JPH0921827A - 抵抗測定装置 - Google Patents
抵抗測定装置Info
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- JPH0921827A JPH0921827A JP16999995A JP16999995A JPH0921827A JP H0921827 A JPH0921827 A JP H0921827A JP 16999995 A JP16999995 A JP 16999995A JP 16999995 A JP16999995 A JP 16999995A JP H0921827 A JPH0921827 A JP H0921827A
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- resistance
- measuring device
- resistance measuring
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 湾曲した面に塗布した薄膜の抵抗測定に於い
て表面を傷つけずに安定した抵抗値を得る。 【解決手段】 プローブ26に導電性樹脂或いは導電性
ゴムを用いると共にプローブ26を保持する保持部材2
3それ自体或いはこの保持部材23の下側の表皮部材2
5にエア等を吹き込んだ緩衝部材を設け、測定部の曲面
に合わせてプローブ26の接触位置を変化させる様に構
成する。
て表面を傷つけずに安定した抵抗値を得る。 【解決手段】 プローブ26に導電性樹脂或いは導電性
ゴムを用いると共にプローブ26を保持する保持部材2
3それ自体或いはこの保持部材23の下側の表皮部材2
5にエア等を吹き込んだ緩衝部材を設け、測定部の曲面
に合わせてプローブ26の接触位置を変化させる様に構
成する。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は曲面の表面抵抗を計
測するに適した抵抗測定装置に係わり、特に、陰極線管
に塗布したカーボン膜抵抗の計測に好適な抵抗測定装置
に関する。
測するに適した抵抗測定装置に係わり、特に、陰極線管
に塗布したカーボン膜抵抗の計測に好適な抵抗測定装置
に関する。
【0002】
【従来の技術】従来から陰極線管のファンネル加工工程
では図8に示すガラスファンネル1を図7に示す第1ス
テップST1 の様にファンネル洗浄を行った後に第2ス
テップST2 でネック2の内壁に第1のネックカーボン
3の塗布を行った後に第3ステップST3 でコーン部4
の内壁にコーンカーボン5の塗布が行われ、第4ステッ
プST4 で、これら塗布カーボンの乾燥が行われた後に
第5ステップST5 でネック2内壁への第2のネックカ
ーボン3の塗布が再び行なわれる。
では図8に示すガラスファンネル1を図7に示す第1ス
テップST1 の様にファンネル洗浄を行った後に第2ス
テップST2 でネック2の内壁に第1のネックカーボン
3の塗布を行った後に第3ステップST3 でコーン部4
の内壁にコーンカーボン5の塗布が行われ、第4ステッ
プST4 で、これら塗布カーボンの乾燥が行われた後に
第5ステップST5 でネック2内壁への第2のネックカ
ーボン3の塗布が再び行なわれる。
【0003】次の第6ステップST6 ではゲッタのサブ
組立工程で得られたゲッタをネック2内に装着した後に
第7ステップST7 でコーンカーボン5の抵抗測定等の
検査が行なわれる。
組立工程で得られたゲッタをネック2内に装着した後に
第7ステップST7 でコーンカーボン5の抵抗測定等の
検査が行なわれる。
【0004】即ち、カーボン塗布膜の所定位置での間隔
の抵抗値を測定することでカーボン塗布膜厚を抵抗値で
管理する様に成されている。この様な第7ステップST
7 の検査工程の後にフェースパネル面との間にフリット
塗布(第8ステップST8 )や乾燥(第9ステップST
9 )等が進められて行く。
の抵抗値を測定することでカーボン塗布膜厚を抵抗値で
管理する様に成されている。この様な第7ステップST
7 の検査工程の後にフェースパネル面との間にフリット
塗布(第8ステップST8 )や乾燥(第9ステップST
9 )等が進められて行く。
【0005】この様な抵抗測定位置は図8で示す様にア
