JPH09210290A - Method and device for manufacturing evacuated insulator - Google Patents
Method and device for manufacturing evacuated insulatorInfo
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- JPH09210290A JPH09210290A JP8017532A JP1753296A JPH09210290A JP H09210290 A JPH09210290 A JP H09210290A JP 8017532 A JP8017532 A JP 8017532A JP 1753296 A JP1753296 A JP 1753296A JP H09210290 A JPH09210290 A JP H09210290A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は真空断熱材の製造方
法及び製造装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a vacuum heat insulating material manufacturing method and manufacturing apparatus.
【０００２】[0002]
【従来の技術】ガスバリア容器に例えば無機粉末材、ガ
ラス繊維のマット材、連続気泡構造の有機フォーム材な
どからなるコア材を充填し、容器内を減圧してガスバリ
ア容器を封止した真空断熱材が知られている。2. Description of the Related Art A vacuum heat insulating material in which a gas barrier container is filled with a core material made of, for example, an inorganic powder material, a glass fiber mat material, an organic foam material having an open cell structure, and the pressure inside the container is reduced to seal the gas barrier container. It has been known.
【０００３】このような充填物内部に空隙を有するタイ
プの真空断熱材の熱伝導率は、一般に、空隙に存在する
気体の熱伝達、充填物の接触熱伝導、輻射伝達、対流に
起因する熱伝導の４つの要素の和として表わされる。The thermal conductivity of a vacuum heat insulating material of the type having a void inside such a filler is generally determined by the heat transfer of gas present in the void, contact heat transfer of the filler, radiation transfer, and heat due to convection. Expressed as the sum of the four components of conduction.
【０００４】実用化されている真空断熱材では、これら
の要素のうち空隙に存在する気体の熱伝達による熱伝導
率成分が支配的であり、充填物の空隙が小さいほど、ま
た、空隙に存在する気体の圧力が低いほど真空断熱材の
熱伝導率は小さくなる。In the vacuum heat insulating material which has been put into practical use, the thermal conductivity component due to the heat transfer of the gas present in the voids is dominant among these elements, and the smaller the voids of the filler, the more the existing in the voids. The lower the pressure of the generated gas, the smaller the thermal conductivity of the vacuum heat insulating material.
【０００５】図７は、代表的な３種類の充填材（コア
材）を用いて作製した真空断熱パネルの内圧と熱伝導率
との関係を示す図である。FIG. 7 is a diagram showing the relationship between the internal pressure and the thermal conductivity of a vacuum heat insulation panel manufactured using three typical types of fillers (core materials).
【０００６】これらのパネルは、最内層に熱融着層を有
するアルミニウムとプラスティックラミネートフィルム
のガスバリア容器に、乾燥したコア材を充填し、ガスバ
リア容器内を排気後熱融着して作製した袋状（パウチタ
イプ）の真空断熱パネルである。コア材としてポリウレ
タンフォームを用いた真空断熱材Ｓ、コア材としてシリ
カ粉末を用いた真空断熱材Ｔ、及びコア材としてグラス
ファイバーマット積層品を用いた真空断熱材Ｕについて
その内圧と熱伝導率との関係を示している。These panels are formed by filling a gas barrier container made of aluminum and a plastic laminate film having a heat-sealing layer as the innermost layer with a dry core material, exhausting the gas barrier container, and then heat-sealing the bag-shaped product. It is a (pouch type) vacuum insulation panel. Internal pressure and thermal conductivity of a vacuum heat insulating material S using polyurethane foam as a core material, a vacuum heat insulating material T using silica powder as a core material, and a vacuum heat insulating material U using a glass fiber mat laminated product as a core material. Shows the relationship.
【０００７】このように、真空断熱パネルの熱伝導率は
ガスバリア容器内の圧力に依存していることがわかる。
したがって、真空断熱パネルの断熱性能を長期間維持す
るためには、ガスバリア容器内の圧力を一定に維持する
ことが重要である。As described above, it is understood that the thermal conductivity of the vacuum heat insulating panel depends on the pressure in the gas barrier container.
Therefore, in order to maintain the heat insulating performance of the vacuum heat insulating panel for a long period of time, it is important to keep the pressure inside the gas barrier container constant.
【０００８】ガスバリア容器内の圧力を上昇させる主な
要因としては、パネル外部からのガスリークとパネル内
部からのガス発生とがある。このようなガスとしては、
Ｈ2Ｏ、空気（Ｎ2 、Ｏ2 、ＣＯ2 ）などがあり、真空
断熱材の周囲にハロゲン化炭化水素を発泡剤に用いたポ
リウレタンなどがある場合には、ハロゲン化炭化水素も
昇圧要因ガスとなる。The main factors that increase the pressure inside the gas barrier container are gas leakage from the outside of the panel and gas generation from the inside of the panel. As such gas,
H 2 O, include air (N 2, O 2, CO 2), when the halogenated hydrocarbons around the vacuum insulating material is polyurethane used in blowing agents include halogenated hydrocarbons boosting factor It becomes gas.
【０００９】パネル外部からのガスリークには、ガスバ
リア容器自体をガスが透過するガスリークや、ガスバリ
ア容器の熱融着部をガスが透過するガスリークなどがあ
る。一方、パネル内部からのガス発生には、ガスバリア
容器内表面、コア材及びその他の充填材に吸着していた
ガスの脱着によるガス発生や、低沸点残留物及びその他
の分解・反応生成物によるガス発生などがある。Gas leaks from the outside of the panel include gas leaks in which gas permeates through the gas barrier container itself and gas leaks in which gas permeates through the heat-sealed portion of the gas barrier container. On the other hand, the gas generated from the inside of the panel is generated by the desorption of the gas adsorbed on the inner surface of the gas barrier container, the core material and other fillers, and the gas generated by the low boiling point residue and other decomposition and reaction products. Occurrence etc.
【００１０】したがって、真空断熱材の熱伝導率の経時
的な増大、すなわち真空断熱材の経時劣化を最小限に抑
制するためには、上述のガスリークやガス発生を低減す
ることが必要である。Therefore, in order to increase the thermal conductivity of the vacuum heat insulating material with time, that is, to suppress the deterioration of the vacuum heat insulating material with time to the minimum, it is necessary to reduce the above-mentioned gas leakage and gas generation.
【００１１】このようなガスリークやガス発生の低減対
策の１つとして、ガスバリア容器外からリークしたガス
や、ガスバリア容器内で発生したガスを吸着するガス吸
着剤であるゲッタ剤をガスバリア容器内に充填材ととも
に配置する方法が知られている。As one of measures for reducing such gas leak and gas generation, a gas leaking from the outside of the gas barrier container or a getter agent which is a gas adsorbent for adsorbing the gas generated in the gas barrier container is filled in the gas barrier container. A method of arranging with a material is known.
【００１２】ガス吸着剤としては、表面積の大きな無機
系または有機系の多孔質物質が用いられている。吸着の
タイプも主として物理吸着によるものや、主として化学
吸着によるものなど種々の吸着剤が知られている。As the gas adsorbent, an inorganic or organic porous material having a large surface area is used. Various types of adsorbents are known, such as those mainly by physical adsorption and those mainly by chemical adsorption.
