JPH0922517A - Magnetic head slider and magnetic disk device - Google Patents
Magnetic head slider and magnetic disk deviceInfo
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- JPH0922517A JPH0922517A JP16950395A JP16950395A JPH0922517A JP H0922517 A JPH0922517 A JP H0922517A JP 16950395 A JP16950395 A JP 16950395A JP 16950395 A JP16950395 A JP 16950395A JP H0922517 A JPH0922517 A JP H0922517A
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- head slider
- sintered body
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、摺動性が改良された新
規な磁気ヘッドスライダー及び磁気ディスク装置に関す
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a novel magnetic head slider and magnetic disk device having improved slidability.
【０００２】[0002]
【従来の技術】近年のデータ処理量の多量化に対応し
て、磁気ディスクのデータをより高密度記録し、高速で
読み書きすることが要求されている。磁気ディスク装置
には浮動型磁気ヘッドが使用されているが、高記録密度
化が進むにつれ、磁気ヘッドの浮上量がますます小さく
なり、将来的には、連続して接触摺動しながら磁気記録
するような状況が考えられる。このように磁気ヘッドス
ライダーと磁気ディスクと接触摺動すると、双方の摩耗
が懸念される。従って、摩耗量の少ない摺動材料開発の
要求が高まっている。これらの摩耗を少なくする方法に
関して特開平1−258219号，特開平1−137484 号，特開
昭63−269384号等、多数の発明がなされている。磁気ヘ
ッドスライダー材として現在は、一般にＡｌ2０3−Ｔｉ
Ｃが使用されているが連続媒体磁気ディスクでは必ずし
も良好な摺動性が得られていない。そのため、摺動性の
改良を目的として摺動材をコーテイングしたものもあ
る。また、摺動性を改良するためにＡｌ2０3にＴｉＯ2
を添加した技術が特開昭57−198578号に開示されてい
る。2. Description of the Related Art In response to the recent increase in data processing amount, it is required to record data on a magnetic disk at a higher density and read / write at a high speed. Floating magnetic heads are used in magnetic disk devices, but as the recording density has increased, the flying height of the magnetic heads has become smaller and smaller, and in the future, magnetic recording will continue while continuously sliding. There is a possible situation. When the magnetic head slider and the magnetic disk slide in contact with each other in this way, there is a concern that both will wear. Therefore, there is an increasing demand for the development of sliding materials with less wear. Many inventions have been made on methods for reducing these abrasions, such as JP-A-1-258219, JP-A-1-137484, and JP-A-63-269384. The present magnetic head slider material, typically Al 2 0 3 -Ti
Although C is used, good slidability is not always obtained in the continuous medium magnetic disk. For this reason, there are some coated with a sliding material for the purpose of improving the slidability. Further, in order to improve the slidability, Al 2 O 3 is added with TiO 2
The technique of adding the above is disclosed in JP-A-57-198578.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】磁気ディスク装置は、
動作時に磁気ヘッドが浮動しているが、起動時や停止時
に磁気ディスクと接触摺動するため摺動摩耗が発生す
る。そのため、連続媒体磁気ディスク表面は、磁性体を
保護し摩擦抵抗を小さくする目的で、カーボン保護膜が
施されている。しかし、カーボン保護膜は、摺動時の摩
擦熱により酸化摩耗が生じる。また、潤滑剤を磁気ヘッ
ドスライダー表面に形成することで摩擦係数は小さくな
るが、潤滑層を形成するための工程の増加，長時間潤滑
層を保持することが困難な場合がある。更に、摺動材を
コーテイングし、摺動性を改良したものもあるが、スラ
イダー表面にコーティングすることにより、ディスクと
スライダー間の距離が大きくなり記録密度が低下すると
いう問題がある。従って、これらの問題を解決するには
摺動性に優れたバルク状の摺動材料で対応することが望
ましい。The magnetic disk drive is:
The magnetic head floats during operation, but sliding wear occurs because it slides in contact with the magnetic disk during startup and shutdown. For this reason, the surface of the continuous medium magnetic disk is coated with a carbon protective film for the purpose of protecting the magnetic material and reducing frictional resistance. However, the carbon protective film undergoes oxidative wear due to frictional heat during sliding. Further, although the friction coefficient is reduced by forming the lubricant on the surface of the magnetic head slider, it may be difficult to increase the number of steps for forming the lubricant layer and keep the lubricant layer for a long time. Further, there is a sliding material coated with a sliding material to improve the slidability, but coating the surface of the slider increases the distance between the disk and the slider, thus lowering the recording density. Therefore, in order to solve these problems, it is desirable to use a bulky sliding material having excellent slidability.
