JPH09178771A - Probing method by timing belt drive of x-y system in-circuit tester - Google Patents
Probing method by timing belt drive of x-y system in-circuit testerInfo
- Publication number
- JPH09178771A JPH09178771A JP7351939A JP35193995A JPH09178771A JP H09178771 A JPH09178771 A JP H09178771A JP 7351939 A JP7351939 A JP 7351939A JP 35193995 A JP35193995 A JP 35193995A JP H09178771 A JPH09178771 A JP H09178771A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- contact probe
- pin
- contact
- timing belt
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は実装基板の検査に使
用するＸ−Ｙ方式インサーキットテスタのＺ軸ユニット
に備えるタイミングベルト駆動によるプロービング方法
に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a probing method by driving a timing belt provided in a Z-axis unit of an XY type in-circuit tester used for inspecting a mounting board.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、実装基板即ち多数の電子部品等を
半田付けしたプリント基板はインサーキットテスタを用
いて、その基板の必要な測定点に適宜ピンプローブの先
端を接触させ、それ等の各部品の有無を電気的に検出
し、或いは各部の特性値等を電気的に測定して基板の良
否の判定を行っている。特に、被検査基板を載せて固定
する測定台上にＸ−Ｙユニットを設置したものは、その
Ｘ軸方向に可動するアームの上にＹ軸方向に可動するＺ
軸ユニットを備え、そのＺ軸ユニットでコンタクトプロ
ーブをＺ軸方向に可動可能に支持しているので使用し易
く、そのＸ−Ｙユニットを制御すると、コンタクトプロ
ーブを基板の上方からＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸方向にそれぞれ
適宜移動して、そのコンタクトプローブに備えるピンプ
ローブを予め設定した各測定点に順次接触できる。2. Description of the Related Art Conventionally, a mounting board, that is, a printed board on which a large number of electronic components are soldered, uses an in-circuit tester, and a tip of a pin probe is brought into contact with a necessary measurement point of the board, and each of those is measured. The presence / absence of a component is electrically detected, or the characteristic value or the like of each part is electrically measured to determine the quality of the substrate. In particular, the one in which the XY unit is installed on the measuring table on which the substrate to be inspected is mounted and fixed is a Z movable on the Y-axis on the arm movable on the X-axis.
Since the contact probe is supported by the Z-axis unit so as to be movable in the Z-axis direction, it is easy to use. When the X-Y unit is controlled, the contact probe is moved from above the substrate to the X-axis and the Y-axis. , The Z-axis direction is appropriately moved, and the pin probe provided in the contact probe can be sequentially brought into contact with each preset measurement point.
【０００３】このようなＺ軸ユニットに備えるコンタク
トプローブの駆動機構として、Ｚ軸ユニットにモータと
そのモータ軸から駆動力を受けるタイミングベルト等を
設置し、そのタイミングベルトにコンタクトプローブを
連結して、タイミングベルトからコンタクトプローブに
駆動力を与えるものがある。そして、コンタクトプロー
ブをＺ軸方向へ移動制御する際にモータ軸の回動を制御
することにより、タイミングベルトを介してコンタクト
プローブの位置と動きとの制御を行なっている。なお、
コンタクトプローブには圧縮コイルばねから付勢力を受
けて先端部が支持管から突出するピンプローブが備えら
れている。As a contact probe driving mechanism provided in such a Z-axis unit, a motor and a timing belt for receiving driving force from the motor shaft are installed in the Z-axis unit, and the contact probe is connected to the timing belt. There is one that gives a driving force to a contact probe from a timing belt. The position and movement of the contact probe are controlled via the timing belt by controlling the rotation of the motor shaft when controlling the movement of the contact probe in the Z-axis direction. In addition,
The contact probe is provided with a pin probe whose tip projects from the support tube under the biasing force of the compression coil spring.
【０００４】しかも、コンタクトプローブを制御する際
にはコンタクトプローブを一旦上昇端まで上げた後下降
動作に入り、ピンプローブの先端が測定点（基板面が基
準測定点の位置）に接触した後、そのピンプローブの先
端部が支持管内に一定量後退して入る（予定した後退
量）までコンタクトプローブの下降を行なう。又、コン
タクトプローブの速度ｖとその下降時間ｔとの間に図６
に示すような関係を与え、コンタクトプローブが前半距
離下降する間はコンタクトプローブを等加速度で加速
し、後半距離下降する間は等加速度で減速する。但し、
加速時と減速時の両加速度の絶対値は等しくする。それ
故、コンタクトプローブの下降制御を簡単に行なえる。
なお、ピンプローブの先端は下降時間ｔ0 で測定点に接
触する。Moreover, when controlling the contact probe, the contact probe is once raised to the rising end and then moved into the descending operation, and after the tip of the pin probe comes into contact with the measurement point (the substrate surface is the reference measurement point), The contact probe is lowered until the tip portion of the pin probe retracts into the support tube by a certain amount (scheduled retreat amount). In addition, between the speed v of the contact probe and its descending time t, as shown in FIG.
The contact probe is accelerated at a constant acceleration while the contact probe descends the first half distance, and decelerated at a constant acceleration while the contact probe descends the second half distance. However,
The absolute values of both acceleration during acceleration and deceleration should be the same. Therefore, the descending control of the contact probe can be easily performed.
The tip of the pin probe comes into contact with the measuring point at the falling time t0.
