JPH09161870A - Elastomer connector and its manufacture - Google Patents
Elastomer connector and its manufactureInfo
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- JPH09161870A JPH09161870A JP32138795A JP32138795A JPH09161870A JP H09161870 A JPH09161870 A JP H09161870A JP 32138795 A JP32138795 A JP 32138795A JP 32138795 A JP32138795 A JP 32138795A JP H09161870 A JPH09161870 A JP H09161870A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、表面実装型ICパッ
ケージ、特にBGA(Ball Grid Array)、LGA(Land Grid Ar
ray)、PLCC（Plastic Leaded Chip Carrier)、LCC(Lead
less Chip Carrier)、高密度QFP(Quad Flat Package)等
の検査、あるいは前記ICパッケージと検査回路基板また
は電子回路基板等を接続するために用いられる分解能が
高く、柔軟性を有するエラストマーコネクタ及びその製
造方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a surface mount type IC package, particularly BGA (Ball Grid Array), LGA (Land Grid Ar).
ray), PLCC (Plastic Leaded Chip Carrier), LCC (Lead
less chip carrier), high-density QFP (Quad Flat Package) inspection, or high resolution and flexible elastomer connector used for connecting the IC package and the inspection circuit board or electronic circuit board, etc. Regarding the method.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、表面実装型ICパッケージを検査回
路基板や電子回路基板等と接続する場合、検査回路基板
や電子回路基板等の回路端子に、直接、表面実装型ICパ
ッケージの端子を、押え治具または半田付けにより接続
するか、あるいはICソケットを用いて前記回路基板を接
続する方法が一般に知られている。また、絶縁性エラス
トマーシート中に、金属細線をその厚さ方向に平行に貫
通状に埋設（傾斜角度 0°）させた金属系コネクタや、
この金属細線を厚さ方向に対して45°の傾斜角度で一定
方向に配列して、貫通状に埋設させた金属系コネクタも
知られている。この45°傾斜させたときのオフセット量
は、絶縁性エラストマーシートの肉厚に等しい。なお、
オフセット量とは、シート（またはコネクタ）中に配設
された金属細線が厚さ方向に対してある角度で傾斜して
いるとき、傾斜によって生じた厚さに直角な方向への距
離がその厚さにおける偏差量であり、この偏差量に等し
い量をいう。また、オフセット方向とは、傾斜している
金属細線のその傾斜の方向を厚さに直角な方向で示した
ものである。2. Description of the Related Art Conventionally, when a surface mount type IC package is connected to an inspection circuit board or an electronic circuit board, the terminals of the surface mount type IC package are directly connected to the circuit terminals of the inspection circuit board or the electronic circuit board. A method of connecting by a holding jig or soldering, or connecting the circuit board by using an IC socket is generally known. In addition, a metal-based connector in which a fine metal wire is embedded in a penetrating manner (inclination angle 0 °) parallel to the thickness direction in an insulating elastomer sheet,
There is also known a metal-based connector in which the thin metal wires are arranged in a fixed direction at an inclination angle of 45 ° with respect to the thickness direction and embedded in a penetrating manner. The offset amount when tilted at 45 ° is equal to the thickness of the insulating elastomer sheet. In addition,
The offset amount is the distance in the direction perpendicular to the thickness caused by the inclination when the thin metal wires arranged in the sheet (or connector) are inclined at an angle to the thickness direction. Deviation amount, and an amount equal to this deviation amount. In addition, the offset direction is a direction perpendicular to the thickness of the inclined thin metal wire.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、近年の
表面実装型ICパッケージの端子数の増加（多ピン化）や
端子ピッチの微細化に伴い、従来のように検査回路基板
や電子回路基板等の回路端子に、直接、表面実装型ICパ
ッケージの端子を、押え治具を用いてまたは半田付けに
よって接続する場合、端子が曲がって変形したり、半田
による端子間のブリッジ、半田不良など、取扱や接続作
業が困難であるばかりでなく、表面実装型ICパッケージ
の破壊、電子回路基板等の回路端子の剥離など、二次的
不良を引き起こすという問題があった。また、ICソケッ
トを用いて接続する場合、ICソケットの多ピン化、微細
化が困難であり、表面実装型ICパッケージの端子が曲が
ったり、折れたりすることがあり、そのため取り扱いが
困難で、効率の良い検査、確実な接続を行うには不都合
であった。However, with the increase in the number of terminals (increased number of pins) and the miniaturization of the terminal pitch of the surface-mount type IC packages in recent years, the conventional inspection circuit board, electronic circuit board, etc. When connecting the surface mount type IC package terminals directly to the circuit terminals by using a holding jig or by soldering, the terminals may be bent and deformed, bridges between terminals due to soldering, poor soldering, etc. Not only is the connection work difficult, but there is also the problem of causing secondary defects such as destruction of the surface-mounted IC package and peeling of circuit terminals such as electronic circuit boards. In addition, when connecting using an IC socket, it is difficult to increase the number of pins of the IC socket and miniaturize it, and the terminals of the surface mount type IC package may be bent or broken, which makes it difficult to handle and it is more efficient. It was inconvenient to make a good inspection and secure connection.
【０００４】また、絶縁性エラストマーシート中に、金
属細線をその厚さ方向に平行に貫通状に埋設（傾斜角度
0°）させた金属系コネクタを用いる場合、即ち金属細
線を傾斜させずオフセット量を“0 ”とした金属系コネ
クタを用いる場合は、接続時の圧縮荷重が緩和されずス
トレートに金属細線にかかるため、ICパッケージやその
端子にかかる負担が大きく、内部破壊したり、端子が変
形する等の問題があった。加えて、接続時の初期コンタ
クト（低圧縮での接続）が悪く、接続抵抗が安定しない
という不具合があった。Further, fine metal wires are embedded in the insulating elastomer sheet in parallel with the thickness direction thereof in a penetrating manner (inclination angle).
(0 °) When using a metal-based connector, that is, when using a metal-based connector in which the metal thin wire is not inclined and the offset amount is “0”, the compression load at the time of connection is not relieved and the metal thin wire is applied straight Therefore, the load on the IC package and its terminals is large, and there are problems such as internal destruction and deformation of the terminals. In addition, there was a problem that the initial contact at the time of connection (connection at low compression) was bad and the connection resistance was not stable.
【０００５】さらに、金属細線を45°傾斜させてコネク
タの肉厚に等しいオフセット量を設けた金属系コネクタ
を用いる場合は、圧縮接続時にコネクタの中央部と端部
とでは端子の導通抵抗が極端に異なり、ときには接続し
ないという不具合があった。これを図を用いて説明す
る。図12は、金属系コネクタ121 を用いて表面実装型IC
パッケージであるBGA122と検査回路基板123 との接続状
態を示し、45°傾斜した金属細線124 が、BGA122の端子
125 と検査回路基板123 の端子126 とをオフセット量ｘ
で接続している。そして金属細線124 が45°傾斜してい
るため、接続時の圧縮荷重の位置が金属系コネクタの一
方の端部に寄りすぎ、中央部では安定した接続が可能で
も、図中矢印で示す位置は、上方に端子が存在しないた
め圧縮荷重が不足し、接続が不安定であった。従って、
安定した確実な接続を行うには、圧縮荷重を大きくして
金属系コネクタの圧縮量を多くしなければならず、その
分金属細線が絶縁性エラストマーシート中に埋没し、そ
のため接続抵抗が安定せず、バラツク傾向があった。Further, when a metal-based connector in which a thin metal wire is inclined by 45 ° and an offset amount equal to the thickness of the connector is provided, the conduction resistance of the terminal is extremely large between the central portion and the end portion of the connector during compression connection. However, there was a problem that sometimes it did not connect. This will be described with reference to the drawings. Figure 12 shows a surface-mount type IC that uses a metal-based connector 121.
