JPH0917365A - 電界放射型電子銃 - Google Patents
電界放射型電子銃Info
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- JPH0917365A JPH0917365A JP16627995A JP16627995A JPH0917365A JP H0917365 A JPH0917365 A JP H0917365A JP 16627995 A JP16627995 A JP 16627995A JP 16627995 A JP16627995 A JP 16627995A JP H0917365 A JPH0917365 A JP H0917365A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 エミッタと引出電極との間の軸合わせを実質
的に不要とし、更には微小放電の発生をなくし、安定な
電子ビームの発生が可能な電界放射型電子銃を実現す
る。 【構成】 エミッタ１５，ステム１６，エミッタベース
１７，金属ホルダー１８は、事前に一体的に構成されて
いると共に、エミッタ１５は金属ホルダー１８に対して
数十μｍのオーダーで軸合わせされている。また、引出
電極１９は数十μｍの公差で加工が施されている。この
ような事前の高い精度による組立、加工の後、金属ホル
ダー１８を引出電極１９の段部１９ａに取り付けると、
結果として、エミッタ１５と引出電極１９の軸合わせ精
度は、数十μｍのオーダーに維持することができ、組立
後にエミッタ１５に対して、引出電極１９の位置調整を
行う必要がなくなる。
的に不要とし、更には微小放電の発生をなくし、安定な
電子ビームの発生が可能な電界放射型電子銃を実現す
る。 【構成】 エミッタ１５，ステム１６，エミッタベース
１７，金属ホルダー１８は、事前に一体的に構成されて
いると共に、エミッタ１５は金属ホルダー１８に対して
数十μｍのオーダーで軸合わせされている。また、引出
電極１９は数十μｍの公差で加工が施されている。この
ような事前の高い精度による組立、加工の後、金属ホル
ダー１８を引出電極１９の段部１９ａに取り付けると、
結果として、エミッタ１５と引出電極１９の軸合わせ精
度は、数十μｍのオーダーに維持することができ、組立
後にエミッタ１５に対して、引出電極１９の位置調整を
行う必要がなくなる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、エミッタと引出電極と
の軸合わせを不要とした、走査電子顕微鏡等の電界放射
型電子銃に関する。
の軸合わせを不要とした、走査電子顕微鏡等の電界放射
型電子銃に関する。
【０００２】
【従来の技術】図１は従来の冷陰極タイプの電界放射型
電子銃を示している。１はタングステンなどで形成され
た電界放射エミッタであり、エミッタ１はエミッタベー
ス２に取り付けられている。ベース２はエミッタ取付電
極３に固定されており、エミッタ取付電極３は絶縁碍子
４を介して引出電極ベース５に取り付けられている。
電子銃を示している。１はタングステンなどで形成され
た電界放射エミッタであり、エミッタ１はエミッタベー
ス２に取り付けられている。ベース２はエミッタ取付電
極３に固定されており、エミッタ取付電極３は絶縁碍子
４を介して引出電極ベース５に取り付けられている。
【０００３】引出電極ベース５には、有底筒状の引出電
極６が取り付けられているが、引出電極６の先端の底部
分には、電子ビームの通過孔７が設けられ、また、引出
電極６の側部には、筒状の引出電極内部を排気するため
の排気孔８が設けられている。引出電極６の下方には、
接地電位の陽極９が配置されている。エミッタ１と陽極
９との間には、加速電圧電源１０から加速電圧が印加さ
れ、また、エミッタ１と引出電極６との間には、引出電
圧電源１１から引出電圧が印加される。
極６が取り付けられているが、引出電極６の先端の底部
分には、電子ビームの通過孔７が設けられ、また、引出
電極６の側部には、筒状の引出電極内部を排気するため
の排気孔８が設けられている。引出電極６の下方には、
接地電位の陽極９が配置されている。エミッタ１と陽極
９との間には、加速電圧電源１０から加速電圧が印加さ
れ、また、エミッタ１と引出電極６との間には、引出電
圧電源１１から引出電圧が印加される。
【０００４】上記した構成で、電界放射型電子銃部分は
超高真空に排気され、その後、電源１０からエミッタ１
と陽極９との間に加速電圧が印加され、電源１１からエ