【０００５】このようにして、コンタクトプローブを加
速し減速する際、その加速度をモータの定格にあったほ
ぼ最大加速度にして時間ｔ0 を小さくし、検査スピード
を上げる。図７はこのようなコンタクトプローブの下降
距離ｓと下降時間ｔとの関係を示したものである。因み
に、距離ｓ、加速度ａ、時間ｔ、速度ｖとの間には数１
の式で示す関係がある。In this way, when accelerating and decelerating the contact probe, the acceleration is made to be almost the maximum acceleration that matches the motor rating, the time t0 is shortened, and the inspection speed is increased. FIG. 7 shows the relationship between the descending distance s and the descending time t of such a contact probe. By the way, between the distance s, the acceleration a, the time t, and the velocity v
There is a relationship shown by the formula.
【数１】 [Equation 1]
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うにしてピンプローブの先端を測定点に当てると、被検
査基板が受ける衝撃が大きく、打痕等の損傷が大きくな
ることがある。なお、エアシリンダを採用し、ピンプロ
ーブの駆動に圧縮空気を用いても空気圧が一定であるた
め、やはり同様のことが起る。However, when the tip of the pin probe is brought into contact with the measuring point in this way, the impact on the substrate to be inspected is large and damage such as dents may be large. Even if an air cylinder is used and compressed air is used to drive the pin probe, the air pressure is constant, so the same thing occurs.
【０００７】本発明はこのような従来の問題点に着目し
てなされたものであり、ピンプローブが測定点に接触す
る直前までの速度を上げても、被検査基板が損傷を受け
難く、安定した計測の行なえるＸ−Ｙ方式インサーキッ
トテスタのタイミングベルト駆動によるプロービング方
法を提供することを目的とする。The present invention has been made by paying attention to such conventional problems. Even if the speed is increased immediately before the pin probe comes into contact with the measuring point, the substrate to be inspected is not easily damaged and stable. It is an object of the present invention to provide a probing method by driving a timing belt of an XY in-circuit tester capable of performing the above measurement.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明によるＸ−Ｙ方式インサーキットテスタのタ
イミングベルト駆動によるプロービング方法ではＸ−Ｙ
方式インサーキットテスタのＺ軸ユニットに、モータと
そのモータ軸から駆動力を受けるタイミングベルトとそ
のタイミングベルトから駆動力を受けるコンタクトプロ
ーブとを設置し、そのコンタクトプローブに圧縮コイル
ばねから付勢力を受けて先端部が支持管から突出するピ
ンプローブを備え、そのモータ軸の回動を制御すること
により、タイミングベルトを介してコンタクトプローブ
の位置と動きを制御する。In order to achieve the above object, in the probing method by driving the timing belt of the XY type in-circuit tester according to the present invention, the XY type is used.
The Z-axis unit of the in-circuit tester is equipped with a motor, a timing belt that receives the driving force from the motor shaft, and a contact probe that receives the driving force from the timing belt. The contact probe receives the urging force from the compression coil spring. And a pin probe whose tip portion protrudes from the support tube, and the position and movement of the contact probe are controlled via the timing belt by controlling the rotation of the motor shaft.
【０００９】そして、コンタクトプローブを上昇端まで
上げた後に下降させ、そのコンタクトプローブの下降時
に、ピンプローブの先端が測定点の近傍にある予定した
位置に達するまで、そのほぼ前半距離下降する間コンタ
クトプローブを加速し、後半距離下降する間コンタクト
プローブを減速する。すると、ピンプローブの先端が測
定点に接触する直前までコンタクトプローブを高速で下
降させ、その下降時間を短くすることができる。Then, the contact probe is raised to the ascending end and then lowered, and when the contact probe descends, the tip of the pin probe reaches a predetermined position in the vicinity of the measurement point while the contact probe is descending substantially the first half of the distance. Accelerate the probe and decelerate the contact probe while descending the second half. Then, the contact probe can be descended at a high speed until just before the tip of the pin probe comes into contact with the measurement point, and the descending time can be shortened.
【００１０】そこで、ピンプローブの先端が予定位置を
超えたらコンタクトプローブをほぼ一定速度にし、ピン
プローブの先端が測定点に接触した後ピンプローブが支
持管内に一定量後退して入るまでその一定速度を継続す
る。すると、コンタクトプローブの下降する速度をピン
プローブの先端が測定点に当っても損傷を与えないよう
な一定の速度に設定し、しかもピンプローブの接触圧を
安定した計測を行なえる圧力にすることができる。な
お、ピンプローブの先端が測定点に当ると、ピンプロー
ブは圧縮コイルばねの付勢力に抗して後退する。そこ
で、ピンプローブの後退量が一定量を超えた後予定した
最終の後退量に達するまで、そのほぼ前半距離下降する
間コンタクトプローブを加速し、後半距離下降する間コ
ンタクトプローブを減速する。すると、コンタクトプロ
ーブを下降端まで高速で下降させ、その下降時間を短く
することができる。Therefore, when the tip of the pin probe exceeds the predetermined position, the contact probe is made to have a substantially constant speed, and after the tip of the pin probe comes into contact with the measuring point, the pin probe retracts into the support tube by a certain amount and moves at that constant speed. To continue. Then, set the descending speed of the contact probe to a constant speed that does not damage the tip of the pin probe even if it hits the measurement point, and set the contact pressure of the pin probe to a pressure that allows stable measurement. You can When the tip of the pin probe hits the measurement point, the pin probe retracts against the biasing force of the compression coil spring. Therefore, the contact probe is accelerated while it is descending substantially the first half distance and decelerated while it is descending the latter half distance until it reaches the planned final withdrawal amount after the retracted amount of the pin probe exceeds a certain amount. Then, the contact probe can be lowered to the lower end at high speed, and the lowering time can be shortened.
