JPH09198648A - Magnetic recording medium - Google Patents

Magnetic recording medium

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JPH09198648A
JPH09198648A JP574096A JP574096A JPH09198648A JP H09198648 A JPH09198648 A JP H09198648A JP 574096 A JP574096 A JP 574096A JP 574096 A JP574096 A JP 574096A JP H09198648 A JPH09198648 A JP H09198648A
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JP
Japan
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magnetic
magnetic layer
layer
coercive force
recording medium
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Application number
JP574096A
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Japanese (ja)
Inventor
Junko Ishikawa
准子 石川
Noriyuki Kitaori
典之 北折
Katsumi Sasaki
克己 佐々木
Katsumi Endo
克巳 遠藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kao Corp
Original Assignee
Kao Corp
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To improve the S/N of a magnetic recording medium by specifying the coercive force of three layers of respective magnetic layers formed on a base to respective specified ranges and maximizing the coercive force of the intermediate magnetic layer and minimizing the coercive force of the magnetic layer of the uppermost layer. SOLUTION: A PET film 2 is set in a device provided with crucibles 3 to 3' for housing cobalt, electron beam guns 4 to 4", O2 introducing pipes 5 to 5" and cooling can rolls A to C in a vacuum chamber 1. Next, the magnetic layers having the coercive force HC3 to HC1 and film thicknesses δ3 to δ1 in order of the lower layer, the intermediate layer and the lower layer are formed by rolls A to C on the film 2. The coercive force HC1 , HC3 are specified to be in the range of 900 to 1500Oe and the coercive force HC2 is specified to be in the range of 1200 to 2000Oe and the relation HC1 <=HC3 <HC2 is set. The film thicknesses δ1 , δ3 are set in the range of 800 to 1500Å and the film thickness δ2 is specified to the range of 500 to 1000Å and the relation δ1 >=δ3 >δ2 is set. As a result, the S/N of the magnetic recording medium is improved.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、磁気記録媒体に関
する。より詳しくは、S/N がより向上した多層構造の磁
気記録媒体に関する。
[0001] The present invention relates to a magnetic recording medium. More specifically, the present invention relates to a magnetic recording medium having a multi-layer structure with an improved S / N.

【0002】[0002]

【従来の技術】磁気記録媒体、例えば磁気テープ、磁気
ディスク等には、非磁性支持体であるフィルム上に磁性
粉をバインダーに分散させた磁性塗料を塗布してなる塗
布型テープと、フィルム上に真空中で磁性金属を蒸着す
る真空蒸着法等を用いてバインダーを全く含まない金属
薄膜の磁性層を非磁性支持体上に付着させる金属薄膜型
テープとがある。今日、磁気記録媒体においては、更な
る高密度記録に対する要求が高まっており、これに対応
すべく、塗布型の磁気記録媒体では、飽和磁化、保磁力
の高い強磁性金属粉末(メタル粉)や、垂直記録方式に
適した磁性粉である六方晶フェライトを用いることが提
案されている。
2. Description of the Related Art A magnetic recording medium such as a magnetic tape or a magnetic disk has a coating tape formed by coating a film, which is a non-magnetic support, with a magnetic paint in which a magnetic powder is dispersed in a binder. There is a metal thin film type tape in which a magnetic layer of a metal thin film containing no binder is attached onto a non-magnetic support by using a vacuum deposition method of depositing a magnetic metal in a vacuum. Today, there is an increasing demand for higher density recording in magnetic recording media, and in order to meet this demand, coating type magnetic recording media require ferromagnetic metal powder (metal powder) with high saturation magnetization and coercive force. It has been proposed to use hexagonal ferrite which is a magnetic powder suitable for the perpendicular recording method.

