JPH09166510A - Internal pressure measuring method and device therefor - Google Patents

Internal pressure measuring method and device therefor

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JPH09166510A
JPH09166510A JP27012896A JP27012896A JPH09166510A JP H09166510 A JPH09166510 A JP H09166510A JP 27012896 A JP27012896 A JP 27012896A JP 27012896 A JP27012896 A JP 27012896A JP H09166510 A JPH09166510 A JP H09166510A
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JP
Japan
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vacuum
internal pressure
pressure
vacuum pad
thin film
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JP27012896A
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Japanese (ja)
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Masakazu Hayashi
正和 林
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To measure internal pressure correctly at a high speed even in a bad surface state of thin film of a closed container by obtaining the internal pressure of the closed container in the basis of the change point of a differential coefficient if a characteristic curve showing the relation between the displacement quantity if the thin film and air pressure. SOLUTION: A vacuum panel 11 (closed container) being a measured object, has a filler 12 inside and is covered with a thin film (sealant). A vacuum pad 14 is evacuated by a vacuum pump 18, and the degree of vacuum is measured by a Pirani gage and outputted as a vacuum signal B. A computer 21 obtains the internal pressure of the vacuum panel 11 from the displacement quantity of the thin film 13 detected by an eddy current displacement gage 16 and air pressure detected by the Pirani gage 19. That is, in the computer 21, a characteristic curve indicating the relation between the displacement quantity and air pressure is computed from the displacement quantity of the thin film 13 and air pressure from the Pirani gage 19. The internal pressure of the vacuum panel 11 is obtained from an air pressure corresponding to the vicinity of a specified change point outside of a prescribed range of the displacement quantity of the thin out of the air pressure corresponding to the change points of a differential coefficient of the characteristic curve.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、少なくとも一部が
薄膜からなる密閉容器の内圧を真空パッドを使用して測
定する内圧測定方法及びその装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an internal pressure measuring method and apparatus for measuring the internal pressure of a closed container, at least a part of which is a thin film, by using a vacuum pad.

【０００２】[0002]

【従来の技術】冷蔵庫、保存庫、缶ジュースなどの自動
販売機、家庭風呂桶など冷却・加温を行ない、且つその
温度を一定に維持しようとする機器においては、その断
熱性能が省エネルギーの観点から重要になってきてい
る。2. Description of the Related Art In refrigerators, storages, vending machines for canned juice, home bath tubs, and other equipment that is intended to cool and heat and to keep the temperature constant, the heat insulation performance is energy saving. Has become important since.

【０００３】また、近年、ウレタンフォーム、粉体状の
シリカ・ガラスファイバーなどから構成されたコア材を
用いて、その周りをアルミ箔・ステンレス箔やその他の
金属フィルム、または、それらのラミネート・フィルム
で覆って作った断熱材が注目されている このタイプの断熱材は、内部のコア材を真空にすること
によって、現在一般的なフロン発砲によるウレタンによ
り、一段優れた断熱性能を達成することができるからで
ある。ここで、断熱性能すなわち、熱伝導率はコア材の
真空度に依存するため、断熱性能を長期間維持すること
は、内部真空度を維持することに帰着する。したがっ
て、断熱材の製造上も、品質（性能）管理上も、内部真
空度の正確な測定が重要である。In recent years, a core material composed of urethane foam, powdery silica / glass fiber, etc. has been used around which aluminum foil / stainless foil or other metal film or a laminated film thereof has been used. This type of heat insulation material, which has been attracting attention, is able to achieve a further excellent heat insulation performance by making the inner core material a vacuum by using urethane that is currently common in CFC firing. Because you can. Here, since the heat insulating performance, that is, the thermal conductivity depends on the vacuum degree of the core material, maintaining the heat insulating performance for a long time results in maintaining the internal vacuum degree. Therefore, it is important to accurately measure the internal vacuum degree both in manufacturing the heat insulating material and in controlling the quality (performance).

【０００４】従来より、測定対象である真空パック式断
熱材（以下「真空パネル」という。）の内圧を測定する
方法としては、特開昭６１−１０７１２６号公報に開示
されているように、真空パネル全体を真空チャンバ内に
設置し、一度に全体を真空引きすることにより真空パネ
ルの真空度を測定するものがある。Conventionally, as a method of measuring the internal pressure of a vacuum-pack type heat insulating material (hereinafter referred to as "vacuum panel") to be measured, as disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 61-107126, there is a vacuum method. There is a method in which the entire panel is installed in a vacuum chamber and the entire panel is evacuated at one time to measure the vacuum degree of the vacuum panel.

【０００５】また、特開昭６２−２８６３２号公報に開
示されているように、真空パッドを用いて内圧を測定す
る方法もある。ここで、この真空パッドを用いた内圧測
定方法について、図１５に示す真空パッドを使用して内
圧を測定する内圧測定装置を参照して説明する。There is also a method of measuring the internal pressure by using a vacuum pad, as disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 62-28632. Here, an internal pressure measuring method using this vacuum pad will be described with reference to an internal pressure measuring device for measuring the internal pressure using the vacuum pad shown in FIG.

【０００６】測定対象である密閉容器１は、一部が薄膜
によって構成されており、この密封容器１の内側には、
薄膜２に密着するように多孔性部材４が封入されてい
る。真空パネルの内圧測定は、まず、密封容器１の薄膜
２外面に真空パッド３に設けられた測定室の開口部を密
着させる。A part of the closed container 1 to be measured is composed of a thin film, and the inside of this closed container 1 is
A porous member 4 is enclosed so as to be in close contact with the thin film 2. In measuring the internal pressure of the vacuum panel, first, the opening of the measurement chamber provided in the vacuum pad 3 is brought into close contact with the outer surface of the thin film 2 of the sealed container 1.

【０００７】しかる後、導管５を介して接続されている
加減圧装置６を動作させて測定室内を減圧し、薄膜２を
測定室の開口端に吸着支持させる。更に、加減圧装置６
により、真空パッド３の測定室内の気圧を漸次減圧し、
この測定室内の圧力Ｐが密封容器１の内圧Ｐ0 を越える
と、図１１中波線で示すように、測定室開口部に対応す
る位置における薄膜２が投光器７側に膨らみ始める。Thereafter, the pressurizing / depressurizing device 6 connected via the conduit 5 is operated to depressurize the measurement chamber, and the thin film 2 is adsorbed and supported on the open end of the measurement chamber. Further, the pressurizing / depressurizing device 6
Thereby gradually reducing the atmospheric pressure in the measurement chamber of the vacuum pad 3,
When the pressure P in the measurement chamber exceeds the internal pressure P 0 of the sealed container 1, the thin film 2 at the position corresponding to the opening of the measurement chamber starts to bulge toward the projector 7 side, as indicated by the broken line in FIG.

【０００８】この薄膜２が膨らむことによる変形は、投
光器７及び受光器（図示せず）からなる検出装置で検出
される。薄膜２の投光器７側への変形は、丁度、真空パ
ッド３の測定室内の圧力Ｐが密封容器１の内圧Ｐ0 とバ
ランスした時より生ずることから、この変形開始時に測
定室の圧力を圧力計８で読みとることにより密封容器１
の内圧を測定していた。The deformation caused by the bulging of the thin film 2 is detected by a detection device including a light projector 7 and a light receiver (not shown). The deformation of the thin film 2 toward the projector 7 side occurs just when the pressure P of the vacuum pad 3 inside the measurement chamber balances with the internal pressure P 0 of the sealed container 1. Sealed container 1 by reading in 8
Was measuring the internal pressure of.

【０００９】また、他の例として、歪ゲージを薄膜２の
中央部に貼り付け、薄膜２の変形にともなって生ずる歪
信号の変化を歪検出回路で検出することにより、薄膜２
の変形を検出する方法も採用されていた。As another example, by attaching a strain gauge to the central portion of the thin film 2 and detecting a change in the strain signal caused by the deformation of the thin film 2 with a strain detection circuit, the thin film 2
The method of detecting the deformation of was also adopted.

【００１０】[0010]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、測定対
象である真空パネル全体を真空チャンバ内に設置し、一
度に全体を真空引きすることにより真空パネルの真空度
を測定する装置では、以下のような問題がある。However, an apparatus for measuring the degree of vacuum of a vacuum panel by installing the entire vacuum panel to be measured in a vacuum chamber and evacuating the entire vacuum panel at once is as follows. There's a problem.

【００１１】まず、測定の対象となる例えば冷蔵庫に用
いられるような真空パネル全体の大きさは、約６００mm
×６００mm×２５mm程度の大型のものであり、このよう
な大きさの測定対象物を、上述の方法にて測定するに
は、真空チャンバ自体が大きくなり、その結果、測定装
置の設置コストが上昇してしまう。First, the size of the entire vacuum panel to be measured, such as that used in a refrigerator, is about 600 mm.
It is a large size of about 600 mm x 25 mm, and in order to measure an object of such size by the above method, the vacuum chamber itself becomes large, resulting in an increase in the installation cost of the measuring device. Resulting in.

【００１２】また、大容量の排気ポンプを用いて、大き
な真空チャンバの室内を１０-2［Toor］以下の真空度ま
で真空引きする必要があるので、真空引きに時間がかか
る。さらに、ここで測定の対象としている真空パネルは
大型で、且つ真空シール（外壁の薄膜をいう。）の内部
はウレタン等の特殊な物質等で充填されているため、そ
の内圧は真空パネルの内面で場所によるばらつきがあ
る。Further, since it is necessary to evacuate the interior of the large vacuum chamber to a vacuum degree of 10 -2 [Toor] or less using a large capacity exhaust pump, it takes time to evacuate. Furthermore, since the vacuum panel to be measured here is large and the inside of the vacuum seal (a thin film on the outer wall) is filled with a special substance such as urethane, the internal pressure of the vacuum panel is the inner surface of the vacuum panel. There are variations depending on the location.

【００１３】従って、全体を真空チャンバ内に設置し
て、真空パネルの内圧を測定する方法では、場所による
内圧の偏りを測定することができず、真空パネル全体の
平均値のみしか測定することができない。Therefore, in the method of measuring the internal pressure of the vacuum panel by installing the whole inside the vacuum chamber, the deviation of the internal pressure depending on the location cannot be measured, and only the average value of the entire vacuum panel can be measured. Can not.

【００１４】一方、真空パッドを使用して内圧を測定す
る方法では、密閉容器１を封止する薄膜２の変位を、主
にレーザなどの光ビーム或いは歪ゲージを用いて測定し
ている。On the other hand, in the method of measuring the internal pressure using a vacuum pad, the displacement of the thin film 2 for sealing the closed container 1 is measured mainly by using a light beam such as a laser or a strain gauge.

【００１５】しかしながら、薄膜２は、金属薄膜とポリ
スチレンフィルムなどの高分子フィルムとを多層に積層
した厚さ数百μｍ程度の柔らかい多層フィルムで構成さ
れているため、密封容器１の内部に充填した物質の特性
（表面状態）によって、表面形状の凹凸が激しい。However, since the thin film 2 is composed of a soft multi-layered film having a thickness of several hundreds of μm, which is a multi-layered structure of a metal thin film and a polymer film such as a polystyrene film, the thin film 2 is filled in the sealed container 1. Due to the characteristics of the material (surface condition), the unevenness of the surface shape is severe.

【００１６】従って、投光器７から光ビームを薄膜２に
入射させても、薄膜２の表面形状によって、光ビームが
さまざまな方向に反射してしまうので正確な測定をする
ことができない。Therefore, even if the light beam is made incident on the thin film 2 from the light projector 7, the light beam is reflected in various directions depending on the surface shape of the thin film 2, so that accurate measurement cannot be performed.

【００１７】また、薄膜２の表面は柔らかく、歪ゲージ
等を貼り付けると薄膜２の表面を傷つけてしまうという
問題があった。さらに、シール材である薄膜２は、極め
て薄い膜であるため、真空パッド３と薄膜２との接触部
分が、単純な金属面では、隙間からリークを生じ、目的
とする真空度１０-2［Torr] 以下に至らず、内圧の測定
をすることができないという問題があった。Further, the surface of the thin film 2 is soft, and there is a problem that the surface of the thin film 2 is damaged when a strain gauge or the like is attached. Further, since the thin film 2 as the sealing material is an extremely thin film, the contact portion between the vacuum pad 3 and the thin film 2 causes a leak from a gap on a simple metal surface, and a desired vacuum degree of 10 -2 [ There was a problem that the internal pressure could not be measured because it did not reach the value below Torr.

【００１８】ところで、薄膜２は、延性の強いフィルム
であることから、真空パッド３との接触面での挙動が複
雑であり、薄膜２が真空パッド３側に膨らんでくるプロ
セスも複雑である。Since the thin film 2 is a highly ductile film, the behavior on the contact surface with the vacuum pad 3 is complicated, and the process of expanding the thin film 2 toward the vacuum pad 3 is also complicated.

【００１９】しかし、従来の真空パッド３を用いた内圧
測定装置では、薄膜２が変形を始める起点での圧力計８
の値が、内圧の測定値となるため、薄膜２が変形する起
点の精度が内圧測定精度に影響を与えてしまうという問
題があった。However, in the conventional internal pressure measuring device using the vacuum pad 3, the pressure gauge 8 at the starting point where the thin film 2 begins to deform.
Since the value of is the measured value of the internal pressure, there is a problem that the accuracy of the starting point of deformation of the thin film 2 affects the internal pressure measurement accuracy.

【００２０】本発明は、上記実情に鑑みてなされたもの
であり、第１の目的は、少なくとも一部が薄膜からなる
密閉容器の薄膜の表面状態が悪くても、その表面を傷つ
けることなく正確に、且つ高速に内圧を測定することが
できる内圧測定方法及びその装置を提供することであ
る。The present invention has been made in view of the above circumstances, and a first object of the present invention is to accurately measure a surface of a closed container, at least a part of which is a thin film, without damaging the surface even if the surface condition is poor. Another object of the present invention is to provide an internal pressure measuring method and apparatus capable of measuring internal pressure at high speed.

【００２１】また、本発明の第２の目的は、設置コスト
が安価であり、且つ密閉容器の内圧を局所的に測定する
ことのできる内圧測定方法及びその装置を提供すること
である。A second object of the present invention is to provide an internal pressure measuring method and an apparatus therefor which can be installed at a low cost and which can locally measure the internal pressure of a closed container.

【００２２】[0022]

【課題を解決するための手段】従って、まず、上記目的
を達成するために第１の発明は、少なくとも一部が薄膜
からなる密閉容器の前記薄膜に対し、真空パッドに設け
られた測定室の開口部を密着させ、この状態で、前記測
定室内の気圧を減圧又は加圧することにより生ずる前記
薄膜の変位量及び前記測定室内の気圧を検出することに
より前記密閉容器の内圧を測定する内圧測定方法におい
て、前記薄膜の変位量及び前記気圧から前記変位量と気
圧との関係を示す特性曲線を求め、前記特性曲線の微分
係数の変化点に対応する前記気圧のうち、前記薄膜の変
位量が所定の範囲外の領域に存する前記変化点の近傍に
対応する前記気圧から前記密閉容器の内圧を求めること
を特徴とする内圧測定方法である。Therefore, first, in order to achieve the above object, the first invention is to provide a measuring chamber provided in a vacuum pad with respect to the thin film of a closed container at least a part of which is a thin film. An internal pressure measuring method for measuring the internal pressure of the closed container by detecting the displacement amount of the thin film and the atmospheric pressure in the measurement chamber caused by decompressing or pressurizing the atmospheric pressure in the measurement chamber in this state. In, a characteristic curve showing the relationship between the displacement amount and the atmospheric pressure is obtained from the displacement amount and the atmospheric pressure of the thin film, and the displacement amount of the thin film is predetermined among the atmospheric pressures corresponding to the change points of the differential coefficient of the characteristic curve. The internal pressure measuring method is characterized in that the internal pressure of the closed container is obtained from the atmospheric pressure corresponding to the vicinity of the change point existing in a region outside the range.

【００２３】また、第２の発明は、第１の発明の内圧測
定方法において、前記密閉容器の内圧を求める方法は、
前記特性曲線における、前記測定室内の圧力が前記密閉
容器の内圧より高いことを示す第１の領域と、前記測定
室内の圧力が前記密閉容器の内圧より低いことを示す第
２の領域とに対して曲線或いは直線をあてはめ、これら
の交点或いはその近傍に対応する前記気圧から前記密閉
容器の内圧を求めることを特徴とする内圧測定方法であ
る。A second invention is the internal pressure measuring method according to the first invention, wherein the method for determining the internal pressure of the closed container is
In the characteristic curve, for a first region showing that the pressure inside the measurement chamber is higher than the internal pressure of the closed container, and for a second region showing that the pressure inside the measurement chamber is lower than the internal pressure of the closed container. A curve or a straight line is applied, and the internal pressure of the closed container is determined from the atmospheric pressure corresponding to the intersection or the vicinity thereof, which is an internal pressure measuring method.

【００２４】さらに、第３の発明は、第２の発明の内圧
測定方法において、前記特性曲線の各領域に対して曲線
或いは直線をあてはめる方法は、最小自乗法或いは前記
特性曲線の近似曲線を求める方法により行なうことを特
徴とする内圧測定方法である。Further, a third invention is the internal pressure measuring method according to the second invention, wherein a curve or a straight line is fitted to each region of the characteristic curve, a least square method or an approximate curve of the characteristic curve is obtained. It is an internal pressure measuring method characterized by being performed by a method.