【００１１】[0011]
【発明の実施の形態】以下、添付図面に基づいて、本発
明の実施の形態を説明する。図１は本発明を適用したＸ
−Ｙ方式インサーキットテスタのタイミングベルト駆動
によるコンタクトプローブ下降時のコンタクトプローブ
の速度と時間との関係を示す図、図２は同Ｘ−Ｙ方式イ
ンサーキットテスタの構成を示すブロック図である。図
中、１０はＸ−Ｙ方式インサーキットテスタ、１２はそ
の操作部、１４はＸ−Ｙ−Ｚ制御部、１６は測定部、１
８はコントローラである。この操作部１２にはキーボー
ド、表示装置、プリンタ、フロッピーディスクドライバ
等の入出力機器を備える。そして、Ｘ−Ｙ−Ｚ制御部１
４により例えば２組のＸ−Ｙユニット（図示なし）にそ
れぞれ備えたサーボモータ、パルスモータ等のアクチュ
エータ等を駆動し、それ等のＸ−Ｙユニットを制御す
る。このＸ−ＹユニットはＸ軸方向に可動するアームの
上にＹ軸方向に可動するＺ軸ユニットを備え、そのＺ軸
ユニットにタイミングベルト使用のコンタクトプローブ
駆動機構を設置したものである。それ故、モータ軸の回
動を制御すると、タイミングベルトを介してコンタクト
プローブの位置と動きを制御できる。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 shows X to which the present invention is applied.
FIG. 2 is a diagram showing the relationship between the speed and time of the contact probe when the contact probe is lowered by driving the timing belt of the -Y system in-circuit tester, and FIG. 2 is a block diagram showing the configuration of the XY system in-circuit tester. In the figure, 10 is an XY system in-circuit tester, 12 is an operation unit thereof, 14 is an XYZ control unit, 16 is a measurement unit, 1
Reference numeral 8 is a controller. The operation unit 12 includes input / output devices such as a keyboard, a display device, a printer, and a floppy disk driver. Then, the XYZ control unit 1
4, actuators such as servo motors and pulse motors respectively provided in, for example, two sets of XY units (not shown) are driven, and these XY units are controlled. This XY unit includes a Z-axis unit movable in the Y-axis direction on an arm movable in the X-axis direction, and a contact probe drive mechanism using a timing belt is installed in the Z-axis unit. Therefore, by controlling the rotation of the motor shaft, the position and movement of the contact probe can be controlled via the timing belt.
【００１２】図３はこのようなＺ軸ユニットの一例を示
したものである。図中、２０はＺ軸ユニット、２２はそ
のＺ軸ユニット２０のアームに対する固定用のベース
板、２４はそのベース板２２に備え付けたパルスモータ
等（図示なし）の駆動軸、２６は無端のタイミングベル
ト、２８はコンタクトプローブ、３０はそのタイミング
ベルト２６とコンタクトプローブ２８とを連結する部
材、３２は案内レールである。このタイミングベルト２
６はモータ軸２４に固着した駆動ローラ３４とベース板
２２に軸３６を固着した従動ローラ３８との間に巻回し
てＺ軸方向に張架する。コンタクトプローブ２８は支持
管４０の内部に圧縮コイルばねとピンプローブ４２の中
央部を収納したものであり、その圧縮コイルばねによる
付勢力がピンプローブ４２に対し、その先端部４４を支
持管４０の下端から下方に突出する方向（Ｚ軸方向）に
作用している。なお、ピンプローブ４２の後端部４６も
常に支持管４０の上端から上方に突出している。FIG. 3 shows an example of such a Z-axis unit. In the figure, 20 is a Z-axis unit, 22 is a base plate for fixing the Z-axis unit 20 to an arm, 24 is a drive shaft of a pulse motor or the like (not shown) mounted on the base plate 22, and 26 is an endless timing. A belt, 28 is a contact probe, 30 is a member connecting the timing belt 26 and the contact probe 28, and 32 is a guide rail. This timing belt 2
6 is wound between a drive roller 34 fixed to the motor shaft 24 and a driven roller 38 fixed to a shaft 36 on the base plate 22 and stretched in the Z-axis direction. The contact probe 28 has a compression coil spring and a central portion of a pin probe 42 housed inside a support tube 40. The biasing force of the compression coil spring causes the tip portion 44 of the support tube 40 to move against the pin probe 42. It acts in a direction projecting downward from the lower end (Z-axis direction). The rear end portion 46 of the pin probe 42 also always projects upward from the upper end of the support tube 40.
【００１３】このようなコンタクトプローブ２８にその
外周をリング状に被って支持する２個のベース部材４８
を重ねて固着し、Ｌ形状連結部材３０の下端部付近に結
合する。そして、連結部材３０の上端先端部付近をタイ
ミングベルト２６に結合する。又、連結部材３０の上端
部付近に１対の突部を設け、案内レール３２の両壁面に
それぞれ設けた案内溝５０に嵌める。この案内レール３
２はＺ軸方向に配設してあり、両案内溝５０もＺ軸方向
に配設してあるため、案内レール３２に沿って連結部材
３０を移動させると、コンタクトプローブ２８もＺ軸方
向に移動する。なお、５２はコンタクトプローブ２８の
位置を検出するセンサ、５４はコンタクトプローブ２８
の位置を示す指示板、５６はピンプローブ４２の上端部
に結合するリードワイヤである。Two base members 48 for supporting the contact probe 28 by covering the outer circumference thereof in a ring shape.
