JPH09222315A - パターン検査装置 - Google Patents
パターン検査装置Info
- Publication number
- JPH09222315A JPH09222315A JP8052538A JP5253896A JPH09222315A JP H09222315 A JPH09222315 A JP H09222315A JP 8052538 A JP8052538 A JP 8052538A JP 5253896 A JP5253896 A JP 5253896A JP H09222315 A JPH09222315 A JP H09222315A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bending
- image data
- difference
- pattern
- density
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/956—Inspecting patterns on the surface of objects
- G01N21/95607—Inspecting patterns on the surface of objects using a comparative method
Landscapes
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Pathology (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Image Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 簡便な構成で高速に処理できる、パターンの
曲りの検査装置を提供する。 【解決手段】 長さ方向に垂直な方向に平行に配列され
た複数の直線状のパターン2の曲りを検査する装置であ
って、前記長さ方向において位置が異なる第1および第
2の点をそれぞれ通りかつ前記長さ方向に垂直な第1お
よび第2のライン3、5上における前記直線状パターン
の第1および第2の画像データ(b)、(c)を光電変
換により取得するデータ取得手段と、この第1および第
2の画像データの差(d)に基づいて前記直線状パター
ンの曲りを検出するデータ処理手段とを備える。前記第
1および第2の画像データの濃度の前記第1および第2
のライン方向の位置xに対する変化はsin2xで近似でき
るときは、前記データ処理手段は、これら双方の変化の
間の位相差δと濃度差との間に成り立つ関係を利用して
前記曲りの検出を行うことができる。
曲りの検査装置を提供する。 【解決手段】 長さ方向に垂直な方向に平行に配列され
た複数の直線状のパターン2の曲りを検査する装置であ
って、前記長さ方向において位置が異なる第1および第
2の点をそれぞれ通りかつ前記長さ方向に垂直な第1お
よび第2のライン3、5上における前記直線状パターン
の第1および第2の画像データ(b)、(c)を光電変
換により取得するデータ取得手段と、この第1および第
2の画像データの差(d)に基づいて前記直線状パター
ンの曲りを検出するデータ処理手段とを備える。前記第
1および第2の画像データの濃度の前記第1および第2
のライン方向の位置xに対する変化はsin2xで近似でき
るときは、前記データ処理手段は、これら双方の変化の
間の位相差δと濃度差との間に成り立つ関係を利用して
前記曲りの検出を行うことができる。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、TABテープのイ
ンナーリードのような、長さ方向に垂直な方向に平行に
配列した複数の直線状のパターンの曲りを検査する装置
に関する。
ンナーリードのような、長さ方向に垂直な方向に平行に
配列した複数の直線状のパターンの曲りを検査する装置
に関する。
【0002】
【従来の技術および発明が解決しようとする課題】リー
ド線の曲りを検査する必要があるものとして、図6に示
すように、リード線2の片側が解放されているものや、
図7に示すように、リード線2の両側が基板1によって
保持されているものがある。特に、TAB用のインナー
リードは、図6のように、片持ちになっており、先端が
曲がり(なびき)やすい。
ド線の曲りを検査する必要があるものとして、図6に示
すように、リード線2の片側が解放されているものや、
図7に示すように、リード線2の両側が基板1によって
保持されているものがある。特に、TAB用のインナー
リードは、図6のように、片持ちになっており、先端が
曲がり(なびき)やすい。
【0003】従来、このようなリード線の曲りの検査は
目視検査を中心に行なわれている。しかし、これによれ
ば、検査員によって検査基準や計測値が変動し、定量的
