JPH091805A - Ink jet recording head and manufacture thereof - Google Patents
Ink jet recording head and manufacture thereofInfo
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- JPH091805A JPH091805A JP15617295A JP15617295A JPH091805A JP H091805 A JPH091805 A JP H091805A JP 15617295 A JP15617295 A JP 15617295A JP 15617295 A JP15617295 A JP 15617295A JP H091805 A JPH091805 A JP H091805A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、インクジェット記録装
置に関し、また特に、インクジェット記録装置に用いる
インクジェット記録ヘッド及びインクジェット記録ヘッ
ドの製造方法に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ink jet recording apparatus, and more particularly to an ink jet recording head used in an ink jet recording apparatus and a method for manufacturing the ink jet recording head.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来既知のインクジェット記録ヘッドの
形成法の一例を、図７（ａ）〜（ｆ）を用いて説明す
る； １）電気エネルギーを与えて、インクを吐出させるた
め、不図示の記録素子が設けられた第１の基板１０１上
に、液路予定部位及び液室予定部位に第１の固定層１０
６をパターニング等により選択的に形成する（図７
（ａ））。2. Description of the Related Art An example of a conventionally known method for forming an ink jet recording head will be described with reference to FIGS. 7 (a) to 7 (f); 1) Since electric energy is applied to eject ink, it is not shown. On the first substrate 101 provided with the recording element, the first fixing layer 10 is provided at the planned liquid path portion and the planned liquid chamber portion.
6 is selectively formed by patterning or the like (see FIG. 7).
(A)).
【０００３】２）次いで、液室の容積を十分確保するた
め、第２の固体層１０７を、少なくとも液室予定部位に
印刷等の方法により形成する（図７（ｂ））。2) Next, in order to secure a sufficient volume of the liquid chamber, the second solid layer 107 is formed on at least the planned site of the liquid chamber by a method such as printing (FIG. 7B).
【０００４】３）次いで、後にインク供給口となるイン
ク流通穴２０４を有する第２の基板１０３を載置する
（図７（ｃ））。3) Next, a second substrate 103 having an ink circulation hole 204 which will be an ink supply port later is placed (FIG. 7C).
【０００５】４）次いで、図８にノズル形成材料注入の
模式的断面図を示すように、ノズル配列方向の不要部に
配置された樹脂供給口２０５より、前記第１の基板１０
１と第２の基板１０３との空隙に、後に硬化し液路の壁
となる樹脂１０２に注入し、硬化する（図７（ｄ））。4) Next, as shown in the schematic cross-sectional view of the injection of the nozzle forming material in FIG. 8, the first substrate 10 is supplied from the resin supply port 205 arranged at an unnecessary portion in the nozzle arrangement direction.
The resin 102, which will be cured later and will become the wall of the liquid path, is injected into the gap between the first and second substrates 103 and cured (FIG. 7D).
【０００６】５）次いで、吐出口２０１形成のため、吐
出口２０１のオリフィス部分を切断する。この切断箇所
は図７（ｄ）に２点鎖線で示した。5) Next, the orifice portion of the discharge port 201 is cut to form the discharge port 201. This cut point is shown by a two-dot chain line in FIG.
【０００７】６）次いで、第１の固定層１０６、及び第
２の固定層１０７を除去する（図７（ｅ））。6) Next, the first fixed layer 106 and the second fixed layer 107 are removed (FIG. 7E).
【０００８】最後に、第２の基板１０３上に、接着剤１
０９を塗布し、インク中のゴミ、気泡を混入させないた
めのフィルタ部材１０４、液室を封止する液室封止板１
０５を接着し、フィルタ一体型のインクジェット記録ヘ
ッドを形成する（図７（ｆ））。Finally, the adhesive 1 is formed on the second substrate 103.
No. 09, a filter member 104 for preventing dust and bubbles in the ink from mixing, and a liquid chamber sealing plate 1 for sealing the liquid chamber
No. 05 is adhered to form a filter-integrated inkjet recording head (FIG. 7F).
【０００９】[0009]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような従来方法にあっては、以下のような問題点があっ
た。すなわち、 １）フィルタ部材１０４固定のため、接着剤１０９を第
２の基板１０３上に塗布する工程が、ノズル形成工程と
別の工程になっているため、工程数が増加する。However, the conventional method as described above has the following problems. That is, 1) The number of steps is increased because the step of applying the adhesive 109 on the second substrate 103 for fixing the filter member 104 is a step different from the nozzle forming step.
【００１０】２）さらに第１および第２の固体層１０
６，１０７を除去した後にフィルタ１０４を接着するた
め、第１及び第２の固体層１０６，１０７を除去してか
らフィルタ１０４を接着する間にゴミが液室内に混入す
る原因となる、など。2) Further first and second solid layers 10
Since the filter 104 is adhered after removing 6, 107, dust may be mixed into the liquid chamber while the first and second solid layers 106, 107 are removed and then the filter 104 is adhered.
