JPH09175827A - 多孔質ガラス母材合成用バーナ - Google Patents
多孔質ガラス母材合成用バーナInfo
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- JPH09175827A JPH09175827A JP33919095A JP33919095A JPH09175827A JP H09175827 A JPH09175827 A JP H09175827A JP 33919095 A JP33919095 A JP 33919095A JP 33919095 A JP33919095 A JP 33919095A JP H09175827 A JPH09175827 A JP H09175827A
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- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
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- C03B37/0142—Reactant deposition burners
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
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- C03B2207/00—Glass deposition burners
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- Glass Melting And Manufacturing (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ガラス物品形成用バーナの構造を特定してガ
ラス微粒子の生成を効率的に行い、合成速度の高い母材
合成を可能とし、かつ酸化物ドーパントの収率低下を抑
制する。 【解決手段】 ガラス原料ガスを火炎中で加水分解反応
又は酸化反応させ、ガラス微粒子を生成するガラス物品
合成用バーナにおいて、中心にガラス原料ガス噴出ポー
ト、この外周に円環状の第一の酸素噴出ポート、第一の
酸素噴出ポートの外周に円環状の不活性ガス噴出ポー
ト、更にこの外周に複数の第二の酸素噴出ポートを内包
した円環状の水素噴出ポートを設けた事を特徴とする多
孔質ガラス母材合成用バーナ。
ラス微粒子の生成を効率的に行い、合成速度の高い母材
合成を可能とし、かつ酸化物ドーパントの収率低下を抑
制する。 【解決手段】 ガラス原料ガスを火炎中で加水分解反応
又は酸化反応させ、ガラス微粒子を生成するガラス物品
合成用バーナにおいて、中心にガラス原料ガス噴出ポー
ト、この外周に円環状の第一の酸素噴出ポート、第一の
酸素噴出ポートの外周に円環状の不活性ガス噴出ポー
ト、更にこの外周に複数の第二の酸素噴出ポートを内包
した円環状の水素噴出ポートを設けた事を特徴とする多
孔質ガラス母材合成用バーナ。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は高純度の石英ガラス
を合成するために中間段階として製造する多孔質ガラス
母材の製造に用いられるバーナに関するものであり、こ
のバーナで合成した多孔質ガラス母材は加熱処理するこ
とにより、脱水及び／又は透明化して高純度の石英ガラ
スを製造することが可能であり、石英系光ファイバ用母
材として好適に用いられる。
を合成するために中間段階として製造する多孔質ガラス
母材の製造に用いられるバーナに関するものであり、こ
のバーナで合成した多孔質ガラス母材は加熱処理するこ
とにより、脱水及び／又は透明化して高純度の石英ガラ
スを製造することが可能であり、石英系光ファイバ用母
材として好適に用いられる。
【０００２】
【従来の技術】高純度のガラス母材を合成する方法とし
て、ＶＡＤ法（気相軸付け法：Vapourphase Axial Depo
sition method）あるいはＯＶＤ法（外付け法：Outside
Vapour Deposition method）が一般的である。ＶＡＤ
法は、例えば、特公昭５９−１３４５２号公報に開示さ
れているように、バーナで形成された酸素・水素火炎中
にガラス原料ガス（例えばＳｉＣｌ4 ）を供給し、火炎
加水分解反応あるいは酸化反応によりガラス微粒子を生
成し、これをターゲットに堆積し、他のターゲットを回
転しつつ母材の軸方向に引き上げることにより多孔質状
のガラス母材（多孔質ガラス母材と略称する）を合成す
る方法である。こうして合成した多孔質ガラス母材は焼
結炉で過熱されることにより透明な高純度ガラス母材を
製造することができる。このとき、屈折率分布を形成す
る場合には屈折率を変化させるドーパント原料（例えば
ＧｅＣｌ4 ）をガラス原料とともにバーナに供給するこ
とにより屈折率分布を形成することができる。
て、ＶＡＤ法（気相軸付け法：Vapourphase Axial Depo
sition method）あるいはＯＶＤ法（外付け法：Outside
Vapour Deposition method）が一般的である。ＶＡＤ
法は、例えば、特公昭５９−１３４５２号公報に開示さ
れているように、バーナで形成された酸素・水素火炎中
にガラス原料ガス（例えばＳｉＣｌ4 ）を供給し、火炎
加水分解反応あるいは酸化反応によりガラス微粒子を生
成し、これをターゲットに堆積し、他のターゲットを回
転しつつ母材の軸方向に引き上げることにより多孔質状
のガラス母材（多孔質ガラス母材と略称する）を合成す
る方法である。こうして合成した多孔質ガラス母材は焼
結炉で過熱されることにより透明な高純度ガラス母材を
製造することができる。このとき、屈折率分布を形成す
る場合には屈折率を変化させるドーパント原料（例えば
ＧｅＣｌ4 ）をガラス原料とともにバーナに供給するこ
とにより屈折率分布を形成することができる。
【０００３】この場合に用いられるバーナは前記特公昭
５９−１３４５２号公報に示されるような同心円状の多
重管バーナが用いられているが、さらに合成の効率を上
げるため特開昭６１−１８３１４０号公報に示すような
いわゆる２重火炎バーナのような構造のバーナが開示さ
れている。ＯＶＤ法は、例えば、特開昭４８−７３５２
２号公報に示されるように、回転するガラスロッドの外
周部に、ガラス原料の加水分解反応あるいは酸化反応に
より生成したガラス微粒子を堆積させ、母材外径を次第
に大きくし、所定量のガラス微粒子が堆積された後、堆
積を停止し、ガラスロッドの外周に多孔質ガラス母材を
合成する方法である。この母材は中心のガラスロッドを
引き抜いた後透明化することにより透明ガラスパイプを
製造する場合と、そのまま焼結し透明ガラス化する場合
とが知られている。出発ロッドの外周に多孔質ガラス母
材を合成する方法では、上記のＯＶＤ法以外に、例え
ば、特公平５−８３４９９号公報に開示されているよう
に出発ロッドの片端からガラス微粒子を合成し始め、ガ
ラスロッドの軸方向にガラスロッドを引き上げて製造す
る方法も知られている。
５９−１３４５２号公報に示されるような同心円状の多
重管バーナが用いられているが、さらに合成の効率を上
げるため特開昭６１−１８３１４０号公報に示すような
いわゆる２重火炎バーナのような構造のバーナが開示さ
れている。ＯＶＤ法は、例えば、特開昭４８−７３５２
２号公報に示されるように、回転するガラスロッドの外
周部に、ガラス原料の加水分解反応あるいは酸化反応に
より生成したガラス微粒子を堆積させ、母材外径を次第
に大きくし、所定量のガラス微粒子が堆積された後、堆
積を停止し、ガラスロッドの外周に多孔質ガラス母材を
合成する方法である。この母材は中心のガラスロッドを
引き抜いた後透明化することにより透明ガラスパイプを
製造する場合と、そのまま焼結し透明ガラス化する場合
とが知られている。出発ロッドの外周に多孔質ガラス母
材を合成する方法では、上記のＯＶＤ法以外に、例え
ば、特公平５−８３４９９号公報に開示されているよう
に出発ロッドの片端からガラス微粒子を合成し始め、ガ
ラスロッドの軸方向にガラスロッドを引き上げて製造す
る方法も知られている。
【０００４】従来このような気相合成法での多孔質ガラ
ス母材合成技術は、基本的な技術が既に確立され、最近
はもっぱら生産性の向上に開発の力点が置かれていい
る。生産性を示すパラメータとして単位時間当たりに合
成される多孔質ガラス母材の重量が合成速度と称して用
いられる（単位ｇ／ｍｉｎ）。気相合成法で合成速度を
上げるには、火炎中でのガラス原料の反応を促進し、か
つ生成したガラス微粒子を効率的に堆積面に堆積させて
いくことが重要なポイントである。ガラス微粒子の反応
を促進するには反応時間を長くし、反応温度を高くする
ことが必要である。また、堆積を促進するには堆積面と
火炎の温度差を大きくし、ガラス微粒子に働くサーモホ
レシス効果（微細な粒子は温度勾配に比例した力をガス
から受ける。この現象をサーモホレシス効果と称する）
を最大限に利用することが必要と考えられ得る。一般的
に単純にガラス原料の投入量を増加しただけでは、反応
あるいは堆積の効率が低下し、合成速度は頭打ちになっ
てしまう。これは、特公昭５９−１３４５２号公報に示
されるような５重管に代表されるような火炎が一つ形成
されるバーナでは、原料の反応を促進するためには、バ
ーナを堆積面からはなすと火炎の流速が遅いために母材
に達する火炎温度は低下し、堆積効率が低下する。一方
燃料ガスの流量を上げると火炎中心温度が上昇しすぎ、
火炎の中心が当たっている堆積面の温度が局部的に上昇
し、逆にガラス微粒子の堆積を妨げることになるためで
ある。
ス母材合成技術は、基本的な技術が既に確立され、最近
はもっぱら生産性の向上に開発の力点が置かれていい
る。生産性を示すパラメータとして単位時間当たりに合
成される多孔質ガラス母材の重量が合成速度と称して用
いられる（単位ｇ／ｍｉｎ）。気相合成法で合成速度を
上げるには、火炎中でのガラス原料の反応を促進し、か
つ生成したガラス微粒子を効率的に堆積面に堆積させて
いくことが重要なポイントである。ガラス微粒子の反応
を促進するには反応時間を長くし、反応温度を高くする
ことが必要である。また、堆積を促進するには堆積面と
火炎の温度差を大きくし、ガラス微粒子に働くサーモホ
レシス効果（微細な粒子は温度勾配に比例した力をガス
から受ける。この現象をサーモホレシス効果と称する）
を最大限に利用することが必要と考えられ得る。一般的
に単純にガラス原料の投入量を増加しただけでは、反応
あるいは堆積の効率が低下し、合成速度は頭打ちになっ
てしまう。これは、特公昭５９−１３４５２号公報に示
されるような５重管に代表されるような火炎が一つ形成
されるバーナでは、原料の反応を促進するためには、バ
ーナを堆積面からはなすと火炎の流速が遅いために母材
に達する火炎温度は低下し、堆積効率が低下する。一方
燃料ガスの流量を上げると火炎中心温度が上昇しすぎ、
火炎の中心が当たっている堆積面の温度が局部的に上昇
し、逆にガラス微粒子の堆積を妨げることになるためで
ある。
【０００５】このような問題を解決する手段として特開
昭６１−１８３１４０号公報に開示されているようない
わゆる多重火炎バーナが開発されている。このバーナは
ガラス原料ガスを反応させる内側の火炎と、母材を加熱
し、生成したガラス微粒子の堆積を促進するための外側