【００１３】代表的な吸着剤としてはゼオライトや活性
炭があり、特に合成ゼオライトは水分吸着能力が高く、
真空断熱材の吸着剤（ゲッタ剤）として一般的に用いら
れている。As typical adsorbents, there are zeolite and activated carbon, and particularly synthetic zeolite has a high water adsorption capacity,
It is generally used as an adsorbent (gettering agent) for vacuum heat insulating materials.
【００１４】ところでこのようなガス吸着剤は、吸着速
度・吸着能力が大きいという長所がある反面、特に真空
断熱材の製造時に以下のような問題がある。By the way, such a gas adsorbent has the advantage that it has a large adsorption rate and adsorption capacity, but on the other hand, it has the following problems especially when manufacturing a vacuum heat insulating material.
【００１５】真空排気する工程でガス吸着剤自体に吸着
している吸着物質を完全に除去することは困難であり、
ガスバリア容器の開口部を封止した後、ガス吸着剤に残
った吸着物質が徐々に脱着し、ガスバリア容器内圧を上
昇させてしまうのである。吸着物質としては水蒸気が主
要であり、この他にも空気、ハロゲン化炭化水素などの
有機物がある。It is difficult to completely remove the adsorbed substance adsorbed on the gas adsorbent itself in the process of evacuating,
After the opening of the gas barrier container is sealed, the adsorbed substance remaining in the gas adsorbent is gradually desorbed and the internal pressure of the gas barrier container is increased. Water vapor is mainly used as the adsorbing substance, and in addition to this, organic substances such as air and halogenated hydrocarbons are also included.
【００１６】このような問題に対しては、ガス吸着剤を
減圧下で加熱して吸着物質を除去する前処理を行った
後、ガスバリア容器内に挿入し、充填材とともに減圧、
封止する方法が提案されている。しかしながら、前処理
後の取扱いが難しく、ガス吸着剤に再吸着が起こって前
処理が無効になってしまうという問題がある。To solve such a problem, the gas adsorbent is heated under reduced pressure to perform a pretreatment for removing the adsorbed substance, and then the gas adsorbent is inserted into a gas barrier container and decompressed together with the filler.
A method of sealing has been proposed. However, there is a problem that handling after the pretreatment is difficult, and the gas adsorbent is re-adsorbed to invalidate the pretreatment.
【００１７】また、減圧下で吸着物質の脱着処理を行っ
たガス吸着剤を、密封あるいは難吸着性ガス雰囲気中に
保存して、真空断熱材のガスバリア容器内に導入すると
いう手法も提案されているが、工程が複雑で品質管理が
難しく、またコスト増を招くという問題がある。A method has also been proposed in which the gas adsorbent, which has been subjected to desorption treatment of the adsorbent under a reduced pressure, is sealed or stored in an atmosphere of hardly adsorbing gas and is introduced into the gas barrier container of the vacuum heat insulating material. However, there are problems that the process is complicated, quality control is difficult, and the cost is increased.
【００１８】一方、真空断熱材の製造工程において、コ
ア材、ゲッタ剤、ガスバリア容器などの真空断熱材の構
成材料の乾燥は、真空断熱材の内圧を低くしかつ維持す
るという観点から必要不可欠であり、さらに真空排気の
工程での排気速度向上や吸着物質の除去のために、排気
系全体を加熱する方法が提案されている。On the other hand, in the manufacturing process of the vacuum heat insulating material, it is indispensable to dry the constituent materials of the vacuum heat insulating material such as the core material, the getter agent and the gas barrier container from the viewpoint of lowering and maintaining the internal pressure of the vacuum heat insulating material. In addition, there has been proposed a method of heating the entire exhaust system in order to improve the exhaust speed and remove adsorbed substances in the vacuum exhaust process.
【００１９】しかしながらコア材、ゲッタ剤、ガスバリ
ア容器などの真空断熱材の構成材料全体を加熱しても、
ゲッタ剤の吸着能力が高いためにコア材、ガスバリア容
器など系内の脱着ガスを吸着してしまい、ゲッタ剤の吸
着物質の脱着は効率的に行えないという問題がある。However, even if the entire constituent material of the vacuum heat insulating material such as the core material, the getter agent and the gas barrier container is heated,
Since the gettering agent has a high adsorbing ability, the desorbing gas in the system such as the core material and the gas barrier container is adsorbed, so that the gettering agent adsorbing substance cannot be desorbed efficiently.
【００２０】[0020]
【発明が解決しようとする課題】本発明はこのような問
題を解決するためになされたものである。すなわち本発
明はゲッタ剤の吸着能力を十分に保持したままガスバリ
ア容器に封入し、内圧を低くするとともに、熱伝導率の
経時的安定性の高い真空断熱材の製造方法を提供するこ
とを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve such a problem. That is, the present invention aims to provide a method for producing a vacuum heat insulating material, which is sealed in a gas barrier container while sufficiently maintaining the adsorption capacity of a gettering agent to lower the internal pressure and has high thermal conductivity with high temporal stability. To do.
【００２１】また本発明はゲッタ剤の吸着能力を十分に
保持したままガスバリア容器に封入できる真空断熱材の
製造装置を提供することを目的とする。Another object of the present invention is to provide an apparatus for producing a vacuum heat insulating material which can be sealed in a gas barrier container while sufficiently retaining the gettering agent adsorption capacity.
【００２２】[0022]
【課題を解決するための手段】本発明の真空断熱材の製
造方法は、排気手段を有するチャンバ内に内部にコア材
とゲッタ剤が配置された開口部を有するガスバリア容器
を配置する工程と、このゲッタ剤を局部的に加熱しなが
らチャンバ内を減圧する工程と、ガスバリア容器の開口
部を封止する工程とを有することを特徴とする。A method of manufacturing a vacuum heat insulating material according to the present invention comprises a step of arranging a gas barrier container having an opening in which a core material and a getter agent are arranged in a chamber having an exhaust means. The method is characterized by including a step of decompressing the inside of the chamber while locally heating the getter agent, and a step of sealing the opening of the gas barrier container.
【００２３】また本発明の真空断熱材の製造方法は、排
気手段を有するチャンバ内に、内部にコア材が配置され
た開口部を有するガスバリア容器を配置する工程と、ゲ
ッタ剤を加熱する工程と、ガスバリア容器内に加熱した
ゲッタ剤を配置する工程と、チャンバ内を減圧する工程
と、ガスバリア容器の開口部を封止する工程とを有する
ことを特徴とする。すなわち、ゲッタ剤はガスバリア容
器内で加熱するようにしてもよいし、加熱してからガス
バリア容器内に導入するようにしてもよい。Further, the method for producing a vacuum heat insulating material of the present invention comprises the steps of placing a gas barrier container having an opening in which a core material is placed inside a chamber having an exhaust means, and heating a getter agent. The method is characterized by including a step of disposing a heated getter agent in the gas barrier container, a step of reducing the pressure in the chamber, and a step of sealing the opening of the gas barrier container. That is, the getter agent may be heated in the gas barrier container, or may be heated and then introduced into the gas barrier container.
【００２４】また、本発明の真空断熱材の製造方法は、
排気手段を有するチャンバ内に、内部にコア材とゲッタ
剤が配置された開口部を有するガスバリア容器を配置す
る工程と、ゲッタ剤を該ゲッタ剤へ吸着した吸着物質が
脱離する温度より高くかつガスバリア容器及びコア材の
耐熱温度より低い温度になるように局部的に加熱しなが
らチャンバ内を減圧する工程と、ゲッタ剤の温度及び前
記チャンバ内の圧力を維持したままガスバリア容器の開
口部を封止する工程とを有することを特徴とする。The method for manufacturing a vacuum heat insulating material of the present invention is
A step of disposing a gas barrier container having an opening in which a core material and a getter agent are disposed in a chamber having an exhaust means, and a temperature higher than a temperature at which an adsorbed substance adsorbing the getter agent is desorbed and Depressurizing the chamber while locally heating it to a temperature lower than the heat resistant temperature of the gas barrier container and the core material; and sealing the opening of the gas barrier container while maintaining the temperature of the getter agent and the pressure in the chamber. And a step of stopping.
【００２５】さらに、本発明の真空断熱材の製造方法
は、排気手段を有するチャンバ内に、内部にコア材が配
置された開口部を有するガスバリア容器を配置する工程
と、ゲッタ剤を該ゲッタ剤へ吸着した吸着物質が脱離す
る温度より高くかつガスバリア容器及びコア材の耐熱温
度より低い温度になるように加熱する工程と、ガスバリ
ア容器内に前記加熱したゲッタ剤を配置する工程と、チ
ャンバ内を減圧する工程と、ゲッタ剤の温度及びチャン
バ内の圧力を維持したままガスバリア容器の開口部を封
止する工程とを有することを特徴とする。Further, in the method for manufacturing a vacuum heat insulating material of the present invention, a step of placing a gas barrier container having an opening in which a core material is placed inside a chamber having an exhaust means, and a getter agent Heating to a temperature higher than the desorption temperature of the adsorbed substance adsorbed to and lower than the heat-resistant temperature of the gas barrier container and the core material; a step of disposing the heated getter agent in the gas barrier container; And a step of sealing the opening of the gas barrier container while maintaining the temperature of the getter agent and the pressure in the chamber.
【００２６】ゲッタ剤の加熱は熱伝導により加熱するよ
うにしてもよい。また、輻射により加熱するようにして
もよく、さらに、マイクロ波により加熱するようにして
もよい。The getter agent may be heated by heat conduction. Further, heating may be performed by radiation, and further heating may be performed by microwaves.
【００２７】すなわち、本発明の真空断熱材の製造方法
は、ゲッタ剤の吸着能力を維持したままガスバリア容器
内に封じ込めるために、ゲッタ剤を加熱するとともに吸
着物質の脱着温度より高い温度に保ったまま系内を排気
してガスバリア容器を封止するものである。That is, in the method for producing a vacuum heat insulating material of the present invention, the getter agent is heated and kept at a temperature higher than the desorption temperature of the adsorbed substance in order to keep the getter agent in the gas barrier container while keeping the adsorption ability. The inside of the system is exhausted as it is to seal the gas barrier container.
【００２８】用いるゲッタ剤は耐熱温度の観点から無機
系のものが適しており、例えばゼオライトなどをもちい
るようにしてもよい。The getter agent to be used is preferably an inorganic getter agent from the viewpoint of heat resistant temperature, and for example, zeolite may be used.
【００２９】ゲッタ剤は、ガスバリア容器内にコア材と
ともに配置してから、ゲッタ剤のみを加熱するようにし
てもよいし、ゲッタ剤を加熱してからガスバリア容器内
に導入するようにしてもよい。また、チャンバ外で加熱
してから、チャンバ内に導入しガスバリア容器内に配置
するようにしてもよい。ゲッタ剤の加熱は、コア材やガ
スバリア容器に悪影響を及ぼさないように、ゲッタ剤を
局部的に加熱することが好ましい。系内の圧力は１０-1
Ｔｏｒｒ程度以下まで減圧するようにすればよく、１０
-2〜１０-3Ｔｏｒｒ程度まで減圧すればさらに好適であ
る。The getter agent may be placed in the gas barrier container together with the core material and then the getter agent alone may be heated, or the getter agent may be heated and then introduced into the gas barrier container. . Alternatively, it may be heated outside the chamber and then introduced into the chamber and placed in the gas barrier container. It is preferable to heat the getter agent locally so that the core material and the gas barrier container are not adversely affected. The pressure in the system is 10 -1
The pressure may be reduced to about Torr or less, and 10
It is more preferable to reduce the pressure to about −2 to 10 −3 Torr.
【００３０】このようにガスバリア容器外で加熱してか
らガスバリア容器内に導入する場合でも、ゲッタ剤の温
度を吸着物質の脱着温度より高い温度に保つことにより
ゲッタ剤の取扱いが容易になる。Even in the case where the getter agent is heated outside the gas barrier container and then introduced into the gas barrier container, the getter agent can be easily handled by keeping the temperature of the getter agent higher than the desorption temperature of the adsorbent.
【００３１】ゲッタ剤を加熱する際の加熱手段として
は、ヒーターなどにより伝導加熱してもよいし、ハロゲ
ンランプなどを用いて輻射により加熱するようにしても
よい。また、導波管を用いてマイクロ波で加熱するよう
にしてもよい。As a heating means for heating the getter agent, conduction heating may be performed by a heater or the like, or heating may be performed by radiation using a halogen lamp or the like. Alternatively, a waveguide may be used for heating with microwaves.
【００３２】ゲッタ剤を加熱してからガスバリア容器内
に導入する場合にも同様の加熱手段を用いるようにして
もよい。The same heating means may be used when the getter agent is heated and then introduced into the gas barrier container.
【００３３】ゲッタ剤の温度は吸着物質の脱着温度より
高い温度に保つとともに、コア材やガスバリア容器に悪
影響を与えないような温度に調節する必要がある。ガス
バリア容器内でゲッタ剤を局部的に加熱する場合には、
コア材及びガスバリア容器の耐熱温度以下に制御して加
熱する必要があるし、ゲッタ剤を加熱してからガスバリ
ア容器内に導入する際にも、ゲッタ剤はコア材及びガス
バリア容器の耐熱温度以下の状態で導入する必要があ
る。It is necessary to maintain the temperature of the getter agent at a temperature higher than the desorption temperature of the adsorbed substance and to adjust the temperature so as not to adversely affect the core material and the gas barrier container. When locally heating the getter agent in the gas barrier container,
It is necessary to control and heat the core material and the gas barrier container to a temperature not higher than the heat resistant temperature, and even when the getter agent is heated and then introduced into the gas barrier container, the getter agent has a temperature not higher than the heat resistant temperature of the core material and the gas barrier container. Need to be introduced in the state.
【００３４】用いるコア材、ガスバリア容器によりその
耐熱温度は異なるから、ゲッタ剤の加熱温度は用いるコ
ア材、ガスバリア容器の組み合わせにより必要に応じて
調節するようにすればよい。Since the heat-resistant temperature differs depending on the core material and gas barrier container used, the heating temperature of the getter agent may be adjusted as necessary depending on the combination of the core material and gas barrier container used.
【００３５】例えば、ガスバリア容器としてポリプロピ
レン、アルミニウム箔、ポリエチレンテレフタレートフ
ィルムを積層したガスバリアフィルムを用いて、このガ
スバリア容器内に充填・密封するコア材としてポリウレ
タン連通フォームを、ゲッタ剤としてゼオライト（ユニ
オン昭和（株）製、モレキュラーシーブ１３Ｘ：商品
名）を用いた場合、ガスバリアフィルムの耐熱温度は１
００〜１５０℃程度、ポリウレタンの耐熱温度は１１０
〜１５０℃程度であるから、ゲッタ剤を１００〜１５０
℃程度の加熱状態で排気・密封することができる。この
温度では、ゲッタ剤の吸着物質として主要な物質である
Ｈ2 Ｏ（水蒸気）はゲッタ剤から十分に脱着する。For example, a gas barrier film obtained by laminating polypropylene, aluminum foil, and polyethylene terephthalate film is used as the gas barrier container, and polyurethane communication foam is used as the core material for filling and sealing the gas barrier container, and zeolite as the getter agent (Union Showa ( Manufactured by Molecular Sieve 13X (trade name), the heat resistance temperature of the gas barrier film is 1
The heat resistance temperature of polyurethane is 110
Since the temperature is about ~ 150 ° C, the getter agent is 100-150.
It can be evacuated and sealed in a heated state of about ℃. At this temperature, H 2 O (water vapor), which is a main substance as an adsorbing substance for the getter agent, is sufficiently desorbed from the getter agent.
【００３６】また例えば、ガスバリア容器としてステン
レススチール箔を、またコア材としてシリカ（徳山曹達
（株）製、トクシールＰ：商品名）やガラス繊維などの
より耐熱温度の高い材料を用いることにより、ゲッタ剤
もより高い温度、例えば２００℃以上で減圧することが
できる。Further, for example, by using stainless steel foil as the gas barrier container and silica (manufactured by Tokuyama Soda Co., Ltd., Tokuseal P: trade name) or glass fiber as the core material, a material having a higher heat resistance temperature can be used. The agent can also be depressurized at higher temperatures, eg 200 ° C or higher.
【００３７】本発明の真空断熱材の製造装置は、上述し
た本発明の真空断熱材の製造方法を具体化する手段の１
例を提供するものである。The apparatus for producing a vacuum heat insulating material of the present invention is one of means for embodying the above-described method for producing a vacuum heat insulating material of the present invention.
It provides an example.
【００３８】本発明の真空断熱材の製造装置は、排気手
段を有するチャンバと、このチャンバ内に配設された、
内部にコア材とゲッタ剤が配置された開口部を有するガ
スバリア容器を載置するための載置台と、載置台に載置
されたガスバリア容器内に配置されたゲッタ剤を加熱す
る加熱手段と、載置台のガスバリアの開口部に対応する
位置に配設され、このガスバリア容器の開口部を封止す
る封止手段とを具備したことを特徴とする。The apparatus for manufacturing a vacuum heat insulating material according to the present invention comprises a chamber having an exhaust means, and a chamber arranged in the chamber.
A mounting table for mounting a gas barrier container having an opening in which a core material and a gettering agent are arranged, a heating means for heating the gettering agent arranged in the gas barrier container mounted on the mounting table, It is characterized in that it is provided at a position corresponding to the opening of the gas barrier of the mounting table and has a sealing means for sealing the opening of the gas barrier container.
【００３９】ゲッタ剤の加熱は例えばヒーターなどによ
り熱伝導により加熱するようにしてもよい。また、例え
ばハロゲンランプなどにより輻射により加熱するように
してもよく、さらに、例えばマグネトロンと導波管を用
いてマイクロ波により加熱するようにしてもよい。The getter agent may be heated by heat conduction by a heater or the like. Further, it may be heated by radiation, for example, by a halogen lamp, or may be heated by microwaves, for example, by using a magnetron and a waveguide.
【００４０】すなわち本発明の真空断熱材の製造装置
は、チャンバ内でガスバリア容器内にコア材及びゲッタ
剤が配置された状態で、ガスバリア容器及びコア材に悪
影響を及ぼすことなく、ゲッタ剤の主要な吸着物質の脱
着温度以上に加熱できる加熱手段を具備したことを特徴
とする。この加熱手段はゲッタ剤を局部的に加熱できる
ことが好ましく、前述のように例えば、ヒーターなどに
よる伝導加熱手段、ハロゲンランプなどの輻射による加
熱手段、また導波管などのマイクロ波による加熱手段を
備えるようにしてもよい。That is, in the vacuum heat insulating material manufacturing apparatus of the present invention, in the state where the core material and the getter agent are arranged in the gas barrier container in the chamber, the main part of the getter agent is not adversely affected without adversely affecting the gas barrier container and the core material. It is characterized by comprising a heating means capable of heating above the desorption temperature of the adsorbent. It is preferable that this heating means can locally heat the getter agent, and as mentioned above, for example, it is provided with a conduction heating means such as a heater, a radiation heating means such as a halogen lamp, and a microwave heating means such as a waveguide. You may do it.
【００４１】[0041]
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施形態について
図に基づいて説明する。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【００４２】図１は本発明の真空断熱材の製造装置の１
例を概略的に示す図である。FIG. 1 shows a vacuum heat insulating material manufacturing apparatus 1 according to the present invention.
It is a figure which shows an example schematically.
【００４３】この真空断熱材の製造装置は排気手段１０
１を有するチャンバ１０２内に、ガスバリア容器１０３
を載置する載置台１０４と、ガスバリア容器１０３の開
口部１０３ａを封止するシーラー１０５が配設されてい
る。ガスバリア容器内には、コア材１０６及びゲッタ剤
１０７が配置されている。This vacuum heat insulating material manufacturing apparatus is equipped with an exhaust means 10.
In a chamber 102 having a gas barrier container 103
A mounting table 104 on which the gas barrier container 103 is mounted and a sealer 105 for sealing the opening 103a of the gas barrier container 103 are provided. A core material 106 and a getter agent 107 are arranged in the gas barrier container.
【００４４】また、載置台１０４のガスバリア容器１０
３内に配置されるゲッタ剤１０７に対応する位置には、
ゲッタ剤１０７を加熱するための加熱手段であるヒータ
ー１０８が配設されている。このヒーター１０８は、ゲ
ッタ剤１０７の吸着物質を脱離するとともに、コア材１
０６及びガスバリア容器１０３に悪影響を及ぼさないよ
うな温度に調節して加熱するための温度調節手段を備え
ている。Further, the gas barrier container 10 of the mounting table 104
In the position corresponding to the gettering agent 107 arranged in 3,
A heater 108, which is a heating unit for heating the getter agent 107, is provided. The heater 108 desorbs the adsorbed substance of the gettering agent 107, and the core material 1
06 and the gas barrier container 103 are provided with a temperature adjusting means for adjusting and heating the temperature so as not to have a bad influence.
【００４５】排気手段としてはロータリーポンプ、油拡
散ポンプ、ターボ分子ポンプなど適宜選択して用いるよ
うにすればよい。As the exhaust means, a rotary pump, an oil diffusion pump, a turbo molecular pump, etc. may be appropriately selected and used.
【００４６】図２は本発明の真空断熱材の製造装置の別
の例を概略的に示す図である。この装置においては加熱
手段としてハロゲンランプ１２０を備えている。ハロゲ
ンランプ１２０と集光装置とを組み合わせてゲッタ剤１
０８のみをより選択的に加熱するようにしてもよい。FIG. 2 is a view schematically showing another example of the vacuum heat insulating material manufacturing apparatus of the present invention. This device is equipped with a halogen lamp 120 as a heating means. A getter agent 1 by combining a halogen lamp 120 and a light collector.
Only 08 may be heated more selectively.
【００４７】図３は本発明の真空断熱材の製造装置のさ
らに別の例を概略的に示した図である。この装置は加熱
手段としてマグネトロン１３０と導波管１３１を具備し
ており、マイクロ波によりゲッタ剤を加熱するものであ
る。ゲッタ剤１０８を局部的に加熱するとともに、シー
ラー１０５によりガスバリア容器１０３の開口部１０３
ａを気密に封止する際に邪魔にならないように、この加
熱手段は可動に配設されている。FIG. 3 is a diagram schematically showing still another example of the vacuum heat insulating material manufacturing apparatus of the present invention. This device is equipped with a magnetron 130 and a waveguide 131 as heating means, and heats the getter agent by microwaves. The getter agent 108 is locally heated, and the opening 103 of the gas barrier container 103 is opened by the sealer 105.
This heating means is movably arranged so as not to get in the way when a is hermetically sealed.
【００４８】つぎに本発明の真空断熱材の製造方法につ
いて説明する。真空断熱材の製造にあたっては、図１乃
至図３に例示したような本発明の真空断熱材の製造装置
を用いるようにしてもよい。Next, a method for manufacturing the vacuum heat insulating material of the present invention will be described. In manufacturing the vacuum heat insulating material, the vacuum heat insulating material manufacturing apparatus of the present invention as illustrated in FIGS. 1 to 3 may be used.
【００４９】まず、チャンバ内にガスバリア容器を配置
し、このガスバリア容器内にコア材とゲッタ剤とを配置
する。コア材、ゲッタ剤は予めガスバリア容器内に配置
してからチャンバ内に導入するようにしてもよい。ゲッ
タ剤はガスバリア容器の封止部近傍に配置するようにし
てもよい。First, a gas barrier container is placed in the chamber, and a core material and a getter agent are placed in the gas barrier container. The core material and getter agent may be placed in the gas barrier container in advance and then introduced into the chamber. The getter agent may be arranged near the sealing portion of the gas barrier container.
【００５０】ついで、チャンバを閉鎖してチャンバ内を
排気し、系内を減圧するとともにゲッタ剤を加熱する。
系内の圧力は１０-1Ｔｏｒｒ程度以下まで減圧するよう
にすればよく、１０-2〜１０-3Ｔｏｒｒ程度まで減圧す
ればさらに好適である。加熱温度はゲッタ剤の吸着物質
が脱離するとともに、コア材及びガスバリア容器に悪影
響を及ぼさないような温度に調節して加熱するようにす
ればよい。Then, the chamber is closed, the chamber is evacuated, the pressure in the system is reduced, and the getter agent is heated.
The pressure in the system may be reduced to about 10 -1 Torr or less, and it is more preferable to reduce the pressure to about 10 -2 to 10 -3 Torr. The heating temperature may be adjusted so that the adsorbed substance of the getter agent is desorbed and the core material and the gas barrier container are not adversely affected.
【００５１】例えばゼオライトなどのゲッタ剤を１００
℃程度に加熱することにより、主要な吸着物質である水
蒸気を脱着することができる。吸着物質を完全に脱着さ
せるために２００℃〜３００℃程度にまで加熱するよう
にしてもよいが、１００〜１５０℃程度に加熱すること
で十分な吸着能力を確保することができる。For example, a gettering agent such as zeolite is added to 100
By heating to about ℃, it is possible to desorb the water vapor, which is the main adsorbent. The adsorbed substance may be heated up to about 200 ° C. to 300 ° C. in order to completely desorb it, but heating to about 100 ° C. to 150 ° C. can ensure a sufficient adsorption capacity.
【００５２】ガスバリアフィルムはその材質や構成によ
り耐熱温度は異なるが、８０〜１５０℃程度である。例
えば、ポリエチレンテレフタレート、延伸ナイロン、ア
ルミニウム箔、ポリプロピレンを積層したガスバリアフ
ィルムでは１５０℃程度まで加熱することができる。The heat resistance temperature of the gas barrier film varies depending on the material and structure thereof, but is about 80 to 150 ° C. For example, a gas barrier film in which polyethylene terephthalate, stretched nylon, aluminum foil, and polypropylene are laminated can be heated up to about 150 ° C.
【００５３】コア材もその材質により耐熱温度は異なる
が、ポリウレタンでは１１０〜１５０℃程度、シリカ粉
末では５００℃程度、またガラス繊維では３００℃程度
まで加熱することができる。The heat resistance temperature of the core material also varies depending on the material, but it can be heated to about 110 to 150 ° C. for polyurethane, about 500 ° C. for silica powder, and about 300 ° C. for glass fiber.
【００５４】したがってプラスティックフィルムのガス
バリア容器とポリウレタンのコア材の組み合わせた場合
においても１００〜１５０℃程度に維持することによ
り、ガスバリア容器及びコア材に悪影響を及ぼすことな
く、ゲッタ剤に吸着した水分を脱着させることができ
る。したがって、経時劣化の少ない安定して熱伝導率を
低く抑えることのできる真空断熱材を製造することがで
きる。Therefore, even when the plastic film gas barrier container and the polyurethane core material are combined, by maintaining the temperature at about 100 to 150 ° C., the water adsorbed on the getter agent can be absorbed without adversely affecting the gas barrier container and the core material. Can be detached. Therefore, it is possible to manufacture a vacuum heat insulating material with little deterioration over time and capable of stably suppressing the thermal conductivity to a low level.
【００５５】本発明の製造方法により真空断熱材を作製
し、得られた真空断熱材について熱伝導率の経時変化を
測定し、従来の製造方法で作成した真空断熱材と比較し
た。図４は熱伝導率の測定結果を示した図である。A vacuum heat insulating material was manufactured by the manufacturing method of the present invention, and the temporal change of the thermal conductivity of the obtained vacuum heat insulating material was measured and compared with the vacuum heat insulating material manufactured by the conventional manufacturing method. FIG. 4 is a diagram showing the measurement results of thermal conductivity.
【００５６】作製した真空断熱材は、ポリプロピレン、
アルミニウム箔、ポリエチレンテレフタレートフィルム
を積層したガスバリアフィルム内に、コア材としてポリ
ウレタン連通フォームとゲッタ剤としてゼオライト（ユ
ニオン昭和（株）製、モレキュラーシーブ１３Ｘ：商品
名）を密封したものである。The vacuum heat insulating material produced was polypropylene,
A gas barrier film obtained by laminating an aluminum foil and a polyethylene terephthalate film was sealed with polyurethane communication foam as a core material and zeolite (Molecular Sieve 13X: trade name, manufactured by Union Showa Co., Ltd.) as a getter agent.
【００５７】熱伝導率の測定は、製造直後と、温度６０
℃・相対湿度９０％の加速条件下で４０００時間経過後
に行った。The thermal conductivity was measured immediately after production and at a temperature of 60.
The measurement was performed after 4000 hours had elapsed under the acceleration condition of ° C and relative humidity of 90%.
【００５８】真空断熱材Ａは、ゲッタ剤をヒータ加熱し
１２０℃に保持したまま、チャンバ内を減圧し、ガスバ
リアフィルムの開口部を融着により封止したものであ
る。この真空断熱材Ａの熱伝導率は初期値が０．００５
４（Ｗ／ｍＫ）であり、４０００時間経過後は０．００
５６（Ｗ／ｍＫ）であった。The vacuum heat insulating material A is obtained by heating the getter agent with a heater and maintaining the temperature at 120 ° C., decompressing the inside of the chamber, and sealing the opening of the gas barrier film by fusion. The thermal conductivity of this vacuum heat insulating material A has an initial value of 0.005.
4 (W / mK) and 0.00 after 4000 hours
It was 56 (W / mK).
【００５９】真空断熱材Ｂはゲッタ剤をマイクロ波加熱
し１３０℃に保持したまま、チャンバ内を減圧し、ガス
バリアフィルムの開口部を融着により封止したものであ
る。この真空断熱材Ｂの熱伝導率は初期値が０．００５
３（Ｗ／ｍＫ）であり、４０００時間経過後は０．００
５４（Ｗ／ｍＫ）であった。The vacuum heat insulating material B is a material in which the inside of the chamber is decompressed while the getter agent is microwave-heated and kept at 130 ° C., and the opening of the gas barrier film is sealed by fusion. The initial value of the thermal conductivity of this vacuum heat insulating material B is 0.005.
3 (W / mK) and 0.00 after 4000 hours
It was 54 (W / mK).
【００６０】真空断熱材Ｃは、従来の真空断熱材同様に
ゲッタ剤を特に加熱せず、室温でチャンバ内を減圧し、
ガスバリアフィルムの開口部を融着により封止したもの
である。この真空断熱材Ｃの熱伝導率は初期値が０．０
０５６（Ｗ／ｍＫ）であり、４０００時間経過後は０．
００７６（Ｗ／ｍＫ）であった。The vacuum heat insulating material C, like the conventional vacuum heat insulating material, does not particularly heat the getter agent and decompresses the inside of the chamber at room temperature.
The opening of the gas barrier film is sealed by fusion. The thermal conductivity of this vacuum heat insulating material C has an initial value of 0.0.
056 (W / mK), which is 0.
It was 0076 (W / mK).
【００６１】図４からも明らかなように、本発明の製造
方法による真空断熱材Ａ、真空断熱材Ｂは従来の製造方
法による真空断熱材Ｃに比べ、熱伝導率の経時安定性が
極めて優れていることがわかる。このように本発明の製
造方法により作製した真空断熱材はゲッタ剤を吸着物質
の脱着温度以上に保って系内を減圧し、ガスバリアフィ
ルムを封止しているため、ゲッタ剤の高い吸着能力を維
持したまま、ガスバリアフィルム内に密封することがで
きる。As is clear from FIG. 4, the vacuum heat insulating material A and the vacuum heat insulating material B manufactured by the manufacturing method of the present invention have extremely excellent thermal conductivity over time as compared with the vacuum heat insulating material C manufactured by the conventional manufacturing method. You can see that In this way, the vacuum heat insulating material produced by the production method of the present invention keeps the gettering agent at a temperature higher than the desorption temperature of the adsorbent to reduce the pressure inside the system and seals the gas barrier film, and thus has a high adsorption ability of the gettering agent. It can be kept sealed within the gas barrier film.
【００６２】さらに、本発明の製造方法により図４の測
定で用いたものとは異なる真空断熱材を作製し、得られ
た真空断熱材について熱伝導率の経時変化を測定した。Further, a vacuum heat insulating material different from that used in the measurement of FIG. 4 was produced by the manufacturing method of the present invention, and the temporal change of the thermal conductivity of the obtained vacuum heat insulating material was measured.
【００６３】作製した真空断熱材は、ステンレススチー
ル箔からなるガスバリア容器内にコア材としてガラス繊
維積層マットとゲッタ剤としてゼオライト（ユニオン昭
和（株）製、モレキュラーシーブ１３Ｘ：商品名）を密
封したものである。The manufactured vacuum heat insulating material was obtained by sealing a glass fiber laminated mat as a core material and a zeolite (Molecular Sieve 13X: trade name) manufactured by Union Showa Co., Ltd. as a getter agent in a gas barrier container made of stainless steel foil. Is.
【００６４】図５はその結果を示す図である。FIG. 5 is a diagram showing the result.
【００６５】真空断熱材Ｄは、ゲッタ剤をハロゲンラン
プで加熱し２００℃に保持したままチャンバ内を減圧
し、ガスバリアフィルムの開口部を封止したものであ
る。この真空断熱材Ｄの熱伝導率は初期値が０．００３
０（Ｗ／ｍＫ）であり、４０００時間経過後は０．００
３１（Ｗ／ｍＫ）であった。The vacuum heat insulating material D is obtained by heating the getter agent with a halogen lamp and keeping the temperature at 200 ° C. to reduce the pressure in the chamber and seal the opening of the gas barrier film. The initial value of the thermal conductivity of this vacuum heat insulating material D is 0.003.
0 (W / mK) and 0.00 after 4000 hours
It was 31 (W / mK).
【００６６】真空断熱材Ｅは、従来の真空断熱材同様に
ゲッタ剤を特に加熱せず、室温でチャンバ内を減圧し、
ガスバリアフィルムの開口部を封止したものである。こ
の真空断熱材Ｅの熱伝導率は初期値が０．００５９（Ｗ
／ｍＫ）であり、４０００時間経過後は０．００７６
（Ｗ／ｍＫ）であった。As with the conventional vacuum heat insulating material, the vacuum heat insulating material E does not particularly heat the getter agent, and decompresses the inside of the chamber at room temperature.
The opening of the gas barrier film is sealed. The thermal conductivity of this vacuum heat insulating material E has an initial value of 0.0059 (W
/ MK), and 0.0076 after 4000 hours
(W / mK).
【００６７】図５からもあきらかなように本発明の製造
方法による真空断熱材Ｄは、従来の製造方法による真空
断熱材Ｅに比べ、熱伝導率の経時安定性が極めて優れて
いることがわかる。As is apparent from FIG. 5, the vacuum heat insulating material D manufactured by the manufacturing method of the present invention has extremely excellent thermal conductivity over time as compared with the vacuum heat insulating material E manufactured by the conventional manufacturing method. .
【００６８】図６は加熱排気の前後でのゲッタ剤の水分
吸着量を、乾燥条件下で水分計により測定した。In FIG. 6, the moisture adsorption amount of the getter agent before and after heating and exhausting was measured by a moisture meter under dry conditions.
【００６９】ゲッタ剤はゼオライト（ユニオン昭和
（株）製、モレキュラーシーブ１３Ｘ：商品名）を用い
た。Zeolite (Molecular Sieve 13X, trade name, manufactured by Union Showa Co., Ltd.) was used as a getter agent.
【００７０】ゲッタ剤Ｍは乾燥条件下での水分吸着量を
水分計により測定した後、ヒータ加熱して１３５℃に保
持したまま排気し（０．１Ｔｏｒｒ以下）再び乾燥条件
下での水分吸着量を測定した。加熱排気前の水分吸着量
は３．８ｗｔ％であったのに対し、加熱排気後は０．４
ｗｔ％にまで減少した。The getter agent M was used to measure the amount of water adsorbed under dry conditions with a moisture meter, and then was evacuated while being heated to 135 ° C. while being heated by a heater (0.1 Torr or less). Was measured. The amount of adsorbed water before heating and exhausting was 3.8 wt%, whereas it was 0.4 after heating and exhausting.
It was reduced to wt%.
【００７１】ゲッタ剤Ｎは乾燥条件下での水分吸着量を
水分計により測定した後、マイクロ波加熱して２００℃
に保持したまま排気し（０．１Ｔｏｒｒ以下）再び乾燥
条件下での水分吸着量を測定した。加熱排気前の水分吸
着量は３．６ｗｔ％であったのに対して、加熱排気後は
０．３ｗｔ％にまで減少した。The getter agent N was heated at 200 ° C. by microwave heating after measuring the water adsorption amount under a dry condition with a moisture meter.
The sample was evacuated while being kept at (0.1 Torr or less) and the amount of adsorbed water under the dry condition was measured again. The amount of adsorbed water before heating and exhausting was 3.6 wt%, but decreased to 0.3 wt% after heating and exhausting.
【００７２】ゲッタ剤Ｏは比較例として、乾燥条件下で
の水分吸着量を水分計により測定した後、加熱せずに排
気して、再び乾燥条件下での水分吸着量を測定した。排
気前の水分吸着量は３．５ｗｔ％であったのに対し排気
後は３．０ｗｔ％であった。このように、ゲッタ剤の温
度を吸着物質の脱着温度以上に保ちながら排気すること
により、ゲッタ剤に吸着した物質を効率的に脱着させる
ことができる。As a comparative example, the gettering agent O was measured for moisture adsorption under a dry condition with a moisture meter, then evacuated without heating and measured again for the moisture adsorbed under the dry condition. The amount of adsorbed water before exhaustion was 3.5 wt%, whereas it was 3.0 wt% after exhaustion. Thus, by exhausting the gettering agent while keeping the temperature of the gettering agent above the desorption temperature of the adsorbed substance, the substance adsorbed on the gettering agent can be efficiently desorbed.
【００７３】[0073]
【発明の効果】以上説明したように、本発明の真空断熱
材の製造方法によれば、ゲッタ剤を吸着物質の脱着温度
以上に保って系内を減圧するため、ゲッタ剤の高い吸着
能力を維持したまま、ガスバリアフィルム内に密封する
ことができる。したがって、内圧を低いまま維持し、熱
伝導率の経時的安定性の高い真空断熱材を製造すること
ができる。As described above, according to the method for manufacturing a vacuum heat insulating material of the present invention, the gettering agent is kept at a temperature not lower than the desorption temperature of the adsorbent to reduce the pressure inside the system, so that a high adsorbing ability of the gettering agent can be obtained. It can be kept sealed within the gas barrier film. Therefore, it is possible to maintain the internal pressure at a low level and manufacture a vacuum heat insulating material having a high thermal conductivity with high temporal stability.
【００７４】また、本発明の真空断熱材の製造方法によ
れば、ゲッタ剤を局部的に加熱するので、コア材やガス
バリア容器から脱着したガスがゲッタ剤に再吸着するの
を防ぐことができる。さらにゲッタ剤を局部的に加熱す
ることにより、ガスバリア容器やコア材に耐熱性の低い
材料を用いることができる。Further, according to the method for producing a vacuum heat insulating material of the present invention, the getter agent is locally heated, so that the gas desorbed from the core material or the gas barrier container can be prevented from being re-adsorbed by the getter agent. . Further, by locally heating the getter agent, a material having low heat resistance can be used for the gas barrier container or the core material.
【００７５】本発明の真空断熱材の製造装置はゲッタ剤
を局部的に加熱する加熱手段を備えており、この加熱手
段によりゲッタ剤を吸着物質の脱着温度より高くかつガ
スバリア容器及びコア材の耐熱温度より低い温度になる
ように加熱しながらガスバリア容器内を排気、封止する
ことができる。したがって、内圧を低いまま維持し、熱
伝導率の経時的安定性の高い真空断熱材を製造すること
ができる。The apparatus for producing a vacuum heat insulating material of the present invention is equipped with a heating means for locally heating the getter agent, and by this heating means, the getter agent is higher than the desorption temperature of the adsorbed substance and the heat resistance of the gas barrier container and the core material. The gas barrier container can be evacuated and sealed while being heated to a temperature lower than the temperature. Therefore, it is possible to maintain the internal pressure at a low level and manufacture a vacuum heat insulating material having a high thermal conductivity with high temporal stability.
【図１】本発明の真空断熱材製造装置の１例を概略的に
示す図。FIG. 1 is a diagram schematically showing an example of a vacuum heat insulating material manufacturing apparatus of the present invention.
【図２】本発明の真空断熱材製造装置の１例を概略的に
示す図。FIG. 2 is a diagram schematically showing an example of a vacuum heat insulating material manufacturing apparatus of the present invention.
【図３】本発明の真空断熱材製造装置の１例を概略的に
示す図。FIG. 3 is a diagram schematically showing an example of a vacuum heat insulating material manufacturing apparatus of the present invention.
【図４】本発明の製造方法により作成した真空断熱材の
熱伝導率の経時変化を示す図。FIG. 4 is a diagram showing changes over time in the thermal conductivity of the vacuum heat insulating material produced by the manufacturing method of the present invention.
【図５】本発明の製造方法により作成した別の真空断熱
材の熱伝導率の経時変化を示す図。FIG. 5 is a view showing a change with time of thermal conductivity of another vacuum heat insulating material produced by the manufacturing method of the present invention.
【図６】加熱排気の前後でのゲッタ剤の水分吸着量の変
化を示す図。FIG. 6 is a diagram showing changes in the amount of water adsorbed by the getter agent before and after heating and exhausting.
【図７】真空断熱材の内圧と熱伝導率の相関関係を示す
図。FIG. 7 is a diagram showing a correlation between internal pressure and thermal conductivity of a vacuum heat insulating material.
１０１……排気手段、１０２……チャンバ、１０３……
ガスバリア容器 １０４……載置台、１０５……シーラー、１０６……コ
ア材 １０７……ゲッタ剤、１０８……ヒーター、１２０……
ハロゲンランプ １３０……マグネトロン、１３１……導波管101 ... Exhaust means, 102 ... Chamber, 103 ...
Gas barrier container 104 ... Mounting table, 105 ... Sealer, 106 ... Core material 107 ... Getter agent, 108 ... Heater, 120 ...
Halogen lamp 130 ... Magnetron, 131 ... Waveguide
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 竹島 久美子 神奈川県横浜市磯子区新杉田町８番地 株 式会社東芝住空間システム技術研究所内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Kumiko Takeshima 8 Shinsita-cho, Isogo-ku, Yokohama, Kanagawa Prefecture
Claims (9)
コア材とゲッタ剤が配置された開口部を有するガスバリ
ア容器を配置する工程と、 前記ゲッタ剤を局部的に加熱しながら前記チャンバ内を
減圧する工程と、 前記ガスバリア容器の開口部を封止する工程とを有する
ことを特徴とする真空断熱材の製造方法。1. A step of disposing a gas barrier container having an opening in which a core material and a getter agent are disposed in a chamber having an exhaust means, and the inside of the chamber while locally heating the getter agent. A method of manufacturing a vacuum heat insulating material, comprising: a step of depressurizing and a step of sealing an opening of the gas barrier container.
コア材が配置された開口部を有するガスバリア容器を配
置する工程と、 ゲッタ剤を加熱する工程と、 前記ガスバリア容器内に加熱したゲッタ剤を配置する工
程と、 前記チャンバ内を減圧する工程と、 前記ガスバリア容器の開口部を封止する工程とを有する
ことを特徴とする真空断熱材の製造方法。2. A step of disposing a gas barrier container having an opening in which a core material is disposed in a chamber having an exhaust means, a step of heating a getter agent, and a getter agent heated in the gas barrier container. And a step of decompressing the inside of the chamber, and a step of sealing the opening of the gas barrier container.
コア材とゲッタ剤が配置された開口部を有するガスバリ
ア容器を配置する工程と、 前記ゲッタ剤を該ゲッタ剤へ吸着した吸着物質が脱離す
る温度より高くかつ前記ガスバリア容器及び前記コア材
の耐熱温度より低い温度になるように加熱しながら前記
チャンバ内を減圧する工程と、 前記ゲッタ剤の温度および前記チャンバ内の圧力を維持
したまま前記ガスバリア容器の開口部を封止する工程と
を有することを特徴とする真空断熱材の製造方法。3. A step of disposing a gas barrier container having an opening in which a core material and a gettering agent are disposed inside a chamber having an exhaust means, and the adsorbed substance adsorbing the gettering agent to the gettering agent is desorbed. Depressurizing the inside of the chamber while heating it to a temperature higher than the separation temperature and lower than the heat resistant temperature of the gas barrier container and the core material, and maintaining the temperature of the getter agent and the pressure in the chamber. And a step of sealing the opening of the gas barrier container.
コア材が配置された開口部を有するガスバリア容器を配
置する工程と、 ゲッタ剤を該ゲッタ剤へ吸着した吸着物質が脱離する温
度より高くかつ前記ガスバリア容器及び前記コア材の耐
熱温度より低い温度になるように加熱する工程と、 前記ガスバリア容器内に前記加熱したゲッタ剤を配置す
る工程と、 前記チャンバ内を減圧する工程と、 前記ゲッタ剤の温度および前記チャンバ内の圧力を維持
したまま前記ガスバリア容器の開口部を封止する工程と
を有することを特徴とする真空断熱材の製造方法。4. A step of arranging a gas barrier container having an opening in which a core material is arranged inside a chamber having an exhaust means, and a temperature at which a getter agent adsorbed by the getter agent is desorbed Heating to a temperature higher than and lower than the heat-resistant temperature of the gas barrier container and the core material, arranging the heated getter agent in the gas barrier container, depressurizing the chamber, and And a step of sealing the opening of the gas barrier container while maintaining the temperature of the getter agent and the pressure in the chamber.
ることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれかに
記載の真空断熱材の製造方法。5. The method for manufacturing a vacuum heat insulating material according to claim 1, wherein the getter agent is heated by radiation.
熱することを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれ
かに記載の真空断熱材の製造方法。6. The method of manufacturing a vacuum heat insulating material according to claim 1, wherein the getter agent is heated by induction heating.
が配置された開口部を有するガスバリア容器を載置する
ための載置台と、 前記載置台に載置された前記ガスバリア容器内に配置さ
れた前記ゲッタ剤を加熱する加熱手段と、 前記載置台の前記ガスバリアの開口部に対応する位置に
配設され、このガスバリア容器の開口部を封止する封止
手段とを具備したことを特徴とする真空断熱材の製造装
置。7. A chamber having evacuation means, and a mounting table for mounting a gas barrier container having an opening in which a core material and a getter agent are disposed, the chamber being disposed in the chamber. A heating means for heating the getter agent arranged in the gas barrier container placed on the mounting table, and a position corresponding to the opening of the gas barrier of the mounting table, the opening of the gas barrier container being sealed. An apparatus for manufacturing a vacuum heat insulating material, comprising: a sealing means for stopping.
する請求項７記載の真空断熱材の製造装置。8. The apparatus for manufacturing a vacuum heat insulating material according to claim 7, wherein the heating means uses radiation.
徴とする請求項７記載の真空断熱材の製造装置。9. The vacuum heat insulating material manufacturing apparatus according to claim 7, wherein the heating means is induction heating.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8017532A JPH09210290A (en) | 1996-02-02 | 1996-02-02 | Method and device for manufacturing evacuated insulator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8017532A JPH09210290A (en) | 1996-02-02 | 1996-02-02 | Method and device for manufacturing evacuated insulator |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09210290A true JPH09210290A (en) | 1997-08-12 |
Family
ID=11946543
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|---|---|---|---|
| JP8017532A Withdrawn JPH09210290A (en) | 1996-02-02 | 1996-02-02 | Method and device for manufacturing evacuated insulator |
Country Status (1)
| Country | Link |
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| JP (1) | JPH09210290A (en) |
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