JPH09190921A - Sheet of electromagnetic-wave shielding amorphous-metal-thin-film laminated layer - Google Patents

Sheet of electromagnetic-wave shielding amorphous-metal-thin-film laminated layer

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JPH09190921A
JPH09190921A JP35132296A JP35132296A JPH09190921A JP H09190921 A JPH09190921 A JP H09190921A JP 35132296 A JP35132296 A JP 35132296A JP 35132296 A JP35132296 A JP 35132296A JP H09190921 A JPH09190921 A JP H09190921A
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amorphous metal
thin film
electromagnetic wave
wave shielding
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勉 大林
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain the sheet of an amorphous-metal-thin-film laminated layer having an excellent mechanical strength and flexibility and the broad width by using the ribbon of an amorphous metal thin film having the conventional thickness and width. SOLUTION: This sheet includes a laminated body comprising a plurality of amorphous metal thin films, which are laminated as a unitary body, and two or more flexible coating layers. As the amorphous metal thin film, the thin film as a unitary body having the intended width, wherein a plurality of amorphous metal thin-film ribbons arranged in parallel to each other are bonded by adhesive agent or solder at the edge parts in the longitudinal side is used. Furthermore, the above described film layer has at least one layer of a reinforcing fiber cloth layer and at least one layer of a flexible polymer resin layer.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、電磁波シールド性
アモルファス金属薄膜積層シートに関するものである、
更に詳しく述べるならば、本発明は、積層一体化された
複数のアモルファス金属薄膜からなる積層体を含み、電
磁波に対しすぐれたシールド効果を有する電磁波シール
ド性アモルファス金属薄膜積層シートに関するものであ
る。
TECHNICAL FIELD The present invention relates to an electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet,
More specifically, the present invention relates to an electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet that includes a laminated body composed of a plurality of amorphous metal thin films integrated and laminated and has an excellent shielding effect against electromagnetic waves.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年エレクトロニクス機器の発達および
普及に伴い、これらの機器および、磁気記録体などを、
静電気、および電磁波の悪影響から保護することが必要
になり、この保護材料として、シート材料、例えば、被
覆用シート材料および包装用シート材料の需要が大きく
なってきている。
2. Description of the Related Art With the development and spread of electronic devices in recent years, these devices and magnetic recording media have been
It is necessary to protect against the adverse effects of static electricity and electromagnetic waves, and the demand for sheet materials such as coating sheet materials and packaging sheet materials as protection materials is increasing.

【0003】従来エレクトロニクス機器を静電気の影響
から保護するために、カーボン粉末、カーボン繊維、金
属箔、又は金属粉末を含有する導電性材料を含む導電性
シートが用いられている。しかし、このような従来の導
電性シートは、エレクトロニクス機器を電磁波の影響か
ら保護する目的には十分に効果があるとは云えないもの
である。例えば、MRI(核磁気共鳴診断装置)などに
おいては、外部の電磁波によって強い障害を受けやす
く、このためMRIは厚さ2cmの鉄板でシールドされて
いる。このような厚いシールド材料を用いると、装置の
重量が極めて大きなものとなり、かつ、その製作や加工
に困難を生ずる。更に、上記鉄板シールドの最も重大な
欠点は、鉄板自身が磁気を帯び易いという点にある。
Conventionally, in order to protect electronic devices from the effects of static electricity, a conductive sheet containing a conductive material containing carbon powder, carbon fiber, metal foil, or metal powder has been used. However, such a conventional conductive sheet cannot be said to be sufficiently effective for the purpose of protecting electronic devices from the influence of electromagnetic waves. For example, in an MRI (nuclear magnetic resonance diagnostic apparatus) or the like, a strong obstacle is easily received by an external electromagnetic wave. Therefore, the MRI is shielded by an iron plate having a thickness of 2 cm. When such a thick shielding material is used, the weight of the device becomes extremely large, and it is difficult to manufacture and process the device. Further, the most serious disadvantage of the iron plate shield is that the iron plate itself tends to be magnetized.

【0004】上記のような従来の電磁波シールド材料の
欠点を解消するためにアモルファス金属の利用が試みら
れた。アモルファス金属は、すぐれた電磁波に対するシ
ールド効果を有し、かつ負荷を除くと、直ちにもとの状
態に復帰し、磁気を帯びることがないという利点を有し
ている。
[0004] In order to solve the above-mentioned drawbacks of the conventional electromagnetic wave shielding material, an attempt has been made to use an amorphous metal. Amorphous metal has an excellent shielding effect against electromagnetic waves, and has an advantage that when a load is removed, it immediately returns to its original state and does not take on magnetism.

【0005】しかしながら、アモルファス金属は、従来
の電磁波シールド材料(例えば鉄板)に対し、下記のよ
うな問題点を有している。 (イ)一般にアモルファス金属材料の厚さは、100μ
m以下(市販アモルファス金属薄膜の大部分は50μm
以下の厚さを有する)に限定され、これ以上の厚さを有
するアモルファス金属材料を得ることが困難である。 (ロ)一般にアモルファス金属材料は、100mm以下の
幅(最も一般には20mm以下)で供給されており、これ
以上に広い幅を有するものを入手することが困難であ
る。 (ハ)従って、広幅の、かつかなりの厚さ、例えば、1
00μmより大きな厚さを有するアモルファス金属材料
を得ることは困難である。
[0005] However, amorphous metals have the following problems as compared with conventional electromagnetic wave shielding materials (for example, iron plates). (A) Generally, the thickness of the amorphous metal material is 100 μm.
m or less (most of the commercially available amorphous metal thin films are 50 μm
It is difficult to obtain an amorphous metal material having a thickness greater than the above. (B) Amorphous metal materials are generally supplied with a width of 100 mm or less (most commonly 20 mm or less), and it is difficult to obtain a material having a wider width than this. (C) Therefore, a wide and considerable thickness, for example, 1
It is difficult to obtain an amorphous metal material having a thickness greater than 00 μm.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、従来の厚
さ、および、幅の小さなアモルファス金属薄膜リボンを
用いて、電磁波シールド性にすぐれ、実用上十分な機械
的強度および屈曲性を有し、かつ所望の幅と厚さを有す
る電磁波シールド性アモルファス金属薄膜積層シートを
形成しようとするものである。
DISCLOSURE OF THE INVENTION The present invention uses an amorphous metal thin film ribbon having a conventional thickness and a small width, has excellent electromagnetic wave shielding properties, and has practically sufficient mechanical strength and flexibility. And, it is intended to form an electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet having a desired width and thickness.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明の電磁波シールド
性アモルファス金属薄膜積層シートは、積層一体化され
た複数のアモルファス金属薄膜からなる少なくとも1個
の積層体と、この積層体に積層され、かつ可撓性材料か
らなる少なくとも2個の被覆層とを含み、前記アモルフ
ァス金属薄膜は、互いに並列に配置された複数枚のアモ
ルファス金属薄膜リボンを、その長手側縁部において互
いに接着剤又は半田により接合して、所望の幅を有する
一体の薄膜に形成したものであり、前記可撓性材料から
なる被覆層の少なくとも1層が補強用繊維布帛層であ
り、かつ他の少なくとも1層が可撓性重合体樹脂層であ
る、ことを特徴とするものである。
An electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet of the present invention comprises at least one laminated body composed of a plurality of laminated and integrated amorphous metal thin films, and laminated on this laminated body, and The amorphous metal thin film comprises a plurality of amorphous metal thin film ribbons, which are arranged in parallel with each other, bonded to each other at the longitudinal side edges thereof by an adhesive or solder. And is formed into an integral thin film having a desired width, at least one layer of the covering layer made of the flexible material is a reinforcing fiber cloth layer, and at least another layer is flexible. It is a polymer resin layer.

【0008】最近アモルファス金属を、その特性に基い
て、種々の用途に使用することが試みられている。一般
にアモルファス金属薄膜は、幅2.54〜10.16cm
のリボン状材料として供給されており、その幅の拡大に
関しては近い将来、幅20.32cmの小幅シートが、供
給されることが期待されている程度である。また、供給
されているアモルファス金属薄膜は、一般に5〜50μ
mの厚さを有するもので、極く稀に100μm程度の厚
さを有するものがあるに過ぎない。
Recently, it has been attempted to use amorphous metals for various applications based on their properties. Generally, amorphous metal thin film has a width of 2.54 to 10.16 cm.
It is expected that a small width sheet with a width of 20.32 cm is expected to be supplied in the near future with respect to the expansion of its width. The supplied amorphous metal thin film generally has a thickness of 5 to 50 μm.
m, and very rarely have a thickness of about 100 μm.

【0009】従来は、上述のようなリボン状、又は小
(細)幅材料は、カードケース、或は小物用包装収納材
料としてのみ使用可能であって、これを100〜300
cmの広幅が要求される被覆シートなどに利用することは
殆んど不可能と考えられていた。
Conventionally, the ribbon-shaped or small (narrow) width material as described above can be used only as a card case or a packaging material for small articles.
It was thought that it was almost impossible to use it for a covering sheet requiring a wide width of cm.

【0010】本発明の電磁波シールド性アモルファス金
属薄膜積層シートにおいては、アモルファス金属薄膜
は、その供給幅のまゝ、または、必要に応じ、これを所
望の幅に接合して使用される。
In the electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet of the present invention, the amorphous metal thin film is used until the supply width thereof, or if necessary, by bonding it to a desired width.

【0011】上述のエレクトロニクス機器の保護効果と
は、電磁波シールド手段により電磁波エネルギーを吸収
したり、或は反射したりして、エレクトロニクス機器に
電磁波エネルギーの影響が及ばないようにする効果を云
う。この電磁波シールド手段による電磁波エネルギー減
衰の程度は単位デシベル(dB)で表わされ、電磁波シー
ルド材料としてはこの数値が大きい程減衰効果が大き
く、好ましいことになる。
The above-mentioned effect of protecting the electronic equipment means the effect that the electromagnetic wave energy is absorbed or reflected by the electromagnetic wave shield means so that the electronic equipment is not affected by the electromagnetic wave energy. The degree of attenuation of the electromagnetic wave energy by the electromagnetic wave shielding means is expressed in a unit of decibel (dB), and as the electromagnetic wave shielding material is larger, the attenuation effect is larger and more preferable.

