JPH09212928A - Magneto-optical recording medium and optical information detector - Google Patents
Magneto-optical recording medium and optical information detectorInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、ランド＆グルーブ
記録を行える光磁気記録媒体および光ディスクドライブ
装置、すなわち光情報検出装置に係るものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magneto-optical recording medium and an optical disk drive device capable of land and groove recording, that is, an optical information detecting device.
【０００２】[0002]
【従来の技術】現在、光ディスクは、音声信号や画像信
号を再生できる記録媒体として使われている。特に、光
磁気ディスクや相変化型ディスクは、書き換え可能な高
密度記録媒体として、開発が盛んに行われている。2. Description of the Related Art At present, optical disks are used as recording media capable of reproducing audio signals and image signals. In particular, magneto-optical disks and phase-change disks are being actively developed as rewritable high density recording media.
【０００３】螺旋状または同心円状に情報を記録する光
ディスク記録媒体の記録密度を増大させるためには、ト
ラックピッチの短縮と線記録密度の向上という２つの方
法がある。いずれの場合も、記録再生に使用する半導体
レーザーの短波長化によって実現される。しかし、青色
や緑色といった短波長の半導体レーザーが室温で安定に
連続発振し、しかもそれらが民生用として、安価で市場
に出まわるまでには、今暫く時間がかかりそうである。
そのような状況の中で、屈折率の温度分布を利用した光
学的超解像法や、光磁気ディスクにおけるＭＳＲのよう
に、現行波長のレーザーを用いたままで記録密度を最大
限に向上させる方法が模索されている。In order to increase the recording density of an optical disk recording medium for recording information in a spiral or concentric form, there are two methods: shortening the track pitch and improving the linear recording density. In any case, it is realized by shortening the wavelength of the semiconductor laser used for recording and reproduction. However, it seems that it will take some time before semiconductor lasers with short wavelengths such as blue and green steadily oscillate continuously at room temperature, and they come to the market at low cost for consumer use.
Under such circumstances, the optical super-resolution method using the temperature distribution of the refractive index and the method of maximizing the recording density while using the laser of the current wavelength as in the MSR of the magneto-optical disk. Is being sought.
【０００４】相変化型ディスクや光磁気ディスクのよう
なＲＡＭディスクは、情報の書き込み時と再生時とで同
じ波長の光を用いるのに対して、予め情報が記録されて
いるＲＯＭディスクでは、短波長のガスレーザー等を用
いてピットが形成されている。ＲＡＭディスク側からす
れば、ＲＯＭディスクは、再生条件は同じであるもの
の、言わば未来に使用可能な光で情報を書いているよう
なものであり、情報を高密度に書き込むという点でＲＡ
Ｍディスクは不利である。このため、次世代の家庭向け
映像記録媒体として注目されているＤＶＤ規格において
も、フルＲＯＭディスクの記録容量を、同じ大きさのＲ
ＡＭディスクでサポートするような案が出されていない
状況である。A RAM disk such as a phase-change disk or a magneto-optical disk uses light of the same wavelength when writing and reproducing information, whereas a ROM disk in which information is recorded in advance has a short wavelength. Pits are formed by using a gas laser having a wavelength. From the side of the RAM disk, the ROM disk is like writing information with light that can be used in the future, although the reproduction conditions are the same.
The M disc is a disadvantage. Therefore, even in the DVD standard, which is drawing attention as a next-generation home video recording medium, the recording capacity of a full-ROM disc is the same as that of the R-type.
It is in a situation where there is no plan to support it with an AM disc.
【０００５】ランド＆グルーブ記録は、同じ線記録密度
で同じトラックピッチならば、記録密度を２倍にできる
ため、高密度光記録媒体を開発する上で魅力的な技術で
ある。特に、現在使用されているＲＡＭディスクのほと
んどは、予め溝が形成された基板において、ランドまた
はグルーブのどちらか一方に記録を行っており、両方に
記録できることが望まれる。例えば、相変化型ディスク
のランド＆グルーブ記録においては、Ｔｅｃｈｎｉｃａ
ｌ Ｄｉｇｅｓｔ Ｓｙｍｐ．ｏｎ Ｏｐｔｉｃａｌ
Ｍｅｍｏｒｙ，Ｔｏｋｙｏ（１９９４），ｐｐ．３５−
３６にあるように、グルーブ部深さ調整することによっ
てクロストークを改善し記録密度を向上させる方法が提
案されている。The land-and-groove recording is an attractive technique for developing a high-density optical recording medium because the recording density can be doubled with the same linear recording density and the same track pitch. In particular, most of the RAM disks currently in use record on either a land or a groove on a substrate in which a groove is formed in advance, and it is desired that recording can be performed on both. For example, in land-and-groove recording of a phase-change disc, Technica
l Digest Symp. on Optical
Memory, Tokyo (1994), pp. 35-
36, there is proposed a method of improving crosstalk and recording density by adjusting the depth of the groove portion.
【０００６】磁界変調方式を用いた光磁気記録は、記録
マークの反転位置が磁界の反転によって制御されている
ため、マークの形状が隣接する記録マークを書くときの
熱干渉に大きく影響される相変化型光記録に較べて、容
易にマークエッジ記録方式で線記録密度を向上させるこ
とができる。このため、光磁気記録においてランド＆グ
ルーブ記録が採用できれば記録密度を飛躍的に向上させ
ることができるはずである。しかし、研究論文や出願特
許を調べてみると、相変化記録に関連したランド＆グル
ーブ記録の報告に較べて、光磁気記録におけるランド＆
グルーブ記録に関する報告は少ない。In magneto-optical recording using the magnetic field modulation method, since the reversal position of the recording mark is controlled by reversing the magnetic field, the shape of the mark is greatly affected by thermal interference when writing adjacent recording marks. The linear recording density can be easily improved by the mark edge recording method as compared with the variable optical recording. Therefore, if land and groove recording can be adopted in magneto-optical recording, the recording density should be dramatically improved. However, when examining research papers and applied patents, compared with the reports of land and groove recording related to phase change recording, land and
There are few reports on groove recording.
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】我々は、ランド＆グル
ーブ記録により高密度光磁気記録を実現するために、検
討を重ねた結果、光磁気記録に特有な問題点にぶち当た
った。それは、ランドとグルーブ部における最適な位相
補償条件が、ランドとグルーブとで大きく異なるという
問題である。このため、情報の読み出し時にランドまた
はグルーブの一方に位相補償条件を合わせると、グルー
ブまたはランドの再生信号が劣化してしまってうまく読
み出せない。このような現象は直線偏光を入射させ、そ
の偏光方向の変化を検出する光磁気記録に特徴的な現象
である。As a result of repeated studies to realize high density magneto-optical recording by land & groove recording, we encountered a problem peculiar to magneto-optical recording. It is a problem that the optimum phase compensation condition in the land and the groove portion is greatly different between the land and the groove. Therefore, if the phase compensation condition is matched with one of the land or the groove at the time of reading the information, the reproduction signal of the groove or the land is deteriorated and the information cannot be read well. Such a phenomenon is a characteristic phenomenon in magneto-optical recording in which linearly polarized light is incident and changes in the polarization direction are detected.