【００１１】本発明は、以上のような局面にかんがみて
なされたもので、フィルタ部材の固定をノズル形成と同
時に行うことができ、インクジェット記録ヘッドの製作
工程を削減し、さらにフィルタ部材の固定後に液路及び
液室用第１及び第２の固体層を除去することにより、液
室内へゴミの侵入を防止し得る手段の提供を目的として
いる。The present invention has been made in view of the above situation, and the fixing of the filter member can be performed at the same time when the nozzle is formed, the manufacturing process of the ink jet recording head can be reduced, and after the fixing of the filter member. It is an object of the present invention to provide means for preventing dust from entering the liquid chamber by removing the liquid channel and the first and second solid layers for the liquid chamber.
【００１２】[0012]
【課題を解決するための手段】このため、本発明は、つ
ぎのような各要旨によってそれぞれ前記目的を達成しよ
うとするものである。Therefore, the present invention is intended to achieve the above objects by the following respective points.
【００１３】（１）本発明の第１の要旨は、吐出エネル
ギー発生素子を形成し、この吐出エネルギー発生素子に
対応しインク液路となる部分が固体層でパターニングさ
れた第１の基板と、前記インク液路にインクを供給する
ための液室を有する第２の基板と、前記第１の基板と第
２の基板との間にノズル形成材料を有し、このノズル形
成材料の硬化後、前記固体層を除去してインク液路を形
成するインクジェット記録ヘッドの製造過程において、
前記第２の基板の液室内にインク中のゴミ，気泡を混入
させないためのフィルタ部材を配設し、該フィルタ部材
を前記第２の基板に前記ノズル形成材料で固定すること
により形成されたことを特徴とするインクジェット記録
ヘッド及びその製造方法に存する。(1) The first gist of the present invention is to form a discharge energy generating element, and a portion corresponding to the discharge energy generating element, which is an ink liquid path, is patterned with a solid layer, and a first substrate is provided. A second substrate having a liquid chamber for supplying ink to the ink liquid passage, and a nozzle forming material between the first substrate and the second substrate, and after curing the nozzle forming material, In the process of manufacturing the ink jet recording head for removing the solid layer to form an ink liquid path,
It is formed by disposing a filter member for preventing dust and bubbles in the ink from mixing in the liquid chamber of the second substrate, and fixing the filter member to the second substrate with the nozzle forming material. And an inkjet recording head and a method for manufacturing the same.
【００１４】（２）本発明の第２の要旨は、前記ノズル
形成と、前記フィルタ部材の前記第２の基板への固定と
を同時に行うことによって形成されたことを特徴とする
第１の要旨に記載のインクジェット記録ヘッド及びその
製造方法に存する。(2) A second aspect of the present invention is formed by simultaneously forming the nozzle and fixing the filter member to the second substrate. And the manufacturing method thereof.
【００１５】（３）本発明の第３の要旨は、前記フィル
タ部材はインク流通部に予めマスキング材を塗布し、前
記ノズル形成材料で前記第２基板に貼り付け硬化させた
後、前記固体層除去と同時にマスキング材の除去を行う
ことによって形成されたことを特徴とする第１の要旨な
いし第２の要旨に記載のインクジェット記録ヘッド及び
その製造方法に存する。(3) A third aspect of the present invention is to apply the masking material to the ink circulating portion of the filter member in advance, and apply the masking material to the second substrate with the nozzle forming material to cure it, and then to form the solid layer. The inkjet recording head and the manufacturing method therefor according to the first or second aspects are formed by removing the masking material at the same time as the removal.
【００１６】（４）本発明の第４の要旨は、前記マスキ
ング材が前記固体層であることを特徴とする第３の要旨
に記載のインクジェット記録ヘッド及びその製造方法に
存する。(4) The fourth gist of the present invention resides in the ink jet recording head and the manufacturing method thereof according to the third gist, wherein the masking material is the solid layer.
【００１７】[0017]
【作用】以上のような本発明構成により、この種のイン
クジェット記録ヘッドの製作工程の削減及び液室内への
ゴミの侵入防止を達成し得る。With the above-described structure of the present invention, it is possible to reduce the number of manufacturing steps for this kind of ink jet recording head and prevent dust from entering the liquid chamber.
【００１８】[0018]
【実施例】以下に本発明を、複数の実施例に基づいて詳
細に説明する： （実施例１）図１に、本発明の第１の実施例の模式的斜
視図を示し、本図を基に本実施例のインクジェット記録
ヘッドの製作工程を説明する。図２（ａ），（ｂ）は、
それぞれ図１のＡ−Ａ′及びＢ−Ｂ′断面図である。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described in detail below based on a plurality of embodiments: (Embodiment 1) FIG. 1 shows a schematic perspective view of a first embodiment of the present invention. The manufacturing process of the ink jet recording head of this embodiment will be described based on the above. FIGS. 2 (a) and 2 (b)
FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the lines AA ′ and BB ′ of FIG. 1, respectively.
