JPH09212672A - Graphic data processing method - Google Patents
Graphic data processing methodInfo
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- JPH09212672A JPH09212672A JP8019585A JP1958596A JPH09212672A JP H09212672 A JPH09212672 A JP H09212672A JP 8019585 A JP8019585 A JP 8019585A JP 1958596 A JP1958596 A JP 1958596A JP H09212672 A JPH09212672 A JP H09212672A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、図形データの処理
方法に関し、より詳しくは、複数の要素図形が配置され
てなる図形を描くための全要素図形データのうち必要な
要素図形データだけを選択して表示装置に表示する図形
データの処理方法に関する。半導体装置の製造に用いる
マスクパターンの設計をはじめとして建築設計や機械設
計等において、適正なパターン配置や形状等を試行し、
選択することが容易であり、また加筆や削除等の修正が
容易である等の理由からＣＡＤ（Computer Aided Desig
n ，計算機支援設計）による設計手法が主流となってい
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a graphic data processing method, and more specifically, selects only necessary element graphic data from all element graphic data for drawing a graphic in which a plurality of element graphics are arranged. The present invention relates to a method of processing graphic data displayed on a display device. In the architectural design, mechanical design, etc., including the design of the mask pattern used in the manufacture of semiconductor devices, we try appropriate pattern layout and shape,
CAD (Computer Aided Desig) is easy because it is easy to select, and it is easy to correct by adding or deleting.
n, computer-aided design) is the mainstream.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、ＣＡＤをサポートするコンピュー
タシステムを構成する主なものとして、加工中或いは加
工前後の図形データを保存しておく主記憶装置、図形デ
ータを入力し、かつ加工中のデータを表示する入力／表
示装置及び図形データの様々な処理を制御するＣＰＵ
（中央処理装置）があり、更にこれに既に作成した図形
データを保存する外部記憶装置が付加される。2. Description of the Related Art Conventionally, as a main component of a computer system that supports CAD, a main storage device for storing graphic data during or before and after machining, graphic data is input, and data under machining is stored. Input / display device to display and CPU controlling various processing of graphic data
There is a (central processing unit), and an external storage device for storing the already created graphic data is added to this.
【０００３】例えば、上記ＣＡＤシステムが半導体装置
のマスクパターンの設計に用いられる場合、ペン入力等
により入力／表示装置に複数の要素図形からなるマスク
パターンの図形が入力される。入力された各要素図形は
ＣＰＵを介して座標データに変換されるとともに、その
要素図形を描く図形の種類及びその要素図形が属するマ
スクパターンの階層（種類）を表すデータが付加されて
主記憶装置に蓄えられる。For example, when the above CAD system is used for designing a mask pattern of a semiconductor device, a figure of a mask pattern composed of a plurality of element figures is input to the input / display device by pen input or the like. Each input element graphic is converted into coordinate data via the CPU, and data indicating the type of the figure drawing the element graphic and the hierarchy (type) of the mask pattern to which the element graphic belongs is added to the main storage device. Stored in.
【０００４】更に、必要により、これらのデータは全て
のマスクパターンの分をまとめて外部記憶装置に格納さ
れる。それらのデータはマスク製作の際の図形データと
なり、或いは、後日パターンを修正する際の基礎となる
図形データとなる。なお、このほかに各要素に対して遮
光部及び透光部を決める露光データも格納される。修正
する場合、外部記憶装置から必要な図形データを呼び出
してコンピュータの主記憶装置に格納した上で、この図
形データを順次入力／表示装置に送り、マスクパターン
として表示して必要な修正を加える。Further, if necessary, these data are collectively stored in an external storage device for all mask patterns. These data become graphic data at the time of making a mask, or become graphic data which becomes a basis when the pattern is corrected later. In addition to this, exposure data for determining a light-shielding portion and a light-transmitting portion for each element is also stored. In the case of correction, necessary graphic data is called from the external storage device and stored in the main storage device of the computer, and then this graphic data is sequentially sent to the input / display device and displayed as a mask pattern to make the necessary correction.
【０００５】近年、図形データのデータ量が増える一方
で図形表示の高速化が求められている。ところで、マス
クパターンの全体のバランスを見る場合、或いは拡大し
たい部分を特定する場合等には全要素図形を表示する必
要はない。このような場合、表示の高速化を図るため、
要素図形の大きさが小さくて画面に表示する際に所定の
画素数に満たないものは表示しないようにしている。In recent years, while the data amount of graphic data is increasing, it is required to speed up graphic display. By the way, it is not necessary to display all the elemental graphics when looking at the overall balance of the mask pattern, or when specifying a portion to be enlarged. In this case, in order to speed up the display,
When the size of the element graphic is small and the size of the element graphic is smaller than the predetermined number of pixels, the element graphic is not displayed.
