JPH09214088A - セラミック基板のプリント配線基板への実装構造 - Google Patents

セラミック基板のプリント配線基板への実装構造

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JPH09214088A
JPH09214088A JP8014736A JP1473696A JPH09214088A JP H09214088 A JPH09214088 A JP H09214088A JP 8014736 A JP8014736 A JP 8014736A JP 1473696 A JP1473696 A JP 1473696A JP H09214088 A JPH09214088 A JP H09214088A
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明弘 日高
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 BGAタイプのセラミック基板とプリント配
線基板との間の半田接合部の耐疲労性を向上して、接合
信頼性を高める。 【解決手段】 セラミック基板21とプリント配線基板
25との間に介在させる中継基板24は、熱膨張係数が
セラミック基板21の熱膨張係数とプリント配線基板2
5の熱膨張係数との間にある材料で形成されている。セ
ラミック基板21をプリント配線基板25に実装する場
合には、まず、セラミック基板21の下面に形成された
I/Oパッド23と中継基板24上面の半田接続用パッ
ド27との間を高温半田バンプ29で接合する。この
後、中継基板24下面の半田接続用パッド28とプリン
ト配線基板25のI/Oパッド30との間を高温半田ボ
ール31とその接合材である共晶半田32とで接合す
る。尚、中継基板24の両面の半田接続用パッド27,
28はスルーホール導体26で導通されている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、BGAタイプのセ
ラミック基板をプリント配線基板に半田付けにより実装
する、セラミック基板のプリント配線基板への実装構造
に関するものである。
【0002】
【従来の技術】セラミック基板は、一般の樹脂製のプリ
ント配線基板と比較して、耐熱性に優れ、低熱膨張率、
高密度実装、高集積化、信号処理の高速化等の要求に対
応できることから、MPU等の実装基板として不可欠な
ものになっている。しかし、セラミック基板は一般の樹
脂製のプリント配線基板と比較して高価であるため、耐
熱性、高速化等が特に要求される回路についてのみセラ
ミック基板で構成し、このセラミック基板を大型のプリ
ント配線基板(マザーボード)に半田付け等により実装
し、このプリント配線基板に実装した他のモジュールと
組み合わせて一つの回路ユニットを構成する場合が多
い。
【0003】近年、セラミック基板のI/O数増大に対
応するために、BGAタイプのセラミック基板が開発さ
れている。このBGAタイプは、図3に示すように、セ
ラミック基板11の下面に多数のI/Oパッド12を狭
ピッチで印刷・焼成し、このセラミック基板11のI/
Oパッド12とプリント配線基板13上に形成されたI
/Oパッド14との間を、高温半田ボール15とその接
合材である共晶半田16(低温半田)とで接合するよう
にしている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところで、セラミック
基板11は、樹脂製のプリント配線基板13と比較して
熱膨張係数が著しく小さいため、使用時の発熱により両
基板11,13の熱膨張率の相違から半田ボール15の
接合材である共晶半田16に大きな剪断応力が作用し、
その繰り返しにより共晶半田16に疲労クラックが生じ
るおそれがある。このため、従来は耐疲労半田材料を使
用したり、セラミック基板11のサイズを極力小さくし
て、共晶半田16に作用する剪断応力を低下させること
で、疲労破壊対策を行っていた。
【0005】しかし、近年、セラミック基板11に実装
するLSIチップ17が益々高機能化・高集積化するに
従って、セラミック基板11のI/O数が益々増大し、
それに伴ってセラミック基板11のサイズが大きくなる
傾向にある。このため、上記従来の疲労破壊対策では、
半田接合部の耐疲労性が不足するようになってきてい
る。
【0006】本発明はこのような事情を考慮してなされ
たものであり、従ってその目的は、BGAタイプのセラ
ミック基板とプリント配線基板との間の半田接合部の耐
疲労性を向上でき、接合信頼性を高めることができるセ
ラミック基板のプリント配線基板への実装構造を提供す
ることにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の請求項1の実装構造は、セラミック基板と
プリント配線基板との間に、両基板の熱膨張係数の間に
ある熱膨張係数を有する中継基板を介在させた実装構造
であって、前記中継基板に、前記セラミック基板下面に
列設されたI/Oパッドに対応してスルーホール導体を
設けると共に、前記セラミック基板のI/Oパッドと前
記中継基板のスルーホール導体と前記プリント配線基板
のI/Oパッドとの間をそれぞれ半田付けにより接合し
た構成としたものである。
【0008】この構成では、セラミック基板とプリント
配線基板との間に介在される中継基板は、熱膨張係数が
セラミック基板の熱膨張係数とプリント配線基板の熱膨
張係数との間にあるので、半田で接合する基板間の熱膨
張係数の差が小さくなる。この結果、使用時の熱サイク
ルにより半田接合部に加わる剪断応力が小さくなり、半
田接合部の耐疲労性が向上する。
【0009】また、請求項2では、前記セラミック基板
のI/Oパッドと前記中継基板のスルーホール導体との
間を高温半田バンプで接合し、前記中継基板のスルーホ
ール導体と前記プリント配線基板のI/Oパッドとの間
を、高温半田ボールとその接合材である共晶半田とで接
合した構成としている。
【0010】この構成では、予めセラミック基板の下面
に中継基板を高温半田バンプで接合し、後工程で、該中
継基板をプリント配線基板に高温半田ボールとその接合
材である共晶半田(低温半田)とで接合すれば良い。こ
の際、融点が低い共晶半田のみを溶融させて半田付けす
ることができるので、溶融しない高温半田ボールで中継
基板とプリント配線基板との間隔(平行度)を確保でき
ると共に、その半田付け時にセラミック基板側の高温半
田バンプも再溶融せず、高温半田バンプの接合信頼性を
低下させずに済む。
【0011】
【発明の実施の形態】本発明の第1の実施形態を図1に
基づいて説明する。BGAタイプのセラミック基板21
は、例えばグリーンシート積層法で製造されたアルミナ
多層基板であって、製造工程で複数枚のアルミナグリー
ンシートにW、Mo等の高融点金属ペーストで内層導体
パターンや層間接続用のビアを印刷し、これら複数枚の
アルミナグリーンシートを積層・圧着し、焼成して一体
化したものである。このセラミック基板21の上面に
は、半導体チップ22がフリップチップ実装法又はワイ
ヤボンディング法により実装される。一方、セラミック
基板21の下面には、多数のI/Oパッド23がW、M
o等の高融点金属ペーストでスクリーン印刷され、これ
らのI/Oパッド23がセラミック基板21と同時焼成
されている。各I/Oパッド23の表面には、Ni、A
u等のメッキ処理が施されている。
【0012】このセラミック基板21は、後述するよう
にして中継基板24を介してマザーボードであるプリン
ト配線基板25に実装される。中継基板24は、熱膨張
係数がセラミック基板21の熱膨張係数とプリント配線
基板25の熱膨張係数との間にある材料で形成されてい
る(好ましい材料については後述する)。この中継基板
24には、セラミック基板21の下面のI/Oパッド2
3に対応して多数のスルーホール導体26が設けられ、
各スルーホール導体26と接続して上下面にそれぞれ半
田接続用パッド27,28が形成されている。
【0013】尚、中継基板24をアルミナより熱膨張係
数が大きいセラミック(例えばジルコニア)で形成する
場合には、中継基板24をセラミックグリーンシート一
枚或はグリーンシート積層法で所定の厚みに複数枚を積
層し、スルーホール導体26や半田接続用パッド27,
28と同時焼成すれば良い。各半田接続用パッド27,
28の表面には、Ni、Au等のメッキ処理が施されて
いる。そして、セラミック基板21の各I/Oパッド2
3に形成された高温半田バンプ29を中継基板24上面
の各半田接続用パッド27にリフロー半田付けすること
により、セラミック基板21の下面側に中継基板24を
接合している。ここで、高温半田バンプ29は融点が例
えば250℃程度のものを使用する。
【0014】一方、プリント配線基板25は、例えばエ
ポキシ樹脂積層板、ポリイミド樹脂積層板、フェノール
樹脂積層板等により形成され、その上面には、セラミッ
ク基板21のI/Oパッド23に対応して多数のI/O
パッド30が銅箔等により形成されている。そして、セ
ラミック基板21の下面側に接合された中継基板24下
面の半田接続用パッド28とプリント配線基板25のI
/Oパッド30との間を高温半田ボール31とその接合
材である共晶半田32とで接合することで、セラミック
基板21を中継基板24を介してプリント配線基板25