ノード釦6の近傍(横)と、HVコンダクタ接触部7並
びにガラスファンネル1のコーナ部8,9,10,11
部分である。
ノード釦6の近傍(横)と、HVコンダクタ接触部7並
びにガラスファンネル1のコーナ部8,9,10,11
部分である。
【0006】この様な抵抗測定位置での抵抗測定を行な
うための従来の抵抗測定装置の構成を図9に示す。図9
は抵抗測定時のプローブ装置の側断面図を示すものであ
り、ケーシング12の上端面に穿った開口部13から所
定間隔D=10mmで突出させたステンレス鋼(su
s)等で針状に構成したプローブ14を摺動板15に植
立し、摺動板15はケーシング12内でスプリング16
により所定の偏倚力で上方に押圧された構成と成されて
いる。
うための従来の抵抗測定装置の構成を図9に示す。図9
は抵抗測定時のプローブ装置の側断面図を示すものであ
り、ケーシング12の上端面に穿った開口部13から所
定間隔D=10mmで突出させたステンレス鋼(su
s)等で針状に構成したプローブ14を摺動板15に植
立し、摺動板15はケーシング12内でスプリング16
により所定の偏倚力で上方に押圧された構成と成されて
いる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】上記した例えばコーン
カーボン膜の抵抗測定に於いて、抵抗測定を行なうため
には左手でガラスファンネル1を固定し、右手で図9の
ケーシング12を以てプローブ14の先端をカーボン膜
5上に押圧させる様に成される。この場合に例えばコー
ナ8〜11等にプローブ14を対接させると、この部分
は所定の曲率を以て湾曲しているため、滑り易く、安定
した状態でプローブ14の先端をコーンカーボン膜5上
に対接出来ないためにカーボン膜が傷つき、或いは削れ
たり、剥離したりすることが多く、削れたカーボンがゴ
ミとなりネック内放電を引き起こす。又、コーナ8〜1
1部分では滑りによって抵抗値を安定に測定出来ない問
題があった。
カーボン膜の抵抗測定に於いて、抵抗測定を行なうため
には左手でガラスファンネル1を固定し、右手で図9の
ケーシング12を以てプローブ14の先端をカーボン膜
5上に押圧させる様に成される。この場合に例えばコー
ナ8〜11等にプローブ14を対接させると、この部分
は所定の曲率を以て湾曲しているため、滑り易く、安定
した状態でプローブ14の先端をコーンカーボン膜5上
に対接出来ないためにカーボン膜が傷つき、或いは削れ
たり、剥離したりすることが多く、削れたカーボンがゴ
ミとなりネック内放電を引き起こす。又、コーナ8〜1
1部分では滑りによって抵抗値を安定に測定出来ない問
題があった。
【0008】本発明は叙上の問題点を解消した抵抗測定
装置を提供しようとするものであり、その目的とすると
ころは抵抗測定部が曲面であっても、滑らず、傷が付か
ない抵抗測定用の特にプローブ装置を得ようとするもの
である。
装置を提供しようとするものであり、その目的とすると
ころは抵抗測定部が曲面であっても、滑らず、傷が付か
ない抵抗測定用の特にプローブ装置を得ようとするもの
である。
【0009】本発明の他の目的は湾曲部の曲率の大小に
掛からず被測定体の曲率の大小に対応して変化可能な構
成を有する抵抗測定用のプローブ装置を得ようとするも
のである。
掛からず被測定体の曲率の大小に対応して変化可能な構
成を有する抵抗測定用のプローブ装置を得ようとするも
のである。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明の抵抗測定装置は
被測定体の表面抵抗を測定する抵抗測定装置に於いて、
先端部にアールを付けた導電性樹脂より成る複数のプロ
ーブと、このプローブが保持される変形可能な湾曲した
プローブの保持部材23と、この保持部材23が係止さ
れるケーシング20とより成るものである。
被測定体の表面抵抗を測定する抵抗測定装置に於いて、
先端部にアールを付けた導電性樹脂より成る複数のプロ
ーブと、このプローブが保持される変形可能な湾曲した
プローブの保持部材23と、この保持部材23が係止さ
れるケーシング20とより成るものである。
【0011】本発明の抵抗測定装置によれば、ガラスフ
ァンネル1の湾曲したコーナ8〜11上のカーボン膜上