【０００６】その手順は次のように行われる。即ち、表
示させたい図形に属する全ての要素図形データを主記憶
装置から逐次呼び出し、比較すべきパラメータを計算
し、このパラメータと判定基準とを比較し、表示の有無
を判定する。そして、表示すべき要素図形データだけ表
示装置に入力し、画面に表示する。The procedure is performed as follows. That is, all the element graphic data belonging to the graphic to be displayed are sequentially called from the main storage device, the parameter to be compared is calculated, and this parameter is compared with the judgment standard to judge the presence or absence of the display. Then, only the element graphic data to be displayed is input to the display device and displayed on the screen.
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
方法では、一つの図形に属する全要素図形データを呼び
出して表示の有無を判定しているため、図形データのデ
ータ量が増えるに伴って、所望の図形を表示し終えるま
での時間が思ったほど短縮されないというのが実情であ
る。このため、快適なユーザインタフェースが得られて
いない。However, in the above method, since all element graphic data belonging to one graphic is called to determine the presence / absence of display, as the data amount of the graphic data increases, the desired data can be obtained. The reality is that the time it takes to display the figure is not shortened as expected. Therefore, a comfortable user interface cannot be obtained.
【０００８】本発明は、上記の従来例の問題点に鑑みて
創作されたものであり、記憶装置に保存された図形デー
タに基づく図形表示の高速化を図ることができる図形デ
ータの処理方法を提供することを目的とする。The present invention was created in view of the problems of the above-mentioned conventional example, and provides a graphic data processing method capable of speeding up graphic display based on graphic data stored in a storage device. The purpose is to provide.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】上記課題は、第１の発明
である、図形を構成する複数の要素図形を描くための要
素図形データを前記要素図形の大きさの順に並べてお
き、図形表示のときに特定の大きさの範囲にある前記要
素図形データを呼び出して表示することを特徴とする図
形データの処理方法によって達成され、第２の発明であ
る、前記要素図形データは、特定の種類の図形に属する
データ、特定の階層に属するデータ、特定の表示領域内
にあるデータ、或いは特定の座標にあるデータである
か、またはこれらのデータを組み合わせたデータである
ことを特徴とする第１の発明に記載の図形データの処理
方法によって達成され、第３の発明である、前記要素図
形の大きさは該要素図形の面積又は最大幅であることを
特徴とする第１又は第２の発明に記載の図形データの処
理方法によって達成され、第４の発明である、前記要素
図形データの呼び出しは、前記要素図形の大きさの小さ
い順に、或いは大きい順に行うことを特徴とする第１乃
至第３の発明のいずれかに記載の図形データの処理方法
によって達成され、第５の発明である、前記特定の範囲
にある要素図形データの呼び出しは、表示限界値を判定
基準として自動的に行うことを特徴とする第１乃至第４
の発明のいずれかに記載の図形データの処理方法によっ
て達成され、第６の発明である、前記要素図形の表示中
に前記特定の大きさの範囲を決めることを特徴とする第
１乃至第４の発明のいずれかに記載の図形データの処理
方法によって解決される。The above problem is the first invention, in which element graphic data for drawing a plurality of element graphics forming a graphic are arranged in the order of the size of the element graphic, and A second aspect of the present invention is achieved by a method of processing graphic data, characterized in that the element graphic data in a specific size range is called and displayed. First data characterized by being data belonging to a figure, data belonging to a specific layer, data within a specific display area, data at specific coordinates, or a combination of these data. A third aspect of the present invention, which is achieved by the method of processing graphic data according to the invention, wherein the size of the element graphic is an area or a maximum width of the element graphic. According to a fourth aspect of the present invention, the element graphic data is called in order of increasing or decreasing size of the element graphic. A fifth aspect of the present invention, which is achieved by the method of processing graphic data according to any of the third to third inventions, automatically calls up the element graphic data in the specific range, using the display limit value as a criterion. First to fourth characterized by performing
The present invention is achieved by the method for processing graphic data according to any one of claims 1 to 4, and is the sixth invention, wherein the range of the specific size is determined during the display of the element graphic. This is solved by the graphic data processing method according to any one of the inventions.