【０００８】本発明の課題は、上記のようなランドとグ
ルーブの最適な読み出し条件の違いを補正し、さらに、
隣接するランドとグルーブ間のクロストークの低減した
光磁気記録媒体および光情報検出装置を提供することで
ある。An object of the present invention is to correct the difference between the optimum read conditions of land and groove as described above, and
An object of the present invention is to provide a magneto-optical recording medium and an optical information detection device in which crosstalk between adjacent lands and grooves is reduced.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】本発明の第１の構成は、
同心円または螺旋状のほぼ平坦なランドおよびグルーブ
からなる記録トラックを具備する光磁気記録媒体におい
て、隣接するランドとグルーブの中間領域が、情報検出
用の光の入射方向に対して、傾きを有することを特徴と
する光磁気記録媒体である。According to a first aspect of the present invention, there is provided:
In a magneto-optical recording medium having a recording track composed of concentric or spiral substantially flat lands and grooves, an intermediate region between adjacent lands and grooves has an inclination with respect to the incident direction of light for information detection. Is a magneto-optical recording medium.
【００１０】更に、本発明は、前記した光磁気記録媒体
において、前記中間領域と情報検出光とのなす角度が好
ましくは４５度〜８５度である光磁気記録媒体である。Furthermore, the present invention is the above-described magneto-optical recording medium, wherein the angle formed between the intermediate region and the information detection light is preferably 45 to 85 degrees.
【００１１】本発明の第２の構成は、同心円あるいは螺
旋状のほぼ平坦なランドおよびグルーブからなる記録ト
ラックを有し、隣接する前記ランドとグルーブとの中間
領域が情報を検出するための光の入射方向に対して傾い
ていることを特徴とする光磁気記録媒体に記録した信号
を検出する光情報検出装置において、磁気カー効果検出
光学系に光学的な位相差を与える手段を有することを特
徴とする光情報検出装置である。A second structure of the present invention has a recording track composed of concentric or spiral substantially flat lands and grooves, and an intermediate area between the adjacent lands and grooves is used to detect light. An optical information detecting device for detecting a signal recorded in a magneto-optical recording medium characterized by being inclined with respect to an incident direction, characterized by having means for giving an optical phase difference to a magnetic Kerr effect detection optical system. It is the optical information detecting device.
【００１２】上述の光磁気記録媒体の読み出しに使用す
る光情報検出装置は、好ましくは磁気カー効果を検出す
る光学系を２つ有し、それぞれに光学的な位相差を与え
る光学素子を配置する。本発明に関わる装置は更に詳し
くは、それぞれの検出系において異なる位相差を供する
手段を有する構成からなる。The above-mentioned optical information detecting device used for reading the magneto-optical recording medium preferably has two optical systems for detecting the magnetic Kerr effect, and an optical element for giving an optical phase difference is arranged in each of them. . More specifically, the apparatus according to the present invention is configured to have means for providing different phase differences in each detection system.
【００１３】前記した光情報検出装置における光学的位
相差を与える手段として、好ましくは電気光学素子を用
いる。又、位相差与える好ましい光学素子として１／２
波長板を用いる場合は、この１／２波長板を光軸に対し
て傾けた配置にする。An electro-optical element is preferably used as a means for giving an optical phase difference in the above-mentioned optical information detecting device. Also, it is 1/2 as a preferable optical element that gives a phase difference.
When the wave plate is used, the 1/2 wave plate is arranged to be inclined with respect to the optical axis.
【００１４】[0014]
【発明の実施の形態】所望のグルーブ深さと同じ厚みに
フォトレジストを塗布したガラス原盤を回転させ、その
原盤上にＡｒガスレーザーから出射される短波長の高出
力レーザー光を対物レンズを用いて集光し、グルーブの
形成を行うことができる。集光するレーザー光のビーム
プロファイル、光の強度、レーザー光の照射後の現像条
件等を変化させることによって、トラックピッチに対す
るランドとグルーブの比率と、隣接するランドとグルー
ブの中間領域の傾きを調節することができる。上述の中
間領域の傾きは、使用するフォトレジストのパワー感度
を変えることによっても調節可能である。このようにし
て、記録トラックを形成したガラス原盤上にＮｉの導電
膜を形成してスタンパーを作製し、射出成形または２Ｐ
によりランド＆グルーブ記録可能な光磁気記録媒体用の
基板が作製できる。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION A glass master disk coated with a photoresist having the same thickness as a desired groove depth is rotated, and high-power laser light of a short wavelength emitted from an Ar gas laser is projected onto the master disk using an objective lens. The light can be condensed to form the groove. By adjusting the beam profile of the focused laser light, the light intensity, and the development conditions after laser light irradiation, the ratio of land to groove to track pitch and the inclination of the intermediate area between adjacent lands are adjusted. can do. The inclination of the above-mentioned intermediate region can also be adjusted by changing the power sensitivity of the photoresist used. In this way, a Ni conductive film is formed on the glass master having the recording tracks formed thereon to manufacture a stamper, and injection molding or 2P is performed.
Thus, a substrate for a magneto-optical recording medium capable of land and groove recording can be manufactured.
【００１５】この基板上に、スパッタリング法により誘
電体層、磁気記録層、誘電体層および金属反射層の順
に、従来構造の４層膜を形成し、そのうえにＵＶ樹脂等
を保護コートすることで光磁気媒体が作製できる。On this substrate, a dielectric layer, a magnetic recording layer, a dielectric layer, and a metal reflection layer are formed in this order by a sputtering method to form a four-layer film having a conventional structure, and a UV resin or the like is protectively coated on the four-layer film so that the light A magnetic medium can be produced.