【００２５】さらに、第４の発明は、少なくとも一部が
薄膜からなる密閉容器の前記薄膜に対し、一部が開口し
ている測定室の開口部を密着させて、前記薄膜の変位量
を検出する真空パッドと、前記真空パッドの測定室内の
気圧を加減圧する加減圧装置と、前記測定室内の気圧を
検出する圧力計と、前記真空パッドにて検出された変位
量及び前記圧力計にて検出された気圧から前記変位量と
気圧との関係を示す特性曲線を算出する特性曲線算出手
段と、前記特性曲線の微分係数の変化点に対応する前記
気圧のうち、前記薄膜の変位量が所定の範囲外の領域に
有する前記変化点の近傍に対応する前記気圧から前記密
閉容器の内圧を求める内圧演算手段とを具備したことを
特徴とする内圧測定装置である。Further, in a fourth aspect of the present invention, the amount of displacement of the thin film is detected by bringing the opening of the measurement chamber, which is partially open, into close contact with the thin film of the closed container at least a part of which is the thin film. A vacuum pad, a pressurizing / depressurizing device that pressurizes / depressurizes the atmospheric pressure in the measurement chamber of the vacuum pad, a pressure gauge that detects the atmospheric pressure in the measurement chamber, and a displacement amount and the pressure gauge detected by the vacuum pad. From the detected atmospheric pressure, a characteristic curve calculation means for calculating a characteristic curve showing the relationship between the displacement amount and the atmospheric pressure, and the atmospheric pressure corresponding to the change point of the differential coefficient of the characteristic curve, the displacement amount of the thin film is predetermined. And an internal pressure calculating means for calculating the internal pressure of the closed container from the atmospheric pressure corresponding to the vicinity of the change point in a region outside the range.

【００２６】さらに、第５の発明は、第４の発明の内圧
測定装置において、前記内圧演算手段は、前記特性曲線
算出手段より算出された特性曲線における、前記測定室
内の圧力が前記密閉容器の内圧より高いことを示す第１
の領域と、前記測定室内の圧力が前記密閉容器の内圧よ
り低いことを示す第２の領域とに対してそれぞれ曲線或
いは直線をあてはめる特性曲線近似手段と、前記特性曲
線近似手段によってあてはめられた各直線或いは曲線の
交点から前記密閉容器の内圧を求める交点演算手段とか
らなる内圧測定装置である。Further, a fifth invention is the internal pressure measuring device of the fourth invention, wherein the internal pressure calculating means is such that the pressure in the measuring chamber in the characteristic curve calculated by the characteristic curve calculating means is equal to that of the closed container. First showing higher than internal pressure
And a second curve indicating that the pressure in the measurement chamber is lower than the inner pressure of the closed container, a characteristic curve approximating means for fitting a curve or a straight line, and a characteristic curve approximating means fitted by the characteristic curve approximating means. The internal pressure measuring device comprises an intersection point calculating means for obtaining the internal pressure of the closed container from the intersection point of a straight line or a curved line.

【００２７】さらに、第６の発明は、第５の発明の内圧
測定装置において、前記特性曲線の各領域に対して直線
或いは曲線を当てはめる方法は、最小自乗法或いは前記
特性曲線の近似曲線を求める方法により行なう内圧測定
装置である。Further, in a sixth aspect of the present invention, in the internal pressure measuring device of the fifth aspect, the method of applying a straight line or a curve to each region of the characteristic curve is a least square method or an approximate curve of the characteristic curve. It is an internal pressure measuring device which is performed by a method.

【００２８】さらに、第７の発明は、第４の発明の内圧
測定装置において、前記真空パッドの前記薄膜に接触す
る部分に、弾性体をパッキンとして前記開口部に対して
突出するよう取り付けた内圧測定装置である。Furthermore, a seventh invention is the internal pressure measuring device according to the fourth invention, wherein an internal pressure is attached to a portion of the vacuum pad which comes into contact with the thin film so as to protrude from the opening portion by using an elastic body as a packing. It is a measuring device.

【００２９】さらに、第８の発明は、第７の発明の内圧
測定装置において、前記弾性体の突出量は、前記測定室
を真空にした状態で前記弾性体にかかる荷重及び前記弾
性体が前記薄膜に密着する面積に基づいて最適化されて
いる内圧測定装置である。Further, an eighth invention is the internal pressure measuring device according to the seventh invention, wherein the protruding amount of the elastic body is such that the load applied to the elastic body and the elastic body are the same when the measuring chamber is in a vacuum state. The internal pressure measuring device is optimized based on the area of close contact with the thin film.

【００３０】さらに、第９の発明は、第４の発明の内圧
測定装置において、前記真空パッドは、渦電流に基づい
て検出を行なう変位検出器を備えた内圧測定装置であ
る。さらに、第１０の発明は、少なくとも一部が薄膜か
らなる密閉容器の前記薄膜に対し、一部が開口している
測定室の開口部を密着させて、前記薄膜の変位量を検出
する第１の真空パッドと、前記第１の真空パッドに対し
て対向配置され、前記密閉容器の前記薄膜に対し、一部
が開口している測定室の開口部を密着させて、前記薄膜
の変位量を検出する第２の真空パッドと、前記第１の真
空パッド及び前記第２の真空パッドの測定室内の気圧を
加減圧する加減圧手段と、前記加減圧手段により加減圧
されたのちの前記第１の真空パッド及び前記第２の真空
パッドの測定室内の気圧を検出する圧力検出手段と、前
記第１の真空パッド及び前記第２の真空パッドにて検出
された各変位量及び前記圧力検出手段にて検出された各
真空パッドの測定室内の気圧から前記密閉容器の変位量
と気圧との関係を示す特性曲線を算出する特性曲線算出
手段と、前記特性曲線の微分係数の変化点に対応する前
記気圧のうち、前記薄膜の変位量が所定の範囲外の領域
に存する前記変化点の近傍に対応する前記気圧から前記
密閉容器の内圧を求める内圧演算手段とを具備したこと
を特徴とする内圧測定装置である。Further, a ninth invention is the internal pressure measuring apparatus according to the fourth invention, wherein the vacuum pad is provided with a displacement detector for detecting based on an eddy current. Further, a tenth aspect of the invention is to detect a displacement amount of the thin film by bringing an opening of a measurement chamber, which is partially open, into close contact with the thin film of the closed container at least a part of which is a thin film. The vacuum pad and the first vacuum pad are arranged so as to face each other, and the opening of the measurement chamber, which is partially open, is brought into close contact with the thin film of the closed container to measure the displacement amount of the thin film. A second vacuum pad for detection, a pressure increasing / decreasing means for increasing / decreasing the atmospheric pressure in the measurement chamber of the first vacuum pad and the second vacuum pad, and the first pressure after being increased / decreased by the pressure increasing / decreasing means. The pressure detection means for detecting the atmospheric pressure in the measurement chamber of the vacuum pad and the second vacuum pad, the displacement amounts detected by the first vacuum pad and the second vacuum pad, and the pressure detection means. Measurement chamber of each vacuum pad detected by Of the atmospheric pressure corresponding to the change point of the differential coefficient of the characteristic curve, a characteristic curve calculation means for calculating a characteristic curve showing the relationship between the displacement of the closed container and the atmospheric pressure from the atmospheric pressure, and the displacement amount of the thin film is predetermined. And an internal pressure calculating means for calculating the internal pressure of the closed container from the atmospheric pressure corresponding to the vicinity of the change point existing in a region outside the range.

【００３１】さらに、第１１の発明は、少なくとも一部
が薄膜からなる密閉容器の前記薄膜に対し、一部が開口
している測定室の開口部及び前記測定室の外周に設けら
れ一部が開口している真空室の開口部を密着させて、前
記薄膜の変位量を検出する第１の真空パッドと、前記第
１の真空パッドに対して対向配置され、前記密閉容器の
前記薄膜に対し、一部が開口している測定室の開口部及
び前記測定室の外周に設けられ一部が開口している真空
室の開口部を密着させて、前記薄膜の変位量を検出する
第２の真空パッドと、前記第１の真空パッド及び前記第
２の真空パッドの測定室及び真空室内の気圧を加減圧す
る加減圧手段と、前記加減圧手段により加減圧された前
記第１の真空パッドの測定室及び前記第２の真空パッド
の測定室内の気圧を検出する圧力検出手段と、前記第１
の真空パッドにて検出された変位量及び前記第２の真空
パッドにて検出された変位量のうち少なくとも一方の変
位量又は各変位量の平均及び前記圧力検出手段にて検出
された前記第１の真空パッド及び前記第２の真空パッド
の測定室内の気圧から前記密閉容器の変位量と気圧との
関係を示す特性曲線を算出する特性曲線算出手段と、前
記特性曲線の微分係数の変化点に対応する前記気圧のう
ち、前記薄膜の変位量が所定の範囲外の領域に存する前
記変化点の近傍に対応する前記気圧から前記密閉容器の
内圧を求める内圧演算手段とを具備したことを特徴とす
る内圧測定装置である。Further, in the eleventh invention, with respect to the thin film of the closed container at least a part of which is a thin film, a part of the thin film is provided at an opening of the measurement chamber and an outer periphery of the measurement chamber. A first vacuum pad for detecting the amount of displacement of the thin film is brought into close contact with the opening of the open vacuum chamber, and the first vacuum pad is arranged to face the first vacuum pad. A second opening for detecting the displacement amount of the thin film by closely contacting the opening of the measurement chamber that is partially open and the opening of the vacuum chamber that is provided on the outer periphery of the measurement chamber and partially open A vacuum pad; a pressure increasing / decreasing means for increasing / decreasing the atmospheric pressure in the measurement chamber and the vacuum chamber of the first vacuum pad and the second vacuum pad; and a first vacuum pad increased / decreased by the pressure increasing / decreasing means. Air pressure in the measurement chamber and the measurement chamber of the second vacuum pad A pressure detecting means for detecting said first
Of at least one of the displacement amount detected by the vacuum pad and the displacement amount detected by the second vacuum pad, or the average of the displacement amounts, and the first amount detected by the pressure detecting means. Characteristic curve calculating means for calculating a characteristic curve showing the relationship between the displacement amount of the closed container and the atmospheric pressure from the atmospheric pressures in the measurement chambers of the vacuum pad and the second vacuum pad, and the change point of the differential coefficient of the characteristic curve. Of the corresponding atmospheric pressure, the displacement amount of the thin film comprises an internal pressure calculating means for determining the internal pressure of the closed container from the atmospheric pressure corresponding to the vicinity of the change point existing in a region outside a predetermined range. It is an internal pressure measuring device.

【００３２】さらに、第１２の発明は、第１０又は第１
１の発明の内圧測定装置において、前記内圧演算手段
は、前記特性曲線算出手段より算出された特性曲線にお
ける、前記測定室内の圧力が前記密閉容器の内圧より高
いことを示す第１の領域と、前記測定室内の圧力が前記
密閉容器の内圧より低いことを示す第２の領域とに対し
てそれぞれ曲線或いは直線をあてはめる特性曲線近似手
段と、前記特性曲線近似手段によってあてはめられた各
直線或いは曲線の交点から前記密閉容器の内圧を求める
交点演算手段とからなる内圧測定装置である。Further, the twelfth invention is the tenth or first invention.
In the internal pressure measuring device according to the first aspect of the invention, the internal pressure calculating means has a first region in the characteristic curve calculated by the characteristic curve calculating means, which indicates that the pressure in the measurement chamber is higher than the internal pressure of the closed container, A characteristic curve approximating means for fitting a curve or a straight line to the second region indicating that the pressure in the measurement chamber is lower than the internal pressure of the closed container, and a straight line or a curve fitted by the characteristic curve approximating means. An internal pressure measuring device comprising an intersection calculating means for obtaining the internal pressure of the closed container from the intersection.

【００３３】さらに、第１３の発明は、第１２の発明の
内圧測定装置において、前記特性曲線の各領域に対して
直線或いは曲線を当てはめる方法は、最小自乗法或いは
前記特性曲線の近似曲線を求める方法により行なう内圧
測定装置である。Further, a thirteenth invention is the internal pressure measuring apparatus according to the twelfth invention, in which a straight line or a curve is applied to each region of the characteristic curve, a least square method or an approximate curve of the characteristic curve is obtained. It is an internal pressure measuring device which is performed by a method.

【００３４】さらに、第１４の発明は、第１０の発明の
内圧測定装置において、前記第１の真空パッド及び前記
第２の真空パッドの前記薄膜に接触する部分に、弾性体
をパッキンとして前記開口部に対して突出するよう取り
付けた内圧測定装置である。Further, a fourteenth invention is the internal pressure measuring device according to the tenth invention, wherein the opening is formed by using an elastic body as a packing at a portion of the first vacuum pad and the second vacuum pad which is in contact with the thin film. It is an internal pressure measuring device attached so as to project to a portion.

【００３５】さらに、第１５の発明は、第１１の発明の
内圧測定装置において、前記第１の真空パッド及び前記
第２の真空パッドの前記薄膜に接触する部分に、弾性体
をパッキンとして前記開口部に対して突出するよう取り
付けた内圧測定装置である。Further, a fifteenth invention is the internal pressure measuring device according to the eleventh invention, wherein the opening is formed by using an elastic body as a packing at a portion of the first vacuum pad and the second vacuum pad which is in contact with the thin film. It is an internal pressure measuring device attached so as to project to a portion.

【００３６】さらに、第１６の発明は、第１４又は第１
５の発明の内圧測定装置において、前記弾性体の突出量
は、前記測定室を真空にした状態で前記弾性体にかかる
荷重及び前記弾性体が前記薄膜に密着する面積に基づい
て最適化されている内圧測定装置である。Furthermore, the 16th invention is the 14th or 1st invention.
In the internal pressure measuring device according to the invention of 5, the amount of protrusion of the elastic body is optimized based on the load applied to the elastic body and the area where the elastic body adheres to the thin film in a state where the measurement chamber is evacuated. It is an internal pressure measuring device.

【００３７】さらに、第１７の発明は、第１０又は第１
１の発明の内圧測定装置において、前記第１の真空パッ
ド及び前記第２の真空パッドは、渦電流に基づいて検出
を行なう変位検出器を備えている内圧測定装置である。Further, the seventeenth invention is the tenth or first invention.
In the internal pressure measuring device according to the first aspect of the invention, the first vacuum pad and the second vacuum pad are internal pressure measuring devices including a displacement detector that performs detection based on an eddy current.

【００３８】さらに、第１８の発明は、少なくとも一部
が薄膜からなる密閉容器の前記薄膜に対し、一部が開口
している測定室の開口部及び前記測定室の外周に設けら
れ一部が開口している真空室の開口部を密着させて、前
記薄膜の変位量を検出する第１の真空パッドと、前記第
１の真空パッドに対して対向配置され、前記密閉容器の
前記薄膜に対し、一部が開口している測定室の開口部及
び前記測定室の外周に設けられ一部が開口している真空
室の開口部を密着させて、前記薄膜の変位量を検出する
第２の真空パッドと、前記第１の真空パッド及び前記第
２の真空パッドの測定室及び真空室内の気圧を加減圧す
る加減圧手段と、前記加減圧手段により加減圧された前
記第１の真空パッドの測定室及び前記第２の真空パッド
の測定室内の気圧を検出する圧力検出手段と、前記第１
の真空パッドにて検出された変位量及び前記第２の真空
パッドにて検出された変位量のうち少なくとも一方の変
位量及び前記圧力検出手段にて検出された前記第１の真
空パッド及び前記第２の真空パッドの測定室内の気圧か
ら前記密閉容器の変位量と気圧との関係を示す特性曲線
を算出する特性曲線算出手段と、前記特性曲線の微分係
数の変化点に対応する前記気圧のうち、前記薄膜の変位
量が所定範囲外の領域に存する前記変化点の近傍に対応
する前記気圧から前記密閉容器の内圧を求める内圧演算
手段とを具備した内圧測定装置の内圧測定方法におい
て、前記加減圧手段によって前記第１の真空パッド及び
前記第２の真空パッドの真空室内の気圧を減圧し、前記
加減圧手段によって前記第１の真空パッド及び前記第２
の真空パッドの測定室内の気圧を前記第１の真空パッド
及び前記第２の真空パッドの真空室内の気圧よりも低い
真空度に減圧し、前記特性曲線算出手段により前記第１
の真空パッドにて検出された変位量及び前記第２の真空
パッドにて検出された変位量のうち少なくとも一方の変
位量又は各変位量の平均及び前記圧力検出手段にて検出
された前記第１の真空パッド及び前記第２の真空パッド
の測定室内の気圧から前記密閉容器の変位量と気圧との
関係を示す特性曲線を算出し、前記内圧演算手段により
前記特性曲線の微分係数の変化点に対応する前記気圧の
うち、前記薄膜の変位量が所定の範囲外の領域に存する
前記変化点の近傍に対応する前記気圧から前記密閉容器
の内圧を求めることを特徴とする内圧測定方法である。Further, in the eighteenth invention, with respect to the thin film of the closed container at least a part of which is a thin film, a part of the thin film is provided in the opening of the measurement chamber and the outer periphery of the measurement chamber. A first vacuum pad for detecting the amount of displacement of the thin film is brought into close contact with the opening of the open vacuum chamber, and the first vacuum pad is arranged to face the first vacuum pad. A second opening for detecting the displacement amount of the thin film by closely contacting the opening of the measurement chamber that is partially open and the opening of the vacuum chamber that is provided on the outer periphery of the measurement chamber and partially open A vacuum pad; a pressure increasing / decreasing means for increasing / decreasing the atmospheric pressure in the measurement chamber and the vacuum chamber of the first vacuum pad and the second vacuum pad; and a first vacuum pad increased / decreased by the pressure increasing / decreasing means. Air pressure in the measurement chamber and the measurement chamber of the second vacuum pad A pressure detecting means for detecting said first
At least one of the displacement amount detected by the vacuum pad and the displacement amount detected by the second vacuum pad, and the first vacuum pad and the first vacuum pad detected by the pressure detecting means. Of the atmospheric pressure corresponding to the change point of the differential coefficient of the characteristic curve, the characteristic curve calculating means for calculating the characteristic curve showing the relationship between the displacement amount of the closed container and the atmospheric pressure from the atmospheric pressure in the measurement chamber of the second vacuum pad. In the internal pressure measuring method of the internal pressure measuring device, comprising: an internal pressure calculating means for determining an internal pressure of the closed container from the atmospheric pressure corresponding to the vicinity of the change point where the displacement amount of the thin film is outside a predetermined range. The pressure reducing means reduces the atmospheric pressure in the vacuum chambers of the first vacuum pad and the second vacuum pad, and the pressurizing and depressurizing means reduces the first vacuum pad and the second vacuum pad.
The atmospheric pressure in the measurement chamber of the vacuum pad is reduced to a vacuum degree lower than the atmospheric pressure in the vacuum chamber of the first vacuum pad and the second vacuum pad, and the characteristic curve calculating means is used to perform the first
Of at least one of the displacement amount detected by the vacuum pad and the displacement amount detected by the second vacuum pad, or the average of the displacement amounts, and the first amount detected by the pressure detecting means. A characteristic curve showing the relationship between the displacement amount of the closed container and the atmospheric pressure is calculated from the atmospheric pressures in the measurement chambers of the vacuum pad and the second vacuum pad, and the internal pressure calculating means determines the change point of the differential coefficient of the characteristic curve. Among the corresponding atmospheric pressures, the internal pressure measuring method is characterized in that the internal pressure of the closed container is obtained from the atmospheric pressure corresponding to the vicinity of the change point in the region where the displacement amount of the thin film is outside a predetermined range.

