JPH0917377A - Mercury lamp lighting device and light quality improving device - Google Patents
Mercury lamp lighting device and light quality improving deviceInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は紫外線の出力を行う水銀
ランプ点灯装置及び光改質装置に係り、特に紫外線出力
の増大することができる水銀ランプ点灯装置及び光改質
装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a mercury lamp lighting device and a light reforming device that emit ultraviolet light, and more particularly to a mercury lamp lighting device and a light reforming device that can increase ultraviolet light output.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、紫外線光源用低圧水銀ランプは、
光洗浄及び光硬化を初めとする半導体製造関連において
欠くことのできない紫外線光源であり、その応用範囲は
今後益々増大していくものと考えられる。2. Description of the Related Art Conventionally, low pressure mercury lamps for ultraviolet light sources are
It is an ultraviolet light source that is indispensable for semiconductor manufacturing such as photo-cleaning and photo-curing, and its application range is expected to increase more and more in the future.
【０００３】このような紫外線光源用低圧水銀ランプ
は、紫外線を透過する石英ガラス等からなる円筒状の発
光管の両端に電極を封装すると共に、この発光管内で放
電を発生させ、水銀原子を電離及び励起させることによ
り、この水銀の共鳴線２５４ｎｍを主体とする紫外線を
放射するようにしている。In such a low-pressure mercury lamp for an ultraviolet light source, electrodes are sealed at both ends of a cylindrical arc tube made of quartz glass or the like which transmits ultraviolet rays, and a discharge is generated in the arc tube to ionize mercury atoms. By being excited, the ultraviolet ray mainly composed of the resonance line 254 nm of mercury is emitted.
【０００４】紫外線光源用低圧水銀ランプは、当初、一
般照明用蛍光ランプと同じ入力密度０．２〜０．３W/cm
で実用化が始まったが、前記光洗浄、光硬化の用途に使
われることから電気入力を紫外線に変換する効率を多少
犠牲にしても単位長当たりの出力を高める事が望まれる
ようになった。前記要望を受け、光源メーカーは入力密
度０．５〜５．０W/cmのランプを開発し、さらに、点灯
方式として従来の鉄芯のチョークアンドコイル型から矩
形波を出力する電子安定器を実用化し、ユーザーの要望
に答えて来た。入力密度０．５W/cm以上になると発光管
の温度は１００℃以上となり、外部より最冷部温度を規
制する必要があるが、前記ランプも水銀蒸気圧を６×１
０-3トールに制御すれば、管内水銀状気圧は最適にな
り、高出力の紫外線を出力できる。この様な高出力紫外
線ランプが実用化できたため、光洗浄装置が開発され、
さらに中規模下水処理場への殺菌ランプの応用も始まっ
た。Initially, a low-pressure mercury lamp for an ultraviolet light source has the same input density of 0.2 to 0.3 W / cm as a fluorescent lamp for general lighting.
However, since it is used for the above-mentioned photo-cleaning and photo-curing applications, it has become desirable to increase the output per unit length even if the efficiency of converting electric input into ultraviolet rays is sacrificed to some extent. . In response to the above request, the light source manufacturer has developed a lamp with an input density of 0.5 to 5.0 W / cm, and has put into practical use an electronic ballast that outputs a rectangular wave from the conventional iron core choke and coil type as a lighting method. And has responded to user requests. When the input density is 0.5 W / cm or more, the temperature of the arc tube becomes 100 ° C or more, and it is necessary to regulate the temperature of the coldest part from the outside. However, the lamp also has a mercury vapor pressure of 6 × 1
When the pressure is controlled to 0 -3 Torr, the mercury-like atmospheric pressure in the tube is optimized, and high-power ultraviolet rays can be output. Since such a high-power ultraviolet lamp was put into practical use, a light cleaning device was developed,
Furthermore, the application of germicidal lamps to medium-scale sewage treatment plants has also started.
【０００５】しかし、市場は光アッシングが可能にな
り、又大規模下水処理場で使用可能な入力密度５．０W/
cm以上のランプを要望してきた。前記ランプのランプ電
流を増やし８．０〜１０．０W/cm入力することは技術的
に可能であるが、水銀蒸気圧を６×１０-3トールに規制
しても、紫外線出力は飽和してしまい殆ど増加しない。However, the market has enabled optical ashing, and the input density of 5.0 W / that can be used in large-scale sewage treatment plants.
I have requested a lamp of cm or larger. Although it is technically possible to increase the lamp current of the lamp to input 8.0 to 10.0 W / cm, even if the mercury vapor pressure is regulated to 6 × 10 −3 Torr, the ultraviolet output is saturated. There is almost no increase.
【０００６】図７は、このような従来の紫外線光源用低
圧水銀ランプの水銀蒸気圧を６×１０-3トールに規制し
た場合の入力密度と相対紫外線強度（以下、相対ＵＶ強
度と呼ぶ）を示すグラフであり、縦軸に相対ＵＶ強度
（％）を取り、横軸に入力密度（W/cm）を取っている。FIG. 7 shows the input density and relative ultraviolet intensity (hereinafter referred to as relative UV intensity) when the mercury vapor pressure of such a conventional low-pressure mercury lamp for an ultraviolet light source is regulated to 6 × 10 −3 Torr. In the graph, the vertical axis represents relative UV intensity (%) and the horizontal axis represents input density (W / cm).
【０００７】発光管２３は、入力密度が５．０W/cmより
低い場合には、紫外線出力の相対ＵＶ強度は入力密度に
ほぼ比例して増大するが、入力密度が５．０W/cm以上に
なると相対ＵＶ強度の増加率が大きく低下し、入力密度
が８．０〜１０．０W/cmでは、相対ＵＶ強度は、ほとん
ど飽和してしまい、入力密度を上げても殆ど増大しなか
った。In the arc tube 23, when the input density is lower than 5.0 W / cm, the relative UV intensity of the ultraviolet light output increases almost in proportion to the input density, but the input density becomes 5.0 W / cm or more. Then, the increase rate of the relative UV intensity was significantly reduced, and when the input density was 8.0 to 10.0 W / cm, the relative UV intensity was almost saturated, and even when the input density was increased, it hardly increased.
【０００８】[0008]
【発明が解決しようとする課題】上記した従来の紫外線
光源用低圧水銀ランプは、発光管の入力密度が５．０W/
cmより低い場合には、紫外線出力は入力密度にほぼ比例
して増大するが、入力密度が５．０W/cm以上になると紫
外線出力の増加率が大きく低下し、入力密度が８．０〜
１０．０W/cmでは、紫外線出力は、ほとんど飽和してし
まい、入力密度を上げても殆ど増大しなかった。In the above-mentioned conventional low-pressure mercury lamp for ultraviolet light source, the input density of the arc tube is 5.0 W /
When it is lower than cm, the UV output increases almost in proportion to the input density, but when the input density becomes 5.0 W / cm or more, the increase rate of the UV output significantly decreases and the input density becomes 8.0 to 8.0.
At 10.0 W / cm, the UV output was almost saturated, and even when the input density was increased, it hardly increased.
【０００９】そこで本発明は前記の問題点を除去し、発
光管の入力密度を大きく増大させた場合に、入力密度に
対する紫外線出力の増加率を向上することができる水銀
ランプ点灯装置及び光改質装置の提供を目的とする。Therefore, the present invention eliminates the above-mentioned problems, and when the input density of the arc tube is greatly increased, the mercury lamp lighting device and the light reforming device can improve the rate of increase of the ultraviolet ray output with respect to the input density. The purpose is to provide a device.
【００１０】[0010]
【課題を解決するための手段】請求項１記載の本発明に
よる水銀ランプ点灯装置は、管内径Ｄが２４mm≦Ｄ≦２
９mmの範囲に設定され、封入物として水銀Ｈｇが封入さ
れ、封入ガスとしてアルゴンＡｒが封入されるととも
に、この封入ガスのアルゴンＡｒの封入圧力ＰArが０．
３torr≦ＰAr≦１．０torrの範囲に設定された発光管
と、この発光管に入力密度Ｎが８W/cm≦Ｎ≦１０W/cmの
電力を供給する電力供給手段と、前記発光管のランプ内
水銀蒸気圧ＰHg（torr）と入力密度Ｎ（W/cm）が、３×
１０-1／Ｎ3≦ＰHg≦７×１０-1／Ｎ3 の範囲に設定さ
れるように、ランプ内水銀蒸気圧ＰHgを調整する調整手
段とを具備したことを特徴とする。A mercury lamp lighting device according to the present invention according to claim 1 has a tube inner diameter D of 24 mm≤D≤2.
It is set in a range of 9 mm, mercury Hg is enclosed as an enclosure, argon Ar is enclosed as an enclosure gas, and the enclosure pressure PAr of this enclosure gas argon Ar is 0.
An arc tube set within the range of 3 torr ≦ PAr ≦ 1.0 torr, power supply means for supplying electric power having an input density N of 8 W / cm ≦ N ≦ 10 W / cm to the arc tube, and inside the lamp of the arc tube. Mercury vapor pressure PHg (torr) and input density N (W / cm) are 3 x
It is characterized in that it is provided with an adjusting means for adjusting the mercury vapor pressure PHg in the lamp so that it is set in the range of 10 −1 / N 3 ≦ PHg ≦ 7 × 10 −1 / N 3 .
【００１１】請求項２記載の本発明による水銀ランプ点
灯装置は、管内径Ｄが２４mm≦Ｄ≦２９mmの範囲に設定
され、封入物として水銀Ｈｇが封入され、封入ガスとし
てアルゴンＡｒが封入されるとともに、この封入ガスの
アルゴンＡｒの封入圧力ＰArが０．３torr≦ＰAr≦１．
０torrの範囲に設定された発光管と、この発光管に入力
密度Ｎが８W/cm≦Ｎ≦１０W/cmの矩形波または５０００
Hz以上の正弦波を供給する電力供給手段と、前記発光管
のランプ内水銀蒸気圧ＰHg（torr）と入力密度Ｎ（W/c
m）が、３×１０-1／Ｎ3 ≦ＰHg≦７×１０-1／Ｎ3 の
範囲に設定されるように、ランプ内水銀蒸気圧ＰHgを調
整する調整手段とを具備したことを特徴とする。In the mercury lamp lighting device according to the second aspect of the present invention, the tube inner diameter D is set within the range of 24 mm≤D≤29 mm, mercury Hg is enclosed as an enclosure, and argon Ar is enclosed as an enclosure gas. At the same time, the filling pressure PAr of argon Ar of this filling gas is 0.3 torr ≦ PAr ≦ 1.
An arc tube set to a range of 0 torr and a rectangular wave with an input density N of 8 W / cm ≦ N ≦ 10 W / cm or 5000
Power supply means for supplying a sine wave of Hz or higher, mercury vapor pressure PHg (torr) in the lamp of the arc tube, and input density N (W / c
m) is provided in the range of 3 × 10 −1 / N 3 ≦ PHg ≦ 7 × 10 −1 / N 3 and the adjusting means is provided for adjusting the mercury vapor pressure PHg in the lamp. And
【００１２】請求項３記載の本発明による水銀ランプ点
灯装置は、管内径Ｄが２４mm≦Ｄ≦２９mmの範囲に設定
され、封入物として水銀Ｈｇが封入され、封入ガスとし
てアルゴンＡｒが封入されるとともに、この封入ガスの
アルゴンＡｒの封入圧力ＰArが０．３torr≦ＰAr≦１．
０torrの範囲に設定された発光管と、この発光管に入力
密度Ｎが８W/cm≦Ｎ≦１０W/cmの矩形波または５０００
Hz以上の正弦波を供給する電力供給手段と、前記発光管
のランプ内水銀蒸気圧ＰHg（torr）と入力密度Ｎ（W/c
m）が、３×１０-1／Ｎ3 ≦ＰHg≦７×１０-1／Ｎ3 の
範囲に設定されるように、前記発光管を冷却してランプ
内水銀蒸気圧ＰHgを調整する冷却治具とを具備したこと
を特徴とする。In the mercury lamp lighting device according to the third aspect of the present invention, the tube inner diameter D is set in the range of 24 mm≤D≤29 mm, mercury Hg is enclosed as an enclosure, and argon Ar is enclosed as an enclosure gas. At the same time, the filling pressure PAr of argon Ar of this filling gas is 0.3 torr ≦ PAr ≦ 1.
An arc tube set to a range of 0 torr and a rectangular wave with an input density N of 8 W / cm ≦ N ≦ 10 W / cm or 5000
Power supply means for supplying a sine wave of Hz or higher, mercury vapor pressure PHg (torr) in the lamp of the arc tube, and input density N (W / c
m) is set within the range of 3 × 10 −1 / N 3 ≦ PHg ≦ 7 × 10 −1 / N 3 , the arc tube is cooled to adjust the mercury vapor pressure PHg in the lamp. And a tool.
【００１３】請求項４記載の本発明による水銀ランプ点
灯装置は、管内径Ｄが２４mm≦Ｄ≦２９mmの範囲に設定
され、封入物として水銀Ｈｇが封入され、封入ガスとし
てアルゴンＡｒが封入されるとともに、この封入ガスの
アルゴンＡｒの封入圧力ＰArが０．３torr≦ＰAr≦１．
０torrの範囲に設定された発光管と、この発光管に入力
密度Ｎが８W/cm≦Ｎ≦１０W/cmの矩形波または５０００
Hz以上の正弦波を供給する電力供給手段と、前記発光管
のランプ内水銀蒸気圧ＰHg（torr）と入力密度Ｎ（W/c
m）が、３×１０-1／Ｎ3 ≦ＰHg≦７×１０-1／Ｎ3 の
範囲に設定されるように、前記発光管の最冷却部を冷却
してランプ内水銀蒸気圧ＰHgを調整する冷却治具とを具
備したことを特徴とする。In the mercury lamp lighting device according to the fourth aspect of the present invention, the tube inner diameter D is set in the range of 24 mm≤D≤29 mm, mercury Hg is enclosed as an enclosure, and argon Ar is enclosed as an enclosure gas. At the same time, the filling pressure PAr of argon Ar of this filling gas is 0.3 torr ≦ PAr ≦ 1.
An arc tube set to a range of 0 torr and a rectangular wave with an input density N of 8 W / cm ≦ N ≦ 10 W / cm or 5000
Power supply means for supplying a sine wave of Hz or higher, mercury vapor pressure PHg (torr) in the lamp of the arc tube, and input density N (W / c
m) is set in the range of 3 × 10 −1 / N 3 ≦ PHg ≦ 7 × 10 −1 / N 3 , the most cooled part of the arc tube is cooled to reduce the mercury vapor pressure PHg in the lamp. A cooling jig for adjustment is provided.
【００１４】請求項５記載の本発明による水銀ランプ点
灯装置は、管内径Ｄが２４mm≦Ｄ≦２９mmの範囲に設定
され、封入物として水銀Ｈｇが封入され、封入ガスとし
てアルゴンＡｒが封入されるとともに、この封入ガスの
アルゴンＡｒの封入圧力ＰArが０．３torr≦ＰAr≦１．
０torrの範囲に設定された発光管と、この発光管に入力
密度Ｎが８W/cm≦Ｎ≦１０W/cmの矩形波または５０００
Hz以上の正弦波を供給する電力供給手段と、前記発光管
のランプ内水銀蒸気圧ＰHg（torr）と入力密度Ｎ（W/c
m）が、３×１０-1／Ｎ3 ≦ＰHg≦７×１０-1／Ｎ3 の
範囲に設定されるように、前記発光管の電極側の周り管
面を冷却してランプ内水銀蒸気圧ＰHgを調整する冷却治
具とを具備したことを特徴とする。In the mercury lamp lighting device according to the fifth aspect of the present invention, the inner diameter D of the tube is set within the range of 24 mm≤D≤29 mm, mercury Hg is enclosed as an enclosure, and argon Ar is enclosed as an enclosure gas. At the same time, the filling pressure PAr of argon Ar of this filling gas is 0.3 torr ≦ PAr ≦ 1.
An arc tube set to a range of 0 torr and a rectangular wave with an input density N of 8 W / cm ≦ N ≦ 10 W / cm or 5000
Power supply means for supplying a sine wave of Hz or higher, mercury vapor pressure PHg (torr) in the lamp of the arc tube, and input density N (W / c
m) is set within the range of 3 × 10 −1 / N 3 ≦ PHg ≦ 7 × 10 −1 / N 3 by cooling the peripheral surface of the arc tube on the electrode side and then mercury vapor in the lamp. And a cooling jig for adjusting the pressure PHg.
【００１５】請求項６記載の本発明による水銀ランプ点
灯装置は、請求項５記載の水銀ランプ点灯装置であっ
て、前記冷却治具に設けられ前記発光管の電極側の周り
管面を保持するヒートブロックと、前記冷却治具に設け
られ前記のヒートブロックからの熱を放熱する放熱フィ
ンとを具備したことを特徴とする。A mercury lamp lighting device according to a sixth aspect of the present invention is the mercury lamp lighting device according to the fifth aspect, wherein the mercury lamp lighting device is provided on the cooling jig and holds a peripheral tube surface on the electrode side of the arc tube. It is characterized by comprising a heat block and a radiation fin provided on the cooling jig for radiating heat from the heat block.
【００１６】請求項７記載の本発明による光改質装置
は、請求項１〜６のいずれか一つに記載の水銀ランプ点
灯装置が設けられた紫外線照射手段と、有機物で汚れた
基材を前記水銀ランプ点灯装置からの紫外線が照射され
る位置に搬送する搬送する搬送手段とを具備したことを
特徴とする。According to a seventh aspect of the present invention, there is provided a photo-modifying device comprising ultraviolet irradiation means provided with the mercury lamp lighting device according to any one of the first to sixth aspects, and a substrate soiled with an organic substance. And a carrying means for carrying to a position where ultraviolet rays from the mercury lamp lighting device are irradiated.
【００１７】請求項８記載の本発明による光改質装置
は、請求項６記載の水銀ランプ点灯装置が設けられた紫
外線照射手段と、請求項６記載の放熱フィンに冷却用の
空気を当てる冷却ファンと、有機物で汚れた基材を前記
水銀ランプ点灯装置からの紫外線が照射される位置に搬
送する搬送する搬送手段とを具備したことを特徴とす
る。According to an eighth aspect of the present invention, there is provided a light reforming device, wherein the mercury lamp lighting device according to the sixth aspect is provided with ultraviolet irradiation means and the heat radiation fin according to the sixth aspect is applied with cooling air. The present invention is characterized by including a fan and a transporting unit that transports the base material soiled with an organic substance to a position where the ultraviolet ray from the mercury lamp lighting device is irradiated.
【００１８】[0018]
【作用】請求項１〜６記載の構成によれば、調整手段が
前記発光管のランプ内水銀蒸気圧ＰHg（torr）と入力密
度Ｎ（W/cm）が、３×１０-1／Ｎ3 ≦ＰHg≦７×１０-1
／Ｎ3 の範囲に設定されるように、ランプ内水銀蒸気圧
ＰHgを調整するので、発光管の入力密度を大きく増大さ
せた場合に、入力密度に対する紫外線出力の増加率を向
上することができる。According to the present invention, the adjusting means has the mercury vapor pressure PHg (torr) in the lamp of the arc tube and the input density N (W / cm) of 3 × 10 -1 / N 3. ≤ PHg ≤ 7 x 10 -1
Since the mercury vapor pressure PHg in the lamp is adjusted so as to be set in the range of / N 3 , when the input density of the arc tube is greatly increased, it is possible to improve the increase rate of the ultraviolet light output with respect to the input density. .
【００１９】請求項７記載の構成によれば、基材の有機
物の汚れを請求項１〜６のいずれか一つに記載の前記水
銀ランプ点灯装置からの紫外線により光改質して除去す
ることができる。According to the configuration of claim 7, the organic substance stains on the base material are photo-modified and removed by the ultraviolet rays from the mercury lamp lighting device according to any one of claims 1 to 6. You can
【００２０】請求項８記載の構成によれば、基材の有機
物の汚れを請求項６記載の前記水銀ランプ点灯装置から
の紫外線により光改質して除去することができる。According to the structure of claim 8, organic substances on the base material can be removed by photo-modification with ultraviolet rays from the mercury lamp lighting device of claim 6.
【００２１】[0021]
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して説明
する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【００２２】図１は本発明に係る水銀ランプ点灯装置の
一実施例を示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of a mercury lamp lighting device according to the present invention.
【００２３】図１において、符号１１は部品取付板であ
り、この部品取付板１１の下面にはヒートブロック１２
と反射板１３とランプ尖頭押え板１４とが取付けられて
いる。In FIG. 1, reference numeral 11 is a component mounting plate, and a heat block 12 is provided on the lower surface of the component mounting plate 11.
A reflector plate 13 and a lamp point holding plate 14 are attached.
【００２４】ヒートブロック１２は、Ｕ字形の発光管
（紫外線光源用低圧水銀ランプ）２０の電極側を発光管
間隙スペーサ１５と発光管仮押え板１６と発光管押え板
１７ととにより保持している。ヒートブロック１２の側
面には、Ｌ字形ヒートキッカー１８，１９が取付けられ
てる。The heat block 12 holds the U-shaped arc tube (low-pressure mercury lamp for ultraviolet light source) 20 on the electrode side by the arc tube gap spacer 15, the arc tube temporary holding plate 16, and the arc tube holding plate 17. There is. L-shaped heat kickers 18 and 19 are attached to the side surfaces of the heat block 12.
【００２５】このＬ字形ヒートキッカー１８，１９に
は、複数の冷却フィン３１が設けられている。The L-shaped heat kickers 18 and 19 are provided with a plurality of cooling fins 31.
【００２６】発光管２０は、チューブ２３の管内径Ｄが
２４mm≦Ｄ≦２９mmの範囲に設定され、封入物として水
銀Ｈｇが封入され、封入ガスとしてアルゴンＡｒが封入
されるとともに、この封入ガスのアルゴンＡｒの封入圧
力ＰArが０．３torr≦ＰAr≦１．０torrの範囲に設定し
ている。In the arc tube 20, the tube inner diameter D of the tube 23 is set in the range of 24 mm≤D≤29 mm, mercury Hg is enclosed as an enclosure, argon Ar is enclosed as an enclosure gas, and the enclosure gas is The enclosed pressure PAr of argon Ar is set in the range of 0.3 torr ≦ PAr ≦ 1.0 torr.
【００２７】発光管２０の一方の電極側の端面２１に
は、３本のリード線２７が延出している。発光管２０の
他方の電極側の端面２２には、３本のリード線２８が延
出している。Three lead wires 27 extend from the end face 21 on the one electrode side of the arc tube 20. Three lead wires 28 extend from the end surface 22 of the arc tube 20 on the other electrode side.
【００２８】電力供給手段３３（例えば電子安定器）
は、これらリード線２７，２８により始動時に陰極ヒー
タ電圧を発光管２０に供給するとともに、点灯時に入力
密度Ｎ｛Ｎ＝（発光管２０に入力する電力）／（発光管
２０の一方及び他方の電極間のチューブ２３の長さ）｝
が８W/cm≦Ｎ≦１０W/cmの矩形波または５０００Hz以上
の正弦波の電力を供給する。Power supply means 33 (eg electronic ballast)
Supplies the cathode heater voltage to the arc tube 20 at the time of starting by these lead wires 27 and 28, and at the time of lighting, the input density N {N = (power input to the arc tube 20) / (one and the other of the arc tube 20). Length of tube 23 between electrodes)}
Supplies a rectangular wave of 8 W / cm ≦ N ≦ 10 W / cm or a sine wave of 5000 Hz or more.
【００２９】このＬ字形ヒートキッカー１８，１９に
は、複数の冷却フィン３１が設けられていいる。ヒート
ブロック１２、発光管間隙スペーサ１５、発光管仮押え
板１６、発光管押え板１７、Ｌ字形ヒートキッカー１
８，１９及び複数の冷却フィン３１は、前記発光管２０
のランプ内水銀蒸気圧ＰHg（torr）と入力密度Ｎ（W/c
m）が、３×１０-1／Ｎ3 ≦ＰHg≦７×１０-1／Ｎ3 の
範囲に設定されるように、前記発光管２０の電極側の周
り管面を冷却してランプ内水銀蒸気圧ＰHgを調整する調
整手段であるところの冷却治具３０を構成している。The L-shaped heat kickers 18 and 19 are provided with a plurality of cooling fins 31. Heat block 12, arc tube gap spacer 15, arc tube temporary pressing plate 16, arc tube pressing plate 17, L-shaped heat kicker 1
8, 19 and the plurality of cooling fins 31 are provided in the arc tube 20.
Mercury vapor pressure PHg (torr) and input density N (W / c
m) is set within the range of 3 × 10 −1 / N 3 ≦ PHg ≦ 7 × 10 −1 / N 3 by cooling the peripheral tube surface on the electrode side of the arc tube 20 and mercury in the lamp. The cooling jig 30, which is an adjusting means for adjusting the vapor pressure PHg, is configured.
【００３０】反射板１３は、光の反射率の高い金属板を
コ字状に折曲してものであり、その側壁の間に発光管２
０の発光部が配設される。ランプ尖頭押え板１４は、反
射板１３は、耐熱性の高い金属板をＬ字状に折曲しても
のであり、発光管２０の尖端２４を下方から支えるよう
になっている。The reflection plate 13 is formed by bending a metal plate having a high light reflectance in a U shape, and the arc tube 2 is provided between the side walls thereof.
Zero light emitting parts are provided. The lamp tip pressing plate 14 is a reflection plate 13 formed by bending an L-shaped metal plate having high heat resistance, and supports the tip 24 of the arc tube 20 from below.
【００３１】図２は図１の発光管２０の具体的に一例を
示す平面図である。FIG. 2 is a plan view showing a concrete example of the arc tube 20 shown in FIG.
【００３２】図２において、発光管２０は、チューブ２
３の外側の幅６８mm、チューブ２３の隙間が１０mm、端
面２１，２２からチューブ２３の尖端２４までの長さが
７００mm、リード線２７，２８の長さが３００mm、端面
２１，２２から電極２５，２６の尖端までの長さが１７
０mm、電極２５，２６の尖端から尖端２４までの長さが
５３０mmとなっている。水銀は図１の冷却治具３０によ
り冷却される前記発光管２０の電極側のチューブ２３内
に集まることになる。In FIG. 2, the arc tube 20 is a tube 2.
3 has a width of 68 mm, the gap between the tubes 23 is 10 mm, the length from the end faces 21 and 22 to the tip 24 of the tube 23 is 700 mm, the lengths of the lead wires 27 and 28 are 300 mm, the end faces 21 and 22 are the electrodes 25, The length to the tip of 26 is 17
The length from the tip of the electrodes 25 and 26 to the tip 24 is 530 mm. Mercury will collect in the tube 23 on the electrode side of the arc tube 20 that is cooled by the cooling jig 30 in FIG.
【００３３】以下、図１の実施例で説明した数値限定を
行う根拠を示す。The grounds for limiting the numerical values described in the embodiment of FIG. 1 will be shown below.
【００３４】ここで、従来の入力密度が５．０W/cm以上
になると相対ＵＶ強度（相対紫外線強度）の増加率が大
きく低下し、入力密度が８．０〜１０．０W/cmでは、相
対ＵＶ強度は、ほとんど飽和してしまう理由につてい考
える。まず、チューブの内径２５mm、電極間１０００m
m、封入アルゴン圧０．５torr、発光物質として水銀の
み投入した発光管について考える。このような発光管に
入力密度（W/cm）を５W/cmの矩形波を電子安定器で供給
して、水銀蒸気圧を６×１０-4torrに規制すると、ラン
プ電圧７５Ｖ，ランプ電流６．７Ａ，ランプ入力５００
Ｗの電気特性を示す。Here, when the conventional input density is 5.0 W / cm or more, the increase rate of the relative UV intensity (relative ultraviolet intensity) is greatly reduced, and when the input density is 8.0 to 10.0 W / cm, the relative Consider the reason why the UV intensity is almost saturated. First, the inner diameter of the tube is 25 mm and the distance between the electrodes is 1000 m.
Consider an arc tube in which m is a filled argon pressure of 0.5 torr and only mercury is added as a luminescent substance. When a rectangular wave with an input density (W / cm) of 5 W / cm is supplied to such an arc tube by an electronic ballast and the mercury vapor pressure is regulated to 6 × 10 −4 torr, a lamp voltage of 75 V and a lamp current of 6 .7A, lamp input 500
The electrical characteristics of W are shown.
【００３５】次に同一条件で入力密度を６W/cm，８W/c
m，１０W/cmに増加させていくと、ランプ電圧は微減で
あるが、ランプ電流は８．２Ａ，１１．０Ａ，１４．０
Ａとなり、相対ＵＶ強度（％）を入力密度を５W/cmで１
００％とすると、相対ＵＶ強度（％）が１１０％，１２
０％，１２５％となる。このように、相対ＵＶ強度が殆
ど増加しないのは、ランプ電流を増加させるのに従い水
銀を誘起させる電子の速度、電子温度が大幅に低下する
ためである。Next, under the same conditions, the input density was 6 W / cm and 8 W / c.
When the lamp voltage is increased to m, 10 W / cm, the lamp voltage is slightly decreased, but the lamp current is 8.2 A, 11.0 A, 14.0.
A, the relative UV intensity (%) is 1 at an input density of 5 W / cm.
If it is 00%, the relative UV intensity (%) is 110%, 12
It becomes 0% and 125%. Thus, the reason why the relative UV intensity hardly increases is that the speed of electrons inducing mercury and the electron temperature are significantly reduced as the lamp current is increased.
【００３６】このことに対応して、図１の実施例では大
電流でも電子温度を向上できるようにしている。電子温
度を上げる一つの方法として、よりイオン化電位の高い
原子をイオン化させる方式がある。このため、図１の実
施例では水銀温度を低下させ、放電空間中の水銀を減少
させ、アルゴン原子をイオン化させた。このような状態
で発光管を点灯させた場合の状態を図３及び表１に示
す。In response to this, in the embodiment of FIG. 1, the electron temperature can be improved even with a large current. As one method of raising the electron temperature, there is a method of ionizing atoms having a higher ionization potential. Therefore, in the example of FIG. 1, the mercury temperature was lowered, the mercury in the discharge space was reduced, and the argon atoms were ionized. The state in which the arc tube is lit in such a state is shown in FIG. 3 and Table 1.
【００３７】図３は、このような図１の水銀ランプ点灯
装置の入力密度（W/cm）を５W/cm，６W/cm，８W/cm，１
０W/cmに規制した場合の入力密度と相対紫外線強度（以
下、相対ＵＶ強度と呼ぶ）を示すグラフであり、縦軸に
相対ＵＶ強度（％）を取り、横軸に水銀蒸気圧（torr）
を取っている。FIG. 3 shows the input density (W / cm) of the mercury lamp lighting device of FIG. 1 as 5 W / cm, 6 W / cm, 8 W / cm, 1
It is a graph showing the input density and relative ultraviolet intensity (hereinafter referred to as relative UV intensity) when regulated to 0 W / cm, where the vertical axis is relative UV intensity (%) and the horizontal axis is mercury vapor pressure (torr).
Is taking.
【００３８】表１は入力密度（W/cm）と水銀蒸気圧（to
rr）と相対ＵＶ強度（％）との関係を示している。Table 1 shows the input density (W / cm) and mercury vapor pressure (to
rr) and the relative UV intensity (%) are shown.
【００３９】[0039]
【表１】 図３及び表１に示すように、入力密度（W/cm）が５W/c
m、水銀蒸気圧（torr）が５×１０-3torrの場合、相対
ＵＶ強度（％）が１００％になるのに対して、入力密度
（W/cm）が８W/cm、水銀蒸気圧（torr）が１．０×１０
-3torrの場合、相対ＵＶ強度（％）が１４０％となり、
入力密度（W/cm）が１０W/cm、水銀蒸気圧（torr）が
５．０×１０-4torrの場合、相対ＵＶ強度（％）が１５
０％となる。図４は、このような表１の場合の入力密度
（W/cm）と相対ＵＶ強度（％）の関係を示すグラフであ
り、縦軸に相対ＵＶ強度（％）を取り、横軸に水銀蒸気
圧（torr）を取っている。[Table 1] As shown in Fig. 3 and Table 1, the input density (W / cm) is 5 W / c.
When m and mercury vapor pressure (torr) are 5 × 10 -3 torr, relative UV intensity (%) is 100%, whereas input density (W / cm) is 8 W / cm, mercury vapor pressure ( torr) is 1.0 × 10
At -3 torr, the relative UV intensity (%) is 140%,
When the input density (W / cm) is 10 W / cm and the mercury vapor pressure (torr) is 5.0 × 10 -4 torr, the relative UV intensity (%) is 15
0%. FIG. 4 is a graph showing the relationship between the input density (W / cm) and the relative UV intensity (%) in the case of Table 1 as described above, where the vertical axis represents the relative UV intensity (%) and the horizontal axis represents mercury. Taking vapor pressure (torr).
【００４０】図４に示すように、入力密度が５．０W/cm
以上になっても相対ＵＶ強度の増加率はあまり低下せ
ず、入力密度が８．０〜１０．０W/cmでも、相対ＵＶ強
度は、飽和せず、入力密度を上げることに対応して十分
増大している。As shown in FIG. 4, the input density is 5.0 W / cm.
Even if it becomes the above, the increase rate of the relative UV intensity does not decrease so much, and even if the input density is 8.0 to 10.0 W / cm, the relative UV intensity does not saturate, and it is sufficient for increasing the input density. It is increasing.
【００４１】図５は図４により求めた入力密度と各入力
密度において９０％以上の出力が得られる水銀蒸気圧の
範囲を示すグラフであり、縦軸に水銀蒸気圧（torr）を
示し、横軸に入力密度（W/cm）を示している。FIG. 5 is a graph showing the input density obtained from FIG. 4 and the range of mercury vapor pressure at which an output of 90% or more can be obtained at each input density, where the vertical axis represents the mercury vapor pressure (torr) and the horizontal axis represents the horizontal axis. Input density (W / cm) is shown on the axis.
【００４２】図４及び表１に示したように、入力密度８
W/cm以上で水銀蒸気圧を低下させると、相対ＵＶ強度の
飽和を防止できることがわかる。ここで、図５により、
入力密度Ｎが８W/cm≦Ｎ≦１０W/cmの範囲では、斜線し
示した範囲において、図４（表１）の場合の相対ＵＶ強
度の最大出力に対して９０％以上の相対ＵＶ強度が得ら
れる。このため、図１の冷却治具３０は、前記発光管２
０のランプ内水銀蒸気圧ＰHg（torr）と入力密度Ｎ（W/
cm）が、３×１０-1／Ｎ3 ≦ＰHg≦７×１０-1／Ｎ3 の
範囲に設定されるように、前記発光管２０の電極側の周
り管面を冷却してランプ内水銀蒸気圧ＰHgを調整するよ
うになっている。As shown in FIG. 4 and Table 1, the input density is 8
It can be seen that lowering the mercury vapor pressure at W / cm or higher can prevent saturation of the relative UV intensity. Here, according to FIG.
When the input density N is in the range of 8 W / cm ≦ N ≦ 10 W / cm, 90% or more of the relative UV intensity is higher than the maximum output of the relative UV intensity in the case of FIG. 4 (Table 1) in the hatched range. can get. Therefore, the cooling jig 30 of FIG.
Zero mercury vapor pressure PHg (torr) and input density N (W /
cm) is set in the range of 3 × 10 −1 / N 3 ≦ PHg ≦ 7 × 10 −1 / N 3 by cooling the peripheral surface of the arc tube 20 on the electrode side and mercury in the lamp. It is designed to adjust the vapor pressure PHg.
【００４３】また、このような条件を成立させるため
に、発光管２０は、チューブ２３の管内径Ｄが２４mm≦
Ｄ≦２９mmの範囲に設定され、アルゴンＡｒの封入圧力
ＰArが０．３torr≦ＰAr≦１．０torrの範囲に設定され
ている。入力密度Ｎの上限値を１０W/cmとしたが、これ
は発光管２０に入力できる入力密度Ｎの上限値である。In order to satisfy such a condition, the inner diameter D of the tube 23 of the arc tube 20 is 24 mm ≦.
It is set in the range of D ≦ 29 mm, and the enclosed pressure PAr of argon Ar is set in the range of 0.3 torr ≦ PAr ≦ 1.0 torr. The upper limit value of the input density N is set to 10 W / cm, which is the upper limit value of the input density N that can be input to the arc tube 20.
【００４４】以上説明したように、このような実施例に
よれば、発光管の入力密度を大きく増大させた場合（入
力密度Ｎを８W/cm≦Ｎ≦１０W/cmの範囲にした場合）
に、入力密度に対する紫外線出力の増加率を向上するこ
とができ、紫外線出力を増大することができる。As described above, according to such an embodiment, when the input density of the arc tube is greatly increased (when the input density N is in the range of 8 W / cm ≦ N ≦ 10 W / cm).
In addition, it is possible to improve the increase rate of the ultraviolet ray output with respect to the input density, and it is possible to increase the ultraviolet ray output.
【００４５】図６は図１の水銀ランプ点灯装置を用いた
光改質装置を示すブロック図である。FIG. 6 is a block diagram showing a photo-reforming device using the mercury lamp lighting device of FIG.
【００４６】図６において、箱状の制御台６１の上に
は、搬送手段６２と、紫外線照射手段６３とが設けられ
ている。In FIG. 6, a transport means 62 and an ultraviolet irradiation means 63 are provided on a box-shaped control table 61.
【００４７】紫外線照射手段６３には、図１に示した水
銀ランプ点灯装置６４が複数設られている。また、紫外
線照射手段６３には、ドライエアーやＮ2 ガスが吸入さ
れるようになっている。また、紫外線照射手段６３に
は、水銀ランプ点灯装置６４の放熱フィンに冷却用の空
気を当てる冷却ファン６５が設けられるとともに、放熱
フィンを冷却した空気を排出する発光管冷却用排気ダク
ト６６が取付けられている。The ultraviolet irradiation means 63 is provided with a plurality of mercury lamp lighting devices 64 shown in FIG. Further, dry air or N 2 gas is sucked into the ultraviolet irradiation means 63. Further, the ultraviolet ray irradiation means 63 is provided with a cooling fan 65 for applying cooling air to the radiation fins of the mercury lamp lighting device 64, and an arc tube cooling exhaust duct 66 for discharging the air that has cooled the radiation fins. Has been.
【００４８】搬送手段６２は、有機物で汚れた基材を前
記水銀ランプ点灯装置６４からの紫外線が照射される位
置に搬送する搬送する。搬送手段６２には、紫外線によ
り精製したオゾンを排気するオゾン排気ダクト６７が設
けられている。搬送手段６２に搬送される有機物で汚れ
た基材は、水銀ランプ点灯装置６４からの紫外線により
化学結合の切断、酸化分解、気化等の光改質により洗浄
される。The conveying means 62 conveys the base material soiled with the organic substance to a position where the ultraviolet rays from the mercury lamp lighting device 64 are irradiated. The conveying means 62 is provided with an ozone exhaust duct 67 for exhausting ozone purified by ultraviolet rays. The base material, which is transported to the transportation means 62 and is contaminated with organic substances, is washed by ultraviolet rays from the mercury lamp lighting device 64 by photo-modification such as chemical bond breaking, oxidative decomposition and vaporization.
【００４９】このような光改質装置は図１の水銀ランプ
点灯装置を適用したことにより、光改質装置の光改質性
能を高めることができる。By applying the mercury lamp lighting device of FIG. 1 to such a light reforming device, the light reforming performance of the light reforming device can be enhanced.
【００５０】尚、図１の実施例においては、発光管はＵ
字形の物を用いたが、直線形や環形など別の形の物を適
用してもよい。In the embodiment of FIG. 1, the arc tube is U
Although the letter-shaped object is used, another shape such as a linear shape or a ring shape may be applied.
【００５１】[0051]
【発明の効果】請求項１〜６記載の構成によれば、発光
管の入力密度を大きく増大させた場合に、入力密度に対
する紫外線出力の増加率を向上することができ、紫外線
出力を増大することができる。According to the constitutions of claims 1 to 6, when the input density of the arc tube is greatly increased, the rate of increase of the ultraviolet ray output with respect to the input density can be improved, and the ultraviolet ray output is increased. be able to.
【００５２】請求項７記載の構成によれば、基材の有機
物の汚れを請求項１〜６のいずれか一つに記載の前記水
銀ランプ点灯装置からの紫外線により光改質して除去す
ることができるので、光改質性能を高めることができ
る。According to the structure described in claim 7, the organic substance stains on the base material are removed by photo-modification with ultraviolet rays from the mercury lamp lighting device according to any one of claims 1 to 6. Therefore, the photo-modification performance can be enhanced.
【００５３】請求項８記載の構成によれば、基材の有機
物の汚れを請求項６記載の前記水銀ランプ点灯装置から
の紫外線により光改質して除去することができるので、
光改質性能を高めることができる。According to the structure described in claim 8, the organic substance stains on the substrate can be photo-modified by the ultraviolet rays from the mercury lamp lighting device according to claim 6 and removed.
The light modification performance can be improved.
【図１】本発明に係る水銀ランプ点灯装置の一実施例を
示す斜視図。FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of a mercury lamp lighting device according to the present invention.
【図２】図２は図１の発光管の具体的に一例を示す平面
図。FIG. 2 is a plan view showing a specific example of the arc tube of FIG.
【図３】図１の水銀ランプ点灯装置の入力密度（W/cm）
を５W/cm，６W/cm，８W/cm，１０W/cmに規制した場合の
入力密度と相対ＵＶ強度を示すグラフ。[FIG. 3] Input density (W / cm) of the mercury lamp lighting device of FIG.
Is a graph showing the input density and relative UV intensity when the values are regulated to 5 W / cm, 6 W / cm, 8 W / cm, and 10 W / cm.
【図４】図１の実施例の表１の場合の入力密度（W/cm）
と相対ＵＶ強度（％）の関係を示すグラフ。FIG. 4 is an input density (W / cm) in the case of Table 1 of the embodiment of FIG.
And a relative UV intensity (%).
【図５】図４により求めた入力密度と各入力密度におい
て９０％以上の出力が得られる水銀蒸気圧の範囲を示す
グラフ。5 is a graph showing the input densities obtained from FIG. 4 and the range of mercury vapor pressures at which an output of 90% or more is obtained at each input density.
【図６】図１の水銀ランプ点灯装置を用いた光改質装置
を示すブロック図。FIG. 6 is a block diagram showing a light reforming device using the mercury lamp lighting device of FIG. 1.
【図７】従来の紫外線光源用低圧水銀ランプの水銀蒸気
圧を６×１０-3トールに規制した場合の入力密度と相対
ＵＶ強度を示すグラフ。FIG. 7 is a graph showing the input density and relative UV intensity when the mercury vapor pressure of a conventional low-pressure mercury lamp for an ultraviolet light source is regulated to 6 × 10 −3 Torr.
１１ 部品取付板 １２ ヒートブロック １５ 発光管間隙スペーサ １６ 発光管仮押え板 １７ 発光管押え板 ２０ 発光管 ３０ 冷却治具 ３１ 冷却フィン ３３ 電力供給手段 11 Component Mounting Plate 12 Heat Block 15 Arc Tube Gap Spacer 16 Arc Tube Temporary Holding Plate 17 Arc Tube Holding Plate 20 Arc Tube 30 Cooling Jig 31 Cooling Fin 33 Power Supply Means
─────────────────────────────────────────────────────
────────────────────────────────────────────────── ───
【手続補正書】[Procedure amendment]
【提出日】平成７年７月７日[Submission date] July 7, 1995
【手続補正１】[Procedure amendment 1]
【補正対象書類名】図面[Document name to be amended] Drawing
【補正対象項目名】全図[Correction target item name] All figures
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction contents]
【図１】 FIG.
【図３】 [Figure 3]
【図２】 [Fig. 2]
【図４】 FIG. 4
【図５】 [Figure 5]
【図６】 FIG. 6
【図７】 FIG. 7
Claims (8)
設定され、封入物として水銀Ｈｇが封入され、封入ガス
としてアルゴンＡｒが封入されるとともに、この封入ガ
スのアルゴンＡｒの封入圧力ＰArが０．３torr≦ＰAr≦
１．０torrの範囲に設定された発光管と、 この発光管に入力密度Ｎが８W/cm≦Ｎ≦１０W/cmの電力
を供給する電力供給手段と、 前記発光管のランプ内水銀蒸気圧ＰHg（torr）と入力密
度Ｎ（W/cm）が、３×１０-1／Ｎ3 ≦ＰHg≦７×１０-1
／Ｎ3 の範囲に設定されるように、ランプ内水銀蒸気圧
ＰHgを調整する調整手段とを具備したことを特徴とする
水銀ランプ点灯装置。1. A tube inner diameter D is set in a range of 24 mm ≦ D ≦ 29 mm, mercury Hg is filled as a filling material, argon Ar is filled as a filling gas, and a filling pressure PAr of the argon gas of the filling gas is PAr. Is 0.3 torr ≦ PAR ≦
An arc tube set to a range of 1.0 torr, a power supply means for supplying electric power having an input density N of 8 W / cm ≦ N ≦ 10 W / cm to the arc tube, and a mercury vapor pressure PHg in the lamp of the arc tube. (Torr) and input density N (W / cm) are 3 × 10 −1 / N 3 ≦ PHg ≦ 7 × 10 −1
A mercury lamp lighting device, comprising: an adjusting means for adjusting the mercury vapor pressure PHg in the lamp so as to be set in a range of / N 3 .
設定され、封入物として水銀Ｈｇが封入され、封入ガス
としてアルゴンＡｒが封入されるとともに、この封入ガ
スのアルゴンＡｒの封入圧力ＰArが０．３torr≦ＰAr≦
１．０torrの範囲に設定された発光管と、 この発光管に入力密度Ｎが８W/cm≦Ｎ≦１０W/cmの矩形
波または５０００Hz以上の正弦波を供給する電力供給手
段と、 前記発光管のランプ内水銀蒸気圧ＰHg（torr）と入力密
度Ｎ（W/cm）が、３×１０-1／Ｎ3 ≦ＰHg≦７×１０-1
／Ｎ3 の範囲に設定されるように、ランプ内水銀蒸気圧
ＰHgを調整する調整手段とを具備したことを特徴とする
水銀ランプ点灯装置。2. A pipe inner diameter D is set in a range of 24 mm ≦ D ≦ 29 mm, mercury Hg is enclosed as an enclosure, argon Ar is enclosed as an enclosure gas, and an enclosure pressure PAr of the argon Ar of the enclosure gas is contained. Is 0.3 torr ≦ PAR ≦
An arc tube set to a range of 1.0 torr, power supply means for supplying a rectangular wave having an input density N of 8 W / cm ≦ N ≦ 10 W / cm or a sine wave of 5000 Hz or more to the arc tube, and the arc tube Of mercury vapor pressure in the lamp, PHg (torr), and input density N (W / cm) are 3 × 10 -1 / N 3 ≦ PHg ≦ 7 × 10 -1
A mercury lamp lighting device, comprising: an adjusting means for adjusting the mercury vapor pressure PHg in the lamp so as to be set in a range of / N 3 .
設定され、封入物として水銀Ｈｇが封入され、封入ガス
としてアルゴンＡｒが封入されるとともに、この封入ガ
スのアルゴンＡｒの封入圧力ＰArが０．３torr≦ＰAr≦
１．０torrの範囲に設定された発光管と、 この発光管に入力密度Ｎが８W/cm≦Ｎ≦１０W/cmの矩形
波または５０００Hz以上の正弦波を供給する電力供給手
段と、 前記発光管のランプ内水銀蒸気圧ＰHg（torr）と入力密
度Ｎ（W/cm）が、３×１０-1／Ｎ3 ≦ＰHg≦７×１０-1
／Ｎ3 の範囲に設定されるように、前記発光管を冷却し
てランプ内水銀蒸気圧ＰHgを調整する冷却治具とを具備
したことを特徴とする水銀ランプ点灯装置。3. A tube inner diameter D is set in a range of 24 mm ≦ D ≦ 29 mm, mercury Hg is filled as a filling material, argon Ar is filled as a filling gas, and a filling pressure PAr of the argon gas of the filling gas is PAr. Is 0.3 torr ≦ PAR ≦
An arc tube set to a range of 1.0 torr, power supply means for supplying a rectangular wave having an input density N of 8 W / cm ≦ N ≦ 10 W / cm or a sine wave of 5000 Hz or more to the arc tube, and the arc tube Of mercury vapor pressure in the lamp, PHg (torr), and input density N (W / cm) are 3 × 10 -1 / N 3 ≦ PHg ≦ 7 × 10 -1
A mercury lamp lighting device, comprising: a cooling jig for adjusting the mercury vapor pressure PHg in the lamp by cooling the arc tube so as to be set in a range of / N 3 .
設定され、封入物として水銀Ｈｇが封入され、封入ガス
としてアルゴンＡｒが封入されるとともに、この封入ガ
スのアルゴンＡｒの封入圧力ＰArが０．３torr≦ＰAr≦
１．０torrの範囲に設定された発光管と、 この発光管に入力密度Ｎが８W/cm≦Ｎ≦１０W/cmの矩形
波または５０００Hz以上の正弦波を供給する電力供給手
段と、 前記発光管のランプ内水銀蒸気圧ＰHg（torr）と入力密
度Ｎ（W/cm）が、３×１０-1／Ｎ3 ≦ＰHg≦７×１０-1
／Ｎ3 の範囲に設定されるように、前記発光管の最冷却
部を冷却してランプ内水銀蒸気圧ＰHgを調整する冷却治
具とを具備したことを特徴とする水銀ランプ点灯装置。4. A tube inner diameter D is set in a range of 24 mm ≦ D ≦ 29 mm, mercury Hg is enclosed as an enclosure, argon Ar is enclosed as an enclosure gas, and an enclosure pressure PAr of the argon Ar of the enclosure gas is contained. Is 0.3 torr ≦ PAR ≦
An arc tube set to a range of 1.0 torr, power supply means for supplying a rectangular wave having an input density N of 8 W / cm ≦ N ≦ 10 W / cm or a sine wave of 5000 Hz or more to the arc tube, and the arc tube Of mercury vapor pressure in the lamp, PHg (torr), and input density N (W / cm) are 3 × 10 -1 / N 3 ≦ PHg ≦ 7 × 10 -1
A mercury lamp lighting device, comprising: a cooling jig that cools the most cooled part of the arc tube so as to set the mercury vapor pressure PHg in the lamp so that it is set in the range of / N 3 .
設定され、封入物として水銀Ｈｇが封入され、封入ガス
としてアルゴンＡｒが封入されるとともに、この封入ガ
スのアルゴンＡｒの封入圧力ＰArが０．３torr≦ＰAr≦
１．０torrの範囲に設定された発光管と、 この発光管に入力密度Ｎが８W/cm≦Ｎ≦１０W/cmの矩形
波または５０００Hz以上の正弦波を供給する電力供給手
段と、 前記発光管のランプ内水銀蒸気圧ＰHg（torr）と入力密
度Ｎ（W/cm）が、３×１０-1／Ｎ3 ≦ＰHg≦７×１０-1
／Ｎ3 の範囲に設定されるように、前記発光管の電極側
の周り管面を冷却してランプ内水銀蒸気圧ＰHgを調整す
る冷却治具とを具備したことを特徴とする水銀ランプ点
灯装置。5. A tube inner diameter D is set in a range of 24 mm ≦ D ≦ 29 mm, mercury Hg is enclosed as an enclosure, argon Ar is enclosed as an enclosure gas, and an enclosure pressure PAr of the argon Ar of the enclosure gas is contained. Is 0.3 torr ≦ PAR ≦
An arc tube set to a range of 1.0 torr, power supply means for supplying a rectangular wave having an input density N of 8 W / cm ≦ N ≦ 10 W / cm or a sine wave of 5000 Hz or more to the arc tube, and the arc tube Of mercury vapor pressure in the lamp, PHg (torr), and input density N (W / cm) are 3 × 10 -1 / N 3 ≦ PHg ≦ 7 × 10 -1
A mercury lamp lighting device, comprising: a cooling jig for adjusting the mercury vapor pressure PHg in the lamp by cooling the peripheral surface of the arc tube on the electrode side so as to be set in a range of / N 3. apparatus.
側の周り管面を保持するヒートブロックと、 前記冷却治具に設けられ前記のヒートブロックからの熱
を放熱する放熱フィンとを具備したことを特徴とする請
求項５記載の水銀ランプ点灯装置。6. A heat block, which is provided on the cooling jig and holds a peripheral tube surface on the electrode side of the arc tube, and a heat radiation fin, which is provided on the cooling jig and radiates heat from the heat block. The mercury lamp lighting device according to claim 5, further comprising:
ランプ点灯装置が設けられた紫外線照射手段と、 有機物で汚れた基材を前記水銀ランプ点灯装置からの紫
外線が照射される位置に搬送する搬送する搬送手段とを
具備したことを特徴とする光改質装置。7. Ultraviolet irradiation means provided with the mercury lamp lighting device according to any one of claims 1 to 6, and ultraviolet light from the mercury lamp lighting device is applied to a base material soiled with an organic substance. A light reforming device, comprising: a transporting unit that transports the light to a position.
られた紫外線照射手段と、 請求項６記載の放熱フィンに冷却用の空気を当てる冷却
ファンと、 有機物で汚れた基材を前記水銀ランプ点灯装置からの紫
外線が照射される位置に搬送する搬送する搬送手段とを
具備したことを特徴とする光改質装置。8. An ultraviolet irradiation means provided with the mercury lamp lighting device according to claim 6, a cooling fan for applying cooling air to the radiating fins according to claim 6, and a substrate soiled with an organic substance as the mercury. A light reforming device, comprising: a transporting device that transports the ultraviolet light from the lamp lighting device to a position where the ultraviolet light is emitted.
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16644695A JPH0917377A (en) | 1995-06-30 | 1995-06-30 | Mercury lamp lighting device and light quality improving device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16644695A JPH0917377A (en) | 1995-06-30 | 1995-06-30 | Mercury lamp lighting device and light quality improving device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0917377A true JPH0917377A (en) | 1997-01-17 |
Family
ID=15831564
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16644695A Pending JPH0917377A (en) | 1995-06-30 | 1995-06-30 | Mercury lamp lighting device and light quality improving device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0917377A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002103749A1 (en) | 2001-06-14 | 2002-12-27 | Photoscience Japan Corporation | Discharge lamp and ultraviolet irradiation system and operation method therefor |
| US7122946B2 (en) | 2002-08-30 | 2006-10-17 | Sharp Kabushiki Kaisha | Light source device having high limit-emitting efficiency |
-
1995
- 1995-06-30 JP JP16644695A patent/JPH0917377A/en active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002103749A1 (en) | 2001-06-14 | 2002-12-27 | Photoscience Japan Corporation | Discharge lamp and ultraviolet irradiation system and operation method therefor |
| EP1403906A1 (en) * | 2001-06-14 | 2004-03-31 | Photoscience Japan Corporation | Discharge lamp and ultraviolet irradiation system and operation method therefor |
| EP1403906B1 (en) * | 2001-06-14 | 2011-03-16 | Photoscience Japan Corporation | Discharge lamp and ultraviolet irradiation system and operation method therefor |
| US7122946B2 (en) | 2002-08-30 | 2006-10-17 | Sharp Kabushiki Kaisha | Light source device having high limit-emitting efficiency |
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