JPH09218040A - Self-diagnostic method for angular speed sensor - Google Patents
Self-diagnostic method for angular speed sensorInfo
- Publication number
- JPH09218040A JPH09218040A JP8026896A JP2689696A JPH09218040A JP H09218040 A JPH09218040 A JP H09218040A JP 8026896 A JP8026896 A JP 8026896A JP 2689696 A JP2689696 A JP 2689696A JP H09218040 A JPH09218040 A JP H09218040A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibration
- angular velocity
- mass
- driving
- velocity sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Gyroscopes (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、駆動状態の振動質
量に対して回転運動を与えた場合に、駆動方向と直交方
向に発生するコリオリ力を検出し前記回転の角速度を検
出する角速度センサに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an angular velocity sensor for detecting an angular velocity of rotation by detecting a Coriolis force generated in a direction orthogonal to a driving direction when a rotational motion is applied to an oscillating mass in a driving state. .
【０００２】[0002]
〈従来技術１〉従来の角速度センサとしては、例えば、
特開平２−５１０６６号公報に図５に示すような構成を
有するものが開示されており、その構成について説明す
ると、１７はエンリバ材等の恒弾性を有する金属を用い
て三角柱状に形成された振動子である。振動子１７は、
固有振動数で振動すると共に支持体２０により支持され
ている。振動子１７の一面には駆動用圧電素子１８が配
置されている。また、振動子１７の他の二面には検出用
圧電素子１９が設置されている。次にこの角速度センサ
の動作については、駆動用圧電素子１８に電圧を印加す
ることにより、振動子１７は図５のｘ軸方向に固有の振
動数により振動する。この振動状態で図５のｚ軸まわり
の角速度Ωが入力すると、図５のｙ軸方向にコリオリ力
が発生し、振動子１７はｙ軸方向にも振動成分を有する
ようになる。検出用圧電素子１９の出力の差動から、前
記ｙ軸方向に対する振動変位、すなわちコリオリ力を求
めることにより角速度Ωを検出するように構成されてい
る。<Prior Art 1> As a conventional angular velocity sensor, for example,
Japanese Unexamined Patent Publication No. 2-51066 discloses a structure having a structure as shown in FIG. 5, and the structure will be described. 17 is formed in a triangular prism shape using a metal having a constant elasticity such as an enliver material. It is a vibrator. The oscillator 17 is
It vibrates at a natural frequency and is supported by the support 20. A driving piezoelectric element 18 is arranged on one surface of the vibrator 17. A piezoelectric detection element 19 is installed on the other two surfaces of the vibrator 17. Next, regarding the operation of this angular velocity sensor, by applying a voltage to the driving piezoelectric element 18, the vibrator 17 vibrates in the x-axis direction of FIG. When the angular velocity Ω about the z-axis in FIG. 5 is input in this vibration state, Coriolis force is generated in the y-axis direction in FIG. 5, and the vibrator 17 has a vibration component also in the y-axis direction. The angular velocity Ω is detected by determining the vibration displacement in the y-axis direction, that is, the Coriolis force, from the differential output of the detection piezoelectric element 19.
【０００３】図６は、上記角速度の検出用に開示された
回路のブロック図である。すなわち振動子１７、駆動用
圧電素子１８及び検出用圧電素子１９により構成される
振動系は模式図で示されている。駆動用圧電素子１８は
発振回路２１に接続して駆動される。振動子１７の駆動
振幅は一対の検出用圧電素子１９により検出される。検
出用圧電素子１９の出力は、位相補正回路２２に接続さ
れ、自励発振のために発振回路２１に帰還する。コリオ
リ力による振動子１７の変位は、検出用圧電素子１９の
出力差として検出され、差動増幅器２３により増幅され
る。差動増幅器２３の出力は、同期検波器２４により、
振動子の振動振幅信号である位相補正回路２２の出力と
同期検波され直流信号に変換し、直流増幅器２５により
所定の感度に増幅する。FIG. 6 is a block diagram of a circuit disclosed for detecting the angular velocity. That is, a vibration system including the vibrator 17, the driving piezoelectric element 18, and the detecting piezoelectric element 19 is shown in a schematic diagram. The driving piezoelectric element 18 is connected to the oscillation circuit 21 and driven. The drive amplitude of the vibrator 17 is detected by the pair of detection piezoelectric elements 19. The output of the detection piezoelectric element 19 is connected to the phase correction circuit 22 and is fed back to the oscillation circuit 21 for self-oscillation. The displacement of the vibrator 17 due to the Coriolis force is detected as the output difference of the detection piezoelectric element 19 and is amplified by the differential amplifier 23. The output of the differential amplifier 23 is output by the synchronous detector 24.
The output of the phase correction circuit 22, which is a vibration amplitude signal of the vibrator, is synchronously detected and converted into a DC signal, which is amplified to a predetermined sensitivity by a DC amplifier 25.
【０００４】〈従来技術２〉また、近年角速度センサの
車載側御システムへの応用に関するの潜在需要の高揚に
より、より小型、軽量で廉価な角速度センサが求められ
ている。この要求に応えるためより半導体プロセスによ
り実現する角速度センサの研究がなされている。この技
術は、ＩＥＥＥ Micro Erectro Mechanical Systems,Fl
orida(1993),p143〜p148に開示されている。図７（ａ）
はこの半導体角速度センサの構成を示す図、図７（ｂ）
は図７（ａ）のＡ−Ａ断面を示す図、図８は図７の半導
体角速度センサの端子電圧を示すタイムチャートであ
る。<Prior Art 2> Further, in recent years, there has been a demand for a smaller, lighter and cheaper angular velocity sensor due to an increase in potential demand for application of the angular velocity sensor to an in-vehicle control system. In order to meet this demand, research on an angular velocity sensor realized by a semiconductor process is being conducted. This technology is based on IEEE Micro Erectro Mechanical Systems, Fl
orida (1993), p143-p148. FIG. 7 (a)
Shows the configuration of this semiconductor angular velocity sensor, FIG.
Is a diagram showing a cross section taken along line AA of FIG. 7A, and FIG. 8 is a time chart showing a terminal voltage of the semiconductor angular velocity sensor of FIG.