【０００４】特開昭57−198578号に開示されているＡｌ
2Ｏ3にＴｉＯ2 を添加した材料を連続媒体磁気ディスク
に用いた場合、ＴｉＯ2 の添加量を５０vol％ 以上添加
しないと摺動性は向上しないことと、Ａｌ2Ｏ3が磁気デ
ィスク表面の傷発生の原因となり、摩耗が大きいことが
判った。Al disclosed in JP-A-57-198578
When using a material obtained by adding TiO 2 to a continuous media magnetic disk 2 O 3, and the sliding resistance when not adding the amount of TiO 2 or 50 vol% not improved, Al 2 O 3 is a magnetic disk surface It was found that this caused scratches and that the wear was large.
【０００５】本発明の狙いはスッパッタ，めっきなどの
方法で作製された連続媒体磁気ディスクと磁気ヘッドス
ライダを組み合わせることにより、双方の摩耗量を大幅
に減少させることができる磁気ヘッドスライダーを実現
することにある。The object of the present invention is to realize a magnetic head slider capable of significantly reducing the wear amount of both by combining a continuous medium magnetic disk manufactured by a method such as spatter and plating with a magnetic head slider. It is in.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに本発明者らは、種々のセラミックスと磁気ディスク
との摺動試験を行い、チタニア（ＴｉＯ2 ）が摺動中に
発生する摩擦熱でカーボン保護膜の酸化燃焼を抑制する
低触媒活性を有するセラミックスであることを見出し
た。しかし、１００％ＴｉＯ2 の焼結体で作製した磁気
ヘッドスライダーをスパッタ，めっき等の方法で磁性層
が形成された連続媒体磁気ディスクと組み合わせ、摺動
試験を行った結果、低速（５ｍ／ｓ）摺動では摩耗量が
少なく、摩擦係数も小さいが、高速（２０ｍ／ｓ）摺動
ではディスク保護膜のカーボンとＴｉＯ2 とが反応し凝
着摩耗を起こすことが判った。この凝着摩耗は摺動時に
発生する摩擦エネルギーによるもので、摺動速度が５ｍ
／ｓから２０ｍ／ｓに増すと摺動面の温度は約２倍に高
くなるためである。In order to solve the above-mentioned problems, the present inventors conducted a sliding test between various ceramics and a magnetic disk, and showed that the friction that titania (TiO 2 ) generated during sliding It was found that the ceramic has low catalytic activity that suppresses oxidative combustion of the carbon protective film by heat. However, a magnetic head slider made of a sintered body of 100% TiO 2 was combined with a continuous medium magnetic disk on which a magnetic layer was formed by a method such as sputtering or plating, and a sliding test was performed, and as a result, a low speed (5 m / s ) It was found that the amount of wear was small in sliding and the coefficient of friction was small, but in high-speed (20 m / s) sliding, carbon of the disk protective film and TiO 2 react to cause adhesive wear. This adhesion wear is due to the friction energy generated during sliding, and the sliding speed is 5 m.
This is because the temperature of the sliding surface is approximately doubled when the speed is increased from / s to 20 m / s.