【００１０】本発明の図形データの処理方法において
は、図１のフローチャートに示すように、まず、外部記
憶装置から複数の要素図形データをＣＰＵに読み込む
（Ｐ１）。続いて、ＣＰＵにより図形の幅の大きい順に
並べ替えて全ての要素図形データを主記憶装置内に保存
する（Ｐ２）。主記憶装置への入力が終了した後、要素
図形を修正するため、表示倍率を決めてＣＰＵに入力す
る（Ｐ３）。ＣＰＵは画面からはみ出るような大きさと
なる要素図形や、小さくて視覚では認識しにくいような
大きさとなる要素図形の表示限界値ｄ（判定基準）を計
算する（Ｐ４）。In the graphic data processing method of the present invention, as shown in the flowchart of FIG. 1, first, a plurality of element graphic data are read from the external storage device into the CPU (P1). Then, the CPU rearranges the graphic figures in order of increasing width and stores all the element graphic data in the main storage device (P2). After the input to the main storage device is completed, the display magnification is determined and input to the CPU in order to correct the element graphic (P3). The CPU calculates the display limit value d (judgment standard) of the element graphic having a size protruding from the screen and the element graphic having a size that is small and difficult to visually recognize (P4).
【００１１】次に、ＣＰＵにより、保存されている複数
の要素図形データを一番目の記憶領域から順に呼び出し
て、これらの要素図形データに対応する図形の幅と表示
限界値ｄとを比較し（Ｐ５）、表示限界値ｄを満たすも
ののみ入力／表示装置３に入力し、画面に表示する（Ｐ
６）。表示限界値ｄ内であれば、入力／表示装置に要素
図形データを入力し、表示限界値ｄを満たさない要素図
形データが出てきたら入力／表示装置への要素図形デー
タの入力を打ち切る（Ｐ７）。Next, the CPU sequentially calls a plurality of stored element graphic data from the first storage area and compares the width of the graphic corresponding to these element graphic data with the display limit value d ( P5), only those satisfying the display limit value d are input to the input / display device 3 and displayed on the screen (P5).
6). If it is within the display limit value d, the element graphic data is input to the input / display device, and when the element graphic data that does not satisfy the display limit value d comes out, the input of the element graphic data to the input / display device is terminated (P7). ).
【００１２】このように、本発明においては、複数の要
素図形が配置されてなる図形を描くための要素図形デー
タを、それぞれの要素図形データにより描かれる要素図
形の大きさ、例えば面積又は最大幅の小さい順に又は大
きい順に並べて保存しておき、図形表示するときに表示
すべき大きさの範囲の要素図形データを選択して呼び出
して表示装置に表示する。As described above, according to the present invention, the element graphic data for drawing a graphic in which a plurality of element graphics are arranged is defined by the size of the element graphic drawn by each element graphic data, for example, the area or the maximum width. Are stored in the order of ascending or descending, and element graphic data in a size range to be displayed at the time of graphic display are selected and called and displayed on the display device.
【００１３】従って、拡大表示する場合、大きくて画面
からはみ出るようなものは、要素図形の大きさの小さい
順に呼び出して比較し、範囲の上限を越えるものが出て
きたとき、表示を終了する。或いは拡大してもなお小さ
くて視覚により認識しにくいようなものは要素図形の大
きさの大きい順に呼び出して比較し、範囲の下限を越え
るものが出てきたとき、表示を終了する。Therefore, in the case of the enlarged display, if the size of the element graphic is larger than the size of the screen, the elements are called in ascending order of size and compared, and when the size exceeds the upper limit of the range, the display is terminated. Alternatively, if the size of the element graphic is small and difficult to be visually recognized even if it is enlarged, the element graphics are called in the order of increasing size and compared, and when there is a size exceeding the lower limit of the range, the display is terminated.
【００１４】また、縮小表示する場合、小さくて視覚に
より認識しにくいようなものは要素図形の大きさの大き
い順に呼び出して比較し、範囲の下限を越えるものが出
てきたとき、表示を終了する。或いは、拡大表示する場
合及び縮小表示する場合ともに、表示すべき大きさの範
囲の上限及び下限を決めておき、要素図形の大きさの小
さい順又は大きい順に呼び出して比較し、上限と下限の
間の範囲に入るものだけを表示装置に表示する。Further, in the case of reduced display, if the size of the element graphic is small and difficult to visually recognize, the elements are called in descending order of size, and compared, and when there is something exceeding the lower limit of the range, the display is terminated. . Alternatively, both in the case of enlarged display and in the case of reduced display, the upper and lower limits of the size range to be displayed are set in advance, and they are called in the order of increasing or decreasing size of element graphics and compared, and between the upper and lower limits. Only those within the range of are displayed on the display device.
【００１５】また、場合により、表示された図形を観察
しながら必要な範囲を決めることもできる。以上のよう
に、本発明に係る図形データの処理方法によれば、要素
図形の大きさの順に並べて保存されているので、必要な
範囲の限界値を越えるものはデータの呼出しや比較の対
象から除外することができる。従って、表示速度の向上
を図ることができる。In some cases, the required range can be determined while observing the displayed graphic. As described above, according to the method of processing graphic data according to the present invention, since the graphic data are arranged and stored in the order of the size of the graphic elements, those exceeding the limit value of the necessary range are not subject to data calling or comparison. Can be excluded. Therefore, the display speed can be improved.