【００１９】図１，２において、２０１は、インクを吐
出するため吐出口、２０３は、インクジェット記録ヘッ
ドにインクを供給するためのインク供給口、２０２は液
室である。また、１０１は、インクを吐出して被記録材
に記録を行うための不図示の記録素子が配設された第１
の基板であり、１０２は、ノズル形成材料から成る固体
層（図３で後述する）、１０３は第２の基板、１０４
は、インク中のゴミや気泡のノズル内への混入を防止す
るためのフィルタ部材、１０５は液室封止板である。In FIGS. 1 and 2, 201 is an ejection port for ejecting ink, 203 is an ink supply port for supplying ink to the ink jet recording head, and 202 is a liquid chamber. Reference numeral 101 denotes a first recording element (not shown) for ejecting ink to record on a recording material.
102, a solid layer 102 (described later in FIG. 3) made of a nozzle forming material, 103 a second substrate, and 104.
Is a filter member for preventing dust and bubbles in the ink from entering the nozzle, and 105 is a liquid chamber sealing plate.
【００２０】本実施例の特徴は、フィルタ部材１０４
を、ノズル形成材料１０２で固定している点を特徴とし
ている。以下に、上記インクジェット記録ヘッドの構成
を形成する工程の一例を図３（ａ）〜（ｅ）を用いて説
明する。The feature of this embodiment is that the filter member 104 is used.
Is fixed with the nozzle forming material 102. Hereinafter, an example of a process of forming the configuration of the inkjet recording head will be described with reference to FIGS.
【００２１】図３（ａ）に示すように、インクを吐出す
るための圧力を発生する複数の不図示の記録素子が配設
された第１の基板１０１上に液路形成部位及びそれと連
通する液室形成予定部位に前記第１の固体層１０６を形
成する。As shown in FIG. 3A, a liquid path forming portion and a liquid passage forming portion are communicated with the first substrate 101 on which a plurality of recording elements (not shown) that generate pressure for ejecting ink are arranged. The first solid layer 106 is formed at the site where the liquid chamber is to be formed.
【００２２】なお、本発明においては、液路及び液室形
成部位の双方に固体層１０６を設けることは必ずしも必
要ではなく、固体層１０６は、少なくとも液路形成部位
に設ければよい。In the present invention, it is not always necessary to provide the solid layer 106 in both the liquid passage and the liquid chamber forming portion, and the solid layer 106 may be provided at least in the liquid passage forming portion.
【００２３】上記第１の固体層１０６は、後述する各工
程を経た後に除去され、残された空間部分が少なくとも
液路となる。なお、第１の固体層１０６は、液路に加え
て必要に応じて液室等が同時に形成される場合は、液室
等の形成部も占有するように設けられる。このような第
１の固体層１０６を構成するに際して用いられる材料及
び手段としては、例えば下記に列挙するようなものが具
体的なものとして挙げられる。The first solid layer 106 is removed after each step described later, and the remaining space portion becomes at least a liquid channel. Note that the first solid layer 106 is provided so as to occupy the formation part of the liquid chamber and the like when the liquid chamber and the like are simultaneously formed in addition to the liquid passage, if necessary. Specific examples of materials and means used to form the first solid layer 106 include those listed below.
【００２４】感光性ドライブフィルムを用い、そのド
ライブフィルムの画像形成プロセスに従って固体層を形
成する、 第１の基板１０１に所望の厚さの溶剤可溶性ポリマー
層及びフォトレジスト層を順に積層し、このフォトレジ
スト層のパターン形成後、溶剤可溶性ポリマー層を選択
的に除去する、 樹脂を印刷する、など。A photosensitive drive film is used and a solid layer is formed according to the image forming process of the drive film. A solvent-soluble polymer layer and a photoresist layer having a desired thickness are sequentially laminated on a first substrate 101, After patterning the resist layer, the solvent-soluble polymer layer is selectively removed, resin is printed, etc.
【００２５】に挙げた感光性ドライフィルムとして
は、ポジ型のものもネガ型のものも用いることができる
が、例えばポジ型ドライフィルムであれば、活性エネル
ギー線照射によって、現像液に可溶化するポジ型ドライ
フィルム、またネガ型ドライフィルムであれば、光重合
型である塩化メチレンあるいは強アルカリで溶解あるい
は剥離除去し得るネガ型ドライフィルムが適している。As the photosensitive dry film mentioned above, either a positive type or a negative type can be used. For example, a positive type dry film is solubilized in a developing solution by irradiation with active energy rays. In the case of a positive type dry film or a negative type dry film, a negative type dry film which can be dissolved or peeled off by photopolymerization methylene chloride or a strong alkali is suitable.
