JPH09187746A - Pellicle - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a pellicle which can hold an fluorine-containing amorphous polymer of poor adhesion with adequate adhesion as a pellicle membrane. SOLUTION: In a pellicle which is prepared by a method in which an adhesive layer 3 is formed on the upper end surface of a pellicle frame 1, and a pellicle membrane 4 is stuck on the layer 3 and spread on the frame 1, an inside tapered surface 5 is formed in the upper end inner circumferential part of the frame 1, and a state in which the layer 3 goes beyond the upper end surface of the frame 1 and enters the inside tapered surface 5 is formed. In this way, the adhesive strength between the pellicle membrane and the adhesive layer is large, sufficient adhesion for the treatment of air blow etc., is indicated, and especially appropriate when the pellicle membrane is made an amorphous polymer containing fluorine.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、リソグラフィー用
ペリクル、特にはＬＳＩ、超ＬＳＩ等の半導体装置ある
いは液晶表示板を製造する際のゴミよけとして使用され
る、実質的に５００ｎｍ以下の光を用いる露光方式にお
ける帯電防止されたリソグラフィー用ペリクルに関す
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a pellicle for lithography, in particular, a light having a wavelength of 500 nm or less, which is used as a dust shield when manufacturing a semiconductor device such as an LSI or VLSI or a liquid crystal display panel. The present invention relates to an antistatic pellicle for lithography in an exposure method used.

【０００２】[0002]

【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】ＬＳ
Ｉ、超ＬＳＩ等の半導体装置あるいは液晶表示板などの
製造においては、半導体ウェハーあるいは液晶用原板に
光を照射してパターニングを作成するのであるが、この
場合に用いるフォトマスクやレチクル等の露光原板にゴ
ミが付着していると、このゴミが光を吸収したり曲げて
しまうために、転写したパターンが変形したり、エッジ
ががさついたものになるほか、下地が黒く汚れたりし
て、寸法、品質、外観等が損なわれ、半導体装置や液晶
表示板などの性能や製品歩留りの低下を来すという問題
があった。2. Description of the Related Art LS
In the production of semiconductor devices such as I and VLSIs or liquid crystal display plates, patterning is performed by irradiating a semiconductor wafer or liquid crystal original plate with light. In this case, an exposure original plate such as a photomask or reticle is used. If there is dust on the surface, the dust will absorb or bend the light, resulting in deformed transferred patterns, sharp edges, and black background stains. There is a problem in that the quality, appearance, etc. are impaired, and the performance of semiconductor devices, liquid crystal display panels, etc., and the product yield decrease.

【０００３】このため、これらの作業は、通常クリーン
ルームで行われているが、このクリーンルーム内でも露
光原板を常に清浄に保つことは難しいので、これには露
光原板の表面にゴミよけのための露光用の光をよく透過
させるペリクルを貼着する方法がとられている。For this reason, these operations are usually carried out in a clean room, but it is difficult to always keep the exposure original plate clean even in this clean room. A method of sticking a pellicle that transmits the light for exposure well is used.

【０００４】ところで、近年、超ＬＳＩの高集積化に伴
い回路の線幅が微細化し、リソグラフィー工程において
は、使用される露光用光源が、ｇ線からｉ線、更にＫｒ
Ｆエキシマレーザーへと短波長化、高エネルギー化へと
進んでいる。これに伴い、フォトマスク上の防塵カバー
として使用されるペリクルについても、短波長でも高い
光線透過率と優れた耐光性を有するペリクルが求められ
ており、このような使用条件で優れた特性を有する非晶
質含フッ素ポリマーをペリクル膜としたペリクルが使用
されている。By the way, in recent years, with the high integration of VLSI, the line width of circuits has become finer, and in the lithography process, the exposure light source used is g line to i line, and further Kr.
The wavelength of F excimer laser has been shortened and the energy has been increased. Along with this, as for a pellicle used as a dust-proof cover on a photomask, a pellicle having high light transmittance even at a short wavelength and excellent light resistance is required, and has excellent characteristics under such usage conditions. A pellicle having an amorphous fluoropolymer as a pellicle film is used.