【００１６】[0016]
【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施の形態につ
いて図面を参照しながら説明する。図２は、本発明の実
施の形態に係る図形データの処理に用いられるＣＡＤシ
ステムの概略構成図である。まず、図２に示すように、
ＣＡＤをサポートするコンピュータシステムを構成する
主なものとして、加工中或いは加工前後の図形データを
保存しておく主記憶装置２と、視覚により認識可能な図
形として図形データを入力し、かつ加工中の図形データ
を視覚により認識可能な図形として表示する入力／表示
装置３と、図形データの様々な処理を制御するＣＰＵ
（中央処理装置）１とがあり、更にこれに既に作成した
図形データを保存する外部記憶装置４が付加される。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 2 is a schematic configuration diagram of a CAD system used for processing graphic data according to the embodiment of the present invention. First, as shown in FIG.
Main components of a computer system that supports CAD are a main storage device 2 for storing graphic data during or before and after processing, and graphic data input as a visually recognizable graphic and Input / display device 3 for displaying graphic data as a visually recognizable graphic, and CPU for controlling various processing of graphic data
There is a (central processing unit) 1, and an external storage device 4 for saving the already created graphic data is added to this.
【００１７】図３（ａ）〜（ｃ）は、半導体装置のマス
ク設計に用いられる主な図形の種類を示す平面図であ
る。ボックス（box ）型、バウンダリ（boundary）型又
はパス（path）型等がある。ボックス型は対角線の２つ
の指定点を特定することにより長方形或いは正方形の図
形となる。バウンダリ型は図形の全ての角部に相当する
ところを指定点として特定することにより任意の角部を
有する図形となる。パス型は始点と終点の２つの指定点
を特定することにより、所定の幅を有する帯状の図形と
なる。主な図形の種類は以上の通りであり、他にも幾種
類かあるが省略する。FIGS. 3A to 3C are plan views showing types of main figures used for mask design of a semiconductor device. There are a box type, a boundary type, a path type, and the like. The box type becomes a rectangular or square figure by specifying two designated points on the diagonal line. The boundary type becomes a figure having arbitrary corners by specifying points corresponding to all corners of the figure as designated points. The path type becomes a band-shaped figure having a predetermined width by specifying two designated points, a start point and an end point. The main types of figures are as described above, and there are some other types, but they are omitted.
【００１８】半導体装置のパターンは複数のマスク層を
順に用い、それに基づいてパターニングして作成され
る。そのうち一つのマスク層の全体のパターンは、図３
（ａ）〜（ｃ）に示す複数の要素図形が所定の位置に配
置されている。これらの要素図形の集まりは全て同一の
階層として主記憶装置に保存されていてもよいし、互い
に異なる階層（セル或いはストラクチャ）に別々に保存
されている要素図形が組み合わされたものでもよい。各
階層に属する要素図形は、例えば繰り返し使うものとそ
うでないものという基準に従って分類される。The pattern of the semiconductor device is formed by sequentially using a plurality of mask layers and patterning based on the mask layers. The entire pattern of one mask layer is shown in FIG.
A plurality of element figures shown in (a) to (c) are arranged at predetermined positions. A group of these elemental figures may be stored in the main storage device as the same layer, or may be a combination of elemental figures separately stored in different layers (cells or structures). Element graphics belonging to each layer are classified, for example, according to the criteria that they are repeatedly used and those that are not.
【００１９】図形データは入力／表示装置３からライト
ペン等により最初図形で入力される。上記の図形の種類
のうち所望のものを選択し、画面上で所望の指定点をラ
イトペンにより指し示すことにより、ボックス型、バウ
ンダリ型又はパス型等の要素図形が画面上所定の位置に
表示されるとともに、各々の要素図形の指定点が（ｘ，
ｙ）座標に変換される。さらに、それらの座標に基づい
て各々の要素図形の面積と最大幅が計算される。これら
のデータは、例えば図６に示すような要素図形データと
して、ＣＰＵ１を介して主記憶装置２に送られ、要素図
形の作成順に保存される。なお、必要な場合には、これ
らのデータは主記憶装置２から外部記憶装置４に移し替
えて保存される。The graphic data is first input as a graphic from the input / display device 3 with a light pen or the like. By selecting the desired one of the above graphic types and pointing the desired specified point on the screen with a light pen, a box-type, boundary-type, or path-type element graphic is displayed at a predetermined position on the screen. And the specified point of each element figure is (x,
y) Converted to coordinates. Further, the area and maximum width of each element graphic are calculated based on those coordinates. These data are sent to the main storage device 2 via the CPU 1 as element graphic data as shown in FIG. 6, for example, and are stored in the order of creating the element graphic. If necessary, these data are transferred from the main storage device 2 to the external storage device 4 and stored.
【００２０】このとき、全ての要素図形データの集まり
を同一の階層として保存してもよいし、前述の特定の基
準に従って分類して互いに異なる複数の階層（セル或い
はストラクチャ）として別の領域に保存してもよい。階
層毎に保存することで、図形データの表示の際、指定し
た階層だけ読みだせばよいので迅速な表示が行える。或
いは、ボックス型等の図形の種類毎に分類して保存して
もよい。又は、要素図形の指定点のｘ座標或いはｙ座標
が等しいグループ毎に、又は要素図形によって描かれる
全体の表示範囲を複数の領域に分割し、その分割領域毎
に保存してもよい。これにより、図形データの表示の
際、指定した座標だけ、或いは指定した分割領域だけ読
みだせばよいので迅速な表示が行える。または、要素図
形データの個数が相当多い場合等には、上記分類をさら
に２以上組み合わせたものを一つの分類として保存する
ことも可能である。At this time, a collection of all element graphic data may be stored as the same layer, or may be classified according to the above-mentioned specific criteria and stored in different areas as a plurality of layers (cells or structures) different from each other. You may. By storing the data for each layer, only the designated layer needs to be read when displaying the graphic data, so that the display can be performed quickly. Alternatively, the figures may be classified and stored according to the type of figure such as a box type. Alternatively, it is also possible to divide the display range drawn by the element graphic into a plurality of areas for each group in which the x-coordinates or y-coordinates of the designated points of the element graphic are equal, and save each divided area. As a result, when displaying the graphic data, only the designated coordinates or the designated divided areas need be read, so that the display can be performed quickly. Alternatively, when the number of element graphic data is considerably large, a combination of two or more of the above classifications can be stored as one classification.
【００２１】また、主記憶装置２に図形データを保存す
る際、図４（ａ）又は図５に示すように、ＣＰＵ１によ
り面積又は幅の大きい順或いは小さい順に並べ替えて保
存してもよいし、図４（ｂ）に示すように、そのような
順序付けを行わないで要素図形の作成順に保存してもよ
い。なお、図形の大きさの順に並べ換えて保存する場
合、要素図形データの集まりを一括して、又は前記図形
の種類毎に、又は前記階層毎に、又は前記分割領域毎
に、又は前記座標毎に行うことも可能である。Further, when the graphic data is stored in the main storage device 2, as shown in FIG. 4 (a) or 5, the CPU 1 may rearrange and store the data in the descending order of area or width or in decreasing order. As shown in FIG. 4B, the element graphics may be stored in the order of creation without such ordering. When the figures are rearranged in order of size and stored, a collection of element graphic data is collected at once, or for each type of the graphic, for each of the layers, for each of the divided areas, or for each of the coordinates. It is also possible to do so.
【００２２】次に、このＣＡＤシステムを用いて、本発
明の実施の形態に係る図形データの処理方法について図
１、図７及び図８（ａ），（ｂ）を参照しながら説明す
る。図１は本発明の実施の形態に係る図形データの処理
方法について示すフローチャートである。図７はマスク
パターンの一部領域を示す平面図である。図８（ａ）は
図７のマスクパターンを縮小して画面に表示したときの
平面図であり、図８（ｂ）は同じマスクパターンを拡大
して画面に表示したときの平面図である。Next, a method of processing graphic data according to the embodiment of the present invention using this CAD system will be described with reference to FIGS. 1, 7 and 8A and 8B. FIG. 1 is a flowchart showing a method of processing graphic data according to the embodiment of the present invention. FIG. 7 is a plan view showing a partial area of the mask pattern. 8A is a plan view when the mask pattern of FIG. 7 is reduced and displayed on the screen, and FIG. 8B is a plan view when the same mask pattern is enlarged and displayed on the screen.
【００２３】図７に示すような図形に基づく図形データ
が外部記憶装置４に既に作成されているとする。また、
複数の要素図形データは要素図形の面積や幅の大小関係
による順序付けが行われておらず、図４（ｂ）のように
保存されているものとする。まず、外部記憶装置４から
図７に示す一つのマスク層に属する複数の要素図形デー
タからなる図形データをＣＰＵ１に読み込む（Ｐ１）。
続いて、図４（ａ）に示すように、ＣＰＵ１により図形
の幅の大きい順に並べ替えて全ての要素図形データを主
記憶装置２内に保存する（Ｐ２）。It is assumed that graphic data based on a graphic as shown in FIG. 7 has already been created in the external storage device 4. Also,
It is assumed that the plurality of element graphic data are not ordered according to the size relationship of the area and width of the element graphic and are stored as shown in FIG. 4B. First, the external storage device 4 reads graphic data consisting of a plurality of element graphic data belonging to one mask layer shown in FIG. 7 into the CPU 1 (P1).
Subsequently, as shown in FIG. 4 (a), the CPU 1 rearranges the graphic patterns in order of increasing width and stores all the element graphic data in the main storage device 2 (P2).
【００２４】主記憶装置２への入力が終了した後、ライ
トペン等により図形を修正する。このため、まず表示倍
率を決めてＣＰＵ１に入力する（Ｐ３）。ＣＰＵ１は画
面からはみ出るような大きさとなる要素図形や、小さく
て視覚では認識しにくいような大きさとなる要素図形の
表示限界値ｄ（判定基準）を計算する（Ｐ４）。図形を
拡大して表示する場合、ＣＰＵ１は画面からはみ出るよ
うな大きさとなる要素図形に相当する上限の表示限界値
ｄとなり、図形を縮小して表示する場合、小さくて視覚
では認識しにくいような大きさとなる要素図形に相当す
る下限の表示限界値ｄとなる。After the input to the main storage device 2 is completed, the figure is corrected with a light pen or the like. Therefore, the display magnification is first determined and input to the CPU 1 (P3). The CPU 1 calculates the display limit value d (determination criterion) of the element graphic that has a size that protrudes from the screen and the element graphic that has a size that is small and difficult to visually recognize (P4). When the graphic is enlarged and displayed, the CPU 1 has an upper limit display limit value d corresponding to an element graphic having a size protruding from the screen, and when the graphic is reduced and displayed, it is small and difficult to visually recognize. The display limit value d is the lower limit corresponding to the size of the element graphic.
【００２５】次いで、ＣＰＵ１により、保存されている
複数の要素図形データを一番目の記憶領域から順に呼び
出して、これらの要素図形データに対応する図形の幅と
表示限界値ｄとを比較し（Ｐ５）、表示限界値ｄを満た
すもののみ入力／表示装置３に入力し、画面に表示する
（Ｐ６）。このとき、図形を拡大表示する場合、図４
（ａ）のIIの方向で示すように幅の小さい方から呼び出
していき、図形を縮小表示する場合、図４（ａ）のＩの
方向で示すように幅の大きい方から呼び出していく。そ
して、表示限界値ｄ内であれば、入力／表示装置３に要
素図形データを入力し、表示限界値ｄを満たさない要素
図形データが出てきたら入力／表示装置３に要素図形デ
ータの入力を打ち切る（Ｐ７）。Next, the CPU 1 sequentially calls a plurality of stored element graphic data from the first storage area, and compares the width of the graphic corresponding to these element graphic data with the display limit value d (P5). ), Only those satisfying the display limit value d are input to the input / display device 3 and displayed on the screen (P6). At this time, when enlarging the figure,
As shown in the direction II of (a), the smaller width is called, and when the graphic is reduced and displayed, the larger width is called as shown in the direction I of FIG. 4A. If it is within the display limit value d, the element graphic data is input to the input / display device 3, and when the element graphic data that does not satisfy the display limit value d appears, the input / display device 3 is input with the element graphic data. Abort (P7).
【００２６】この様にして、入力／表示装置３の画面上
には、図８（ａ）又は図８（ｂ）に示すような図形が表
示される。図８（ａ）は縮小表示の場合を示し、図８
（ｂ）は拡大表示の場合を示す。図８（ａ）では、表示
されなかった要素図形は省略してある。また、図８
（ｂ）では、そこに配置されるものであるが、表示され
ない要素図形を一点鎖線で示す。In this way, the graphic as shown in FIG. 8 (a) or FIG. 8 (b) is displayed on the screen of the input / display device 3. FIG. 8A shows a case of reduced display, and FIG.
(B) shows a case of enlarged display. In FIG. 8A, the element graphic not displayed is omitted. FIG.
In (b), the element graphic that is arranged there, but is not displayed, is indicated by a chain line.
【００２７】以上のように、本発明に係る図形データの
処理方法によれば、全ての要素図形データを呼び出して
判定基準と比較する必要はなく、表示速度の向上を図る
ことができる。なお、上記では、表示限界値は一つであ
るが、或る範囲内の要素図形のみ表示するように、最小
と最大の表示限界値を決めてもよい。As described above, according to the graphic data processing method of the present invention, it is not necessary to call all the element graphic data and compare them with the judgment standard, and the display speed can be improved. It should be noted that, although the display limit value is one in the above, the minimum and maximum display limit values may be determined so that only element graphics within a certain range are displayed.
【００２８】また、主記憶装置２内で、図形の幅の大き
い順に並べ替えているが、小さい順に並べ替えてもよ
い。更に、要素図形の幅を比較の対象としているが、要
素図形データの座標から要素図形の面積を計算し、図５
に示すように、それを要素図形データとして小さい順に
又は大きい順に保存しておき、図形表示の際順に呼び出
して要素図形の面積を比較の対象としてもよい。Further, in the main storage device 2, the figures are sorted in descending order of width, but they may be sorted in ascending order. Furthermore, although the width of the element graphic is used for comparison, the area of the element graphic is calculated from the coordinates of the element graphic data, and
As shown in FIG. 5, it may be stored as element graphic data in ascending or descending order, and may be called in order when displaying a graphic to make the area of the element graphic to be compared.
【００２９】また、上記では、外部記憶装置４に保存さ
れた要素図形データは要素図形の面積や幅の大小関係に
よる順序付けが行われていないものを用いているが、外
部記憶装置４に保存された要素図形データは要素図形の
面積や幅の大小関係による順序付けが行われているもの
を用いてもよい。これにより、外部記憶装置４からＣＰ
Ｕ１への読み出し速度を上げることができる。In the above description, the element graphic data stored in the external storage device 4 is not ordered by the size relation of the area and width of the element graphic, but is stored in the external storage device 4. The element graphic data may be data that is ordered according to the size relationship of the area and width of the element graphic. This allows the CP from the external storage device 4 to be
The reading speed to U1 can be increased.
【００３０】更に、表示限界値ｄをＣＰＵ１に登録して
おき、これに従ってＣＰＵ１内で選別しているが、要素
図形の大きさに従って順次表示される要素図形を観察し
ながら、次の要素図形を表示する必要があるかどうか判
断し、必要な範囲を決めてもよい。また、半導体装置の
マスク設計に適用しているが、建築設計や機械設計にも
適用することができる。Further, although the display limit value d is registered in the CPU 1 and selected in the CPU 1 according to this, the next element figure is displayed while observing the element figures sequentially displayed according to the size of the element figure. You may decide whether to display it and decide the necessary range. Further, although it is applied to the mask design of the semiconductor device, it can also be applied to architectural design and mechanical design.
【００３１】[0031]
【発明の効果】以上のように、本発明の図形データの処
理方法においては、図形を描くための複数の要素図形デ
ータを、対応する要素図形の大きさの小さい順に又は大
きい順に並べて保存しておき、表示するときに順に呼び
出して比較し、表示すべき大きさの範囲の要素図形デー
タを選択して表示する。As described above, in the graphic data processing method according to the present invention, a plurality of element graphic data for drawing a graphic are stored by arranging them in descending order of size of the corresponding element graphic or in descending order. Every time, when displaying, the element graphic data in the range of the size to be displayed is selected and displayed by sequentially calling and comparing.
【００３２】これにより、全ての要素図形データを呼び
出して表示判定基準と比較する必要はなく、表示速度の
向上を図ることができる。With this, it is not necessary to call all the element graphic data and compare them with the display determination standard, and the display speed can be improved.
【図１】本発明の実施の形態に係る図形データの処理方
法について示すフローチャートである。FIG. 1 is a flowchart showing a method of processing graphic data according to an embodiment of the present invention.
【図２】本発明の実施の形態に係る図形データの処理方
法に用いられるＣＡＤシステムについて示す概略構成図
である。FIG. 2 is a schematic configuration diagram showing a CAD system used in the method of processing graphic data according to the embodiment of the present invention.
【図３】図形データの処理に用いられる一般的な図形の
種類について示す平面図である。FIG. 3 is a plan view showing general types of graphics used for processing graphics data.
【図４】図４（ａ）は、本発明の実施の形態に係る図形
データの処理方法に用いられるＣＡＤシステムの主記憶
装置内の要素図形データの記憶配置について示す図であ
る。図４（ｂ）は、従来例に係る図形データの処理方法
に用いられるＣＡＤシステムの主記憶装置内の要素図形
データの記憶配置について示す図である。FIG. 4A is a diagram showing a storage arrangement of element graphic data in a main storage device of a CAD system used in the graphic data processing method according to the embodiment of the present invention. FIG. 4B is a diagram showing the storage arrangement of element graphic data in the main storage device of the CAD system used in the conventional graphic data processing method.
【図５】本発明の実施の形態に係る図形データの処理方
法に用いられるＣＡＤシステムの主記憶装置内の要素図
形データの記憶配置について示す図である。FIG. 5 is a diagram showing a storage arrangement of element graphic data in the main storage device of the CAD system used in the graphic data processing method according to the embodiment of the present invention;
【図６】本発明の実施の形態に係る図形データの処理方
法に用いられる要素図形データの内容について示す図で
ある。FIG. 6 is a diagram showing the contents of element graphic data used in the graphic data processing method according to the embodiment of the present invention.
【図７】本発明の実施の形態に係る図形データの処理方
法に用いられるマスクパターンについて示す部分平面図
である。FIG. 7 is a partial plan view showing a mask pattern used in the method of processing graphic data according to the embodiment of the present invention.
【図８】図８（ａ）は本発明の実施の形態に係る図形デ
ータの処理方法に用いられるＣＡＤシステムの表示装置
に縮小表示された図形である。図８（ｂ）は本発明の実
施の形態に係る図形データの処理方法に用いられるＣＡ
Ｄシステムの表示装置に拡大表示された図形である。FIG. 8A is a graphic reduced and displayed on the display device of the CAD system used in the graphic data processing method according to the embodiment of the present invention. FIG. 8B is a CA used in the method of processing graphic data according to the embodiment of the present invention.
It is a figure enlarged and displayed on the display device of the D system.
１ ＣＰＵ、 ２ 主記憶装置、 ３ 入力／表示装置、 ４ 外部記憶装置。 1 CPU, 2 main storage device, 3 input / display device, 4 external storage device.
Claims (6)
めの要素図形データを前記要素図形の大きさの順に並べ
ておき、図形表示のときに特定の大きさの範囲にある前
記要素図形データを呼び出して表示することを特徴とす
る図形データの処理方法。1. Element graphic data for drawing a plurality of element graphics forming a graphic are arranged in the order of the size of the element graphic, and the element graphic data within a specific size range are displayed when the graphic is displayed. A method for processing graphic data, which is characterized by being called and displayed.
形に属するデータ、特定の階層に属するデータ、特定の
表示領域内にあるデータ、或いは特定の座標にあるデー
タであるか、またはこれらのデータを組み合わせたデー
タであることを特徴とする請求項１に記載の図形データ
の処理方法。2. The element graphic data is data belonging to a graphic of a specific type, data belonging to a specific hierarchy, data in a specific display area, or data at specific coordinates, or The graphic data processing method according to claim 1, wherein the graphic data is a combination of data.
積又は最大幅であることを特徴とする請求項１又は請求
項２に記載の図形データの処理方法。3. The graphic data processing method according to claim 1, wherein the size of the element graphic is an area or a maximum width of the element graphic.
要素図形の大きさの小さい順に、或いは大きい順に行う
ことを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記
載の図形データの処理方法。4. The method of processing graphic data according to claim 1, wherein the element graphic data is called in order of increasing or decreasing size of the element graphic. .
呼び出しは、表示限界値を判定基準として自動的に行う
ことを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれかに記
載の図形データの処理方法。5. The graphic data according to any one of claims 1 to 4, wherein the calling of the element graphic data in the specific range is automatically performed by using a display limit value as a criterion. Processing method.
さの範囲を決めることを特徴とする請求項１乃至請求項
４のいずれかに記載の図形データの処理方法。6. The method of processing graphic data according to claim 1, wherein the range of the specific size is determined while the element graphic is being displayed.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8019585A JPH09212672A (en) | 1996-02-06 | 1996-02-06 | Graphic data processing method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8019585A JPH09212672A (en) | 1996-02-06 | 1996-02-06 | Graphic data processing method |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09212672A true JPH09212672A (en) | 1997-08-15 |
Family
ID=12003341
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8019585A Withdrawn JPH09212672A (en) | 1996-02-06 | 1996-02-06 | Graphic data processing method |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09212672A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010219371A (en) * | 2009-03-18 | 2010-09-30 | Nuflare Technology Inc | Charged particle beam-drawing device, pattern inspection device and layout displaying method |
| JP2011060804A (en) * | 2009-09-07 | 2011-03-24 | Nuflare Technology Inc | Charged particle beam drawing apparatus, pattern inspection apparatus, and layout display method |
| JP2013110237A (en) * | 2011-11-21 | 2013-06-06 | Nuflare Technology Inc | Charged particle beam drawing device, pattern checking device, and layout display method |
-
1996
- 1996-02-06 JP JP8019585A patent/JPH09212672A/en not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010219371A (en) * | 2009-03-18 | 2010-09-30 | Nuflare Technology Inc | Charged particle beam-drawing device, pattern inspection device and layout displaying method |
| JP2011060804A (en) * | 2009-09-07 | 2011-03-24 | Nuflare Technology Inc | Charged particle beam drawing apparatus, pattern inspection apparatus, and layout display method |
| JP2013110237A (en) * | 2011-11-21 | 2013-06-06 | Nuflare Technology Inc | Charged particle beam drawing device, pattern checking device, and layout display method |
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