【００３９】次に、上述の各発明の作用について説明す
る。第１の発明は、薄膜の変位量及び測定室内の気圧か
ら変位量と気圧の関係を示す特性曲線を求め、特性曲線
の微分係数の変化点に対応する気圧のうち、薄膜の変位
量が所定の範囲外に存する変化点の近傍に対応する気圧
から密閉容器の内圧を求める。Next, the operation of each of the above-mentioned inventions will be described. According to a first aspect of the present invention, a characteristic curve showing the relationship between the displacement amount and the atmospheric pressure is obtained from the displacement amount of the thin film and the atmospheric pressure in the measurement chamber, and the displacement amount of the thin film is predetermined among the atmospheric pressures corresponding to the change points of the differential coefficient of the characteristic curve. The internal pressure of the closed container is calculated from the atmospheric pressure corresponding to the change point outside the range.

【００４０】第２の発明又は第３の発明は、薄膜の変位
量及び測定室内の気圧を測定し、この測定された変位量
及び気圧から特性曲線を求める。そして、特性曲線にお
ける、測定室内の圧力が密閉容器の内圧より高いことを
示す第１の領域と、測定室内の圧力が密閉容器の内圧よ
り低いことを示す第２の領域とに対してそれぞれ曲線或
いは直線をあてはめ、これらの交点或いはその近傍に対
応する気圧から密閉容器の内圧を求めるので、測定対象
の内圧を正確に求めることができる。In the second invention or the third invention, the displacement amount of the thin film and the atmospheric pressure in the measuring chamber are measured, and the characteristic curve is obtained from the measured displacement amount and atmospheric pressure. Then, in the characteristic curve, a first region indicating that the pressure inside the measurement chamber is higher than the inner pressure of the closed container and a second region indicating that the pressure inside the measurement chamber is lower than the inner pressure of the closed container, respectively. Alternatively, a straight line is fitted, and the internal pressure of the closed container is determined from the atmospheric pressure corresponding to these intersections or the vicinity thereof, so that the internal pressure of the measurement target can be accurately determined.

【００４１】第４の発明は、特性曲線算出手段にて真空
パッドにて検出された変位量及び前記圧力計にて検出さ
れた気圧から変位量と気圧の関係を示す特性曲線を算出
し、内圧演算手段にて、特性曲線の微分係数の変化点に
対応する気圧のうち、薄膜の変位量が所定の範囲外の領
域に有する変化点の近傍に対応する気圧から密閉容器の
内圧を求める。According to a fourth aspect of the invention, a characteristic curve showing the relationship between the displacement amount and the atmospheric pressure is calculated from the displacement amount detected by the vacuum pad by the characteristic curve calculating means and the atmospheric pressure detected by the pressure gauge, and the internal pressure is calculated. The arithmetic means obtains the internal pressure of the closed container from the atmospheric pressure corresponding to the vicinity of the change point in the region where the displacement amount of the thin film is outside the predetermined range among the atmospheric pressure corresponding to the change point of the differential coefficient of the characteristic curve.

【００４２】第５の発明又は第６の発明は、第４の発明
の内圧測定装置において、特性曲線近似手段により算出
された特性曲線における、前記測定室内の圧力が前記密
閉容器の内圧より高いことを示す第１の領域と、前記測
定室内の圧力が前記密閉容器の内圧より低いことを示す
第２の領域とに対してそれぞれ曲線或いは直線をあては
め、交点演算手段により特性曲線近似手段によってあて
はめられた各直線或いは曲線の交点から密閉容器の内圧
を求めるので、測定対象の内圧を正確に測定することが
できる。In a fifth invention or a sixth invention, in the internal pressure measuring device according to the fourth invention, the pressure inside the measuring chamber in the characteristic curve calculated by the characteristic curve approximating means is higher than the internal pressure in the closed container. And a second region indicating that the pressure in the measurement chamber is lower than the internal pressure of the closed container are respectively fitted with curves or straight lines, which are fitted by the characteristic curve approximating means by the intersection point computing means. Since the internal pressure of the closed container is obtained from the intersection of each straight line or curve, the internal pressure of the measuring object can be accurately measured.

【００４３】第７の発明は、第４の発明の内圧測定装置
において、真空パッドの薄膜に接触する部分に、弾性体
をパッキンとして開口部に対して突出するよう取り付け
るので、薄膜と真空パッド間に隙間が生ずるのを防止す
ることができる。In a seventh aspect of the present invention, in the internal pressure measuring device according to the fourth aspect, a portion of the vacuum pad that comes into contact with the thin film is attached so as to project from the opening with an elastic body as a packing. It is possible to prevent a gap from being generated.

【００４４】第８の発明は、第７の発明の内圧測定装置
において、弾性体の突出量が、測定室内を真空にした状
態で弾性体にかかる荷重及び弾性体が薄膜に密着する面
積に基づいて最適化されているので、測定対象の内圧を
正確に測定することができる。An eighth invention is the internal pressure measuring device according to the seventh invention, wherein the protrusion amount of the elastic body is based on the load applied to the elastic body in a state where the measurement chamber is evacuated and the area where the elastic body adheres to the thin film. The internal pressure of the object to be measured can be accurately measured.

【００４５】第９の発明は、第４の発明の内圧測定装置
において、渦電流に基づいて検出を行なう変位検出器を
使用するので、薄膜を傷つけることなく正確に測定対象
の内圧を測定することができる。また、光を用いていな
いので被測定対象に模様などが施してあり、光学特性に
変化が生じる場合でも影響を受けることはない。According to a ninth aspect of the present invention, in the internal pressure measuring device according to the fourth aspect of the invention, since a displacement detector for detecting the eddy current is used, the internal pressure of the object to be measured can be accurately measured without damaging the thin film. You can Further, since no light is used, a pattern or the like is given to the object to be measured, and even if the optical characteristic changes, it is not affected.

【００４６】第１０の発明は、特性曲線算出手段にて各
真空パッドにて検出された変位量及び前記各圧力検出手
段にて検出された気圧から変位量と気圧の関係を示す特
性曲線を算出し、内圧演算手段にて、前記特性曲線の変
化点のうち、薄膜の変位量が所定の範囲外の領域に存す
る変化点の近傍に対応する前記気圧から前記密閉容器の
内圧を求めるので、柔らかい密閉容器であっても、また
電磁波や振動などの外乱の多い環境であっても内圧を正
確に測定することができる。In a tenth aspect of the present invention, a characteristic curve showing the relationship between the displacement amount and the atmospheric pressure is calculated from the displacement amount detected by each vacuum pad by the characteristic curve calculating means and the atmospheric pressure detected by each pressure detecting means. Then, the internal pressure calculating means calculates the internal pressure of the closed container from the atmospheric pressure corresponding to the vicinity of the change point in the region where the displacement amount of the thin film is out of the predetermined range among the change points of the characteristic curve. The internal pressure can be accurately measured even in a closed container or in an environment where there are many disturbances such as electromagnetic waves and vibrations.

【００４７】第１１の発明は、加減圧手段により前記第
１の真空パッド及び前記第２の真空パッドの測定室及び
真空室内の気圧を加減圧し、圧力検出手段により、前記
加減圧手段により加減圧された前記第１の真空パッドの
測定室及び前記第２の真空パッドの測定室内の気圧を検
出する。According to an eleventh aspect of the invention, the pressure in the measuring chamber and vacuum chamber of the first vacuum pad and the second vacuum pad is increased / decreased by the pressure increasing / decreasing unit, and the pressure detecting unit increases the pressure in the measuring chamber. The atmospheric pressure in the measurement chamber of the first vacuum pad and the measurement chamber of the second vacuum pad, which have been decompressed, is detected.

【００４８】そして、特性曲線算出手段により前記第１
の真空パッドにて検出された変位量及び前記第２の真空
パッドにて検出された変位量のうち少なくとも一方の変
位量又は各変位量の平均及び前記圧力検出手段にて検出
された前記第１の真空パッド及び前記第２の真空パッド
の測定室内の気圧から前記密閉容器の変位量と気圧との
関係を示す特性曲線を算出し、内圧演算手段にて、前記
特性曲線の変化点のうち、薄膜の変位量が所定の範囲外
の領域に存する前記変化点の近傍に対応する前記気圧か
ら前記密閉容器の内圧を求めるので、薄いシール材の密
閉容器であっても内圧を正確に測定することができる。Then, the characteristic curve calculating means causes the first
Of at least one of the displacement amount detected by the vacuum pad and the displacement amount detected by the second vacuum pad, or the average of the displacement amounts, and the first amount detected by the pressure detecting means. From the atmospheric pressure in the measurement chamber of the vacuum pad and the second vacuum pad, a characteristic curve showing the relationship between the displacement amount of the closed container and the atmospheric pressure is calculated, and in the internal pressure calculation means, among the change points of the characteristic curve, Since the internal pressure of the closed container is determined from the atmospheric pressure corresponding to the vicinity of the change point where the displacement amount of the thin film is outside the predetermined range, it is necessary to accurately measure the internal pressure even in the closed container of a thin sealing material. You can

【００４９】第１２又は第１３の発明は、特性曲線近似
手段により算出された特性曲線における、前記測定室内
の圧力が前記密閉容器の内圧より高いことを示す第１の
領域と、前記測定室内の圧力が前記密閉容器の内圧より
低いことを示す第２の領域とに対してそれぞれ曲線或い
は直線をあてはめ、交点演算手段により特性曲線近似手
段によってあてはめられた各直線或いは曲線の交点から
密閉容器の内圧を求めるので、測定対象の内圧を正確に
測定することができる。In a twelfth or thirteenth aspect of the invention, in the characteristic curve calculated by the characteristic curve approximating means, a first region showing that the pressure in the measurement chamber is higher than the internal pressure of the closed container, and the inside of the measurement chamber are shown. A curve or a straight line is applied to the second region indicating that the pressure is lower than the internal pressure of the closed container, and the internal pressure of the closed container is calculated from the intersection of the straight line or the curve fitted by the characteristic curve approximating means by the intersection calculating means. Therefore, the internal pressure of the measurement target can be accurately measured.

【００５０】第１４又は第１５の発明は、真空パッドの
薄膜に接触する部分に、弾性体をパッキンとして開口部
に対して突出するよう取り付けるので、薄膜と真空パッ
ド間に隙間が生ずるのを防止することができる。In the fourteenth or fifteenth aspect of the invention, the elastic pad is attached to the portion of the vacuum pad that comes into contact with the thin film so as to project from the opening, so that no gap is formed between the thin film and the vacuum pad. can do.

【００５１】第１６の発明は、弾性体の突出量が、測定
室内を真空にした状態で弾性体にかかる荷重及び弾性体
が薄膜に密着する面積に基づいて最適化されているの
で、測定対象の内圧を正確に測定することができる。In the sixteenth aspect of the invention, the amount of protrusion of the elastic body is optimized based on the load applied to the elastic body and the area where the elastic body adheres to the thin film in a state where the measurement chamber is evacuated, The internal pressure of can be measured accurately.

【００５２】第１７の発明は、渦電流に基づいて検出を
行なう変位検出器を使用するので、薄膜を傷つけること
なく正確に測定対象の内圧を測定することができる。第
１８の発明は、加減圧手段によって前記第１の真空パッ
ド及び前記第２の真空パッドの測定室内の気圧を前記第
１の真空パッド及び前記第２の真空パッドの真空室内の
気圧よりも低い真空度に減圧した後に、特性曲線算出手
段により第１の真空パッドにて検出された変位量及び第
２の真空パッドにて検出された変位量のうち少なくとも
一方の変位量及び圧力検出手段にて検出された第１の真
空パッド及び第２の真空パッドの測定室内の気圧から密
閉容器の変位量と気圧との関係を示す特性曲線を算出す
る。In the seventeenth aspect of the invention, since the displacement detector for detecting based on the eddy current is used, the internal pressure of the measuring object can be accurately measured without damaging the thin film. In an eighteenth aspect of the invention, the pressure inside the measurement chamber of the first vacuum pad and the second vacuum pad is lower than the pressure inside the vacuum chamber of the first vacuum pad and the second vacuum pad by a pressurizing / depressurizing means. After the pressure is reduced to a degree of vacuum, at least one of the displacement amount detected by the first vacuum pad by the characteristic curve calculation unit and the displacement amount detected by the second vacuum pad and the pressure detection unit. A characteristic curve showing the relationship between the displacement amount of the closed container and the atmospheric pressure is calculated from the detected atmospheric pressures of the first vacuum pad and the second vacuum pad in the measurement chamber.

【００５３】そして、内圧演算手段により特性曲線の微
分係数の変化点に対応する前記気圧のうち、前記薄膜の
変位量が所定の範囲外の領域に存する前記変化点の近傍
に対応する前記気圧から密閉容器の内圧を求めるので、
シール材の薄い密閉容器であっても正確に内圧を測定す
ることができる。From the atmospheric pressure corresponding to the changing point of the differential coefficient of the characteristic curve by the internal pressure calculating means, from the atmospheric pressure corresponding to the vicinity of the changing point in the region where the displacement amount of the thin film is outside the predetermined range. Since the internal pressure of the closed container is calculated,
Even in a closed container with a thin sealing material, the internal pressure can be accurately measured.

【００５４】[0054]

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態について説明する。 ＜第１の実施の形態＞図１は、本発明の第１の実施の形
態に係る内圧測定装置の構成を示す図である。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. <First Embodiment> FIG. 1 is a view showing the arrangement of an internal pressure measuring apparatus according to the first embodiment of the present invention.

【００５５】測定対象である真空パネル１１は、充填材
１２を内部に有し、その外周は薄膜であるシール材１３
で覆われている。この充填材１２には、発砲スチロー
ル、ウレタン状の材料又はシリカ粉のような材料で断熱
性能が優れているものが用いられる。また、充填材１２
は、真空引きされることにより、シリカの場合は、粒子
以外は真空状態にすることができ、ウレタンの場合に
は、ウレタンの気泡部分は、穴が開いていて内部の空気
が真空に引けるような材料が用いられる。The vacuum panel 11 to be measured has a sealant 13 having a filler 12 inside and a thin film on the outer periphery.
Covered with. As the filler 12, a material such as expanded polystyrene, urethane-like material, or silica powder having excellent heat insulation performance is used. In addition, the filler 12
In the case of silica, it is possible to make a vacuum state other than particles by drawing a vacuum, and in the case of urethane, the bubble part of urethane has holes so that the air inside can be pulled to a vacuum. Various materials are used.

【００５６】充填材１２の内部は、例えば、１０0 〜１
０-2［Torr］程度の真空度となっている。なお、充填材
１２の内部を真空にするのは、理論的に真空媒体が断熱
性能において最も優れているからである。[0056] inside of the filling material 12, for example, 10 0-1
The degree of vacuum is about 0 -2 [Torr]. The reason why the inside of the filling material 12 is evacuated is that the vacuum medium is theoretically the best in heat insulation performance.

【００５７】シール材１３は、アルミ泊やステンレス泊
のような金属薄膜か、これら金属泊とポリエチレンフィ
ルム、ポリプロピレンフィルム等の高分子フィルムを積
層し、多層フィルムとしたものが用いられる。The sealing material 13 may be a metal thin film such as aluminum or stainless steel, or a multi-layer film obtained by laminating the metal film and a polymer film such as polyethylene film or polypropylene film.

【００５８】一方、真空パッド１４は内圧測定装置の架
台（図示せず）に固定されたり、手で持って移動できる
構造となっている。この真空パッド１４は、一端側が開
放端で、且つ円筒形状をなしており、その開放端面に
は、円周に沿って、パッキン１５を納める断面が矩形状
の溝が形成されている。そして、この溝には、パッキン
１５として用いられる平板形状のゴム性材料が納められ
る。On the other hand, the vacuum pad 14 is structured to be fixed to a pedestal (not shown) of the internal pressure measuring device or can be held and moved by hand. The vacuum pad 14 has an open end at one end and is in the shape of a cylinder, and a groove having a rectangular cross section for accommodating the packing 15 is formed on the open end surface along the circumference. A flat rubber material used as the packing 15 is housed in the groove.

【００５９】ここで、真空パッド１４に対するパッキン
１５の突出量の関係について説明する。図２に、図１に
示したＡ部におけるパッキン１５の拡大図を示す。Here, the relationship of the amount of protrusion of the packing 15 with respect to the vacuum pad 14 will be described. FIG. 2 shows an enlarged view of the packing 15 in the A portion shown in FIG.

【００６０】この真空パッドによる内圧測定の利点の１
つは、真空パッド１４とシール材１３の真空シールが、
真空パネル１１の内圧Ｐｓよりも高真空で実現できるこ
とにある。One of the advantages of measuring the internal pressure with this vacuum pad
One is that the vacuum seal of the vacuum pad 14 and the seal material 13 is
It is to be realized at a higher vacuum than the internal pressure Ps of the vacuum panel 11.

【００６１】このためには、図２に示す、真空パッド１
４に対するパッキン１５の突出量ｔが重要である。も
し、パッキン１５の突出量ｔが大きい場合には、真空パ
ネル１１の吸引後も、真空パッド１４吸引面よりパッキ
ン１５が突出し、図３（ａ）に示すように、弾性体であ
るパッキン１５が矢印方向に変形する。To this end, the vacuum pad 1 shown in FIG.
The protrusion amount t of the packing 15 with respect to 4 is important. If the amount of protrusion t of the packing 15 is large, the packing 15 projects from the suction surface of the vacuum pad 14 even after the vacuum panel 11 is sucked, and as shown in FIG. Deform in the direction of the arrow.

【００６２】その結果、シール材１３は、真空パッド１
４の基準内径φで拘束された変形を行なわず真空度の測
定精度を乱すことになる。また、パッキン１５の突出量
ｔが小さい場合には、充填材１２は剛性の低いものであ
るために、図３（ｂ）のように食い込み変形を起こし、
図３（ａ）と反対の現象を起こり、やはり測定精度に悪
影響を及ぼすことになる。As a result, the sealing material 13 is the vacuum pad 1
The deformation constrained by the reference inner diameter φ of 4 is not performed, and the measurement accuracy of the degree of vacuum is disturbed. Further, when the protrusion amount t of the packing 15 is small, since the filler 12 has low rigidity, it causes a bite deformation as shown in FIG.
The phenomenon opposite to that shown in FIG. 3A occurs, which again adversely affects the measurement accuracy.

【００６３】最も理想的なパッキン１５の突出量は、図
３（ｃ）に示すような状態である。この状態となるため
には、真空パッド１４が真空に引かれた状態で、パッキ
ン１５にかかる大気圧Ｐ0 の総合過重Ｆを、パッキン１
５の幅Ｗで受け、その時の変形量をパッキン１５の突出
量ｔと一致させておくことである。The most ideal amount of protrusion of the packing 15 is as shown in FIG. 3 (c). In order to achieve this state, the total overload F of the atmospheric pressure P 0 applied to the packing 15 is reduced by the packing 1 while the vacuum pad 14 is evacuated.
The width W is 5 and the amount of deformation at that time is made to match the amount t of protrusion of the packing 15.

【００６４】この条件を図２に示したパラメータで数式
化すると、 Ｆ＝πφ2 Ｐ0 ／４＝π（φ＋２Ｓ＋Ｗ）ＷＰ1 …（１） ここで、真空パッド１４内の測定室の圧力Ｐm は、真空
に引かれた状態でパッキン１５にかかる大気圧Ｐ0 に対
し小さく無視できるものとする。[0064] If a mathematical formula with the parameter showing the condition in Figure 2, F = πφ 2 P 0 /4 = π (φ + 2S + W) WP 1 ... (1) where the pressure Pm of the measuring chamber of the vacuum pad 14 , The atmospheric pressure P 0 applied to the packing 15 in a vacuumed state is small and negligible.

【００６５】なお、Ｐ1 は真空パッド１４にかかる平均
圧力である。さらに、パッキン１５の圧縮方向のヤング
率をＥc とすると、圧縮後のパッキン１５の突出量が零
になる条件は、 Ｐ1 ＝Ｅc ｛ｔ／（ｔ＋ｔ0 ）｝ …（２） である。Note that P 1 is the average pressure applied to the vacuum pad 14. Further, when the Young's modulus of the packing 15 in the compression direction is Ec, the condition that the amount of protrusion of the packing 15 after compression is zero is P 1 = Ec {t / (t + t 0 )} (2).

【００６６】式（１）及び式（２）より、 ｔ＝ｔ0 （Ｅc ／Ｐ1 −１）-1 …（３） Ｐ1 ＝Ｐ0 ｛φ2 ／（４（φ＋２Ｓ＋Ｗ）Ｗ）｝ …（４） となる。From the equations (1) and (2), t = t 0 (Ec / P 1 -1) -1 (3) P 1 = P 0 {φ 2 / (4 (φ + 2S + W) W)} (4)

【００６７】従って、パッキン１５の突出量ｔは、上式
に基づいて決定されている。また、真空パッド１４に
は、渦電流式変位計１６が真空パネル１１のシール材１
３に対向するよう設けられている。Therefore, the protrusion amount t of the packing 15 is determined based on the above equation. Further, an eddy current displacement gauge 16 is attached to the vacuum pad 14, and a seal material 1 for the vacuum panel 11 is provided.
It is provided so as to face 3.

【００６８】渦電流式変位計１６には、変位計アンプ１
７が接続され、渦電流式変位計１６からの変位信号を変
位信号Ｄとして出力するものとなっている。この変位計
アンプ１７の出力側は、インターフェイス回路、Ａ／Ｄ
変換器を介してコンピュータ２１に接続されている。The eddy current displacement gauge 16 includes a displacement gauge amplifier 1
7 is connected and the displacement signal from the eddy current displacement meter 16 is output as the displacement signal D. The output side of this displacement meter amplifier 17 is an interface circuit, A / D
It is connected to the computer 21 via a converter.

【００６９】さらに、真空パッド１４には、真空パッド
の測定室内の気圧を真空引きする油回転式の真空ポンプ
１８、この真空ポンプ１８によって真空引きされた真空
パッド１４の測定室内の真空度を測定し真空度信号Ｂと
して出力するピラニ真空計１９が取り付けられている。Further, the vacuum pad 14 has an oil rotary vacuum pump 18 for evacuating the atmospheric pressure in the measuring chamber of the vacuum pad, and the degree of vacuum in the measuring chamber of the vacuum pad 14 evacuated by the vacuum pump 18 is measured. A Pirani vacuum gauge 19 that outputs a vacuum degree signal B is attached.

【００７０】このピラニ真空計１９の出力側には、ピラ
ニ真空計１９から出力された真空度信号を真空度信号Ｂ
として出力する真空計アンプ２０が接続されている。こ
の真空計アンプ２０の出力側は、インターフェイス回
路、Ａ／Ｄ変換器を介してコンピュータ２１に接続され
ている。At the output side of the Pirani vacuum gauge 19, the vacuum degree signal output from the Pirani vacuum gauge 19 is connected to the vacuum degree signal B.
Is connected to the vacuum gauge amplifier 20. The output side of the vacuum gauge amplifier 20 is connected to the computer 21 via an interface circuit and an A / D converter.

【００７１】このコンピュータ２１は、真空パッド１４
に設けられている渦電流式変位計１６にて検出された薄
膜１３の変位量及びピラニ真空計１９にて検出された気
圧から真空パネル１１の内圧を求める機能を有してい
る。This computer 21 has a vacuum pad 14
It has a function of obtaining the internal pressure of the vacuum panel 11 from the displacement amount of the thin film 13 detected by the eddy current displacement gauge 16 provided in and the atmospheric pressure detected by the Pirani vacuum gauge 19.

【００７２】具体的に、コンピュータ２１は、真空パッ
ド１４に設けられている渦電流式変位計１６にて検出さ
れた薄膜１３の変位量及びピラニ真空計１９にて検出さ
れた気圧から変位量と気圧との関係を示す特性曲線を算
出する特性曲線算出手段と、この特性曲線算出手段にて
算出された特性曲線の微分係数の変化点に対応する気圧
のうち、薄膜１３の変位量が所定の範囲外の領域に存す
る変化点の近傍に対応する気圧から密閉容器の内圧を求
める内圧演算手段としての各機能を備えている。Specifically, the computer 21 determines the displacement amount of the thin film 13 detected by the eddy current displacement gauge 16 provided on the vacuum pad 14 and the displacement amount from the atmospheric pressure detected by the Pirani vacuum gauge 19. Of the characteristic curve calculating means for calculating the characteristic curve showing the relationship with the atmospheric pressure and the atmospheric pressure corresponding to the change point of the differential coefficient of the characteristic curve calculated by the characteristic curve calculating means, the displacement amount of the thin film 13 is predetermined. Each function is provided as an internal pressure calculation means for obtaining the internal pressure of the closed container from the atmospheric pressure corresponding to the vicinity of the change point existing in the area outside the range.

【００７３】このうち内圧演算手段は、特性曲線算出手
段より算出された特性曲線における、測定室内の圧力が
真空パネル１１の内圧より高いことを示す第１の領域
と、測定室内の圧力が真空パネル１１の内圧より低いこ
とを示す第２の領域とに対してそれぞれ最適な直線或い
は曲線をフィッティングする特性曲線近似手段と、この
特性曲線近似手段によってあてはめられた各直線或いは
曲線の交点から真空パネル１１の内圧を求める交点演算
手段としての各機能を備えている。Among these, the internal pressure calculating means has a first region in the characteristic curve calculated by the characteristic curve calculating means, which indicates that the pressure in the measuring chamber is higher than the internal pressure of the vacuum panel 11, and the pressure in the measuring chamber is the vacuum panel. The vacuum panel 11 from the characteristic curve approximating means for fitting an optimal straight line or curve to the second region indicating the pressure lower than the internal pressure of 11 and the intersection of each straight line or curve fitted by this characteristic curve approximating means. Each function is provided as an intersection calculation means for obtaining the internal pressure of the.

【００７４】次に、本実施の形態の内圧測定装置の動作
について説明する。まず、図示しない架台に設けられた
真空パッド１４に真空パネル１１を近づける。この時点
で、真空ポンプ１８をオンすると、真空パッド１４の測
定室内の大気が真空引きされ、シール材１３が真空パッ
ド１４の開口部に吸引される。Next, the operation of the internal pressure measuring device of the present embodiment will be described. First, the vacuum panel 11 is brought close to the vacuum pad 14 provided on the mount (not shown). At this point, when the vacuum pump 18 is turned on, the atmosphere in the measurement chamber of the vacuum pad 14 is evacuated, and the sealing material 13 is sucked into the opening of the vacuum pad 14.

【００７５】シール材１３が、真空パッド１４の開口部
に吸引されると同時に、真空パッド１４の測定室内の容
器圧力Ｐm は、高真空となる。そして、真空パッド１４
に設けられた測定室内の圧力と真空パネル１１の内圧Ｐ
s とが等しくなった時、シール材１３の両面からの各圧
力、すなわち、充填材１２側からかかる圧力と真空パッ
ド１４側からかかる圧力とはつりあう（Ｐs ＝Ｐm ）。At the same time that the sealing material 13 is sucked into the opening of the vacuum pad 14, the container pressure Pm of the vacuum pad 14 in the measurement chamber becomes high vacuum. And the vacuum pad 14
Inside the measurement chamber provided in the room and the internal pressure P of the vacuum panel 11.
When s becomes equal, the respective pressures from both sides of the seal material 13, that is, the pressure applied from the filling material 12 side and the pressure applied from the vacuum pad 14 side are balanced (Ps = Pm).

【００７６】この時点までは、シール材１３に変形は生
じない。次に、真空パッド１４の測定室の内圧Ｐm が真
空パネル１１の内圧Ｐs より高真空に引かれると（Ｐs
≧Ｐm ＞０）、シール材１３には、充填材１２側から圧
力がかかることになり、シール材１３は、図１に示し
た、波線Ｌのように変形する。Until this point, the sealing material 13 is not deformed. Next, when the internal pressure Pm of the measurement chamber of the vacuum pad 14 is pulled to a higher vacuum than the internal pressure Ps of the vacuum panel 11 (Ps
≧ Pm> 0), the pressure is applied to the sealing material 13 from the filling material 12 side, and the sealing material 13 is deformed like the wavy line L shown in FIG.

【００７７】この変形によるシール材１３の変位量は、
渦電流式変位計１６で検出され、変位計アンプ１７を介
して変位信号Ｄとして、Ａ／Ｄ変換器を介してコンピュ
ータ２１に送られる。The amount of displacement of the sealing material 13 due to this deformation is
The displacement signal is detected by the eddy current displacement meter 16 and is sent to the computer 21 via the A / D converter as the displacement signal D via the displacement meter amplifier 17.

【００７８】一方、ピラニ真空計１９は、真空パッド１
４の測定室内の真空度を測定する。そして、この測定結
果は、真空計アンプ２０を介して真空度信号Ｂとして出
力され、この真空度信号Ｂは、Ａ／Ｄ変換器を介してコ
ンピュータ２１に送られる。On the other hand, the Pirani vacuum gauge 19 includes the vacuum pad 1
The degree of vacuum in the measurement chamber of No. 4 is measured. Then, this measurement result is output as a vacuum degree signal B via the vacuum gauge amplifier 20, and this vacuum degree signal B is sent to the computer 21 via the A / D converter.

【００７９】次に、コンピュータ２１は、Ａ／Ｄ変換器
を介して真空度信号Ｂと変位信号Ｄを取り込んで真空パ
ネル１１の内圧を検出する。すなわち、コンピュータ２
１の特性曲線算出手段は、Ａ／Ｄ変換器を介して取り込
んだ真空度信号Ｂと変位信号Ｄとに基づいて、真空度Ｂ
と変位Ｄの関係を示す特性曲線を求める。図４は、かか
る特性曲線を示す。Next, the computer 21 takes in the vacuum degree signal B and the displacement signal D via the A / D converter and detects the internal pressure of the vacuum panel 11. That is, the computer 2
The characteristic curve calculating means No. 1 is based on the vacuum degree signal B and the displacement signal D captured via the A / D converter, and the vacuum degree B is
A characteristic curve showing the relationship between the displacement D and the displacement D is obtained. FIG. 4 shows such a characteristic curve.

【００８０】なお、この特性曲線において、真空度信号
Ｂに基づく真空度Ｂは、対数スケールで、変位信号Ｄに
基づくギャップＤは、リニアスケールで任意単位で示し
ている。In this characteristic curve, the vacuum degree B based on the vacuum degree signal B is shown on a logarithmic scale, and the gap D based on the displacement signal D is shown on a linear scale in arbitrary units.

【００８１】以下、この特性曲線について説明する。ま
ず、図１に示す真空ポンプ１８で真空パッド１４の測定
室内の真空引きを始めると、その真空度に応じて、ギャ
ップＤが図の特性ｅで示すように直線的に小さくなる。
これは、パッキン１５や真空パネル１１の真空引きに伴
なう弾性変形である。The characteristic curve will be described below. First, when the vacuum pump 18 shown in FIG. 1 starts to evacuate the inside of the measurement chamber of the vacuum pad 14, the gap D linearly decreases as indicated by the characteristic e in FIG.
This is the elastic deformation of the packing 15 and the vacuum panel 11 due to the evacuation.

【００８２】さらに、真空ポンプ１８にて真空引きを続
けると、真空パッド１４の測定室の内圧Ｐm が真空パネ
ル１１の内圧Ｐs と領域ｇに対し、ギャップＤは急に大
きな変化を示すようになる（特性ｆ）。When the vacuum pump 18 continues to evacuate, the gap D suddenly shows a large change with respect to the internal pressure Pm of the measuring chamber of the vacuum pad 14 and the internal pressure Ps of the vacuum panel 11 and the region g. (Characteristic f).

【００８３】コンピュータ２１の内圧演算手段は、真空
度信号Ｂ及び変位信号Ｄを点Ｓから点Ｅ又は点Ｅから点
Ｓへ向かってデータとして取り込んだ後（点Ｅは到達圧
力）、特性ｅの部分と特性ｆの部分について、最小自乗
法や各部分について近似曲線を求める方法（以下、カー
ブフィッティング法と記す）により、直線や特殊な曲線
をあてはめ、これら各直線や曲線の交点Ｇを算出する。The internal pressure calculating means of the computer 21 takes in the vacuum degree signal B and the displacement signal D as data from the point S to the point E or from the point E to the point S (point E is the ultimate pressure), and then the characteristic e A straight line or a special curve is applied to the part and the part of the characteristic f by a least square method or a method of obtaining an approximate curve for each part (hereinafter referred to as a curve fitting method), and an intersection point G of these straight lines and curves is calculated. .

【００８４】ここで、具体的に、最小自乗法やカーブフ
ィッティング法を用いて直線或いは曲線をあてはめる方
法について説明する。まず、最初に、最小自乗法により
特性曲線に直線をあてはめ方法について説明する。Here, a method for fitting a straight line or a curve using the least square method or the curve fitting method will be specifically described. First, a method of fitting a straight line to a characteristic curve by the method of least squares will be described.

【００８５】最小自乗法においては、まず、図４に示し
た真空度ＢとギャップＤとの関係を示す特性曲線を特性
ｅの部分と特性ｆの部分とに分割する。この分割は、例
えば、以下に示すような方法で行なわれる。In the least squares method, first, the characteristic curve showing the relationship between the vacuum degree B and the gap D shown in FIG. 4 is divided into a characteristic e portion and a characteristic f portion. This division is performed, for example, by the following method.

【００８６】（１） 真空度Ｂを用いる分割方法 図５に示すように、実際の真空パネルにおいては、交点
Ｇの位置については、予め概ねの位置を経験則により予
想することができるので、明らかに交点Ｇが発生しない
領域Ｅ＾、領域Ｆ＾を規定して、特性曲線を分割する方
式である。(1) Dividing method using the degree of vacuum B As shown in FIG. 5, it is clear that, in an actual vacuum panel, the approximate position of the intersection G can be predicted in advance based on an empirical rule. This is a method of dividing the characteristic curve by defining an area E ^ and an area F ^ where the intersection G does not occur.

【００８７】（２） 微分値を用いる分割方法 実際の測定データは、図５に示すように、ノイズ成分が
多く含まれているデータであることから、まず、このノ
イズ成分を除去するために、データの平均化を行ない、
図６（ｂ）に示すような滑らかな特性曲線を得る。(2) Dividing method using differential value Since actual measurement data is data containing a lot of noise components as shown in FIG. 5, first, in order to remove this noise component, Average the data,
A smooth characteristic curve as shown in FIG. 6B is obtained.

【００８８】そして、この特性曲線から微分値ｄＤ／ｄ
Ｂを求める。この特性曲線の微分値ｄＤ／ｄＢは、特性
曲線の傾きを求めることに相当するので、この傾きに着
目して、図６（ｂ）に示すように、これも経験則からし
きい値ＴＨf 、ＴＨe を設けて特性曲線を分割する。From this characteristic curve, the differential value dD / d
Find B. Differential value dD / dB of the characteristic curve, so corresponds to finding the slope of the characteristic curve, in view of the inclination, as shown in FIG. 6 (b), which is also the threshold value TH f from heuristics , TH e are provided to divide the characteristic curve.

【００８９】具体的には、まず、データＤ→Ｄ＾＝（１
／ｎ）（Ｄi-n ＋Ｄi-(n-1) ＋・・・・＋Ｄi ＋・・・
・＋Ｄi+n ）を求め、次に、微分値ｄＤ＾／ｄＢを求め
る。そして、ｄＤ＾／ｄＢに２つのしきい値ＴＨf ，Ｔ
Ｈe を設け、ｄＤ＾／ｄＢ＞ＴＨf を領域Ｆo 、ｄＤ＾
／ｄＢ＜ＴＨe を領域Ｅo と定義し、これら領域に対応
する特性曲線を曲線ｅ，ｆと定義して分割する方法であ
る。Specifically, first, the data D → D ^ = (1
/ N) (Di-n + Di- (n-1) + ... + Di + ...
-+ Di + n), and then the differential value dD ^ / dB. Then, two thresholds TH f and T for dB / dB
H the provided e, dD ^ / dB> TH f the area F o, dD ^
This is a method in which / dB <TH e is defined as a region E o, and characteristic curves corresponding to these regions are defined as curves e and f for division.

【００９０】次に、上記いずれかの分割方法によって得
られた曲線ｅと曲線ｆのそれぞれについて最小自乗法を
適用する。具体的には、図７に示すように、領域Ｅ^ 或
いは領域Ｅo における曲線ｅのデータをＤ1 e ，Ｄ2
e ，・・・，Ｄn e として、これにＤ＝αｌｏｇＢ＋β
の直線を当てはめる。Next, the least squares method is applied to each of the curves e and f obtained by any of the above division methods. Specifically, as shown in FIG. 7, the data of the curve e in the area E ^ or the area E o is changed to D1 e , D2.
e , ..., Dn e , where D = αlogB + β
Apply the straight line of.

【００９１】すなわち、εi ＝Ｄi e −（αｌｏｇＢi
＋β）なるεi を定義しΣ（εi ）2 を最小にならしめ
るα、βを求める方式である。また、曲線ｆについて
も、図８に示すように、全く同じアルゴリズムで、ε
i′＝Ｄi f −（α′ｌｏｇＢi ＋β′）なるεi ′を
定義しΣ（εi ′）2 を最小にするα′、β′を求め
る。That is, εi = Di e − (αlogBi
+ Β) is defined, and α and β that minimize Σ (εi) 2 are obtained. As for the curve f, as shown in FIG.
i - 'defines a Σ (εi''= Di f (α'logBi + β') becomes .epsilon.i) 2 to minimize α ', β' obtained.

【００９２】そして、このようにして求めた、Ｄe ＝α
ｌｏｇＢ＋βとＤf ＝α′ｌｏｇＢ＋β′の２直線の交
点を求めれば、その交点が交点Ｇとなる。次に、カーブ
フィティング法について説明する。Then, D e = α obtained in this way
If the intersection of two straight lines of log B + β and D f = α′log B + β ′ is obtained, the intersection is the intersection G. Next, the curve fitting method will be described.

【００９３】特性曲線を２つの領域Ｅ，Ｆに分割する方
法については、上述の最小自乗法において述べた分割方
法と同様である。最小自乗法においては、直線を特性曲
線に当てはめることにより交点Ｇを求めたが、カーブフ
ィティング法においては、特性曲線に対して直線ではな
く、最適な任意の曲線を当てはめる。The method of dividing the characteristic curve into two regions E and F is the same as the dividing method described in the above least square method. In the least squares method, the intersection point G is obtained by fitting a straight line to the characteristic curve, but in the curve fitting method, an optimum arbitrary curve is fitted to the characteristic curve instead of a straight line.

【００９４】例えば、ｆ（ｘ）＝ａk ｘk ＋ａk-1 ｘ
k-1 ＋・・・＋ａ1 ｘ＋ａ0 、ｆ（ｘ）＝ａk ｘk ＋ａ
k-1 ｘk-1 ＋・・・＋ａ1 ｘ＋ａ0 ＋ａ-1ｘ-1＋・・・
ａ-kｘ-k、ｆ（ｘ）＝αｌｏｇｘ＋β＋γｘ、ｆ（ｘ）
＝αｌｏｇｘ＋β＋γｅ-2x 等で表わされるｘの有理関
数及び無理関数の合成からなる関数として定義する。For example, f (x) = a k x k + a k-1 x
k-1 + ... + a 1 x + a 0 , f (x) = a k x k + a
k-1 x k-1 + ... + a 1 x + a 0 + a -1 x -1 + ...
a −k x −k , f (x) = αlogx + β + γx, f (x)
= Αlogx + β + γe −2x, etc. is defined as a function composed of a rational function and an irrational function of x.

【００９５】次に、この関数からεi をεi ＝Ｄi e −
ｆ（Ｂi ）として定義し、評価関数ＱをＱ＝Σ（εi ）
2 やεi の絶対値の総和のように定義する。そして、関
数のパラメータａk ，ａk-1 ，・・・・ａ1 ，ａ0 や
α、β、γを変化させてＱを最小にするパラメータを決
定すれば、特性曲線に最もよく合致するような曲線を求
めることができる。Next, from this function, εi is calculated as εi = Di e −
f (Bi) and the evaluation function Q is Q = Σ (εi)
It is defined as the sum of absolute values of 2 and εi. Then, if the parameters a k , a k-1 , ..., A 1 , a 0 and α, β, γ of the function are changed to determine a parameter that minimizes Q, the characteristic curve is best matched. Such a curve can be obtained.

【００９６】次に、決定された曲線ｅ、曲線ｆの交点を
求めれば、この交点が図４に示す交点Ｇに相当すること
になる。ここでは、特性曲線にこのような曲線をあては
める方法をカーブフィッテング法と定義する。Next, when the intersection of the determined curves e and f is obtained, this intersection corresponds to the intersection G shown in FIG. Here, the method of fitting such a curve to the characteristic curve is defined as the curve fitting method.

【００９７】そして、この交点Ｇに対応する真空度Ｐm
が真空パネル１１の内圧Ｐs （＝Ｐm ）として求められ
る。従って、本実施の形態によれば、真空パネル１１全
体を真空引きする方法に比べて、大幅に内圧を測定する
時間を短縮することができる。実例を示せば、全体を真
空引きするケースでは、測定時間は数分であり、真空パ
ッド１４による方式では数秒〜数十秒である。この測定
時間は、主に、真空パッド１４の測定室の容量と、真空
ポンプ１８の容量で決定される。The degree of vacuum Pm corresponding to this intersection point G
Is obtained as the internal pressure Ps (= Pm) of the vacuum panel 11. Therefore, according to the present embodiment, the time required to measure the internal pressure can be significantly shortened as compared with the method in which the entire vacuum panel 11 is evacuated. As an example, in the case where the whole is evacuated, the measurement time is several minutes, and in the method using the vacuum pad 14, it is several seconds to several tens of seconds. This measuring time is mainly determined by the capacity of the measuring chamber of the vacuum pad 14 and the capacity of the vacuum pump 18.

【００９８】また、同一ポンプを使用した場合には、全
体を真空引きする方法に比べて、真空パッド１４の測定
室の容量を、数十分の一から数百分の一に小さくするこ
とができる。When the same pump is used, the capacity of the measuring chamber of the vacuum pad 14 can be reduced to several tenths to several hundredths as compared with the method of vacuuming the whole. it can.

【００９９】さらに、真空パッド１４による内圧測定方
法では、真空パッド１４のパッド径φに依存して、真空
パネル１１平面内の局部的な真空度、すなわち、断熱性
能を図ることができる。Furthermore, in the internal pressure measuring method using the vacuum pad 14, the degree of local vacuum in the plane of the vacuum panel 11, that is, the heat insulation performance can be achieved depending on the pad diameter φ of the vacuum pad 14.

【０１００】さらに、渦電流式変位計１６を用いて、シ
ール材１３の変位量を測定するので、シール材１３表面
の色、つや、表面粗さ、凹凸、傷などに影響されずに、
シール材１３の変形量を測定することができ、真空度を
精度よく測定することができる。Further, since the displacement amount of the sealing material 13 is measured by using the eddy current type displacement meter 16, the surface of the sealing material 13 is not affected by color, gloss, surface roughness, unevenness, scratches, etc.
The amount of deformation of the sealing material 13 can be measured, and the degree of vacuum can be accurately measured.

【０１０１】さらに、真空パッド１４と真空パネル１１
面のシール部に上述の式（３）、（４）より算出した突
出量をもつパッキン１５を用いたために、真空パネル１
１の内圧Ｐs より高い真空度に真空パッド１４の測定室
の内圧Ｐm をすることができ、結果的に真空パネル１１
の内圧を正確に測定することができる。Further, the vacuum pad 14 and the vacuum panel 11
Since the packing 15 having the protrusion amount calculated from the above equations (3) and (4) is used for the seal portion of the surface, the vacuum panel 1
The internal pressure Pm in the measuring chamber of the vacuum pad 14 can be set to a degree of vacuum higher than the internal pressure Ps of 1, resulting in the vacuum panel 11
The internal pressure of can be measured accurately.

【０１０２】さらに、コンピュータ処理によって、真空
パネル１１の内圧を測定するので、測定精度が飛躍的に
向上する。なお、上述の実施の形態においては、真空パ
ッド１４は、円筒形のもの、すなわち、開口部が円形の
例について説明したが、これに限らず、開口部が正方
形、長方形、楕円の場合等、任意の形状のものであって
も良い。Furthermore, since the internal pressure of the vacuum panel 11 is measured by computer processing, the measurement accuracy is dramatically improved. In the above-described embodiment, the vacuum pad 14 has a cylindrical shape, that is, an example in which the opening is circular. However, the present invention is not limited to this, and the case where the opening is square, rectangular, oval, etc. It may have any shape.

【０１０３】また、真空計については、ピラニ真空計に
ついて説明したが、これは真空パッド１４の真空度によ
り決定され、バトラー真空計、バラトロン真空計、ガイ
スラー管、マクラウド型真空計、ダイヤフラム真空計、
Ｂ−Ａ型真空計、シュルツ型真空計、ペニング真空計、
熱伝導真空計、ダッシュマン型、スピニングロータ型に
代表される粘性真空計やクヌーセレ真空計などの真空計
であってもよい。As for the vacuum gauge, the Pirani vacuum gauge has been described, but this is determined by the vacuum degree of the vacuum pad 14, and the Butler vacuum gauge, Baratron vacuum gauge, Geisler tube, MacLeod vacuum gauge, diaphragm vacuum gauge,
B-A type vacuum gauge, Schulz type vacuum gauge, Penning vacuum gauge,
It may be a vacuum gauge such as a heat conduction vacuum gauge, a dashman type, a viscous vacuum gauge typified by a spinning rotor type, or a Knuceret vacuum gauge.

【０１０４】さらに、上述の実施の形態においては、減
圧する場合を例にとり説明したが、加圧により内圧を測
定する場合にも同じ装置で真空計を圧力計、真空ポンプ
を変更し、シール材の変形方向を逆にとれば、内圧の測
定を行なうことができる。Furthermore, in the above-mentioned embodiments, the case where the pressure is reduced has been described as an example. However, when measuring the internal pressure by pressurization, the pressure gauge and the vacuum pump are changed by the same device, and the sealing material is changed. If the deformation direction of is reversed, the internal pressure can be measured.

【０１０５】さらに、シール材の変位量を検出する変位
検出器には、渦電流式変位計１６を用いたが、これに限
らず超音波式の変位計、静電容量式の変位計でもよく、
また、変位検出器に接触式の例えば、電気マイクロメー
タ、光学スケールを用いた変位計を用いてもよい。Further, although the eddy current type displacement gauge 16 is used as the displacement detector for detecting the displacement amount of the seal material, the displacement detector is not limited to this, and an ultrasonic type displacement gauge or a capacitance type displacement gauge may be used. ,
In addition, a contact type displacement meter using, for example, an electric micrometer or an optical scale may be used as the displacement detector.

【０１０６】さらに、シール面が変位検出器によって影
響を受ける場合には、例えば、アルミ泊のようなシート
材を真空パッドの測定室の内部あるいは一部に接着など
行なって測定してもよい。Further, when the sealing surface is affected by the displacement detector, a sheet material such as aluminum foil may be adhered to the inside or part of the measuring chamber of the vacuum pad for measurement.

【０１０７】さらに、パッキンの形状は板状で説明した
が、棒状であってもよい。 ＜第２の実施の形態＞次に、本発明の第２の実施の形態
に係る内圧測定装置について説明する。Further, although the packing has been described as being plate-shaped, it may be rod-shaped. <Second Embodiment> Next, an internal pressure measuring device according to a second embodiment of the present invention will be described.

【０１０８】上述の第１の実施の形態に係る内圧測定装
置においては、密閉容器の薄膜の表面状態が悪くても、
精度よく、且つ高速に内圧を測定することができるが、
以下の課題を残していた。In the internal pressure measuring apparatus according to the first embodiment described above, even if the surface condition of the thin film in the closed container is poor,
The internal pressure can be measured accurately and at high speed,
The following issues were left.

【０１０９】すなわち、第１の実施の形態に係る内圧測
定装置においては、図１に示したように、真空パッド１
４を、パッキン１５を介して真空パネル１の片側に密着
させ、真空ポンプ１８によって真空パッド１４内部を真
空引きしていた。That is, in the internal pressure measuring device according to the first embodiment, as shown in FIG.
4 was brought into close contact with one side of the vacuum panel 1 via the packing 15, and the inside of the vacuum pad 14 was evacuated by the vacuum pump 18.

【０１１０】この場合、充填材１２には、図９に示す矢
印のような圧力がかかるため、真空パネル１上面には、
約（Ｐｏ−Ｐｓ）Ｓの力が働くことになる。ここで、Ｐ
ｏ：大気圧、Ｐｓ：パネル内部圧力、Ｓ：真空パッドの
開口面積、Ｐｍ：測定パッド室内圧力、図中矢印の大き
さは圧力の大きさを表わしており、測定時には、Ｐｏ＞
Ｐｓ≧Ｐｍとなる。In this case, since pressure is applied to the filling material 12 as shown by the arrow in FIG.
A force of about (Po-Ps) S will work. Where P
o: atmospheric pressure, Ps: panel internal pressure, S: vacuum pad opening area, Pm: measurement pad chamber pressure, the size of the arrow in the figure represents the size of the pressure, and at the time of measurement, Po>
Ps ≧ Pm.

【０１１１】充填材１２が十分硬く、剛性のある場合に
は良いが、ウレタン等の柔らかい充填材１２を用いた場
合には、図９に示すように真空パネル１は変形し、ウレ
タンは真空パッド１４の中央部にて、変位ｄ、ｄ* 分だ
け真空パッド１４側に変形することになり、渦電流式変
位計１６にて検出される真空パッドの変位量が、本来の
Δ* から（ｄ* ＋Δ* ）となってしまうという課題が残
されていた。Although it is preferable when the filling material 12 is sufficiently hard and rigid, when the soft filling material 12 such as urethane is used, the vacuum panel 1 is deformed as shown in FIG. At the central portion of 14, the deformation is caused by the displacements d and d * toward the vacuum pad 14 side, and the displacement amount of the vacuum pad detected by the eddy current displacement gauge 16 is calculated from the original Δ * (d * + Δ * ) was left.

【０１１２】本実施の形態の内圧測定装置は、このよう
な柔らかい真空パネル１であっても精度良く真空パネル
の内圧を測定することができるものである。すなわち、
本実施の形態の内圧測定装置の特徴は、真空パッドを２
つ備え、これら真空パッドを真空パネルの表裏に各真空
パッドの軸が一致するように配置して真空パネルの内圧
を測定することにある。The internal pressure measuring device according to the present embodiment is capable of accurately measuring the internal pressure of the vacuum panel 1 even with such a soft vacuum panel 1. That is,
The feature of the internal pressure measuring device of the present embodiment is that the vacuum pad is
One of them is to arrange these vacuum pads on the front and back of the vacuum panel so that the axes of the respective vacuum pads are aligned with each other and to measure the internal pressure of the vacuum panel.

【０１１３】図１０は、本発明の第２の実施の形態に係
る内圧測定装置を説明するための図である。なお、図１
と同一部材には、同一符号を付し、その説明を省略し、
ここでは異なる部分について述べる。FIG. 10 is a diagram for explaining an internal pressure measuring device according to the second embodiment of the present invention. FIG.
The same members as those in FIG.
Here, different parts will be described.

【０１１４】同図に示すように、真空パッド３１ａには
Ｌ型のアーム３２ａの一端側が取り付けられている。こ
のＬ型のアーム３２ａの他端側は、ジョイント３３によ
り、真空パッド３１ｂに取り付けられたアーム３２ｂと
真空パッド３１ａ，３１ｂの各軸が一致するよう回動自
在に接続されている。As shown in the figure, one end of an L-shaped arm 32a is attached to the vacuum pad 31a. The other end of the L-shaped arm 32a is rotatably connected by a joint 33 so that the axes of the arm 32b attached to the vacuum pad 31b and the vacuum pads 31a and 31b coincide with each other.

【０１１５】また、真空パッド３１ａの排気口３４ａと
真空パッド３１ｂの排気口３４ｂとは、蛇腹形状のＳＵ
Ｓ（Special Use Stainless steel）製の自在ダクト３
５で連結されている。Further, the exhaust port 34a of the vacuum pad 31a and the exhaust port 34b of the vacuum pad 31b have a bellows-shaped SU.
Flexible duct 3 made of S (Special Use Stainless steel)
5 are connected.

【０１１６】さらに、各真空パッド３１ａ，３１ｂに
は、それぞれ変位センサ４１ａ，４１ｂ、図示しない真
空計（バラトロン真空計、ピラニー真空計又はＢ−Ａ真
空計等）が設けられ、これらの測定結果は、上述の第１
の実施の形態と同様に、コンピュータに出力されるよう
になっている。Further, the vacuum pads 31a and 31b are provided with displacement sensors 41a and 41b, respectively, and a vacuum gauge (not shown) such as a Baratron vacuum gauge, a Pirani vacuum gauge or a BA vacuum gauge. , The above first
Similarly to the above embodiment, the data is output to the computer.

【０１１７】次に、上述の如く構成した本実施の形態の
内圧測定装置の動作について説明する。まず、最初に真
空パネル１１の設置操作について説明する。Next, the operation of the internal pressure measuring device of the present embodiment configured as described above will be described. First, the installation operation of the vacuum panel 11 will be described.

【０１１８】測定パッド３１ｂは、ジョイント３３によ
って、アーム３２ａと回動自在に連結されているので、
図１０中の矢印方向に回転する。初期状態では、真空パ
ッド３１ｂをジョイント３３を中心に真空パッド３１
ａ，３１ｂの位置が垂直となる位置に回転させておく。Since the measuring pad 31b is rotatably connected to the arm 32a by the joint 33,
It rotates in the direction of the arrow in FIG. In the initial state, the vacuum pad 31b is connected to the vacuum pad 31b centering around the joint 33.
It is rotated so that the positions of a and 31b are vertical.

【０１１９】次に、測定対象である真空パネル１１を真
空パッド３１ａ上に載置し、その後、真空パッド３１ｂ
を逆回りに回転させて真空パネル１１を挟み込むように
し、図１０に示すような状態にする。Next, the vacuum panel 11 to be measured is placed on the vacuum pad 31a, and then the vacuum pad 31b.
Is rotated in the reverse direction so that the vacuum panel 11 is sandwiched, and the state shown in FIG. 10 is obtained.

【０１２０】なお、真空パネル１１を載置する動作や、
真空パッド３１ｂを回転させる動作は、モータやロボッ
ト機構を用いて自動的に行なってもよい。次に、本実施
の形態の内圧測定装置の排気操作について説明する。The operation of placing the vacuum panel 11 and
The operation of rotating the vacuum pad 31b may be automatically performed by using a motor or a robot mechanism. Next, the exhaust operation of the internal pressure measuring device according to the present embodiment will be described.

【０１２１】真空パッド３１ａの排気口３４ａには、図
示せぬ油回転ポンプ等の真空ポンプが設けられており、
この真空ポンプによって排気が開始される。この排気操
作によって、真空パッド３１ａ内の排気が行なわれる
が、真空パッド３１ａと真空パッド３１ｂとは、自在ダ
クト３５により連結されているため、真空パッド３１ｂ
の室内も同時に排気される。The exhaust port 34a of the vacuum pad 31a is provided with a vacuum pump such as an oil rotary pump (not shown).
Evacuation is started by this vacuum pump. By this exhaust operation, the vacuum pad 31a is exhausted, but since the vacuum pad 31a and the vacuum pad 31b are connected by the universal duct 35, the vacuum pad 31b.
The room is also exhausted at the same time.

【０１２２】なお、この時、真空パネル１１と真空パッ
ド３１ａ，３１ｂとの真空シールは、それぞれパッキン
１５により行なわれるが、真空引き前の状態では真空パ
ッド３１ｂの自重により真空パネル１１が押されて、隙
間のない状態となっているため、排気操作を開始すれ
ば、このシール部が有効に作用し、その結果、真空引き
が有効に行なわれる。At this time, the vacuum panel 11 and the vacuum pads 31a and 31b are vacuum-sealed by the packing 15, respectively. However, in the state before vacuuming, the vacuum panel 11 is pushed by the weight of the vacuum pad 31b. Since there is no gap, when the evacuation operation is started, this seal portion effectively acts, and as a result, the vacuuming is effectively performed.

【０１２３】次に、真空度測定プロセスについて説明す
る。まず、真空ポンプにより真空パッド３１ａ，３１ｂ
内の真空引きを行ないながら、真空計の出力（Ｘ軸）及
び変位センサ４１ａ，４１ｂの出力（Ｙ軸）をプロット
すると、図１１に示すような特性曲線ｅ* を得ることが
できる。Next, the vacuum measurement process will be described. First, the vacuum pads 31a and 31b are vacuum pumped.
When the output of the vacuum gauge (X axis) and the outputs of the displacement sensors 41a and 41b (Y axis) are plotted while vacuuming the inside, a characteristic curve e * as shown in FIG. 11 can be obtained.

【０１２４】ここで、図１１に示す特性曲線ｅは、上述
の第１の実施の形態において述べた内圧測定装置により
得られる特性曲線である。真空パネル１１の充填材１２
が柔らかい場合には、図１１に示すように特性ｅの傾き
は急峻であり、特性ｆとの傾きの差が小さくなる。この
時、特性曲線ｅから求めた例えば、最小自乗法による回
帰直線と特性曲線ｆの部分の回帰直線の交点は、回帰直
線のわずかなばらつきにより動いてしまう。すなわち、
求めたい真空パネル１１内部の真空度Ｐｍの値のばらつ
きも大きくなってしまう。Here, the characteristic curve e shown in FIG. 11 is a characteristic curve obtained by the internal pressure measuring device described in the first embodiment. Filler 12 for vacuum panel 11
When is soft, the slope of the characteristic e is steep as shown in FIG. 11, and the difference in the slope with the characteristic f is small. At this time, for example, the intersection of the regression line obtained by the method of least squares and the regression line of the characteristic curve f moves due to slight variations in the regression line. That is,
The variation in the value of the degree of vacuum Pm inside the vacuum panel 11 to be obtained also becomes large.

【０１２５】これに対し、本実施の形態の内圧測定装置
では、充填材１２の変形量が非常に小さいため、求めた
い変位量Δのみをセンサで測定することができ、この時
得られる測定データは特性曲線ｅ* のように傾きの小さ
なデータとなる。On the other hand, in the internal pressure measuring device according to the present embodiment, since the deformation amount of the filler 12 is very small, it is possible to measure only the desired displacement amount Δ with the sensor, and the measurement data obtained at this time is obtained. Is data having a small inclination like the characteristic curve e * .

【０１２６】この場合、特性曲線ｅ* と特性曲線ｆとの
交点Ｇは、特性曲線ｅと特性曲線ｆとの交点に比べ、ば
らつきの小さなデータとなり、高い精度の測定を行なう
ことができる。以後のコンピュータにより特性曲線から
真空パネル１１内部の真空度を求める方法については、
上述の第１の実施の形態において述べた処理動作と同様
である。In this case, the intersection point G between the characteristic curve e * and the characteristic curve f becomes data with less variation than the intersection point between the characteristic curve e and the characteristic curve f, and highly accurate measurement can be performed. For the subsequent method for obtaining the degree of vacuum inside the vacuum panel 11 from the characteristic curve by the computer,
The processing operation is the same as that described in the first embodiment.

【０１２７】なお、図１１に示すギャップＤの値は、図
１０に示したセンサ４１ａにて測定したデータ（データ
１と記す）でも、センサ４１ｂで測定したデータ（デー
タ２と記す）でもよく、センサ４１ａの測定結果とセン
サ４１ｂの測定結果との重み付け平均値を用いても良
い。The value of the gap D shown in FIG. 11 may be the data measured by the sensor 41a (described as data 1) or the data measured by the sensor 41b (described as data 2) shown in FIG. A weighted average value of the measurement result of the sensor 41a and the measurement result of the sensor 41b may be used.

【０１２８】すなわち、 重み付け平均値＝｛Ｋ1 ×（データ１）＋Ｋ2 ×（デー
タ２）｝／（Ｋ1 ＋Ｋ2 ） （Ｋ1 ，Ｋ2 ：定数）として求めてもよい。That is, the weighted average value = {K 1 × (data 1) + K 2 × (data 2)} / (K 1 + K 2 ) (K 1 , K 2 : constants).

【０１２９】または、ある関数ｇを用いて、 重み付け平均値＝｛Ｋ1 ｇ×（データ１）＋Ｋ2 ｇ×
（データ２）｝／（Ｋ1 ＋Ｋ2 ） として求めてもよい。Alternatively, using a certain function g, the weighted average value = {K 1 g × (data 1) + K 2 g ×
(Data 2)} / (K 1 + K 2 ) may be obtained.

【０１３０】また、これら測定方法を図示しない演算処
理装置で切り替える構成を採用しても良い。特に平均値
を用いる場合には、単一のセンサを用いる場合に比べ
て、外乱に基づくノイズを平均値化の効果により軽減す
ることができるので、さらに測定精度を向上させること
ができる。Further, a configuration may be adopted in which these measuring methods are switched by an arithmetic processing unit (not shown). In particular, when the average value is used, noise due to disturbance can be reduced by the effect of averaging, as compared with the case where a single sensor is used, so that the measurement accuracy can be further improved.

【０１３１】さらに、変位センサ４１ａ，４１ｂを設け
ることにより、変位センサ４１ａの測定結果と変位セン
サ４１ｂとの測定結果との差から真空パネルの上面と下
面の製造上の問題点を推定され、このデータを基に製造
技術の欠点に関するさまざまな知見を得ることができ
る。Further, by providing the displacement sensors 41a and 41b, the manufacturing problem of the upper surface and the lower surface of the vacuum panel is estimated from the difference between the measurement result of the displacement sensor 41a and the measurement result of the displacement sensor 41b. Based on the data, it is possible to obtain various findings regarding the drawbacks of the manufacturing technology.

【０１３２】さらに、図１０においては、真空パッド３
１ｂは、アームを支点にして回転する方法を採用した
が、単に真空パネル上方から載置する方式、或いはスリ
ーブを利用したＺ移動機構でもよく、真空パッド３１ａ
と真空パッド３１ｂの上下のアライメントが合わせられ
る機構であればよい。Further, in FIG. 10, the vacuum pad 3
1b adopts a method of rotating with the arm as a fulcrum, but a method of simply mounting it from above the vacuum panel or a Z moving mechanism using a sleeve may be used.
Any mechanism may be used as long as the upper and lower alignments of the vacuum pad 31b and the vacuum pad 31b can be aligned.

【０１３３】従って、本実施の形態の内圧測定装置によ
れば、柔らかい真空パネルにおいても、大気による変形
によらずに、精度よく真のギャップＤを求めることがで
き、これにより真空パネルの内部真空度の測定精度を正
確に測定することができる。 ＜第３の実施の形態＞上述の実施の形態の内圧測定装置
によれば、柔らかい真空パネルの内圧測定については、
精度よく真空度を測定することができるが、厚さの薄い
真空シール材（試料の外壁の膜をいう）を用いた試料に
ついては以下の問題が残った。Therefore, according to the internal pressure measuring apparatus of the present embodiment, even in a soft vacuum panel, the true gap D can be accurately obtained without being deformed by the atmosphere, whereby the internal vacuum of the vacuum panel can be obtained. The measurement accuracy of the degree can be accurately measured. <Third Embodiment> According to the internal pressure measuring device of the above-described embodiment, regarding the internal pressure measurement of the soft vacuum panel,
Although the degree of vacuum can be measured with high accuracy, the following problems remained with respect to the sample using a thin vacuum sealant (referring to the film on the outer wall of the sample).

【０１３４】すなわち、真空シール材の厚さが例えば数
十μｍ以上の比較的厚いプラスチックフィルムを使用し
た場合はよいが、数十μｍ以下の薄いプラスチックフィ
ルムを使用した場合には、試料内部のコア材（ウレタン
などの特殊な物質で構成されている）と薄いプラスチッ
クフィルムが剥離し、独立に変形する問題が生ずる。That is, it is preferable to use a relatively thick plastic film having a thickness of the vacuum sealing material of, for example, several tens of μm or more, but to use a thin plastic film of several tens of μm or less, the core inside the sample. The material (composed of a special material such as urethane) and the thin plastic film peel off, causing the problem of independent deformation.

【０１３５】具体的には、図１２に示すように、真空パ
ッド１４（部材１５の内側をいう）を真空に引くと、シ
ール材１３の面Ｓｓと充填材１２の面Ｓｃが横方向に滑
り、シール材がわずかに弛んだ状態が発生することにな
る。したがって、このような場合には、正確に真空度を
測定することができなかった。Specifically, as shown in FIG. 12, when the vacuum pad 14 (which means the inside of the member 15) is evacuated, the surface Ss of the sealing material 13 and the surface Sc of the filling material 12 slide laterally. However, a state in which the sealing material is slightly loosened will occur. Therefore, in such a case, the degree of vacuum could not be accurately measured.

【０１３６】特に、シール材として薄いプラスチックフ
ィルムを用いた場合には、このような現象は顕著にな
り、このとき渦電流式変位計１６の出力と圧力計８の出
力との関係は、図４に示したデータを右方向ヘシフトし
たような関係となる。In particular, when a thin plastic film is used as the sealing material, such a phenomenon becomes remarkable, and the relationship between the output of the eddy current displacement gauge 16 and the output of the pressure gauge 8 is shown in FIG. The data has the relationship as if it was shifted to the right.

【０１３７】本実施の形態の内圧測定装置は、シール材
が薄い場合にも、シール材１３の面Ｓｓと充填材１２の
面Ｓｃとを横方向に滑らせることなく、且つシール材を
緩んだ状態にしないようにすることによって正確に内圧
を測定するものである。In the internal pressure measuring apparatus of this embodiment, even when the sealing material is thin, the surface Ss of the sealing material 13 and the surface Sc of the filling material 12 do not slide laterally and the sealing material is loosened. The internal pressure is accurately measured by not setting the state.

【０１３８】図１３は、本発明の第３の実施の形態の内
圧測定装置の部分断面図であり、図１４は、同第３の実
施の形態における内圧測定装置の真空パッドを説明する
ための図である。なお、図１０と同一部分には、同一符
号を付して説明する。FIG. 13 is a partial sectional view of an internal pressure measuring device according to a third embodiment of the present invention, and FIG. 14 is a view for explaining a vacuum pad of the internal pressure measuring device according to the third embodiment. It is a figure. The same parts as those in FIG. 10 will be described with the same reference numerals.

【０１３９】測定対象である真空パネルは充填材１２を
内部に有し、その外周は数十μｍ以下の薄膜であるシー
ル材１３で覆われている。この真空パネルの詳細につい
ては、上述の第１の実施の形態の説明において述べたの
で、ここでは省略する。The vacuum panel to be measured has a filling material 12 inside, and the outer circumference thereof is covered with a sealing material 13 which is a thin film of several tens of μm or less. The details of this vacuum panel have been described in the above description of the first embodiment, and will be omitted here.

【０１４０】同図に示すように、試料である真空パネル
１１を円形の下側真空パッド１４ａと円形の上側真空パ
ッド１４ｂとで相対向するようにして挟み、密着できる
ようにする。下側真空パッド１４ａと上側真空パッド１
４ｂとは、これらの軸が一致するように配置される。As shown in the figure, the vacuum panel 11 as a sample is sandwiched by a circular lower vacuum pad 14a and a circular upper vacuum pad 14b so as to face each other so that they can be adhered to each other. Lower vacuum pad 14a and upper vacuum pad 1
4b is arranged so that these axes coincide with each other.

【０１４１】また、下側真空パッド１４ａと上側真空パ
ッド１４ｂとは、上述の第２の実施の形態において述べ
たように、アーム３２ａ，３２ｂによって回動自在に取
り付けられている。Further, the lower vacuum pad 14a and the upper vacuum pad 14b are rotatably attached by the arms 32a and 32b, as described in the second embodiment.

【０１４２】上記下側真空パッド１４ａと上側真空パッ
ド１４ｂとは、同一の形状をしている。これら下側真空
パッド１４ａと上側真空パッド１４ｂとは、中心に渦電
流式の変位センサ１６ａ，１６ｂが設けられており、こ
の変位センサ１６ａ，１６ｂの周りには円形の開口部を
有する内側真空室５１が形成される。The lower vacuum pad 14a and the upper vacuum pad 14b have the same shape. The lower vacuum pad 14a and the upper vacuum pad 14b are provided with eddy current type displacement sensors 16a, 16b at the center thereof, and an inner vacuum chamber having circular openings around the displacement sensors 16a, 16b. 51 is formed.

【０１４３】さらに、この内側真空室５１の外側には、
同心の二重円（円形の溝）であって、開口部を有する外
側真空室５２が形成される。この内側真空室５１及び外
側真空室５２は、真空パッド内では隔離して形成され
る。すなわち、試料を挟んだ場合は、内側真空室５１及
び外側真空室５２は、全く独立の室として機能する。Further, outside the inner vacuum chamber 51,
An outer vacuum chamber 52 having a concentric double circle (circular groove) and having an opening is formed. The inner vacuum chamber 51 and the outer vacuum chamber 52 are formed separately in the vacuum pad. That is, when the sample is sandwiched, the inner vacuum chamber 51 and the outer vacuum chamber 52 function as completely independent chambers.

【０１４４】さらに、これら内側真空室５１及び外側真
空室５２の開口部には、上述の第１の実施の形態におい
て述べたように、円形形状の（ドーナッツ形状）の円形
パッキン１５ａ，１５ｂが取り付けられる。Further, as described in the first embodiment, circular packings 15a and 15b having a circular shape (donut shape) are attached to the openings of the inner vacuum chamber 51 and the outer vacuum chamber 52. To be

【０１４５】内側真空室５１には、図１４に示すよう
に、内側真空室５１を排気するための内側排気ポート５
３ａと、この内側真空室の真空度を測定するセンサ（隔
膜型真空計やピラニーゲージなど）を取り付けるための
内側ゲージポート５５ａを連結して設けてある。As shown in FIG. 14, the inner vacuum chamber 51 has an inner exhaust port 5 for exhausting the inner vacuum chamber 51.
3a is connected to an inner gauge port 55a for attaching a sensor (diaphragm vacuum gauge, Pirani gauge, etc.) for measuring the degree of vacuum in the inner vacuum chamber.

【０１４６】また、内側排気ポート５３ａ、内側ゲージ
ポート５５ａ、外側排気ポート５４ａ、外側ゲージポー
ト５６ａは、同一平面内において、真空パッドの中心に
対して互いに９０度ずつずらして配置されている。Further, the inner exhaust port 53a, the inner gauge port 55a, the outer exhaust port 54a, and the outer gauge port 56a are arranged on the same plane, offset from each other by 90 degrees with respect to the center of the vacuum pad.

【０１４７】同様に、外側真空室５２においても、外側
排気ポート５４ａと外側ゲージポー卜５６ａを連結して
いる。上側真空パッド１４ｂは下側真空パッド１４ａと
同様の構成で、ゲージポート・排気ポートが設けられて
いる。Similarly, also in the outer vacuum chamber 52, the outer exhaust port 54a and the outer gauge port 56a are connected. The upper vacuum pad 14b has the same structure as the lower vacuum pad 14a and is provided with a gauge port and an exhaust port.