火炎から成っており、ガラス原料ガスの反応時間を稼ぐ
ために、内側火炎の噴出位置が外側火炎に対し、後方に
下がった構造になっている。外側火炎の存在により母材
の加熱が容易になり、大型の母材作成が可能になるとと
もにサーモホレシス効果の促進に有利になっている。し
かしながら、このような多重管バーナでは、外周部のポ
ートほど外径が大きくなるために噴出口の断面積が大き
くなり、ガスの噴出流速が低下する。噴出流速は火炎の
強さを決めるもので流速が小さいと母材の加熱が十分で
きず、多重火炎バーナの利点を生かせない事になる。ポ
ートの隙間を小さくし断面積を絞ることもできるが、こ
の場合には実質的なバーナのサイズが小さくなり、加熱
できる母材の大きさに制限が生じてしまう。この結果、
多重火炎バーナで合成速度を稼ぐためには、ポートの数
を増やし、かつ断面積の増加に伴いガスの流量を増加し
流速を稼ぐことが必要になり、ガス使用量の増大、配管
系統数の増加を招き、合成速度向上による経済効果はこ
れらの経費増大により相殺されてしまう事態になってい
る。
昭６１−１８３１４０号公報に開示されているようない
わゆる多重火炎バーナが開発されている。このバーナは
ガラス原料ガスを反応させる内側の火炎と、母材を加熱
し、生成したガラス微粒子の堆積を促進するための外側
火炎から成っており、ガラス原料ガスの反応時間を稼ぐ
ために、内側火炎の噴出位置が外側火炎に対し、後方に
下がった構造になっている。外側火炎の存在により母材
の加熱が容易になり、大型の母材作成が可能になるとと
もにサーモホレシス効果の促進に有利になっている。し
かしながら、このような多重管バーナでは、外周部のポ
ートほど外径が大きくなるために噴出口の断面積が大き
くなり、ガスの噴出流速が低下する。噴出流速は火炎の
強さを決めるもので流速が小さいと母材の加熱が十分で
きず、多重火炎バーナの利点を生かせない事になる。ポ
ートの隙間を小さくし断面積を絞ることもできるが、こ
の場合には実質的なバーナのサイズが小さくなり、加熱
できる母材の大きさに制限が生じてしまう。この結果、
多重火炎バーナで合成速度を稼ぐためには、ポートの数
を増やし、かつ断面積の増加に伴いガスの流量を増加し
流速を稼ぐことが必要になり、ガス使用量の増大、配管
系統数の増加を招き、合成速度向上による経済効果はこ
れらの経費増大により相殺されてしまう事態になってい
る。
【０００６】このような問題に対し、特開昭６２−１８
７１３５号公報では環状の可燃ガス噴射流路の中に複数
の助燃性ガス噴射口を設けたタイプのバーナが開示され
ている。このバーナは中心にガラス原料ガス噴射流路を
有し、この外周に複数の独立した助燃性ガス（酸素）噴
射流路が配置され、この助燃性ガス噴射流路の周囲に環
状に可燃性ガス噴射流路が設けられた構造を示してい
る。また、ガラス原料噴射流路と可燃性ガス流路との間
に不活性ガス噴出ポートを設けた構造、あるいは可燃性
ガス噴射流路の外周に不活性ガス噴射流路、助燃性ガス
噴射流路を備えた構造も開示されている。この構造のバ
ーナは助燃性ガスの噴射流量を断面積の小さな複数の流
路に分割することで、助燃性ガスの噴出速度を多重火炎
バーナに比べ大幅にアップし、火炎の流速を早める効果
を有する。この結果、火炎を堆積面から離しても火炎温
度が低下することはなく、助燃性ガス流量も増大するこ
となくガラス原料の反応に必要な距離、バーナを堆積面
から離す事が可能となる。また、助燃性ガス噴射流路を
複数にすることにより、流路の中心からの距離に関係な
く、断面積を選ぶことが可能となり、多重管バーナに比
べガスの使用量、配管の系統数を削減する効果がある。
しかしながら、この構造の場合火炎形成がガラス原料噴
出ポートから離れた位置になされるため、ガラス原料の
反応に必要な酸素ガス、あるいはＨ2 Ｏガスが原料と混
合しにくいという問題が有る。このため火炎の流速が早
くなり、バーナとガラス微粒子堆積面の距離を離すこと
が可能になるが、反応の進行速度が遅くなるため、火炎
流速を早くした効果が相殺されてしまい、十分な反応が
進まないまま堆積面に至るという問題が生じた。更に、
ドーパント原料を入れた場合には、ガラス原料ガスの流
れる火炎中心部の酸素濃度が低いため、例えば、ＧｅＯ
2 のような酸化物ドーパントを用いる場合には、ドーパ
ントの反応が十分進まず、ドーパント原料の収率（投入
量に対し母材に添加されるドーパントの割合）が著しく
低下するという問題が発生した。
７１３５号公報では環状の可燃ガス噴射流路の中に複数
の助燃性ガス噴射口を設けたタイプのバーナが開示され
ている。このバーナは中心にガラス原料ガス噴射流路を
有し、この外周に複数の独立した助燃性ガス（酸素）噴
射流路が配置され、この助燃性ガス噴射流路の周囲に環
状に可燃性ガス噴射流路が設けられた構造を示してい
る。また、ガラス原料噴射流路と可燃性ガス流路との間
に不活性ガス噴出ポートを設けた構造、あるいは可燃性
ガス噴射流路の外周に不活性ガス噴射流路、助燃性ガス
噴射流路を備えた構造も開示されている。この構造のバ
ーナは助燃性ガスの噴射流量を断面積の小さな複数の流
路に分割することで、助燃性ガスの噴出速度を多重火炎
バーナに比べ大幅にアップし、火炎の流速を早める効果
を有する。この結果、火炎を堆積面から離しても火炎温
度が低下することはなく、助燃性ガス流量も増大するこ
となくガラス原料の反応に必要な距離、バーナを堆積面
から離す事が可能となる。また、助燃性ガス噴射流路を
複数にすることにより、流路の中心からの距離に関係な
く、断面積を選ぶことが可能となり、多重管バーナに比
べガスの使用量、配管の系統数を削減する効果がある。
しかしながら、この構造の場合火炎形成がガラス原料噴
出ポートから離れた位置になされるため、ガラス原料の