【００２６】ポジ型ドライフィルムとしては、具体的に
は、例えば「OZATEC R225 」（商品名、ヘキストジャパ
ン（株））等、またネガ型ドライフィルムとしては、
「OZATEC Tシリーズ」（商品名、日立化成工業
（株））、「RISTON」（商品名、デュ・ポン・ド・ネモ
アース社）等が用いられる。Specific examples of the positive dry film include "OZATEC R225" (trade name, Hoechst Japan Co., Ltd.), and the negative dry film includes
"OZATEC T series" (trade name, Hitachi Chemical Co., Ltd.), "RISTON" (trade name, Du Pont de Nemours) are used.
【００２７】もちろん、これらの市販材料のみならず、
ポジティブに作用する樹脂組成物、例えばナフキノンシ
アド誘導体とノボラック型フェノール樹脂を主体とする
樹脂組成物、及びネガティブに作用する樹脂組成物、例
えばアクリルエステルを反応基とするアクリルオリゴマ
ーと熱可塑性高分子化合物及び増感材を主体とする組成
物、あるいはポリチオールとポリエチレン化合物及び増
感材とから成る組成物等が同様に用いることができる。Of course, not only these commercially available materials,
Positively acting resin composition, for example, a resin composition mainly composed of a naphthoquinone cyanide derivative and a novolac type phenolic resin, and a negatively acting resin composition, for example, an acrylic oligomer and a thermoplastic polymer compound having an acrylic ester as a reactive group, and A composition containing a sensitizer as a main component, a composition containing a polythiol, a polyethylene compound, and a sensitizer can be similarly used.
【００２８】に挙げた溶剤可能性ポリマーとしては、
それを溶解する溶剤が存在し、コーティングによって皮
膜を形成し得る高分子化合物であればいずれでも用い得
る。ここで用い得るフォトレジスト層としては、典型的
にはノボラック型フェノール樹脂とナフトキノジアジド
とから成るポジ型液状フォトレジスト、ポリビニルシン
ナメートから成るネガ型液状フォトレジスト、ネガ型感
光性ドライフィルム、熱硬化型及び紫外線硬化型のイン
キ等が挙げられる。Examples of the solvent-possible polymer listed in
Any polymer compound that has a solvent that dissolves it and can form a film by coating may be used. The photoresist layer that can be used here is typically a positive liquid photoresist composed of a novolac phenolic resin and naphthoquinodiazide, a negative liquid photoresist composed of polyvinylcinnamate, a negative photosensitive dry film, Examples thereof include heat-curable and ultraviolet-curable inks.
【００２９】に挙げた印刷法によって固体層を形成す
る材料としては、例えば蒸発乾燥型、熱硬化型あるいは
紫外線硬化型等のそれぞれの乾燥方式で用いられている
平板インキ、スクリーンインキ並びに転写型の樹脂等が
用いられる。As the material for forming the solid layer by the printing method mentioned above, for example, flat plate ink, screen ink and transfer type which are used in respective drying methods such as evaporation drying type, thermosetting type and ultraviolet curing type are used. Resin or the like is used.
【００３０】以上に挙げた材料群の中で、加工制度や除
去の容易性あるいは作業性等の面からみて、の感光性
ドライフィルムを用いる手段が好ましく、その中でもポ
ジ型ドライフィルムを用いるのが特に好ましい。すなわ
ち、ポジ型感光性材料は、例えば解像度がネガ型の感光
性材料よりも優れており、レリーフパターンが垂直かつ
平滑な側壁面を持つ、あるいはテーパ型ないし逆テーパ
型の断面形状が容易に作れるという特徴を有し、液路を
形作る上で最適である。また、レリーフパターンを現像
液や有機溶剤で溶解除去できる等の特徴も有しており、
本発明実施例における固体層形成材料として好ましいも
のである。Among the materials listed above, the means using the photosensitive dry film is preferable from the viewpoint of processing accuracy, easiness of removal, workability, etc. Among them, the positive dry film is preferably used. Particularly preferred. That is, the positive photosensitive material is superior in resolution, for example, to the negative photosensitive material, and the relief pattern has a vertical and smooth side wall surface, or a tapered or inverse tapered cross-sectional shape can be easily formed. It has the feature that it is optimal for forming a liquid channel. In addition, it also has the feature that the relief pattern can be dissolved and removed with a developer or organic solvent,
It is preferable as a solid layer forming material in the examples of the present invention.
【００３１】特に、例えば先に挙げたナフキノンジアジ
ドとノボラック型フェノール樹脂とを用いたポジ型感光
性材料では、弱アルカリ水溶液あるいはアルコールで完
全溶解できるので、吐出エネルギー発生素子の損傷を何
ら与えることがなく、かつ後工程での除去も極めて速や
かである。このようなポジ型感光性材料の中でも、ドラ
イフィルム状のものは１０〜１００μｍの厚膜のものが
得られる点で好ましい。In particular, for example, in the positive type photosensitive material using the above-mentioned naphthoquinone diazide and novolac type phenol resin, since it can be completely dissolved in a weak alkaline aqueous solution or alcohol, the discharge energy generating element may be damaged. None, and the removal in the subsequent step is extremely quick. Among such positive type photosensitive materials, a dry film type is preferable in that a thick film having a thickness of 10 to 100 μm can be obtained.
【００３２】次に、図３（ｂ）に示すように液室形成予
定部位に十分な容積を確保するために、また、前記第１
の基板１０１と第２の基板１０３との空隙を適当に保つ
ために、第２の固体層１０７を形成する。この第２の固
体層１０７も、後述する工程を経た後除去され、残され
た空間部分がインク液室の少なくとも一部となる。この
ような第２の固体層１０７を形成する具体的な手段及び
材料としては、例えば、フッ素置換されたアクリル樹
脂、トリクロロクロロポリマーポリフッ化ビニル等のフ
ッ素系樹脂等の樹脂を印刷する方法等がある。Next, as shown in FIG. 3 (b), in order to secure a sufficient volume in the site where the liquid chamber is to be formed,
A second solid layer 107 is formed in order to maintain an appropriate gap between the substrate 101 and the second substrate 103. The second solid layer 107 is also removed after the process described below, and the remaining space becomes at least a part of the ink liquid chamber. Specific means and materials for forming such a second solid layer 107 include, for example, a method of printing a resin such as a fluorine-substituted acrylic resin or a fluorine-based resin such as trichlorochloropolymer polyvinyl fluoride. is there.
【００３３】次に、図３（ｃ）に示すように、第２の基
板１０３を位置決めして載置する。さらに図３（ｄ）に
示すように、フィルタ部材１０４、液室封止板１０５を
位置決め、載置する。Next, as shown in FIG. 3C, the second substrate 103 is positioned and placed. Further, as shown in FIG. 3D, the filter member 104 and the liquid chamber sealing plate 105 are positioned and placed.
【００３４】次に図３（ｅ）に示すように、第１の基板
１０１と第２の基板１０３との間隙、第１の固体層１０
６と第２の基板１０３との間隙、第２の基板１０３と液
室封止板１０５との間隙に、それぞれノズル形成材料１
０２を注入し、注入後これを硬化する。ノズル形成材料
１０２は、前記の間隙に注入し、その後硬化することが
可能であれば、熱硬化型、常温硬化型、ＵＶ硬化型や、
熱可塑性の樹脂、あるいは低融点の金属等も使用可能で
ある。Next, as shown in FIG. 3E, the gap between the first substrate 101 and the second substrate 103, the first solid layer 10 is formed.
6 and the second substrate 103, and the gap between the second substrate 103 and the liquid chamber sealing plate 105 in the nozzle forming material 1 respectively.
02 is injected and after injection, it is cured. If the nozzle forming material 102 can be injected into the gap and then cured, a thermosetting type, a room temperature curing type, a UV curing type,
A thermoplastic resin, a low melting point metal, or the like can also be used.
【００３５】ノズル形成材料１０２の硬化後、吐出口２
０１のオリフィス部形成のため、切断を行う。図３
（ｅ）の２点鎖線で切断箇所を図示した。なお、オリフ
ィスの形成方法によっては上述の切断は必ずしも必要で
あるとは限らない。After the nozzle forming material 102 is cured, the ejection port 2
Cutting is performed to form the orifice portion 01. FIG.
The cut location is illustrated by the two-dot chain line in (e). The above cutting is not always necessary depending on the method of forming the orifice.
【００３６】次に、第１の固体層１０６、第２の固体層
１０７の除去を行う。これら第１の固体層１０６及び第
２の固体層１０７を、アルカリ水溶液や有機溶剤等の除
去液により溶解除去する。この除去に関しては第１の固
体層１０６と第２の固体層１０７とを別々の除去液によ
って順次除去することもできるが、前記各々の固体層の
材料を適当に選ぶことにより、同一溶液にて同時に除去
することも可能である。Next, the first solid layer 106 and the second solid layer 107 are removed. The first solid layer 106 and the second solid layer 107 are dissolved and removed with a removing solution such as an alkaline aqueous solution or an organic solvent. Regarding this removal, the first solid layer 106 and the second solid layer 107 can be sequentially removed by separate removing liquids, but by appropriately selecting the materials of the respective solid layers, the same solution can be obtained. It is also possible to remove them at the same time.