【０００５】しかしながら、このような非晶質含フッ素
ポリマーは、従来ｇ線やｉ線用のペリクル膜の接着剤と
して用いられてきたエポキシ系接着剤やアクリル系接着
剤では接着力が劣るため、従来の接着方式では十分な接
着強度が得られず、ペリクル膜上に付着した異物を除去
するためにエアブローを行った場合、ペリクル膜が接着
面から剥離して、レチクルを汚損する等の重大なトラブ
ルを起こすことがあり、また完全に剥離しないまでも、
ペリクル膜が接着面と部分剥離し、その隙間から異物が
侵入するおそれがあった。However, such an amorphous fluorine-containing polymer is inferior in adhesive strength to an epoxy adhesive or an acrylic adhesive which has been conventionally used as an adhesive for a pellicle film for g-line or i-line. Sufficient bonding strength cannot be obtained with the conventional bonding method, and when air blow is performed to remove foreign matter adhering to the pellicle film, the pellicle film peels off from the bonding surface, which causes serious damage to the reticle. It may cause trouble, or even if it is not completely peeled off,
The pellicle film may be partially separated from the adhesive surface, and foreign matter may enter through the gap.

【０００６】このような非晶質含フッ素ポリマーを接着
する方法としては、（１）非晶質含フッ素ポリマーの表
面をＯ₂，ＣＦ₄／Ｏ₂といったプラズマドライエッチン
グによって粗面化し、接着性を付与する方法、（２）低
圧水銀灯やＫｒＦ，ＡｒＦエキシマレーザーなどの短波
長の紫外線によって表面を改質して接着する方法、
（３）熱的に融着接合する方法などがある。しかしなが
ら、これらの方法は、いずれも装置が複雑で、処理に時
間がかかるばかりでなく、場合によっては処理中の発塵
によって非晶質含フッ素ポリマーの表面が異物によって
汚染されてしまうなどの問題がある。As a method for adhering such an amorphous fluoropolymer, (1) the surface of the amorphous fluoropolymer is roughened by plasma dry etching such as O ₂ , CF ₄ / O ₂ , and the adhesiveness is improved. And (2) a method of adhering after modifying the surface with ultraviolet rays of short wavelength such as low pressure mercury lamp or KrF, ArF excimer laser,
(3) There are methods such as thermal fusion bonding. However, all of these methods are complicated in equipment, and not only take a long time to process, but in some cases, the surface of the amorphous fluoropolymer is contaminated by foreign matter due to dust during the process. There is.

【０００７】本発明は上記事情に鑑みなされたもので、
特に、接着性の低い非晶質含フッ素ポリマーをペリクル
膜として十分な接着性をもって保持し得るペリクルを提
供することを目的とする。[0007] The present invention has been made in view of the above circumstances,
In particular, it is an object of the present invention to provide a pellicle capable of holding an amorphous fluoropolymer having low adhesiveness as a pellicle film with sufficient adhesiveness.

【０００８】[0008]

【課題を解決するための手段及び発明の実施の形態】本
発明は、上記目的を達成するため、ペリクルフレームの
上端面に接着剤層を形成すると共に、この接着剤層上に
ペリクル膜を貼着して上記ペリクルフレームに張設して
なるペリクルにおいて、上記ペリクルフレームの上端内
周縁部に内側テーパ面を形成すると共に、上記接着剤層
を上記ペリクルフレームの上端面を越えて上記内側テー
パ面に進出させた状態に形成したことを特徴とするペリ
クルを提供する。この場合、ペリクル膜は、環状パーフ
ルオロエーテル基を有する含フッ素モノマーを単独又は
テトラフルオロエチレンを重合して得られる非晶性重合
体の透明膜にて形成することが好適である。Means for Solving the Problems and Embodiments of the Invention In order to achieve the above object, the present invention forms an adhesive layer on the upper end surface of a pellicle frame and attaches a pellicle film on the adhesive layer. In the pellicle that is attached to and stretched over the pellicle frame, an inner taper surface is formed on the inner peripheral edge of the upper end of the pellicle frame, and the adhesive layer is formed on the inner taper surface beyond the upper end surface of the pellicle frame. Provided is a pellicle which is formed in a state of being advanced to. In this case, the pellicle film is preferably formed of a transparent film of an amorphous polymer obtained by polymerizing a fluoromonomer having a cyclic perfluoroether group alone or by polymerizing tetrafluoroethylene.

