JPH09213757A - ウエハプローブ容易化方法 - Google Patents
ウエハプローブ容易化方法Info
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- JPH09213757A JPH09213757A JP2076796A JP2076796A JPH09213757A JP H09213757 A JPH09213757 A JP H09213757A JP 2076796 A JP2076796 A JP 2076796A JP 2076796 A JP2076796 A JP 2076796A JP H09213757 A JPH09213757 A JP H09213757A
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- electrode pads
- index electrode
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- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課 題】 針位置合わせ作業が少数個の電極パッドに
ついて行うだけで足りるようなウエハプローブ容易化方
法を提供する。 【解決手段】 チップ１内の互いに異なる少なくとも３
つの地点に針位置合わせ用の指標電極パッド２Ａを１つ
ずつ備えると共に、プローブ手段に各指標電極パッドに
１対１に対応する指標プローブ針３Ａを備え、互いに対
応する指標電極パッドと指標プローブ針とについてのみ
針位置合わせを行う。
ついて行うだけで足りるようなウエハプローブ容易化方
法を提供する。 【解決手段】 チップ１内の互いに異なる少なくとも３
つの地点に針位置合わせ用の指標電極パッド２Ａを１つ
ずつ備えると共に、プローブ手段に各指標電極パッドに
１対１に対応する指標プローブ針３Ａを備え、互いに対
応する指標電極パッドと指標プローブ針とについてのみ
針位置合わせを行う。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ウエハプローブ容
易化方法に関し、特に、ウエハセッティング時の針位置
合わせを容易に行うためのウエハプローブ容易化方法に
関する。
易化方法に関し、特に、ウエハセッティング時の針位置
合わせを容易に行うためのウエハプローブ容易化方法に
関する。
【０００２】
【従来の技術】ウエハプローブは、表面に同一パターン
の配線及び電極パッドを有するチップが縦横に配置され
たウエハを、ウエハ載置用のステージ上に載置し、チッ
プの電極パッドの数に見合ったプローブ針を備えたプロ
ーブカード等のプローブ手段の前記複数のプローブ針
を、ウエハ上方から一度に１チップの複数の電極パッド
に１対１に当接させて、チップ内部の配線の導通チェッ
クを行う試験である。この試験は１枚のウエハ内のチッ
プについて次々と連続して行われ、更にウエハについて
も試験位置へのセットが順々に連続して行われる。尚、
図２は１つのチップ１の各電極パッド２にプローブ針３
が当接している状況の説明図であり、（ａ）は概略平面
図、（ｂ）は要部断面図、５はウエハである。
の配線及び電極パッドを有するチップが縦横に配置され
たウエハを、ウエハ載置用のステージ上に載置し、チッ
プの電極パッドの数に見合ったプローブ針を備えたプロ
ーブカード等のプローブ手段の前記複数のプローブ針
を、ウエハ上方から一度に１チップの複数の電極パッド
に１対１に当接させて、チップ内部の配線の導通チェッ
クを行う試験である。この試験は１枚のウエハ内のチッ
プについて次々と連続して行われ、更にウエハについて
も試験位置へのセットが順々に連続して行われる。尚、
図２は１つのチップ１の各電極パッド２にプローブ針３
が当接している状況の説明図であり、（ａ）は概略平面
図、（ｂ）は要部断面図、５はウエハである。
【０００３】このように連続して試験を行うために、例
えば特開平5-283493号公報に記載されるように、ウエハ
プローブ用の試験装置には通常、ステージをＸ，Ｙ及び
Ｚ方向に移動させる駆動手段と、ステージ上に載置され
たウエハ５のパターンを読み取ってステージの移動手順
を指示するアライメント機構が備えられている。尚、駆
動手段にはステージを回転させうるものもある。
えば特開平5-283493号公報に記載されるように、ウエハ
プローブ用の試験装置には通常、ステージをＸ，Ｙ及び
Ｚ方向に移動させる駆動手段と、ステージ上に載置され
たウエハ５のパターンを読み取ってステージの移動手順