【００３７】このようにして図１及び図２に示すような
インクジェット記録ヘッドが形成される。In this way, the ink jet recording head as shown in FIGS. 1 and 2 is formed.
【００３８】本実施例においては、ノズル形成材料１０
２を注入する固定において、ノズル形成フィルタ部材１
０４との固定を同時に行うことができ、フィルタ部材１
０４の固定を別の工程にした場合に比較して、工程数を
削減することができるものである。In this embodiment, the nozzle forming material 10 is used.
Nozzle-forming filter member 1 when fixing 2
The filter member 1 can be fixed at the same time as 04.
It is possible to reduce the number of steps as compared with the case of fixing 04 in another step.
【００３９】（実施例２）本実施例２の前記第１の実施
例との相違点は、フィルタ部材１０４をノズル形成材料
１０２で固定する際、ノズル形成材料１０２が毛細管力
によってフィルタ部材１０４内に流入してフイルタが目
詰まりすることを防止した点にある。(Embodiment 2) The difference of this Embodiment 2 from the first embodiment is that when the filter member 104 is fixed with the nozzle forming material 102, the nozzle forming material 102 is applied inside the filter member 104 by a capillary force. This is to prevent the filter from being clogged by flowing into.
【００４０】本実施例２においては、フィルタ部材１０
４を固定する前に、予め図４に示すようなパターンに樹
脂等から成るフィルタ目詰まり防止材１０８を印刷して
おく、インク流通部となる部分の目詰まりを防止するた
めには図４（ａ）のようなパターンでも良いし、図４
（ｂ）のようなパターンでも良い。さらに、このフィル
タ目詰まり防止材１０８は、なるべく粘度が高く、パタ
ーン形成し易い材料、ノズル形成材料と相溶性の低い材
料、パターン形成後除去可能な材料の方が好ましい。ま
た、固体層１０２と同一の材料を選択した場合、ノズル
形成材料１０２の固体層１０６を除去する工程で、この
固体層１０６と一緒に除去され、効果的である。In the second embodiment, the filter member 10
4 is printed in advance with a filter clogging prevention material 108 made of resin or the like in a pattern as shown in FIG. 4 in order to prevent clogging of a portion serving as an ink circulation portion. A pattern such as a) may be used, or FIG.
The pattern as shown in (b) may be used. Further, the filter clogging prevention material 108 is preferably a material having a viscosity as high as possible, which facilitates pattern formation, a material having low compatibility with the nozzle forming material, and a material which can be removed after pattern formation. Further, when the same material as the solid layer 102 is selected, it is effective because it is removed together with the solid layer 106 in the step of removing the solid layer 106 of the nozzle forming material 102.
【００４１】（実施例３）図５及び図６は、第３の実施
例を説明するためのそれぞれ模式的分解図及び、切断個
所を示した斜視図である。本実施例は、前記実施例１と
同様に、第１の基板１０１、第２の基板１０３、フィル
タ部材１０４、液室封止板１０５を積層してインクジェ
ット記録ヘッドを形成する点においては第１の実施例と
同様であるが、図５に示すように、本実施例３は、複数
個のインクジェット記録ヘッドを同時に形成し、ノズル
形成材料１０２の硬化後、これを切断する点が前記第
１，第２の実施例との相違点である。(Embodiment 3) FIG. 5 and FIG. 6 are a schematic exploded view and a perspective view showing cut portions, respectively, for explaining a third embodiment. This embodiment is similar to the first embodiment in that the first substrate 101, the second substrate 103, the filter member 104, and the liquid chamber sealing plate 105 are laminated to form an inkjet recording head. 5 is the same as that of the first embodiment, but as shown in FIG. 5, in the third embodiment, a plurality of ink jet recording heads are formed at the same time, and after the nozzle forming material 102 is cured, this is cut off. , The difference from the second embodiment.
【００４２】本実施例３で使用する第１の基板１０１、
第２の基板１０３、フィルタ部材１０４、液室封止板１
０５は、積層前に予め所望の形状に加工を行っておく。
次に、前記第１の実施例と同様の工程によってこれらの
部材を積層し、ノズル形成材料１０２を注入する。注入
後の状態を図６に示す。The first substrate 101 used in the third embodiment,
Second substrate 103, filter member 104, liquid chamber sealing plate 1
In No. 05, a desired shape is processed in advance before stacking.
Next, these members are laminated by the same process as in the first embodiment, and the nozzle forming material 102 is injected. The state after injection is shown in FIG.
【００４３】次にノズル形成材料１０２の硬化後、図６
の２点鎖線に示す箇所で切断し、複数のインクジェット
記録ヘッド（図例は８個）が同時に形成される。本実施
例３においては、一度の工程で、多数のインクジェット
記録ヘッドを形成することができ、第１の実施例よりも
さらにインクジェット記録ヘッドの製造能率を向上さ
せ、その生産コストを低減する効果がある。Next, after the nozzle forming material 102 is cured, FIG.