【０００７】摩擦熱による凝着摩耗を防ぐには、カーボ
ンとの反応を抑制するため、ＴiＯ2と複合酸化物を形成
する成分を添加することで解決できた。酸化物としては
Ｚｒ，Ｎｂ，Ｙ，Ｍｇ，Ａｌなどが有効で、その中でも
酸化ニオビウム（Ｎｂ2Ｏ5）を添加した材料が摩耗量が
少なく、摩擦係数が小さいことが判明した。In order to prevent the cohesive wear due to frictional heat, the reaction with carbon was suppressed. Therefore, it was possible to solve the problem by adding a component forming a complex oxide with TiO 2 . As the oxide, Zr, Nb, Y, Mg, Al and the like are effective. Among them, the material containing niobium oxide (Nb 2 O 5 ) added has a small amount of wear and a small friction coefficient.
【０００８】また、連続媒体磁気ディスク表面は、磁性
体を保護すると共に摺動摩擦抵抗を小さくする目的でカ
ーボン保護膜が施されているため、磁気ヘッドスライダ
ーであるセラミックスとカーボンとの摺動性が重要とな
る。これまで開発してきたＴｉＯ2 とＮｂ2Ｏ5の複合セ
ラミックスでは、摩擦係数を小さくするには限界がある
ことがわかった。そこで、ＴｉＯ2 とＮｂ2Ｏ5の複合セ
ラミックスの摺動性の改良の目的にカーボンを添加した
ＴｉＯ2 ／Ｎｂ2Ｏ5／Ｃ（炭素，黒鉛）の３成分系セラ
ミックスによりその目的を達成した。Further, the surface of the continuous medium magnetic disk is provided with a carbon protective film for the purpose of protecting the magnetic material and reducing sliding friction resistance, so that the slidability between the magnetic head slider ceramics and carbon is improved. It becomes important. It has been found that the composite ceramics of TiO 2 and Nb 2 O 5 developed so far have a limit in reducing the friction coefficient. Therefore, the object was achieved by the ternary ceramics of TiO 2 / Nb 2 O 5 / C (carbon, graphite) containing carbon for the purpose of improving the slidability of the composite ceramic of TiO 2 and Nb 2 O 5 . .
【０００９】従って、上記の課題は、ＴｉＯ2を主成分
とし、それに０.５vol％〜２０vol％のＮｂ2Ｏ5及び５v
ol％〜２０vol％の炭素（黒鉛）を添加した焼結体を磁
気ヘッドスライダーに用いることにより解決できる。[0009] Therefore, the above problem is that TiO 2 is the main component, and 0.5 vol% to 20 vol% of Nb 2 O 5 and 5 v are added to it.
This can be solved by using a sintered body to which ol% to 20 vol% carbon (graphite) is added for the magnetic head slider.
【００１０】上記の課題はまた、ＴｉＯ2 を主成分と
し、それに０.５vol％〜２０vol％ のＮｂ2Ｏ5，５vol
％〜２０vol％の炭素（黒鉛）および２vol％〜１０vol
％の金属Ｔｉを添加した焼結体を磁気ヘッドスライダー
に用いることにより解決できる。上記の課題はまた、Ｔ
ｉＯ2 を主成分とし、それに０.５vol％〜２０vol％ の
Ｎｂ2Ｏ5，５vol％〜２０vol％の炭素（黒鉛）または２
vol％〜１０vol％の金属Ｔｉを添加し、炭素（黒鉛）周
囲に５μｍ以下のＴｉとの反応層を形成している焼結体
を磁気ヘッドスライダーに用いることにより解決され
る。The above-mentioned problems are also caused by TiO 2 as a main component and 0.5 vol% to 20 vol% of Nb 2 O 5 and 5 vol.
% To 20vol% carbon (graphite) and 2vol% to 10vol
The problem can be solved by using a sintered body to which a metal Ti of 10% is added for a magnetic head slider. The above problem also
iO 2 as a main component, and 0.5 vol% to 20 vol% Nb 2 O 5 , 5 vol% to 20 vol% carbon (graphite) or 2
This can be solved by using a sintered body in which metallic Ti of vol% to 10 vol% is added and a reaction layer with Ti of 5 μm or less is formed around carbon (graphite) for a magnetic head slider.