【０００５】以下、図７、図８を用いて従来技術２を説
明する。従来技術２の振動子は、酸化膜６を有するシリ
コン基板７上に形成され、振動系は振動質量１及び支持
体２により構成されている。振動質量１及び支持体２は
結晶シリコンまたはポリシリコン、若しくは鍍金法によ
り堆積した金属により形成されている。支持体２はアン
カ部３によりシリコン基板７に固定さると共に、アンカ
部３において振動質量１及び支持体２に対して図示しな
い配線回路により電気的に接続されている。振動質量１
の側面には静電引力で駆動するための櫛場電極５が構成
されている。振動質量１の直下には振動質量１のｙ軸方
向の変位を静電容量の変化として検出するための電極８
が構成されている。通常、櫛歯電極５の相互間隔及び振
動質量１と検出電極８の間隔は数μｍ程度である。Prior art 2 will be described below with reference to FIGS. 7 and 8. The vibrator of Prior Art 2 is formed on a silicon substrate 7 having an oxide film 6, and the vibration system is composed of a vibrating mass 1 and a support 2. The vibrating mass 1 and the support 2 are made of crystalline silicon, polysilicon, or a metal deposited by a plating method. The support body 2 is fixed to the silicon substrate 7 by the anchor portion 3, and is electrically connected to the vibrating mass 1 and the support body 2 in the anchor portion 3 by a wiring circuit not shown. Vibration mass 1
A comb field electrode 5 for driving by electrostatic attraction is formed on the side surface of the. Immediately below the vibrating mass 1 is an electrode 8 for detecting displacement of the vibrating mass 1 in the y-axis direction as a change in capacitance.
Is configured. Normally, the distance between the comb-teeth electrodes 5 and the distance between the vibrating mass 1 and the detection electrode 8 are about several μm.
【０００６】振動質量１は、静電引力により駆動され
る。駆動の詳細は引用した前記文献には明示されていな
いが、図７に示した端子に対しては、例えば、図８のタ
イムチヤートに示す電圧を印加する。すなわち端子ｃに
は、ＤＣバイアス電圧Ｖbiasに重畳した振動子の固有振
動と同じ振動数のＡＣ電圧を印加する。また端子ａ、端
子ｂは、ＤＣバイアス電圧Ｖbiasに保持する。その結果
２つの振動質量１、１は基板面と平行方向すなわちｘ軸
方向に、互いに逆位相で駆動される。この状態で振動質
量１及び支持部２により構成される振動系をｚ軸まわり
の角速度Ωにより回転させると、振動質量１、１にはｙ
軸方向にコリオリ力が発生する。振動質量１、１に発生
するコリオリ力は（数１）式で表わされる。The vibrating mass 1 is driven by electrostatic attraction. Although details of driving are not specified in the cited document, for example, the voltage shown in the time chart of FIG. 8 is applied to the terminals shown in FIG. That is, an AC voltage having the same frequency as the natural vibration of the vibrator superimposed on the DC bias voltage Vbias is applied to the terminal c. The terminals a and b are held at the DC bias voltage Vbias. As a result, the two oscillating masses 1, 1 are driven in opposite directions to each other in the direction parallel to the substrate surface, that is, the x-axis direction. In this state, when the vibrating system composed of the vibrating mass 1 and the supporting portion 2 is rotated at an angular velocity Ω about the z axis, the vibrating masses 1 and 1 have y values.
Coriolis force is generated in the axial direction. The Coriolis force generated in the oscillating masses 1 and 1 is expressed by the equation (1).
【０００７】[0007]
【数１】 [Equation 1]
【０００８】ここで、ｍは振動質量１の質量、Ｖｍ
（ｔ）は静電引力により駆動される振動質量１の速度で
ある。各振動質量１、１の速度Ｖｍ（ｔ）はで常時、互
いに逆符号であるため、発生するコリオリ力も各振動質
量１、１では常に逆符号となる。従って、振動質量１、
１と検出電極８間の静電容量値の差動値から角速度Ωを
検出することができる。Where m is the mass of the oscillating mass 1, Vm
(T) is the velocity of the oscillating mass 1 driven by electrostatic attraction. Since the velocities Vm (t) of the respective oscillating masses 1 and 1 are always opposite in sign to each other, the Coriolis force generated is also always opposite in sign in the respective oscillating masses 1 and 1. Therefore, the oscillating mass 1,
The angular velocity Ω can be detected from the differential value of the electrostatic capacitance value between 1 and the detection electrode 8.
【０００９】また、（数１）式から明らかなように、発
生コリオリ力は駆動速度Ｖｍ（ｔ）に比例するため、通
常は振動系の固有振動数で駆動、すなわち、共振状態で
駆動する。その場合、振動子周辺の気体によるダンピン
グの効果を同避し、共振時のＱ値（数８式参照）を大き
くするため振動子を真空中に保持する。具体的な実装形
態は引用文献には明示されていないが、例えば、カンパ
ッケージ等を用いることで真空実装は可能である。Further, as is clear from the equation (1), since the generated Coriolis force is proportional to the driving speed Vm (t), it is usually driven at the natural frequency of the vibration system, that is, driven in the resonance state. In that case, in order to avoid the damping effect due to the gas around the oscillator and to increase the Q value at the time of resonance (see Eq. 8), the oscillator is held in vacuum. Although the specific mounting form is not specified in the cited document, for example, vacuum mounting is possible by using a can package or the like.