にプローブ26を押し付けてもプローブの保持部材26
が被測定体の湾曲した曲率に沿って変形して、プローブ
26の先端をカーボン膜の所定位置に滑りを生ぜずに確
実に接触させることが出来るためカーボン膜の抵抗を安
定して計測出来ると共に傷つけたり、剥離させたりしな
いので耐電圧特性の優れた陰極線管が得られる。
ァンネル1の湾曲したコーナ8〜11上のカーボン膜上
にプローブ26を押し付けてもプローブの保持部材26
が被測定体の湾曲した曲率に沿って変形して、プローブ
26の先端をカーボン膜の所定位置に滑りを生ぜずに確
実に接触させることが出来るためカーボン膜の抵抗を安
定して計測出来ると共に傷つけたり、剥離させたりしな
いので耐電圧特性の優れた陰極線管が得られる。
【0012】
【発明の実施の形態】以下、本発明の抵抗測定装置とし
て陰極線管の内装カーボン膜の様に湾曲面を有する被測
定体の抵抗測定に便なる構成を図1乃至図3によって詳
記する。図1は本例の抵抗測定装置の斜視図、図2はA
−A線に沿う断面矢視図、図3はプローブの接続図であ
る。
て陰極線管の内装カーボン膜の様に湾曲面を有する被測
定体の抵抗測定に便なる構成を図1乃至図3によって詳
記する。図1は本例の抵抗測定装置の斜視図、図2はA
−A線に沿う断面矢視図、図3はプローブの接続図であ
る。
【0013】図1及び図2に於いて、ケーシング20は
略直方体状の箱型と成され、上面には長方形状の開口部
22が穿たれ、この開口部22の長辺方向に沿って半円
形状の左右案内側板21L及び21Rが形成されてい
る。
略直方体状の箱型と成され、上面には長方形状の開口部
22が穿たれ、この開口部22の長辺方向に沿って半円
形状の左右案内側板21L及び21Rが形成されてい
る。
【0014】ケーシング20内には長方形の板材から成
る摺動板31が配され、ケーシング20の底板と摺動板
31との間に介在させたスプリング32によって摺動板
31を上動させる様な偏倚力が与えられている。
る摺動板31が配され、ケーシング20の底板と摺動板
31との間に介在させたスプリング32によって摺動板
31を上動させる様な偏倚力が与えられている。
【0015】摺動板31はケーシング20の空室内で上
下動自在と成され、この摺動板31の上面にはエア吸入
管27からエア33を送入することで所定形状に膨らむ
風船の如き表皮部材25を固定する。
下動自在と成され、この摺動板31の上面にはエア吸入
管27からエア33を送入することで所定形状に膨らむ
風船の如き表皮部材25を固定する。
【0016】上記表皮部材は例えばゴム等の弾性材料で
構成され、その上面はケーシング20の開口部22より
突出され、半円形状に湾曲された曲面を有し、その曲面
は左右案内側板21L及び21Rの半円状の曲率より急
峻な曲率と成され、開口部22の長辺方向から視た全体
的形状は開口部22の短辺方向と略同一寸法の円筒を直
径方向に裁断した半円形状と成されている。
構成され、その上面はケーシング20の開口部22より
突出され、半円形状に湾曲された曲面を有し、その曲面
は左右案内側板21L及び21Rの半円状の曲率より急
峻な曲率と成され、開口部22の長辺方向から視た全体
的形状は開口部22の短辺方向と略同一寸法の円筒を直
径方向に裁断した半円形状と成されている。
【0017】勿論、この表皮部材の形状は上述した形状
に限られたものではなく、例えばウインナ状に形成し、
上面を弓状に折り曲げて摺動板31等に所定方法で固定
させる様にしてもよい。
に限られたものではなく、例えばウインナ状に形成し、
上面を弓状に折り曲げて摺動板31等に所定方法で固定
させる様にしてもよい。
【0018】エア吸入管27の一端は表皮部材25に固
定され他端はケーシング20の前面から図1の様に突出
され、図示しないエア供給源にホース等を介して接続す
るか、エア吸入管の入口部に弁を設けて、エア吸入管2
7から所定量のエアを挿入した後に弁を閉じる様に成し
てもよい。
定され他端はケーシング20の前面から図1の様に突出
され、図示しないエア供給源にホース等を介して接続す
るか、エア吸入管の入口部に弁を設けて、エア吸入管2
7から所定量のエアを挿入した後に弁を閉じる様に成し
てもよい。
【0019】表皮部材25上にはこの表皮部材25上面
を保護する保護膜24で覆った後に同じく弓状に湾曲し