反応に必要な酸素ガス、あるいはＨ2 Ｏガスが原料と混
合しにくいという問題が有る。このため火炎の流速が早
くなり、バーナとガラス微粒子堆積面の距離を離すこと
が可能になるが、反応の進行速度が遅くなるため、火炎
流速を早くした効果が相殺されてしまい、十分な反応が
進まないまま堆積面に至るという問題が生じた。更に、
ドーパント原料を入れた場合には、ガラス原料ガスの流
れる火炎中心部の酸素濃度が低いため、例えば、ＧｅＯ
2 のような酸化物ドーパントを用いる場合には、ドーパ
ントの反応が十分進まず、ドーパント原料の収率（投入
量に対し母材に添加されるドーパントの割合）が著しく
低下するという問題が発生した。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、原料ガスポ
ート、酸素ガスポート、水素ガスポートを特定の構造と
特定の位置関係とにすることで、上記従来技術の種々の
問題点を解決し、特にガラス微粒子の生成を効率的に行
い、合成速度の高い母材合成を可能とし、かつ酸化物ド
ーパントの収率低下を抑制することを目的とするもので
ある。
ート、酸素ガスポート、水素ガスポートを特定の構造と
特定の位置関係とにすることで、上記従来技術の種々の
問題点を解決し、特にガラス微粒子の生成を効率的に行
い、合成速度の高い母材合成を可能とし、かつ酸化物ド
ーパントの収率低下を抑制することを目的とするもので
ある。
【０００８】上記の目的は、下記のような特徴的技術事
項により達成することができる。 （１）ガラス原料ガスを火炎中で加水分解反応又は酸化
反応させ、ガラス微粒子を生成するガラス物品合成用バ
ーナにおいて、中心にガラス原料ガス噴出ポート、この
外周に円環状の第一の酸素噴出ポート、第一の酸素噴射
ポートの外周に円環状の不活性ガス噴出ポート、更にこ
の外周に複数の第二の酸素噴出ポートを内包した円環状
の水素噴出ポートを設けた事を特徴とする多孔質ガラス
母材合成用バーナ。 （２）複数の第二の酸素噴出ポートが、中心に存在する
ガラス原料噴出ポートに対し同心状に１列又は複数列に
配列されていることを特徴とする上記（１）に記載の多
孔質ガラス母材製造用バーナ。 （３）ガラス原料ガス噴出ポートから少なくともガラス
原料ガスおよび酸素ガスを流すようにしたことを特徴と
する上記（１）又は（２）に記載の多孔質ガラス母材合
成用バーナ。
項により達成することができる。 （１）ガラス原料ガスを火炎中で加水分解反応又は酸化
反応させ、ガラス微粒子を生成するガラス物品合成用バ
ーナにおいて、中心にガラス原料ガス噴出ポート、この
外周に円環状の第一の酸素噴出ポート、第一の酸素噴射
ポートの外周に円環状の不活性ガス噴出ポート、更にこ
の外周に複数の第二の酸素噴出ポートを内包した円環状
の水素噴出ポートを設けた事を特徴とする多孔質ガラス
母材合成用バーナ。 （２）複数の第二の酸素噴出ポートが、中心に存在する
ガラス原料噴出ポートに対し同心状に１列又は複数列に
配列されていることを特徴とする上記（１）に記載の多
孔質ガラス母材製造用バーナ。 （３）ガラス原料ガス噴出ポートから少なくともガラス
原料ガスおよび酸素ガスを流すようにしたことを特徴と
する上記（１）又は（２）に記載の多孔質ガラス母材合
成用バーナ。
【０００９】（４）ガラス原料ガスを火炎中で加水分解
反応又は酸化反応させ、ガラス微粒子を生成するガラス
物品合成用バーナにおいて、中心にガラス原料ガス噴出
ポート、この外周に円環状の第一の酸素噴出ポート、第
一の酸素噴出ポートの外周に円環状の不活性ガス噴出ポ
ート、更にこの外周に複数の第二の酸素噴出ポートを内
包した円環状の水素噴出ポートを有し、該水素噴出ポー
トの外周に環状の不活性ガス噴出ポート、更にこの外周
に環状の第三の酸素噴出ポートを設けた事を特徴とする
多孔質ガラス母材合成用バーナ。 （５）複数の酸素噴出ポートが、中心に存在するガラス
原料噴出ポートに対し同心状に１列又は複数列に配列さ
れていることを特徴とする上記（４）に記載の多孔質ガ
ラス母材製造用バーナ。 （６）ガラス原料ガス噴出ポートとから少なくともガラ
ス原料ガスおよび酸素ガスを流すようにしたことを特徴
とする上記（４）又は（５）に記載の多孔質ガラス母材
合成用バーナ。
反応又は酸化反応させ、ガラス微粒子を生成するガラス
物品合成用バーナにおいて、中心にガラス原料ガス噴出
ポート、この外周に円環状の第一の酸素噴出ポート、第
一の酸素噴出ポートの外周に円環状の不活性ガス噴出ポ
ート、更にこの外周に複数の第二の酸素噴出ポートを内
包した円環状の水素噴出ポートを有し、該水素噴出ポー
トの外周に環状の不活性ガス噴出ポート、更にこの外周
に環状の第三の酸素噴出ポートを設けた事を特徴とする
多孔質ガラス母材合成用バーナ。 （５）複数の酸素噴出ポートが、中心に存在するガラス
原料噴出ポートに対し同心状に１列又は複数列に配列さ
れていることを特徴とする上記（４）に記載の多孔質ガ
ラス母材製造用バーナ。 （６）ガラス原料ガス噴出ポートとから少なくともガラ
ス原料ガスおよび酸素ガスを流すようにしたことを特徴
とする上記（４）又は（５）に記載の多孔質ガラス母材
合成用バーナ。
【００１０】
【発明の実施の形態】図１（ａ）に本発明の第一の実施
形態を示す。中心のガラス原料ガス噴出ポート１の外周
に円環状の第一の酸素噴出ポート２、第一の酸素噴出ポ
ートの外周に円環状の不活性ガス噴出ポート３、この外
周に複数の第二の酸素噴出ポート５を内包する環状の水
素噴出ポート４を設けることで、火炎流速を早くした火
炎の内部の酸素濃度を上げることが可能となり、ガラス
原料の反応を格段に促進することが可能である。ガラス
原料の反応を促進することにより、火炎流速を高速にし
たメリットを十分生かすことが可能になる。
形態を示す。中心のガラス原料ガス噴出ポート１の外周
に円環状の第一の酸素噴出ポート２、第一の酸素噴出ポ
ートの外周に円環状の不活性ガス噴出ポート３、この外
周に複数の第二の酸素噴出ポート５を内包する環状の水
素噴出ポート４を設けることで、火炎流速を早くした火
炎の内部の酸素濃度を上げることが可能となり、ガラス
原料の反応を格段に促進することが可能である。ガラス
原料の反応を促進することにより、火炎流速を高速にし
たメリットを十分生かすことが可能になる。
【００１１】図１（ｂ）に本発明の第二の実施形態を示
す。この場合は、第１の実施形態の環状の水素噴出ポー
ト４の外周に不活性ガス噴出ポート６、更にこの外周に
環状の第三の酸素噴出ポート７を設けたものであり、外
周に不活性ガス噴出ポート６を挟んで酸素噴出ポート７
を設置したことが特徴である。
す。この場合は、第１の実施形態の環状の水素噴出ポー
ト４の外周に不活性ガス噴出ポート６、更にこの外周に
環状の第三の酸素噴出ポート７を設けたものであり、外
周に不活性ガス噴出ポート６を挟んで酸素噴出ポート７
を設置したことが特徴である。
【００１２】更に第三の実施形態を図１（ｃ）に示す。
この構成は中心にガラス原料ガス噴出ポート１、この外
周に円環状の第一の酸素噴出ポート２、第一の酸素噴出
ポートの外周に円環状の不活性ガス噴出ポート３、更に
この外周に複数の第二の酸素噴出ポート５を内包した円
環状の水素噴出ポート４を有し、該水素噴出ポート４の
外周に環状の不活性ガス噴出ポート６、更にこの外周に
環状の第三の酸素噴出ポート７を設けたものであり、外
周に不活性ガス噴出ポート６を挟んで酸素噴出ポート７
を設置したことが特徴である。水素ガスは複数の第二の
酸素噴出ポート５から噴出する酸素ガスと反応するが、
外周を流れる水素はバーナから噴出する酸素と反応せず
外周に拡散し、周囲の空気中に含まれる酸素ガスと反応
することになる。この結果、バーナ内部の流速の早い火
炎とは異なり、ほとんど母材加熱に寄与しない無駄な燃
焼が行われることになる。しかし、本構成のごとく最外
層に酸素ガスを噴出させるポートを設けることで、この
水素を有効に反応させ、母材加熱に寄与させることが可
能になる。本発明においては、以上のように構成するこ
とにより、多孔質ガラス母材を効率的かつ非常に高い合
成速度、例えば、４．８ｇ／分以上で合成することが可
能となる。
この構成は中心にガラス原料ガス噴出ポート１、この外
周に円環状の第一の酸素噴出ポート２、第一の酸素噴出
ポートの外周に円環状の不活性ガス噴出ポート３、更に
この外周に複数の第二の酸素噴出ポート５を内包した円
環状の水素噴出ポート４を有し、該水素噴出ポート４の
外周に環状の不活性ガス噴出ポート６、更にこの外周に
環状の第三の酸素噴出ポート７を設けたものであり、外
周に不活性ガス噴出ポート６を挟んで酸素噴出ポート７
を設置したことが特徴である。水素ガスは複数の第二の
酸素噴出ポート５から噴出する酸素ガスと反応するが、
外周を流れる水素はバーナから噴出する酸素と反応せず
外周に拡散し、周囲の空気中に含まれる酸素ガスと反応
することになる。この結果、バーナ内部の流速の早い火
炎とは異なり、ほとんど母材加熱に寄与しない無駄な燃
焼が行われることになる。しかし、本構成のごとく最外
層に酸素ガスを噴出させるポートを設けることで、この
水素を有効に反応させ、母材加熱に寄与させることが可
能になる。本発明においては、以上のように構成するこ
とにより、多孔質ガラス母材を効率的かつ非常に高い合
成速度、例えば、４．８ｇ／分以上で合成することが可
能となる。
【００１３】
【実施例】以下本発明を実施例により更に詳細に説明す
る。 （実施例１）図１（ａ）の構成のバーナを用いて図２に
示すような構成でガラス微粒子の合成を行った。バーナ
のサイズは中心のガラス原料噴出ポートを外径５ｍｍ、
内径３ｍｍのパイプで構成し、この外周に外径９ｍｍ、
内径７ｍｍのパイプで第一の酸素噴出ポートを形成し、
この外周に外径１３ｍｍ、内径１１ｍｍのパイプで不活
性ガス噴出ポートを設けた。この外周の水素噴出ポート
は外径３４ｍｍ、内径３２ｍｍのパイプで構成し、この
内部に同心円状に内径１．５ｍｍ、外径３ｍｍの第二の
酸素噴出ポートを同心円状に１２ポート設置した。この
バーナにおいて原料ガスはＳｉＣｌ4 を３リットル／ｍ
ｉｎ、酸素ガスは第一の酸素ポートから３リットル／ｍ
ｉｎ、第二の複数の酸素ポートから５０リットル／ｍｉ
ｎ、水素ガスは６０リットル／ｍｉｎ、不活性ガスはＡ
ｒガスを１．５リットル／ｍｉｎに設定して多孔質母材
の合成を行った。この結果、合成速度は５．２ｇ／ｍｉ
ｎで良好な母材を得ることができた。
る。 （実施例１）図１（ａ）の構成のバーナを用いて図２に
示すような構成でガラス微粒子の合成を行った。バーナ
のサイズは中心のガラス原料噴出ポートを外径５ｍｍ、
内径３ｍｍのパイプで構成し、この外周に外径９ｍｍ、
内径７ｍｍのパイプで第一の酸素噴出ポートを形成し、
この外周に外径１３ｍｍ、内径１１ｍｍのパイプで不活
性ガス噴出ポートを設けた。この外周の水素噴出ポート
は外径３４ｍｍ、内径３２ｍｍのパイプで構成し、この
内部に同心円状に内径１．５ｍｍ、外径３ｍｍの第二の
酸素噴出ポートを同心円状に１２ポート設置した。この
バーナにおいて原料ガスはＳｉＣｌ4 を３リットル／ｍ
ｉｎ、酸素ガスは第一の酸素ポートから３リットル／ｍ
ｉｎ、第二の複数の酸素ポートから５０リットル／ｍｉ
ｎ、水素ガスは６０リットル／ｍｉｎ、不活性ガスはＡ
ｒガスを１．５リットル／ｍｉｎに設定して多孔質母材
の合成を行った。この結果、合成速度は５．２ｇ／ｍｉ
ｎで良好な母材を得ることができた。
【００１４】（比較例１）実施例１と同様のバーナを使
用し、第一の酸素ポートから酸素に代えてＨｅガスを３
リットル／ｍｉｎ流し、あとは同じ設定で多孔質母材の
合成を行った。この結果合成速度４．２ｇ／ｍｉｎと大
幅に低下してしまった。
用し、第一の酸素ポートから酸素に代えてＨｅガスを３
リットル／ｍｉｎ流し、あとは同じ設定で多孔質母材の
合成を行った。この結果合成速度４．２ｇ／ｍｉｎと大
幅に低下してしまった。
【００１５】（比較例２）図３に示すバーナを用いて図
２の構成で多孔質ガラス母材の合成を行った。このとき
のバーナサイズは中心のガラス原料噴出ポートを外径５
ｍｍ、内径３ｍｍのパイプで構成し、この外周に外径９
ｍｍ、内径７ｍｍのパイプで活性ガス噴出ポートを設
け、この外周の水素噴出ポートは外径３２ｍｍ、内径３
０ｍｍのパイプで構成し、この内部に同心円状に内径
１．５ｍｍ、外径３ｍｍの酸素噴出ポートを同心円状に
１２ポート設置した。ガス流量は実施例１の第一の酸素
ポートのガスを無くしたのみで、あとは同じ流量とし
た。このときの合成速度は４．４ｇ／ｍｉｎと低く、原
料が十分反応していないことが予測された。
２の構成で多孔質ガラス母材の合成を行った。このとき
のバーナサイズは中心のガラス原料噴出ポートを外径５
ｍｍ、内径３ｍｍのパイプで構成し、この外周に外径９
ｍｍ、内径７ｍｍのパイプで活性ガス噴出ポートを設
け、この外周の水素噴出ポートは外径３２ｍｍ、内径３
０ｍｍのパイプで構成し、この内部に同心円状に内径
１．５ｍｍ、外径３ｍｍの酸素噴出ポートを同心円状に
１２ポート設置した。ガス流量は実施例１の第一の酸素
ポートのガスを無くしたのみで、あとは同じ流量とし
た。このときの合成速度は４．４ｇ／ｍｉｎと低く、原
料が十分反応していないことが予測された。
【００１６】（実施例２）図１（ｂ）の構成のバーナを
用いて図２に示すような構成でガラス微粒子の合成を行
った。バーナのサイズは中心のガラス原料噴出ポートを
外径５ｍｍ、内径３ｍｍのパイプで構成し、この外周に
外径９ｍｍ、内径７ｍｍのパイプで第一の酸素噴出ポー
トを形成し、この外周に外径１３ｍｍ、内径１１ｍｍの
パイプで不活性ガス噴出ポートを設けた。この外周の水
素噴出ポートは外径３４ｍｍ、内径３２ｍｍのパイプで
構成し、この内部に同心円状に内径１．５ｍｍ、外径３
ｍｍの第二の酸素噴出ポートを同心円状に１２ポート設
置した。更にこの外側に外径３８ｍｍ、内径３６ｍｍの
パイプ及び外径４４ｍｍ、内径４１ｍｍのパイプを配置
し、それぞれ不活性ガスポート、第二の酸素噴出ポート
を形成した。このバーナにおいて原料ガスはＳｉＣｌ4
を３リットル／ｍｉｎ、酸素ガスは第一の酸素ポートか
ら３リットル／ｍｉｎ、第二の複数の酸素ポートから５
０リットル／ｍｉｎ、水素ガスは６０リットル／ｍｉ
ｎ、第三の酸素ガスは２０リットル／ｍｉｎに設定し
た。不活性ガスは内側のポートにＡｒガスを１．５リッ
トル／ｍｉｎ外側のポートにＡｒガスを８リットル／ｍ
ｉｎ流し多孔質母材の合成を行った。この結果、合成速
度は５．６ｇ／ｍｉｎで良好な母材を得ることができ
た。
用いて図２に示すような構成でガラス微粒子の合成を行
った。バーナのサイズは中心のガラス原料噴出ポートを
外径５ｍｍ、内径３ｍｍのパイプで構成し、この外周に
外径９ｍｍ、内径７ｍｍのパイプで第一の酸素噴出ポー
トを形成し、この外周に外径１３ｍｍ、内径１１ｍｍの
パイプで不活性ガス噴出ポートを設けた。この外周の水
素噴出ポートは外径３４ｍｍ、内径３２ｍｍのパイプで
構成し、この内部に同心円状に内径１．５ｍｍ、外径３
ｍｍの第二の酸素噴出ポートを同心円状に１２ポート設
置した。更にこの外側に外径３８ｍｍ、内径３６ｍｍの
パイプ及び外径４４ｍｍ、内径４１ｍｍのパイプを配置
し、それぞれ不活性ガスポート、第二の酸素噴出ポート
を形成した。このバーナにおいて原料ガスはＳｉＣｌ4
を３リットル／ｍｉｎ、酸素ガスは第一の酸素ポートか
ら３リットル／ｍｉｎ、第二の複数の酸素ポートから５
０リットル／ｍｉｎ、水素ガスは６０リットル／ｍｉ
ｎ、第三の酸素ガスは２０リットル／ｍｉｎに設定し
た。不活性ガスは内側のポートにＡｒガスを１．５リッ
トル／ｍｉｎ外側のポートにＡｒガスを８リットル／ｍ
ｉｎ流し多孔質母材の合成を行った。この結果、合成速
度は５．６ｇ／ｍｉｎで良好な母材を得ることができ
た。
【００１７】（実施例３）図１（ｃ）の構造のバーナを
用いて、図２の構成で多孔質ガラス母材の製造を行っ
た。バーナのサイズは中心のガラス原料噴出ポートを外
径５ｍｍ、内径３ｍｍのパイプで構成し、この外周に外
径９ｍｍ、内径７ｍｍのパイプで第一の酸素噴出ポート
を形成し、この外周に外径１３ｍｍ、内径１１ｍｍのパ
イプで不活性ガス噴出ポートを設けた。この外周の水素
噴出ポートは外径４６ｍｍ、内径４４ｍｍのパイプで構
成し、この内部に内径１．５ｍｍ、外径３ｍｍの第二の
酸素噴出ポートを内側のパイプに沿って同心円状に１２
ポート設置し、更にこの外周に同心円状に１２ポート設
置した。更にこの外側に外径５０ｍｍ、内径４８ｍｍの
パイプ及び外径５５ｍｍ、内径５３ｍｍのパイプを配置
し、それぞれ不活性ガスポート、第三の酸素噴出ポート
を形成した。このバーナに原料ガスとしてＳｉＣｌ4 を
４リットル／ｍｉｎ流し、この中心ポートに酸素ガスを
０．５リットル／ｍｉｎ混入した、酸素ガスは第一の酸
素ポートから２リットル／ｍｉｎ、第二の複数の酸素ポ
ートから７０リットル／ｍｉｎ、水素ガスは８０リット
ル／ｍｉｎ、第三の酸素ガスは３０リットル／ｍｉｎに
設定した。不活性ガスは内側のポートにＡｒガスを２リ
ットル／ｍｉｎ、外側のポートにＡｒガスを１０リット
ル／ｍｉｎ流し多孔質母材の合成を行った。この結果、
合成速度は６．４ｇ／ｍｉｎで良好な母材を得ることが
できた。
用いて、図２の構成で多孔質ガラス母材の製造を行っ