【００１０】従来技術２として引用した文献には検出回
路が明示してないが、一般的には例えば、図９のように
検出回路を構成すればよい。但し、図９には１対の振動
質量のうち片方のみを示した。また振動質量１を静電引
力で駆動する櫛歯電極５を簡略化して示した。以下、構
成を説明する。１０は、ＤＣバイアス電圧を発生する電
源、１１は、ＡＣ電源で振動質量１の固有振動と同じ周
波数の電圧を発生する。ＡＣ電源１１の出力はコンデン
サ１２を介し、抵抗１３を介したＤＣバイアス電源１０
と接続され、図７（ａ）における端子ｃに入力する。従
って端子ｃに印加される電圧は、ＡＣ電源１１とＤＣバ
イアス電源１０の和となる。振動質量１はアンカ部３で
接地されている。振動振幅は端子ａまたは端子ｂに接続
したＣ−Ｖコンバー夕１４を用いて櫛歯電極５の容量値
の変化により検出する。Ｃ−Ｖコンバー夕１４から得ら
れた振動質量１の駆動振幅信号の一部は自励発振と駆動
振幅一定制御のためＡＣ電源１１に帰還する。コリオリ
力による振動質量１の変位は、検出用電極８に接続した
Ｃ−Ｖコンバー夕１４を用いて容量値の変化により検出
する。コリオリ力による振動質量の変位は、（数１）式
より明らかなように、駆動振幅と同じ周波数で変化する
ので、検出した駆動振幅を用いて復調器１５において同
期検出する。同期検出後得られた信号は増幅器２６にお
いて所定の感度に増幅される。Although the detection circuit is not specified in the document cited as the prior art 2, generally, for example, the detection circuit may be configured as shown in FIG. However, FIG. 9 shows only one of the pair of vibrating masses. Further, the comb-teeth electrode 5 for driving the vibrating mass 1 by electrostatic attraction is shown in a simplified manner. The configuration will be described below. Reference numeral 10 is a power source that generates a DC bias voltage, and 11 is an AC power source that generates a voltage having the same frequency as the natural vibration of the vibrating mass 1. The output of the AC power supply 11 is via the capacitor 12 and the DC bias power supply 10 via the resistor 13.
And is input to the terminal c in FIG. Therefore, the voltage applied to the terminal c is the sum of the AC power supply 11 and the DC bias power supply 10. The vibrating mass 1 is grounded at the anchor portion 3. The vibration amplitude is detected by the change in the capacitance value of the comb-teeth electrode 5 using the CV converter 14 connected to the terminal a or the terminal b. A part of the drive amplitude signal of the oscillating mass 1 obtained from the CV converter 14 is fed back to the AC power source 11 for self-excited oscillation and constant drive amplitude control. The displacement of the oscillating mass 1 due to the Coriolis force is detected by the change in the capacitance value using the CV converter 14 connected to the detection electrode 8. Since the displacement of the oscillating mass due to the Coriolis force changes at the same frequency as the drive amplitude as is clear from the equation (1), the demodulator 15 synchronously detects using the detected drive amplitude. The signal obtained after the synchronization detection is amplified by the amplifier 26 to a predetermined sensitivity.
【００１１】[0011]
【発明が解決しようとする課題】角速度センサを車両用
の制御システムに適用する場合には、小型、軽量、廉価
であることとともに、故障率が低く、高度の信頼性を有
し、故障を未然に検知できることが特に重要である。上
記従来技術１、２は何れも、角速度センサの機能を診断
し、故障を未然に検知する、いわゆる自己診断機能を備
えてはいない。When the angular velocity sensor is applied to a vehicle control system, it is compact, lightweight, inexpensive, has a low failure rate, has a high degree of reliability, and is not susceptible to failure. It is especially important to be able to detect. Neither of the above-mentioned prior arts 1 and 2 has a so-called self-diagnosis function of diagnosing the function of the angular velocity sensor and detecting a failure in advance.
【００１２】特に、上記従来技術２においては、真空度
の低下は、前記共振時のＱ値の低下をもたらし角速度セ
ンサの感度低下を招く。また、可動する振動質量１と固
定された電極との間隔は数μｍ程度であるので、実装工
程中等に発生した可動のゴミが、前記間隔に侵入すれ
ば、振動質量１の動作を阻害し角速度の検出を不可能に
する。さらに支持体２やアンカ部３にマイクロクラック
が発生し動作中に振動系を破壊させる至ることも想定さ
れる。本発明は上記問題点に鑑みなされたものであり、
角速度センサの機能の診断を行ない、上述のような機能
上の不具合を未然に検知する自己診断法を提供するもの
である。Particularly, in the above-mentioned prior art 2, the decrease in the degree of vacuum causes a decrease in the Q value at the time of resonance and a decrease in the sensitivity of the angular velocity sensor. Further, since the distance between the movable vibrating mass 1 and the fixed electrode is about several μm, if the movable dust generated during the mounting process enters the distance, the operation of the vibrating mass 1 is hindered and the angular velocity is reduced. Makes it impossible to detect. Further, it is assumed that microcracks are generated in the support body 2 and the anchor portion 3 and the vibration system is destroyed during operation. The present invention has been made in view of the above problems,
The present invention provides a self-diagnosis method for diagnosing the function of an angular velocity sensor and detecting the functional failure as described above.
【００１３】[0013]
【課題を解決するための手段】上記課題を解決すること
を目的とする本発明は、振動質量と、前記振動質量を支
持する支持部とを有し、前記振動質量を直交座標系の第
１軸方向に駆動し、前記直交座標系の第３軸まわりの角
速度が印加された場合に、前記直交座標系の第２軸方向
に発生するコリオリ力を検出する角速度センサにおい
て、前記振動質量を一定時間駆動し、前記一定時間の後
駆動を停止し、駆動停止後の振動質量の減衰振動を測定
することにより振動系の自己診断を行なう角速度センサ
の診断方法である。これにより振動系の振動振幅、振動
周波数を算出することができる。例えば、振動周波数
は、振動質量の０変位点が発生する時間間隔の計測によ
り求められ、また、０変位点は、振動質量停止時のＣ−
Ｖコンバータの出力から求められる。振動周波数の計測
結果から減衰定数と減衰無しのときの固有角速度の関係
を求めることができる。SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention to solve the above problems is to provide a vibrating mass and a supporting portion for supporting the vibrating mass, wherein the vibrating mass has a first orthogonal coordinate system. In the angular velocity sensor that drives in the axial direction and detects the Coriolis force generated in the second axis direction of the Cartesian coordinate system when the angular velocity around the third axis of the Cartesian coordinate system is applied, the vibrating mass is constant. This is a method for diagnosing an angular velocity sensor in which self-diagnosis of an oscillating system is performed by driving for a certain period of time, stopping after-driving for a certain period of time, and measuring a damped vibration of an oscillating mass after the driving is stopped. Thus, the vibration amplitude and vibration frequency of the vibration system can be calculated. For example, the vibration frequency is obtained by measuring the time interval at which the 0 displacement point of the vibrating mass is generated, and the 0 displacement point is C− when the vibrating mass is stopped.
It is obtained from the output of the V converter. From the measurement result of the vibration frequency, the relation between the damping constant and the natural angular velocity without damping can be obtained.
【００１４】[0014]
【発明の効果】上記本発明に係る自己診断を行なうこと
により、角速度センサを用いて予想される故障を未然に
検出することができるという効果が得られる。By performing the self-diagnosis according to the present invention, it is possible to detect an expected failure by using the angular velocity sensor.
【００１５】[0015]
【発明の実施の形態】以下、図面を用いて本発明の実施
の形態を説明する。本実施の形態は、前記従来技術２と
同様の構成を有する静電引力で駆動する半導体角速度セ
ンサに適用したものを示すが、本実施の形態に限定せ
ず、従来技術１のような圧電素子で駆動される角速度セ
ンサにも適用可能である。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. The present embodiment shows one applied to a semiconductor angular velocity sensor driven by electrostatic attraction having the same configuration as the prior art 2, but the present invention is not limited to this embodiment, and a piezoelectric element like the prior art 1 is used. It is also applicable to an angular velocity sensor driven by.
【００１６】〈実施の形態１〉図１は本発明の実施の形
態１の検出回路の構成を示す図である。図１には単体の
振動質量１のみによる構成を示した。但し、本発明の主
張する効果は、従来技術２のように１対で構成した振動
質量１、１の場合であっても同じである。また振動質量
１を静電引力で駆動する櫛歯電極５を簡略化して示し
た。さらに振動質量１の駆動に関する構成のみ示し、コ
リオリ力による振動質量１の変位を検出する構成部に関
しては図面を簡略化したため記載していない。<First Embodiment> FIG. 1 is a diagram showing a configuration of a detection circuit according to a first embodiment of the present invention. FIG. 1 shows a configuration with only the vibrating mass 1 alone. However, the effect claimed by the present invention is the same even in the case of the oscillating masses 1 and 1 configured as a pair as in the prior art 2. Further, the comb-teeth electrode 5 for driving the vibrating mass 1 by electrostatic attraction is shown in a simplified manner. Further, only the configuration relating to the driving of the oscillating mass 1 is shown, and the component for detecting the displacement of the oscillating mass 1 due to the Coriolis force is not shown because the drawing is simplified.
【００１７】以下、本実施の形態の回路を説明する。１
０はＤＣバイアス電圧を発生する電源、１１はＡＣ電源
であって、振動質量１の固有振動と同じ周波数の電圧を
発生する。ＡＣ電源１１はコントローラ９の制御出力に
よりＯＮ−ＯＦＦが可能となっている。ＡＣ電源１１の
出力は、コンデンサ１２、抵抗１３を介したＤＣバイア
ス電源と接続され、駆動用の櫛歯電極５に入力する。従
って、駆動用の櫛歯電極５に印加される電圧は、ＡＣ電
源１１とＤＣバイアス電源１０の和となる。振動質量１
はアンカ部３によって接地されている。振動振幅は、振
動振幅検出用の櫛歯電極５に接続したＣ−Ｖコンバー夕
１４を用いて、櫛歯電極５の容量値の変化により検出す
る。Ｃ−Ｖコンバー夕１４により得られた振動質量の駆
動振幅信号の一部は自励発振と駆動振幅一定制御のた
め、ＡＣ電源１１に帰還する。１６は、信号処理回路
で、後述するように振動質量１の駆動振幅信号の周波数
計測、積分等の信号処理と、コントローラ９との情報伝
達のインタフェース機能を有する。コントローラ９はＡ
Ｃ電源１１のＯＮ−ＯＦＦのタイミングの制御と信号処
理回路１６の出力から角速度センサの機能判断を行な
い、必要であれば警報を出力する。角速度センサとして
は、図１のＡで示す点線で囲われた部分によって、信号
処理回路１６及びコントローラ９を角速度センサとは別
のユニットで構成してもよいが、Ｂで示す点線で囲われ
た部分の機能を全て包含するようなインテリジェントセ
ンサを構成することも可能である。The circuit of this embodiment will be described below. 1
Reference numeral 0 is a power supply that generates a DC bias voltage, and 11 is an AC power supply, which generates a voltage having the same frequency as the natural vibration of the vibrating mass 1. The AC power supply 11 can be turned on and off by the control output of the controller 9. The output of the AC power supply 11 is connected to the DC bias power supply via the capacitor 12 and the resistor 13, and is input to the comb-teeth electrode 5 for driving. Therefore, the voltage applied to the comb-teeth electrode 5 for driving is the sum of the AC power supply 11 and the DC bias power supply 10. Vibration mass 1
Is grounded by the anchor portion 3. The vibration amplitude is detected by a change in the capacitance value of the comb-teeth electrode 5, using the CV converter 14 connected to the comb-teeth electrode 5 for detecting the vibration amplitude. A part of the drive amplitude signal of the oscillating mass obtained by the CV converter 14 is fed back to the AC power supply 11 for self-oscillation and constant drive amplitude control. A signal processing circuit 16 has an interface function for signal processing such as frequency measurement and integration of the drive amplitude signal of the vibrating mass 1 and information transmission with the controller 9 as described later. Controller 9 is A
The function of the angular velocity sensor is determined based on the control of the ON / OFF timing of the C power source 11 and the output of the signal processing circuit 16, and an alarm is output if necessary. As the angular velocity sensor, the signal processing circuit 16 and the controller 9 may be constituted by a unit separate from the angular velocity sensor by the portion surrounded by the dotted line indicated by A in FIG. 1, but they are enclosed by the dotted line indicated by B. It is also possible to construct an intelligent sensor that includes all the functions of a part.
【００１８】次に本実施の形態による角速度センサによ
る自己診断手順及びその作用について説明する。コント
ローラ９の制御出力により、ＡＣ電源１１は所定時間Ｏ
Ｎして振動質量１を駆動し、その後出力をＯＦＦにす
る。その結果、振動質量１は図２に示すように駆動振幅
が変化する。すなわち、ＡＣ電源１１がＯＮの間は、駆
動電圧が印加状態にあり、所定の振幅で振動している。
しかし電源電圧のＯＦＦにより、駆動力は失われ、その
後は周囲の気体とのダンピングや、支持体における振動
エネルギーから熱エネルギーへの散逸により、減衰振動
を開始し次第にその振幅が減少する。このときの振動質
量１の駆動軸方向、すなわちｘ軸方向の減衰振動は、
（数２）式に示すような運動方程式で表される。Next, a self-diagnosis procedure by the angular velocity sensor according to the present embodiment and its operation will be described. By the control output of the controller 9, the AC power supply 11 is turned on for a predetermined time O
N to drive the oscillating mass 1 and then turn off the output. As a result, the vibration mass 1 changes in drive amplitude as shown in FIG. That is, while the AC power supply 11 is ON, the drive voltage is applied and vibrates with a predetermined amplitude.