【００１６】発明の実施の一形態を述べたが、詳しくは
グルーブを形成するために照射するビームプロファイル
を、ピンホール光学素子或いはフォーカスオフセット等
の手段により変化させることで、隣接するランドとグル
ーブの中間領域の傾きが変化する。また、フォトレジス
トの感度を変化させることによっても前記中間領域の傾
きが変化する。この傾きにより、直線偏光で入射した光
は楕円偏光となって反射される。記録媒体に磁気カー効
果あるいは磁気カー楕円効果がない時には、入射した直
線偏光の偏光方向が記録トラック方向に対して、正確に
垂直または平行であれば、反射された光に位相差は生じ
ない。しかし、磁気カー効果によって偏光方向が回転す
ることで、反射された光には、偏光方向による位相差が
生じて楕円偏光となる。ランドとグルーブの中間領域が
急峻なステップ状になっていれば、ランドとグルーブと
で位相補償条件の差はほとんど生じないが、中間領域に
傾きが存在することで、ランドとグルーブとで、反射、
回折された光の位相補償条件に差が生じる。位相補償条
件が異なることで情報の再生が難しくなるが、逆手にと
って考えるとランドまたはグルーブに位相補償条件を合
わせることによって、隣接するグルーブまたはランドの
再生出力は大きく低下するため、クロストークをかなり
低減できる。Although one embodiment of the invention has been described, in detail, the beam profile irradiated to form the groove is changed by means of a pinhole optical element or a focus offset, so that the adjacent land and groove are formed. The slope of the intermediate area changes. Also, the inclination of the intermediate region is changed by changing the sensitivity of the photoresist. Due to this inclination, the light incident as linearly polarized light is reflected as elliptically polarized light. When the recording medium does not have the magnetic Kerr effect or the magnetic Kerr elliptic effect, if the polarization direction of the incident linearly polarized light is exactly perpendicular or parallel to the recording track direction, no phase difference occurs in the reflected light. However, since the polarization direction is rotated by the magnetic Kerr effect, the reflected light has a phase difference depending on the polarization direction and becomes elliptically polarized light. If the intermediate region between the land and the groove has a steep step shape, there is almost no difference in the phase compensation condition between the land and the groove, but the presence of the inclination in the intermediate region causes reflection between the land and the groove. ,
A difference occurs in the phase compensation condition of the diffracted light. It is difficult to reproduce the information due to the different phase compensation conditions, but if you consider it the other way around, by matching the phase compensation conditions to the land or groove, the reproduction output of the adjacent groove or land is greatly reduced, so crosstalk is considerably reduced. it can.
【００１７】本発明のもう１つの構成である前記記録媒
体に記録した信号を検出する光情報検出装置について述
べる。この光情報検出装置は、上述のランドとグルーブ
で位相補償条件の異なる光磁気記録媒体の位相補償を行
って情報を読み出す装置である。特に、前記磁気カー効
果検出光学系を２つ有し、該２つの磁気カー効果検出光
学系がそれぞれにおいて異なる位相差を供する手段を有
するものが望ましい。この光情報検出装置により、ラン
ドおよびグルーブの位相補償条件を最適化する。更に、
位相光学素子を配置した磁気カー効果検出光学系を２つ
設け、一方の光学系をランド部の情報検出用に、もう一
方の光学系をグルーブ部の情報検出用に割りあて、それ
ぞれの光学系の位相補償条件を最適化することで、隣接
するランドとグルーブ間のクロストークが低減できるう
えに、最初に位相補償条件を設定しておけば、ランドと
グルーブとを交互に読み出しても位相補償条件を調節す
る必要がない。また、位相補償光学素子として電気光学
素子を用いることで、位相補償条件を自動的に最適化で
きる。更に、位相補償素子として、１／２波長板を傾け
て配置することにより、一定の範囲内で任意に位相差を
調節できる。An optical information detecting device for detecting a signal recorded on the recording medium, which is another structure of the present invention, will be described. This optical information detection device is a device for performing phase compensation of a magneto-optical recording medium having different phase compensation conditions between the land and the groove to read information. In particular, it is preferable to have two magnetic Kerr effect detection optical systems, and the two magnetic Kerr effect detection optical systems to have means for providing different phase differences. With this optical information detection device, the phase compensation conditions of the land and the groove are optimized. Furthermore,
Two magnetic Kerr effect detection optical systems in which phase optical elements are arranged are provided, one optical system is allocated for detecting information of a land portion, and the other optical system is allocated for detecting information of a groove portion. By optimizing the phase compensation condition of, the crosstalk between the adjacent land and groove can be reduced, and if the phase compensation condition is set first, the phase compensation can be performed even if the land and the groove are read alternately. There is no need to adjust the conditions. Further, by using the electro-optical element as the phase compensation optical element, the phase compensation condition can be automatically optimized. Furthermore, by arranging the half-wave plate as a phase compensating element, the phase difference can be arbitrarily adjusted within a certain range.
【００１８】上述のように、本発明の第１の構成により
ランドとグルーブとで最適位相補償条件の異なる光磁気
記録媒体が得られ、本発明の第２の構成による位相補償
素子を有する光情報検出装置を用いて、前記光磁気記録
媒体の情報を読み出すことで、クロストークの低減され
た信号を再生することが出来る。As described above, according to the first structure of the present invention, a magneto-optical recording medium having different optimum phase compensation conditions for the land and the groove can be obtained, and the optical information having the phase compensation element according to the second structure of the present invention can be obtained. By reading the information of the magneto-optical recording medium by using the detection device, it is possible to reproduce a signal with reduced crosstalk.
【００１９】[0019]
【実施例】以下、図面を用いて本発明の実施例における
光磁気記録媒体および光情報検出装置について詳しく説
明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A magneto-optical recording medium and an optical information detecting device according to embodiments of the present invention will be described in detail below with reference to the drawings.
【００２０】まず、本実施例における光磁気記録媒体の
作製方法を以下詳細に説明する。基板は、Ｎｉ製スタン
パを用いてポリカーボネートを射出成形したものを用い
る。２Ｐ法により成形を行っても、本発明の効果には何
の遜色もない。Ｎｉスタンパの作製においては、まず平
坦性の良い円形ガラス原盤上にスピンコート法により所
望のグルーブ深さと同じ厚さにフォトレジストを、均一
にコーティングする。フォトレジストには、露光部分が
現像されるポジ型を使用しているが、未露光部分が現像
されるネガ型を使用してもよい。First, a method of manufacturing the magneto-optical recording medium in this embodiment will be described in detail below. The substrate used is a polycarbonate injection-molded using a Ni stamper. Even if the molding is performed by the 2P method, the effects of the present invention are comparable. In the production of the Ni stamper, first, a photoresist is uniformly coated on a circular glass master having good flatness by a spin coating method so as to have the same thickness as a desired groove depth. For the photoresist, a positive type in which an exposed portion is developed is used, but a negative type in which an unexposed portion is developed may be used.
【００２１】原盤の露光には、波長４５７９ｎｍの高出
力Ａｒレーザー光を使用し、対物レンズの開口数は、Ｎ
Ａ＝０．９を用いている。ガラス原盤を一定の回転数で
回転させると共に、螺旋状に形成される溝のトラックピ
ッチが一定になるように、レーザー光を一定の速度で平
行移動させている。本発明の実施例では、すべてトラッ
クピッチ１．４μｍのものについて示す。露光に使用す
るレーザー光強度には上限があるため、低速で回転させ
ることによってレーザー光を有効に利用できる。High-power Ar laser light having a wavelength of 4579 nm was used for exposing the master, and the numerical aperture of the objective lens was N.