【0003】一方、金属薄膜型の磁気記録媒体は、磁性
層にバインダーを含まないことから磁性材料の密度を高
められるため、高密度記録に有望であるとされており、
種々の金属薄膜型の磁気記録媒体について検討が進めら
れている。
On the other hand, the metal thin film type magnetic recording medium is considered to be promising for high density recording because the magnetic layer does not contain a binder so that the density of the magnetic material can be increased.
Various metal thin film type magnetic recording media are under study.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】何れのタイプの磁気記
録媒体においても、高出力化、低ノイズ化を達成するこ
とが要求されている。例えばノイズ特性については、磁
性粉の種類、粒径、コラム形状あるいは磁性層の表面形
状、また磁性層を単層構造から多層構造とするなどの種
々の検討がなされている。一方、記録密度をより向上さ
せるために、磁性粉の微粒子化、コラム形状の細柱化な
どが検討されているが、磁気分離が不十分な場合にはノ
イズ特性は低下する。このような状況から、ノイズ特
性、特にS/Nの更なる向上が望まれている。
In any type of magnetic recording medium, it is required to achieve high output and low noise. For example, regarding noise characteristics, various studies have been made such as the type of magnetic powder, particle size, column shape or surface shape of the magnetic layer, and changing the magnetic layer from a single-layer structure to a multi-layer structure. On the other hand, in order to further improve the recording density, it has been studied to make the magnetic powder into fine particles or to make the column shape into a fine column. However, if the magnetic separation is insufficient, the noise characteristic is deteriorated. Under these circumstances, further improvement in noise characteristics, especially S / N, is desired.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】本発明者らは、支持体上
に三層の磁性層を形成し、各磁性層の保磁力をそれぞれ
特定範囲とし、且つ中間の磁性層の保磁力を最大、最表
層の磁性層の保磁力を最小とすることにより、磁気記録
媒体のS/N が向上することを見いだし、本発明を完成す
るに至った。
The inventors of the present invention formed three magnetic layers on a support, set the coercive force of each magnetic layer within a specific range, and maximize the coercive force of an intermediate magnetic layer. The inventors have found that the S / N of the magnetic recording medium is improved by minimizing the coercive force of the outermost magnetic layer, and completed the present invention.

【0006】すなわち本発明は、支持体と、該支持体上
に形成された第三磁性層と、該第三磁性層上に形成され
た第二磁性層と、該第二磁性層上に形成された第一磁性
層を有する磁気記録媒体において、前記第一磁性層(以
下、上層磁性層という)の保磁力(Hc1 )及び第三磁性
層(以下、下層磁性層という)の保磁力(Hc3 )が、そ
れぞれ900 〜1500(Oe)の範囲にあり、前記第二磁性層
(以下、中間磁性層という)の保磁力(Hc2) が1200
〜2000(Oe)の範囲にあり、且つ Hc1≦Hc3<Hc2
の関係を満たすことを特徴とする磁気記録媒体を提供す
るものである。
That is, the present invention provides a support, a third magnetic layer formed on the support, a second magnetic layer formed on the third magnetic layer, and a second magnetic layer formed on the second magnetic layer. In the magnetic recording medium having the first magnetic layer, the coercive force (Hc 1 ) of the first magnetic layer (hereinafter referred to as the upper magnetic layer) and the coercive force (Hc 1 ) of the third magnetic layer (hereinafter referred to as the lower magnetic layer) Hc 3 ) is in the range of 900 to 1500 (Oe), and the coercive force (Hc 2 ) of the second magnetic layer (hereinafter referred to as the intermediate magnetic layer) is 1200.
To 2000 (Oe), and Hc 1 ≦ Hc 3 <Hc 2
The present invention provides a magnetic recording medium characterized by satisfying the relationship

【0007】本発明の磁気記録媒体は、支持体上に形成
された第一、第二、第三の三層の磁性層を有するが、各
磁性層の保磁力が、 上層 Hc1= 900〜1500(Oe)、好ましくは1000〜1300
(Oe) 中間 Hc2=1200〜2000(Oe)、好ましくは1600〜1800
(Oe) 下層 Hc3= 900〜1500(Oe)、好ましくは1000〜1300
(Oe) の範囲にあり、且つ Hc1≦Hc3<Hc2 の関係を満たすものである。Hc1 とHc3 は Hc1=Hc3
も Hc1>Hc3 でもよく、用いる磁気材料等によって決め
ればよい。
The magnetic recording medium of the present invention has first, second and third magnetic layers formed on a support, and the coercive force of each magnetic layer is such that the upper layer Hc 1 = 900- 1500 (Oe), preferably 1000-1300
(Oe) Intermediate Hc 2 = 1200-2000 (Oe), preferably 1600-1800
(Oe) Lower layer Hc 3 = 900 to 1500 (Oe), preferably 1000 to 1300
It is within the range of (Oe) and satisfies the relationship of Hc 1 ≤Hc 3 <Hc 2 . Hc 1 and Hc 3 may be Hc 1 = Hc 3 or Hc 1 > Hc 3 and may be determined depending on the magnetic material used.

【0008】また、本発明の磁気記録媒体は、各磁性層
の膜厚は、 上層σ1= 800〜1500(Å)、好ましくは900 〜1100
(Å) 中間σ2= 500〜1000(Å)、好ましくは600 〜800
(Å) 下層σ3= 800〜1500(Å)、好ましくは900 〜1100
(Å) の範囲にあり、且つ σ1≧σ3>σ2 の関係を満たすものである。
In the magnetic recording medium of the present invention, the film thickness of each magnetic layer is such that the upper layer σ 1 = 800 to 1500 (Å), preferably 900 to 1100.
(Å) Intermediate σ 2 = 500 to 1000 (Å), preferably 600 to 800
(Å) Lower layer σ 3 = 800 to 1500 (Å), preferably 900 to 1100
It is within the range of (Å) and satisfies the relationship of σ 1 ≧ σ 3 > σ 2 .

【0009】本発明の磁気記録媒体は、上層磁性層と下
層磁性層の保磁力が低いので、磁力線が抜けやすく、中
間磁性層の保磁力が高いので減磁しにくい。このように
上層、中間、下層の磁性層の保磁力を、低、高、低の構
造とすることで、S/N が向上する。また、中間磁性層の
膜厚を薄くすることにより、中間磁性層の保磁力が高く
なるため減磁を防げるとともに、中間磁性層の磁力線の
抜けもよくなり、S/Nが向上する。
In the magnetic recording medium of the present invention, since the coercive force of the upper magnetic layer and the lower magnetic layer is low, the lines of magnetic force are easily removed, and the coercive force of the intermediate magnetic layer is high, so that demagnetization is difficult. In this way, the coercive force of the upper magnetic layer, the intermediate magnetic layer, and the lower magnetic layer has a low, high, and low structure to improve the S / N. Further, by reducing the film thickness of the intermediate magnetic layer, the coercive force of the intermediate magnetic layer is increased, so that demagnetization can be prevented, and the magnetic force lines in the intermediate magnetic layer can be easily removed, improving the S / N.

【0010】[0010]

【発明の実施の形態】本発明では、磁性層は塗布型、金
属薄膜の何れであってもよい。塗布型の磁性層は通常の
方法に従って形成できるが、特に磁性粉として、強磁性
金属粉末を用いるのが好ましい。強磁性金属粉末として
は、針状形の微細なγ−Fe2O3, Fe3O4, CrO2のような金
属酸化物、またCo被着γ−Fe2O3, Co ドープγ−Fe2O3
のような加工処理を施したγ−Fe2O3 、鉄メタル粉等が
挙げられる。これらのうち鉄メタル粉、微小板状のバリ
ウムフェライト及びそのFe原子の一部がTi, Co, Zn, V,
Nb 等の1種又は2種以上で置換された磁性粉、Co, Fe
-Co, Fe-Ni等の金属又は合金の超微粉を、ニッケル、コ
バルト、チタン、ケイ素、アルミニウムなどを金属原
子、塩及び酸化物の形で少量加えたり表面処理したりし
て得られた磁性粉を用いることもできる。また、鉄メタ
ル粉はその安定化のため弱い酸化性雰囲気の中で表面に
薄い酸化被膜を作らせることがあるが、このように処理
されたメタル粉を用いることもできる。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION In the present invention, the magnetic layer may be a coating type or a metal thin film. The coating type magnetic layer can be formed by an ordinary method, but it is particularly preferable to use a ferromagnetic metal powder as the magnetic powder. Ferromagnetic metal powders include needle-shaped fine metal oxides such as γ-Fe 2 O 3 , Fe 3 O 4 , and CrO 2 , and Co-deposited γ-Fe 2 O 3 and Co-doped γ-Fe. 2 O 3
Examples of γ-Fe 2 O 3 and iron metal powder that have been subjected to the above-mentioned processing. Of these, iron metal powder, barium ferrite in the form of platelets, and some of their Fe atoms are Ti, Co, Zn, V,
Magnetic powder, Co, Fe substituted with one or more kinds such as Nb
-Magnetic properties obtained by adding a small amount of nickel, cobalt, titanium, silicon, aluminum, etc. in the form of metal atoms, salts and oxides, or surface-treating ultrafine powder of metals or alloys such as -Co, Fe-Ni Powder can also be used. Further, the iron metal powder sometimes forms a thin oxide film on the surface in a weak oxidizing atmosphere for its stabilization, but the metal powder treated in this way can also be used.

【0011】また、磁性層の結合剤としては、ポリウレ
タン樹脂、ポリ塩化ビニル系樹脂など、公知の結合剤を
用いることができる。ポリウレタン樹脂及びポリ塩化ビ
ニル系共重合体としては、通常この分野で用いられるも
のであればいずれも使用可能である。また、これらの樹
脂の分子量は特に限定されない。ポリ塩化ビニル系共重
合体としては、塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体、塩化
ビニル酢酸ビニルアルコール共重合体、塩化ビニル酢酸
ビニル無水マレイン酸共重合体等が挙げられる。また、
極性基を有するポリウレタン樹脂と極性基を有するポリ
塩化ビニル系共重合体を使用することもできる。極性基
としてはスルホン酸のアルカリ金属塩基が好ましい。
As the binder for the magnetic layer, known binders such as polyurethane resin and polyvinyl chloride resin can be used. As the polyurethane resin and the polyvinyl chloride copolymer, any of those generally used in this field can be used. Further, the molecular weight of these resins is not particularly limited. Examples of polyvinyl chloride-based copolymers include vinyl chloride-vinyl acetate copolymers, vinyl chloride-vinyl acetate alcohol copolymers, vinyl chloride-vinyl acetate maleic anhydride copolymers, and the like. Also,
It is also possible to use a polyurethane resin having a polar group and a polyvinyl chloride copolymer having a polar group. As the polar group, an alkali metal base of sulfonic acid is preferable.

【0012】また、本発明において、金属薄膜型の磁性
層を形成する磁性材料としては、通常の金属薄膜型の磁
気記録媒体の製造に用いられる強磁性金属材料が挙げら
れ、例えばCo,Ni,Fe等の強磁性金属、また、Fe−Co、
Fe−Ni、Co−Ni、Fe−Co−Ni、Fe−Fh、Fe−Cu、Co−C
u、Co−Au、Co−Y 、Co−La、Co−Pr、Co−Gd、Co−Sm、
Co−Pt、Ni−Cu、Mn−Bi、Mn−Sb、Mn−Al、Fe−Cr、Co
−Cr、Ni−Cr、Fe−Co−Cr、Ni−Co−Cr等の強磁性合金
が挙げられる。磁性層としては鉄の薄膜或いは鉄を主体
とする強磁性合金の薄膜が好ましく、特に、鉄、コバル
ト、ニッケルを主体とする強磁性合金及びこれらの窒化
物もしくは炭化物から選ばれる少なくとも1種が好まし
い。高密度記録のためには磁気記録媒体の磁性層は、斜
め蒸着により基材上に形成することが好ましい。斜め蒸
着の方法は特に限定されず、従来公知の方法に準ずる。
蒸着の際の真空度は10-4〜10-7Torr程度である。
In the present invention, examples of the magnetic material forming the metal thin film type magnetic layer include ferromagnetic metal materials used in the production of ordinary metal thin film type magnetic recording media, such as Co, Ni, Ferromagnetic metals such as Fe, Fe-Co,
Fe-Ni, Co-Ni, Fe-Co-Ni, Fe-Fh, Fe-Cu, Co-C
u, Co-Au, Co-Y, Co-La, Co-Pr, Co-Gd, Co-Sm,
Co-Pt, Ni-Cu, Mn-Bi, Mn-Sb, Mn-Al, Fe-Cr, Co
Examples include ferromagnetic alloys such as -Cr, Ni-Cr, Fe-Co-Cr, and Ni-Co-Cr. The magnetic layer is preferably a thin film of iron or a thin film of a ferromagnetic alloy mainly composed of iron, and particularly preferably a ferromagnetic alloy mainly composed of iron, cobalt and nickel, and at least one selected from nitrides and carbides thereof. . For high-density recording, the magnetic layer of the magnetic recording medium is preferably formed on the substrate by oblique evaporation. The method for oblique deposition is not particularly limited, and follows a conventionally known method.
The degree of vacuum during vapor deposition is about 10 −4 to 10 −7 Torr.

【0013】金属薄膜型の磁性層の場合、最表層の磁性
層上に保護層を設けてもよい。保護層は、炭素或いは炭
化物、窒化物、酸化物、特にダイヤモンドライクカーボ
ン、ダイヤモンド、炭化ホウ素、炭化ケイ素、窒化ホウ
素、窒化ケイ素、酸化ケイ素、酸化アルミニウム等を磁
性層上に付着して成膜することにより形成されるのが好
ましく、中でもダイヤモンドライクカーボンからなる保
護層を形成するのが最も望ましい。これらの保護層は、
マイクロ波を用いたECR 法や、高周波 (RF) を用いた方
法により真空中で形成するのがよい。保護層の厚さは特
に限定しないが、10〜300 Å、好ましくは30〜150 Å程
度が適当である。金属薄膜型の磁性層の場合、最表層の
磁性層或いは保護層の上に潤滑剤層を形成してもよい。
潤滑剤層は常法により適当な潤滑剤を溶剤に溶かして大
気中で塗布しても良いし、真空中で潤滑剤を噴霧しても
よい。また、ベースフィルムの磁性層が形成される面と
反対の面にバックコート層を形成してもよい。バックコ
ート層は、カーボンブラック等を適当な溶剤に分散させ
た液を塗布してもよいし、金属又は半金属を物理的蒸着
法(PVD) 、特に熱蒸発法、スパッタリング法により蒸着
させて形成させてもよい。これらの潤滑剤層、バックコ
ート層の厚さは限定されない。
In the case of a metal thin film type magnetic layer, a protective layer may be provided on the outermost magnetic layer. The protective layer is formed by depositing carbon or carbide, nitride, oxide, particularly diamond-like carbon, diamond, boron carbide, silicon carbide, boron nitride, silicon nitride, silicon oxide, aluminum oxide, etc. on the magnetic layer. It is preferable to form the protective layer made of diamond-like carbon, and it is most preferable to form the protective layer. These protective layers
The ECR method using microwaves or the method using high frequency (RF) is preferably used in vacuum. The thickness of the protective layer is not particularly limited, but is appropriately 10 to 300 Å, preferably 30 to 150 Å. In the case of a metal thin film type magnetic layer, a lubricant layer may be formed on the outermost magnetic layer or protective layer.
The lubricant layer may be formed by dissolving a suitable lubricant in a solvent and coating it in the air by a conventional method, or by spraying the lubricant in a vacuum. A back coat layer may be formed on the surface of the base film opposite to the surface on which the magnetic layer is formed. The back coat layer may be formed by applying a liquid in which carbon black or the like is dispersed in a suitable solvent, or by vapor-depositing a metal or a metalloid by a physical vapor deposition method (PVD), particularly a thermal evaporation method or a sputtering method. You may let me. The thicknesses of these lubricant layer and back coat layer are not limited.

【0014】本発明の磁気記録媒体の支持体の材料とし
ては、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフ
タレートのようなポリエステル;ポリエチレン、ポリプ
ロピレン等のポリオレフィン; セルローストリアセテー
ト、セルロースジアセテート等のセルロース誘導体;ポ
リカーボネート;ポリ塩化ビニル;ポリイミド;芳香族
ポリアミド等のプラスチック等が使用される。これらの
基材の厚さは3〜50μm程度である。
The material for the support of the magnetic recording medium of the present invention includes polyesters such as polyethylene terephthalate and polyethylene naphthalate; polyolefins such as polyethylene and polypropylene; cellulose derivatives such as cellulose triacetate and cellulose diacetate; polycarbonates; polychlorination. Vinyl; polyimide; plastics such as aromatic polyamide are used. The thickness of these base materials is about 3 to 50 μm.

【0015】[0015]

【実施例】以下実施例にて本発明を説明するが、本発明
はこれらの実施例に限定されるものではない。
EXAMPLES The present invention will be described below with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples.

【0016】実施例1 (1) 磁気記録媒体の製造 図1に示す蒸着装置を用いて、コバルトからなる三層の
磁性層を有する磁気記録媒体を製造した(実施例1)。
図1中、1は真空チャンバであり、図示しない真空手段
により内部が真空に保たれている。2は厚さ6.5 μmの
PET フィルムであり、3,3',3''はルツボであり、それぞ
れ内部にコバルトが収容されている。4,4',4''は電子ビ
ーム銃であり、5,5',5''は酸素ガス導入管である。A,
B,Cはそれぞれ冷却キャンロールである。この装置は
上中下三層の磁性層を連続的に形成する装置である。PE
T フィルム2を図1の装置にセットし、キャンロールA
において、該フィルム1上にコバルトからなる下層の磁
性層を形成した。次いで、キャンロールBにおいて下層
磁性層上に中間磁性層を形成し、更にキャンロールCに
おいて上層磁性層を形成した。フィルムの走行速度は3
m/分とした。なお、各キャンロールにおける蒸着条件
は以下の通りである。
Example 1 (1) Production of Magnetic Recording Medium Using the vapor deposition apparatus shown in FIG. 1, a magnetic recording medium having three magnetic layers of cobalt was produced (Example 1).
In FIG. 1, reference numeral 1 denotes a vacuum chamber, the inside of which is kept vacuum by a vacuum means (not shown). 2 is 6.5 μm thick
PET film, 3,3 ', 3''are crucibles, each containing cobalt. 4,4 'and 4''are electron beam guns, and 5,5' and 5 '' are oxygen gas introducing tubes. A,
B and C are cooling can rolls, respectively. This apparatus is an apparatus for continuously forming upper, middle, lower three magnetic layers. PE
Set T film 2 in the device shown in Fig. 1, and use can roll A
In, a lower magnetic layer made of cobalt was formed on the film 1. Then, in Canroll B, an intermediate magnetic layer was formed on the lower magnetic layer, and in Canroll C, an upper magnetic layer was formed. The running speed of the film is 3
m / min. The vapor deposition conditions for each can roll are as follows.

【0017】[0017]

【表1】 [Table 1]

【0018】上層、中間、下層の磁性層を形成した後、
上層の磁性層上に、ECR プラズマCVD 法により、マイク
ロ波パワー600Wで厚さ100 Åのダイヤモンドライクカー
ボン薄膜からなる保護層を形成した。また、ベースフィ
ルムの磁性層が形成されている面と反対の面に、蒸着に
よりAlからなる厚2000Åのバックコート層を形成した。
更に、前記保護層上に、パーフルオロポリエーテル(FOM
BLIN Z DOL、アウジモント社製)をフッ素系不活性液体
(フロリナート FC-77、住友スリーエム株式会社製)に
0.05重量%となるように希釈、分散させた塗料をダイコ
ーティング方式により、乾燥膜厚が20Åとなるようにそ
れぞれ塗布し、100 ℃で乾燥させて潤滑層を形成し磁気
フィルムを得た。得られたフィルムを8mm巾に裁断
し、カセットケースにローディングし8mmカセットテー
プを得た。
After forming the upper, middle and lower magnetic layers,
A protective layer consisting of a diamond-like carbon thin film with a microwave power of 600 W and a thickness of 100 Å was formed on the upper magnetic layer by the ECR plasma CVD method. A 2000 Å thick back coat layer made of Al was formed by vapor deposition on the surface of the base film opposite to the surface on which the magnetic layer was formed.
Furthermore, on the protective layer, perfluoropolyether (FOM
BLIN Z DOL, made by Ausimont, made into a fluorine-based inert liquid (Fluorinert FC-77, made by Sumitomo 3M Limited)
The coating composition diluted and dispersed to 0.05% by weight was applied by a die coating method to a dry film thickness of 20Å, and dried at 100 ° C to form a lubricating layer to obtain a magnetic film. The obtained film was cut to a width of 8 mm and loaded in a cassette case to obtain an 8 mm cassette tape.

【0019】(2) 性能評価 上記で得られた8mmビデオテープの各磁性層の膜厚(σ
1 〜σ3 )及び保磁力(Hc1 〜Hc3 )を表3に示す。こ
こで、保磁力はVSM にて、膜厚は膜厚計により測定し
た。また上記で得られた8mmビデオテープを、ノイズメ
ーターを接続した装置(市販のHi-8VTR を改造したも
の)に装填し、S/N (Y-S/N, C-S/N)を測定した。S/N
は比較例1を基準(0dB)として表した。
(2) Performance evaluation The film thickness (σ of each magnetic layer of the 8 mm video tape obtained above
Table 3 shows 1 to σ 3 ) and coercive force (Hc 1 to Hc 3 ). Here, the coercive force was measured by VSM and the film thickness was measured by a film thickness meter. Further, the 8 mm video tape obtained above was loaded into a device to which a noise meter was connected (commercial Hi-8VTR was modified), and S / N (YS / N, CS / N) was measured. S / N
Represents Comparative Example 1 as a reference (0 dB).

【0020】実施例2〜6及び比較例1〜3 図1の装置を用いて、実施例1と同様にして8mmテープ
を作製した。ただし、キャンロールA,B,Cにおける
蒸着条件は表2に示す通りとした。なお、比較例3は二
層構造の磁性層を形成した。得られたテープについて実
施例1と同様の評価を行った。その結果を表3に示す。
Examples 2 to 6 and Comparative Examples 1 to 3 Using the apparatus shown in FIG. 1, an 8 mm tape was prepared in the same manner as in Example 1. However, the vapor deposition conditions for the can rolls A, B and C were as shown in Table 2. In Comparative Example 3, a magnetic layer having a two-layer structure was formed. The same evaluation as in Example 1 was performed on the obtained tape. Table 3 shows the results.

【0021】[0021]

【表2】 [Table 2]

【0022】[0022]

【表3】 [Table 3]

【0023】[0023]

【発明の効果】本発明によれば、S/N が良好な磁気記録
媒体が得られる。
According to the present invention, a magnetic recording medium having a good S / N can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の磁気記録媒体を製造する蒸着装置の一
例を示す略図
FIG. 1 is a schematic view showing an example of a vapor deposition apparatus for producing a magnetic recording medium of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 真空チャンバ 2 フィルム A,B,C 冷却キャンロール 1 Vacuum chamber 2 Film A, B, C Cooling can roll

フロントページの続き (72)発明者 遠藤 克巳 栃木県芳賀郡市貝町赤羽2606 花王株式会 社研究所内Continued on the front page (72) Inventor Katsumi Endo 2606 Akabane, Kakaicho, Haga-gun, Tochigi Pref.

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 支持体と、該支持体上に形成された第三
磁性層と、該第三磁性層上に形成された第二磁性層と、
該第二磁性層上に形成された第一磁性層を有する磁気記
録媒体において、 前記第一磁性層の保磁力(Hc1 )及び第三磁性層の保磁
力(Hc3 )が、それぞれ900 〜1500(Oe)の範囲にあ
り、前記第二磁性層の保磁力(Hc2) が1200〜2000(Oe)
の範囲にあり、且つ Hc1≦Hc3<Hc2 の関係を満たすこ
とを特徴とする磁気記録媒体。
1. A support, a third magnetic layer formed on the support, and a second magnetic layer formed on the third magnetic layer,
In a magnetic recording medium having a first magnetic layer formed on the second magnetic layer, the coercive force (Hc 1 ) of the first magnetic layer and the coercive force (Hc 3 ) of the third magnetic layer are each 900- It is in the range of 1500 (Oe), and the coercive force (Hc 2 ) of the second magnetic layer is 1200 to 2000 (Oe).
And a magnetic recording medium satisfying the relationship of Hc 1 ≦ Hc 3 <Hc 2 .
【請求項2】 前記第一磁性層の膜厚 (σ1)及び第三磁
性層の膜厚 (σ3)が、それぞれ 800〜1500(Å)の範囲
にあり、前記第二磁性層の膜厚 (σ2)が 500〜1000
(Å)の範囲にあり、且つσ1 ≧σ3 >σ2 の関係を満
たすことを特徴とする請求項1記載の磁気記録媒体。
2. The thickness of the first magnetic layer (σ 1 ) and the thickness of the third magnetic layer (σ 3 ) are each in the range of 800 to 1500 (Å), and the thickness of the second magnetic layer is Thickness (σ 2 ) is 500 to 1000
The magnetic recording medium according to claim 1, wherein the magnetic recording medium is in the range of (Å) and satisfies the relationship of σ 1 ≧ σ 3 > σ 2 .
【請求項3】 前記各磁性層が金属薄膜からなる請求項
1又は2記載の磁気記録媒体。
3. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein each of the magnetic layers is a metal thin film.
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