JPH09178771A - Probing method by timing belt drive of x-y system in-circuit tester - Google Patents
Probing method by timing belt drive of x-y system in-circuit testerInfo
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- JPH09178771A JPH09178771A JP7351939A JP35193995A JPH09178771A JP H09178771 A JPH09178771 A JP H09178771A JP 7351939 A JP7351939 A JP 7351939A JP 35193995 A JP35193995 A JP 35193995A JP H09178771 A JPH09178771 A JP H09178771A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は実装基板の検査に使
用するX−Y方式インサーキットテスタのZ軸ユニット
に備えるタイミングベルト駆動によるプロービング方法
に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a probing method by driving a timing belt provided in a Z-axis unit of an XY type in-circuit tester used for inspecting a mounting board.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来、実装基板即ち多数の電子部品等を
半田付けしたプリント基板はインサーキットテスタを用
いて、その基板の必要な測定点に適宜ピンプローブの先
端を接触させ、それ等の各部品の有無を電気的に検出
し、或いは各部の特性値等を電気的に測定して基板の良
否の判定を行っている。特に、被検査基板を載せて固定
する測定台上にX−Yユニットを設置したものは、その
X軸方向に可動するアームの上にY軸方向に可動するZ
軸ユニットを備え、そのZ軸ユニットでコンタクトプロ
ーブをZ軸方向に可動可能に支持しているので使用し易
く、そのX−Yユニットを制御すると、コンタクトプロ
ーブを基板の上方からX軸、Y軸、Z軸方向にそれぞれ
適宜移動して、そのコンタクトプローブに備えるピンプ
ローブを予め設定した各測定点に順次接触できる。2. Description of the Related Art Conventionally, a mounting board, that is, a printed board on which a large number of electronic components are soldered, uses an in-circuit tester, and a tip of a pin probe is brought into contact with a necessary measurement point of the board, and each of those is measured. The presence / absence of a component is electrically detected, or the characteristic value or the like of each part is electrically measured to determine the quality of the substrate. In particular, the one in which the XY unit is installed on the measuring table on which the substrate to be inspected is mounted and fixed is a Z movable on the Y-axis on the arm movable on the X-axis.
Since the contact probe is supported by the Z-axis unit so as to be movable in the Z-axis direction, it is easy to use. When the X-Y unit is controlled, the contact probe is moved from above the substrate to the X-axis and the Y-axis. , The Z-axis direction is appropriately moved, and the pin probe provided in the contact probe can be sequentially brought into contact with each preset measurement point.
【0003】このようなZ軸ユニットに備えるコンタク
トプローブの駆動機構として、Z軸ユニットにモータと
そのモータ軸から駆動力を受けるタイミングベルト等を
設置し、そのタイミングベルトにコンタクトプローブを
連結して、タイミングベルトからコンタクトプローブに
駆動力を与えるものがある。そして、コンタクトプロー
ブをZ軸方向へ移動制御する際にモータ軸の回動を制御
することにより、タイミングベルトを介してコンタクト
プローブの位置と動きとの制御を行なっている。なお、
コンタクトプローブには圧縮コイルばねから付勢力を受
けて先端部が支持管から突出するピンプローブが備えら
れている。As a contact probe driving mechanism provided in such a Z-axis unit, a motor and a timing belt for receiving driving force from the motor shaft are installed in the Z-axis unit, and the contact probe is connected to the timing belt. There is one that gives a driving force to a contact probe from a timing belt. The position and movement of the contact probe are controlled via the timing belt by controlling the rotation of the motor shaft when controlling the movement of the contact probe in the Z-axis direction. In addition,
The contact probe is provided with a pin probe whose tip projects from the support tube under the biasing force of the compression coil spring.
【0004】しかも、コンタクトプローブを制御する際
にはコンタクトプローブを一旦上昇端まで上げた後下降
動作に入り、ピンプローブの先端が測定点(基板面が基
準測定点の位置)に接触した後、そのピンプローブの先
端部が支持管内に一定量後退して入る(予定した後退
量)までコンタクトプローブの下降を行なう。又、コン
タクトプローブの速度vとその下降時間tとの間に図6
に示すような関係を与え、コンタクトプローブが前半距
離下降する間はコンタクトプローブを等加速度で加速
し、後半距離下降する間は等加速度で減速する。但し、
加速時と減速時の両加速度の絶対値は等しくする。それ
故、コンタクトプローブの下降制御を簡単に行なえる。
なお、ピンプローブの先端は下降時間t0 で測定点に接
触する。Moreover, when controlling the contact probe, the contact probe is once raised to the rising end and then moved into the descending operation, and after the tip of the pin probe comes into contact with the measurement point (the substrate surface is the reference measurement point), The contact probe is lowered until the tip portion of the pin probe retracts into the support tube by a certain amount (scheduled retreat amount). In addition, between the speed v of the contact probe and its descending time t, as shown in FIG.
