JPH09155665A

JPH09155665A - Positioning device

Info

Publication number: JPH09155665A
Application number: JP32180995A
Authority: JP
Inventors: Toshinori Sato; 俊徳佐藤; Hideki Okaya; 秀樹岡谷
Original assignee: NSK Ltd
Current assignee: NSK Ltd
Priority date: 1995-12-11
Filing date: 1995-12-11
Publication date: 1997-06-17

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To perform high-precision positioning and to reduce size. SOLUTION: A plurality of static pressure gas bearings 3 are attached on the under surface of an XY table 2 and the XY table 2 is supported by the bearing 3. A first guide rail 4 is fixed in parallel the side, extending in an X-direction, of the XY table 2, and a first linear guide bearing 5 is movably coupled to the first guide rail 4. The output shaft member 6a of a first actuator 6 is coupled to the first linear guide bearing 5. Further, a second guide rail 7 is fixed in parallel to one flank side, extending in an Y-direction, of the XY table 2. A second linear guide bearing 8 is movably coupled to the second guide rail 7. The output shaft member 9a of a second actuator 9 is coupled to the second linear guide bearing 8.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、テーブルをＸＹ方
向に移動して任意な位置に位置決めを行う位置決め装置
に係り、特に、ワイヤボンダ用ＸＹテーブル等の高速・
軽量且つ精密な位置決めを行うために有効な位置決め装
置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a positioning device for moving a table in XY directions to position it at an arbitrary position, and particularly to a high speed / high speed XY table for a wire bonder.
The present invention relates to a positioning device effective for performing lightweight and precise positioning.

【０００２】[0002]

【従来の技術】従来の位置決め装置は、二つの一軸テー
ブルを、軸を直交させた状態で積み重ねた構造が一般的
である。即ち、従来の位置決め装置は、図５及び図６に
示すように、Ｘ方向にのみ移動可能に規制されたＸテー
ブル５０の上に、Ｙ方向（上記Ｘ方向と同一平面で直交
する方向）にのみ移動可能に規制されたＹテーブル５１
が配設され、上記Ｙテーブル５１の上面が位置決めすべ
き位置決め面を構成する。そして、上記直交するＸテー
ブル５０及びＹテーブル５１を個々に進退させること
で、上記Ｙテーブル５１上面の位置決め面が、任意な２
次元方向に移動して位置決めされる。2. Description of the Related Art A conventional positioning device generally has a structure in which two uniaxial tables are stacked with their axes orthogonal to each other. That is, as shown in FIGS. 5 and 6, the conventional positioning device is arranged in the Y direction (the direction orthogonal to the X direction on the same plane) on the X table 50 restricted to move only in the X direction. Y table 51 restricted to be movable only
Is provided, and the upper surface of the Y table 51 constitutes a positioning surface to be positioned. Then, the X table 50 and the Y table 51, which are orthogonal to each other, are individually moved back and forth, so that the positioning surface on the upper surface of the Y table 51 is set to an arbitrary 2
It is moved and positioned in the dimension.

【０００３】上記Ｘテーブル５０は、基台５３に固定さ
れたＸ軸用ガイドレール５２に支持される。Ｘ軸用ガイ
ドレール５２は、軸心をＸ方向に向けて配設されて、上
記Ｘテーブル５０をＸ方向にのみ移動可能に規制する。
また、上記Ｘテーブル５０の下面中央には、ボールネジ
５４のネジ棒５４ａが固定される。このネジ棒５４ａ
は、軸心をＸ方向に向けて配置され、ネジ棒５４ａに螺
合するナット部材をモータ５５により回転駆動されるこ
とで上記Ｘテーブル５０をＸ方向に進退させる。ここ
で、上記ボールネジ５４及びモータ５５により、上記Ｘ
テーブル５０を駆動するアクチュエータが構成される。The X table 50 is supported by an X-axis guide rail 52 fixed to a base 53. The X-axis guide rail 52 is disposed with its axis oriented in the X direction, and regulates the X table 50 so that it can move only in the X direction.
A screw rod 54a of a ball screw 54 is fixed to the center of the lower surface of the X table 50. This screw rod 54a
Is arranged with its axis oriented in the X direction, and a nut member screwed onto the screw rod 54a is rotationally driven by a motor 55 to move the X table 50 forward and backward in the X direction. Here, by the ball screw 54 and the motor 55, the X
An actuator that drives the table 50 is configured.

【０００４】また、上記Ｘテーブル５０の上面には、Ｙ
軸用ガイドレール５６が軸心をＹ方向に向けて固定さ
れ、そのＹ軸用ガイドレール５６上にＹテーブル５１が
配設される。この結果、当該Ｙテーブル５１はＹ方向に
のみ移動可能に上記Ｙ軸用ガイドレール５６に規制され
る。そのＹテーブル５１も、上記Ｘテーブル５０用のア
クチュエータと同様な、即ち、ネジ棒をＹ方向に向けた
ボールネジ５７とそのボールネジ棒に螺合するナット部
材を回転駆動するモータ５８とからなるアクチュエータ
により、Ｙ方向に向けて進退する。On the upper surface of the X table 50, Y
The axis guide rail 56 is fixed with its axis centered in the Y direction, and the Y table 51 is arranged on the Y axis guide rail 56. As a result, the Y table 51 is restricted by the Y-axis guide rail 56 so as to be movable only in the Y direction. The Y table 51 is also the same as the actuator for the X table 50, that is, an actuator including a ball screw 57 having a screw rod oriented in the Y direction and a motor 58 for rotationally driving a nut member screwed to the ball screw rod. , Y direction to go back and forth.

【０００５】また、上記Ｘテーブル５０のＸ方向に延在
する一方の側面には、当該Ｘ方向に沿ってスケール５９
が取り付けられ、そのスケール５９とＹ方向で水平に対
向してＸ軸用の位置検出器６０が配設される。そして、
この位置検出器６０によって、Ｘテーブル５０の位置、
ひいてはＹテーブル５１のＸ方向の位置を検出し、その
検出結果が上記Ｘ軸用のアクチュエータのコントローラ
にフィードバックされる。On one side surface of the X table 50 extending in the X direction, a scale 59 is provided along the X direction.
Is attached, and a position detector 60 for the X axis is arranged horizontally opposite to the scale 59 in the Y direction. And
With this position detector 60, the position of the X table 50,
As a result, the position of the Y table 51 in the X direction is detected, and the detection result is fed back to the controller of the X-axis actuator.

【０００６】同様に、上記Ｙテーブル５１のＹ方向に延
在する一方の側面には、当該Ｙ方向に沿ってスケール６
１が設けられ、そのスケール６１とＸ方向で水平に対向
してＹ軸用の位置検出器６２が配設される。そして、こ
の位置検出器６２によってＹテーブル５１のＹ方向の位
置を検出し、その検出結果が上記Ｙ軸用のアクチュエー
タのコントローラにフィードバックされる。Similarly, on one side surface of the Y table 51 extending in the Y direction, a scale 6 is provided along the Y direction.
1 is provided, and a position detector 62 for the Y axis is provided so as to horizontally face the scale 61 in the X direction. The position detector 62 detects the position of the Y table 51 in the Y direction, and the detection result is fed back to the controller of the Y-axis actuator.