【００１１】上記の課題はまた、上記の磁気ヘッドスラ
イダーをスッパッタ，めっきなどの方法で作製された、
連続型磁気ディスクと組み合わせて用いた磁気ディスク
装置により解決される。The above-mentioned problems are also produced by a method such as spattering or plating the above magnetic head slider.
This is solved by a magnetic disk device used in combination with a continuous magnetic disk.
【００１２】[0012]
【作用】磁気ヘッドスライダーが磁気ディスクと接触摺
動すると、双方の摩耗が懸念され、摩耗量の少ない摺動
材料開発の要求が高まっている。連続媒体磁気ディスク
表面は、スッパッタ，めっき等の方法で作製され、磁性
体を保護し摩擦抵抗を減らす目的から、カーボン保護膜
が施されているため、カーボンと磁気ヘッドスライダー
材であるセラミックスとの摺動性が重要である。When the magnetic head slider slides in contact with the magnetic disk, there is concern about the wear of both, and there is an increasing demand for the development of sliding materials with less wear. The surface of the continuous medium magnetic disk is made by a method such as spatter or plating, and is provided with a carbon protective film for the purpose of protecting the magnetic material and reducing frictional resistance. Slidability is important.
【００１３】磁気ディスクが高速回転すると摺動時の摩
擦熱によりカーボン保護膜は、酸化摩耗が生じる。この
酸化摩耗を摺動材の主成分であるＴｉＯ2 に酸化物を添
加することで、磁気ディスクのカーボンとの反応を抑制
してきたが、ＴｉＯ2 と酸化物の２成分系では摩耗量や
摩擦係数の低下に限度があった。本発明では、ＴiＯ2と
酸化物の複合酸化セラミックスの摺動性を改良としてカ
ーボンを添加し、しかも、焼結体のマトリックスに添加
したカーボンが、添加した状態で残留させることによ
り、摺動性が改良され摩擦係数を低下させ、摩耗量を少
なくすることができた。また、添加したカーボンはその
ままで残留すると、摺動時にカーボンが脱落すると粉塵
となり、磁気ディスク表面に傷をつけるなどの悪影響が
でるため、添加したカーボンの表面がマトリックスの主
成分であるＴｉと反応しＴｉＣ層が形成され、マトリッ
クスとＴｉＣ層が反応していることが重要である。この
ようにして作製された焼結体にはカーボンが残留するた
め、ＴｉＯ2 と酸化物の２成分の焼結体に比べ摩擦係数
や摩耗量を低下する。When the magnetic disk rotates at a high speed, frictional heat during sliding causes oxidative wear of the carbon protective film. By adding an oxide to TiO 2 which is the main component of the sliding material, this oxidative wear has suppressed the reaction with carbon of the magnetic disk. However, in the two-component system of TiO 2 and oxide, the wear amount and friction There was a limit to the reduction of the coefficient. In the present invention, the slidability is improved by adding carbon to improve the slidability of the composite oxide ceramics of TiO 2 and oxide, and by leaving the carbon added to the matrix of the sintered body in the added state. Was improved to lower the friction coefficient and reduce the amount of wear. In addition, if the added carbon remains as it is, it will become dust if the carbon falls off during sliding, and it will have an adverse effect such as scratching the magnetic disk surface. It is important that the TiC layer is formed and the matrix and the TiC layer react with each other. Since carbon remains in the sintered body produced in this manner, the friction coefficient and the wear amount are lower than those of the two-component sintered body of TiO 2 and oxide.