た。バーナのサイズは中心のガラス原料噴出ポートを外
径５ｍｍ、内径３ｍｍのパイプで構成し、この外周に外
径９ｍｍ、内径７ｍｍのパイプで第一の酸素噴出ポート
を形成し、この外周に外径１３ｍｍ、内径１１ｍｍのパ
イプで不活性ガス噴出ポートを設けた。この外周の水素
噴出ポートは外径４６ｍｍ、内径４４ｍｍのパイプで構
成し、この内部に内径１．５ｍｍ、外径３ｍｍの第二の
酸素噴出ポートを内側のパイプに沿って同心円状に１２
ポート設置し、更にこの外周に同心円状に１２ポート設
置した。更にこの外側に外径５０ｍｍ、内径４８ｍｍの
パイプ及び外径５５ｍｍ、内径５３ｍｍのパイプを配置
し、それぞれ不活性ガスポート、第三の酸素噴出ポート
を形成した。このバーナに原料ガスとしてＳｉＣｌ4 を
４リットル／ｍｉｎ流し、この中心ポートに酸素ガスを
０．５リットル／ｍｉｎ混入した、酸素ガスは第一の酸
素ポートから２リットル／ｍｉｎ、第二の複数の酸素ポ
ートから７０リットル／ｍｉｎ、水素ガスは８０リット
ル／ｍｉｎ、第三の酸素ガスは３０リットル／ｍｉｎに
設定した。不活性ガスは内側のポートにＡｒガスを２リ
ットル／ｍｉｎ、外側のポートにＡｒガスを１０リット
ル／ｍｉｎ流し多孔質母材の合成を行った。この結果、
合成速度は６．４ｇ／ｍｉｎで良好な母材を得ることが
できた。
【００１８】（実施例４）図１（ｂ）の構成のバーナを
用いて図４の構成でドーパントＧｅＯ2 を添加してスス
付けを行った。バーナのサイズは中心のガラス原料噴出
ポートを外径５ｍｍ、内径３ｍｍのパイプで構成し、こ
の外周に外径９ｍｍ、内径７ｍｍのパイプで第一の酸素
噴出ポートを形成し、この外周に外径１３ｍｍ、内径１
１ｍｍのパイプで不活性ガス噴出ポートを設けた。この
外周の水素噴出ポートは外径３４ｍｍ、内径３２ｍｍの
パイプで構成し、この内部に同心円状に内径１．５ｍ
ｍ、外径３ｍｍの第二の酸素噴出ポートを同心円状に１
２ポート設置した。更にこの外側に外径３８ｍｍ、内径
３６ｍｍのパイプ及び外径４４ｍｍ、内径４１ｍｍのパ
イプを配置し、それぞれ不活性ガスポート、酸素噴出ポ
ートを形成した。このバーナにおいて原料ガスはＳｉＣ
ｌ4 を３リットル／ｍｉｎ、ドーパントガスとしてＧｅ
Ｃｌ4 を１６０ｃｃ／ｍｉｎ中心ポートから流した。酸
素ガスは第一の酸素ポートから０、１、２、３、４リッ
トル／ｍｉｎ５水準の条件でそれぞれ流した。第二の複
数の酸素ポートから５０リットル／ｍｉｎ、水素ガスは
６０リットル／ｍｉｎ、第三の酸素ガスは２０リットル
／ｍｉｎに設定した。不活性ガスは内側のポートにＡｒ
ガスを１．５リットル／ｍｉｎ、外側のポートにＡｒガ
スを８リットル／ｍｉｎ流し多孔質母材の合成を行っ
た。この結果、ガラス原料外側の酸素噴出ポートからの
酸素流量０、１、２、３、４リットル／ｍｉｎに対し、
合成速度はそれぞれ４．２、４．９、５．２、５．０ｇ
／ｍｉｎが得られ、酸素流量が多くなりすぎると合成速
度が低下する傾向が見られた。また、ＧｅＯ2 は大方均
一にドープされたが、そのドープ量は酸素流量に対応し
て４．６ｗｔ％、６．５ｗｔ％、６．７ｗｔ％、６．８
ｗｔ％、６．８ｗｔ％と酸素依存性が見られた。
用いて図４の構成でドーパントＧｅＯ2 を添加してスス
付けを行った。バーナのサイズは中心のガラス原料噴出
ポートを外径５ｍｍ、内径３ｍｍのパイプで構成し、こ
の外周に外径９ｍｍ、内径７ｍｍのパイプで第一の酸素
噴出ポートを形成し、この外周に外径１３ｍｍ、内径１
１ｍｍのパイプで不活性ガス噴出ポートを設けた。この
外周の水素噴出ポートは外径３４ｍｍ、内径３２ｍｍの
パイプで構成し、この内部に同心円状に内径１．５ｍ
ｍ、外径３ｍｍの第二の酸素噴出ポートを同心円状に１
２ポート設置した。更にこの外側に外径３８ｍｍ、内径
３６ｍｍのパイプ及び外径４４ｍｍ、内径４１ｍｍのパ
イプを配置し、それぞれ不活性ガスポート、酸素噴出ポ
ートを形成した。このバーナにおいて原料ガスはＳｉＣ
ｌ4 を３リットル／ｍｉｎ、ドーパントガスとしてＧｅ
Ｃｌ4 を１６０ｃｃ／ｍｉｎ中心ポートから流した。酸
素ガスは第一の酸素ポートから０、１、２、３、４リッ
トル／ｍｉｎ５水準の条件でそれぞれ流した。第二の複
数の酸素ポートから５０リットル／ｍｉｎ、水素ガスは
６０リットル／ｍｉｎ、第三の酸素ガスは２０リットル
／ｍｉｎに設定した。不活性ガスは内側のポートにＡｒ
ガスを１．５リットル／ｍｉｎ、外側のポートにＡｒガ
スを８リットル／ｍｉｎ流し多孔質母材の合成を行っ
た。この結果、ガラス原料外側の酸素噴出ポートからの
酸素流量０、１、２、３、４リットル／ｍｉｎに対し、
合成速度はそれぞれ４．２、４．９、５．２、５．０ｇ
／ｍｉｎが得られ、酸素流量が多くなりすぎると合成速
度が低下する傾向が見られた。また、ＧｅＯ2 は大方均
一にドープされたが、そのドープ量は酸素流量に対応し
て４．６ｗｔ％、６．５ｗｔ％、６．７ｗｔ％、６．８
ｗｔ％、６．８ｗｔ％と酸素依存性が見られた。
【００１９】なお上記の実施例では、図２〜図４に示さ
れる構成で多孔質ガラス母材の調製を行ったが、図５に
示すようにバーナを複数本使用して、コアおよびクラッ
ドの合成をは同時に行うことも可能であり、もちろん、
図６に示すようなＯＶＤ法に適用することも可能であ
る。
れる構成で多孔質ガラス母材の調製を行ったが、図５に
示すようにバーナを複数本使用して、コアおよびクラッ
ドの合成をは同時に行うことも可能であり、もちろん、
図６に示すようなＯＶＤ法に適用することも可能であ
る。
【００２０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の構成によ
れば、ガラス原料ガスの流域で酸素濃度が高くなるた
め、ガラス微粒子の生成が効率的に進行し、合成速度の