The contact probe is accelerated at a constant acceleration while the contact probe descends the first half distance, and decelerated at a constant acceleration while the contact probe descends the second half distance. However,
The absolute values of both acceleration during acceleration and deceleration should be the same. Therefore, the descending control of the contact probe can be easily performed.
The tip of the pin probe comes into contact with the measuring point at the falling time t0.
【0005】このようにして、コンタクトプローブを加
速し減速する際、その加速度をモータの定格にあったほ
ぼ最大加速度にして時間t0 を小さくし、検査スピード
を上げる。図7はこのようなコンタクトプローブの下降
距離sと下降時間tとの関係を示したものである。因み
に、距離s、加速度a、時間t、速度vとの間には数1
の式で示す関係がある。In this way, when accelerating and decelerating the contact probe, the acceleration is made to be almost the maximum acceleration that matches the motor rating, the time t0 is shortened, and the inspection speed is increased. FIG. 7 shows the relationship between the descending distance s and the descending time t of such a contact probe. By the way, between the distance s, the acceleration a, the time t, and the velocity v
There is a relationship shown by the formula.
【数1】 [Equation 1]
【0006】[0006]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うにしてピンプローブの先端を測定点に当てると、被検
査基板が受ける衝撃が大きく、打痕等の損傷が大きくな
ることがある。なお、エアシリンダを採用し、ピンプロ
ーブの駆動に圧縮空気を用いても空気圧が一定であるた
め、やはり同様のことが起る。However, when the tip of the pin probe is brought into contact with the measuring point in this way, the impact on the substrate to be inspected is large and damage such as dents may be large. Even if an air cylinder is used and compressed air is used to drive the pin probe, the air pressure is constant, so the same thing occurs.
【0007】本発明はこのような従来の問題点に着目し
てなされたものであり、ピンプローブが測定点に接触す
る直前までの速度を上げても、被検査基板が損傷を受け
難く、安定した計測の行なえるX−Y方式インサーキッ
トテスタのタイミングベルト駆動によるプロービング方
法を提供することを目的とする。The present invention has been made by paying attention to such conventional problems. Even if the speed is increased immediately before the pin probe comes into contact with the measuring point, the substrate to be inspected is not easily damaged and stable. It is an object of the present invention to provide a probing method by driving a timing belt of an XY in-circuit tester capable of performing the above measurement.
【0008】[0008]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明によるX−Y方式インサーキットテスタのタ
イミングベルト駆動によるプロービング方法ではX−Y
方式インサーキットテスタのZ軸ユニットに、モータと
そのモータ軸から駆動力を受けるタイミングベルトとそ
のタイミングベルトから駆動力を受けるコンタクトプロ
ーブとを設置し、そのコンタクトプローブに圧縮コイル
ばねから付勢力を受けて先端部が支持管から突出するピ
ンプローブを備え、そのモータ軸の回動を制御すること
により、タイミングベルトを介してコンタクトプローブ
の位置と動きを制御する。In order to achieve the above object, in the probing method by driving the timing belt of the XY type in-circuit tester according to the present invention, the XY type is used.
The Z-axis unit of the in-circuit tester is equipped with a motor, a timing belt that receives the driving force from the motor shaft, and a contact probe that receives the driving force from the timing belt. The contact probe receives the urging force from the compression coil spring. And a pin probe whose tip portion protrudes from the support tube, and the position and movement of the contact probe are controlled via the timing belt by controlling the rotation of the motor shaft.
【0009】そして、コンタクトプローブを上昇端まで
上げた後に下降させ、そのコンタクトプローブの下降時
に、ピンプローブの先端が測定点の近傍にある予定した
位置に達するまで、そのほぼ前半距離下降する間コンタ
クトプローブを加速し、後半距離下降する間コンタクト
プローブを減速する。すると、ピンプローブの先端が測
定点に接触する直前までコンタクトプローブを高速で下
降させ、その下降時間を短くすることができる。Then, the contact probe is raised to the ascending end and then lowered, and when the contact probe descends, the tip of the pin probe reaches a predetermined position in the vicinity of the measurement point while the contact probe is descending substantially the first half of the distance. Accelerate the probe and decelerate the contact probe while descending the second half. Then, the contact probe can be descended at a high speed until just before the tip of the pin probe comes into contact with the measurement point, and the descending time can be shortened.