た略長方形状の絶縁材より成るプローブ26の保持部材
23を保護膜24上に固定する。
を保護する保護膜24で覆った後に同じく弓状に湾曲し
た略長方形状の絶縁材より成るプローブ26の保持部材
23を保護膜24上に固定する。
【0020】保持部材23上には、その長手方向に沿っ
て4個のプローブ26を所定の間隔を隔てて立設する。
て4個のプローブ26を所定の間隔を隔てて立設する。
【0021】プローブ26は図3の様に保持部材23の
内側に並べられた二つのプローブ26a間で抵抗測定が
行われ、この両プローブ26間のカーボン膜の抵抗値を
測定器30で測定する。又、保持部材23の外側の二つ
のプローブ26b間には電圧源35から所定の電圧が印
加され、電圧導通用プローブとなる。
内側に並べられた二つのプローブ26a間で抵抗測定が
行われ、この両プローブ26間のカーボン膜の抵抗値を
測定器30で測定する。又、保持部材23の外側の二つ
のプローブ26b間には電圧源35から所定の電圧が印
加され、電圧導通用プローブとなる。
【0022】これらのプローブ26(26a,26b)
は導電性樹脂又は導電性ゴムを用いて表面の接触部には
アールを付けた円柱状に形成し、プローブの保持部材2
3に固定し、保持部材23の下面から取り出したプロー
ブリード34を端子28に接続している。
は導電性樹脂又は導電性ゴムを用いて表面の接触部には
アールを付けた円柱状に形成し、プローブの保持部材2
3に固定し、保持部材23の下面から取り出したプロー
ブリード34を端子28に接続している。
【0023】抵抗測定器30には電圧源を有し、端子2
8と抵抗測定器30間はリード29で接続して抵抗測定
が成される。
8と抵抗測定器30間はリード29で接続して抵抗測定
が成される。
【0024】上述の構成では表皮部材25内にエアを吹
き込み可能なエア吸入管27を配設した構成を説明した
が、この様な吸入管27をとり去った風船状のエア球等
を開口部22に沿って複数個並べる様な構成であった
り、モルトプレンの様に発泡させた緩衝作用のある発泡
合成樹脂或いは弾性ゴム等を所定形状に形成したもので
あってもよく、被測定部の曲面に沿ってプローブ26先
端位置が変形する様に成せばよい。
き込み可能なエア吸入管27を配設した構成を説明した
が、この様な吸入管27をとり去った風船状のエア球等
を開口部22に沿って複数個並べる様な構成であった
り、モルトプレンの様に発泡させた緩衝作用のある発泡
合成樹脂或いは弾性ゴム等を所定形状に形成したもので
あってもよく、被測定部の曲面に沿ってプローブ26先
端位置が変形する様に成せばよい。
【0025】図4乃至図6は、抵抗測定装置の他の構成
を示すものであり、図4は本例の構成図、図5は正面
図、図6は図5のA部拡大図である。
を示すものであり、図4は本例の構成図、図5は正面
図、図6は図5のA部拡大図である。
【0026】図4乃至図6に於いて、直方体状のケーシ
ング20の上面には台形状の突出部36が形成され、台
形状の突出部36の上辺の中央位置にスプリング37で
下端が支持され突出部36に穿った透孔38内で摺動自
在に枢着された摺動棒39を有する。
ング20の上面には台形状の突出部36が形成され、台
形状の突出部36の上辺の中央位置にスプリング37で
下端が支持され突出部36に穿った透孔38内で摺動自
在に枢着された摺動棒39を有する。
【0027】台形の突出部36の形成されたケーシング
20の上面の横方向にはゴム等の2枚の絶縁材でコーテ
ィングされたリーフスプリング40を弓型に湾曲させて
ケーシング20内に切溝43及び43を介して差し込む
様に成したプローブ26を保持する保持部材23を有
し、図5のA部の拡大図の図6に示す様にリーフスプリ
ング40の上にコーティングした第1の絶縁材41と更
にその上にコーティングした第2の絶縁材42間に導電
性樹脂で構成したプローブ26の導出リード34を挟着
してケーシング20内からコード43を経て接栓44に
導出する。
20の上面の横方向にはゴム等の2枚の絶縁材でコーテ
ィングされたリーフスプリング40を弓型に湾曲させて
ケーシング20内に切溝43及び43を介して差し込む
様に成したプローブ26を保持する保持部材23を有
し、図5のA部の拡大図の図6に示す様にリーフスプリ