【０００７】さらに、精密な位置決めを行うため、上記
各ガイドレール５２，５６の案内面側には、各テーブル
５０，５１の進退方向に沿って静圧気体軸受が設けら
れ、その静圧気体軸受によって、上記Ｘテーブル５０及
びＹテーブル５１は、それぞれ各ガイドレール５０，５
１の案内面と非接触状態で支承され、その状態で上記案
内面に沿って移動可能となっている。Further, in order to perform precise positioning, a static pressure gas bearing is provided on the guide surface side of each of the guide rails 52 and 56 along the advancing / retreating direction of each of the tables 50 and 51. Accordingly, the X table 50 and the Y table 51 are respectively provided with the guide rails 50, 5
It is supported in a non-contact state with the first guide surface, and is movable along the guide surface in that state.

【０００８】[0008]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような二つの一軸テーブルを積み重ねる従来の位置決め
装置においては、次に示すような問題点がある。第１
に、Ｘテーブル５０上にＹテーブル５１が積み重ねられ
て支持される構造であるので、基台５３から見たＹテー
ブル５１の剛性は、Ｘテーブル５０を支承するＸテーブ
ル５０とＸ軸用ガイドレール５２との間の軸受の剛性Ｋ
_Xと、Ｙテーブル５１を支承するＹテーブル５１とＹ軸
用ガイドレール５６との間の軸受の剛性Ｋ_Yとが直列に
影響する。この結果、上記位置決め面を構成するＹテー
ブル５１の軸受剛性Ｋ_Zは、下式で表されるような低い
ものとなる。However, the conventional positioning device for stacking two uniaxial tables as described above has the following problems. First
In addition, since the Y table 51 is stacked and supported on the X table 50, the rigidity of the Y table 51 viewed from the base 53 is determined by the X table 50 supporting the X table 50 and the X-axis guide rail. The bearing stiffness K between 52 and
_X and the rigidity K _Y of the bearing between the Y table 51 supporting the Y table 51 and the Y-axis guide rail 56 influence in series. As a result, the bearing rigidity K _Z of the Y table 51 forming the above-mentioned positioning surface becomes low as expressed by the following equation.

【０００９】Ｋ_Z ＝１／｛（１／Ｋ_X）＋（１／Ｋ_Y）｝特に、位置決めの精度を向上させるために、各テーブル
５０，５１を支承する軸受として静圧気体軸受を採用す
る場合には上記影響は大きくなる。即ち、外部からの振
動が直列状の増幅されて上記位置決め面に伝達されるこ
とで、位置決め精度の悪化に繋がる。K _Z = 1 / {(1 / K _X ) + (1 / K _Y )} In particular, in order to improve the positioning accuracy, a static pressure gas bearing is used as a bearing for supporting each table 50, 51. If so, the above-mentioned effect becomes large. That is, the vibration from the outside is amplified in series and transmitted to the positioning surface, which leads to deterioration of the positioning accuracy.

【００１０】第２に、Ｙテーブル５１がその移動方向
（Ｙ方向）のストローク端に位置する場合とストローク
中央に位置する場合とでは、Ｘテーブル５０を支承する
軸受に対する荷重負担が変化する。即ち、Ｘテーブル５
０は上記Ｙテーブル５１の荷重を受けているので、Ｙテ
ーブル５１がストローク中央に位置する場合には、Ｘテ
ーブル５０用の軸受には左右均等に荷重が分散されて負
担されるが、Ｙテーブル５１がストローク端に位置する
場合には、Ｘテーブル５０用の軸受にはＹテーブル５１
が位置する側に荷重が集中して負担される。特に、Ｙテ
ーブル５１上に重量物が搭載された場合には、変化する
負担荷重とＸテーブル５０を支承する軸受剛性との兼ね
合いで、Ｙ軸方向の上下方向の真直度が悪化する。この
ため、移動するＹテーブル５１に所定以上の上下変位が
生じてしまうおそれがある。Second, the load bearing on the bearing supporting the X table 50 changes depending on whether the Y table 51 is located at the stroke end in the moving direction (Y direction) or at the stroke center. That is, X table 5
No. 0 receives the load of the Y table 51. Therefore, when the Y table 51 is located at the center of the stroke, the load for the X table 50 is evenly distributed on the left and right sides. When 51 is located at the stroke end, the Y table 51 is used as the bearing for the X table 50.
The load is concentrated on the side where is located. Particularly, when a heavy object is mounted on the Y table 51, the straightness in the vertical direction in the Y-axis direction deteriorates due to the balance between the varying load and the rigidity of the bearing that supports the X table 50. Therefore, the moving Y table 51 may be vertically displaced by a predetermined amount or more.

【００１１】第３に、Ｘ方向の位置を検出するためのス
ケールはＸテーブル５０に取り付けられるので、位置決
めすべきＹテーブル５１とＸ軸用の位置検出器とは上下
方向に離れてしまう。このため、アッベの誤差が生じ、
その分だけ位置決め精度が悪化する。この誤差は、上述
した上記Ｙテーブル５１の上下変位によっても発生す
る。Third, since the scale for detecting the position in the X direction is attached to the X table 50, the Y table 51 to be positioned and the position detector for the X axis are separated vertically. Therefore, Abbe's error occurs,
The positioning accuracy deteriorates accordingly. This error also occurs due to the vertical displacement of the Y table 51 described above.

【００１２】第４に、Ｙテーブル５１を駆動するアクチ
ュエータのモータはＹテーブル５１の重量に応じた荷重
のみを負担するのに対して、Ｘ軸を駆動するアクチュエ
ータのモータは、Ｘテーブル５０、Ｙ軸用ガイドレール
５６、及びＹテーブル５１の全重量に応じた荷重を負担
するために慣性が大きくなる。この結果、Ｘ軸方向の制
御性が低下し、Ｘ方向の位置決め時間が長くなる。ま
た、上記のように各モータが負担する荷重が異なるため
に、Ｘ軸用のアクチュエータを駆動する制御とＹ軸用の
アクチュエータを駆動する制御とのゲイン調整が異な
り、２種類の異なったゲイン調整作業が要求される。Fourthly, the motor of the actuator for driving the Y table 51 bears only the load corresponding to the weight of the Y table 51, whereas the motor of the actuator for driving the X axis has the X table 50, Y. Since the load corresponding to the total weight of the shaft guide rail 56 and the Y table 51 is borne, the inertia becomes large. As a result, the controllability in the X-axis direction deteriorates, and the positioning time in the X-direction becomes longer. Further, as described above, since the loads carried by the respective motors are different, the gain adjustment is different between the control for driving the actuator for the X axis and the control for driving the actuator for the Y axis. Work is required.