【0010】そこで、ピンプローブの先端が予定位置を
超えたらコンタクトプローブをほぼ一定速度にし、ピン
プローブの先端が測定点に接触した後ピンプローブが支
持管内に一定量後退して入るまでその一定速度を継続す
る。すると、コンタクトプローブの下降する速度をピン
プローブの先端が測定点に当っても損傷を与えないよう
な一定の速度に設定し、しかもピンプローブの接触圧を
安定した計測を行なえる圧力にすることができる。な
お、ピンプローブの先端が測定点に当ると、ピンプロー
ブは圧縮コイルばねの付勢力に抗して後退する。そこ
で、ピンプローブの後退量が一定量を超えた後予定した
最終の後退量に達するまで、そのほぼ前半距離下降する
間コンタクトプローブを加速し、後半距離下降する間コ
ンタクトプローブを減速する。すると、コンタクトプロ
ーブを下降端まで高速で下降させ、その下降時間を短く
することができる。Therefore, when the tip of the pin probe exceeds the predetermined position, the contact probe is made to have a substantially constant speed, and after the tip of the pin probe comes into contact with the measuring point, the pin probe retracts into the support tube by a certain amount and moves at that constant speed. To continue. Then, set the descending speed of the contact probe to a constant speed that does not damage the tip of the pin probe even if it hits the measurement point, and set the contact pressure of the pin probe to a pressure that allows stable measurement. You can When the tip of the pin probe hits the measurement point, the pin probe retracts against the biasing force of the compression coil spring. Therefore, the contact probe is accelerated while it is descending substantially the first half distance and decelerated while it is descending the latter half distance until it reaches the planned final withdrawal amount after the retracted amount of the pin probe exceeds a certain amount. Then, the contact probe can be lowered to the lower end at high speed, and the lowering time can be shortened.
【0011】[0011]
【発明の実施の形態】以下、添付図面に基づいて、本発
明の実施の形態を説明する。図1は本発明を適用したX
−Y方式インサーキットテスタのタイミングベルト駆動
によるコンタクトプローブ下降時のコンタクトプローブ
の速度と時間との関係を示す図、図2は同X−Y方式イ
ンサーキットテスタの構成を示すブロック図である。図
中、10はX−Y方式インサーキットテスタ、12はそ
の操作部、14はX−Y−Z制御部、16は測定部、1
8はコントローラである。この操作部12にはキーボー
ド、表示装置、プリンタ、フロッピーディスクドライバ
等の入出力機器を備える。そして、X−Y−Z制御部1
4により例えば2組のX−Yユニット(図示なし)にそ
れぞれ備えたサーボモータ、パルスモータ等のアクチュ
エータ等を駆動し、それ等のX−Yユニットを制御す
る。このX−YユニットはX軸方向に可動するアームの
上にY軸方向に可動するZ軸ユニットを備え、そのZ軸
ユニットにタイミングベルト使用のコンタクトプローブ
駆動機構を設置したものである。それ故、モータ軸の回
動を制御すると、タイミングベルトを介してコンタクト
プローブの位置と動きを制御できる。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 shows X to which the present invention is applied.
FIG. 2 is a diagram showing the relationship between the speed and time of the contact probe when the contact probe is lowered by driving the timing belt of the -Y system in-circuit tester, and FIG. 2 is a block diagram showing the configuration of the XY system in-circuit tester. In the figure, 10 is an XY system in-circuit tester, 12 is an operation unit thereof, 14 is an XYZ control unit, 16 is a measurement unit, 1
Reference numeral 8 is a controller. The operation unit 12 includes input / output devices such as a keyboard, a display device, a printer, and a floppy disk driver. Then, the XYZ control unit 1
4, actuators such as servo motors and pulse motors respectively provided in, for example, two sets of XY units (not shown) are driven, and these XY units are controlled. This XY unit includes a Z-axis unit movable in the Y-axis direction on an arm movable in the X-axis direction, and a contact probe drive mechanism using a timing belt is installed in the Z-axis unit. Therefore, by controlling the rotation of the motor shaft, the position and movement of the contact probe can be controlled via the timing belt.
【0012】図3はこのようなZ軸ユニットの一例を示
したものである。図中、20はZ軸ユニット、22はそ
のZ軸ユニット20のアームに対する固定用のベース
板、24はそのベース板22に備え付けたパルスモータ
等(図示なし)の駆動軸、26は無端のタイミングベル
ト、28はコンタクトプローブ、30はそのタイミング
ベルト26とコンタクトプローブ28とを連結する部
材、32は案内レールである。このタイミングベルト2
6はモータ軸24に固着した駆動ローラ34とベース板
22に軸36を固着した従動ローラ38との間に巻回し
てZ軸方向に張架する。コンタクトプローブ28は支持
管40の内部に圧縮コイルばねとピンプローブ42の中
央部を収納したものであり、その圧縮コイルばねによる
付勢力がピンプローブ42に対し、その先端部44を支
持管40の下端から下方に突出する方向(Z軸方向)に
作用している。なお、ピンプローブ42の後端部46も
常に支持管40の上端から上方に突出している。FIG. 3 shows an example of such a Z-axis unit. In the figure, 20 is a Z-axis unit, 22 is a base plate for fixing the Z-axis unit 20 to an arm, 24 is a drive shaft of a pulse motor or the like (not shown) mounted on the base plate 22, and 26 is an endless timing. A belt, 28 is a contact probe, 30 is a member connecting the timing belt 26 and the contact probe 28, and 32 is a guide rail. This timing belt 2
6 is wound between a drive roller 34 fixed to the motor shaft 24 and a driven roller 38 fixed to a shaft 36 on the base plate 22 and stretched in the Z-axis direction. The contact probe 28 has a compression coil spring and a central portion of a pin probe 42 housed inside a support tube 40. The biasing force of the compression coil spring causes the tip portion 44 of the support tube 40 to move against the pin probe 42. It acts in a direction projecting downward from the lower end (Z-axis direction). The rear end portion 46 of the pin probe 42 also always projects upward from the upper end of the support tube 40.