The connection state between the BGA122, which is a package, and the inspection circuit board 123 is shown. The thin metal wire 124 inclined at 45 ° is the terminal of the BGA122.
The offset amount x between 125 and the terminal 126 of the inspection circuit board 123
Connected with. Since the fine metal wire 124 is inclined at 45 °, the position of the compressive load at the time of connection is too close to one end of the metal-based connector, and stable connection is possible at the center, but the position indicated by the arrow in the figure is Since there was no terminal above, the compressive load was insufficient and the connection was unstable. Therefore,
In order to make a stable and reliable connection, the compression load must be increased to increase the amount of compression of the metal-based connector, and the thin metal wire is buried in the insulating elastomer sheet, which stabilizes the connection resistance. No, there was a tendency for variation.
【０００６】また、検査回路基板と表面実装型ICパッケ
ージとの接続位置合わせの際、接続端子間のオフセット
量が大きく、位置合わせが困難であった。このため、せ
っかくの45°傾斜によるオフセット効果（低圧縮接続
性、安定した初期コンタクト、小さな導通抵抗および良
好な繰り返し特性）が得られなかった。さらに、金属細
線が45°傾斜した金属系コネクタの端部は、圧縮量、圧
縮回数のいずれに対しても導通抵抗の変化が大きく、大
きな問題となっていた。このことは、金属系コネクタの
中央部と端部での圧縮量に対する導通抵抗値の変化と繰
り返し圧縮による導通抵抗の変化を示す図12、図13から
も明らかであり、金属系コネクタの端部（曲線２）は、
中央部（曲線１）に比べ、圧縮量、圧縮回数のいずれに
対しても導通抵抗の変化が大きいのが認められる。In addition, when the inspection circuit board and the surface-mount type IC package are aligned with each other, the amount of offset between the connection terminals is large and the alignment is difficult. For this reason, the offset effect (low compression connectivity, stable initial contact, small conduction resistance, and good repeatability) due to the 45 ° inclination was not obtained. Further, at the end of the metal-based connector in which the thin metal wire is inclined by 45 °, the change in conduction resistance is large with respect to both the amount of compression and the number of compressions, which is a big problem. This is also clear from FIG. 12 and FIG. 13 showing the change of the conduction resistance value with respect to the compression amount at the central portion and the end portion of the metal-based connector and the change of the conduction resistance due to the repeated compression. (Curve 2) is
It can be seen that the change in the conduction resistance is large with respect to both the amount of compression and the number of compressions, compared to the central portion (curve 1).
【０００７】本発明は、これら従来の課題を解決するた
め、表面実装型ICパッケージの検査、および表面実装型
ICパッケージと電子回路基板等との接続端子間の位置合
わせが容易であり、低い圧縮荷重で端部、中央部を問わ
ず安定して確実に接続することができ、圧縮量の変化や
繰り返し圧縮に対しても安定した導通抵抗が得られ、さ
らに製造コストの低減を可能とするエラストマーコネク
タ及びその製造方法の提供を課題とするものである。In order to solve these conventional problems, the present invention inspects a surface mount type IC package and a surface mount type IC package.
It is easy to align the connection terminals of the IC package and the electronic circuit board, etc., and it is possible to make a stable and reliable connection with a low compression load regardless of the end part and the center part. It is an object of the present invention to provide an elastomer connector and a method for manufacturing the same, which can provide stable conduction resistance and further reduce the manufacturing cost.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
するため検討を重ねた結果なされたものであり、本発明
のエラストマーコネクタは、10-1Ω・cm 以下の体積抵抗
率を有する直径20〜90μm の範囲から選ばれた金属細線
を、硬度が20〜60°H の絶縁性エラストマーシート中
に、配線密度70〜1000本／mm2 で、かつ隣接する金属細
線の間隔が10〜 125μm であって、各金属細線が垂直方
向に所定の偏差量に等しいオフセット量を備えて、貫通
状に配設されてなることを特徴とするものであり、前記
絶縁性エラストマーシート中に配設された各金属細線の
オフセット量を、絶縁性エラストマーシートの厚さの1/
5 〜1/2 としている。本発明のエラストマーコネクタの
製造方法は、硬度20〜60°H の絶縁性エラストマーシー
ト中に、10-1Ω・cm 以下の体積抵抗率を有する直径20〜
90μm の範囲から選ばれた金属細線が10〜 125μm の間
隔で互いに平行に配列された成形シートを、接着剤を介
して、金属細線が互いに平行となるように多重積層し、
得られた多重積層体を各金属細線が垂直方向に対して所
定のオフセット量が得られる角度で、そのオフセット方
向が多重積層方向と平行になるようにスライスすること
を特徴とする。The present invention has been made as a result of repeated studies for solving the above problems. An elastomer connector of the present invention has a diameter having a volume resistivity of 10 -1 Ωcm or less. Fine metal wires selected from the range of 20 to 90 μm are placed in an insulating elastomer sheet with a hardness of 20 to 60 ° H, with a wiring density of 70 to 1000 wires / mm 2 , and the distance between adjacent fine metal wires is 10 to 125 μm. It is characterized in that each metal fine wire is provided with an offset amount equal to a predetermined deviation amount in the vertical direction, and is arranged in a penetrating manner, and is arranged in the insulating elastomer sheet. The offset amount of each thin metal wire is 1 / thick of the thickness of the insulating elastomer sheet.
It is set to 5 to 1/2. The method for producing an elastomer connector according to the present invention comprises: an insulating elastomer sheet having a hardness of 20 to 60 ° H, a diameter of 20 to 10 having a volume resistivity of 10 -1 Ω · cm or less.
Molded sheets in which fine metal wires selected from the range of 90 μm are arranged in parallel with each other at intervals of 10 to 125 μm are laminated in multiple layers via an adhesive so that the fine metal wires are parallel to each other.
The obtained multi-layered body is characterized by slicing each thin metal wire at an angle with respect to the vertical direction so that a predetermined offset amount is obtained and the offset direction is parallel to the multi-layered direction.
【０００９】本発明のエラストマーコネクタは、検査回
路基板または電子回路基板とICパッケージとの接続等に
有効なエラストマーコネクタであり、これら回路基板と
ICパッケージおよびエラストマーコネクタとの接合関係
は、回路基板の回路端子と、この回路端子と接続される
ICパッケージの端子とが一定のズレ量即ち一定の偏差量
で相対しており、この偏差量と同じ偏差量即ちオフセッ
ト量で金属細線が絶縁性エラストマーシート中に貫通状
に埋設・配列されている。The elastomer connector of the present invention is an elastomer connector which is effective for connecting an inspection circuit board or an electronic circuit board to an IC package.
The junction relationship between the IC package and the elastomer connector is such that the circuit terminal on the circuit board is connected to this circuit terminal.
The terminals of the IC package face each other with a certain amount of deviation, that is, a certain amount of deviation, and the thin metal wires are embedded and arranged in a penetrating manner in the insulating elastomer sheet with the same amount of deviation, that is, the amount of offset. .