な評価を行なうことができないという問題がある。ま
た、インナーリードの曲りの検査では、10μm程度の
曲りを検出することが要求される。したがって、自動計
測を行なうために、インナーリードの画像データを2値
化処理するとなると、高分解能かつ複数視野による計測
が必要となる。またしたがって、装置構成が複雑とな
り、処理速度も遅くなってしまう。
目視検査を中心に行なわれている。しかし、これによれ
ば、検査員によって検査基準や計測値が変動し、定量的
な評価を行なうことができないという問題がある。ま
た、インナーリードの曲りの検査では、10μm程度の
曲りを検出することが要求される。したがって、自動計
測を行なうために、インナーリードの画像データを2値
化処理するとなると、高分解能かつ複数視野による計測
が必要となる。またしたがって、装置構成が複雑とな
り、処理速度も遅くなってしまう。
【0004】そこで本発明の目的は、簡便な構成で高速
に処理できる、パターンの曲りの検査装置を提供するこ
とにある。
に処理できる、パターンの曲りの検査装置を提供するこ
とにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
本発明のパターン検査装置は、長さ方向に垂直な方向に
平行に配列された複数の直線状のパターンの曲りを検査
する装置であって、前記長さ方向において位置が異なる
第1および第2の点をそれぞれ通りかつ前記長さ方向に
垂直な第1および第2のライン上における前記直線状パ
ターンの第1および第2の画像データを光電変換により
取得するデータ取得手段と、この第1および第2の画像
データの差に基づいて前記直線状パターンの曲りを検出
するデータ処理手段とを具備することを特徴とする。前
記パターンとしては、例えばTABテープのインナーリ
ードのパターンが該当する。
本発明のパターン検査装置は、長さ方向に垂直な方向に
平行に配列された複数の直線状のパターンの曲りを検査
する装置であって、前記長さ方向において位置が異なる
第1および第2の点をそれぞれ通りかつ前記長さ方向に
垂直な第1および第2のライン上における前記直線状パ
ターンの第1および第2の画像データを光電変換により
取得するデータ取得手段と、この第1および第2の画像
データの差に基づいて前記直線状パターンの曲りを検出
するデータ処理手段とを具備することを特徴とする。前
記パターンとしては、例えばTABテープのインナーリ
ードのパターンが該当する。
【0006】前記第1および第2の画像データの濃度の
前記第1および第2のライン方向の位置xに対する変化
がsin2xで近似できる場合、前記データ処理手段は、こ
れら双方の変化の間の位相差δと濃度差との間に成り立
つ関係を利用して前記曲りの検出を行うことができる。
前記第1および第2のライン方向の位置xに対する変化
がsin2xで近似できる場合、前記データ処理手段は、こ
れら双方の変化の間の位相差δと濃度差との間に成り立
つ関係を利用して前記曲りの検出を行うことができる。
【0007】
【発明の実施の形態】図1は、本発明の一実施形態に係
るパターン検査装置を示す概略図である。この検査装置
は、TAB用のインナーリードの曲り(なびき、変形
等)の有無を検査するものである。インナーリードは、
図2に示すように、TABテープ1上において、長さ方
向に垂直な方向に平行に配列された複数の直線状のリー
ド2のパターンを有している。本検査装置は、図1およ
び2に示すように、リード2の長さ方向において位置が
異なる第1および第2の点をそれぞれ通りかつリード2
の長さ方向に垂直な第1および第2のライン3、5上に
おけるリード2の第1および第2の画像データを光電変
換により取得するデータ取得手段と、この第1および第
2の画像データの差に基づいてリード2の曲りの有無を
判定するための画像処理装置7とを備える。データ取得
手段は、TABテープ1上を照明する照明手段9と、こ
れによって照明されたTABテープ1上のインナーリー
ドを撮影するTVカメラ11とを有する。照明手段9の
代わりに、TABテープ1を下面から透過光により照明
する照明手段13を用いてもよく、あるいは両方を交互
に用い、反射光および透過光の双方により検査してもよ
い。
るパターン検査装置を示す概略図である。この検査装置
は、TAB用のインナーリードの曲り(なびき、変形
等)の有無を検査するものである。インナーリードは、
図2に示すように、TABテープ1上において、長さ方
向に垂直な方向に平行に配列された複数の直線状のリー
ド2のパターンを有している。本検査装置は、図1およ
び2に示すように、リード2の長さ方向において位置が
異なる第1および第2の点をそれぞれ通りかつリード2
の長さ方向に垂直な第1および第2のライン3、5上に
おけるリード2の第1および第2の画像データを光電変
換により取得するデータ取得手段と、この第1および第