However, when the power supply voltage is turned off, the driving force is lost, and thereafter, the amplitude gradually decreases due to the damping vibration with the surrounding gas and the dissipation of the vibration energy into the heat energy in the support. At this time, the damping vibration of the vibrating mass 1 in the drive axis direction, that is, the x-axis direction is
It is expressed by the equation of motion as shown in the equation (2).
【００１９】[0019]
【数２】 [Equation 2]
【００２０】この方程式から振動質量１の振動振幅及び
振動周波数は（数３）式、（数４）式のように表わされ
る。From this equation, the vibration amplitude and the vibration frequency of the vibrating mass 1 are expressed by the equations (3) and (4).
【００２１】[0021]
【数３】 (Equation 3)
【００２２】[0022]
【数４】 (Equation 4)
【００２３】信号処理回路１６ではＣ−Ｖコンバー夕１
４の出力より振動質量の振動振幅の振動周波数計測及び
積分を行なう。振動周波数計測は、例えば、振動質量の
０変位点が発生する時間間隔を計測することにより求め
られる。０変位点は振動質量の停止時のＣ−Ｖコンバー
夕１４の出力により容易に求められる。振動周波数計測
より（数４）式から減衰定数と固有角速度の関係を求め
ることができる。In the signal processing circuit 16, the CV converter 1
From the output of 4, the vibration frequency of the vibration amplitude of the vibrating mass is measured and integrated. The vibration frequency measurement is obtained, for example, by measuring the time interval at which the zero displacement point of the vibrating mass occurs. The 0 displacement point can be easily obtained by the output of the CV converter 14 when the vibrating mass is stopped. From the vibration frequency measurement, the relationship between the damping constant and the natural angular velocity can be obtained from the equation (4).
【００２４】減衰振動のｎ周期から（ｎ＋１）周期につ
いて１周期間、振動質量の振動振幅を積分すると（数
５）式のようになる。The equation (5) is obtained by integrating the vibration amplitude of the vibrating mass for one cycle from the n cycle to the (n + 1) cycle of the damped vibration.
【００２５】[0025]
【数５】 (Equation 5)
【００２６】実際には振動振幅はＣ−Ｖコンバー夕１４
の出力として計測するので（数５）式の結果に所定係数
を乗じたものとなる。積分範囲を決定する振動周波数計
測は振動周波数計測により求められる。（数５）式のよ
うな１周期間の積分を連続する２つの周期についてそれ
ぞれ行ない、積分値の比の対数を求めると（数６）式の
ようになる。Actually, the vibration amplitude is CV converter 14
Since it is measured as the output of, the result of the equation (5) is multiplied by a predetermined coefficient. Vibration frequency measurement that determines the integration range is obtained by vibration frequency measurement. Equation (6) is obtained by performing integration for one period as in equation (5) for each of two consecutive periods and obtaining the logarithm of the ratio of the integrated values.
【００２７】[0027]
【数６】 (Equation 6)
【００２８】従って（数６）式より減衰定数γが求めら
れる。Therefore, the damping constant γ can be obtained from the equation (6).
【００２９】結果として、振動振幅をＣ−Ｖコンバー夕
を用いて計測し出力より減衰振動の振動周波数及び振動
振幅の積分値を求めることにより、（数４）式、（数
６）式を用いて振動質量１と支持体２により構成される
振動系の減衰定数γと、固有角速度ω0を求めることが
できる。減衰定数は振動質量と気体とのダンピングや支
持体における振動ネルギーから熱工ネルギーへの散逸に
依存するためこれらに変化があれば直ちに検出が可能で
ある。また、固有角速度は支持体のバネ定数ｋ及び振動
質量の質量ｍと（数７）式のような関係にある。As a result, the vibration amplitude is measured using the CV converter, and the vibration frequency of the damped vibration and the integral value of the vibration amplitude are obtained from the output, thereby using the expressions (4) and (6). Thus, the damping constant γ of the vibration system constituted by the vibrating mass 1 and the support 2 and the natural angular velocity ω 0 can be obtained. The damping constant depends on the damping of the oscillating mass and the gas and the dissipation from the oscillating energy in the support to the thermoelectric energy, so any change in these can be detected immediately. Also, the natural angular velocity has a relationship with the spring constant k of the support and the mass m of the oscillating mass as shown in the equation (7).
【００３０】[0030]
【数７】 (Equation 7)
【００３１】従ってｋ又はｍに変化があれば固有角速度
の変化として検出できる。Therefore, any change in k or m can be detected as a change in the natural angular velocity.
【００３２】〈実施の形態１の効果〉角速度センサ、特
に半導体角速度センサにおいては以下のような故障モー
ドが想定される。<Effect of Embodiment 1> The following failure modes are assumed in the angular velocity sensor, particularly in the semiconductor angular velocity sensor.
【００３３】１）経時劣化により実装の真空度が低下、
振動系のＱ値が低下し、所定の感度を実現できなくな
る。1) The degree of vacuum of mounting is lowered due to deterioration over time,
The Q value of the vibration system decreases, and it becomes impossible to achieve a predetermined sensitivity.
【００３４】２）振動系付近に可動のゴミ等の異物が存
在し、これが振動質量に付着、振動系の固有振動数に変
化をもたらし効率の良い駆動ができなくなる。さらには
前記可動の異物が振動質量等の可動部と固定された櫛歯
電極との間に侵入して動作を阻害する。2) Foreign matter such as movable dust exists near the vibrating system, which adheres to the vibrating mass and changes the natural frequency of the vibrating system, which makes efficient driving impossible. Furthermore, the movable foreign matter penetrates between the movable portion such as the oscillating mass and the fixed comb-teeth electrode to hinder the operation.