【００１３】第５に、Ｘ方向に移動するＸテーブル５０
の上にＹ方向に移動するＹテーブル５１を積み重ねた構
造であるために装置を薄くするのが困難であり、さら
に、Ｘテーブル５０及びＹテーブル５１をそれぞれ個別
に支承する軸受が必要となるために、小型化に限度があ
る。本発明は、上記のような問題点に着目してなされた
もので、高精度の位置決めが可能で且つ小型化が可能な
位置決め装置を提供することを目的としている。Fifth, the X table 50 which moves in the X direction.
Since it is a structure in which Y tables 51 that move in the Y direction are stacked on top of each other, it is difficult to make the device thin, and further, bearings that separately support the X table 50 and the Y table 51 are required. However, there is a limit to miniaturization. The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a positioning device capable of highly accurate positioning and capable of being downsized.

【００１４】[0014]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の位置決め装置は、テーブルを、基台に対し
てＸ方向に進退させると共に上記Ｘ方向と同一平面上で
直交するＹ方向に進退させて、当該テーブルを任意の位
置に位置決めする位置決め装置において、上記テーブル
と基台との間に配置されて当該テーブルを基台に対して
浮上支持する静圧気体軸受と、上記テーブルに軸心をＸ
方向に向けて固定される第１可動体と、その第１可動体
に対してＸ方向に移動可能に連結される第１案内部材
と、その第１案内部材をＹ方向に進退させる第１アクチ
ュエータと、上記テーブルに軸心をＹ方向に向けて固定
される第２可動体と、その第２可動体に対してＹ方向に
移動可能に連結される第２案内部材と、その第２案内部
材をＸ方向に進退させる第２アクチュエータと、を備え
ることを特徴としている。In order to achieve the above object, a positioning device of the present invention has a table which moves a table forward and backward in the X direction with respect to a base, and in the Y direction which is orthogonal to the X direction on the same plane. In a positioning device that moves the table back and forth to position the table at an arbitrary position, a static pressure gas bearing that is disposed between the table and the base to support the table in a floating manner with respect to the base and the table. X axis
A first movable body that is fixed in the direction, a first guide member that is movably connected to the first movable body in the X direction, and a first actuator that advances and retracts the first guide member in the Y direction. A second movable body fixed to the table with its axis oriented in the Y direction, a second guide member movably connected to the second movable body in the Y direction, and a second guide member thereof. And a second actuator that moves back and forth in the X direction.

【００１５】本発明の位置決めされるテーブルは、静圧
気体軸受で浮上支持されＸＹ方向の二次元方向に移動可
能となっている。即ち、位置決めされるテーブルは、従
来のように上下に直列状に配置された二つの軸受によっ
て支持されることなく、テーブルと基台とのいずれか一
方に固定した静圧気体軸受が他方に対向する。そして、
第１アクチュエータを駆動して第１案内部材をＹ方向に
進退させると、その第１案内部材のＹ方向への進退は、
第１可動体を介してテーブルに伝達され、当該テーブル
はＹ方向に進退する。The table to be positioned according to the present invention is floatably supported by a static pressure gas bearing and is movable in two-dimensional directions of XY directions. That is, the table to be positioned is not supported by two bearings arranged vertically in series as in the prior art, but the static pressure gas bearing fixed to either the table or the base is opposed to the other. To do. And
When the first actuator is driven to move the first guide member back and forth in the Y direction, the first guide member moves back and forth in the Y direction.
It is transmitted to the table via the first movable body, and the table moves back and forth in the Y direction.

【００１６】このとき、第１案内部材は、上記第１可動
体をＸ方向に移動可能に支持しているので、当該第１案
内部材のＹ方向への移動量は、そのまま、第１可動体を
介してテーブルに伝達される。また、上記テーブルがＹ
方向へ移動する際、当該テーブルに固定される第２可動
体が、第２案内部材によってＹ方向に移動可能に規制さ
れることで、上記テーブルは、確実にＹ方向に進退す
る。At this time, since the first guide member supports the first movable body so as to be movable in the X direction, the amount of movement of the first guide member in the Y direction remains unchanged. Is transmitted to the table via. Also, the above table is Y
When moving in the direction, the second movable member fixed to the table is regulated by the second guide member so as to be movable in the Y direction, so that the table reliably moves in the Y direction.

【００１７】同様に、第２アクチュエータを駆動して第
２案内部材をＸ方向に進退させると、その第２案内部材
のＸ方向への進退は、第２可動体を介してテーブルに伝
達され、当該テーブルはＸ方向に進退する。このとき
も、第２案内部材は、上記第２可動体をＹ方向に移動可
能に支持しているので、当該第２案内部材のＸ方向への
移動量は、そのまま、第２可動体を介してテーブルに伝
達される。また、上記テーブルがＸ方向へ移動する際、
当該テーブルに固定される第１可動体が、第１案内部材
によってＸ方向に移動可能に規制されることで、上記テ
ーブルは、確実にＸ方向に進退する。Similarly, when the second actuator is driven to move the second guide member back and forth in the X direction, the forward and backward movement of the second guide member in the X direction is transmitted to the table via the second movable body, The table moves back and forth in the X direction. Also at this time, since the second guide member supports the second movable body so as to be movable in the Y direction, the amount of movement of the second guide member in the X direction is directly transmitted through the second movable body. Is transmitted to the table. Also, when the table moves in the X direction,
The first movable body fixed to the table is regulated to be movable in the X direction by the first guide member, so that the table reliably moves in the X direction.

【００１８】従って、上記二つのアクチュエータを駆動
することによって、テーブルは任意の方向に移動して位
置決めされる。Therefore, by driving the above two actuators, the table is moved and positioned in any direction.

【００１９】[0019]

【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。まず構成について説明すると、図
１及び図２に示すように、基台１上面と平行にＸＹテー
ブル２が配置され、そのＸＹテーブル２の下面には複数
の円板状の静圧気体軸受３が取り付けられている。な
お、図１では、ＸＹテーブル２の４隅にそれぞれ静圧気
体軸受３を配設した例を示しているが、設定個数や位置
は、これに限定されるものではない。各静圧気体軸受３
は、軸受内部に設けられた絞りを介して下方向、即ち基
台１上面に向けて圧縮空気を噴出可能となっていて、Ｘ
Ｙテーブル２の重量と静圧気体軸受３の浮上力とでバラ
ンスされる重量バランス形の上下方向軸受を構成してい
る。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. First, the configuration will be described. As shown in FIGS. 1 and 2, an XY table 2 is arranged in parallel with the upper surface of the base 1, and a plurality of disk-shaped static pressure gas bearings 3 are provided on the lower surface of the XY table 2. It is installed. Although FIG. 1 shows an example in which the static pressure gas bearings 3 are arranged at the four corners of the XY table 2, the set number and positions are not limited to this. Each static pressure gas bearing 3
Is capable of jetting compressed air downward, that is, toward the upper surface of the base 1 through a throttle provided inside the bearing, and X
A weight-balance type vertical bearing in which the weight of the Y table 2 and the levitation force of the static pressure gas bearing 3 are balanced is configured.