A plurality of inkjet recording heads (eight in the illustrated example) are formed at the same time by cutting at the location indicated by the two-dot chain line In the third embodiment, a large number of inkjet recording heads can be formed in one step, and the effect of further improving the manufacturing efficiency of the inkjet recording head and reducing the production cost thereof can be obtained as compared with the first embodiment. is there.
【００４４】[0044]
【発明の効果】以上、説明したように、本発明によれ
ば、フィルタ部材の固定をノズル形成と同時に行うこと
ができ、インクジェット記録ヘッドの製作工程を削減
し、さらにフィルタ部材の固定後に第１及び第２の固体
層を除去するため、液室内へのゴミの混入を防止する効
果が得られる。As described above, according to the present invention, the filter member can be fixed at the same time when the nozzle is formed, the manufacturing process of the ink jet recording head can be reduced, and the first member can be fixed after the filter member is fixed. Also, since the second solid layer is removed, the effect of preventing dust from entering the liquid chamber can be obtained.
【図１】 第１実施例の模式的斜視図FIG. 1 is a schematic perspective view of a first embodiment.
【図２】 図１のＡ−Ａ′及びＢ−Ｂ′断面図FIG. 2 is a sectional view taken along line AA ′ and BB ′ of FIG.
【図３】 インクジェット記録ヘッドの製作工程説明図FIG. 3 is an explanatory diagram of an inkjet recording head manufacturing process.
【図４】 第２実施例のフィルタ部材の樹脂パターンの
模式図FIG. 4 is a schematic diagram of a resin pattern of a filter member according to a second embodiment.
【図５】 第３の実施例の模式的分解斜視図FIG. 5 is a schematic exploded perspective view of a third embodiment.
【図６】 第３の実施例の模式的斜視図FIG. 6 is a schematic perspective view of a third embodiment.
【図７】 従来のインクジェット記録ヘッドの形成法の
一例の説明図FIG. 7 is an explanatory diagram of an example of a conventional method for forming an inkjet recording head.
【図８】 従来のインクジェット記録ヘッドの形成法の
ノズル形成材料注入の模式的断面図FIG. 8 is a schematic cross-sectional view of nozzle formation material injection in a conventional inkjet recording head forming method.
１０１ 第１の基板 １０２ ノズル形成材料 １０３ 第２の基板 １０４ フィルタ部材 １０５ 液室封止板 １０６ 第１の固体層 １０７ 第２の固体層 １０８ フィルタ目詰まり防止材 １０９ 接着剤 ２０１ 吐出口 ２０２ 液室 ２０３ インク供給口 101 First Substrate 102 Nozzle Forming Material 103 Second Substrate 104 Filter Member 105 Liquid Chamber Sealing Plate 106 First Solid Layer 107 Second Solid Layer 108 Filter Clogging Prevention Material 109 Adhesive 201 Discharge Port 202 Liquid Chamber 203 ink supply port
Claims (9)
吐出エネルギー発生素子に対応しインク液路となる部分
が固体層でパターニングされた第１の基板と、前記イン
ク液路にインクを供給するための液室を有する第２の基
板と、前記第１の基板と第２の基板との間にノズル形成
材料を有し、このノズル形成材料の硬化後、前記固体層
を除去してインク液路を形成するインクジェット記録ヘ
ッドの製造過程において、前記第２の基板の液室内にイ
ンク中のゴミ，気泡を混入させないためのフィルタ部材
を配設し、このフィルタ部材を前記第２の基板に前記ノ
ズル形成材料で固定することを特徴とするインクジェッ
ト記録ヘッド。1. A first substrate on which an ejection energy generating element is formed, and a portion corresponding to the ejection energy generating element and which becomes an ink liquid path is patterned with a solid layer, and ink is supplied to the ink liquid path. A second substrate having a liquid chamber and a nozzle forming material between the first substrate and the second substrate. After the nozzle forming material is cured, the solid layer is removed to remove the ink liquid passage. In the process of manufacturing the ink jet recording head for forming the ink jet recording head, a filter member is provided in the liquid chamber of the second substrate for preventing dust and bubbles in the ink from being mixed, and the filter member is provided on the second substrate with the nozzle. An inkjet recording head characterized by being fixed with a forming material.
程において、前記ノズル形成と、前記フィルタ部材の前
記第２の基板への固定とを同時に行うことを特徴とする
請求項１に記載のインクジェット記録ヘッド。2. The ink jet recording head according to claim 1, wherein in the manufacturing process of the ink jet recording head, the nozzle formation and the fixing of the filter member to the second substrate are performed at the same time.