2の画像データの差に基づいてリード2の曲りの有無を
判定するための画像処理装置7とを備える。データ取得
手段は、TABテープ1上を照明する照明手段9と、こ
れによって照明されたTABテープ1上のインナーリー
ドを撮影するTVカメラ11とを有する。照明手段9の
代わりに、TABテープ1を下面から透過光により照明
する照明手段13を用いてもよく、あるいは両方を交互
に用い、反射光および透過光の双方により検査してもよ
い。
【0008】また、TVカメラのかわりに複数のライン
センサを配置してもよい。あるいは1本のラインセンサ
を有し、TABテープを動かしながら検査してもよい。
センサを配置してもよい。あるいは1本のラインセンサ
を有し、TABテープを動かしながら検査してもよい。
【0009】この構成において、TVカメラ11を介し
て得られるインナーリードの画像データは、画像処理装
置7によって取り込まれる。画像処理装置7は、この画
像データから、図2(a)に示すようなライン3および
5のそれぞれに沿った、図2(b)および(c)にそれ
ぞれ示すような強度プロファイルを得、さらにこれらの
差分信号(同図(d))を得る。このとき、インナーリ
ード中に曲ったリード2aがある場合は、その部分に対
応して、差分信号においては、図2(d)に示すよう
に、強度の強い部分と弱い部分とが隣接した部分Bが現
れる。また、先端が細くなったリード2bがある場合
は、差分信号は、リード2bの両端部分において強度が
弱くなる。したがって、画像処理装置7は、差分信号に
おいて、一定の強度L1以上、あるいは一定の強度L2
以下の部分があるか否かを調べることにより、リードの
曲りや先細り等の異状の存在を検出することができる。
て得られるインナーリードの画像データは、画像処理装
置7によって取り込まれる。画像処理装置7は、この画
像データから、図2(a)に示すようなライン3および
5のそれぞれに沿った、図2(b)および(c)にそれ
ぞれ示すような強度プロファイルを得、さらにこれらの
差分信号(同図(d))を得る。このとき、インナーリ
ード中に曲ったリード2aがある場合は、その部分に対
応して、差分信号においては、図2(d)に示すよう
に、強度の強い部分と弱い部分とが隣接した部分Bが現
れる。また、先端が細くなったリード2bがある場合
は、差分信号は、リード2bの両端部分において強度が
弱くなる。したがって、画像処理装置7は、差分信号に
おいて、一定の強度L1以上、あるいは一定の強度L2
以下の部分があるか否かを調べることにより、リードの
曲りや先細り等の異状の存在を検出することができる。
【0010】次に、画像データにおけるライン3および
5に沿った方向の位置xに対する濃度変化がsin2xで近
似できる場合について説明する。ここでは、リード2の
配列ピッチは90μm、この長さに対応する、画像デー
タにおける画素数は7、リード2の線幅は45μm、こ
れに対応する画素数は3.5である。この場合、ライン
3または5に沿った濃度変化は例えば図3に示すような
ものとなる。このようなライン3および5に沿った濃度
変化をsin2xで近似し、両者間の位相差をδとすれば、
濃度差は、sin2x−sin2(x−δ)=sin2x−cos2(x
−δ+π/2)=−cos (2x−δ+π/2)× cos
(δ−π/2)=−cos (2x−δ+π/2)× sinδ
となる。したがって、濃度差の最大値は、位相差δに応
じて変動することがわかる。この関係を図4に示す。画
像処理装置7はこの位相差δと濃度差との間に成り立つ
関係を利用して前記判定を行う。
5に沿った方向の位置xに対する濃度変化がsin2xで近
似できる場合について説明する。ここでは、リード2の
配列ピッチは90μm、この長さに対応する、画像デー
タにおける画素数は7、リード2の線幅は45μm、こ
れに対応する画素数は3.5である。この場合、ライン
3または5に沿った濃度変化は例えば図3に示すような
ものとなる。このようなライン3および5に沿った濃度
変化をsin2xで近似し、両者間の位相差をδとすれば、
濃度差は、sin2x−sin2(x−δ)=sin2x−cos2(x
−δ+π/2)=−cos (2x−δ+π/2)× cos
(δ−π/2)=−cos (2x−δ+π/2)× sinδ
となる。したがって、濃度差の最大値は、位相差δに応
じて変動することがわかる。この関係を図4に示す。画
像処理装置7はこの位相差δと濃度差との間に成り立つ
関係を利用して前記判定を行う。
【0011】例えば、リード2が線幅の1/4曲ること
は、位相がπ/8ずれることを意味する。したがって、
線幅の1/4以上の曲りを異常と判定するとすれば、位
相差δがπ/8のときの濃度差の最大値 sin(π/8)
=0.383以上の濃度差があった場合に、異常である
と判定すれば良い。
は、位相がπ/8ずれることを意味する。したがって、