【００２０】これにより、上記ＸＹテーブル２は、基台
１から浮上支持され当該基台１上面に沿って移動可能に
なっている。従って、基台１上面は、ＸＹテーブル２の
移動時の案内面も兼ねるので、平面精度が良好なものを
使用する。また、上記ＸＹテーブル２は、平面視，正方
形状の平板部材であって、各辺がそれぞれＸ方向又はＸ
方向に直交するＹ方向を向くように配置される。ここ
で、図１において上下方向をＹ方向とし、左右方向をＸ
方向とする。As a result, the XY table 2 is supported by the base 1 so as to float, and is movable along the upper surface of the base 1. Therefore, the upper surface of the base 1 also serves as a guide surface when the XY table 2 is moved, and therefore, one having good flatness accuracy is used. The XY table 2 is a flat plate member having a square shape in plan view, and each side is in the X direction or X direction.
It is arranged so as to face the Y direction orthogonal to the direction. Here, in FIG. 1, the vertical direction is the Y direction and the horizontal direction is the X direction.
Direction.

【００２１】また、上記ＸＹテーブル２のＸ方向に延び
る一側面側には、第１ガイドレール４が、上記側面と所
定間隙を開け、且つ、軸をＸ方向に向けて配設される。
その第１ガイドレール４の両端部は、上記ＸＹテーブル
２の一側面に固定される。ここで、上記第１ガイドレー
ル４は、軸部材であり、その断面は円形や角形など特に
限定されるものではない。また、本第１ガイドレール４
は、第１可動体を構成する。A first guide rail 4 is arranged on one side surface of the XY table 2 extending in the X direction with a predetermined gap from the side surface and with its axis oriented in the X direction.
Both ends of the first guide rail 4 are fixed to one side surface of the XY table 2. Here, the first guide rail 4 is a shaft member, and the cross section thereof is not particularly limited to a circular shape or a rectangular shape. In addition, the first guide rail 4
Constitute a first movable body.

【００２２】その第１ガイドレール４には、第１案内部
材を構成する第１直線案内軸受５が嵌合して連結されて
いる。その第１直線案内軸受５は、静圧気体軸受からな
り、上記第１ガイドレール４に対して軸方向、即ちＸ方
向に移動可能である。ここで、本実施の形態では、上記
のように第１直線案内軸受５を静圧気体軸受で構成する
ことで、当該第１直線案内軸受５は上記第１ガイドレー
ル４と非接触状態になり、当該第１ガイドレール４と第
１直線案内軸受５との間に生じる、Ｘ方向への相対移動
時の抵抗を小さく抑えている。A first linear guide bearing 5 constituting a first guide member is fitted and connected to the first guide rail 4. The first linear guide bearing 5 is composed of a static pressure gas bearing and is movable in the axial direction, that is, the X direction with respect to the first guide rail 4. Here, in the present embodiment, by configuring the first linear guide bearing 5 with the static pressure gas bearing as described above, the first linear guide bearing 5 is brought into a non-contact state with the first guide rail 4. The resistance generated between the first guide rail 4 and the first linear guide bearing 5 during relative movement in the X direction is suppressed to a small value.

【００２３】また、上記第１直線案内軸受５には、基台
１に固定された第１アクチュエータ６の出力軸部材６ａ
が連結する。この出力軸部材６ａは、上記第１ガイドレ
ール４と直交する方向、即ちＹ方向に軸心を向けて配設
され、そのＹ方向（軸方向）にのみ往復移動可能に設定
されている。また、上記ＸＹテーブル２のＹ方向に延び
る一側面側には、第２ガイドレール７が、上記側面と所
定間隙を開け、且つ、第２ガイドレール７が軸をＹ方向
に向けて配設される。その第２ガイドレール７の両端部
は、上記ＸＹテーブル２の一側面に固定される。ここ
で、上記第２ガイドレール７は、軸部材であり、その断
面は円形や角形など特に限定されるものではない。ま
た、本第２ガイドレール７は、第２可動体を構成する。The output shaft member 6a of the first actuator 6 fixed to the base 1 is attached to the first linear guide bearing 5.
Are connected. The output shaft member 6a is disposed with its axis centered in the direction orthogonal to the first guide rail 4, that is, in the Y direction, and is set to be reciprocable only in the Y direction (axial direction). A second guide rail 7 is provided on one side surface side of the XY table 2 extending in the Y direction with a predetermined gap from the side surface, and the second guide rail 7 is arranged with its axis oriented in the Y direction. It Both ends of the second guide rail 7 are fixed to one side surface of the XY table 2. Here, the second guide rail 7 is a shaft member, and its cross section is not particularly limited to a circular shape or a rectangular shape. The second guide rail 7 constitutes a second movable body.

【００２４】その第２ガイドレール７には、第２案内部
材を構成する第２直線案内軸受８が嵌合して連結されて
いる。その第２直線案内軸受８は、静圧気体軸受からな
り、上記第２ガイドレール７に対して軸方向、即ちＹ方
向に移動可能である。ここで、本実施の形態では、上記
のように第２直線案内軸受８を静圧気体軸受で構成する
ことで、当該第２直線案内軸受８は上記第２ガイドレー
ル７と非接触状態になり、当該第２ガイドレール７と第
２直線案内軸受８との間に生じるＹ方向への相対移動時
の抵抗を小さく抑えている。A second linear guide bearing 8 constituting a second guide member is fitted and connected to the second guide rail 7. The second linear guide bearing 8 is composed of a static pressure gas bearing and is movable in the axial direction, that is, the Y direction with respect to the second guide rail 7. Here, in the present embodiment, by configuring the second linear guide bearing 8 with the static pressure gas bearing as described above, the second linear guide bearing 8 is brought into a non-contact state with the second guide rail 7. The resistance generated during relative movement in the Y direction between the second guide rail 7 and the second linear guide bearing 8 is kept small.

【００２５】また、上記第２直線案内軸受８には、基台
１に固定された第２アクチュエータ９の出力軸部材９ａ
が連結する。この出力軸部材９ａは、上記第２ガイドレ
ール７と直交する方向、即ちＸ方向に軸心を向けて配設
され、そのＸ方向（軸方向）にのみ往復移動可能に設定
されている。ここで、上記第１アクチュエータ６及び第
２アクチュエータ９の構成例を説明すると、例えば、ロ
ータリエンコーダでフィードバック制御されるＡＣサー
ボモータを用い、そのモータの回転駆動を直線駆動に変
換する機構として、ボールネジを用いる。即ち、上記モ
ータによってナット部材を回転させることでネジ棒を直
線移動させ、そのネジ棒を出力軸部材６ａ，９ａとして
上記各直線案内軸受５，８に連結する。The output shaft member 9a of the second actuator 9 fixed to the base 1 is attached to the second linear guide bearing 8.
Are connected. The output shaft member 9a is disposed with its axis centered in the direction orthogonal to the second guide rail 7, that is, in the X direction, and is set to be reciprocable only in the X direction (axial direction). Here, a configuration example of the first actuator 6 and the second actuator 9 will be described. For example, an AC servomotor feedback-controlled by a rotary encoder is used, and a ball screw is used as a mechanism for converting rotational drive of the motor into linear drive. To use. That is, the screw rod is linearly moved by rotating the nut member by the motor, and the screw rod is connected to the linear guide bearings 5 and 8 as the output shaft members 6a and 9a.