Are overlapped and fixed, and are coupled near the lower end of the L-shaped connecting member 30. Then, the vicinity of the upper end of the connecting member 30 is connected to the timing belt 26. Further, a pair of protrusions is provided near the upper end of the connecting member 30 and fitted into the guide grooves 50 provided on both wall surfaces of the guide rail 32. This guide rail 3
2 is arranged in the Z-axis direction, and both guide grooves 50 are also arranged in the Z-axis direction. Therefore, when the connecting member 30 is moved along the guide rail 32, the contact probe 28 also moves in the Z-axis direction. Moving. Incidentally, 52 is a sensor for detecting the position of the contact probe 28, and 54 is the contact probe 28.
Is a pointing plate, and 56 is a lead wire coupled to the upper end of the pin probe 42.
【００１４】このように各Ｘ−Ｙユニットを構成して制
御すると、各コンタクトプローブ２８を測定台上でＸ
軸、Ｙ軸、Ｚ軸方向にそれぞれ適宜移動できる。又、測
定部１６により適宜の電圧、電流信号等を切換器（図示
なし）を介して、２ピンプローブ４２に与え、それ等の
各ピンプローブ４２の先端が接触する例えばフラットパ
ッケージＩＣのリードとパターン間の電圧を検出し、抵
抗値等の測定を行なう。When each XY unit is constructed and controlled in this way, each contact probe 28 is moved to the X-axis on the measuring table.
It can be appropriately moved in the directions of the axis, the Y axis, and the Z axis. In addition, the measurement unit 16 gives an appropriate voltage, current signal or the like to the 2-pin probe 42 via a switch (not shown), and the tip of each of the pin probes 42 makes contact with, for example, a lead of a flat package IC. The voltage between the patterns is detected and the resistance value is measured.
【００１５】これ等の操作部１２、Ｘ−Ｙ−Ｚ制御部１
４、測定部１６はＣＰＵ（中央演算処理装置）を備えた
コントローラ１８によってそれぞれ制御する。コントロ
ーラ１８は例えば図４に示すようなマイクロコンピュー
タであり、ＣＰＵ５８、ＲＯＭ（読み出し専用メモリ）
６０、ＲＡＭ（読み出し書き込み可能メモリ）６２、入
出力ポート６４、バスライン６６等から構成されてい
る。ＣＰＵ５８はマイクロコンピュータの中心となる頭
脳部に相当し、プログラムの命令に従って全体に対する
制御を実行すると共に、算術、論理演算を行ない、その
結果も一時的に記憶する。又、周辺装置に対しても適宜
制御を行なっている。ＲＯＭ６０にはインサーキットテ
スタ全体を制御するための制御プログラム等が格納され
ている。These operation unit 12 and XYZ control unit 1
4. The measuring unit 16 is controlled by a controller 18 having a CPU (Central Processing Unit). The controller 18 is, for example, a microcomputer as shown in FIG. 4, and includes a CPU 58 and a ROM (read-only memory).
60, a RAM (read / write memory) 62, an input / output port 64, a bus line 66, and the like. The CPU 58 corresponds to a brain portion which is the center of the microcomputer, executes control over the whole in accordance with instructions of a program, performs arithmetic and logical operations, and temporarily stores the result. Further, the peripheral devices are also appropriately controlled. The ROM 60 stores a control program or the like for controlling the entire in-circuit tester.
【００１６】又、ＲＡＭ６２にはキーボード、フロッピ
ーディスクドライバ等の入力機器を用いて、外部から入
力した実装部品上の測定点の基板面からのＺ軸方向の高
さを示すデータやコンタクトプローブ移動処理プログラ
ム、ＣＰＵ５８で演算したデータ等の各種データを記憶
する。入出力ポート６４には操作部１２、Ｘ−Ｙ−Ｚ制
御部１４、測定部１６等が接続する。バスライン６６は
それ等を接続するためのアドレスバスライン、データバ
スライン、制御バスライン等を含み、周辺装置とも適宜
結合している。The RAM 62 uses an input device such as a keyboard and a floppy disk driver to input data indicating the height in the Z-axis direction from the substrate surface of the measurement point on the mounted component input from the outside and contact probe movement processing. The program and various data such as data calculated by the CPU 58 are stored. The operation unit 12, the XYZ control unit 14, the measuring unit 16 and the like are connected to the input / output port 64. The bus line 66 includes an address bus line, a data bus line, a control bus line, etc. for connecting them, and is properly coupled to peripheral devices.
【００１７】検査時、ピンプローブ４２の先端を被検査
基板上にある予定した測定点に接触させるため、コンタ
クトプローブ移動処理プログラムの命令に従ってコンタ
クトプローブ２８の移動を制御する。その際、モータ軸
２４を一方向又は反対方向に適宜回転してタイミングベ
ルト２６を駆動し、そのタイミングベルト２６から連結
部材３０等を介してコンタクトプローブ２８に駆動力を
伝える。すると、コンタクトプローブ２８をＺ軸方向
（上下方向）に適宜移動できる。そこで、先ずコンタク
トプローブ２８を上昇端まで上げる。この上昇時、コン
タクトプローブ２８の速度波形が二等辺三角形となるよ
うに、その前半距離上昇させる間にコンタクトプローブ
２８を加速し、後半距離上昇させる間にコンタクトプロ
ーブを減速する。例えば、コンタクトプローブ２８の上
昇距離Ｘが０．００７ｍである場合、加速度（速度波形
の傾き）ａを１１０ｍ／ｓ／ｓにすると、頂点での速度
ｖは０．８７５ｍ／ｓとなり、コンタクトプローブ２８
の上昇に必要な所要時間ｔは０．０１６ｓとなる。次
に、コンタクトプローブ２８をその上昇位置で例えば３
０ｍｓ停止する。なお、コンタクトプローブ２８の上昇
端の位置は基板に載っている部品の高さに応じて異なら
せる。At the time of inspection, in order to bring the tip of the pin probe 42 into contact with a predetermined measurement point on the substrate to be inspected, the movement of the contact probe 28 is controlled according to the instruction of the contact probe movement processing program. At that time, the motor shaft 24 is appropriately rotated in one direction or the opposite direction to drive the timing belt 26, and the driving force is transmitted from the timing belt 26 to the contact probe 28 via the connecting member 30 and the like. Then, the contact probe 28 can be appropriately moved in the Z-axis direction (vertical direction). Therefore, first, the contact probe 28 is raised to the rising end. At this time of rising, the contact probe 28 is accelerated while increasing the first half distance and decelerated while increasing the latter half distance so that the velocity waveform of the contact probe 28 becomes an isosceles triangle. For example, when the ascending distance X of the contact probe 28 is 0.007 m and the acceleration (slope of the velocity waveform) a is 110 m / s / s, the velocity v at the apex is 0.875 m / s.