線幅の1/4以上の曲りを異常と判定するとすれば、位
相差δがπ/8のときの濃度差の最大値 sin(π/8)
=0.383以上の濃度差があった場合に、異常である
と判定すれば良い。
【0012】濃度変化をsin2xで近似していたので、実
際には、例えばリード2上の画素データの濃度を20
0、バックグラウンドの濃度を30とすれば、位相差δ
がπ/8のときの濃度差の最大値は(200−30)×
sin(π/8)=65.06であるから、この値を閾値
とする。そして、図5に示すような、画像データのライ
ン3および5にそれぞれ沿った各画素の濃度の差におい
て、この閾値を超える部分があるとすれば、その部分の
リード線はライン3および5間で線幅の1/4以上曲っ
ていると判定することができる。
際には、例えばリード2上の画素データの濃度を20
0、バックグラウンドの濃度を30とすれば、位相差δ
がπ/8のときの濃度差の最大値は(200−30)×
sin(π/8)=65.06であるから、この値を閾値
とする。そして、図5に示すような、画像データのライ
ン3および5にそれぞれ沿った各画素の濃度の差におい
て、この閾値を超える部分があるとすれば、その部分の
リード線はライン3および5間で線幅の1/4以上曲っ
ていると判定することができる。
【0013】このように、ライン3および5に沿った濃
度変化をsin2xで近似し、これら双方の変化の間の位相
差δと濃度差との間に成り立つ関係を利用して曲りの検
出を行うことにより、低分解能(15〜20μm/ピク
セル)による広い視野(10〜15mm角)により、ま
た高速かつ簡単な構成により、TAB用のインナーリー
ドの曲りの検査を行なうことができる。
度変化をsin2xで近似し、これら双方の変化の間の位相
差δと濃度差との間に成り立つ関係を利用して曲りの検
出を行うことにより、低分解能(15〜20μm/ピク
セル)による広い視野(10〜15mm角)により、ま
た高速かつ簡単な構成により、TAB用のインナーリー
ドの曲りの検査を行なうことができる。
【0014】なお、この例では第1および第2のライン
として、ライン3および5の2本のラインしか用いてい
ないが、より多くのラインを用い、それら各ライン間で
濃度を比較することにより、曲りの程度をさらに詳細に
検査することができる。
として、ライン3および5の2本のラインしか用いてい
ないが、より多くのラインを用い、それら各ライン間で
濃度を比較することにより、曲りの程度をさらに詳細に
検査することができる。
【0015】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、第
1および第2のライン上における画像データの差に基づ
いて直線状パターンの曲りを検出するようにしたため、
二値化等の処理量の多い画像処理を必要とすることな
く、高速に検査を行なうことができる。
1および第2のライン上における画像データの差に基づ
いて直線状パターンの曲りを検出するようにしたため、
二値化等の処理量の多い画像処理を必要とすることな
く、高速に検査を行なうことができる。
【0016】また、画像データの濃度の第1および第2
のラインに沿った変化をsin2xで近似し、これら変化の
間の位相差δと濃度差との間に成り立つ関係を利用して
曲りの検出を行うことにより、低分解能による広い視野
により、したがってさらに高速かつ簡単な構成により、
検査を行なうことができる。
のラインに沿った変化をsin2xで近似し、これら変化の
間の位相差δと濃度差との間に成り立つ関係を利用して
曲りの検出を行うことにより、低分解能による広い視野
により、したがってさらに高速かつ簡単な構成により、
検査を行なうことができる。
【図1】 本発明の一実施形態に係るパターン検査装置
を示す概略図である。
を示す概略図である。
【図2】 図1の装置における動作を説明するための図
である。
である。
【図3】 図1の装置において処理される濃度データを
示す図である。
示す図である。
【図4】 図1の装置において、濃度差の最大値が位相
差δに応じて変動する様子を示すグラフである。
差δに応じて変動する様子を示すグラフである。
【図5】 図1の装置により実際に曲りを検査する場合
の濃度差を示すグラフである。
の濃度差を示すグラフである。
【図6】 リード線の片側が解放されている場合を示す
模式図である。
模式図である。
【図7】 リード線の両側が基板によって保持されてい
る場合を示す図である。
る場合を示す図である。
1:TABテープ、2:リード、3:第1のライン、
5:第2のライン、7:画像処理装置、9:照明手段、
11:TVカメラ、13:照明手段。
5:第2のライン、7:画像処理装置、9:照明手段、
11:TVカメラ、13:照明手段。
Claims (3)
- 【請求項1】 長さ方向に垂直な方向に平行に配列され
た複数の直線状のパターンの曲りを検査する装置であっ