【００２６】勿論、上記第１アクチュエータ６及び第２
アクチュエータ９の構成は、上記構成に限定されるもの
ではない。各直線案内軸受５，８を所定軸方向に進退可
能であれば、リニアモータ等を駆動源にするなど、他の
周知なリニアアクチュエータを採用しても構わない。ま
た、上記ＸＹテーブル２のＸ方向に沿った他の側面に
は、当該側面に沿って位置決め用のスケール１０が取り
付けられ、そのスケール１０とＹ方向で対向する位置に
Ｘ軸用の位置検出器１１が配設される。そして、この位
置検出器１１からの信号によって上記ＸＹテーブル２の
Ｘ方向の位置が検出され、検出された位置信号は、図示
しない第２アクチュエータ９用のコントローラに供給さ
れる。Of course, the first actuator 6 and the second actuator 6
The configuration of the actuator 9 is not limited to the above configuration. Other well-known linear actuators, such as a linear motor as a drive source, may be adopted as long as the linear guide bearings 5 and 8 can be moved back and forth in a predetermined axis direction. In addition, a positioning scale 10 is attached to the other side surface of the XY table 2 along the X direction, and a position detector for the X axis is located at a position facing the scale 10 in the Y direction. 11 are provided. Then, the position of the XY table 2 in the X direction is detected by the signal from the position detector 11, and the detected position signal is supplied to the controller for the second actuator 9 (not shown).

【００２７】同様に、上記ＸＹテーブル２のＹ方向に沿
った他の側面には、当該側面に沿って位置決め用のスケ
ール１２が取り付けられ、そのスケール１２とＸ方向で
対向する位置にＹ軸用の位置検出器１３が配設される。
そして、この位置検出器１３からの信号によって上記Ｘ
Ｙテーブル２のＹ方向の位置が検出され、検出された位
置信号は、図示しない第１アクチュエータ６用のコント
ローラに供給される。Similarly, on the other side surface of the XY table 2 along the Y direction, a positioning scale 12 is attached along the side surface, and for the Y axis at a position facing the scale 12 in the X direction. The position detector 13 is provided.
Then, by the signal from the position detector 13, the X
The position of the Y table 2 in the Y direction is detected, and the detected position signal is supplied to a controller (not shown) for the first actuator 6.

【００２８】次に、上記構成の位置決め装置の動作や効
果等について説明する。上記構成の位置決め装置では、
上記ＸＹテーブル２の上面が位置決めする面を構成し、
そのＸＹテーブル２上に位置決め制御を行う物体を搭載
する。そして、上記ＸＹテーブル２をＹ方向に進退させ
るときには、第１アクチュエータ６の出力軸部材６ａを
目的の長さだけ伸縮させる。すると、第１直線案内軸受
５がＹ方向に同量だけ進退し、第１ガイドレール４を介
してＸＹテーブル２がＹ方向に進退する。Next, the operation and effects of the positioning device having the above structure will be described. In the positioning device having the above configuration,
The upper surface of the XY table 2 constitutes a positioning surface,
An object for positioning control is mounted on the XY table 2. When the XY table 2 is moved back and forth in the Y direction, the output shaft member 6a of the first actuator 6 is expanded and contracted by a desired length. Then, the first linear guide bearing 5 moves back and forth in the Y direction by the same amount, and the XY table 2 moves back and forth in the Y direction via the first guide rail 4.

【００２９】このとき、第１直線案内軸受５は、上記第
１ガイドレール４に対してＸ方向にのみ移動可能なの
で、当該第１直線案内軸受５のＹ方向への移動量は、そ
のまま、第１ガイドレール４を介してＸＹテーブル２に
伝達される。この結果、当該ＸＹテーブル２は、第１ア
クチュエータ６の出力軸部材６ａの伸縮量と等しい量だ
けＹ方向に移動する。At this time, since the first linear guide bearing 5 is movable only in the X direction with respect to the first guide rail 4, the amount of movement of the first linear guide bearing 5 in the Y direction remains unchanged. 1 is transmitted to the XY table 2 via the guide rail 4. As a result, the XY table 2 moves in the Y direction by an amount equal to the expansion / contraction amount of the output shaft member 6a of the first actuator 6.

【００３０】ここで、上記第１直線案内軸受５は静圧気
体軸受３であるので、当該第１直線案内軸受５から第１
ガイドレール４への駆動力の伝達は非接触状態で行わ
れ、ガタツキ感が低減されるようになっている。また、
上記ＸＹテーブル２がＹ方向へ移動する際、当該ＸＹテ
ーブル２に固定される第２ガイドレール７が、第２直線
案内軸受８によりＹ方向にのみ移動可能に規制されるこ
とで、上記ＸＹテーブル２は、確実にＹ方向に進退す
る。Since the first linear guide bearing 5 is the static pressure gas bearing 3, the first linear guide bearing 5 to the first linear guide bearing 5 are
The transmission of the driving force to the guide rail 4 is performed in a non-contact state, so that the rattling feeling is reduced. Also,
When the XY table 2 moves in the Y direction, the second guide rails 7 fixed to the XY table 2 are restricted by the second linear guide bearings 8 so as to be movable only in the Y direction. 2 surely moves back and forth in the Y direction.

【００３１】ここで、上記第２直線案内軸受８は静圧気
体軸受から構成されるので、第２ガイドレール７がＹ方
向に移動する際に当該第２直線案内軸受８に入力される
Ｙ方向への外力は小さく抑えられ、この第２直線案内軸
受８に連結する第２アクチュエータ９の出力軸部材９ａ
に無理な荷重が負荷されることは回避される。同様に、
上記ＸＹテーブル２をＸ方向に進退させるときには、第
２アクチュエータ９の出力軸部材９ａを目的の長さだけ
伸縮させる。すると、第２直線案内軸受８がＸ方向に同
量だけ進退し、第２ガイドレール７を介してＸＹテーブ
ル２がＸ方向に進退する。Since the second linear guide bearing 8 is composed of a static pressure gas bearing, the Y direction input to the second linear guide bearing 8 when the second guide rail 7 moves in the Y direction. External force on the output shaft member 9a of the second actuator 9 connected to the second linear guide bearing 8 is suppressed.
Unreasonable load is prevented from being applied to. Similarly,
When advancing and retracting the XY table 2 in the X direction, the output shaft member 9a of the second actuator 9 is expanded and contracted by a desired length. Then, the second linear guide bearing 8 moves back and forth in the X direction by the same amount, and the XY table 2 moves back and forth in the X direction via the second guide rail 7.