【００１０】この回路端子とICパッケージの端子との偏
差量即ちオフセット量を、両者の接続手段であるエラス
トマーコネクタの厚さの1/5 〜1/2 とすることを特徴と
するものであり、換言すると、接続のため両者の間に介
在されるエラストマーコネクタは、回路端子とICパッケ
ージの端子とのオフセット量に等しいオフセット量を有
することを特徴としている。このオフセット量は、エラ
ストマーコネクタの大きさ（外形）、金属細線の配列ピ
ッチに関係なく、エラストマーコネクタの絶縁性エラス
トマーシートの厚さの1/5 〜1/2 の範囲で設定すること
で、エラストマーコネクタのどの位置（コネクタの中
央、端部）でも同じ圧縮率、圧縮量で安定した接続が得
られる。つまり、回路基板の回路端子にエラストマーコ
ネクタを介してICパッケージを低圧縮すると、好ましく
設定された金属細線の傾斜（オフセット量）によって、
圧縮荷重が全ての端子に均等にかかり、接続が安定す
る。The deviation amount between the circuit terminal and the terminal of the IC package, that is, the offset amount, is set to 1/5 to 1/2 of the thickness of the elastomer connector which is a connecting means between the two. In other words, the elastomer connector interposed between the two for connection has a feature that it has an offset amount equal to the offset amount between the circuit terminal and the terminal of the IC package. This offset amount can be set within the range of 1/5 to 1/2 of the thickness of the insulating elastomer sheet of the elastomer connector regardless of the size (outer shape) of the elastomer connector and the arrangement pitch of the thin metal wires. A stable connection can be obtained with the same compression rate and compression amount at any position of the connector (center and end portions of the connector). In other words, when the IC package is compressed low through the elastomer connector to the circuit terminal of the circuit board, the inclination (offset amount) of the fine metal wire that is preferably set causes
Compressive load is evenly applied to all terminals, and the connection is stable.
【００１１】本発明のエラストマーコネクタは、絶縁性
エラストマーシートの厚さ方向に対して、厚さの1/5 〜
1/2 のオフセット量を備えて一定方向に配列しているの
で、エラストマーコネクタの圧縮時に座屈したり、ある
いは金属細線が突張って圧縮不能を起こすことはない。
また、金属細線が絶縁性シリコーンゴムシートの少なく
とも一方の面から突出している場合には、電極表面に生
じた酸化被膜を突き破って導通するワイピング効果によ
り、接触抵抗を初期コンタクト時から確実により安定さ
せることができる。さらに、本発明のエラストマーコネ
クタは、前記図13、図14の曲線１に認められるように、
曲線２の従来の金属系コネクタに比べ、圧縮量に対する
導通抵抗の変化、繰り返し圧縮による導通抵抗の変化の
いずれも極めて安定している。The elastomeric connector of the present invention has a thickness of 1/5 to 1/5 of the thickness of the insulating elastomer sheet in the thickness direction.
Since they are arranged in a fixed direction with an offset amount of 1/2, they do not buckle when the elastomer connector is compressed, or the thin metal wire does not bulge and become incompressible.
Further, when the thin metal wire projects from at least one surface of the insulating silicone rubber sheet, the contact resistance is more reliably stabilized from the initial contact by the wiping effect of breaking through the oxide film formed on the electrode surface to conduct electricity. be able to. Further, the elastomeric connector of the present invention, as seen in the curve 1 of FIGS. 13 and 14, has
Compared to the conventional metal-based connector of curve 2, both changes in conduction resistance with respect to the amount of compression and changes in conduction resistance due to repeated compression are extremely stable.
【００１２】[0012]
【発明の実施の形態】次に、本発明のエラストマーコネ
クタについて、図面に基づいてさらに詳細に説明する。
図１は、本発明のエラストマーコネクタ１を、表面実装
型ICパッケージであるBGA ２と検査回路基板３との間に
介在させて両者を接続する状態を示している。エラスト
マーコネクタ１の金属細線４は、BGA ２の端子５と検査
回路基板３の端子６とをオフセット量ｘで接続してい
る。図２は、本発明のエラストマーコネクタの一例を示
し、（ａ）は部分拡大平面図であり、（ｂ）はＡ−Ａ線
に沿う縦断面図であり、（ｃ）はＢ−Ｂ線に沿う縦断面
図である。図２に示すように、本発明のエラストマーコ
ネクタは、絶縁性エラストマーシート21、例えば絶縁性
シリコーンゴムシート中に、金属細線22が縦横等間隔に
規則正しく貫通状に配設されている。また、複数の絶縁
性エラストマーシート21が、接着剤層23を介して一体的
に形成されている。この絶縁性エラストマーシート21中
に配設された金属細線が、厚さ方向に対して、絶縁性エ
ラストマーシートの厚さの1/5 〜1/2 のオフセット量ｘ
（図２（ｂ）参照）で図２（ａ）の右方に傾斜してい
る。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Next, the elastomer connector of the present invention will be described in more detail with reference to the drawings.
FIG. 1 shows a state in which an elastomer connector 1 of the present invention is interposed between a BGA 2 which is a surface mount type IC package and an inspection circuit board 3 to connect them. The thin metal wire 4 of the elastomer connector 1 connects the terminal 5 of the BGA 2 and the terminal 6 of the inspection circuit board 3 with the offset amount x. FIG. 2 shows an example of the elastomer connector of the present invention, (a) is a partially enlarged plan view, (b) is a longitudinal sectional view taken along the line AA, and (c) is a line BB. FIG. As shown in FIG. 2, in the elastomer connector of the present invention, the fine metal wires 22 are regularly and vertically arranged at regular intervals in an insulating elastomer sheet 21, for example, an insulating silicone rubber sheet. A plurality of insulating elastomer sheets 21 are integrally formed with an adhesive layer 23. The fine metal wires arranged in the insulating elastomer sheet 21 have an offset amount x 1/5 to 1/2 of the thickness of the insulating elastomer sheet in the thickness direction x
In FIG. 2 (b), it is inclined to the right in FIG. 2 (a).
【００１３】本発明のエラストマーコネクタに用いられ
る絶縁性エラストマーシートとしては、シリコーン樹
脂、エポキシ樹脂等のエラストマー性の熱硬化性樹脂、
合成ゴムまたはポリエチレン樹脂、ポリウレタン樹脂、
ABS 樹脂、軟質塩化ビニル樹脂等のエラストマー性の熱
可塑性樹脂からなるものであり、耐環境特性、耐熱性、
耐寒性の点からシリコーンゴムが好ましい。The insulating elastomer sheet used in the elastomer connector of the present invention includes an elastomeric thermosetting resin such as silicone resin or epoxy resin,
Synthetic rubber or polyethylene resin, polyurethane resin,
It is made of elastomeric thermoplastic resin such as ABS resin and soft vinyl chloride resin.
Silicone rubber is preferable from the viewpoint of cold resistance.
【００１４】これら例示した材質からなる絶縁性エラス
トマーシートは、絶縁性が要求されるため、体積抵抗率
1012Ω・cm以上のものが使用される。また、絶縁性エラ
ストマーシートの硬度（JIS J6301A型）は、圧縮接続時
の荷重を低減して柔軟なエラストマーコネクタを得るた
めには、20〜60°H であって、耐久性を考慮すると、30
〜60°H がより好ましい。絶縁性エラストマーシートの
耐引き裂き強度は、繰り返し行われる圧縮接続時に、絶
縁性エラストマーシートが金属細線を確実に保持出来る
よう10kgf/mm以上とするのがよい。また、絶縁性エラス
トマーシートと金属細線が10 g／本以上の強度で接着し
ていると、圧縮時に金属細線が脱離することなく、耐久
性が向上する。この強度値は、絶縁性エラストマーシー
ト中に金属細線を配列し、加硫接着後、絶縁性エラスト
マーシートと金属細線を相反する方向に25mm／分の引張
り速度で引張って測定したものである。Since the insulating elastomer sheet made of these materials is required to have insulating properties, the volume resistivity is
10 12 Ω · cm or more is used. The hardness of the insulating elastomer sheet (JIS J6301A type) is 20 to 60 ° H in order to reduce the load during compression connection and obtain a flexible elastomer connector.
-60 ° H is more preferred. The tear resistance of the insulating elastomer sheet is preferably 10 kgf / mm or more so that the insulating elastomer sheet can securely hold the thin metal wire during repeated compression connection. Further, when the insulating elastomer sheet and the thin metal wires are bonded with a strength of 10 g / piece or more, the thin metal wires are not detached during compression and the durability is improved. This strength value is measured by arranging thin metal wires in an insulating elastomer sheet, vulcanizing and adhering, and then pulling the insulating elastomer sheet and the thin metal wire in opposite directions at a pulling speed of 25 mm / min.