ング40の上にコーティングした第1の絶縁材41と更
にその上にコーティングした第2の絶縁材42間に導電
性樹脂で構成したプローブ26の導出リード34を挟着
してケーシング20内からコード43を経て接栓44に
導出する。
【0028】ケーシング20内に切溝43を介して挿入
した保持部材23の先端にはストッパ46が挿通されて
切溝43から抜け出ない様に構成されている。
した保持部材23の先端にはストッパ46が挿通されて
切溝43から抜け出ない様に構成されている。
【0029】保持部材23は図4の様に台形状の突出部
に沿って弓状に湾曲され、摺動棒39の先端が保持部材
23のリーフスプリング40の底面と対接する様に成さ
れている。
に沿って弓状に湾曲され、摺動棒39の先端が保持部材
23のリーフスプリング40の底面と対接する様に成さ
れている。
【0030】上述の図1及び図2或いは図4及び図5で
説明した抵抗測定装置によれば被測定体の例えばカーボ
ン膜の形成されたコーナ部等の曲面にケーシング20を
持ちながらプローブ26を押し当てると保持部材23或
いは保持部材23の下側に配設した緩衝部材の動作によ
ってプローブ26(26a,26b)は曲面に沿って対
接するため常に一定の押圧力でカーボン膜表面を押圧
し、安定した抵抗測定が可能となるだけでなく、滑らな
いためにカーボン膜を傷つけたり、剥離させたりする弊
害が除去できる。
説明した抵抗測定装置によれば被測定体の例えばカーボ
ン膜の形成されたコーナ部等の曲面にケーシング20を
持ちながらプローブ26を押し当てると保持部材23或
いは保持部材23の下側に配設した緩衝部材の動作によ
ってプローブ26(26a,26b)は曲面に沿って対
接するため常に一定の押圧力でカーボン膜表面を押圧
し、安定した抵抗測定が可能となるだけでなく、滑らな
いためにカーボン膜を傷つけたり、剥離させたりする弊
害が除去できる。
【0031】更に、導電性樹脂や導電性ゴムを用いてい
るために従来のステンレス鋼等のプローブに比べてカー
ボン膜表面を傷つけることがなく、陰極線管の放電不良
を大幅に減少させることが出来る。勿論、本例の抵抗測
定装置は他の薄膜や曲面以外の平面部の測定に用い得る
ことは明白である。
るために従来のステンレス鋼等のプローブに比べてカー
ボン膜表面を傷つけることがなく、陰極線管の放電不良
を大幅に減少させることが出来る。勿論、本例の抵抗測
定装置は他の薄膜や曲面以外の平面部の測定に用い得る
ことは明白である。
【0032】
【発明の効果】本発明の抵抗測定装置によれば、接触部
で塗膜に傷が付かない為、削れた塗膜が原因となる放電
不良が防げる。平面、曲面共に測定が可能である為、フ
ァンネル内装塗膜以外にも適応範囲は広い。又ファンネ
ル内装の測定に関しては小型から大型まで対応が可能で
ある。4つのプローブを用いる構造である為安定しやす
く、より正確な抵抗値が得やすい。又、作業者によるバ
ラツキも小さくなり管理に有効となる。
で塗膜に傷が付かない為、削れた塗膜が原因となる放電
不良が防げる。平面、曲面共に測定が可能である為、フ
ァンネル内装塗膜以外にも適応範囲は広い。又ファンネ
ル内装の測定に関しては小型から大型まで対応が可能で
ある。4つのプローブを用いる構造である為安定しやす
く、より正確な抵抗値が得やすい。又、作業者によるバ
ラツキも小さくなり管理に有効となる。
【図1】本発明の抵抗測定装置の構成図である。
【図2】図1のA−A線に沿う断面矢視図である。
【図3】本発明の抵抗測定装置に用いるプローブの接続
図である。
図である。
【図4】本発明の抵抗測定装置の他の構成図である。
【図5】本発明の抵抗測定装置の他の一部を断面とする
正面図である。
正面図である。
【図6】図5のA部拡大図である。
【図7】従来のファンネル加工工程説明図である。
【図8】従来のガラスファンネルの斜視図である。
【図9】従来の抵抗測定装置の側断面図である。
20 ケーシング 21L,21R 左右案内側板 22 開口部 23 保持部材 25 表皮部材 26 プローブ
Claims (4)
- 【請求項1】 被測定体の表面抵抗を測定する抵抗測定
装置に於いて、 先端部にアールを付けた導電性樹脂より成る複数のプロ
ーブと、 上記プローブが保持される変形可能な湾曲したプローブ