【０００９】本発明によれば、上記のように接着剤層を
ペリクルフレームの内側テーパ面に進出させたことによ
り、接着面積も増大し、フッ素樹脂のような通常の接着
剤に対して接着力の小さい材質のペリクル膜を用いて
も、従来のペリクルフレーム上端面のみに接着剤層を形
成する方式と比べ、ペリクルフレームとの間に高い接着
強度を得ることができ、除塵のためにエアブローを行っ
てもペリクル膜がペリクルフレームから脱離し難いもの
である。またこの場合、接着剤としてそれ自体の接着強
度が比較的低いものでも使用することができるので、耐
光性には優れているが、接着力の劣る接着剤を有効に用
いることができ、ペリクルの性能を向上させることがで
きる。According to the present invention, by advancing the adhesive layer to the inner tapered surface of the pellicle frame as described above, the adhesive area is also increased, and the adhesive force with respect to an ordinary adhesive such as fluororesin is increased. Even if a pellicle film made of a small material is used, a higher adhesive strength can be obtained between the pellicle frame and the pellicle frame than in the conventional method in which the adhesive layer is formed only on the upper surface of the pellicle frame, and air blowing is performed to remove dust. Even if it goes, the pellicle film is difficult to detach from the pellicle frame. Further, in this case, even an adhesive having a relatively low adhesive strength can be used as the adhesive, so that an adhesive having excellent light resistance, but poor adhesive strength can be effectively used, and pellicle The performance can be improved.

【００１０】以下、本発明につき更に詳しく説明する
と、本発明のペリクルは、図１に示したように、ペリク
ルフレーム１の上端面２に接着剤層３を形成し、この接
着剤層３上にペリクル膜４を貼着してこのペリクル膜４
を上記ペリクルフレーム１に張設するに際し、上記ペリ
クルフレーム１の上端内周縁部に内側テーパ面（糸面）
５を形成すると共に、上記接着剤層３を上端面２を越え
て内側テーパ面５に進出させ、上記ペリクル膜４をこの
内側テーパ面５に進出した“はみ出し”接着剤層３ａを
含む接着剤層３に貼着したものである。なお、図１の例
にあっては、ペリクルフレーム１の上端外周縁部にも外
側テーパ面（糸面）６が形成されているが、接着剤層３
はこの外側テーパ面６には進出していない。The present invention will be described in more detail below. In the pellicle of the present invention, as shown in FIG. 1, an adhesive layer 3 is formed on an upper end surface 2 of a pellicle frame 1, and the adhesive layer 3 is formed on the adhesive layer 3. The pellicle film 4 is attached and the pellicle film 4 is attached.
When the pellicle frame 1 is stretched, an inner taper surface (thread surface) is formed on the inner peripheral edge of the upper end of the pellicle frame 1.
5, the adhesive layer 3 is advanced to the inner taper surface 5 beyond the upper end surface 2, and the pellicle film 4 is advanced to the inner taper surface 5. It is attached to layer 3. In the example of FIG. 1, the outer tapered surface (thread surface) 6 is also formed on the upper peripheral edge of the pellicle frame 1, but the adhesive layer 3
Has not advanced to this outer tapered surface 6.

【００１１】ここで、本発明に使用するペリクル膜とし
ては、従来より使用されている種々の材質のものを用い
ることができるが、本発明では、特に通常の接着剤に対
して十分な接着力を示さない非晶質含フッ素ポリマーな
どを効果的に用いることができる。このような非晶質含
フッ素ポリマーの例としては、サイトップ（旭硝子
（株）製商品名）、テフロンＡＦ（デュポン（株）製商
品名）などが挙げられる。Here, as the pellicle film used in the present invention, various materials conventionally used can be used, but in the present invention, a sufficient adhesive force is obtained especially for ordinary adhesives. It is possible to effectively use an amorphous fluorine-containing polymer that does not exhibit Examples of such an amorphous fluorine-containing polymer include Cytop (trade name, manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.), Teflon AF (trade name, manufactured by DuPont).

【００１２】また、上記ペリクル膜の接着剤としては、
従来より使用されているものを挙げることができ、例え
ば、アクリル樹脂接着剤、エポキシ樹脂接着剤、シリコ
ーン樹脂接着剤、含フッ素シリコーン接着剤等を好適に
使用することができる。As the adhesive for the pellicle film,
Examples thereof include those conventionally used, and for example, acrylic resin adhesives, epoxy resin adhesives, silicone resin adhesives, fluorine-containing silicone adhesives and the like can be preferably used.