【００１５】本発明のエラストマーコネクタに用いられ
る金属細線としては、ICパッケージの検査、接続に適し
た導通抵抗を有しているものであって、体積抵抗率10-1
Ω・cm 以下の材質であることが肝要である。さらに接触
抵抗を考慮すると純金線、金合金線、金メッキ線、半田
線、半田メッキ線、銅合金線が挙げられ、なかでも耐環
境特性を考慮すると、純金線、金線、金メッキ線が好ま
しい。特には、純金線あるいは金メッキ真鍮線がより好
ましい。金属細線の直径は、配線密度との関係を考慮し
て20〜90μm の範囲が良いが、特には20〜70μm の範囲
から選ばれたものが好適である。The thin metal wire used in the elastomer connector of the present invention has a conduction resistance suitable for inspection and connection of IC packages, and has a volume resistivity of 10 -1.
It is essential that the material is Ω · cm or less. Further, in consideration of contact resistance, pure gold wire, gold alloy wire, gold plated wire, solder wire, solder plated wire, and copper alloy wire may be mentioned. Among them, pure gold wire, gold wire, and gold plated wire are preferable in view of environment resistance characteristics. In particular, a pure gold wire or a gold-plated brass wire is more preferable. The diameter of the fine metal wire is preferably in the range of 20 to 90 μm in consideration of the relationship with the wiring density, and particularly preferably selected from the range of 20 to 70 μm.
【００１６】そして、上記絶縁性エラストマーシート中
に、前記金属細線が一定方向に傾斜、配列され、かつ貫
通状に埋設されている。本発明のエラストマーコネクタ
は、端子ピッチ1.0mm 以下のICパッケージと接続するこ
とができるが、接続する端子に対して、コネクタ中の金
属細線が１本しか接触しない構成とした場合には、接続
する端子数が多くなると各端子に対する金属細線の位置
決めに、極めて高い位置精度が要求され、安定した接続
が困難になる。そこで、１端子に複数の金属細線が接触
するような構成とするのがよく、具体的には、金属細線
の配線密度は70〜1000本／mm2 、好ましくは 100〜1000
本／mm2 である。配線密度が70本／mm2 未満では、コネ
クタの分解能が低くなり、さらに、接続の際の圧縮挟持
時の金属細線の変形自由度が大きすぎて金属細線が座屈
しやすい。一方、配線密度が1000本／mm2 を超えると、
圧縮挟持時に隣接する金属細線同士が接触しやすく好ま
しくない。また、金属細線の間隔は10〜125μm であっ
て、金属細線間の絶縁性確保、金属細線の配列精度など
を考慮すると、50〜100 μm が好ましい。In the insulating elastomer sheet, the thin metal wires are inclined and arranged in a certain direction and embedded in a penetrating manner. The elastomer connector of the present invention can be connected to an IC package having a terminal pitch of 1.0 mm or less, but it is connected when the configuration is such that only one thin metal wire in the connector contacts the connecting terminal. When the number of terminals increases, extremely high positional accuracy is required for positioning the metal thin wire with respect to each terminal, which makes stable connection difficult. Therefore, it is preferable that a plurality of fine metal wires contact one terminal. Specifically, the fine metal wire has a wiring density of 70 to 1000 wires / mm 2 , preferably 100 to 1000.
Books / mm 2 . If the wiring density is less than 70 wires / mm 2 , the resolution of the connector will be low, and the degree of freedom of deformation of the thin metal wire during compression clamping during connection will be too large, and the thin metal wire will easily buckle. On the other hand, if the wiring density exceeds 1000 lines / mm 2 ,
It is not preferable because the thin metal wires adjacent to each other tend to come into contact with each other during the compression sandwiching. The interval between the metal thin wires is 10 to 125 μm, and it is preferably 50 to 100 μm in consideration of ensuring insulation between the metal thin wires and arrangement accuracy of the metal thin wires.
【００１７】絶縁性エラストマーシート中に配設される
金属細線は、絶縁性エラストマーシートの厚さの1/5 〜
1/2 に相当するオフセット量を所定の方向に備えて配列
されている。これは、絶縁性エラストマーシートの厚さ
方向に平行に金属細線を配列させた場合、コネクタとし
てICパッケージ等の接続部材と圧縮挟持したとき、金属
細線が突っ張り、圧縮不能となったり、あるいは金属細
線が座屈したりする。このため本発明のエラストマーコ
ネクタは、検査回路基板や電子回路基板の回路端子とIC
パッケージの端子とのコンタクトを確実にするため、厚
さ方向に対して金属細線を傾斜させて所定の方向に一定
のオフセット量を設けてなるものである。このとき、オ
フセット量が絶縁性エラストマーシートの厚さの1/5 〜
1/2 であると、初期コンタクト時（規定の圧縮量に未だ
達しない状態）から接続が比較的安定し、さらに圧縮時
に金属細線が傾斜して圧縮の応力を吸収するため、配設
する全ての金属細線を一定方向に平行にオフセットさせ
ることが重要である。The thin metal wires arranged in the insulating elastomer sheet have a thickness of 1/5 of the thickness of the insulating elastomer sheet.
It is arranged with an offset amount corresponding to 1/2 in a predetermined direction. This is because when the thin metal wires are arranged in parallel to the thickness direction of the insulating elastomer sheet, and when they are compressed and sandwiched as a connector with a connecting member such as an IC package, the thin metal wires are stretched and become incompressible, or the thin metal wires are compressed. Buckles. For this reason, the elastomer connector of the present invention can be integrated into a circuit terminal of an inspection circuit board or an electronic circuit board and an IC.
In order to ensure contact with the terminals of the package, the thin metal wires are inclined with respect to the thickness direction to provide a constant offset amount in a predetermined direction. At this time, the offset amount is 1/5 of the thickness of the insulating elastomer sheet.
If it is 1/2, the connection will be relatively stable from the initial contact (a state where the specified compression amount has not yet been reached), and the fine metal wires will tilt and absorb the stress of compression during compression, so everything to be arranged It is important to offset the thin metal wires in parallel to a certain direction.
【００１８】このオフセット量が、絶縁性エラストマー
シートの厚さに対して、その厚さの1/5 より小さいと、
金属細線が、繰り返し圧縮時あるいは僅かな圧縮量で座
屈し、安定した接続ができない。また、オフセット量を
1/2 より大きくすると圧縮荷重は小さくなるが、前記し
た従来の金属細線を45°に傾斜させたコネクタと同様の
不都合が生じる。なお、オフセット量が、絶縁性エラス
トマーシートの厚さの1/5 〜1/2 の間では圧縮荷重特性
がほとんど等しく、接続導通抵抗も何等変わらなかっ
た。このことは、オフセット量（絶縁性エラストマーシ
ートの厚さ１mmに対して）を種々変えたときの圧縮荷重
と圧縮量との関係を示す図３から明らかである。If this offset amount is smaller than 1/5 of the thickness of the insulating elastomer sheet,
The thin metal wire buckles during repeated compression or with a small amount of compression, and a stable connection cannot be achieved. Also, the offset amount
If it is larger than 1/2, the compressive load will be smaller, but the same inconvenience will occur as with the conventional connector in which the thin metal wire is inclined at 45 °. When the offset amount was between 1/5 and 1/2 of the thickness of the insulating elastomer sheet, the compression load characteristics were almost the same, and the connection conduction resistance did not change at all. This is clear from FIG. 3 showing the relationship between the compression load and the compression amount when the offset amount (with respect to the thickness of the insulating elastomer sheet of 1 mm) is variously changed.
