JPH09145378A - Detector employing piezoelectric oscillator - Google Patents
Detector employing piezoelectric oscillatorInfo
- Publication number
- JPH09145378A JPH09145378A JP7301329A JP30132995A JPH09145378A JP H09145378 A JPH09145378 A JP H09145378A JP 7301329 A JP7301329 A JP 7301329A JP 30132995 A JP30132995 A JP 30132995A JP H09145378 A JPH09145378 A JP H09145378A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibrator
- detection
- electrodes
- voltage
- electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Gyroscopes (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、振動型ジャイロス
コープなどに用いられる圧電振動子を用いた検出装置に
係り、特に、圧電材料からの駆動信号の洩れ出力による
影響を防止できるようにした圧電振動子を用いた検出装
置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a detecting device using a piezoelectric vibrator used in a vibration type gyroscope, and more particularly to a piezoelectric device capable of preventing the influence of leakage output of a drive signal from a piezoelectric material. The present invention relates to a detection device using a vibrator.
【０００２】[0002]
【従来の技術】図１３は、圧電振動子を用いた検出装置
の一例として振動型ジャイロスコープを示す斜視図であ
る。図１３に示す振動型ジャイロスコープは、恒弾性金
属（例えばエリンバ）により形成された振動子１の表裏
面に、それぞれ圧電材料２，３，４，５が固着されてい
る。各圧電材料の誘電分極方向は矢印で示され、圧電材
料２および４では互いに向き合う方向であり、圧電材料
３と５は互いに同じ向きであり且つ圧電材料２と異なる
向きである。各圧電材料の上面には、振動子１をＸ方向
へ振動させるための駆動電極２ａ，３ａおよび、コリオ
リ力によるＹ方向の振動成分を検出する検出電極４ａ，
５ａが設けられている。2. Description of the Related Art FIG. 13 is a perspective view showing a vibrating gyroscope as an example of a detecting device using a piezoelectric vibrator. The vibrating gyroscope shown in FIG. 13 has piezoelectric materials 2, 3, 4, and 5 fixed to the front and back surfaces of a vibrator 1 made of a constant elastic metal (for example, elinvar). The direction of the dielectric polarization of each piezoelectric material is indicated by an arrow, the piezoelectric materials 2 and 4 face each other, and the piezoelectric materials 3 and 5 have the same orientation but different from the piezoelectric material 2. On the upper surface of each piezoelectric material, drive electrodes 2a and 3a for vibrating the vibrator 1 in the X direction, and detection electrodes 4a for detecting a vibration component in the Y direction due to the Coriolis force,
5a is provided.
【０００３】駆動時では、振動子１がグランド電位とさ
れ前記駆動電極２ａおよび３ａに同位相の交流駆動電圧
が印加される。ある時点で、駆動電極２ａに正の電圧が
印加されると、圧電材料２は「伸び」となり、負の電圧
が印加されると「縮み」となる。圧電材料３では、前記
圧電材料２と誘電分極方向が反対なので、駆動電極に正
の電圧が印加されると「縮み」となり、負の電圧が印加
されると「伸び」となる。したがって、駆動電極２ａと
３ａに同相の電圧が与えられると、振動子１はＸ方向へ
曲げ振動する。At the time of driving, the vibrator 1 is set to the ground potential, and the AC driving voltage of the same phase is applied to the driving electrodes 2a and 3a. At a certain point in time, when a positive voltage is applied to the drive electrode 2a, the piezoelectric material 2 becomes "extended", and when a negative voltage is applied, it becomes "contracted". Since the piezoelectric material 3 has a dielectric polarization direction opposite to that of the piezoelectric material 2, the piezoelectric material 3 becomes “shrink” when a positive voltage is applied to the drive electrode, and “stretches” when a negative voltage is applied. Therefore, when in-phase voltages are applied to the drive electrodes 2a and 3a, the vibrator 1 bends and vibrates in the X direction.
【０００４】Ｘ軸方向への曲げ振動を与えられている振
動子１がＺ軸回りの回転系内に置かれると、振動子１に
対し、Ｘ方向への速度に比例した大きさのＹ方向へのコ
リオリ力が作用し、振動子１がＹ方向への振動成分を持
つようになる。この振動成分によるＹ軸方向への変形
が、振動子１の裏面に設けられた圧電材料４と５によっ
て検出される。振動子１のＹ方向への振動により、圧電
材料４と５が共に「伸び」と「縮み」を繰返すため、検
出電極４ａと５ａからは、所定の周波数の検出電圧が得
られる。また両検出電極４ａと５ａから得られるコリオ
リ力の検出成分は同じ位相である。When the vibrator 1 to which a bending vibration in the X-axis direction is applied is placed in a rotary system around the Z-axis, the vibrator 1 is moved in the Y-direction whose magnitude is proportional to the speed in the X-direction. The Coriolis force acts on the vibrator 1 so that the vibrator 1 has a vibration component in the Y direction. The deformation in the Y-axis direction due to this vibration component is detected by the piezoelectric materials 4 and 5 provided on the back surface of the vibrator 1. Due to the vibration of the vibrator 1 in the Y direction, the piezoelectric materials 4 and 5 both repeat "elongation" and "contraction", so that a detection voltage of a predetermined frequency is obtained from the detection electrodes 4a and 5a. The detected components of the Coriolis force obtained from both detection electrodes 4a and 5a have the same phase.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】上記振動型ジャイロス
コープでは、振動子１がコリオリ力によりＹ方向への振
動を生じたときに、圧電材料４と５に歪みが生じ、これ
が検出電極４ａ，５ａにより検出されるものとなってい
る。しかし、振動子１は圧電材料２と３に与えられてい
る交流駆動電圧により常にＸ方向へ曲げ振動させられて
いる。したがって、前記圧電材料４と５には、コリオリ
力による歪みと、Ｘ方向への駆動振動による歪みとが合
成されたものとなり、検出電極４ａと５ａからはコリオ
リ力による振動成分を検出した電圧のみならず、Ｘ方向
への振動成分により発生する無効電圧（ヌル電圧）をも
検出されることになる。In the above vibration type gyroscope, when the vibrator 1 vibrates in the Y direction due to the Coriolis force, the piezoelectric materials 4 and 5 are distorted, which causes the detection electrodes 4a and 5a. It has been detected by. However, the vibrator 1 is constantly bent and vibrated in the X direction by the AC drive voltage applied to the piezoelectric materials 2 and 3. Therefore, the piezoelectric materials 4 and 5 are a combination of the distortion due to the Coriolis force and the distortion due to the driving vibration in the X direction, and only the voltage that detects the vibration component due to the Coriolis force from the detection electrodes 4a and 5a. Of course, the reactive voltage (null voltage) generated by the vibration component in the X direction is also detected.
【０００６】しかし、図１３では、Ｘ方向への振動成分
となる前記ヌル電圧は、検出電極４ａと５ａとで逆の位
相（１８０度相違する位相）となる。コリオリ力による
検出成分は検出電極４ａと５ａとで互いに同じ位相であ
るため、コリオリ力による検出出力を得るために、検出
電極４ａと５ａからの検出出力は加算される。そして、
この加算により、各検出電極４ａと５ａとで位相の相違
するヌル電圧は減少させられる。したがって、検出電極
４ａと５ａの検出出力の増幅利得を調節することによ
り、両検出電極４ａと５ａのそれぞれから得られるヌル
電圧を、互いにほぼ完全に打ち消すことが可能である。However, in FIG. 13, the null voltage, which is a vibration component in the X direction, has opposite phases (phases different by 180 degrees) between the detection electrodes 4a and 5a. Since the detection components due to the Coriolis force have the same phase in the detection electrodes 4a and 5a, the detection outputs from the detection electrodes 4a and 5a are added to obtain the detection output due to the Coriolis force. And
By this addition, null voltages having different phases between the detection electrodes 4a and 5a are reduced. Therefore, by adjusting the amplification gains of the detection outputs of the detection electrodes 4a and 5a, it is possible to cancel the null voltages obtained from the detection electrodes 4a and 5a, respectively, almost completely.
【０００７】しかし、実際の装置において、ある温度条
件の基で検出電極４ａと５ａからの検出出力の増幅利得
を調節して、検出電極４ａと５ａからそれぞれ得られた
逆位相のヌル電圧をほぼ完全に相殺できるようにしたと
きに、環境温度が変わると、相殺したはずのヌル電圧に
近似したノイズが発生する現象が確認された。その原因
を調べたところ、圧電材料の洩れ電圧、すなわち交流駆
動電圧のうち検出電極４ａ，５ａに洩れてくる振動成分
と関係のない洩れ電圧が、ヌル電圧に重畳していること
が解った。この洩れ電圧とヌル電圧は温度特性が相違し
ているために、ある温度条件で洩れ電圧とヌル電圧が重
畳された出力を相殺できるようにしても、他の温度環境
で使用すると、いずれかの電圧が相殺されずに残ってし
まいこれがノイズ成分となる。However, in an actual apparatus, the amplification gains of the detection outputs from the detection electrodes 4a and 5a are adjusted under a certain temperature condition so that the null voltages of opposite phases obtained from the detection electrodes 4a and 5a are almost equalized. It has been confirmed that when the environment temperature is changed, noise that is close to the null voltage that should have been canceled occurs when the temperature is completely canceled. When the cause was investigated, it was found that the leak voltage of the piezoelectric material, that is, the leak voltage of the AC drive voltage, which is not related to the vibration component leaking to the detection electrodes 4a and 5a, is superimposed on the null voltage. Since the leak voltage and the null voltage have different temperature characteristics, even if it is possible to cancel the output in which the leak voltage and the null voltage are superposed on each other under certain temperature conditions, if they are used in other temperature environments, either The voltage remains without being canceled out, and this becomes a noise component.