て、前記長さ方向において位置が異なる第1および第2
の点をそれぞれ通りかつ前記長さ方向に垂直な第1およ
び第2のライン上における前記直線状パターンの第1お
よび第2の画像データを光電変換により取得するデータ
取得手段と、この第1および第2の画像データの差に基
づいて前記直線状パターンの曲りを検出するデータ処理
手段とを具備することを特徴とするパターン検査装置。 - 【請求項2】 前記パターンはTABテープのインナー
リードのパターンであることを特徴とする請求項1記載
のパターン検査装置。 - 【請求項3】 前記第1および第2の画像データの濃度
の前記第1および第2のライン方向の位置xに対する変
化はsin2xで近似できるものであり、前記データ処理手
段は、これら双方の変化の間の位相差δと濃度差との間
に成り立つ関係を利用して前記曲りの検出を行うもので
あることを特徴とする請求項1または2記載のパターン
検査装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP05253896A JP3410280B2 (ja) | 1996-02-16 | 1996-02-16 | パターン検査装置 |
US08/794,394 US5995216A (en) | 1996-02-16 | 1997-02-06 | Pattern inspection apparatus |
KR1019970004590A KR100268975B1 (ko) | 1996-02-16 | 1997-02-15 | 패턴검사장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP05253896A JP3410280B2 (ja) | 1996-02-16 | 1996-02-16 | パターン検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09222315A true JPH09222315A (ja) | 1997-08-26 |
JP3410280B2 JP3410280B2 (ja) | 2003-05-26 |
Family
ID=12917560
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP05253896A Expired - Fee Related JP3410280B2 (ja) | 1996-02-16 | 1996-02-16 | パターン検査装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5995216A (ja) |
JP (1) | JP3410280B2 (ja) |
KR (1) | KR100268975B1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007183274A (ja) * | 2005-12-28 | 2007-07-19 | Stemco Co Ltd | フレキシブル回路基板の外観検査装置及び検査方法 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SG42307A1 (en) * | 1996-01-09 | 1997-08-15 | Peng Seng Toh | Measurement and inspection of leads on integrated circuit packages |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5490084A (en) * | 1987-06-01 | 1996-02-06 | Hitachi Techno Engineering Co., Ltd. | Method and apparatus for detecting bent leads in electronic components |
JP2885443B2 (ja) * | 1989-10-25 | 1999-04-26 | 株式会社東芝 | フラットパッケージ集積回路のリード検査装置 |
US5113565A (en) * | 1990-07-06 | 1992-05-19 | International Business Machines Corp. | Apparatus and method for inspection and alignment of semiconductor chips and conductive lead frames |
JPH05152405A (ja) * | 1991-11-28 | 1993-06-18 | Fujitsu Ltd | 外観検査装置 |