【００１３】ペリクルフレームとしては、材質はＳＵ
Ｓ、アルミニウム合金等の金属、ポリアセタール、ポリ
カーボネート、ＰＭＭＡ、アクリル樹脂等の樹脂、青板
ガラス等の材質のものを使用することができる。The material for the pellicle frame is SU
Materials such as S, metals such as aluminum alloys, resins such as polyacetal, polycarbonate, PMMA, acrylic resins, and soda lime glass can be used.

【００１４】このペリクルフレームの形状は、公知の形
状とすることができるが、上述したように少なくともそ
の上端内周縁部にテーパ面（糸面）５を有していること
が必要である。この場合、テーパ面の幅Ｗ（図２参照）
は必ずしも制限されないが、０．０５〜０．５ｍｍ程
度、特に０．１〜０．３５ｍｍがよく、この幅Ｗが狭す
ぎると接着強度向上の点で劣り、また幅Ｗが広すぎる
と、膜面異物測定装置等を使用してペリクル膜面の検査
を行う際に、テーパ面部分で光の散乱を起こして測定に
悪影響を与えるおそれがある。また、テーパ面の傾斜角
度θは３０〜６０°、特に３３〜５５°であることが好
ましい。傾斜角度θが小さすぎると、接着剤がフレーム
テーパ面より更に内側へ入り込み、ペリクル膜を汚した
り、露光用の光を遮ったりするおそれがある。傾斜角度
θが大きすぎると、接着剤がペリクルフレーム内側面へ
たれ落ちる場合があり、また接着強度の向上が得られな
いおそれがある。The shape of the pellicle frame may be a known shape, but as described above, it is necessary that at least the inner peripheral edge of the upper end thereof has the tapered surface (thread surface) 5. In this case, the width W of the tapered surface (see FIG. 2)
Is not necessarily limited, but is preferably about 0.05 to 0.5 mm, particularly 0.1 to 0.35 mm. If this width W is too narrow, the adhesive strength will be poor, and if the width W is too wide, the film When the surface of the pellicle film is inspected using a surface foreign matter measuring device or the like, there is a possibility that light will be scattered at the tapered surface portion and adversely affect the measurement. Further, the inclination angle θ of the tapered surface is preferably 30 to 60 °, particularly 33 to 55 °. If the inclination angle θ is too small, the adhesive may enter further inside the frame taper surface and may contaminate the pellicle film or block exposure light. If the inclination angle θ is too large, the adhesive may drip down to the inner side surface of the pellicle frame, and the adhesive strength may not be improved.

【００１５】上記接着剤を用いてペリクルフレームにペ
リクル膜を張設する方法は公知の方法を採用し得るが、
この場合、本発明においては、上述したように接着剤層
を内側テーパ面に進出させるように形成する。具体的に
は、接着剤を上端面全面及び内側テーパ面上にその幅方
向ほぼ中央部に至るまではみ出すように塗布する。この
際、接着剤層が外側テーパ面にはみ出すと、ペリクル膜
の切断を行う場合に切断の障害になるおそれがあるの
で、外側テーパ面にはみ出さないように接着剤を塗布す
る。接着剤の塗布方法としては、刷毛塗り、スプレー、
自動ディスペンサーによる方法などが採用されるが、特
に内側テーパ面に精度よくはみ出させるために、塗布方
法としては、ＸＹステージを使用した自動ディスペンサ
ーを用いることが好ましい。なお、別の方法として、ペ
リクルフレーム上端面に接着剤を適量塗布し、ペリクル
膜を張り合せる際に、適当な荷重により接着剤を加圧
し、接着剤層を内側テーパ面にその幅方向ほぼ中間部ま
ではみ出させて、ペリクル膜を貼着する方法も採用し得
る。A known method can be adopted as a method of stretching the pellicle film on the pellicle frame using the above-mentioned adhesive.
In this case, in the present invention, the adhesive layer is formed so as to advance to the inner tapered surface as described above. Specifically, the adhesive is applied on the entire upper end surface and the inner tapered surface so as to protrude to almost the center in the width direction. At this time, if the adhesive layer sticks out to the outer tapered surface, it may hinder the cutting when the pellicle film is cut. Therefore, the adhesive is applied so as not to stick to the outer tapered surface. The method of applying the adhesive includes brush coating, spraying,
Although a method using an automatic dispenser is adopted, it is preferable to use an automatic dispenser using an XY stage as a coating method in order to cause the inner tapered surface to protrude with high accuracy. As another method, an appropriate amount of adhesive is applied to the upper surface of the pellicle frame, and when the pellicle film is attached, the adhesive is pressed with an appropriate load, and the adhesive layer is applied to the inner taper surface approximately in the middle in the width direction. A method of sticking out a pellicle film by sticking out a pellicle film can also be adopted.