程において、前記フィルタ部材はインク流通部に予めマ
スキング材を塗布し、前記ノズル形成材料で前記第２基
板に貼り付け硬化させた後、前記固体層除去と同時にマ
スキング材の除去を行うことを特徴とする請求項１，２
のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッド。3. In the manufacturing process of the ink jet recording head, a masking material is applied in advance to the ink flowing portion of the filter member, the nozzle forming material is applied to the second substrate and cured, and then the solid layer is removed. The masking material is removed at the same time, and the masking material is removed at the same time.
The inkjet recording head according to any one of the above.
程において、前記マスキング材が前記固体層であること
を特徴とする請求項３に記載のインクジェット記録ヘッ
ド。4. The inkjet recording head according to claim 3, wherein the masking material is the solid layer in the manufacturing process of the inkjet recording head.
吐出エネルギー発生素子に対応しインク液路となる部分
が固体層でパターニングされた第１の基板と、前記イン
ク液路にインクを供給するための液室を有する第２の基
板と、前記第１の基板と第２の基板との間にノズル形成
材料を有し、このノズル形成材料の硬化後、前記固体層
を除去してインク液路を形成するインクジェット記録ヘ
ッドの製造過程において、前記第２の基板の液室内にイ
ンク中のゴミ，気泡を混入させないためのフィルタ部材
を配設し、このフィルタ部材を前記第２の基板に前記ノ
ズル形成材料で固定することを特徴とするインクジェッ
ト記録ヘッドの製造方法。5. A first substrate on which a discharge energy generating element is formed, and a portion corresponding to the discharge energy generating element and which becomes an ink liquid path is patterned with a solid layer, and ink is supplied to the ink liquid path. A second substrate having a liquid chamber and a nozzle forming material between the first substrate and the second substrate. After the nozzle forming material is cured, the solid layer is removed to remove the ink liquid passage. In the process of manufacturing the ink jet recording head for forming the ink jet recording head, a filter member is provided in the liquid chamber of the second substrate for preventing dust and bubbles in the ink from being mixed, and the filter member is provided on the second substrate with the nozzle. A method for manufacturing an ink jet recording head, comprising fixing with a forming material.
前記第２の基板への固定とを同時に行うことを特徴とす
る請求項５に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方
法。6. The method for manufacturing an ink jet recording head according to claim 5, wherein the nozzle formation and the fixing of the filter member to the second substrate are performed at the same time.
めマスキング材を塗布し、前記ノズル形成材料で前記第
２の基板の貼り付け硬化させた後、前記固体層除去と同
時に前記マスキング材の除去を行うことを特徴とする請
求項５，６のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッ
ドの製造方法。7. The filter member is configured such that a masking material is applied in advance to an ink flowing portion, the nozzle forming material is used to bond and cure the second substrate, and then the solid layer is removed and the masking material is removed simultaneously. 7. The method for manufacturing an ink jet recording head according to claim 5, wherein the method is performed.
とを特徴とする請求項７に記載のインクジェット記録ヘ
ッドの製造方法。8. The method for manufacturing an inkjet recording head according to claim 7, wherein the masking material is the solid layer.
記ノズル形成材料で固定し、その後これを切断すること
により複数のインクジェット記録ヘッドを形成するする
ことを特徴とする請求項５に記載のインクジェット記録
ヘッドの製造方法。9. The ink jet recording head according to claim 5, wherein the filter member is fixed to the second substrate with the nozzle forming material and then cut to form a plurality of ink jet recording heads. Inkjet recording head manufacturing method.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15617295A JPH091805A (en) | 1995-06-22 | 1995-06-22 | Ink jet recording head and manufacture thereof |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15617295A JPH091805A (en) | 1995-06-22 | 1995-06-22 | Ink jet recording head and manufacture thereof |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH091805A true JPH091805A (en) | 1997-01-07 |
Family
ID=15621932
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15617295A Withdrawn JPH091805A (en) | 1995-06-22 | 1995-06-22 | Ink jet recording head and manufacture thereof |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH091805A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7044591B2 (en) | 2002-09-25 | 2006-05-16 | Brother Kogya Kabushiki Kaisha | Ink-jet head, filter assembly used for manufacturing the ink-jet head, and method for manufacturing the ink-jet head using the filter assembly |
-
1995
- 1995-06-22 JP JP15617295A patent/JPH091805A/en not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7044591B2 (en) | 2002-09-25 | 2006-05-16 | Brother Kogya Kabushiki Kaisha | Ink-jet head, filter assembly used for manufacturing the ink-jet head, and method for manufacturing the ink-jet head using the filter assembly |
| US7753513B2 (en) | 2002-09-25 | 2010-07-13 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Ink-jet head, filter assembly used for manufacturing the ink-jet head, and method for manufacturing the ink-jet head using the filter assembly |
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