【００３５】３）経時劣化により支持部やアンカ部にマ
イクロクラツクが発生し、最悪の場合動作中に振動系の
破壊に至る。共振状態におけるＱ値は（数８）式のよう
に記述され、減衰定数に依存する。3) Microcracks are generated in the supporting portion and the anchor portion due to deterioration over time, and in the worst case, the vibration system is destroyed during operation. The Q value in the resonance state is described by the equation (8) and depends on the damping constant.
【００３６】[0036]
【数８】 (Equation 8)
【００３７】従って、真空度の低下が発生すれば減衰定
数の増加として検出される。この変化が所定レベル以上
となれば、コントローラでＱ値異常の１）のケースとし
て判断され警告出力により角速度センサの故障を未然に
検知することができる。２）のケースでは振動質量の質
量ｍに、３）のケースでは支持体のバネ定数ｋに変化が
現れるので式（７）により固有角速度の変化として検出
することができ、１）のケースと同様に故障を未然に検
知することができる。Therefore, if a decrease in the degree of vacuum occurs, it is detected as an increase in the damping constant. If this change exceeds a predetermined level, the controller determines that the Q value is abnormal 1) and the warning output can detect a failure of the angular velocity sensor. In the case of 2), the mass m of the oscillating mass changes, and in the case of 3), the spring constant k of the support changes. Therefore, it can be detected as a change of the natural angular velocity by the equation (7), and it can be detected as in the case of 1). It is possible to detect a failure in advance.
【００３８】また、従来技術１で述べたような金属の振
動子を圧電素子で駆動するタイプの角速度センサにおい
ては、真空実装は必要でないので前述の１）のケースの
ように真空度の低下によるＱ値の減少は発生しない。し
かし、図５の支持部２０の振動子１７の支持状態の変化
によりＱ値は変化する。例えば落下の際の衝撃によりＱ
値が低下することがある。また、振動子の腐食またはク
ラツク等によりバネ定数ｋ、質量ｍが変化することもあ
り得る。以上のケースにおいても、前述の自己診断手段
により、半導体角速度センサと同様に故障を未然に検出
することができる。以上、述べたように振動系の減衰振
動を計測することにより、振動系の故障を未然に検出す
ることが可能となる。Further, in the angular velocity sensor of the type in which the metal vibrator as described in the prior art 1 is driven by the piezoelectric element, vacuum mounting is not necessary, so that the degree of vacuum is lowered as in the case of 1) above. The Q value does not decrease. However, the Q value changes due to the change in the supporting state of the vibrator 17 of the supporting unit 20 in FIG. For example, due to the impact of falling, Q
The value may decrease. Further, the spring constant k and the mass m may change due to corrosion or cracking of the oscillator. In the above cases as well, the self-diagnosis means described above can detect a failure in the same way as the semiconductor angular velocity sensor. As described above, by measuring the damping vibration of the vibration system, it becomes possible to detect the failure of the vibration system.
【００３９】次に、本発明の実施の形態２について述べ
る。大部分の回路構成は実施の形態１と同一であるの
で、差異のある部分のみ記載する。 〈実施の形態２〉図３は本発明の実施の形態２の検出回
路図である。本実施の形態は、コントローラ９によりＡ
Ｃ電源１１のＯＮ−ＯＦＦとＤＣバイアス電源１０の制
御とＯＮ−ＯＦＦを行なう。コントローラ９の制御出力
によりＡＣ電源のＯＦＦ状態でＤＣバイアス電源１０は
通常動作時より昇圧され、所定時間ＯＮし、振動質量１
を駆動しその後出力をＯＦＦにする。その結果、振動質
量１は図４のような駆動振幅変化を示す。すなわち、Ｄ
Ｃバイアス電源１０がＯＮの間はＤＣ駆動電圧が印加状
態にあり、所定の振幅に保持されている。しかし電圧の
ＯＦＦに伴い、ＤＣ駆動力は失われ、その後は周囲の気
体とのダンピングや支持体における振動エネルギーから
熱エネルギーへの散逸により、減衰振動を開始し次第に
その振動振幅は減少する。その後の振動質量の挙動は式
（３）における駆動振幅Ｘ0がＤＣ変位量Ｘ0’に置き換
えられるだけで同一である。Next, a second embodiment of the present invention will be described. Most of the circuit configurations are the same as those in the first embodiment, and therefore only the differences will be described. <Second Embodiment> FIG. 3 is a detection circuit diagram of a second embodiment of the present invention. In this embodiment, the controller 9
The C power supply 11 is turned on and off, and the DC bias power supply 10 is controlled and turned on and off. With the control output of the controller 9, the DC bias power supply 10 is boosted from the normal operation when the AC power supply is in the OFF state, and is turned on for a predetermined time.
Drive and then turn off the output. As a result, the oscillating mass 1 exhibits a drive amplitude change as shown in FIG. That is, D
While the C-bias power supply 10 is ON, the DC drive voltage is applied and is kept at a predetermined amplitude. However, as the voltage is turned off, the DC driving force is lost, and thereafter, the vibration amplitude gradually decreases due to the damping vibration being started due to the damping with the surrounding gas and the dissipation of the vibration energy into the heat energy in the support. The behavior of the oscillating mass thereafter is the same except that the drive amplitude X 0 in equation (3) is replaced with the DC displacement amount X 0 ′.
【００４０】〈実施の形態２の効果〉実施の形態１と概
ね同一の効果が得られる。しかし、ＤＣバイアス電源１
０がＯＦＦの時点から減衰振動が開始されるため、滅哀
振動測定における時問原点の設定は実施の形態１よりも
容易である。<Effects of Second Embodiment> The same effects as those of the first embodiment can be obtained. However, DC bias power supply 1
Since the damped vibration starts when 0 is OFF, setting the time origin in the sad vibration measurement is easier than in the first embodiment.
【図１】本発明に係る角速度センサの実施の形態１の検
出回路図である。FIG. 1 is a detection circuit diagram of an angular velocity sensor according to a first embodiment of the present invention.
【図２】実施の形態１における自己診断中の振動質量の
振動振幅の変化を示す特性図である。FIG. 2 is a characteristic diagram showing a change in vibration amplitude of a vibrating mass during self-diagnosis according to the first embodiment.