The required time t required to rise is 0.016 s. Next, the contact probe 28 is moved to its raised position by, for example, 3
Stop for 0 ms. The position of the rising end of the contact probe 28 is made different according to the height of the component mounted on the substrate.
【００１８】次に、コンタクトプローブ２８を下降す
る。この下降時、ピンプローブ４２の先端が上昇端より
０．００５ｍ下方にある測定点の近傍にある予定した位
置例えば上昇端より０．００４４ｍに達するまで、コン
タクトプローブ２８の速度波形が二等辺三角形となるよ
うに、その前半距離下降させる間にコンタクトプローブ
２８を加速し、後半距離下降させる間にコンタクトプロ
ーブ２８を減速する。その際、加速度ａを１０５ｍ／ｓ
／ｓにすると、頂点での速度ｖは０．６７７ｍ／ｓとな
り、コンタクトプローブ２８のその下降に必要な所要時
間ｔは０．０１３ｓとなる。それ故、ピンプローブ４２
の先端が測定点に接触する直前までコンタクトプローブ
２８を高速で下降させ、その下降時間ｔを短くすること
ができる。Next, the contact probe 28 is lowered. During this descent, the velocity waveform of the contact probe 28 becomes an isosceles triangle until the tip end of the pin probe 42 reaches a predetermined position 0.005 m below the rising end, for example, 0.0044 m below the rising end. As described above, the contact probe 28 is accelerated while being lowered by the first half distance, and the contact probe 28 is decelerated while being lowered by the second half distance. At that time, the acceleration a is 105 m / s
/ S, the velocity v at the apex is 0.677 m / s, and the time t required for the contact probe 28 to descend is 0.013 s. Therefore, the pin probe 42
The contact probe 28 can be lowered at high speed until just before the tip of the contact point contacts the measurement point, and the lowering time t can be shortened.
【００１９】次に、ピンプローブ４２の先端が予定位置
を超えたらコンタクトプローブ２８を一定速度ｖ例えば
０．０２８５ｍ／ｓにし、距離Ｘ例えば０．００１２ｍ
下降する。その際、コンタクトプローブ２８が０．００
０６ｍ下降した時点でピンプローブ４２の先端が測定点
に接触するが、ピンプローブ４２が圧縮コイルばねの付
勢力に抗して支持管４０の内部に０．０００６ｍ後退し
て入るまで、その一定速度ｖを継続する。すると、コン
タクトプローブ２８の下降する速度ｖをピンプローブ４
２の先端が測定点に当っても損傷を与えないような一定
の低速度ｖに設定し、しかもピンプローブ４２の接触圧
を安定した計測を行なえる圧力にすることができる。こ
のようなコンタクトプローブ２８のその下降に必要な所
要時間ｔは０．０４２ｓとである。なお、コンタクトプ
ローブ２８を一定速度ｖに変える位置はコンタクトプロ
ーブ２８の高さ方向の位置決め誤差を考慮して決定す
る。Next, when the tip of the pin probe 42 exceeds the predetermined position, the contact probe 28 is set to a constant velocity v, for example, 0.0285 m / s, and the distance X, for example, 0.0012 m.
To descend. At that time, the contact probe 28 is 0.00
The tip of the pin probe 42 comes into contact with the measurement point when the pin probe 42 descends by 06 m, but at a constant speed until the pin probe 42 retracts 0.0006 m into the support tube 40 against the biasing force of the compression coil spring. Continue v. Then, the descending speed v of the contact probe 28 is set to the pin probe 4
It is possible to set a constant low speed v so as not to damage even when the tip of 2 touches the measurement point, and to make the contact pressure of the pin probe 42 a pressure that enables stable measurement. The time t required for lowering the contact probe 28 is 0.042 s. The position at which the contact probe 28 is changed to the constant speed v is determined in consideration of the positioning error of the contact probe 28 in the height direction.
【００２０】次に、ピンプローブ４２の後退量が０．０
００６ｍを超えた後予定した最終の後退量０．００２ｍ
に達するまで、コンタクトプローブ４２を０．００１４
ｍ下降する。この下降時、その前半距離下降する間にコ
ンタクトプローブ４２を加速し、後半距離下降する間に
コンタクトプローブ４２を減速する。その際、加速度ａ
を１１４ｍ／ｓ／ｓにすると、頂点での速度ｖは０．４
ｍ／ｓとなり、コンタクトプローブ２８のその下降に必
要な所要時間ｔは０．００７ｓとなる。このようにし
て、コンタクトプローブ２８を下降端まで高速で下降さ
せると、ピンプローブ４２を支持管４０の内部に更に
０．００１４ｍ素早く押し込んで、下降時間ｔを短くす
ることができる。なお、ピンプローブ４２の支持管４０
内への後退量はピンプローブ４２の接触圧等を考慮して
決定する。Next, the retracted amount of the pin probe 42 is 0.0.