【００１４】[0014]
実施例１ 平均粒径１μｍのルチル型結晶構造を持つＴｉＯ2 を主
成分とし、それに０〜３０vol％のＮｂ2Ｏ5，ＺｒＯ2，
Ａｌ2Ｏ3，ＭｇＯ，ＣａＯ，ＺｎＯを添加し、水を媒体
として湿式ボールミルで２４混合した。混合粉は乾燥後
に篩い分級した。混合粉は金型を用い成形圧力１０ＭＰ
ａで直径１００mm，厚さ１０mmの成形体を作製した。成
形体は黒鉛型に装填し、温度１２００℃，加圧力３０Ｍ
Ｐａでホットプレス焼結して焼結体を得た。焼結体はド
ラッグ試験用及び特性評価用の試料に加工した。Example 1 TiO 2 having a rutile type crystal structure having an average particle size of 1 μm as a main component, and 0 to 30 vol% of Nb 2 O 5 , ZrO 2 ,
Al 2 O 3 , MgO, CaO and ZnO were added and mixed with water as a medium by a wet ball mill for 24 times. The mixed powder was dried and sieved. Molding pressure is 10MP for the mixed powder.
In a, a molded body having a diameter of 100 mm and a thickness of 10 mm was produced. The molded body is loaded into a graphite mold, the temperature is 1200 ° C, and the pressure is 30M.
Hot press sintering was performed at Pa to obtain a sintered body. The sintered body was processed into samples for drug testing and property evaluation.
【００１５】これらの焼結体につきドラッグ試験で得ら
れた摩擦係数測定結果を図１に示す。測定試料は同じ焼
結体から３個作製し、同じ条件で摩擦係数を３回測定し
た。摩擦係数の測定は、磁気ディスクを１０分間回転し
たときを１ドラッグ回数とし、これを３６回行い、各ド
ラッグ回数で得られる摩擦係数を測定した。摩擦係数は
ドラッグ回数が多くなると大きくなる傾向があり、ドラ
ッグ試験中最も大きい値の摩擦係数を各添加材料を横軸
で整理した。図１からＴｉＯ2 に酸化物を添加すること
で摩擦係数が小さくなることが判る。この中で摩擦係数
が小さいのは、Ｎｂ2Ｏ5，Ａｌ2Ｏ3，ＭｇＯであるがＡ
ｌ2Ｏ3とＭｇＯを添加した焼結体は、磁気ディスクにす
り傷や摩耗が見られたがＮｂ2Ｏ5を添加した焼結体の摺
動材及び磁気ディスクには傷がなく摩耗も微小であっ
た。Ｎｂ2Ｏ5の添加量について見ると極少量でもその効
果が認められるが０.５vol％未満では均一分散が行われ
ない場合にカーボンの酸化燃焼の抑制効果が得られなか
った。また、２０vol％ を超えるとでは結晶粒の粗大化
が激しく、加工時にチッピングが大きくなった。FIG. 1 shows the friction coefficient measurement results obtained by the drag test for these sintered bodies. Three measurement samples were prepared from the same sintered body, and the friction coefficient was measured three times under the same conditions. The friction coefficient was measured by rotating the magnetic disk for 10 minutes, and the number of drags was set 36 times. The friction coefficient obtained by each drag was measured. The coefficient of friction tends to increase as the number of drags increases, and the coefficient of friction with the largest value during the drag test is arranged along the horizontal axis for each additive material. It can be seen from FIG. 1 that the friction coefficient is reduced by adding an oxide to TiO 2 . Among these, Nb 2 O 5 , Al 2 O 3 and MgO have the smallest friction coefficient.
In the sintered body containing 1 2 O 3 and MgO, scratches and wear were observed on the magnetic disk, but the sliding material and the magnetic disk of the sintered body containing Nb 2 O 5 were not scratched or worn. It was minute. Regarding the amount of Nb 2 O 5 added, the effect can be recognized even with a very small amount, but if it is less than 0.5 vol%, the effect of suppressing the oxidative combustion of carbon cannot be obtained when the uniform dispersion is not performed. On the other hand, if it exceeds 20 vol%, the crystal grains are coarsened and chipping becomes large during processing.