ミッタ１と引出電極６との間に引出電圧が印加される。
この結果、エミッタ１先端から電子が引き出され、この
引き出された電子は陽極９によって加速されて高輝度の
電子ビームが得られる。
超高真空に排気され、その後、電源１０からエミッタ１
と陽極９との間に加速電圧が印加され、電源１１からエ
ミッタ１と引出電極６との間に引出電圧が印加される。
この結果、エミッタ１先端から電子が引き出され、この
引き出された電子は陽極９によって加速されて高輝度の
電子ビームが得られる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記した構成で、加速
電圧や引出電圧を変化させた場合、エミッタ先端位置と
引出電極６の電子ビーム通過孔７中心とが一致していな
いと、電子銃から得られる電子ビームの軸がずれてしま
う現象が生じる。この軸がずれない安定な電子ビームを
得るためには、エミッタ１と引出電極６とを数十μｍの
高い精度で軸合わせを行う必要がある。
電圧や引出電圧を変化させた場合、エミッタ先端位置と
引出電極６の電子ビーム通過孔７中心とが一致していな
いと、電子銃から得られる電子ビームの軸がずれてしま
う現象が生じる。この軸がずれない安定な電子ビームを
得るためには、エミッタ１と引出電極６とを数十μｍの
高い精度で軸合わせを行う必要がある。
【０００６】図１に示した従来の構成では、エミッタ１
はエミッタベース２、エミッタ取付部材３、絶縁碍子４
を介して引出電極６の引出電極ベース５に取り付けられ
ている。このため、引出電極６の電子ビーム通過孔７と
エミッタ１との軸は、その間の数個の部品による組み立
て、加工公差のため、数百μｍのずれが必然的に発生し
てしまう。
はエミッタベース２、エミッタ取付部材３、絶縁碍子４
を介して引出電極６の引出電極ベース５に取り付けられ
ている。このため、引出電極６の電子ビーム通過孔７と
エミッタ１との軸は、その間の数個の部品による組み立
て、加工公差のため、数百μｍのずれが必然的に発生し
てしまう。
【０００７】このため、図示はしていないが、引出電極
６と引出電極ベース５との間に軸合わせ機構を設け、実
体顕微鏡を用いてこの機構を動作させ、引出電極６の位
置調整を行って、エミッタ１と引出電極６との間の軸合
わせを行っている。したがって、従来の構成では、軸合
わせを行う機構が必要となると共に、熟練を要した軸合
わせ作業が不可欠であった。
６と引出電極ベース５との間に軸合わせ機構を設け、実
体顕微鏡を用いてこの機構を動作させ、引出電極６の位
置調整を行って、エミッタ１と引出電極６との間の軸合
わせを行っている。したがって、従来の構成では、軸合
わせを行う機構が必要となると共に、熟練を要した軸合
わせ作業が不可欠であった。
【０００８】ところで、熱電子銃の場合には、フィラメ
ントに接近してウェーネルト電極が設けられ、フィラメ
ントから発生する電子の制御を行っている。このウェー
ネルト電極にはフィラメントに対してマイナスの極性の
電圧が印加されるため、ウェーネルト電極には電子ビー
ムが照射されない構成となる。そのため、ウェーネルト
電極から反射電子が発生せず、フィラメントを支持する
碍子などが帯電する恐れはない。
ントに接近してウェーネルト電極が設けられ、フィラメ
ントから発生する電子の制御を行っている。このウェー
ネルト電極にはフィラメントに対してマイナスの極性の
電圧が印加されるため、ウェーネルト電極には電子ビー
ムが照射されない構成となる。そのため、ウェーネルト
電極から反射電子が発生せず、フィラメントを支持する
碍子などが帯電する恐れはない。
【０００９】一方、図１に示したような電界放射型電子
銃では、引出電極６にはエミッタ１に対してプラス極性
の電圧が印加されるため、引出電極６にはエミッタ１か
ら放出される電子が衝突し、引出電極６からは反射電子
が発生する。この反射電子はエミッタ１を支持する絶縁
性部材に向かい、帯電現象を引き起こす。このため、帯
電部分において微小放電が発生し、電子ビームの安定な
発生の妨げとなる。
銃では、引出電極６にはエミッタ１に対してプラス極性
の電圧が印加されるため、引出電極６にはエミッタ１か
ら放出される電子が衝突し、引出電極６からは反射電子
が発生する。この反射電子はエミッタ１を支持する絶縁
性部材に向かい、帯電現象を引き起こす。このため、帯
電部分において微小放電が発生し、電子ビームの安定な
発生の妨げとなる。
【００１０】更に、引出電極６が接地電位に対してマイ
ナス極性の場合、引出電極６の排気孔８から電界が引出
電極６の内部に入り込み、引出電極６で発生した２次電
子が陽極９に流れ込む。また、加速電圧を変化させる
と、引出電極６の排気孔８から入り込む電界の分布が変
化し、それに応じて、エミッタ１先端に印加されている
電界が変化する。このような現象により、エミッタ１か
ら放出される電子の電流が変化し、安定な電子ビームが
得られないことになる。
ナス極性の場合、引出電極６の排気孔８から電界が引出
電極６の内部に入り込み、引出電極６で発生した２次電
子が陽極９に流れ込む。また、加速電圧を変化させる
と、引出電極６の排気孔８から入り込む電界の分布が変
化し、それに応じて、エミッタ１先端に印加されている
電界が変化する。このような現象により、エミッタ１か
ら放出される電子の電流が変化し、安定な電子ビームが
得られないことになる。
【００１１】本発明は、このような点に鑑みてなされた
もので、その目的は、エミッタと引出電極との間の軸合
わせを実質的に不要とし、更には微小放電の発生をなく
し、安定な電子ビームの発生が可能な電界放射型電子銃
を実現するにある。
もので、その目的は、エミッタと引出電極との間の軸合
わせを実質的に不要とし、更には微小放電の発生をなく
し、安定な電子ビームの発生が可能な電界放射型電子銃
を実現するにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明に基づく
電界放射型電子銃は、電界放射エミッタと、エミッタを
支持し金属ホルダに保持された絶縁性ベース部材と、電
子ビーム通過孔を有した引出電極とを備えており、エミ
ッタと位置合わせされた金属ホルダを引出電極に取り付
けるように構成したことを特徴としている。
電界放射型電子銃は、電界放射エミッタと、エミッタを
支持し金属ホルダに保持された絶縁性ベース部材と、電
子ビーム通過孔を有した引出電極とを備えており、エミ
ッタと位置合わせされた金属ホルダを引出電極に取り付
けるように構成したことを特徴としている。
【００１３】請求項２の発明に基づく電界放射型電子銃
は、ベース部材が、光軸とほぼ平行な段部を有している
ことを特徴としている。請求項３の発明に基づく電界放
射型電子銃は、引出電極の電子ビーム通過孔の近傍にエ
ミッタを囲むようにリング状の突起を設けたことを特徴
としている。
は、ベース部材が、光軸とほぼ平行な段部を有している
ことを特徴としている。請求項３の発明に基づく電界放
射型電子銃は、引出電極の電子ビーム通過孔の近傍にエ
ミッタを囲むようにリング状の突起を設けたことを特徴
としている。
【００１４】請求項３の発明に基づく電界放射型電子銃
は、引出電極の先端部の内側形状が円筒状に形成された
ことを特徴としている。
は、引出電極の先端部の内側形状が円筒状に形成された
ことを特徴としている。
【００１５】
【作用】請求項１の発明に基づく電界放射型電子銃は、
電界放射エミッタと、エミッタを支持し金属ホルダに保
持された絶縁性ベース部材と、電子ビーム通過孔を有し
た引出電極とを備えており、エミッタと位置合わせされ
た金属ホルダを引出電極に取り付けるように構成し、引
出電極の位置調整を不要とする。
電界放射エミッタと、エミッタを支持し金属ホルダに保
持された絶縁性ベース部材と、電子ビーム通過孔を有し
た引出電極とを備えており、エミッタと位置合わせされ
た金属ホルダを引出電極に取り付けるように構成し、引
出電極の位置調整を不要とする。
【００１６】請求項２の発明に基づく電界放射型電子銃
は、ベース部材に、光軸とほぼ平行な段部を設け、帯電
を防止する。請求項３の発明に基づく電界放射型電子銃
は、引出電極の電子ビーム通過孔の近傍にエミッタを囲
むようにリング状の突起を設け、安定な電子ビームの発
生を行う。
は、ベース部材に、光軸とほぼ平行な段部を設け、帯電
を防止する。請求項３の発明に基づく電界放射型電子銃
は、引出電極の電子ビーム通過孔の近傍にエミッタを囲
むようにリング状の突起を設け、安定な電子ビームの発
生を行う。
【００１７】請求項３の発明に基づく電界放射型電子銃
は、引出電極の先端部の内側形状を円筒状に形成し、安
定な電子ビームの発生を行う。
は、引出電極の先端部の内側形状を円筒状に形成し、安
定な電子ビームの発生を行う。
【００１８】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細
に説明する。図２は、本発明に基づく電界放射型電子銃
を示しており、１５はタングステン等で形成された電子
放射エミッタである。エミッタ１５はステム１６に支持
され、また、ステム１６は絶縁製材料で形成されたエミ
ッタベース１７に取り付けられている。エミッタベース
１７は段が付けられており、光軸Ｏに水平な部分１７ａ
を有している。
に説明する。図２は、本発明に基づく電界放射型電子銃
を示しており、１５はタングステン等で形成された電子
放射エミッタである。エミッタ１５はステム１６に支持
され、また、ステム１６は絶縁製材料で形成されたエミ
ッタベース１７に取り付けられている。エミッタベース
１７は段が付けられており、光軸Ｏに水平な部分１７ａ
を有している。
【００１９】エミッタベース１７はリング状の金属ホル
ダー１８に取り付けられている。このエミッタ１５，ス
テム１６，エミッタベース１７，リング状の金属ホルダ
ー１８は、事前に一体的に構成されていると共に、エミ
ッタ１５は金属ホルダー１８に対して数十μｍのオーダ
ーで軸合わせされている。
ダー１８に取り付けられている。このエミッタ１５，ス
テム１６，エミッタベース１７，リング状の金属ホルダ
ー１８は、事前に一体的に構成されていると共に、エミ
ッタ１５は金属ホルダー１８に対して数十μｍのオーダ
ーで軸合わせされている。
【００２０】１９は金属ホルダー１８が直接取り付けら
れる有底筒状の引出電極であり、引出電極１９の先端の
底部分には、電子ビームの通過孔２０が設けられてい
る。また、引出電極１９の側部には、引出電極１９内部
を排気するための排気孔２１が設けられている。なお、
２２は引出電極１９が取り付けられる電子銃支持体であ
り、引出電極１９に印加される電圧をグランド電位から
絶縁するためのものてせある。
れる有底筒状の引出電極であり、引出電極１９の先端の
底部分には、電子ビームの通過孔２０が設けられてい
る。また、引出電極１９の側部には、引出電極１９内部
を排気するための排気孔２１が設けられている。なお、
２２は引出電極１９が取り付けられる電子銃支持体であ
り、引出電極１９に印加される電圧をグランド電位から
絶縁するためのものてせある。
【００２１】引出電極１９の下方には、接地電位の陽極
２３が配置されている。また、引出電極１９の底部分に
は、エミッタ１５方向に向かう突起２４が円筒状に設け
られている。なお、エミッタ１５の取り付けられた引出
電極１９は、陽極２３に対してメカニカルに軸合わせが
可能な構成になっている。このような構成の動作を次に
説明する。
２３が配置されている。また、引出電極１９の底部分に
は、エミッタ１５方向に向かう突起２４が円筒状に設け
られている。なお、エミッタ１５の取り付けられた引出
電極１９は、陽極２３に対してメカニカルに軸合わせが
可能な構成になっている。このような構成の動作を次に
説明する。
【００２２】上記した構成で、エミッタ１５，ステム１
６，エミッタベース１７，金属ホルダー１８は、事前に
一体的に構成されていると共に、エミッタ１５は金属ホ
ルダー１８に対して数十μｍのオーダーで軸合わせされ
ている。また、引出電極１９は数十μｍの公差で加工が
施されている。特に、金属ホルダー１８が取り付けられ
る引出電極１９の段部１９ａの加工精度は、高くされて
いる。
６，エミッタベース１７，金属ホルダー１８は、事前に
一体的に構成されていると共に、エミッタ１５は金属ホ
ルダー１８に対して数十μｍのオーダーで軸合わせされ
ている。また、引出電極１９は数十μｍの公差で加工が
施されている。特に、金属ホルダー１８が取り付けられ
る引出電極１９の段部１９ａの加工精度は、高くされて
いる。
【００２３】このような事前の高い精度による組立、加
工の後、金属ホルダー１８を引出電極１９の段部１９ａ
に取り付けると、結果として、エミッタ１５と引出電極
１９の軸合わせ精度は、数十μｍのオーダーに維持する
ことができ、組立後にエミッタ１５に対して、引出電極
１９の位置調整を行う必要がなくなる。従って、引出電
極１９の位置調整機構も不要となる。
工の後、金属ホルダー１８を引出電極１９の段部１９ａ
に取り付けると、結果として、エミッタ１５と引出電極
１９の軸合わせ精度は、数十μｍのオーダーに維持する
ことができ、組立後にエミッタ１５に対して、引出電極
１９の位置調整を行う必要がなくなる。従って、引出電
極１９の位置調整機構も不要となる。
【００２４】さて、エミッタベース１７には段が設けら
れており、エミッタ１５に近い部分１７ａは、光軸Ｏに
対して平行とされている。ここで、エミッタ１５から放
出された電子の一部は、引出電極１９から反射電子とし
てエミッタベース１７に照射される。しかし、光軸Ｏに
対しほぼ平行な部分１７ａには反射電子が照射されない
ため、エミッタベース１７の絶縁不良が生じることな
く、また、エミッタベース１７表面を伝わる微小放電も
発生しないことになる。
れており、エミッタ１５に近い部分１７ａは、光軸Ｏに
対して平行とされている。ここで、エミッタ１５から放
出された電子の一部は、引出電極１９から反射電子とし
てエミッタベース１７に照射される。しかし、光軸Ｏに
対しほぼ平行な部分１７ａには反射電子が照射されない
ため、エミッタベース１７の絶縁不良が生じることな
く、また、エミッタベース１７表面を伝わる微小放電も
発生しないことになる。
【００２５】また、図２の実施例で引出電極１９には排
気孔２１が設けられているが、この排気孔から引出電極
１９内に陽極２３からの電界が入り込む。加速電圧を変
化させると、この電界の入り込み量が変化し、エミッタ
１５からの電子放出特性が変化するだけでなく、引出電
極１９で発生した２次電子が電界により排気孔２１を通
って陽極２３に照射される。
気孔２１が設けられているが、この排気孔から引出電極
１９内に陽極２３からの電界が入り込む。加速電圧を変
化させると、この電界の入り込み量が変化し、エミッタ
１５からの電子放出特性が変化するだけでなく、引出電
極１９で発生した２次電子が電界により排気孔２１を通
って陽極２３に照射される。
【００２６】陽極２３は電子が照射されることによる電
子衝撃エネルギーにより、陽極２３からガスが放出され
るために、電子銃部分の真空を劣化させてしまう。この
ため、図２の実施例では、引出電極１９の内側におい
て、エミッタ１５を囲むように、その周辺にリング状の
突起２４を設け、排気孔２１からの電界がエミッタ１５
及び引出電極１９の電子照射部分に及ぼす影響を極めて
少なくするように構成している。
子衝撃エネルギーにより、陽極２３からガスが放出され
るために、電子銃部分の真空を劣化させてしまう。この
ため、図２の実施例では、引出電極１９の内側におい
て、エミッタ１５を囲むように、その周辺にリング状の
突起２４を設け、排気孔２１からの電界がエミッタ１５
及び引出電極１９の電子照射部分に及ぼす影響を極めて
少なくするように構成している。
【００２７】すなわち、加速電圧を変化させても、エミ
ッタ１５先端部の電界の変化はほとんど無くなり、安定
した電子ビームの発生が可能となる。また、電子ビーム
通過孔２０周辺の引出電極１９への電子ビームの照射に
よって発生した２次電子は、突起２４によって陽極２３
に向かうことは防止される。
ッタ１５先端部の電界の変化はほとんど無くなり、安定
した電子ビームの発生が可能となる。また、電子ビーム
通過孔２０周辺の引出電極１９への電子ビームの照射に
よって発生した２次電子は、突起２４によって陽極２３
に向かうことは防止される。
【００２８】図３は本発明の他の実施例を示している。
この実施例では、図２の実施例と比べ、引出電極１９の
形状が相違している。引出電極１９の先端部は、図２の
実施例では、リング状の突起２４を設けたが、図３の実
施例では、突起２４に代え、引出電極１９の先端の内側
部分２５の形状を筒状としている。この円筒状の引出電
極の内側部分（内壁）２５により、エミッタ１５先端部
分が囲まれるように構成され、排気孔２１から入り込む
陽極の電界の影響を防止するようにしている。
この実施例では、図２の実施例と比べ、引出電極１９の
形状が相違している。引出電極１９の先端部は、図２の
実施例では、リング状の突起２４を設けたが、図３の実
施例では、突起２４に代え、引出電極１９の先端の内側
部分２５の形状を筒状としている。この円筒状の引出電
極の内側部分（内壁）２５により、エミッタ１５先端部
分が囲まれるように構成され、排気孔２１から入り込む
陽極の電界の影響を防止するようにしている。
【００２９】
【発明の効果】以上説明したように、請求項１の発明に
基づく電界放射型電子銃は、電界放射エミッタと、エミ
ッタを支持し金属ホルダに保持された絶縁性ベース部材
と、電子ビーム通過孔を有した引出電極とを備えてお
り、エミッタと位置合わせされた金属ホルダを引出電極
に取り付けるように構成したので、引出電極の位置調整
を不要とする効果を有する。
基づく電界放射型電子銃は、電界放射エミッタと、エミ
ッタを支持し金属ホルダに保持された絶縁性ベース部材
と、電子ビーム通過孔を有した引出電極とを備えてお
り、エミッタと位置合わせされた金属ホルダを引出電極
に取り付けるように構成したので、引出電極の位置調整
を不要とする効果を有する。
【００３０】請求項２の発明に基づく電界放射型電子銃
は、ベース部材に、光軸とほぼ平行な段部を設けたの
で、反射電子による帯電を防止し、微小放電の発生を防
ぐことができる。
は、ベース部材に、光軸とほぼ平行な段部を設けたの
で、反射電子による帯電を防止し、微小放電の発生を防
ぐことができる。
【００３１】請求項３の発明に基づく電界放射型電子銃
は、引出電極の電子ビーム通過孔の近傍にエミッタを囲
むようにリング状の突起を設けたので、引出電極から発
生する２次電子が、排気孔から陽極に放出されないよう
にする効果があると共に、加速電圧を変えても、排気孔
からの電界がエミッタに影響することを防ぐことができ
る。従って、安定な電子ビームの発生を行うことができ
る。
は、引出電極の電子ビーム通過孔の近傍にエミッタを囲
むようにリング状の突起を設けたので、引出電極から発
生する２次電子が、排気孔から陽極に放出されないよう
にする効果があると共に、加速電圧を変えても、排気孔
からの電界がエミッタに影響することを防ぐことができ
る。従って、安定な電子ビームの発生を行うことができ
る。
【００３２】請求項３の発明に基づく電界放射型電子銃
は、引出電極の先端部の内側形状を円筒状に形成したの
で、引出電極から発生する２次電子が、排気孔から陽極
に放出されないようにする効果があると共に、加速電圧
を変えても、排気孔からの電界がエミッタに影響するこ
とを防ぐことができる。従って、安定な電子ビームの発
生を行うことができる。
は、引出電極の先端部の内側形状を円筒状に形成したの
で、引出電極から発生する２次電子が、排気孔から陽極
に放出されないようにする効果があると共に、加速電圧
を変えても、排気孔からの電界がエミッタに影響するこ
とを防ぐことができる。従って、安定な電子ビームの発
生を行うことができる。
【図１】従来の電界放射電子銃を示す図である。
【図２】本発明の一実施例である電界放射電子銃を示す
図である。
図である。
【図３】本発明の他の実施例を示す図である。
１５ エミッタ １６ ステム １７ エミッタベース １８ 金属ホルダー １９ 引出電極 ２０ 電子ビームの通過孔 ２１ 排気孔 ２２ 電子銃支持体 ２３ 陽極 ２４ 突起
Claims (4)
- 【請求項１】 電界放射エミッタと、エミッタを支持し
金属ホルダに保持された絶縁性ベース部材と、電子ビー
ム通過孔を有した引出電極とを備えており、エミッタと
位置合わせされた金属ホルダを引出電極に取り付けるよ
うに構成した電界放射型電子銃。 - 【請求項２】 ベース部材は、光軸とほぼ平行な段部を
有している請求項１記載の電界放射型電子銃。 - 【請求項３】 引出電極の電子ビーム通過孔の近傍にエ
ミッタを囲むようにリング状の突起を設けた請求項１〜
２記載の電界放射型電子銃。 - 【請求項４】 引出電極の先端部の内側形状が円筒状に
形成されたエミッタを囲むようにリング状の突起を設け
た請求項１〜２記載の電界放射型電子銃。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16627995A JPH0917365A (ja) | 1995-06-30 | 1995-06-30 | 電界放射型電子銃 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16627995A JPH0917365A (ja) | 1995-06-30 | 1995-06-30 | 電界放射型電子銃 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0917365A true JPH0917365A (ja) | 1997-01-17 |
Family
ID=15828436
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16627995A Withdrawn JPH0917365A (ja) | 1995-06-30 | 1995-06-30 | 電界放射型電子銃 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0917365A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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-
1995
- 1995-06-30 JP JP16627995A patent/JPH0917365A/ja not_active Withdrawn
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