【００１６】またこの場合、塗布方法を工夫したり、あ
るいは接着剤層を加圧して、図１に示したように、接着
剤層の内周縁部上側を内方に突出させた状態でペリクル
膜を貼着することが好ましく、これにより例えばエアブ
ローによってペリクル膜内側からエアが当てられ、ペリ
クル膜をフレームから引き剥がすような力を衝いたとし
ても、ペリクル膜の変形に伴ってこの接着剤層の内方突
出部分も同時に変形し、ペリクル膜を接着剤面より引き
剥がす力より十分大きな接着力を生じ、ペリクル膜がペ
リクルフレームより剥がれることを確実に防止すること
ができる。Further, in this case, the pellicle film is formed by devising the coating method or by pressing the adhesive layer so that the upper side of the inner peripheral edge of the adhesive layer is projected inward as shown in FIG. It is preferable that the adhesive layer is adhered to the adhesive layer, so that air is applied from the inside of the pellicle film by, for example, an air blow, and even if a force such as peeling the pellicle film from the frame is applied, the adhesive layer of the pellicle film is deformed as the pellicle film is deformed. The inward protruding portion is also deformed at the same time, and an adhesive force sufficiently larger than the force for peeling the pellicle film from the adhesive surface is generated, and the pellicle film can be reliably prevented from being peeled off from the pellicle frame.

【００１７】[0017]

【実施例】以下、実施例と比較例を示し、本発明を具体
的に説明するが、本発明は下記の実施例に制限されるも
のではない。EXAMPLES The present invention will be described below in detail with reference to examples and comparative examples, but the present invention is not limited to the following examples.

【００１８】〔実施例１〕テフロンＡＦ１６００（米国
デュポン（株）製商品名）をフッ素系溶剤フロリナート
ＦＣ−７５（米国スリーエム社製商品名）に溶解させ
て、濃度８％の溶液を調製した。次に、この溶液を直径
２５０ｍｍ、厚さ６００μｍの鏡面研磨したシリコン基
板面にスピンコーターを用いて塗布し、膜の厚みが０．
８μｍの透明膜を形成させた。Example 1 Teflon AF1600 (trade name, manufactured by DuPont, USA) was dissolved in a fluorinated solvent, Fluorinert FC-75 (trade name, manufactured by 3M, USA) to prepare a solution having a concentration of 8%. Next, this solution was applied to a mirror-polished silicon substrate surface having a diameter of 250 mm and a thickness of 600 μm using a spin coater, and the film thickness was adjusted to 0.
An 8 μm transparent film was formed.

【００１９】この膜上に外寸２００ｍｍ×２００ｍｍ×
幅５ｍｍ、厚さ５ｍｍの枠をエポキシ系接着剤アラルダ
イトラピッド（昭和高分子（株）製商品名）を用いて接
着した。接着剤の塗布にはＹＸＺステージを使用した自
動ディスペンサーを使用し、接着剤塗布上端面の内側糸
面部分の半分に接着剤をはみ出させて塗布し、接着した
後、このものを水中で剥離した。External dimensions of 200 mm x 200 mm x on this film
A frame having a width of 5 mm and a thickness of 5 mm was bonded using an epoxy adhesive Araldite Rapid (trade name, manufactured by Showa High Polymer Co., Ltd.). An automatic dispenser using a YXZ stage was used to apply the adhesive, and the adhesive was applied to the half of the inner thread surface portion of the upper end surface of the adhesive application by applying the adhesive, and after adhesion, this was peeled in water. .

【００２０】次に、フレーム外寸１００ｍｍ×１００ｍ
ｍ×幅５ｍｍ、フレーム厚さ４ｍｍのアルミニウム合金
製フレームをエポキシ系接着剤アラルダイトラピッド
（昭和高分子（株）製商品名）を用いて成膜したテフロ
ンＡＦ１６００の膜表面に接着した。接着剤の塗布には
ＹＸＺステージを使用した自動ディスペンサーを使用
し、接着剤塗布上端面の内側テーパ面（幅０．２ｍｍ、
傾斜角４５°）部分の半分に接着剤をはみ出させて塗布
し、接着した。塗布した接着剤の断面形状は図１と同様
であった。二つのフレームは、ペリクルフレームの接着
面を上向きにして固定用の治具に取り付けて相対的に位
置がずれないように固定した。Next, the outer dimensions of the frame are 100 mm × 100 m.
An aluminum alloy frame having a size of m × width 5 mm and a frame thickness 4 mm was adhered to the film surface of Teflon AF1600 formed by using an epoxy adhesive Araldite Rapid (trade name, manufactured by Showa High Polymer Co., Ltd.). An automatic dispenser using a YXZ stage was used to apply the adhesive, and the inner taper surface (width 0.2 mm,
The adhesive was made to stick out and applied to half of the (inclination angle of 45 °) portion, and adhered. The cross-sectional shape of the applied adhesive was the same as in FIG. The two frames were attached to a jig for fixing with the adhesive surface of the pellicle frame facing upward, and fixed so that their positions would not be displaced relative to each other.

【００２１】また、別の膜切断用の器具として、スカラ
ーロボットにステンレス製カッター（厚さ０．２５ｍ
ｍ）を取り付けた。前記ペリクルフレームの接着剤部分
の周辺部に沿ってカッターを移動しながら、ペリクルフ
レーム外側の不要膜部分を切断除去した。上記と同様に
して２０個のサンプルを作製した。As another membrane cutting instrument, a scalar robot has a stainless steel cutter (thickness: 0.25 m).
m) was attached. The unnecessary film portion outside the pellicle frame was cut and removed while moving the cutter along the peripheral portion of the adhesive portion of the pellicle frame. Twenty samples were prepared in the same manner as above.

【００２２】完成したペリクルについてペリクル膜の接
着強度を測定した。測定にはオートグラフ（島津製作所
（株）製）を使用した。ペリクル膜をフレーム部分を残
して５ｃｍ幅に切断し、膜側を上部チャッキング部に取
り付け、フレームを下部チャッキング部に取り付けた。
これを毎分１００ｍｍの速度で引っ張り、サンプル２０
個について接着剤の剥離強度を測定したところ、平均３
０ｇ／ｃｍの剥離強度が得られた。The adhesive strength of the pellicle film was measured on the completed pellicle. An autograph (manufactured by Shimadzu Corporation) was used for the measurement. The pellicle membrane was cut to a width of 5 cm, leaving the frame portion, the membrane side was attached to the upper chucking portion, and the frame was attached to the lower chucking portion.
This was pulled at a speed of 100 mm / min, and sample 20
When the peel strength of the adhesive was measured for each piece, the average was 3
A peel strength of 0 g / cm was obtained.

【００２３】〔比較例１〕接着剤の塗布を、フレームの
内側テーパ面にはみ出さず、上端面のみに塗布した以外
は、実施例１と同様に操作し、図３に示すような状態で
ペリクル膜を接着した。Comparative Example 1 The same operation as in Example 1 was performed except that the adhesive was applied only to the upper end surface of the frame, not to the inner tapered surface of the frame. The pellicle membrane was adhered.

【００２４】完成した２０個のペリクルサンプルについ
て、実施例１と同様にして接着剤の剥離強度を測定した
ところ、平均０．５ｇ／ｃｍの剥離強度しか得られなか
った。When the peel strength of the adhesive was measured on the 20 completed pellicle samples in the same manner as in Example 1, only a peel strength of 0.5 g / cm on average was obtained.