A = 0.9 is used. The glass master is rotated at a constant rotation speed, and the laser light is translated at a constant speed so that the track pitch of the groove formed in a spiral shape becomes constant. In the embodiments of the present invention, the track pitch is 1.4 μm. Since the intensity of the laser beam used for exposure has an upper limit, the laser beam can be effectively used by rotating it at a low speed.
【００２２】本発明に係るランド＆グルーブ記録用のＵ
溝基板は、ランド記録用のＶ溝を有する基板に較べて、
同じ深さならば露光現像によりフォトレジストを取り去
る体積が大きいため、より高出力のレーザー光が必要と
なる。しかし、回転数を低くすると１枚のガラス原盤を
露光するのに必要な時間が長くなるために、本実施例で
は６００ｒｐｍ一定で回転させて行っている。ＣＡＶで
露光するために、露光部のレーザー光の積分強度が半径
位置に比例するように設定する。本実施例では基板の作
製を効率的に行うために、１枚のディスクを半径位置に
よって複数のゾーンに分割し、各ゾーン毎に露光パワ
ー、露光時のフォーカスオフセットを変化させて露光を
行っている。U for land and groove recording according to the present invention
Compared to a substrate having a V groove for land recording, the groove substrate is
If the depth is the same, the volume for removing the photoresist by exposure and development is large, so that a higher output laser beam is required. However, if the rotation speed is lowered, the time required to expose one glass master plate becomes longer, so in this embodiment, the rotation is performed at a constant 600 rpm. In order to perform exposure with CAV, the integrated intensity of the laser light at the exposed portion is set to be proportional to the radial position. In this embodiment, in order to efficiently manufacture a substrate, one disk is divided into a plurality of zones according to radial positions, and exposure is performed by changing the exposure power and the focus offset at the time of exposure for each zone. There is.
【００２３】各ゾーンの幅は、１ｍｍ程度に設定し、ゾ
ーンとゾーンの間に０．１ｍｍ程度の未露光バンドを設
けている。こうすることによって、ピックアップ装置を
用いて光磁気記録媒体を評価するときのゾーンの特定が
容易になるとともに、溝形状を測定するときに、各ゾー
ンに測定位置を合わせるのが容易になる。本実施例で
は、基板の溝形状は、ＳＴＭ（トンネル走査型顕微鏡）
で測定している。露光部の溝深さはほぼレジスト厚に等
しくなるが、ランドとグルーブのトラックピッチに対す
るデューティおよびランドとグルーブとの中間領域の傾
きは、実効的な露光パワー、ビームプロファイルおよび
現像時間とに依存する。そこで、実効的な露光パワーを
ゾーン毎に変化させてテスト露光を行い、光学顕微鏡を
用いてランドとグルーブのデューティーがほぼ５０％５
０％になっているゾーンが存在することを確認した上で
スタンパを作製する。ただし、隣接するランドとグルー
ブの中間領域の占める幅は無視する。The width of each zone is set to about 1 mm, and an unexposed band of about 0.1 mm is provided between the zones. By doing so, it becomes easy to identify the zone when evaluating the magneto-optical recording medium using the pickup device, and it becomes easy to align the measurement position with each zone when measuring the groove shape. In this embodiment, the groove shape of the substrate is STM (tunnel scanning microscope).
It is measured in. The groove depth of the exposed portion is almost equal to the resist thickness, but the duty with respect to the track pitch of the land and the groove and the inclination of the intermediate region between the land and the groove depend on the effective exposure power, the beam profile and the developing time. . Therefore, the effective exposure power is changed for each zone to perform test exposure, and the duty of the land and the groove is approximately 50% 5 using an optical microscope.
A stamper is produced after confirming that there is a 0% zone. However, the width occupied by the intermediate region between the adjacent land and groove is ignored.
【００２４】（ディスクＡ）図１は、本発明における実
施例で使用した光磁気記録媒体用基板の断面を模式図で
示したものである。ランド部１とグルーブ部２の中間領
域３の傾きが急峻になっており、情報検出用の光の入射
方向である鉛直方向に対して、約３０度の傾斜を有す
る。このような溝形状にするために、ガラス原盤の露光
時に対物レンズとフォトレジスト面との距離がジャスト
フォーカス時よりも約０．５μｍ遠ざけるように、フォ
ーカスオフセットをかけ、露光部分の線速に対する実効
的レーザー光の積分強度の比が、線速１ｍ／ｓｅｃに対
して１０ｍＷとなるように設定している。(Disk A) FIG. 1 is a schematic view showing a cross section of a magneto-optical recording medium substrate used in the examples of the present invention. The inclination of the intermediate region 3 between the land portion 1 and the groove portion 2 is steep, and the inclination is about 30 degrees with respect to the vertical direction which is the incident direction of the light for information detection. In order to make such a groove shape, a focus offset is applied so that the distance between the objective lens and the photoresist surface during the exposure of the glass master disk becomes about 0.5 μm farther than that in the case of just focus, and effective for the linear velocity of the exposed portion. The ratio of the integrated intensity of the dynamic laser light is set to 10 mW for a linear velocity of 1 m / sec.
【００２５】現像時間は、約１５ｓｅｃで行う。ジャス
トフォーカス時よりも対物レンズがフォトレジスト面よ
りも遠いために、フォトレジスト内での、レーザー光の
等強度面は上に凸の円錐形になる。現像を行うと、実効
的な露光積分強度が一定の閾値を越えた部分のフォトレ
ジストが除去されるため、開口部より下方に向かって幅
の広がるグルーブになるように思われるが、実際には閾
値を越えていない上部のレジストも除去されてしまい、
また、射出成型により図１のような、開口部の広がった
グルーブが形成される。射出成型条件は、グルーブの転
写性が劣化しない範囲で、複屈折が小さくなるように金
型温度を高くし、射出速度を速めに設定する。The developing time is about 15 seconds. Since the objective lens is farther from the photoresist surface than at the time of just focus, the iso-intensity surface of the laser light in the photoresist becomes a convex cone shape. When developing, the photoresist in the area where the effective integrated exposure intensity exceeds a certain threshold is removed, so it seems that the groove widens downward from the opening. The upper resist, which does not exceed the threshold, is also removed,
Also, a groove having a wide opening is formed by injection molding as shown in FIG. The injection molding conditions are set such that the mold temperature is increased and the injection speed is increased so that the birefringence is reduced within a range in which the transferability of the groove is not deteriorated.
【００２６】上述のようにして作製したＰＣ基板に、第
１の誘電体層、磁気記録層、第２の誘電体層、反射層か
らなる４層構造の記録膜をスパッタリング法により成膜
する。第１の誘電体層は、Ｓｉターゲットを用いてＡｒ
とＮ2 の混合ガス中で反応性スパッタリングで厚さ８３
ｎｍに成膜する。第１の誘電体層の上に、キュリー温度
が約２００℃のフェリ磁性を有し、保磁力が約８ｋＯｅ
と良好な垂直磁気異方性を示す遷移金属と希土類金属の
合金薄膜からなる磁気記録層を約２２ｎｍ成膜しする。
その上に、第１の誘電体層と同じ条件で、厚さ２０ｎｍ
の第２誘電体層を成膜し、さらにＡｌからなる厚み１０
０ｎｍの反射層を成膜する。反射層の上に、紫外線硬化
型樹脂を約１０μｍ均一にスピンコートし紫外線を照射
して保護層を形成する。前期光磁気記録媒体のグルーブ
を形成していない平坦部に、基板側から波長６８０ｎｍ
の平行光を基板にほぼ垂直に入射させ反射光を測定する
と、反射率約１８％、カー回転角０．９度、楕円率０．
３度が得られる。On the PC substrate manufactured as described above, a recording film having a four-layer structure consisting of the first dielectric layer, the magnetic recording layer, the second dielectric layer and the reflecting layer is formed by the sputtering method. The first dielectric layer is a Si target using Ar.
Thickness 83 by reactive sputtering in a mixed gas of N 2 and N 2.
The film is formed to a thickness of nm. On the first dielectric layer, it has ferrimagnetism with a Curie temperature of about 200 ° C. and a coercive force of about 8 kOe.
And a magnetic recording layer made of an alloy thin film of a transition metal and a rare earth metal exhibiting good perpendicular magnetic anisotropy is formed to a thickness of about 22 nm.
On top of that, under the same conditions as the first dielectric layer, a thickness of 20 nm
Second dielectric layer is formed, and a thickness of 10
A 0 nm reflective layer is deposited. An ultraviolet curable resin is spin-coated on the reflective layer to a uniform thickness of about 10 μm and irradiated with ultraviolet rays to form a protective layer. The wavelength of 680 nm from the substrate side on the flat portion of the magneto-optical recording medium in which no groove is formed.
When parallel light is incident on the substrate almost perpendicularly and the reflected light is measured, the reflectance is about 18%, the Kerr rotation angle is 0.9 degrees, and the ellipticity is 0.
You get 3 degrees.
【００２７】（ディスクＢ）図２は、本発明における実
施例で使用した光磁気記録媒体用基板の断面を模式図で
示したものである。ランド部４とグルーブ部５の中間領
域６の傾きが、情報検出用の光の入射方向である鉛直方
向に対して約６０度になる。このような溝形状にするた
めに、ガラス原盤の露光時に対物レンズとフォトレジス
ト面との距離がジャストフォーカス時よりも約０．４μ
ｍ近づくように、フォーカスオフセットをかけ、露光部
分の線速に対する実効的レーザー光の積分強度の比が、
線速１ｍ／ｓｅｃに対して１２ｍＷとなるように設定し
ている。現像時間は、約２０ｓｅｃで行う。ジャストフ
ォーカス時よりも対物レンズがフォトレジスト面よりも
近いために、フォトレジスト内での、レーザー光の等強
度面は下に凸の円錐形になる。現像を行うと、実効的な
露光積分強度が一定の閾値を越えた部分のフォトレジス
トが除去されるため、開口部に向かって幅の広がるグル
ーブになる。このような条件で作成したスタンパを用い
て、ディスクＡと同条件で射出成型を行い、ディスクＡ
と同じバッチで同時に記録膜の形成を行う。(Disk B) FIG. 2 is a schematic view showing a cross section of a magneto-optical recording medium substrate used in the examples of the present invention. The inclination of the intermediate region 6 between the land portion 4 and the groove portion 5 is about 60 degrees with respect to the vertical direction which is the incident direction of the light for detecting information. In order to make such a groove shape, the distance between the objective lens and the photoresist surface during exposure of the glass master is about 0.4 μm more than that during just focus.
Focus offset is applied so as to approach m, and the ratio of the integrated intensity of the effective laser light to the linear velocity of the exposed portion is
The linear velocity is set to 12 mW for 1 m / sec. The developing time is about 20 seconds. Since the objective lens is closer to the photoresist surface than that at the time of just focusing, the iso-intensity surface of the laser light in the photoresist has a downwardly convex cone shape. When the development is performed, the photoresist in the portion where the effective integrated exposure intensity exceeds a certain threshold is removed, so that the groove becomes wider toward the opening. Using the stamper created under such conditions, injection molding was performed under the same conditions as for the disk A,
The recording film is simultaneously formed in the same batch as the above.
【００２８】図３は本発明の実施例で使用した、光情報
検出装置の一例を模式図で示したものである。スピンド
ルモータ８により回転する光磁気ディスク７に、半導体
レーザー９より出射した光が、コリメータレンズ１０に
より平行光となり偏光ビームスプリッター１１（以下Ｐ
ＢＳ）を介して、対物レンズ１２により集光される。本
発明の実施例では、波長６８０ｎｍの半導体レーザー９
と、ＮＡ＝０．５５の対物レンズ１２を使用している。
光磁気ディスク７により反射された光は、ＰＢＳ１１、
ＰＢＳ１４、シリンドリカルレンズ１５を介して、収束
レンズ１６により、４分割光検出器１７に集光される。
この４分割光検出器１７の信号は、非点収差法によるフ
ォーカスサーボ信号と、プッシュプル法によるトラッキ
ングサーボ信号として利用し、対物レンズ１２の動きを
制御して、フォーカシングおよびトラッキングを行う。
ランド部およびグルーブ部へのトラッキングの切り替え
は、プッシュプル信号のゼロクロス位置での信号の傾き
の正負を利用する。ＰＢＳ１４を通過した光は、１／２
波長板１８およびＰＢＳ１９を介して、収束レンズ２
０、２１によりそれぞれ光検出器２２、２３上に集光さ
れる。この光検出器２２、２３の差信号より、光磁気信
号を読み出す。FIG. 3 is a schematic view showing an example of the optical information detecting device used in the embodiment of the present invention. The light emitted from the semiconductor laser 9 is collimated by the collimator lens 10 onto the magneto-optical disk 7 rotated by the spindle motor 8 to become a parallel light.
It is condensed by the objective lens 12 via (BS). In the embodiment of the present invention, a semiconductor laser 9 having a wavelength of 680 nm is used.
And the objective lens 12 with NA = 0.55 is used.
The light reflected by the magneto-optical disk 7 is
The light is focused on the four-division photodetector 17 by the converging lens 16 via the PBS 14 and the cylindrical lens 15.
The signal of the four-division photodetector 17 is used as a focus servo signal by the astigmatism method and a tracking servo signal by the push-pull method to control the movement of the objective lens 12 to perform focusing and tracking.
The switching of the tracking to the land part and the groove part uses the positive / negative of the inclination of the signal at the zero cross position of the push-pull signal. The light that passed through PBS14 is 1/2
Converging lens 2 through wave plate 18 and PBS 19
Lights 0 and 21 are focused on the photodetectors 22 and 23, respectively. A magneto-optical signal is read from the difference signal of the photo detectors 22 and 23.
【００２９】図４には、本発明で使用した光情報検出装
置のもう一つの例を示す。ＰＢＳ１４までは、上述の図
４の光情報検出装置と同じ構造であるが、光磁気信号を
読み出す光学系として、ハーフミラープリズム２４によ
り光は、２つに分けられ、それぞれ１／２波長板２５、
２６を介した後に、ウォランストンプリズム２７を通過
し、その際に偏光方向に依存してそれぞれの光は２つの
方向に分けられ、収束レンズ２８、２９により、それぞ
れ２分割ダイオード３０、３１上に集光される。この装
置では、ランド部とグルーブ部の偏光成分の位相補償
を、別々に行えるという利点がある。また、ウォランス
トンプリズム２７を用いることで、ＰＢＳに較べて消光
比が高いために、再生信号のノイズを小さくできる。ま
た、装置を小型化できる。FIG. 4 shows another example of the optical information detecting device used in the present invention. Up to the PBS 14, the structure is the same as that of the optical information detection device of FIG. 4 described above, but the light is divided into two by the half mirror prism 24 as an optical system for reading out a magneto-optical signal, and each is divided into two half-wave plates 25. ,
After passing through 26, it passes through a Wollaston prism 27, and at that time, each light is divided into two directions depending on the polarization direction, and is converged by a converging lens 28, 29 onto a two-division diode 30, 31, respectively. Is focused on. This device has an advantage that the phase compensation of the polarization components of the land portion and the groove portion can be performed separately. Further, since the extinction ratio is higher than that of the PBS by using the Wollaston prism 27, the noise of the reproduction signal can be reduced. Further, the device can be downsized.
【００３０】図３の光情報検出装置において、１／２波
長板１８の代わりにバビネソレイユ板を用いたものを装
置Ａとする。図４の光情報検出装置で、１／２波長板２
５、２６の代わりにバビネソレイユ板を２つ配置したも
のを装置Ｂとする。図３の１／２波長板１８の代わり
に、電気光学素子を配置したものを装置Ｃとする。図４
において、１／２波長板２５、２６をそれぞれ別個に光
軸に対して斜めに配置したものを装置Ｄとする。In the optical information detecting device of FIG. 3, a device using a Babinet-Soleil plate instead of the ½ wavelength plate 18 is referred to as a device A. In the optical information detection device of FIG.
Device B is one in which two Babinet Soleil plates are arranged in place of Nos. 5 and 26. A device C is one in which an electro-optical element is arranged instead of the half-wave plate 18 in FIG. FIG.
In the above, apparatus D is a device in which the half-wave plates 25 and 26 are separately arranged obliquely with respect to the optical axis.
【００３１】上述のディスクＡ，Ｂについて装置Ａから
Ｄを用いて、クロストークを調べた。クロストーク量
は、５つの隣接するランドまたはグルーブ領域のデータ
を一定の磁界とレーザー光を用いて消去し、次に、中心
のランドまたはグルーブにマーク長２．０μｍのマーク
を磁界変調方式で記録し、そのキャリアレベルＣCを測
定した後に、隣接する両側のランドまたはグルーブを再
生し、そのキャリアレベルを測定した値のうち高い方の
値をＣMAX とし、クロストークＣCR＝ＣMAX −Ｃ C を求
めた。クロストーク量をランドとグルーブについてそれ
ぞれ測定し、符号も含めて値の大きい方を表１に示して
いる。ＣC の書き込み記録パワーは、ＣCの書き込みパ
ワー依存性を測定して、その値が飽和するパワーＰS に
設定した。また、再生、パワーは、すべて０．７４ｍＷ
一定で行った。From the device A for the above-mentioned disks A and B
Crosstalk was investigated using D. Crosstalk amount
Is the data of 5 adjacent land or groove areas
Is erased using a constant magnetic field and laser light, then the center
Marks with a mark length of 2.0 μm on each land or groove
Is recorded by the magnetic field modulation method and its carrier level CCMeasure
The land or groove on both sides adjacent to each other.
The highest of the measured values of the carrier level
The value is CMAXAnd crosstalk CCR= CMAX-C CSeeking
I did. Crosstalk amount for land and groove
Table 1 shows the one with the largest value including the sign.
I have. CCThe writing and recording power ofCWriting
Power P that measures the power dependence and saturates that valueSTo
Set. In addition, playback and power are all 0.74 mW
It went at a constant rate.
【００３２】本実施例では示していないが、光磁気記録
媒体の書き込みパワー感度を高パワー側へシフトさせる
ことによって、再生パワーを大きくすることができるた
め、記録特性が向上する。ディスクの回転数は、測定半
径位置での線速度が５ｍ／ｓｅｃとなるように設定し
た。装置Ａおよび装置Ｃにおいては、トラッキングをか
けたランド部またはグルーブ部に対して、バビネソレイ
ユ板または電気光学素子を調節して、２μｍマークに対
応する１．２５ＭＨｚのＣ／Ｎが最大になるようにした
状態で、隣接するグルーブ部またはランド部にトラッキ
ングしてキャリアレベルを測定しクロストークを求め
た。装置Ｃで電気光学素子を用いた時には、キャリアレ
ベル信号をフィードバックさせて、自動的に位相補償で
きるような構造を設けた。装置ＢおよびＤにおいては、
２分割光検出器３０に集光される光学系をランド部に、
２分割光検出器３１に集光される光学系をグルーブ部に
割り振り、それぞれの光学系で、バビネソレイユ板また
は１／２波長板を調節して位相補償条件を最適化してク
ロストークの測定を行った。Although not shown in this embodiment, since the reproducing power can be increased by shifting the write power sensitivity of the magneto-optical recording medium to the high power side, the recording characteristics are improved. The rotation speed of the disk was set so that the linear velocity at the measurement radius position was 5 m / sec. In the device A and the device C, the Babinet Soleil plate or the electro-optical element is adjusted with respect to the tracked land portion or groove portion so that the C / N of 1.25 MHz corresponding to the 2 μm mark is maximized. Then, the carrier level was measured by tracking to the adjacent groove or land, and the crosstalk was obtained. When the electro-optical element is used in the device C, a structure is provided in which the carrier level signal is fed back and the phase can be automatically compensated. In devices B and D,
The optical system focused on the two-division photodetector 30 is used as a land part,
The optical system focused on the two-divided photodetector 31 is allocated to the groove part, and each optical system adjusts the Babinet Soleil plate or the 1/2 wavelength plate to optimize the phase compensation condition and measure the crosstalk. went.
【００３３】[0033]
【表１】 [Table 1]
【００３４】クロストーク値はディスクＡ，Ｂどちらに
おいても、−２４ｄＢ以下であり、３．５インチＭＯデ
ィスクの６４０ＭＢのＩＳＯ規格と比較すると、測定方
法が多少ことなるものの、いずれも規格である−２３ｄ
Ｂをクリアーしており、且つ、ディスクＢは−３０ｄＢ
以下と、より好ましい結果を示している。図５には、デ
ィスクＡと較べてクロストークの値が小さかったディス
クＢについて、装置Ａを用いて、クロストークの書き込
みパワーを調べた結果を示す。書き込みパワーが４．６
〜５．９ｍＷの範囲でクロストークが−３０ｄＢ以下の
条件を満たしていることがわかる。さらに同じディス
ク、同じ装置でＣ／Ｎのマーク長依存性を調べてたとこ
ろ、マーク長０．５μｍでも４６ｄＢのＣ／Ｎが得られ
た。The crosstalk value is -24 dB or less in both the disks A and B, and both are standards although the measuring method is slightly different from the 640 MB ISO standard of the 3.5-inch MO disk. 23d
B is cleared, and disk B is -30 dB
The following shows more preferable results. FIG. 5 shows the results of investigating the crosstalk write power using the device A for the disk B having a smaller crosstalk value than the disk A. Write power is 4.6
It can be seen that the crosstalk satisfies the condition of −30 dB or less in the range of up to 5.9 mW. Further, when the dependency of C / N on the mark length was examined with the same disk and the same device, a C / N of 46 dB was obtained even with a mark length of 0.5 μm.
【００３５】そこで、最短マーク長０．５５μｍの１−
７変調方式のランダム信号についてジッター値の書き込
みパワー依存性を調べた結果を図６に示す。読み出しレ
ーザーパワーは、上述のクロストーク測定と同じ０．７
４ｍＷで行った。信号はまずランドに書き込んだ後にグ
ルーブに書き込んでいる。クロスイレーズの影響でラン
ド部分のジッター値が高いものの、書き込みパワーが
５．０〜６．５ｍＷの範囲で８％以下のジッター値が得
られた。更に、最短マーク長を０．４８μｍにして測定
したところ、ジッターのパワーマージンは狭いものの１
０％以下のジッター値が得られた。Therefore, the minimum mark length of 0.55 μm
FIG. 6 shows the result of examining the write power dependence of the jitter value for the random signal of the 7 modulation method. The read laser power is 0.7, which is the same as in the crosstalk measurement described above.
It was performed at 4 mW. The signal is written to the land first and then to the groove. Although the jitter value in the land portion was high due to the influence of cross erase, a jitter value of 8% or less was obtained in the write power range of 5.0 to 6.5 mW. Furthermore, when the shortest mark length was measured at 0.48 μm, the power margin of jitter was 1
A jitter value of 0% or less was obtained.
【００３６】[0036]
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明に係
る光磁気記録媒体は、隣接するランド部とグルーブとの
中間領域が情報検出用の光の入射方向に対して傾いてお
り、この傾きによりランド部とグルーブ部とで、情報を
読み出す際の最適な位相補償条件が異なる。また、本発
明に係る光情報検出装置では、ランド部とグルーブ部と
のそれぞれについて、最適な位相補償を行うことができ
る。As described above in detail, in the magneto-optical recording medium according to the present invention, the intermediate region between the adjacent land and groove is inclined with respect to the incident direction of the light for detecting information. The optimum phase compensation condition at the time of reading information differs between the land portion and the groove portion due to the inclination. Further, in the optical information detection device according to the present invention, optimum phase compensation can be performed for each of the land portion and the groove portion.
【００３７】前記光磁気記録媒体に前記情報検出装置を
用いて情報の記録再生を行うと、ランドまたはグルーブ
に対して別個に位相補償条件を最適化することで、隣接
するグルーブまたはランドからのクロストーク信号は、
位相補償条件よりずれ、それにより信号振幅が減少す
る。この作用により、本発明に係る光磁気記録媒体およ
び光情報検出装置において、クロストークを低減する効
果が得られる。When information is recorded / reproduced on / from the magneto-optical recording medium by using the information detecting device, the phase compensation condition is optimized separately for the land or the groove, so that the crossing from the adjacent groove or land is obtained. The talk signal is
It deviates from the phase compensation condition, which reduces the signal amplitude. By this action, the effect of reducing crosstalk can be obtained in the magneto-optical recording medium and the optical information detecting device according to the present invention.
【００３８】このクロストークの低減効果により、光磁
気記録媒体のランド＆グルーブ記録において、高密度記
録が可能となる。本実施例で示したように、本発明に係
る光磁気記録媒体および光検出装置を用いると、トラッ
クピッチ１．４μｍのランド＆グルーブ記録で、最短マ
ーク長０．４８μｍの１−７変調のランダム信号の記録
再生において、ジッター特性として１０％以下の値が得
られる。このことにより、ＩＳＯ規格３．５インチ記録
容量２３０ＭＢ光磁気ディスクとほぼ同じトラックピッ
チの光磁気ディスクを用いて、同じ３．５インチのＩＳ
Ｏ規格６４０ＭＢディスクの２倍以上の記録容量１．５
ＧＢが得られる効果があることがわかった。Due to this crosstalk reducing effect, high density recording becomes possible in land and groove recording of a magneto-optical recording medium. As shown in this embodiment, when the magneto-optical recording medium and the photodetector according to the present invention are used, in land and groove recording with a track pitch of 1.4 μm, the shortest mark length is 0.48 μm and 1-7 modulation random. In recording / reproducing a signal, a value of 10% or less can be obtained as the jitter characteristic. As a result, the same 3.5-inch IS is used by using a magneto-optical disk having the same track pitch as the ISO standard 3.5-inch recording capacity 230 MB magneto-optical disk.
2 times more recording capacity than O standard 640MB disk 1.5
It has been found that there is an effect of obtaining GB.
【００３９】本発明に係る技術は、光情報検出装置に使
用する光の波長に依らず普遍的なものであるため、将
来、緑や青色の半導体レーザーが光情報検出装置の光源
として用いられても、上述の効果が得られる。本発明の
光磁気記録媒体において、隣接するランドとグルーブの
中間領域の傾きを制御する以外は、現行の光磁気記録媒
体と同じ構成で製造できるため、生産コストを抑えるこ
とができる。Since the technique according to the present invention is universal regardless of the wavelength of light used in the optical information detecting device, a green or blue semiconductor laser will be used as a light source of the optical information detecting device in the future. Also, the above effect can be obtained. Since the magneto-optical recording medium of the present invention can be manufactured with the same configuration as the existing magneto-optical recording medium except that the inclination of the intermediate region between the adjacent land and groove is controlled, the production cost can be suppressed.
【００４０】本発明の光情報検出装置においては、位相
を補償する手段として、既存の光学素子を用いており、
ドライブ装置製造における負担は小さい。位相補償を行
う素子を有する磁気カー効果検出系を２つ用いること
で、位相補償を含めた光学素子の調整は、製造時の初期
調整で済む。また、位相補償手段として、電気光学素子
を使用することで位相調整が電気的に自動で行える。上
述のように、本発明に係る光情報検出装置では、製造、
調整において、低コストで利便性が良いという効果が得
られる。In the optical information detecting device of the present invention, the existing optical element is used as means for compensating the phase,
The burden on drive device manufacturing is small. By using two magnetic Kerr effect detection systems each having an element that performs phase compensation, adjustment of the optical element including phase compensation can be performed by initial adjustment during manufacturing. Further, by using an electro-optical element as the phase compensating means, the phase adjustment can be electrically and automatically performed. As described above, the optical information detection device according to the present invention is manufactured,
In the adjustment, the effect of low cost and good convenience can be obtained.
【図１】本発明の実施例におけるディスクＡの基板の断
面を示す模式図である。FIG. 1 is a schematic view showing a cross section of a substrate of a disk A in an example of the present invention.
【図２】本発明の実施例におけるディスクＢの基板の断
面を示す模式図である。FIG. 2 is a schematic view showing a cross section of the substrate of the disk B in the example of the present invention.
【図３】本発明の実施例における光検出装置（装置Ａ，
Ｃ）の構造を示す模式図である。FIG. 3 is a diagram illustrating a photodetection device (device A,
It is a schematic diagram which shows the structure of C).
【図４】本発明の実施例における光検出装置（装置Ｂ，
Ｄ）の構造を示す模式図である。FIG. 4 is a diagram illustrating a photodetection device (device B,
It is a schematic diagram which shows the structure of D).
【図５】本発明の実施例におけるクロストークの書き込
みパワー依存性（ディスクＢ，装置Ａ）を示すグラフで
ある。FIG. 5 is a graph showing write power dependence of crosstalk (disk B, device A) in the example of the present invention.
【図６】本発明の実施例におけるジッター特性の書き込
みパワー依存性を示すグラフである。FIG. 6 is a graph showing the write power dependence of the jitter characteristic in the example of the present invention.
１．ランド部 ２．グルーブ部 ３．中間領域 ４．ランド部 ５．グルーブ部 ６．中間領域 ７．光磁気ディスク ８．スピンドルモータ ９．半導体レーザー １０．コリメータレンズ １１．偏光ビームスプリッター（ＰＢＳ） １２．対物レンズ １３．浮上磁気ヘッド １４．ＰＢＳ １５．シリンドリカルレンズ １６．収束レンズ １７．４分割光検出器 １８．１／２波長板 １９．ＰＢＳ ２０．収束レンズ ２１．収束レンズ ２２．光検出器 ２３．光検出器 ２４．ハーフミラープリズム ２５．１／２波長板 ２６．１／２波長板 ２７．ウォランストンプリズム ２８．収束レンズ ２９．収束レンズ ３０．２分割光検出器 ３１．２分割光検出器 1. Land area 2. Groove part 3. Intermediate region 4. Land area 5. Groove part 6. Intermediate region 7. Magneto-optical disk 8. Spindle motor 9. Semiconductor laser 10. Collimator lens 11. Polarizing beam splitter (PBS) 12. Objective lens 13. Flying magnetic head 14. PBS 15. Cylindrical lens 16. Converging lens 17.4 split photodetector 18.1 / 2 wave plate 19. PBS 20. Converging lens 21. Converging lens 22. Photodetector 23. Photodetector 24. Half mirror prism 25.1 / 2 wave plate 26.1 / 2 wave plate 27. Wollaston prism 28. Converging lens 29. Converging lens 30.2 split photo detector 31.2 split photo detector
Claims (6)
ドおよびグルーブからなる記録トラックを有する光磁気
記録媒体において、隣接する前記ランドとグルーブとの
中間領域が情報を検出するための光の入射方向に対して
傾いていることを特徴とする光磁気記録媒体。1. In a magneto-optical recording medium having a recording track consisting of concentric or spiral substantially flat lands and grooves, an intermediate region between the adjacent lands and grooves is in the incident direction of light for detecting information. A magneto-optical recording medium characterized by being tilted with respect to one another.
射方向とのなす角度が４５度〜８５度である請求項１に
記載の光磁気記録媒体。2. The magneto-optical recording medium according to claim 1, wherein an angle formed by the intermediate region and an incident direction of light for detecting information is 45 degrees to 85 degrees.
ドおよびグルーブからなる記録トラックを有し、隣接す
る前記ランドとグルーブとの中間領域が情報を検出する
ための光の入射方向に対して傾いていることを特徴とす
る光磁気記録媒体に記録した信号を検出する光情報検出
装置において、磁気カー効果検出光学系に光学的な位相
差を与える手段を有することを特徴とする光情報検出装
置。3. A recording track composed of concentric or spiral substantially flat lands and grooves, and an intermediate region between the adjacent lands and grooves is inclined with respect to the incident direction of light for detecting information. An optical information detecting device for detecting a signal recorded on a magneto-optical recording medium, characterized in that the optical information detecting device has means for giving an optical phase difference to a magnetic Kerr effect detecting optical system.
し、該２つの磁気カー効果検出光学系がそれぞれにおい
て異なる位相差を与える手段を有する請求項３に記載の
光情報検出装置。4. The optical information detecting apparatus according to claim 3, wherein the optical Kerr effect detection optical system includes two optical Kerr effect detection optical systems, and each of the two magnetic Kerr effect detection optical systems includes means for providing a different phase difference.
である請求項３又は４に記載の光情報検出装置。5. The optical information detection device according to claim 3, wherein the means for providing the phase difference is an electro-optical element.
であり、該１／２波長板が光軸に対して傾いている請求
項３又は４に記載の光情報検出装置。6. The optical information detection device according to claim 3, wherein the means for giving the phase difference is a half-wave plate, and the half-wave plate is inclined with respect to the optical axis.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8022422A JPH09212928A (en) | 1996-02-08 | 1996-02-08 | Magneto-optical recording medium and optical information detector |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8022422A JPH09212928A (en) | 1996-02-08 | 1996-02-08 | Magneto-optical recording medium and optical information detector |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09212928A true JPH09212928A (en) | 1997-08-15 |
Family
ID=12082252
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8022422A Pending JPH09212928A (en) | 1996-02-08 | 1996-02-08 | Magneto-optical recording medium and optical information detector |
Country Status (1)
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