Final retreat 0.002m planned after exceeding 006m
Until the contact probe 42 reaches 0.0014
m down. When descending, the contact probe 42 is accelerated while descending the first half distance and decelerated while descending the latter half distance. At that time, the acceleration a
Is 114 m / s / s, the velocity v at the apex is 0.4
m / s, and the time t required for the contact probe 28 to descend is 0.007 s. When the contact probe 28 is lowered to the lower end at a high speed in this manner, the pin probe 42 can be pushed further into the inside of the support tube 40 by 0.0014 m, and the lowering time t can be shortened. The support tube 40 for the pin probe 42
The amount of inward movement is determined in consideration of the contact pressure of the pin probe 42 and the like.
【００２１】このようなコンタクトプローブ２８の下降
時における速度ｖと時間ｔとの関係を大略示したものが
図１であり、その区間２はコンタクトプローブ２８が上
昇端から０．００４４ｍ下降する状態を示し、区間３は
更に０．００４４ｍを超えて０．００５６ｍまで下降す
る状態を示し、区間４は更に０．００５６ｍを超えて
０．００７ｍまで下降する状態を示している。なお、区
間２から区間３、又区間３から区間４への速度の変わり
目にはいずれもモータの動作に応答遅れがあるため、速
度が点線のように変わることなく実線のようになる。そ
して、コンタクトプローブ２８の上昇時における速度ｖ
と時間ｔとの関係は図６と同一になる。因みに、これ等
の図１、６ではコンタクトプローブ２８に働く重力や摩
擦係数の存在等は無視している。FIG. 1 schematically shows the relationship between the speed v and the time t when the contact probe 28 descends as described above. In the section 2, the state in which the contact probe 28 descends 0.0044 m from the ascending end is shown. As shown, section 3 shows a state of further dropping beyond 0.0044 m to 0.0056 m, and section 4 shows a state of further descending beyond 0.0056 m to 0.007 m. Since there is a response delay in the operation of the motor at any of the speed changes from the section 2 to the section 3 and from the section 3 to the section 4, the speed does not change like the dotted line and becomes like the solid line. Then, the speed v when the contact probe 28 is raised
And the time t are the same as in FIG. Incidentally, in FIGS. 1 and 6, the presence of gravity and a friction coefficient acting on the contact probe 28 is neglected.
【００２２】又、コンタクトプローブ２８の上昇及び下
降のほぼ１サイクルにおける距離ｓと時間ｔとの関係を
正確に示したものが図５であり、その区間１はコンタク
トプローブ２８が下降端から上昇端まで０．００７ｍ上
昇する状態を示し、区間２はコンタクトプローブ２８が
上昇端から０．００４４ｍ下降する状態を示し、区間３
は更に０．００４４ｍを超えて０．００５６ｍまで下降
する状態を示し、区間４は更に０．００５６ｍを超えて
０．００７ｍまで下降する状態を示している。このよう
にして、ピンプローブ４２を対応する測定点に適宜接触
させた後、必要とする測定を実施する。Further, FIG. 5 accurately shows the relationship between the distance s and the time t in almost one cycle of the ascent and descent of the contact probe 28, and in the section 1, the contact probe 28 is from the descending end to the ascending end. Up to 0.007 m, section 2 shows the contact probe 28 descending 0.0044 m from the rising end, and section 3
Shows a state of further falling over 0.0044 m to 0.0056 m, and a section 4 shows a state of further falling over 0.0056 m to 0.007 m. In this way, after the pin probe 42 is appropriately brought into contact with the corresponding measurement point, the required measurement is performed.
【００２３】[0023]
【発明の効果】以上説明した本発明によれば、ピンプロ
ーブの先端が測定点に接触する直前までコンタクトプロ
ーブを高速で下降させて、下降時間を短くすることがで
きる。そして、ピンプローブの先端が予定位置を超えた
らコンタクトプローブをほぼ一定速度にし、その一定速
度をピンプローブが支持管内に一定量後退して入るまで
継続することにより、ピンプローブの先端が測定点に当
っても損傷を与えないようにし、しかもピンプローブの
接触圧を安定した計測を行なえる圧力にすることができ
る。又、ピンプローブの後退量が一定量を超えた後予定
した最終の後退量即ちコンタクトプローブが下降端に達
するまで高速で下降させて、下降時間を短くすることが
できる。According to the present invention described above, the contact probe can be lowered at a high speed until the tip of the pin probe comes into contact with the measurement point, and the descent time can be shortened. Then, when the tip of the pin probe exceeds the planned position, the contact probe is made to have a substantially constant velocity, and the constant velocity is continued until the pin probe retracts into the support tube by a certain amount so that the tip of the pin probe becomes the measurement point. The contact pressure of the pin probe can be set to a pressure at which stable measurement can be performed without causing damage even if it hits. In addition, after the retracted amount of the pin probe exceeds a certain amount, the pin probe is lowered at a high speed until the final retracted amount, that is, the contact probe reaches the descending end, and the descending time can be shortened.
【図１】本発明を適用したＸ−Ｙ方式インサーキットテ
スタのタイミングベルト駆動によるコンタクトプローブ
下降時のコンタクトプローブの速度と時間との関係を示
す図である。FIG. 1 is a diagram showing the relationship between the speed and time of a contact probe when the contact probe descends by driving a timing belt of an XY in-circuit tester to which the present invention is applied.
【図２】同Ｘ−Ｙ方式インサーキットテスタの構成を示
すブロック図である。FIG. 2 is a block diagram showing a configuration of the XY type in-circuit tester.