【図３】本発明に係る角速度センサの実施の形態２の検
出回路図である。FIG. 3 is a detection circuit diagram of the second embodiment of the angular velocity sensor according to the present invention.
【図４】実施の形態２における自己診断中の振動質量の
振動振幅の変化を示す特性図である。FIG. 4 is a characteristic diagram showing a change in vibration amplitude of a vibrating mass during self-diagnosis according to the second embodiment.
【図５】従来技術１の角速度センサの要部外観を示す斜
視図である。FIG. 5 is a perspective view showing an external appearance of a main part of an angular velocity sensor of prior art 1.
【図６】従来技術１のブロック構成図である。FIG. 6 is a block diagram of prior art 1.
【図７】従来技術２の半導体角速度センサの構成を示す
図（ａ）、及び図（ａ）のＡ−Ａ断面を示す図（ｂ）で
ある。FIG. 7 is a diagram (a) showing a configuration of a semiconductor angular velocity sensor of Prior Art 2 and a diagram (b) showing an AA cross section of FIG.
【図８】従来技術２の半導体角速度センサの端子電圧を
示すタイムチャートである。FIG. 8 is a time chart showing the terminal voltage of the semiconductor angular velocity sensor of Prior Art 2.
【図９】従来技術２の半導体角速度センサの検出回路の
ブロック図である。FIG. 9 is a block diagram of a detection circuit of a semiconductor angular velocity sensor of Prior Art 2.
１…振動質量 ２…支持体３…
アンカ部 ５…櫛歯電極 ６…酸化膜 ７…シリコン基板 ８…検出電極 ９…コントローラ １０…ＤＣバイア
ス電源 １１…ＡＣ電源 １２…コンデン
サ １３…抵抗 １４…Ｃ−Ｖコ
ンバー夕 １５…復調器 １６…信号処理
回路 １７…振動子 １８…駆動用圧
電素子 １９…検出用圧電素子 ２０…支持体 ２１…発振回路 ２２…位相補正
回路 ２３…差動増幅器 ２４…同期検波
器 ２５…直流増幅器 ２６…増幅器1 ... Vibration mass 2 ... Support 3 ...
Anchor part 5 ... Comb-shaped electrode 6 ... Oxide film 7 ... Silicon substrate 8 ... Detection electrode 9 ... Controller 10 ... DC bias power supply 11 ... AC power supply 12 ... Capacitor 13 ... Resistor 14 ... C-V converter 15 ... Demodulator 16 ... Signal processing circuit 17 ... Oscillator 18 ... Driving piezoelectric element 19 ... Detection piezoelectric element 20 ... Support 21 ... Oscillation circuit 22 ... Phase correction circuit 23 ... Differential amplifier 24 ... Synchronous detector 25 ... DC amplifier 26 ... Amplifier
Claims (7)
部とを有し、前記振動質量を直交座標系の第１軸方向に
駆動し、前記直交座標系の第３軸まわりの角速度が印加
された場合に前記直交座標系の第２軸方向に発生するコ
リオリ力を検山する角速度センサにおいて、 前記振動質量を一定時間駆動し、この駆動を停止した
後、前記振動質量の減衰振動を測定することにより振動
系の診断を行なうことを特徴とする角速度センサの自己
診断方法。1. An oscillating mass and a support portion for supporting the oscillating mass, wherein the oscillating mass is driven in a first axis direction of an orthogonal coordinate system, and an angular velocity about a third axis of the orthogonal coordinate system is increased. In an angular velocity sensor for detecting the Coriolis force generated in the second axis direction of the Cartesian coordinate system when applied, the vibrating mass is driven for a certain period of time, and after this driving is stopped, the damped vibration of the vibrating mass is changed. A self-diagnosis method for an angular velocity sensor, characterized by diagnosing a vibration system by measuring.
第１軸方向の振動駆動であることを特徴とする請求項１
記載の角速度センサの自己診断方法。2. The driving of the vibrating mass is vibration driving in the first axis direction of the Cartesian coordinate system.
A self-diagnosis method for the angular velocity sensor described.
第１軸方向の正または負のいずれか一方の静的な力によ
る駆動であることを特徴とする請求項１記載の角速度セ
ンサの自己診断方法。3. The angular velocity sensor according to claim 1, wherein the driving of the oscillating mass is a driving by a static force of either positive or negative in the first axis direction of the orthogonal coordinate system. Self-diagnosis method.
衰振動の振幅の積分値から減衰定数を求め、振動系の診
断を行なうことを特徴とする請求項１〜請求項３の何れ
かに記載の角速度センサの自己診断方法。4. The vibration system is diagnosed by obtaining a damping constant from the integrated value of the amplitude of damped vibration after stopping the driving of the oscillating mass for a certain period of time. A method of self-diagnosis of an angular velocity sensor according to.
衰振動の周波数から振動系の診断を行なうことを特徴と
する請求項１〜請求項３の何れかに記載の角速度センラ
の自己診断方法。5. The self-diagnosis of an angular velocity sensor according to claim 1, wherein the vibration system is diagnosed from the frequency of the damped vibration after the driving of the vibrating mass is stopped for a certain period of time. Method.
ることを特徴とする請求項１〜請求項５の何れかに記載
の角速度センサの自己診断方法。6. The method for self-diagnosis of an angular velocity sensor according to claim 1, wherein the vibration mass is driven by using electrostatic attraction.
