囲内に収まるように管理
される（中心値は点Ｐ０２の０.６１５ｍｍ）。たとえ
ばポリカーボネート製基板の屈折率が１.５６なら、基
板厚が上限０.６３０（点Ｐ１１）から下限０.５７０
（点Ｐ１３）の範囲内に収まるように管理される（中心
値は点Ｐ１２の０.６００ｍｍ）。基板の屈折率が１.６
５なら、基板厚が上限０.６３０（点Ｐ２１）から下限
０.５７０（点Ｐ２３）の範囲内に収まるように管理さ
れる（中心値は点Ｐ０２の０.６００ｍｍ）。In this graph, the refractive index of the substrate is 1.
If it is 45, the substrate thickness is managed so as to fall within the range from the upper limit of 0.643 (point P01) to the lower limit of 0.583 (point P03) (center value is 0.615 mm at point P02). For example, if the refractive index of the polycarbonate substrate is 1.56, the substrate thickness is from the upper limit of 0.630 (point P11) to the lower limit of 0.570.
It is managed so as to be within the range of (point P13) (center value is 0.600 mm of point P12). The refractive index of the substrate is 1.6
If the value is 5, the substrate thickness is controlled so as to fall within the range from the upper limit of 0.630 (point P21) to the lower limit of 0.570 (point P23) (center value is 0.600 mm at point P02).

【００９７】この発明の実施形態では、このグラフ中の
点Ｐ０１〜点Ｐ２３で囲まれる範囲に収まったポリカー
ボネート製等の透明基板（３０、４０）が採用される。In the embodiment of the present invention, the transparent substrate (30, 40) made of polycarbonate or the like, which is within the range surrounded by points P01 to P23 in this graph, is adopted.

【００９８】図１４は、波長６５０ｎｍのコヒーレント
光を読取に用い、図９のような１基板／２記録層の基板
対（３０、４０）を用いる場合において、貼合せに用い
る基板（３０または４０）の厚み（縦軸）の許容幅が基
板材料の屈折率（横軸）に応じてどのように変化するか
を例示したグラフである。FIG. 14 shows a substrate (30 or 40) used for bonding when coherent light having a wavelength of 650 nm is used for reading and the substrate pair (30, 40) of 1 substrate / 2 recording layer as shown in FIG. 9 is used. 3] is a graph illustrating how the permissible width of the thickness (vertical axis) changes according to the refractive index (horizontal axis) of the substrate material.

【００９９】このグラフにおいて、基板の屈折率が１.
４５なら、基板厚が上限０.６５３（点Ｑ０１）から下
限０.５６３（点Ｑ０３）の範囲内に収まるように管理
される。基板の屈折率が１.５６なら、基板厚が上限０.
６４０（点Ｑ１１）から下限０.５５０（点Ｑ１３）の
範囲内に収まるように管理される（中心値はおよそ０.
５９５ｍｍ）。基板の屈折率が１.６５なら、基板厚が
上限０.６４０（点Ｑ２１）から下限０.５５０（点Ｑ２
３）の範囲内に収まるように管理される。In this graph, the refractive index of the substrate is 1.
If it is 45, the substrate thickness is managed so as to fall within the range from the upper limit of 0.653 (point Q01) to the lower limit of 0.563 (point Q03). If the refractive index of the substrate is 1.56, the upper limit of the substrate thickness is 0.5.
It is managed so that it falls within the range of 640 (point Q11) to the lower limit of 0.550 (point Q13) (center value is approximately 0.5.
595 mm). If the refractive index of the substrate is 1.65, the substrate thickness is from the upper limit of 0.640 (point Q21) to the lower limit of 0.550 (point Q2).
It is managed so that it falls within the range of 3).

【０１００】この発明の実施形態では、このグラフ中の
点Ｑ０１〜点Ｑ２３で囲まれる範囲に収まったポリカー
ボネート製等の透明基板（３０、４０）が採用される。In the embodiment of the present invention, the transparent substrate (30, 40) made of polycarbonate or the like, which is within the range surrounded by points Q01 to Q23 in this graph, is adopted.

【０１０１】図９のように１基板あたり２層の情報記録
層（１０ａ、１０ｂ；または２０ａ、２０ｂ）を形成す
る場合では、情報記録層間に樹脂層（５１、５２）が設
けられるため、この層間樹脂層（５１、５２）の厚みを
見込んで、基板厚が薄目に選択される（図１３では中心
厚が０.６００ｍｍであるのに対して図１４では中心厚
が０.５９５ｍｍ）。When two information recording layers (10a, 10b; or 20a, 20b) are formed per substrate as shown in FIG. 9, resin layers (51, 52) are provided between the information recording layers. In consideration of the thickness of the interlayer resin layers (51, 52), the substrate thickness is selected to be thin (in FIG. 13, the center thickness is 0.600 mm, whereas in FIG. 14, the center thickness is 0.595 mm).

【０１０２】[0102]

【発明の効果】この発明では、２枚の貼合せ基板間に接
着剤層厚規定機能を持つスペーサ６０を設けるようにし
たことで、以下の効果を得ている。According to the present invention, the following effects are obtained by providing the spacer 60 having the adhesive layer thickness defining function between the two bonded substrates.

【０１０３】（１）２枚の基板３０および４０は、高速
回転されることにより、スペーサ６０の厚み（５０μ
ｍ）で規制される間隔を保ちつつ、基板間のごみ・気泡
などが余分な接着剤２２０とともに外部へ吹き飛ばされ
る。この高速回転時において、両基板３０および４０間
から接着剤２２０の余分が外部に吹き飛ばされると両基
板間の圧力が下がり、両基板３０および４０は周囲の気
圧（通常は大気圧）により押しつぶされる方向の力を全
面均一に受ける。このとき、両基板３０および４０の間
隔はスペーサ６０の厚さ（５０μｍ）以下には狭まら
ず、結局は両基板３０および４０間の接着剤２２０が作
る接着剤層５０の厚さを、スペーサ６０の厚さで規制さ
れる所定範囲（たとえば５０±５μｍ）に管理できるよ
うになる。(1) The two substrates 30 and 40 are rotated at a high speed so that the spacer 60 has a thickness (50 μm).
Dust, bubbles, etc. between the substrates are blown out to the outside together with the extra adhesive 220 while maintaining the interval regulated by m). During this high-speed rotation, when the excess of the adhesive 220 is blown out from between the substrates 30 and 40, the pressure between the substrates decreases, and the substrates 30 and 40 are crushed by the atmospheric pressure (usually atmospheric pressure). Receives directional force evenly over the entire surface. At this time, the distance between the two substrates 30 and 40 does not become narrower than the thickness of the spacer 60 (50 μm), and eventually the thickness of the adhesive layer 50 formed by the adhesive 220 between the two substrates 30 and 40 becomes The spacer 60 can be controlled within a predetermined range (for example, 50 ± 5 μm) regulated by the thickness of the spacer 60.

【０１０４】（２）この発明のようにスペーサ６０を用
いれば、貼合せ両基板３０および４０を十分高速に回転
させても両基板間の接着剤層厚が薄くなりすぎることが
ないので、回転速度の上限の制限がなくなる。このこと
から、余裕を見た十分な高速回転により、貼合せ両基板
３０および４０間の接着剤層５０内部に残留する気泡や
ごみ等を余分な接着剤２２０とともに完全に外部へ吹き
飛ばすことが可能になる。すなわち、高速回転の回転数
を厳密に特定値に制御しなくても厚みムラのほとんどな
い接着剤層５０を得ることができる。このことから、貼
合せ後の厚さ方向の寸法に正確さが要求される貼合せデ
ィスクを高い歩留まりで大量生産でき、その製造コスト
を単板ディスクと大差ないレベルまで抑えることができ
る。(2) If the spacer 60 is used as in the present invention, the adhesive layer thickness between the both substrates 30 and 40 will not be too thin even if they are rotated at a sufficiently high speed. There is no upper limit on speed. From this, it is possible to completely blow away the bubbles and dust remaining inside the adhesive layer 50 between the bonded substrates 30 and 40 together with the extra adhesive 220 by sufficiently high speed rotation with a margin. become. That is, it is possible to obtain the adhesive layer 50 with almost no thickness unevenness without strictly controlling the rotation speed of the high-speed rotation to a specific value. As a result, it is possible to mass-produce bonded disks, which require precision in the thickness direction after bonding, with a high yield, and to suppress the manufacturing cost to a level not much different from that of single-disk disks.

【０１０５】（３）互いに接着された第１基板３０およ
び第２基板４０の間に存在する接着剤層５０の厚さがス
ペーサ６０で規制される厚さでほぼ均一（５０±５μｍ
程度）に収まるから、接着剤層５０の厚さムラに起因す
る読取エラーの発生率は実用上問題ないレベルまで抑え
込むことができる。(3) The thickness of the adhesive layer 50 existing between the first substrate 30 and the second substrate 40 adhered to each other is substantially uniform (50 ± 5 μm) regulated by the spacer 60.
Therefore, the rate of occurrence of reading errors due to the uneven thickness of the adhesive layer 50 can be suppressed to a level at which there is no practical problem.

【０１０６】（４）接着剤層厚規定機能を持つスペーサ
６０は、文字・パターン等が書き込まれた極薄のラベル
フィルムでも良い。このラベルフィルムは、情報記録面
上にラベルを設けることができない両面読取型の貼合せ
光ディスクに、ディスクラベルとして利用できる。(4) The spacer 60 having the function of defining the adhesive layer thickness may be an extremely thin label film on which characters, patterns, etc. are written. This label film can be used as a disc label for a double-sided read type laminated optical disc in which a label cannot be provided on the information recording surface.

【０１０７】（５）スペーサ６０があるために、接着層
５０の厚みを所定範囲に管理しつつそこから気泡を完全
に除去する高速回転処理が可能となったことから、接着
層内残留気泡に起因する接着層の強度低下なくなる。こ
のため、落下衝撃などにより貼合せディスク基板が剥が
れてしまうことを防止できる。(5) Since the spacer 60 is provided, it is possible to perform a high-speed rotation process for completely removing bubbles from the adhesive layer 50 while controlling the thickness of the adhesive layer 50 within a predetermined range. The strength of the adhesive layer is not reduced due to this. Therefore, it is possible to prevent the bonded disc substrate from peeling off due to a drop impact or the like.

【０１０８】（６）２枚の貼合せ基板（３０、４０）の
一方（３０）にしか情報記録層（１０）が無い場合は、
貼合せ基板の他方（４０）に情報記録層（１０）に対応
するダミー層（２０ｄ）が設けられている。このよう
に、一方基板（３０）および他方基板（４０）の双方に
同様な層（１０、２０ｄ）を形成し、これらを向き合わ
せに貼り合わすと、次のような効果が得られる。すなわ
ち、環境変化あるいは経時変化に伴う両基板の物理的な
変形は対称的に同程度の量で生じるため、その変形が貼
合せにより打ち消される。このことから、貼合せ基板の
「剥がれ」あるいは「そり」が起きにくく、環境変化あ
るいは経時変化に対して物理的に安定な貼合せ情報記録
媒体（貼合せ光ディスクＯＤ）が得られる。(6) When the information recording layer (10) is present only on one (30) of the two bonded substrates (30, 40),
A dummy layer (20d) corresponding to the information recording layer (10) is provided on the other side (40) of the bonded substrate. In this way, when the similar layers (10, 20d) are formed on both the one substrate (30) and the other substrate (40), and these are laminated facing each other, the following effects can be obtained. That is, since the physical deformations of both substrates due to environmental changes or changes over time occur symmetrically in the same amount, the deformations are canceled by the bonding. From this, a bonded information recording medium (bonded optical disk OD) is obtained which is unlikely to cause "peeling" or "warping" of the bonded substrate and which is physically stable against environmental changes or changes over time.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】この発明の一実施の形態に係る２層光ディスク
を読取レーザ光受光面側から見た平面図。FIG. 1 is a plan view of a two-layer optical disc according to an embodiment of the present invention as seen from a reading laser beam receiving surface side.

【図２】図１の２層光ディスクの部分断面をデフォルメ
して示す図。FIG. 2 is a diagram showing a partial cross section of the two-layer optical disc of FIG. 1 in a deformed manner.

【図３】図２に示すような構成を持つ２層光ディスクに
第１情報記録層１０または第２情報記録層２０を形成す
るスパッタリング装置を例示するブロック図。FIG. 3 is a block diagram illustrating a sputtering apparatus that forms a first information recording layer 10 or a second information recording layer 20 on a two-layer optical disc having the configuration shown in FIG.

【図４】図３の装置を用いて２層光ディスク用の第１情
報記録層１０（金薄膜）を形成する手順を説明するフロ
ーチャート図。FIG. 4 is a flowchart illustrating a procedure for forming a first information recording layer 10 (gold thin film) for a two-layer optical disc using the apparatus shown in FIG.

【図５】図３の装置を用いて２層光ディスク用の第２情
報記録層２０（アルミニウム・モリブデン薄膜）を形成
する手順を説明するフローチャート図。5 is a flow chart diagram illustrating a procedure of forming a second information recording layer 20 (aluminum / molybdenum thin film) for a two-layer optical disc using the apparatus of FIG.

【図６】図４および図５の手順を経て得られた半ディス
ク状態の基板３０および４０が貼り合わされて２層光デ
ィスクが完成するまでの製造過程を説明する図。FIG. 6 is a diagram illustrating a manufacturing process until the half-disk substrates 30 and 40 obtained through the steps of FIGS. 4 and 5 are bonded to each other to complete a two-layer optical disk.

【図７】図６の貼合せディスクの製造過程において、半
ディスク状態基板３０および４０の接着処理中に出てく
る余分な接着剤の回収装置の構成を例示する図。7 is a diagram exemplifying a configuration of a device for collecting extra adhesive that appears during the bonding process of the half-disk state substrates 30 and 40 in the process of manufacturing the bonded disk of FIG.

【図８】図６の貼合せディスクの製造過程に対応した手
順を説明するフローチャート図。FIG. 8 is a flow chart diagram illustrating a procedure corresponding to a manufacturing process of the bonded disc of FIG.

【図９】図２の変形例であって、貼合せ光ディスクＯＤ
の情報記録層を４層構成とした場合の部分断面をデフォ
ルメして示す図。FIG. 9 is a modified example of FIG. 2 and shows a bonded optical disc OD.
FIG. 7 is a diagram showing a partial cross section of the information recording layer of FIG.

【図１０】図２の他の変形例であって、貼合せ光ディス
クＯＤの情報記録層を３層構成とした場合の部分断面を
デフォルメして示す図。FIG. 10 is another modified example of FIG. 2, showing a deformed partial cross section in the case where the information recording layer of the bonded optical disc OD has a three-layer structure.

【図１１】図２のさらに他の変形例であって、貼合せ光
ディスクＯＤの情報記録層を１層構成とした場合の一例
の部分断面をデフォルメして示す図。FIG. 11 is a diagram showing a modification of yet another modification of FIG. 2, in which a partial cross section of an example in which the information recording layer of the bonded optical disc OD has a single-layer structure is deformed.

【図１２】図２のさらに他の変形例であって、貼合せ光
ディスクＯＤの情報記録層を１層構成とした場合の他例
の部分断面をデフォルメして示す図。FIG. 12 is a diagram showing a modification of yet another modification of FIG. 2 in which a partial cross section of another example in which the information recording layer of the bonded optical disc OD has a single-layer structure is deformed.

【図１３】波長６５０ｎｍのコヒーレント光を読取に用
い、図２のような１基板／１記録層の基板対を用いる場
合において、貼合せに用いる基板（３０または４０）の
厚み（縦軸）の許容幅が基板材料の屈折率（横軸）に応
じてどのように変化するかを例示したグラフ図。13 is a graph showing the thickness (vertical axis) of the substrate (30 or 40) used for bonding when coherent light with a wavelength of 650 nm is used for reading and a substrate pair of 1 substrate / 1 recording layer as shown in FIG. 2 is used. FIG. 6 is a graph illustrating an example of how the allowable width changes according to the refractive index (horizontal axis) of the substrate material.