【０００８】図１４は、上記各電圧の波形を示したもの
である。は駆動電極２ａと３ａに与えられる交流駆動
電圧であり、この交流駆動電圧が検出電極４ａと５ａに
洩れた洩れ電圧がである。とは同じ位相である。
振動子がＸ方向へ振動する成分として検出電極４ａまた
は５ａから検出される無効電圧（ヌル電圧）がであ
り、このヌル電圧はコリオリ力の検出出力と同じ位相で
あり、交流駆動電圧とは位相が９０°遅れている。FIG. 14 shows the waveform of each voltage. Is the AC drive voltage applied to the drive electrodes 2a and 3a, and the leakage voltage leaked from the AC drive voltage to the detection electrodes 4a and 5a is. And have the same phase.
A reactive voltage (null voltage) detected from the detection electrode 4a or 5a is a component that vibrates the vibrator in the X direction. This null voltage has the same phase as the detection output of the Coriolis force, and has a phase with the AC drive voltage. Is 90 degrees behind.
【０００９】そしてヌル電圧と洩れ電圧とが加算さ
れたノイズ成分がである。前記のようにある温度条件
において、検出電極４ａからの出力と、検出電極５ａか
らの出力の増幅利得を調整し、加算によりノイズ成分
を除去できるようにした場合、洩れ電圧とヌル電圧
はそれぞれ異なる温度特性を有しているため、調整時の
温度と使用環境温度条件が相違してくると、検出電極４
ａと検出電極５ａとの間で、ノイズ成分を相殺できなく
なる。また、振動型ジャイロスコープ以外の圧電振動子
を用いた装置においても、図１４に示す洩れ電圧は検
出精度に影響を与えるものとなる。The noise component is the sum of the null voltage and the leakage voltage. As described above, under a certain temperature condition, when the amplification gain of the output from the detection electrode 4a and the output from the detection electrode 5a are adjusted and the noise component can be removed by addition, the leak voltage and the null voltage are different from each other. Since it has temperature characteristics, if the temperature at the time of adjustment and the operating environment temperature conditions differ, the detection electrode 4
The noise component cannot be canceled between a and the detection electrode 5a. Further, even in a device using a piezoelectric vibrator other than the vibration type gyroscope, the leak voltage shown in FIG. 14 affects the detection accuracy.
【００１０】本発明は上記従来の課題を解決するもので
あり、図１４に示す洩れ電圧を簡単な手段で除去できる
ようにして高精度な検出を可能とした圧電振動子を用い
た検出装置を提供することを目的としている。The present invention is to solve the above-mentioned conventional problems, and provides a detection device using a piezoelectric vibrator capable of highly accurate detection by removing the leakage voltage shown in FIG. 14 by a simple means. It is intended to be provided.
【００１１】[0011]
【課題を解決するための手段】本発明は、少なくとも一
部が圧電材料で構成された振動子と、振動子の駆動電極
に交流駆動信号を与えて前記振動子を圧電効果により駆
動する駆動部と、前記振動子の振動による歪みを検出す
る検出電極とを有する圧電振動子を用いた検出装置にお
いて、前記振動子を構成しているのと同じ材料で且つ振
動しない部分に設けられた圧電材料と、この圧電材料に
前記振動子と同じ駆動信号を与える電極と、この圧電材
料からの駆動信号の洩れ信号を検出する洩れ検出電極
と、前記洩れ検出電極から得られる洩れ出力に基づい
て、前記検出電極から得られる検出出力から前記洩れ出
力成分を電気的に除去する回路が設けられていることを
特徴とするものである。DISCLOSURE OF THE INVENTION The present invention provides a vibrator, at least a part of which is made of a piezoelectric material, and a drive section for applying an AC drive signal to a drive electrode of the vibrator to drive the vibrator by a piezoelectric effect. And a detection device using a piezoelectric vibrator having a detection electrode for detecting distortion due to vibration of the vibrator, in the same material as that of the vibrator, and a piezoelectric material provided in a portion that does not vibrate. An electrode that gives the piezoelectric material the same drive signal as that of the vibrator, a leak detection electrode that detects a leak signal of the drive signal from the piezoelectric material, and a leak output obtained from the leak detection electrode. It is characterized in that a circuit for electrically removing the leakage output component from the detection output obtained from the detection electrode is provided.
【００１２】また、本発明は、少なくとも一部が圧電材
料で形成された弾性板の一部に前記振動子が形成されて
おり、この弾性板のうち前記振動子の振動の影響を受け
ない部分の圧電材料に、洩れ検出電極が設けられている
ものとすることができる。Further, according to the present invention, the vibrator is formed on a part of an elastic plate at least a part of which is made of a piezoelectric material, and a part of the elastic plate which is not affected by the vibration of the vibrator. The piezoelectric material may be provided with a leak detection electrode.
【００１３】さらに、駆動電極は、振動子の部分と、洩
れ検出電極に対向する部分とに、共通に形成することが
可能である。Further, the drive electrode can be formed commonly in the portion of the vibrator and the portion facing the leak detection electrode.
【００１４】また、本発明は、複数の振動子が、弾性板
に分岐形成されており、交流駆動信号により駆動される
振動子がコリオリ力を受けてさらに振動したときに、こ
のコリオリ力の振動成分が前記検出電極から検出される
振動型ジャイロスコープとして構成することができる。Further, according to the present invention, a plurality of vibrators are branched and formed on the elastic plate, and when the vibrator driven by the AC drive signal further receives the Coriolis force and further vibrates, the Coriolis force vibrates. It can be configured as a vibrating gyroscope in which components are detected from the detection electrodes.
【００１５】圧電材料に形成された駆動電極に交流駆動
信号を与えて振動子を駆動し、さらにこの振動子の振動
の検出、例えばコリオリ力の検出が行われる場合に、検
出電極に、本来検出しようとする出力の他に、前記駆動
信号が検出電極に洩れでてくる振動とは無関係な洩れ出
力が重畳される。本発明では、振動子の振動の影響を受
けない部分（振動していない部分）に振動子を構成する
のと同じ圧電材料が設置され、この圧電材料に前記と同
じ交流駆動信号が与えられるとともに、この圧電材料に
洩れ検出電極が設けられる。When an AC drive signal is applied to the drive electrode formed on the piezoelectric material to drive the vibrator, and when the vibration of the vibrator is detected, for example, the Coriolis force is detected, the detection electrode is originally detected. In addition to the desired output, a leakage output unrelated to the vibration of the drive signal leaking to the detection electrode is superimposed. According to the present invention, the same piezoelectric material that constitutes the vibrator is installed in a portion that is not affected by vibration of the vibrator (non-vibrating portion), and the same AC drive signal as that described above is applied to this piezoelectric material. The piezoelectric material is provided with a leak detection electrode.
【００１６】上記洩れ検出電極からは、使用している圧
電材料および与えられる交流駆動信号に応じた洩れ出力
（交流駆動信号と同じ位相の洩れ出力）が得られる。振
動子に設けられた検出電極からの検出出力に対し、前記
洩れ検出電極から得られる洩れ出力の成分を電気的に除
去することにより、検出電極からの検出出力から洩れ出
力の成分を除去できるものとなる。From the leakage detection electrode, a leakage output (leakage output having the same phase as the AC drive signal) according to the piezoelectric material used and the applied AC drive signal can be obtained. By electrically removing the component of the leakage output obtained from the leakage detection electrode from the detection output from the detection electrode provided on the vibrator, the component of the leakage output can be removed from the detection output from the detection electrode. Becomes
【００１７】[0017]
【発明の実施の形態】以下、本発明について図面を参照
して説明する。図１ないし図３は本発明の第１の構成例
として三脚音叉型の振動型ジャイロスコープを示すもの
であり、図１（Ａ）は各振動子を表面側から見た斜視
図、図１（Ｂ）は同図（Ａ）を上下逆の向きにして示し
た斜視図、図２は各振動子の端面を図１（Ａ）のＩＩ矢
視方向から見た端面図、図３は、検出装置の回路ブロッ
ク図である。図１に示す振動型ジャイロスコープは、全
体が圧電セラミックなどの圧電材料で形成された弾性板
１０の先部に、互いに平行に分離された３個の振動子が
形成されている。この振動型ジャイロスコープでは、両
側の振動子が同じ位相で振動するため、この両側の振動
子を同じ符号１１で示している。また中央の振動子は両
側の振動子と異なる位相で振動するため、両側の振動子
１１と異なる符号１２で示している。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below with reference to the drawings. 1 to 3 show a tripod tuning fork type vibrating gyroscope as a first configuration example of the present invention. FIG. 1A is a perspective view of each transducer viewed from the front side, and FIG. FIG. 2B is a perspective view showing the same FIG. 1A in the upside-down direction, FIG. 2 is an end view of the end face of each transducer seen from the direction of arrow II in FIG. 1A, and FIG. It is a circuit block diagram of an apparatus. In the vibrating gyroscope shown in FIG. 1, three vibrators, which are separated in parallel with each other, are formed on the tip of an elastic plate 10 wholly made of a piezoelectric material such as piezoelectric ceramic. In this vibrating gyroscope, the oscillators on both sides vibrate in the same phase, and therefore the oscillators on both sides are denoted by the same reference numeral 11. Further, the central oscillator vibrates in a phase different from that of the oscillators on both sides, and is therefore indicated by reference numeral 12 different from that of the oscillators 11 on both sides.