【００３２】このとき、第２直線案内軸受８は、上記第
２ガイドレール７に対してＹ方向に移動可能なので、当
該第２直線案内軸受８のＸ方向への移動量は、そのま
ま、第２ガイドレール７を介してＸＹテーブル２に伝達
される。この結果、当該ＸＹテーブル２は、第２アクチ
ュエータ９の出力軸部材９ａの伸縮量と等しい量だけＸ
方向に移動する。At this time, since the second linear guide bearing 8 is movable in the Y direction with respect to the second guide rail 7, the moving amount of the second linear guide bearing 8 in the X direction is the same as that of the second linear guide bearing 7. It is transmitted to the XY table 2 via the guide rail 7. As a result, the XY table 2 is moved by the amount equal to the expansion / contraction amount of the output shaft member 9a of the second actuator 9 by X.
Move in the direction.

【００３３】ここで、上記第２直線案内軸受８は静圧気
体軸受であるので、当該第２直線案内軸受８から第２ガ
イドレール７への駆動力の伝達は非接触状態で行われ、
ガタツキ感が低減されるようになっている。また、上記
ＸＹテーブル２がＸ方向へ移動する際、当該ＸＹテーブ
ル２に固定される第１ガイドレール４が、第１直線案内
軸受５によりＸ方向にのみ移動可能に規制されること
で、上記ＸＹテーブル２は、確実にＸ方向に進退する。Since the second linear guide bearing 8 is a hydrostatic gas bearing, the driving force is transmitted from the second linear guide bearing 8 to the second guide rail 7 in a non-contact state.
The feeling of rattling is reduced. Further, when the XY table 2 moves in the X direction, the first guide rails 4 fixed to the XY table 2 are restricted by the first linear guide bearings 5 to be movable only in the X direction. The XY table 2 surely moves back and forth in the X direction.

【００３４】ここで、上記第１直線案内軸受５は静圧気
体軸受から構成されるので、第１ガイドレール４がＸ方
向に移動する際に当該第１直線案内軸受５に入力される
Ｘ方向への外力は小さく抑えられ、この第１直線案内軸
受５に連結する第１アクチュエータ６の出力軸部材６ａ
に無理な荷重が負荷されることは回避される。上述のよ
うに、第１及び第２アクチュエータ６，９は、相互に干
渉することなく上記ＸＹテーブル２を同時に駆動可能で
あるので、上記ＸＹテーブル２は、同時にＸ方向及びＹ
方向へ移動させることが可能となっている。Since the first linear guide bearing 5 is composed of a static pressure gas bearing, the X direction input to the first linear guide bearing 5 when the first guide rail 4 moves in the X direction. External force to the output shaft member 6a of the first actuator 6 connected to the first linear guide bearing 5 is suppressed.
Unreasonable load is prevented from being applied to. As described above, since the first and second actuators 6 and 9 can drive the XY table 2 at the same time without interfering with each other, the XY table 2 simultaneously moves in the X direction and the Y direction.
It is possible to move in the direction.

【００３５】また、本実施の形態の位置決め装置は、従
来のように二つの一軸テーブルを積み重ねた構成ではな
く、一つのテーブル２を直接，ＸＹ二方向へ移動させる
構成であるので、従来よりも薄型にすることができる。
また、本実施の形態の位置決め装置では、ＸＹテーブル
２を浮上支持する軸受３が、ＸＹテーブル２の下面に固
定されているので、そのＸＹテーブル２がＸ方向及びＹ
方向の任意の位置に移動しても当該ＸＹテーブル２と軸
受３との位置関係は変更されることはない。この結果、
上記軸受３が負担する荷重は常にほぼ一定に維持され、
安定してＸＹテーブル２を支持可能となり、もって、真
直度が従来よりも向上する。即ち、ＸＹテーブル２が移
動する際に生じる当該ＸＹテーブル２の上下方向への不
要な変動が小さく抑えられる。Further, the positioning device of the present embodiment does not have a structure in which two uniaxial tables are stacked as in the prior art, but has a structure in which one table 2 is directly moved in two XY directions. It can be made thin.
Further, in the positioning device according to the present embodiment, the bearing 3 that supports the XY table 2 in a floating manner is fixed to the lower surface of the XY table 2, so that the XY table 2 moves in the X direction and the Y direction.
The positional relationship between the XY table 2 and the bearing 3 is not changed even if the XY table 2 is moved to any position in the direction. As a result,
The load that the bearing 3 bears is always kept almost constant,
The XY table 2 can be stably supported, and thus the straightness is improved as compared with the conventional one. That is, unnecessary fluctuations in the vertical direction of the XY table 2 that occur when the XY table 2 moves can be suppressed.

【００３６】また、上記ＸＹテーブル２は、従来のよう
に上下に直列状に配置された二つの軸受によって支持さ
れず、ＸＹテーブル２と基台１とのいずれか一方に固定
した静圧気体軸受が他方に対向する構造であるので、軸
受による支持剛性が高くなり、従来よりも外部からの振
動等に対する振動発生が低減し、耐振動性が向上する。The XY table 2 is not supported by two bearings arranged vertically in series as in the prior art, but is a static pressure gas bearing fixed to either the XY table 2 or the base 1. Since the structure is opposed to the other, the supporting rigidity of the bearing is increased, the occurrence of vibration due to external vibration and the like is reduced, and the vibration resistance is improved.

【００３７】また、各アクチュエータ６，９の出力軸部
材６ａ，９ａの軸心を、Ｘ方向及びＹ方向ともに、位置
決めすべきＸＹテーブル２の高さ方向中央位置に設定で
きるために、確実に駆動力を移動方向に沿って上記ＸＹ
テーブル２に伝達可能となる。さらに、ＸＹテーブル２
のＸ軸方向及びＹ軸方向の位置検出にしても、Ｘ軸及び
Ｙ軸ともに、位置検出器１１，１３の信号検出位置を位
置決めするＸＹテーブル２の側面中央に設定されて、位
置検出位置と対象とするＸＹテーブル２の上下方向の距
離を小さくすることが可能となる。この結果、アッベの
誤差を従来よりも小さく抑えることが可能となり、位置
決め精度が向上する。Further, since the shaft centers of the output shaft members 6a and 9a of the actuators 6 and 9 can be set to the center position in the height direction of the XY table 2 to be positioned in both the X and Y directions, they can be reliably driven. XY above the force along the moving direction
It can be transmitted to the table 2. In addition, XY table 2
Even if the position detection is performed in the X-axis direction and the Y-axis direction, both the X-axis and the Y-axis are set at the center of the side surface of the XY table 2 for positioning the signal detection positions of the position detectors 11 and 13, and It is possible to reduce the vertical distance of the target XY table 2. As a result, the Abbe error can be suppressed smaller than in the conventional case, and the positioning accuracy is improved.