【図１４】波長６５０ｎｍのコヒーレント光を読取に用
い、図９のような１基板／２記録層の基板対を用いる場
合において、貼合せに用いる基板（３０または４０）の
厚み（縦軸）の許容幅が基板材料の屈折率（横軸）に応
じてどのように変化するかを例示したグラフ図。FIG. 14 shows the thickness (vertical axis) of the substrate (30 or 40) used for bonding when coherent light with a wavelength of 650 nm is used for reading and a substrate pair of 1 substrate / 2 recording layer as shown in FIG. 9 is used. FIG. 6 is a graph illustrating an example of how the allowable width changes according to the refractive index (horizontal axis) of the substrate material.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１０、１０ｂ、２０ｂ…第１情報記録層（金薄膜／金属
半透明膜；レーザ光透過・反射層）；２０、１０ａ、２
０ａ…第２情報記録層（アルミニウム・モリブデン合金
薄膜；レーザ光反射層）；２０ｄ…ダミー層；２０ｄｂ
…ダミー兼ラベル層；３０…第１情報記録層用基板（ポ
リカーボネート）；４０…第２情報記録層用基板（ポリ
カーボネート）；５０…接着剤層（紫外線硬化接着
剤）；５１…第１透明層；５２…第２透明層；６０…ス
ペーサ（５０μｍ透明フィルムまたはラベル印刷された
フィルム；基板間スペーサ）；６１…スペーサ（透明フ
ィルムまたはラベル印刷されたフィルム；層間スペー
サ）；６２…スペーサ（透明フィルムまたはラベル印刷
されたフィルム；層間スペーサ）；７０…中心孔；ＬＢ
…ラベル；１００…真空容器；１０２…カソード板（回
転基台）；１０４…アノード板（スパッタリング源）；
１０６…モニタ装置（膜厚計）；１０８…内圧センサ；
１１０…基板回転モータ；１１２…スパッタリング用電
源装置；１１３…ガス排気ポート；１１５…ガス導入ポ
ート；１１４…排気装置（真空ポンプ）；１１６…アル
ゴンガスボンベ；１１８…制御バルブ；１２０…スパッ
タリング制御装置（ＣＰＵ）；２００…スピンテーブル
（位置決め保持手段）；２０２…位置合わせピン（位置
決め保持手段）；２１０…モータ（回転手段）；２２０
…紫外線硬化性接着剤；２３０…紫外線ランプ（接着剤
硬化手段）；３００…接着剤飛散防止フェンス；３０２
…接着剤通過阻止フィルタ；４００…接着剤回収容器；
５００…吸引ポンプ；５０２…エアチューブ；ＯＤ…２
層光ディスク；ＲＬ、ＲＬ１、ＲＬ２…読取レーザ光
（波長６３５ｎｍまたは６５０ｎｍ）。10, 10b, 20b ... First information recording layer (gold thin film / metal semi-transparent film; laser light transmitting / reflecting layer); 20, 10a, 2
0a ... 2nd information recording layer (aluminum-molybdenum alloy thin film; laser light reflection layer); 20d ... Dummy layer; 20db
Dummy / label layer; 30 ... First information recording layer substrate (polycarbonate); 40 ... Second information recording layer substrate (polycarbonate); 50 ... Adhesive layer (ultraviolet curing adhesive); 51 ... First transparent layer 52 ... Second transparent layer; 60 ... Spacer (50 μm transparent film or label-printed film; inter-substrate spacer); 61 ... Spacer (transparent film or label-printed film; interlayer spacer); 62 ... Spacer (transparent film) Or label printed film; interlayer spacer); 70 ... central hole; LB
... label; 100 ... vacuum container; 102 ... cathode plate (rotating base); 104 ... anode plate (sputtering source);
106 ... Monitor device (film thickness meter); 108 ... Internal pressure sensor;
110 ... Substrate rotation motor; 112 ... Sputtering power supply device; 113 ... Gas exhaust port; 115 ... Gas introduction port; 114 ... Exhaust device (vacuum pump); 116 ... Argon gas cylinder; 118 ... Control valve; 120 ... Sputtering control device ( CPU); 200 ... Spin table (positioning holding means); 202 ... Positioning pin (positioning holding means); 210 ... Motor (rotating means); 220
... UV curable adhesive; 230 ... UV lamp (adhesive curing means); 300 ... Adhesive scattering prevention fence; 302
... Adhesive passage prevention filter; 400 ... Adhesive collection container;
500 ... Suction pump; 502 ... Air tube; OD ... 2
Layer optical disc; RL, RL1, RL2 ... Read laser light (wavelength 635 nm or 650 nm).