ることを特徴とする請求項１〜請求項５の何れかに記載
の角速度センサの自己診断方法。7. The method for self-diagnosis of an angular velocity sensor according to claim 1, wherein the vibration mass is driven by utilizing a piezoelectric effect.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8026896A JPH09218040A (en) | 1996-02-14 | 1996-02-14 | Self-diagnostic method for angular speed sensor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8026896A JPH09218040A (en) | 1996-02-14 | 1996-02-14 | Self-diagnostic method for angular speed sensor |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09218040A true JPH09218040A (en) | 1997-08-19 |
Family
ID=12206017
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8026896A Pending JPH09218040A (en) | 1996-02-14 | 1996-02-14 | Self-diagnostic method for angular speed sensor |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09218040A (en) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1229304A1 (en) * | 2000-07-04 | 2002-08-07 | Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha | Method and device for diagnosing trouble with sensor function |
| US6608425B2 (en) | 2001-01-29 | 2003-08-19 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Vibrating gyroscope, electronic device using the same, and self-diagnosis method for vibrating gyroscope |
| WO2005001379A1 (en) * | 2003-06-30 | 2005-01-06 | Siemens Aktiengesellschaft | Method for monitoring a vibrating gyroscope |
| WO2007031402A1 (en) * | 2005-09-12 | 2007-03-22 | Siemens Vdo Automotive Ag | Method for operating a vibrating gyroscope and sensor arrangement |
| JP2010117374A (en) * | 2010-02-24 | 2010-05-27 | Epson Toyocom Corp | Gyro module |
| US20100179722A1 (en) * | 2009-01-09 | 2010-07-15 | Mitsubishi Electric Corporation | Device and method for performing self-diagnosis as to whether or not acceleration or angular-velocity sensor is in normal status |
| JP2010286371A (en) * | 2009-06-12 | 2010-12-24 | Seiko Epson Corp | Physical quantity detector, abnormality diagnosis system of the same, and abnormality diagnosis method of the same |
| US7895893B2 (en) | 2005-09-12 | 2011-03-01 | Vdo Automotive Ag | Method for operating a vibrating gyroscope and sensor arrangement |
| US7926347B2 (en) | 2005-09-12 | 2011-04-19 | Vdo Automotive Ag | Method and system for monitoring a sensor arrangement |
-
1996
- 1996-02-14 JP JP8026896A patent/JPH09218040A/en active Pending
Cited By (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1229304B1 (en) * | 2000-07-04 | 2007-12-12 | Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha | Method and device for diagnosing trouble with sensor function |
| EP1515116A3 (en) * | 2000-07-04 | 2007-03-21 | Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha | Method and device for diagnosing trouble with sensor function |
| EP1229304A1 (en) * | 2000-07-04 | 2002-08-07 | Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha | Method and device for diagnosing trouble with sensor function |
| US6608425B2 (en) | 2001-01-29 | 2003-08-19 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Vibrating gyroscope, electronic device using the same, and self-diagnosis method for vibrating gyroscope |
| DE10203367B4 (en) * | 2001-01-29 | 2004-05-13 | Murata Manufacturing Co., Ltd., Nagaokakyo | Vibrating gyroscope, electronic device using the same, and self-diagnosis method for a vibrating gyroscope |
| WO2005001379A1 (en) * | 2003-06-30 | 2005-01-06 | Siemens Aktiengesellschaft | Method for monitoring a vibrating gyroscope |
| US7263454B2 (en) | 2003-06-30 | 2007-08-28 | Siemens Aktiengesellschaft | Method for monitoring a vibrating gyroscope |
| US7926347B2 (en) | 2005-09-12 | 2011-04-19 | Vdo Automotive Ag | Method and system for monitoring a sensor arrangement |
| US7895893B2 (en) | 2005-09-12 | 2011-03-01 | Vdo Automotive Ag | Method for operating a vibrating gyroscope and sensor arrangement |
| WO2007031402A1 (en) * | 2005-09-12 | 2007-03-22 | Siemens Vdo Automotive Ag | Method for operating a vibrating gyroscope and sensor arrangement |
| US8042395B2 (en) | 2005-09-12 | 2011-10-25 | Vdo Automotive Ag | Method for operating a vibrating gyroscope and sensor arrangement |
| US20100179722A1 (en) * | 2009-01-09 | 2010-07-15 | Mitsubishi Electric Corporation | Device and method for performing self-diagnosis as to whether or not acceleration or angular-velocity sensor is in normal status |
| KR101160539B1 (en) * | 2009-01-09 | 2012-06-28 | 미쓰비시덴키 가부시키가이샤 | Device and method for performing self-diagnosis as to whether or not acceleration or angular-velocity sensor is in normal status |
| US8423229B2 (en) | 2009-01-09 | 2013-04-16 | Mitsubishi Electric Corporation | Device and method for performing self-diagnosis as to whether or not acceleration or angular-velocity sensor is in normal status |
| JP2010286371A (en) * | 2009-06-12 | 2010-12-24 | Seiko Epson Corp | Physical quantity detector, abnormality diagnosis system of the same, and abnormality diagnosis method of the same |
| JP2010117374A (en) * | 2010-02-24 | 2010-05-27 | Epson Toyocom Corp | Gyro module |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3409565B2 (en) | Self-diagnosis method of angular velocity sensor | |
| JP5368181B2 (en) | Physical quantity detection device, control method for physical quantity detection device, abnormality diagnosis system, and abnormality diagnosis method | |
| US6860151B2 (en) | Methods and systems for controlling movement within MEMS structures | |
| US7004024B1 (en) | Horizontal and tuning fork vibratory microgyroscope | |
| JP2000511282A (en) | Electrostatic drive for accelerometer | |
| JP2008134243A (en) | Dual mode mems sensor | |
| JP2003028644A (en) | Angular velocity sensor | |
| US6817244B2 (en) | Methods and systems for actively controlling movement within MEMS structures | |
| JPH09218040A (en) | Self-diagnostic method for angular speed sensor | |
| JP2000009475A (en) | Angular velocity detection device | |
| JPH10221083A (en) | Vibration-type gyro apparatus | |
| JP4126826B2 (en) | Angular velocity sensor | |
| US6786094B2 (en) | Process of making an acceleration detecting element | |
| US6981415B2 (en) | Reduced start time for MEMS gyroscope | |
| JP3409476B2 (en) | Driving method of vibrating gyroscope | |
| JP2005519296A (en) | Noise source for starting MEMS gyroscope | |
| JP2001091535A (en) | Capacitor type physical-quantity detecting apparatus | |
| JP3418904B2 (en) | Vibrating angular velocity detector | |
| JP3627665B2 (en) | Angular velocity sensor | |
| JPH0854242A (en) | Oscillation gyro | |
| JP2000018951A (en) | Angular velocity detecting method and device thereof | |
| JPH10332504A (en) | Pressure sensor | |
| JPH0666569A (en) | Semiconductor yaw rate sensor | |
| JPH10339640A (en) | Angular speed sensor | |
| JPH09325031A (en) | Vibration type angular velocity sensor |