【００３８】また、上記のような装置では、Ｘ軸及びＹ
軸への駆動のためのガイド機構やアクチュエータの構成
を対称的に設定可能となるので、第１アクチュエータ６
への負荷と第２アクチュエータ９への負荷がほぼ同一と
なる。この結果、両アクチュエータ６，９の制御系のゲ
インが互いに略同一となり、同種の調整によって両アク
チュエータ６，９の調整作業が可能となる。従って、調
整が容易となり、安定した品質を得ることが可能とな
る。Further, in the above-mentioned device, the X-axis and Y-axis
Since the structure of the guide mechanism and the actuator for driving the shaft can be set symmetrically, the first actuator 6
And the load on the second actuator 9 are substantially the same. As a result, the gains of the control systems of both actuators 6 and 9 become substantially the same, and the adjustment work of both actuators 6 and 9 becomes possible by the same type of adjustment. Therefore, adjustment becomes easy and stable quality can be obtained.

【００３９】また、Ｘ軸及びＹ軸ともアクチュエータ
６，９で負担する荷重はＸＹテーブル２の重量に応じた
荷重のみとなり、従来のように、一方のアクチュエータ
が負担する荷重が大きいために一方の軸方向の制御性が
低下して位置決め時間が長くなることが回避され、Ｘ軸
及びＹ軸とも同一の短い時間で位置決めが可能となり、
装置全体の制御性やバランス性等が向上する。Further, in both the X-axis and the Y-axis, the load carried by the actuators 6 and 9 is only the load corresponding to the weight of the XY table 2, and one of the actuators carries a large load as in the conventional case, so It is possible to prevent the controllability in the axial direction from decreasing and lengthening the positioning time, and it becomes possible to perform positioning in the same short time for both the X-axis and the Y-axis.
The controllability and balance of the entire device are improved.

【００４０】また、使用するテーブル２が一つになった
り、テーブル２を支持する軸受３も一つのテーブルを支
持する軸受で良いなど、所定の精度が要求される部品が
削減できる。このことは、組立を容易にすると共に、装
置の小型化に繋がる。なお、上記実施の形態では、ＸＹ
テーブル２を浮上支持する静圧気体軸受３をテーブル下
面に固定しているが、基台１に固定していてもよい。こ
の場合には、ＸＹテーブル２の位置によって各静圧気体
軸受３が負担する荷重が変動されるが、並列的に配置さ
れるために従来よりも当該静圧気体軸受３の配置自由度
が大きいので、配置の工夫によって各静圧気体軸受３の
負担荷重の変動を従来よりも小さく抑えることが可能で
ある。Further, the number of parts required to have a predetermined accuracy can be reduced, for example, one table 2 is used, and the bearing 3 supporting the table 2 may be a bearing supporting one table. This facilitates assembly and leads to downsizing of the device. In the above embodiment, XY
Although the static pressure gas bearing 3 that supports the table 2 in a floating manner is fixed to the lower surface of the table, it may be fixed to the base 1. In this case, the load that each static pressure gas bearing 3 bears varies depending on the position of the XY table 2. However, since the static pressure gas bearings 3 are arranged in parallel, the degree of freedom in arranging the static pressure gas bearings 3 is greater than in the prior art. Therefore, by devising the arrangement, it is possible to suppress the fluctuation of the load applied to each static pressure gas bearing 3 to be smaller than the conventional one.

【００４１】また、上記実施の形態では、第１及び第２
ガイドレール４，７を可動体とし、第１及び第２直線案
内軸受５，８を案内部材としているが、これ限定される
ものではない。例えば、上記直線案内軸受５，８を、軸
心をＸ方向又はＹ方向に向けた状態でＸＹテーブル２に
固定して可動体とし、ガイドレール４，７を、アクチュ
エータ６，９の出力軸部材６ａ，９ａに連結して案内部
材としても構わない。また、この構成を一方の軸方向に
のみ採用しても構わない。Further, in the above embodiment, the first and second
Although the guide rails 4 and 7 are movable bodies and the first and second linear guide bearings 5 and 8 are guide members, the present invention is not limited to this. For example, the linear guide bearings 5 and 8 are fixed to the XY table 2 as movable bodies with their axes oriented in the X direction or the Y direction, and the guide rails 4 and 7 are output shaft members of the actuators 6 and 9. The guide member may be connected to 6a and 9a. Further, this configuration may be adopted only in one axial direction.

【００４２】次に、第２の実施の形態の位置決め装置に
ついて説明する。上記実施の形態と同様な部材には同一
の符号を付して説明を省略する。本実施の形態の位置決
め装置の基本構成は、上記第１の実施の形態の装置と同
様であり、上記第１及び第２ガイドレール４，７、及び
第１及び第２直線案内軸受５，８をＸＹテーブル２の下
側に配置している。Next, the positioning device according to the second embodiment will be described. The same members as those in the above-described embodiment are designated by the same reference numerals and the description thereof will be omitted. The positioning device according to the present embodiment has the same basic configuration as the device according to the first embodiment, and includes the first and second guide rails 4 and 7 and the first and second linear guide bearings 5 and 8. Are arranged below the XY table 2.

【００４３】即ち、ＸＹテーブル２の左右方向及び前後
方向中央下方位置に、平面視で上記第１及び第２ガイド
レール４，７が直交するように配置される。但し、第１
ガイドレール４を第２ガイドレール７より側に変位させ
て互いに干渉しないようにしている。そして、各ガイド
レール４，７の端部が、ＸＹテーブル２の下面から下方
に突設している下垂部材２０に固定される。なお、図
中、２１は、第１及び第２アクチュエータ６，９の本体
を基台１に固定する台である。また、ＸＹテーブル２の
下面には複数の円柱状の静圧気体軸受３が四隅に取付け
られている。That is, the first and second guide rails 4 and 7 are arranged so as to be orthogonal to each other in a plan view at a position below the center of the XY table 2 in the left-right direction and the front-rear direction. However, the first
The guide rails 4 are displaced to the side of the second guide rails 7 so that they do not interfere with each other. Then, the end portions of the guide rails 4 and 7 are fixed to the hanging member 20 protruding downward from the lower surface of the XY table 2. In the figure, 21 is a base for fixing the main bodies of the first and second actuators 6, 9 to the base 1. A plurality of cylindrical static pressure gas bearings 3 are attached to the lower surface of the XY table 2 at the four corners.

【００４４】他の構成は、上記第１の実施の形態と同様
である。この場合には、各アクチュエータ６，９からの
駆動力が、それぞれＸＹテーブル２の各移動方向中央位
置に入力されるようになる。他の作用・効果は、上記第
１の実施の形態と同様である。なお、この発明の静圧気
体軸受３は四個ではなく、一個でも複数個でも良い。The other structure is the same as that of the first embodiment. In this case, the driving force from each of the actuators 6 and 9 is input to the XY table 2 at the center position in each moving direction. Other functions and effects are similar to those of the first embodiment. The number of the static pressure gas bearings 3 of the present invention is not limited to four, but may be one or plural.