【００１６】実施例２ 摩擦係数が小さく、磁気ディスク表面への傷や摩耗も少
ないことからＴｉＯ2にＮｂ2Ｏ5を添加した材料を選択
し、ＴｉＯ2−５vol％Ｎｂ2Ｏ5にガラス状カーボン，メ
ソカーボンの球状粉末，粉末状カーボンを添加した焼結
体を作製した。カーボンの添加量は、１，３，５，１
０，２０vol％ とした。それぞれのカーボンを所定量添
加した焼結体の摩擦係数測定結果を図２に示す。なお、
試料の作製方法，測定条件及び試料数は実施例１と同じ
である。カーボンの種類によらずＴｉＯ2−Ｎｂ2Ｏ5に
５vol％カーボンを添加することで摩擦係数は急激に低
くなり、それよりカーボンの添加量をますと摩擦係数は
減少する。しかし、カーボンの添加量が多くなるとデイ
スクに傷が発生し摩耗量が多くなる。これは、添加した
カーボンが多くなるとＴｉＯ2 と反応して形成される硬
質のＴｉＣが多くなり相手材を引っ掻き摺動性を損なう
ことになり、この傾向は２０vol％ を超えるとで顕著で
ある。カーボン添加量としては、５vol％以上で２０vol
％以下が良い。望ましくは５vol％±３％ がよい。[0016] Example 2 has a small friction coefficient, and select a material with the addition of Nb 2 O 5 to TiO 2 since less scratches and wear of the magnetic disk surface, glassy TiO 2 -5vol% Nb 2 O 5 Spherical powders of carbon, mesocarbon, and powdered carbon were added to prepare sintered bodies. The amount of carbon added is 1, 3, 5, 1
It was set to 0,20 vol%. FIG. 2 shows the results of measuring the friction coefficient of the sintered body to which a predetermined amount of each carbon was added. In addition,
The sample manufacturing method, the measurement conditions, and the number of samples are the same as in the first embodiment. Regardless of the type of carbon, the addition of 5 vol% carbon to TiO 2 —Nb 2 O 5 drastically lowers the coefficient of friction, and the more the amount of carbon added, the more the coefficient of friction decreases. However, when the amount of carbon added increases, scratches are generated on the disk and the amount of wear increases. This is because when the amount of added carbon increases, the amount of hard TiC formed by reacting with TiO 2 increases, which scratches the mating material and impairs the slidability. This tendency is remarkable when the content exceeds 20 vol%. The amount of carbon added is 20 vol at 5 vol% or more
% Or less is good. Desirably, 5 vol% ± 3% is good.
【００１７】実施例３ 摩擦係数の小さいＴｉＯ2−５vol％Ｎｂ2Ｏ5−５vol％
カーボンおよび金属Ｔｉを０.５vol％〜２０vol％ 添加
した材料について、摩擦係数を測定した結果を図３に示
す。なお、試料の作製方法，測定条件及び試料数は実施
例１と同じである。図３から、摩擦係数は金属Ｔｉの量
が２vol％ から減少が見られるが１０vol％ 以上になる
と逆に増加する。これは、僅かの金属Ｔｉを添加するこ
とによりマトリックスであるＴｉＯ2 とＮｂ2Ｏ5との結
合が強固となり、ＴｉＣの形成により摺動時にカーボン
の脱落が抑制され、摩擦係数が小さくなったものと思わ
れる。しかし、金属Ｔｉの添加量が多くなると硬質のＴ
ｉＣ層が厚く形成され、カーボンと摺動した場合、カー
ボンの摩耗が大きくなり、摺動性を損なうため、金属Ｔ
ｉの添加量は、２vol％以上，１０vol％以下が望まし
い。Example 3 TiO 2 -5vol% Nb 2 O 5 -5vol% having a small friction coefficient
FIG. 3 shows the results of measuring the coefficient of friction of a material containing 0.5 vol% to 20 vol% of carbon and metallic Ti. The method for producing the sample, the measurement conditions, and the number of samples are the same as in Example 1. From FIG. 3, the friction coefficient decreases from 2 vol% of the amount of metallic Ti, but increases conversely when the amount of Ti exceeds 10 vol%. This is because the addition of a small amount of metallic Ti strengthens the bond between TiO 2 and Nb 2 O 5 , which is a matrix, and the formation of TiC prevents carbon from falling off during sliding and reduces the friction coefficient. I think that the. However, when the addition amount of metallic Ti increases, the hard T
When the iC layer is formed thick and slides on the carbon, the wear of the carbon increases and the slidability is impaired.