【0013】このようなコンタクトプローブ28にその
外周をリング状に被って支持する2個のベース部材48
を重ねて固着し、L形状連結部材30の下端部付近に結
合する。そして、連結部材30の上端先端部付近をタイ
ミングベルト26に結合する。又、連結部材30の上端
部付近に1対の突部を設け、案内レール32の両壁面に
それぞれ設けた案内溝50に嵌める。この案内レール3
2はZ軸方向に配設してあり、両案内溝50もZ軸方向
に配設してあるため、案内レール32に沿って連結部材
30を移動させると、コンタクトプローブ28もZ軸方
向に移動する。なお、52はコンタクトプローブ28の
位置を検出するセンサ、54はコンタクトプローブ28
の位置を示す指示板、56はピンプローブ42の上端部
に結合するリードワイヤである。Two base members 48 for supporting the contact probe 28 by covering the outer circumference thereof in a ring shape.
Are overlapped and fixed, and are coupled near the lower end of the L-shaped connecting member 30. Then, the vicinity of the upper end of the connecting member 30 is connected to the timing belt 26. Further, a pair of protrusions is provided near the upper end of the connecting member 30 and fitted into the guide grooves 50 provided on both wall surfaces of the guide rail 32. This guide rail 3
2 is arranged in the Z-axis direction, and both guide grooves 50 are also arranged in the Z-axis direction. Therefore, when the connecting member 30 is moved along the guide rail 32, the contact probe 28 also moves in the Z-axis direction. Moving. Incidentally, 52 is a sensor for detecting the position of the contact probe 28, and 54 is the contact probe 28.
Is a pointing plate, and 56 is a lead wire coupled to the upper end of the pin probe 42.
【0014】このように各X−Yユニットを構成して制
御すると、各コンタクトプローブ28を測定台上でX
軸、Y軸、Z軸方向にそれぞれ適宜移動できる。又、測
定部16により適宜の電圧、電流信号等を切換器(図示
なし)を介して、2ピンプローブ42に与え、それ等の
各ピンプローブ42の先端が接触する例えばフラットパ
ッケージICのリードとパターン間の電圧を検出し、抵
抗値等の測定を行なう。When each XY unit is constructed and controlled in this way, each contact probe 28 is moved to the X-axis on the measuring table.
It can be appropriately moved in the directions of the axis, the Y axis, and the Z axis. In addition, the measurement unit 16 gives an appropriate voltage, current signal or the like to the 2-pin probe 42 via a switch (not shown), and the tip of each of the pin probes 42 makes contact with, for example, a lead of a flat package IC. The voltage between the patterns is detected and the resistance value is measured.
【0015】これ等の操作部12、X−Y−Z制御部1
4、測定部16はCPU(中央演算処理装置)を備えた
コントローラ18によってそれぞれ制御する。コントロ
ーラ18は例えば図4に示すようなマイクロコンピュー
タであり、CPU58、ROM(読み出し専用メモリ)
60、RAM(読み出し書き込み可能メモリ)62、入
出力ポート64、バスライン66等から構成されてい
る。CPU58はマイクロコンピュータの中心となる頭
脳部に相当し、プログラムの命令に従って全体に対する
制御を実行すると共に、算術、論理演算を行ない、その
結果も一時的に記憶する。又、周辺装置に対しても適宜
制御を行なっている。ROM60にはインサーキットテ
スタ全体を制御するための制御プログラム等が格納され
ている。These operation unit 12 and XYZ control unit 1
4. The measuring unit 16 is controlled by a controller 18 having a CPU (Central Processing Unit). The controller 18 is, for example, a microcomputer as shown in FIG. 4, and includes a CPU 58 and a ROM (read-only memory).
60, a RAM (read / write memory) 62, an input / output port 64, a bus line 66, and the like. The CPU 58 corresponds to a brain portion which is the center of the microcomputer, executes control over the whole in accordance with instructions of a program, performs arithmetic and logical operations, and temporarily stores the result. Further, the peripheral devices are also appropriately controlled. The ROM 60 stores a control program or the like for controlling the entire in-circuit tester.