Claims (35)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】イ＞情報記録層が形成された第１基板と同
心状に所定厚のスペーサを配置し； ロ＞前記スペーサが配置された側の前記第１基板の面上
に接着剤を所定量供給し； ハ＞前記接着剤が供給された前記第１基板の面に第２の
基板を接触させ； ニ＞前記スペーサの配置位置を中心にして前記第１基板
および第２基板を回転させ、この回転により前記第１基
板と前記第２基板との間に挟まれた前記接着剤を外部に
はじき飛ばすことにより、前記第１基板と前記第２基板
との間に、前記スペーサの厚さで規制される厚みの接着
剤層を残すようにしたことを特徴とする貼合せ情報記録
媒体の製造方法。1. A spacer having a predetermined thickness is arranged concentrically with a first substrate on which an information recording layer is formed; b> An adhesive is applied on the surface of the first substrate on the side where the spacer is arranged. Supply a predetermined amount; c> contact the second substrate with the surface of the first substrate to which the adhesive is supplied; d> rotate the first substrate and the second substrate around the arrangement position of the spacer Then, by this rotation, the adhesive sandwiched between the first substrate and the second substrate is repelled to the outside, so that the thickness of the spacer is provided between the first substrate and the second substrate. A method for manufacturing a laminated information recording medium, characterized in that an adhesive layer having a thickness regulated by the thickness is left. 【請求項２】ホ＞前記接着剤は紫外線硬化型接着剤を含
み、前記接着剤層が残った前記第１基板と前記第２基板
との貼合せ物体に紫外線を照射することにより、前記接
着剤層を硬化させるようにしたことを特徴とする請求項
１に記載の貼合せ情報記録媒体の製造方法。2. The adhesive includes an ultraviolet curable adhesive, and the adhesive is obtained by irradiating the bonded object of the first substrate and the second substrate on which the adhesive layer remains with ultraviolet light. The method for producing a laminated information recording medium according to claim 1, wherein the agent layer is cured. 【請求項３】イ＞情報記録層が形成された第１基板と同
心状に所定厚のスペーサを配置し； ロ＞前記スペーサが配置された側の前記第１基板の面上
に接着剤を所定量供給し； ハ＞前記接着剤が供給された前記第１基板の面に第２の
基板を接触させ； ニ＞前記スペーサの配置位置を中心にして前記第１基板
および第２基板を回転させ、この回転により前記第１基
板と前記第２基板との間に挟まれた前記接着剤を外部に
はじき飛ばし、（１）周囲の気圧により前記第１基板と
前記第２基板とを全面均一に圧接させ、（２）回転中心
側へ侵入しようとする前記接着剤を前記スペーサにより
ブロックし、（３）前記スペーサの厚さにより保証され
る前記第１基板と前記第２基板と間の隙間を介して、前
記第１基板と前記第２基板との間の気泡を外部に追い出
し、（４）前記第１基板と前記第２基板との間に残留す
る前記接着剤の層の厚みが、前記スペーサの厚さで規制
される一定厚となるようにしたことを特徴とする貼合せ
情報記録媒体の製造方法。3. A spacer is arranged concentrically with the first substrate on which the information recording layer is formed; and b> An adhesive is provided on the surface of the first substrate on the side where the spacer is arranged. Supply a predetermined amount; c> contact the second substrate with the surface of the first substrate to which the adhesive is supplied; d> rotate the first substrate and the second substrate around the arrangement position of the spacer By this rotation, the adhesive sandwiched between the first substrate and the second substrate is repelled to the outside, and (1) the atmospheric pressure of the surroundings makes the entire surface of the first substrate and the second substrate uniform. (2) The adhesive that tries to enter the rotation center side is blocked by the spacers, and (3) the gap between the first substrate and the second substrate is ensured by the thickness of the spacers. Through the air bubble between the first substrate and the second substrate (4) The thickness of the adhesive layer remaining between the first substrate and the second substrate is set to a constant thickness regulated by the thickness of the spacer. Manufacturing method of laminated information recording medium. 【請求項４】ホ＞前記接着剤は紫外線硬化型接着剤を含
み、前記接着剤の層が残った前記第１基板と前記第２基
板との貼合せ物体に紫外線を照射することにより、前記
接着剤の層を硬化させるようにしたことを特徴とする請
求項３に記載の貼合せ情報記録媒体の製造方法。4. The adhesive includes an ultraviolet curable adhesive, and the bonded object of the first substrate and the second substrate, on which the adhesive layer remains, is irradiated with ultraviolet rays, thereby The method for producing a laminated information recording medium according to claim 3, wherein the adhesive layer is cured. 【請求項５】イ＞コヒーレントな光の一部を反射しその
残部を通過させる第１情報記録層が形成されるものであ
って、一定の外形、一定の内形および一定の厚さを持つ
孔開き円盤状の第１基板を用意し； ロ＞前記コヒーレントな光の残部を反射する第２情報記
録層が形成されるものであって、一定の外形、一定の内
形および一定の厚さを持つ孔開き円盤状の第２基板を用
意し； ハ＞前記第１情報記録層の形成面側に、前記第１基板の
内形と同心状に、所定外形、所定内形および所定厚を持
つリング状のスペーサを配置し； ニ＞前記第１基板の第１情報記録層の形成面上に接着剤
を所定量塗布または点滴し； ホ＞前記第１基板と前記第２基板とが同心状となるよう
に、前記接着剤が塗布または点滴された前記第１基板の
面に対して前記第２の基板の第２情報記録層の形成面を
接触させ； ヘ＞前記リング状スペーサの中央位置を回転中心として
前記第１基板および第２基板を回転させ、この回転によ
り前記第１基板と前記第２基板との間に挟まれた前記接
着剤を外部にはじき飛ばし、（１）周囲の気圧により前
記第１基板と前記第２基板とを全面均一に圧接させ、
（２）回転中心側へ侵入しようとする前記接着剤を前記
スペーサによりブロックし、（３）前記スペーサの厚さ
により保証される前記第１基板と前記第２基板と間の隙
間を介して、前記第１基板と前記第２基板との間の気泡
を外部に追い出し、（４）前記第１基板と前記第２基板
との間に残留する前記接着剤の層の厚みが、前記スペー
サの厚さで規制される一定厚となるようにしたことを特
徴とする貼合せ情報記録媒体の製造方法。5. A first information recording layer is formed which reflects a part of coherent light and allows the rest to pass therethrough, and has a constant outer shape, a constant inner shape and a constant thickness. A first substrate having a perforated disk shape is prepared; b> a second information recording layer for reflecting the rest of the coherent light is formed, and a constant outer shape, a constant inner shape and a constant thickness A second disc-shaped substrate having a perforated disc, which has a predetermined outer shape, a predetermined inner shape, and a predetermined thickness, concentrically with the inner shape of the first substrate on the formation surface side of the first information recording layer. A ring-shaped spacer is provided; D> A predetermined amount of adhesive is applied or drip-coated on the surface of the first substrate on which the first information recording layer is formed; E> The first substrate and the second substrate are concentric To the surface of the first substrate on which the adhesive is applied or drip so that the second The surface of the substrate on which the second information recording layer is formed is brought into contact; F> The first substrate and the second substrate are rotated around the center position of the ring-shaped spacer as a rotation center, and this rotation causes the first substrate and the second substrate to rotate. The adhesive sandwiched between the substrate and the substrate is repelled to the outside, and (1) the first substrate and the second substrate are uniformly pressed against each other by the atmospheric pressure of the surroundings,
(2) The adhesive that tries to enter the rotation center side is blocked by the spacer, and (3) through the gap between the first substrate and the second substrate that is guaranteed by the thickness of the spacer, Bubbles between the first substrate and the second substrate are expelled to the outside, and (4) the thickness of the adhesive layer remaining between the first substrate and the second substrate is the thickness of the spacer. A method for manufacturing a laminated information recording medium, which is characterized in that the thickness is regulated by the thickness. 【請求項６】イ＞コヒーレントな光の一部を反射しその
残部を通過させる第１情報記録層が形成されるものであ
って、一定の外形、一定の内形および一定の厚さを持つ
孔開き円盤状の第１基板を用意し； ロ＞前記コヒーレントな光の残部を反射する第２情報記
録層が形成されるものであって、一定の外形、一定の内
形および一定の厚さを持つ孔開き円盤状の第２基板を用
意し； ハ＞前記第２情報記録層の形成面側に、前記第２基板の
内形と同心状に、所定外形、所定内形および所定厚を持
つリング状のスペーサを配置し； ニ＞前記第２基板の第２情報記録層の形成面上に接着剤
を所定量塗布または点滴し； ホ＞前記第１基板と前記第２基板とが同心状となるよう
に、前記接着剤が塗布または点滴された前記第２基板の
面に対して前記第１基板の第１情報記録層の形成面を接
触させ； ヘ＞前記リング状スペーサの中央位置を回転中心として
前記第１基板および第２基板を回転させ、この回転によ
り前記第１基板と前記第２基板との間に挟まれた前記接
着剤を外部にはじき飛ばし、（１）周囲の気圧により前
記第１基板と前記第２基板とを全面均一に圧接させ、
（２）回転中心側へ侵入しようとする前記接着剤を前記
スペーサによりブロックし、（３）前記スペーサの厚さ
により保証される前記第１基板と前記第２基板と間の隙
間を介して、前記第１基板と前記第２基板との間の気泡
を外部に追い出し、（４）前記第１基板と前記第２基板
との間に残留する前記接着剤の層の厚みが、前記スペー
サの厚さで規制される一定厚となるようにしたことを特