【００４５】[0045]

【発明の効果】以上説明してきたように、本発明の位置
決め装置では、位置決めするテーブルを浮上支持する軸
受が、従来のように上下に直列に配置されずに、テーブ
ルと基台とのいずれか一方に固定した静圧気体軸受が他
方に対向するため、静圧気体軸受による、位置決めすべ
きテーブルの支持剛性が従来よりも高くなる。従って、
従来よりも外部からの振動に強くなるという効果があ
る。As described above, in the positioning device of the present invention, the bearings for floating and supporting the table to be positioned are not arranged vertically in series as in the conventional case, but either the table or the base is provided. Since the static pressure gas bearing fixed on one side opposes the other, the support rigidity of the table to be positioned by the static pressure gas bearing becomes higher than in the conventional case. Therefore,
It has the effect of being more resistant to external vibration than before.

【００４６】また、上記のように位置決めするテーブル
を浮上支持する軸受が配置されることで、テーブルの位
置変化による各軸受が負担する荷重変動を従来よりも小
さく抑えることが可能となり真直度が向上するという効
果がある。即ち、上記軸受の支持剛性の向上と共に、移
動中のテーブルの上下変動を小さく抑えることが可能と
なる。Further, by disposing the bearings for supporting the table for levitation as described above, it is possible to suppress the load fluctuation which each bearing bears due to the change of the position of the table, which is smaller than the conventional one, and the straightness is improved. There is an effect of doing. That is, it is possible to improve the support rigidity of the bearing and suppress the vertical fluctuation of the table during movement.

【００４７】また、Ｘ方向にもＹ方向にも直接，位置決
めするテーブルを移動させる構成であるので、Ｘ方向及
びＹ方向へのテーブル移動のための各アクチュエータの
駆動を制御する位置検出を、直接，位置決めするテーブ
ルの位置を検出することで実施可能となる。従って、位
置検出器と位置決めすべきテーブルの高さをほぼ同じ高
さに設定可能となって、アッベの誤差を従来よりも小さ
く抑えることが可能となる。Since the table for positioning is moved directly in both the X and Y directions, the position detection for controlling the drive of each actuator for moving the table in the X and Y directions can be directly detected. This can be done by detecting the position of the table to be positioned. Therefore, the heights of the position detector and the table to be positioned can be set to substantially the same height, and the Abbe's error can be suppressed smaller than in the conventional case.

【００４８】また、一つのテーブルを支持すればよいた
め、装置を従来よりも薄く且つ小型化することが可能と
なる。さらに、テーブルを浮上支持する軸受等、所定の
精度が要求される部品が削減可能となると共に、組立も
容易になるという効果がある。また、テーブルをＸ方向
及びＹ方向に移動させる各アクチュエータへの負荷がほ
ぼ同一となるため、各アクチュエータの制御系のゲイン
をほぼ同一に設定可能となる。従って、同種類の調整に
よって、第１及び第２アクチュエータの調整が可能とな
る。このように、装置の調整が容易となると共に安定し
た品質を得ることができるという効果がある。Since only one table needs to be supported, the device can be made thinner and smaller than the conventional one. Further, it is possible to reduce the number of parts such as bearings that support the table to float, which require a certain degree of accuracy, and facilitate assembly. Further, since the load on each actuator for moving the table in the X direction and the Y direction is substantially the same, the gain of the control system of each actuator can be set to be substantially the same. Therefore, the same type of adjustment enables adjustment of the first and second actuators. In this way, there is an effect that the adjustment of the device is easy and stable quality can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】本発明の第１の実施の形態に係る位置決め装置
を示す平面図である。FIG. 1 is a plan view showing a positioning device according to a first embodiment of the present invention.

【図２】本発明の第１の実施の形態に係る位置決め装置
を示す側面図である。FIG. 2 is a side view showing the positioning device according to the first embodiment of the present invention.

【図３】本発明の第２の実施の形態に係る位置決め装置
を示す平面図である。FIG. 3 is a plan view showing a positioning device according to a second embodiment of the present invention.

【図４】本発明の第２の実施の形態に係る位置決め装置
を示す側面図である。FIG. 4 is a side view showing a positioning device according to a second embodiment of the present invention.

【図５】従来の位置決め装置を示す平面図である。FIG. 5 is a plan view showing a conventional positioning device.

【図６】従来の位置決め装置を示す側面図である。FIG. 6 is a side view showing a conventional positioning device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１基台２ＸＹテーブル３静圧気体軸受４第１ガイドレール（第１可動体）５第１直線案内軸受（第１案内部材）６第１アクチュエータ６ａ出力軸部材７第２ガイドレール（第２可動体）８第２直線案内軸受（第２案内部材）９第２アクチュエータ９ａ出力軸部材１０，１２スケール１１，１３位置検出器 1 base 2 XY table 3 static pressure gas bearing 4 first guide rail (first movable body) 5 first linear guide bearing (first guide member) 6 first actuator 6a output shaft member 7 second guide rail (second Movable body 8 Second linear guide bearing (second guide member) 9 Second actuator 9a Output shaft member 10, 12 Scale 11, 13 Position detector

Claims

【特許請求の範囲】[Claims]

【請求項１】テーブルを、基台に対してＸ方向に進退
させると共に上記Ｘ方向と同一平面上で直交するＹ方向
に進退させて、当該テーブルを任意の位置に位置決めす
る位置決め装置において、上記テーブルと基台との間に配置されて当該テーブルを
基台に対して浮上支持する静圧気体軸受と、上記テーブ
ルに軸心をＸ方向に向けて固定される第１可動体と、そ
の第１可動体に対してＸ方向に移動可能に連結される第
１案内部材と、その第１案内部材をＹ方向に進退させる
第１アクチュエータと、上記テーブルに軸心をＹ方向に
向けて固定される第２可動体と、その第２可動体に対し
てＹ方向に移動可能に連結される第２案内部材と、その
第２案内部材をＸ方向に進退させる第２アクチュエータ
と、を備えることを特徴とする位置決め装置。1. A positioning device for advancing and retracting a table in an X direction with respect to a base and in a Y direction orthogonal to the X direction on the same plane to position the table at an arbitrary position. A static pressure gas bearing that is arranged between the table and the base to support the table in a floating manner with respect to the base, a first movable body that is fixed to the table with its axis centered in the X direction, and its first A first guide member that is movably connected to one movable body in the X direction, a first actuator that moves the first guide member forward and backward in the Y direction, and is fixed to the table with the axis centered in the Y direction. A second movable member, a second guide member that is movably connected to the second movable member in the Y direction, and a second actuator that advances and retracts the second guide member in the X direction. Characteristic positioning device.