【００１８】左右両側の振動子１１，１１の表面１１
ａ，１１ａには、それぞれ電極１５ａ，１５ｂ，１５ｃ
が、裏面１１ｂ，１１ｂには、電極１６ａ，１６ｂ，１
６ｃが形成されている。中央の振動子１２では、表面１
２ａに電極１７ａ，１７ｂ，１７ｃが形成され、裏面１
２ｂに、電極１８ａ，１８ｂ，１８ｃが形成されてい
る。図１（Ａ）に示すように、各振動子１１と１２の表
面１１ａと１２ａに形成された電極１５ａ，１５ｂ，１
５ｃおよび１７ａ，１７ｂ，１７ｃは、各振動子１１と
１２の軸方向全長に渡って形成されているとともに、さ
らに弾性板１０の基部１０ａの終端まで連続して延びて
いる。図１（Ｂ）に示すように、各振動子１１の裏面１
１ｂに形成された電極１６ａ，１６ｂ，１６ｃは、前記
電極１７ａなどと同様に弾性板１０の基部１０ａの終端
まで連続して延びている。中央の振動子１２の裏面では
中央の電極１８ｂが、弾性板１０の基部１０ａの終端ま
で全長に延びているが、その両側に位置する電極１８ａ
と１８ｃは、弾性板１０の基部１０ａの途中まで形成さ
れている。そして弾性板１０の基部１０ａの最も基端側
の（イ）の部分では、前記電極１８ａと１８ｃの延長線
上に位置する短電極２１ａと２１ｂが形成されている。Surfaces 11 of the left and right vibrators 11, 11
a and 11a have electrodes 15a, 15b and 15c, respectively.
However, on the back surfaces 11b, 11b, the electrodes 16a, 16b, 1
6c is formed. In the central oscillator 12, the surface 1
Electrodes 17a, 17b, 17c are formed on 2a, and the back surface 1
Electrodes 18a, 18b and 18c are formed on 2b. As shown in FIG. 1A, the electrodes 15a, 15b, 1 formed on the surfaces 11a and 12a of the vibrators 11 and 12, respectively.
5c and 17a, 17b, 17c are formed over the entire axial length of each transducer 11 and 12, and further extend continuously to the end of the base portion 10a of the elastic plate 10. As shown in FIG. 1B, the back surface 1 of each transducer 11
The electrodes 16a, 16b, 16c formed on 1b continuously extend to the end of the base portion 10a of the elastic plate 10 similarly to the electrode 17a and the like. On the back surface of the central oscillator 12, the central electrode 18b extends the entire length to the end of the base 10a of the elastic plate 10, but the electrodes 18a located on both sides thereof.
And 18c are formed up to the middle of the base portion 10a of the elastic plate 10. Further, short electrodes 21a and 21b located on the extension lines of the electrodes 18a and 18c are formed in the portion (a) on the most proximal side of the base 10a of the elastic plate 10.
【００１９】この三脚音叉型の振動型ジャイロスコープ
では、左右の振動子１１，１１と、中央の振動子１２と
が異なる位相により振動し、弾性板１０全体ではＸ方向
の幅方向の中心に対しその左右の部分が対称の振動を生
じる。したがって、振動子１１，１１および１２の振動
は、振動子が形成されていない弾性板１０の基部１０ａ
にあまり影響を与えず、基部１０ａはほとんど振動を生
じない。とくに最も基端側の（イ）の部分は、節となっ
て振動の影響が最も及ばない。前記短電極２１ａと２１
ｂは、振動の影響の最も少ない（イ）の部分に形成され
ている。この短電極２１ａと２１ｂが、本発明の特徴の
洩れ検出電極として使用される。各振動子１１と１２
は、その厚み内に誘電分極が施されている。振動子を構
成している圧電セラミックでは、各電極に所定の電圧を
与えることによりその電界方向に沿って誘電分極が施さ
れる。図２において矢印で示す方向が、各電極間での誘
電分極方向である。In this vibrating gyroscope of the tripod tuning fork type, the left and right vibrators 11, 11 vibrate with different phases, and the elastic plate 10 as a whole vibrates with respect to the center in the width direction in the X direction. The left and right parts produce symmetrical vibration. Therefore, the vibrations of the vibrators 11, 11 and 12 are generated by the base portion 10a of the elastic plate 10 on which the vibrators are not formed.
Does not affect so much, and the base part 10a produces almost no vibration. Especially, the portion (a) on the most proximal side is a node and is not affected by the vibration. The short electrodes 21a and 21
b is formed in the portion (a) where the influence of vibration is least. The short electrodes 21a and 21b are used as the leak detection electrodes, which is a feature of the present invention. Each transducer 11 and 12
Has a dielectric polarization within its thickness. In the piezoelectric ceramic that constitutes the vibrator, by applying a predetermined voltage to each electrode, dielectric polarization is applied along the direction of the electric field. The direction indicated by the arrow in FIG. 2 is the dielectric polarization direction between the electrodes.
【００２０】図２の例では、上面側の電極１５ｂと１７
ｂがグランド電位であり、下面側では、電極１６ｂと１
８ｂがグランド電位である。上面側の電極１５ａ，１５
ｃ，１７ａ，１７ｃは駆動電極であり、これには（＋）
の交流駆動電圧が印加される。下面側では、電極１６ａ
と１６ｃが駆動電極であり、これに（−）の交流駆動電
圧が与えられる。ここで（＋）の交流駆動電圧とは、Ｖ
0・sin（ωｔ）を意味し、（−）の交流駆動電圧とは、
−Ｖ0・sin（ωｔ）を意味している。すなわち（＋）と
（−）の交流駆動電圧は、互いに逆の位相（１８０°相
違する位相）の交流電圧であることを意味している。In the example of FIG. 2, the electrodes 15b and 17 on the upper surface side are formed.
b is the ground potential, and on the lower surface side, electrodes 16b and 1
8b is the ground potential. Electrodes 15a, 15 on the upper surface side
c, 17a, 17c are drive electrodes, and (+)
The AC drive voltage is applied. On the lower surface side, the electrode 16a
And 16c are drive electrodes to which a negative (-) AC drive voltage is applied. Here, the (+) AC drive voltage is V
0 · sin (ωt) means that the (−) AC drive voltage is
It means −V0 · sin (ωt). That is, it means that the (+) and (−) AC drive voltages are AC voltages having mutually opposite phases (phases different by 180 °).
【００２１】この交流駆動電圧が与えられると、圧電セ
ラミックの圧電歪みにより、各振動子１１と１２がＸ方
向（第１の方向）へ振動駆動される。ここで、左右両側
の振動子１１の誘電分極方向と、中央の振動子１２の誘
電分極方向とは、互いに対称形状であるため、各駆動電
極に駆動電圧が与えられたときの歪みにより、左右両側
の振動子１１，１１と、中央の振動子１２とでは、Ｘ方
向への振動の位相が１８０°相違し、ある時点での振動
子１１と１１の振幅の方向が＋Ｘ方向のとき、中央の振
動子１２の振幅方向は−Ｘ方向である。When this AC drive voltage is applied, the vibrators 11 and 12 are vibrated and driven in the X direction (first direction) due to the piezoelectric strain of the piezoelectric ceramic. Here, since the dielectric polarization directions of the vibrators 11 on the left and right sides and the dielectric polarization direction of the central vibrator 12 are symmetrical to each other, the left and right sides are affected by distortion when a drive voltage is applied to each drive electrode. The phases of the vibrations in the X direction are different by 180 ° between the vibrators 11 and 11 on both sides and the vibrator 12 in the center, and when the amplitude directions of the vibrators 11 and 11 at a certain time point are + X direction, The amplitude direction of the oscillator 12 is −X direction.
【００２２】この振動型ジャイロスコープがＺ軸回りの
回転系内に置かれると、コリオリ力により振動方向と直
交するＹ方向（第２の方向）への力が作用する。左右の
振動子１１，１１と中央の振動子１２は、Ｘ方向へ互い
に逆の位相で振動駆動されているため、コリオリ力によ
る振動成分は、両側の振動子１１，１１と中央の振動子
１２とで逆位相となり、例えば両側の振動子１１，１１
のある時点でのコリオリ力による振幅成分が＋Ｙ方向で
あるとき、中央の振動子１２のコリオリ力による振幅成
分は−Ｙ方向である。図２の例では、中央の振動子１２
の裏面１２ｂの両縁部に形成された電極１８ａと１８ｃ
が検出電極であり、この検出電極１８ａと１８ｃからの
検出出力をＰ１とＰ２で示している。When this vibrating gyroscope is placed in a rotary system around the Z axis, a Coriolis force exerts a force in the Y direction (second direction) orthogonal to the vibrating direction. The left and right vibrators 11, 11 and the central vibrator 12 are oscillated and driven in opposite phases in the X direction, so that the vibration component due to the Coriolis force causes the vibrators 11, 11 on both sides and the central vibrator 12 And become opposite phases, and for example, the vibrators 11 and 11 on both sides
When the amplitude component due to the Coriolis force at a certain point of time is in the + Y direction, the amplitude component due to the Coriolis force of the central vibrator 12 is in the −Y direction. In the example of FIG. 2, the central oscillator 12
Electrodes 18a and 18c formed on both edges of the back surface 12b of the
Is a detection electrode, and the detection outputs from the detection electrodes 18a and 18c are indicated by P1 and P2.
【００２３】中央の振動子１２がコリオリ力によりＹ方
向へ振動すると、前記検出電極１８ａと１８ｃからＹ方
向の振動成分が検出される。検出電極１８ａが形成され
ている部分と、検出電極１８ｃが形成されている部分と
で、中央の振動子１２の誘電分極方向が逆である。そし
て検出電極１８ａが設けられている部分と、検出電極１
８ｃが設けられている部分とでは、Ｙ方向への振動の際
の歪み方向が同じである。よって、検出電極１８ａと検
出電極１８ｃとで、Ｙ方向へ振動成分が異なる位相（１
８０°相違する位相）の検出電圧として得られる。When the central vibrator 12 vibrates in the Y direction by the Coriolis force, the Y direction vibration component is detected from the detection electrodes 18a and 18c. The dielectric polarization directions of the central vibrator 12 are opposite between the portion where the detection electrode 18a is formed and the portion where the detection electrode 18c is formed. The portion where the detection electrode 18a is provided and the detection electrode 1
The portion in which 8c is provided has the same strain direction when vibrating in the Y direction. Therefore, the detection electrode 18a and the detection electrode 18c have different phases (1
It is obtained as a detection voltage having a phase difference of 80 °.
【００２４】また、上記検出電極１８ａと１８ｃに延長
する部分には、短電極２１ａと２１ｂが形成されてい
る。前述のようにこの短電極２１ａと２１ｂは、弾性板
１０の基部１０ａの最も振動の影響を受けない（イ）の
部分に形成されており、この短電極２１ａと２１ｂが洩
れ検出電極となる。この短電極２１ａと２１ｂは、圧電
材料を挟んで、表面１２ａ側の駆動電極１７ａと１７ｃ
に対向している。したがって、この短電極２１ａ，２１
ｂには、各振動子１１と１２の影響を受けない、交流駆
動電圧の洩れ電圧のみが検出される。この洩れ電圧と
は、圧電材料に外力からの歪みを与えない状態で、駆動
電極に交流駆動電圧が与えられたときに、圧電材料の静
電結合などのに起因して出力される。洩れ電圧は図１４
でで示したように、交流駆動電圧と同じ位相の電圧で
あり、図１と図３では、洩れ検出電極２１ａと２１ｂか
らの洩れ検出電圧をＰ３とＰ４で示している。Short electrodes 21a and 21b are formed on the portions extending to the detection electrodes 18a and 18c. As described above, the short electrodes 21a and 21b are formed on the portion (a) of the base portion 10a of the elastic plate 10 that is least affected by the vibration, and the short electrodes 21a and 21b serve as leakage detection electrodes. The short electrodes 21a and 21b sandwich the piezoelectric material and drive electrodes 17a and 17c on the front surface 12a side.
Facing. Therefore, the short electrodes 21a, 21
In b, only the leakage voltage of the AC drive voltage, which is not affected by the vibrators 11 and 12, is detected. The leakage voltage is output due to electrostatic coupling of the piezoelectric material when an AC drive voltage is applied to the drive electrode in a state where the piezoelectric material is not distorted by an external force. Fig.14 shows the leakage voltage
1 and 3, the leak detection voltages from the leak detection electrodes 21a and 21b are indicated by P3 and P4, respectively.
【００２５】図３に示すように、本発明の検出装置で
は、各短電極２１ａと２１ｂからの洩れ検出電圧Ｐ３と
Ｐ４を、それぞれ所定の利得で増幅し、且つその増幅利
得を可変自在な可変利得増幅器３１ａと３１ｂが設けら
れている。また、検出電極１８ａからの検出出力Ｐ１
と、前記増幅器３１ａの増幅出力との差をとる差動回路
３２ａ、および検出電極１８ｃからの検出出力Ｐ２と、
前記増幅器３１ｂの増幅出力の差をとる差動回路３２
ｂ、さらに差動回路３２ａの出力と差動回路３２ｂの出
力との差を求める差動回路３３が設けられている。この
差動回路３３からの出力が所定の利得にて増幅されるな
どして出力部３４に出力される。As shown in FIG. 3, in the detection device of the present invention, the leak detection voltages P3 and P4 from the short electrodes 21a and 21b are respectively amplified with a predetermined gain, and the amplification gain is variable. Gain amplifiers 31a and 31b are provided. Further, the detection output P1 from the detection electrode 18a
And a detection output P2 from the differential circuit 32a and the detection electrode 18c, which takes a difference between the amplified output of the amplifier 31a and
A differential circuit 32 that takes the difference between the amplified outputs of the amplifier 31b
b, and a differential circuit 33 that determines the difference between the output of the differential circuit 32a and the output of the differential circuit 32b. The output from the differential circuit 33 is output to the output unit 34 after being amplified by a predetermined gain.
【００２６】次に、上記振動型ジャイロスコープに用い
られている圧電振動子の検出装置の調整方法および検出
動作について説明する。可変利得増幅器３１ａの増幅利
得をα、同じく可変利得増幅器３１ｂの増幅利得をβと
すると、（ロ）の部分の出力は（Ｐ１−α・Ｐ３）、
（ハ）の部分の出力は（Ｐ２−β・Ｐ４）である。ま
ず、各振動子１１と１２を振動しないように機械的に拘
束して、駆動電極１５ａ，１５ｃおよび駆動電極１７
ａ，１７ｃに、Ｖ0・sin（ωｔ）の交流駆動電圧を与
え、駆動電極１６ａと１６ｃに−Ｖ0・sin（ωｔ）の交
流駆動電圧を与える。あるいは中央の振動子１２の駆動
電極１７ａと１７ｃのみに前記Ｖ0・sin（ωｔ）の駆動
電圧を与えて、中央の振動子１２のみを機械的に拘束し
てもよい。Next, an adjusting method and a detecting operation of the detecting device of the piezoelectric vibrator used in the above-mentioned vibration type gyroscope will be described. When the amplification gain of the variable gain amplifier 31a is α and the amplification gain of the variable gain amplifier 31b is β, the output of the part (b) is (P1-α · P3),
The output of the part (c) is (P2-β · P4). First, the vibrators 11 and 12 are mechanically restrained so as not to vibrate, and the drive electrodes 15a and 15c and the drive electrode 17 are restrained.
An AC drive voltage of V0 · sin (ωt) is applied to a and 17c, and an AC drive voltage of −V0 · sin (ωt) is applied to the drive electrodes 16a and 16c. Alternatively, the drive voltage of V0 · sin (ωt) may be applied only to the drive electrodes 17a and 17c of the central vibrator 12 to mechanically restrain only the central vibrator 12.
【００２７】振動子が振動しないように拘束されている
ときの、検出電極１８ａと１８ｃからの検出出力Ｐ１と
Ｐ２は、駆動電極１７ａと１７ｃに与えられる交流駆動
電圧｛Ｖ0・sin（ωｔ）｝が、検出電極１８ａと１８ｃ
に洩れ出た洩れ電圧のみである。一方、短電極２１ａと
２１ｂも圧電材料を挟んで、同じ駆動電極１７ａと１７
ｃに対向しているために、短電極２１ａと２１ｂからも
洩れ電圧Ｐ３とＰ４が出力される。振動子を機械的に拘
束している状態で、図３において（ロ）および（ハ）の
出力が０ボルトであれば、検出電極１８ａと１８ｃから
の検出出力Ｐ１とＰ２である洩れ電圧が、短電極２１ａ
と２１ｂからの洩れ電圧Ｐ３とＰ４で打ち消されている
ことになる。よって、この調整の段階で増幅利得をα＝
Ｐ１／Ｐ３で、β＝Ｐ２／Ｐ４となるように調整すれば
よい。The detection outputs P1 and P2 from the detection electrodes 18a and 18c when the vibrator is restrained so as not to vibrate are the AC drive voltage {V0.sin (ωt)} applied to the drive electrodes 17a and 17c. But the detection electrodes 18a and 18c
It is only the leakage voltage that has leaked to. On the other hand, the short electrodes 21a and 21b also sandwich the piezoelectric material, and the same drive electrodes 17a and 17b
Since they are opposed to c, leakage voltages P3 and P4 are also output from the short electrodes 21a and 21b. When the output of (b) and (c) in FIG. 3 is 0 volt while the oscillator is mechanically restrained, the leakage voltage which is the detection outputs P1 and P2 from the detection electrodes 18a and 18c is Short electrode 21a
Therefore, it is canceled by the leakage voltages P3 and P4. Therefore, the amplification gain α =
It suffices to adjust P1 / P3 so that β = P2 / P4.
【００２８】次に、振動子が拘束されず、各駆動電極に
交流駆動電圧が与えられて振動型ジャイロスコープが駆
動されているときには、検出電極１８ａと１８ｃの検出
出力Ｐ１とＰ２が、前述の洩れ電圧と、振動子１２がＸ
方向へ振動することにより検出電極に検出される無効電
圧（ヌル電圧）、および振動子１２がＹ方向へ振動した
ことにより検出されるコリオリ力の検出電圧が重畳され
たものとなる。検出出力Ｐ１とＰ２のうちの洩れ電圧成
分の大きさは、前記の調整段階により発生するものすな
わち振動子１２が振動していないときに検出される洩れ
電圧と同じである。また短電極（洩れ検出電極）２１ａ
と２１ｂは、振動の影響をほとんど受けないため、この
短電極２１ａと２１ｂからは調整時と同じ値の洩れ電圧
のみが出力される。よって前記可変利得増幅器３１ａの
利得αと、可変利得増幅器３１ｂの利得βの前記調整段
階での設定により、（ロ）と（ハ）の部分の出力では、
既に洩れ電圧は打ち消され除去されている。Next, when the vibrating gyroscope is driven by the AC drive voltage being applied to each drive electrode without restraining the vibrator, the detection outputs P1 and P2 of the detection electrodes 18a and 18c are the same as those described above. Leakage voltage and vibrator 12 is X
The reactive voltage (null voltage) detected by the detection electrodes by vibrating in the direction and the Coriolis force detection voltage detected by vibrating the vibrator 12 in the Y direction are superimposed. The magnitude of the leakage voltage component of the detection outputs P1 and P2 is the same as that generated by the adjusting step, that is, the leakage voltage detected when the vibrator 12 is not vibrating. In addition, the short electrode (leak detection electrode) 21a
Since and 21b are hardly affected by the vibration, only the leak voltage having the same value as that at the time of adjustment is output from the short electrodes 21a and 21b. Therefore, depending on the settings of the gain α of the variable gain amplifier 31a and the gain β of the variable gain amplifier 31b in the adjusting step, the outputs of the parts (b) and (c) are:
The leakage voltage has already been canceled and removed.
【００２９】よって駆動時に（ロ）の部分に現れる出力
はＰ１のうちのヌル電圧と、コリオリ力の検出電圧のみ
となり、（ハ）の部分に現れる出力はＰ２のうちのヌル
電圧と、コリオリ力の検出電圧のみとなる。ここで、振
動子１２がＸ方向へ振動する際の圧電効果により検出電
極から得られるヌル電圧であるが、中央の振動子１２が
Ｘ方向へ振動するとき、検出電極１８ａが設けられた部
分と、検出電極１８ｃが設けられた部分とで、「伸び」
と「縮み」が逆になるが、誘電分極の方向が、検出電極
１８ａが形成されている部分と、検出電極１８ｃが形成
されている部分とで逆向きであるため、検出出力Ｐ１に
重畳するヌル電圧と、検出出力Ｐ２に重畳するヌル電圧
とは同じ位相である。Therefore, during driving, the output appearing in the part (b) is only the null voltage of P1 and the Coriolis force detection voltage, and the output appearing in the part (c) is the null voltage of P2 and the Coriolis force. It becomes only the detection voltage of. Here, the null voltage is obtained from the detection electrode by the piezoelectric effect when the vibrator 12 vibrates in the X direction. When the vibrator 12 in the center vibrates in the X direction, the null voltage is equal to the portion provided with the detection electrode 18a. , "Stretching" at the portion where the detection electrode 18c is provided
And "contraction" are reversed, but the direction of the dielectric polarization is opposite to that of the portion where the detection electrode 18a is formed and that of the portion where the detection electrode 18c is formed, so that it is superimposed on the detection output P1. The null voltage and the null voltage superimposed on the detection output P2 have the same phase.
【００３０】また、振動子１２がＹ方向へ振動すること
により検出されるコリオリ力の検出電圧は、検出出力Ｐ
１とＰ２とで逆位相である。よって、（ロ）の出力と
（ハ）の出力との差が、差動回路３３により得られる
と、出力部３４では、出力Ｐ１とＰ２とのヌル電圧が相
殺され、またコリオリ力の検出電圧は絶対値が加算され
たものとなる。ここで、出力（ロ）と（ハ）の増幅利得
を調整し、差動回路３３にてヌル電圧が完全に相殺され
るようにすると、出力部３４には、コリオリ力の検出電
圧のみが得られる。Further, the detection voltage of the Coriolis force detected when the vibrator 12 vibrates in the Y direction is the detection output P.
1 and P2 have opposite phases. Therefore, when the difference between the output of (b) and the output of (c) is obtained by the differential circuit 33, the null voltage between the outputs P1 and P2 is canceled in the output section 34, and the Coriolis force detection voltage is also canceled. Is the sum of absolute values. Here, when the amplification gains of the outputs (b) and (c) are adjusted so that the null voltage is completely canceled by the differential circuit 33, only the detection voltage of the Coriolis force is obtained at the output part 34. To be
【００３１】図４と図５は本発明の第２の構成例であ
り、図４（Ａ）は弾性板１０を表面側から見た平面図、
図４（Ｂ）は弾性板１０を裏面側から見た平面図、図５
は圧電振動子の検出装置を示す回路ブロック図である。
図４と図５に示す第２の構成例は、図１から図３に示し
た第１の構成例の変形例であり、各電極の配置およびグ
ランド電位となる電極の配置、また（＋）と（−）の交
流駆動電圧の供給方法が、基本的に第１の構成例と同じ
である。ただし図４（Ｂ）に示すように、検出電極１８
ａと１８ｃが図１（Ｂ）に示したものよりも短くなって
おり、検出電極１８ａと１８ｃの長さが、それぞれ洩れ
検出電極として機能する短電極２１ａと２１ｂの長さと
同じである。また両検出電極１８ａと１８ｃの中間に位
置しているグランド電位となる電極１８ｂも、検出電極
１８ａと１８ｃの長さに合せて短く形成されている。4 and 5 show a second structural example of the present invention. FIG. 4A is a plan view of the elastic plate 10 as seen from the front side.
FIG. 4B is a plan view of the elastic plate 10 viewed from the back side, and FIG.
FIG. 3 is a circuit block diagram showing a detection device for a piezoelectric vibrator.
The second configuration example shown in FIGS. 4 and 5 is a modification of the first configuration example shown in FIGS. 1 to 3, and the arrangement of each electrode and the arrangement of the electrodes at the ground potential, and (+) The method of supplying the AC drive voltage of (-) is basically the same as that of the first configuration example. However, as shown in FIG.
The lengths of a and 18c are shorter than those shown in FIG. 1B, and the lengths of the detection electrodes 18a and 18c are the same as the lengths of the short electrodes 21a and 21b functioning as leak detection electrodes, respectively. The electrode 18b, which is located between the detection electrodes 18a and 18c and has the ground potential, is also formed to be short in accordance with the length of the detection electrodes 18a and 18c.
【００３２】検出電極１８ａと１８ｃは、中央の振動子
１２のＹ方向への変形を検出するものであるが、片持ち
梁状の振動子１２がＹ方向へ振動したときに表面歪みが
最も大きくなるのは（ニ）で示す片持ち梁の基端部であ
る。よって、検出電極１８ａと１８ｃを前記（ニ）の部
分に形成すると、その長さが短くても、Ｙ方向への振動
成分であるコリオリ力の検出出力の絶対値は、図１に示
したものと大差はない。しかも、検出電極１８ａ，１８
ｃと、短電極２１ａ，２１ｂが同じ長さであるため、洩
れ電圧の検出に関しては、検出電極１８ａ，１８ｃと、
短電極２１ａ，２１ｂとでほぼ同じ絶対値を得ることが
できる。よって、検出装置は図５に示すように構成で
き、図３において用いた増幅器３１ａと３１ｂは不要で
ある。The detection electrodes 18a and 18c are for detecting the deformation of the central vibrator 12 in the Y direction, and the surface strain is the largest when the cantilever vibrator 12 vibrates in the Y direction. It is the base end of the cantilever shown in (d). Therefore, if the detection electrodes 18a and 18c are formed in the portion (d), the absolute value of the detection output of the Coriolis force, which is a vibration component in the Y direction, is as shown in FIG. There is no big difference with. Moreover, the detection electrodes 18a, 18
Since c and the short electrodes 21a and 21b have the same length, the detection electrodes 18a and 18c are
It is possible to obtain almost the same absolute value with the short electrodes 21a and 21b. Therefore, the detection device can be configured as shown in FIG. 5, and the amplifiers 31a and 31b used in FIG. 3 are unnecessary.
【００３３】この第２の構成例では、各駆動電極に交流
駆動電圧を与え、且つ振動子１１と１２（少なくとも１
２）を機械的に拘束した状態で、差動回路３２ａと３２
ｂを経た出力（ロ）と（ハ）では、（Ｐ１−Ｐ３）およ
び（Ｐ２−Ｐ４）となって、それぞれ洩れ電圧が相殺さ
れて０ボルトになるはずである。ただし、検出電極１８
ａと１８ｃの形成誤差または短電極２１ａと２１ｂの形
成誤差などにより、出力（ロ）と（ハ）にわずかな洩れ
電圧が出力される場合がある。この場合には、短電極２
１ａと２１ｂの端部を少し削るなどの調節作業を行なう
ことにより、出力（ロ）と（ハ）に洩れ電圧の成分を完
全に無くすことも可能である。また、図４では、通常の
駆動時において、図１と同様に、検出電極１８ａと１８
ｃからの検出出力Ｐ１とＰ２で、ヌル電圧は同位相、コ
リオリ力の検出電圧は逆の位相になる。よって差動回路
３３により出力（ロ）と（ハ）の差をとることにより、
ヌル電圧を消去でき、コリオリ力の検出電圧のみを得る
ことができる。In this second configuration example, an AC drive voltage is applied to each drive electrode and the vibrators 11 and 12 (at least 1
2) is mechanically constrained, the differential circuits 32a and 32a
The outputs (b) and (c) after passing through b should be (P1-P3) and (P2-P4), and the leak voltages should be offset to 0 volt. However, the detection electrode 18
A slight leakage voltage may be output to the outputs (b) and (c) due to an error in forming a and 18c or an error in forming the short electrodes 21a and 21b. In this case, the short electrode 2
It is also possible to completely eliminate the components of the leakage voltage at the outputs (b) and (c) by adjusting the ends of 1a and 21b by slightly cutting them. In addition, in FIG. 4, during normal driving, as in FIG.
With the detection outputs P1 and P2 from c, the null voltage has the same phase and the Coriolis force detection voltage has the opposite phase. Therefore, by taking the difference between the outputs (b) and (c) by the differential circuit 33,
The null voltage can be eliminated, and only the Coriolis force detection voltage can be obtained.
【００３４】図６は第３の構成例を示しており、図６
（Ａ）は振動子を表面から見た平面図、図６（Ｂ）は振
動子を裏面から見た平面図、図７は圧電振動子の検出装
置の回路ブロック図である。この第３の構成例では、図
６（Ｂ）に示す各振動子１１と１２の裏面に設けられた
電極の配置が図４（Ｂ）に示した第２の構成例と同じで
ある。図６（Ｂ）においても、検出電極１８ａと１８ｃ
の長さと、洩れ検出電極として機能する短電極２１ａ，
２１ｂの長さが同じである。FIG. 6 shows a third configuration example.
6A is a plan view of the vibrator viewed from the front side, FIG. 6B is a plan view of the vibrator viewed from the back side, and FIG. 7 is a circuit block diagram of the piezoelectric vibrator detection device. In the third configuration example, the arrangement of the electrodes provided on the back surfaces of the vibrators 11 and 12 shown in FIG. 6B is the same as that of the second configuration example shown in FIG. 4B. Also in FIG. 6B, the detection electrodes 18a and 18c
And the short electrode 21a that functions as a leak detection electrode,
21b have the same length.
【００３５】ただし、図６（Ａ）に示す各振動子１１と
１２の表面に形成された電極の構造が、図４（Ａ）に示
されたものと相違している。図６（Ａ）では、中央の振
動子１２の表面に設けられた駆動電極１７ａと１７ｃ
が、弾性板１０の基部１０ａにて基端方向へ完全に延び
ることなく途中で止まっており、この駆動電極１７ａと
１７ｃの延長部分に、基部１０ａの基端側へ延びる短電
極２２ａと２２ｂが設けられている。この短電極２２ａ
と２２ｂは、表面側の洩れ検出電極として機能している
前記短電極２１ａ，２１ｂと同じ長さであり、且つ圧電
材料を挟んで、短電極２１ａ，２１ｂと短電極２２ａ，
２２ｂは、互いに対向する対称位置に形成されている。However, the structure of the electrodes formed on the surfaces of the vibrators 11 and 12 shown in FIG. 6A is different from that shown in FIG. 4A. In FIG. 6A, the drive electrodes 17a and 17c provided on the surface of the central vibrator 12 are provided.
However, at the base portion 10a of the elastic plate 10 is stopped midway without completely extending in the base end direction, and the short electrodes 22a and 22b extending toward the base end side of the base portion 10a are provided at the extended portions of the drive electrodes 17a and 17c. It is provided. This short electrode 22a
And 22b have the same length as the short electrodes 21a and 21b functioning as the leak detection electrodes on the front surface side, and sandwich the piezoelectric material between the short electrodes 21a and 21b and the short electrodes 22a and 22b.
22b are formed at symmetrical positions facing each other.
【００３６】図１および図４に示したものと同様に、表
側に位置している各駆動電極１５ａ，１５ｃおよび１７
ａ，１７ｃに対しては（＋）の位相の交流駆動電圧Ｖ0
・sin（ωｔ）が供給される。ただし、駆動電極１７ａ
と１７ｃの延長線上に位置している前記短電極２２ａと
２２ｂには、駆動電極１７ａと１７ｃと逆の位相の
（−）の交流駆動電圧−Ｖ0・sin（ωｔ）が与えられ
る。短電極２２ａと２２ｂは、振動子１２の振動と関係
のない（イ）の部分に形成されているため、短電極２２
ａと２２ｂに交流駆動電圧−Ｖ0・sin（ωｔ）が与えら
れたときに、これは振動子１２の振動駆動に寄与せず、
表面側の前記短電極２１ａと２１ｂに洩れ電圧を与える
ものとしてのみ機能する。Similar to those shown in FIGS. 1 and 4, the drive electrodes 15a, 15c and 17 located on the front side are arranged.
AC drive voltage V0 of (+) phase for a and 17c
-Sin (ωt) is supplied. However, the drive electrode 17a
To the short electrodes 22a and 22b located on the extension lines of and 17c, a negative (-) AC drive voltage -V0.sin (? T) having a phase opposite to that of the drive electrodes 17a and 17c is applied. Since the short electrodes 22a and 22b are formed in the portion (a) that is not related to the vibration of the vibrator 12, the short electrodes 22a and 22b are
When an AC drive voltage −V0 · sin (ωt) is applied to a and 22b, this does not contribute to the vibration drive of the vibrator 12,
It functions only as a leakage voltage applied to the front side short electrodes 21a and 21b.
【００３７】この第３の構成例では、コリオリ力の検出
のための駆動時に、検出電極１８ａと１８ｃの検出出力
Ｐ１とＰ２として、交流駆動電圧の洩れ電圧と、Ｘ方向
への振動によるヌル電圧およびＹ方向への振動によるコ
リオリ力の検出電圧が得られる。一方、振動に寄与しな
い部分（イ）に位置する短電極２１ａと２１ｂからは洩
れ電圧のみが検出される。ここで、検出電極１８ａと１
８ｃと表裏逆の位置に対向している駆動電極１７ａ，１
７ｃに与えられる交流駆動電圧と、短電極２１ａ，２１
ｂに対し表裏逆側に対向している短電極２２ａ，２２ｂ
に与えられる交流駆動電圧とでは位相が１８０°相違し
ている。よって、検出電極１８ａ，１８ｃからの検出出
力Ｐ１，Ｐ２に含まれる洩れ電圧成分と、短電極２１
ａ，２１ｂからの洩れ電圧Ｐ３とＰ４とでは位相が１８
０°相違している。しかも、検出電極１８ａ，１８ｃ
と、短電極２１ａ，２１ｂとは長さが同一である。In the third configuration example, when driving for detecting the Coriolis force, the detection outputs P1 and P2 of the detection electrodes 18a and 18c are used as the leakage voltage of the AC driving voltage and the null voltage due to the vibration in the X direction. And the detection voltage of the Coriolis force due to the vibration in the Y direction is obtained. On the other hand, only the leakage voltage is detected from the short electrodes 21a and 21b located in the portion (a) that does not contribute to vibration. Here, the detection electrodes 18a and 1
8c, the drive electrodes 17a, 1 facing the opposite sides
AC drive voltage applied to 7c and short electrodes 21a, 21
Short electrodes 22a, 22b facing the opposite side to b
The phase is 180 ° different from the AC drive voltage applied to. Therefore, the leakage voltage component contained in the detection outputs P1 and P2 from the detection electrodes 18a and 18c and the short electrode 21
The phases of the leakage voltages P3 and P4 from a and 21b are 18
0 ° different. Moreover, the detection electrodes 18a, 18c
And the short electrodes 21a and 21b have the same length.
【００３８】したがって、図７に示すように、出力Ｐ１
とＰ３の経路を結線して両出力の和をとり、また出力Ｐ
２とＰ４の経路を結線して両出力の和をとることによ
り、出力（ロ）と（ハ）では、洩れ電圧が打ち消されて
消去されたものとなる。なお、洩れ電圧を完全に消去す
るために、前述のように短電極２１ａ，２１ｂを削るな
どの調整を行なってもよい。図７の検出装置では、出力
（ロ）と（ハ）の差を求める差動回路３３を設けるのみ
で、前記のように洩れ電圧を打消し、さらにヌル電圧を
打ち消して、出力部３４にコリオリ力の検出電圧のみを
得ることができる。Therefore, as shown in FIG. 7, the output P1
And the path of P3 are connected to obtain the sum of both outputs, and the output P
By connecting the paths of 2 and P4 and taking the sum of both outputs, the leakage voltage is canceled and erased at the outputs (b) and (c). In addition, in order to completely eliminate the leakage voltage, the short electrodes 21a and 21b may be trimmed as described above. In the detection device of FIG. 7, only the differential circuit 33 for determining the difference between the outputs (b) and (c) is provided, and the leakage voltage is canceled as described above, the null voltage is canceled, and the Coriolis signal is output to the output unit 34. Only the force detection voltage can be obtained.
【００３９】図８と図９は、本発明の第４の構成例を示
しており、図８は各振動子１１と１２の誘電分極方向を
示す端面図、図９は各振動子１１と１２を裏面側（図８
の図示下側）から見た平面図である。図８では、表面側
の電極のうち１５ｂと１７ｂがグランド電位であり、駆
動電極１５ａ，１５ｃおよび駆動電極１７ａ，１７ｃに
同位相（＋）の交流駆動電圧が与えられる。各振動子１
１と１２の誘電分極方向により、前記交流駆動電圧が与
えられると、左右の振動子１１，１１と、中央の振動子
１２とで、Ｘ方向へ互いに１８０°相違する位相で振動
させられる。8 and 9 show a fourth configuration example of the present invention. FIG. 8 is an end view showing the dielectric polarization direction of each of the vibrators 11 and 12, and FIG. 9 is each of the vibrators 11 and 12. On the back side (Fig. 8
FIG. 4 is a plan view seen from the lower side of FIG. In FIG. 8, 15b and 17b of the electrodes on the surface side are at the ground potential, and the drive electrodes 15a and 15c and the drive electrodes 17a and 17c are supplied with the AC drive voltage of the same phase (+). Each oscillator 1
When the AC drive voltage is applied by the dielectric polarization directions of 1 and 12, the left and right vibrators 11 and 11 and the central vibrator 12 are vibrated in the X direction at 180 ° different phases.
【００４０】各振動子１１と１２の裏面側では、電極１
６ｂと１８ｂがグランド電位である。また中央の振動子
１２の裏面１２ｂの両側に位置している一対の電極１８
ａと１８ｃが検出電極であり、この検出電極１８ａと１
８ｃの検出出力をＰ１およびＰ２で示している。また振
動子１１の裏面１１ｂに形成されている電極１６ａ，１
６ｃは、振動子１１と１２を共振駆動するためのフィー
ドバック信号を検出するためのものである。そして図９
において図示左側に位置している一対のフィードバック
用の電極１６ａと１６ｃが、基部１０ａの途中で途切れ
ており、この電極１６ａと１６ｃの延長線上で且つ振動
の影響のない部分（イ）に洩れ検出電極として機能する
短電極２３ａと２３ｂが設けられている。On the back side of each transducer 11 and 12, the electrode 1
6b and 18b are ground potentials. In addition, the pair of electrodes 18 located on both sides of the back surface 12b of the vibrator 12 in the center.
a and 18c are detection electrodes, and the detection electrodes 18a and 1c
The detection output of 8c is indicated by P1 and P2. In addition, the electrodes 16a, 1 formed on the back surface 11b of the vibrator 11
6c is for detecting a feedback signal for resonantly driving the vibrators 11 and 12. And FIG.
, A pair of feedback electrodes 16a and 16c located on the left side in the figure are interrupted in the middle of the base 10a, and a leak is detected at a portion (a) on the extension line of the electrodes 16a and 16c and not affected by vibration. Short electrodes 23a and 23b functioning as electrodes are provided.
【００４１】図９に示す例では、洩れ検出電極として機
能する短電極２３ａと２３ｂが、検出電極１８ａと１８
ｃから離れた位置に形成されているが、検出電極１８
ａ，１８ｃに対向する駆動電極１７ａ，１７ｃと、短電
極２３ａ，２３ｂに対向する駆動電極１５ａ，１５ｃで
は、与えられる交流駆動電圧の位相が同じである。よっ
て検出出力Ｐ１，Ｐ２に含まれる洩れ電圧の成分の位相
と、短電極２３ａ，２３ｂから検出される洩れ電圧Ｐ
３，Ｐ４は同じ位相である。よって、図３に示したのと
同じ検出装置の回路を用いることにより、検出電極１８
ａと１８ｃからの検出出力Ｐ１とＰ２から洩れ電圧を消
去し、またヌル電圧を除去して、コリオリ力の検出電圧
成分のみを得ることができる。In the example shown in FIG. 9, the short electrodes 23a and 23b functioning as the leak detection electrodes are the detection electrodes 18a and 18b.
Although it is formed at a position away from c, the detection electrode 18
The drive electrodes 17a and 17c facing the electrodes a and 18c and the drive electrodes 15a and 15c facing the short electrodes 23a and 23b have the same AC drive voltage phase. Therefore, the phase of the leakage voltage component included in the detection outputs P1 and P2 and the leakage voltage P detected from the short electrodes 23a and 23b.
3 and P4 have the same phase. Therefore, by using the same circuit of the detection device as shown in FIG.
Leakage voltage can be eliminated from the detection outputs P1 and P2 from a and 18c, and null voltage can be removed to obtain only the detected voltage component of the Coriolis force.
【００４２】図１０ない図１２は本発明の第５の構成例
を示しており、図１０は各振動子１１と１２の誘電分極
方向を示す端面図、図１１は、図１０の振動子を裏面側
（図１０の図示下側）から見た平面図、図１２はその検
出装置の回路ブロック図である。図１０と図１１に示す
ように、第５の構成例では、電極１５ｂ，１６ｂ，１７
ｂ，１８ａ，１８ｃがグランド電位である。両側の振動
子１１では、駆動電極１５ｃと１６ａに（＋）の位相の
交流駆動電圧が与えられ、駆動電極１５ａと１６ｃに
（−）の位相の交流駆動電圧が与えられる。したがっ
て、両側の振動子１１と１１は同じ位相でＸ方向へ振動
駆動される。FIG. 12 not shown in FIG. 10 shows a fifth structural example of the present invention. FIG. 10 is an end view showing the dielectric polarization directions of the vibrators 11 and 12, and FIG. 11 shows the vibrator of FIG. FIG. 12 is a plan view seen from the back side (lower side in FIG. 10), and FIG. 12 is a circuit block diagram of the detection device. As shown in FIGS. 10 and 11, in the fifth configuration example, the electrodes 15b, 16b, 17
b, 18a, and 18c are ground potentials. In the vibrators 11 on both sides, the drive electrodes 15c and 16a are provided with an AC drive voltage having a (+) phase, and the drive electrodes 15a and 16c are provided with an AC drive voltage having a (−) phase. Therefore, the vibrators 11 and 11 on both sides are oscillated and driven in the X direction with the same phase.
【００４３】また中央の振動子１２では、表面１２ａに
おいて、左右両側の駆動電極１７ａと１７ｃに、同じ
（＋）の位相の交流駆動電圧が与えられる。駆動電極１
７ａが形成されている部分と、駆動電極１７ｃが形成さ
れている部分とで、誘電分極方向が逆であるため、振動
子１２はＸ方向へ振動駆動される。また中央の振動子１
２のＸ方向の振動の位相は、両側の振動子１１，１１と
１８０°相違している。中央の振動子１２の裏面側中央
に形成されたのが検出電極１８ｂであり、その検出出力
をＰ１で示している。図６では、検出電極１８ｂの両側
で誘電分極方向が左右対称である。よって、振動子がＸ
方向へ振動するときに、電極１８ｂ−１８ａ間と、電極
１８ｂ−１８ｃ間とで、発生する電界が左右対称とな
る。よって検出電極１８ｂからの検出出力Ｐ１には、Ｘ
方向への振動成分であるヌル電圧が含まれておらず、洩
れ電圧とコリオリ力の成分のみが検出される。In the center vibrator 12, AC drive voltages having the same (+) phase are applied to the drive electrodes 17a and 17c on the left and right sides of the surface 12a. Drive electrode 1
Since the dielectric polarization directions of the portion where 7a is formed and the portion where the drive electrode 17c is formed are opposite, the vibrator 12 is vibrated in the X direction. Also, the center oscillator 1
The phase of the vibration in the X direction of No. 2 differs from that of the vibrators 11 and 11 on both sides by 180 °. The detection electrode 18b is formed in the center on the back surface side of the central vibrator 12, and the detection output thereof is indicated by P1. In FIG. 6, the dielectric polarization directions are bilaterally symmetrical on both sides of the detection electrode 18b. Therefore, the oscillator is X
When vibrating in the direction, the electric field generated between the electrodes 18b-18a and between the electrodes 18b-18c becomes bilaterally symmetric. Therefore, the detection output P1 from the detection electrode 18b contains X
Null voltage, which is a vibration component in the direction, is not included, and only leakage voltage and Coriolis force components are detected.
【００４４】また、前記検出電極１８ｂの延長線上に、
短電極２５が形成され、これが洩れ検出電極となってい
る。検出電極１８ｂと、短電極２５に対しては、圧電材
料を挟んで表面側に共に（＋）の交流駆動電圧が与えら
れる駆動電極１７ａと１７ｃが対向しているため、検出
電極１８ｂの検出出力Ｐ１に含まれる洩れ電圧成分と、
短電極２５から得られる洩れ電圧Ｐ３は同じ位相であ
る。On the extension line of the detection electrode 18b,
A short electrode 25 is formed, which serves as a leak detection electrode. With respect to the detection electrode 18b and the short electrode 25, since the drive electrodes 17a and 17c, to which (+) AC drive voltage is applied, face each other across the piezoelectric material, the detection output of the detection electrode 18b is provided. The leakage voltage component contained in P1,
The leakage voltage P3 obtained from the short electrode 25 has the same phase.
【００４５】したがって、図１２に示すように、短電極
２５からの洩れ電圧Ｐ３を増幅器３２によりαの利得で
増幅し、検出出力Ｐ１と前記増幅器３２の出力との差を
差動回路３３でとることにより、洩れ電圧とヌル電圧の
含まれないＹ方向の振動のコリオリ力の検出電圧を得る
ことができる。なお、上記各構成例では、振動子の全体
が圧電材料により形成されているが、図１３に示したよ
うに、圧電材料と恒弾性材料などが組み合わされた振動
子であってもよい。Therefore, as shown in FIG. 12, the leakage voltage P3 from the short electrode 25 is amplified by the gain of α by the amplifier 32, and the difference between the detection output P1 and the output of the amplifier 32 is taken by the differential circuit 33. Thus, it is possible to obtain the detection voltage of the Coriolis force of the vibration in the Y direction that does not include the leakage voltage and the null voltage. Note that, in each of the above configuration examples, the entire vibrator is made of a piezoelectric material, but as shown in FIG. 13, a vibrator in which a piezoelectric material and a constant elastic material are combined may be used.
【００４６】また、本発明は、三脚音叉型の振動型ジャ
イロスコープに限られず、二脚音叉型や図１３に示した
平板状の振動子に対しても実施可能である。さらに、各
図に示したものでは、同じ圧電材料で、振動子と振動し
ない領域とを一体に形成し、振動子に検出電極を、振動
しない領域に洩れ検出電極を形成している。ただし、振
動子と同じ圧電材料を振動子と別体に設け、この別体の
振動子を、振動の影響を受けない場所に設置し、この圧
電材料に駆動電極と洩れ検出電極を設けてもよい。Further, the present invention is not limited to the tripod tuning fork type vibration type gyroscope, but can be applied to a bipod tuning fork type or the flat plate type vibrator shown in FIG. Further, in each of the drawings, the same piezoelectric material is used to integrally form a vibrator and a non-vibrating region, and a detecting electrode is formed on the vibrator and a leak detecting electrode is formed on the non-vibrating region. However, even if the same piezoelectric material as the vibrator is provided separately from the vibrator, this separate vibrator is installed in a place that is not affected by vibration, and the drive electrode and leakage detection electrode are provided on this piezoelectric material. Good.
【００４７】[0047]
【発明の効果】以上のように本発明では、洩れ検出電極
を設けることにより、圧電材料での洩れ出力を除去する
ことができる。また、洩れ検出電極は、検出電極と一緒
に印刷形成またはエッチング形成できるので、構造も簡
単である。As described above, according to the present invention, by providing the leak detecting electrode, the leak output of the piezoelectric material can be eliminated. Further, since the leak detection electrode can be formed by printing or etching together with the detection electrode, the structure is simple.
【図１】本発明の一例として三脚音叉型の振動型ジャイ
ロスコープを示すものであり、（Ａ）は振動子を表面側
から見た斜視図、（Ｂ）は振動子を裏面側から見た斜視
図、1A and 1B show a tripod tuning fork type vibrating gyroscope as an example of the present invention, in which FIG. 1A is a perspective view of a vibrator viewed from the front side, and FIG. 1B is a view of the vibrator viewed from the back side. Perspective view,
【図２】図１（Ａ）に示す３個の振動子をＩＩ方向から
見た端面図、FIG. 2 is an end view of the three vibrators shown in FIG. 1A as seen from the II direction,
【図３】図１と図２に示す圧電振動子の検出装置の回路
ブロック図、FIG. 3 is a circuit block diagram of the piezoelectric vibrator detection device shown in FIGS. 1 and 2;
【図４】他の構造の圧電振動子を示すものであり、
（Ａ）は振動子を表面側から示す平面図、（Ｂ）は振動
子を裏面側から示す平面図、FIG. 4 shows a piezoelectric vibrator having another structure,
(A) is a plan view showing the vibrator from the front side, (B) is a plan view showing the vibrator from the back side,
【図５】図４に示す圧電振動子に用いられる検出装置の
回路ブロック図、5 is a circuit block diagram of a detection device used in the piezoelectric vibrator shown in FIG.
【図６】振動型ジャイロスコープの他の構造の振動子を
示すものであり、（Ａ）は表面側から見た平面図、
（Ｂ）は裏面側から見た平面図、FIG. 6 shows a vibrator having another structure of a vibration gyroscope, (A) is a plan view seen from the front side,
(B) is a plan view seen from the back side,
【図７】図６に示した圧電振動子に用いられる検出装置
の回路ブロック図、7 is a circuit block diagram of a detection device used in the piezoelectric vibrator shown in FIG.
【図８】他の構造の振動子を端面側から見た端面図、FIG. 8 is an end view of a vibrator having another structure as seen from the end surface side,
【図９】図８に示す振動子を裏面側から見た平面図、9 is a plan view of the vibrator shown in FIG. 8 as viewed from the back side;
【図１０】他の構造の振動子を端面側から見た端面図、FIG. 10 is an end view of a vibrator having another structure as seen from the end surface side,
【図１１】図１０に示す振動子を裏面側から見た平面
図、11 is a plan view of the vibrator shown in FIG. 10 viewed from the back surface side;
【図１２】図１０に示す振動子に用いられる検出装置の
回路ブロック図、12 is a circuit block diagram of a detection device used in the vibrator shown in FIG.
【図１３】従来の振動型ジャイロスコープを示す斜視
図、FIG. 13 is a perspective view showing a conventional vibrating gyroscope,
【図１４】洩れ電圧とヌル電圧の波形を示す波形図、FIG. 14 is a waveform diagram showing waveforms of leakage voltage and null voltage,
１０ 弾性板 １１，１２ 振動子 １１ａ，１２ａ 表面 １１ｂ，１２ｂ 裏面 １５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１６ａ，１６ｂ，１６ｃ，１
７ａ，１７ｂ，１７ｃ，１８ａ，１８ｂ，１８ｃ 電極 ２１ａ，２１ｂ，２３ａ，２３ｂ，２５ 洩れ検出電極
となる短電極 ３１ａ，３１ｂ 可変利得増幅器 ３２ａ，３２ｂ，３３ 差動回路 Ｐ１，Ｐ２ 検出電極からの出力 Ｐ３，Ｐ４ 洩れ電圧10 Elastic Plates 11, 12 Transducers 11a, 12a Front Surfaces 11b, 12b Back Surfaces 15a, 15b, 15c, 16a, 16b, 16c, 1
7a, 17b, 17c, 18a, 18b, 18c Electrodes 21a, 21b, 23a, 23b, 25 Short electrodes 31a, 31b serving as leakage detection electrodes Variable gain amplifiers 32a, 32b, 33 Differential circuit P1, P2 Output from detection electrodes P3, P4 leakage voltage
Claims (4)
振動子と、振動子の駆動電極に交流駆動信号を与えて前
記振動子を圧電効果により駆動する駆動部と、前記振動
子の振動による歪みを検出する検出電極とを有する圧電
振動子を用いた検出装置において、前記振動子を構成し
ているのと同じ材料で且つ振動しない部分に設けられた
圧電材料と、この圧電材料に前記振動子と同じ駆動信号
を与える電極と、この圧電材料からの駆動信号の洩れ信
号を検出する洩れ検出電極と、前記洩れ検出電極から得
られる洩れ出力に基づいて、前記検出電極から得られる
検出出力から前記洩れ出力成分を電気的に除去する回路
が設けられていることを特徴とする圧電振動子を用いた
検出装置。1. A vibrator, at least a part of which is made of a piezoelectric material, a drive unit for applying an AC drive signal to a drive electrode of the vibrator to drive the vibrator by a piezoelectric effect, and a vibrator for vibrating the vibrator. In a detection device using a piezoelectric vibrator having a detection electrode for detecting a strain, a piezoelectric material provided in a portion which does not vibrate and is made of the same material as that of the vibrator, and the vibration of the piezoelectric material. An electrode that gives the same drive signal as that of the child, a leak detection electrode that detects a leak signal of the drive signal from the piezoelectric material, and a detection output obtained from the detection electrode based on a leak output obtained from the leakage detection electrode. A detection device using a piezoelectric vibrator, comprising a circuit for electrically removing the leakage output component.
弾性板の一部に前記振動子が形成されており、この弾性
板のうち前記振動子の振動の影響を受けない部分の圧電
材料に、洩れ検出電極が設けられている請求項１記載の
圧電振動子を用いた検出装置。2. The vibrator is formed on a part of an elastic plate, at least a part of which is made of a piezoelectric material, and the part of the elastic plate which is not affected by the vibration of the vibrator has a piezoelectric material. The detection device using the piezoelectric vibrator according to claim 1, further comprising a leak detection electrode.
電極に対向する部分とに、共通に形成されている請求項
２記載の圧電振動子を用いた検出装置。3. The detection device using the piezoelectric vibrator according to claim 2, wherein the drive electrode is formed in common in a portion of the vibrator and a portion facing the leak detection electrode.
ており、交流駆動信号により駆動される振動子がコリオ
リ力を受けてさらに振動したときに、このコリオリ力の
振動成分が前記検出電極から検出される請求項１ないし
３のいずれかに記載の圧電振動子を用いた検出装置。4. A plurality of vibrators are formed on an elastic plate in a branched manner, and when a vibrator driven by an AC drive signal further receives a Coriolis force and vibrates, the vibration component of the Coriolis force is detected. A detection device using the piezoelectric vibrator according to claim 1, which is detected from an electrode.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7301329A JPH09145378A (en) | 1995-11-20 | 1995-11-20 | Detector employing piezoelectric oscillator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7301329A JPH09145378A (en) | 1995-11-20 | 1995-11-20 | Detector employing piezoelectric oscillator |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09145378A true JPH09145378A (en) | 1997-06-06 |
Family
ID=17895555
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7301329A Withdrawn JPH09145378A (en) | 1995-11-20 | 1995-11-20 | Detector employing piezoelectric oscillator |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09145378A (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1052479A2 (en) * | 1999-05-10 | 2000-11-15 | Alps Electric Co., Ltd. | Piezoelectric oscillator and signal detection apparatus using the same |
| EP1369666A3 (en) * | 2002-06-04 | 2004-02-04 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Tuning fork vibrator, vibrating gyroscope using the same, electronic apparatus using the same, and manufacturing method of the same |
| WO2005080919A1 (en) * | 2004-02-20 | 2005-09-01 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Angular velocity sensor |
| JP2010085301A (en) * | 2008-10-01 | 2010-04-15 | Panasonic Corp | Angular velocity sensor |
-
1995
- 1995-11-20 JP JP7301329A patent/JPH09145378A/en not_active Withdrawn
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1052479A2 (en) * | 1999-05-10 | 2000-11-15 | Alps Electric Co., Ltd. | Piezoelectric oscillator and signal detection apparatus using the same |
| EP1052479A3 (en) * | 1999-05-10 | 2003-08-13 | Alps Electric Co., Ltd. | Piezoelectric oscillator and signal detection apparatus using the same |
| EP1369666A3 (en) * | 2002-06-04 | 2004-02-04 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Tuning fork vibrator, vibrating gyroscope using the same, electronic apparatus using the same, and manufacturing method of the same |
| US6799461B2 (en) | 2002-06-04 | 2004-10-05 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Tuning fork vibrator, vibrating gyroscope using the same, electronic apparatus using the same, and manufacturing method of the same |
| US6904802B2 (en) | 2002-06-04 | 2005-06-14 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Vibrating gyroscope using a tuning fork vibrator |
| CN100397040C (en) * | 2002-06-04 | 2008-06-25 | 株式会社村田制作所 | Fork oscillating element, its mfg. method, oscillating revolving parts and electronic device |
| US7526852B2 (en) | 2002-06-04 | 2009-05-05 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Method of manufacturing a tuning fork vibrator |
| EP2278273A1 (en) * | 2002-06-04 | 2011-01-26 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Manufacturing method of a tuning fork vibrator |
| EP2278272A1 (en) * | 2002-06-04 | 2011-01-26 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Tuning fork vibrator and vibrating gyroscope comprising the same |
| WO2005080919A1 (en) * | 2004-02-20 | 2005-09-01 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Angular velocity sensor |
| US7520184B2 (en) | 2004-02-20 | 2009-04-21 | Panasonic Corporation | Angular velocity sensor |
| JP2010085301A (en) * | 2008-10-01 | 2010-04-15 | Panasonic Corp | Angular velocity sensor |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100267815B1 (en) | Vibrating gyroscope | |
| US5412204A (en) | Method for detecting an output of a gyroscope with dual synchronized detection circuit and dual smoothing circuit | |
| JPH07113645A (en) | Vibrating gyro | |
| US6023973A (en) | Vibrating gyroscope and adjusting method therefor | |
| KR100364968B1 (en) | Vibrating Gyroscope | |
| JPH08152328A (en) | Angular speed sensor and its using method | |
| KR0155205B1 (en) | Oscillation gyroscope | |
| JP2001264071A (en) | Vibrator driving device | |
| JPH09145378A (en) | Detector employing piezoelectric oscillator | |
| KR100198308B1 (en) | Vibrating gyroscope | |
| JP2006010408A (en) | Vibratory gyro | |
| JP2001208545A (en) | Piezoelectric vibration gyroscope | |
| JPH10206166A (en) | Vibration-type gyroscope | |
| JP4552253B2 (en) | Angular velocity sensor | |
| JP4440682B2 (en) | Vibrating gyro | |
| JP2005345404A (en) | Vibrator for piezoelectric vibration gyroscope, and its manufacturing method | |
| JPH0814916A (en) | Vibration gyro detection circuit | |
| JPH09105637A (en) | Vibrating gyro | |
| JP2000074676A (en) | Angular speed sensor | |
| JP2001264068A (en) | Angular velocity sensor | |
| JP3755753B2 (en) | Piezoelectric vibration gyro and piezoelectric vibration gyro device | |
| JP3035161B2 (en) | Vibrating gyroscope | |
| JPH10221086A (en) | Angular-velocity detecting apparatus | |
| JPH09101156A (en) | Vibrating type gyroscope | |
| JP3265138B2 (en) | Vibrating gyroscope and compensation device |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20030204 |