The amount of i added is preferably 2 vol% or more and 10 vol% or less.
【００１８】実施例４ 実施例３の焼結体を切断しその結晶組織を走査型電子顕
微鏡及び組成をＸ線マイクロアナライザーで観察する
と、金属Ｔｉの添加によりカーボンを包囲するようにＴ
ｉＣが形成されており、金属Ｔｉの添加量が２vol％ 以
下ではＴｉＣの厚みは計測できなかったが金属Ｔｉの添
加量が１０vol％ になるとその厚みは５μｍに達し、さ
らに金属Ｔｉの添加量と共にその厚みは増している。Ｔ
ｉＣの厚みは、金属Ｔｉの添加量が同じであっても焼結
条件によって当然異なってくるものと考えられるが、摺
動性を損なわないその厚みは５μｍである。Example 4 The sintered body of Example 3 was cut, and its crystal structure was observed by a scanning electron microscope and the composition was analyzed by an X-ray microanalyzer.
The thickness of TiC could not be measured when iC was formed and the amount of metallic Ti added was 2 vol% or less. However, when the amount of metallic Ti added was 10 vol%, the thickness reached 5 μm. Its thickness is increasing. T
It is considered that the thickness of iC naturally varies depending on the sintering conditions even if the amount of metal Ti added is the same, but the thickness that does not impair the slidability is 5 μm.
【００１９】実施例５ ＴｉＯ2−５vol％Ｎｂ2Ｏ5−５vol％Ｃ−２vol％Ｔｉ焼
結体により、ヘッドアッセンブリーを作製し、磁気ディ
スク装置に組込みコンタクト・スタート・ストップの繰
り返しによる摩擦・摩耗評価を行った。その結果、磁気
ディスおよび摺動材の摩耗は少なく高摺動性を示し、長
時間使用可能であることが判った。Example 5 A head assembly was prepared from a sintered body of TiO 2 -5 vol% Nb 2 O 5 -5 vol% C-2 vol% Ti, and was incorporated in a magnetic disk device, and friction and wear were caused by repeating contact start start stop. An evaluation was made. As a result, it was found that the magnetic disk and the sliding material showed little wear and showed high slidability, and could be used for a long time.
【００２０】[0020]
【発明の効果】本発明による磁気ヘッドスライダーは小
型で小さい傷やチッピングでも使用不可能となるため、
加工性も必要であるが、マトリックス内に摺動性の良好
なカーボンが残り、摺動性に問題がなく、しかも、切削
の良好なカーボンを添加しているため、加工性の問題も
なく磁気ディスクと磁気ヘッドスライダー間の摩擦係数
が減少すると共に摩耗量が大幅に少なくなり、信頼性の
高い磁気ディスク記録装置に利用できる。The magnetic head slider according to the present invention is so small that it cannot be used even with small scratches or chippings.
Workability is also required, but since carbon with good slidability remains in the matrix and there is no problem with slidability, and carbon with good cutting is added, there is no problem with workability The friction coefficient between the disk and the magnetic head slider is reduced, and the amount of wear is significantly reduced, which can be used for a highly reliable magnetic disk recording apparatus.
【００２１】以上のように本発明による焼結体は加工性
に優れ、なおかつ摺動性に優れているので、磁気ヘッド
スライダー，ヘッドディスクアッセンブリーなどの材料
に最適である。また、他の摺動部材としても用いること
ができる。As described above, the sintered body according to the present invention is excellent in workability and slidability, and is therefore suitable as a material for magnetic head sliders, head disk assemblies and the like. It can also be used as another sliding member.
【図１】ＴｉＯ2 に酸化物を添加した焼結体の摩擦係
数。FIG. 1 is a friction coefficient of a sintered body obtained by adding an oxide to TiO 2 .