【0016】又、RAM62にはキーボード、フロッピ
ーディスクドライバ等の入力機器を用いて、外部から入
力した実装部品上の測定点の基板面からのZ軸方向の高
さを示すデータやコンタクトプローブ移動処理プログラ
ム、CPU58で演算したデータ等の各種データを記憶
する。入出力ポート64には操作部12、X−Y−Z制
御部14、測定部16等が接続する。バスライン66は
それ等を接続するためのアドレスバスライン、データバ
スライン、制御バスライン等を含み、周辺装置とも適宜
結合している。The RAM 62 uses an input device such as a keyboard and a floppy disk driver to input data indicating the height in the Z-axis direction from the substrate surface of the measurement point on the mounted component input from the outside and contact probe movement processing. The program and various data such as data calculated by the CPU 58 are stored. The operation unit 12, the XYZ control unit 14, the measuring unit 16 and the like are connected to the input / output port 64. The bus line 66 includes an address bus line, a data bus line, a control bus line, etc. for connecting them, and is properly coupled to peripheral devices.
【0017】検査時、ピンプローブ42の先端を被検査
基板上にある予定した測定点に接触させるため、コンタ
クトプローブ移動処理プログラムの命令に従ってコンタ
クトプローブ28の移動を制御する。その際、モータ軸
24を一方向又は反対方向に適宜回転してタイミングベ
ルト26を駆動し、そのタイミングベルト26から連結
部材30等を介してコンタクトプローブ28に駆動力を
伝える。すると、コンタクトプローブ28をZ軸方向
(上下方向)に適宜移動できる。そこで、先ずコンタク
トプローブ28を上昇端まで上げる。この上昇時、コン
タクトプローブ28の速度波形が二等辺三角形となるよ
うに、その前半距離上昇させる間にコンタクトプローブ
28を加速し、後半距離上昇させる間にコンタクトプロ
ーブを減速する。例えば、コンタクトプローブ28の上
昇距離Xが0.007mである場合、加速度(速度波形
の傾き)aを110m/s/sにすると、頂点での速度
vは0.875m/sとなり、コンタクトプローブ28
の上昇に必要な所要時間tは0.016sとなる。次
に、コンタクトプローブ28をその上昇位置で例えば3
0ms停止する。なお、コンタクトプローブ28の上昇
端の位置は基板に載っている部品の高さに応じて異なら
せる。At the time of inspection, in order to bring the tip of the pin probe 42 into contact with a predetermined measurement point on the substrate to be inspected, the movement of the contact probe 28 is controlled according to the instruction of the contact probe movement processing program. At that time, the motor shaft 24 is appropriately rotated in one direction or the opposite direction to drive the timing belt 26, and the driving force is transmitted from the timing belt 26 to the contact probe 28 via the connecting member 30 and the like. Then, the contact probe 28 can be appropriately moved in the Z-axis direction (vertical direction). Therefore, first, the contact probe 28 is raised to the rising end. At this time of rising, the contact probe 28 is accelerated while increasing the first half distance and decelerated while increasing the latter half distance so that the velocity waveform of the contact probe 28 becomes an isosceles triangle. For example, when the ascending distance X of the contact probe 28 is 0.007 m and the acceleration (slope of the velocity waveform) a is 110 m / s / s, the velocity v at the apex is 0.875 m / s.
The required time t required to rise is 0.016 s. Next, the contact probe 28 is moved to its raised position by, for example, 3
Stop for 0 ms. The position of the rising end of the contact probe 28 is made different according to the height of the component mounted on the substrate.
【0018】次に、コンタクトプローブ28を下降す
る。この下降時、ピンプローブ42の先端が上昇端より
0.005m下方にある測定点の近傍にある予定した位
置例えば上昇端より0.0044mに達するまで、コン
タクトプローブ28の速度波形が二等辺三角形となるよ
うに、その前半距離下降させる間にコンタクトプローブ
28を加速し、後半距離下降させる間にコンタクトプロ
ーブ28を減速する。その際、加速度aを105m/s
/sにすると、頂点での速度vは0.677m/sとな
り、コンタクトプローブ28のその下降に必要な所要時
間tは0.013sとなる。それ故、ピンプローブ42
の先端が測定点に接触する直前までコンタクトプローブ
28を高速で下降させ、その下降時間tを短くすること
ができる。Next, the contact probe 28 is lowered. During this descent, the velocity waveform of the contact probe 28 becomes an isosceles triangle until the tip end of the pin probe 42 reaches a predetermined position 0.005 m below the rising end, for example, 0.0044 m below the rising end. As described above, the contact probe 28 is accelerated while being lowered by the first half distance, and the contact probe 28 is decelerated while being lowered by the second half distance. At that time, the acceleration a is 105 m / s
/ S, the velocity v at the apex is 0.677 m / s, and the time t required for the contact probe 28 to descend is 0.013 s. Therefore, the pin probe 42
The contact probe 28 can be lowered at high speed until just before the tip of the contact point contacts the measurement point, and the lowering time t can be shortened.