【００２５】〔実施例２〕サイトップＣＴＸ８０９ＳＰ
２（旭硝子（株）製商品名）をフッ素系溶剤ＣＴ−ＳＯ
ＬＶ．１８０（旭硝子（株）製商品名）に溶解させて、
濃度３％の溶液を調製した。次に、この溶液を直径２５
０ｍｍ、厚さ６００μｍの鏡面研磨したシリコン基板面
にスピンコーターを用いて塗布し、膜の厚みが０．８μ
ｍの透明膜を形成させた。[Embodiment 2] CYTOP CTX809SP
2 (trade name of Asahi Glass Co., Ltd.) is a fluorine-based solvent CT-SO
LV. 180 (trade name of Asahi Glass Co., Ltd.)
A solution having a concentration of 3% was prepared. Then add this solution to a diameter of 25
It is applied to a mirror-polished silicon substrate surface of 0 mm and a thickness of 600 μm by using a spin coater, and the film thickness is 0.8 μm.
m transparent film was formed.

【００２６】この膜上に外寸２００ｍｍ×２００ｍｍ×
幅５ｍｍ、厚さ５ｍｍの枠をエポキシ系接着剤アラルダ
イトラピッド（昭和高分子（株）製商品名）を用いて接
着した。接着剤の塗布にはＹＸＺステージを使用した自
動ディスペンサーを使用し、接着剤塗布上端面の内側糸
面部分の半分に接着剤をはみ出させて塗布し、接着した
後、このものを水中で剥離した。External dimensions of 200 mm x 200 mm x on this film
A frame having a width of 5 mm and a thickness of 5 mm was bonded using an epoxy adhesive Araldite Rapid (trade name, manufactured by Showa High Polymer Co., Ltd.). An automatic dispenser using a YXZ stage was used for the application of the adhesive, and the adhesive was applied to the half of the inner thread surface portion of the upper end surface of the adhesive application by applying the adhesive, and after the adhesion, this was peeled off in water. .

【００２７】次に、フレーム外寸１００ｍｍ×１００ｍ
ｍ×幅５ｍｍ、フレーム厚さ４ｍｍのアルミニウム合金
製フレームをエポキシ系接着剤アラルダイトラピッド
（昭和高分子（株）製商品名）を用いて成膜したサイト
ップの膜表面に接着した。接着剤の塗布にはＹＸＺステ
ージを使用した自動ディスペンサーを使用し、接着剤塗
布上端面の内側テーパ面（幅０．２ｍｍ、傾斜角４５
°）部分の半分に接着剤をはみ出させて塗布し、接着し
た。塗布した接着剤の断面形状は図１と同様であった。
二つのフレームは、ペリクルフレームの接着面を上向き
にして固定用の治具に取り付けて相対的に位置がずれな
いように固定した。Next, the outer dimensions of the frame are 100 mm × 100 m.
An aluminum alloy frame having a size of m × width 5 mm and a frame thickness 4 mm was adhered to the film surface of CYTOP formed by using an epoxy adhesive Araldite Rapid (trade name of Showa High Polymer Co., Ltd.). An automatic dispenser using a YXZ stage was used to apply the adhesive, and the inner taper surface (width 0.2 mm, inclination angle 45) of the adhesive application upper end surface was used.
The adhesive was squeezed out and applied to half of the (°) part, and adhered. The cross-sectional shape of the applied adhesive was the same as in FIG.
The two frames were attached to a jig for fixing with the adhesive surface of the pellicle frame facing upward, and fixed so that their positions would not be displaced relative to each other.

【００２８】また、別の膜切断用の器具として、スカラ
ーロボットにステンレス製カッター（厚さ０．２５ｍ
ｍ）を取り付けた。前記ペリクルフレームの接着剤部分
の周辺部に沿ってカッターを移動しながら、ペリクルフ
レーム外側の不要膜部分を切断除去した。上記と同様に
して２０個のサンプルを作製した。As another film cutting device, a scalar robot has a stainless steel cutter (thickness: 0.25 m).
m) was attached. The unnecessary film portion outside the pellicle frame was cut and removed while moving the cutter along the peripheral portion of the adhesive portion of the pellicle frame. Twenty samples were prepared in the same manner as above.