【０１４８】上側真空パッド１４ｂ・下側真空パッド１
４ａの内側排気ポート５３ａと５３ｂは、上述の第２の
実施の形態において説明したような蛇腹形状のステンレ
ス製の自在ダクトで連結されている。外側排気ポート５
４ａ，５４ｂも同様に、自在ダクトで連結されている。Upper vacuum pad 14b / lower vacuum pad 1
The inner exhaust ports 53a and 53b of 4a are connected by a bellows-shaped stainless steel free duct as described in the second embodiment. Outer exhaust port 5
Similarly, 4a and 54b are connected by a flexible duct.

【０１４９】さらに、内側排気ポートの自在ダクトと外
側排気ポートの自在ダクトとは、真空バルブ６１，６
２、ポンプバルブ６４を介して、同一の直径の配管で真
空ポンプ１８に連結されている。この、真空バルブ６
１，６２には、そのコンダクタンスを微妙に調整できる
ニードル調整型バルブを用いている。Further, the flexible duct of the inner exhaust port and the flexible duct of the outer exhaust port are vacuum valves 61, 6 respectively.
2. The vacuum pump 18 is connected to the vacuum pump 18 via the pump valve 64 through a pipe having the same diameter. This vacuum valve 6
1, 62 are needle-adjustable valves whose conductance can be finely adjusted.

【０１５０】次に、本実施の形態の内圧測定装置の測定
動作について説明する。まず、はじめに測定しようとす
るサンプルを、下側真空パッド１４ａの上に載せ、次
に、その上から、上側真空パッド１４ｂを下側真空パッ
ド１４ａと相対向するように被せる。Next, the measuring operation of the internal pressure measuring device of the present embodiment will be described. First, the sample to be measured is first placed on the lower vacuum pad 14a, and then the upper vacuum pad 14b is covered thereon so as to face the lower vacuum pad 14a.

【０１５１】このような操作によって、下側真空パッド
１４ａ、上側真空パッド１４ｂの開口部に設けたパッキ
ン１５ａ，１５ｂが試料（真空パネル）に隙間なく密着
するように配置する。By such an operation, the packings 15a and 15b provided in the openings of the lower vacuum pad 14a and the upper vacuum pad 14b are arranged so as to be tightly attached to the sample (vacuum panel).

【０１５２】次に、真空ポンプ１８を回転し、ポンプバ
ルプ６４と真空バルブ６２を開いて、下側真空パッド１
４ａ及び上側真空パッド１４ｂの外側真空室５２の真空
引きを開始する。なお、このとき、当然、リークバルブ
６５は、閉止状態にある。Next, the vacuum pump 18 is rotated, the pump valve 64 and the vacuum valve 62 are opened, and the lower vacuum pad 1
4a and the outer vacuum chamber 52 of the upper vacuum pad 14b are evacuated. At this time, naturally, the leak valve 65 is in a closed state.

【０１５３】この操作によって、試料のシール材１３は
外側真空室５２の開口部に吸引される。この結果、パッ
キン１５ｂよりも外側のシール材（すなわち内側真空室
の開口部に相当する部分）は、外側に引っ張られた状態
となり、弛みなくはられた状態とすることができる。も
ちろん、このとき、シール材がはられた状態、開口部に
対する吸引状態は、下側真空パッド１４ａ及び上側真空
パッド１４ｂで同じである。By this operation, the sample sealing material 13 is sucked into the opening of the outer vacuum chamber 52. As a result, the sealing material on the outside of the packing 15b (that is, the portion corresponding to the opening of the inner vacuum chamber) is pulled outward and can be in a loosened state. Of course, at this time, the state in which the sealing material is peeled off and the suction state for the opening is the same for the lower vacuum pad 14a and the upper vacuum pad 14b.

【０１５４】真空引きによって、外側真空室５２の真空
度は徐々に高真空状態になる。外側ゲージポート５６
ａ，５６ｂに設けた真空計によって、外側真空室５２を
測定し、測定した真空度Ｖｏが、試料の内部真空度（測
定前は推定値がこの値になる）Ｖseよりも十分高真空に
なるまで、この操作を継続する。The vacuum degree of the outer vacuum chamber 52 is gradually brought to a high vacuum state by evacuation. Outer gauge port 56
The outer vacuum chamber 52 is measured by the vacuum gauges provided at a and 56b, and the measured vacuum degree Vo is sufficiently higher than the internal vacuum degree Vse of the sample (the estimated value becomes this value before measurement) Vse. Continue this operation until.

【０１５５】真空度ＶｏがＶse（推定値）よりも十分高
真空になった時点（Ｖｏ《Ｖse）で、真空バルブ６１を
開く（この時当然リークバルブ６３，６５は閉止）。こ
の操作によって、内側真空室５１も真空引きが開始さ
れ、内側真空室５１の真空度Ｖｉは徐々に、外側真空室
５２の真空度Ｖｏに近づくことになる。When the degree of vacuum Vo becomes sufficiently higher than Vse (estimated value) (Vo << Vse), the vacuum valve 61 is opened (at this time, the leak valves 63 and 65 are naturally closed). By this operation, the vacuuming of the inner vacuum chamber 51 is also started, and the degree of vacuum Vi of the inner vacuum chamber 51 gradually approaches the degree of vacuum Vo of the outer vacuum chamber 52.

【０１５６】ここで、バルブ６２のコンダクタンスＣo
とバルブ６１のコンダクタンスＣiはあらかじめＣo ＜
Ｃi のように設定しておく。このようにすると、真空バ
ルブ６２と真空バルブ６１は同一の直径の配管を利用し
て連結して真空ポンプ１８で真空引きするので、外側真
空室５２の到達真空度Ｖｏは内側真空室５１の到達真空
度Ｖｉより、より高真空の状態に維持する（０＜Ｖｏ＜
Ｖｉ）。Here, the conductance C o of the valve 62.
And the conductance C i of the valve 61 is C o <
Set like C i . In this way, the vacuum valve 62 and the vacuum valve 61 are connected using a pipe having the same diameter and the vacuum pump 18 evacuates the vacuum, so that the vacuum level Vo reached by the outer vacuum chamber 52 reaches the inner vacuum chamber 51. Maintain a higher vacuum than the degree of vacuum Vi (0 <Vo <
Vi).

【０１５７】実際の測定においては、真空ポンプを十分
動作させることによって、０＜Ｖｏ＜Ｖｉ＜Ｖseの状態
となるようにする。そして、下側真空パッド１４ａの渦
電流式変位計１６ａの出力値（ギャップＤに相当）と内
側ゲージポートに設けられた真空計１９の測定圧力値
（真空度Ｂに相当）とから、上述の第１の実施の形態に
おいて述べたように、コンピュータ２１によって特性曲
線を算出し、この算出された特性曲線から真空パネル１
１の内圧を測定する。In the actual measurement, the vacuum pump is sufficiently operated so that 0 <Vo <Vi <Vse. Then, from the output value (corresponding to the gap D) of the eddy current displacement gauge 16a of the lower vacuum pad 14a and the measured pressure value (corresponding to the vacuum degree B) of the vacuum gauge 19 provided at the inner gauge port, As described in the first embodiment, the characteristic curve is calculated by the computer 21, and the vacuum panel 1 is calculated from the calculated characteristic curve.
The internal pressure of 1 is measured.

【０１５８】なお、上述の内圧測定装置においては、下
側の渦電流式変位計１６ａからの信号に基づいて信号処
理を行なう場合について説明したが、上側の渦電流式変
位計１６ｂからの信号に基づいて信号処理を行なっても
よい。In the above-described internal pressure measuring device, the case where the signal processing is performed based on the signal from the lower eddy current displacement meter 16a has been described, but the signal from the upper eddy current displacement meter 16b is used. Signal processing may be performed based on this.

【０１５９】また、上述の第２の実施の形態において述
べたように、下側真空パッド１４ａの渦電流式変位計１
６ａからのデータ及び上側の渦電流式変位計１６ｂから
のデータ双方を使用して信号処理を行なってもよい。Also, as described in the second embodiment, the eddy current displacement gauge 1 for the lower vacuum pad 14a is used.
Signal processing may be performed using both the data from 6a and the data from the upper eddy current displacement gauge 16b.

【０１６０】従って、本実施の形態の内圧測定装置によ
れば、真空パネル１１のシール材１３が数百μｍ以下の
薄膜である場合にも、外側真空室５２の真空度を内側真
空室５１の真空度よりも高くすることにより、シール材
１３を吸引し、横方向に滑りを生じさせず引ぱった状態
にして真空パネル１１の内圧を測定するので、精度よ
く、且つ高速に内圧を測定することができる。Therefore, according to the internal pressure measuring apparatus of the present embodiment, even when the sealing material 13 of the vacuum panel 11 is a thin film having a thickness of several hundred μm or less, the vacuum degree of the outer vacuum chamber 52 is set to that of the inner vacuum chamber 51. By making the degree of vacuum higher than the degree of vacuum, the internal pressure of the vacuum panel 11 is measured in a state where the sealing material 13 is sucked and pulled in the lateral direction without causing slippage, so that the internal pressure can be measured accurately and at high speed. be able to.

【０１６１】[0161]

【発明の効果】以上詳記したように、本発明によれば、
少なくとも一部が薄膜からなる密閉された密閉容器の薄
膜の表面状態が悪くても、精度よく、且つ高速に内圧を
測定することができる内圧測定方法及びその装置を提供
することができる。As described above in detail, according to the present invention,
It is possible to provide an internal pressure measuring method and apparatus capable of measuring the internal pressure with high accuracy and at high speed even if the surface state of the thin film of the hermetically sealed container at least a part of which is a thin film is poor.

【０１６２】また、本発明によれば、設置コストが安価
であり、且つ密閉容器の内圧を局所的に測定することの
できる内圧測定方法及びその装置を提供することができ
る。さらに、本発明によれば、非常に薄い薄膜からなる
密閉容器であっても、正確にその内圧を測定することが
できる内圧測定方法及びその装置を提供することができ
る。Further, according to the present invention, it is possible to provide an internal pressure measuring method and its apparatus which are inexpensive to install and can locally measure the internal pressure of the closed container. Further, according to the present invention, it is possible to provide an internal pressure measuring method and apparatus capable of accurately measuring the internal pressure of a closed container made of a very thin thin film.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】本発明の第１の実施の形態に係る内圧測定装置
の構成を示す図である。FIG. 1 is a diagram showing a configuration of an internal pressure measuring device according to a first embodiment of the present invention.

【図２】同実施の形態におけるＡ部のパッキンの拡大図
を示す図である。FIG. 2 is an enlarged view of a packing of a portion A in the same embodiment.

【図３】同実施の形態におけるパッキンの変形を説明す
るための図である。FIG. 3 is a diagram for explaining the deformation of the packing in the same embodiment.

【図４】同実施の形態における真空度信号Ｂと変位信号
Ｄとの関係を示す図である。FIG. 4 is a diagram showing a relationship between a vacuum degree signal B and a displacement signal D in the same embodiment.

【図５】最小自乗法を説明するための図である。FIG. 5 is a diagram for explaining the least squares method.

【図６】最小自乗法を説明するための図である。FIG. 6 is a diagram for explaining the least squares method.

【図７】最小自乗法を説明するための図である。FIG. 7 is a diagram for explaining the least squares method.

【図８】最小自乗法を説明するための図である。FIG. 8 is a diagram for explaining the least squares method.

【図９】真空パッドの変位量を説明するための図であ
る。FIG. 9 is a diagram for explaining a displacement amount of a vacuum pad.

【図１０】本発明の第２の実施の形態に係る内圧測定装
置を説明するための図である。FIG. 10 is a diagram for explaining an internal pressure measuring device according to a second embodiment of the present invention.

【図１１】同実施の形態における内圧測定装置の測定結
果を説明するための図である。FIG. 11 is a diagram for explaining measurement results of the internal pressure measurement device according to the same embodiment.

【図１２】薄いシール材を使用した場合の問題点を説明
するための図である。FIG. 12 is a diagram for explaining a problem when a thin sealing material is used.

【図１３】本発明の第３の実施の形態の内圧測定装置の
部分断面図である。FIG. 13 is a partial cross-sectional view of an internal pressure measuring device according to a third embodiment of the present invention.

【図１４】同第３の実施の形態における内圧測定装置の
真空パッドを説明するための図である。FIG. 14 is a diagram for explaining a vacuum pad of the internal pressure measuring device according to the third embodiment.

【図１５】従来の真空パッドを使用した内圧測定装置の
構成を示す図である。FIG. 15 is a diagram showing a configuration of an internal pressure measuring device using a conventional vacuum pad.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１…密封容器、 ２…薄膜、 ３…真空パッド、 ４…多孔性部材、 ５…導管、 ６…加減圧装置、 ７…投光器、 ８…圧力計、 １１…真空パネル、 １２…充填材、 １３…シール材、 １４…真空パッド、 １５…パッキン、 １６…渦電流式変位計、 １７…変位計アンプ、 １８…真空ポンプ、 １９…ピラニ真空計、 ２０…真空計アンプ、 ２１…コンピュータ、 ３１ａ，３１ｂ…真空パッド、 ３２ａ，３２ｂ…アーム、 ３３…ジョイント、 ３４ａ，３４ｂ…排気口、 ３５…自在ダクト、 ４１ａ，４１ｂ…センサ、 ５１…内側真空室、 ５２…外側真空室、 ５３ａ，５３ｂ…内側排気ポート、 ５４ａ，５４ｂ…外側排気ポート、 ５５ａ…内側ゲージポート、 ５６ａ…外側ゲージポー卜、 ６１，６２…真空バルブ、 ６３，６５…リークバルブ、 ６４…ポンプバルブ。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Sealed container, 2 ... Thin film, 3 ... Vacuum pad, 4 ... Porous member, 5 ... Conduit, 6 ... Pressurizing / depressurizing device, 7 ... Projector, 8 ... Pressure gauge, 11 ... Vacuum panel, 12 ... Filler, 13 ... Sealing material, 14 ... Vacuum pad, 15 ... Packing, 16 ... Eddy current displacement gauge, 17 ... Displacement gauge amplifier, 18 ... Vacuum pump, 19 ... Pirani vacuum gauge, 20 ... Vacuum gauge amplifier, 21 ... Computer, 31a, 31b ... vacuum pad, 32a, 32b ... arm, 33 ... joint, 34a, 34b ... exhaust port, 35 ... universal duct, 41a, 41b ... sensor, 51 ... inner vacuum chamber, 52 ... outer vacuum chamber, 53a, 53b ... inner Exhaust port, 54a, 54b ... Outer exhaust port, 55a ... Inner gauge port, 56a ... Outer gauge port, 61, 62 ... Vacuum valve, 63, 65 ... Leak valve 64 ... pump valve.

Claims (18)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 少なくとも一部が薄膜からなる密閉容器
の前記薄膜に対し、真空パッドに設けられた測定室の開
口部を密着させ、この状態で、前記測定室内の気圧を減
圧又は加圧することにより生ずる前記薄膜の変位量及び
前記測定室内の気圧を検出することにより前記密閉容器
の内圧を測定する内圧測定方法において、 前記薄膜の変位量及び前記気圧から前記変位量と気圧と
の関係を示す特性曲線を求め、前記特性曲線の微分係数
の変化点に対応する前記気圧のうち、前記薄膜の変位量
が所定の範囲外の領域に存する前記変化点の近傍に対応
する前記気圧から前記密閉容器の内圧を求めることを特
徴とする内圧測定方法。1. An opening of a measurement chamber provided in a vacuum pad is brought into close contact with the thin film of a hermetically sealed container at least a part of which is thin film, and in this state, the atmospheric pressure in the measurement chamber is reduced or increased. In the internal pressure measuring method of measuring the internal pressure of the closed container by detecting the displacement amount of the thin film and the atmospheric pressure in the measurement chamber, the relationship between the displacement amount and the atmospheric pressure is shown from the displacement amount and the atmospheric pressure of the thin film. Obtaining a characteristic curve, of the atmospheric pressure corresponding to the changing point of the differential coefficient of the characteristic curve, from the atmospheric pressure corresponding to the vicinity of the changing point in the region where the displacement amount of the thin film is outside the predetermined range, from the airtight container A method for measuring internal pressure, characterized in that the internal pressure of is determined. 【請求項２】 前記密閉容器の内圧を求める方法は、前
記特性曲線における、前記測定室内の圧力が前記密閉容
器の内圧より高いことを示す第１の領域と、前記測定室
内の圧力が前記密閉容器の内圧より低いことを示す第２
の領域とに対して曲線或いは直線をあてはめ、これらの
交点或いはその近傍に対応する前記気圧から前記密閉容
器の内圧を求めることを特徴とする請求項１記載の内圧
測定方法。2. The method for determining the internal pressure of the closed container comprises: a first region in the characteristic curve showing that the pressure in the measurement chamber is higher than the internal pressure of the closed container; and the pressure in the measurement chamber is the closed region. Second indicating lower than internal pressure of container
2. The internal pressure measuring method according to claim 1, wherein a curved line or a straight line is fitted to the area and the internal pressure of the closed container is determined from the atmospheric pressure corresponding to the intersection or the vicinity thereof. 【請求項３】 前記特性曲線の各領域に対して曲線或い
は直線をあてはめる方法は、最小自乗法或いは前記特性
曲線の近似曲線を求める方法により行なうことを特徴と
する請求項２記載の内圧測定方法。3. The internal pressure measuring method according to claim 2, wherein the method of fitting a curve or a straight line to each region of the characteristic curve is performed by a least square method or a method of obtaining an approximate curve of the characteristic curve. . 【請求項４】 少なくとも一部が薄膜からなる密閉容器
の前記薄膜に対し、一部が開口している測定室の開口部
を密着させて、前記薄膜の変位量を検出する真空パッド
と、 前記真空パッドの測定室内の気圧を加減圧する加減圧装
置と、 前記測定室内の気圧を検出する圧力計と、 前記真空パッドにて検出された変位量及び前記圧力計に
て検出された気圧から前記変位量と気圧との関係を示す
特性曲線を算出する特性曲線算出手段と、 前記特性曲線の微分係数の変化点に対応する前記気圧の
うち、前記薄膜の変位量が所定の範囲外の領域に有する
前記変化点の近傍に対応する前記気圧から前記密閉容器
の内圧を求める内圧演算手段とを具備したことを特徴と
する内圧測定装置。4. A vacuum pad for detecting an amount of displacement of the thin film by closely contacting an opening of a measurement chamber, which is partially open, with the thin film of the closed container at least a part of which is a thin film, A pressurizing / depressurizing device that pressurizes / depressurizes the atmospheric pressure in the measurement chamber of the vacuum pad, a pressure gauge that detects the atmospheric pressure in the measurement chamber, and a displacement amount detected by the vacuum pad and the atmospheric pressure detected by the pressure gauge. Characteristic curve calculating means for calculating a characteristic curve showing the relationship between the displacement amount and the atmospheric pressure, and of the atmospheric pressure corresponding to the change point of the differential coefficient of the characteristic curve, in a region where the displacement amount of the thin film is outside a predetermined range. An internal pressure measuring device, comprising: an internal pressure calculating means for obtaining an internal pressure of the closed container from the atmospheric pressure corresponding to the vicinity of the change point. 【請求項５】 前記内圧演算手段は、 前記特性曲線算出手段より算出された特性曲線におけ
る、前記測定室内の圧力が前記密閉容器の内圧より高い
ことを示す第１の領域と、前記測定室内の圧力が前記密
閉容器の内圧より低いことを示す第２の領域とに対して
それぞれ曲線或いは直線をあてはめる特性曲線近似手段
と、 前記特性曲線近似手段によってあてはめられた各直線或
いは曲線の交点から前記密閉容器の内圧を求める交点演
算手段とからなることを特徴とする請求項４記載の内圧
測定装置。5. The internal pressure calculation means includes a first region in the characteristic curve calculated by the characteristic curve calculation means, which indicates that the pressure inside the measurement chamber is higher than the internal pressure of the closed container, and inside the measurement chamber. A characteristic curve approximating means for fitting a curve or a straight line to the second region indicating that the pressure is lower than the internal pressure of the closed container, and the sealing from the intersection of each straight line or the curve fitted by the characteristic curve approximating means. The internal pressure measuring device according to claim 4, further comprising an intersection point calculating means for obtaining the internal pressure of the container. 【請求項６】 前記特性曲線の各領域に対して直線或い
は曲線を当てはめる方法は、最小自乗法或いは前記特性
曲線の近似曲線を求める方法により行なうことを特徴と
する請求項５記載の内圧測定装置。6. The internal pressure measuring device according to claim 5, wherein the method of fitting a straight line or a curve to each region of the characteristic curve is performed by a least square method or a method of obtaining an approximate curve of the characteristic curve. . 【請求項７】 前記真空パッドの前記薄膜に接触する部
分に、弾性体をパッキンとして前記開口部に対して突出
するよう取り付けたことを特徴とする請求項４記載の内
圧測定装置。7. The internal pressure measuring device according to claim 4, wherein an elastic body is attached to a portion of the vacuum pad that comes into contact with the thin film so as to protrude from the opening. 【請求項８】 前記弾性体の突出量は、前記測定室を真
空にした状態で前記弾性体にかかる荷重及び前記弾性体
が前記薄膜に密着する面積に基づいて最適化されている
ことを特徴とする請求項７記載の内圧測定装置。8. The amount of protrusion of the elastic body is optimized based on a load applied to the elastic body in a state where the measurement chamber is evacuated and an area in which the elastic body adheres to the thin film. The internal pressure measuring device according to claim 7. 【請求項９】 前記真空パッドは、渦電流に基づいて検
出を行なう変位検出器を備えていることを特徴とする請
求項４記載の内圧測定装置。9. The internal pressure measuring device according to claim 4, wherein the vacuum pad includes a displacement detector that performs detection based on an eddy current. 【請求項１０】 少なくとも一部が薄膜からなる密閉容
器の前記薄膜に対し、一部が開口している測定室の開口
部を密着させて、前記薄膜の変位量を検出する第１の真
空パッドと、 前記第１の真空パッドに対して対向配置され、前記密閉
容器の前記薄膜に対し、一部が開口している測定室の開
口部を密着させて、前記薄膜の変位量を検出する第２の
真空パッドと、 前記第１の真空パッド及び前記第２の真空パッドの測定
室内の気圧を加減圧する加減圧手段と、 前記加減圧手段により加減圧されたのちの前記第１の真
空パッド及び前記第２の真空パッドの測定室内の気圧を
検出する圧力検出手段と、 前記第１の真空パッド及び前記第２の真空パッドにて検
出された各変位量及び前記圧力検出手段にて検出された
各真空パッドの測定室内の気圧から前記密閉容器の変位
量と気圧との関係を示す特性曲線を算出する特性曲線算
出手段と、 前記特性曲線の微分係数の変化点に対応する前記気圧の
うち、前記薄膜の変位量が所定の範囲外の領域に存する
前記変化点の近傍に対応する前記気圧から前記密閉容器
の内圧を求める内圧演算手段とを具備したことを特徴と
する内圧測定装置。10. A first vacuum pad for detecting an amount of displacement of the thin film by closely adhering an opening of a measurement chamber, which is partially open, to the thin film of a closed container at least a part of which is a thin film. And a displacement amount of the thin film, which is arranged so as to face the first vacuum pad and is brought into close contact with the thin film of the hermetically sealed container, with an opening of a measurement chamber partially opened. A second vacuum pad; a pressurizing / depressurizing means for pressurizing / depressurizing the atmospheric pressure in the measurement chamber of the first vacuum pad and the second vacuum pad; and the first vacuum pad after pressurizing / depressurizing by the pressurizing / depressurizing means. And pressure detection means for detecting the atmospheric pressure in the measurement chamber of the second vacuum pad, the displacement amounts detected by the first vacuum pad and the second vacuum pad, and the pressure detection means. Atmospheric pressure inside the measuring chamber of each vacuum pad From the atmospheric pressure corresponding to the change point of the differential coefficient of the characteristic curve, a characteristic curve calculation means for calculating a characteristic curve showing the relationship between the displacement amount of the closed container and the atmospheric pressure, and the displacement amount of the thin film is predetermined. An internal pressure measuring device, comprising: an internal pressure calculating means for calculating an internal pressure of the closed container from the atmospheric pressure corresponding to the vicinity of the change point existing in a region outside the range. 【請求項１１】 少なくとも一部が薄膜からなる密閉容
器の前記薄膜に対し、一部が開口している測定室の開口
部及び前記測定室の外周に設けられ一部が開口している
真空室の開口部を密着させて、前記薄膜の変位量を検出
する第１の真空パッドと、 前記第１の真空パッドに対して対向配置され、前記密閉
容器の前記薄膜に対し、一部が開口している測定室の開
口部及び前記測定室の外周に設けられ一部が開口してい
る真空室の開口部を密着させて、前記薄膜の変位量を検
出する第２の真空パッドと、 前記第１の真空パッド及び前記第２の真空パッドの測定
室及び真空室内の気圧を加減圧する加減圧手段と、 前記加減圧手段により加減圧された前記第１の真空パッ
ドの測定室及び前記第２の真空パッドの測定室内の気圧
を検出する圧力検出手段と、 前記第１の真空パッドにて検出された変位量及び前記第
２の真空パッドにて検出された変位量のうち少なくとも
一方の変位量又は各変位量の平均及び前記圧力検出手段
にて検出された前記第１の真空パッド及び前記第２の真
空パッドの測定室内の気圧から前記密閉容器の変位量と
気圧との関係を示す特性曲線を算出する特性曲線算出手
段と、 前記特性曲線の微分係数の変化点に対応する前記気圧の
うち、前記薄膜の変位量が所定の範囲外の領域に存する
前記変化点の近傍に対応する前記気圧から前記密閉容器
の内圧を求める内圧演算手段とを具備したことを特徴と
する内圧測定装置。11. A vacuum chamber which is provided at an opening of a measurement chamber which is partially open and a part of which is open at the outer periphery of the measurement chamber with respect to the thin film of the closed container which is at least partially made of a thin film. And a first vacuum pad that detects the amount of displacement of the thin film by closely adhering the openings of the first thin film and the first vacuum pad. A second vacuum pad for detecting the amount of displacement of the thin film by closely contacting the opening of the measurement chamber and the opening of the vacuum chamber that is provided on the outer periphery of the measurement chamber and is partially open; A first pressure pad and a second pressure measurement chamber of the second pressure pad, and a pressure increasing / decreasing unit for increasing / decreasing the air pressure in the vacuum chamber; a pressure measuring unit for increasing / decreasing the pressure of the first vacuum pad; Pressure detection hand to detect the atmospheric pressure in the measurement room of the vacuum pad A step, at least one of the displacement amount detected by the first vacuum pad and the displacement amount detected by the second vacuum pad, or the average of the displacement amounts, and the pressure detection means. Characteristic curve calculating means for calculating a characteristic curve showing the relationship between the displacement amount and the atmospheric pressure of the closed container from the detected atmospheric pressures of the measurement chambers of the first vacuum pad and the second vacuum pad; Among the atmospheric pressure corresponding to the change point of the differential coefficient, an internal pressure calculating means for obtaining the internal pressure of the closed container from the atmospheric pressure corresponding to the vicinity of the change point existing in the region where the displacement amount of the thin film is outside a predetermined range. An internal pressure measuring device characterized by being provided. 【請求項１２】 前記内圧演算手段は、 前記特性曲線算出手段より算出された特性曲線におけ
る、前記測定室内の圧力が前記密閉容器の内圧より高い
ことを示す第１の領域と、前記測定室内の圧力が前記密
閉容器の内圧より低いことを示す第２の領域とに対して
それぞれ曲線或いは直線をあてはめる特性曲線近似手段
と、 前記特性曲線近似手段によってあてはめられた各直線或
いは曲線の交点から前記密閉容器の内圧を求める交点演
算手段とからなることを特徴とする請求項１０又は請求
項１１記載の内圧測定装置。12. The internal pressure calculation means includes a first region in the characteristic curve calculated by the characteristic curve calculation means, which indicates that the pressure in the measurement chamber is higher than the internal pressure of the closed container, and the inside of the measurement chamber. A characteristic curve approximating means for fitting a curve or a straight line to the second region indicating that the pressure is lower than the internal pressure of the closed container, and the sealing from the intersection of each straight line or the curve fitted by the characteristic curve approximating means. The internal pressure measuring device according to claim 10 or 11, characterized in that the internal pressure measuring device comprises an intersecting point calculating means for obtaining an internal pressure of the container. 【請求項１３】 前記特性曲線の各領域に対して直線或
いは曲線を当てはめる方法は、最小自乗法或いは前記特
性曲線の近似曲線を求める方法により行なうことを特徴
とする請求項１２記載の内圧測定装置。13. The internal pressure measuring device according to claim 12, wherein a method of fitting a straight line or a curve to each region of the characteristic curve is performed by a least square method or a method of obtaining an approximate curve of the characteristic curve. . 【請求項１４】 前記第１の真空パッド及び前記第２の
真空パッドの前記薄膜に接触する部分に、弾性体をパッ
キンとして前記開口部に対して突出するよう取り付けた
ことを特徴とする請求項１０記載の内圧測定装置。14. The elastic member as a packing is attached to a portion of the first vacuum pad and the second vacuum pad that comes into contact with the thin film so as to project from the opening. 10. The internal pressure measuring device according to 10. 【請求項１５】 前記第１の真空パッド及び前記第２の
真空パッドの前記薄膜に接触する部分に、弾性体をパッ
キンとして前記開口部に対して突出するよう取り付けた
ことを特徴とする請求項１１記載の内圧測定装置。15. The elastic member as a packing is attached to a portion of the first vacuum pad and the second vacuum pad that comes into contact with the thin film so as to project from the opening. 11. The internal pressure measuring device according to 11. 【請求項１６】 前記弾性体の突出量は、前記測定室を
真空にした状態で前記弾性体にかかる荷重及び前記弾性
体が前記薄膜に密着する面積に基づいて最適化されてい
ることを特徴とする請求項１４又は請求項１５記載の内
圧測定装置。16. The amount of protrusion of the elastic body is optimized based on the load applied to the elastic body and the area where the elastic body adheres to the thin film in a state where the measurement chamber is evacuated. The internal pressure measuring device according to claim 14 or 15. 【請求項１７】 前記第１の真空パッド及び前記第２の
真空パッドは、渦電流に基づいて検出を行なう変位検出
器を備えていることを特徴とする請求項１０又は請求項
１１記載の内圧測定装置。17. The internal pressure according to claim 10 or 11, wherein each of the first vacuum pad and the second vacuum pad is provided with a displacement detector that performs detection based on an eddy current. measuring device. 【請求項１８】 少なくとも一部が薄膜からなる密閉容
器の前記薄膜に対し、一部が開口している測定室の開口
部及び前記測定室の外周に設けられ一部が開口している
真空室の開口部を密着させて、前記薄膜の変位量を検出
する第１の真空パッドと、 前記第１の真空パッドに対して対向配置され、前記密閉
容器の前記薄膜に対し、一部が開口している測定室の開
口部及び前記測定室の外周に設けられ一部が開口してい
る真空室の開口部を密着させて、前記薄膜の変位量を検
出する第２の真空パッドと、 前記第１の真空パッド及び前記第２の真空パッドの測定
室及び真空室内の気圧を加減圧する加減圧手段と、 前記加減圧手段により加減圧された前記第１の真空パッ
ドの測定室及び前記第２の真空パッドの測定室内の気圧
を検出する圧力検出手段と、 前記第１の真空パッドにて検出された変位量及び前記第
２の真空パッドにて検出された変位量のうち少なくとも
一方の変位量及び前記圧力検出手段にて検出された前記
第１の真空パッド及び前記第２の真空パッドの測定室内
の気圧から前記密閉容器の変位量と気圧との関係を示す
特性曲線を算出する特性曲線算出手段と、 前記特性曲線の微分係数の変化点に対応する前記気圧の
うち、前記薄膜の変位量が所定範囲外の領域に存する前
記変化点の近傍に対応する前記気圧から前記密閉容器の
内圧を求める内圧演算手段とを具備した内圧測定装置の
内圧測定方法において、 前記加減圧手段によって前記第１の真空パッド及び前記
第２の真空パッドの真空室内の気圧を減圧し、 前記加減圧手段によって前記第１の真空パッド及び前記
第２の真空パッドの測定室内の気圧を前記第１の真空パ
ッド及び前記第２の真空パッドの真空室内の気圧よりも
低い真空度に減圧し、 前記特性曲線算出手段により前記第１の真空パッドにて
検出された変位量及び前記第２の真空パッドにて検出さ
れた変位量のうち少なくとも一方の変位量又は各変位量
の平均及び前記圧力検出手段にて検出された前記第１の
真空パッド及び前記第２の真空パッドの測定室内の気圧
から前記密閉容器の変位量と気圧との関係を示す特性曲
線を算出し、 前記内圧演算手段により前記特性曲線の微分係数の変化
点に対応する前記気圧のうち、前記薄膜の変位量が所定
の範囲外の領域に存する前記変化点の近傍に対応する前
記気圧から前記密閉容器の内圧を求めることを特徴とす
る内圧測定方法。18. A vacuum chamber which is provided at an opening of a measurement chamber which is partially open and a part of which is open at the outer periphery of the measurement chamber with respect to the thin film of an airtight container which is at least partially made of a thin film And a first vacuum pad that detects the amount of displacement of the thin film by closely adhering the openings of the first thin film and the first vacuum pad. A second vacuum pad for detecting the amount of displacement of the thin film by closely contacting the opening of the measurement chamber and the opening of the vacuum chamber that is provided on the outer periphery of the measurement chamber and is partially open; A first pressure pad and a second pressure measurement chamber of the second pressure pad, and a pressure increasing / decreasing unit for increasing / decreasing the air pressure in the vacuum chamber; a pressure measuring unit for increasing / decreasing the pressure of the first vacuum pad; Pressure detection hand to detect the atmospheric pressure in the measurement room of the vacuum pad A step, at least one of a displacement amount detected by the first vacuum pad and a displacement amount detected by the second vacuum pad, and the first displacement detected by the pressure detection means. Characteristic curve calculating means for calculating a characteristic curve showing the relationship between the displacement amount and the atmospheric pressure of the closed container from the atmospheric pressures in the measurement chambers of the vacuum pad and the second vacuum pad, and at the change point of the differential coefficient of the characteristic curve. Of the corresponding atmospheric pressure, the internal pressure of the internal pressure measuring device comprising an internal pressure calculating means for determining the internal pressure of the closed container from the atmospheric pressure corresponding to the vicinity of the change point in the region where the displacement amount of the thin film is outside the predetermined range. In the measurement method, the pressure in the vacuum chamber of the first vacuum pad and the second vacuum pad is reduced by the pressure increasing / decreasing unit, and the first vacuum pad and the second vacuum pad are reduced by the pressure increasing / decreasing unit. The atmospheric pressure in the measurement chamber of the vacuum pad is reduced to a vacuum degree lower than the atmospheric pressure in the vacuum chamber of the first vacuum pad and the second vacuum pad, and the characteristic curve calculating means detects the pressure in the first vacuum pad. Of at least one of the displacement amount detected and the displacement amount detected by the second vacuum pad, or the average of the displacement amounts, and the first vacuum pad and the first vacuum pad detected by the pressure detecting means. A characteristic curve indicating the relationship between the displacement amount of the closed container and the atmospheric pressure is calculated from the atmospheric pressure in the measurement chamber of the second vacuum pad, and the internal pressure calculating means calculates the characteristic pressure among the atmospheric pressures corresponding to the change points of the differential coefficient of the characteristic curve. The internal pressure measuring method is characterized in that the internal pressure of the closed container is obtained from the atmospheric pressure corresponding to the vicinity of the change point existing in a region where the displacement amount of the thin film is outside a predetermined range.
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