徴とする貼合せ情報記録媒体の製造方法。6. A first information recording layer is formed which reflects a part of coherent light and allows the rest to pass therethrough, and has a constant outer shape, a constant inner shape and a constant thickness. A first substrate having a perforated disk shape is prepared; b> a second information recording layer for reflecting the rest of the coherent light is formed, and a constant outer shape, a constant inner shape and a constant thickness A second disc-shaped substrate having a perforated disk is prepared; c> a predetermined outer shape, a predetermined inner shape and a predetermined thickness are concentrically formed with the inner shape of the second substrate on the side where the second information recording layer is formed. A ring-shaped spacer is provided; d> A predetermined amount of adhesive is applied or drip on the surface of the second substrate on which the second information recording layer is formed; e> Concentricity between the first substrate and the second substrate To the surface of the second substrate on which the adhesive is applied or drip so that The first information recording layer forming surface of the plate is brought into contact; F> The first substrate and the second substrate are rotated about the central position of the ring-shaped spacer as a rotation center, and this rotation causes the first substrate and the second substrate to rotate. The adhesive sandwiched between the substrate and the substrate is repelled to the outside, and (1) the first substrate and the second substrate are uniformly pressed against each other by the atmospheric pressure of the surroundings,
(2) The adhesive that tries to enter the rotation center side is blocked by the spacer, and (3) through the gap between the first substrate and the second substrate that is guaranteed by the thickness of the spacer, Bubbles between the first substrate and the second substrate are expelled to the outside, and (4) the thickness of the adhesive layer remaining between the first substrate and the second substrate is the thickness of the spacer. A method for manufacturing a laminated information recording medium, which is characterized in that the thickness is regulated by the thickness. 【請求項７】ト＞前記接着剤は紫外線硬化型接着剤を含
み、前記接着剤の層が残った前記第１基板と前記第２基
板との貼合せ物体に紫外線を照射することにより、前記
接着剤の層を硬化させるようにしたことを特徴とする請
求項５または請求項６に記載の貼合せ情報記録媒体の製
造方法。7. The adhesive includes an ultraviolet curable adhesive, and the bonded object of the first substrate and the second substrate, on which the adhesive layer remains, is irradiated with ultraviolet rays, thereby The method for manufacturing a laminated information recording medium according to claim 5, wherein the adhesive layer is cured. 【請求項８】所定内形を持つ第１基板と、この所定内形
と同じかそれより大きな内形を持つ所定厚のスペーサ
と、前記所定内形を持つ第２基板とを、前記第１基板と
前記第２基板との間に接着剤を挟んで、同心状に位置決
め保持する位置決め保持手段と；前記位置決め保持手段
により同心状に位置決め保持された前記第１基板、スペ
ーサおよび第２基板を、所定時間、前記接着剤が外部に
放出されるような速度で回転させる回転手段と；前記回
転手段の回転により前記接着剤の一部が外部に放出され
た後に、前記第１基板および第２基板の間に前記スペー
サで規制される一定の厚さに残った前記接着剤の層を硬
化させる接着剤硬化手段とを備えたことを特徴とする貼
合せ情報記録媒体の製造装置。8. A first substrate having a predetermined inner shape, a spacer having a predetermined thickness having an inner shape equal to or larger than the predetermined inner shape, and a second substrate having the predetermined inner shape, Positioning and holding means for concentrically positioning and holding an adhesive between the substrate and the second substrate; and the first substrate, the spacer and the second substrate positioned and held concentrically by the positioning and holding means. Rotating means for rotating the adhesive at a speed such that the adhesive is discharged to the outside for a predetermined time; and after the part of the adhesive is discharged to the outside by the rotation of the rotating means, the first substrate and the second substrate An apparatus for manufacturing a bonded information recording medium, comprising: an adhesive curing means for curing the layer of the adhesive remaining between the substrates, the adhesive layer having a constant thickness regulated by the spacer. 【請求項９】前記位置決め保持手段は、前記第１基板お
よび第２基板の内形以下のサイズを持つ位置合わせピン
と、前記第１基板または第２基板の片面を支えるスピン
テーブルとを含み、 前記スピンテーブルの外形サイズが、前記第１基板また
は第２基板の外形より小さくその内形より大きな所定サ
イズに設定されることを特徴とする請求項８に記載の貼
合せ情報記録媒体の製造装置。9. The positioning and holding means includes a positioning pin having a size equal to or smaller than an inner shape of the first substrate and the second substrate, and a spin table supporting one side of the first substrate or the second substrate, 9. The bonding information recording medium manufacturing apparatus according to claim 8, wherein the outer size of the spin table is set to a predetermined size smaller than the outer shape of the first substrate or the second substrate and larger than its inner shape. 【請求項１０】前記接着剤は紫外線硬化型接着剤を含
み、前記接着剤硬化手段が、前記第１基板および第２基
板の間の前記接着剤層に紫外線を照射する紫外線ランプ
を含むことを特徴とする請求項８または請求項９に記載
の貼合せ情報記録媒体の製造装置。10. The adhesive includes an ultraviolet curable adhesive, and the adhesive curing means includes an ultraviolet lamp for irradiating the adhesive layer between the first substrate and the second substrate with ultraviolet light. 10. The manufacturing apparatus for the bonded information recording medium according to claim 8 or 9. 【請求項１１】前記回転手段の回転により外部に放出さ
れた前記接着剤の一部を回収する接着剤回収手段をさら
に備えたことを特徴とする請求項８または請求項１０に
記載の貼合せ情報記録媒体の製造装置。11. The bonding according to claim 8, further comprising an adhesive recovery means for recovering a part of the adhesive released to the outside by the rotation of the rotation means. Equipment for manufacturing information recording media. 【請求項１２】第１の情報記録層が形成され、所定の外
形と所定内形と所定の厚みを持つ孔開き円盤状第１基板
と；第２の情報記録層が形成され、前記所定の外形と前
記所定内形と所定の厚みを持つ孔開き円盤状第２基板
と；特定の外形と特定の内形と所定の厚みを持ち、前記
第１基板および前記第２基板の間に同心状に挟まれるス
ペーサと；前記スペーサの位置を避けて前記第１基板お
よび前記第２基板の間に存在し、前記スペーサによって
規制される一定の厚さを持つ接着剤層とを備えたことを
特徴とする貼合せ情報記録媒体。12. A perforated disk-shaped first substrate having a first outer shape, a predetermined inner shape, and a predetermined thickness, on which a first information recording layer is formed; and a second information recording layer is formed on the first information recording layer. A perforated disc-shaped second substrate having an outer shape, the predetermined inner shape, and a predetermined thickness; a concentric shape having a specific outer shape, a specific inner shape, and a predetermined thickness, and between the first substrate and the second substrate A spacer sandwiched between the first substrate and the second substrate while avoiding a position of the spacer, and an adhesive layer having a constant thickness regulated by the spacer. And a pasting information recording medium. 【請求項１３】前記接着剤層の厚みが、前記第１の情報
記録層または前記第２の情報記録層から記録情報を読み
取るコヒーレント光の波長の１０倍以上の所定範囲に収
まっていることを特徴とする請求項１２に記載の貼合せ
情報記録媒体。13. The thickness of the adhesive layer is within a predetermined range of 10 times or more the wavelength of coherent light for reading recorded information from the first information recording layer or the second information recording layer. The pasting information recording medium according to claim 12, which is characterized in that. 【請求項１４】前記スペーサに、前記第１の情報記録層
または前記第２の情報記録層の記録情報に関連した文字
またはパターンが形成されていることを特徴とする請求
項１２に記載の貼合せ情報記録媒体。14. The adhesive according to claim 12, wherein the spacer is provided with a character or a pattern associated with recorded information of the first information recording layer or the second information recording layer. Matching information recording medium. 【請求項１５】前記第１基板の外向き面または前記第２
基板の外向き面の上に、前記第１の情報記録層または前
記第２の情報記録層の記録情報に関連した文字またはパ
ターンを含むラベルが形成されていることを特徴とする
請求項１２に記載の貼合せ情報記録媒体。15. The outward surface of the first substrate or the second surface of the first substrate.
The label including a character or a pattern related to recorded information of the first information recording layer or the second information recording layer is formed on the outer surface of the substrate. The laminated information recording medium described. 【請求項１６】前記第１基板が、前記第１の情報記録層
に重なる第３の情報記録層を含むことを特徴とする請求
項１２に記載の貼合せ情報記録媒体。16. The bonded information recording medium according to claim 12, wherein the first substrate includes a third information recording layer overlapping the first information recording layer. 【請求項１７】前記第１基板が、前記第１の情報記録層
に重なる第３の情報記録層を含み、 前記第２基板が、前記第２の情報記録層に重なる第４の
情報記録層を含むことを特徴とする請求項１２に記載の
貼合せ情報記録媒体。17. The fourth information recording layer, wherein the first substrate includes a third information recording layer overlapping the first information recording layer, and the second substrate overlaps the second information recording layer. The laminated information recording medium according to claim 12, comprising: 【請求項１８】前記第１の情報記録層が膜厚およそ１１
ｎｍないし１４ｎｍの金薄膜を含み、 前記第２の情報記録層がアルミニウム含有薄膜を含むこ
とを特徴とする請求項１２に記載の貼合せ情報記録媒
体。18. The first information recording layer has a film thickness of about 11
The laminated information recording medium according to claim 12, wherein the second information recording layer includes a gold thin film having a thickness of 14 nm to 14 nm, and the second information recording layer includes an aluminum-containing thin film. 【請求項１９】前記第１の情報記録層が膜厚およそ１１
ｎｍないし１４ｎｍの金薄膜を含み、 前記第２の情報記録層が膜厚およそ４０ｎｍ以上のアル
ミニウム・高融点金属合金薄膜を含むことを特徴とする
請求項１２に記載の貼合せ情報記録媒体。19. The first information recording layer has a film thickness of about 11
13. The laminated information recording medium according to claim 12, comprising a gold thin film having a thickness of 14 nm to 14 nm, and the second information recording layer including an aluminum / high melting point metal alloy thin film having a thickness of about 40 nm or more. 【請求項２０】前記第１の情報記録層が膜厚およそ１１
ｎｍないし１４ｎｍの金薄膜を含み、 前記第２の情報記録層が膜厚およそ４０ｎｍ以上のアル
ミニウム・高融点金属合金薄膜を含み、 前記アルミニウム・高融点金属合金薄膜における高融点
金属の割合をおよそ１ａｔ％ないし２０ａｔ％に設定し
たことを特徴とする請求項１２に記載の貼合せ情報記録
媒体。20. The thickness of the first information recording layer is about 11
nm to 14 nm gold thin film, the second information recording layer includes an aluminum / refractory metal alloy thin film having a thickness of about 40 nm or more, and the ratio of the refractory metal in the aluminum / refractory metal alloy thin film is about 1 at. 13. The bonded information recording medium according to claim 12, wherein the content is set to 20 to 20 at%. 【請求項２１】前記第１基板の厚みはおよそ０.６ｍｍ
であり、前記第２基板の厚みはおよそ０.６ｍｍであ
り、前記スペーサの厚みは４０〜７０μｍの範囲から選
択された所定値前後であることを特徴とする請求項１２
ないし請求項２０のいずれかに記載の貼合せ情報記録媒
体。21. The first substrate has a thickness of about 0.6 mm.
13. The thickness of the second substrate is about 0.6 mm, and the thickness of the spacer is around a predetermined value selected from the range of 40 to 70 μm.
21. The laminated information recording medium according to claim 20. 【請求項２２】第１の情報記録層および第２の情報記録
層が第１スペーサの厚さに対応した間隔をおいて形成さ
れ、所定の外形と所定内形と第１の厚みを持つ孔開き円
盤状第１基板と；第３の情報記録層および第４の情報記
録層が第２スペーサの厚さに対応した間隔をおいて形成
され、前記所定の外形と前記所定内形と第２の厚みを持
つ孔開き円盤状第２基板と；前記第１スペーサの位置を
避けて前記第１の情報記録層および前記第２の情報記録
層の間に存在し、前記第１スペーサで規制される一定の
厚さを持つ第１透明層と；前記第２スペーサの位置を避
けて前記第３の情報記録層および前記第４の情報記録層
の間に存在し、前記第２スペーサで規制される一定の厚
さを持つ第２透明層とを備えたことを特徴とする貼合せ
多層情報記録媒体。22. A hole having a predetermined outer shape, a predetermined inner shape, and a first thickness, wherein the first information recording layer and the second information recording layer are formed at intervals corresponding to the thickness of the first spacer. An open disk-shaped first substrate; a third information recording layer and a fourth information recording layer are formed at intervals corresponding to the thickness of the second spacer, and the predetermined outer shape, the predetermined inner shape, and the second A second perforated disc-shaped substrate having a thickness of; and present between the first information recording layer and the second information recording layer, avoiding the position of the first spacer, and regulated by the first spacer. A first transparent layer having a certain thickness, which is present between the third information recording layer and the fourth information recording layer while avoiding the position of the second spacer, and is regulated by the second spacer. And a second transparent layer having a certain thickness, the laminated multi-layer information recording medium. 【請求項２３】第１の情報記録層および第２の情報記録
層が第１スペーサの厚さに対応した間隔をおいて形成さ
れ、所定の外形と所定内形と第１の厚みを持つ孔開き円
盤状第１基板と；第３の情報記録層および第４の情報記
録層が第２スペーサの厚さに対応した間隔をおいて形成
され、前記所定の外形と前記所定内形と第２の厚みを持
つ孔開き円盤状第２基板と；前記第１スペーサの位置を
避けて前記第１の情報記録層および前記第２の情報記録
層の間に存在し、前記第１スペーサで規制される一定の
厚さを持つ第１透明層と；前記第２スペーサの位置を避
けて前記第３の情報記録層および前記第４の情報記録層
の間に存在し、前記第２スペーサで規制される一定の厚
さを持つ第２透明層と；特定の外形と特定の内形と特定
の厚みを持ち、前記第１基板および前記第２基板の間に
挟まれる第３スペーサと；前記第３スペーサの位置を避
けて前記第１基板および前記第２基板の間に存在し、前
記第３スペーサで規制される一定の厚さを持つ接着剤層
とを備えたことを特徴とする貼合せ多層情報記録媒体。23. A hole having a predetermined outer shape, a predetermined inner shape, and a first thickness, wherein the first information recording layer and the second information recording layer are formed at intervals corresponding to the thickness of the first spacer. An open disk-shaped first substrate; a third information recording layer and a fourth information recording layer are formed at intervals corresponding to the thickness of the second spacer, and the predetermined outer shape, the predetermined inner shape, and the second A second perforated disc-shaped substrate having a thickness of; and present between the first information recording layer and the second information recording layer, avoiding the position of the first spacer, and regulated by the first spacer. A first transparent layer having a certain thickness, which is present between the third information recording layer and the fourth information recording layer while avoiding the position of the second spacer, and is regulated by the second spacer. A second transparent layer having a constant thickness; a specific outer shape, a specific inner shape and a specific thickness, and A third spacer sandwiched between the first substrate and the second substrate; existing between the first substrate and the second substrate while avoiding the position of the third spacer, and regulated by the third spacer A laminated multi-layer information recording medium comprising an adhesive layer having a constant thickness. 【請求項２４】第１の情報記録層および第２の情報記録
層が層間スペーサの厚さに対応した間隔をおいて形成さ
れ、所定の外形と所定内形と第１の厚みを持つ孔開き円
盤状第１基板と；第３の情報記録層が形成され、前記所
定の外形と前記所定内形と第２の厚みを持つ孔開き円盤
状第２基板と；前記層間スペーサの位置を避けて前記第
１の情報記録層および前記第２の情報記録層の間に存在
し、前記層間スペーサで規制される一定の厚さを持つ透
明層とを備えたことを特徴とする貼合せ多層情報記録媒
体。24. A first information recording layer and a second information recording layer are formed at intervals corresponding to the thickness of an interlayer spacer, and have perforations having a predetermined outer shape, a predetermined inner shape and a first thickness. A disk-shaped first substrate; a perforated disk-shaped second substrate on which a third information recording layer is formed and which has the predetermined outer shape, the predetermined inner shape, and a second thickness; and avoids the position of the interlayer spacer. A laminated multi-layer information recording comprising: a transparent layer which is present between the first information recording layer and the second information recording layer and has a constant thickness regulated by the interlayer spacer. Medium. 【請求項２５】第１の情報記録層および第２の情報記録
層が層間スペーサの厚さに対応した間隔をおいて形成さ
れ、所定の外形と所定内形と第１の厚みを持つ孔開き円
盤状第１基板と；第３の情報記録層が形成され、前記所
定の外形と前記所定内形と第２の厚みを持つ孔開き円盤
状第２基板と；前記層間スペーサの位置を避けて前記第
１の情報記録層および前記第２の情報記録層の間に存在
し、前記層間スペーサで規制される一定の厚さを持つ透
明層と；特定の外形と特定の内形と特定の厚みを持ち、
前記第１基板および前記第２基板の間に挟まれる基板間
スペーサと；前記基板間スペーサの位置を避けて前記第
１基板および前記第２基板の間に存在し、前記基板間ス
ペーサで規制される一定の厚さを持つ接着剤層とを備え
たことを特徴とする貼合せ多層情報記録媒体。25. A first information recording layer and a second information recording layer are formed at intervals corresponding to the thickness of an interlayer spacer, and have a predetermined outer shape, a predetermined inner shape, and a perforation having a first thickness. A disk-shaped first substrate; a perforated disk-shaped second substrate on which a third information recording layer is formed and which has the predetermined outer shape, the predetermined inner shape, and a second thickness; and avoids the position of the interlayer spacer. A transparent layer existing between the first information recording layer and the second information recording layer and having a constant thickness regulated by the interlayer spacer; a specific outer shape, a specific inner shape and a specific thickness Have a
An inter-substrate spacer sandwiched between the first substrate and the second substrate; existing between the first substrate and the second substrate while avoiding the position of the inter-substrate spacer, and regulated by the inter-substrate spacer An adhesive multi-layer information recording medium, comprising: an adhesive layer having a certain thickness. 【請求項２６】第１の情報記録層が形成され、所定の外
形と所定内形と所定の厚みを持つ孔開き円盤状第１基板
と；ダミー層が形成され、前記所定の外形と前記所定内
形と所定の厚みを持つ孔開き円盤状第２基板と；特定の
外形と特定の内形と所定の厚みを持ち、前記第１基板お
よび前記第２基板の間に同心状に挟まれるスペーサと；
前記スペーサの位置を避けて前記第１基板および前記第
２基板の間に存在し、前記スペーサによって規制される
一定の厚さを持つ接着剤層とを備えたことを特徴とする
貼合せ情報記録媒体。26. A perforated disk-shaped first substrate having a first information recording layer formed thereon, having a predetermined outer shape, a predetermined inner shape, and a predetermined thickness; and a dummy layer formed, having the predetermined outer shape and the predetermined thickness. A perforated disc-shaped second substrate having an inner shape and a predetermined thickness; a spacer having a specific outer shape, a specific inner shape and a predetermined thickness, and concentrically sandwiched between the first substrate and the second substrate When;
A bonding information recording, characterized in that the bonding information recording layer is provided between the first substrate and the second substrate while avoiding the position of the spacer, and an adhesive layer having a constant thickness regulated by the spacer. Medium. 【請求項２７】前記第２基板の外向き面の上に、前記第
１の情報記録層の記録情報に関連した文字またはパター
ンを含むラベルが形成されていることを特徴とする請求
項２６に記載の貼合せ情報記録媒体。27. A label including a character or a pattern related to recorded information of the first information recording layer is formed on an outer surface of the second substrate. The laminated information recording medium described. 【請求項２８】第１の情報記録層が形成され、所定の外
形と所定内形と所定の厚みを持つ孔開き円盤状第１基板
と；前記第１の情報記録層の記録情報に関連した文字ま
たはパターンが記載されたダミー兼ラベル層が形成さ
れ、前記所定の外形と前記所定内形と所定の厚みを持つ
孔開き円盤状第２基板と；特定の外形と特定の内形と所
定の厚みを持ち、前記第１基板および前記第２基板の間
に同心状に挟まれるスペーサと；前記スペーサの位置を
避けて前記第１基板および前記第２基板の間に存在し、
前記スペーサによって規制される一定の厚さを持つ接着
剤層とを備えたことを特徴とする貼合せ情報記録媒体。28. A perforated disk-shaped first substrate having a first information recording layer formed thereon, having a predetermined outer shape, a predetermined inner shape and a predetermined thickness; and relating to recorded information of the first information recording layer. A perforated disk-shaped second substrate having a predetermined outer shape, the predetermined inner shape, and a predetermined thickness, on which a dummy / label layer having characters or patterns is formed; a specific outer shape, a specific inner shape, and a predetermined inner shape. A spacer having a thickness and concentrically sandwiched between the first substrate and the second substrate; existing between the first substrate and the second substrate while avoiding the position of the spacer,
An adhesive information recording medium comprising: an adhesive layer having a constant thickness regulated by the spacer. 【請求項２９】イ＞波長が６５０ｎｍ前後あるいは６３
５ｎｍ前後のコヒーレントな光の一部を反射しその残部
を通過させる第１情報記録層が形成されるものであっ
て、１２０ｍｍ前後あるいは８０ｍｍ前後の一定外形
と、１５ｍｍ前後の一定内形と、０.６ｍｍ前後の一定
厚を持つ孔開き円盤状の第１基板を用意し； ロ＞前記コヒーレントな光の残部を反射する第２情報記
録層が形成されるものであって、前記第１基板と実質的
に同一形状を持つ孔開き円盤状の第２基板を用意し； ハ＞前記第１情報記録層の形成面側に、前記第１基板の
内形と同心状に、所定外形、所定内形および所定厚を持
つリング状のスペーサを配置し； ニ＞前記第１基板の第１情報記録層の形成面上に接着剤
を所定量塗布または点滴し； ホ＞前記第１基板と前記第２基板とが同心状となるよう
に、前記接着剤が塗布または点滴された前記第１基板の
面に対して前記第２の基板の第２情報記録層の形成面を
接触させ； ヘ＞前記リング状スペーサの中央位置を回転中心として
前記第１基板および第２基板を回転させ、この回転によ
り前記第１基板と前記第２基板との間に挟まれた前記接
着剤を外部にはじき飛ばし、（１）周囲の気圧により前
記第１基板と前記第２基板とを全面均一に圧接させ、
（２）回転中心側へ侵入しようとする前記接着剤を前記
スペーサによりブロックし、（３）前記スペーサの厚さ
により保証される前記第１基板と前記第２基板と間の隙
間を介して、前記第１基板と前記第２基板との間の気泡
を外部に追い出し、（４）前記第１基板と前記第２基板
との間に残留する前記接着剤の層の厚みが、前記スペー
サの厚さで規制される一定厚となるようにしたことを特
徴とする貼合せ情報記録媒体の製造方法。29. A> wavelength is around 650 nm or 63
A first information recording layer for reflecting a part of coherent light of about 5 nm and passing the rest is formed, and has a constant outer shape of about 120 mm or about 80 mm and a constant inner shape of about 15 mm. Prepare a perforated disc-shaped first substrate having a constant thickness of about 0.6 mm; (b) a second information recording layer for reflecting the rest of the coherent light is formed, and A perforated disk-shaped second substrate having substantially the same shape is prepared; c> on the formation side of the first information recording layer, concentrically with the inner shape of the first substrate, with a predetermined outer shape and predetermined inner diameter. A ring-shaped spacer having a predetermined shape and a predetermined thickness is arranged; d> a predetermined amount of an adhesive is applied or dipped on the surface of the first substrate on which the first information recording layer is formed; e> the first substrate and the first substrate Apply the adhesive so that the two substrates are concentric. The surface of the second substrate on which the second information recording layer is formed is brought into contact with the surface of the first substrate that has been drip; F> The first substrate and the second substrate with the central position of the ring-shaped spacer as the center of rotation. The substrate is rotated, and by this rotation, the adhesive sandwiched between the first substrate and the second substrate is repelled to the outside, and (1) ambient pressure causes the first substrate and the second substrate to separate. The entire surface is pressed evenly,
(2) The adhesive that tries to enter the rotation center side is blocked by the spacer, and (3) through the gap between the first substrate and the second substrate that is guaranteed by the thickness of the spacer, Bubbles between the first substrate and the second substrate are expelled to the outside, and (4) the thickness of the adhesive layer remaining between the first substrate and the second substrate is the thickness of the spacer. A method for manufacturing a laminated information recording medium, which is characterized in that the thickness is regulated by the thickness. 【請求項３０】イ＞波長が６５０ｎｍ前後あるいは６３
５ｎｍ前後のコヒーレントな光の一部を反射しその残部
を通過させる第１情報記録層が形成されるものであっ
て、１２０ｍｍ前後あるいは８０ｍｍ前後の一定外形
と、１５ｍｍ前後の一定内形と、０.６ｍｍ前後の一定
厚を持つ孔開き円盤状の第１基板を用意し； ロ＞前記コヒーレントな光の残部を反射する第２情報記
録層が形成されるものであって、前記第１基板と実質的
に同一形状を持つ孔開き円盤状の第２基板を用意し； ハ＞前記第２情報記録層の形成面側に、前記第２基板の
内形と同心状に、所定外形、所定内形および所定厚を持
つリング状のスペーサを配置し； ニ＞前記第２基板の第２情報記録層の形成面上に接着剤
を所定量塗布または点滴し； ホ＞前記第１基板と前記第２基板とが同心状となるよう
に、前記接着剤が塗布または点滴された前記第２基板の
面に対して前記第１基板の第１情報記録層の形成面を接
触させ； ヘ＞前記リング状スペーサの中央位置を回転中心として
前記第１基板および第２基板を回転させ、この回転によ
り前記第１基板と前記第２基板との間に挟まれた前記接
着剤を外部にはじき飛ばし、（１）周囲の気圧により前
記第１基板と前記第２基板とを全面均一に圧接させ、
（２）回転中心側へ侵入しようとする前記接着剤を前記
スペーサによりブロックし、（３）前記スペーサの厚さ
により保証される前記第１基板と前記第２基板と間の隙
間を介して、前記第１基板と前記第２基板との間の気泡
を外部に追い出し、（４）前記第１基板と前記第２基板
との間に残留する前記接着剤の層の厚みが、前記スペー
サの厚さで規制される一定厚となるようにしたことを特
徴とする貼合せ情報記録媒体の製造方法。30. A> wavelength is around 650 nm or 63