【0019】次に、ピンプローブ42の先端が予定位置
を超えたらコンタクトプローブ28を一定速度v例えば
0.0285m/sにし、距離X例えば0.0012m
下降する。その際、コンタクトプローブ28が0.00
06m下降した時点でピンプローブ42の先端が測定点
に接触するが、ピンプローブ42が圧縮コイルばねの付
勢力に抗して支持管40の内部に0.0006m後退し
て入るまで、その一定速度vを継続する。すると、コン
タクトプローブ28の下降する速度vをピンプローブ4
2の先端が測定点に当っても損傷を与えないような一定
の低速度vに設定し、しかもピンプローブ42の接触圧
を安定した計測を行なえる圧力にすることができる。こ
のようなコンタクトプローブ28のその下降に必要な所
要時間tは0.042sとである。なお、コンタクトプ
ローブ28を一定速度vに変える位置はコンタクトプロ
ーブ28の高さ方向の位置決め誤差を考慮して決定す
る。Next, when the tip of the pin probe 42 exceeds the predetermined position, the contact probe 28 is set to a constant velocity v, for example, 0.0285 m / s, and the distance X, for example, 0.0012 m.
To descend. At that time, the contact probe 28 is 0.00
The tip of the pin probe 42 comes into contact with the measurement point when the pin probe 42 descends by 06 m, but at a constant speed until the pin probe 42 retracts 0.0006 m into the support tube 40 against the biasing force of the compression coil spring. Continue v. Then, the descending speed v of the contact probe 28 is set to the pin probe 4
It is possible to set a constant low speed v so as not to damage even when the tip of 2 touches the measurement point, and to make the contact pressure of the pin probe 42 a pressure that enables stable measurement. The time t required for lowering the contact probe 28 is 0.042 s. The position at which the contact probe 28 is changed to the constant speed v is determined in consideration of the positioning error of the contact probe 28 in the height direction.
【0020】次に、ピンプローブ42の後退量が0.0
006mを超えた後予定した最終の後退量0.002m
に達するまで、コンタクトプローブ42を0.0014
m下降する。この下降時、その前半距離下降する間にコ
ンタクトプローブ42を加速し、後半距離下降する間に
コンタクトプローブ42を減速する。その際、加速度a
を114m/s/sにすると、頂点での速度vは0.4
m/sとなり、コンタクトプローブ28のその下降に必
要な所要時間tは0.007sとなる。このようにし
て、コンタクトプローブ28を下降端まで高速で下降さ
せると、ピンプローブ42を支持管40の内部に更に
0.0014m素早く押し込んで、下降時間tを短くす
ることができる。なお、ピンプローブ42の支持管40
内への後退量はピンプローブ42の接触圧等を考慮して
決定する。Next, the retracted amount of the pin probe 42 is 0.0.
Final retreat 0.002m planned after exceeding 006m
Until the contact probe 42 reaches 0.0014
m down. When descending, the contact probe 42 is accelerated while descending the first half distance and decelerated while descending the latter half distance. At that time, the acceleration a
Is 114 m / s / s, the velocity v at the apex is 0.4
m / s, and the time t required for the contact probe 28 to descend is 0.007 s. When the contact probe 28 is lowered to the lower end at a high speed in this manner, the pin probe 42 can be pushed further into the inside of the support tube 40 by 0.0014 m, and the lowering time t can be shortened. The support tube 40 for the pin probe 42
The amount of inward movement is determined in consideration of the contact pressure of the pin probe 42 and the like.
【0021】このようなコンタクトプローブ28の下降
時における速度vと時間tとの関係を大略示したものが
図1であり、その区間2はコンタクトプローブ28が上
昇端から0.0044m下降する状態を示し、区間3は
更に0.0044mを超えて0.0056mまで下降す
る状態を示し、区間4は更に0.0056mを超えて
0.007mまで下降する状態を示している。なお、区
間2から区間3、又区間3から区間4への速度の変わり
目にはいずれもモータの動作に応答遅れがあるため、速
度が点線のように変わることなく実線のようになる。そ
して、コンタクトプローブ28の上昇時における速度v
と時間tとの関係は図6と同一になる。因みに、これ等
の図1、6ではコンタクトプローブ28に働く重力や摩
擦係数の存在等は無視している。FIG. 1 schematically shows the relationship between the speed v and the time t when the contact probe 28 descends as described above. In the section 2, the state in which the contact probe 28 descends 0.0044 m from the ascending end is shown. As shown, section 3 shows a state of further dropping beyond 0.0044 m to 0.0056 m, and section 4 shows a state of further descending beyond 0.0056 m to 0.007 m. Since there is a response delay in the operation of the motor at any of the speed changes from the section 2 to the section 3 and from the section 3 to the section 4, the speed does not change like the dotted line and becomes like the solid line. Then, the speed v when the contact probe 28 is raised
And the time t are the same as in FIG. Incidentally, in FIGS. 1 and 6, the presence of gravity and a friction coefficient acting on the contact probe 28 is neglected.