US5452368A (en) * | 1993-08-02 | 1995-09-19 | Motorola, Inc. | Method of detecting defects in semiconductor package leads |
US5648853A (en) * | 1993-12-09 | 1997-07-15 | Robotic Vision Systems, Inc. | System for inspecting pin grid arrays |
US5617209A (en) * | 1995-04-27 | 1997-04-01 | View Engineering, Inc. | Method and system for triangulation-based, 3-D imaging utilizing an angled scaning beam of radiant energy |
-
1996
- 1996-02-16 JP JP05253896A patent/JP3410280B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1997
- 1997-02-06 US US08/794,394 patent/US5995216A/en not_active Expired - Fee Related
- 1997-02-15 KR KR1019970004590A patent/KR100268975B1/ko not_active IP Right Cessation
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007183274A (ja) * | 2005-12-28 | 2007-07-19 | Stemco Co Ltd | フレキシブル回路基板の外観検査装置及び検査方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR970063622A (ko) | 1997-09-12 |
US5995216A (en) | 1999-11-30 |
KR100268975B1 (ko) | 2000-12-01 |
JP3410280B2 (ja) | 2003-05-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR940002503B1 (ko) | 땜납 외관 검사장치 | |
US3797943A (en) | Surface inspecting apparatus | |
US7286234B2 (en) | Copper foil inspection device copper foil inspection method defect inspection device and defeat inspection method | |
JP3410280B2 (ja) | パターン検査装置 | |
US6885463B2 (en) | Sensor device that provides part quality and profile information | |
KR100484812B1 (ko) | 이미지 센서를 이용한 표면 검사방법 및 검사장치 | |
JPS63269006A (ja) | 平面度検査装置 | |
JP3184287B2 (ja) | 光拡散体の検査装置 | |
JPH10132754A (ja) | リードフレームの外観検査装置 | |
JPH11230912A (ja) | 表面欠陥検出装置及びその方法 | |
JPH08285790A (ja) | ガラス繊維シート用欠陥検出方法 | |
JPS61129512A (ja) | リ−ド曲がり検査装置 | |
JP2517385Y2 (ja) | 半導体装置の樹脂欠け検査装置 | |
JPS6319793Y2 (ja) | ||
JPH01214743A (ja) | 光学検査装置 | |
JP2601232B2 (ja) | Icリードずれ検査装置 | |
JPH07244796A (ja) | 車両検知装置 | |
JP3241785B2 (ja) | 光拡散体の検査装置 | |
JPS62237305A (ja) | パタ−ン欠陥検査方法 | |
JPH08271442A (ja) | 表面欠陥検出方法および装置 | |
JPS60210745A (ja) | 視覚センサシステム | |
JPS63156288A (ja) | パタ−ン検査装置 | |
JPH01303259A (ja) | 板状体継目検出方法及びこれに使用するマーク検出装置 | |
JPS6333094B2 (ja) | ||
JPS60257137A (ja) | パタ−ン検査装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |