JPH0916953A - Method and device for measuring grind height - Google Patents
Method and device for measuring grind heightInfo
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- JPH0916953A JPH0916953A JP16255095A JP16255095A JPH0916953A JP H0916953 A JPH0916953 A JP H0916953A JP 16255095 A JP16255095 A JP 16255095A JP 16255095 A JP16255095 A JP 16255095A JP H0916953 A JPH0916953 A JP H0916953A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は磁気記録媒体の表面に存
在する微小突起の高さ（グライドハイト）の検出を行な
うグライドハイト測定方法及び装置に関するものであ
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a glide height measuring method and apparatus for detecting the height (glide height) of minute protrusions existing on the surface of a magnetic recording medium.
【０００２】[0002]
【従来の技術】磁気ディスクの高密度化に伴って磁気ヘ
ッドスライダーの低浮上化が必須となってきている。信
頼性の観点から磁気ディスクのグライドもまた低グライ
ド化となり精度よくグライドハイトを測定しなければな
らなくなってきた。2. Description of the Related Art As the density of magnetic disks has increased, it has become essential to reduce the flying height of magnetic head sliders. From the viewpoint of reliability, the glide of the magnetic disk has also been lowered, and the glide height has to be measured accurately.
【０００３】図５は、従来のグライドハイト測定装置の
構成図である。磁気ディスク２がスピンドル（図時略）
に回転可能に取り付けられ、スライダー支持アーム５の
先端に取り付けられたグライドスライダー３が磁気ディ
スク２上に位置している。磁気ディスク２の回転により
浮上するグライドスライダー３のフライハイト（浮上
量）と磁気ディスク２のグライドスライダー３直下の部
分の線速との関係は予め分っているので、磁気ディスク
２の回転速度からグライドスライダー３のフライハイト
が求まる。FIG. 5 is a block diagram of a conventional glide height measuring device. Magnetic disk 2 is a spindle (not shown)
The glide slider 3 rotatably attached to the slider support arm 5 is attached to the magnetic disk 2. Since the relationship between the fly height (flying height) of the glide slider 3 that floats due to the rotation of the magnetic disk 2 and the linear velocity of the portion directly below the glide slider 3 of the magnetic disk 2 is known in advance, the glide is determined from the rotational speed of the magnetic disk 2. The fly height of slider 3 is calculated.
【０００４】グライドスライダー３が磁気ディスク２上
の微小突起と接触した時に発生する弾性波を検出するＡ
Ｅセンサー４がスライダー支持アーム５上に設けられ、
ＡＥセンサー４の出力をチャージアンプ６で増幅してか
ら接触検知部７に入力している。An elastic wave generated when the glide slider 3 comes into contact with a minute protrusion on the magnetic disk 2 is detected.
E sensor 4 is provided on slider support arm 5,
The output of the AE sensor 4 is amplified by the charge amplifier 6 and then input to the contact detection unit 7.
【０００５】磁気ディスク２の回転速度を高くしフライ
ハイトが高くてグライドスライダー３が磁気ディスク２
上の微小突起と接触しない状態では、ＡＥセンサー４の
出力は小さい一定の値であるが、磁気ディスク２の回転
速度を次第に低くしてゆきフライハイトを低くしてグラ
イドスライダー３が微小突起と接触するとＡＥセンサー
４の出力が立ち上って大きくなり、さらにフラハイトを
低くしていくに従いＡＥセンサー４の出力も大きくなっ
ていく。The rotation speed of the magnetic disk 2 is increased, the fly height is increased, and the glide slider 3 is attached to the magnetic disk 2.
The output of the AE sensor 4 is a small constant value in a state where it does not come into contact with the above-mentioned minute protrusions, but when the rotation speed of the magnetic disk 2 is gradually lowered to lower the fly height and the glide slider 3 comes into contact with the minute protrusions. The output of the AE sensor 4 rises and becomes large, and as the flare height is further lowered, the output of the AE sensor 4 also becomes large.
【０００６】従って、接触検知部７ではチャージアンプ
６で増幅されたＡＥセンサー４の出力が一定の値以上で
あればグライドスライダー３が磁気ディスク２上の微小
突起と接触しているものとし、グライドハイトがグライ
ドスライダー３のフライハイト以上あるものと判定す
る。Therefore, in the contact detection unit 7, if the output of the AE sensor 4 amplified by the charge amplifier 6 is a certain value or more, it is assumed that the glide slider 3 is in contact with the minute protrusion on the magnetic disk 2, and the glide is performed. It is determined that the height is equal to or higher than the fly height of the glide slider 3.
【０００７】従来のグライドハイト測定装置では、ＡＥ
センサーの出力が一定の値以上となった出力増加点をグ
ライドスライダーと磁気ディスク上の微小突起との接触
点と仮定してグライドハイトを測定していた。In the conventional glide height measuring device, the AE
The glide height was measured assuming that the output increase point at which the sensor output exceeded a certain value was the contact point between the glide slider and the minute protrusion on the magnetic disk.
【０００８】[0008]
【発明が解決しようとする課題】しかし、このような従
来のグライドハイト測定装置は、グライドスライダーの
周囲に生じる空気膜振動等のグライドスライダーと微小
突起との接触によるもの以外の影響をＡＥセンサーが受
けるため、グライドハイトと推定するＡＥセンサーの出
力増加点におけるフライハイトと実際のグライドハイト
との間にずれが生じていた。従来は、このずれ量は測定
対象となるグライドハイトが高いためグライドハイトに
対し１０％程度であり問題となる程のずれ量ではなかっ
たが、低グライドハイト化の要請に応じてグライドハイ
トを低くするとグライドハイトに対する誤差は２０％〜
３０％程度まで大きくなってしまい、正確なグライドハ
イトを求めることが困難になってくる。そこで、グライ
ドスライダーと磁気ディスクの微小突起との接触点を正
確に求め、グライドハイトの測定精度の向上を計ること
が必要となる。However, in such a conventional glide height measuring apparatus, the AE sensor does not affect the glide slider around the glide slider other than the contact between the glide slider and the minute protrusion. As a result, the fly height at the point where the output of the AE sensor, which is estimated to be the glide height, increases and the actual glide height deviates. In the past, this amount of deviation was about 10% of the glide height because the glide height to be measured was high, which was not a problematic amount of deviation, but the glide height was lowered in response to the request for low glide height. Then, the error for glide height is 20% ~
It increases to about 30%, and it becomes difficult to obtain an accurate glide height. Therefore, it is necessary to accurately obtain the contact point between the glide slider and the minute protrusion of the magnetic disk to improve the measurement accuracy of the glide height.
【０００９】本発明の目的は、グライドハイトを次第に
低くしていった時のグライドスライダーと磁気ディスク
の微小突起との接触点を正確に求め、グライドハイト測
定の精度を向上させることにある。It is an object of the present invention to improve the accuracy of glide height measurement by accurately obtaining the contact point between the glide slider and the minute protrusion of the magnetic disk when the glide height is gradually lowered.
【００１０】[0010]
【課題を解決するための手段】本発明のグライドハイト
測定装置は、磁気ディスクが回転可能に取り付けられる
スピンドルと、スライダー支持アームに取り付けられて
前記磁気ディスク上に位置し、前記磁気ディスクの回転
により浮上するグライドスライダーと、前記グライドス
ライダーが前記磁気ディスク上の微小突起に接触した時
に発生する弾性波を検出するＡＥセンサーと、このＡＥ
センサーのフィルターを通した出力が一定の値以上であ
るか否かを検出する接触検知部とを備えている。A glide height measuring device of the present invention is a spindle to which a magnetic disk is rotatably mounted, and a slider support arm that is mounted on the magnetic disk and is positioned on the magnetic disk. A flying glide slider, an AE sensor that detects an elastic wave generated when the glide slider contacts a minute protrusion on the magnetic disk, and the AE sensor.
And a contact detection unit that detects whether or not the output of the sensor through the filter is a certain value or more.
【００１１】本発明のグライドハイト測定方法は、磁気
ディスク上に配置され前記磁気ディスクの回転によって
浮上するグライドスライダーが前記磁気ディスク上の微
小突起と接触して発生する弾性波をＡＥセンサーで検出
し、前記ＡＥセンサーのフィルターを通した出力が一定
の値以上であれば前記磁気ディスクの回転速度から決ま
る前記グライドスライダーのフライハイト以上の高さの
微小突起が前記磁気ディスク上にあると判定し、前記Ａ
Ｅセンサーの前記フィルターを通した出力が前記一定の
値未満であれば前記フライハイト以上の高さの微小突起
は前記磁気ディスク上にないと判定することを特徴とす
る。In the glide height measuring method of the present invention, an AE sensor detects an elastic wave generated when a glide slider arranged on a magnetic disk and floating by the rotation of the magnetic disk comes into contact with a minute projection on the magnetic disk. If the output of the AE sensor through the filter is equal to or more than a certain value, it is determined that there is a minute protrusion having a height equal to or higher than the fly height of the glide slider, which is determined by the rotation speed of the magnetic disk, on the magnetic disk. A
If the output of the E sensor that has passed through the filter is less than the predetermined value, it is determined that the minute protrusion having a height equal to or higher than the fly height is not on the magnetic disk.
【００１２】[0012]
【実施例】次に、本発明について図面を参照して説明す
る。Next, the present invention will be described with reference to the drawings.
【００１３】図１は本発明の一実施例のグライドハイト
測定装置の構成図である。FIG. 1 is a block diagram of a glide height measuring apparatus according to an embodiment of the present invention.
【００１４】本実施例は図５に示したグライドハイト測
定装置と、チャージアンプ６及び接触検知部７の間に２
００ｋＨｚ〜６００ｋＨｚの周波数帯域を通すフィルタ
ー１０を介存させた点を除き同一である。また図１は、
以下に述べる本実施例のテストのために磁気ディスク２
の代わりに半径方向に設けられた線状のバンプ８を設け
たバンプディスク９を装着した状態で示してあるが、実
装の運用時には本実施例のグライドハイト測定装置に通
常の磁気ディスクを装着してそのグライドハイトを測定
する。In this embodiment, there are two units between the glide height measuring device shown in FIG. 5 and the charge amplifier 6 and the contact detection unit 7.
It is the same except that the filter 10 that passes the frequency band of 00 kHz to 600 kHz is interposed. Moreover, in FIG.
The magnetic disk 2 is used for the test of this embodiment described below.
Instead of the above, a bump disk 9 provided with linear bumps 8 provided in the radial direction is mounted, but during the mounting operation, a normal magnetic disk is mounted on the glide height measuring apparatus of this embodiment. Measure its glide height.
【００１５】次に本実施例が、図５に示した従来のグラ
イドハイト測定装置より正確にグライドハイトを測定で
きるかを図１のようにバンプディスク９を用いてテスト
した場合で説明する。Next, whether or not this embodiment can measure the glide height more accurately than the conventional glide height measuring device shown in FIG. 5 will be described by using the bump disk 9 as shown in FIG.
【００１６】なお、バンプディスク９のバンプ８の高さ
は低グライドハイトに対応して２５ｎｍとしてある。ま
た、図５に示すようにフィルター１０を通さない場合
に、ＡＥセンサー４の検出能力やチャージアンプ６の周
波数帯域などにより接触検知部７はＡＥセンサー４の出
力として５０ｋＨｚ〜７５０ｋＨｚの周波数帯の信号を
入力するのに対し、本実施例ではフィルター１０を通す
ことによりＡＥセンサー４の出力の２００ｋＨｚ〜６０
０ｋＨｚの周波数帯のみの信号を入力するようにしてあ
る。The bump 8 of the bump disk 9 has a height of 25 nm corresponding to the low glide height. Further, as shown in FIG. 5, when the filter 10 is not passed, the contact detection unit 7 outputs the signal of the frequency band of 50 kHz to 750 kHz as the output of the AE sensor 4 due to the detection capability of the AE sensor 4, the frequency band of the charge amplifier 6, and the like. In contrast to this, in the present embodiment, by passing through the filter 10, the output of the AE sensor 4 is 200 kHz to 60 kHz.
A signal of only the frequency band of 0 kHz is input.
【００１７】図２はグライドスライダー３とバンプディ
スク９とのバンプアバランシェカーブを示し、縦軸（Ａ
Ｅ）は接触検知部７の入力電圧（以下これをセンサー出
力と称す）、横軸（Ｖ）はグライドスライダー３とバン
プディスク９間の線速、横軸（ＦＨ）はグライドスライ
ダー３のフライハイトである。FIG. 2 shows a bump avalanche curve between the glide slider 3 and the bump disk 9, where the vertical axis (A
E) is the input voltage of the contact detection unit 7 (hereinafter referred to as sensor output), the horizontal axis (V) is the linear velocity between the glide slider 3 and the bump disk 9, and the horizontal axis (FH) is the fly height of the glide slider 3. is there.
【００１８】図２で点線曲線は従来のグライドハイト測
定装置によるフィルターを通さないセンサー出力（５０
ｋＨｚ〜７５０ｋＨｚ）のバンプアバランシェカーブを
示し、実線曲線は本実施例によるフィルター１０を通し
たセンサー出力（２００ｋＨｚ〜６００ｋＨｚ）のバン
プアバランシェカーブを示す。In FIG. 2, the dotted curve is the unfiltered sensor output (50) of the conventional glide height measuring device.
(kHz to 750 kHz), and the solid curve shows the bump avalanche curve of the sensor output (200 kHz to 600 kHz) through the filter 10 according to this example.
【００１９】図３（ａ）〜（ｃ）はそれぞれフィルター
を通さないセンサー出力のグライドスライダー３とバン
プディスク９間の線速８ｍ／ｓ、６ｍ／ｓ及び５ｍ／ｓ
時における周波数分布を示す。3 (a) to 3 (c) are linear velocities of 8 m / s, 6 m / s and 5 m / s between the glide slider 3 and the bump disk 9 for the sensor output which does not pass the filter.
The frequency distribution over time is shown.
【００２０】図４（ａ）〜（ｃ）はそれぞれフィルター
１０を通したセンサー出力のグライドスライダー３とバ
ンプディスク９間の線速８ｍ／ｓ、６ｍ／ｓ及び５ｍ／
ｓ時における周波数分布を示す。4 (a) to 4 (c) show linear velocities of 8 m / s, 6 m / s and 5 m / s between the glide slider 3 and the bump disk 9 of the sensor output after passing through the filter 10, respectively.
The frequency distribution at s time is shown.
【００２１】図３及び４でのセンサー出力の状態は次の
とおりである。The states of the sensor output in FIGS. 3 and 4 are as follows.
【００２２】（１）図３（ａ）における線速８ｍ／ｓ時
のフィルターを通さないセンサー出力は図２の点線曲線
に示すように線速を次第に低下させていった時のほぼ増
加開始点にあたりフライハイトは２９ｎｍ程度の位置に
相当する。また、図４（ａ）における線速８ｍ／ｓ時の
フィルター１０を通したセンサー出力は図２の実線曲線
に示すように増加開始点前のノイズレベルの一定領域で
ある。(1) The sensor output not passing through the filter at the linear velocity of 8 m / s in FIG. 3 (a) is an almost starting point of increase when the linear velocity is gradually decreased as shown by the dotted curve in FIG. The fly height corresponds to a position of about 29 nm. Further, the sensor output through the filter 10 at the linear velocity of 8 m / s in FIG. 4A is a constant noise level region before the increase start point as shown by the solid curve in FIG.
【００２３】（２）図３（ｂ）における線速６ｍ／ｓ時
のフィルターを通さないセンサー出力は図２の点線曲線
のように既に増加している領域でありフライハイトは２
５ｎｍ程度の位置に相当する。また図４（ｂ）における
線速６ｍ／ｓ時のフィルター１０を通したセンサー出力
は図２の実線曲線に示すようにほぼ増加開始点にあた
る。図３（ｂ）における線速８ｍ／ｓでは図２の点線曲
線で示されるようにセンサー出力が十分に増加している
からバンプ８とグライドスライダー３との接触が示唆さ
れるが、実際にはハンプ８とスラインダー３は接触して
いない。すなわち実際にバンプ８とグライドスライダー
３とが接触しているか否か判定するためバンプ８上にス
ライダー３との接触により生じる摺動痕が存在するのか
微分干渉顕微鏡にて観察したところ、バンプ８上に摺動
痕は確認できなかった。(2) The sensor output not passing through the filter at the linear velocity of 6 m / s in FIG. 3 (b) is a region where it has already increased like the dotted curve in FIG. 2 and the fly height is 2
This corresponds to a position of about 5 nm. Further, the sensor output passing through the filter 10 at the linear velocity of 6 m / s in FIG. 4B almost corresponds to the start point of increase as shown by the solid curve in FIG. At the linear velocity of 8 m / s in FIG. 3B, the sensor output is sufficiently increased as shown by the dotted curve in FIG. 2, so that the contact between the bump 8 and the glide slider 3 is suggested. Hump 8 and slender 3 are not in contact. That is, in order to determine whether or not the bump 8 and the glide slider 3 are actually in contact with each other, it is observed by a differential interference microscope whether or not there is a sliding mark caused by the contact with the slider 3 on the bump 8. No sliding marks could be confirmed.
【００２４】（３）図３（ｃ）における線速５ｍ／ｓ時
のフィルターを通さないセンサー出力は図２の点線曲線
に示すように、さらに増加している領域でありフライハ
イトは２３ｎｍ程度の位置に相当する。また図４（ｃ）
における線速５ｍ／ｓ時のフィルター１０を通したセン
サー出力は図２の実線曲線に示すように増加している領
域である。この線速においては、バンプ８上にスライダ
ー３との摺動痕が確認できた。さらに図３（ｃ）及び図
４（ｃ）で特徴的な点はスライダーの固有振動数である
８００ｋＨｚ近傍の周波数ピークと接触により増加する
２００ｋＨｚ〜６００ｋＨｚの周波数帯の増加がセンサ
ー出力に確認されたことである。(3) The sensor output not passing through the filter at the linear velocity of 5 m / s in FIG. 3 (c) is a further increasing region as shown by the dotted curve in FIG. 2, and the fly height is at a position of about 23 nm. Equivalent to. Also, FIG. 4 (c)
The sensor output through the filter 10 at the linear velocity of 5 m / s is an increasing region as shown by the solid curve in FIG. At this linear velocity, a sliding mark with the slider 3 could be confirmed on the bump 8. Further, the characteristic points in FIGS. 3C and 4C are confirmed in the sensor output that the frequency peak in the vicinity of 800 kHz, which is the natural frequency of the slider, and the increase in the frequency band of 200 kHz to 600 kHz that increases due to contact. That is.
【００２５】上記のように線速５ｍ／ｓでは明らかにバ
ンプ８とスライダー３が接触しており、線速６ｍ／ｓで
はバンプ８とスライダー３が接触していないことが明ら
かとなった。よって従来のグライトハイト測定装置のよ
うにフィルターを通さない５０ｋＨｚ〜７５０ｋＨｚの
周波数帯のセンサー出力のバンプアバランシェカーブに
おける線速６ｍ／ｓ近傍ではセンサー出力は増加してい
るがスライダー３はバンプ８と接触していないことがわ
かった。この線速６ｍ／ｓでのセンサー出力の増加は図
３（ｂ）及び図４（ｂ）より周波数分布における２００
ｋＨＺ以下の周波数帯の成分の増加に起因しているもの
と考えられ、この２００ｋＨｚ以下の周波数帯の成分の
増加の原因はバンプ８とスライダー３との極接近により
生じる何らかの干渉現象（空気膜振動等）によって引き
起こされたものと推定される。このようにフィルターを
通さないセンサー出力の増加開始点とバンプ８とスライ
ダー３との接触点とのずれが生じた原因はこの２００ｋ
Ｈｚ以下の周波数帯の成分の増加に起因していることが
わかった。As described above, it was revealed that the bump 8 and the slider 3 were clearly in contact with each other at the linear velocity of 5 m / s, and the bump 8 and the slider 3 were not in contact with each other at the linear velocity of 6 m / s. Therefore, the sensor output increases in the vicinity of a linear velocity of 6 m / s in the bump avalanche curve of the sensor output in the frequency band of 50 kHz to 750 kHz that does not pass through the filter like the conventional glite height measuring device, but the slider 3 contacts the bump 8. I found that I didn't. This increase in sensor output at a linear velocity of 6 m / s is 200 in the frequency distribution according to FIGS. 3 (b) and 4 (b).
It is considered that this is due to an increase in the frequency band component of less than kHZ, and the cause of the increase of the frequency band component of less than 200 kHz is some interference phenomenon (air film vibration) caused by the close proximity of the bump 8 and the slider 3. Etc.). The cause of the deviation between the point where the sensor output does not pass through the filter and the contact point between the bump 8 and the slider 3 is 200 k
It was found that this is due to an increase in the components in the frequency band below Hz.
【００２６】上記結果より従来のグライドハイト測定装
置のようなフィルターを通さない５０ｋＨｚ〜７５０ｋ
Ｈｚの周波数体のセンサー出力でのバンプアバランシェ
カーブと本発明にて採用した２００ｋＨｚ〜６００ｋＨ
ｚのフィルターを通したセンサー出力でのバンプアバラ
ンシェカーブとではセンサー出力の増加開始点における
フライトハイトの差で４ｎｍ程度の違いがあり本発明に
て採用した２００ｋＨｚ〜６００ｋＨｚのフィルターを
通したセンサー出力を使用することによりグライドハイ
ト測定に従来より４ｎｍ程度の精度向上が得られ、低浮
上量スライダーに対応する高精度なグライドハイトテス
トが可能となる。From the above results, 50 kHz to 750 k which does not pass through the filter as in the conventional glide height measuring device.
Bump avalanche curve in sensor output of frequency body of Hz and 200 kHz to 600 kHz adopted in the present invention
There is a difference of about 4 nm due to the difference in flight height at the starting point of the increase in the sensor output from the bump avalanche curve in the sensor output passed through the z filter, and the sensor output passed through the filter of 200 kHz to 600 kHz adopted in the present invention is By using it, an accuracy improvement of about 4 nm can be obtained in glide height measurement compared to the conventional one, and a highly accurate glide height test corresponding to a low flying height slider becomes possible.
【００２７】さらに、形状の違うグライドスライダーを
用いて図５に示すフィルターを通さない従来のグライド
ハイト測定装置によるグライドハイトの測定精度と図１
に示す本発明の実施例によるフィルターを通したグライ
ドハイトの測定精度を比較した結果を表１、２に示す。
表１は２レール型グライドスライダーのレール幅を３種
類設け、バンプの高さが２５ｎｍのバンプディスクを用
いディスク回転数を次第に低下させてＡＥセンサーの出
力を測定した時の出力増加点におけるグライドスライダ
ーのフライハイトがバンプの高さとどの程度ずれている
のか百分率にて表したものである。表１より２レール型
グライドスライダーの場合、従来のようにフィルターを
通さない場合はバンプの高さの２５ｎｍに対し１５％か
ら２５％程度のずれが生じており、本発明では５％程度
のずれに留まっていることがわかる。Further, by using a glide slider having a different shape, the glide height measuring accuracy by the conventional glide height measuring device shown in FIG.
Tables 1 and 2 show the results of comparison of the measurement accuracy of the glide height through the filter according to the embodiment of the present invention shown in FIG.
Table 1 shows the glide slider at the output increasing point when the output of the AE sensor is measured by providing three rail widths of the two-rail type glide slider and using a bump disc having a bump height of 25 nm and gradually decreasing the disc rotation speed. It is expressed as a percentage of how much the fly height of is different from the bump height. From Table 1, in the case of the two-rail type glide slider, when the filter is not passed as in the conventional case, there is a deviation of 15% to 25% with respect to the bump height of 25 nm, and in the present invention, a deviation of about 5%. You can see that it remains at.
【００２８】[0028]
【表１】 [Table 1]
【００２９】表２は３レール型グライドスライダーのセ
ンターレール幅を３種類設け、バンプの高さが２５ｎｍ
のバンプディスクを用いディスク回転数を次第に低下さ
せてＡＥセンサーの出力を測定した時の出力増加点にお
けるグライドスライダーのフライハイトがバンプの高さ
とどの程度ずれているのか百分率にて表したものであ
る。Table 2 shows that three kinds of center rail widths of the three-rail type glide slider are provided and the bump height is 25 nm.
Of the bump disc, the fly speed of the glide slider at the output increasing point when the output of the AE sensor is measured by gradually lowering the disc rotation speed is expressed in percentage to the height of the bump.
【００３０】表２より３レール型グライドスライダーの
場合、従来のようにフィルターを通さない場合はバンプ
の高さの２５ｎｍに対し２０％から３０％程度のずれが
生じており、本発明により方法では１０％以内のずれに
留まっていることがわかる。From Table 2, in the case of the 3-rail type glide slider, when the filter is not passed as in the conventional case, there is a deviation of about 20% to 30% with respect to the bump height of 25 nm. It can be seen that the deviation remains within 10%.
【００３１】[0031]
【００３２】[0032]
【表２】 [Table 2]
【００３３】このように本発明は、ＡＥセンサーの出力
をフィルターに通してグライドスライダーとバンプディ
スクの接触時に生じる特徴的な周波数ピーク及び周波数
帯（例えば２００ｋＨｚ〜６００ｋＨｚ）のみに限定し
て抽出することによって高精度なグライドハイトの測定
を可能とする。As described above, according to the present invention, the output of the AE sensor is filtered to extract only the characteristic frequency peaks and frequency bands (for example, 200 kHz to 600 kHz) that are generated when the glide slider and the bump disk come into contact with each other. Enables highly accurate glide height measurement.
【００３４】[0034]
【発明の効果】磁気ディスク上を浮上するグライドスラ
イダーと磁気ディスク上の微小突起との接触で発生する
弾性波をＡＥセンサーで検出し、ＡＥセンサーのフィル
ターを通した特定の周波数体の成分が一定の値より大き
いか否かを検出することにより、磁気ディスク上の微小
突起の高さを正確に測定できる効果がある。The elastic wave generated by the contact between the glide slider flying above the magnetic disk and the minute projection on the magnetic disk is detected by the AE sensor, and the component of the specific frequency body that has passed through the filter of the AE sensor is constant. By detecting whether or not the value is larger than the value of, there is an effect that the height of the minute protrusion on the magnetic disk can be accurately measured.
【図１】本発明の一実施例のグライドハイト測定装置の
構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram of a glide height measuring device according to an embodiment of the present invention.
【図２】図１に示すグライドスライダー３とバンプディ
スク９とのバンプアバランシェカーブを示す図である。FIG. 2 is a diagram showing a bump avalanche curve between a glide slider 3 and a bump disk 9 shown in FIG.
【図３】従来のグライドハイト測定装置でのセンサー出
力の周波数分布を示す図で、（ａ）〜（ｃ）はそれぞれ
グライドスライダーとバンプディスク間の線速が８ｍ／
ｓ時、６ｍ／ｓ時及び５ｍ／ｓ時の図である。FIG. 3 is a diagram showing a frequency distribution of a sensor output in a conventional glide height measuring device, in which (a) to (c) show a linear velocity between a glide slider and a bump disk of 8 m / m, respectively.
It is a figure at s time, 6 m / s time, and 5 m / s time.
【図４】図１に示す実施例でのセンサー出力の周波数分
布を示す図で、（ａ）〜（ｃ）はそれぞれグライドスラ
イダーとバンプディスク間の線速が８ｍ／ｓ時、６ｍ／
ｓ時及び５ｍ／ｓ時の図である。FIG. 4 is a diagram showing a frequency distribution of sensor output in the embodiment shown in FIG. 1, and FIGS. 4 (a) to 4 (c) are 6 m / s when the linear velocity between the glide slider and the bump disk is 8 m / s.
It is a figure at s time and 5 m / s.
【図５】従来のグライドハイト測定装置の構成図であ
る。FIG. 5 is a configuration diagram of a conventional glide height measuring device.
２ 磁気ディスク ３ グライドスライダー ４ ＡＥセンサー ５ スライダー支持アーム ６ チャージアンプ ７ 接触検知部 ８ バンプ ９ バンプディスク １０ フィルター 2 magnetic disk 3 glide slider 4 AE sensor 5 slider support arm 6 charge amplifier 7 contact detection unit 8 bump 9 bump disk 10 filter
Claims (4)
るスピンドルと、スライダー支持アームに取り付けられ
て前記磁気ディスク上に位置し、前記磁気ディスクの回
転により浮上するグライドスライダーと、前記グライド
スライダーが前記磁気ディスク上の微小突起に接触した
時に発生する弾性波を検出するＡＥセンサーと、このＡ
Ｅセンサーのフィルターを通した出力が一定の値以上で
あるか否かを検出する接触検知部とを含むことを特徴と
するグライドハイト測定装置。1. A spindle on which a magnetic disk is rotatably mounted, a glide slider mounted on a slider support arm and positioned above the magnetic disk, and levitated by the rotation of the magnetic disk, and the glide slider is the magnetic disk. The AE sensor that detects the elastic wave generated when it touches the minute protrusions above
A glide height measuring device, comprising: a contact detection unit that detects whether or not the output of the E sensor through the filter is a certain value or more.
０〜６００Ｈｚの周波数帯の成分を通す請求項１記載の
グライドハイト測定装置。2. The filter is the output of the AE sensor 20.
The glide height measuring device according to claim 1, wherein components in a frequency band of 0 to 600 Hz are passed.
スクの回転によって浮上するグライドスライダーが前記
磁気ディスク上の微小突起と接触して発生する弾性波を
ＡＥセンサーで検出し、前記ＡＥセンサーのフィルター
を通した出力が一定の値以上であれば前記磁気ディスク
の回転速度から決まる前記グライドスライダーのフライ
ハイト以上の高さの微小突起が前記磁気ディスク上にあ
ると判定し、前記ＡＥセンサーの前記フィルターを通し
た出力が前記一定の値未満であれば前記フライハイト以
上の高さの微小突起は前記磁気ディスク上にないと判定
することを特徴とするグライドハイト測定方法。3. An AE sensor detects an elastic wave generated when a glide slider, which is arranged on a magnetic disk and floats by rotation of the magnetic disk, comes into contact with minute protrusions on the magnetic disk, and a filter of the AE sensor is set. If the output through the magnetic disk is a certain value or more, it is determined that there is a minute protrusion having a height higher than the fly height of the glide slider, which is determined by the rotation speed of the magnetic disk, on the magnetic disk, and the microscopic protrusion is passed through the filter of the AE sensor. If the output is less than the predetermined value, it is determined that there is no minute protrusion having a height equal to or higher than the fly height on the magnetic disk.
０〜６００Ｈｚの周波数体の成分を通す請求項３記載の
グライドハイト測定方法。4. The filter is the output of the AE sensor 20.
The glide height measuring method according to claim 3, wherein a component of a frequency body of 0 to 600 Hz is passed.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16255095A JPH0916953A (en) | 1995-06-28 | 1995-06-28 | Method and device for measuring grind height |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16255095A JPH0916953A (en) | 1995-06-28 | 1995-06-28 | Method and device for measuring grind height |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0916953A true JPH0916953A (en) | 1997-01-17 |
Family
ID=15756727
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16255095A Pending JPH0916953A (en) | 1995-06-28 | 1995-06-28 | Method and device for measuring grind height |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0916953A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7903365B2 (en) | 2008-07-22 | 2011-03-08 | Toshiba Storage Device Corporation | Magnetic storage device and contact detection method |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPH02163605A (en) * | 1988-12-19 | 1990-06-22 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Disk medium projection inspecting signal processing circuit |
| JPH0458103A (en) * | 1990-06-27 | 1992-02-25 | Victor Co Of Japan Ltd | Surface roughness measuring method for magnetic disk |
| JPH0573903A (en) * | 1991-09-09 | 1993-03-26 | Hitachi Ltd | Method for evaluating magnetic disk |
| JPH05141949A (en) * | 1991-11-22 | 1993-06-08 | Hitachi Electron Eng Co Ltd | Projection detecting circuit for magnetic disk |
-
1995
- 1995-06-28 JP JP16255095A patent/JPH0916953A/en active Pending
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