【図２】ＴｉＯ2−５vol％Ｎｂ2Ｏ5にカーボン量を変え
添加した焼結体の摩擦係数。FIG. 2 is a friction coefficient of a sintered body obtained by adding different amounts of carbon to TiO 2 -5vol% Nb 2 O 5 .
【図３】ＴｉＯ2−５vol％Ｎｂ2Ｏ5−５vol％Ｃに金属
Ｔｉを０.５vol％〜２０vol％添加した焼結材の摩擦係
数。FIG. 3 is a friction coefficient of a sintered material in which metallic Ti is added to TiO 2 -5vol% Nb 2 O 5 -5vol% C in an amount of 0.5vol% to 20vol%.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中川 師夫 茨城県日立市大みか町七丁目１番１号 株 式会社日立製作所日立研究所内 (72)発明者 二反田 文雄 埼玉県熊谷市三ケ尻5200番地 日立金属株 式会社磁性材料研究所内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (72) Inventor Shigeo Nakagawa 7-1-1 Omika-cho, Hitachi City, Ibaraki Hitachi Ltd. Hitachi Research Laboratory, Ltd. Inside the Magnetic Materials Research Laboratory, a metal stock company
Claims (4)
vol％のＮｂ2Ｏ5および５vol％〜２０vol％ の黒鉛を含
む焼結体からなることを特徴とした磁気ヘッドスライダ
ー。1. A main component of TiO 2 is 0.5 vol% to 20.
A magnetic head slider comprising a sintered body containing vol% Nb 2 O 5 and 5 vol% to 20 vol% graphite.
vol％のＮｂ2Ｏ5，５vol％〜２０vol％ の黒鉛および２
vol％〜１０vol％の金属Ｔｉを含む焼結体からなること
を特徴とした磁気ヘッドスライダー。 2. A main component of TiO 2 is 0.5 vol% to 20.
vol% Nb 2 O 5 , 5 vol% to 20 vol% graphite and 2
A magnetic head slider comprising a sintered body containing vol% to 10 vol% of metallic Ti.
の黒鉛周囲に５μｍ以下のＴｉとの反応層を形成してい
ることを特徴とした磁気ヘッドスライダー。3. A magnetic head slider according to claim 1, wherein a reaction layer with Ti of 5 μm or less is formed around graphite in the sintered body.
気ヘッドスライダーとスッパッタ又はめっきで作製され
た磁性膜を有する連続型磁気ディスクとの組み合わせか
らなることを特徴とした磁気ディスク装置。4. A magnetic disk device comprising a combination of the magnetic head slider according to claim 1 and a continuous type magnetic disk having a magnetic film produced by spatter or plating. .
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16950395A JPH0922517A (en) | 1995-07-05 | 1995-07-05 | Magnetic head slider and magnetic disk device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16950395A JPH0922517A (en) | 1995-07-05 | 1995-07-05 | Magnetic head slider and magnetic disk device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0922517A true JPH0922517A (en) | 1997-01-21 |
Family
ID=15887726
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16950395A Pending JPH0922517A (en) | 1995-07-05 | 1995-07-05 | Magnetic head slider and magnetic disk device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0922517A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8545076B2 (en) | 2009-11-20 | 2013-10-01 | Corning Incorporated | Optical fiber illumination systems and methods |
-
1995
- 1995-07-05 JP JP16950395A patent/JPH0922517A/en active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8545076B2 (en) | 2009-11-20 | 2013-10-01 | Corning Incorporated | Optical fiber illumination systems and methods |
| US8591087B2 (en) | 2009-11-20 | 2013-11-26 | Corning Incorporated | Optical fiber illumination systems and methods |
| USRE46098E1 (en) | 2009-11-20 | 2016-08-09 | Corning Incorporated | Optical fiber illumination systems and methods |
| USRE47499E1 (en) | 2009-11-20 | 2019-07-09 | Corning Incorporated | Optical fiber illumination systems and methods |
| USRE49416E1 (en) | 2009-11-20 | 2023-02-14 | Corning Incorporated | Optical fiber illumination systems and methods |
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