【００１９】さらに、オフセットの方向であるが、絶縁
性エラストマーシート中に配列された金属細線が互いに
平行になるように、絶縁性エラストマーシートを多重積
層してブロック体を形成し、この多重積層ブロック体の
積層方向と平行な方向に所定のオフセット量となるよう
にスライスすることにより、より厚さが均一で、平滑な
スライス面を有するエラストマーコネクタが得られるこ
とが実験の結果判明した。この厚さが均一で、面が平滑
であることによって、接続時に、より低圧縮で安定した
接続導通が可能となる。Further, in the offset direction, the insulating elastomer sheets are multiply laminated to form a block body so that the fine metal wires arranged in the insulating elastomer sheet are parallel to each other. Experimental results have revealed that by slicing in a direction parallel to the stacking direction of the body so as to have a predetermined offset amount, an elastomer connector having a more uniform thickness and a smooth sliced surface can be obtained. Since the thickness is uniform and the surface is smooth, it is possible to achieve stable connection conduction with lower compression at the time of connection.
【００２０】このエラストマーコネクタの厚さ（絶縁性
エラストマーシートの厚さ）は、0.3 〜2.0 mmが好まし
い。0.3 mm未満では、エラストマーコネクタを得るため
のスライス加工上、均一な厚さにスライスすることが困
難である。また、2.0 mmを超えてもエラストマーコネク
タとして得ることは可能であるが、オフセット量が大き
くエラストマーコネクタが必要以上に大きくなり、さら
に高周波に対して影響を受け易く、好ましくない。The thickness of this elastomer connector (thickness of the insulating elastomer sheet) is preferably 0.3 to 2.0 mm. If it is less than 0.3 mm, it is difficult to slice into a uniform thickness due to the slicing process for obtaining the elastomer connector. Further, even if it exceeds 2.0 mm, it is possible to obtain an elastomer connector, but the offset amount is large and the elastomer connector becomes unnecessarily large, and further it is easily affected by high frequency, which is not preferable.
【００２１】次に、本発明のエラストマーコネクタは、
接触抵抗に対する安定性が要求されるため、金属細線が
絶縁性エラストマーシートの少なくとも一方の面から突
出していることが望ましいが、突出量が大きすぎると圧
縮時に突出部（金属細線が絶縁性エラストマーシート面
より突出している部分）が湾曲して隣接の金属細線と接
触するため、接触しないようにその突出部の長さは適宜
選択されるが、通常はこの長さを 5〜30μm の範囲とす
るのが望ましい。Next, the elastomer connector of the present invention is
Since it is required to have stability against contact resistance, it is desirable that the thin metal wire protrudes from at least one surface of the insulating elastomer sheet. However, if the amount of projection is too large, the protruding portion (the thin metal wire becomes the insulating elastomer sheet when compressed). The length of the protruding part is appropriately selected so that it does not come into contact, but the length is usually in the range of 5 to 30 μm. Is desirable.
【００２２】本発明のエラストマーコネクタは、上記し
た構成を有し、特に、表面実装型ICパッケージのBGA(Ba
ll Grid Array)等のようにパッケージ裏底面に半球状の
半田（バンプ状）をアレイ状に並べた端子や、LGA(Land
Grid Array)、LCC(LeadlessChip Carrier)等のように
パッケージの裏底面に平電極パッド（平電極状）をアレ
イ状または周辺に並べた端子、PLCC（Plastic Leaded C
hip Carrier)あるいはQFP(Quad Flat Package)等のよう
にパッケージの各側面から端子ピンが Jの字形状（J 形
状）、あるいはガルウイング状に並んで出ている形式の
端子との接続に特に好適に用いられるものである。以
下、本発明の実施の形態について実施例にもとづきさら
に詳細に説明する。The elastomer connector of the present invention has the above-mentioned structure, and in particular, the BGA (Ba
ll Grid Array), terminals with hemispherical solder (bumps) arranged in an array on the bottom surface of the package, or LGA (Land
PLCC (Plastic Leaded C), such as Grid Array), LCC (Leadless Chip Carrier), etc.
Especially suitable for connection with terminals of J-shaped (J-shaped) or gull-wing type terminal pins on each side of the package such as hip carrier) or QFP (Quad Flat Package). Is used. Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in more detail based on examples.
【００２３】[0023]
［実施例１］厚さが1.0mm でオフセット量が0.5mm （厚
さの1/2 ）のエラストマーコネクタを次の手順に従って
作製した。先ず、 １）厚さが50μm でその熱収縮率が0.5 ％であるポリエ
ステルフィルムの表面をサンドブラストして、その表面
の粗さ（Ra）を0.8 とし、さらにその表面を界面活性剤
で処理したポリエステルフィルムの表面に、硬化後の硬
度が30°H の絶縁性シリコーンゴムとなるシリコーンゴ
ムコンパウンド・KE-153U とKE-761VB［ともに信越化学
工業社製、商品名］との混合比を70：30とする混合物 1
00重量部に対して、付加加硫系加硫剤・C-19A ［信越化
学工業社製、商品名］0.5 重量部、付加加硫系加硫剤・
C-19B ［信越化学工業社製、商品名］2.5 重量部、およ
びシランカップリング剤・KBM-403 ［信越化学工業社
製、商品名］1.0 重量部を添加し、混練して得た絶縁性
シリコーンゴム組成物を0.1mm の厚さに分出しした。[Example 1] An elastomer connector having a thickness of 1.0 mm and an offset amount of 0.5 mm (1/2 of the thickness) was manufactured according to the following procedure. First, 1) a polyester film having a thickness of 50 μm and a thermal shrinkage of 0.5% was sandblasted to a surface roughness (Ra) of 0.8, and the surface thereof was treated with a surfactant. The mixing ratio of silicone rubber compound KE-153U and KE-761VB (both manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), which are insulating silicone rubbers with a hardness of 30 ° H after curing, is 70:30 on the surface of the film. Mixture 1
Addition vulcanizing agent-C-19A [Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., trade name] 0.5 parts by weight, addition vulcanizing agent-
C-19B [Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., trade name] 2.5 parts by weight, and silane coupling agent KBM-403 [Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., trade name] 1.0 parts by weight were added and kneaded to obtain an insulating property. The silicone rubber composition was dispensed to a thickness of 0.1 mm.
【００２４】２）次いで、この分出しした未硬化の絶縁
性シリコーンゴム組成物の表面上に、直径40μm の黄銅
細線にAu−Co合金を0.4 μm の厚さにメッキした体積抵
抗率10-3Ω・cmの金メッキ細線を、0.1mm 間隔でそれぞ
れ平行に配列し載置した後、これに先の１）の項で得た
別のポリエステルフィルム上に絶縁性シリコーンゴム組
成物を分出ししたものとを、シリコーンゴム面同士で重
ねてラミネートし、6kgf/cm2 で 8分間加圧して肉厚70
μm に成形しエージングした後、さらに120 ℃で15分間
加熱硬化して、所定の積層ブロックサイズに裁断し、そ
の後ポリエステルフィルムを剥離して成形裁断品を得
た。2) Then, on the surface of the uncured insulating silicone rubber composition thus dispensed, a brass wire having a diameter of 40 μm was plated with an Au—Co alloy in a thickness of 0.4 μm to obtain a volume resistivity of 10 −3. Ω · cm gold-plated thin wires arranged in parallel at 0.1 mm intervals and placed, and then the insulating silicone rubber composition was dispensed on the other polyester film obtained in 1) above. And silicone rubber surfaces are overlaid and laminated, and pressure is applied at 6 kgf / cm 2 for 8 minutes to obtain a wall thickness of 70
After molding to a size of μm and aging, it was further heat-cured at 120 ° C. for 15 minutes, cut into a predetermined laminated block size, and then the polyester film was peeled off to obtain a cut product.