【0022】又、コンタクトプローブ28の上昇及び下
降のほぼ1サイクルにおける距離sと時間tとの関係を
正確に示したものが図5であり、その区間1はコンタク
トプローブ28が下降端から上昇端まで0.007m上
昇する状態を示し、区間2はコンタクトプローブ28が
上昇端から0.0044m下降する状態を示し、区間3
は更に0.0044mを超えて0.0056mまで下降
する状態を示し、区間4は更に0.0056mを超えて
0.007mまで下降する状態を示している。このよう
にして、ピンプローブ42を対応する測定点に適宜接触
させた後、必要とする測定を実施する。Further, FIG. 5 accurately shows the relationship between the distance s and the time t in almost one cycle of the ascent and descent of the contact probe 28, and in the section 1, the contact probe 28 is from the descending end to the ascending end. Up to 0.007 m, section 2 shows the contact probe 28 descending 0.0044 m from the rising end, and section 3
Shows a state of further falling over 0.0044 m to 0.0056 m, and a section 4 shows a state of further falling over 0.0056 m to 0.007 m. In this way, after the pin probe 42 is appropriately brought into contact with the corresponding measurement point, the required measurement is performed.
【0023】[0023]
【発明の効果】以上説明した本発明によれば、ピンプロ
ーブの先端が測定点に接触する直前までコンタクトプロ
ーブを高速で下降させて、下降時間を短くすることがで
きる。そして、ピンプローブの先端が予定位置を超えた
らコンタクトプローブをほぼ一定速度にし、その一定速
度をピンプローブが支持管内に一定量後退して入るまで
継続することにより、ピンプローブの先端が測定点に当
っても損傷を与えないようにし、しかもピンプローブの
接触圧を安定した計測を行なえる圧力にすることができ
る。又、ピンプローブの後退量が一定量を超えた後予定
した最終の後退量即ちコンタクトプローブが下降端に達
するまで高速で下降させて、下降時間を短くすることが
できる。According to the present invention described above, the contact probe can be lowered at a high speed until the tip of the pin probe comes into contact with the measurement point, and the descent time can be shortened. Then, when the tip of the pin probe exceeds the planned position, the contact probe is made to have a substantially constant velocity, and the constant velocity is continued until the pin probe retracts into the support tube by a certain amount so that the tip of the pin probe becomes the measurement point. The contact pressure of the pin probe can be set to a pressure at which stable measurement can be performed without causing damage even if it hits. In addition, after the retracted amount of the pin probe exceeds a certain amount, the pin probe is lowered at a high speed until the final retracted amount, that is, the contact probe reaches the descending end, and the descending time can be shortened.
【図1】本発明を適用したX−Y方式インサーキットテ
スタのタイミングベルト駆動によるコンタクトプローブ
下降時のコンタクトプローブの速度と時間との関係を示
す図である。FIG. 1 is a diagram showing the relationship between the speed and time of a contact probe when the contact probe descends by driving a timing belt of an XY in-circuit tester to which the present invention is applied.
【図2】同X−Y方式インサーキットテスタの構成を示
すブロック図である。FIG. 2 is a block diagram showing a configuration of the XY type in-circuit tester.
【図3】同X−Y方式インサーキットテスタのX−Yユ
ニットに備えるZ軸ユニットの構造を示す斜視図であ
る。FIG. 3 is a perspective view showing a structure of a Z-axis unit included in an XY unit of the same XY type in-circuit tester.
【図4】同X−Y方式インサーキットテスタに備えるコ
ントローラの構成を示すブロック図である。FIG. 4 is a block diagram showing a configuration of a controller included in the XY type in-circuit tester.
【図5】同X−Y方式インサーキットテスタのコンタク
トプローブ上昇及び下降のほぼ1サイクルにおけるコン
タクトプローブの移動距離と時間との関係を示す図であ
る。FIG. 5 is a diagram showing a relationship between a moving distance of the contact probe and time in almost one cycle of ascending and descending of the contact probe of the XY in-circuit tester.
【図6】従来のX−Y方式インサーキットテスタのタイ
ミングベルト駆動によるコンタクトプローブ下降時のコ
ンタクトプローブの速度と時間との関係を示す図であ
る。FIG. 6 is a diagram showing a relationship between the speed of the contact probe and time when the contact probe is lowered by driving a timing belt of a conventional XY in-circuit tester.
【図7】同X−Y方式インサーキットテスタのコンタク
トプローブ下降時におけるコンタクトプローブ移動距離
と時間との関係を示す図である。FIG. 7 is a diagram showing a relationship between a contact probe moving distance and time when the contact probe of the XY in-circuit tester descends.
10…X−Y方式インサーキットテスタ 12…操作部
14…X−Y−Z制御部 16…測定部 18…コン
トローラ 20…Z軸ユニット 22…ベース板 24
…モータ軸 26…タイミングベルト 28…コンタク
トプローブ 30…連結部材 32…案内レール 34
…駆動ローラ 38…従動ローラ 40…支持管 42
…ピンプローブ 48…ベース部材 52…位置検出セ
ンサ 54…位置指示板 56…リードワイヤ 58…
CPU 60…ROM 62…RAM 64…入出力ポ
ート 66…バスライン10 ... XY system in-circuit tester 12 ... Operation part 14 ... XYZ control part 16 ... Measuring part 18 ... Controller 20 ... Z-axis unit 22 ... Base plate 24
... motor shaft 26 ... timing belt 28 ... contact probe 30 ... connecting member 32 ... guide rail 34
Drive roller 38 Driven roller 40 Support tube 42
... Pin probe 48 ... Base member 52 ... Position detection sensor 54 ... Position indicating plate 56 ... Lead wire 58 ...
CPU 60 ... ROM 62 ... RAM 64 ... Input / output port 66 ... Bus line
Claims (1)
ユニットに、モータとそのモータ軸から駆動力を受ける
タイミングベルトとそのタイミングベルトから駆動力を
受けるコンタクトプローブとを設置し、そのコンタクト
プローブに圧縮コイルばねから付勢力を受けて先端部が
支持管から突出するピンプローブを備え、そのモータ軸
の回動を制御することにより、タイミングベルトを介し
てコンタクトプローブの位置と動きを制御するX−Y方
式インサーキットテスタのタイミングベルト駆動による
プロービング方法において、上記コンタクトプローブを
上昇端まで上げた後に下降させ、そのコンタクトプロー
ブの下降時にピンプローブの先端が測定点の近傍にある
予定した位置に達するまで、そのほぼ前半距離下降する
間コンタクトプローブを加速し、後半距離下降する間コ
ンタクトプローブを減速し、そのピンプローブの先端が
予定位置を超えたらコンタクトプローブをほぼ一定速度
にし、ピンプローブの先端が測定点に接触した後ピンプ
ローブの先端部が支持管内に一定量後退して入るまでそ
の一定速度を継続し、そのピンプローブの後退量が一定
量を超えた後予定した最終の後退量に達するまで、その
ほぼ前半距離下降する間コンタクトプローブを加速し、
後半距離下降する間コンタクトプローブを減速すること
を特徴とするX−Y方式インサーキットテスタのタイミ
ングベルト駆動によるプロービング方法。1. A Z-axis unit of an XY type in-circuit tester is provided with a motor, a timing belt that receives a driving force from the motor shaft, and a contact probe that receives the driving force from the timing belt. The pin probe whose tip projects from the support tube in response to the biasing force from the compression coil spring is provided, and the position and movement of the contact probe are controlled via the timing belt by controlling the rotation of the motor shaft of the pin probe. In the probing method by driving the timing belt of the Y-type in-circuit tester, the contact probe is raised to the rising end and then lowered, until the tip of the pin probe reaches a predetermined position near the measurement point when the contact probe descends. , The contact probe while descending almost the first half Acceleration of the probe, decelerating the contact probe while descending the latter half of the distance, making the contact probe almost constant speed when the tip of the pin probe exceeds the planned position, and after the tip of the pin probe contacts the measurement point, the tip of the pin probe The part continues its constant speed until it retracts into the support tube by a certain amount, and then contacts for the first half of that distance until the pin probe retreat amount exceeds the certain amount and reaches the planned final retreat amount. Accelerate the probe,
A probing method by driving a timing belt of an XY type in-circuit tester, characterized in that the contact probe is decelerated while descending a second half distance.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP35193995A JP3391617B2 (en) | 1995-12-26 | 1995-12-26 | Probing method by timing belt drive of XY system in-circuit tester |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP35193995A JP3391617B2 (en) | 1995-12-26 | 1995-12-26 | Probing method by timing belt drive of XY system in-circuit tester |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09178771A true JPH09178771A (en) | 1997-07-11 |
JP3391617B2 JP3391617B2 (en) | 2003-03-31 |
Family
ID=18420662
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP35193995A Expired - Lifetime JP3391617B2 (en) | 1995-12-26 | 1995-12-26 | Probing method by timing belt drive of XY system in-circuit tester |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3391617B2 (en) |
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- 1995-12-26 JP JP35193995A patent/JP3391617B2/en not_active Expired - Lifetime
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JP3391617B2 (en) | 2003-03-31 |
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