【0012】本発明の電磁波シールド性アモルファス金
属薄膜積層シートにおいて、その電磁波シールド効果
は、それに含まれているアモルファス金属薄膜のシール
ド効果にほぼ依存し、一般に、30dB以上であることが
好ましく、60dB以上であることが更に好ましく、90
dB以上であることがより一層好ましい。
In the electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet of the present invention, the electromagnetic wave shielding effect is substantially dependent on the shielding effect of the amorphous metal thin film contained therein, and is generally preferably 30 dB or more, and 60 dB or more. And more preferably 90
It is even more preferable that the value be at least dB.

【0013】本発明において有用なアモルファス金属薄
膜としては、一般には鉄を主成分とし、これにホウ素、
珪素、炭素、ニッケル、コバルト、および、モリブデン
などから選ばれた1種以上を添加して得られるアモルフ
ァス合金から選ばれることが好ましい。例えば、アライ
ド社の商品名METGLAS No.2605SC(F
e:81%,B:13.5%,Si:3.5%,C:2
%のアモルファス合金)、No.2605S−2(F
e:78%,B:13%,Si:9%のアモルファス合
金)、No.2605−Co(Fe:87部、B:14
部、Si:1部、Co:18部のアモルファス合金)、
No.2826−MB(Fe:40%,Ni:38%,
Mo:4%,B:18%のアモルファス合金)などを用
いることができる。
The amorphous metal thin film useful in the present invention generally comprises iron as a main component,
It is preferable to select from an amorphous alloy obtained by adding at least one selected from silicon, carbon, nickel, cobalt, molybdenum, and the like. For example, Allied's trade name METGLAS No. 2605SC (F
e: 81%, B: 13.5%, Si: 3.5%, C: 2
% Amorphous alloy), No. 2605S-2 (F
e: 78%, B: 13%, Si: 9% amorphous alloy), No. 2605-Co (Fe: 87 parts, B: 14
Parts, Si: 1 part, Co: 18 parts of an amorphous alloy),
No. 2826-MB (Fe: 40%, Ni: 38%,
Amorphous alloy of Mo: 4%, B: 18%) or the like can be used.

【0014】また、上記の鉄を主成分とする合金系の外
に、コバルトを主成分とする合金系(例えばCo90Zr
10,Co78Si1012,Co56Cr2618,CO44Mo
36 20,Co34Cr28Mo2018)、ニッケルを主成分
とする合金系(例えばNi90Zr10,Ni78Si
1012,Ni34Cr24Mo2418およびその他の金属を
主成分とする合金系(例えばPd80Si20,Cu80Zr
20,Nb50Ni50,Ti50Cu50)等も利用できる。
Further, in addition to the alloys containing iron as a main component,
An alloy system containing cobalt as a main component (for example, Co90Zr
Ten, Co78SiTenB12, Co56Cr26C18, CO44Mo
36C 20, Co34Cr28Mo20C18), Nickel as main component
Alloy system (for example, Ni90ZrTen, Ni78Si
TenB12, Ni34Crtwenty fourMotwenty fourC18And other metals
Alloys (for example, Pd80Si20, Cu80Zr
20, Nb50Ni50, Ti50Cu50) Etc. can also be used.

【0015】また、アモルファス金属薄膜は、その電磁
波シールド性に実質的な影響のない範囲内で、有孔薄膜
であってもよい。
Further, the amorphous metal thin film may be a perforated thin film as long as it does not substantially affect the electromagnetic wave shielding property.

【0016】これらのアモルファス金属薄膜は、前述の
ようにリボン又は細幅シートの形状で供給されている場
合が多いので、本発明の電磁波シールド性アモルファス
金属薄膜積層シートに、これらを使用するとき、必要に
応じて複数のリボン状、又は、細幅シート状のアモルフ
ァス金属薄膜を互に並列に配列して、それらの対向する
側縁部を接着剤又は半田により接合して、所望の幅を有
する広幅シート状体とする。このとき用いられる接着剤
は導電性接着剤又は粘着剤であることが好ましい。複数
のリボンから広幅薄膜シート状体を作成するとき、リボ
ンは、得られる広幅シート状体の長手軸方向に平行に伸
びるように配置されてもよいが、これに直角な方向に伸
びるように配置されていると更によい。また、アモルフ
ァス金属薄膜は、アモルファス金属の粉末を利用して形
成してもよい。或は、アモルファス金属からなる細線か
ら編織物状、又は不織布状シートとして、これをアモル
ファス金属薄膜として用いてもよい。接着剤は、従来か
ら使用されているもの、例えば、アミノ基、イミノ基、
エチレンイミン残基、アルキレンジアミン残基を含むア
クリレート、アジリジニル基を含有するアクリレート、
アミノエステル変性ビニル重合体、芳香族エポキシ接着
剤、アミノ窒素含有メタクリレート重合体、その他の接
着剤又は粘着剤および例えば銀粉、銅粉、カーボン粉、
グラファイト、銀メッキ微粒子などの電気電導率の優れ
たフィラーを添加した(変性)エポキシ系、シリコーン
系、フェノール系、アクリル系、ポリイミド系、ポリベ
ンズ・イミダゾール系、シリコーンイミド系、その他の
樹脂接着剤又は粘着剤などから選ぶことができる。
Since these amorphous metal thin films are often supplied in the form of ribbons or narrow sheets as described above, when they are used in the electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet of the present invention, If necessary, a plurality of ribbon-shaped or narrow sheet-shaped amorphous metal thin films are arranged in parallel with each other, and their opposing side edges are joined by an adhesive or solder to have a desired width. Use a wide sheet. The adhesive used at this time is preferably a conductive adhesive or an adhesive. When forming a wide thin film sheet from a plurality of ribbons, the ribbons may be arranged so as to extend parallel to the longitudinal axis direction of the obtained wide sheet, but are arranged so as to extend in a direction perpendicular to this. It is even better to have been done. Further, the amorphous metal thin film may be formed by using amorphous metal powder. Alternatively, it may be used as a knitted woven fabric-like or non-woven fabric-like sheet from thin wires made of amorphous metal, and this sheet may be used as an amorphous metal thin film. Adhesives are those conventionally used, for example, amino group, imino group,
Ethyleneimine residue, acrylate containing alkylenediamine residue, acrylate containing aziridinyl group,
Amino ester modified vinyl polymer, aromatic epoxy adhesive, amino nitrogen-containing methacrylate polymer, other adhesives or adhesives and for example silver powder, copper powder, carbon powder,
Epoxy-based, silicone-based, phenol-based, acrylic-based, polyimide-based, polybenz-imidazole-based, silicone-imide-based, and other resin adhesives to which fillers with excellent electrical conductivity such as graphite and silver-plated fine particles are added, or You can choose from adhesives.

【0017】アモルファス金属薄膜は電界に対するシー
ルド効果を有するが、特に磁界に対しすぐれたシールド
効果を有している。
The amorphous metal thin film has a shielding effect against an electric field, but particularly has an excellent shielding effect against a magnetic field.

【0018】本発明の電磁波シールド性アモルファス金
属薄膜積層シートにおいてアモルファス金属薄膜は、ア
モルファス金属薄膜単独から形成されたものであっても
よいし、或は、アモルファス金属薄膜からなる基体と、
その少なくとも一面を被覆している導電性金属メッキ層
とからなるものであってもよい。メッキ用導電性金属と
しては、例えば銅、ニッケル、コバルト、鉄、アルミニ
ウム、金、銀、錫、亜鉛およびこれらから選ばれた2種
以上の合金などを用いることができる。このようにし
て、アモルファス金属薄膜からなる基体の少なくとも一
面上に導電性金属をメッキすると、得られるメッキ層付
きアモルファス金属薄膜は前記磁界シールド性に、メッ
キ層による電界シールド性が加算され、アモルファス金
属薄膜全体として、低周波から高周波までの広範囲の電
磁波に対して、すぐれたシールド効果を示すことができ
る。また、導電性金属メッキ層は、アモルファス金属薄
膜の半田接合性を向上させ、アモルファス金属薄膜リボ
ンから、広幅薄膜の形成を容易にする効果もある。
In the electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet of the present invention, the amorphous metal thin film may be formed of the amorphous metal thin film alone, or a substrate composed of the amorphous metal thin film,
It may be composed of a conductive metal plating layer covering at least one surface thereof. As the conductive metal for plating, for example, copper, nickel, cobalt, iron, aluminum, gold, silver, tin, zinc, and two or more alloys selected from these can be used. In this way, when a conductive metal is plated on at least one surface of a substrate made of an amorphous metal thin film, the obtained amorphous metal thin film with a plated layer has the above-mentioned magnetic field shield property and the electric field shield property due to the plated layer added to the amorphous metal thin film. The thin film as a whole can exhibit an excellent shielding effect against a wide range of electromagnetic waves from low frequencies to high frequencies. Further, the conductive metal plating layer has an effect of improving the solder bonding property of the amorphous metal thin film and facilitating the formation of a wide thin film from the amorphous metal thin film ribbon.

【0019】また、アモルファス金属薄膜中に含まれる
導電性金属メッキ層は、0.1μm以上の厚さを有する
ことが好ましく、0.1〜5μm程度の厚さを有するこ
とがより好ましい。またアモルファス金属薄膜又はその
金属メッキ層表面に、防錆剤その他の薄い保護膜を形成
してもよい。
The conductive metal plating layer contained in the amorphous metal thin film preferably has a thickness of 0.1 μm or more, more preferably 0.1 to 5 μm. Further, a rust preventive or other thin protective film may be formed on the surface of the amorphous metal thin film or the metal plating layer.

【0020】アモルファス金属薄膜は前述のようにそれ
ぞれ5〜50μmの厚さを有するものであるが、本発明
に用いられるアモルファス金属薄膜積層体は全体として
50μm以上の厚さを有することが好ましく、100〜
5,000μmの厚さを有することがより好ましい。こ
のために、本発明に用いられるアモルファス金属薄膜積
層体においては好ましくは2〜200枚のアモルファス
金属薄膜が厚さ方向に積層一体化されている。電磁波シ
ールド性アモルファス金属薄膜積層シートのシールド効
果を強化し、安定化させるためには、多数のアモルファ
ス金属薄膜を積層することが望ましい。すなわち、アモ
ルファス金属薄膜を広く大きな面積に接合して使用する
場合、面積が大きくなればなる程、シールド効果に不均
一を生じ、効果が低下し、或は不安定になるおそれがあ
る。このような問題点を解消し、安定したシールド効果
を得るためには、多数の薄膜を積層することが望まし
い。
As described above, the amorphous metal thin films each have a thickness of 5 to 50 μm, but the amorphous metal thin film laminate used in the present invention preferably has a thickness of 50 μm or more as a whole. ~
More preferably, it has a thickness of 5,000 μm. For this purpose, in the amorphous metal thin film laminate used in the present invention, preferably two to 200 amorphous metal thin films are laminated and integrated in the thickness direction. In order to enhance and stabilize the shield effect of the electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet, it is desirable to laminate a large number of amorphous metal thin films. That is, when an amorphous metal thin film is used by bonding it to a large area, the shielding effect becomes more nonuniform as the area becomes larger, and the effect may decrease or become unstable. In order to solve such a problem and obtain a stable shielding effect, it is desirable to stack a large number of thin films.

【0021】本発明の電磁波シールド性アモルファス金
属薄膜積層シート中のアモルファス金属薄膜積層体は、
少なくとも1個のメッキ層付きアモルファス金属薄膜
と、少なくとも1個のメッキ層を有しないアモルファス
金属薄膜とを含むものであってもよい。このようにアモ
ルファス金属薄膜の一部からメッキ層を省略することに
より製品コストを低下させながら、所要の電磁波シール
ド性を得ることができる。
The amorphous metal thin film laminate in the electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminate sheet of the present invention is
It may include at least one amorphous metal thin film with a plating layer and an amorphous metal thin film without at least one plating layer. As described above, by omitting the plating layer from a part of the amorphous metal thin film, required electromagnetic wave shielding properties can be obtained while lowering the product cost.

【0022】多数のアモルファス金属薄膜を積層し接着
する場合、接着剤又は粘着剤による接着域が互に重複し
て、得られる積層体中に局部的に厚さの異なる部分が形
成されないように、接着剤又は粘着剤接着域が互に重複
しないように、積層体中にほゞ均一に分布させ、それに
よって厚さ、風合の均一性を維持することが好ましい。
When a large number of amorphous metal thin films are laminated and adhered to each other, the adhesion regions formed by the adhesive or the pressure-sensitive adhesive do not overlap each other so that locally different thickness portions are not formed in the obtained laminate. It is preferable that the adhesive or the adhesive adhesive areas are distributed almost evenly in the laminate so that they do not overlap each other, thereby maintaining the uniformity of thickness and texture.

【0023】接着剤又は粘着剤は、積層された複数のア
モルファス金属薄膜を電気的に互に連結させるために、
導電性、又は半導電性であることが好ましく、更にそれ
が防錆性を有することができる。このような接着剤、又
は粘着剤の種類には格別の限定はなく使用目的に応じ
て、既存のものから、例えばアミノ基、イミノ基、エチ
レンイミン残基、アルキレンジアミン残基を含むアクリ
レート、アジリジニル基を含有するアクリレート、アミ
ノエステル変性ビニル重合体、芳香族エポキシ接着剤、
アミノ窒素含有メタクリレート重合体、その他のような
接着剤又は粘着剤、或は、例えば銀粉、銅粉、カーボン
粉、グラファイト、銀メッキ微粒子などの電気電導率の
優れたフィラーを添加した(変性)エポキシ系、シリコ
ーン系、フェノール系、アクリル系、ポリイミド系、ポ
リベンズ・イミダゾール系、シリコーンイミド系、その
他のような導電性又は半導電性接着剤又は粘着剤を任意
に選択して使用することができる。例えば、使用環境に
応じて耐寒性の高いもの或は耐熱性の高いものなどを選
択して使用すればよい。
The adhesive or tackifier is used to electrically connect a plurality of laminated amorphous metal thin films to each other.
It is preferably conductive or semi-conductive, and it can have rustproofing properties. There is no particular limitation on the type of such adhesive or pressure-sensitive adhesive, and depending on the purpose of use, from existing ones, for example, acrylates containing amino groups, imino groups, ethyleneimine residues, alkylenediamine residues, aziridinyl Group-containing acrylate, aminoester-modified vinyl polymer, aromatic epoxy adhesive,
Amino-nitrogen-containing methacrylate polymer, other adhesives or pressure-sensitive adhesives, or epoxy (modified) epoxy with a filler having excellent electric conductivity such as silver powder, copper powder, carbon powder, graphite, and silver-plated fine particles A conductive or semi-conductive adhesive or pressure-sensitive adhesive such as a system, a silicone system, a phenol system, an acrylic system, a polyimide system, a polybenz imidazole system, a silicone imide system, or the like can be arbitrarily selected and used. For example, a material having high cold resistance or a material having high heat resistance may be selected and used according to the use environment.

【0024】一般に、積層体中における複数のアモルフ
ァス金属薄膜は互に接着剤又は粘着剤により接着又は粘
着されていてもよい。この接着又は粘着において、互に
上下に隣接し、重なり合うアモルファス金属薄膜の全体
に接着剤又は粘着剤が塗布固着されていてもよい。しか
し、この場合、積層体が折曲げられたとき、互に接着又
は粘着されたアモルファス金属薄膜間の相互変位の自由
度が不十分となる。この問題は、特に接着剤が用いられ
たときに顕著である。このような問題点を解決するため
には、複数のアモルファス金属薄膜が互に接着又は粘着
されていないことが好ましいが、この場合複数のアモル
ファス金属薄膜の一体化が困難になる。
In general, the plurality of amorphous metal thin films in the laminate may be adhered or adhered to each other with an adhesive or a tackifier. In this adhesion or adhesion, an adhesive or a pressure-sensitive adhesive may be applied and fixed to the entire amorphous metal thin films which are vertically adjacent to each other and overlap each other. However, in this case, when the laminated body is bent, the degree of freedom of mutual displacement between the amorphous metal thin films adhered or adhered to each other becomes insufficient. This problem is particularly noticeable when an adhesive is used. In order to solve such a problem, it is preferable that the plurality of amorphous metal thin films are not adhered or adhered to each other, but in this case, it becomes difficult to integrate the plurality of amorphous metal thin films.

【0025】本発明の電磁波シールド性アモルファス金
属薄膜積層シート内において、各アモルファス金属薄膜
がその上下に隣接し重なり合っている層に部分的に接着
又は粘着され、接着又は粘着部分以外の部分で、互に相
対的変位が可能であることが好ましい。このため各アモ
ルファス金属薄膜がその上下に隣接し重なり合っている
層に対し、少なくとも1個の線状、又は点状に配置され
た接着剤又は粘着剤の層により接着又は粘着されている
ことが好ましい。例えば複数のアモルファス金属薄膜か
らなる積層体中において、その構成アモルファス金属薄
膜は、少なくとも1個の線状又は点状に或は、これらの
混合状態に分布させた接着剤又は粘着剤の層により接着
又は粘着されることが好ましい。このような態様の接着
又は粘着により複数のアモルファス金属薄膜は、互に接
着され一体化される。しかしアモルファス金属薄膜の非
接着部分は屈曲に応じて互に相対的に変位することがで
き、これにより積層体の屈曲が容易になり、また屈曲に
伴う積層体の破断が防止される。
In the electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet of the present invention, each amorphous metal thin film is partially adhered or adhered to the layers which are vertically adjacent to each other and overlap each other. It is preferable that relative displacement is possible. For this reason, it is preferable that each amorphous metal thin film is adhered or adhered to the layer which is vertically adjacent to and overlaps with each other by at least one linear or dot-shaped adhesive or pressure-sensitive adhesive layer. . For example, in a laminate composed of a plurality of amorphous metal thin films, the constituent amorphous metal thin films are bonded by at least one linear or dot-shaped or adhesive layer or a pressure-sensitive adhesive layer distributed in a mixed state thereof. Alternatively, it is preferably adhered. A plurality of amorphous metal thin films are adhered to each other and integrated by the adhesion or adhesion in this manner. However, the non-bonded portions of the amorphous metal thin film can be displaced relative to each other in response to bending, which facilitates bending of the laminated body and prevents breakage of the laminated body due to bending.

【0026】接着部分の形状は、1個以上の直線、曲
線、又はこれらの混合であってもよく、或は1個以上の
点からなるものであってもよく、これらの接着部分の合
計は、当該アモルファス金属薄膜の接着面積に対し90
%以下であることが好ましく、1〜90%の範囲内にあ
ることがより好ましい。
The shape of the adhesive portion may be one or more straight lines, curves, or a mixture thereof, or may consist of one or more points, the total of these adhesive portions being , 90 to the adhesion area of the amorphous metal thin film
% Or less, more preferably 1 to 90%.

【0027】アモルファス金属薄膜の積層体に含まれる
点状、又は線状の接着剤又は粘着剤の塗布域は、積層体
に局部的に厚さの不均一を生じないように、互に重複し
ないよう、ほゞ均一に分布させることが好ましく、これ
によってほゞ均一の充実度を有する積層体が得られる。
The application areas of the dot-like or linear adhesives or pressure-sensitive adhesives contained in the laminated body of the amorphous metal thin film do not overlap each other so that the laminated body is not locally uneven in thickness. As described above, it is preferable to distribute the particles substantially uniformly, and thereby a laminate having a substantially uniform solidity can be obtained.

【0028】本発明の電磁波シールド性アモルファス金
属薄膜積層シートは、積層一体化された複数のアモルフ
ァス金属薄膜からなる少なくとも1個の積層体と、この
積層体に積層されており、かつ可撓性材料からなる少な
くとも2個の被覆層とを含み、前記アモルファス金属薄
膜は、互いに並列に配置された複数枚のアモルファス金
属薄膜リボンを、その長手側縁部において互いに接着剤
又は半田により接合して、所望の幅を有する一体の薄膜
に形成したものであり、前記可撓性材料からなる被覆層
の少なくとも1層が補強用繊維布帛層であり、かつ他の
少なくとも1層が可撓性重合体樹脂層である。
The electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet of the present invention comprises at least one laminate composed of a plurality of amorphous metal thin films laminated and integrated, and a flexible material laminated on this laminate. The amorphous metal thin film comprises a plurality of amorphous metal thin film ribbons arranged in parallel with each other, and the amorphous metal thin film ribbons are bonded together at their longitudinal side edges with an adhesive or solder. Of the flexible material, at least one layer of which is a reinforcing fiber cloth layer, and the other at least one layer of which is a flexible polymer resin layer. Is.

【0029】上記可撓性材料からなる被覆層は、複数の
アモルファス金属薄膜積層体の間に形成されていてもよ
く、また任意の間隔をおいて形成されていてもよく、或
は積層体の少なくとも一つの最外表面上に配置されてい
てもよい。この可撓性材料からなる被覆層が導電性又は
半導電性であることが望ましい。複数のアモルファス金
属薄膜積層体の間に導電性又は半導電性可撓性材料から
なる被覆層が設けられると、複数のメッキされた又はメ
ッキされていないアモルファス金属薄膜積層体の全体が
導電性となり好ましい結果が得られる。特に、メッキし
ていないアモルファス金属薄膜が用いられる場合、積層
体間に導電性又は半導電性可撓性材料からなる被覆層を
設けることにより、磁界シールド性とともに電界シール
ド性も改善され、性能の良好な電磁波シールド性アモル
ファス金属薄膜積層シートが得られる。
The coating layer made of the above-mentioned flexible material may be formed between a plurality of amorphous metal thin film laminates, may be formed at arbitrary intervals, or may be formed in the laminates. It may be arranged on at least one outermost surface. It is desirable that the coating layer made of this flexible material be conductive or semiconductive. When a coating layer made of a conductive or semi-conductive flexible material is provided between a plurality of amorphous metal thin film laminates, the entire plated or unplated amorphous metal thin film laminate becomes conductive. Good results are obtained. In particular, when an unplated amorphous metal thin film is used, by providing a coating layer made of a conductive or semiconductive flexible material between the laminates, the magnetic field shielding property as well as the electric field shielding property is improved, and the performance is improved. A favorable amorphous metal thin film laminated sheet having electromagnetic wave shielding properties can be obtained.

【0030】上記可撓性材料からなる被覆層のうち、前
記可撓性重合体樹脂層が、可撓性重合体樹脂からなるフ
ィルム、又はシートにより形成されていてもよく、この
ようなフィルム又はシートは多孔質であってもよく、或
は非多孔質であってもよい。
Of the coating layer made of the above flexible material, the flexible polymer resin layer may be formed of a film or sheet made of a flexible polymer resin. The sheet may be porous or non-porous.

【0031】可撓性材料からなる被覆層は、本発明の電
磁波シールド性アモルファス金属薄膜積層シートに、所
望の柔軟性、圧縮弾性、および衝撃や押圧に対する緩衝
性、耐破断性などを与えることができる。
The coating layer made of a flexible material can impart desired flexibility, compression elasticity, shock absorbing and pressing buffering property, rupture resistance and the like to the electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet of the present invention. it can.

【0032】すなわち、電磁波シールド性アモルファス
金属薄膜積層シートに屈曲などの外力が作用したとき、
この可撓性材料からなる被覆層が、変形することによっ
てこの外力を吸収し、アモルファス金属薄膜の伸びおよ
び圧縮を少なくし、これによってアモルファス金属薄膜
の裂断や折損を防止し、かつ永久変形(折れ目の形成)
を防止するという緩衝作用を発揮する。このような電磁
波シールド性アモルファス金属薄膜積層シートは、核磁
気共鳴診断装置(MRI)などの磁気シールドシート、
エレクトロニクス機器の被覆シート、包装収納用シー
ト、床シート、壁シート、或は建築用シート等として有
用なものである。
That is, when an external force such as bending acts on the electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet,
The covering layer made of this flexible material absorbs this external force by being deformed and reduces the expansion and compression of the amorphous metal thin film, thereby preventing the amorphous metal thin film from breaking or breaking and being permanently deformed ( Formation of folds)
Exerts a buffering effect of preventing Such an electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet is a magnetic shield sheet for a nuclear magnetic resonance diagnostic apparatus (MRI),
It is useful as a covering sheet for electronic equipment, a sheet for packing and storing, a floor sheet, a wall sheet, or a construction sheet.

【0033】可撓性重合体樹脂層を形成するために、可
撓性重合体樹脂を用いることができる。このような可撓
性重合体樹脂としては、天然ゴム、ネオプレンゴム、ク
ロロプレンゴム、シリコーンゴム、ハイパロンその他の
合成ゴム、又はPVC樹脂、エチレン−酢酸ビニールコ
ポリマー(EVA)樹脂、アクリル樹脂、シリコーン樹
脂、ポリウレタン樹脂、ポリエチレン(PE)樹脂、ポ
リプロピレン(PP)樹脂、ポリエステル樹脂、フッ素
含有樹脂その他の合成樹脂を用いることができる。この
ような材料は、また、良好な防水性を有し、得られる電
磁波シールド性アモルファス金属薄膜積層シートに所望
の防水性並びに難燃性や機械的強度を与えることができ
る。可撓性重合体樹脂層は、0.05mm以上の、より好
ましくは0.05〜1.0mmの厚さを有することが好ま
しく、また導電性物質を含んでいることが好ましい。
A flexible polymer resin can be used to form the flexible polymer resin layer. Examples of such flexible polymer resin include natural rubber, neoprene rubber, chloroprene rubber, silicone rubber, synthetic rubber such as hypalon, PVC resin, ethylene-vinyl acetate copolymer (EVA) resin, acrylic resin, silicone resin, Polyurethane resin, polyethylene (PE) resin, polypropylene (PP) resin, polyester resin, fluorine-containing resin and other synthetic resins can be used. Such a material also has good waterproofness and can impart desired waterproofness, flame retardancy, and mechanical strength to the obtained electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet. The flexible polymer resin layer preferably has a thickness of 0.05 mm or more, more preferably 0.05 to 1.0 mm, and preferably contains a conductive substance.

【0034】これらの可撓性重合体樹脂層は、上記の如
きゴム又は樹脂のフィルム、溶液、ペースト又はストレ
ートなどを用い、公知の方法、例えば、トッピング、カ
レンダリング、コーティング、ディッピングなどの方法
によって、アモルファス金属薄膜積層体の表面上に形成
することができる。これらのゴム又は樹脂中には、可塑
剤、安定剤、着色剤、紫外線吸収剤などや他の機能付与
剤、例えば防炎剤、難燃化剤などが含まれていてもよ
い。
These flexible polymer resin layers are formed by a known method, for example, a method such as topping, calendering, coating or dipping, using the rubber or resin film, solution, paste or straight as described above. , Can be formed on the surface of the amorphous metal thin film laminate. These rubbers or resins may contain plasticizers, stabilizers, coloring agents, ultraviolet absorbers and the like, and other function-imparting agents such as flame retardants and flame retardants.

【0035】従来、金属箔の表面に対し、防錆、および
腐食防止の目的で1〜10μm程度の厚さの樹脂層を形
成することが知られているが、本発明の電磁波シールド
性アモルファス金属薄膜積層シートにおいては、可撓性
重合体樹脂層は一般に50μm以上の厚さに形成され、
この厚さは、好ましくは50〜5000μmであり、更
に好ましくは100〜3000μmであり、より一層好
ましくは200〜2000μmである。また、本発明に
用いられる可撓性重合体樹脂層は、上記の厚さを有して
いても使用上十分な可撓性を示すことができる。
Conventionally, it is known that a resin layer having a thickness of about 1 to 10 μm is formed on the surface of a metal foil for the purpose of rust prevention and corrosion prevention, but the electromagnetic wave shielding amorphous metal of the present invention is formed. In the thin film laminated sheet, the flexible polymer resin layer is generally formed to have a thickness of 50 μm or more,
This thickness is preferably 50 to 5000 μm, more preferably 100 to 3000 μm, and even more preferably 200 to 2000 μm. Further, the flexible polymer resin layer used in the present invention can exhibit sufficient flexibility in use even if it has the above thickness.

【0036】これらの可撓性重合体樹脂層は、多孔質、
すなわち発泡層であってもよい。このような発泡多孔質
層は所望の可撓性を有する限り硬質フォームであっても
よいが、一般には軟質フォームであることが好ましい。
These flexible polymer resin layers are porous,
That is, it may be a foamed layer. Such a foamed porous layer may be a rigid foam as long as it has the desired flexibility, but it is generally preferred that it is a flexible foam.

【0037】発泡多孔質層の気孔率は、50〜99%
(発泡倍率:2〜100倍)であることが好ましく、8
0〜98%(発泡倍率:5〜50倍)であることがより
好ましい。通常は発泡倍率20〜60倍のものが用いら
れる。また、発泡多孔質シート材料層の圧縮抵抗は、2
5%圧縮において、10kg/cm2 以下であれば用途によ
っては実用可能であるが、一般に0.5kg/cm2 以下で
あることが好ましく、0.1kg/cm2 以下であることが
より好ましい。
The porosity of the foamed porous layer is 50 to 99%.
(Expansion ratio: 2 to 100 times), preferably 8
It is more preferably 0 to 98% (foaming ratio: 5 to 50 times). Usually, a foaming ratio of 20 to 60 times is used. The compression resistance of the foamed porous sheet material layer is 2
At 5% compression, although in some applications if 10 kg / cm 2 or less is practicable, preferably generally at 0.5 kg / cm 2 or less, more preferably 0.1 kg / cm 2 or less.

【0038】発泡多孔質層の厚さには、格別の制限はな
く、電磁波シールド性アモルファス金属薄膜積層シート
の用途に応じて任意に設定することができるが、一般
に、0.5〜100mmの範囲内にあることが好ましく、
1〜50mmの範囲内にあることがより好ましい。
The thickness of the foamed porous layer is not particularly limited and can be set arbitrarily according to the use of the electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet, but generally it is in the range of 0.5 to 100 mm. Preferably within
More preferably, it is within the range of 1 to 50 mm.

【0039】発泡多孔質層は、アモルファス金属薄膜積
層体に結着されているが、発泡多孔質シートを予じめ作
成しておき、これを接着剤を用いて結着してもよく、或
は、発泡多孔質シートの接着表面部分を熱溶融して、融
着してもよい。また、発泡多孔質層は、アモルファス金
属薄膜積層体上で化学発泡させて形成してもよいし、或
は、気泡を含有する重合体塗料をアモルファス金属薄膜
積層体上に塗布し、これを固化する、所謂、機械発泡法
により形成してもよい。
The foamed porous layer is bonded to the amorphous metal thin film laminate, but it is also possible to preliminarily prepare a foamed porous sheet and bond it with an adhesive, or For, the adhesive surface portion of the foamed porous sheet may be heat-melted and fused. Further, the foamed porous layer may be formed by chemically foaming on the amorphous metal thin film laminate, or a polymer coating containing bubbles may be applied on the amorphous metal thin film laminate and solidified. Alternatively, it may be formed by a so-called mechanical foaming method.

【0040】上述のような可撓性重合体発泡多孔質層を
含む被覆層は、アモルファス金属薄膜積層体の両面に形
成されてもよく、或は、その片面のみに、或は中間に形
成されてもよい。片面のみに形成された場合、アモルフ
ァス金属薄膜積層体の他の片面に、或は任意の部分に、
前述のような可撓性重合体樹脂の非多孔質層を含む被覆
層が結着されていてもよい。
The coating layer containing the flexible polymer foam porous layer as described above may be formed on both sides of the amorphous metal thin film laminate, or may be formed on only one side or in the middle. May be. When formed on only one side, on the other side of the amorphous metal thin film laminate, or on any part,
A coating layer including a non-porous layer of the flexible polymer resin as described above may be bound.

【0041】本発明の電磁波シールド性アモルファス金
属薄膜積層シートにおいて、アモルファス金属薄膜積層
体に積層される可撓性材料からなる被覆層の少なくとも
1層は、繊維布帛よりなる補強層である。この補強用繊
維布帛層は、アモルファス金属薄膜の、引張り強度にお
ける方向性、強度不均一性、低引裂強度性などをカバー
するのに有効である。
In the electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet of the present invention, at least one coating layer made of a flexible material laminated on the amorphous metal thin film laminated body is a reinforcing layer made of a fiber cloth. This reinforcing fiber cloth layer is effective for covering the directionality in tensile strength, strength non-uniformity, low tear strength, etc. of the amorphous metal thin film.

【0042】補強用繊維布帛層は、天然繊維、例えば、
木綿、麻など、無機繊維、例えば、ガラス繊維、カーボ
ン繊維、金属繊維など、再生繊維、例えば、ビスコース
レーヨン、キュプラなど、半合成繊維、例えば、ジーお
よびトリーアセテート繊維など、及び合成繊維、例え
ば、ポリアミド(ナイロン6、ナイロン66等)繊維、
ポリエステル(ポリエチレンテレフタレート等)繊維、
芳香族ポリアミド繊維、アクリル繊維、ポリ塩化ビニル
繊維、ポリオレフィン繊維など、から選ばれる少なくと
も1種からなるものである。繊維布帛中の繊維は、短繊
維紡績糸条、長繊維糸条、スプリットヤーン、テープヤ
ーンなどのいずれの形状のものであってもよく、また布
帛は、織物、編物、不織布又はこれらの複合布のいずれ
であってもよい。また補強用繊維布帛層を形成する布帛
として、平行に並べた経糸と緯糸とを交差するように重
ね、これらをからみ糸で押えて構成された織物が特に好
ましい。また、得られる電磁波シールド性アモルファス
金属薄膜積層シートが特に柔軟であることを必要とする
場合は、補強用繊維布帛層が比較的目の粗い編織物で形
成することが好ましく、また強度の高いことを必要とす
る場合は、比較的密度の高い編織物をもって形成するこ
とが好ましい。更に、補強用繊維布帛層は導電性又は半
導電性であることが好ましい。
The reinforcing fiber fabric layer is made of natural fibers, for example,
Inorganic fibers such as cotton and hemp, for example, glass fibers, carbon fibers, metal fibers, etc., recycled fibers such as viscose rayon, cupra and the like, semi-synthetic fibers such as Gee and tree acetate fibers, and synthetic fibers such as , Polyamide (nylon 6, nylon 66, etc.) fiber,
Polyester (polyethylene terephthalate etc.) fiber,
It is composed of at least one selected from aromatic polyamide fibers, acrylic fibers, polyvinyl chloride fibers, polyolefin fibers and the like. The fibers in the fiber cloth may be in any shape such as short fiber spun yarn, long fiber yarn, split yarn, tape yarn, etc., and the fabric may be woven fabric, knitted fabric, non-woven fabric or composite fabric thereof. Either of them may be used. Further, as a fabric forming the reinforcing fiber fabric layer, a woven fabric constituted by stacking warp yarns and weft yarns arranged in parallel so as to intersect each other and pressing them with a twine yarn is particularly preferable. Further, when the obtained electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet needs to be particularly flexible, it is preferable that the reinforcing fiber cloth layer is formed of a knitted woven fabric having a relatively open mesh, and high strength. When it is required, it is preferable to form the knitted fabric having a relatively high density. Furthermore, the reinforcing fiber fabric layer is preferably electrically conductive or semi-conductive.

【0043】この場合、補強用繊維布帛層を形成する繊
維自体が導電性又は半導電性であってもよく、また、こ
れらの繊維を混用したものであってもよい。或は、非導
電性布帛に導電性又は半導電性加工剤を施したものでも
よく、更に布帛が不織布であって、導電性又は半導電性
のバインダーが用いられているものであってもよい。
In this case, the fibers themselves forming the reinforcing fiber cloth layer may be conductive or semi-conductive, or may be a mixture of these fibers. Alternatively, a non-conductive cloth may be treated with a conductive or semi-conductive processing agent, and the cloth may be a non-woven fabric and a conductive or semi-conductive binder may be used. .

【0044】一般にアモルファス金属薄膜の引裂き強さ
は殆んど0に等しい程低く、低い負荷で容易に裂断す
る。またこのようなアモルファス金属薄膜は引張り強さ
においても比較的弱く、かつ、強度のバラツキが大き
い。例えば厚さ25μmのアモルファス金属薄膜の引張
り強さをJIS−L−1096(1979).「一般織
物試験方法」の6.12、引張り強さ及び伸び率6.1
2.1(1)A法(ストリップ法)に準拠し、幅:3c
m、把み間隔:20cm、引張りスピード:200mm/分
での条件で測定すると、その引張り強さは、65〜12
5kg/3cm、平均100kg/3cm程度の比較的弱いもの
であり、また測定値にバラツキが大きい、また、アモル
ファス金属薄膜は、一般に幅の狭いリボン状で提供され
ているので、これらを並列に配列してシート状にする
と、たとえ、これらを、その対向している側縁部で、半
田により、或は接着剤で接合しても、このシートの横方
向の引張り強さは不十分であり、しかもそのバラツキが
大きいという問題がある。しかし、重包装用、重被覆用
に、或は局部的に摩擦されたり、局部的に外力が作用す
る用途に用いられる場合、本発明の電磁波シールド性ア
モルファス金属薄膜積層シートは、繊維布帛からなる可
撓性補強用繊維布帛層により補強されているため、十分
な実用性を有している。
Generally, the tear strength of an amorphous metal thin film is so low that it is almost equal to 0, and the film easily tears at a low load. Further, such an amorphous metal thin film has a relatively low tensile strength and a large variation in strength. For example, the tensile strength of an amorphous metal thin film having a thickness of 25 μm is measured according to JIS-L-1096 (1979). 6.12 "Tensile strength and elongation 6.1" of "General woven fabric test method"
2.1 (1) Width: 3c according to the A method (strip method)
m, gripping interval: 20 cm, tensile speed: 200 mm / min.
5 kg / 3 cm, average is about 100 kg / 3 cm, which is relatively weak, and the measured values vary widely. Amorphous metal thin films are generally provided in a narrow ribbon shape, so these are arranged in parallel. Then, even if these are joined at their facing side edges by soldering or with an adhesive, the transverse tensile strength of this sheet is insufficient. Moreover, there is a problem that the variation is large. However, the electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminate sheet of the present invention is made of a fiber cloth when used for heavy packaging, heavy coating, or where it is locally rubbed or locally applied with external force. Since it is reinforced by the flexible reinforcing fiber cloth layer, it has sufficient practicality.

【0045】この補強用繊維布帛層の引張り強さは、ア
モルファス金属薄膜の引張り強さよりも高いことが好ま
しい。補強用繊維布帛層の引張り強さは、積層体中のア
モルファス金属薄膜の引張り強さの最低値よりも高いこ
とが好ましい。このような補強用繊維布帛層は、アモル
ファス金属薄膜の引張り強さを補強し、かつ、そのばら
つきを少なくすることができる。
The tensile strength of the reinforcing fiber cloth layer is preferably higher than the tensile strength of the amorphous metal thin film. The tensile strength of the reinforcing fiber cloth layer is preferably higher than the minimum value of the tensile strength of the amorphous metal thin film in the laminate. Such a reinforcing fiber cloth layer can reinforce the tensile strength of the amorphous metal thin film and reduce its variation.

【0046】また、補強用繊維布帛層として破断伸度が
5%以下のものを用いると、積層体と補強用繊維布帛層
との伸長性の差が小さくなり、従って、両者のS−S荷
重曲線は近似し、このため電磁波シールド性アモルファ
ス金属薄膜積層シートは、比較的大きな引張り強さを示
すことができる。また破断伸度がアモルファス金属薄膜
のそれと等しいか、或は、5%以下の繊維シートを補強
用繊維布帛層として積層体と合体すると、このような積
層シートの形成に当り、アモルファス金属薄膜リボンを
並列に配置しただけでよく、半田による、或は接着剤に
よるリボンの接合は必ずしも必要ではない。このような
接合目のない広幅アモルファス金属薄膜は、継ぎ目が目
立たず良好な外観を示す。
When the reinforcing fiber cloth layer having a breaking elongation of 5% or less is used, the difference in extensibility between the laminate and the reinforcing fiber cloth layer becomes small. The curves are similar to each other, and thus the electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet can exhibit a relatively large tensile strength. Further, when a fiber sheet having a breaking elongation equal to that of an amorphous metal thin film or 5% or less is combined with a laminate as a reinforcing fiber cloth layer, an amorphous metal thin film ribbon is formed when forming such a laminated sheet. It is only necessary to arrange them in parallel, and joining of ribbons by solder or adhesive is not always necessary. Such a wide amorphous metal thin film having no joint has a good appearance with no visible seams.

【0047】このような補強用繊維布帛層を構成する繊
維としては、130kg/mm2 以上の引張り強さと5%以
下の破断伸度を有するものが好ましい。このような性能
を有する繊維の種類に格別な限定はないが下記のものが
例示される。
As the fibers constituting such a reinforcing fiber cloth layer, those having a tensile strength of 130 kg / mm 2 or more and a breaking elongation of 5% or less are preferable. There is no particular limitation on the type of fiber having such performance, but the following are exemplified.

【0048】 引張り強さ 破断伸度 繊 維 (kg/mm2) (%) ガラス繊維 350〜600 3〜4 カーボン繊維 200〜300 1.5〜0.5 金属(スチール)繊維 240 1.7 芳香族アラミド繊維 285 2.0〜5.0Tensile strength Breaking elongation Fiber (kg / mm 2 ) (%) Glass fiber 350-600 3-4 Carbon fiber 200-300 1.5-0.5 Metal (steel) fiber 240 1.7 Aroma Group Aramid Fiber 285 2.0-5.0

【0049】これらの高強度繊維布帛は、上記の効果を
達成するのに有効なものであるが、低伸度を有し、屈曲
強度の低いものである。従って、電磁波シールド性アモ
ルファス金属薄膜積層シートの用途に耐屈曲性の高いこ
とを要求される場合は、上記高強度繊維布帛に高伸度
の、屈曲強度の高い他の繊維、又はそれらからなる糸条
又は布帛を混用することが好ましい。このような高伸度
繊維の種類に格別の限定はないが、それらを例示すれば
下記の通りである。
These high-strength fiber cloths are effective in achieving the above effects, but have low elongation and low bending strength. Therefore, when high flex resistance is required for the application of the electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet, the above-mentioned high-strength fiber cloth has high elongation and high flex strength, or a yarn made of them. It is preferable to mix a strip or a cloth. There is no particular limitation on the kind of the high elongation fiber, but examples thereof are as follows.

【0050】 引張り強さ 破断伸度 繊 維 kg/mm2 ポリエステル繊維 約115 約13 脂肪族ポリアミド(ナイロン)繊維 約100 約19Tensile Strength Breaking Elongation Fiber kg / mm 2 % Polyester Fiber About 115 About 13 Aliphatic Polyamide (Nylon) Fiber About 100 About 19

【0051】上記の他に、ポリ塩化ビニル繊維、ポリア
クリル繊維、およびポリオレフィン繊維も使用すること
ができる。
Besides the above, polyvinyl chloride fibers, polyacrylic fibers and polyolefin fibers can also be used.

【0052】また補強用繊維布帛層の表面は、電磁波シ
ールド性アモルファス金属薄膜積層シートの用途に応じ
て、必要な平滑性、又は、滑り防止性、或は、所望の色
彩、模様などを有していてもよく、この補強用繊維布帛
層の上に、上記特性を付与する処理を施してもよいし、
或は、被覆を施してもよい。
The surface of the reinforcing fiber cloth layer has necessary smoothness or anti-slip property or desired color or pattern depending on the use of the electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet. May be provided, may be subjected to a treatment for imparting the above characteristics on the reinforcing fiber cloth layer,
Alternatively, a coating may be applied.

【0053】補強用繊維布帛層として、130kg/mm2
以上の引張り強さと、5%以下の切断伸度とを有する繊
維を含む布帛を用いることが好ましい。
As a reinforcing fiber cloth layer, 130 kg / mm 2
It is preferable to use a fabric containing fibers having the above tensile strength and a cut elongation of 5% or less.

【0054】また、アモルファス金属薄膜積層体の一面
に、130kg/mm2 以上の引張り強さと5%以下の切断
伸度とを有する高強度繊維を含んでなる補強用繊維布帛
層を積層し、かつ、その他の面に、130kg/mm2 より
低い引張り強さと、5%より高い切断伸度とを有する高
伸度繊維を含んでなる補強用繊維布帛層を積層してもよ
い。
Further, a reinforcing fiber cloth layer containing high-strength fibers having a tensile strength of 130 kg / mm 2 or more and a cutting elongation of 5% or less is laminated on one surface of the amorphous metal thin film laminate, and Alternatively, a reinforcing fiber fabric layer containing high elongation fibers having a tensile strength lower than 130 kg / mm 2 and a cutting elongation higher than 5% may be laminated on the other surface.

【0055】また、補強用繊維布帛層が130kg/mm2
以上の引張り強さと、5%以下の切断伸度とを有する高
強度繊維と、130kg/mm2 より低い引張り強さと、5
%より高い切断伸度とを有する高伸度繊維との混用物を
含んでなるものであってもよい。
Further, the reinforcing fiber cloth layer is 130 kg / mm 2
High-strength fiber having the above tensile strength and a cut elongation of 5% or less, a tensile strength lower than 130 kg / mm 2 , and 5
%, And a mixture with a high elongation fiber having a breaking elongation higher than 100% may be included.

【0056】更に、補強用繊維布帛層が、130kg/mm
2 以上の引張り強さと、5%以下の切断伸度とを有する
高強度繊維を含む少なくとも1個の補強用繊維布帛層
と、130kg/mm2 より低い引張り強さと、5%より高
い切断伸度とを有する高伸度繊維を含む少なくとも1個
の補強用繊維布帛層とを含むものであってもよい。
Further, when the reinforcing fiber fabric layer is 130 kg / mm
At least one reinforcing fiber fabric layer containing high strength fibers having a tensile strength of 2 or more and a cut elongation of 5% or less, a tensile strength lower than 130 kg / mm 2 and a cut elongation higher than 5% And at least one reinforcing fiber fabric layer containing a high elongation fiber having

【0057】更にまた、アモルファス金属薄膜積層体の
少なくとも一面上に補強用繊維布帛層が積層されてお
り、このようにして形成された基層の少なくとも一面上
に、他の可撓性材料からなる被覆層が配置されていても
よい。
Furthermore, a reinforcing fiber cloth layer is laminated on at least one surface of the amorphous metal thin film laminate, and a coating made of another flexible material is formed on at least one surface of the base layer thus formed. Layers may be arranged.

【0058】本発明の電磁波シールド性アモルファス金
属薄膜積層シートにおいて、可撓性材料層はカーペット
の上表部を構成する繊維布帛層、例えばパイル布帛層で
あってもよく、或は、壁紙シートを構成する壁紙状シー
ト層であってもよい。前者の場合、得られる電磁波シー
ルド性アモルファス金属薄膜積層シートは、電磁波シー
ルド性敷物として有用であり、後者の場合、得られる電
磁波シールド性アモルファス金属薄膜積層シートは電磁
波シールド性壁紙として有用である。
In the electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet of the present invention, the flexible material layer may be a fiber cloth layer constituting the upper surface of the carpet, for example, a pile cloth layer, or a wallpaper sheet. It may be a wallpaper-like sheet layer constituting the layer. In the former case, the obtained electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet is useful as an electromagnetic wave shielding rug, and in the latter case, the obtained electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet is useful as an electromagnetic wave shielding wallpaper.

【0059】本発明の電磁波シールド性アモルファス金
属薄膜積層シートにおいて、その最外表面層の少なくと
も1つが、補強用繊維布帛層、又は可撓性重合体樹脂層
により形成されていてもよい。
In the electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet of the present invention, at least one of the outermost surface layers may be formed of a reinforcing fiber cloth layer or a flexible polymer resin layer.

【0060】[0060]

【実施例】以下に本発明の電磁波シールド性アモルファ
ス金属薄膜積層シートを実施例により更に説明する。
EXAMPLES The electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet of the present invention will be further described below with reference to examples.

【0061】実施例1 アモルファス合金(Fe:81%,B:13.5%,S
i:3.5%,C:2%、商標:METGLAS N
o.2605SC、アライド社製、幅:7.62cm、厚
さ:25μm)のリボン状体の全表面に、厚さ1μmの
銅メッキを施した。このメッキ層付きアモルファス金属
薄膜リボンを13枚並列し、それぞれの側縁部を半田接
合して幅約1mの広幅シートを作成した。半田接合部の
引張り強さは40〜86kg/3cm、平均68.6kg/3
cmで半田接合部の引張り強さはかなり低いものであっ
た。
Example 1 Amorphous alloy (Fe: 81%, B: 13.5%, S
i: 3.5%, C: 2%, trademark: METGLAS N
o. 2605SC, manufactured by Allied Company, width: 7.62 cm, thickness: 25 μm), the entire surface of the ribbon-shaped body was plated with copper having a thickness of 1 μm. Thirteen amorphous metal thin film ribbons with plating layers were arranged in parallel, and their side edges were soldered to each other to prepare a wide sheet having a width of about 1 m. Tensile strength of solder joint is 40-86kg / 3cm, average 68.6kg / 3
In cm, the tensile strength of the solder joint was quite low.

【0062】この広幅アモルファス金属薄膜5枚を積層
し、上下に対向する薄膜の一面上に合成ゴム系接着剤
(商標:SC 12N、ソニーケミカル社製)を、直径
3mmの円型スポット状に1cm2 当り2個の密度で塗布
し、これらを一体に接着した。この接着剤の塗布面積率
は14.13%であった。得られた積層体は80dBの高
電磁波シールド効果を示した。
Five wide amorphous metal thin films were laminated, and a synthetic rubber adhesive (trademark: SC 12N, manufactured by Sony Chemical Co., Ltd.) was applied on one surface of the thin films facing each other up and down in a circular spot shape with a diameter of 3 mm to 1 cm. It was applied at a density of 2 per 2 and these were bonded together. The coating area ratio of this adhesive was 14.13%. The obtained laminate exhibited a high electromagnetic wave shielding effect of 80 dB.

【0063】上記アモルファス金属薄膜積層体の一面の
全面に、上記接着剤を塗布し、これにガラス繊維布帛
(商標:KS−2671、カネボウ硝子繊維社製、厚
さ:0.22mm、目付:210g/m2 、平織、径密
度:19本/25.4mm、緯密度:19本/25.4m
m、繊維引張り強さ:350kg/mm2 、繊維破断伸度:
3%、布帛引張り強さ、経緯両方向共に111.6kg/
3cm、布帛破断伸度、経緯両方向ともに3.0%)を貼
着し、他の一面も同様にして下記組織のポリエステルフ
ィラメント平織粗布:
The adhesive is applied to the entire one surface of the amorphous metal thin film laminate, and a glass fiber cloth (trademark: KS-2671, manufactured by Kanebo Glass Fiber Co., Ltd., thickness: 0.22 mm, basis weight: 210 g). / M 2 , plain weave, diameter density: 19 threads / 25.4 mm, weft density: 19 threads / 25.4 m
m, fiber tensile strength: 350 kg / mm 2 , fiber breaking elongation:
3%, fabric tensile strength, 111.6 kg /
3 cm, elongation at break of fabric, 3.0% in both warp and weft directions) and polyester filament plain weave woven fabric with the following structure similarly on the other side:

【0064】[0064]

【数1】 を貼着し、基層シートを作成した。この平織布帛は、厚
さ:0.3mm、目付:40kg/m2 、布帛引張り強さ:
経、緯ともに25kg/3cm、布帛破断伸度:経緯両方向
ともに15%、繊維引張り強さ:110kg/mm2 、繊維
破断伸度13%であった。
[Equation 1] Was adhered to prepare a base layer sheet. This plain woven fabric has a thickness: 0.3 mm, a basis weight: 40 kg / m 2 , and a fabric tensile strength:
The warp and weft were 25 kg / 3 cm, the fabric breaking elongation was 15% in both directions of the warp and weft, the fiber tensile strength was 110 kg / mm 2 , and the fiber breaking elongation was 13%.

【0065】上記基層シートを下記組成の可撓・防水性
重合体樹脂被覆液に浸漬した。 ポリ塩化ビニル樹脂 80重量部 ブチルベンジルフタレート 68 〃 エポキシ化大豆油 7 〃 炭酸カルシウム 20 〃 カドミウムバリウム系安定剤 3 〃 顔料 8 〃 トルエン(溶剤) 130 〃
The above-mentioned base layer sheet was dipped in a flexible / waterproof polymer resin coating liquid having the following composition. Polyvinyl chloride resin 80 parts by weight Butylbenzyl phthalate 68 〃 Epoxidized soybean oil 7 〃 Calcium carbonate 20 〃 Cadmium barium stabilizer 3 〃 Pigment 8 〃 Toluene (solvent) 130 〃

【0066】被覆液含浸基層シートをニップローラーで
絞り、被覆液の付着量を100%に調節し、乾燥機中で
90℃で1分間乾燥した。次に、この被覆層を180℃
で1分間熱処理してポリ塩化ビニルをゲル化固着した。
得られた可撓性重合体樹脂層の厚さは0.35mmであっ
た。
The coating liquid-impregnated base layer sheet was squeezed with a nip roller to adjust the coating liquid adhesion amount to 100%, and dried in a dryer at 90 ° C. for 1 minute. Next, this coating layer was heated to 180 ° C.
For 1 minute to gelify and fix the polyvinyl chloride.
The thickness of the obtained flexible polymer resin layer was 0.35 mm.

【0067】得られた電磁波シールド性アモルファス金
属薄膜積層シートは良好な、電磁波に対するシールド性
(80dB)と、すぐれた防水性を有し、また、熱融着接
合の可能なものであった。このようなすぐれた熱融着接
合性によって、従来考えられなかったアモルファス金属
薄膜をシート材料(例えば大型テント用シート)に使用
することを可能にし従来縫合出来なかったアモルファス
金属薄膜を使用した積層シートの縫合を可能にし、その
利用を簡易化し、かつ利用分野を拡大することが出来る
ようになった。
The obtained electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet had good electromagnetic wave shielding property (80 dB) and excellent waterproof property, and was capable of heat fusion bonding. Due to such excellent heat fusion bondability, it is possible to use an amorphous metal thin film that has not been considered in the past as a sheet material (for example, a sheet for a large tent), and a laminated sheet using an amorphous metal thin film that cannot be sewn in the past. It has become possible to sew, simplify its use, and expand the field of use.

【0068】このような電磁波シールド性アモルファス
金属薄膜積層シートは複数のアモルファス金属薄膜から
なる積層体を含んでいるにも拘らず、実用上十分な強度
と屈曲性を示し、かつ、80dBの極めて高い電磁波シー
ルド効果を示した。また、実用上十分な作業性、取り扱
い容易性を有していた。
Such an electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet exhibits a practically sufficient strength and flexibility despite having a laminated body composed of a plurality of amorphous metal thin films, and has an extremely high level of 80 dB. The electromagnetic wave shielding effect was shown. Moreover, it had practically sufficient workability and easy handling.

【0069】[0069]

【発明の効果】本発明の電磁波シールド性アモルファス
金属薄膜積層シートは、複数のアモルファス金属リボン
をその側縁部において接合して得られた複数の広幅アモ
ルファス金属薄膜からなる積層体を含むものであり、実
用上十分な柔軟性、屈曲性、強度、衝撃緩衝性、および
作業性を有し、更に、すぐれた電磁波シールド性を有し
ているので、電磁波シールド性の被覆、又は、包装シー
ト、敷物、或は壁紙シートなどとして有用なものであ
る。また、本発明の電磁波シールド性アモルファス金属
薄膜積層シートは上記用途における中間体製品又は完成
製品のいづれに組み合わせて使用することもできる。
The electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet of the present invention includes a laminate composed of a plurality of wide amorphous metal thin films obtained by joining a plurality of amorphous metal ribbons at their side edges. Since it has practically sufficient flexibility, flexibility, strength, shock-absorbing property, and workability, and further has excellent electromagnetic wave shielding property, it is a coating of electromagnetic wave shielding property, or a packaging sheet or rug. It is also useful as a wallpaper sheet. Further, the electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet of the present invention can be used in combination with any of the intermediate products or finished products in the above applications.

Claims (29)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 積層一体化された複数のアモルファス金
属薄膜からなる少なくとも1個の積層体と、この積層体
に積層され、かつ可撓性材料からなる少なくとも2個の
被覆層とを含み、 前記アモルファス金属薄膜は、互いに並列に配置された
複数枚のアモルファス金属薄膜リボンを、その長手側縁
部において互いに接着剤又は半田により接合して、所望
の幅を有する一体の薄膜に形成したものであり、 前記可撓性材料からなる被覆層の少なくとも1層が補強
用繊維布帛層であり、かつ他の少なくとも1層が可撓性
重合体樹脂層である、 ことを特徴とする電磁波シールド性アモルファス金属薄
膜積層シート。
1. At least one laminated body composed of a plurality of amorphous metal thin films laminated and integrated, and at least two coating layers laminated on the laminated body and made of a flexible material, The amorphous metal thin film is formed by joining a plurality of amorphous metal thin film ribbons arranged in parallel to each other at the longitudinal side edges thereof with an adhesive or solder to form an integrated thin film having a desired width. At least one of the coating layers made of the flexible material is a reinforcing fiber cloth layer, and at least one of the other coating layers is a flexible polymer resin layer. Thin film laminated sheet.
【請求項2】 前記積層された複数のアモルファス金属
薄膜が互に接着剤又は粘着剤により接着一体化されてい
る、請求項1に記載の電磁波シールド性アモルファス金
属薄膜積層シート。
2. The electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet according to claim 1, wherein the plurality of laminated amorphous metal thin films are bonded and integrated with each other with an adhesive or a pressure sensitive adhesive.
【請求項3】 前記接着されたアモルファス金属薄膜の
接着面上において、前記接着剤又は粘着剤が1本以上の
線状、又は1個以上の点状に分布している、請求項2に
記載の電磁波シールド性アモルファス金属薄膜積層シー
ト。
3. The adhesive or pressure-sensitive adhesive is distributed in one or more lines or in one or more dots on the bonding surface of the bonded amorphous metal thin film. Electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet.
【請求項4】 前記接着剤又は粘着剤の分布面積の合計
が、前記アモルファス金属薄膜の接着面の面積に対し
1.0〜90%の範囲内にある、請求項3に記載の電磁
波シールド性アモルファス金属薄膜積層シート。
4. The electromagnetic wave shielding property according to claim 3, wherein the total distribution area of the adhesive or pressure-sensitive adhesive is in the range of 1.0 to 90% with respect to the area of the adhesive surface of the amorphous metal thin film. Amorphous metal thin film laminated sheet.
【請求項5】 前記積層された複数のアモルファス金属
薄膜上の接着剤又は粘着剤の塗布域が互に重複しない位
置に形成されている、請求項3に記載の電磁波シールド
性アモルファス金属薄膜積層シート。
5. The electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet according to claim 3, wherein the application areas of the adhesive or the pressure sensitive adhesive on the plurality of laminated amorphous metal thin films are formed at positions that do not overlap each other. .
【請求項6】 前記アモルファス金属薄膜積層体中の、
少なくとも1個のアモルファス金属薄膜が、このアモル
ファス金属薄膜と、その少なくとも一面上に形成され、
かつ少なくとも1種の導電性金属からなるメッキ層とを
含むものである、請求項1に記載の電磁波シールド性ア
モルファス金属薄膜積層シート。
6. In the amorphous metal thin film laminate,
At least one amorphous metal thin film is formed on the amorphous metal thin film and at least one surface thereof;
The electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet according to claim 1, which further comprises a plating layer made of at least one conductive metal.
【請求項7】 前記アモルファス金属薄膜積層体が、少
なくとも1個のメッキ層付きアモルファス金属薄膜と、
少なくとも1個のメッキ層を有しないアモルファス金属
薄膜とを含む、請求項1に記載の電磁波シールド性アモ
ルファス金属薄膜積層シート。
7. The amorphous metal thin film laminate comprises at least one amorphous metal thin film with a plated layer,
The electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet according to claim 1, comprising an amorphous metal thin film having no at least one plating layer.
【請求項8】 前記導電性金属メッキ層が、銅、ニッケ
ル、コバルト、鉄、アルミニウム、金、銀、錫、亜鉛お
よび上記金属から選ばれた少なくとも1種を含む合金か
ら選ばれた少なくとも1種を含んでなる、請求項6に記
載の電磁波シールド性アモルファス金属薄膜積層シー
ト。
8. The conductive metal plating layer is at least one selected from copper, nickel, cobalt, iron, aluminum, gold, silver, tin, zinc, and an alloy containing at least one selected from the above metals. The electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet according to claim 6, which comprises:
【請求項9】 前記アモルファス金属薄膜が互に並列に
配置された複数枚のアモルファス金属薄膜リボンを含ん
でなる、請求項1に記載の電磁波シールド性アモルファ
ス金属薄膜積層シート。
9. The electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminate sheet according to claim 1, wherein the amorphous metal thin film comprises a plurality of amorphous metal thin film ribbons arranged in parallel with each other.
【請求項10】 前記アモルファス金属薄膜リボン用接
合剤が、導電性接着剤である請求項1に記載の電磁波シ
ールド性アモルファス金属薄膜積層シート。
10. The electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet according to claim 1, wherein the bonding agent for the amorphous metal thin film ribbon is a conductive adhesive.
【請求項11】 前記アモルファス金属薄膜が、Fe,
Co,Ni,Pd,Cu,NbおよびTiから選ばれた
少なくとも1員からなる主成分と、B,Si,C,C
o,Ni,Cr,Zr,Nb,Cu,Ti、およびMo
から選ばれた少なくとも1員からなり、但し、前記主成
分に含まれる金属を含まない添加成分とを含んでなる、
請求項1に記載の電磁波シールド性アモルファス金属薄
膜積層シート。
11. The amorphous metal thin film comprises Fe,
A main component consisting of at least one member selected from the group consisting of Co, Ni, Pd, Cu, Nb and Ti, and B, Si, C, C
o, Ni, Cr, Zr, Nb, Cu, Ti, and Mo
Consisting of at least one member selected from the group consisting of:
The laminated sheet of an amorphous metal thin film having an electromagnetic wave shielding property according to claim 1.
【請求項12】 前記アモルファス金属薄膜の各々が、
5〜100μmの厚さを有する、請求項1に記載の電磁
波シールド性アモルファス金属薄膜積層シート。
12. Each of the amorphous metal thin films comprises:
The electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet according to claim 1, having a thickness of 5 to 100 μm.
【請求項13】 前記アモルファス金属薄膜積層体が5
0〜5,000μmの合計厚さを有する、請求項1に記
載の電磁波シールド性アモルファス金属薄膜積層シー
ト。
13. The amorphous metal thin film laminate has 5 layers.
The electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet according to claim 1, having a total thickness of 0 to 5,000 μm.
【請求項14】 前記導電性金属メッキ層が、0.1μ
m以上の厚さを有する、請求項6に記載の電磁波シール
ド性アモルファス金属薄膜積層シート。
14. The conductive metal plating layer has a thickness of 0.1 μm.
The electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet according to claim 6, having a thickness of m or more.
【請求項15】 前記可撓性材料からなる被覆層が、複
数の前記アモルファス金属薄膜積層体の間に形成されて
いる、請求項1に記載の電磁波シールド性アモルファス
金属薄膜積層シート。
15. The electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet according to claim 1, wherein the coating layer made of the flexible material is formed between a plurality of the amorphous metal thin film laminated bodies.
【請求項16】 前記可撓性材料からなる被覆層が前記
積層体の少なくとも1つの最外表面に配置されている、
請求項1に記載の電磁波シールド性アモルファス金属薄
膜積層シート。
16. A coating layer of the flexible material is disposed on at least one outermost surface of the laminate,
The laminated sheet of an amorphous metal thin film having an electromagnetic wave shielding property according to claim 1.
【請求項17】 前記可撓性材料からなる被覆層が導電
性又は半導電性である、請求項1に記載の電磁波シール
ド性アモルファス金属薄膜積層シート。
17. The electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminate sheet according to claim 1, wherein the coating layer made of the flexible material is conductive or semiconductive.
【請求項18】 前記可撓性重合体樹脂層が、50μm
以上の厚さを有する、請求項1に記載の電磁波シールド
性アモルファス金属薄膜積層シート。
18. The flexible polymer resin layer has a thickness of 50 μm.
The electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet according to claim 1, having the above thickness.
【請求項19】 前記補強用繊維布帛層が、ガラス繊
維、カーボン繊維、金属繊維、ポリエステル繊維、脂肪
族ポリアミド繊維、芳香族ポリアミド繊維、ポリ塩化ビ
ニル繊維、ポリアクリル繊維およびポリオレフィン繊維
から選ばれた少なくとも1種の繊維を含んでなる、請求
項1に記載の電磁波シールド性アモルファス金属薄膜積
層シート。
19. The reinforcing fiber cloth layer is selected from glass fiber, carbon fiber, metal fiber, polyester fiber, aliphatic polyamide fiber, aromatic polyamide fiber, polyvinyl chloride fiber, polyacrylic fiber and polyolefin fiber. The electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet according to claim 1, comprising at least one kind of fiber.
【請求項20】 前記補強用繊維布帛層が、前記アモル
ファス金属薄膜の少なくとも1枚よりも高い引張り強さ
を有する、請求項1に記載の電磁波シールド性アモルフ
ァス金属薄膜積層シート。
20. The electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet according to claim 1, wherein the reinforcing fiber cloth layer has a tensile strength higher than that of at least one of the amorphous metal thin films.
【請求項21】 前記補強用繊維布帛層が、前記積層体
中のアモルファス金属薄膜の少なくとも1枚の引張り強
さの最低値よりも高い引張り強さを有する、請求項1に
記載の電磁波シールド性アモルファス金属薄膜積層シー
ト。
21. The electromagnetic wave shielding property according to claim 1, wherein the reinforcing fiber cloth layer has a tensile strength higher than a minimum tensile strength of at least one of the amorphous metal thin films in the laminate. Amorphous metal thin film laminated sheet.
【請求項22】 前記補強用繊維布帛層が、5%以下の
破断伸度を有する、請求項1に記載の電磁波シールド性
アモルファス金属薄膜積層シート。
22. The electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminate sheet according to claim 1, wherein the reinforcing fiber cloth layer has a breaking elongation of 5% or less.
【請求項23】 前記補強用繊維布帛層が、130kg/
mm2 以上の引張り強さと、5%以下の切断伸度とを有す
る繊維を含んでなる、請求項1に記載の電磁波シールド
性アモルファス金属薄膜積層シート。
23. The reinforcing fiber fabric layer comprises 130 kg /
The electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminate sheet according to claim 1, comprising a fiber having a tensile strength of mm 2 or more and a cutting elongation of 5% or less.
【請求項24】 前記アモルファス金属薄膜積層体が、
その1面において、130kg/mm2 以上の引張り強さと
5%以下の切断伸度とを有する高強度繊維を含んでなる
補強用繊維布帛層により積層され、かつ、その他の面に
おいて、130kg/mm2 より低い引張り強さと、5%よ
り高い切断伸度を有する高伸度繊維を含んでなる補強用
繊維布帛層により積層されている、請求項1に記載の電
磁波シールド性アモルファス金属薄膜積層シート。
24. The amorphous metal thin film laminate is
One surface thereof is laminated with a reinforcing fiber cloth layer containing high-strength fibers having a tensile strength of 130 kg / mm 2 or more and a cutting elongation of 5% or less, and 130 kg / mm on the other surface. The electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet according to claim 1, which is laminated by a reinforcing fiber cloth layer containing a high elongation fiber having a tensile strength lower than 2 and a breaking elongation higher than 5%.
【請求項25】 前記補強用繊維布帛層が130kg/mm
2 以上の引張り強さと5%以下の切断伸度とを有する高
強度繊維と、130kg/mm2 より低い引張り強さと、5
%より高い切断伸度とを有する高伸度繊維との混用物を
含んでなる、請求項1に記載の電磁波シールド性アモル
ファス金属薄膜積層シート。
25. The reinforcing fiber cloth layer is 130 kg / mm.
High-strength fibers having a tensile strength of 2 or more and a breaking elongation of 5% or less, a tensile strength of less than 130 kg / mm 2 , and 5
The electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet according to claim 1, comprising a mixture with a high elongation fiber having a cutting elongation of more than%.
【請求項26】 前記補強用繊維布帛層が、130kg/
mm2 以上の引張り強さと、5%以下の切断伸度とを有す
る高強度繊維を含む少なくとも1個の繊維層と、130
kg/mm2 より低い引張り強さと、5%より高い切断伸度
とを有する高伸度繊維を含む少なくとも1個の繊維層と
を含む、請求項1に記載の電磁波シールド性アモルファ
ス金属薄膜積層シート。
26. The reinforcing fiber fabric layer comprises 130 kg /
at least one fiber layer comprising high-strength fibers having a tensile strength of mm 2 or more and a cut elongation of 5% or less;
An electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminate sheet according to claim 1, comprising at least one fiber layer containing high elongation fibers having a tensile strength lower than kg / mm 2 and a breaking elongation higher than 5%. .
【請求項27】 前記アモルファス金属薄膜積層体と、
その少なくとも一面上に積層された補強用繊維布帛層と
によって、基層が形成されており、この基層の少なくと
も一面上に前記可撓性重合体樹脂層が配置されている、
請求項1に記載の電磁波シールド性アモルファス金属薄
膜積層シート。
27. The amorphous metal thin film laminate,
With a reinforcing fiber cloth layer laminated on at least one surface thereof, a base layer is formed, and the flexible polymer resin layer is disposed on at least one surface of the base layer,
The laminated sheet of an amorphous metal thin film having an electromagnetic wave shielding property according to claim 1.
【請求項28】 前記可撓性重合体樹脂層の少なくとも
1層が多孔質である、請求項1に記載の電磁波シールド
性アモルファス金属薄膜積層シート。
28. The electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminate sheet according to claim 1, wherein at least one layer of the flexible polymer resin layer is porous.
【請求項29】 前記補強用繊維布帛層が、積層シート
の少なくとも1つの最外表面層を形成している、請求項
1に記載の電磁波シールド性アモルファス金属薄膜積層
シート。
29. The electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminate sheet according to claim 1, wherein the reinforcing fiber fabric layer forms at least one outermost surface layer of the laminate sheet.
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