の保持部材と、 上記保持部材が係止されるケーシングとより成ることを
特徴とする抵抗測定装置。 - 【請求項2】 前記保持部材が弾性部材であることを特
徴とする請求項1記載の抵抗測定装置。 - 【請求項3】 前記保持部材と前記ケーシング間に緩衝
部材を配設して成ることを特徴とする請求項1記載又は
請求項2記載の抵抗測定装置。 - 【請求項4】 前記緩衝部材がエアの吹き込み量によっ
て緩衝効果の変化する表皮部材であることを特徴とする
請求項3記載の抵抗測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16999995A JPH0921827A (ja) | 1995-07-05 | 1995-07-05 | 抵抗測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16999995A JPH0921827A (ja) | 1995-07-05 | 1995-07-05 | 抵抗測定装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0921827A true JPH0921827A (ja) | 1997-01-21 |
Family
ID=15896717
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP16999995A Pending JPH0921827A (ja) | 1995-07-05 | 1995-07-05 | 抵抗測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0921827A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7006046B2 (en) * | 2001-02-15 | 2006-02-28 | Integral Technologies, Inc. | Low cost electronic probe devices manufactured from conductive loaded resin-based materials |
WO2004113933A3 (en) * | 2003-06-16 | 2006-03-02 | Integral Technologies Inc | Low cost electronic probe devices manufactured from conductive loaded resin-based materials |
CN111060799A (zh) * | 2020-01-03 | 2020-04-24 | 淮安芯测半导体有限公司 | 一种真空高低温半导体器件测试探针台 |
JPWO2020234959A1 (ja) * | 2019-05-20 | 2020-11-26 |
-
1995
- 1995-07-05 JP JP16999995A patent/JPH0921827A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7006046B2 (en) * | 2001-02-15 | 2006-02-28 | Integral Technologies, Inc. | Low cost electronic probe devices manufactured from conductive loaded resin-based materials |
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JPWO2020234959A1 (ja) * | 2019-05-20 | 2020-11-26 | ||
WO2020234959A1 (ja) * | 2019-05-20 | 2020-11-26 | 三菱重工機械システム株式会社 | タイヤの電気抵抗測定装置、電気抵抗測定子 |
CN111060799A (zh) * | 2020-01-03 | 2020-04-24 | 淮安芯测半导体有限公司 | 一种真空高低温半导体器件测试探针台 |
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