高い母材合成が可能である。また、酸素の存在により酸
化物により酸化物ドーパントの収率低下を抑えることが
可能である。
れば、ガラス原料ガスの流域で酸素濃度が高くなるた
め、ガラス微粒子の生成が効率的に進行し、合成速度の
高い母材合成が可能である。また、酸素の存在により酸
化物により酸化物ドーパントの収率低下を抑えることが
可能である。
【図１】図１（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）は、夫々本発明
の多孔質ガラス母材合成用バーナの断面構造を示す概念
図である。
の多孔質ガラス母材合成用バーナの断面構造を示す概念
図である。
【図２】図２は、ＶＡＤ法で出発ロッドの外周に多孔質
ガラス母材を合成する構成を示した概念図である。
ガラス母材を合成する構成を示した概念図である。
【図３】図３は、従来の多孔質母材合成用バーナの断面
構造を示す概念図である。
構造を示す概念図である。
【図４】図４はＶＡＤ法で多孔質ガラス母材を合成する
構成を示した概念図である。
構成を示した概念図である。
【図５】図５は、ＶＡＤ法でコアとクラッドを同時に合
成する構成を示す概念図である。
成する構成を示す概念図である。
【図６】図６は、ＯＶＤ法で出発ロッドの外周に多孔質
ガラス母材を合成する構成を示す概念図である。
ガラス母材を合成する構成を示す概念図である。
１：ガラス原料噴出ポート、 ２：第一の水素噴出ポート、 ３：不活性ガス噴出ポート、 ４：水素噴出ポート、 ５：第二の酸素噴出ポート、 ６：不活性ガス噴出ポート、 ７：第三の酸素噴出ポート、 １１，３１：出発ロッド、 １２，２４，２５，３２：バーナ、 １３，２３，２６，３３：火炎、 １４，２２，３４：多孔質ガラス母材、
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 彈塚 俊雄 神奈川県横浜市栄区田谷町１番地 住友電 気工業株式会社横浜製作所内
Claims (6)
- 【請求項１】 ガラス原料ガスを火炎中で加水分解反応
又は酸化反応させ、ガラス微粒子を生成するガラス物品
合成用バーナにおいて、中心にガラス原料ガス噴出ポー
ト、この外周に円環状の第一の酸素噴出ポート、第一の
酸素噴出ポートの外周に円環状の不活性ガス噴出ポー
ト、更にこの外周に複数の第二の酸素噴出ポートを内包
した円環状の水素噴出ポートを設けた事を特徴とする多
孔質ガラス母材合成用バーナ。 - 【請求項２】 複数の第二の酸素噴出ポートが、中心に
存在するガラス原料噴出ポートに対し同心状に１列又は
複数列に配列されていることを特徴とする請求項１に記
載の多孔質ガラス母材製造用バーナ。 - 【請求項３】 ガラス原料ガス噴出ポートから少なくと
もガラス原料ガスおよび酸素ガスを流すようにしたこと
を特徴とする請求項１又は２に記載の多孔質ガラス母材
合成用バーナ。 - 【請求項４】 ガラス原料ガスを火炎中で加水分解反応
又は酸化反応させ、ガラス微粒子を生成するガラス物品
合成用バーナにおいて、中心にガラス原料ガス噴出ポー
ト、この外周に円環状の第一の酸素噴出ポート、第一の
酸素噴出ポートの外周に円環状の不活性ガス噴出ポー
ト、更にこの外周に複数の第二の酸素噴出ポートを内包
した円環状の水素噴出ポートを有し、該水素噴出ポート
の外周に環状の不活性ガス噴出ポート、更にこの外周に
環状の第三の酸素噴出ポートを設けた事を特徴とする多
孔質ガラス母材合成用バーナ。 - 【請求項５】 複数の酸素噴出ポートが、中心に存在す
るガラス原料噴出ポートに対し同心状に１列又は複数列
に配列されていることを特徴とする請求項４に記載の多
孔質ガラス母材製造用バーナ。 - 【請求項６】 ガラス原料ガス噴出ポートから少なくと
もガラス原料ガスおよび酸素ガスを流すようにしたこと
を特徴とする請求項４又は５に記載の多孔質ガラス母材
合成用バーナ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33919095A JPH09175827A (ja) | 1995-12-26 | 1995-12-26 | 多孔質ガラス母材合成用バーナ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33919095A JPH09175827A (ja) | 1995-12-26 | 1995-12-26 | 多孔質ガラス母材合成用バーナ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09175827A true JPH09175827A (ja) | 1997-07-08 |
Family
ID=18325094
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33919095A Pending JPH09175827A (ja) | 1995-12-26 | 1995-12-26 | 多孔質ガラス母材合成用バーナ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09175827A (ja) |
-
1995
- 1995-12-26 JP JP33919095A patent/JPH09175827A/ja active Pending
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050119 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050125 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050524 |