に実装している。ここで、高温半田ボール31は融点が
例えば250℃以上であり、共晶半田32は融点が例え
ば200℃以下である。
【0015】この実装構造では、予めセラミック基板2
1の下面に中継基板24を高温半田バンプ29で接合
し、後工程で、該中継基板24をプリント配線基板25
に高温半田ボール31とその接合材である共晶半田32
とで接合すれば良い。この際、融点が低い共晶半田32
のみを溶融させて半田付けすることができるので、溶融
しない高温半田ボール31で中継基板24とプリント配
線基板25との間隔(平行度)を確保できて、品質の安
定した半田付けを行うことができる。そして、セラミッ
ク基板21側の高温半田バンプ29の融点よりも低い温
度で中継基板24をプリント配線基板25に半田付けで
きるため、その半田付け時にセラミック基板21側の高
温半田バンプ29が再溶融せず、高温半田バンプ29の
接合信頼性を低下させずに済む。
【0016】以上説明した第1の実施形態(図1)は、
中継基板24をセラミックで形成した例であるが、図2
に示す第2の実施形態では、中継基板33を樹脂製のプ
リント配線基板により形成している。この場合も、中継
基板33は、熱膨張係数がセラミック基板21の熱膨張
係数とプリント配線基板25の熱膨張係数との間にある
基板で形成されている。このようなプリント配線基板を
利用した中継基板33では、スルーホールに銅メッキを
施してスルーホール導体34を形成すると共に、中継基
板33の上下両面にスルーホール導体34と導通する半
田接続用パッド35,36を銅箔等により形成してい
る。尚、セラミック基板21、中継基板33、プリント
配線基板25との間の半田接合方法は、前述した第1の
実施形態と同じであり、第1の実施形態と同一符号を付
して説明を省略する。
【0017】上記各実施形態では、セラミック基板21
とプリント配線基板25との間に介在される中継基板2
4(33)は、熱膨張係数がセラミック基板21の熱膨
張係数とプリント配線基板25の熱膨張係数との間にあ
るので、従来(図3)と比較して半田で接合する基板間
の熱膨張係数の差が小さくなって、使用時の発熱により
半田接合部に加わる剪断応力が小さくなり、半田接合部
の耐疲労性が向上して接合信頼性が向上する。
【0018】本発明者は、中継基板を介在させることに
よる耐疲労性向上効果を評価する温度サイクル試験を行
ったので、その試験結果を下記の表1に示す。
【0019】
【表1】
【0020】この表1の温度サイクル試験の条件は次の
通りである。 [サンプル] (1)セラミック基板 材質はアルミナ(Al2 3 )であり、熱膨張係数は
5.5ppm/℃(−45〜125℃間)である。ま
た、セラミック基板のサイズは39×39mmで、厚さ
1mmである。
【0021】(2)プリント配線基板 材質はFR4(ガラスエポキシ樹脂銅張積層板)であ
り、熱膨張係数は14ppm/℃(−45〜125℃
間)である。また、プリント配線基板のサイズは、10
0×100mmで、厚さ1.57mmである。
【0022】(3)中継基板 表1の温度サイクル試験で用いた中継基板のサンプルは
次の通りである。 プリント配線基板(G−10) 熱膨張係数:20ppm/℃ (−45〜125℃
間) プリント配線基板(FR−5) 熱膨張係数:13ppm/℃ (−45〜125℃
間) ガラスエポキシ板 熱膨張係数:11ppm/℃ (−45〜125℃
間) ジルコニア板 熱膨張係数:8ppm/℃ (−45〜125℃間) 高純度アルミナ板(アルミナ99%) 熱膨張係数:6ppm/℃ (−45〜125℃間) 窒化アルミニウム板 熱膨張係数:3.2ppm/℃ (−45〜125℃
間) 中継基板なし(従来の実装構造) 中継基板の各サンプルのサイズは39×39mmで、厚
さ0.5mmである。また、いずれのサンプルも30個
用意し、30回温度サイクル試験を行った。
【0023】[温度条件]0〜100℃の温度サイクル
を500サイクル繰り返した。
【0024】[信頼性クリア条件]信頼性クリア条件
は、500サイクルで、破壊率が10%以下であること
である。従って、サンプル数が30個であれば、3個以
下のクラックは許容範囲である。
【0025】[評価]このような条件で温度サイクル試
験を行った結果、サンプル,では、中継基板の熱膨
張係数がセラミック基板の熱膨張係数とプリント配線基
板の熱膨張係数との間の範囲(5.5〜14ppm/
℃:以下この範囲を「基板間熱膨張係数範囲」という)
から外れているため、すべてのサンプルでクラックが発
生した。同様に、従来の実装構造(中継基板なし)であ
るサンプルでも、すべてのサンプルでクラックが発生
した。
【0026】これに対し、サンプル〜は、いずれも
中継基板の熱膨張係数が基板間熱膨張係数範囲(5.5
〜14ppm/℃)内に収まっているため、従来と比較
して破壊率が著しく低下した。但し、サンプルと
は、中継基板の熱膨張係数が基板間熱膨張係数範囲の上
下限の近傍であるため、中継基板による基板間の熱膨張
率の差を小さくする効果が少なく、半田接合部に加わる
剪断応力が十分に緩和されず、破壊率が13〜17%程
度になった。この場合でも、セラミック基板のサイズを
小さくすれば、信頼性クリア条件を満たすことができ
る。
【0027】一方、サンプルとは、中継基板の熱膨
張係数が基板間熱膨張係数範囲(5.5〜14ppm/
℃)の中間領域であるため、中継基板による基板間の熱
膨張率の差を小さくする効果が十分になり、半田接合部
に加わる剪断応力が十分に緩和されて、破壊率が0%に
なり、前述した信頼性クリア条件を満足する。
【0028】この温度サイクル試験の結果から判断する
と、基板間熱膨張係数範囲が5.5〜14ppm/℃の
場合には、中継基板の熱膨張係数が6.9〜12.6p
pm/℃の範囲であれば、破壊率を10%以下に抑える
ことができ、前述した信頼性クリア条件を満足できるも
のと推定される。
【0029】尚、本発明において、セラミック基板は、
アルミナ基板に限定されるものではなく、窒化アルミニ
ウム、低温焼成セラミック等、他のセラミック材料で形
成しても良い。この場合、セラミック基板の材質やプリ
ント配線基板(マザーボード)の材質に応じて上述した
基板間熱膨張係数範囲が異なるため、その基板間熱膨張
係数範囲に収まるように中継基板の熱膨張係数(材質)
を決めれば良い。
【0030】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
の請求項1によれば、セラミック基板とプリント配線基
板との間に、両基板の熱膨張係数の間にある熱膨張係数
を有する中継基板を介在させた構成としたので、使用時
の熱サイクルにより半田接合部に加わる剪断応力を緩和
することができて、半田接合部の耐疲労性を向上でき、
接合信頼性を高めることができる。
【0031】更に、請求項2では、予めセラミック基板
の下面に中継基板を高温半田バンプで接合し、後工程
で、該中継基板をプリント配線基板に高温半田ボールと
その接合材である共晶半田とで接合することができるの
で、2段階の半田付け工程により品質の安定した半田付
けを行いながら、セラミック基板をプリント配線基板に
能率良く実装することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施形態におけるセラミック基
板のプリント配線基板への実装構造を概略的に示す拡大
側面図
【図2】本発明の第2の実施形態におけるセラミック基
板のプリント配線基板への実装構造を概略的に示す拡大
側面図
【図3】従来のセラミック基板のプリント配線基板への
実装構造を概略的に示す拡大側面図
【符号の説明】
21…セラミック基板、22…半導体チップ、23…I
/Oパッド、24…中継基板、25…プリント配線基
板、26…スルーホール導体、27,28…半田接続用
パッド、29…高温半田バンプ、30…I/Oパッド、
31…高温半田ボール、32…共晶半田、33…中継基
板、34…スルーホール導体、35,36…半田接続用
パッド。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 セラミック基板とプリント配線基板との
    間に、両基板の熱膨張係数の間にある熱膨張係数を有す
    る中継基板を介在させた実装構造であって、前記中継基
    板に、前記セラミック基板下面に列設されたI/Oパッ
    ドに対応してスルーホール導体を設けると共に、前記セ
    ラミック基板のI/Oパッドと前記中継基板のスルーホ
    ール導体と前記プリント配線基板のI/Oパッドとの間
    をそれぞれ半田付けにより接合したことを特徴とするセ
    ラミック基板のプリント配線基板への実装構造。
  2. 【請求項2】 前記セラミック基板のI/Oパッドと前
    記中継基板のスルーホール導体との間を高温半田バンプ
    で接合し、前記中継基板のスルーホール導体と前記プリ
    ント配線基板のI/Oパッドとの間を、高温半田ボール
    とその接合材である共晶半田とで接合したことを特徴と
    する請求項1に記載のセラミック基板のプリント配線基
    板への実装構造。
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Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002246505A (ja) * 2000-12-15 2002-08-30 Ibiden Co Ltd プリント配線板
FR2828983A1 (fr) * 2001-08-23 2003-02-28 Novatec Interface d'interconnexion electrique et d'absorption de contraintes thermomecaniques et procede de realisation
US6697261B2 (en) 1998-07-01 2004-02-24 Fujitsu Limited Multileveled printed circuit board unit including substrate interposed between stacked bumps
JP2005512335A (ja) * 2001-11-30 2005-04-28 ハネウェル・インターナショナル・インコーポレーテッド ボールグリッドアレイパッケージ
JP2007194516A (ja) * 2006-01-23 2007-08-02 Matsushita Electric Ind Co Ltd 複合配線基板およびその製造方法、ならびに電子部品の実装体および製造方法
KR100816757B1 (ko) * 2006-11-06 2008-03-25 삼성전자주식회사 반도체 소자 패키지 실장용 인쇄 회로 기판 및 이를 이용한반도체 소자 패키지 검사 및 제조 방법
JP2008520098A (ja) * 2004-11-12 2008-06-12 エフシーアイ ツーピース中間平板
US7906733B2 (en) 2007-05-22 2011-03-15 Canon Kabushiki Kaisha Electronic circuit device

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6697261B2 (en) 1998-07-01 2004-02-24 Fujitsu Limited Multileveled printed circuit board unit including substrate interposed between stacked bumps
US7489518B2 (en) 1998-07-01 2009-02-10 Fujitsu Limited Multileveled printed circuit board unit including substrate interposed between stacked bumps
US8089775B2 (en) 1998-07-01 2012-01-03 Fujitsu Limited Multileveled printed circuit board unit including substrate interposed between stacked bumps
JP2002246505A (ja) * 2000-12-15 2002-08-30 Ibiden Co Ltd プリント配線板
FR2828983A1 (fr) * 2001-08-23 2003-02-28 Novatec Interface d'interconnexion electrique et d'absorption de contraintes thermomecaniques et procede de realisation
JP2005512335A (ja) * 2001-11-30 2005-04-28 ハネウェル・インターナショナル・インコーポレーテッド ボールグリッドアレイパッケージ
JP2008520098A (ja) * 2004-11-12 2008-06-12 エフシーアイ ツーピース中間平板
JP2007194516A (ja) * 2006-01-23 2007-08-02 Matsushita Electric Ind Co Ltd 複合配線基板およびその製造方法、ならびに電子部品の実装体および製造方法
KR100816757B1 (ko) * 2006-11-06 2008-03-25 삼성전자주식회사 반도체 소자 패키지 실장용 인쇄 회로 기판 및 이를 이용한반도체 소자 패키지 검사 및 제조 방법
US7906733B2 (en) 2007-05-22 2011-03-15 Canon Kabushiki Kaisha Electronic circuit device

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