A first information recording layer for reflecting a part of coherent light of about 5 nm and passing the rest is formed, and has a constant outer shape of about 120 mm or about 80 mm and a constant inner shape of about 15 mm. Prepare a perforated disc-shaped first substrate having a constant thickness of about 0.6 mm; (b) a second information recording layer for reflecting the rest of the coherent light is formed, and A perforated disk-shaped second substrate having substantially the same shape is prepared; c> a predetermined outer shape and a predetermined inner diameter are concentric with the inner shape of the second substrate on the side where the second information recording layer is formed. A ring-shaped spacer having a predetermined shape and a predetermined thickness is arranged; d> a predetermined amount of an adhesive is applied or drip-dropped on the surface of the second substrate on which the second information recording layer is formed; e> the first substrate and the first substrate Apply the adhesive so that the two substrates are concentric. The surface of the first substrate on which the first information recording layer is formed is brought into contact with the surface of the dropped second substrate; F> The first substrate and the second substrate with the central position of the ring-shaped spacer as the center of rotation. Is rotated, and by this rotation, the adhesive sandwiched between the first substrate and the second substrate is repelled to the outside, and (1) the first substrate and the second substrate are entirely covered by atmospheric pressure. Even pressure contact,
(2) The adhesive that tries to enter the rotation center side is blocked by the spacer, and (3) through the gap between the first substrate and the second substrate that is guaranteed by the thickness of the spacer, Bubbles between the first substrate and the second substrate are expelled to the outside, and (4) the thickness of the adhesive layer remaining between the first substrate and the second substrate is the thickness of the spacer. A method for manufacturing a laminated information recording medium, which is characterized in that the thickness is regulated by the thickness. 【請求項３１】ト＞前記接着剤は紫外線硬化型接着剤を
含み、前記接着剤の層が残った前記第１基板と前記第２
基板との貼合せ物体に紫外線を照射することにより、前
記接着剤の層を硬化させるようにしたことを特徴とする
請求項２９または請求項３０に記載の貼合せ情報記録媒
体の製造方法。31. The adhesive includes an ultraviolet curable adhesive, and the first substrate and the second layer on which the adhesive layer remains.
31. The method for producing a laminated information recording medium according to claim 29 or 30, wherein the layer of the adhesive is cured by irradiating the object to be laminated with the substrate with ultraviolet rays. 【請求項３２】イ＞コヒーレントな光の一部を反射しそ
の残部を通過させる第１情報記録層が形成されるもので
あって、一定の外形、一定の内形および一定の厚さを持
つ孔開き円盤状の第１基板を用意し； ロ＞前記コヒーレントな光の残部を反射する第２情報記
録層が形成されるものであって、一定の外形、一定の内
形および一定の厚さを持つ孔開き円盤状の第２基板を用
意し； ハ＞前記第２基板の第２情報記録層の形成面上に接着剤
を所定量塗布または点滴し； ニ＞前記第１基板と前記第２基板とが同心状となるよう
に、前記接着剤が塗布または点滴された前記第２基板の
面に対して前記第１基板の第１情報記録層の形成面を接
触させ； ホ＞前記第１基板および第２基板を回転させ、この回転
により前記第１基板と前記第２基板との間に挟まれた前
記接着剤を外部にはじき飛ばし、（１）周囲の気圧によ
り前記第１基板と前記第２基板とを全面均一に圧接さ
せ、（２）前記スペーサの厚さにより保証される前記第
１基板と前記第２基板と間の隙間を介して、前記第１基
板と前記第２基板との間の気泡を外部に追い出し、
（３）前記第１基板と前記第２基板との間に残留する前
記接着剤の層の厚みが、一定厚となるようにしたことを
特徴とする貼合せ情報記録媒体の製造方法。32. A first information recording layer is formed which reflects a part of coherent light and allows the rest to pass therethrough, and has a constant outer shape, a constant inner shape and a constant thickness. A first substrate having a perforated disk shape is prepared; b> a second information recording layer for reflecting the rest of the coherent light is formed, and a constant outer shape, a constant inner shape and a constant thickness A second perforated disk-shaped substrate having a perforated disk; c> a predetermined amount of adhesive is applied or drip-coated on the surface of the second substrate on which the second information recording layer is formed; d> the first substrate and the second substrate The surface of the first substrate on which the first information recording layer is formed is brought into contact with the surface of the second substrate on which the adhesive is applied or drip so that the two substrates are concentric; The first substrate and the second substrate are rotated, and this rotation causes a gap between the first substrate and the second substrate. The sandwiched adhesive is repelled to the outside, and (1) the first substrate and the second substrate are brought into uniform pressure contact with each other by the atmospheric pressure of the surroundings, and (2) the first thickness guaranteed by the thickness of the spacer. Expelling bubbles between the first substrate and the second substrate to the outside through a gap between the substrate and the second substrate,
(3) A method for manufacturing a laminated information recording medium, characterized in that the thickness of the layer of the adhesive remaining between the first substrate and the second substrate is set to be a constant thickness. 【請求項３３】ヘ＞前記接着剤は紫外線硬化型接着剤を
含み、前記接着剤の層が残った前記第１基板と前記第２
基板との貼合せ物体に紫外線を照射することにより、前
記接着剤の層を硬化させるようにしたことを特徴とする
請求項３２に記載の貼合せ情報記録媒体の製造方法。33. F> The adhesive contains an ultraviolet curable adhesive, and the first substrate and the second layer on which the adhesive layer remains.
33. The method for producing a laminated information recording medium according to claim 32, wherein the layer of the adhesive is cured by irradiating the object to be laminated with the substrate with ultraviolet rays. 【請求項３４】第１の情報記録層が形成され、１２０ｍ
ｍまたは８０ｍｍの外径と１５ｍｍの内径と０.６ｍｍ
の厚みを持つポリカーボネート製孔開き円盤状第１基板
と；第２の情報記録層が形成され、前記第１基板と同じ
外径、内径および厚みを持つを持つポリカーボネート製
孔開き円盤状第２基板と；特定の外形と、特定の内形
と、４０μｍないし７０μｍの範囲から選択された所定
の厚みを持ち、前記第１基板および前記第２基板の間に
同心状に挟まれるスペーサと；前記スペーサの位置を避
けて前記第１基板および前記第２基板の間に存在し、前
記スペーサによって規制される一定の厚さを持つ紫外線
硬化性樹脂層とを備えたことを特徴とする貼合せ光ディ
スク。34. A first information recording layer is formed and is 120 m
m or 80mm outer diameter and 15mm inner diameter and 0.6mm
A polycarbonate perforated disc-shaped first substrate having a thickness of; and a second perforated disc-shaped polycarbonate substrate having a second information recording layer and having the same outer diameter, inner diameter and thickness as the first substrate. A spacer having a specific outer shape, a specific inner shape, a predetermined thickness selected from the range of 40 μm to 70 μm, and concentrically sandwiched between the first substrate and the second substrate; And a UV curable resin layer having a constant thickness which is present between the first substrate and the second substrate and is regulated by the spacer. 【請求項３５】第１の情報記録層が形成され、１２０ｍ
ｍまたは８０ｍｍの外径と１５ｍｍの内径と０.６ｍｍ
の厚みを持つポリカーボネート製孔開き円盤状第１基板
と；第２の情報記録層が形成され、前記第１基板と同じ
外径、内径および厚みを持つを持つポリカーボネート製
孔開き円盤状第２基板と；特定の外形と、特定の内形
と、２０μｍないし４０μｍの範囲から選択された所定
の厚みを持ち、前記第１基板および前記第２基板の間に
同心状に挟まれるスペーサと；前記スペーサの位置を避
けて前記第１基板および前記第２基板の間に存在し、前
記スペーサによって規制される一定の厚さを持つ紫外線
硬化性樹脂層とを備えたことを特徴とする貼合せ光ディ
スク。35. A first information recording layer is formed, 120 m
m or 80mm outer diameter and 15mm inner diameter and 0.6mm
A polycarbonate perforated disc-shaped first substrate having a thickness of; and a second perforated disc-shaped polycarbonate substrate having a second information recording layer and having the same outer diameter, inner diameter and thickness as the first substrate. A spacer having a specific outer shape, a specific inner shape, a predetermined thickness selected from the range of 20 μm to 40 μm, and concentrically sandwiched between the first substrate and the second substrate; And a UV curable resin layer having a constant thickness which is present between the first substrate and the second substrate and is regulated by the spacer.