【図３】同Ｘ−Ｙ方式インサーキットテスタのＸ−Ｙユ
ニットに備えるＺ軸ユニットの構造を示す斜視図であ
る。FIG. 3 is a perspective view showing a structure of a Z-axis unit included in an XY unit of the same XY type in-circuit tester.
【図４】同Ｘ−Ｙ方式インサーキットテスタに備えるコ
ントローラの構成を示すブロック図である。FIG. 4 is a block diagram showing a configuration of a controller included in the XY type in-circuit tester.
【図５】同Ｘ−Ｙ方式インサーキットテスタのコンタク
トプローブ上昇及び下降のほぼ１サイクルにおけるコン
タクトプローブの移動距離と時間との関係を示す図であ
る。FIG. 5 is a diagram showing a relationship between a moving distance of the contact probe and time in almost one cycle of ascending and descending of the contact probe of the XY in-circuit tester.
【図６】従来のＸ−Ｙ方式インサーキットテスタのタイ
ミングベルト駆動によるコンタクトプローブ下降時のコ
ンタクトプローブの速度と時間との関係を示す図であ
る。FIG. 6 is a diagram showing a relationship between the speed of the contact probe and time when the contact probe is lowered by driving a timing belt of a conventional XY in-circuit tester.
【図７】同Ｘ−Ｙ方式インサーキットテスタのコンタク
トプローブ下降時におけるコンタクトプローブ移動距離
と時間との関係を示す図である。FIG. 7 is a diagram showing a relationship between a contact probe moving distance and time when the contact probe of the XY in-circuit tester descends.
１０…Ｘ−Ｙ方式インサーキットテスタ １２…操作部
１４…Ｘ−Ｙ−Ｚ制御部 １６…測定部 １８…コン
トローラ ２０…Ｚ軸ユニット ２２…ベース板 ２４
…モータ軸 ２６…タイミングベルト ２８…コンタク
トプローブ ３０…連結部材 ３２…案内レール ３４
…駆動ローラ ３８…従動ローラ ４０…支持管 ４２
…ピンプローブ ４８…ベース部材 ５２…位置検出セ
ンサ ５４…位置指示板 ５６…リードワイヤ ５８…
ＣＰＵ ６０…ＲＯＭ ６２…ＲＡＭ ６４…入出力ポ
ート ６６…バスライン10 ... XY system in-circuit tester 12 ... Operation part 14 ... XYZ control part 16 ... Measuring part 18 ... Controller 20 ... Z-axis unit 22 ... Base plate 24
... motor shaft 26 ... timing belt 28 ... contact probe 30 ... connecting member 32 ... guide rail 34
Drive roller 38 Driven roller 40 Support tube 42
... Pin probe 48 ... Base member 52 ... Position detection sensor 54 ... Position indicating plate 56 ... Lead wire 58 ...
CPU 60 ... ROM 62 ... RAM 64 ... Input / output port 66 ... Bus line
Claims (1)
ユニットに、モータとそのモータ軸から駆動力を受ける
タイミングベルトとそのタイミングベルトから駆動力を
受けるコンタクトプローブとを設置し、そのコンタクト
プローブに圧縮コイルばねから付勢力を受けて先端部が
支持管から突出するピンプローブを備え、そのモータ軸
の回動を制御することにより、タイミングベルトを介し
てコンタクトプローブの位置と動きを制御するＸ−Ｙ方
式インサーキットテスタのタイミングベルト駆動による
プロービング方法において、上記コンタクトプローブを
上昇端まで上げた後に下降させ、そのコンタクトプロー
ブの下降時にピンプローブの先端が測定点の近傍にある
予定した位置に達するまで、そのほぼ前半距離下降する
間コンタクトプローブを加速し、後半距離下降する間コ
ンタクトプローブを減速し、そのピンプローブの先端が
予定位置を超えたらコンタクトプローブをほぼ一定速度
にし、ピンプローブの先端が測定点に接触した後ピンプ
ローブの先端部が支持管内に一定量後退して入るまでそ
の一定速度を継続し、そのピンプローブの後退量が一定
量を超えた後予定した最終の後退量に達するまで、その
ほぼ前半距離下降する間コンタクトプローブを加速し、
後半距離下降する間コンタクトプローブを減速すること
を特徴とするＸ−Ｙ方式インサーキットテスタのタイミ
ングベルト駆動によるプロービング方法。1. A Z-axis unit of an XY type in-circuit tester is provided with a motor, a timing belt that receives a driving force from the motor shaft, and a contact probe that receives the driving force from the timing belt. The pin probe whose tip projects from the support tube in response to the biasing force from the compression coil spring is provided, and the position and movement of the contact probe are controlled via the timing belt by controlling the rotation of the motor shaft of the pin probe. In the probing method by driving the timing belt of the Y-type in-circuit tester, the contact probe is raised to the rising end and then lowered, until the tip of the pin probe reaches a predetermined position near the measurement point when the contact probe descends. , The contact probe while descending almost the first half Acceleration of the probe, decelerating the contact probe while descending the latter half of the distance, making the contact probe almost constant speed when the tip of the pin probe exceeds the planned position, and after the tip of the pin probe contacts the measurement point, the tip of the pin probe The part continues its constant speed until it retracts into the support tube by a certain amount, and then contacts for the first half of that distance until the pin probe retreat amount exceeds the certain amount and reaches the planned final retreat amount. Accelerate the probe,
A probing method by driving a timing belt of an XY type in-circuit tester, characterized in that the contact probe is decelerated while descending a second half distance.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35193995A JP3391617B2 (en) | 1995-12-26 | 1995-12-26 | Probing method by timing belt drive of XY system in-circuit tester |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35193995A JP3391617B2 (en) | 1995-12-26 | 1995-12-26 | Probing method by timing belt drive of XY system in-circuit tester |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09178771A true JPH09178771A (en) | 1997-07-11 |
| JP3391617B2 JP3391617B2 (en) | 2003-03-31 |
Family
ID=18420662
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35193995A Expired - Lifetime JP3391617B2 (en) | 1995-12-26 | 1995-12-26 | Probing method by timing belt drive of XY system in-circuit tester |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3391617B2 (en) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6486689B1 (en) | 1999-05-26 | 2002-11-26 | Nidec-Read Corporation | Printed circuit board testing apparatus and probe device for use in the same |