を指示するアライメント機構が備えられている。尚、駆
動手段にはステージを回転させうるものもある。
【０００４】同じパターンのマスクを用いて作り込まれ
たウエハ５内のチップ１間及びウエハ５間でのパターン
の位置ズレはないものとしてよく、又ウエハ５はステー
ジ上での固定位置がブレることもないから、最初のウエ
ハセッティング時に最初に試験されるウエハ５内の１つ
のチップ１において電極パッド２とプローブ針３との位
置合わせ（針位置合わせという）を行っておけば、以下
は自動的に試験が進行する。
たウエハ５内のチップ１間及びウエハ５間でのパターン
の位置ズレはないものとしてよく、又ウエハ５はステー
ジ上での固定位置がブレることもないから、最初のウエ
ハセッティング時に最初に試験されるウエハ５内の１つ
のチップ１において電極パッド２とプローブ針３との位
置合わせ（針位置合わせという）を行っておけば、以下
は自動的に試験が進行する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記した針位
置合わせ作業は、作業者が、顕微鏡によりプローブ針と
電極パッドとを１個１個観察しながら、両者が適切な位
置で当接するようにステージを操作して水平（Ｘ，Ｙ）
方向、高さ（Ｚ）方向、及び回転方向の位置を合わせて
いた。
置合わせ作業は、作業者が、顕微鏡によりプローブ針と
電極パッドとを１個１個観察しながら、両者が適切な位
置で当接するようにステージを操作して水平（Ｘ，Ｙ）
方向、高さ（Ｚ）方向、及び回転方向の位置を合わせて
いた。
【０００６】この作業はチップサイズが小さく電極パッ
ドの数が少ないうちは容易であったが、年々チップの集
積度が高くなりチップのサイズが大きくなるとともに電
極パッドの数も３００〜４００個に増加してきた昨今で
は、この針位置合わせ作業が、困難の度を増すとともに
時間もかかるようになり、コストアップ要因の中で占め
る比率が高くなってきた。
ドの数が少ないうちは容易であったが、年々チップの集
積度が高くなりチップのサイズが大きくなるとともに電
極パッドの数も３００〜４００個に増加してきた昨今で
は、この針位置合わせ作業が、困難の度を増すとともに
時間もかかるようになり、コストアップ要因の中で占め
る比率が高くなってきた。
【０００７】かかる従来技術の問題点に鑑み、本発明
は、針位置合わせ作業が少数個の電極パッドについて行
うだけで足りるようなウエハプローブ容易化方法を提供
することを課題とする。
は、針位置合わせ作業が少数個の電極パッドについて行
うだけで足りるようなウエハプローブ容易化方法を提供
することを課題とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、チップ内の互
いに異なる少なくとも３つの地点に針位置合わせ用の指
標電極パッドを１つずつ備えると共に、プローブ手段に
各指標電極パッドに１対１に対応する指標プローブ針を
備え、互いに対応する指標電極パッドと指標プローブ針
とについてのみ針位置合わせを行うことを特徴とするウ
エハプローブ容易化方法である。
いに異なる少なくとも３つの地点に針位置合わせ用の指
標電極パッドを１つずつ備えると共に、プローブ手段に
各指標電極パッドに１対１に対応する指標プローブ針を
備え、互いに対応する指標電極パッドと指標プローブ針
とについてのみ針位置合わせを行うことを特徴とするウ
エハプローブ容易化方法である。
【０００９】前記本発明において、地点はコーナ部であ
ることが好ましく、更に４つのコーナ部であることがよ
り好ましい。又、本発明においては、指標電極パッド同
士をチップ内で電気的導通状態にしておくのが好まし
い。尚、指標電極パッド同士を電気的導通状態にする場
合、同系統の電源線又はＧＮＤ線を一部利用するのが好
ましく、更に可能な場合には、指標電極パッドとして、
同系統の電源パッド又はＧＮＤパッドを採用するのが一
段と好ましい。
ることが好ましく、更に４つのコーナ部であることがよ
り好ましい。又、本発明においては、指標電極パッド同
士をチップ内で電気的導通状態にしておくのが好まし
い。尚、指標電極パッド同士を電気的導通状態にする場
合、同系統の電源線又はＧＮＤ線を一部利用するのが好
ましく、更に可能な場合には、指標電極パッドとして、
同系統の電源パッド又はＧＮＤパッドを採用するのが一
段と好ましい。
【００１０】更に、本発明においては、アライメント機
構に、各地点での指標電極パッドとこれに対応する指標
プローブ針との位置ズレを顕微鏡映像の画像処理情報と
指標電極パッド同士の電気的導通に関する特性値とに基
づいて自動認識させながら夫々の位置ズレを修正する方
向にステージを移動する旨の駆動手段向けの指令を出さ
せるようにするのが最も好ましい。
構に、各地点での指標電極パッドとこれに対応する指標
プローブ針との位置ズレを顕微鏡映像の画像処理情報と
指標電極パッド同士の電気的導通に関する特性値とに基
づいて自動認識させながら夫々の位置ズレを修正する方
向にステージを移動する旨の駆動手段向けの指令を出さ
せるようにするのが最も好ましい。
【００１１】
【発明の実施の形態】図１は、本発明の実施形態の説明
図である。図１において、２Ａは指標電極パッド、３Ａ
は指標プローブ針である。尚前掲図２と同一部材には同
一符号を付し説明を省略する。図１に示すように、本発
明は、チップ１内の互いに異なる少なくとも３つの地点
に針位置合わせ用の指標電極パッド２Ａを１つずつ備え
ると共に、プローブカード等のプローブ手段に各指標電
極パッド２Ａに１対１に対応する指標プローブ針３Ａを
備え、互いに対応する指標電極パッド２Ａと指標プロー
ブ針３Ａとについてのみ針位置合わせを行うことを特徴
とする。
図である。図１において、２Ａは指標電極パッド、３Ａ
は指標プローブ針である。尚前掲図２と同一部材には同
一符号を付し説明を省略する。図１に示すように、本発
明は、チップ１内の互いに異なる少なくとも３つの地点
に針位置合わせ用の指標電極パッド２Ａを１つずつ備え
ると共に、プローブカード等のプローブ手段に各指標電
極パッド２Ａに１対１に対応する指標プローブ針３Ａを
備え、互いに対応する指標電極パッド２Ａと指標プロー
ブ針３Ａとについてのみ針位置合わせを行うことを特徴
とする。
【００１２】針位置合わせは、結局のところ同じ模様が
描かれた２つの面を或る間隔で平行とし且つ平面透視に
おいて両面内の模様を重ね合わせることと同等だから、
指標電極パッド２Ａは最低３つが必要であり、又当然な
がらこれに１対１に対応する指標プローブ針３Ａもこれ
と同じだけの本数が必要である。図１では、各指標電極
パッド２Ａが配置される地点をチップ１内のコーナ部と
した例を示した。このようにしておけば、各指標電極パ
ッド２Ａが互いに最も遠い位置関係となるから特に回転
方向の位置合わせに際し精度面で有利となり、又地点と
して４つのコーナ部を採用すれば、４個ある指標電極パ
ッド２Ａのうちから３個を任意に選んで用いることがで
きて作業性がよくなることから一層好ましい。
描かれた２つの面を或る間隔で平行とし且つ平面透視に
おいて両面内の模様を重ね合わせることと同等だから、
指標電極パッド２Ａは最低３つが必要であり、又当然な
がらこれに１対１に対応する指標プローブ針３Ａもこれ
と同じだけの本数が必要である。図１では、各指標電極
パッド２Ａが配置される地点をチップ１内のコーナ部と
した例を示した。このようにしておけば、各指標電極パ
ッド２Ａが互いに最も遠い位置関係となるから特に回転
方向の位置合わせに際し精度面で有利となり、又地点と
して４つのコーナ部を採用すれば、４個ある指標電極パ
ッド２Ａのうちから３個を任意に選んで用いることがで
きて作業性がよくなることから一層好ましい。
【００１３】本発明はこのように構成したので、互いに
対応する指標電極パッド２Ａと指標プローブ針３Ａとに
ついてのみ針位置合わせを行えば、他の電極パッド２と
プローブ針３とについての針位置合わせも同時にできた
ことになるから、作業時間が大幅に短縮され、テスト単
価が削減できる。又、本発明においては、互いに異なる
指標電極パッド２Ａ同士をチップ１内で電気的導通状態
にしておくのが好ましい。かかる措置により、各指標電
極パッド２Ａに対応する指標プローブ針３Ａを当接させ
ながら、互いに異なる指標プローブ針３Ａ同士間の電気
的導通の善し悪しを調べることができ、それを指標プロ
ーブ針３Ａの当接具合即ち位置ズレ具合の評価に利用で
きるから、顕微鏡観察だけに頼って行う場合に比べ、針
位置合わせが一層容易化する。特に、Ｚ方向の位置に大
きく左右される針圧（電極パッドへのプローブ針の押し
つけ圧力）の調整が大幅に容易化する。
対応する指標電極パッド２Ａと指標プローブ針３Ａとに
ついてのみ針位置合わせを行えば、他の電極パッド２と
プローブ針３とについての針位置合わせも同時にできた
ことになるから、作業時間が大幅に短縮され、テスト単
価が削減できる。又、本発明においては、互いに異なる
指標電極パッド２Ａ同士をチップ１内で電気的導通状態
にしておくのが好ましい。かかる措置により、各指標電
極パッド２Ａに対応する指標プローブ針３Ａを当接させ
ながら、互いに異なる指標プローブ針３Ａ同士間の電気
的導通の善し悪しを調べることができ、それを指標プロ
ーブ針３Ａの当接具合即ち位置ズレ具合の評価に利用で
きるから、顕微鏡観察だけに頼って行う場合に比べ、針
位置合わせが一層容易化する。特に、Ｚ方向の位置に大
きく左右される針圧（電極パッドへのプローブ針の押し
つけ圧力）の調整が大幅に容易化する。
【００１４】尚、互いに異なる指標電極パッド２Ａ同士
をチップ１内で電気的導通状態にするには、配線パター
ニングの折りに、これらの間を専用の接続配線で結んで
おくのもよいが、省スペースの観点からすれば、チップ
１内に元々存在する電源線又はＧＮＤ（グラウンド）線
のうち同系統のものを利用しそれと夫々の指標電極パッ
ドとを枝配線で結んでおくほうが好ましい。
をチップ１内で電気的導通状態にするには、配線パター
ニングの折りに、これらの間を専用の接続配線で結んで
おくのもよいが、省スペースの観点からすれば、チップ
１内に元々存在する電源線又はＧＮＤ（グラウンド）線
のうち同系統のものを利用しそれと夫々の指標電極パッ
ドとを枝配線で結んでおくほうが好ましい。
【００１５】更に、チップによっては、同系統の電源
線、ＧＮＤ線のいずれかに接続する電極パッド２（電源
パッド、ＧＮＤパッドのいずれか）を、指標電極パッド
２Ａとし、これらに対応するプローブ針３を指標プロー
ブ針３Ａとして夫々採用できる。この場合には、指標電
極パッド２Ａと指標プローブ針３Ａとを新設しなくても
よいから一段と好ましい。
線、ＧＮＤ線のいずれかに接続する電極パッド２（電源
パッド、ＧＮＤパッドのいずれか）を、指標電極パッド
２Ａとし、これらに対応するプローブ針３を指標プロー
ブ針３Ａとして夫々採用できる。この場合には、指標電
極パッド２Ａと指標プローブ針３Ａとを新設しなくても
よいから一段と好ましい。
【００１６】更に、本発明によれば、アライメント機構
に、各地点での指標電極パッド２Ａとこれに対応する指
標プローブ針３Ａとの位置ズレを顕微鏡映像の画像処理
情報と指標電極パッド２Ａ同士の電気的導通に関する特
性値（電流値又は電圧値）とに基づいて自動認識させな
がら夫々の位置ズレを修正する方向にステージを移動す
る旨の駆動手段向けの指令を出させるようにすることが
できる。
に、各地点での指標電極パッド２Ａとこれに対応する指
標プローブ針３Ａとの位置ズレを顕微鏡映像の画像処理
情報と指標電極パッド２Ａ同士の電気的導通に関する特
性値（電流値又は電圧値）とに基づいて自動認識させな
がら夫々の位置ズレを修正する方向にステージを移動す
る旨の駆動手段向けの指令を出させるようにすることが
できる。
【００１７】前述のように、アライメント機構にはパタ
ーン認識機能及び駆動手段への指示方式が既に備わって
いるので、上記のことを具体化するには、指標プローブ
針３Ａを介して指標電極パッド２Ａ同士の電気的導通に
関する特性値を取り込み且つこれを評価する機能を付加
するだけでよい。この機能付加は既存の技術で十分対処
可能である。
ーン認識機能及び駆動手段への指示方式が既に備わって
いるので、上記のことを具体化するには、指標プローブ
針３Ａを介して指標電極パッド２Ａ同士の電気的導通に
関する特性値を取り込み且つこれを評価する機能を付加
するだけでよい。この機能付加は既存の技術で十分対処
可能である。
【００１８】かかる実施形態においては、作業者はステ
ージにウエハをセットするだけでよく、以後の針位置合
わせ作業が全て自動化できるから、最も好ましい。
ージにウエハをセットするだけでよく、以後の針位置合
わせ作業が全て自動化できるから、最も好ましい。
【００１９】
【実施例】電極パッド数が３００個のチップについて指
標電極パッド２Ａ及び指標プローブ針３Ａを図１に示し
た形態のものとし、マニュアル作業により本発明を実施
したところ、針位置合わせに要する時間が従来の約１／
３に短縮した。
標電極パッド２Ａ及び指標プローブ針３Ａを図１に示し
た形態のものとし、マニュアル作業により本発明を実施
したところ、針位置合わせに要する時間が従来の約１／
３に短縮した。
【００２０】
【発明の効果】本発明によれば、ウエハプローブ時の針
位置合わせ作業が容易化し、作業時間が大幅に短縮でき
るという格段の効果を奏する。
位置合わせ作業が容易化し、作業時間が大幅に短縮でき
るという格段の効果を奏する。
【図１】本発明の実施形態の説明図である。
【図２】１つのチップの各電極パッドにプローブ針が当
接している状況の説明図である。
接している状況の説明図である。
１ チップ ２ 電極パッド ２Ａ 指標電極パッド ３ プローブ針 ３Ａ 指標プローブ針 ５ ウエハ
Claims (7)
- 【請求項１】 チップ内の互いに異なる少なくとも３つ
の地点に針位置合わせ用の指標電極パッドを１つずつ備
えると共に、プローブ手段に各指標電極パッドに１対１
に対応する指標プローブ針を備え、互いに対応する指標
電極パッドと指標プローブ針とについてのみ針位置合わ
せを行うことを特徴とするウエハプローブ容易化方法。 - 【請求項２】 地点がコーナ部であることを特徴とする
請求項１記載のウエハプローブ容易化方法。 - 【請求項３】 地点が４つのコーナ部であることを特徴
とする請求項１記載のウエハプローブ容易化方法。 - 【請求項４】 指標電極パッド同士をチップ内で電気的
導通状態にしておくことを特徴とする請求項１、２又は
３に記載のウエハプローブ容易化方法。 - 【請求項５】 同系統の電源線又はＧＮＤ線を一部利用
して、指標電極パッド同士を電気的導通状態にしておく
ことを特徴とする請求項４に記載のウエハプローブ容易
化方法。 - 【請求項６】 同系統の電源パッド又はＧＮＤパッドを
指標電極パッドとして採用することを特徴とする請求項
４に記載のウエハプローブ容易化方法。 - 【請求項７】 アライメント機構に、各地点での指標電
極パッドとこれに対応する指標プローブ針との位置ズレ
を顕微鏡映像の画像処理情報と指標電極パッド同士の電
気的導通に関する特性値とに基づいて自動認識させなが
ら夫々の位置ズレを修正する方向にステージを移動する
旨の駆動手段向けの指令を出させるようにすることを特
徴とする請求項４、５又は６に記載のウエハプローブ容
易化方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2076796A JPH09213757A (ja) | 1996-02-07 | 1996-02-07 | ウエハプローブ容易化方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2076796A JPH09213757A (ja) | 1996-02-07 | 1996-02-07 | ウエハプローブ容易化方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09213757A true JPH09213757A (ja) | 1997-08-15 |
Family
ID=12036335
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2076796A Pending JPH09213757A (ja) | 1996-02-07 | 1996-02-07 | ウエハプローブ容易化方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09213757A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006222147A (ja) * | 2005-02-08 | 2006-08-24 | Nec Electronics Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
| WO2007055012A1 (ja) * | 2005-11-10 | 2007-05-18 | Nhk Spring Co., Ltd. | コンタクトユニットおよび検査システム |
| CN100412500C (zh) * | 2005-08-04 | 2008-08-20 | 三星电子株式会社 | 半导体器件的探针对齐验证电路和方法 |
-
1996
- 1996-02-07 JP JP2076796A patent/JPH09213757A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006222147A (ja) * | 2005-02-08 | 2006-08-24 | Nec Electronics Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
| CN100412500C (zh) * | 2005-08-04 | 2008-08-20 | 三星电子株式会社 | 半导体器件的探针对齐验证电路和方法 |
| WO2007055012A1 (ja) * | 2005-11-10 | 2007-05-18 | Nhk Spring Co., Ltd. | コンタクトユニットおよび検査システム |
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