【００２５】３）次に、この成形裁断品のポリエステル
フィルムを剥した一方の面に、接着剤としてゴム硬度が
50°H である液状シリコーンゴムKE-1935A/B（信越化学
工業社製、商品名）をスクリーン印刷法で30μm の厚さ
に塗布し、金メッキ細線の配列方向が一致し互いに平行
となるように、順次多数の成形裁断品を貼り合せて、多
重積層体を作り、真空脱泡した後に、120 ℃で10分間加
熱してこれらを接着、硬化させ、配線密度が100 本／mm
2 の多重積層ブロック体を得た。このときの金属細線の
接着強度は、一本の金属細線に対して40g の接着強度を
有している。3) Next, a rubber hardness as an adhesive is applied to one surface of the molded cut product from which the polyester film has been peeled off.
Liquid silicone rubber KE-1935A / B (trade name, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) at 50 ° H is applied by screen printing to a thickness of 30 μm so that the gold-plated thin wires are aligned and aligned parallel to each other. Then, a large number of cut products are sequentially laminated to form a multi-layered product, which is vacuum degassed and then heated at 120 ° C for 10 minutes to bond and cure them, and the wiring density is 100 wires / mm.
Two multi-layer block bodies were obtained. The adhesive strength of the thin metal wire at this time is 40 g for one thin metal wire.
【００２６】４）この多重積層ブロック体をスライスす
ることによって本発明のエラストマーコネクタが得られ
るが、スライスに際して、厚さが1.0mm でオフセット量
が厚さの1/2 即ち0.5mm の場合、金メッキ細線に対して
63.4°傾斜させ、積層方向と同一方向へ、厚さが1.0mm
となるようにスライスすることにより、厚さ1.0mm 、オ
フセット量0.5mm で金メッキ細線が厚さ方向に対して2
6.6°傾斜してなるスライスシートを得た。その後、200
℃で 2時間加熱処理して、絶縁性シリコーンゴムおよ
び接着剤からの液状シリコーンゴムの低分子量を除去し
て、エラストマーコネクタを得た。4) The elastomeric connector of the present invention can be obtained by slicing this multi-layer block body. When slicing, when the thickness is 1.0 mm and the offset amount is 1/2 of the thickness, that is, 0.5 mm, gold plating is performed. For fine lines
Inclined at 63.4 °, 1.0mm thick in the same direction as the stacking direction
By slicing so that the thickness is 1.0 mm and the offset amount is 0.5 mm, the fine gold-plated wire is 2 in the thickness direction.
A sliced sheet inclined at 6.6 ° was obtained. Then 200
Heat treatment was carried out at ℃ for 2 hours to remove low molecular weight of the insulating silicone rubber and liquid silicone rubber from the adhesive to obtain an elastomer connector.
【００２７】［実施例２］実施例１で得た多重積層ブロ
ック体を、その金メッキ細線に対して63.4°傾斜させ
て、積層方向と同一方向へ、厚さが2.0mm となるように
スライスすることにより、厚さ2.0mm 、オフセット量1.
0mm の金メッキ細線が厚さ方向に対して26.6°傾斜して
なるスライスシートを得た。その後、実施例１と同様の
処理を行ってエラストマーコネクタを得た。[Embodiment 2] The multilayer laminated block body obtained in Embodiment 1 is tilted at an angle of 63.4 ° with respect to the gold-plated thin wire, and sliced in the same direction as the laminating direction to a thickness of 2.0 mm. As a result, the thickness is 2.0 mm and the offset amount is 1.
A sliced sheet was obtained in which 0 mm gold-plated thin wires were inclined by 26.6 ° with respect to the thickness direction. Then, the same treatment as in Example 1 was performed to obtain an elastomer connector.
【００２８】［実施例３］実施例１で得た多重積層ブロ
ック体を、その金メッキ細線に対して78.7°傾斜させ
て、積層方向と同一方向へ、厚さが1.0mm となるように
スライスすることにより、厚さ1.0mm 、オフセット量0.
2mm の金メッキ細線が、厚さ方向に対して、11.3°傾斜
してなるスライスシートを得た。その後、実施例１と同
様の処理を行って、金メッキ細線のオフセット量が絶縁
性エラストマーシートの厚さの1/5 となるエラストマー
コネクタを得た。[Embodiment 3] The multilayer laminated block body obtained in Embodiment 1 is tilted by 78.7 ° with respect to the thin gold-plated wire and sliced in the same direction as the laminating direction to have a thickness of 1.0 mm. As a result, the thickness is 1.0 mm and the offset amount is 0.
A sliced sheet was obtained in which a 2 mm thin gold-plated wire was inclined 11.3 ° with respect to the thickness direction. Then, the same treatment as in Example 1 was performed to obtain an elastomer connector in which the offset amount of the gold-plated thin wires was 1/5 of the thickness of the insulating elastomer sheet.
【００２９】［評価］このようにして得られた本発明の
エラストマーコネクタについて、その特性および物性を
調べたところ下記の結果が得られた。 １）先ず、実施例１、２および３で得られたエラストマ
ーコネクタの中央部と端部での圧縮量に対する導通抵抗
値の変化を測定した。実施例１、３の測定結果はそれぞ
れ順に図４（ａ）、（ｂ）に、実施例２の測定結果は図
５に示した。曲線１は中央部、曲線２は端部を測定した
ものであり、いずれも中央部と端部での導通抵抗値の差
は小さく、特に、エラストマーコネクタの厚さが薄いほ
ど導通抵抗値の差がより小さかった。[Evaluation] The properties and physical properties of the thus obtained elastomer connector of the present invention were examined, and the following results were obtained. 1) First, the change in the conduction resistance value with respect to the compression amount at the central portion and the end portion of the elastomer connectors obtained in Examples 1, 2 and 3 was measured. The measurement results of Examples 1 and 3 are shown in FIGS. 4A and 4B, respectively, and the measurement result of Example 2 is shown in FIG. Curve 1 is measured at the center and curve 2 is measured at the end. In both cases, the difference in conduction resistance between the center and the end is small. In particular, the thinner the elastomer connector, the difference in conduction resistance. Was smaller.
【００３０】２）図６に示すように、上記実施例で得ら
れたエラストマーコネクタ61を、２枚の平板62、63 で挟
み、上方の平板62の上面を、硬球64を介してロードセル
65で圧縮することにより、厚さ方向に 0.5mm／分の速度
で圧縮した時の圧縮量と圧縮荷重の関係を測定し、その
結果を図７に示す。図中、曲線１は実施例１で得られた
エラストマーコネクタ（厚さ１mm、オフセット量0.5mm
）であり、曲線２は実施例２で得られたエラストマー
コネクタ（厚さ２mm、オフセット量1.0mm ）、曲線３は
実施例３で得られたエラストマーコネクタ（厚さ1.0 m
m、オフセット量0.2 mm）であり、曲線４は比較例とし
ての金属細線が45°傾斜した金属系コネクタ（厚さ1.0
mm、オフセット量1.0 mm）によるものであり、いずれも
金属細線の配線密度は100 本／mm2 で同じである。図７
より、金属細線の仕様、配線密度が同じでも、オフセッ
ト量が異なると圧縮荷重特性が異なり、エラストマーコ
ネクタの厚さが薄く、オフセット量が小さいほど、より
低い圧縮量で所定の圧縮荷重が得られることが認められ
る。2) As shown in FIG. 6, the elastomer connector 61 obtained in the above embodiment is sandwiched between two flat plates 62 and 63, and the upper surface of the upper flat plate 62 is loaded with a load cell through a hard ball 64.