| JP2006525497A (en) * | 2003-05-09 | 2006-11-09 | アーテーゲー、テスト、ジステムス、ゲゼルシャフト、ミット、ベシュレンクテル、ハフツング、ウント、コンパニー、コマンディット、ゲゼルシャフト | Non-mounted circuit board test method |
| JP2007040830A (en) * | 2005-08-03 | 2007-02-15 | Hioki Ee Corp | Probe drive unit |
| JP2007095753A (en) * | 2005-09-27 | 2007-04-12 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | Prober, prober contact method, and program therefor |
| JP2011052969A (en) * | 2009-08-31 | 2011-03-17 | Hioki Ee Corp | Wire routing structure of z-axis unit in substrate inspection device |
| CN106019122A (en) * | 2016-05-13 | 2016-10-12 | 大族激光科技产业集团股份有限公司 | Method and device for controlling motion of flying probe tester on the basis of measure point distance |
| JP2021118012A (en) * | 2020-01-24 | 2021-08-10 | 日本発條株式会社 | Insulation resistance measuring device, and insulation resistance measuring method |
| CN118191664A (en) * | 2024-05-15 | 2024-06-14 | 深圳市鼎泰佳创科技有限公司 | Alternating current power supply port test equipment |
-
1995
- 1995-12-26 JP JP35193995A patent/JP3391617B2/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6486689B1 (en) | 1999-05-26 | 2002-11-26 | Nidec-Read Corporation | Printed circuit board testing apparatus and probe device for use in the same |
| JP2006525497A (en) * | 2003-05-09 | 2006-11-09 | アーテーゲー、テスト、ジステムス、ゲゼルシャフト、ミット、ベシュレンクテル、ハフツング、ウント、コンパニー、コマンディット、ゲゼルシャフト | Non-mounted circuit board test method |
| JP2007040830A (en) * | 2005-08-03 | 2007-02-15 | Hioki Ee Corp | Probe drive unit |
| JP4693539B2 (en) * | 2005-08-03 | 2011-06-01 | 日置電機株式会社 | Probe drive unit |
| JP2007095753A (en) * | 2005-09-27 | 2007-04-12 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | Prober, prober contact method, and program therefor |
| JP2011052969A (en) * | 2009-08-31 | 2011-03-17 | Hioki Ee Corp | Wire routing structure of z-axis unit in substrate inspection device |
| CN106019122A (en) * | 2016-05-13 | 2016-10-12 | 大族激光科技产业集团股份有限公司 | Method and device for controlling motion of flying probe tester on the basis of measure point distance |
| JP2021118012A (en) * | 2020-01-24 | 2021-08-10 | 日本発條株式会社 | Insulation resistance measuring device, and insulation resistance measuring method |
| CN118191664A (en) * | 2024-05-15 | 2024-06-14 | 深圳市鼎泰佳创科技有限公司 | Alternating current power supply port test equipment |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3391617B2 (en) | 2003-03-31 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2635889B2 (en) | Die bonding equipment | |
| CN101784862B (en) | Method for measuring surface profile of sample and apparatus for measuring surface profile of sample | |
| US9921044B2 (en) | Surface property measuring apparatus and method for controlling the same | |
| JP3391617B2 (en) | Probing method by timing belt drive of XY system in-circuit tester | |
| JP2001228212A (en) | Method for measuring needle load, method for setting needle load and inspection device | |
| JP2006108384A (en) | Mounting device, its mounting load correcting method and nozzle inspecting method | |
| JP4794256B2 (en) | Prober, probe contact method and program therefor | |
| EP0309109B1 (en) | Testing process for electronic devices | |
| US5023557A (en) | Testing process for electronic devices | |
| JP3233053B2 (en) | Method for measuring height of nozzle of transfer head in electronic component mounting apparatus | |
| JPH0347582B2 (en) | ||
| JP3332019B2 (en) | Automatic drop impact test device and automatic drop impact test method | |
| JP2828406B2 (en) | Automatic pressing method and device | |
| JPS58166272A (en) | Evaluating device of reliability in contact of connector contactor | |
| CN217901935U (en) | Probe crimping device and point measurement machine | |
| JP2772115B2 (en) | Data processing method and apparatus for printed circuit board or mounting board | |
| CN116450440A (en) | Multifunctional integrated touch pad testing machine and application method thereof | |
| JP3781228B2 (en) | XY in-circuit tester probe pin lifting mechanism | |
| JPH04350578A (en) | Probing apparatus | |
| CN210323270U (en) | Testing arrangement based on oscilloscope | |
| JP2006170960A (en) | Method of measuring planarity of terminal | |
| JPH0255910A (en) | Method and device for position control for comparator stand | |
| JPS61283810A (en) | Apparatus for measuring distance between surfaces | |
| JPH07209380A (en) | Probe position adjustor corresponding to height of mounting part of x-y type in-circuit tester | |
| JPH07151800A (en) | Resistivity measuring instrument |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080124 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100124 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100124 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120124 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140124 Year of fee payment: 11 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |