JPH09141874A - インクジェットヘッドおよびインクジェットカートリッジならびにインクジェット装置 - Google Patents
インクジェットヘッドおよびインクジェットカートリッジならびにインクジェット装置Info
- Publication number
- JPH09141874A JPH09141874A JP24755596A JP24755596A JPH09141874A JP H09141874 A JPH09141874 A JP H09141874A JP 24755596 A JP24755596 A JP 24755596A JP 24755596 A JP24755596 A JP 24755596A JP H09141874 A JPH09141874 A JP H09141874A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- element unit
- energy generating
- ink jet
- end side
- ink
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Ink Jet (AREA)
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 分離可能な形態のエネルギー発生素子ユニッ
トと駆動素子ユニットとの電気的接続を確実かつ安定し
て行い得ない。 【解決手段】 発熱抵抗体に電気信号を供給するための
信号配線を有し、突き合わせ面FE に位置する信号配線
の端部に接続電極13a, 13bを突設したエネルギー
発生素子ユニットUE と、発熱抵抗体を駆動するための
駆動素子からの電気信号を送出するための信号配線を有
し、突き合わせ面FD に位置する信号配線の端部に接続
電極20を突設した駆動素子ユニットUD とを具え、こ
れら二つのユニットUE , UD の突き合わせ面FE , F
D を相互に重ね合わせて接続電極13a, 13b, 20
を相互に接続するようにしたインクジェットヘッドであ
って、二つのユニットUE , UD の少なくとも一方の突
き合わせ面FE にこれらの対向間隔を保持するための突
起部14を形成した。
トと駆動素子ユニットとの電気的接続を確実かつ安定し
て行い得ない。 【解決手段】 発熱抵抗体に電気信号を供給するための
信号配線を有し、突き合わせ面FE に位置する信号配線
の端部に接続電極13a, 13bを突設したエネルギー
発生素子ユニットUE と、発熱抵抗体を駆動するための
駆動素子からの電気信号を送出するための信号配線を有
し、突き合わせ面FD に位置する信号配線の端部に接続
電極20を突設した駆動素子ユニットUD とを具え、こ
れら二つのユニットUE , UD の突き合わせ面FE , F
D を相互に重ね合わせて接続電極13a, 13b, 20
を相互に接続するようにしたインクジェットヘッドであ
って、二つのユニットUE , UD の少なくとも一方の突
き合わせ面FE にこれらの対向間隔を保持するための突
起部14を形成した。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、液体を吐出してプ
リント媒体にプリントを行うためのエネルギー発生素子
を有するエネルギー発生素子ユニットと、このエネルギ
ー発生素子を駆動させるための駆動素子を有する駆動素
子ユニットとを具えたインクジェットヘッドおよびこの
インクジェットヘッドを組み込んだインクジェットカー
トリッジならびにインクジェットヘッドを用いるインク
ジェット装置に関する。
リント媒体にプリントを行うためのエネルギー発生素子
を有するエネルギー発生素子ユニットと、このエネルギ
ー発生素子を駆動させるための駆動素子を有する駆動素
子ユニットとを具えたインクジェットヘッドおよびこの
インクジェットヘッドを組み込んだインクジェットカー
トリッジならびにインクジェットヘッドを用いるインク
ジェット装置に関する。
【0002】
【従来の技術】インクジェットプリント法は、インクジ
ェットヘッドに配設された吐出口からインクやこのイン
クの特性を調整するための処理液を吐出させ、これを紙
などのプリント媒体に付着させることにより、プリント
を行う方法であり、騒音の発生が極めて少なく、かつ高
速プリントが可能である。なかでも、熱エネルギーを液
体に作用させ、液体を急激に加熱することによって気泡
を発生させ、この気泡の体積膨張によって液流路内の液
体を吐出口から液滴として噴射し、気泡の消滅時に液室
から液流路内に液体を導入するようにした形態のインク
ジェットヘッドは、プリント信号に対する応答性が良い
こと、および高マルチヘッド化が容易であることなどの
利点を有する。
ェットヘッドに配設された吐出口からインクやこのイン
クの特性を調整するための処理液を吐出させ、これを紙
などのプリント媒体に付着させることにより、プリント
を行う方法であり、騒音の発生が極めて少なく、かつ高
速プリントが可能である。なかでも、熱エネルギーを液
体に作用させ、液体を急激に加熱することによって気泡
を発生させ、この気泡の体積膨張によって液流路内の液
体を吐出口から液滴として噴射し、気泡の消滅時に液室
から液流路内に液体を導入するようにした形態のインク
ジェットヘッドは、プリント信号に対する応答性が良い
こと、および高マルチヘッド化が容易であることなどの
利点を有する。
【0003】このようなインクジェットヘッドのエネル
ギー発生ユニットの外観を図11に示し、その一部を破
断した状態を図12に示す。すなわち、基板101の表
面に形成された絶縁層の上にエネルギー発生素子である
電気熱変換素子としての発熱抵抗体102が設けられて
おり、さらにこの発熱抵抗体102に通電するための図
示しない電極が配設されている。この基板101上の発
熱抵抗体102が臨む液流路103は、その一方が開口
して吐出口104となり、他方が共通液室105に連通
している。この共通液室105には、インクジェットヘ
ッドに対して別に付設される図示しない液体タンクが結
合部材106を介して連結される。
ギー発生ユニットの外観を図11に示し、その一部を破
断した状態を図12に示す。すなわち、基板101の表
面に形成された絶縁層の上にエネルギー発生素子である
電気熱変換素子としての発熱抵抗体102が設けられて
おり、さらにこの発熱抵抗体102に通電するための図
示しない電極が配設されている。この基板101上の発
熱抵抗体102が臨む液流路103は、その一方が開口
して吐出口104となり、他方が共通液室105に連通
している。この共通液室105には、インクジェットヘ
ッドに対して別に付設される図示しない液体タンクが結
合部材106を介して連結される。
【0004】図示するように、一直線状に配列する吐出
口104にそれぞれ連通する液流路103毎に発熱抵抗
体102を組み込み、プリント媒体に対して複数ドット
のプリントを同時に行う場合、発熱抵抗体102に対し
て個別に通電のオン/オフを制御する必要がある。この
ような制御を行うための駆動素子は、上述したエネルギ
ー発生素子ユニット107に一体的に組み込むか、ある
いは図13およびそのXIV−XIV 矢視断面構造を表す図
14に示すように、ボンディングワイヤ108を介して
エネルギー発生素子ユニット107と電気的に接続する
などの方法がある。
口104にそれぞれ連通する液流路103毎に発熱抵抗
体102を組み込み、プリント媒体に対して複数ドット
のプリントを同時に行う場合、発熱抵抗体102に対し
て個別に通電のオン/オフを制御する必要がある。この
ような制御を行うための駆動素子は、上述したエネルギ
ー発生素子ユニット107に一体的に組み込むか、ある
いは図13およびそのXIV−XIV 矢視断面構造を表す図
14に示すように、ボンディングワイヤ108を介して
エネルギー発生素子ユニット107と電気的に接続する
などの方法がある。
【0005】しかし、エネルギー発生素子ユニット10
7と、駆動素子109とをボンディングワイヤ108に
よって固定状態で接続した場合、発熱抵抗体102およ
び駆動素子109の何れか少なくとも一方に不良が発生
すると、インクジェットヘッド全体が動作しなくなって
しまうという問題がある。
7と、駆動素子109とをボンディングワイヤ108に
よって固定状態で接続した場合、発熱抵抗体102およ
び駆動素子109の何れか少なくとも一方に不良が発生
すると、インクジェットヘッド全体が動作しなくなって
しまうという問題がある。
【0006】このような問題を解決するため、図15に
示すような駆動素子109を有する駆動素子ユニット1
10を用い、この駆動素子ユニット110とエネルギー
発生素子ユニット107とを分離可能とし、図16に示
すようにこれらの接続電極111, 112を相互に重ね
合わせて密着させ、電気的に接続を行うタイプのインク
ジェットヘッドおよびこのインクジェットヘッドを用い
たインクジェット装置が提案されている。
示すような駆動素子109を有する駆動素子ユニット1
10を用い、この駆動素子ユニット110とエネルギー
発生素子ユニット107とを分離可能とし、図16に示
すようにこれらの接続電極111, 112を相互に重ね
合わせて密着させ、電気的に接続を行うタイプのインク
ジェットヘッドおよびこのインクジェットヘッドを用い
たインクジェット装置が提案されている。
【0007】上述した交換式のエネルギー発生素子ユニ
ット107を用いた場合、エネルギー発生素子ユニット
107に故障が生じたり、その寿命によってプリント作
業が不能となった場合、エネルギー発生素子ユニット1
07のみを新たなものと交換し、駆動素子ユニット11
0に接続するだけで良いため、コスト的に大変有利であ
る。
ット107を用いた場合、エネルギー発生素子ユニット
107に故障が生じたり、その寿命によってプリント作
業が不能となった場合、エネルギー発生素子ユニット1
07のみを新たなものと交換し、駆動素子ユニット11
0に接続するだけで良いため、コスト的に大変有利であ
る。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】図16に示すように、
エネルギー発生素子ユニット107と駆動素子ユニット
110とを分離可能に重ね合わせて密着させるようにし
たインクジェットヘッドにおいて、これらの接続電極1
11, 112は、実際にインクを吐出する発熱抵抗体1
02と対応した数だけそれぞれ設置されており、インク
ジェットヘッドとしての機能や性能を完全に発揮するた
めには、これら接続電極111, 112の全てが確実に
接続されている必要がある。
エネルギー発生素子ユニット107と駆動素子ユニット
110とを分離可能に重ね合わせて密着させるようにし
たインクジェットヘッドにおいて、これらの接続電極1
11, 112は、実際にインクを吐出する発熱抵抗体1
02と対応した数だけそれぞれ設置されており、インク
ジェットヘッドとしての機能や性能を完全に発揮するた
めには、これら接続電極111, 112の全てが確実に
接続されている必要がある。
【0009】しかしながら、従来のものでは、各ユニッ
ト107, 110の突き合わせ面113, 114から突
出する接続電極111, 112の高さや形状の不均一、
あるいは、密着操作時の押圧力の不均一に起因して接続
不良が起こり得る他、図17に示すようにユニット10
7, 110の接合時に押圧力の作用点が接続電極11
1, 112の間からずれると、ユニット107, 110
の間に接続電極111,112を中心とするモーメント
力が発生する結果、接続電極111, 112の間に接続
不良が発生する虞があった。
ト107, 110の突き合わせ面113, 114から突
出する接続電極111, 112の高さや形状の不均一、
あるいは、密着操作時の押圧力の不均一に起因して接続
不良が起こり得る他、図17に示すようにユニット10
7, 110の接合時に押圧力の作用点が接続電極11
1, 112の間からずれると、ユニット107, 110
の間に接続電極111,112を中心とするモーメント
力が発生する結果、接続電極111, 112の間に接続
不良が発生する虞があった。
【0010】
【発明の目的】本発明の目的は、分離可能な形態のエネ
ルギー発生素子ユニットと駆動素子ユニットとの電気的
接続を確実かつ安定して行い得るようにしたインクジェ
ットヘッドおよびこのインクジェットヘッドを組み込ん
だインクジェットカートリッジならびにインクジェット
ヘッドを用いるインクジェット装置を提供することにあ
る。
ルギー発生素子ユニットと駆動素子ユニットとの電気的
接続を確実かつ安定して行い得るようにしたインクジェ
ットヘッドおよびこのインクジェットヘッドを組み込ん
だインクジェットカートリッジならびにインクジェット
ヘッドを用いるインクジェット装置を提供することにあ
る。
【0011】
【課題を解決するための手段】本発明による第1の形態
は、それぞれ液体を吐出するための複数のエネルギー発
生素子に一端側が接続してこれらエネルギー発生素子に
電気信号を供給するための複数本の信号配線を有すると
共に突き合わせ面が形成され、この突き合わせ面に位置
する前記信号配線の他端側にそれぞれ複数の接続電極を
突設したエネルギー発生素子ユニットと、前記エネルギ
ー発生素子を駆動するための駆動素子に一端側がそれぞ
れ接続して当該駆動素子からの電気信号を送出するため
の複数本の信号配線を有すると共に突き合わせ面が形成
され、この突き合わせ面に位置する前記信号配線の他端
側にそれぞれ複数の接続電極を突設した駆動素子ユニッ
トとを具え、前記エネルギー発生素子ユニットおよび前
記駆動素子ユニットの前記突き合わせ面を相互に重ね合
わせて前記接続電極を相互に接続するようにしたインク
ジェットヘッドであって、前記エネルギー発生素子ユニ
ットおよび前記駆動素子ユニットの少なくとも一方の前
記突き合わせ面にこれらの対向間隔を保持するための突
起部を形成したことを特徴とするインクジェットヘッド
にある。
は、それぞれ液体を吐出するための複数のエネルギー発
生素子に一端側が接続してこれらエネルギー発生素子に
電気信号を供給するための複数本の信号配線を有すると
共に突き合わせ面が形成され、この突き合わせ面に位置
する前記信号配線の他端側にそれぞれ複数の接続電極を
突設したエネルギー発生素子ユニットと、前記エネルギ
ー発生素子を駆動するための駆動素子に一端側がそれぞ
れ接続して当該駆動素子からの電気信号を送出するため
の複数本の信号配線を有すると共に突き合わせ面が形成
され、この突き合わせ面に位置する前記信号配線の他端
側にそれぞれ複数の接続電極を突設した駆動素子ユニッ
トとを具え、前記エネルギー発生素子ユニットおよび前
記駆動素子ユニットの前記突き合わせ面を相互に重ね合
わせて前記接続電極を相互に接続するようにしたインク
ジェットヘッドであって、前記エネルギー発生素子ユニ
ットおよび前記駆動素子ユニットの少なくとも一方の前
記突き合わせ面にこれらの対向間隔を保持するための突
起部を形成したことを特徴とするインクジェットヘッド
にある。
【0012】また、本発明による第二の形態は、それぞ
れ液体を吐出するための複数のエネルギー発生素子に一
端側が接続してこれらエネルギー発生素子に電気信号を
供給するための複数本の信号配線を有すると共に突き合
わせ面が形成され、この突き合わせ面に位置する前記信
号配線の他端側にそれぞれ複数の接続電極を突設したエ
ネルギー発生素子ユニットと、前記エネルギー発生素子
を駆動するための駆動素子に一端側がそれぞれ接続して
当該駆動素子からの電気信号を送出するための複数本の
信号配線を有すると共に突き合わせ面が形成され、この
突き合わせ面に位置する前記信号配線の他端側にそれぞ
れ複数の接続電極を突設した駆動素子ユニットとを具
え、前記エネルギー発生素子ユニットおよび前記駆動素
子ユニットの前記突き合わせ面を相互に重ね合わせて前
記接続電極を相互に接続するようにしたインクジェット
ヘッドと、このインクジェットヘッドに供給するための
前記液体を蓄える液体タンクとを具えたインクジェット
カートリッジであって、前記エネルギー発生素子ユニッ
トおよび前記駆動素子ユニットの少なくとも一方の前記
突き合わせ面にこれらの対向間隔を保持するための突起
部を形成したことを特徴とするインクジェットカートリ
ッジにある。
れ液体を吐出するための複数のエネルギー発生素子に一
端側が接続してこれらエネルギー発生素子に電気信号を
供給するための複数本の信号配線を有すると共に突き合
わせ面が形成され、この突き合わせ面に位置する前記信
号配線の他端側にそれぞれ複数の接続電極を突設したエ
ネルギー発生素子ユニットと、前記エネルギー発生素子
を駆動するための駆動素子に一端側がそれぞれ接続して
当該駆動素子からの電気信号を送出するための複数本の
信号配線を有すると共に突き合わせ面が形成され、この
突き合わせ面に位置する前記信号配線の他端側にそれぞ
れ複数の接続電極を突設した駆動素子ユニットとを具
え、前記エネルギー発生素子ユニットおよび前記駆動素
子ユニットの前記突き合わせ面を相互に重ね合わせて前
記接続電極を相互に接続するようにしたインクジェット
ヘッドと、このインクジェットヘッドに供給するための
前記液体を蓄える液体タンクとを具えたインクジェット
カートリッジであって、前記エネルギー発生素子ユニッ
トおよび前記駆動素子ユニットの少なくとも一方の前記
突き合わせ面にこれらの対向間隔を保持するための突起
部を形成したことを特徴とするインクジェットカートリ
ッジにある。
【0013】さらに、本発明の第3の形態は、複数の吐
出口からそれぞれ液体を吐出するための複数のエネルギ
ー発生素子に一端側が接続してこれらエネルギー発生素
子に電気信号を供給するための複数本の信号配線を有す
ると共に突き合わせ面が形成され、この突き合わせ面に
位置する前記信号配線の他端側にそれぞれ複数の接続電
極を突設したエネルギー発生素子ユニットと、前記エネ
ルギー発生素子を駆動するための駆動素子に一端側がそ
れぞれ接続して当該駆動素子からの電気信号を送出する
ための複数本の信号配線を有すると共に突き合わせ面が
形成され、この突き合わせ面に位置する前記信号配線の
他端側にそれぞれ複数の接続電極を突設した駆動素子ユ
ニットとを具え、前記エネルギー発生素子ユニットおよ
び前記駆動素子ユニットの前記突き合わせ面を相互に重
ね合わせて前記接続電極を相互に接続するようにしたイ
ンクジェットヘッドを用いるインクジェット装置であっ
て、前記エネルギー発生素子ユニットおよび前記駆動素
子ユニットの少なくとも一方の前記突き合わせ面にこれ
らの対向間隔を保持するための突起部を形成したことを
特徴とするインクジェット装置にある。
出口からそれぞれ液体を吐出するための複数のエネルギ
ー発生素子に一端側が接続してこれらエネルギー発生素
子に電気信号を供給するための複数本の信号配線を有す
ると共に突き合わせ面が形成され、この突き合わせ面に
位置する前記信号配線の他端側にそれぞれ複数の接続電
極を突設したエネルギー発生素子ユニットと、前記エネ
ルギー発生素子を駆動するための駆動素子に一端側がそ
れぞれ接続して当該駆動素子からの電気信号を送出する
ための複数本の信号配線を有すると共に突き合わせ面が
形成され、この突き合わせ面に位置する前記信号配線の
他端側にそれぞれ複数の接続電極を突設した駆動素子ユ
ニットとを具え、前記エネルギー発生素子ユニットおよ
び前記駆動素子ユニットの前記突き合わせ面を相互に重
ね合わせて前記接続電極を相互に接続するようにしたイ
ンクジェットヘッドを用いるインクジェット装置であっ
て、前記エネルギー発生素子ユニットおよび前記駆動素
子ユニットの少なくとも一方の前記突き合わせ面にこれ
らの対向間隔を保持するための突起部を形成したことを
特徴とするインクジェット装置にある。
【0014】本発明によると、エネルギー発生素子ユニ
ットおよび駆動素子ユニットの突き合わせ面を相互に重
ね合わせて接続電極を相互に電気的に接続した場合、エ
ネルギー発生素子ユニットおよび駆動素子ユニットの少
なくとも一方の突き合わせ面には、これらの対向間隔を
保持するための突起部を形成されており、これらの突き
合わせ面は正対状態となって全ての接続電極が正しく接
触する。
ットおよび駆動素子ユニットの突き合わせ面を相互に重
ね合わせて接続電極を相互に電気的に接続した場合、エ
ネルギー発生素子ユニットおよび駆動素子ユニットの少
なくとも一方の突き合わせ面には、これらの対向間隔を
保持するための突起部を形成されており、これらの突き
合わせ面は正対状態となって全ての接続電極が正しく接
触する。
【0015】駆動素子ユニットの駆動素子からその信号
配線を介して送出される電気信号は、接続電極を介して
エネルギー発生素子ユニットの信号配線からエネルギー
発生素子に供給され、これによりエネルギー発生素子が
起動して液体が吐出される。
配線を介して送出される電気信号は、接続電極を介して
エネルギー発生素子ユニットの信号配線からエネルギー
発生素子に供給され、これによりエネルギー発生素子が
起動して液体が吐出される。
【0016】
【発明の実施の形態】本発明の第1の形態によるインク
ジェットヘッドにおいて、前記突起部は、接続電極と一
直線状に並ぶ領域を有するものであってもよいし、信号
配線の他端側の延長上に接続電極の配列方向に沿って並
ぶ領域を有するものであってもよいし、あるいは接続電
極と一直線状に並ぶ領域と、信号配線の他端側の延長上
に接続電極の配列方向に沿って並ぶ領域とを有するもの
であってもよい。また、突起部は、接続電極と対応した
形状のダミー電極であってもよく、エネルギー発生素子
は、液体に膜沸騰を生じさせる熱エネルギーを発生する
電気熱変換体であってもよい。
ジェットヘッドにおいて、前記突起部は、接続電極と一
直線状に並ぶ領域を有するものであってもよいし、信号
配線の他端側の延長上に接続電極の配列方向に沿って並
ぶ領域を有するものであってもよいし、あるいは接続電
極と一直線状に並ぶ領域と、信号配線の他端側の延長上
に接続電極の配列方向に沿って並ぶ領域とを有するもの
であってもよい。また、突起部は、接続電極と対応した
形状のダミー電極であってもよく、エネルギー発生素子
は、液体に膜沸騰を生じさせる熱エネルギーを発生する
電気熱変換体であってもよい。
【0017】本発明の第2の形態によるインクジェット
カートリッジにおいて、前記液体は、インクか、プリン
ト媒体に吐出されるインクの特性を調整する処理液か、
あるいはこれらインクおよび処理液であることが望まし
い。
カートリッジにおいて、前記液体は、インクか、プリン
ト媒体に吐出されるインクの特性を調整する処理液か、
あるいはこれらインクおよび処理液であることが望まし
い。
【0018】ここで、前記突起部は、接続電極と一直線
状に並ぶ領域を有するものであってもよいし、信号配線
の他端側の延長上に接続電極の配列方向に沿って並ぶ領
域を有するものであってもよいし、あるいは接続電極と
一直線状に並ぶ領域と、信号配線の他端側の延長上に接
続電極の配列方向に沿って並ぶ領域とを有するものであ
ってもよい。また、突起部は、接続電極と対応した形状
のダミー電極であってもよく、吐出口は、プリント媒体
のプリント領域の全幅に亙って配列しているものであっ
てもよい。
状に並ぶ領域を有するものであってもよいし、信号配線
の他端側の延長上に接続電極の配列方向に沿って並ぶ領
域を有するものであってもよいし、あるいは接続電極と
一直線状に並ぶ領域と、信号配線の他端側の延長上に接
続電極の配列方向に沿って並ぶ領域とを有するものであ
ってもよい。また、突起部は、接続電極と対応した形状
のダミー電極であってもよく、吐出口は、プリント媒体
のプリント領域の全幅に亙って配列しているものであっ
てもよい。
【0019】
【実施例】本発明によるインクジェットヘッドの実施例
の幾つかについて、図1〜図8を参照しながら詳細に説
明するが、このインクジェットヘッドを構成するエネル
ギー発生素子ユニットおよび駆動素子ユニットにそれぞ
れ設けられる接続電極の部分の基本的な構造は、これら
二つのユニット共に全く同一形態にすることが可能であ
る。
の幾つかについて、図1〜図8を参照しながら詳細に説
明するが、このインクジェットヘッドを構成するエネル
ギー発生素子ユニットおよび駆動素子ユニットにそれぞ
れ設けられる接続電極の部分の基本的な構造は、これら
二つのユニット共に全く同一形態にすることが可能であ
る。
【0020】従って、以下には一方のユニットであるエ
ネルギー発生素子ユニットについてのみ説明するが、駆
動素子ユニットの接続電極部の構造も全く同じ構造を採
用することができる。
ネルギー発生素子ユニットについてのみ説明するが、駆
動素子ユニットの接続電極部の構造も全く同じ構造を採
用することができる。
【0021】第1の実施例におけるエネルギー発生素子
ユニットの基板表面の外観を表す図1およびそのII−II
矢視断面構造を表す図2に示すように、矩形をなす基板
11の表面には、二酸化ケイ素(SiO2)などの蓄熱性を
有する絶縁層12が形成されており、この絶縁層12上
には、その長手方向に沿って複数対の接続電極13a,
13bと、ダミー電極14とが所定間隔で一直線状に配
列している。そして、これら接続電極13a, 13bお
よびダミー電極14の周囲の基板11の表面が本発明の
突き合わせ面FE として機能するようになっている。
ユニットの基板表面の外観を表す図1およびそのII−II
矢視断面構造を表す図2に示すように、矩形をなす基板
11の表面には、二酸化ケイ素(SiO2)などの蓄熱性を
有する絶縁層12が形成されており、この絶縁層12上
には、その長手方向に沿って複数対の接続電極13a,
13bと、ダミー電極14とが所定間隔で一直線状に配
列している。そして、これら接続電極13a, 13bお
よびダミー電極14の周囲の基板11の表面が本発明の
突き合わせ面FE として機能するようになっている。
【0022】各対の接続電極13a, 13bは、基板1
1の前後方向(図2中、左右方向)に延びるアルミニウ
ムなどによる信号配線15の一端部に形成され、これら
各対の信号配線15の他端部は、エネルギー発生素子と
しての二ホウ化ハフニウム(HfB2)などによる発熱抵抗
体16を介して相互に連結され、全体としてそれぞれU
字状の形態をなしている。これら接続電極13a, 13
bは、抵抗層16′および信号配線15の上に積層され
た状態となっており、これら接続電極13a,13bを
除いて抵抗層16′および信号配線15は、二酸化ケイ
素などによる耐酸化性の絶縁層17で被覆され、さらに
タンタルなどによる耐キャビテーション層18が絶縁層
17を介して発熱抵抗体16の上に積層されている。
1の前後方向(図2中、左右方向)に延びるアルミニウ
ムなどによる信号配線15の一端部に形成され、これら
各対の信号配線15の他端部は、エネルギー発生素子と
しての二ホウ化ハフニウム(HfB2)などによる発熱抵抗
体16を介して相互に連結され、全体としてそれぞれU
字状の形態をなしている。これら接続電極13a, 13
bは、抵抗層16′および信号配線15の上に積層され
た状態となっており、これら接続電極13a,13bを
除いて抵抗層16′および信号配線15は、二酸化ケイ
素などによる耐酸化性の絶縁層17で被覆され、さらに
タンタルなどによる耐キャビテーション層18が絶縁層
17を介して発熱抵抗体16の上に積層されている。
【0023】本発明の突起部としてのダミー電極14
は、接続電極13a, 13bよりもさらに基板11の前
後方向一端側に接続電極13a, 13bの配列方向に沿
ってこれらと平行に配列し、上述した接続電極13a,
13bと同様に、抵抗層16′および導電層15′の上
に積層された状態となっている。そして、これら抵抗層
16′および導電層15′は、ダミー電極14を除いて
絶縁層17で被覆された状態となっている。
は、接続電極13a, 13bよりもさらに基板11の前
後方向一端側に接続電極13a, 13bの配列方向に沿
ってこれらと平行に配列し、上述した接続電極13a,
13bと同様に、抵抗層16′および導電層15′の上
に積層された状態となっている。そして、これら抵抗層
16′および導電層15′は、ダミー電極14を除いて
絶縁層17で被覆された状態となっている。
【0024】このような構造の基板11の製造手順につ
いて説明すると、まず、基板11の表面に、絶縁層12
と抵抗層16′と導電層15′とをそれぞれスパッタリ
ングにて順に2μm, 0. 2μm, 0. 6μmの膜厚で
積層形成する(図3参照)。
いて説明すると、まず、基板11の表面に、絶縁層12
と抵抗層16′と導電層15′とをそれぞれスパッタリ
ングにて順に2μm, 0. 2μm, 0. 6μmの膜厚で
積層形成する(図3参照)。
【0025】そして、フォトリソグラフの技術を用いて
抵抗層16′および導電層15′のエッチングにより、
発熱抵抗体16および信号配線15と、ダミー電極14
のための抵抗層16′および導電層15′をパターン形
成する(図4参照)。
抵抗層16′および導電層15′のエッチングにより、
発熱抵抗体16および信号配線15と、ダミー電極14
のための抵抗層16′および導電層15′をパターン形
成する(図4参照)。
【0026】しかる後、これらの表面に絶縁膜と、耐キ
ャビテーション膜とをそれぞれスパッタリングにて順に
0. 9μm, 0. 5μmの膜厚で積層形成し、フォトリ
ソグラフの技術を用いて絶縁膜および耐キャビテーショ
ン膜のエッチングにより絶縁層17と、耐キャビテーシ
ョン層18とをパターン形成する。この時、信号配線1
5の表面およびダミー電極14に対応する導電層15′
の表面にそれぞれ臨むスルーホール19が形成されるよ
うに、絶縁層17の一部をエッチング処理する(図5参
照)。
ャビテーション膜とをそれぞれスパッタリングにて順に
0. 9μm, 0. 5μmの膜厚で積層形成し、フォトリ
ソグラフの技術を用いて絶縁膜および耐キャビテーショ
ン膜のエッチングにより絶縁層17と、耐キャビテーシ
ョン層18とをパターン形成する。この時、信号配線1
5の表面およびダミー電極14に対応する導電層15′
の表面にそれぞれ臨むスルーホール19が形成されるよ
うに、絶縁層17の一部をエッチング処理する(図5参
照)。
【0027】さらに、電気めっき下引き層として、チタ
ンおよび銅をそれぞれ0. 05μm, 0. 3μmの順に
成膜する。次いで、めっき形成用のレジストを用いてパ
ターン形成を行った後、電気めっき法によって金, ニッ
ケル, 銅, 白金などを数マイクロメートルから数十マイ
クロメートルの膜厚で形成する。そして、レジストを剥
離すると共に下引き層のエッチングを行い、スルーホー
ル19の部分に接続電極13a, 13bおよびダミー電
極14を図2に示すように形成する。
ンおよび銅をそれぞれ0. 05μm, 0. 3μmの順に
成膜する。次いで、めっき形成用のレジストを用いてパ
ターン形成を行った後、電気めっき法によって金, ニッ
ケル, 銅, 白金などを数マイクロメートルから数十マイ
クロメートルの膜厚で形成する。そして、レジストを剥
離すると共に下引き層のエッチングを行い、スルーホー
ル19の部分に接続電極13a, 13bおよびダミー電
極14を図2に示すように形成する。
【0028】このようにして得た基板11に対し、図1
2に示したような吐出口104やインク流路103およ
び共通インク室105などを形成し、さらに図11に示
す如き結合部材106を接合してエネルギー発生素子ユ
ニットを作成した。
2に示したような吐出口104やインク流路103およ
び共通インク室105などを形成し、さらに図11に示
す如き結合部材106を接合してエネルギー発生素子ユ
ニットを作成した。
【0029】このエネルギー発生素子ユニットと駆動素
子ユニットとの組み付けによるインクジェットヘッドの
外観を表す図6に示すように、接続電極13a, 13b
およびダミー電極14が突出するエネルギー発生素子ユ
ニットUE の突き合わせ面FE と、接続電極20および
ダミー電極21が突出する駆動素子ユニットUD の突き
合わせ面FD とを重ね合わせ、これらの接続電極13
a, 13b, 20を相互に接続した場合、これらの接合
力の作用点が接続電極13a, 13b, 20とダミー電
極14, 21との間にあれば、突合せ面FE , FD が相
互に平行に保たれ、接続電極13a, 13b, 20を良
好な接続状態に保持することができる。この場合、基板
11の表面からの接続電極13a, 13bおよびダミー
電極14の突出高さを等しくすることが好ましく、この
ような条件を満たすことができるならば、ダミー電極1
4に代えて別な突出部を形成するようにしても良い。
子ユニットとの組み付けによるインクジェットヘッドの
外観を表す図6に示すように、接続電極13a, 13b
およびダミー電極14が突出するエネルギー発生素子ユ
ニットUE の突き合わせ面FE と、接続電極20および
ダミー電極21が突出する駆動素子ユニットUD の突き
合わせ面FD とを重ね合わせ、これらの接続電極13
a, 13b, 20を相互に接続した場合、これらの接合
力の作用点が接続電極13a, 13b, 20とダミー電
極14, 21との間にあれば、突合せ面FE , FD が相
互に平行に保たれ、接続電極13a, 13b, 20を良
好な接続状態に保持することができる。この場合、基板
11の表面からの接続電極13a, 13bおよびダミー
電極14の突出高さを等しくすることが好ましく、この
ような条件を満たすことができるならば、ダミー電極1
4に代えて別な突出部を形成するようにしても良い。
【0030】このように、ダミー電極14, 21を形成
することによって、エネルギー発生素子ユニットUE と
駆動素子ユニットUD とを接合する際の作用点の位置ず
れの許容範囲が図16および図17に示す従来のものよ
りも拡げることができ、これらエネルギー発生素子ユニ
ットUE および駆動素子ユニットUD の位置決め機構な
どをより簡略化して低コスト化を達成することができ
る。
することによって、エネルギー発生素子ユニットUE と
駆動素子ユニットUD とを接合する際の作用点の位置ず
れの許容範囲が図16および図17に示す従来のものよ
りも拡げることができ、これらエネルギー発生素子ユニ
ットUE および駆動素子ユニットUD の位置決め機構な
どをより簡略化して低コスト化を達成することができ
る。
【0031】上述した実施例では、ダミー電極14を接
続電極13a, 13bよりもさらに基板11の前後方向
一端側で接続電極13a, 13bの配列方向に沿って形
成したが、本発明の第二の実施例における基板表面の外
観を表す図7に示すように、基板11の長手方向両端
部、つまり接続電極13a, 13bの配列方向に沿った
その両端側にこれらと一直線状に並ぶように、ダミー電
極14a, 14bを形成するようにしても良い。さら
に、本発明の第三の実施例における基板表面の外観を表
す図8に示すように、これら二つの実施例を組み合わ
せ、接続電極13a,13bよりもさらに基板11の前
後方向一端側で接続電極13a, 13bの配列方向に沿
ってダミー電極14を形成すると共に、接続電極13
a, 13bの配列方向に沿った基板11の長手方向両端
部に、これら接続電極13a, 13bと一直線状に並ぶ
ようにダミー電極14a, 14bを形成するようにして
も良い。
続電極13a, 13bよりもさらに基板11の前後方向
一端側で接続電極13a, 13bの配列方向に沿って形
成したが、本発明の第二の実施例における基板表面の外
観を表す図7に示すように、基板11の長手方向両端
部、つまり接続電極13a, 13bの配列方向に沿った
その両端側にこれらと一直線状に並ぶように、ダミー電
極14a, 14bを形成するようにしても良い。さら
に、本発明の第三の実施例における基板表面の外観を表
す図8に示すように、これら二つの実施例を組み合わ
せ、接続電極13a,13bよりもさらに基板11の前
後方向一端側で接続電極13a, 13bの配列方向に沿
ってダミー電極14を形成すると共に、接続電極13
a, 13bの配列方向に沿った基板11の長手方向両端
部に、これら接続電極13a, 13bと一直線状に並ぶ
ようにダミー電極14a, 14bを形成するようにして
も良い。
【0032】なお、これら図7および図8において、図
1に示した先の実施例と同一機能の部材には、これと同
一符号を記してある。
1に示した先の実施例と同一機能の部材には、これと同
一符号を記してある。
【0033】次に、上述したようなインクジェットヘッ
ドを組み込んだ本発明によるインクジェットカートリッ
ジの一実施例について、その外観を表す図9を参照しな
がら詳細に説明する。
ドを組み込んだ本発明によるインクジェットカートリッ
ジの一実施例について、その外観を表す図9を参照しな
がら詳細に説明する。
【0034】すなわち、本実施例におけるインクジェッ
トカートリッジ31は、図示しないシリアルタイプのイ
ンクジェット装置のキャリッジに位置決め状態で取り付
けられ、インクジェット装置との間で電気的な信号など
の授受を行うようになっている。キャリッジに対して着
脱可能に交換されるインクジェットカートリッジ31
は、インクジェットヘッド10と、このインクジェット
ヘッド10を保持するヘッドホルダ32と、このヘッド
ホルダ32にインクジェットヘッド10を押圧する押圧
ブロック33と、インクを収容するインクタンク34
と、このインクタンク34内を密閉する蓋部材35とで
主要部が構成されており、インクジェットカートリッジ
31の容積の大部分を占めるインクタンク34には、こ
のインクタンク34内を大気圧に保持するための大気連
通口36が形成されている。
トカートリッジ31は、図示しないシリアルタイプのイ
ンクジェット装置のキャリッジに位置決め状態で取り付
けられ、インクジェット装置との間で電気的な信号など
の授受を行うようになっている。キャリッジに対して着
脱可能に交換されるインクジェットカートリッジ31
は、インクジェットヘッド10と、このインクジェット
ヘッド10を保持するヘッドホルダ32と、このヘッド
ホルダ32にインクジェットヘッド10を押圧する押圧
ブロック33と、インクを収容するインクタンク34
と、このインクタンク34内を密閉する蓋部材35とで
主要部が構成されており、インクジェットカートリッジ
31の容積の大部分を占めるインクタンク34には、こ
のインクタンク34内を大気圧に保持するための大気連
通口36が形成されている。
【0035】インクを吐出するための多数のインク吐出
口104が形成されたインクジェットヘッド10は、先
の図1〜図8に示した実施例と対応した構造を有するも
のであり、このインクジェットヘッド10は、押圧ブロ
ック33によってヘッドホルダ32に押圧保持されてい
る。インクは、インクタンク34からインクジェットヘ
ッド10の図示しないインク供給管および連通路を介し
て共通インク室105および各インク流路103に導か
れる(それぞれ図12参照)。
口104が形成されたインクジェットヘッド10は、先
の図1〜図8に示した実施例と対応した構造を有するも
のであり、このインクジェットヘッド10は、押圧ブロ
ック33によってヘッドホルダ32に押圧保持されてい
る。インクは、インクタンク34からインクジェットヘ
ッド10の図示しないインク供給管および連通路を介し
て共通インク室105および各インク流路103に導か
れる(それぞれ図12参照)。
【0036】本実施例におけるインクジェットカートリ
ッジ31は、インクジェットヘッド10とインクタンク
34とを一体的に形成したものであるが、このインクジ
ェットヘッド10に対し、インクタンク34側を交換可
能に連結した構造のインクジェットカートリッジであっ
ても良い。
ッジ31は、インクジェットヘッド10とインクタンク
34とを一体的に形成したものであるが、このインクジ
ェットヘッド10に対し、インクタンク34側を交換可
能に連結した構造のインクジェットカートリッジであっ
ても良い。
【0037】さらに、本発明のインクジェットヘッドを
搭載した本発明によるインクジェット装置の一実施例の
外観を図10に示す。すなわち、本実施例のインクジェ
ット装置は、フルラインタイプのカラープリンタであ
り、インクジェットカートリッジは、イエロー色イン
ク, マゼンタ色インク, シアン色インク, ブラック色イ
ンクをそれぞれ蓄えた4つのインクタンク37Y, 37
M, 37C, 37B(以下、これらをまとめてインクタ
ンク37と記述する)と、これらインクタンク37にそ
れぞれ接続配管38を介してインク供給管が接続する4
つのインクジェットヘッド10Y, 10M, 10C, 1
0B(以下、これらをまとめてインクジェットヘッド1
0と記述する)とを具え、各インクタンク37は、接続
配管38に対して交換可能に連結される。
搭載した本発明によるインクジェット装置の一実施例の
外観を図10に示す。すなわち、本実施例のインクジェ
ット装置は、フルラインタイプのカラープリンタであ
り、インクジェットカートリッジは、イエロー色イン
ク, マゼンタ色インク, シアン色インク, ブラック色イ
ンクをそれぞれ蓄えた4つのインクタンク37Y, 37
M, 37C, 37B(以下、これらをまとめてインクタ
ンク37と記述する)と、これらインクタンク37にそ
れぞれ接続配管38を介してインク供給管が接続する4
つのインクジェットヘッド10Y, 10M, 10C, 1
0B(以下、これらをまとめてインクジェットヘッド1
0と記述する)とを具え、各インクタンク37は、接続
配管38に対して交換可能に連結される。
【0038】制御装置39に接続するヘッドドライバ4
0によって各発熱抵抗体16に対する通電のオン/オフ
がそれぞれ切り換えられるインクジェットヘッド10
は、図1〜8に示した実施例のものと基本的な構造は全
く同じであり、無端の搬送用ベルト41を挟んでプラテ
ン42と対向するように、搬送用ベルト41の搬送方向
に沿って所定間隔で配列している。そして、制御装置3
9によって作動が制御される回復処理のためのヘッド移
動手段43により、プラテン42との対向方向に昇降し
得るようになっている。各インクジェットヘッド10の
側方には、プリント用紙44に対するプリント作業に先
立ち、インク流路103内に介在する古いインクをイン
ク吐出口24から吐出してインクジェットヘッド10の
回復処理を行うためのヘッドキャップ45がインクジェ
ットヘッド10の配列間隔に対して半ピッチずらした状
態で配置され、制御装置39によって作動が制御される
キャップ移動手段46により、それぞれインクジェット
ヘッド10の直下に移動し、インク吐出口24から吐出
される廃インクを受けるようになっている。
0によって各発熱抵抗体16に対する通電のオン/オフ
がそれぞれ切り換えられるインクジェットヘッド10
は、図1〜8に示した実施例のものと基本的な構造は全
く同じであり、無端の搬送用ベルト41を挟んでプラテ
ン42と対向するように、搬送用ベルト41の搬送方向
に沿って所定間隔で配列している。そして、制御装置3
9によって作動が制御される回復処理のためのヘッド移
動手段43により、プラテン42との対向方向に昇降し
得るようになっている。各インクジェットヘッド10の
側方には、プリント用紙44に対するプリント作業に先
立ち、インク流路103内に介在する古いインクをイン
ク吐出口24から吐出してインクジェットヘッド10の
回復処理を行うためのヘッドキャップ45がインクジェ
ットヘッド10の配列間隔に対して半ピッチずらした状
態で配置され、制御装置39によって作動が制御される
キャップ移動手段46により、それぞれインクジェット
ヘッド10の直下に移動し、インク吐出口24から吐出
される廃インクを受けるようになっている。
【0039】プリント用紙44を搬送する搬送用ベルト
41は、ベルト駆動モータ47に連結された駆動ローラ
48に巻き掛けられ、制御装置39に接続するモータド
ライバ49によってその作動が切り換えられる。また、
搬送用ベルト41の上流側には、この搬送用ベルト41
を帯電することにより、プリント用紙44を搬送用ベル
ト41に密着させるための帯電器50が設けられてお
り、この帯電器50は、制御装置39に接続する帯電器
ドライバ51によって、その通電のオン/オフが切り換
えられる。搬送用ベルト41の上にプリント用紙44を
供給するための一対の給紙ローラ52には、これら一対
の給紙ローラ52を駆動回転させるための給紙用モータ
53が連結され、この給紙用モータ53は、制御装置3
9に接続するモータドライバ54によって作動が切り換
えられる。
41は、ベルト駆動モータ47に連結された駆動ローラ
48に巻き掛けられ、制御装置39に接続するモータド
ライバ49によってその作動が切り換えられる。また、
搬送用ベルト41の上流側には、この搬送用ベルト41
を帯電することにより、プリント用紙44を搬送用ベル
ト41に密着させるための帯電器50が設けられてお
り、この帯電器50は、制御装置39に接続する帯電器
ドライバ51によって、その通電のオン/オフが切り換
えられる。搬送用ベルト41の上にプリント用紙44を
供給するための一対の給紙ローラ52には、これら一対
の給紙ローラ52を駆動回転させるための給紙用モータ
53が連結され、この給紙用モータ53は、制御装置3
9に接続するモータドライバ54によって作動が切り換
えられる。
【0040】従って、プリント用紙44に対するプリン
ト作業に先立ち、インクジェットヘッド10がプラテン
42から離れるように上昇し、次いでヘッドキャップ4
5がこれらインクジェットヘッド10の直下に移動して
インクジェットヘッド10の回復処理を行った後、ヘッ
ドキャップ45を元の待機位置へ移動させ、さらにイン
クジェットヘッド10をプリント位置までプラテン42
側に移動する。そして、帯電器50を作動させると同時
に搬送用ベルト41を駆動し、さらに給紙ローラ52に
よってプリント用紙44を搬送用ベルト41上に載置
し、各インクジェットヘッド10によって所定の色画像
がプリント用紙44にプリントされる。
ト作業に先立ち、インクジェットヘッド10がプラテン
42から離れるように上昇し、次いでヘッドキャップ4
5がこれらインクジェットヘッド10の直下に移動して
インクジェットヘッド10の回復処理を行った後、ヘッ
ドキャップ45を元の待機位置へ移動させ、さらにイン
クジェットヘッド10をプリント位置までプラテン42
側に移動する。そして、帯電器50を作動させると同時
に搬送用ベルト41を駆動し、さらに給紙ローラ52に
よってプリント用紙44を搬送用ベルト41上に載置
し、各インクジェットヘッド10によって所定の色画像
がプリント用紙44にプリントされる。
【0041】上述した各実施例では、プリントの高密度
化, 高精細化を達成するため、エネルギー発生素子とし
て熱エネルギーを発生する電気熱変換素子を用いたイン
クジェットヘッドについて説明したが、圧電素子などの
電気機械変換素子を用いたインクジェットヘッドにも応
用することができる。
化, 高精細化を達成するため、エネルギー発生素子とし
て熱エネルギーを発生する電気熱変換素子を用いたイン
クジェットヘッドについて説明したが、圧電素子などの
電気機械変換素子を用いたインクジェットヘッドにも応
用することができる。
【0042】上述の電気熱変換素子やレーザ光を用いた
インクジェットヘッドの代表的な構成や原理について
は、例えば、米国特許第4, 723, 129号明細書
や、同第4, 740, 796号明細書に開示されている
基本的な原理を用いて行うものが好ましい。この方式は
いわゆるオンデマンド型およびコンティニュアス型の何
れにも適用可能であるが、特に、オンデマンド型の場合
には、液体が保持されているシートや液流路に対応して
配置されている電気熱変換素子に、プリント情報に対応
していて核沸騰を越える急速な温度上昇を与える少なく
とも1つの駆動信号を印加することによって、電気熱変
換素子に熱エネルギーを発生させ、インクジェットヘッ
ドの熱作用面に膜沸騰を生じさせて、結果的にこの駆動
信号に一対一で対応した液体内の気泡を形成できるので
有効である。この気泡の成長および収縮により吐出用開
口を介して液体を吐出させ、少なくとも1つの滴を形成
する。この駆動信号をパルス形状とすると、即時適切に
気泡の成長収縮が行われるので、特に応答性に優れた液
体の吐出が達成でき、より好ましい。このパルス形状の
駆動信号としては、米国特許第4, 463, 359号明
細書や、同第4, 345, 262号明細書に記載されて
いるようなものが適している。なお、上記熱作用面の温
度上昇率に関する発明の米国特許第4, 313, 124
号明細書に記載されている条件を採用すると、さらに優
れたプリントを行うことができる。
インクジェットヘッドの代表的な構成や原理について
は、例えば、米国特許第4, 723, 129号明細書
や、同第4, 740, 796号明細書に開示されている
基本的な原理を用いて行うものが好ましい。この方式は
いわゆるオンデマンド型およびコンティニュアス型の何
れにも適用可能であるが、特に、オンデマンド型の場合
には、液体が保持されているシートや液流路に対応して
配置されている電気熱変換素子に、プリント情報に対応
していて核沸騰を越える急速な温度上昇を与える少なく
とも1つの駆動信号を印加することによって、電気熱変
換素子に熱エネルギーを発生させ、インクジェットヘッ
ドの熱作用面に膜沸騰を生じさせて、結果的にこの駆動
信号に一対一で対応した液体内の気泡を形成できるので
有効である。この気泡の成長および収縮により吐出用開
口を介して液体を吐出させ、少なくとも1つの滴を形成
する。この駆動信号をパルス形状とすると、即時適切に
気泡の成長収縮が行われるので、特に応答性に優れた液
体の吐出が達成でき、より好ましい。このパルス形状の
駆動信号としては、米国特許第4, 463, 359号明
細書や、同第4, 345, 262号明細書に記載されて
いるようなものが適している。なお、上記熱作用面の温
度上昇率に関する発明の米国特許第4, 313, 124
号明細書に記載されている条件を採用すると、さらに優
れたプリントを行うことができる。
【0043】インクジェットヘッドの構成としては、上
述の各明細書に開示されているような吐出口と液流路と
電気熱変換素子との組合せ構成(直線状液流路または直
角液流路)の他に、熱作用部が屈曲する領域に配置され
ている構成を開示する米国特許第4, 558, 333号
明細書や、米国特許第4, 459, 600号明細書を用
いた構成も本発明に含まれるものである。加えて、複数
の電気熱変換素子に対し、共通するスリットを電気熱変
換素子の吐出部とする構成を開示する特開昭59−12
3670号公報や、熱エネルギーの圧力波を吸収する開
孔を吐出部に対応させる構成を開示した特開昭59−1
38461号公報に基いた構成としても、本発明の効果
は有効である。すなわち、インクジェットヘッドの形態
がどのようなものであっても、本発明によればプリント
を確実に効率良く行うことができるようになるからであ
る。
述の各明細書に開示されているような吐出口と液流路と
電気熱変換素子との組合せ構成(直線状液流路または直
角液流路)の他に、熱作用部が屈曲する領域に配置され
ている構成を開示する米国特許第4, 558, 333号
明細書や、米国特許第4, 459, 600号明細書を用
いた構成も本発明に含まれるものである。加えて、複数
の電気熱変換素子に対し、共通するスリットを電気熱変
換素子の吐出部とする構成を開示する特開昭59−12
3670号公報や、熱エネルギーの圧力波を吸収する開
孔を吐出部に対応させる構成を開示した特開昭59−1
38461号公報に基いた構成としても、本発明の効果
は有効である。すなわち、インクジェットヘッドの形態
がどのようなものであっても、本発明によればプリント
を確実に効率良く行うことができるようになるからであ
る。
【0044】さらに、インクジェット装置がプリントで
きるプリント媒体の最大幅に対応した長さを有するフル
ラインタイプのインクジェットヘッドに対しても本発明
は有効に適用できる。そのようなインクジェットヘッド
としては、複数のインクジェットヘッドの組合せによっ
てその長さを満たす構成や、一体的に形成された1個の
インクジェットヘッドとしての構成の何れでも良い。
きるプリント媒体の最大幅に対応した長さを有するフル
ラインタイプのインクジェットヘッドに対しても本発明
は有効に適用できる。そのようなインクジェットヘッド
としては、複数のインクジェットヘッドの組合せによっ
てその長さを満たす構成や、一体的に形成された1個の
インクジェットヘッドとしての構成の何れでも良い。
【0045】加えて、上例のようなシリアルタイプのも
のでも、装置本体に固定されたインクジェットヘッド、
あるいは装置本体に装着されることで装置本体との電気
的な接続や装置本体からの液体の供給が可能になる交換
自在のチップタイプのインクジェットヘッド、あるいは
インクジェットヘッド自体に一体的に液体タンクが設け
られたカートリッジタイプのインクジェットヘッドを用
いた場合にも本発明は有効である。
のでも、装置本体に固定されたインクジェットヘッド、
あるいは装置本体に装着されることで装置本体との電気
的な接続や装置本体からの液体の供給が可能になる交換
自在のチップタイプのインクジェットヘッド、あるいは
インクジェットヘッド自体に一体的に液体タンクが設け
られたカートリッジタイプのインクジェットヘッドを用
いた場合にも本発明は有効である。
【0046】また、本発明のインクジェット装置の構成
として、インクジェットヘッドの吐出回復手段や、予備
的な補助手段などを付加することは本発明の効果を一層
安定できるので、好ましいものである。これらを具体的
に挙げれば、インクジェットヘッドに対してのキャッピ
ング手段や、クリーニング手段, 加圧あるいは吸引手
段, 電気熱変換素子やこれとは別の加熱素子あるいはこ
れらの組み合わせを用いて加熱を行う予備加熱手段、プ
リントとは別の吐出を行なう予備吐出手段を挙げること
ができる。
として、インクジェットヘッドの吐出回復手段や、予備
的な補助手段などを付加することは本発明の効果を一層
安定できるので、好ましいものである。これらを具体的
に挙げれば、インクジェットヘッドに対してのキャッピ
ング手段や、クリーニング手段, 加圧あるいは吸引手
段, 電気熱変換素子やこれとは別の加熱素子あるいはこ
れらの組み合わせを用いて加熱を行う予備加熱手段、プ
リントとは別の吐出を行なう予備吐出手段を挙げること
ができる。
【0047】また、搭載されるインクジェットヘッドの
種類や個数についても、例えば単色のインクに対応して
1個のみが設けられたものの他、プリント色や濃度を異
にする複数のインクに対応して複数個数設けられるもの
であっても良い。すなわち、例えばインクジェット装置
のプリントモードとしては黒色などの主流色のみのプリ
ントモードだけではなく、インクジェットヘッドを一体
的に構成するか、複数個の組み合わせによるか何れでも
良いが、異なる色の複色カラーまたは混色によるフルカ
ラーの各プリントモードの少なくとも一つを備えた装置
にも本発明は極めて有効である。
種類や個数についても、例えば単色のインクに対応して
1個のみが設けられたものの他、プリント色や濃度を異
にする複数のインクに対応して複数個数設けられるもの
であっても良い。すなわち、例えばインクジェット装置
のプリントモードとしては黒色などの主流色のみのプリ
ントモードだけではなく、インクジェットヘッドを一体
的に構成するか、複数個の組み合わせによるか何れでも
良いが、異なる色の複色カラーまたは混色によるフルカ
ラーの各プリントモードの少なくとも一つを備えた装置
にも本発明は極めて有効である。
【0048】さらに加えて、以上説明した本発明実施例
においては、液体を液体として説明しているが、室温や
それ以下で固化する液体であって、室温で軟化もしくは
液化するものを用いても良く、あるいはインクジェット
方式では液体自体を30℃以上70℃以下の範囲内で温
度調整を行って液体の粘性を安定吐出範囲にあるように
温度制御するものが一般的であるから、使用プリント信
号付与時に液体が液状をなすものを用いても良い。加え
て、熱エネルギーによる昇温を、液体の固形状態から液
体状態への状態変化のエネルギーとして使用させること
で積極的に防止するため、または液体の蒸発を防止する
ため、放置状態で固化し加熱によって液化する液体を用
いても良い。何れにしても熱エネルギーのプリント信号
に応じた付与によって液体が液化し、液状液体が吐出さ
れるものや、プリント媒体に到達する時点ではすでに固
化し始めるものなどのような、熱エネルギーの付与によ
って初めて液化する性質の液体を使用する場合も本発明
は適用可能である。このような場合の液体は、特開昭5
4−56847号公報あるいは特開昭60−71260
号公報に記載されるような、多孔質シート凹部または貫
通孔に液状又は固形物として保持された状態で、電気熱
変換素子に対して対向するような形態としても良い。本
発明においては、上述した各液体に対して最も有効なも
のは、上述した膜沸騰方式を実行するものである。
においては、液体を液体として説明しているが、室温や
それ以下で固化する液体であって、室温で軟化もしくは
液化するものを用いても良く、あるいはインクジェット
方式では液体自体を30℃以上70℃以下の範囲内で温
度調整を行って液体の粘性を安定吐出範囲にあるように
温度制御するものが一般的であるから、使用プリント信
号付与時に液体が液状をなすものを用いても良い。加え
て、熱エネルギーによる昇温を、液体の固形状態から液
体状態への状態変化のエネルギーとして使用させること
で積極的に防止するため、または液体の蒸発を防止する
ため、放置状態で固化し加熱によって液化する液体を用
いても良い。何れにしても熱エネルギーのプリント信号
に応じた付与によって液体が液化し、液状液体が吐出さ
れるものや、プリント媒体に到達する時点ではすでに固
化し始めるものなどのような、熱エネルギーの付与によ
って初めて液化する性質の液体を使用する場合も本発明
は適用可能である。このような場合の液体は、特開昭5
4−56847号公報あるいは特開昭60−71260
号公報に記載されるような、多孔質シート凹部または貫
通孔に液状又は固形物として保持された状態で、電気熱
変換素子に対して対向するような形態としても良い。本
発明においては、上述した各液体に対して最も有効なも
のは、上述した膜沸騰方式を実行するものである。
【0049】さらに加えて、上述したインクジェットヘ
ッドを用いた本発明にかかるインクジェット装置の形態
としては、コンピュータなどの情報処理機器の画像出力
端末として用いられるものの他、リーダなどと組合せた
複写装置、さらには送受信機能を有するファクシミリ装
置の形態を採るものなどであっても良い。
ッドを用いた本発明にかかるインクジェット装置の形態
としては、コンピュータなどの情報処理機器の画像出力
端末として用いられるものの他、リーダなどと組合せた
複写装置、さらには送受信機能を有するファクシミリ装
置の形態を採るものなどであっても良い。
【0050】
【発明の効果】本発明によると、エネルギー発生素子ユ
ニットおよび駆動素子ユニットの突き合わせ面の対向間
隔を保持するための突起部を設けたので、これら二つの
ユニットの接続電極の密着状態が均一化され、容易かつ
確実に信頼性の高い電気的接続が可能となる。
ニットおよび駆動素子ユニットの突き合わせ面の対向間
隔を保持するための突起部を設けたので、これら二つの
ユニットの接続電極の密着状態が均一化され、容易かつ
確実に信頼性の高い電気的接続が可能となる。
【0051】また、エネルギー発生素子ユニットと駆動
素子ユニットとを連結する際の加圧作用点の位置が、従
来に比べてラフで良いため、より簡便な機構で確実な接
続が可能であり、低コスト化を図ることができる。
素子ユニットとを連結する際の加圧作用点の位置が、従
来に比べてラフで良いため、より簡便な機構で確実な接
続が可能であり、低コスト化を図ることができる。
【図1】本発明によるインクジェットヘッドのエネルギ
ー発生素子ユニットを構成する基板の部分の第一実施例
の形状を表す平面図である。
ー発生素子ユニットを構成する基板の部分の第一実施例
の形状を表す平面図である。
【図2】図1中のII−II矢視断面図である。
【図3】図4および図5と共に図2に示した基板の製造
手順を表す断面図である。
手順を表す断面図である。
【図4】図3および図5と共に図2に示した基板の製造
手順を表す断面図である。
手順を表す断面図である。
【図5】図3および図4と共に図2に示した基板の製造
手順を表す断面図である。
手順を表す断面図である。
【図6】本発明によるエネルギー発生素子ユニットと駆
動素子ユニットとを結合した状態を表す概念図である。
動素子ユニットとを結合した状態を表す概念図である。
【図7】本発明によるインクジェットヘッドのエネルギ
ー発生素子ユニットを構成する基板の部分の第二実施例
の形状を表す平面図である。
ー発生素子ユニットを構成する基板の部分の第二実施例
の形状を表す平面図である。
【図8】本発明によるインクジェットヘッドのエネルギ
ー発生素子ユニットを構成する基板の部分の第三実施例
の形状を表す平面図である。
ー発生素子ユニットを構成する基板の部分の第三実施例
の形状を表す平面図である。
【図9】本発明によるインクジェットカートリッジの一
実施例の外観を表す斜視図である。
実施例の外観を表す斜視図である。
【図10】本発明によるインクジェット装置の一実施例
の外観を表す概念図である。
の外観を表す概念図である。
【図11】本発明の対象となったインクジェットヘッド
のエネルギー発生素子ユニットの外観を表す斜視図であ
る。
のエネルギー発生素子ユニットの外観を表す斜視図であ
る。
【図12】図11に示したエネルギー発生素子ユニット
の一部を破断した斜視図である。
の一部を破断した斜視図である。
【図13】従来のインクジェットヘッドの電気回路を表
す平面図である。
す平面図である。
【図14】図13中の XIV−XIV 矢視断面図である。
【図15】従来の駆動素子ユニットの外観を表す斜視図
である。
である。
【図16】従来のエネルギー発生素子ユニットと駆動素
子ユニットとを結合した状態を表す概念図である。
子ユニットとを結合した状態を表す概念図である。
【図17】図16における接続電極の接触不良状態を表
す概念図である。
す概念図である。
10, 10Y, 10M, 10C, 10B インクジェッ
トヘッド 11 基板 12 絶縁層 13a, 13b 接続電極 14 ダミー電極 14a, 14b ダミー電極 15 信号配線 15′導電層 16 発熱抵抗体 16′抵抗層 17 絶縁層 18 耐キャビテーション層 19 スルーホール 20 接続電極 21 ダミー電極 31 インクジェットカートリッジ 32 ヘッドホルダ 33 押圧ブロック 34 インクタンク 35 蓋部材 36 大気連通口 37Y, 37M, 37C, 37B インクタンク 38 接続配管 39 制御装置 40 ヘッドドライバ 41 搬送用ベルト 42 プラテン 43 ヘッド移動手段 44 プリント用紙 45 ヘッドキャップ 46 キャップ移動手段 47 ベルト駆動モータ 48 駆動ローラ 49 モータドライバ 50 帯電器 51 帯電器ドライバ 52 給紙ローラ 53 給紙用モータ 54 モータドライバ FE , FD 突き合わせ面 UE エネルギー発生素子ユニット UD 駆動素子ユニット
トヘッド 11 基板 12 絶縁層 13a, 13b 接続電極 14 ダミー電極 14a, 14b ダミー電極 15 信号配線 15′導電層 16 発熱抵抗体 16′抵抗層 17 絶縁層 18 耐キャビテーション層 19 スルーホール 20 接続電極 21 ダミー電極 31 インクジェットカートリッジ 32 ヘッドホルダ 33 押圧ブロック 34 インクタンク 35 蓋部材 36 大気連通口 37Y, 37M, 37C, 37B インクタンク 38 接続配管 39 制御装置 40 ヘッドドライバ 41 搬送用ベルト 42 プラテン 43 ヘッド移動手段 44 プリント用紙 45 ヘッドキャップ 46 キャップ移動手段 47 ベルト駆動モータ 48 駆動ローラ 49 モータドライバ 50 帯電器 51 帯電器ドライバ 52 給紙ローラ 53 給紙用モータ 54 モータドライバ FE , FD 突き合わせ面 UE エネルギー発生素子ユニット UD 駆動素子ユニット
Claims (14)
- 【請求項1】 それぞれ液体を吐出するための複数のエ
ネルギー発生素子に一端側が接続してこれらエネルギー
発生素子に電気信号を供給するための複数本の信号配線
を有すると共に突き合わせ面が形成され、この突き合わ
せ面に位置する前記信号配線の他端側にそれぞれ複数の
接続電極を突設したエネルギー発生素子ユニットと、 前記エネルギー発生素子を駆動するための駆動素子に一
端側がそれぞれ接続して当該駆動素子からの電気信号を
送出するための複数本の信号配線を有すると共に突き合
わせ面が形成され、この突き合わせ面に位置する前記信
号配線の他端側にそれぞれ複数の接続電極を突設した駆
動素子ユニットとを具え、前記エネルギー発生素子ユニ
ットおよび前記駆動素子ユニットの前記突き合わせ面を
相互に重ね合わせて前記接続電極を相互に接続するよう
にしたインクジェットヘッドであって、 前記エネルギー発生素子ユニットおよび前記駆動素子ユ
ニットの少なくとも一方の前記突き合わせ面にこれらの
対向間隔を保持するための突起部を形成したことを特徴
とするインクジェットヘッド。 - 【請求項2】 前記突起部は、前記接続電極と一直線状
に並ぶ領域を有することを特徴とする請求項1に記載の
インクジェットヘッド。 - 【請求項3】 前記突起部は、前記信号配線の他端側の
延長上に前記接続電極の配列方向に沿って並ぶ領域を有
することを特徴とする請求項1に記載のインクジェット
ヘッド。 - 【請求項4】 前記突起部は、前記接続電極と一直線状
に並ぶ領域と、前記信号配線の他端側の延長上に前記接
続電極の配列方向に沿って並ぶ領域とを有することを特
徴とする請求項1に記載のインクジェットヘッド。 - 【請求項5】 前記突起部は、前記接続電極と対応した
形状のダミー電極であることを特徴とする請求項1から
請求項4の何れかに記載のインクジェットヘッド。 - 【請求項6】 前記エネルギー発生素子は、前記液体に
膜沸騰を生じさせる熱エネルギーを発生する電気熱変換
体であることを特徴とする請求項1から請求項5の何れ
かに記載のインクジェットヘッド。 - 【請求項7】 それぞれ液体を吐出するための複数のエ
ネルギー発生素子に一端側が接続してこれらエネルギー
発生素子に電気信号を供給するための複数本の信号配線
を有すると共に突き合わせ面が形成され、この突き合わ
せ面に位置する前記信号配線の他端側にそれぞれ複数の
接続電極を突設したエネルギー発生素子ユニットと、前
記エネルギー発生素子を駆動するための駆動素子に一端
側がそれぞれ接続して当該駆動素子からの電気信号を送
出するための複数本の信号配線を有すると共に突き合わ
せ面が形成され、この突き合わせ面に位置する前記信号
配線の他端側にそれぞれ複数の接続電極を突設した駆動
素子ユニットとを具え、前記エネルギー発生素子ユニッ
トおよび前記駆動素子ユニットの前記突き合わせ面を相
互に重ね合わせて前記接続電極を相互に接続するように
したインクジェットヘッドと、 このインクジェットヘッドに供給するための前記液体を
蓄える液体タンクとを具えたインクジェットカートリッ
ジであって、 前記エネルギー発生素子ユニットおよび前記駆動素子ユ
ニットの少なくとも一方の前記突き合わせ面にこれらの
対向間隔を保持するための突起部を形成したことを特徴
とするインクジェットカートリッジ。 - 【請求項8】 前記液体は、インクおよび/またはプリ
ント媒体に吐出されるこのインクの特性を調整する処理
液であることを特徴とする請求項7に記載のインクジェ
ットカートリッジ。 - 【請求項9】 複数の吐出口からそれぞれ液体を吐出す
るための複数のエネルギー発生素子に一端側が接続して
これらエネルギー発生素子に電気信号を供給するための
複数本の信号配線を有すると共に突き合わせ面が形成さ
れ、この突き合わせ面に位置する前記信号配線の他端側
にそれぞれ複数の接続電極を突設したエネルギー発生素
子ユニットと、前記エネルギー発生素子を駆動するため
の駆動素子に一端側がそれぞれ接続して当該駆動素子か
らの電気信号を送出するための複数本の信号配線を有す
ると共に突き合わせ面が形成され、この突き合わせ面に
位置する前記信号配線の他端側にそれぞれ複数の接続電
極を突設した駆動素子ユニットとを具え、前記エネルギ
ー発生素子ユニットおよび前記駆動素子ユニットの前記
突き合わせ面を相互に重ね合わせて前記接続電極を相互
に接続するようにしたインクジェットヘッドを用いるイ
ンクジェット装置であって、 前記エネルギー発生素子ユニットおよび前記駆動素子ユ
ニットの少なくとも一方の前記突き合わせ面にこれらの
対向間隔を保持するための突起部を形成したことを特徴
とするインクジェット装置。 - 【請求項10】 前記突起部は、前記接続電極と一直線
状に並ぶ領域を有することを特徴とする請求項9に記載
したインクジェット装置。 - 【請求項11】 前記突起部は、前記信号配線の他端側
の延長上に前記接続電極の配列方向に沿って並ぶ領域を
有することを特徴とする請求項9に記載したインクジェ
ット装置。 - 【請求項12】 前記突起部は、前記接続電極と一直線
状に並ぶ領域と、前記信号配線の他端側の延長上に前記
接続電極の配列方向に沿って並ぶ領域とを有することを
特徴とする請求項9に記載したインクジェット装置。 - 【請求項13】 前記突起部は、前記接続電極と対応し
た形状のダミー電極であることを特徴とする請求項9か
ら請求項12の何れかに記載したインクジェット装置。 - 【請求項14】 前記吐出口は、プリント媒体のプリン
ト領域の全幅に亙って配列していることを特徴とする請
求項9から請求項13の何れかに記載のインクジェット
装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP24755596A JPH09141874A (ja) | 1995-09-21 | 1996-09-19 | インクジェットヘッドおよびインクジェットカートリッジならびにインクジェット装置 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7-243396 | 1995-09-21 | ||
JP24339695 | 1995-09-21 | ||
JP24755596A JPH09141874A (ja) | 1995-09-21 | 1996-09-19 | インクジェットヘッドおよびインクジェットカートリッジならびにインクジェット装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09141874A true JPH09141874A (ja) | 1997-06-03 |
Family
ID=26536234
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP24755596A Pending JPH09141874A (ja) | 1995-09-21 | 1996-09-19 | インクジェットヘッドおよびインクジェットカートリッジならびにインクジェット装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH09141874A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10118118A (ja) * | 1996-10-23 | 1998-05-12 | Kao Corp | 吸収性物品 |
JP2004160942A (ja) * | 2002-11-15 | 2004-06-10 | Brother Ind Ltd | インクジェットヘッド及びその製造方法 |
US7237876B2 (en) | 2003-03-19 | 2007-07-03 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Ink-jet head and method for manufacturing the same |
US7360874B2 (en) | 2003-06-30 | 2008-04-22 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Ink-jet printer, ink-jet head and method of manufacturing the ink-jet head |
US8267079B2 (en) | 2008-08-04 | 2012-09-18 | Canon Kabushiki Kaisha | Inhaler |
-
1996
- 1996-09-19 JP JP24755596A patent/JPH09141874A/ja active Pending
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10118118A (ja) * | 1996-10-23 | 1998-05-12 | Kao Corp | 吸収性物品 |
JP2004160942A (ja) * | 2002-11-15 | 2004-06-10 | Brother Ind Ltd | インクジェットヘッド及びその製造方法 |
US7237876B2 (en) | 2003-03-19 | 2007-07-03 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Ink-jet head and method for manufacturing the same |
US7900355B2 (en) | 2003-03-19 | 2011-03-08 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Ink-jet head and method for manufacturing the same |
US7360874B2 (en) | 2003-06-30 | 2008-04-22 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Ink-jet printer, ink-jet head and method of manufacturing the ink-jet head |
US8474138B2 (en) | 2003-06-30 | 2013-07-02 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Method of manufacturing the ink-jet head |
US8267079B2 (en) | 2008-08-04 | 2012-09-18 | Canon Kabushiki Kaisha | Inhaler |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP0764530B1 (en) | Ink-jet head, ink-jet cartridge and ink-jet apparatus | |
US7434917B2 (en) | Ink jet recording head having temperature control heaters and nozzle arrays of differing discharge amounts | |
US6705700B2 (en) | Liquid discharge head, and head cartridge and image forming apparatus using such liquid discharge head | |
JPH09141874A (ja) | インクジェットヘッドおよびインクジェットカートリッジならびにインクジェット装置 | |
JP3190211B2 (ja) | 異なるインクジェット記録ヘッドを選択的に搭載可能なインクジェット記録装置及びそのヘッド回復方法 | |
US5701147A (en) | Ink jet head and ink jet apparatus using same | |
US6132031A (en) | Ink-jet head, ink-jet cartridge and ink-jet printing apparatus | |
JP3183795B2 (ja) | インクジェット装置およびインクジェット方法 | |
JP3402910B2 (ja) | インクジェット記録ヘッド、インクジェット記録ヘッドカートリッジ及びインクジェット記録装置 | |
JP3176249B2 (ja) | インクジェット記録ヘッド、インクジェット記録装置および情報処理システム | |
JP3618960B2 (ja) | インクジェット記録ヘッド及び該ヘッドを搭載するインクジェット装置 | |
JPH09286103A (ja) | インクジェット式記録ヘッド | |
JPH03277553A (ja) | 記録方法および装置 | |
JP4059509B2 (ja) | インクジェット記録ヘッド用基板およびインクジェット記録ヘッドならびにインクジェット記録装置 | |
JPH09109394A (ja) | 記録ヘッド | |
JP2003127374A (ja) | 液体吐出ヘッドならびにヘッドカートリッジおよび画像形成装置 | |
JPH11320894A (ja) | インクジェットヘッド | |
JPH04355158A (ja) | インクジェット記録装置 | |
JPH11254704A (ja) | 液体吐出ヘッドおよびヘッドカートリッジならびに画像形成装置 | |
JP4757155B2 (ja) | インクジェット記録ヘッド | |
JPH0473151A (ja) | インクジェット記録装置 | |
JPH09174846A (ja) | インクジェットヘッドおよびインクジェットカートリッジおよびインクジェット装置 | |
JP2001301167A (ja) | インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置 | |
JPH10119279A (ja) | インクジェットヘッドおよびインクジェットカートリッジならびにこれを用いたインクジェット装置 | |
JPH106499A (ja) | インクジェットプリントヘッド、その製造方法およびインクジェットプリント装置 |