By compressing at 65, the relationship between the compression amount and the compression load when compressed at a speed of 0.5 mm / min in the thickness direction was measured, and the result is shown in FIG. 7. In the figure, curve 1 is the elastomer connector obtained in Example 1 (thickness 1 mm, offset amount 0.5 mm
Curve 2 is the elastomer connector obtained in Example 2 (thickness 2 mm, offset amount 1.0 mm), and curve 3 is the elastomer connector obtained in Example 3 (thickness 1.0 m).
m, offset amount 0.2 mm), and curve 4 is a metal-based connector (thickness 1.0
mm, the offset amount is 1.0 mm), and the wiring density of the thin metal wires is 100 wires / mm 2 and is the same. FIG.
Therefore, even if the specifications and wiring density of the thin metal wires are the same, if the offset amount is different, the compression load characteristics are different, and the thinner the elastomer connector is and the smaller the offset amount is, the lower the compression amount is and the predetermined compression load is obtained. Is recognized.
【００３１】３）次に、図８に示すように、本発明のエ
ラストマーコネクタ81の導通抵抗を、直径0.5mm のAuメ
ッキピン電極82と、全面に厚さ0.1 μm の金メッキが施
された板状のAuメッキ電極83とを用いて測定し、その結
果を図９に示した。曲線１、２、３および４はそれぞれ
先の図７の曲線と同じコネクタによるものである。本発
明のエラストマーコネクタ（曲線１〜３）は、その表面
に金メッキ細線が突出しているため、0.1mm 程度の微小
な圧縮量でも、導通抵抗値は40〜70m Ωで十分に接続
し、さらに圧縮量が変化しても導通抵抗の変化量は小さ
く安定しており、従来の比較例（曲線４）に比べ極めて
優れていることが認められる。3) Next, as shown in FIG. 8, the conductive resistance of the elastomer connector 81 of the present invention is determined by an Au-plated pin electrode 82 having a diameter of 0.5 mm and a plate-like shape having a thickness of 0.1 μm on the entire surface. The measurement was performed using the Au-plated electrode 83 and the results are shown in FIG. Curves 1, 2, 3 and 4 are each due to the same connectors as the curves of FIG. 7 above. The elastomer connector of the present invention (curves 1 to 3) has fine gold-plated wires protruding from its surface, so even if the amount of compression is as small as 0.1 mm, the conduction resistance value is 40 to 70 mΩ, and the connection is sufficient. Even if the amount changes, the amount of change in conduction resistance is small and stable, and it is recognized that it is extremely superior to the conventional comparative example (curve 4).
【００３２】４）さらに、図10に示すように、実施例１
で得られたエラストマーコネクタ101 を、直径0.5mm の
Auメッキピン電極102 と、全面に厚さ0.1 μm の金メッ
キが施された板状のAuメッキ電極103 間に配置して、圧
縮荷重量0.3mm で、圧縮１秒ー開放１秒の圧縮サイクル
で反復圧縮を行い、導通抵抗の変化量を測定し、その結
果を図11に示した。曲線１は、実施例１で得られたエラ
ストマーコネクタ（厚さ1.0 mm、オフセット量0.5 mm）
であり、曲線２は、比較例としての金属細線が45°傾斜
した金属系コネクタ（厚さ1.0 mm、オフセット量1.0 m
m）であり、金属細線の仕様、配線密度は実施例１のエ
ラストマーコネクタと同じである。この結果、本発明の
エラストマーコネクタは、比較例のコネクタに比べ、圧
縮回数が増大しても導通抵抗の変化量は安定して小さ
く、耐久性がよいことが確認された。4) Further, as shown in FIG.
The elastomer connector 101 obtained in
It is placed between the Au-plated pin electrode 102 and the plate-shaped Au-plated electrode 103 with a gold plating of 0.1 μm thick on the entire surface, and the compression load is 0.3 mm, and the compression cycle is 1 second compression-1 second compression cycle. After compression, the amount of change in conduction resistance was measured, and the results are shown in FIG. Curve 1 is the elastomer connector obtained in Example 1 (thickness 1.0 mm, offset amount 0.5 mm).
The curve 2 is a metal-based connector (thickness 1.0 mm, offset amount 1.0 m) in which a fine metal wire is inclined by 45 ° as a comparative example.
m), and the specifications and wiring density of the thin metal wires are the same as those of the elastomer connector of the first embodiment. As a result, it was confirmed that the elastomer connector of the present invention was stable in the amount of change in conduction resistance even when the number of compressions was increased, and was excellent in durability, as compared with the connector of the comparative example.
【００３３】[0033]
【発明の効果】本発明のエラストマーコネクタは、低
い圧縮荷重で安定した導通抵抗が得られる、エラスト
マーコネクタの中央と端部での導通抵抗の差が小さい、
圧縮量が変化しても安定した導通抵抗が得られる、
繰り返し圧縮による導通抵抗の変化が小さい、等の極め
て優れた特性を有しており、本発明のエラストマーコネ
クタを用いることによって、表面実装型ICパッケージ、
特にBGA 、LGA 、PLCC、LCC 、高密度QFP 等の端子と検
査回路基板または電子回路基板等との接続抵抗のバラツ
キが少なく、小さな荷重で安定してかつ高い分解能でも
って接続することができる。さらに、エラストマーコネ
クタの厚さが薄いほど、より低い圧縮荷重で接続するこ
とができ、従って高周波の影響を受けにくいという特性
をも有している。一方、接続機構が圧縮によっているた
め、取り外しが容易であり、実装歩留、品質ともに向上
し、製造コストを低減することができた。さらに、半田
付けによって直接接続する場合と異なり、表面実装型IC
パッケージや回路基板等を破壊することなく、表面実装
型ICパッケージ等を回路基板に実装することができる。
加えて、高度な半田付け技術や特殊な設備を必要としな
いので、実装に要するコストの負担も少ない。The elastomer connector of the present invention can obtain stable conduction resistance under a low compression load, and the difference in conduction resistance between the center and the end of the elastomer connector is small.
Stable conduction resistance can be obtained even if the amount of compression changes.
It has extremely excellent characteristics such as small change in conduction resistance due to repeated compression, and by using the elastomer connector of the present invention, a surface mount type IC package,
In particular, there is little variation in the connection resistance between the terminals such as BGA, LGA, PLCC, LCC, and high-density QFP, and the inspection circuit board or electronic circuit board, and it is possible to make a stable connection with a small load and high resolution. Further, the thinner the thickness of the elastomer connector is, the lower the compression load is, so that the connector can be connected, and thus the higher frequency is less likely to affect. On the other hand, since the connection mechanism is compressed, it is easy to remove, the packaging yield and quality are improved, and the manufacturing cost can be reduced. Furthermore, unlike the case of connecting directly by soldering, surface mount type IC
A surface mount IC package or the like can be mounted on a circuit board without destroying the package or the circuit board.
In addition, since advanced soldering technology and special equipment are not required, the cost of mounting is low.
【図１】本発明のエラストマーコネクタと被接続部材と
の接続状態を示す説明図である。FIG. 1 is an explanatory view showing a connection state between an elastomer connector of the present invention and a member to be connected.
【図２】（ａ）は、本発明のエラストマーコネクタの一
例を示す部分拡大平面図であり、（ｂ）は（ａ）のＡ−
Ａ線に沿う縦断面図、（ｃ）は（ａ）のＢ−Ｂ線に沿う
縦断面図である。FIG. 2 (a) is a partially enlarged plan view showing an example of the elastomer connector of the present invention, and FIG. 2 (b) is A- of FIG.
FIG. 6A is a vertical sectional view taken along line A, and FIG. 7C is a vertical sectional view taken along line BB in FIG.
【図３】オフセット量と圧縮荷重の関係を示すグラフで
ある。FIG. 3 is a graph showing a relationship between an offset amount and a compression load.
【図４】本発明のエラストマーコネクタの中央部と端部
での導通抵抗を比較するグラフである。FIG. 4 is a graph comparing the conduction resistances at the central portion and the end portion of the elastomer connector of the present invention.
【図５】本発明のエラストマーコネクタの中央部と端部
での導通抵抗を比較するグラフである。FIG. 5 is a graph comparing the conduction resistances at the central portion and the end portion of the elastomer connector of the present invention.
【図６】本発明のエラストマーコネクタの圧縮特性を測
定する方法を示す説明図である。FIG. 6 is an explanatory diagram showing a method for measuring compression characteristics of the elastomer connector of the present invention.
【図７】本発明のエラストマーコネクタの圧縮特性を示
すグラフである。FIG. 7 is a graph showing the compression characteristics of the elastomer connector of the present invention.
【図８】本発明のエラストマーコネクタの導通抵抗の変
化を測定する方法を示す説明図である。FIG. 8 is an explanatory view showing a method for measuring a change in conduction resistance of the elastomer connector of the present invention.
【図９】本発明のエラストマーコネクタの圧縮量に対す
る導通抵抗の変化を示すグラフである。FIG. 9 is a graph showing changes in conduction resistance with respect to the compression amount of the elastomer connector of the present invention.
【図10】本発明のエラストマーコネクタの繰り返し圧縮
による導通抵抗の変化を測定する方法を示す説明図であ
る。FIG. 10 is an explanatory diagram showing a method for measuring a change in conduction resistance due to repeated compression of the elastomer connector of the present invention.
【図11】本発明のエラストマーコネクタの繰り返し圧縮
による導通抵抗の変化を示すグラフである。FIG. 11 is a graph showing changes in conduction resistance due to repeated compression of the elastomer connector of the present invention.
【図12】従来のコネクタと被接続部材との接続状態を示
す説明図である。FIG. 12 is an explanatory diagram showing a connection state between a conventional connector and a member to be connected.
【図13】従来のコネクタの中央部と端部での導通抵抗を
比較するグラフである。FIG. 13 is a graph comparing the conduction resistances at the center and the end of a conventional connector.
【図14】従来のコネクタの繰り返し圧縮による導通抵抗
の変化を示すグラフである。FIG. 14 is a graph showing changes in conduction resistance due to repeated compression of a conventional connector.
1. ・・・・エラストマーコネクタ、 2. ・・・・BGA 、 3. ・・・・検査回路基板、 4. ・・・・金属細線、 5. ・・・・端子、 6. ・・・・端子、 21. ・・・・絶縁性エラストマーシート、 22. ・・・・金属細線、 23. ・・・・接着剤層、 61. ・・・・エラストマーコネクタ、 62. ・・・・平板、 63.・・・・ 平板、 64.・・・・ 硬球、 65.・・・・ ロードセル、 81.・・・・ エラストマーコネクタ、 82.・・・・ ピン電極、 83.・・・・ 電極、 101.・・・・ エラストマーコネクタ、 102.・・・・ ピン電極、 103.・・・・ 電極、 121. ・・・・金属系コネクタ、 122. ・・・・BGA 、 123. ・・・・検査回路基板、 124. ・・・・金属細線、 125. ・・・・端子、 126. ・・・・端子、 ｘ．・・・・オフセット量。 1. ・ ・ ・ ・ Elastomer connector, 2. ・ ・ ・ ・ BGA, 3. ・ ・ ・ ・ Inspection circuit board, 4. ・ ・ ・ ・ Metal wire, 5. ・ ・ ・ ・ Terminal, 6. ・ ・ ・ ・Terminal, 21 ..... Insulating elastomer sheet, 22 ..... Metal fine wire, 23 ..... Adhesive layer, 61 ..... Elastomer connector, 62 ..... Plate, 63 .. ・ Plate, 64. ・ ・ ・ ・ Hard ball, 65. ・ ・ ・ ・ Load cell, 81. ・ ・ ・ ・ Elastomer connector, 82. ・ ・ ・ ・ Pin electrode, 83. ・ ・ ・ ・ Electrode, 101 .. ・ Elastomer connector, 102. ・ ・ ・ ・ Pin electrode, 103. ・ ・ ・ ・ Electrode, 121. ・ ・ ・ ・ Metal connector, 122. ・ ・ ・ ・ BGA, 123. ・ ・ ・ ・ Inspection Circuit board, 124 ..... Metal fine wire, 125 ..... Terminal, 126 ..... Terminal, x. .... Offset amount.
Claims (3)
20〜90μm の範囲から選ばれた金属細線を、硬度20〜60
°H の絶縁性エラストマーシート中に、配線密度70〜10
00本／mm2 で、かつ隣接する金属細線の間隔が10〜 125
μm であって、各金属細線が垂直方向に所定の偏差量に
等しいオフセット量を備えて、貫通状に配設されてなる
ことを特徴とするエラストマーコネクタ。1. A diameter having a volume resistivity of 10 −1 Ω · cm or less.
The fine metal wire selected from the range of 20 to 90 μm is
Wiring density 70 to 10 in an insulating elastomer sheet at ° H.
00 wires / mm 2 and the interval between adjacent metal wires is 10 to 125
An elastomer connector, characterized in that each metal fine wire has an offset amount equal to a predetermined deviation amount in the vertical direction and is arranged in a penetrating manner.
れた各金属細線のオフセット量が、絶縁性エラストマー
シートの厚さの1/5 〜1/2 であることを特徴とする請求
項１に記載のエラストマーコネクタ。2. The offset amount of each thin metal wire arranged in the insulating elastomer sheet is 1/5 to 1/2 of the thickness of the insulating elastomer sheet. The elastomeric connector described.
ート中に、10-1Ω・cm 以下の体積抵抗率を有する直径20
〜90μm の範囲から選ばれた金属細線が10〜 125μm の
間隔で互いに平行に配列された成形シートを、接着剤を
介して、金属細線が互いに平行となるように多重積層
し、得られた多重積層体を各金属細線が垂直方向に対し
て所定のオフセット量が得られる角度で、そのオフセッ
ト方向が多重積層方向と平行になるようにスライスする
ことを特徴とするエラストマーコネクタの製造方法。3. A diameter 20 having a volume resistivity of 10 −1 Ω · cm or less in an insulating elastomer sheet having a hardness of 20 to 60 ° H.
Molded sheets in which fine metal wires selected from the range of ~ 90 μm are arranged in parallel with each other at intervals of 10 ~ 125 μm are laminated by using an adhesive so that the fine metal wires are parallel to each other. A method for manufacturing an elastomer connector, comprising slicing a laminated body at an angle such that each thin metal wire has a predetermined offset amount with respect to a vertical direction, and the offset direction is parallel to the multiple laminated direction.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32138795A JPH09161870A (en) | 1995-12-11 | 1995-12-11 | Elastomer connector and its manufacture |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32138795A JPH09161870A (en) | 1995-12-11 | 1995-12-11 | Elastomer connector and its manufacture |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09161870A true JPH09161870A (en) | 1997-06-20 |
Family
ID=18131989
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32138795A Pending JPH09161870A (en) | 1995-12-11 | 1995-12-11 | Elastomer connector and its manufacture |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09161870A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6422879B2 (en) | 2000-02-23 | 2002-07-23 | Nec Corporation | IC socket for surface-mounting semiconductor device |
| JP2005019121A (en) * | 2003-06-25 | 2005-01-20 | Enplas Corp | Carrier for electrical component |
| US7004762B2 (en) | 2002-11-27 | 2006-02-28 | Enplas Corporation | Socket for electrical parts |
-
1995
- 1995-12-11 JP JP32138795A patent/JPH09161870A/en active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6422879B2 (en) | 2000-02-23 | 2002-07-23 | Nec Corporation | IC socket for surface-mounting semiconductor device |
| US7004762B2 (en) | 2002-11-27 | 2006-02-28 | Enplas Corporation | Socket for electrical parts |
| JP2005019121A (en) * | 2003-06-25 | 2005-01-20 | Enplas Corp | Carrier for electrical component |
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