【００２９】完成したペリクルについてペリクル膜の接
着強度を測定した。測定にはオートグラフ（島津製作所
（株）製）を使用した。ペリクル膜をフレーム部分を残
して５ｃｍ幅に切断し、膜側を上部チャッキング部に取
り付け、フレームを下部チャッキング部に取り付けた。
これを毎分１００ｍｍの速度で引っ張り、サンプル２０
個について接着剤の剥離強度を測定したところ、平均３
０ｇ／ｃｍの剥離強度が得られた。The adhesive strength of the pellicle film was measured on the completed pellicle. An autograph (manufactured by Shimadzu Corporation) was used for the measurement. The pellicle membrane was cut to a width of 5 cm, leaving the frame portion, the membrane side was attached to the upper chucking portion, and the frame was attached to the lower chucking portion.
This was pulled at a speed of 100 mm / min, and sample 20
When the peel strength of the adhesive was measured for each piece, the average was 3
A peel strength of 0 g / cm was obtained.

【００３０】〔比較例２〕接着剤の塗布を、フレームの
内側テーパ面にはみ出さず、上端面のみに塗布した以外
は、実施例２と同様に操作し、図３に示すような状態で
ペリクル膜を接着した。[Comparative Example 2] The same operation as in Example 2 was performed except that the adhesive was applied only to the upper end surface of the frame, not to the inner taper surface of the frame. The pellicle membrane was adhered.

【００３１】完成した２０個のペリクルサンプルについ
て、実施例２と同様にして接着剤の剥離強度を測定した
ところ、平均０．５ｇ／ｃｍの剥離強度しか得られなか
った。The peel strength of the adhesive was measured on the 20 completed pellicle samples in the same manner as in Example 2. As a result, only a peel strength of 0.5 g / cm was obtained on average.

【００３２】[0032]

【発明の効果】本発明のペリクルによれば、ペリクル膜
と接着剤層との接着強度が大きく、エアブロー等の処理
に対する十分な接着性を示し、特にペリクル膜を非晶質
含フッ素ポリマーとした際に好適である。EFFECTS OF THE INVENTION According to the pellicle of the present invention, the pellicle film and the adhesive layer have a high adhesive strength and exhibit sufficient adhesiveness to treatments such as air blow. Especially, the pellicle film is made of an amorphous fluoropolymer. It is suitable for this.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】本発明の一実施例にかかるペリクルを示す部分
拡大断面図である。FIG. 1 is a partially enlarged sectional view showing a pellicle according to an embodiment of the present invention.

【図２】同例のペリクルの一部省略断面図である。FIG. 2 is a partially omitted cross-sectional view of a pellicle of the same example.

【図３】従来のペリクルにかかる部分拡大断面図であ
る。FIG. 3 is a partially enlarged sectional view of a conventional pellicle.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１ ペリクルフレーム ２ 上端面 ３ 接着剤層 ４ ペリクル膜 ５ 内側テーパ面 ６ 外側テーパ面 1 Pellicle Frame 2 Upper End Surface 3 Adhesive Layer 4 Pellicle Film 5 Inner Tapered Surface 6 Outer Tapered Surface

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 ペリクルフレーム（１）の上端面に接着
剤層（３）を形成すると共に、この接着剤層（３）上に
ペリクル膜（４）を貼着して上記ペリクルフレーム
（１）に張設してなるペリクルにおいて、上記ペリクル
フレーム（１）の上端内周縁部に内側テーパ面（５）を
形成すると共に、上記接着剤層（３）を上記ペリクルフ
レーム（１）の上端面を越えて上記内側テーパ面（５）
に進出させた状態に形成したことを特徴とするペリク
ル。1. An adhesive layer (3) is formed on an upper end surface of a pellicle frame (1), and a pellicle film (4) is adhered on the adhesive layer (3) to provide the pellicle frame (1). In the pellicle stretched over, the inner taper surface (5) is formed on the inner peripheral edge of the upper end of the pellicle frame (1), and the adhesive layer (3) is attached to the upper end surface of the pellicle frame (1). Beyond the above inner taper surface (5)
A pellicle characterized by being formed in a state of being advanced to. 【請求項２】 ペリクル膜が環状パーフルオロエーテル
基を有する含フッ素モノマーを単独又はテトラフルオロ
エチレンを重合して得られる非晶性重合体の透明膜から
なる請求項１記載のペリクル。2. The pellicle according to claim 1, wherein the pellicle film is a transparent film of an amorphous polymer obtained by polymerizing a fluorine-containing monomer having a cyclic perfluoroether group alone or by polymerizing tetrafluoroethylene.